JP2023054019A - Method for manufacturing plated component, and die used for molding of base material - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、メッキ部品の製造方法及びメッキ部品の基材の成形に用いられる金型に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing a plated part and a mold used for molding a base material of the plated part.
近年、射出成形体等の表面に電気回路を形成した立体回路成形部品は、ＭＩＤ（Ｍｏｌｄｅｄ Ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔ Ｄｅｖｉｃｅ）と呼称され、その応用範囲が急速に広まっている。ＭＩＤは、小型で複雑形状の成形体の表面に回路を形成できるため、電子部品の軽薄短小のトレンドに合致している。例えば、スマートフォンの筐体の表面にアンテナ等を形成した小型部品は中国で大量生産されている。また、自動車分野でもセンサーや照明部品へのＭＩＤの適用が欧州を中心に活発に検討されている。また、自動車には、現在、大量のケーブルハーネス（ワイヤーハーネス）が使用されている。このケーブルハーネスをＭＩＤに置き換えることにより、軽量化と組み立て工程数削減によるコストダウンが期待できる。 2. Description of the Related Art In recent years, a three-dimensional circuit-molded part in which an electric circuit is formed on the surface of an injection-molded article or the like is called MID (Molded Interconnect Device), and its application range is rapidly expanding. Since MID can form a circuit on the surface of a small, complicated-shaped molded body, it matches the trend of lightness, thinness, shortness and smallness of electronic parts. For example, small parts such as antennas formed on the surface of smartphone housings are mass-produced in China. Also, in the automotive field, the application of MID to sensors and lighting parts is being actively studied mainly in Europe. In addition, automobiles currently use a large amount of cable harnesses (wire harnesses). Replacing this cable harness with MID is expected to reduce costs by reducing the weight and the number of assembly processes.
樹脂成形体等の絶縁性基材の表面に配線パターン（電気回路）を形成する方法として、例えば、ＬＤＳ（Ｌａｓｅｒ Ｄｉｒｅｃｔ Ｓｔｒｕｃｔｕｒｉｎｇ）法が実用化されている（例えば、非特許文献１、特許文献１）。ＬＤＳ法では、まず、銅錯体を熱可塑性樹脂に練り込んで射出成形し、該銅錯体を含有した成形体表面にレーザー描画を行う。レーザー光照射により銅錯体が金属化して無電解銅メッキの触媒活性が発現し、レーザー描画部分の無電解メッキが可能となる。ＬＤＳ法は、複雑な形状の射出成形体の表面に回路を形成する立体回路成形部品（ＭＩＤ）の製造が可能であり、スマートフォンや自動車の製造において普及している。 As a method of forming a wiring pattern (electric circuit) on the surface of an insulating base material such as a resin molding, for example, an LDS (Laser Direct Structuring) method has been put into practical use (e.g., Non-Patent Document 1, Patent Document 1 ). In the LDS method, first, a copper complex is kneaded into a thermoplastic resin and injection-molded, and laser drawing is performed on the surface of a molded body containing the copper complex. The copper complex is metallized by laser light irradiation, and the catalytic activity of electroless copper plating is expressed, enabling electroless plating of the laser-drawn portion. The LDS method enables the production of three-dimensional circuit molded parts (MID) in which circuits are formed on the surface of an injection-molded body having a complicated shape, and is widely used in the production of smartphones and automobiles.
ＬＤＳ法のように触媒を成形体中に練り込む方法とは異なる方法も提案されている（例えば、特許文献２）。特許文献２には、短波長のフェムト秒レーザー光を用いて成形体表面に官能基を付与する方法が開示されている。成形体表面が極性基を有するので、メッキ膜との化学的な接着強度が発現する。 A method different from the method of kneading a catalyst into a shaped body like the LDS method has also been proposed (for example, Patent Document 2). Patent Literature 2 discloses a method of imparting functional groups to the surface of a molded article using short-wave femtosecond laser light. Since the surface of the molded body has polar groups, it develops chemical adhesive strength with the plating film.
以上説明したメッキ膜の形成方法では、レーザー光を照射した部分にのみにメッキ膜を選択的に形成する。このため、メッキパターンの変更が容易であるという利点を有する。 In the plating film forming method described above, the plating film is selectively formed only on the portion irradiated with the laser beam. Therefore, there is an advantage that the plating pattern can be easily changed.
しかし、レーザー光を用いる従来のメッキ膜の形成方法は、メッキ膜を形成する予定の所定領域全面にレーザー光を照射する必要がある。従来の方法は、レーザー光照射に伴う基材の加工時間が必要であるため、メッキ部品の製造時間が長くなるという課題を有して
いた。この課題は、大型のメッキ部品の場合、特に問題となる。
However, the conventional method of forming a plated film using a laser beam requires irradiating the entire surface of a predetermined region where the plated film is to be formed with the laser beam. The conventional method has a problem that the manufacturing time of the plated parts is long because the base material needs to be processed for laser light irradiation. This problem is particularly problematic in the case of large plated parts.
また、レーザー光を用いる従来のメッキ膜の形成方法は、レーザー照射部分のメッキ反応性を高めるため、比較的強いレーザー光を照射する必要がある。このため、レーザー光照射部分のみならず、その近傍のレーザー光非照射部分の温度も上昇させる。これにより、レーザー光非照射部分のメッキ反応性が向上してしまい、予定していない部分にメッキ膜が析出する虞があった。例えば、メッキ膜により配線間スペースの狭い回路パターンを形成する場合や、薄肉の基材の両面にメッキ膜により回路パターンを形成する場合、配線間や配線の裏面のレーザー光非照射部分に無電解メッキ膜が析出して、配線間の短絡が生じる虞がある。このように、従来のメッキ膜の形成方法は、メッキ膜有無のコントラストが十分に得られないという課題を有していた。 In addition, in the conventional method of forming a plating film using a laser beam, it is necessary to irradiate a relatively strong laser beam in order to increase the plating reactivity of the laser-irradiated portion. Therefore, the temperature of not only the laser beam irradiated portion but also the laser beam non-irradiated portion in the vicinity thereof is increased. As a result, the plating reactivity of the non-irradiated portion of the laser beam is improved, and there is a possibility that the plated film is deposited on an unintended portion. For example, when forming a circuit pattern with a narrow space between wirings with a plating film, or when forming a circuit pattern with a plating film on both sides of a thin base material, electroless plating is performed between the wirings and on the back surface of the wiring where the laser beam is not irradiated. A plated film may be deposited to cause a short circuit between wirings. As described above, the conventional method of forming a plated film has a problem that a sufficient contrast between the presence and absence of the plated film cannot be obtained.
本発明は、これらの課題を解決するものであり、メッキ部品の製造時間を短縮すると共に、所定領域以外の領域での無電解メッキ膜の析出を抑制し、所定領域のみに無電解メッキ膜を形成できるメッキ部品の製造方法を提供する。 The present invention solves these problems by shortening the manufacturing time of plated parts, suppressing the deposition of electroless plating film in areas other than the predetermined area, and depositing the electroless plating film only in the predetermined area. A method for manufacturing a formable plated component is provided.
本発明の第１の態様に従えば、メッキ部品の製造方法であって、その表面に粗面領域と、前記粗面領域以外の他の領域とを有する基材を用意することと、前記基材の表面に、触媒失活剤を含む触媒活性妨害層を形成することと、前記触媒活性妨害層を形成した前記基材の表面に、無電解メッキ触媒を付与することと、前記無電解メッキ触媒を付与した前記基材の表面に無電解メッキ液を接触させ、前記粗面領域に無電解メッキ膜を形成することとを含む、メッキ部品の製造方法が提供される。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a plated component, comprising preparing a base material having a roughened surface region on its surface and a region other than the roughened surface region; forming a catalytic activity hindering layer containing a catalyst deactivator on the surface of a material; applying an electroless plating catalyst to the surface of the base material on which the catalytic activity hindering layer is formed; A method of manufacturing a plated component is provided, comprising contacting an electroless plating solution to the surface of the base material to which the catalyst has been applied to form an electroless plating film on the rough surface region.
前記粗面領域の表面粗さが、前記他の領域の最大高さ粗さ（Ｒｚ）より大きくてもよく、前記粗面領域の表面粗さが、前記他の領域の表面粗さの１０倍以上であってもよい。前記粗面領域の表面粗さは、前記触媒活性妨害層の厚さよりも大きくてもよい。前記触媒活性妨害層の厚みは０．０１μｍ以上、且つ５μｍ以下であってもよい。 The surface roughness of the rough surface region may be greater than the maximum height roughness (Rz) of the other region, and the surface roughness of the rough surface region is 10 times the surface roughness of the other region. or more. A surface roughness of the rough surface region may be greater than a thickness of the catalytic activity hindering layer. The thickness of the catalytic activity impeding layer may be 0.01 μm or more and 5 μm or less.
前記基材を用意することが、前記基材の形状に対応するキャビティを有する金型を用いて、前記基材を成形することであり、前記キャビティを区画する前記金型の表面には、前記粗面領域に対応する凹凸構造が形成されており、前記基材を成形するとき、前記凹凸構造が前記基材の表面に転写されることにより、前記粗面領域が形成されてもよい。 Preparing the base material means molding the base material using a mold having a cavity corresponding to the shape of the base material, and the surface of the mold defining the cavity has the An uneven structure corresponding to the rough surface region may be formed, and the rough surface region may be formed by transferring the uneven structure to the surface of the base material when molding the base material.
前記基材の表面に前記触媒活性妨害層を形成した後、前記粗面領域の少なくとも一部を加熱又は光照射してもよい。前記基材の表面に前記触媒失活剤を付与した後、前記他の領域の一部、又は、前記粗面領域における前記他の領域との境界部を加熱又は光照射することを更に含み、前記粗面領域、及び前記加熱又は光照射した部分に、無電解メッキ膜が形成されてもよい。前記基材の表面に前記触媒活性妨害層を形成した後、前記他の領域の一部を加熱又は光照射することを含み、前記粗面領域と、前記加熱又は光照射した部分とは、接触しており、前記粗面領域から前記加熱又は光照射した部分にかけて連続した無電解メッキ膜が形成されてもよい。 After forming the catalytic activity hindering layer on the surface of the base material, at least part of the rough surface region may be heated or irradiated with light. After applying the catalyst deactivator to the surface of the base material, heating or irradiating a part of the other region, or a boundary portion with the other region in the rough surface region, An electroless plated film may be formed on the rough surface region and the heated or light-irradiated portion. After forming the catalytic activity hindering layer on the surface of the base material, heating or irradiating a part of the other region, wherein the rough surface region and the heated or light-irradiated part are in contact A continuous electroless plated film may be formed from the rough surface region to the heated or light-irradiated portion.
前記加熱又は光照射することが、レーザー光を照射することであってもよい。また、前記無電解メッキ膜が前記基材上で電気回路を形成してもよい。 The heating or light irradiation may be laser light irradiation. Also, the electroless plated film may form an electric circuit on the substrate.
本発明の第２の態様に従えば、基材の成形に用いられる金型であって、前記基材に対応するキャビティが内部に形成されており、前記キャビティを区画する面が、粗面領域と、前記粗面領域以外の他の領域とを有する、金型が提供される。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a mold used for molding a substrate, wherein a cavity corresponding to the substrate is formed inside, and a surface defining the cavity is a rough surface region. and a region other than the rough surface region.
本発明の製造方法は、メッキ部品の製造時間を短縮すると共に、所定領域以外での無電解メッキ膜の生成を抑制し、所定領域のみに無電解メッキ膜を形成する。 The manufacturing method of the present invention shortens the manufacturing time of a plated component, suppresses the formation of an electroless plated film in areas other than the predetermined area, and forms the electroless plated film only in the predetermined area.
［第１の実施形態］
図１に示すフローチャートに従って、図２（ａ）～（ｄ）に示す本実施形態のメッキ部品１００の製造方法について説明する。
[First embodiment]
A method for manufacturing the plated
（１）基材の準備
まず、基材１０を準備する（図１のステップＳ１、図２（ａ））。基材１０の材料は特に限定されないが、表面に無電解メッキ膜を形成する観点から絶縁体が好ましい。例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化樹脂及び光硬化性樹脂等の樹脂、セラミックス、ガラス等が挙げられる。中でも、製造の容易性等から、基材１０は、樹脂が主成分である樹脂基材が好ましい。また、基材１０は、金属部材と樹脂とをインサート成形等により一体成形した一体成形体であってもよい。また、基材１０は、セラミックス、ガラス等の本体に、樹脂をコーティングした基材（樹脂層を形成した基材）であってもよい。
(1) Preparation of Base Material First, the
熱可塑性樹脂としては、ナイロン６（ＰＡ６）、ナイロン６６（ＰＡ６６）、ナイロン１２（ＰＡ１２）、ナイロン１１（ＰＡ１１）、ナイロン６Ｔ（ＰＡ６Ｔ）、ナイロン９Ｔ（ＰＡ９Ｔ）、１０Ｔナイロン、１１Ｔナイロン、ナイロンＭＸＤ６（ＰＡＭＸＤ６）、ナイロン９Ｔ・６Ｔ共重合体、ナイロン６・６６共重合体等のポリアミドを用いることができる。ポリアミド以外の樹脂としては、ポリプロピレン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、アモルファスポリオレフィン、ポリエーテルイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ＡＢＳ系樹脂、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリアミドイミド、ポリ乳酸、ポリカプロラクトン等を用いることができる。 Thermoplastic resins include nylon 6 (PA6), nylon 66 (PA66), nylon 12 (PA12), nylon 11 (PA11), nylon 6T (PA6T), nylon 9T (PA9T), 10T nylon, 11T nylon, and nylon MXD6. Polyamides such as (PAMXD6), nylon 9T/6T copolymer, and nylon 6/66 copolymer can be used. Resins other than polyamide include polypropylene, polymethylmethacrylate, polycarbonate, amorphous polyolefin, polyetherimide, polyethylene terephthalate, polyetheretherketone, ABS resin, polyphenylene sulfide (PPS), polyamideimide, polylactic acid, polycaprolactone, and the like. can be used.
特に、ハンダリフロー耐性を有するメッキ部品を製造する場合には、耐熱性と成形性を兼ね備えた熱可塑性樹脂として、ナイロン６Ｔ（ＰＡ６Ｔ）、ナイロン９Ｔ（ＰＡ９Ｔ）、１０Ｔナイロン、１１Ｔナイロン、ナイロンＭＸＤ６（ＰＡＭＸＤ６）等の芳香族ナイロン及びこれらを含む共重合体が好ましい。そして、寸法安定性や剛性向上の観点から、これらの熱可塑性樹脂は、ガラスフィラーやミネラルフィラー等の無機フィラーが充填されてもよい。具体的には、ソルベイ アドバンスト ポリマーズ製のアモデル、クラレ製のジェネスタ、東洋紡製のバイロンアミド、三菱エンプラ東洋紡製のレニー等を用いることができる。また、メッキ部品にハンダリフロー耐性が要求されない場合には、汎用エンプラであるＡＢＳ樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）、ＡＢＳ樹脂とＰＣとのポリマーアロイ（ＡＢＳ／ＰＣ）等を用いることができる。 In particular, when manufacturing plated parts with solder reflow resistance, thermoplastic resins with both heat resistance and moldability include nylon 6T (PA6T), nylon 9T (PA9T), 10T nylon, 11T nylon, nylon MXD6 ( Aromatic nylons such as PAMXD6) and copolymers containing these are preferred. From the viewpoint of improving dimensional stability and rigidity, these thermoplastic resins may be filled with inorganic fillers such as glass fillers and mineral fillers. Specifically, Amodel manufactured by Solvay Advanced Polymers, Genestar manufactured by Kuraray, Vylonamide manufactured by Toyobo, Reny manufactured by Mitsubishi Engineering Plastics Toyobo, and the like can be used. If the plated parts are not required to have solder reflow resistance, general-purpose engineering plastics such as ABS resin, polycarbonate (PC), polymer alloy of ABS resin and PC (ABS/PC), and the like can be used.
熱硬化性樹脂としては、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂等を用いることができる。透明な熱硬化性樹脂を用いることで、透明でハンダリフロー耐性を有するデバイス（メッキ部品）を製造できる。光硬化性樹脂としては、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド等を用いることができる。また、セラミックスとしては、アルミナ、窒化アルミ、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、シリコンウエハ等を用いることができる。 A silicone resin, an epoxy resin, or the like can be used as the thermosetting resin. By using a transparent thermosetting resin, a device (plated part) that is transparent and has solder reflow resistance can be manufactured. Acrylic resin, silicone resin, epoxy resin, polyimide, or the like can be used as the photocurable resin. As ceramics, alumina, aluminum nitride, lead zirconate titanate (PZT), barium titanate, silicon wafers, and the like can be used.
基材１０は、市販品であってもよいし、市販の材料から成形等により製造してもよい。例えば、粉末射出成形方法により複雑形状のセラミックス基材１０を製造してもよい。また、市販の熱可塑性樹脂を所望の形状に成形して、樹脂成形体（基材１０）を得てもよい。熱可塑性樹脂の成形方法としては、汎用の射出成形方法、押出成形方法を用いることができる。樹脂成形体は、押出成形で製造するシート状の成形体であってもよい。また、基材１０は、光硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂を用いて３Ｄプリンタにより造形してもよい。３Ｄプリンタを用いると、複雑形状の基材１０が製造でき、この基材１０を用いて複雑形状のＭＩＤを製造できる。
The
図２（ａ）に示すように、基材１０は、その表面１０ａに粗面領域１０Ａと、粗面領域以外の他の領域１０Ｂとを有する。粗面領域１０Ａは、無電解メッキ膜を形成する予定の所定領域である。粗面領域１０Ａの表面粗さは、他の領域１０Ｂの表面粗さより大きい。ここで、「表面粗さ」とは、算術表面粗さ（Ｒａ）を意味する。粗面領域１０Ａの表面粗さ（Ｒａ）は、他の領域１０Ｂの最大高さ粗さ（Ｒｚ）より大きい方が好ましい。
As shown in FIG. 2(a), the
粗面領域１０Ａの表面粗さは、他の領域１０Ｂの表面粗さより大きければ特に限定されない。例えば、粗面領域１０Ａの表面粗さは、他の領域１０Ｂの表面粗さの２倍以上が好ましく、１０倍以上がより好ましい。これらの関係を満たす程度に粗面領域１０Ａの表面粗さと他の領域１０Ｂの表面粗さとの間に差があれば、粗面領域１０Ａにおいては無電解メッキ膜４０（図２（ｄ）参照）の形成をより促進でき、他の領域１０Ｂでは無電解メッキ膜４０の形成をより抑制できる。結果として、無電解メッキ膜４０の有無のコントラストをより明確にできる。
The surface roughness of the
詳細は後述するが、粗面領域１０Ａの表面粗さ及び他の領域１０Ｂの表面粗さは、触媒活性妨害層２０の厚さ等を考慮して決定してもよい。粗面領域１０Ａの表面粗さ及び他の領域１０Ｂの表面粗さは、例えば、光学的な測定方法、即ち、レーザー顕微鏡、マイクロスコープ等を用いた高さ測定、又は、触針粗度計を用いた高さ測定によって測定できる。
Although the details will be described later, the surface roughness of the
基材１０の粗面領域１０Ａの形成方法について、以下に説明する。樹脂を用いて基材１０を成形する場合、製造工程を簡便化でき、製造時間を短縮できることから、基材１０の成形と同時に粗面領域１０Ａを形成することが好ましい。例えば、次のように基材１０を成形する。まず、金型を用意する。金型は、基材１０の形状に対応するキャビティが内部に形成されている。キャビティを区画する表面の一部には、基材１０の粗面領域１０Ａに対応する凹凸構造（粗面領域）が形成されている。即ち、キャビティを区画する面は、粗面領域と、粗面領域以外の他の領域とを有する。この金型を用いて、樹脂を射出成形等することにより、金型の凹凸構造（粗面領域）及び他の領域が基材１０の表面１０ａにそれぞれ転写され、基材１０の成形と同時に粗面領域１０Ａ及び他の領域１０Ｂが形成される。
A method for forming the
基材１０の成形に用いる金型に凹凸構造（粗面領域）を形成する方法は、特に限定されず、任意の方法を用いることができる。例えば、機械切削、シボ加工（例えば、エッチング、サンドブラスト、研磨処理）、レーザー切削等により、金型のキャビティを区画する表面に、梨地、ヘアライン等の微細な凹凸を形成してもよい。また、金型のパーツの１つ
として、駒（入駒、入れ子）を用い、駒に凹凸構造を形成してもよい。この場合、金型全部を変更することなく、駒のみを変更することにより、凹凸構造の形状及び位置等を変更できる。即ち、駒のみの変更により、基材１０の粗面領域１０Ａの形状及び位置を変更できる。これにより、メッキ部材１００の設計の自由度が向上する。
The method of forming the concave-convex structure (rough surface region) in the mold used for molding the
また、基材１０の成形と同時に粗面領域１０Ａを形成する他の方法としては、一次成形体全面を粗化した後に、回路パターン以外の部分を二次成形二次成形によって被覆する方法が挙げられる（例えば、特許第４５３７９１１号公報）。
Another method of forming the roughened
また、粗面領域１０Ａは、以下の方法により形成してもよい。例えば、粗面領域１０Ａを有さない基材１０の表面をコーティング材料で塗布した後、その一部に凹凸状のスタンプで型押しして、粗面領域１０Ａを形成してもよい。または、インサート成形によって、予め一部を粗化して粗面領域１０Ａを形成したセラミックス部材と、樹脂とをインサート成形して一体成形体である基材１０を成形してもよい。
Moreover, you may form the rough surface area|
（２）触媒活性妨害層の形成
次に、基材１０の表面１０ａに、触媒失活剤を含む触媒活性妨害層２０を形成する（図１のステップＳ２、図２（ｂ））。
(2) Formation of Catalytic Activity Hindering Layer Next, a catalytic
触媒失活剤としては、無電解メッキ触媒が触媒能を発揮することを妨げ、結果として、無電解メッキの反応を抑制する物質であれば、任意の物質を用いることができる。触媒失活剤は、無電解メッキ触媒と直接反応して無電解メッキ触媒を被毒するか、又は無電解メッキ触媒と直接反応せずとも、触媒付与工程のいずれかの段階において、無電解メッキ触媒が触媒能を発揮することを妨げると推測される。 As the catalyst deactivator, any substance can be used as long as it prevents the electroless plating catalyst from exerting its catalytic activity and, as a result, suppresses the electroless plating reaction. The catalyst deactivator reacts directly with the electroless plating catalyst to poison the electroless plating catalyst, or even if it does not react directly with the electroless plating catalyst, the catalyst deactivator may be used in the electroless plating process at any stage of the catalyst application process. It is presumed that this prevents the catalyst from exhibiting its catalytic ability.
触媒活性妨害層２０は、例えば、触媒失活剤として、触媒活性を妨害する樹脂を用いて形成できる。触媒失活剤としては、側鎖にアミド基及びジチオカルバメート基を有するポリマーが好ましい。側鎖のアミド基及びジチオカルバメート基が無電解メッキ触媒となる金属イオンに作用し、触媒能を発揮することを妨げると推測される。また、触媒失活剤は、デンドリマー、ハイパーブランチポリマー等のデンドリティックポリマーが好ましい。触媒失活剤としては、例えば、特開２０１７‐１６０５１８号公報に開示されるポリマーを用いることができる。
The catalytic
触媒活性妨害層は、特開２０１７‐１６０５１８号公報に開示される方法により、樹脂部１０の表面に形成できる。例えば、まず、溶剤に触媒失活剤である樹脂を溶解又は分散させた溶液を調整する。その溶液を基材に塗布する、又は、その溶液に基材を浸漬することによって、触媒活性妨害層を形成してもよい。具体的な形成方法としては、ディップコート、スクリーンコート、スプレーコート等が挙げられる。
The catalytic activity hindrance layer can be formed on the surface of the
また、触媒失活剤としては、例えば、亜鉛（Ｚｎ）、鉛（Ｐｂ）、錫（Ｓｎ）、ビスマス（Ｂｉ）、アンチモン（Ｓｂ）等のメッキ触媒毒となる重金属及びその化合物、ヨウ素及びその化合物、過酸化物等の酸化剤等の特開２０１６－０２９２０９号公報に開示される触媒失活剤を用いて、触媒活性妨害層２０を形成してもよい。例えば、これらの触媒失活剤をバインダとなる樹脂と混合して基材１０表面に付与し、触媒活性妨害層２０を形成してもよい。または、触媒失活機能を有さない樹脂からなる樹脂層を基材１０上に形成し、形成した樹脂層に触媒失活剤を接触させてもよい。樹脂層に触媒失活剤が浸透、吸着等により担持され、触媒活性妨害層２０が形成される。樹脂層に触媒失活剤を担持させる場合、基材１０と比較して、樹脂層は触媒失活剤を吸着し易い材料であることが好ましい。例えば、触媒失活剤としてヨウ素を用い、基材１０がポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）から形成される場合、樹脂層には、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）よりもヨ
ウ素を担持し易い、例えば、ポリアミドやアミド基含有ポリマーを用いることが好ましい。これにより、樹脂層の厚さが薄い場合であっても、ヨウ素を基材１０（ＰＰＳ）に浸透させずに、樹脂層のみ担持させることができる。
Examples of catalyst deactivators include heavy metals such as zinc (Zn), lead (Pb), tin (Sn), bismuth (Bi), antimony (Sb) and their compounds, iodine and its compounds, which are poisonous to the plating catalyst. The catalytic
基材１０の表面１０ａにおいて、粗面領域１０Ａは表面粗さが大きいため、その上に触媒活性妨害層２０が均一に形成され難い。このため、粗面領域１０Ａは、触媒活性妨害層２０に完全に覆われない。粗面領域１０Ａ上の触媒活性妨害層２０には、粗面領域１０を露出させる欠陥２０ａが生じる。一方、他の領域１０Ｂは表面粗さが小さいため、その上に触媒活性妨害層２０が均一に形成され易い。このように、上に形成される触媒活性妨害層２０の均一性に差が生じるため、メッキ反応性にも差が生じる。粗面領域１０Ａはメッキ反応性が高くなり、他の領域１０Ｂはメッキ反応性が低くなる。この結果、粗面領域１０Ａのみに無電解メッキを形成できる。
On the
触媒活性妨害層は基材の耐熱性等の物性や誘電率等の電気特性に影響を与えないように、薄い方が好ましい。例えば、５μｍ以下が好ましく、１μｍ以下がより好ましく、０．３μｍ以下が更により好ましい。一方で、無電解メッキ触媒の触媒活性を妨害する観点からは、例えば、０．０１μｍ以上が好ましく、０．０３μｍ以上がより好ましく、０．０５μｍ以上が更により好ましい。尚、所定パターン以外での無電解メッキ膜の生成を抑制する観点から、妨害層は、後述する無電解メッキ工程において、少なくとも無電解メッキ液と接触する基材表面の領域に形成することが好ましく、基材の表面全面に形成することがより好ましい。 The catalytic activity hindering layer is preferably thin so as not to affect physical properties such as heat resistance and electrical properties such as dielectric constant of the substrate. For example, it is preferably 5 µm or less, more preferably 1 µm or less, and even more preferably 0.3 µm or less. On the other hand, from the viewpoint of interfering with the catalytic activity of the electroless plating catalyst, for example, it is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.03 μm or more, and even more preferably 0.05 μm or more. From the viewpoint of suppressing the formation of an electroless plating film in a pattern other than the predetermined pattern, it is preferable to form the interference layer at least in the area of the base material surface that comes into contact with the electroless plating solution in the electroless plating process described later. , is more preferably formed on the entire surface of the substrate.
粗面領域１０Ａ上に触媒活性妨害層２０の欠陥２０ａをより多く生じさせ、粗面領域１０Ａのメッキ反応性を向上させる観点からは、粗面領域１０Ａの表面粗さは、触媒活性妨害層２０の厚さより大きい方が好ましい。例えば、粗面領域１０Ａの表面粗さは、触媒活性妨害層２０の厚さの１０倍以上が好ましく、１００倍以上がより好ましい。例えば、触媒活性妨害層２０の厚みが０．１μｍである場合は、粗化領域１０Ａの表面粗さは、０．１μｍより大きいことが好ましく、１μｍ以上がより好ましく、１０μm以上がより好ま
しい。
From the viewpoint of generating
他の領域１０Ｂ上に触媒活性妨害層２０を均一に形成して、他の領域１０Ｂのメッキ反応性を低下させる観点からは、他の領域１０Ｂの表面粗さは、触媒活性妨害層２０の厚さに対して、大き過ぎない方がよい。例えば、他の領域１０Ｂの表面粗さの、触媒活性妨害層２０の厚さに対する比率は、１００以下が好ましく、１０以下がより好ましく、１以下が更によりに好ましい。例えば、触媒活性妨害層２０の厚みが０．１μｍである場合は、他の領域１０Ｂの表面粗さは、１０μｍ以下が好ましく、１μｍ以下がより好ましく、０．１μｍ以下が更により好ましい。
From the viewpoint of uniformly forming the catalytic
（３）無電解メッキ触媒の付与及び無電解メッキ
触媒活性妨害層２０を形成した基材１０の表面に、無電解メッキ触媒３０を付与し（図１のステップＳ３、図２（Ｃ））、次に、無電解メッキ液を接触させる。これにより、基材の表面の粗面領域１０Ａに無電解メッキ膜４０を形成する（図１のステップＳ４、図２（ｄ））。
(3) Application of Electroless Plating Catalyst and Electroless Plating An
無電解メッキ触媒３０は、特に限定されず、汎用のものを適宜選択して用いることができる。例えば、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｐｔ、Ｃｕ等の金属塩、金属微粒子、金属錯体、金属アルコキシド等を用いることができ、中でも、触媒活性が高いＰｄを含む無電解メッキ触媒が好ましい。
The
無電解メッキ触媒３０を基材表面１０ａに付与する方法は、特に限定されず、汎用の方
法を用いることができる。例えば、市販の無電解メッキ用触媒液を用いた汎用の方法、例えば、センシタイザー・アクチベータ法やキャタライザー・アクセラレータ法を用いてもよい。また、特開２０１７－０３６４８６号公報に開示されている塩化パラジウム等の金属塩を含むメッキ触媒液を用いてもよい。また、金属塩を含むメッキ触媒液として、市販のアクチベータ処理液を用いてもよい。金属塩を含むメッキ触媒液を基材表面１０ａに接触させることにより、金属塩由来の金属イオンを基材表面１０ａに付与できる。
The method of applying the
無電解メッキ液及び無電解メッキ方法は、特に限定されず、汎用の無電解メッキ液及び無電解メッキ方法を適宜選択して用いることができる。無電解メッキ液としては、無電解ニッケルメッキ液、無電解ニッケルリンメッキ液、無電解銅メッキ液、無電解パラジウムメッキ液等を用いることができる。中でも、以下の観点から、無電解ニッケルメッキ液（無電解ニッケルリンメッキ液）が好ましい。無電解ニッケルメッキ液は、メッキ液が安定である。また、無電解ニッケルメッキ液は、還元剤として次亜リン酸ナトリウムを含むため、無電解メッキ触媒（金属イオン）の還元効果が高い。尚、無電解メッキ膜４０の上に、更に、他の種類の無電解メッキ膜や電解メッキ膜を積層してもよい。
The electroless plating solution and electroless plating method are not particularly limited, and a general-purpose electroless plating solution and electroless plating method can be appropriately selected and used. As the electroless plating solution, an electroless nickel plating solution, an electroless nickel phosphorus plating solution, an electroless copper plating solution, an electroless palladium plating solution, or the like can be used. Among them, electroless nickel plating solution (electroless nickel phosphorus plating solution) is preferable from the following viewpoints. The electroless nickel plating solution is stable. In addition, since the electroless nickel plating solution contains sodium hypophosphite as a reducing agent, the effect of reducing the electroless plating catalyst (metal ions) is high. Incidentally, on the electroless plated
図２（ｃ）及び（ｄ）に示すように、基材の他の領域１０Ｂには触媒活性妨害層２０が均一に形成されている。触媒活性妨害層２０上に付与された無電解メッキ触媒３０は、触媒活性妨害層２０に含まれる触媒失活剤により触媒能を発揮できない。したがって、他の領域１０Ｂに無電解メッキ液が接触しても、無電解メッキ膜は形成されない。図２（ｃ）及び（ｄ）に、触媒能を有さない非活性な無電化メッキ触媒を非活性触媒３０ａとして、黒丸で模式的に示す。
As shown in FIGS. 2(c) and 2(d), a catalytic
一方、基材の粗面領域１０Ａには、触媒活性妨害層２０が均一に形成されず、欠陥２０ａが形成される。欠陥２０ａ上に付与された無電解メッキ触媒は、触媒能を維持する。図２（ｃ）及び（ｄ）に、触媒能を有する活性な無電解メッキ触媒を活性触媒３０ｂとして、白丸で模式的に示す。粗面領域１０Ａは、活性触媒３０ｂが存在するため、基材１０に無電解メッキ液を接触させると、無電解メッキ反応が生じる。粗面領域１０Ａには非活性触媒３０ａも存在するが、無電解メッキ反応は、一般的に、反応が生じている周辺ほど反応性が高まる。このため、粗面領域１０Ａの欠陥２０ａで無電解メッキ反応が進行すると、粗面領域１０Ａ内の非活性触媒３０ａが存在する領域でも無電解メッキ反応が生じて、無電解メッキ膜が析出する。そして、成長した無電解メッキ膜の自己触媒作用によって、更に無電解メッキ反応が進行する。結果として、粗面領域１０Ａ全体に無電解メッキ膜４０が形成される。
On the other hand, the catalytic
以上説明した本実施形態は、以下の効果を奏する。本実施形態の製造方法では、粗面領域１０Ａを有する基材１０を用い、基材１０の表面１０ａに触媒活性妨害層２０を形成する。これにより、基材１０にレーザー光を照射することなく、所定領域（粗面領域１０Ａ）のみに無電解メッキ膜を形成し、所定領域以外の領域（他の領域１０Ｂ）での無電解メッキ膜の生成を抑制する。即ち、メッキ部品１００の製造時間を短縮すると共に、無電解メッキ膜有無のコントラストが明確なメッキ部品１００を製造できる。
The embodiment described above has the following effects. In the manufacturing method of the present embodiment, the
本実施形態の製造方法は、大型のメッキ部品の製造において、特に有効である。レーザー光を用いる従来のメッキ膜の形成方法を用いた場合、大型のメッキ部品の製造時間は長くなる傾向にあるが、本実施形態の製造方法は、大型のメッキ部品の製造時間も短縮できる。また、レーザー光照射装置（レーザー描画装置）は、一般的にレーザー光を照射可能な面積が限られる。このため、大型のメッキ部品にレーザー光を照射する場合、基材を載置するステージを大型化するか、又は、基材を動かしながらレーザー光を照射する必要がある。ステージの大型化は、装置コストを上昇させる。基材を動かしながらのレーザー光照射は、レーザー光照射の位置合わせが必要となり、製造工程を煩雑にする。本実施形態
の製造方法は、基材へのレーザー光の照射が不要であるため、大型のメッキ部品であっても、装置コストを抑制でき、製造工程の効率化を図れる。
The manufacturing method of this embodiment is particularly effective in manufacturing large-sized plated parts. When a conventional plating film forming method using a laser beam is used, the manufacturing time of large plated parts tends to be long, but the manufacturing method of the present embodiment can also shorten the manufacturing time of large plated parts. Further, a laser beam irradiation device (laser drawing device) generally has a limited area that can be irradiated with a laser beam. Therefore, when irradiating a large-sized plated component with a laser beam, it is necessary to increase the size of the stage on which the substrate is placed, or to irradiate the laser beam while moving the substrate. An increase in the size of the stage raises the equipment cost. Laser light irradiation while moving the substrate requires alignment of the laser light irradiation, which complicates the manufacturing process. Since the manufacturing method of the present embodiment does not require the irradiation of the base material with a laser beam, it is possible to reduce equipment costs and improve the efficiency of the manufacturing process even for large-sized plated parts.
また、本実施形態の製造方法は、メッキ膜により回路パターン形成するメッキ部品（回路部品）、特に、配線間スペースの狭い回路パターンを有するメッキ部品、薄肉の基材の両面に回路パターンを形成するメッキ部品において有効である。本実施形態の製造方法は、無電解メッキ膜有無のコントラストが明確なため、配線間の短絡を防ぐことができる。 In addition, the manufacturing method of the present embodiment is a plated component (circuit component) in which a circuit pattern is formed by a plating film, particularly a plated component having a circuit pattern with a narrow inter-wiring space, and a circuit pattern is formed on both sides of a thin base material. Effective for plated parts. In the manufacturing method of the present embodiment, since the contrast between the presence and absence of the electroless plating film is clear, short circuits between wirings can be prevented.
また、レーザー光を用いる従来のメッキ膜の形成方法では、レーザー光の照射が難しい場所に無電解メッキ膜を形成することが難しかった。レーザー光の照射が難しい場所とは、例えば、基材に形成された凹部や貫通孔の内側、複数の突起が設けられた基材において突起の影となる部分等である。また、内部に空間が形成されている、箱形状や円柱形状の基材の場合、内部空間に通じる開口が設けられていたとしても、壁面が影となり、内部空間において、レーザー光が照射できない箇所が発生する場合がある。本実施形態では、レーザー光の照射が難しい場所にも粗面部１０Ａを形成でき、そこに無電解メッキ膜４０を形成できる。
In addition, it is difficult to form an electroless plating film in a place where it is difficult to irradiate a laser beam with the conventional method of forming a plating film using a laser beam. Locations that are difficult to irradiate with laser light include, for example, the inside of recesses and through holes formed in the substrate, and portions of the substrate provided with a plurality of projections that are shaded by the projections. In addition, in the case of a box-shaped or cylindrical base material with a space formed inside, even if an opening leading to the internal space is provided, the wall surface will be a shadow, and the internal space will not be irradiated with the laser beam. may occur. In this embodiment, the
以上説明した本実施形態の製造方法において、無電解メッキ膜４０は導電性を有していてもよい。また、無電解メッキ膜４０は、回路パターン（配線パターン、電気回路）を形成してもよく、メッキ部品１００は、回路部品、電子部品であってもよい。また、無電解メッキ膜４０の形成する回路パターンは、基材１０の一面のみに平面的に形成させてもよいし、基材１０の複数の面に亘って、又は球面等を含む立体形状の表面に沿って立体的に形成されてもよい。無電解メッキ膜４０の形成する回路パターンが基材の複数の面に亘って、又は球面等を含む立体形状の表面に沿って立体的に形成される場合、回路パターンは立体電気回路として機能し、このような回路パターンを有するメッキ部品は、立体回路成形部品（ＭＩＤ）として機能する。また、無電解メッキ膜４０は、アンテナパターンを形成してもよく、メッキ部品１００は、アンテナを有する電子部品であってもよい。
In the manufacturing method of this embodiment described above, the electroless plated
［第２の実施形態］
図３に示すフローチャートに従って、図４（ａ）～（ｅ）に示す本実施形態のメッキ部品２００の製造方法について説明する。本実施形態では、第１の実施形態と同様に、粗面領域１０Ａが、無電解メッキ膜を形成する予定の所定領域である。
[Second embodiment]
A method of manufacturing the plated
本実施形態は、基材１０の表面１０ａに触媒活性妨害層２０を形成した後、粗面領域１０Ａの少なくとも一部を加熱又は光照射する（図３のステップＳ５）。それ以外は、上述の第１の実施形態と同様の製造方法により、図４（ｅ）に示す、粗面領域１０Ａに選択的に無電解メッキ膜４０が形成されたメッキ部品２００を製造する。
In this embodiment, after the catalytic
本実施形態の製造方法は、粗面領域１０Ａと他の領域１０Ｂとを有する基材１０を用意することと（図３のステップＳ１、図４（ａ））、触媒活性妨害層２０を形成することと（図３のステップＳ２、図４（ｂ））、粗面領域１０Ａを加熱又は光照射することと（図３のステップＳ５、図４（ｃ））無電解メッキ触媒を付与することと（図３のステップＳ３、図４（ｄ））、無電解メッキ膜を形成すること（図３のステップＳ４、図４（ｅ））とをこの順に含む。以下に、粗面領域１０Ａを加熱又は光照射する工程（図３のステップＳ５、図４（ｃ））についてのみ説明する。
The manufacturing method of the present embodiment comprises preparing a
粗面領域１０Ａを加熱又は光照射する方法は、特に限定されず、例えば、レーザー光を照射する方法や、光を照射しない部分をマスクした後に、基材表面全体に光を照射する方法等が挙げられる。光を照射することにより、光が熱に変換され、粗面領域１０Ａは加熱される。また、光を照射せずに粗面領域１０Ａを加熱する方法としては、凸部を有する簡
易金型等で粗面領域１０Ａを直接、熱プレスする方法が挙げられる。作業の簡便性、加熱部分の選択性の観点から、レーザー光照射が好ましい。
The method of heating or irradiating the
レーザー光は、例えば、ＣＯ２レーザー、ＹＶＯ４レーザー、ＹＡＧレーザー、ＵＶレーザー等のレーザー装置を用いて照射でき、これらのレーザー装置は、基材の種類に応じて選択できる。例えば、基材がポリカーボネート（ＰＣ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂等の透明樹脂成形体である場合、ＣＯ２レーザー（炭酸ガスレーザー）のように透明樹脂成形体が吸収し易いレーザー光源を用いることが好ましい。また、触媒活性妨害層２０が紫外光を吸収する物質の場合は、ＵＶレーザーを用いると、基材の種類に関わらず触媒活性妨害層２０を除去できるため好ましい。
The laser beam can be irradiated using, for example, a laser device such as a CO2 laser, a YVO4 laser, a YAG laser, or a UV laser, and these laser devices can be selected according to the type of substrate. For example, if the base material is a transparent resin molded body such as polycarbonate (PC), polymethyl methacrylate (PMMA), silicone resin, epoxy resin, etc., the transparent resin molded body absorbs like a CO2 laser (carbon dioxide gas laser). It is preferable to use a laser light source that is easy to use. Further, when the catalytic
図４（ｂ）に示すように、粗面領域１０Ａを加熱又は光照射する前、粗面領域１０には欠陥２０ａと共に、触媒活性妨害層２０の一部が残存している。図４（ｂ）において、触媒活性妨害層の残存部分を残存部２０ｂとして、模式的に示す。粗面領域１０Ａを加熱又は光照射することにより、残存部２０ｂが加熱される。これにより、粗面領域１０における残存部２０ｂの一部又は全部を除去できる（図４（ｃ））。ここで、残存部２０ｂ（触媒活性妨害層２０）の除去とは、触媒活性妨害層が完全に消失する場合に加えて、触媒活性妨害層中の触媒失活剤が酸化、燃焼、又は変性し、触媒失活剤の機能を失うことも意味する。触媒活性妨害層の残存部２０ｂを除去することで、粗面領域１０Ａ上に付与される無電解メッキ触媒３０のうち、活性触媒３０ｂの割合が高くなる。したがって、粗面領域１０Ａのメッキ反応性が更に向上し、無電解メッキ膜有無のコントラストがより明確になる。本実施形態の製造方法は、例えば、無電解メッキ膜で形成された高精細な回路を有するメッキ部品（回路部品）の製造方法として特に有効である。
As shown in FIG. 4(b), before the roughened
本実施形態は、上述のように、例えば、レーザー光を照射して粗面領域１０Ａの少なくとも一部を加熱する。このため、レーザー光の照射を行わない第１の実施形態と比較して、メッキ部品２００の製造時間はやや長くなる傾向がある。しかし、粗面領域１０Ａ上に存在する触媒活性妨害層は残存部２０ｂのみであり、その量は比較的少ない。したがって、比較的低い熱又は光のエネルギーで粗面領域１０Ａ上の残存部２０ｂを除去でき、レーザー光照射スピートの高速化、レーザー光の低エネルギー化が可能となる。これにより、レーザー光を照射する工程を有するにもかかわらず、本実施形態の製造方法は、レーザー光を用いる従来のメッキ膜の形成方法を用いた場合と比較して、以下の効果を奏する。本実施形態の製造方法は、メッキ部品２００の製造時間を短縮できる。更に、レーザー光非照射部分の温度上昇を抑制できるため、無電解メッキ膜の有無のコントラストが明確となる。
In this embodiment, as described above, for example, laser light is applied to heat at least a portion of the
尚、レーザー光の照射等により、加熱又は光照射する範囲は、粗面領域１０Ａの全部でもよいし、一部のみでもよい。熱又は光照射する範囲が、粗面領域１０Ａの一部であれば、メッキ部品２００の製造時間を更に短縮できる。例えば、他の領域１０Ｂとの境界部のみを加熱又は光照射してもよい。他の領域１０Ｂとの境界部のメッキ反応性を向上させることにより、無電解メッキ膜の有無のコントラストをより明確にできる。
The range to be heated or irradiated with laser light or the like may be the entire
［第３の実施形態］
図３に示すフローチャートに従って、図５（ａ）～（ｅ）に示す本実施形態のメッキ部品３００の製造方法について説明する。
[Third embodiment]
A method of manufacturing the plated
上述の第２の実施形態では、基材１０の表面１０ａに触媒活性妨害層２０を形成した後、粗面領域１０Ａの少なくとも一部を加熱又は光照射するが（図４（ｃ））、本実施形態では、他の領域１０Ｂの一部を加熱又は光照射する（図５（ｃ））。それ以外は、上述の第１の実施形態と同様の製造方法により、図５（ｅ）に示す、粗面領域１０Ａ、並びに、
加熱又は光照射した部分１０Ｃ（以下、「光照射部分１０Ｃ」と記載する）に選択的に無電解メッキ膜４０が形成されたメッキ部品３００を製造する。本実施形態では、粗面領域１０Ａ及び光照射部分１０Ｃが、無電解メッキ膜を形成する予定の所定領域である。
In the second embodiment described above, after the catalytic
A plated
本実施形態の製造方法は、粗面領域１０Ａと他の領域１０Ｂとを有する基材１０を用意することと（図３のステップＳ１、図５（ａ））、触媒活性妨害層２０を形成することと（図３のステップＳ２、図５（ｂ））、他の領域１０Ｂを加熱又は光照射することと（図３のステップＳ５、図５（ｃ））無電解メッキ触媒を付与することと（図３のステップＳ３、図５ｄ））、無電解メッキ膜を形成すること（図３のステップＳ４、図５（ｅ））とをこの順に含む。以下に、他の領域１０Ｂを加熱又は光照射する工程（図３のステップＳ５、図５（ｃ））についてのみ説明する。
The manufacturing method of the present embodiment comprises preparing a
他の領域１０Ｂを加熱又は光照射する方法は、特に限定されず、第２の実施形態と同様の方法を用いることができる。他の領域１０Ｂの一部を加熱又は光照射することにより、光照射部分１０Ｃにおける触媒活性妨害層２０を除去できる（図５（ｃ））。
A method for heating or irradiating the
光照射部分１０Ｃに付与された無電解メッキ触媒３０は、触媒活性妨害層２０と接触しないため、触媒能を維持する（活性触媒３０ｂ）。無電解メッキ液を接触させることにより、粗面領域１０Ａに加えて、光照射部分１０Ｃにも無電解メッキ膜４０を形成できる。
The
本実施形態では、粗面領域１０Ａに加えて、光照射部分１０Ｃにも無電解メッキ膜４０を形成できるため、メッキパターンの変更（メッキ膜の追加）が容易にでき、設計の自由度が向上する。一方で、本実施形態は、例えば、レーザー光を照射して他の領域１０Ｂの一部を加熱又は光照射する。このため、レーザー光の照射を行わない第１の実施形態と比較して、メッキ部品３００の製造時間はやや長くなる傾向がある。また、本実施形態では、他の領域１０Ｂ上の触媒活性妨害層２０を除去するため、第２の実施形態よりも、高いエネルギーの熱又は光を基材１０に加える必要がある。したがって、本実施形態では、第２の実施形態と比較して、光照射部分１０Ｃの周囲のレーザー光非照射部分の温度を上昇させる傾向にある。しかし、本実施形態のメッキ膜を形成する予定の所定領域は、粗面領域１０Ａと光照射部分１０Ｃとを組み合わせて形成する。レーザー光を照射するのは、所定領域の一部である光照射部分１０Ｃのみである。したがって、本実施形態の製造方法は、所定領域全面にレーザー光を照射する必要がある従来のメッキ膜の形成方法を用いた場合と比較して、以下の効果を奏する。本実施形態の製造方法は、メッキ部品３００の製造時間を短縮できる。更に、レーザー光非照射部分の温度上昇を抑制できるため、無電解メッキ膜の有無のコントラストが明確となる。
In this embodiment, since the
また、基材の表面１０ａにおいて、粗面領域１０Ａと、光照射部分１０Ｃとは、接触していてもよい。この場合、粗面領域１０Ａから光照射部分１０Ｃにかけて連続した無電解メッキ膜を形成できる。例えば、粗面領域１０Ａと、光照射部分１０Ｃとに、それぞれ、別々の回路を無電解メッキ膜で形成する場合、これらの別々の回路を連続した回路とすることができる。
Moreover, on the
本実施形態は、例えば、メッキ膜が回路パターンを形成する回路部品において、固定化された回路パターンと、設計自由度を必要とする回路パターンとが混在する場合に、特に有効である。固定化された回路パターンを粗面領域１０Ａにより形成し、設計自由度を必要とする回路パターンを光照射部分１０Ｃにより形成する。レーザー光の照射は、光照射部分１０Ｃにのみ行うため、所定領域全面にレーザー光を照射する必要がある従来のメッキ膜の形成方法を用いる場合と比較して、回路部品の製造時間を短縮できる。
This embodiment is particularly effective, for example, in the case of a circuit component in which a plated film forms a circuit pattern, in which a fixed circuit pattern and a circuit pattern requiring a degree of design freedom coexist. A fixed circuit pattern is formed by the
また、本実施形態は、例えば、メッキ膜が回路パターンを形成する回路部品において、
無電解メッキ膜上に電解メッキを積層した回路パターンを形成する場合にも有効である。電解メッキ用の電極取出部分を粗面領域１０Ａにより形成し、回路パターンを光照射部分１０Ｃにより形成する。電解メッキ膜を形成する場合、基材１０を冶具に固定してメッキ浴に入れる必要がある。同一の冶具を使用する限り、基材における電解メッキ用の電極取出部分の位置は固定化される。このため、電解メッキ用の電極取出部分は、粗面領域１０Ａとして基材上に設けることが適している。一方で、回路パターンを光照射部１０Ｃとすることで、回路設計の自由度が向上する。
Further, in the present embodiment, for example, in a circuit component in which a plating film forms a circuit pattern,
It is also effective when forming a circuit pattern in which electrolytic plating is laminated on an electroless plating film. An electrode extraction portion for electrolytic plating is formed by the
尚、本実施形態（第３の実施形態）の製造方法は、第２の実施形態の製造方法と組み合わせて実施してもよい。即ち、基材１０の表面１０ａに触媒活性妨害層２０を形成した後、粗面領域１０Ａの少なくとも一部と、他の領域１０Ｂの一部との両方を加熱又は光照射してもよい。
The manufacturing method of this embodiment (third embodiment) may be combined with the manufacturing method of the second embodiment. That is, after the catalytic
以下、実施例及び比較例により本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例及び比較例により制限されない。 EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples and comparative examples.
以下に説明する実施例１～２及び比較例１～２では、平板の基材の一方の面の全面が、無電解メッキ膜を形成する予定の所定領域である。 In Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2, which will be described below, the entire surface of one surface of the flat substrate is the predetermined area on which the electroless plating film is to be formed.
[実施例１]
本実施例では、平板の一方の面の全面が粗面領域１０Ａであり、それに対向する他方の面の全面が他の領域１０Ｂである基材を用いて、粗面領域１０Ａのみに無電解メッキ膜４０が形成された図２（ｄ）に示すメッキ部品１００を製造した。
[Example 1]
In this embodiment, using a base material in which the entire surface of one surface of the flat plate is the
（１）基材（樹脂成形体）の成形
キャビティを形成する一方の面に表面粗さ（Ｒａ）３μｍの凹凸構造を有し、一方の面に対向する他方の面が鏡面加工（Ｒａ：０．１μｍ）されている金型を用意した。汎用の射出成形機を用いて、ナイロン６（ＵＢＥ製１０１５ＧＣ９）を金型のキャビティ内に射出充填して、５０ｃｍ×８０ｃｍ×０．２ｃｍの平板の基材を成形した。金型の凹凸構造が、基材表面に転写されることにより、基材の成形と同時に、基材の一方の面に表面粗さ（Ｒａ）３μｍの粗面領域を形成した。基材の他方の面のＲａは０．１μｍ、最大高さ粗さ（Ｒｚ）は１μｍであった。基材の表面粗さは、レーザー顕微鏡（キーエンス製、ＶＫ９７００、２０倍対物レンズ）を用いて測定した。
(1) Molding of base material (resin molded body) One surface forming a cavity has an uneven structure with a surface roughness (Ra) of 3 μm, and the other surface opposite to the one surface is mirror-finished (Ra: 0 .1 μm) was prepared. Using a general-purpose injection molding machine, nylon 6 (1015GC9 manufactured by UBE) was injected and filled into the cavity of the mold to mold a flat substrate of 50 cm x 80 cm x 0.2 cm. By transferring the concave-convex structure of the mold to the surface of the base material, a rough surface area having a surface roughness (Ra) of 3 μm was formed on one surface of the base material simultaneously with the molding of the base material. The Ra of the other surface of the substrate was 0.1 μm, and the maximum height roughness (Rz) was 1 μm. The surface roughness of the substrate was measured using a laser microscope (manufactured by Keyence, VK9700, 20x objective lens).
（２）触媒活性妨害層の形成
基材の表面に、触媒失活剤である下記式（１）で表されるハイパーブランチポリマーを含む触媒活性妨害層を形成した。下記式（１）で表されるハイパーブランチポリマーは、特開２０１７‐１６０５１８号公報に開示される方法により合成した。
(2) Formation of Catalytic Activity Hindering Layer A catalytic activity hindering layer containing a hyperbranched polymer represented by the following formula (1) as a catalyst deactivator was formed on the surface of the substrate. A hyperbranched polymer represented by the following formula (1) was synthesized by the method disclosed in JP-A-2017-160518.
合成した式（１）で表されるポリマーをメチルエチルケトンに溶解して、ポリマー濃度０．３重量％のポリマー溶液を調製した。室温のポリマー溶液に、基材を１秒間浸漬して引き上げ、その後、８５℃乾燥機中で５分間乾燥した。これにより、基材の表面に厚さ６０ｎｍの触媒活性妨害層が形成された。 A polymer solution having a polymer concentration of 0.3% by weight was prepared by dissolving the synthesized polymer represented by formula (1) in methyl ethyl ketone. The substrate was immersed in the polymer solution at room temperature for 1 second, pulled out, and then dried in an 85° C. dryer for 5 minutes. As a result, a catalytic activity hindering layer with a thickness of 60 nm was formed on the surface of the substrate.
（３）無電解メッキ触媒の付与
まず、５０℃の水に基材を５分間浸漬し、基材を温めた。次に、３０℃に調整した市販の塩化パラジウム（ＰｄＣｌ２）水溶液（奥野製薬工業製、アクチベータ）に基材を１分間浸漬した。その後、基材を塩化パラジウム水溶液から取り出し、水洗した。
(3) Application of Electroless Plating Catalyst First, the substrate was immersed in water at 50° C. for 5 minutes to warm the substrate. Next, the substrate was immersed in a commercially available palladium chloride (PdCl 2 ) aqueous solution (manufactured by Okuno Chemical Industry Co., Ltd., Activator) adjusted to 30° C. for 1 minute. After that, the substrate was taken out from the palladium chloride aqueous solution and washed with water.
（４）無電解メッキ
６５℃に調整した無電解ニッケルリンメッキ液（奥野製薬工業製、トップニコロンＬＴＮ）に、基材を１０分間浸漬した。これにより、基材の一方の面（粗面領域）にニッケルリン膜（無電解ニッケルリンメッキ膜）が約１μｍ成長し、本実施例のメッキ部品を得た。
(4) Electroless Plating The base material was immersed in an electroless nickel phosphorus plating solution (manufactured by Okuno Chemical Industry Co., Ltd., Top Nicolon LTN) adjusted to 65° C. for 10 minutes. As a result, a nickel phosphorous film (electroless nickel phosphorous plating film) was grown to a thickness of about 1 μm on one surface (rough surface area) of the substrate, and the plated component of this example was obtained.
[実施例２]
本実施例では、基材の粗面領域の表面粗さ（Ｒａ）を２０μｍ、他の領域の表面粗さ（Ｒａ）を１μｍとし、触媒活性妨害層の厚さを３００ｎｍとした。それ以外は、実施例１と同様の方法によって、図２（ｄ）に示す、粗面領域１０Ａのみに無電解メッキ膜４０が形成されたメッキ部品１００を製造した。尚、本実施例の基材の成形には、キャビティを形成する一方の面に表面粗さ（Ｒａ）２０μｍの凹凸構造を有し、一方の面に対向する他方の面の表面粗さ（Ｒａ）が１μｍである金型を用いた。また、触媒活性妨害層の形成に用いたポリマー溶液中のポリマー濃度は２．５重量％とした。基材の他方の面の最大高さ粗さ（Ｒｚ）は３μｍであった。
[Example 2]
In this example, the surface roughness (Ra) of the rough surface region of the substrate was set to 20 μm, the surface roughness (Ra) of the other regions was set to 1 μm, and the thickness of the catalytic activity hindering layer was set to 300 nm. Otherwise, the same method as in Example 1 was used to manufacture a plated
[比較例１]
本比較例では、基材が粗面領域を有さないこと以外は、実施例１と同様の方法によりメッキ部品を製造した。本比較例の基材の成形には、キャビティを形成する全ての面が鏡面加工（Ｒａ：０．１μｍ）されている金型を用いた。したがって、基材の表面粗さ（Ｒａ）は、０．１μｍであった。
[Comparative Example 1]
In this comparative example, a plated component was manufactured in the same manner as in Example 1, except that the base material did not have a rough surface region. For molding the base material of this comparative example, a mold was used in which all surfaces forming a cavity were mirror-finished (Ra: 0.1 μm). Therefore, the surface roughness (Ra) of the substrate was 0.1 μm.
[比較例２]
本比較例では、比較例１と同様に粗面領域を有さない基材を用いた。また、基材の表面に触媒活性妨害層を形成した後、平板である基材の一方の面の全面にレーザー光を照射し
た。それ以外は実施例１と同様の方法により、本比較例のメッキ部品を製造した。
[Comparative Example 2]
In this comparative example, as in comparative example 1, a substrate having no rough surface region was used. Moreover, after forming the catalytic activity hindering layer on the surface of the base material, the whole surface of one surface of the flat base material was irradiated with a laser beam. A plated component of this comparative example was manufactured in the same manner as in Example 1 except for the above.
（１）基材（樹脂成形体）の成形、及び触媒活性妨害層の形成
比較例１と同様の方法により、粗面領域を有さない基材を成形した。したがって、基材の表面粗さ（Ｒａ）は、０．１μｍであった。次に、実施例１と同様の方法により、基材の表面に厚さ６０ｎｍの触媒活性妨害層を形成した。
(1) Molding of Substrate (Resin Molded Body) and Formation of Catalytic Activity Hindering Layer By the same method as in Comparative Example 1, a substrate having no rough surface region was molded. Therefore, the surface roughness (Ra) of the substrate was 0.1 μm. Next, in the same manner as in Example 1, a catalytic activity hindrance layer having a thickness of 60 nm was formed on the surface of the substrate.
（２）レーザー光照射
レーザー描画装置（キーエンス製、ＭＤ－Ｖ９９２９ＷＡ、ＹＶＯ４レーザー、波長１０６４ｎｍ）を用いて、平板である基材の一方の面の全面を０．１ｍｍピッチの格子状にレーザー描画した。レーザー描画は、描画速度１２００ｍｍ／ｓｅｃ、周波数５０ｋＨｚ、パワー６０％で行った。レーザー描画に伴う加工時間は、８０秒であった。レーザー描画後、レーザー描画によって基材から飛散した樹脂粒子を除去するため、３０℃の脱脂剤（奥野製薬工業社製、ＩＰＣクリーンＨＡＣ）に５分間浸漬した。
(2) Laser light irradiation Using a laser drawing device (manufactured by Keyence, MD-V9929WA, YVO 4 laser, wavelength 1064 nm), the entire surface of one surface of the flat substrate is laser drawn in a grid pattern with a pitch of 0.1 mm. bottom. Laser drawing was performed at a drawing speed of 1200 mm/sec, a frequency of 50 kHz, and a power of 60%. The processing time associated with laser drawing was 80 seconds. After laser drawing, the substrate was immersed in a 30° C. degreasing agent (IPC Clean HAC, manufactured by Okuno Chemical Industry Co., Ltd.) for 5 minutes in order to remove resin particles scattered from the base material by laser drawing.
（３）無電解メッキ触媒の付与、及び無電解メッキ
実施例１と同様の方法により、基材に無電解メッキ触媒を付与し、その後、無電解メッキ膜を形成した。
(3) Application of Electroless Plating Catalyst and Electroless Plating By the same method as in Example 1, an electroless plating catalyst was applied to the substrate, and then an electroless plating film was formed.
［無電解メッキ膜析出性の評価］
実施例１～２及び比較例１～２で作製したメッキ部品を目視で観察し、以下の評価基準に基づいて無電解メッキ膜の析出性について評価した。
[Evaluation of electroless plating film deposition property]
The plated parts produced in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 were visually observed, and the depositability of the electroless plated film was evaluated based on the following evaluation criteria.
＜評価１：基材の一方の面の評価＞
○：全体に無電解メッキ膜が析出している。
×：少なくとも一部に、無電解メッキ膜が析出していない。
＜評価２：基材の他方の面の評価＞
○：無電解メッキ膜が析出していない。
×：少なくとも一部に、無電解メッキ膜が析出している。
＜総合評価＞
○：評価１～２の評価結果がどちらも良好（○）である。
×：評価１～２の評価結果がどちらかが不良（×）である。
<Evaluation 1: Evaluation of one side of the substrate>
◯: An electroless plated film is deposited on the entire surface.
x: Electroless plated film is not deposited on at least a part.
<Evaluation 2: Evaluation of the other surface of the substrate>
◯: No electroless plating film was deposited.
x: An electroless plated film is deposited on at least a part of the film.
<Comprehensive evaluation>
◯: The evaluation results of evaluations 1 and 2 are both good (◯).
x: One of the evaluation results of evaluations 1 and 2 is defective (x).
表１に、実施例１～２及び比較例１～２における、基材の表面粗さ、最大高さ粗さ、触媒活性妨害層の厚さ、レーザー描画速度、レーザー光照射に伴う基材の加工時間、及び無電解メッキ膜析出性の評価結果を示す。 Table 1 shows the surface roughness of the substrate, the maximum height roughness, the thickness of the catalytic activity hindering layer, the laser drawing speed, and the substrate with laser light irradiation in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2. Processing time and evaluation results of electroless plating film deposition properties are shown.
表１に示す実施例１～２は、基材の一方の面の全面（粗面領域１０Ａ）のみに無電解メッキ膜が析出し（無電解メッキ膜が形成され）、無電解メッキ膜析出性の総合評価は良好であった。また、基材にレーザー光を照射しないため、その分、メッキ部品の製造時間を短縮できた。
In Examples 1 and 2 shown in Table 1, an electroless plating film was deposited only on the entire surface of one surface of the substrate (
一方、粗面領域を有さない比較例１では基材に無電解メッキ膜が形成されなかった。比較例１では、基材の全面に触媒活性妨害層が形成されている。これにより、基材に付与された無電解メッキ触媒が非活性化され、基材上で無電解メッキ反応が生じなかったと推測される。また、基材の一方の面の全面にレーザー光を照射した比較例２では、レーザー光の照射により触媒活性妨害層が除去されたため、基材の一方の面に無電解メッキ膜が形成された。しかし、レーザー光照射に伴う基材の加工時間が発生し、その分、メッキ部品の製造時間が長くなった。更に、レーザー光を照射していない他方の面にも無電解メッキ膜が析出してしまった。これは、一方の面のレーザー光照射により、他方の面上の触媒活性妨害層が熱変性したためだと推測される。熱変性した触媒活性妨害層上に付与された無電解メッキ触媒は活性が維持され、無電解メッキ反応が生じたと推測される。 On the other hand, in Comparative Example 1, which does not have a rough surface region, no electroless plating film was formed on the substrate. In Comparative Example 1, a catalytic activity hindering layer was formed on the entire surface of the substrate. It is presumed that this deactivated the electroless plating catalyst applied to the base material and did not cause an electroless plating reaction on the base material. In addition, in Comparative Example 2 in which the entire surface of one surface of the base material was irradiated with laser light, the catalytic activity hindering layer was removed by the irradiation with laser light, so that an electroless plating film was formed on one surface of the base material. . However, the processing time of the base material due to the laser beam irradiation was generated, and the manufacturing time of the plated parts was lengthened accordingly. Furthermore, an electroless plated film was also deposited on the other surface which was not irradiated with the laser beam. It is presumed that this is because the catalytic activity hindering layer on the other side was thermally denatured by laser light irradiation on one side. It is presumed that the electroless plating catalyst applied on the thermally denatured catalytic activity hindering layer maintained its activity and caused the electroless plating reaction.
以下に説明する実施例３～４及び比較例３～４では、平板の基材の一方の面の全面、及び他方の面の一部（パターン１）が、無電解メッキ膜を形成する予定の所定領域である。 In Examples 3 and 4 and Comparative Examples 3 and 4 described below, the entire surface of one surface of the flat substrate and a part of the other surface (pattern 1) are intended to form an electroless plating film. It is a predetermined area.
[実施例３]
本実施例では、基材の表面に触媒活性妨害層を形成した後、平板である基材の他方の面の一部（パターン１）にレーザー光を照射し、光照射部分１０Ｃを形成した（図５（ｃ）参照）。それ以外は実施例１と同様の方法により、図５（ｅ）に示す、粗面領域１０Ａと光照射部４０Ｃのみに無電解メッキ膜４０が形成されたメッキ部品３００を製造した。
[Example 3]
In this example, after forming a catalytic activity hindering layer on the surface of the base material, a part (pattern 1) of the other surface of the flat base material was irradiated with a laser beam to form a light-irradiated
（１）基材（樹脂成形体）の成形、及び触媒活性妨害層の形成
実施例１と同様の方法により、一方の面の全面が粗面領域（Ｒａ：３μｍ）であり、それに対向する他方の面の全面が他の領域（Ｒａ：０．１μｍ、Ｒｚ：１μｍ）である基材
を成形した。次に、実施例１と同様の方法により、基材の表面に厚さ６０ｎｍの触媒活性妨害層を形成した。
(1) Molding of Base Material (Resin Molded Body) and Formation of Catalytic Activity Hindering Layer By the same method as in Example 1, the entire surface of one surface is a rough surface area (Ra: 3 μm), and the other A base material was molded in which the entire surface of the surface of . Next, in the same manner as in Example 1, a catalytic activity hindrance layer having a thickness of 60 nm was formed on the surface of the substrate.
（２）レーザー光照射
比較例２で用いたレーザー描画装置を用いて、平板である基材の他方の面において、パターン１内を０．１ｍｍピッチの格子状にレーザー描画した。パターン１は、幅０．５ｍｍ、長さ５０ｍｍの細線３本をライン間スペース０．５ｍｍで並べたパターンである。レーザー描画は、描画速度１２００ｍｍ／ｓｅｃ、周波数５０ｋＨｚ、パワー６０％で行った。レーザー描画に伴う加工時間は、１０秒であった。レーザー光照射後、レーザー光照射によって基材から飛散した樹脂粒子を除去するため、３０℃の脱脂剤（奥野製薬工業社製、ＩＰＣクリーンＨＡＣ）に５分間浸漬した。
(2) Laser Light Irradiation Using the laser drawing apparatus used in Comparative Example 2, the inside of the pattern 1 was laser-drawn in a grid pattern with a pitch of 0.1 mm on the other surface of the substrate, which is a flat plate. Pattern 1 is a pattern in which three fine lines each having a width of 0.5 mm and a length of 50 mm are arranged with an inter-line space of 0.5 mm. Laser drawing was performed at a drawing speed of 1200 mm/sec, a frequency of 50 kHz, and a power of 60%. The processing time associated with laser drawing was 10 seconds. After the laser beam irradiation, the substrate was immersed in a 30° C. degreasing agent (IPC Clean HAC manufactured by Okuno Chemical Industry Co., Ltd.) for 5 minutes in order to remove the resin particles scattered from the base material due to the laser beam irradiation.
（３）無電解メッキ触媒の付与、及び無電解メッキ
実施例１と同様の方法により、基材に無電解メッキ触媒を付与し、その後、無電解メッキ膜を形成した。
(3) Application of Electroless Plating Catalyst and Electroless Plating By the same method as in Example 1, an electroless plating catalyst was applied to the substrate, and then an electroless plating film was formed.
[実施例４]
本実施例では、基材の粗面領域の表面粗さ（Ｒａ）を２０μｍ、他の領域の表面粗さ（Ｒａ）を１μｍ、触媒活性妨害層の厚さを３００ｎｍとした。それ以外は、実施例３と同様の方法によって、図５（ｅ）に示す、粗面領域１０Ａと光照射部４０Ｃのみに無電解メッキ膜４０が形成されたメッキ部品３００を製造した。尚、本実施例の基材は、第２の実施例に用いた金型を用いて成形し、触媒活性妨害層の形成に用いたポリマー溶液中のポリマー濃度は２.５重量％とした。また、基材の他方の面の最大高さ粗さ（Ｒｚ）は３μｍ
であった。
[Example 4]
In this example, the surface roughness (Ra) of the rough surface region of the substrate was set to 20 μm, the surface roughness (Ra) of the other regions was set to 1 μm, and the thickness of the catalytic activity hindering layer was set to 300 nm. Otherwise, the same method as in Example 3 was used to manufacture a plated
Met.
[比較例３]
本比較例では、比較例１と同様に粗面領域を有さない基材を用いた。また、基材の表面に触媒活性妨害層を形成した後、平板である基材の一方の面の全面、及び他方の面の一部（パターン１）にレーザー光を照射した。それ以外は実施例１と同様の方法により、本比較例のメッキ部品を製造した。
[Comparative Example 3]
In this comparative example, as in comparative example 1, a substrate having no rough surface region was used. Further, after forming the catalytic activity hindering layer on the surface of the substrate, the entire surface of one surface of the flat substrate and part of the other surface (pattern 1) were irradiated with laser light. A plated component of this comparative example was manufactured in the same manner as in Example 1 except for the above.
（１）基材（樹脂成形体）の成形、及び触媒活性妨害層の形成
比較例１と同様の方法により、粗面領域を有さない基材を成形した。したがって、基材の表面粗さ（Ｒａ）は、０．１μｍであった。次に、実施例１と同様の方法により、基材の表面に厚さ６０ｎｍの触媒活性妨害層を形成した。
(1) Molding of Substrate (Resin Molded Body) and Formation of Catalytic Activity Hindering Layer By the same method as in Comparative Example 1, a substrate having no rough surface region was molded. Therefore, the surface roughness (Ra) of the substrate was 0.1 μm. Next, in the same manner as in Example 1, a catalytic activity hindrance layer having a thickness of 60 nm was formed on the surface of the substrate.
（２）レーザー光照射
比較例２で用いたレーザー描画装置を用いて、比較例２と同様の条件で、平板である基材の一方の面の全面にレーザー描画した。レーザー描画に伴う加工時間は、８０秒であった。次に、平板である基材の他方の面に、実施例３と同様の方法でパターン１内をレーザー描画した。レーザー描画に伴う加工時間は、１０秒であった。レーザー光照射後、レーザー光照射によって基材から飛散した樹脂粒子を除去するため、３ ０℃の脱脂剤（奥野製薬工業社製、ＩＰＣクリーンＨＡＣ）に５分間浸漬した。
(2) Laser Light Irradiation Using the laser drawing apparatus used in Comparative Example 2, under the same conditions as in Comparative Example 2, laser drawing was performed on the entire surface of one surface of the flat substrate. The processing time associated with laser drawing was 80 seconds. Next, the inside of the pattern 1 was laser-drawn in the same manner as in Example 3 on the other surface of the substrate, which was a flat plate. The processing time associated with laser drawing was 10 seconds. After the laser beam irradiation, the substrate was immersed in a 30° C. degreasing agent (IPC Clean HAC manufactured by Okuno Chemical Industry Co., Ltd.) for 5 minutes in order to remove the resin particles scattered from the substrate due to the laser beam irradiation.
（３）無電解メッキ触媒の付与、及び無電解メッキ
実施例１と同様の方法により、基材に無電解メッキ触媒を付与し、その後、無電解メッキ膜を形成した。
(3) Application of Electroless Plating Catalyst and Electroless Plating By the same method as in Example 1, an electroless plating catalyst was applied to the substrate, and then an electroless plating film was formed.
[比較例４]
本比較例では、平板である基材の一方の面の全面をレーザー描画する描画速度を４８０
０ｍｍ／ｓｅｃとした以外は、比較例３と同様の方法により、本比較例のメッキ部品を製造した。一方の面の全面のレーザー描画に伴う加工時間は、２５秒であった。
[Comparative Example 4]
In this comparative example, the drawing speed for laser drawing the entire surface of one side of the base material which is a flat plate is set to 480
A plated component of this comparative example was manufactured in the same manner as in Comparative Example 3, except that the speed was set to 0 mm/sec. The processing time associated with laser drawing on the entire surface of one surface was 25 seconds.
［無電解メッキ膜析出性の評価］
実施例３～４及び比較例３～４で製造したメッキ部品を目視で観察し、以下の評価基準に基づいて無電解メッキ膜の析出性について評価した。
[Evaluation of electroless plating film deposition property]
The plated parts produced in Examples 3-4 and Comparative Examples 3-4 were visually observed, and the depositability of the electroless plated film was evaluated based on the following evaluation criteria.
＜評価１：基材の一方の面の評価＞
○：全体に無電解メッキ膜が析出している。
×：少なくとも一部に、無電解メッキ膜が析出していない。
＜評価２：基材の他方の面における、パターン1以外の領域の評価＞
○：無電解メッキ膜が析出していない。
×：少なくとも一部に、無電解メッキ膜が析出している。
＜評価３：パターン1の評価＞
○：全体に無電解メッキ膜が析出している。
×：少なくとも一部に、無電解メッキ膜が析出していない。
＜総合評価＞
○：評価１～３の評価結果が全て良好（○）である。
×：評価１～３の評価結果のいずれかが不良（×）である。
<Evaluation 1: Evaluation of one side of the substrate>
◯: An electroless plated film is deposited on the entire surface.
x: Electroless plated film is not deposited on at least a part.
<Evaluation 2: Evaluation of regions other than pattern 1 on the other side of the substrate>
◯: No electroless plating film was deposited.
x: An electroless plated film is deposited on at least a part of the film.
<Evaluation 3: Evaluation of pattern 1>
◯: An electroless plated film is deposited on the entire surface.
x: Electroless plated film is not deposited on at least a part.
<Comprehensive evaluation>
◯: The evaluation results of evaluations 1 to 3 are all good (◯).
x: One of the evaluation results of evaluations 1 to 3 is poor (x).
表２に、実施例３～４及び比較例３～４における、基材の表面粗さ、最大高さ粗さ、触媒活性妨害層の厚さ、レーザー描画速度、レーザー光照射に伴う基材の加工時間、及び無電解メッキ膜析出性の評価結果を示す。 Table 2 shows the surface roughness of the substrate, the maximum height roughness, the thickness of the catalytic activity hindering layer, the laser drawing speed, and the substrate with laser light irradiation in Examples 3-4 and Comparative Examples 3-4. Processing time and evaluation results of electroless plating film deposition properties are shown.
実施例３～４では、基材の一方の面の全面（粗面領域１０Ａ）及び他方の面のパターン１（光照射部分１０Ｃ）のみに無電解メッキ膜が析出し（無電解メッキ膜が形成され）、無電解メッキ膜析出性の総合評価は良好であった。パターン１のライン間スペースにも無電解メッキ膜は析出しなかった。また、レーザー光は、パターン１のみに照射するため、比較例３～４と比較して、レーザー描画に伴う加工時間が短かった。このため、実施例３～４は、比較例３～４と比較して、メッキ部品の製造時間を短縮できた。
In Examples 3 and 4, an electroless plated film was deposited only on the entire surface of one surface of the substrate (roughened
一方、粗面領域を有さない基材の一方の面の全面、及び他方の面のパターン１にレーザー光を照射した比較例３では、レーザー光の照射により触媒活性妨害層が除去されたため、基材の一方の面及びパターン１に無電解メッキ膜が形成された。しかし、レーザー光を照射していない部分（他方の面のパターン1以外の領域）にも無電解メッキ膜が析出して
しまった。特に、パターン1のライン間スペースに無電解メッキ膜が析出して、隣接する
ライン同士が連結してしまった。これは、レーザー光照射により、その近傍のレーザー光非照射部分に形成された触媒活性妨害層が熱変性したためだと推測される。熱変性した触
媒活性妨害層上に付与された無電解メッキ触媒は活性が維持され、無電解メッキ反応が生じたと推測される。また、比較例３では、パターン１に加えて、基材の一方の面全面にもレーザー光を照射した。このため、比較例３は、実施例３及び４と比較して、レーザー描画に伴う加工時間が長く、その分、メッキ部品の製造時間が長くなった。
On the other hand, in Comparative Example 3 in which the entire surface of one surface of the base material having no rough surface region and pattern 1 on the other surface were irradiated with laser light, the catalytic activity hindering layer was removed by irradiation with laser light. An electroless plating film was formed on one surface of the base material and pattern 1 . However, the electroless plated film was also deposited on the portion not irradiated with the laser beam (region other than the pattern 1 on the other surface). In particular, the electroless plating film was deposited in the space between lines of pattern 1, and the adjacent lines were connected to each other. It is presumed that this is because the laser light irradiation thermally denatured the catalytic activity hindering layer formed in the non-laser light-irradiated portion in the vicinity thereof. It is presumed that the electroless plating catalyst applied on the thermally denatured catalytic activity hindering layer maintained its activity and caused the electroless plating reaction. In addition, in Comparative Example 3, in addition to pattern 1, the entire surface of one side of the substrate was also irradiated with laser light. Therefore, in comparison with Examples 3 and 4, in Comparative Example 3, the processing time associated with laser drawing was longer, and the production time of the plated parts was longer.
また、一方の面の全面をレーザー描画する描画速度を大きくした比較例４では、レーザー光を照射していない部分（他方の面のパターン１以外の領域）への無電解メッキ膜の析出を抑制できた。これは、レーザー描画速度を大きくしたことで、基材へ伝わる熱エネルギーが小さくなり、レーザー光非照射部分の温度上昇が抑制されたためと推測される。しかし、比較例４では、レーザー光照射部分（一方の面）において、無電解メッキ膜の未析出部分が発生してしまった。これは、レーザー描画速度を大きくしたことで、基材へ伝わる熱エネルギーが小さくなり、触媒活性妨害層を十分に除去できなかったためだと推測される。触媒活性妨害層が残存する部分に付与された無電解メッキ触媒は触媒活性が失活し、無電解メッキ反応が生じなかったと推測される。 In addition, in Comparative Example 4 in which the writing speed for laser writing the entire surface of one surface was increased, the deposition of the electroless plating film on the portion not irradiated with the laser beam (region other than the pattern 1 on the other surface) was suppressed. did it. It is presumed that this is because the increase in the laser drawing speed reduces the thermal energy transmitted to the base material, thereby suppressing the temperature rise in the non-laser-irradiated portions. However, in Comparative Example 4, an undeposited portion of the electroless plated film occurred in the laser beam irradiated portion (one surface). It is presumed that this is because the thermal energy transmitted to the base material was reduced by increasing the laser drawing speed, and the catalytic activity hindering layer could not be sufficiently removed. It is presumed that the catalytic activity of the electroless plating catalyst applied to the portion where the catalytic activity hindering layer remained was deactivated, and the electroless plating reaction did not occur.
以下に説明する実施例５及び比較例５～６では、平板の基材の一方の面の一部（パターン２）がメッキ膜を形成する予定の所定領域である。 In Example 5 and Comparative Examples 5 and 6 described below, a portion (pattern 2) of one surface of the flat plate substrate is the predetermined area where the plating film is to be formed.
[実施例５]
本実施例では、平板の一方の面の一部（パターン２）に粗面領域１０Ａを形成した基材を用いて、図４（ｅ）に示す、粗面領域１０Ａのみに無電解メッキ膜４０を有するメッキ部品２００を製造した。
[Example 5]
In this embodiment, a substrate having a
（１）基材（樹脂成形体）の成形
成形に用いる金型のキャビティを区画する面に、比較例２で用いたレーザー描画装置を用いて、凹凸構造（パターン２）を形成した。パターン２は、幅０．３ｍｍ、長さ５０ｍｍの細線６本をライン間スペース０．２ｍｍで並べたパターンである。凹凸構造は、パターン２内を０．１ｍｍピッチの格子状にレーザー描画して形成した。レーザー描画は、描画速度４８００ｍｍ／ｓｅｃ、周波数５０ｋＨｚ、パワー８０％で行った。
(1) Molding of Base Material (Resin Molded Body) A concave-convex structure (pattern 2) was formed using the laser drawing apparatus used in Comparative Example 2 on the surface of the mold used for molding, which defines the cavity. Pattern 2 is a pattern in which 6 fine lines with a width of 0.3 mm and a length of 50 mm are arranged with an inter-line space of 0.2 mm. The concave-convex structure was formed by laser-drawing the inside of the pattern 2 in a grid shape with a pitch of 0.1 mm. Laser drawing was performed at a drawing speed of 4800 mm/sec, a frequency of 50 kHz and a power of 80%.
凹凸構造を形成した金型内に、汎用の射出成形機を用いてナイロン（実施例１と同様）を射出充填して、４０ｃｍ×６０ｃｍ×０．２ｃｍの平板を成形した。金型の凹凸構造が基材表面に転写され、基材の成形と同時に、凹凸構造に対応する粗面領域（パターン２）が形成された。粗面領域の表面粗さ（Ｒａ）は３μｍであり、他の領域の表面粗さ（Ｒａ）は０．１μｍ、最大高さ粗さ（Ｒｚ）は１μｍであった。 A general-purpose injection molding machine was used to inject nylon (same as in Example 1) into the mold having the concave-convex structure to mold a flat plate of 40 cm×60 cm×0.2 cm. The concave-convex structure of the mold was transferred to the base material surface, and a rough surface region (pattern 2) corresponding to the concave-convex structure was formed simultaneously with the molding of the base material. The surface roughness (Ra) of the rough surface region was 3 μm, the surface roughness (Ra) of the other regions was 0.1 μm, and the maximum height roughness (Rz) was 1 μm.
（２）触媒活性妨害層の形成
実施例１と同様の方法により、基材の表面に厚さ１２０ｎｍの触媒活性妨害層を形成した。但し、触媒活性妨害層の形成に用いたポリマー溶液中のポリマー濃度は１重量％とした。
(2) Formation of Catalytic Activity Hindering Layer By the same method as in Example 1, a catalytic activity hindering layer having a thickness of 120 nm was formed on the surface of the substrate. However, the polymer concentration in the polymer solution used for forming the catalytic activity hindering layer was 1% by weight.
（３）レーザー光照射
比較例２で用いたレーザー描画装置を用いて、基材のパターン２（粗面領域）に重ねて、幅０．２５ｍｍ、長さ５０ｍｍの細線６本をライン間スペース０．２５ｍｍで並べたパターンをレーザー描画した。パターン内は、０．１ｍｍピッチの格子状にレーザー描画した。レーザー描画の条件は、描画速度４８００ｍｍ／ｓｅｃ、周波数５０ｋＨｚ、パワー６０％とした。レーザー描画に伴う加工時間は、３秒であった。レーザー光照射後、レーザー光照射によって基材から飛散した樹脂粒子を除去するため、３０℃の脱脂剤（奥野製薬工業社製、ＩＰＣクリーンＨＡＣ）に５分間浸漬した。
(3) Laser light irradiation Using the laser drawing apparatus used in Comparative Example 2, 6 fine lines with a width of 0.25 mm and a length of 50 mm were superimposed on the pattern 2 (rough surface area) of the substrate, and the space between the lines was 0. A pattern aligned at 0.25 mm was laser written. The inside of the pattern was laser-drawn in a grid shape with a pitch of 0.1 mm. The laser drawing conditions were a drawing speed of 4800 mm/sec, a frequency of 50 kHz, and a power of 60%. The processing time associated with laser drawing was 3 seconds. After the laser beam irradiation, the substrate was immersed in a 30° C. degreasing agent (IPC Clean HAC manufactured by Okuno Chemical Industry Co., Ltd.) for 5 minutes in order to remove the resin particles scattered from the base material due to the laser beam irradiation.
（４）無電解メッキ触媒の付与、及び無電解メッキ
実施例１と同様の方法により、基材に無電解メッキ触媒を付与し、その後、無電解メッキ膜を形成した。
(4) Application of Electroless Plating Catalyst and Electroless Plating By the same method as in Example 1, an electroless plating catalyst was applied to the substrate, and then an electroless plating film was formed.
[比較例５]
本比較例では、基材が粗面領域を有さず、レーザー描画の描画速度を１２００ｍｍ／ｓｅｃとした以外は、実施例５と同様の方法により、本比較例のメッキ部品を製造した。レーザー描画に伴う加工時間は、１０秒であった。
[Comparative Example 5]
In this comparative example, a plated component of this comparative example was manufactured in the same manner as in Example 5, except that the substrate did not have a rough surface region and the drawing speed of laser drawing was set to 1200 mm/sec. The processing time associated with laser drawing was 10 seconds.
[比較例６]
本比較例では、基材が粗面領域を有さない以外は、実施例５と同様の方法により、本比較例のメッキ部品を製造した。
[Comparative Example 6]
In this comparative example, a plated component of this comparative example was manufactured in the same manner as in Example 5, except that the substrate did not have a rough surface region.
［無電解メッキ膜析出性の評価］
実施例５及び比較例５～６で作製したメッキ部品を目視で観察し、以下の評価基準に基づいて無電解メッキ膜の析出性について評価した。
[Evaluation of electroless plating film deposition property]
The plated parts produced in Example 5 and Comparative Examples 5 and 6 were visually observed, and the depositability of the electroless plated film was evaluated based on the following evaluation criteria.
＜評価１：パターン２の評価＞
○：全体に無電解メッキ膜が析出している。
×：少なくとも一部に、無電解メッキ膜が析出していない。
＜評価２：パターン２以外の領域の評価＞
○：無電解メッキ膜が析出していない。
×：少なくとも一部に、無電解メッキ膜が析出している。
＜総合評価＞
○：評価１～２の評価結果がどちらも良好（○）であ。
×：評価１～２の評価結果がどちらかが不良（×）である。
<Evaluation 1: Evaluation of Pattern 2>
◯: An electroless plated film is deposited on the entire surface.
x: Electroless plated film is not deposited on at least a part.
<Evaluation 2: Evaluation of regions other than pattern 2>
◯: No electroless plating film was deposited.
x: An electroless plated film is deposited on at least a part of the film.
<Comprehensive evaluation>
◯: Both evaluation results of evaluations 1 and 2 are good (◯).
x: One of the evaluation results of evaluations 1 and 2 is defective (x).
表３に、実施例５及び比較例５～６における、基材の表面粗さ、最大高さ粗さ、触媒活性妨害層の厚さ、レーザー描画速度、レーザー光照射に伴う基材の加工時間、及び無電解メッキ膜析出性の評価結果を示す。 Table 3 shows the surface roughness of the substrate, the maximum height roughness, the thickness of the catalytic activity hindering layer, the laser drawing speed, and the processing time of the substrate accompanying laser light irradiation in Example 5 and Comparative Examples 5 and 6. , and evaluation results of electroless plating film deposition properties.
表３に示すように、実施例５では、基材上のパターン２（粗面領域１０Ａ）のみに無電解メッキ膜が析出し（無電解メッキ膜が形成され）、無電解メッキ膜析出性の総合評価は良好であった。パターン２（粗面領域）上に触媒活性妨害層は形成され難いため、その上に存在する触媒活性妨害層の量は比較的少ない。実施例５では、パターン２をレーザー描画することで、そこに存在する少量の触媒活性妨害層を除去している。これにより、実施例５のパターン２は、無電解メッキ膜有無のコントラストが明確であり、パターン２のライン間スペースにも無電解メッキ膜は析出しなかった。また、パターン２に存在する触媒活性妨害層の量は比較的少ないため、実施例５では、比較的低い熱エネルギーでパターン２上の触媒活性妨害層を除去できる。このため、実施例５では、レーザー描画速度を大きくでき、後述する比較例５と比較して、レーザー描画に伴う加工時間が短かった。実施例５は、比較例５と比較して、メッキ部品の製造時間を短縮できた。
As shown in Table 3, in Example 5, the electroless plating film was deposited (the electroless plating film was formed) only on the pattern 2 (roughened
一方、粗面領域を有さない基材のパターン２にレーザー光を照射した比較例５では、レーザー光の照射により触媒活性妨害層が除去されたため、パターン２に無電解メッキ膜が形成された。しかし、レーザー光を照射していない部分（パターン２以外の領域）にも無電解メッキ膜が析出してしまった。具体的には、パターン２のライン間スペースに無電解メッキ膜が析出して、隣接するライン同士が連結してしまった。この原因は以下のように推測される。上述の実施例５と比較して、比較例５のパターン２上に存在する触媒活性妨害層の量は多い。したがって、比較例５のパターン２上に存在する触媒活性妨害層を除去するためには、比較的高い熱エネルギーをパターン２に与える必要がある。このため、比較例５では、実施例５よりも小さいレーザー描画速度で、レーザー描画をおこなった。こ
れにより、パターン２近傍のレーザー光非照射部分に形成された触媒活性妨害層が熱変性し、そこに付与された無電解メッキ触媒は活性が維持され、無電解メッキ反応が生じたと推測される。また、レーザー描画速度が小さいため、比較例５は、実施例５と比較してレーザー描画に伴う加工時間が長く、その分、メッキ部品の製造時間が長くなった。
On the other hand, in Comparative Example 5, in which pattern 2 of the base material having no rough surface region was irradiated with laser light, the catalytic activity hindering layer was removed by irradiation with laser light, so that an electroless plating film was formed on pattern 2. . However, the electroless plated film was also deposited on the portions not irradiated with the laser beam (regions other than the pattern 2). Specifically, the electroless plating film was deposited in the space between the lines of pattern 2, and the adjacent lines were connected to each other. The reason for this is presumed as follows. Compared to Example 5 above, the amount of catalytically active impeding layer present on Pattern 2 of Comparative Example 5 is greater. Therefore, in order to remove the catalytic activity hindering layer present on the pattern 2 of Comparative Example 5, it is necessary to apply relatively high thermal energy to the pattern 2 . Therefore, in Comparative Example 5, laser drawing was performed at a lower laser drawing speed than in Example 5. As a result, it is presumed that the catalytic activity hindering layer formed in the non-irradiated portion of the laser beam in the vicinity of the pattern 2 was thermally denatured, the electroless plating catalyst applied there maintained its activity, and the electroless plating reaction occurred. . In addition, since the laser drawing speed was low, in Comparative Example 5, the processing time associated with laser drawing was longer than in Example 5, and the production time of the plated parts was lengthened accordingly.
また、パターン２でのレーザー描画速度を大きくした比較例６では、レーザー光を照射していない部分（パターン２以外の領域）への無電解メッキ膜の析出を抑制できた。これは、レーザー描画速度を大きくしたことで、基材へ伝わる熱エネルギーが小さくなり、レーザー光非照射部分の温度上昇が抑制されたためと推測される。しかし、比較例６では、パターン２において、無電解メッキ膜の未析出部分が発生してしまった。これは、レーザー描画速度を大きくしたことで、基材へ伝わる熱エネルギーが小さくなり、触媒活性妨害層を十分に除去できなかったためだと推測される。触媒活性妨害層が残存する部分に付与された無電解メッキ触媒は触媒活性が失活し、無電解メッキ反応が生じなかったと推測される。 In addition, in Comparative Example 6 in which the laser drawing speed was increased for pattern 2, the deposition of the electroless plating film on the portions not irradiated with the laser beam (regions other than pattern 2) could be suppressed. It is presumed that this is because the increase in the laser drawing speed reduces the thermal energy transmitted to the base material, thereby suppressing the temperature rise in the non-laser-irradiated portions. However, in Comparative Example 6, in pattern 2, an undeposited portion of the electroless plated film occurred. It is presumed that this is because the thermal energy transmitted to the base material was reduced by increasing the laser drawing speed, and the catalytic activity hindering layer could not be sufficiently removed. It is presumed that the catalytic activity of the electroless plating catalyst applied to the portion where the catalytic activity hindering layer remained was deactivated, and the electroless plating reaction did not occur.
本発明のメッキ部品の製造方法によれば、メッキ部品の製造時間を短縮すると共に、所定領域以外での無電解メッキ膜の生成を抑制し、所定領域のみに無電解メッキ膜を形成できる。したがって、本発明は、電気回路を有する電子部品や、三次元回路部品（ＭＩＤ：Ｍｏｌｄｅｄ Ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔ Ｄｅｖｉｃｅ）の製造に利用できる。 According to the method of manufacturing a plated component of the present invention, it is possible to shorten the manufacturing time of the plated component, suppress the formation of an electroless plated film in areas other than the predetermined area, and form the electroless plated film only in the predetermined area. Therefore, the present invention can be used to manufacture electronic components having electric circuits and three-dimensional circuit components (MID: Molded Interconnect Device).
２０ 基材
２０Ａ 粗面領域
２０Ｂ 他の領域
１０Ｃ 加熱又は光照射した部分（光照射部分）
２０ 触媒活性妨害層
３０ 無電解メッキ触媒
４０ 無電解メッキ膜
１００、２００、３００ メッキ部品
20 Base material 20A Rough surface region 20B
20 Catalytic
Claims (12)
その表面に粗面領域と、前記粗面領域以外の他の領域とを有する基材を用意することと、
前記基材の表面に、触媒失活剤を含む触媒活性妨害層を形成することと、
前記触媒活性妨害層を形成した前記基材の表面に、無電解メッキ触媒を付与することと、
前記無電解メッキ触媒を付与した前記基材の表面に無電解メッキ液を接触させ、前記粗面領域に無電解メッキ膜を形成することとを含む、メッキ部品の製造方法。 A method for manufacturing a plated component,
Preparing a substrate having a rough surface region and other regions other than the rough surface region on its surface;
forming a catalytic activity hindrance layer containing a catalyst deactivator on the surface of the substrate;
applying an electroless plating catalyst to the surface of the substrate on which the catalytic activity hindering layer is formed;
A method of manufacturing a plated component, comprising: bringing an electroless plating solution into contact with the surface of the base material to which the electroless plating catalyst has been applied, to form an electroless plating film on the rough surface region.
前記キャビティを区画する前記金型の表面には、前記粗面領域に対応する凹凸構造が形成されており、
前記基材を成形するとき、前記凹凸構造が前記基材の表面に転写されることにより、前記粗面領域が形成される、請求項１～５のいずれか一項に記載するメッキ部品の製造方法。 Preparing the base material is molding the base material using a mold having a cavity corresponding to the shape of the base material,
An uneven structure corresponding to the rough surface region is formed on the surface of the mold that defines the cavity,
6. Manufacture of the plated part according to any one of claims 1 to 5, wherein the rough surface region is formed by transferring the uneven structure to the surface of the base material when molding the base material. Method.
前記他の領域の一部、又は、前記粗面領域における前記他の領域との境界部を加熱又は光照射することを更に含み、
前記粗面領域、及び前記加熱又は光照射した部分に、無電解メッキ膜が形成される、請求項１～７のいずれか一項に記載のメッキ部品の製造方法。 After forming the catalytic activity hindrance layer on the surface of the substrate,
further comprising heating or irradiating a portion of the other region or a boundary between the rough surface region and the other region;
8. The method of manufacturing a plated component according to claim 1, wherein an electroless plating film is formed on said rough surface region and said heated or light-irradiated portion.
前記粗面領域と、前記加熱又は光照射した部分とは、接触しており、前記粗面領域から前記加熱又は光照射した部分にかけて連続した無電解メッキ膜が形成される、請求項８に記載のメッキ部品の製造方法。 After forming the catalytic activity hindering layer on the surface of the substrate, heating or irradiating a part of the other region,
9. The method according to claim 8, wherein the rough surface region and the heated or light-irradiated portion are in contact with each other, and a continuous electroless plated film is formed from the rough surface region to the heated or light-irradiated portion. manufacturing method of plated parts.
前記基材に対応するキャビティが内部に形成されており、前記キャビティを区画する面が、粗面領域と、前記粗面領域以外の他の領域とを有する、金型。 A mold used for molding a base material,
A mold, wherein a cavity corresponding to the base material is formed therein, and a surface defining the cavity has a rough surface region and a region other than the rough surface region.
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