JP2023038553A - retention mechanism - Google Patents

Abstract

To easily hold a work piece with a suction cup.SOLUTION: By bringing a suction cup surface 162 into contact with a plate-like workpiece 2, a projection part 165 is pressed toward an inner part of a main body 161 together with a valve 164, and an open 163 is communicated with a suction source 148 to enable a suction force of the suction source 148 to act on the plate-like workpiece 2. Further, in a suction cup 160 which is not in contact with the plate-like workpiece 2, the open 163 is blocked by the valve 164. Therefore, only by the suction cup 160 that is required for holding the plate-like workpiece 2 corresponded to a form and a size of the plate-like workpiece 2, the plate-like workpiece 2 can be easily held.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、保持機構に関する。 The present invention relates to retention mechanisms.

特許文献１に開示のように、被加工物を研削する研削装置は、被加工物を保持機構によって保持して搬送している。保持機構には、複数の吸盤が配置されている。吸盤を吸引源に連通させることによって、吸盤が被加工物を吸引保持している。 As disclosed in Patent Document 1, a grinding apparatus for grinding a workpiece holds and conveys the workpiece by a holding mechanism. A plurality of suction cups are arranged in the holding mechanism. By connecting the suction cup to a suction source, the suction cup holds the workpiece by suction.

このように、吸盤によって被加工物を吸引保持する際には、被加工物に吸盤を押し付けた後、吸盤を吸引源に連通させる。これにより、吸盤と吸引源とを連通する吸引路内への水の進入を少なくして、吸盤の吸引力が低下することを抑制している。 In this way, when the workpiece is sucked and held by the suction cup, the suction cup is pressed against the workpiece and then communicated with the suction source. This reduces the amount of water entering the suction path that communicates the suction cup and the suction source, thereby suppressing a decrease in the suction force of the suction cup.

特開２０２１－０７７７６３号公報JP 2021-077763 A

しかし、上述の技術では、吸盤を被加工物に押し付けるステップと、吸盤を吸引源に連通させるために吸引路に配設されたバルブを開くステップとが実施される。このため、被加工物を保持するまでの動作に時間がかかる。 However, the technique described above involves pressing the suction cup against the workpiece and opening a valve disposed in the suction path to communicate the suction cup with the suction source. Therefore, it takes time to hold the workpiece.

また、被加工物が円形の場合に吸引源に連通させる吸盤の数と、被加工物が四角形の場合に吸引源に連通させる吸盤の数とが、互いに異なる。このため、被加工物の形状を認識して、認識結果に基づいて複数のバルブの開閉を制御することにより、吸引源に連通させる吸盤の数を変更している。
したがって、本発明の目的は、吸盤で被加工物を吸引保持する保持機構に関して、吸盤によって被加工物を容易に保持することにある。 Also, the number of suction cups communicated with the suction source when the workpiece is circular differs from the number of suction cups communicated with the suction source when the workpiece is square. For this reason, the shape of the workpiece is recognized, and the number of suction cups communicated with the suction source is changed by controlling the opening and closing of a plurality of valves based on the recognition result.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a holding mechanism for sucking and holding a workpiece with a suction cup, and to easily hold the workpiece with the suction cup.

本発明の保持機構（本保持機構）は、同一面状に複数の吸盤を配置した保持パッドと、被加工物に対して該保持パッドを移動させる移動機構と、を備え、吸引源に連通した該吸盤の吸着面によって被加工物を吸引保持する保持機構であって、該吸盤は、中空箱状の本体と、該本体の該吸着面に形成され該本体の内部と連通する開口と、該内部に配置され該開口を塞ぐための弁と、該弁に連結し該弁が該開口を塞いでいるときに該開口から突出する突出部と、該内部に配置され該弁を該開口に押しつける付勢力を備えるバネと、該内部を吸引源に連通する連通部と、を備え、該バネの付勢力は、該内部が吸引源に連通されているとき該開口の面積を大気圧が押す力よりも大きい力に設定され、該内部を吸引源に連通させ、該移動機構によって、該吸盤の該吸着面を該被加工物に当接させることにより、該突出部を該内部に向かって押し込んで、該開口を吸引源に連通し、該バネの付勢力と該被加工物の重量との合力よりも該吸着面を大気圧が押す力が大きいことで、該被加工物を吸引保持する。
また、本保持機構では、該吸着面は、外周部分のみが被加工物に接触するように形成されていてもよい。 A holding mechanism (main holding mechanism) of the present invention includes a holding pad having a plurality of suction cups arranged on the same plane, and a moving mechanism for moving the holding pad relative to a workpiece, and communicated with a suction source. A holding mechanism for sucking and holding a workpiece by means of a suction surface of the suction cup, the suction cup comprising a hollow box-shaped main body, an opening formed in the suction surface of the main body and communicating with the inside of the main body, and a valve disposed internally for blocking the opening; a projection connected to the valve and projecting from the opening when the valve is blocking the opening; and a protrusion disposed internally to press the valve against the opening. A spring having an urging force and a communication portion communicating the interior with the suction source are provided, and the urging force of the spring is the force of the atmospheric pressure pushing the area of the opening when the interior is in communication with the suction source. The protrusion is pushed toward the interior by connecting the interior to the suction source and bringing the adsorption surface of the suction cup into contact with the workpiece by the movement mechanism. The opening is communicated with a suction source, and the work piece is sucked and held by the force of the atmospheric pressure pushing the attraction surface larger than the combined force of the biasing force of the spring and the weight of the work piece. .
Further, in this holding mechanism, the attraction surface may be formed so that only the outer peripheral portion contacts the workpiece.

本保持機構では、吸盤の吸着面を被加工物に当接させることにより、突出部を弁とともに本体の内部に向かって押し込んで、吸着面の開口を塞いでいる弁を開口から離すことにより、開口を吸引源に連通させて、吸着面に当接されている被加工物に、吸引源の吸引力を作用させている。このように、本保持機構では、吸盤の吸着面を被加工物に当接させることにより、吸盤によって被加工物を容易に保持することができる。 In this holding mechanism, by bringing the suction surface of the suction cup into contact with the workpiece, the protruding portion is pushed toward the inside of the main body together with the valve, and the valve blocking the opening of the suction surface is separated from the opening. The opening is communicated with a suction source, and the suction force of the suction source is applied to the workpiece that is in contact with the suction surface. In this way, in this holding mechanism, the suction cup can easily hold the workpiece by bringing the suction surface of the suction cup into contact with the workpiece.

また、本保持機構では、被加工物に当接していない吸盤では、弁によって開口が塞がれたままとなるため、吸引源が開口に連通されず、吸引源の吸引力が外部に作用することが防止されている。したがって、本保持機構では、保持パッドに被加工物を当接させることにより、被加工物の形状およびサイズに対応する、被加工物を保持するために必要な吸盤のみにおいて、開口を吸引源に連通して、被加工物を吸引保持することが可能である。 In addition, in this holding mechanism, since the opening of the suction cup that is not in contact with the workpiece remains blocked by the valve, the suction source is not communicated with the opening, and the suction force of the suction source acts on the outside. is prevented. Therefore, in this holding mechanism, by bringing the work piece into contact with the holding pad, only the suction cups necessary for holding the work piece, which correspond to the shape and size of the work piece, are used as the suction source. Through communication, it is possible to suck and hold the workpiece.

このため、保持される被加工物の形状およびサイズを認識し、認識結果に応じて使用される吸盤を選択し、選択された吸盤の開口だけを吸引源に連通させるために複数のバルブの開閉を制御する、という動作、および、この動作のための構成が不要となる。したがって、本保持機構では、この点においても、吸盤によって被加工物を容易に保持することが可能となる。 For this reason, it recognizes the shape and size of the workpiece to be held, selects the suction cups to be used according to the recognition results, and opens and closes a plurality of valves to allow only the openings of the selected suction cups to communicate with the suction source. and no configuration for this operation is required. Therefore, in this holding mechanism, the workpiece can be easily held by the suction cups.

また、吸着面が、外周部分のみが被加工物に接触するように形成されている場合、被加工物に作用する吸引源の吸引力が、吸着面および被加工物に形成されている凹凸の影響を受けにくくなる。このため、吸盤によって、被加工物を良好に吸引保持することが可能となる。 Further, in the case where the suction surface is formed so that only the outer peripheral portion is in contact with the workpiece, the suction force of the suction source acting on the workpiece is affected by the unevenness formed on the suction surface and the workpiece. less susceptible to influence. Therefore, the sucker can satisfactorily suck and hold the workpiece.

研削装置の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of a grinding apparatus. 被加工物出入れ機構の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of a to-be-processed object loading/unloading mechanism. 保持機構の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of a holding mechanism. 保持パッドの構成を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing the structure of a holding pad; 吸盤の構成を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing the configuration of a suction cup; FIG. 吸盤の構成を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing the configuration of a suction cup; FIG. 吸盤の他の構成を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing another configuration of the suction cup; 吸盤の他の構成を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing another configuration of the suction cup; 吸盤のさらに他の構成を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing still another configuration of the suction cup; 吸盤のさらに他の構成を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing still another configuration of the suction cup; 吸盤のさらに他の構成を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing still another configuration of the suction cup; 吸盤のさらに他の構成を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing still another configuration of the suction cup;

図１に示すように、本実施形態にかかる研削装置１は、被加工物の一例としての板状ワーク２を研削加工するものである。板状ワーク２は、たとえば、円形の板状ワークである円形ワーク２０、および、矩形の板状ワークである矩形ワーク２１を含む。 As shown in FIG. 1, a grinding apparatus 1 according to the present embodiment grinds a plate-like workpiece 2 as an example of a workpiece. The plate-shaped work 2 includes, for example, a circular work 20 that is a circular plate-shaped work, and a rectangular work 21 that is a rectangular plate-shaped work.

研削装置１は、第１の装置ベース４と、第１の装置ベース４の後方（＋Ｙ方向側）に配置された第２の装置ベース５とを有している。第１の装置ベース４上では、板状ワーク２の搬入出等が行われる。第２の装置ベース５上では、板状ワーク２が加工される。 The grinding device 1 has a first device base 4 and a second device base 5 arranged behind the first device base 4 (on the +Y direction side). On the first device base 4, loading and unloading of the plate-like work 2 are performed. A plate-like work 2 is processed on the second device base 5 .

第１の装置ベース４の正面側（－Ｙ方向側）には、第１カセットステージ４０および第２カセットステージ４５が設けられている。第１カセットステージ４０には、アダプタプレート４２を介して、加工前の板状ワーク２が収容されているカセット４１が載置されている。第２カセットステージ４５には、アダプタプレート４２を介して、加工後の板状ワーク２が収容される同様のカセット４１が載置されている。 A first cassette stage 40 and a second cassette stage 45 are provided on the front side (-Y direction side) of the first device base 4 . A cassette 41 containing plate-like workpieces 2 before processing is placed on the first cassette stage 40 via an adapter plate 42 . On the second cassette stage 45, a similar cassette 41 that accommodates the plate-shaped work 2 after processing is mounted via an adapter plate 42. As shown in FIG.

カセット４１は、上下方向に隙間をあけて複数の板状ワーク２を収容する棚を備えている。各棚に一枚ずつ、板状ワーク２が収容されている。 The cassette 41 has a shelf that accommodates a plurality of plate-shaped works 2 with a gap in the vertical direction. A plate-like work 2 is accommodated one by one on each shelf.

カセット４１は、＋Ｙ方向側を向く開口を有している。この開口の＋Ｙ方向側には、破線によって示す仮置き空間１９０が配置されている。この仮置き空間１９０には、図２に示すような、被加工物出入れ機構１０が備えられている。被加工物出入れ機構１０は、カセット４１に対して被加工物である板状ワーク２を搬出および搬入するために用いられる。 The cassette 41 has an opening facing the +Y direction. A temporary storage space 190 indicated by a broken line is arranged on the +Y direction side of this opening. This temporary storage space 190 is provided with a workpiece loading/unloading mechanism 10 as shown in FIG. The workpiece loading/unloading mechanism 10 is used for loading and unloading the plate-like workpiece 2 , which is the workpiece, into and out of the cassette 41 .

被加工物出入れ機構１０は、カセット４１に対して板状ワーク２を搬出および搬入するためのベルト移動機構５０、および、板状ワーク２が載置（仮置き）される仮置き機構２００が配設されている。 The workpiece loading/unloading mechanism 10 includes a belt moving mechanism 50 for loading and unloading the plate-shaped work 2 with respect to the cassette 41, and a temporary placement mechanism 200 on which the plate-shaped work 2 is placed (temporarily placed). are arranged.

ベルト移動機構５０は、図２に示すように、ベルトコンベアとしての、第１ベルト移動機構４００および第２ベルト移動機構４２０を有している。 The belt moving mechanism 50 has a first belt moving mechanism 400 and a second belt moving mechanism 420 as belt conveyors, as shown in FIG.

カセット４１から板状ワーク２を搬出する際には、第１ベルト移動機構４００は、カセット４１から加工前の板状ワーク２を引き出す。第２ベルト移動機構４２０は、引き出された板状ワーク２を受け取って、仮置き機構２００に向けて搬送し、その仮置きレーン２１０に載置する。なお、この搬送の際、第２ベルト移動機構４２０の上方に備えられたカメラ５５が、アライメントのために板状ワーク２を撮像してもよい。 When carrying out the plate-like work 2 from the cassette 41 , the first belt moving mechanism 400 pulls out the plate-like work 2 before processing from the cassette 41 . The second belt moving mechanism 420 receives the pulled out plate-shaped work 2 , conveys it toward the temporary placement mechanism 200 , and places it on the temporary placement lane 210 . During this transportation, the camera 55 provided above the second belt moving mechanism 420 may image the plate-like workpiece 2 for alignment.

一方、板状ワーク２をカセット４１に搬入する際には、第２ベルト移動機構４２０は、仮置き機構２００の仮置きレーン２１０に載置されている板状ワーク２を引き出す。第１ベルト移動機構４００は、引き出された板状ワーク２を受け取って、カセット４１内に搬入する。 On the other hand, when carrying the plate-shaped work 2 into the cassette 41 , the second belt moving mechanism 420 pulls out the plate-shaped work 2 placed on the temporary placement lane 210 of the temporary placement mechanism 200 . The first belt moving mechanism 400 receives the pulled-out plate-shaped work 2 and carries it into the cassette 41 .

仮置き機構２００は、板状ワーク２が載置される仮置きレーン２１０、仮置きレーン２１０の幅を調整するための幅変更部２２０、および、仮置きレーン２１０および幅変更部２２０をＸ軸方向に沿って移動可能に支持するＸ軸移動機構２３０を備えている。仮置き機構２００では、幅変更部２２０およびＸ軸移動機構２３０により、板状ワーク２のサイズおよび形状に合わせて、仮置きレーン２１０の幅および位置を調整することができる。 The temporary placement mechanism 200 includes a temporary placement lane 210 on which the plate-like workpiece 2 is placed, a width changing section 220 for adjusting the width of the temporary placement lane 210, and the temporary placement lane 210 and the width changing section 220 along the X axis. It has an X-axis moving mechanism 230 that supports it movably along the direction. In the temporary placement mechanism 200 , the width and position of the temporary placement lane 210 can be adjusted according to the size and shape of the plate-like workpiece 2 by the width changer 220 and the X-axis movement mechanism 230 .

また、図１に示すように、仮置き空間１９０の＋Ｙ方向側における第２の装置ベース５上には、板状ワーク２を保持するためのチャックテーブル３０が配置されている。チャックテーブル３０は、板状ワーク２を吸引保持する保持面３１を備えている。保持面３１は、板状ワーク２のうちの円形ワーク２０に応じた円形状の円形保持面３１１と、円形保持面３１１を囲むように配置された、矩形ワーク２１に応じた矩形状の矩形保持面３１２を含んでいる。保持面３１は、図示しない吸引源に連通されて、板状ワーク２を吸引保持することが可能である。 Further, as shown in FIG. 1, a chuck table 30 for holding the plate-like work 2 is arranged on the second apparatus base 5 on the +Y direction side of the temporary placement space 190 . The chuck table 30 has a holding surface 31 that holds the plate-like workpiece 2 by suction. The holding surface 31 includes a circular holding surface 311 corresponding to the circular workpiece 20 of the plate-shaped workpiece 2 and a rectangular holding surface 311 arranged so as to surround the circular holding surface 311 and corresponding to the rectangular workpiece 21. It includes face 312 . The holding surface 31 communicates with a suction source (not shown) and can hold the plate-like workpiece 2 by suction.

チャックテーブル３０は、保持面３１によって板状ワーク２を吸引保持した状態で、チャックテーブル３０の中心を通りＺ軸方向に延在する中心軸を中心として、回転可能である。 The chuck table 30 is rotatable about a central axis that passes through the center of the chuck table 30 and extends in the Z-axis direction, while the holding surface 31 holds the plate-like workpiece 2 by suction.

また、チャックテーブル３０の近傍には、チャックテーブル３０の保持面３１に保持された板状ワーク２の厚みを測定するための厚み測定器９が備えられている。 A thickness measuring device 9 for measuring the thickness of the plate-like workpiece 2 held on the holding surface 31 of the chuck table 30 is provided near the chuck table 30 .

また、第２の装置ベース５上の後方（＋Ｙ方向側）には、コラム１４が立設されている。そして、研削装置１は、コラム１４の前面に、板状ワーク２を研削する研削機構１５、および、研削機構１５を研削送りする研削送り機構１１を備えている。 A column 14 is erected behind the second device base 5 (on the +Y direction side). The grinding apparatus 1 includes a grinding mechanism 15 that grinds the plate-like workpiece 2 and a grinding feed mechanism 11 that feeds the grinding mechanism 15 to the front surface of the column 14 .

研削機構１５は、研削砥石１８を有する研削ホイール１７、および、研削ホイール１７を回転させるスピンドル１６を備えている。 The grinding mechanism 15 comprises a grinding wheel 17 having a grinding wheel 18 and a spindle 16 for rotating the grinding wheel 17 .

研削装置１では、研削送り機構１１によって研削機構１５が研削送りされるとともに、研削機構１５のスピンドル１６により研削砥石１８が回転される。そして、回転する研削砥石１８によって、回転するチャックテーブル３０の保持面３１に保持された板状ワーク２が研削される。 In the grinding apparatus 1 , the grinding feed mechanism 11 feeds the grinding mechanism 15 for grinding, and the spindle 16 of the grinding mechanism 15 rotates the grinding wheel 18 . Then, the plate-like work 2 held on the holding surface 31 of the rotating chuck table 30 is ground by the rotating grinding wheel 18 .

また、図１において破線によって示す第２搬送空間１７０には、図３に示す保持機構１００が備えられている。 Further, the holding mechanism 100 shown in FIG. 3 is provided in the second transfer space 170 indicated by the dashed line in FIG.

保持機構１００は、Ｙ軸方向に延びる筐体板１０１における－Ｘ方向側の面に、板状ワーク２を保持する保持部１４０、および、保持部１４０を移動させる移動機構１１０を備えている。 The holding mechanism 100 includes a holding portion 140 for holding the plate-like work 2 and a moving mechanism 110 for moving the holding portion 140 on the -X direction side surface of the housing plate 101 extending in the Y-axis direction.

移動機構１１０は、たとえば、保持パッド１４２を含む保持部１４０を板状ワーク２に対して移動させるために用いられる。移動機構１１０は、保持部１４０をＺ軸方向に移動させるためのＺ軸移動機構１３０、ならびに、保持部１４０およびＺ軸移動機構１３０をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸移動機構１２０を備えている。 The moving mechanism 110 is used, for example, to move the holding part 140 including the holding pad 142 with respect to the plate-like workpiece 2 . The moving mechanism 110 includes a Z-axis moving mechanism 130 for moving the holding portion 140 in the Z-axis direction, and a Y-axis moving mechanism 120 for moving the holding portion 140 and the Z-axis moving mechanism 130 in the Y-axis direction. ing.

Ｙ軸移動機構１２０は、Ｙ軸方向に延びる一対のガイドレール１２３、ガイドレール１２３に載置されたＹ軸テーブル１２４、ガイドレール１２３と平行に延びるボールネジ１２５、および、ボールネジ１２５を回転させる駆動モータ１２６を含んでいる。 The Y-axis movement mechanism 120 includes a pair of guide rails 123 extending in the Y-axis direction, a Y-axis table 124 placed on the guide rails 123, a ball screw 125 extending parallel to the guide rails 123, and a drive motor for rotating the ball screw 125. 126 included.

一対のガイドレール１２３は、Ｙ軸方向に平行に、筐体板１０１に配置されている。Ｙ軸テーブル１２４は、一対のガイドレール１２３上に、これらのガイドレール１２３に沿ってスライド可能に設置されている。Ｙ軸テーブル１２４上には、Ｚ軸移動機構１３０および保持部１４０が取り付けられている。 A pair of guide rails 123 are arranged on the housing plate 101 in parallel with the Y-axis direction. The Y-axis table 124 is installed on a pair of guide rails 123 so as to be slidable along these guide rails 123 . A Z-axis movement mechanism 130 and a holder 140 are mounted on the Y-axis table 124 .

ボールネジ１２５は、Ｙ軸テーブル１２４に設けられたナット部（図示せず）に螺合されている。駆動モータ１２６は、ボールネジ１２５の一端部に連結されており、ボールネジ１２５を回転駆動する。ボールネジ１２５が回転駆動されることで、Ｙ軸テーブル１２４、Ｚ軸移動機構１３０および保持部１４０が、ガイドレール１２３に沿って、Ｙ軸方向に移動する。 The ball screw 125 is screwed into a nut portion (not shown) provided on the Y-axis table 124 . The drive motor 126 is connected to one end of the ball screw 125 and drives the ball screw 125 to rotate. Rotation of the ball screw 125 causes the Y-axis table 124 , the Z-axis movement mechanism 130 and the holder 140 to move along the guide rail 123 in the Y-axis direction.

Ｚ軸移動機構１３０は、取付板１３４、Ｚ軸方向に延びるガイドレール１３１、ガイドレール１３１上に載置されたＺ軸テーブル１３２、ガイドレール１３１と平行に延びるボールネジ１３３、ボールネジ１３３を回転させる駆動モータ１３５、および、保持部１４０を支持するアーム１３７を備えている。 The Z-axis moving mechanism 130 includes a mounting plate 134, a guide rail 131 extending in the Z-axis direction, a Z-axis table 132 placed on the guide rail 131, a ball screw 133 extending parallel to the guide rail 131, and a driving mechanism for rotating the ball screw 133. A motor 135 and an arm 137 that supports the holding portion 140 are provided.

取付板１３４は、Ｙ軸テーブル１２４に配置されている。ガイドレール１３１は、Ｚ軸方向に平行に、取付板１３４に配置されている。Ｚ軸テーブル１３２は、ガイドレール１３１上に、ガイドレール１３１に沿ってスライド可能に設置されている。Ｚ軸テーブル１３２上には、アーム１３７が取り付けられている。 The mounting plate 134 is arranged on the Y-axis table 124 . The guide rail 131 is arranged on a mounting plate 134 parallel to the Z-axis direction. The Z-axis table 132 is installed on the guide rail 131 so as to be slidable along the guide rail 131 . An arm 137 is attached on the Z-axis table 132 .

ボールネジ１３３は、Ｚ軸テーブル１３２に設けられたナット部（図示せず）に螺合されている。駆動モータ１３５は、ボールネジ１３３の一端部に連結されており、ボールネジ１３３を回転駆動する。ボールネジ１３３が回転駆動されることで、Ｚ軸テーブル１３２、アーム１３７、および、アーム１３７に支持された保持部１４０が、ガイドレール１３１に沿って、Ｚ軸方向に移動する。 The ball screw 133 is screwed into a nut portion (not shown) provided on the Z-axis table 132 . The drive motor 135 is connected to one end of the ball screw 133 and drives the ball screw 133 to rotate. By rotating the ball screw 133 , the Z-axis table 132 , the arm 137 , and the holding portion 140 supported by the arm 137 move along the guide rail 131 in the Z-axis direction.

アーム１３７は、Ｚ軸テーブル１３２に取り付けられており、Ｘ軸方向に沿って延びている。 Arm 137 is attached to Z-axis table 132 and extends along the X-axis direction.

保持部１４０は、Ｚ軸移動機構１３０のアーム１３７の先端に連結された回転機構１３８に支持されている。保持部１４０は、回転機構１３８を挟むように設けられた一対の保持パッド１４２を有している。保持パッド１４２は、板状ワーク２を吸引保持することが可能である。また、回転機構１３８が回転することによって、一方の保持パッド１４２と他方の保持パッド１４２とを反転させることができる。 The holding part 140 is supported by a rotating mechanism 138 connected to the tip of an arm 137 of the Z-axis moving mechanism 130 . The holding portion 140 has a pair of holding pads 142 that sandwich the rotating mechanism 138 . The holding pad 142 can hold the plate-like workpiece 2 by suction. Further, one holding pad 142 and the other holding pad 142 can be reversed by rotating the rotating mechanism 138 .

このような構成を有する保持機構１００は、被加工物出入れ機構１０の仮置き機構２００に載置された板状ワーク２を、保持部１４０によって保持し、チャックテーブル３０の保持面３１に搬送および載置する。 The holding mechanism 100 having such a configuration holds the plate-like workpiece 2 placed on the temporary placement mechanism 200 of the workpiece loading/unloading mechanism 10 by the holding portion 140 and conveys it to the holding surface 31 of the chuck table 30 . and place.

また、保持機構１００は、板状ワーク２に対する研削機構１５による研削加工後、チャックテーブル３０の保持面３１上の板状ワーク２を保持部１４０によって保持し、たとえば図示しない中継テーブルに載置する。 After grinding the plate-like work 2 by the grinding mechanism 15, the holding mechanism 100 holds the plate-like work 2 on the holding surface 31 of the chuck table 30 by the holding part 140, and places it on, for example, a relay table (not shown). .

中継テーブルに載置された板状ワーク２は、その後、たとえば図示しないロボットによって、図１に示す洗浄機構１５６に搬送される。 The plate-like work 2 placed on the relay table is then transported to the cleaning mechanism 156 shown in FIG. 1 by, for example, a robot (not shown).

なお、中継テーブルおよびロボットを用いることなく、保持機構１００によって、洗浄機構１５６に板状ワーク２を搬送してもよい。 Note that the plate-like work 2 may be conveyed to the cleaning mechanism 156 by the holding mechanism 100 without using the relay table and the robot.

洗浄機構１５６は、板状ワーク２を洗浄するスピンナ洗浄ユニットである。洗浄機構１５６によって洗浄された板状ワーク２は、たとえば図示しないロボットにより、図２に示した被加工物出入れ機構１０の仮置き機構２００に載置され、ベルト移動機構５０の第１ベルト移動機構４００および第２ベルト移動機構４２０により、カセット４１に搬入される。 The cleaning mechanism 156 is a spinner cleaning unit that cleans the plate-shaped work 2 . The plate-shaped workpiece 2 cleaned by the cleaning mechanism 156 is placed on the temporary placement mechanism 200 of the workpiece loading/unloading mechanism 10 shown in FIG. It is carried into the cassette 41 by the mechanism 400 and the second belt moving mechanism 420 .

また、図１に示すように、研削装置１は、制御部７を備えている。制御部７は、各種の処理を実行し、研削装置１の各構成要素を統括制御する。 Further, as shown in FIG. 1, the grinding apparatus 1 includes a control section 7. The control unit 7 executes various processes and centrally controls each component of the grinding apparatus 1 .

ここで、保持機構１００の保持部１４０に備えられた保持パッド１４２の構成について説明する。 Here, the configuration of the holding pad 142 provided in the holding portion 140 of the holding mechanism 100 will be described.

保持パッド１４２は、図３に示すように、板状の保持プレート１４５、および、保持プレート１４５の同一面状に配置された複数（本実施形態に示す例では９個）の吸盤１６０を有している。 As shown in FIG. 3, the holding pad 142 has a plate-like holding plate 145 and a plurality of (nine in the example shown in this embodiment) suction cups 160 arranged on the same surface of the holding plate 145. ing.

図４に示すように、本実施形態では、吸盤１６０は、一例として、１枚の保持プレート１４５に、３×３の行列状に整列した状態で配置されている（図４では、保持プレート１４５の図示を省略している）。各吸盤１６０は、エア配管１４６およびエアバルブ１４７を介して、吸引源１４８に接続されている。 As shown in FIG. 4, in this embodiment, as an example, the suction cups 160 are arranged in a 3×3 matrix on one holding plate 145 (in FIG. 4, the holding plate 145 are omitted). Each suction cup 160 is connected to a suction source 148 via an air pipe 146 and an air valve 147 .

また、吸盤１６０は、板状ワーク２を吸着するための吸着面１６２を有している。そして、保持パッド１４２では、吸盤１６０が、吸引源１４８に連通された状態で板状ワーク２に接触することにより、吸盤１６０の吸着面１６２によって板状ワーク２を吸引保持することが可能となっている。 The suction cup 160 also has a suction surface 162 for suctioning the plate-like workpiece 2 . In the holding pad 142 , the suction cups 160 contact the plate-like work 2 while communicating with the suction source 148 , so that the suction surface 162 of the suction cups 160 can suck and hold the plate-like work 2 . ing.

なお、図４には、保持部１４０によって保持される板状ワーク２の状態を示している。この図に示すように、本実施形態では、矩形の板状ワーク２である矩形ワーク２１は、たとえば、９個の吸盤１６０によって吸引保持される。一方、矩形ワーク２１よりも小さい円形の板状ワーク２である円形ワーク２０は、たとえば、四隅の吸盤１６０を除く５個の吸盤１６０によって吸引保持される。 Note that FIG. 4 shows the state of the plate-like work 2 held by the holding portion 140. As shown in FIG. As shown in this figure, in this embodiment, a rectangular work 21, which is a rectangular plate-like work 2, is sucked and held by nine suction cups 160, for example. On the other hand, the circular work 20, which is a circular plate-shaped work 2 smaller than the rectangular work 21, is sucked and held by, for example, five suction cups 160 excluding the suction cups 160 at the four corners.

そして、このような保持パッド１４２を有する保持機構１００は、複数の吸盤１６０を有する保持パッド１４２と、板状ワーク２に対して保持パッド１４２を移動させる移動機構１１０（図３参照）と、を備え、吸引源１４８に連通した吸盤１６０の吸着面１６２によって、板状ワーク２を吸引保持するように構成されている。 The holding mechanism 100 having such a holding pad 142 includes a holding pad 142 having a plurality of suction cups 160 and a moving mechanism 110 (see FIG. 3) for moving the holding pad 142 with respect to the plate-like workpiece 2. A suction surface 162 of a suction cup 160 communicating with a suction source 148 sucks and holds the plate-like workpiece 2 .

ここで、吸盤１６０の構成について説明する。図５に示すように、吸盤１６０は、中空箱状の筐体である本体１６１を有している。本体１６１における１つの面は、板状ワーク２を吸引保持する吸着面１６２となっている。また、吸着面１６２の略中央には、本体１６１の内部と連通する開口１６３が形成されている。 Here, the configuration of the suction cup 160 will be described. As shown in FIG. 5, the suction cup 160 has a main body 161 which is a hollow box-shaped housing. One surface of the main body 161 serves as an attraction surface 162 that attracts and holds the plate-like workpiece 2 . An opening 163 that communicates with the interior of the main body 161 is formed at substantially the center of the attraction surface 162 .

本体１６１の内部には、開口１６３を塞ぐための弁１６４が配置されている。さらに、本体１６１の内部には、バネの一例としての圧縮バネ１６６が備えられている。この圧縮バネ１６６は、圧縮して本体１６１の内部に配置されていて、自然長に戻ろうとする力により、弁１６４を開口１６３に押しつける付勢力を備えている。 A valve 164 for closing the opening 163 is arranged inside the main body 161 . Furthermore, a compression spring 166 as an example of a spring is provided inside the main body 161 . The compression spring 166 is arranged inside the main body 161 in a compressed state, and has an urging force that presses the valve 164 against the opening 163 by a force that tends to return to its natural length.

また、弁１６４には、突出部１６５が連結されている。この突出部１６５は、弁１６４が圧縮バネ１６６によって開口１６３に押しつけられて開口１６３を塞いでいるときに、開口１６３から突出するように構成されている。
なお、突出部１６５は、例えば、円柱状に形成されている。
つまり、突出部１６５の外径は、開口１６３の内径より小さく形成されている。 A protrusion 165 is connected to the valve 164 . The protrusion 165 is configured to protrude from the opening 163 when the valve 164 is pressed against the opening 163 by the compression spring 166 to close the opening 163 .
In addition, the projecting portion 165 is formed in a columnar shape, for example.
That is, the outer diameter of the projecting portion 165 is formed smaller than the inner diameter of the opening 163 .

また、本体１６１には、本体１６１の内部を吸引源１４８に連通するための連通部１６７が設けられている。本実施形態では、連通部１６７は、本体１６１における吸着面１６２とは異なる面に設けられている。連通部１６７は、エア配管１４６およびエアバルブ１４７（図４参照）を介して吸引源１４８に接続されており、エアバルブ１４７が開放されたときに、本体１６１の内部を吸引源１４８に連通するように構成されている。 Further, the main body 161 is provided with a communicating portion 167 for communicating the inside of the main body 161 with the suction source 148 . In this embodiment, the communicating portion 167 is provided on a surface of the main body 161 different from the attracting surface 162 . The communicating portion 167 is connected to a suction source 148 via an air pipe 146 and an air valve 147 (see FIG. 4), and communicates the inside of the main body 161 with the suction source 148 when the air valve 147 is opened. It is configured.

吸盤１６０では、圧縮バネ１６６の付勢力は、本体１６１の内部が吸引源１４８に連通されているとき、吸着面１６２に設けられた開口１６３の面積を大気圧が押す力（図５の矢印３０１参照）よりも大きい力に設定されている。
このため、吸盤１６０では、本体１６１の内部が吸引源１４８に連通されている場合でも、突出部１６５に板状ワーク２が接触していないとき、すなわち、圧縮バネ１６６が大気圧以外の外力を受けていないときには、弁１６４は、圧縮バネ１６６によって開口１６３に押し付けられて開口１６３を塞ぎ、突出部１６５が開口１６３から外部に突出している。 In the suction cup 160, the biasing force of the compression spring 166 is the force of the atmospheric pressure pushing the area of the opening 163 provided in the suction surface 162 (arrow 301 in FIG. 5) when the inside of the main body 161 is communicated with the suction source 148. ) is set to a force greater than
Therefore, in the suction cup 160, even when the inside of the main body 161 is communicated with the suction source 148, when the plate-like work 2 is not in contact with the projecting portion 165, that is, the compression spring 166 applies an external force other than the atmospheric pressure. When not received, the valve 164 is pressed against the opening 163 by the compression spring 166 to close the opening 163 , and the protrusion 165 protrudes from the opening 163 to the outside.

なお、付勢力を生むバネは、圧縮バネ１６６に限定されるものではない。図７および図８に示すように、吸盤１６０は、圧縮バネ１６６に代えて、引っ張りバネ１８０を有していてもよい。この構成では、弁１６４は、引っ張りバネ１８０を取り付けるための縁部１８２を有していてもよい。この構成では、本体１６１における開口１６３を形成する板１８３に弁１６４を引きつけるように、開口１６３を形成する板１８３と弁１６４との間に引っ張りバネ１８０を配置して、開口１６３に弁１６４を押し付けてもよい。 Note that the spring that produces the biasing force is not limited to the compression spring 166 . As shown in FIGS. 7 and 8, the suction cup 160 may have a tension spring 180 instead of the compression spring 166. FIG. In this configuration, valve 164 may have a rim 182 for mounting a tension spring 180 thereon. In this configuration, a tension spring 180 is positioned between the plate 183 forming the opening 163 in the body 161 and the valve 164 to pull the valve 164 against the plate 183 forming the opening 163 in the body 161 to pull the valve 164 into the opening 163 . You can press it.

このような吸盤１６０を有する保持パッド１４２を備えた保持機構１００では、保持パッド１４２によって板状ワーク２を保持する場合、まず、制御部７（図１参照）が、エアバルブ１４７（図４参照）を開放することによって、本体１６１の内部を吸引源１４８に連通させる。 In the holding mechanism 100 including the holding pad 142 having the suction cups 160, when the holding pad 142 holds the plate-like work 2, first, the control unit 7 (see FIG. 1) operates the air valve 147 (see FIG. 4). The inside of the main body 161 is communicated with the suction source 148 by opening the .

次に、制御部７は、図３に示した移動機構１１０によって、保持パッド１４２を含む保持部１４０を移動させて、１つの保持パッド１４２の吸盤１６０の吸着面１６２を、板状ワーク２に、たとえば上方から当接させる。 Next, the control section 7 moves the holding section 140 including the holding pad 142 using the moving mechanism 110 shown in FIG. , for example, from above.

これにより、図６に示すように、板状ワーク２に当接した吸盤１６０では、吸着面１６２の開口１６３から突出していた突出部１６５が、板状ワーク２に当接し、突出部１６５に連結されている弁１６４とともに、圧縮バネ１６６の付勢力に抗して本体１６１の内部に向かって押し込まれる。このため、開口１６３を塞いでいた弁１６４が開口１６３から離れて、開口１６３が吸引源１４８に連通される。その結果、開口１６３を含む吸着面１６２に当接されている板状ワーク２に、吸引源１４８の吸引力が作用する。 As a result, as shown in FIG. 6 , in the suction cup 160 in contact with the plate-like work 2 , the projecting portion 165 projecting from the opening 163 of the suction surface 162 contacts the plate-like work 2 and is connected to the projecting portion 165 . It is pushed into the body 161 against the biasing force of the compression spring 166 together with the valve 164 being held. Therefore, the valve 164 blocking the opening 163 is moved away from the opening 163 and the opening 163 is communicated with the suction source 148 . As a result, the suction force of the suction source 148 acts on the plate-shaped workpiece 2 that is in contact with the suction surface 162 including the opening 163 .

これにより、図６に矢印３０２によって示すように、板状ワーク２に、各吸盤１６０の吸着面１６２に押し付けられる力、すなわち、各吸盤１６０の吸着面１６２を大気圧が押す力が付与される。そして、本実施形態では、この力が、圧縮バネ１６６の付勢力と板状ワーク２の重量との合力よりも大きくなるように、たとえば吸引源１４８の吸引力が設定されている。したがって、吸盤１６０を含む保持パッド１４２が、板状ワーク２を吸引保持することができる。
なお、板状ワーク２に付与される力（板状ワーク２を吸着面１６２に押し付ける力）である吸着面１６２を大気圧が押す力は、吸着面１６２における板状ワーク２との接触部分に囲まれている部分の面積を、大気圧が押す力となる。したがって、図６に示した構成、すなわち、吸着面１６２の一部である開口１６３を除く吸着面１６２の全面が板状ワーク２に接触する構成では、板状ワーク２に付与される力は、開口１６３の面積を大気圧が押す力となる。 As a result, as indicated by arrows 302 in FIG. 6, the plate-shaped work 2 is given a force to press against the suction surfaces 162 of the suction cups 160, that is, a force of the atmospheric pressure to push the suction surfaces 162 of the suction cups 160. . In this embodiment, for example, the suction force of the suction source 148 is set so that this force is larger than the combined force of the biasing force of the compression spring 166 and the weight of the plate-like work 2 . Therefore, the holding pad 142 including the suction cups 160 can suck and hold the plate-like workpiece 2 .
The force applied to the plate-like work 2 (the force pressing the plate-like work 2 against the suction surface 162 ), which is the force of the atmospheric pressure pushing the suction surface 162 , is applied to the contact portion of the suction surface 162 with the plate-like work 2 . The area of the enclosed part becomes the force that the atmospheric pressure pushes. Therefore, in the configuration shown in FIG. 6, that is, in the configuration in which the entire surface of the attraction surface 162 excluding the opening 163 which is a part of the attraction surface 162 contacts the plate-like work 2, the force applied to the plate-like work 2 is The area of the opening 163 is pushed by the atmospheric pressure.

ここで、図４に示すように、本実施形態では、保持パッド１４２によって、矩形の板状ワーク２である矩形ワーク２１を保持する場合、保持パッド１４２の全９個の吸盤１６０が矩形ワーク２１に当接する。そして、これら９個の吸盤１６０において、矩形ワーク２１によって突出部１６５が押し込まれて、矩形ワーク２１に吸引力が作用する。これにより、保持パッド１４２では、これら９個の吸盤１６０によって、矩形ワーク２１を保持する。 Here, as shown in FIG. 4, in the present embodiment, when holding a rectangular workpiece 21, which is a rectangular plate-shaped workpiece 2, by the holding pad 142, all nine suction cups 160 of the holding pad 142 hold the rectangular workpiece 21. abut. In these nine suction cups 160 , the projections 165 are pushed in by the rectangular work 21 , and a suction force acts on the rectangular work 21 . As a result, the holding pad 142 holds the rectangular work 21 with these nine suction cups 160 .

一方、保持パッド１４２によって、円形の板状ワーク２である円形ワーク２０を保持する場合、図４に示すように、保持パッド１４２の９個の吸盤１６０のうちの四隅の吸盤１６０を除く５個の吸盤１６０が、円形ワーク２０に当接する。そして、これら５個の吸盤１６０において、円形ワーク２０によって突出部１６５が押し込まれて、円形ワーク２０に吸引力が作用する。これにより、保持パッド１４２では、これら５個の吸盤１６０によって、円形ワーク２０を保持する。 On the other hand, when the holding pad 142 holds a circular work 20, which is a circular plate-shaped work 2, as shown in FIG. suction cup 160 contacts the circular work 20 . In these five suction cups 160 , the projecting portion 165 is pushed by the circular work 20 , and a suction force acts on the circular work 20 . Thus, the retaining pad 142 retains the circular work 20 with these five suction cups 160 .

なお、円形ワーク２０を保持する場合、四隅の４つの吸盤１６０では、突出部１６５に板状ワーク２が当接していないため、図５に示すように、弁１６４が、圧縮バネ１６６によって開口１６３に押し付けられて開口１６３を塞いでいる。このため、本体１６１の内部が吸引源１４８に連通されている場合でも、吸引源１４８の吸引力が外部に作用すること、たとえば、吸引源１４８の吸引力により開口１６３から大気を吸い込んでしまうことが防止されている。 When the circular workpiece 20 is held, the plate-like workpiece 2 is not in contact with the protrusions 165 of the four suction cups 160 at the four corners. Therefore, as shown in FIG. is pressed to close the opening 163 . Therefore, even when the inside of the main body 161 is communicated with the suction source 148, the suction force of the suction source 148 may act on the outside, for example, the suction force of the suction source 148 may suck the air through the opening 163. is prevented.

以上のように、保持機構１００では、吸盤１６０の吸着面１６２を板状ワーク２に当接させることにより、突出部１６５を弁１６４とともに本体１６１の内部に向かって押し込んで、開口１６３を塞いでいる弁１６４を開口１６３から離すことにより、開口１６３を吸引源１４８に連通させて、吸着面１６２に当接されている板状ワーク２に、吸引源１４８の吸引力を作用させている。このように、本実施形態では、吸盤１６０の吸着面１６２を板状ワーク２に当接させることにより、吸盤１６０によって容易に板状ワーク２を保持することができる。 As described above, in the holding mechanism 100 , the suction surface 162 of the suction cup 160 is brought into contact with the plate-like workpiece 2 to push the protrusion 165 together with the valve 164 toward the inside of the main body 161 to block the opening 163 . By moving the valve 164 away from the opening 163 , the opening 163 is communicated with the suction source 148 , and the suction force of the suction source 148 is applied to the plate-shaped work 2 that is in contact with the suction surface 162 . Thus, in the present embodiment, the plate-like work 2 can be easily held by the suction cup 160 by bringing the suction surface 162 of the suction cup 160 into contact with the plate-like work 2 .

また、本実施形態では、板状ワーク２に当接していない吸盤１６０では、弁１６４によって開口１６３が塞がれたままとなるため、吸引源１４８が開口１６３に連通されず、吸引源１４８の吸引力が外部に作用することが防止されている。したがって、本実施形態では、保持パッド１４２に板状ワーク２を当接させることにより、板状ワーク２の形状およびサイズに対応する、板状ワーク２を保持するために必要な吸盤１６０のみにおいて、開口１６３を吸引源１４８に連通して、板状ワーク２を吸引保持することが可能である。 In addition, in the present embodiment, since the opening 163 of the suction cup 160 that is not in contact with the plate-like workpiece 2 remains blocked by the valve 164, the suction source 148 is not communicated with the opening 163, and the suction source 148 is closed. The suction force is prevented from acting on the outside. Therefore, in this embodiment, by bringing the plate-like work 2 into contact with the holding pad 142, only the suction cups 160 required to hold the plate-like work 2 corresponding to the shape and size of the plate-like work 2 are The opening 163 can be communicated with the suction source 148 to suck and hold the plate-like work 2 .

このため、本実施形態では、保持される板状ワークの形状およびサイズを認識し、認識結果に応じて使用される吸盤を選択し、選択された吸盤の開口だけを吸引源に連通させるために複数のバルブの開閉を制御する、という動作、および、この動作のための構成が不要となる。したがって、本実施形態では、この点においても、吸盤１６０によって板状ワーク２を容易に保持することが可能となる。 For this reason, in this embodiment, in order to recognize the shape and size of the plate-shaped workpiece to be held, select the suction cup to be used according to the recognition result, and connect only the opening of the selected suction cup to the suction source. The operation of controlling the opening and closing of multiple valves and the configuration for this operation are eliminated. Therefore, in this embodiment, the plate-like work 2 can be easily held by the suction cups 160 also in this respect.

なお、吸盤１６０は、バネとして、図５および図６に示した圧縮バネ１６６に代えて、図９および図１０に示すような空気バネ１６９を有していてもよい。空気バネ１６９は、たとえば、ゴムあるいは布からなる袋状の部材であり、圧縮空気を含んでいる。 The suction cup 160 may have an air spring 169 as shown in FIGS. 9 and 10 instead of the compression spring 166 shown in FIGS. 5 and 6 as a spring. The air spring 169 is, for example, a bag-like member made of rubber or cloth and contains compressed air.

この構成においても、突出部１６５に板状ワーク２が接触していないときには、図９に示すように、弁１６４は、空気バネ１６９によって開口１６３に押し付けられて開口１６３を塞ぎ、突出部１６５が開口１６３から外部に突出している。 9, the valve 164 is pressed against the opening 163 by the air spring 169 to block the opening 163, and the protrusion 165 is closed. It protrudes outside from the opening 163 .

そして、図１０に示すように、吸盤１６０の吸着面１６２を板状ワーク２に当接させることにより、空気バネ１６９の付勢力に抗して、突出部１６５および弁１６４を本体１６１の内部に向かって押し込んで、開口１６３を吸引源１４８に連通させることができる。これにより、吸着面１６２に当接されている板状ワーク２に吸引源１４８の吸引力を作用させて、吸着面１６２によって板状ワーク２を吸引保持することが可能となる。 Then, as shown in FIG. 10, by bringing the suction surface 162 of the suction cup 160 into contact with the plate-like workpiece 2, the projecting portion 165 and the valve 164 are pushed into the main body 161 against the biasing force of the air spring 169. It can be pushed towards to bring the opening 163 into communication with the suction source 148 . As a result, the suction force of the suction source 148 is applied to the plate-like work 2 in contact with the suction surface 162 , and the plate-like work 2 can be suction-held by the suction surface 162 .

また、吸盤１６０では、吸着面１６２は、外周部分のみが板状ワーク２に接触するように形成されていてもよい。
たとえば、図１１に示すように、吸着面１６２は、外周部分から内側に向かって凹むように傾斜する傾斜面として構成されていてもよい。
あるいは、図１２に示すように、吸着面１６２は、その外周部分に、板状ワーク２に当接する環状の突起部１６８を有していてもよい。 Also, in the suction cup 160 , the suction surface 162 may be formed so that only the outer peripheral portion contacts the plate-shaped work 2 .
For example, as shown in FIG. 11, the attraction surface 162 may be configured as an inclined surface that is recessed inward from the outer peripheral portion.
Alternatively, as shown in FIG. 12, the attracting surface 162 may have an annular protrusion 168 on its outer peripheral portion that abuts on the plate-like workpiece 2 .

これらの構成でも、矢印３０３（図１１参照）および矢印３０４（図１２参照）によって示すように、板状ワーク２に、各吸盤１６０の吸着面１６２を大気圧が押す力が付与され、この力が、圧縮バネ１６６の付勢力と板状ワーク２の重量との合力よりも大きくなっているため、吸盤１６０を含む保持パッド１４２が、板状ワーク２を吸引保持することができる。
なお、これらの構成では、板状ワーク２に付与される力は、吸着面１６２における板状ワーク２に当接している外周部分の内側の面積を大気圧が押す力となる。 11 and 304 (see FIG. 12). is larger than the resultant force of the biasing force of the compression spring 166 and the weight of the plate-like work 2 , the holding pad 142 including the suction cups 160 can hold the plate-like work 2 by suction.
In these configurations, the force applied to the plate-like work 2 is a force that the atmospheric pressure pushes the inner area of the outer peripheral portion of the attraction surface 162 that is in contact with the plate-like work 2 .

このような構成によれば、吸着面１６２の外周部分のみが板状ワーク２に当接されるため、開口１６３を介して板状ワーク２に作用する吸引源１４８の吸引力が、吸着面１６２および板状ワーク２に形成されている凹凸の影響を受けにくくなる。このため、吸盤１６０によって、板状ワーク２を良好に吸引保持することが可能となる。 With such a configuration, since only the outer peripheral portion of the attraction surface 162 is brought into contact with the plate-like work 2 , the suction force of the suction source 148 acting on the plate-like work 2 through the opening 163 is applied to the attraction surface 162 . Also, the unevenness formed on the plate-shaped work 2 is less likely to affect the surface. Therefore, the suction cup 160 can satisfactorily suck and hold the plate-like workpiece 2 .

１：研削装置、２：板状ワーク、
４：第１の装置ベース、５：第２の装置ベース、７：制御部、
１０：被加工物出入れ機構、１１：研削送り機構、１４：コラム、９：厚み測定器、
１５：研削機構、１６：スピンドル、１７：研削ホイール、１８：研削砥石、
２０：円形ワーク、２１：矩形ワーク、
３０：チャックテーブル、３１：保持面、４０：第１カセットステージ、
４１：カセット、４２：アダプタプレート、４５：第２カセットステージ、
５０：ベルト移動機構、５５：カメラ、１００：保持機構、１０１：筐体板、
１１０：移動機構、１２０：Ｙ軸移動機構、１２３：ガイドレール、
１２４：Ｙ軸テーブル、１２５：ボールネジ、１２６：駆動モータ、
１３０：Ｚ軸移動機構、１３１：ガイドレール、１３２：Ｚ軸テーブル、
１３３：ボールネジ、１３４：取付板、１３５：駆動モータ、１３７：アーム、
１３８：回転機構、１４０：保持部、１４２：保持パッド、
１４５：保持プレート、１４６：エア配管、１４７：エアバルブ、
１４８：吸引源、１５６：洗浄機構、１６０：吸盤、１６１：本体、
１６２：吸着面、１６３：開口、１６４：弁、１６５：突出部、
１６６：圧縮バネ、１６７：連通部、１６８：突起部、１６９：空気バネ、
１７０：第２搬送空間、１９０：仮置き空間、２００：仮置き機構、
２１０：仮置きレーン、２２０：幅変更部、２３０：Ｘ軸移動機構、
３０１：矢印、３０２：矢印、３１１：円形保持面、３１２：矩形保持面、
４００：第１ベルト移動機構、４２０：第２ベルト移動機構 1: Grinding device, 2: Plate-like work,
4: first device base, 5: second device base, 7: control unit,
10: Workpiece loading/unloading mechanism, 11: Grinding feeding mechanism, 14: Column, 9: Thickness measuring instrument,
15: grinding mechanism, 16: spindle, 17: grinding wheel, 18: grinding wheel,
20: circular work, 21: rectangular work,
30: chuck table, 31: holding surface, 40: first cassette stage,
41: cassette, 42: adapter plate, 45: second cassette stage,
50: belt movement mechanism, 55: camera, 100: holding mechanism, 101: housing plate,
110: moving mechanism, 120: Y-axis moving mechanism, 123: guide rail,
124: Y-axis table, 125: ball screw, 126: drive motor,
130: Z-axis movement mechanism, 131: Guide rail, 132: Z-axis table,
133: ball screw, 134: mounting plate, 135: drive motor, 137: arm,
138: rotation mechanism, 140: holding part, 142: holding pad,
145: holding plate, 146: air piping, 147: air valve,
148: suction source, 156: cleaning mechanism, 160: sucker, 161: main body,
162: adsorption surface, 163: opening, 164: valve, 165: protrusion,
166: compression spring, 167: communicating portion, 168: protrusion, 169: air spring,
170: second transfer space, 190: temporary placement space, 200: temporary placement mechanism,
210: temporary placement lane, 220: width changing section, 230: X-axis movement mechanism,
301: Arrow 302: Arrow 311: Circular holding surface 312: Rectangular holding surface
400: first belt movement mechanism, 420: second belt movement mechanism

Claims (2)

同一面状に複数の吸盤を配置した保持パッドと、被加工物に対して該保持パッドを移動させる移動機構と、を備え、吸引源に連通した該吸盤の吸着面によって被加工物を吸引保持する保持機構であって、
該吸盤は、
中空箱状の本体と、該本体の該吸着面に形成され該本体の内部と連通する開口と、
該内部に配置され該開口を塞ぐための弁と、
該弁に連結し該弁が該開口を塞いでいるときに該開口から突出する突出部と、
該内部に配置され該弁を該開口に押しつける付勢力を備えるバネと、
該内部を吸引源に連通する連通部と、を備え、
該バネの付勢力は、該内部が吸引源に連通されているとき該開口の面積を大気圧が押す力よりも大きい力に設定され、
該内部を吸引源に連通させ、該移動機構によって、該吸盤の該吸着面を該被加工物に当接させることにより、該突出部を該内部に向かって押し込んで、該開口を吸引源に連通し、該バネの付勢力と該被加工物の重量との合力よりも該吸着面を大気圧が押す力が大きいことで、該被加工物を吸引保持する、
保持機構。 A holding pad having a plurality of suction cups arranged on the same plane and a moving mechanism for moving the holding pad relative to the workpiece, wherein the suction surface of the suction cup communicated with a suction source sucks and holds the workpiece. A holding mechanism for
The sucker is
a hollow box-shaped main body; an opening formed in the adsorption surface of the main body and communicating with the inside of the main body;
a valve disposed within the interior for blocking the opening;
a protrusion connected to the valve and protruding from the opening when the valve is blocking the opening;
a spring disposed within the interior and having a biasing force urging the valve against the opening;
a communicating portion that communicates the inside with a suction source,
The biasing force of the spring is set to a force greater than the force of atmospheric pressure pushing the area of the opening when the interior is in communication with the suction source,
The interior is communicated with a suction source, and the suction surface of the suction cup is brought into contact with the workpiece by the moving mechanism, thereby pushing the protruding portion toward the interior and connecting the opening to the suction source. Communicate, and attract and hold the work piece because the force of the atmospheric pressure pushing the attraction surface is greater than the resultant force of the biasing force of the spring and the weight of the work piece;
retention mechanism. 該吸着面は、外周部分のみが被加工物に接触するように形成されている、
請求項１記載の保持機構。 The attraction surface is formed so that only the outer peripheral portion contacts the workpiece,
2. The retention mechanism of claim 1.

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