JP2023043253A - 棒状基板洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】棒状基板を低コストで効率的に洗浄する。【解決手段】棒状基板を洗浄する棒状基板洗浄装置８であって、該棒状基板の両端部を一対の収容溝のそれぞれに収容することにより該両端部以外の表面を露出させた状態で該棒状基板を収容できる収容トレイの平面形状よりも大きい開口を上端に有し洗浄液を貯められる洗浄槽１４６と、該収容トレイを搬送し、該洗浄液を貯めている該洗浄槽１４６の該開口から該収容トレイを該洗浄槽１４６に進入させ、該収容トレイを該洗浄液に浸漬させる搬送ユニット１０６と、を備える。好ましくは、該搬送ユニット１０６は、該収容トレイの長さ方向に沿って相対的に移動する一対の爪部で該収容トレイを把持する把持部を有する。また、好ましくは、該搬送ユニットは、該収容トレイを上方から押さえ、該収容トレイに収容された該棒状基板の該収容トレイからの脱落を防止する落下防止部を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、棒状基板を洗浄できる棒状基板洗浄装置に関する。

ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等の記録媒体に使用される磁気ディスクに記録されている情報の読み取りに使用される磁気ヘッドの製造には、アルチック基板と呼ばれる基板が使用される。アルチック基板は、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）と炭化チタン（ＴｉＣ）を焼成して、表面を研磨することで形成される。

例えば、矩形状のアルチック基板に互いに平行な複数の分割予定ラインを設定し、分割予定ラインによって区画されたそれぞれの領域においてアルチック基板の表面に薄膜層を形成し、アルチック基板を分割予定ラインに沿って切断することにより棒状基板を得る。得られた棒状基板の切断面は荒れているため、棒状基板の側面への研磨が必要とされる。そこで、矩形基板を棒状基板に切断するとともに、得られた棒状基板の側面を研磨できる切断研磨装置が開発された（特許文献１参照）。

特開２０１１－３６９３９号公報

この切断研磨装置を使用して得られた棒状基板は、洗浄される必要がある。従来、作業者が粘着テープに該棒状基板を一つ一つ貼着し、各棒状基板を洗浄していた。このとき、各棒状基板の一方の側面が粘着テープに貼着され、各棒状基板の他方の側面が洗浄される。そのため、各棒状基板の該一方の側面を洗浄するために、各棒状基板の該他方の側面を洗浄した後に粘着テープから各棒状基板を剥離し、各棒状基板の該他方の側面に新たな粘着テープを貼着する必要があった。

すなわち、棒状基板の洗浄には人手が必要であり、多数の粘着テープを準備する必要があり、多数の工程が必要であった。すなわち、棒状基板の洗浄のために膨大な金銭的コスト及び時間的コストがかかっていた。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、棒状基板を低コストで効率的に洗浄できる棒状基板洗浄装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、棒状基板を洗浄する棒状基板洗浄装置であって、該棒状基板の両端部を一対の収容溝のそれぞれに収容することにより該両端部以外の表面を露出させた状態で該棒状基板を収容できる収容トレイの平面形状よりも大きい開口を上端に有し洗浄液を貯められる洗浄槽と、該収容トレイを搬送し、該洗浄液を貯めている該洗浄槽の該開口から該収容トレイを該洗浄槽に進入させ、該収容トレイを該洗浄液に浸漬させる搬送ユニットと、を備えることを特徴とする棒状基板洗浄装置。が提供される。

好ましくは、該搬送ユニットは、該収容トレイの長さ方向に沿って相対的に移動する一対の爪部で該収容トレイを把持する把持部を有する。

また、好ましくは、該搬送ユニットは、該収容トレイを上方から押さえ、該収容トレイに収容された該棒状基板の該収容トレイからの脱落を防止する落下防止部を備える。

また、好ましくは、該洗浄槽には、該洗浄液に超音波を付与できる超音波付与ユニットが設けられている。

また、好ましくは、該洗浄槽に貯められた該洗浄液で洗浄された該棒状基板を乾燥させる乾燥ユニットをさらに備える。

また、好ましくは、該収容トレイに該棒状基板を収容する収容ユニットを更に備え、
該収容ユニットは、側面に吸引口が形成された吸引保持部を有し、該吸引保持部の該吸引口に該棒状基板を接触させて該棒状基板を吸引保持できる。

本発明の一態様に係る棒状基板洗浄装置は、洗浄対象となる棒状基板を収容できる収容トレイと、洗浄液を貯められる洗浄槽と、収容トレイを搬送して洗浄槽に貯められた洗浄液に浸漬させる搬送ユニットと、を備える。収容トレイは、棒状基板の両端部をそれぞれに収容できる一対の収容溝を有し、該両端部以外の表面を露出させた状態で該棒状基板を収容できる。

この棒状基板洗浄装置では、収容トレイに棒状基板を収容し、搬送ユニットにより該収容トレイごと棒状基板を洗浄液に浸漬させる。棒状基板の両側面は露出するため、該両側面に同時に洗浄液を接触でき、該両側面を同時に洗浄液で洗浄できる。そのため、一度の洗浄工程で棒状基板の両側面を洗浄でき、棒状基板を粘着テープに貼り付ける作業や、粘着テープから棒状基板を剥離させる作業も不要となる。すなわち、棒状基板を容易かつ短時間で洗浄できる。

さらに、この棒状基板洗浄装置では、従来棒状基板の両側面に貼り付けられていた２枚の粘着テープの両方が不要である。そして、棒状基板を収容する収容トレイは再利用が可能であるため、多数の収容トレイを準備する必要もない。

したがって、本発明の一態様によると、棒状基板を低コストで効率的に洗浄できる棒状基板洗浄装置が提供される。

棒状基板製造装置を模式的に示す斜視図である。 棒状基板製造装置の内部構成を模式的に示す平面図である。 棒状基板洗浄装置及び棒状基板収容装置を模式的に示す斜視図である。 チャックテーブル及び収容ユニットを模式的に示す斜視図である。 図５（Ａ）は、回転移動ユニットの保持部と、収容ユニットの吸引保持部と、を模式的に示す断面図であり、図５（Ｂ）は、回転移動ユニットの保持部に保持された棒状基板を収容ユニットの吸引保持部で吸引保持する様子を模式的に示す断面図であり、図５（Ｃ）は、収容ユニットで搬送される棒状基板を模式的に示す断面図である。 棒状基板収容装置の収容トレイ載置台に収容トレイを載置する様子を模式的に示す斜視図である。 棒状基板を収容ユニットで収容トレイに搬送し該収容トレイに収容する様子を模式的に示す斜視図である。 搬送ユニットの把持部と、複数の棒状基板を収容する収容トレイと、を模式的に示す斜視図である。 図９（Ａ）は、搬送ユニットの把持部で収容トレイを把持する様子を模式的に示す側面図であり、図９（Ｂ）は、収容トレイを把持する把持部を模式的に示す側面図である。 搬送ユニットが洗浄槽に収容トレイを進入させる様子を模式的に示す側面図である。 収容トレイに収容された棒状基板を洗浄槽中で洗浄する様子を模式的に示す斜視図である。 収容トレイに収容された棒状基板をリンスする様子を模式的に示す斜視図である。 収容トレイに収容された棒状基板を乾燥する様子を模式的に示す斜視図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。まず、本実施形態に係る棒状基板洗浄装置が組み込まれた棒状基板製造装置について説明する。図１は、棒状基板を製造する棒状基板製造装置２を模式的に示す斜視図である。

棒状基板製造装置２は、例えば、棒状基板切り出し装置４と、棒状基板収容装置６と、棒状基板洗浄装置８と、により構成される。棒状基板切り出し装置４では、基板から棒状基板が切り出される。棒状基板収容装置６では、収容トレイに複数の棒状基板が収容される。棒状基板洗浄装置８では、収容トレイに収容された複数の棒状基板が洗浄される。棒状基板製造装置２を使用すると、最終的に棒状基板が得られる。

棒状基板切り出し装置４と、棒状基板収容装置６と、棒状基板洗浄装置８と、はそれぞれ各構成要素を支持する基台１０，１４，１８と、各構成要素を収容する外装カバー１２，１６，２０と、を備える。外装カバー１２，１６，２０の一面には、棒状基板製造装置２の制御ユニットへの指令の入力や、各種の情報の表示に使用されるタッチパネル付きディスプレイ（不図示）が設けられる。

また、棒状基板切り出し装置４の外装カバー１２の前面には、棒状基板の原料となる基板を搬入する経路となる搬入口２２が設けられている。棒状基板収容装置６の外装カバー１６の前面には、空の収容トレイを搬入する経路となる搬入口２４が設けられている。棒状基板洗浄装置８の外装カバー２０の前面には、メンテナンス扉２６と、収容トレイの搬出経路となる収容トレイ取り出し部２８と、が設けられている。

図２は、棒状基板製造装置２の内部構成を模式的に示す平面図である。まず、棒状基板切り出し装置４について説明する。棒状基板切り出し装置４は、被加工物となる基板１を保持するためのチャックテーブル３０と、チャックテーブル３０に保持された基板１を加工する加工ユニット３２と、を備える。加工ユニット３２は、基板１の切断と、切断面の研磨と、を実施する。

基板１は、例えば、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等の記録媒体に使用される磁気ディスクに記録されている情報の読み取りに使用される磁気ヘッドの材料となるアルチック基板である。アルチック基板は、アルミナと炭化チタンを焼成して、表面を研磨することで形成される。基板１には複数の互いに平行な分割予定ラインにより区画されており、基板１の表面の分割予定ラインで区画された各領域には、素子を構成する薄膜層が形成されている。ただし、棒状基板製造装置２で加工される基板１はこれに限定されない。

加工ユニット３２は、先端に複合工具３８が固定されたスピンドル３６と、スピンドル３６の基端側を回転可能に収容するスピンドルハウジング３４と、を備える。スピンドルハウジング３４の内部には、スピンドル３６を回転させるモーター等の回転駆動源が設けられている。複合工具３８は、基板１を切断する切削ブレード３８ａと、切断面を研磨する研磨パッド３８ｂと、により構成される。

切削ブレード３８ａは、外周に砥石部を備える円環状の部材である。砥石部は、金属やセラミックス、樹脂等の材料で形成された結合材と、該結合材中に分散固定されたダイヤモンド等の砥粒と、により構成される。また、研磨パッド３８ｂは、樹脂等の材料で形成された円環状または円板状の部材であり、砥粒が分散固定されていてもよい。

図４には、チャックテーブル３０を拡大した斜視図が示されている。チャックテーブル３０の底部には、図示しない回転駆動源が接続されている。この回転駆動源を作動させると、チャックテーブル３０を上面に垂直な方向（Ｚ方向）に沿った回転軸の周りに回転できる。

チャックテーブル３０の上面の端部には、基板１を吸引保持する吸引保持部（不図示）が設けられており、図４には、吸引保持部で保持された基板１が模式的に示されている。該吸引保持部の幅は、基板１の分割予定ラインに沿った長さと同程度とされる。

吸引保持部は、上面が略平坦な多孔質部材により構成される。また、チャックテーブル３０の内部には、この吸引保持部に通じた吸引路が形成される。吸引路に接続された吸引源を作動させて該吸引路と、該多孔質部材と、を介して基板１に負圧を作用させると、基板１が吸引保持される。

チャックテーブル３０は、移動治具４０ａを介して基板１を押し動かす移動体４０と、移動体４０をチャックテーブル３０の上面（図４においてＹ方向）に沿って移動させる駆動部４２と、を備える。チャックテーブル３０の上面には移動体４０の底面に固定された支持部を移動可能に収容する溝部４０ｂが設けられている。駆動部４２は、例えば、溝部４０ｂに収容された該支持部を溝部４０ｂに沿って移動させるための駆動源となるモーターであり、ボールネジ式の移動機構を構成する。

吸引保持部による基板１の吸引保持が解かれた状態で駆動部４２を作動させると、移動体４０が溝部４０ｂに沿って移動して移動治具４０ａを介して基板１を押し、チャックテーブル３０の上面の外側に向けて基板１を移動できる。

チャックテーブル３０の吸引保持部に隣接した位置には、基板１から切り出された棒状基板３を保持して移動させる回転移動ユニット４４が設けられている。回転移動ユニット４４は、チャックテーブル３０の上面にＺ方向に沿って突き出た軸部４６と、チャックテーブル３０の内部に設けられたモーター５０と、一端が軸部４６に突き通されたＬ字形状の腕部４８と、を備える。

腕部４８の先端には、基板１から切り出された棒状基板３を吸引保持する保持部５２が設けられている。軸部４６の下端部はモーター５０に接続されており、モーター５０を作動させると軸部４６を中心に腕部４８を回転できる。すなわち、モーター５０を作動させると保持部５２を回転移動できる。

棒状基板切り出し装置４は、チャックテーブル３０の吸引保持部上に置かれた基板１を吸引保持する。このとき、基板１の移動体４０とは反対側の端部をチャックテーブル３０の上面の外側（図４においてＹ方向）に僅かに突出するように、予め移動治具４０ａを介して移動体４０で基板１を押し動かすことにより基板１の位置を調整する。

そして、複合工具３８（図２参照）を回転させ、回転する研磨パッド３８ｂ（図２参照）を基板１の移動体４０とは反対側の側面に接触させ、基板１の該側面を該研磨パッド３８ｂで研磨する。その後、回転する複合工具３８の切削ブレード３８ａを基板１の分割予定ラインに沿って切り込ませ、基板１を切断する。

そして、モーター５０を作動させて回転移動ユニット４４の保持部５２を軸部４６の周りに移動させて基板１から切り出された棒状基板３の該側面に接触させ、保持部５２で棒状基板３を吸引保持する。次に、モーター５０を作動させて軸部４６を中心に腕部４８を２７０度回転させ、図４に示すように棒状基板３を移動させる。すると、棒状基板３の切断面が図４におけるＸ方向に露出する。

そして、チャックテーブル３０を９０度回転させて棒状基板３の切断面をＹ方向に向け回転する複合工具３８の研磨パッド３８ｂを該切断面に接触させて棒状基板３の該切断面を研磨する。すると、両側面が研磨された棒状基板３が得られる。得られた棒状基板３は、次に説明するように棒状基板収容装置６に搬送されて後述の収容トレイ９６（図７等参照）に収容される。棒状基板切り出し装置４では、同様に基板１が次々に切り出され棒状基板３が次々に製造される。

なお、基板１を切断する際や棒状基板３の側面を研磨する際には、加工屑が発生する。そして、棒状基板切り出し装置４で切り出された棒状基板３の表面には、加工屑が付着している。そのため、得られた棒状基板３の洗浄が必要となる。棒状基板製造装置２では、基板１から切り出された棒状基板３が収容トレイ９６に収容された状態で棒状基板洗浄装置８に搬送され洗浄される。

次に、棒状基板収容装置６について説明する。図３には、棒状基板収容装置６の構成要素を模式的に示す斜視図が含まれている。棒状基板収容装置６は、基台１４の上に設けられた円板状のターンテーブル８２を備える。ターンテーブル８２の底面中央には、モーター等の回転駆動源（不図示）が接続されており、ターンテーブル８２は中央部を貫く回転軸の周りに回転可能である。ターンテーブル８２の上面には、中央部を挟んで互いに対称な位置に設けられた一対の収容トレイ載置台８４が設けられている。

ターンテーブル８２を回転させると、一方の収容トレイ載置台８４を棒状基板切り出し装置４に近い棒状基板受け取り位置８２ａに位置付けられるとともに、他方の収容トレイ載置台８４を棒状基板洗浄装置８に近い収容トレイ搬出位置８２ｂに位置付けられる。ターンテーブル８２を１８０度回転させると、該一方の収容トレイ載置台８４を収容トレイ搬出位置８２ｂに位置付けられるとともに、該他方の収容トレイ載置台８４を棒状基板受け取り位置８２ａに位置付けられる。

棒状基板製造装置２は、各基台１０，１４，１８の上面から立設し、各基台１０，１４，１８上を渡る門状の支持構造５６を備える。支持構造５６は、各基台１０，１４，１８の上面に垂直な前面５６ａを有し、この前面５６ａには、棒状基板切り出し装置４から棒状基板収容装置６に棒状基板３を搬送するための収容ユニット５４が設けられている。

支持構造５６の前面５６ａには、ターンテーブル８２の上面に平行な方向（Ｘ方向）に伸長した一対のガイドレール５８が設けられ、一対のガイドレール５８には、移動プレート６０がスライド可能に装着されている。移動プレート６０の裏面側（後面側）にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部にはガイドレール５８に対して概ね平行なボールネジ６２が螺合されている。

ボールネジ６２の一端部には、パルスモータ６４が連結されている。パルスモータ６４によってボールネジ６２を回転させることにより、移動プレート６０がガイドレール５８に沿って移動する。

移動プレート６０の表面側（前面側）には、一対のガイドレール６６がターンテーブル８２の上面に垂直な方向（Ｚ方向）に沿って設けられており、一対のガイドレール６６には昇降プレート６８がスライド可能に取り付けられている。昇降プレート６８の裏面側（後面側）にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部にはガイドレール６６に対して概ね平行な方向に沿うように設けられたボールネジ７０が螺合されている。

ボールネジ７０の一端部にはパルスモータ７２が連結されており、このパルスモータ７２によってボールネジ７０を回転させることにより、昇降プレート６８がガイドレール６６に沿って昇降する。昇降プレート６８の表面側（前面側）には、先端に吸引保持部７６を支持する腕部７４が固定されている。移動プレート６０及び昇降プレート６８を移動させると、吸引保持部７６が移動する。

図５（Ａ）、図５（Ｂ）、及び図５（Ｃ）には、吸引保持部７６を模式的に示す断面図が含まれている。吸引保持部７６の下部のチャックテーブル３０に向いた側面には棒状基板３を吸引保持するための吸引口８０が設けられており、吸引保持部７６の内部には一端が該吸引口８０に達する吸引路７８が設けられている。吸引路７８の他端には、図示しない吸引源が接続されている。

次に、ターンテーブル８２の上面に設けられた一対の収容トレイ載置台８４と、収容トレイ載置台８４に載置される収容トレイ９６と、について説明する。図６は、収容トレイ載置台８４に収容トレイ９６を載置する様子を模式的に示す斜視図である。

収容トレイ９６は、複数の棒状基板３を収容する治具である。収容トレイ９６は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）や硬質の樹脂等の材料で形成された枠体９８により構成される。枠体９８の中央部には、上下に貫通する開口１００が形成されている。開口１００は、収容する棒状基板３の長さよりも小さい幅を有し、収容する棒状基板３の数に対応した長さを有する。

枠体９８の上面の開口１００を幅方向（図６においてＹ方向）に挟んだ両側には、それぞれ、複数の収容溝１０２が形成されている。各収容溝１０２は、枠体９８の該両側において同様に配置されており、枠体９８の上面及び開口１００に向けて露出している。収容溝１０２の幅は、棒状基板３の厚みを超える。

棒状基板３は、開口１００を挟んで互いに正対する一対の収容溝１０２の一方に一端が、該一対の収容溝１０２の他方に他端が収容されることで収容トレイ９６に収容される。このとき、棒状基板３の両端部以外の表面が開口１００中に露出する。

なお、収容トレイ９６の枠体９８の両側に設けられた収容溝１０２の数は、それぞれ、５０程度であることが好ましい。すなわち、収容トレイ９６は、５０本の棒状基板３を収容できることが好ましい。しかしながら、収容トレイ９６に収容できる棒状基板３の数はこれに限定されない。なお、説明の便宜のため、各図において収容トレイ９６に形成される収容溝１０２の数や、収容トレイ９６に収容された棒状基板３の数は一致していない場合がある。

収容トレイ載置台８４は、収容トレイ９６の長さ方向（図６においてＸ方向）に沿った凹部８８が形成された基部８６と、凹部８８の両側面に固定され該長さ方向（Ｘ方向）に沿った一対の櫛刃部９０と、により構成される。収容トレイ載置台８４の基部８６及び櫛刃部９０は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）や硬質の樹脂等の材料で形成されている。

凹部８８は、収容トレイ９６の開口１００の幅と対応した幅を有する。一対の櫛刃部９０は、それぞれ、Ｘ方向に沿って並ぶ複数の櫛刃９２を有し、各櫛刃９２の間が谷部９４となっている。それぞれの櫛刃９２は、上方に向いている。

基部８６の凹部８８よりも外側のそれぞれの上面は、収容トレイ９６が載る載置面８６ａとなる。それぞれの載置面８６ａの中央部には、載置面８６ａに載置される収容トレイ９６の位置を決めるための位置決めピン８６ｂが立設している。そして、収容トレイ９６の枠体９８の外周部には、各位置決めピン８６ｂが通される位置決め穴１０４が形成されている。位置決めピン８６ｂの配置と、位置決め穴１０４の配置と、は一致している。

棒状基板製造装置２の使用者は、基板１から切り出された棒状基板３を収容するための空きの収容トレイ９６を棒状基板収容装置６の外装カバー１６の搬入口２４（図１参照）から棒状基板収容装置６の内部に搬入し、収容トレイ載置台８４に載せる。その後、棒状基板切り出し装置４で基板１から切り出され切断面が研磨された棒状基板３を収容トレイ９６に収容するために、ターンテーブル８２を回転させて収容トレイ載置台８４を棒状基板受け取り位置８２ａに移動させる。

図７には、収容トレイ９６が載置された収容トレイ載置台８４を模式的に示す斜視図が含まれている。収容トレイ９６を収容トレイ載置台８４に載置する際には、枠体９８の各位置決め穴１０４に各位置決めピン８６ｂを通しつつ載置面８６ａに収容トレイ９６を載せる。このとき、枠体９８の開口１００には、各櫛刃部９０の上端部が通される。そして、櫛刃部９０の各櫛刃９２が枠体９８の上面よりも上方に突き出る。

収容トレイ９６を収容トレイ載置台８４の載置面８６ａの所定の位置に載せたとき、収容トレイ９６の各収容溝１０２に櫛刃部９０の各谷部９４が隣接する。すなわち、各収容溝１０２及び各谷部９４の位置は、収容トレイ９６を収容トレイ載置台８４に載置したときに互いに隣接するように予め決定される。また、収容トレイ載置台８４に収容トレイ９６が載置された際に収容溝１０２の底の高さ位置よりも谷部９４の底部の高さ位置が低くなるように、谷部９４の底部の高さ位置が予め決定される。

棒状基板切り出し装置４で基板１から切り出された棒状基板３の収容トレイ９６への収容作業は、収容ユニット５４により実施される。この際、棒状基板切り出し装置４のチャックテーブル３０を回転させ、図４に示す通り回転移動ユニット４４の保持部５２に保持された棒状基板３の側面を収容ユニット５４の吸引保持部７６に向ける。

図５（Ａ）、図５（Ｂ）、及び図５（Ｃ）には、棒状基板３を収容ユニット５４の吸引保持部７６で吸引保持し、回転移動ユニット４４の保持部５２から搬出する過程が示されている。そして、図５（Ａ）は、回転移動ユニットの保持部と、収容ユニットの吸引保持部と、を模式的に示す断面図であり、図５（Ｂ）は、回転移動ユニットの保持部に保持された棒状基板を収容ユニットの吸引保持部で吸引保持する様子を模式的に示す断面図である。図５（Ｃ）は、収容ユニットで搬送される棒状基板を模式的に示す断面図である。

まず、図５（Ａ）に示す通り吸引保持部７６を移動させ、棒状基板３の側面に吸引口８０を対面させる。その後、図５（Ｂ）に示す通り吸引保持部７６をさらに移動させ、吸引保持部７６を棒状基板３の該側面に接触させ、吸引路７８に接続された吸引源を作動させて該吸引口８０から棒状基板３に負圧を作用させる。

そして、図５（Ｃ）に示す通り回転移動ユニット４４の保持部５２による棒状基板３の保持を解除し、吸引保持部７６を回転移動ユニット４４の腕部４８から離れる方向に移動させる。すると、棒状基板３を移動できる。図７には、収容ユニット５４の吸引保持部７６に吸引されて搬送される棒状基板３が模式的に示されている。

収容トレイ９６の一対の収容溝１０２に棒状基板３を収容する際には、棒状基板３の両端部を該一対の収容溝１０２のそれぞれの上方に位置付ける。そして、吸引保持部７６を下降させ、棒状基板３の両端部を櫛刃部９０の櫛刃９２の間の谷部９４にそれぞれ進入させる。なお、収容トレイ載置台８４には凹部８８が形成されているため、このとき吸引保持部７６の下端が収容トレイ載置台８４に衝突しない。

そして、この状態で吸引保持部７６による棒状基板３の吸引保持を解除すると、棒状基板３が落下して両端部が谷部９４の下方に進む。そして、該両端部が谷部９４に誘導されて収容溝１０２の底部に落着し、棒状基板３の収容トレイ９６への収容が完了する。

ここで、谷部９４の上部の幅を収容溝１０２の幅よりも広くしておき、谷部９４の底部の幅を収容溝１０２の幅と同程度とし、谷部９４の該上部及び該底部の間の中間部をテーパー状にしておくことが好ましい。この場合、棒状基板３の端部がこのテーパー状の中間部に沿って落下することで棒状基板３の該端部が収容溝１０２に向けてよく誘導され、該収容溝１０２に滞りなく収容される。

なお、収容トレイ載置台８４の櫛刃部９０を利用せず、棒状基板３を吸引保持する吸引保持部７６を移動させて該棒状基板３の両端部を収容溝１０２に直接運び入れることも考えられる。しかしながら、この場合、棒状基板３の水平方向（Ｘ方向）における位置合わせを極めて高い精度で実施する必要がある。さもなければ、吸引保持部７６に吸引保持されて搬送される棒状基板３が収容トレイ９６の枠体９８に衝突し、棒状基板３が破損してしまう。

その一方で、櫛刃部９０を利用して収容トレイ９６に棒状基板３を収容すると、棒状基板３が収容トレイ９６の枠体９８に接触する前に吸引保持部７６による吸引保持を解除できるため、棒状基板３の破損を防止できる。その上、収容ユニット５４で棒状基板３の位置を精密に収容溝１０２に合わせる必要がなく、棒状基板３を迅速かつ容易に収容溝１０２に収容できる。

収容トレイ９６には、複数の棒状基板３が次々に収容される。そして、所定の数の棒状基板３が収容トレイ９６に収容された後、収容された複数の棒状基板３が収容トレイ９６ごと棒状基板洗浄装置８で洗浄される。ここで、収容トレイ９６の全ての収容溝１０２に棒状基板３が収容されている必要はない。

収容トレイ９６が棒状基板洗浄装置８に搬送される際には、ターンテーブル８２を回転させて収容トレイ９６が載る収容トレイ載置台８４を収容トレイ搬出位置８２ｂに移動させる。次に、収容トレイ９６を棒状基板洗浄装置８に搬送する搬送ユニット１０６について説明する。

搬送ユニット１０６は、図３に示す通り、収容ユニット５４と同様のボールネジ式の移動機構を備える。すなわち、支持構造５６の前面５６ａには、ターンテーブル８２の上面に平行な方向（Ｘ方向）に伸長した一対のガイドレール１０８が設けられ、一対のガイドレール１０８には、移動プレート１１０がスライド可能に装着されている。

一対のガイドレール１０８は、棒状基板収容装置６のターンテーブル８２の収容トレイ搬出位置８２ｂの上方から棒状基板洗浄装置８の後述の洗浄槽１４６の上方にかけてＸ方向に沿って伸長する。移動プレート１１０の裏面側（後面側）にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部にはガイドレール１０８に対して概ね平行なボールネジ１１２が螺合されている。

ボールネジ１１２の一端部には、パルスモータ１１４が連結されている。パルスモータ１１４によってボールネジ１１２を回転させることにより、移動プレート１１０がガイドレール１０８に沿って移動する。

移動プレート１１０の表面側（前面側）には、一対のガイドレール１１６がターンテーブル８２の上面に垂直な方向（Ｚ方向）に沿って設けられており、一対のガイドレール１１６には昇降プレート１１８がスライド可能に取り付けられている。昇降プレート１１８の裏面側（後面側）にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部にはガイドレール１１６に対して概ね平行なボールネジ１２０が螺合されている。

ボールネジ１２０の一端部にはパルスモータ１２２が連結されており、このパルスモータ１２２によってボールネジ１２０を回転させることにより、昇降プレート１１８がガイドレール１１６に沿って昇降する。昇降プレート１１８の表面側（前面側）には、収容トレイ９６を把持できる把持部１２４が吊り下げされた接続部１１８ａが固定されている。

ここで、搬送ユニット１０６の把持部１２４の構造について説明する。図８には、把持部１２４を拡大して模式的に示す斜視図が含まれている。把持部１２４は、一対の前側把持部１３２と、一対の後側把持部１３８と、を備える。

一対の前側把持部１３２は、それぞれ、収容トレイ９６の長さ方向（Ｘ方向）に沿って伸長した腕部１３４と、該腕部１３４の先端の下部に設けられた爪部１３６と、を有する。腕部１３４は、収容トレイ９６のＸ方向の長さよりも長い。爪部１３６は、収容トレイ９６の前側（Ｘ方向前側）に掛かる。一対の前側把持部１３２のそれぞれの腕部１３４の基端側は、接続部１１８ａから鉛直方向（Ｚ方向）の下方に伸びた一対の垂下部１２６のそれぞれの下端に固定されている。

また、一対の後側把持部１３８は、それぞれ、収容トレイ９６の後側（Ｘ方向後側）に掛かる爪部１４０を有し、接続部１１８ａから鉛直方向（Ｚ方向）の下方に伸びた一対の垂下部１２８のそれぞれの下端に固定されている。接続部１１８ａには、各垂下部１２６，１２８を腕部１３４の伸長方向（前後方向、Ｘ方向）に沿って移動させる図示しないピストン機構等の移動機構が固定されている。

該移動機構は、垂下部１２６を前方向（Ｘ方向前方）に移動させるとともに垂下部１２８を逆方向（Ｘ方向後方）に移動させることにより爪部１３６，１４０の間隔を広げられる。また、該移動機構は、垂下部１２８を前方向（Ｘ方向前方）に移動させるとともに垂下部１２６を逆方向（Ｘ方向後方）に移動させることにより爪部１３６，１４０の間隔を狭められる。

把持部１２４は、さらに、収容トレイ９６の枠体９８の平面形状に対応した平面形状の枠状の落下防止部１４２を備える。落下防止部１４２の一端は、接続部１１８ａから鉛直方向（Ｚ方向）下方に伸びた垂下部１３０の下端に固定されている。落下防止部１４２は、後述のように収容トレイ９６が把持部１２４により把持された際に収容トレイ９６を上方から押さえ、該収容トレイ９６に収容された棒状基板３の収容トレイ９６からの脱落を防止する機能を有する。

次に、棒状基板収容装置６から棒状基板洗浄装置８へ搬送ユニット１０６で収容トレイ９６を搬送する過程について説明する。図８は、ターンテーブル８２上の収容トレイ搬出位置８２ｂに位置する収容トレイ載置台８４に載置されている収容トレイ９６と、搬送ユニット１０６の把持部１２４と、を模式的に示す斜視図である。

まず、把持部１２４を収容トレイ載置台８４の上方に移動させる。また、前側把持部１３２及び後側把持部１３８を前後方向（Ｘ方向）に沿って互いに逆方向に移動させ、前側把持部１３２の爪部１３６と、後側把持部１３８の爪部１４０と、の間隔を広げておく。その後、爪部１３６，１４０の下端が収容トレイ９６の下端よりも低くなるように把持部１２４をＺ方向に沿って下降させる。図９（Ａ）は、下降した把持部１２４と、収容トレイ９６と、を模式的に示す側面図である。

なお、把持部１２４を収容トレイ載置台８４に近づけたときに収容トレイ載置台８４の載置面８６ａに設けられた位置決めピン８６ｂに落下防止部１４２が衝突しないように、落下防止部１４２には逃げ溝１４４が形成されているとよい。なお、収容トレイ９６の位置決め穴１０４の形状は収容トレイ載置台８４と、収容トレイ９６と、の位置合わせの精度に寄与するため、逃げ溝１４４とは異なり収容トレイ９６の位置決め穴１０４は位置決めピン８６ｂの形状とよく対応していることが好ましい。

次に、前側把持部１３２及び後側把持部１３８を前後方向（Ｘ方向）に沿って互いに逆向きに移動させ、前側把持部１３２の爪部１３６と、後側把持部１３８の爪部１４０と、の間隔を狭める。すると、両爪部１３６，１４０により収容トレイ９６が前後方向（Ｘ方向）に沿って把持される。図９（Ｂ）は、搬送ユニット１０６の把持部１２４に把持された収容トレイ９６を模式的に示す側面図である。

ここで、各爪部１３６，１４０は、下端にかけて前後方向（Ｘ方向）に沿って互いに近づくように傾斜していることが好ましい。また、収容トレイ９６の底面は、長さ方向（Ｘ方向）の端部において、各爪部１３６，１４０の傾斜に対応する傾斜を有することが好ましい。

両爪部１３６，１４０と、収容トレイ９６の底面の端部と、が傾斜していると、両爪部１３６，１４０を互いに近づけて両爪部１３６，１４０で収容トレイ９６を把持する際に収容トレイ９６が傾斜に沿って上昇する。そして、収容トレイ９６の上面が落下防止部１４２の下面に接触する。これにより、収容トレイ９６は把持部１２４に把持されて固定される。

すなわち、搬送ユニット１０６の把持部１２４は、収容トレイ９６の長さ方向（Ｘ方向）に沿って相対的に移動する一対の爪部１３６，１４０で収容トレイ９６を把持する機能を有する。なお、把持部１２４により収容トレイ９６が把持されると収容トレイ９６の収容溝１０２は上方が落下防止部１４２により塞がれるため、収容トレイ９６に収容された各棒状基板３が収容溝１０２から飛び出すことがない。

その後、搬送ユニット１０６は、把持部１２４を移動させるとことで収容トレイ９６を棒状基板洗浄装置８に搬送する。そして、棒状基板洗浄装置８では、把持部１２４に把持されたままの状態で収容トレイ９６が洗浄槽１４６に搬入され、この状態で各棒状基板３が洗浄される。

次に、棒状基板洗浄装置８について説明する。図３には、棒状基板洗浄装置８の一部の構成を模式的に示す斜視図が含まれており、図１０には、棒状基板洗浄装置８の一部の構成を模式的に示す断面図が含まれている。棒状基板洗浄装置８は、棒状基板３を収容できる収容トレイ９６の平面形状よりも大きい開口１４６ａを上端に有し洗浄液１５０を貯められる洗浄槽１４６を備える。

洗浄槽１４６の内壁または底面には、開閉可能な給水口１４６ｂと、開閉可能な排水口１４６ｃと、が設けられている。洗浄槽１４６には、給水口１４６ｂを通して洗浄液１５０が給水される。また、洗浄槽１４６で使用済みの洗浄液１５０は、排水口１４６ｃから排水される。例えば、洗浄槽１４６で使用される洗浄液１５０は、純水である。

洗浄槽１４６の内壁には、洗浄槽１４６に貯められた洗浄液１５０に超音波振動を付与できる超音波付与ユニット１４８が設けられていてもよい。超音波付与ユニット１４８は内部に超音波振動子を有し、該超音波振動子を作動させることで洗浄液１５０に超音波振動を与え棒状基板３の洗浄効果を高める。

図１０に示す通り、収容トレイ９６に収容された棒状基板３を棒状基板洗浄装置８で洗浄する際には、収容トレイ９６を把持する把持部１２４を洗浄槽１４６に下降させる。このとき、洗浄槽１４６には洗浄液１５０が貯められていてもよく、収容トレイ９６が洗浄液１５０に浸漬されてもよい。または、空の洗浄槽１４６に収容トレイ９６を進入させた後、洗浄槽１４６に洗浄液１５０を供給することで収容トレイ９６を洗浄液１５０に浸漬させてもよい。

このように、搬送ユニット１０６は、棒状基板洗浄装置８の搬送ユニットとしても機能し、収容トレイ９６を洗浄液１５０に浸漬させる。洗浄液１５０に収容トレイ９６を浸漬させると、収容溝１０２に収容された両端部を除き、棒状基板３の露出した表面が洗浄される。

このとき、棒状基板３を効果的に洗浄するために超音波付与ユニット１４８を作動させて洗浄液１５０に超音波を付与するとよい。また、棒状基板３の洗浄効果を高めるために、洗浄槽１４６には洗浄液１５０を攪拌するためのスクリュー形状の攪拌ユニットが設けられてもよい。

さらに、棒状基板洗浄装置８は、収容トレイ９６に収容された棒状基板３の付近で洗浄液１５０を集中的に攪拌する攪拌機構を備えてもよい。図１１には、攪拌機構としての機能を備える可動ユニット１５２を模式的に示す斜視図が含まれている。可動ユニット１５２は、例えば、支持構造５６（図３参照）に支持されており、収容トレイ９６の幅方向（Ｙ方向）に沿って移動可能である。また、支持構造５６は、Ｚ方向に沿って昇降可能であることが好ましい。

可動ユニット１５２は、各構成要素を支持するＺ方向に沿った支持体１５４を備える。支持体１５４の下部には、攪拌部１５６が固定されている。攪拌部１５６は、Ｘ方向に沿って伸長しＺ方向に沿って立てられた縦板部１５６ａと、縦板部１５６ａの下端に固定されＸ方向に沿って伸長するとともにＹ軸方向に沿って寝かせられた横板部１５６ｂと、を有する。縦板部１５６ａ及び横板部１５６ｂは、ともに、収容トレイ９６の長さ方向（Ｘ方向）に長い板状の部材である。

洗浄槽１４６に貯められた洗浄液１５０に収容トレイ９６を浸漬させている際に、可動ユニット１５２の支持体１５４を収容トレイ９６の幅方向（Ｙ方向）に往復移動させ、攪拌部１５６を収容トレイ９６の上方で往復移動させる。すると、攪拌部１５６の移動により各棒状基板３の周囲で洗浄液１５０が攪拌され、棒状基板３が洗浄液１５０で効果的に洗浄される。

なお、図１１では、洗浄液１５０が省略されている。洗浄液１５０で棒状基板３が洗浄されている間、給水口１４６ｂから新しい洗浄液１５０が洗浄槽１４６に供給され続けてもよく、古い洗浄液１５０が排水口１４６ｃから排水され続けてもよい。この場合、棒状基板３に付着していた加工屑等のコンタミが洗浄液１５０中に洗い流された後に徐々に洗浄槽１４６から排除され、洗浄液１５０の清浄度が所定の水準で保たれる。

洗浄液１５０で棒状基板３を洗浄した後、洗浄槽１４６の排水口１４６ｃから洗浄液１５０を排水する。そして、各棒状基板３にリンス液をかけて各棒状基板３をリンスする。例えば、可動ユニット１５２の支持体１５４の攪拌部１５６よりも高い位置には、収容トレイ９６の長さ方向（Ｘ方向）に沿って伸長したリンス液供給ノズル１５８が設けられているとよい。

図１２は、リンス液供給ノズル１５８から供給されるリンス液で収容トレイ９６に収容された棒状基板３がリンスされる様子を模式的に示す斜視図である。リンス液は、例えば、純水である。ただし、図１２では、リンス液が省略されている。

リンス液供給ノズル１５８には、下方に向いた複数のリンス液供給口（不図示）が設けられている。また、リンス液供給ノズル１５８及び支持体１５４の内部には、リンス液供給路（不図示）が設けられており、このリンス液供給路を通じてリンス液供給口にリンス液が供給され、リンス液供給口からリンス液が噴出する。

棒状基板３をリンスする際には、可動ユニット１５２及び把持部１２４の相対的な高さを調整する。そして、リンス液供給ノズル１５８の高さ位置よりも低く攪拌部１５６の縦板部１５６ａよりも高い所定の高さ位置に把持部１２４に把持された収容トレイ９６を位置付ける。

その後、可動ユニット１５２の支持体１５４を収容トレイ９６の幅方向（Ｙ方向）に沿って往復移動させつつリンス液供給ノズル１５８のリンス液供給口からリンス液を噴出させ、収容トレイ９６に収容された棒状基板３にリンス液を当てる。すると、棒状基板３がリンス液によりリンスされる。そのため、洗浄槽１４６の洗浄液１５０中に分散されていた僅かなコンタミ等が棒状基板３に付着していても、該コンタミ等がリンス液により洗い流される。

なお、リンス液供給ノズル１５８から棒状基板３に供給され洗浄槽１４６の底面に落下したリンス液は、排水口１４６ｃから排水されるとよい。リンス液で棒状基板３をリンスした後、棒状基板３の乾燥が実施される。

例えば、可動ユニット１５２の支持体１５４のリンス液供給ノズル１５８に隣接した位置と、リンス液供給ノズル１５８の上方の位置と、のそれぞれには、収容トレイ９６の長さ方向（Ｘ方向）に沿って伸長した乾燥ノズル１６０が設けられているとよい。図１３は、一対の乾燥ノズル１６０から供給される気体で収容トレイ９６に収容された棒状基板３が乾燥される様子を模式的に示す斜視図である。

下方の乾燥ノズル１６０には、上方に向いた複数の気体噴出口（不図示）が設けられている。その一方で、上方の乾燥ノズル１６０には、下方に向いた複数の気体噴出口（不図示）が設けられている。乾燥ノズル１６０及び支持体１５４の内部には、気体供給路（不図示）が設けられており、この気体供給路を通じて気体噴出口に気体が供給され、気体噴出口から気体が噴出する。

乾燥ノズル１６０で棒状基板３を乾燥する際には、可動ユニット１５２及び把持部１２４の相対的な高さを調整する。そして、一対の乾燥ノズル１６０の間の高さ位置に把持部１２４に把持された収容トレイ９６を位置づける。

その後、可動ユニット１５２の支持体１５４を収容トレイ９６の幅方向（Ｙ方向）に沿って往復移動させつつそれぞれの乾燥ノズル１６０の気体噴出口から気体を噴出させ、気体を収容トレイ９６に収容された棒状基板３に当てる。すると、棒状基板３に付着していた水分が気体により吹き飛ばされる。

ここで、乾燥ノズル１６０から噴出される気体は、例えば、乾燥窒素ガスや乾燥空気であり、乾燥ノズル１６０から噴出される前に図示しない熱源等により加熱されてもよい。加熱された気体を棒状基板３に当てると、棒状基板３の乾燥を効率的に実施できる。このように、棒状基板洗浄装置８は、乾燥ノズル１６０と、支持体１５４と、該熱源と、を含む乾燥ユニットを備え、該乾燥ユニットにより棒状基板３を乾燥させる。

なお、棒状基板３から吹き飛ばされた水分は、棒状基板製造装置２の外装カバー１２，１６，２０の内部空間において飛散してしまう。この水分が棒状基板製造装置２の構成要素に再付着すると、該構成要素が汚染される場合がある。そこで、棒状基板製造装置２の内部空間において、棒状基板収容装置６と、棒状基板洗浄装置８と、の間に開閉可能なシャッター機構（不図示）が設けられているとよい。

そして、棒状基板収容装置６から棒状基板洗浄装置８へ収容トレイ９６が搬送されるとき以外は常に該シャッター機構が閉じられているとよい。この場合、棒状基板３から吹き飛ばされた水分が到達できる範囲が限定されるため、棒状基板製造装置２の内部空間の汚染を抑制できる。

以上により棒状基板洗浄装置８における棒状基板３の洗浄工程がすべて完了する。棒状基板３の洗浄が完了した後、収容トレイ９６が棒状基板洗浄装置８から取り出される。棒状基板洗浄装置８の内部には、図１に示す収容トレイ取り出し部２８の近傍に収容トレイ回収アーム（不図示）が設けられている。

収容トレイ回収アームは、先端部が洗浄槽１４６の上方と、収容トレイ取り出し部２８と、の間を移動できる腕部を備える。収容トレイ９６を棒状基板洗浄装置８から取り出す際には、該腕部の該先端部を洗浄槽１４６の上方に移動させる。その後、搬送ユニット１０６は、該収容トレイ回収アームの先端部の上に把持部１２４を位置付け、前側把持部１３２の爪部１３６と、後側把持部１３８の爪部１４０と、が互いに離れるように垂下部１２６，１２８をそれぞれ移動させる。

このとき、把持部１２４による収容トレイ９６の把持が解除され、該収容トレイ回収アームの先端部に収容トレイ９６が載る。そして、該収容トレイ回収アームの先端部を洗浄槽１４６の上方から収容トレイ取り出し部２８に移動させる。その後、棒状基板製造装置２の使用者は、収容トレイ取り出し部２８の蓋を開き、収容トレイ９６を回収する。これにより、基板１から切り出されて製造され、両側面が研磨され、洗浄液１５０で洗浄された棒状基板３が得られる。

得られた棒状基板３は、棒状基板製造装置２の外部においてもそのまま収容トレイ９６に収容した状態で搬送され、所定の領域で収容トレイ９６から回収される。なお、収容されていた棒状基板３が収容トレイ９６からすべて取り出された後、空の収容トレイ９６は再利用可能である。すなわち、ターンテーブル８２の上面の収容トレイ載置台８４に再び載置され、棒状基板製造装置２の棒状基板切り出し装置４で基板１から切り出された新たな棒状基板３の収容に使用される。

従来、基板１から切り出されて形成された棒状基板３は、作業者が粘着テープに一つ一つ貼着し、各棒状基板を洗浄していた。このとき、各棒状基板３の一方の側面が粘着テープに貼着され各棒状基板３の他方の側面が洗浄されていた。そのため、各棒状基板３の該他方の側面を洗浄した後、各棒状基板３の該一方の側面を洗浄するために粘着テープから各棒状基板３を剥離し、各棒状基板３の該他方の側面に新たな粘着テープを貼着する必要があった。

これに対して、本実施形態に係る棒状基板洗浄装置８が組み込まれた棒状基板製造装置２では、収容トレイ９６を使用することで粘着テープを使用することなく棒状基板３を洗浄できる。そのため、粘着テープや、粘着テープへの棒状基板３の貼り付けに要していた人手及び作業時間が不要である。したがって、本実施形態に係る棒状基板洗浄装置８によると、棒状基板３を低コストで効率的に洗浄できる。

なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、棒状基板洗浄装置８が棒状基板製造装置２に組み込まれて使用される場合を例に説明したが、本発明の一態様に係る棒状基板洗浄装置８の使用態様はこれに限定されない。

すなわち、棒状基板洗浄装置８は独立した装置でもよい。この場合、洗浄対象となる棒状基板３を収容トレイ９６に収容し、この収容トレイ９６を搬送ユニット１０６の把持部１２４に把持させることで棒状基板３を棒状基板洗浄装置８に搬入する。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１ 基板
３ 棒状基板
２ 棒状基板製造装置
４ 棒状基板切り出し装置
６ 棒状基板収容装置
８ 棒状基板洗浄装置
１０，１４，１８ 基台
１２，１６，２０ 外装カバー
２２，２４ 搬入口
２６ メンテナンス扉
２８ 収容トレイ取り出し部
３０ チャックテーブル
３２ 加工ユニット
３４ スピンドルハウジング
３６ スピンドル
３８ 複合工具
３８ａ 切削ブレード
３８ｂ 研磨パッド
４０ 移動体
４０ａ 移動治具
４０ｂ 溝部
４２ 駆動部
４４ 回転移動ユニット
４６ 軸部
４８ 腕部
５０ モーター
５２ 保持部
５４ 収容ユニット
５６ 支持構造
５６ａ 前面
５８，６６，１０８，１１６ ガイドレール
６０，１１０ 移動プレート
６２，７０，１１２，１２０ ボールネジ
６４，７２，１１４，１２２ パルスモータ
６８ 昇降プレート
７４ 腕部
７６ 吸引保持部
７８ 吸引路
８０ 吸引口
８２ ターンテーブル
８２ａ 棒状基板受け取り位置
８２ｂ 収容トレイ搬出位置
８４ 収容トレイ載置台
８６ 基部
８６ａ 載置面
８６ｂ 位置決めピン
８８ 凹部
９０ 櫛刃部
９２ 櫛刃
９４ 谷部
９６ 収容トレイ
９８ 枠体
１００ 開口
１０２ 収容溝
１０４ 位置決め穴
１０６ 搬送ユニット
１１８ 昇降プレート
１１８ａ 接続部
１２４ 把持部
１２６，１２８，１３０ 垂下部
１３２ 前側把持部
１３４ 腕部
１３６，１４０ 爪部
１３８ 後側把持部
１４２ 落下防止部
１４４ 逃げ溝
１４６ 洗浄槽
１４６ａ 開口
１４６ｂ 給水口
１４６ｃ 排水口
１４８ 超音波付与ユニット
１５０ 洗浄液
１５２ 可動ユニット
１５４ 支持体
１５６ 攪拌部
１５６ａ 縦板部
１５６ｂ 横板部
１５８ リンス液供給ノズル
１６０ 乾燥ノズル

Claims (6)

1. 棒状基板を洗浄する棒状基板洗浄装置であって、
   該棒状基板の両端部を一対の収容溝のそれぞれに収容することにより該両端部以外の表面を露出させた状態で該棒状基板を収容できる収容トレイの平面形状よりも大きい開口を上端に有し洗浄液を貯められる洗浄槽と、
   該収容トレイを搬送し、該洗浄液を貯めている該洗浄槽の該開口から該収容トレイを該洗浄槽に進入させ、該収容トレイを該洗浄液に浸漬させる搬送ユニットと、
   を備えることを特徴とする棒状基板洗浄装置。
2. 該搬送ユニットは、該収容トレイの長さ方向に沿って相対的に移動する一対の爪部で該収容トレイを把持する把持部を有することを特徴とする請求項１記載の棒状基板洗浄装置。
3. 該搬送ユニットは、該収容トレイを上方から押さえ、該収容トレイに収容された該棒状基板の該収容トレイからの脱落を防止する落下防止部を備えることを特徴とする請求項１記載の棒状基板洗浄装置。
4. 該洗浄槽には、該洗浄液に超音波を付与できる超音波付与ユニットが設けられていることを特徴とする請求項１記載の棒状基板洗浄装置。
5. 該洗浄槽に貯められた該洗浄液で洗浄された該棒状基板を乾燥させる乾燥ユニットをさらに備えることを特徴とする請求項１記載の棒状基板洗浄装置。
6. 該収容トレイに該棒状基板を収容する収容ユニットを更に備え、
   該収容ユニットは、側面に吸引口が形成された吸引保持部を有し、該吸引保持部の該吸引口に該棒状基板を接触させて該棒状基板を吸引保持できることを特徴とする請求項１記載の棒状基板洗浄装置。

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