JP2001153760A - 搬送用試料容器 - Google Patents
搬送用試料容器Info
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- glove box
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 グローブボックスを試料導入装置に連結せず
に、分析試料が環境によって変質しないようにした搬送
用試料容器を提供する。 【解決手段】 グローブボックス内の不活性ガス中で、
試料台１１に分析試料２２を充填し、上部からＯリング
２３を介して蓋１０が気密に被せられる。試料導入室
に、蓋１０が被せられた試料台１１がセットされ、試料
導入室外部から蓋１０の上面の着脱ネジ２６を利用し
て、真空中で蓋１０が開けられ、試料台１１が分析室に
搬送される。蓋１０には、リリーフ弁２５が設けられ、
外部からのガスが内部に侵入しない機能を有する。
に、分析試料が環境によって変質しないようにした搬送
用試料容器を提供する。 【解決手段】 グローブボックス内の不活性ガス中で、
試料台１１に分析試料２２を充填し、上部からＯリング
２３を介して蓋１０が気密に被せられる。試料導入室
に、蓋１０が被せられた試料台１１がセットされ、試料
導入室外部から蓋１０の上面の着脱ネジ２６を利用し
て、真空中で蓋１０が開けられ、試料台１１が分析室に
搬送される。蓋１０には、リリーフ弁２５が設けられ、
外部からのガスが内部に侵入しない機能を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空環境で分析を
行なう分析装置に係わり、特に、特定な環境を保持した
まま、試料を分析室に導入することが出来る搬送用試料
容器に関する。
行なう分析装置に係わり、特に、特定な環境を保持した
まま、試料を分析室に導入することが出来る搬送用試料
容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】固体表面を真空環境で、電子やイオン又
はＸ線で励起し、その表面から得られる２次電子、回折
電子、散乱電子、オージェ電子、反射イオン、および、
特性Ｘ線や光電子等の信号を検出することによって、固
体表面にどのような元素が存在し、またどのような化学
結合状態にあるかを知ることができる。この表面分析の
手法を用いた装置として代表的なものに、走査電子顕微
鏡（ＳＥＭ）、Ｘ線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ、Ｘ
ＭＡ）、２次イオン質量分析装置（ＳＩＭＳ）、Ｘ線光
電子分光分析装置（ＸＰＳ、ＥＳＣＡ）等がある。
はＸ線で励起し、その表面から得られる２次電子、回折
電子、散乱電子、オージェ電子、反射イオン、および、
特性Ｘ線や光電子等の信号を検出することによって、固
体表面にどのような元素が存在し、またどのような化学
結合状態にあるかを知ることができる。この表面分析の
手法を用いた装置として代表的なものに、走査電子顕微
鏡（ＳＥＭ）、Ｘ線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ、Ｘ
ＭＡ）、２次イオン質量分析装置（ＳＩＭＳ）、Ｘ線光
電子分光分析装置（ＸＰＳ、ＥＳＣＡ）等がある。
【０００３】これらの装置は、基礎研究用の分析のみな
らず、資源、エネルギー、公害などの検査、品質管理の
広い分野に使用され、特に、金属固溶体の相、変態、粒
界、析出物、介在物、地質鉱物の岩石、鉱石、隕石、セ
ラミックス、セメント、ガラス、化学の触媒、塗料、プ
ラスチック、ゴム、石油、生物医学の歯、骨、組織、
葉、根、半導体材料、集積回路等の広い分野の非破壊微
小領域元素分析、観察などに用いられる。これらの試料
の中には、長時間大気中に放置すると、空気中の酸素や
水分と反応して変質するものもあり、その他環境による
コンタミネーションを防止するために、測定する採取し
た試料を、大気と隔離する試料ケース等に保存し、不活
性ガス中や真空中に保管する場合もある。
らず、資源、エネルギー、公害などの検査、品質管理の
広い分野に使用され、特に、金属固溶体の相、変態、粒
界、析出物、介在物、地質鉱物の岩石、鉱石、隕石、セ
ラミックス、セメント、ガラス、化学の触媒、塗料、プ
ラスチック、ゴム、石油、生物医学の歯、骨、組織、
葉、根、半導体材料、集積回路等の広い分野の非破壊微
小領域元素分析、観察などに用いられる。これらの試料
の中には、長時間大気中に放置すると、空気中の酸素や
水分と反応して変質するものもあり、その他環境による
コンタミネーションを防止するために、測定する採取し
た試料を、大気と隔離する試料ケース等に保存し、不活
性ガス中や真空中に保管する場合もある。
【０００４】図６は、従来の表面分析装置の試料導入系
統の平面図を示す。この装置の試料導入系統は、グロー
ブボックス４２と試料導入室３８と分析室１４から構成
されており、各部はゲートバルブ４４及びゲートバルブ
１３で連結されている。グローブボックス４２は、透明
なケースで出来ており、前方にグローブ２９が２つ取り
つけられ内部のものを見ながらグローブ２９で取り扱う
ことが出来る。後方に試料２２や試料台１１などを出し
入れでき、密閉出来るように扉４３が設けられている。
まず、扉４３を開放し、試料台１１と、採取された試料
２２をグローブボックス４２内に置く。そして、グロー
ブ２９で操作して、試料台１１に試料２２をセットす
る。ゲートバルブ４４を開放にし、導入棒４１を前に押
すことで、試料２２を試料導入室３８に送りこむことが
できる。グローブボックス４２内は、バルブ３２を介し
て不活性ガス３３を内部に送り込むことができ、余剰の
不要なガスをバルブ３０を介してポンプで引くこともで
きる。従って、試料２２を大気から分離して、不活性ガ
ス３３中で試料台１１に試料２２をセットまたは充填処
理することが出来る。
統の平面図を示す。この装置の試料導入系統は、グロー
ブボックス４２と試料導入室３８と分析室１４から構成
されており、各部はゲートバルブ４４及びゲートバルブ
１３で連結されている。グローブボックス４２は、透明
なケースで出来ており、前方にグローブ２９が２つ取り
つけられ内部のものを見ながらグローブ２９で取り扱う
ことが出来る。後方に試料２２や試料台１１などを出し
入れでき、密閉出来るように扉４３が設けられている。
まず、扉４３を開放し、試料台１１と、採取された試料
２２をグローブボックス４２内に置く。そして、グロー
ブ２９で操作して、試料台１１に試料２２をセットす
る。ゲートバルブ４４を開放にし、導入棒４１を前に押
すことで、試料２２を試料導入室３８に送りこむことが
できる。グローブボックス４２内は、バルブ３２を介し
て不活性ガス３３を内部に送り込むことができ、余剰の
不要なガスをバルブ３０を介してポンプで引くこともで
きる。従って、試料２２を大気から分離して、不活性ガ
ス３３中で試料台１１に試料２２をセットまたは充填処
理することが出来る。
【０００５】試料導入室３８は、グローブボックス４２
から測定する試料が送り込まれる。そして、ゲートバル
ブ４４を閉め、バルブ３９を介してポンプ４０で粗引き
排気を行なう。従って、この試料導入室３８は、真空に
常時保たれており、ここからゲートバルブ１３を開放に
して、導入棒３７で試料２２がセットされた試料台１１
ごと分析室１４の所定の位置まで送り込まれる。導入棒
３７を引いてゲートバルブ１３を閉める。
から測定する試料が送り込まれる。そして、ゲートバル
ブ４４を閉め、バルブ３９を介してポンプ４０で粗引き
排気を行なう。従って、この試料導入室３８は、真空に
常時保たれており、ここからゲートバルブ１３を開放に
して、導入棒３７で試料２２がセットされた試料台１１
ごと分析室１４の所定の位置まで送り込まれる。導入棒
３７を引いてゲートバルブ１３を閉める。
【０００６】分析室１４は、バルブ１９を介してポンプ
１８で粗引き真空にされ、バルブ２１を介してポンプ２
０で高真空に排気され、内部に電子銃と、試料からの２
次電子などを検知する検出器等を備えている。試料導入
室３８とはゲートバルブ１３で隔離され、常時高真空に
保たれている。分析終了後は、バルブ１９、バルブ２１
を閉じ、ゲートバルブ１３を開放にして、導入棒３７に
より分析室１４の試料２２を試料導入室３８に戻す。ゲ
ートバルブ１３を閉め、ゲートバルブ４４を開放にし、
導入棒４１で試料導入室３８の試料２２をグローブボッ
クス４２に戻し、ゲートバルブ４４を閉じる。そして、
扉４３を開放にし、試料台１１ごと外部に取り出す。
１８で粗引き真空にされ、バルブ２１を介してポンプ２
０で高真空に排気され、内部に電子銃と、試料からの２
次電子などを検知する検出器等を備えている。試料導入
室３８とはゲートバルブ１３で隔離され、常時高真空に
保たれている。分析終了後は、バルブ１９、バルブ２１
を閉じ、ゲートバルブ１３を開放にして、導入棒３７に
より分析室１４の試料２２を試料導入室３８に戻す。ゲ
ートバルブ１３を閉め、ゲートバルブ４４を開放にし、
導入棒４１で試料導入室３８の試料２２をグローブボッ
クス４２に戻し、ゲートバルブ４４を閉じる。そして、
扉４３を開放にし、試料台１１ごと外部に取り出す。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の試料導入系統は
以上のように構成されているが、試料２２の酸化防止の
ために、グローブボックス４２と試料導入室３８が連結
された構造に作られているので、分析装置全体が大きく
なる。また、グローブボックス４２が取りつかない標準
の分析装置の場合、改造部分が多くなる。さらに、グロ
ーブボックス４２が取りつけられていることによって除
振性能が低下し、高倍率像による観察が困難になるとい
う問題がある。
以上のように構成されているが、試料２２の酸化防止の
ために、グローブボックス４２と試料導入室３８が連結
された構造に作られているので、分析装置全体が大きく
なる。また、グローブボックス４２が取りつかない標準
の分析装置の場合、改造部分が多くなる。さらに、グロ
ーブボックス４２が取りつけられていることによって除
振性能が低下し、高倍率像による観察が困難になるとい
う問題がある。
【０００８】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、分析試料が環境によって変質しないよ
うにして、分析装置全体の寸法を大きくすることなく、
改造部分を少なくし、除振性能を向上し、高倍率像によ
る観察が容易に出来る搬送用試料容器を提供することを
目的とする。
たものであって、分析試料が環境によって変質しないよ
うにして、分析装置全体の寸法を大きくすることなく、
改造部分を少なくし、除振性能を向上し、高倍率像によ
る観察が容易に出来る搬送用試料容器を提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め請求項１の発明の搬送用試料容器は、分析用試料を保
持する試料ホルダと、その試料ホルダに被せられ分析試
料を大気と隔離して密閉し試料ホルダを内置する試料導
入室の外部から操作して開閉もしくは着脱可能な試料蓋
と、その試料蓋または試料ホルダにリリーフ弁とを備え
るものである。
め請求項１の発明の搬送用試料容器は、分析用試料を保
持する試料ホルダと、その試料ホルダに被せられ分析試
料を大気と隔離して密閉し試料ホルダを内置する試料導
入室の外部から操作して開閉もしくは着脱可能な試料蓋
と、その試料蓋または試料ホルダにリリーフ弁とを備え
るものである。
【００１０】また、請求項２の発明の搬送用試料容器
は、分析用試料を保持する試料ホルダと、その試料ホル
ダを大気と隔離する試料室ケースと、試料室ケースを内
置する試料導入室の外部から操作して試料室ケースに開
閉もしくは着脱可能な密閉できる試料蓋と、試料室ケー
ス内のガスを排気する排気口と、排気停止により閉じる
チェック弁とを備えるものである。
は、分析用試料を保持する試料ホルダと、その試料ホル
ダを大気と隔離する試料室ケースと、試料室ケースを内
置する試料導入室の外部から操作して試料室ケースに開
閉もしくは着脱可能な密閉できる試料蓋と、試料室ケー
ス内のガスを排気する排気口と、排気停止により閉じる
チェック弁とを備えるものである。
【００１１】請求項１の発明の搬送用試料容器は上記の
ように構成されており、分析試料が試料ホルダにセット
され、その試料ホルダに気密性を保つことが出来る開閉
もしくは着脱可能な試料蓋が設けられ、大気と隔離する
ので試料の酸化などによる影響を受けることがない。そ
して、試料導入室の外部から試料蓋の開閉を操作できる
ので、従来のようにグローブボックスを試料導入室に連
結する必要がない。さらに、試料蓋にリリーフ弁が装着
されているので、外圧が高いときには、試料ホルダの内
部に、外部からガスが侵入することがない。一方、外圧
が低い時、例えば、試料ホルダの置かれている空間が真
空の時、自動的にリリーフ弁が働き内部が真空になる。
従って、試料が外部からのガスで汚染されることはな
い。
ように構成されており、分析試料が試料ホルダにセット
され、その試料ホルダに気密性を保つことが出来る開閉
もしくは着脱可能な試料蓋が設けられ、大気と隔離する
ので試料の酸化などによる影響を受けることがない。そ
して、試料導入室の外部から試料蓋の開閉を操作できる
ので、従来のようにグローブボックスを試料導入室に連
結する必要がない。さらに、試料蓋にリリーフ弁が装着
されているので、外圧が高いときには、試料ホルダの内
部に、外部からガスが侵入することがない。一方、外圧
が低い時、例えば、試料ホルダの置かれている空間が真
空の時、自動的にリリーフ弁が働き内部が真空になる。
従って、試料が外部からのガスで汚染されることはな
い。
【００１２】また、請求項２の発明の搬送用試料容器
は、試料を試料ホルダにセットし、それを試料室ケース
に収納し、その試料室ケースに気密性を保つことが出来
る開閉もしくは着脱可能な蓋が設けられ、大気と隔離す
るので試料の酸化などによる影響を受けることがない。
そして、試料導入室の外部から試料室ケースの蓋の開閉
を操作できるので、従来のようにグローブボックスを試
料導入室に連結する必要がない。さらに、試料室ケース
に排気口とチェック弁が装着されているので、試料室ケ
ース内を外気より負圧にすることが出来、チェック弁に
よって外圧が高いときには、試料室ケースの内部に、外
部からガスが侵入することがない。一方、外圧が低い
時、例えば、試料室ケースの置かれている空間が真空の
時、自動的にチェック弁が働き内部が真空になる。従っ
て、試料が外部からのガスで汚染されることはない。
は、試料を試料ホルダにセットし、それを試料室ケース
に収納し、その試料室ケースに気密性を保つことが出来
る開閉もしくは着脱可能な蓋が設けられ、大気と隔離す
るので試料の酸化などによる影響を受けることがない。
そして、試料導入室の外部から試料室ケースの蓋の開閉
を操作できるので、従来のようにグローブボックスを試
料導入室に連結する必要がない。さらに、試料室ケース
に排気口とチェック弁が装着されているので、試料室ケ
ース内を外気より負圧にすることが出来、チェック弁に
よって外圧が高いときには、試料室ケースの内部に、外
部からガスが侵入することがない。一方、外圧が低い
時、例えば、試料室ケースの置かれている空間が真空の
時、自動的にチェック弁が働き内部が真空になる。従っ
て、試料が外部からのガスで汚染されることはない。
【００１３】したがって、分析試料ホルダもしくは試料
室ケースに、特定環境を保持する機構を設けて、グロー
ブボックスを試料導入室に連結せずに、分析装置全体の
寸法を大きくすることなく、改造部分を少なくし、除振
性能を向上し、高倍率像による観察が容易に出来る。
室ケースに、特定環境を保持する機構を設けて、グロー
ブボックスを試料導入室に連結せずに、分析装置全体の
寸法を大きくすることなく、改造部分を少なくし、除振
性能を向上し、高倍率像による観察が容易に出来る。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の搬送用試料容器の一実施
の形態を、図１、図２を参照しながら説明する。図１
は、本発明の搬送用試料容器３の分析室１４への搬送系
統を示す図である。図２は本発明の搬送用試料容器を示
す図である。本搬送用試料容器は、試料２２を処理して
セットする試料台１１と、試料２２の上方から試料台１
１に被せる気密性の機構を有し上面に着脱ネジ２６を備
えた蓋１０と、蓋１０に設けられ内部の圧力より外圧が
高いときにガスが内部に流入しないような機能を持つリ
リーフ弁２５と、内外の気密性を保つためのＯリング２
３、２４と、試料台１１を装着する基台６とから構成さ
れている。
の形態を、図１、図２を参照しながら説明する。図１
は、本発明の搬送用試料容器３の分析室１４への搬送系
統を示す図である。図２は本発明の搬送用試料容器を示
す図である。本搬送用試料容器は、試料２２を処理して
セットする試料台１１と、試料２２の上方から試料台１
１に被せる気密性の機構を有し上面に着脱ネジ２６を備
えた蓋１０と、蓋１０に設けられ内部の圧力より外圧が
高いときにガスが内部に流入しないような機能を持つリ
リーフ弁２５と、内外の気密性を保つためのＯリング２
３、２４と、試料台１１を装着する基台６とから構成さ
れている。
【００１５】試料台１１は、下部に平板、上部にリング
状の枠からなるステンレス等の材料が使われる。試料２
２が充填される内径は約３２ｍｍ、深さ約２０ｍｍの円
筒状である（試料サイズ）。従って、分析領域は３２ｍ
ｍφの全面を使用することが出来る。リング状の枠外周
には、Ｏリング２３が嵌めこまれる溝が加工されてい
る。
状の枠からなるステンレス等の材料が使われる。試料２
２が充填される内径は約３２ｍｍ、深さ約２０ｍｍの円
筒状である（試料サイズ）。従って、分析領域は３２ｍ
ｍφの全面を使用することが出来る。リング状の枠外周
には、Ｏリング２３が嵌めこまれる溝が加工されてい
る。
【００１６】蓋１０は、円盤状のステンレス材で出来て
おり、上面に着脱用のネジが挿入される着脱ネジ２６が
設けられ、試料導入室７のつまみ１２によって着脱操作
が行なわれる。下面内部にＯリング２３が嵌めこまれる
溝が加工されている。また、内外のガス圧に応じて動作
するリリーフ弁２５が設けられている。リリーフ弁２５
は、蓋１０に設けられ内部の圧力より外圧が高いときに
ガスが内部に流入しないような機能を持つ。従って、外
圧が高いときには、試料台１１の内部に、外部からガス
が侵入することがない。一方、外圧が低い時、例えば、
試料台１１が置かれている空間が真空の時、自動的にリ
リーフ弁２５が働き内部が真空になる。従って、試料が
外部からのガスで汚染されることはない。
おり、上面に着脱用のネジが挿入される着脱ネジ２６が
設けられ、試料導入室７のつまみ１２によって着脱操作
が行なわれる。下面内部にＯリング２３が嵌めこまれる
溝が加工されている。また、内外のガス圧に応じて動作
するリリーフ弁２５が設けられている。リリーフ弁２５
は、蓋１０に設けられ内部の圧力より外圧が高いときに
ガスが内部に流入しないような機能を持つ。従って、外
圧が高いときには、試料台１１の内部に、外部からガス
が侵入することがない。一方、外圧が低い時、例えば、
試料台１１が置かれている空間が真空の時、自動的にリ
リーフ弁２５が働き内部が真空になる。従って、試料が
外部からのガスで汚染されることはない。
【００１７】基台６は、試料台１１を装着し、図１に示
すフランジ２の台４に載せられ、試料導入室７で蓋１０
を上部に取り外し、導入棒１により、分析室１４内のガ
イド１７上の所定の位置に移動されセットされる。
すフランジ２の台４に載せられ、試料導入室７で蓋１０
を上部に取り外し、導入棒１により、分析室１４内のガ
イド１７上の所定の位置に移動されセットされる。
【００１８】次に、本搬送用試料容器３の操作の方法を
説明する。試料導入系統として、図３に示すグローブボ
ックス２７が分析装置と独立して配置され、ここで試料
２２が試料台１１に充填され、搬送用試料容器３内に試
料２２が保管される。その後図１に示す試料導入系統で
搬送用試料容器３が搬送され、分析室１４に導入され
る。
説明する。試料導入系統として、図３に示すグローブボ
ックス２７が分析装置と独立して配置され、ここで試料
２２が試料台１１に充填され、搬送用試料容器３内に試
料２２が保管される。その後図１に示す試料導入系統で
搬送用試料容器３が搬送され、分析室１４に導入され
る。
【００１９】グローブボックス２７は、透明なケースで
出来ており前方にグローブ２９が２つ取りつけられ、内
部のものを見ながらグローブ２９で取り扱うことが出来
る。後方に試料２２や試料台１１などを出し入れでき、
密閉出来るように扉３４が設けられている。まず、扉３
４を開放し、試料台１１と、採取された試料２２をグロ
ーブボックス２７内に置く。グローブボックス２７内
は、バルブ３２を介して不活性ガス３３を内部に送り込
むことができ、余剰の不要なガスをバルブ３０を介して
ポンプ３１で引くこともできる。従って試料２２を大気
から分離して、不活性ガス３３中で、試料２２を試料台
１１にセットすることが出来る。従って、グローブボッ
クス２７内を不活性ガス３３に置換して、グローブ２９
で操作して試料２２の処理を行ない、試料台１１に処理
された試料２２をセットする。セットが完了すれば、蓋
１０を上部から被せ、Ｏリング２３によって試料２２の
内部を気密にする。そして、扉３４を開けてグローブボ
ックス２７から外部に試料２２の入った試料台１１を取
り出す。次に、図１に示すフランジ２に設けられた台４
上に、基台６がセットされているので、この上部に試料
台１１を取りつける。
出来ており前方にグローブ２９が２つ取りつけられ、内
部のものを見ながらグローブ２９で取り扱うことが出来
る。後方に試料２２や試料台１１などを出し入れでき、
密閉出来るように扉３４が設けられている。まず、扉３
４を開放し、試料台１１と、採取された試料２２をグロ
ーブボックス２７内に置く。グローブボックス２７内
は、バルブ３２を介して不活性ガス３３を内部に送り込
むことができ、余剰の不要なガスをバルブ３０を介して
ポンプ３１で引くこともできる。従って試料２２を大気
から分離して、不活性ガス３３中で、試料２２を試料台
１１にセットすることが出来る。従って、グローブボッ
クス２７内を不活性ガス３３に置換して、グローブ２９
で操作して試料２２の処理を行ない、試料台１１に処理
された試料２２をセットする。セットが完了すれば、蓋
１０を上部から被せ、Ｏリング２３によって試料２２の
内部を気密にする。そして、扉３４を開けてグローブボ
ックス２７から外部に試料２２の入った試料台１１を取
り出す。次に、図１に示すフランジ２に設けられた台４
上に、基台６がセットされているので、この上部に試料
台１１を取りつける。
【００２０】そして、フランジ２とフランジ５を合わせ
る。これにより、試料導入室７に搬送用試料容器３がセ
ットされ、図４に示す状態になる。搬送用試料容器３が
大気中にあるときは、リリーフ弁２５がばねによって弁
が閉じており、ガスは、容器外に出ることはない。試料
導入室７をバルブ９を介してポンプ８で真空に引き始め
ると、試料導入室７の圧力が搬送用試料容器３内の圧力
よりも低くなるので、搬送用試料容器３内のガスは同時
に排気される。最終的に試料導入室７の圧力とほぼ同じ
になる。この状態でつまみ１２の先端についている着脱
雄ネジ３６を蓋１０の着脱ネジ２６に入れて、蓋１０を
上方に取り外す。そして、ゲートバルブ１３を開放に
し、導入棒１を押しこみ、試料台１１を分析室１４のガ
イド１７上を移動させ所定の位置に送り込む。導入棒１
を元の位置に引きこみ、ゲートバルブ１３を閉じる。分
析室１４は常時バルブ２１を介してポンプ２０によって
高真空にされており、電子銃１５から電子を試料２２の
表面に当てる。その励起された表面からの２次電子やイ
オン、特性Ｘ線などを各種検出器１６で検知してその信
号を処理し、表面の元素や化学結合状態を解明する。
る。これにより、試料導入室７に搬送用試料容器３がセ
ットされ、図４に示す状態になる。搬送用試料容器３が
大気中にあるときは、リリーフ弁２５がばねによって弁
が閉じており、ガスは、容器外に出ることはない。試料
導入室７をバルブ９を介してポンプ８で真空に引き始め
ると、試料導入室７の圧力が搬送用試料容器３内の圧力
よりも低くなるので、搬送用試料容器３内のガスは同時
に排気される。最終的に試料導入室７の圧力とほぼ同じ
になる。この状態でつまみ１２の先端についている着脱
雄ネジ３６を蓋１０の着脱ネジ２６に入れて、蓋１０を
上方に取り外す。そして、ゲートバルブ１３を開放に
し、導入棒１を押しこみ、試料台１１を分析室１４のガ
イド１７上を移動させ所定の位置に送り込む。導入棒１
を元の位置に引きこみ、ゲートバルブ１３を閉じる。分
析室１４は常時バルブ２１を介してポンプ２０によって
高真空にされており、電子銃１５から電子を試料２２の
表面に当てる。その励起された表面からの２次電子やイ
オン、特性Ｘ線などを各種検出器１６で検知してその信
号を処理し、表面の元素や化学結合状態を解明する。
【００２１】分析が終了すれば、試料２２をこれまでの
導入過程の逆の手順で取り出す。ゲートバルブ１３を開
け、導入棒１で試料台１１を試料導入室７に引きこむ。
ゲートバルブ１３を閉め、つまみ１２で蓋１０を下方に
下ろし試料台１１に被せる。そして、バルブ９を閉じ
て、試料導入室７をリークさせる。リークさせて大気圧
にしても、搬送用試料容器３内の圧力は真空の状態であ
る。そして、フランジ２をフランジ５から離し、搬送用
試料容器３を外部に取り出す。その搬送用試料容器３を
グローブボックス２７に再び入れて、不活性ガス雰囲気
中でリリーフ弁２５を開放する方法で蓋１０を開け、内
部の分析の完了した試料２２を取り出す。
導入過程の逆の手順で取り出す。ゲートバルブ１３を開
け、導入棒１で試料台１１を試料導入室７に引きこむ。
ゲートバルブ１３を閉め、つまみ１２で蓋１０を下方に
下ろし試料台１１に被せる。そして、バルブ９を閉じ
て、試料導入室７をリークさせる。リークさせて大気圧
にしても、搬送用試料容器３内の圧力は真空の状態であ
る。そして、フランジ２をフランジ５から離し、搬送用
試料容器３を外部に取り出す。その搬送用試料容器３を
グローブボックス２７に再び入れて、不活性ガス雰囲気
中でリリーフ弁２５を開放する方法で蓋１０を開け、内
部の分析の完了した試料２２を取り出す。
【００２２】次に、本発明の搬送用試料容器の他の実施
例について説明する。図５は本搬送用試料容器３が試料
導入室５８に導入された状態を示す外観図（Ａ）と断面
図（Ｂ）である。本搬送用試料容器３は、試料５４を充
填する試料ホルダ５０と、その試料ホルダ５０を収容す
る試料室ケース４９と、その試料室ケース４９の上面に
Ｏリングを備えフランジを有した蓋４８と、試料室ケー
ス４９の側部に、シリコンチューブ５３を連結して、そ
の先に内部の圧力より外圧が高いときにガスが内部に流
入しないような機能を持つチェック弁５２と、試料室ケ
ース４９内を排気する排気口５１と、試料室ケース４９
と排気口５１とチェック弁５２を装着する基台５５とか
ら構成されている。
例について説明する。図５は本搬送用試料容器３が試料
導入室５８に導入された状態を示す外観図（Ａ）と断面
図（Ｂ）である。本搬送用試料容器３は、試料５４を充
填する試料ホルダ５０と、その試料ホルダ５０を収容す
る試料室ケース４９と、その試料室ケース４９の上面に
Ｏリングを備えフランジを有した蓋４８と、試料室ケー
ス４９の側部に、シリコンチューブ５３を連結して、そ
の先に内部の圧力より外圧が高いときにガスが内部に流
入しないような機能を持つチェック弁５２と、試料室ケ
ース４９内を排気する排気口５１と、試料室ケース４９
と排気口５１とチェック弁５２を装着する基台５５とか
ら構成されている。
【００２３】本搬送用試料容器３は、蓋４８が試料室ケ
ース４９に取りつけられる構造である。そして、蓋４８
の取り外し機構は、試料導入室５８の側面に設けられた
蓋操作レバー４５を回転することで、蓋開放金具４７が
上下する。この上下動作により蓋４８が上方に持ち上げ
られ、開放される。試料室ケース４９内の圧力と外圧の
関係は、まず、試料５４が試料ホルダ５０にセットさ
れ、その試料ホルダ５０が試料室ケース４９内に収容さ
れ、蓋４８が閉じられた状態で、排気口から内部のガス
が排気される。排気を止めれば、外圧が高いので、チェ
ック弁５２が働き大気のガスが内部に侵入することが出
来ない。その他に付いては前記の実施例と同様の原理で
取り扱いされる。
ース４９に取りつけられる構造である。そして、蓋４８
の取り外し機構は、試料導入室５８の側面に設けられた
蓋操作レバー４５を回転することで、蓋開放金具４７が
上下する。この上下動作により蓋４８が上方に持ち上げ
られ、開放される。試料室ケース４９内の圧力と外圧の
関係は、まず、試料５４が試料ホルダ５０にセットさ
れ、その試料ホルダ５０が試料室ケース４９内に収容さ
れ、蓋４８が閉じられた状態で、排気口から内部のガス
が排気される。排気を止めれば、外圧が高いので、チェ
ック弁５２が働き大気のガスが内部に侵入することが出
来ない。その他に付いては前記の実施例と同様の原理で
取り扱いされる。
【００２４】次に、この搬送用試料容器３の試料導入手
順を説明する。まず、シリコンチューブ５３を試料室ケ
ース４９側で取り外し、蓋４８、試料室ケース４９をネ
ジを緩めて取り外す。そして図３に示すグローブボック
ス２７中で、試料ホルダ５０に試料５４を充填する。そ
して、試料室ケース４９を被せ、ネジで固定する。次に
シリコンチューブ５３を接続し、蓋４８を被せる。次に
排気口５１に排気用の吸引器を取りつけ試料室ケース４
９内を排気する。そして、搬送用試料容器３を試料導入
室５８に図５に示すように取りつける。試料導入室５８
を排気し、蓋操作レバー４５を操作して蓋４８を持ち上
げる。試料導入室５８の排気が完了すると図１に示すゲ
ートバルブを１３開け、搬送用試料容器３を分析室１４
の所定の位置に送り込む。ゲートバルブ１３を閉め、分
析を行なう。分析完了後、搬送用試料容器３を同様の手
順で試料導入室５８に戻す。そして蓋４８を閉め、試料
導入室５８をリークさせ大気圧にする。この時、試料室
ケース４９内は真空に保持される。そして、外部に搬送
用試料容器３を取りだし、グローブボックス２７内でシ
リコーンチューブ５３を外し試料室ケース４９内をリー
クさせる。蓋４８、試料室ケース４９を取り外し、試料
４８を交換する。
順を説明する。まず、シリコンチューブ５３を試料室ケ
ース４９側で取り外し、蓋４８、試料室ケース４９をネ
ジを緩めて取り外す。そして図３に示すグローブボック
ス２７中で、試料ホルダ５０に試料５４を充填する。そ
して、試料室ケース４９を被せ、ネジで固定する。次に
シリコンチューブ５３を接続し、蓋４８を被せる。次に
排気口５１に排気用の吸引器を取りつけ試料室ケース４
９内を排気する。そして、搬送用試料容器３を試料導入
室５８に図５に示すように取りつける。試料導入室５８
を排気し、蓋操作レバー４５を操作して蓋４８を持ち上
げる。試料導入室５８の排気が完了すると図１に示すゲ
ートバルブを１３開け、搬送用試料容器３を分析室１４
の所定の位置に送り込む。ゲートバルブ１３を閉め、分
析を行なう。分析完了後、搬送用試料容器３を同様の手
順で試料導入室５８に戻す。そして蓋４８を閉め、試料
導入室５８をリークさせ大気圧にする。この時、試料室
ケース４９内は真空に保持される。そして、外部に搬送
用試料容器３を取りだし、グローブボックス２７内でシ
リコーンチューブ５３を外し試料室ケース４９内をリー
クさせる。蓋４８、試料室ケース４９を取り外し、試料
４８を交換する。
【００２５】
【発明の効果】本発明の搬送用試料容器は上記のように
構成されており、気密性を保つことが出来る開閉もしく
は着脱可能な試料蓋が設けられた試料ホルダ、又は試料
室ケースに、分析試料が充填されるので、環境などによ
る試料の酸化や変質などの影響を受けることがない。
構成されており、気密性を保つことが出来る開閉もしく
は着脱可能な試料蓋が設けられた試料ホルダ、又は試料
室ケースに、分析試料が充填されるので、環境などによ
る試料の酸化や変質などの影響を受けることがない。
【００２６】そして、試料導入室の外部から試料蓋の開
閉を操作できるので、グローブボックスを単独で使用し
て、分析装置をコンパクトに構成することが出来る。さ
らに、試料蓋にリリーフ弁が、もしくは試料室ケースに
排気口とチェック弁が装着されているので、外圧が高い
ときには、試料ホルダの内部に、外部からガスが侵入す
ることがない。一方、外圧が低い時、例えば、試料ホル
ダの置かれている空間が真空の時、自動的にリリーフ
弁、もしくはチェック弁が働き内部が真空になる。従っ
て、試料が外部からのガスで汚染されることはない。
閉を操作できるので、グローブボックスを単独で使用し
て、分析装置をコンパクトに構成することが出来る。さ
らに、試料蓋にリリーフ弁が、もしくは試料室ケースに
排気口とチェック弁が装着されているので、外圧が高い
ときには、試料ホルダの内部に、外部からガスが侵入す
ることがない。一方、外圧が低い時、例えば、試料ホル
ダの置かれている空間が真空の時、自動的にリリーフ
弁、もしくはチェック弁が働き内部が真空になる。従っ
て、試料が外部からのガスで汚染されることはない。
【００２７】このように特定環境を保持する機構を設け
て、グローブボックスを単独で使用することができ、分
析装置全体がコンパクトになる。そして、改造部分を少
なくして、グローブボックスを連結しないので除振性能
が向上し、高倍率像による観察を容易にすることが出来
る。
て、グローブボックスを単独で使用することができ、分
析装置全体がコンパクトになる。そして、改造部分を少
なくして、グローブボックスを連結しないので除振性能
が向上し、高倍率像による観察を容易にすることが出来
る。
【図１】 本発明の搬送用試料容器の一実施例を示す図
である。
である。
【図２】 本発明の搬送用試料容器を示す図である。
【図３】 本発明の搬送用試料容器のグローブボックス
内の操作を説明するための図である。
内の操作を説明するための図である。
【図４】 本発明の搬送用試料容器を試料導入室に導入
する操作を説明するための図である。
する操作を説明するための図である。
【図５】 本発明の搬送用試料容器の他の実施例を示す
図である。
図である。
【図６】 従来の分析計における試料導入の手順を説明
するための図である。
するための図である。
１…導入棒 ２…フランジ ３…搬送用試料容器 ４…台 ５…フランジ ６…基台 ７…試料導入室 ８…ポンプ ９…バルブ １０…蓋 １１…試料台 １２…つまみ １３…ゲートバルブ １４…分析室 １５…電子銃 １６…検出器 １７…ガイド １８…ポンプ １９…バルブ ２０…ポンプ ２１…バルブ ２２…試料 ２３…Ｏリング ２４…Ｏリング ２５…リリーフ弁 ２６…着脱ネジ ２７…グローブボックス ２８…圧力計 ２９…グローブ ３０…バルブ ３１…ポンプ ３２…バルブ ３３…不活性ガス ３４…扉 ３５…蓋着脱ユニット ３６…着脱雄ネジ ３７…導入棒 ３８…試料導入室 ３９…バルブ ４０…ポンプ ４１…導入棒 ４２…グローブボ
ックス ４３…扉 ４４…ゲートバル
ブ ４５…蓋操作レバー ４６…蓋開放位置 ４７…蓋開放金具 ４８…蓋 ４９…試料室ケース ５０…試料ホルダ ５１…排気口 ５２…チェック弁 ５３…シリコンチューブ ５４…試料 ５５…基台 ５６…台 ５７…ガイド ５８…試料導入室
ックス ４３…扉 ４４…ゲートバル
ブ ４５…蓋操作レバー ４６…蓋開放位置 ４７…蓋開放金具 ４８…蓋 ４９…試料室ケース ５０…試料ホルダ ５１…排気口 ５２…チェック弁 ５３…シリコンチューブ ５４…試料 ５５…基台 ５６…台 ５７…ガイド ５８…試料導入室
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｔ Ｆターム(参考） 2G001 AA03 BA05 BA07 CA03 GA01 JA12 JA14 KA01 KA12 PA01 PA06 PA07 PA11 PA30 QA02 4M106 AA20 DJ31 5C001 AA01 AA08 CC05 DD01 5F031 EA12 EA14 EA20 MA33 NA05 NA09
Claims (2)
- 【請求項１】分析用試料を保持する試料ホルダと、その
試料ホルダに被せられ分析試料を大気と隔離して密閉し
試料ホルダを内置する試料導入室の外部から操作して開
閉もしくは着脱可能な試料蓋と、その試料蓋または試料
ホルダにリリーフ弁とを備えることを特徴とする搬送用
試料容器。 - 【請求項２】分析用試料を保持する試料ホルダと、その
試料ホルダを大気と隔離する試料室ケースと、試料室ケ
ースを内置する試料導入室の外部から操作して試料室ケ
ースに開閉もしくは着脱可能な密閉できる試料蓋と、試
料室ケース内のガスを排気する排気口と、排気停止によ
り閉じるチェック弁とを備えることを特徴とする搬送用
試料容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34002799A JP2001153760A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | 搬送用試料容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34002799A JP2001153760A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | 搬送用試料容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001153760A true JP2001153760A (ja) | 2001-06-08 |
Family
ID=18333052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34002799A Pending JP2001153760A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | 搬送用試料容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001153760A (ja) |
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-
1999
- 1999-11-30 JP JP34002799A patent/JP2001153760A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
| A977 | Report on retrieval |
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|
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|
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