JP2023036137A - プローブ及び検査用ソケット - Google Patents

Abstract

【課題】プローブを直接的にハウジングに接触させるとともに、製造において高い寸法精度が要求されないプローブ及び検査用ソケットを提供する。【解決手段】ハウジング１１に形成されるとともに金属製の内周壁で画定された貫通孔４０に挿通されるグランド用のプローブであって、第１軸線の方向に延在した筒状のバレル１３０及びプランジャ１１０，１２０を有するプローブ本体１０１と、バレル１３０が挿通されるバネ部材１５０と、を備え、バネ部材１５０は、第２軸線の周りに巻回され第２軸線の方向にバレル１３０が挿通されるコイル部１５１、及び、コイル部１５１と連続的に形成されるとともにコイル部１５１の外周面よりも外側に突出して内周壁に弾性を持って接触する突起部１５２を有して、コイル部１５１は、突起部１５２の弾性によってプローブ本体１０１を内周壁に押し付ける。【選択図】図２

Description

本発明は、プローブ及び検査用ソケットに関する。

高速伝送が要求される検査デバイス等の検査には、信号ピン、電源ピン及びグランドピンの３種類のピン（プローブ）を有する検査用ソケットが使用されることがある。

グランドピンとは、検査デバイスのグランド端子及びテスト基板のグランド端子を、グランドとしてのハウジングに対して電気的に接続するものであり、例えば特許文献１にその例が記載されている。

特許文献１には、部分的に径を変えて軸を偏心させたコイルバネを介してグランド用コンタクトプローブとグランドとしての金属ブロックとの導通をとる構成が記載されている。

特開２０１０－０６０５２７号公報

しかしながら、特許文献１の構成で採用されているコイルバネの製造においては、偏心具合のコントロールが容易ではないので、グランド用コンタクトプローブ及び金属ブロックの両部材に安定的に接触するコイルバネの提供が難しい。

また、コイルバネを介して導通をとるので、コイルバネの導電性が必須であり、コイルバネの材料の選択の余地が狭まってしまう。

そこで、本発明は、プローブを直接的にハウジングに接触させるとともに、製造において高い寸法精度が要求されないプローブ及び検査用ソケットを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明のプローブ及び検査用ソケットは以下の手段を採用する。
すなわち、本発明の一態様に係るプローブは、ハウジングに形成されるとともに金属製の内周壁で画定された貫通孔に挿通されるグランド用のプローブであって、第１軸線の方向に延在した筒状のバレル及び該バレルに収容されたプランジャを有するプローブ本体と、前記バレルが挿通されるバネ部材と、を備え、前記バネ部材は、第２軸線の周りに巻回され前記第２軸線の方向に前記バレルが挿通されるコイル部、及び、該コイル部と連続的に形成されるとともに前記コイル部の外周面よりも外側に突出して前記内周壁に弾性を持って接触する突起部を有して、前記コイル部は、前記突起部の弾性によって前記プローブ本体を前記内周壁に押し付ける。

本態様に係るプローブによれば、バネ部材は、第２軸線の周りに巻回され第２軸線の方向にバレルが挿通されるコイル部、及び、コイル部と連続的に形成されるとともにコイル部の外周面よりも外側に突出して内周壁に弾性を持って接触する突起部を有して、コイル部は、突起部の弾性によってプローブ本体を内周壁に押し付けるので、貫通孔とプローブ本体との間に隙間がある場合に、バレルをハウジングに直接的に接触させることができる。これによって、プローブ本体とハウジングとの導通を確実にとることができる。
また、バネ部材の突起部が弾性を持って内周壁に接触するので、貫通孔とバレルとの間にある隙間が貫通孔やバレルの寸法誤差の関係で個体により一定でない場合でも、その誤差を吸収することができる。このため、貫通孔の成形やバレルの製造において高い寸法精度が要求されない。
また、バネ部材を介して導通をとる構成ではないので、バネ部材自体に導電性が要求されない、或いは優れた導電性が要求されない。このため、バネ部材の材料や製造方法の選択の余地が広がりコストダウンを図ることができる。例えば、バネ部材を安価な樹脂製とすることができる。また、ハウジングとの間で接触抵抗を安定させるためにバネ部材に金メッキ処理を施す必要がないので、メッキ処理を施さない分だけコストダウンを図ることができる。

また、本発明の一態様に係るプローブにおいて、前記バネ部材は、前記第２軸線の方向に隣り合った２つの前記コイル部を有し、前記突起部は、前記コイル部とそれに隣接する他の前記コイル部との間に設けられている。

本態様に係るプローブによれば、バネ部材は、第２軸線の方向に隣り合った２つのコイル部を有し、突起部は、コイル部とそれに隣接する他のコイル部との間に設けられているので、２つのコイル部によってプローブ本体を内周壁に押し付けることができる。換言すると、バレルの２箇所にプローブ本体を内周壁に押し付けるための力を負荷することができる。これによって、プローブを安定的に内周壁に押し付けることができる。すなわち、プローブ本体を安定的に内周壁に接触させることができる。

また、本発明の一態様に係るプローブにおいて、前記突起部は、前記第２軸線の方向における前記コイル部の両端に設けられている。

本態様に係るプローブによれば、突起部は、第２軸線の方向におけるコイル部の両端に設けられているので、第２軸線方向に離間した２箇所の突起部でバネ部材を内周壁に接触させることができる。これによって、プローブを安定的かつ強力に内周壁に押し付けることができる。また、バネ部材が貫通孔内で傾くことを回避することができる。

また、本発明の一態様に係るプローブにおいて、前記突起部は、前記第２軸線の方向から見て先端同士が交差している。

本態様に係るプローブによれば、突起部は、第２軸線の方向から見て先端同士が交差しているので、各突起部が発揮する復元力が作用する方向を揃えることができる。

また、本発明の一態様に係る検査用ソケットは、金属製の内周壁で画定された貫通孔が第３軸線の方向に沿って形成されたハウジングと、前記第３軸線の方向に沿って前記貫通孔に挿通された請求項１から３のいずれかに記載のプローブと、備え、前記コイル部は、前記突起部の弾性によって前記プローブ本体を前記内周壁に押し付けている。

また、本発明の一態様に係る検査用ソケットにおいて、前記バレルは、外周面から突出したフランジ部を有し、前記貫通孔は、前記フランジ部以外の前記バレルの部分よりも大径かつ前記フランジ部よりも小径とされた小径部、及び、前記フランジ部よりも大径とされ前記第３軸線の方向に沿って前記小径部と連続する大径部を有し、前記フランジ部は、前記貫通孔のうち前記大径部に収容され、前記バネ部材は、前記フランジ部と前記小径部との間の前記大径部に収容されている。

本態様に係る検査用ソケットによれば、バレルは、外周面から突出したフランジ部を有し、貫通孔は、フランジ部以外のバレルの部分よりも大径かつフランジ部よりも小径とされた小径部、及び、フランジ部よりも大径とされ第３軸線の方向に沿って小径部と連続する大径部を有し、フランジ部は、貫通孔のうち大径部に収容され、バネ部材は、フランジ部と小径部との間の大径部に収容されているので、第２軸線の方向に沿ったコイル部の弾性によってフランジ部を小径部から離間する方向に付勢することができる。これによって、検査用ソケットをテスト基板に実装したときにコイル部の弾性によってプリロードをかけることができる。

本発明によれば、プローブを直接的にハウジングに接触させるとともに、製造において高い寸法精度が要求されないプローブ及び検査用ソケットを提供できる。

第１実施形態に係るプローブを備えたソケットの断面図である。 プローブを備えたソケットの部分拡大断面図である。 ハウジングの断面図である。 プローブ本体の正面図である（バレルは縦断面を図示）。 バネ部材の正面図である。 バネ部材の平面図である。 上部ハウジングにバネ部材を挿入する前の縦断面図である。 図７に示す切断線ＶＩＩＩ－ＶＩＩＩにおける横断面図である。 上部ハウジングにバネ部材を挿入したときの縦断面図である。 図９に示す切断線Ｘ－Ｘにおける横断面図である。 図９に示す切断線ＸＩ－ＸＩにおける横断面図である。 上部ハウジングにプローブを挿入したときの縦断面図である。 図１２に示す切断線ＸＩＩＩ－ＸＩＩＩにおける横断面図である。 ソケットをプリント配線基板に実装する前の縦断面図である。 ソケットをプリント配線基板に実装したときの縦断面図である。 ソケットにＩＣパッケージを装着したときの縦断面図である。 変形例１に係るバネ部材の正面図である。 変形例２に係るバネ部材の正面図である。 変形例２に係るバネ部材の平面図である。 変形例３に係るバネ部材の正面図である。 変形例３に係るバネ部材の平面図である。 変形例３に係るバネ部材の平面図である。 第２実施形態に係るプローブを備えたソケットをプリント配線基板に実装したときの縦断面図である。 第３実施形態に係るプローブ本体の正面図である。 ハウジングにプローブを挿入したときの縦断面図である。 ソケットをプリント配線基板に実装したときの縦断面図である。 第４実施形態に係るソケットをプリント配線基板に実装したときの縦断面図である。

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態に係るプローブ及び検査用ソケットについて、図面を参照して説明する。

［検査用ソケットの概要］
以下、検査用ソケット１０（以下、単に「ソケット１０」という。）の概要について説明する。
図１に示すように、ソケット１０は、ＩＣパッケージ（半導体パッケージ）３０の試験において、プリント配線基板（テスト基板）２０とＩＣパッケージ３０とを導通させる部品である。
ソケット１０は、プリント配線基板２０の上面に実装される。
また、ＩＣパッケージ３０は、ソケット１０が有する可動台座１２に形成された凹所１２ａに装着される。

ＩＣパッケージ３０としては、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）型のものが例示される。また、ＬＧＡ（Ｌａｎｄ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）型やＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）型のものでもよい。

ソケット１０は、プローブ１００と、上部ハウジング１１Ａ及び下部ハウジング１１Ｂを有するハウジング１１と、可動台座１２と、を備えている。

ソケット１０において、ハウジング１１はプリント配線基板２０側に配置されており、可動台座１２はハウジング１１（上部ハウジング１１Ａ）の上に積層されるように配置されている。

ハウジング１１（上部ハウジング１１Ａ）と可動台座１２との間には図示しない付勢部材が介設されており、両部材を互いに離間する方向に付勢している。
また、付勢部材によって可動台座１２が上部ハウジング１１Ａから脱落しないように（飛び出さないように）、台座用ネジ１４が可動台座１２を介して上部ハウジング１１Ａに対して固定されている。
これによって、可動台座１２は、ハウジング１１に対して弾性的に近接及び離間可能に構成されることになる。詳細には、無負荷とすることで可動台座１２はハウジング１１から離間して、可動台座１２をハウジング１１側に押し込むことで可動台座１２はハウジング１１に近接する。

ハウジング１１は、上部ハウジング１１Ａ及び下部ハウジング１１Ｂを有しており、上部ハウジング１１Ａが下部ハウジング１１Ｂの上に積層されるように構成されている。

図１及び図２に示すように、ハウジング１１は、上部ハウジング１１Ａと下部ハウジング１１Ｂとに亘って形成された貫通孔４０を有しており、この貫通孔４０にプローブ１００が収容されることになる。
なお、図１で示した貫通孔４０（左側の貫通孔４０）においては、説明の簡単のためにプローブ１００を図示していない。

図３に示すように、貫通孔４０は、上部ハウジング１１Ａに形成された大径部４１Ａ１、中径部４１Ａ２及び小径部４１Ａ３、並びに、下部ハウジング１１Ｂに形成された小径部４１Ｂから構成されている。
大径部４１Ａ１、中径部４１Ａ２、小径部４１Ａ３及び小径部４１Ｂは、軸線Ｘ３（第３軸線）を共通の軸線としている。

上部ハウジング１１Ａにおいて、大径部４１Ａ１は、中径部４１Ａ２よりも大径とされている。また、中径部４１Ａ２は、小径部４１Ａ３よりも大径とされている。
下部ハウジング１１Ｂの小径部４１Ｂは、上部ハウジング１１Ａの大径部４１Ａ１よりも小径とされている。

以上のように構成された貫通孔４０を画定しているハウジング１１の内周壁は、導電性のある材料（例えば金属製）とされており、グランドと電気的に接続されている。これを実現するために、ハウジング１１自体を金属製とすることができる。

［プローブの詳細］
以下、プローブ１００の詳細な構造について説明する。
なお、プローブ１００には信号ピン、電源ピン及びグランドピンの３種類があるが、本実施形態に係るプローブ１００は、ＩＣパッケージ３０のグランド端子及びプリント配線基板２０のグランド端子を、グランドとしてのハウジング１１に対して電気的に接続するグランド用のプローブに関するものである。

図２に示すように、プローブ１００は、プローブ本体１０１及びバネ部材１５０を備えている。

図４に示すように、プローブ本体１０１は、バレル１３０、上部プランジャ１１０、下部プランジャ１２０及び付勢部材１４０を有している。

バレル１３０は、軸線Ｘ１（第１軸線）の方向に延在した筒状の部材とされている。
バレル１３０は、金属製（例えば、銅系材料にメッキ処理が施されたもの）とされている。
バレル１３０は、外径が中径部４１Ａ２の内径よりも小径、かつ、小径部４１Ａ３の内径及び小径部４１Ｂの内径よりも大径とされている。

バレル１３０には、上部プランジャ１１０の基端部分、下部プランジャ１２０の基端部分及び付勢部材１４０が収容されている。
ここで、上部プランジャ１１０の基端とは、ＩＣパッケージ３０に接触する先端部分の反対側にある端部のことである。また、下部プランジャ１２０の基端とは、プリント配線基板２０に接触する先端部分の反対側にある端部のことである（図１６参照）。

上部プランジャ１１０及び下部プランジャ１２０は、金属製（例えば、銅系材料にメッキ処理が施されたもの）とされている。付勢部材１４０としては、金属製（例えば、ピアノ線にメッキ処理が施されたもの）のコイルバネが例示される。

上部プランジャ１１０の先端部分（バレル１３０から突出する軸部）は、外径が上部ハウジング１１Ａの小径部４１Ａ３の内径よりも小径とされている。また、下部プランジャ１２０の先端部分（バレル１３０から突出する軸部）は、外径が下部ハウジング１１Ｂの小径部４１Ｂの内径よりも小径とされている。

上部プランジャ１１０及び下部プランジャ１２０は、付勢部材１４０によって互いに離間する方向に付勢されており、バレル１３０に対して摺動可能に構成されている。
すなわち、図４に示すプローブ本体１０１は、軸線Ｘ１の方向に上部プランジャ１１０及び下部プランジャ１２０が摺動する、いわゆる両側摺動型のプローブとされている。

図５及び図６に示すように、バネ部材１５０は、コイル部１５１及び突起部１５２を有している。

コイル部１５１は、線状の材料が軸線Ｘ２（第２軸線）の周りに巻回されて形成された円筒状の部分である。
コイル部１５１は、外径が大径部４１Ａ１の内径よりも小径、かつ、中径部４１Ａ２の内径よりも大径とされている。

コイル部１５１の材料としては、金属や樹脂が例示される。
金属製の材料としては、ピアノ線、ステンレス線、硬鋼線が例示される。また、タングステン系や銅合金系の材料でもよい。

突起部１５２は、コイル部１５１を形成する線状の材料がコイル部１５１の外周面よりも外側に突出した部分である。
同図の場合、突起部１５２は、コイル部１５１の上端にある線状の材料を接線方向に沿って延ばすことでコイル部１５１の外周面よりも外側に突出させ、突出した部分を軸線Ｘ２に沿うように下方に折り曲げることで形成されている。
なお、ここでいう「接線方向」とは、図６に示すように、コイル部１５１を軸線Ｘ２の方向から平面視したときに、コイル部１５１の輪郭によって描かれる円に対する接線の方向を意味する。

図５及び図６に示すように、突起部１５２を含めたバネ部材１５０は、無負荷時において、外径（外接円、図６においてＣで表示した円）が大径部４１Ａ１よりも大径とされている。
ただし、コイル部１５１の捩れによって突起部１５２を弾性的に変形させることで、外接円の直径を縮径して大径部４１Ａ１よりも小径にすることができる。これによって、バネ部材１５０を大径部４１Ａ１に収容することができる。

図２に示すように、プローブ本体１０１をバネ部材１５０のコイル部１５１に挿入することでプローブ１００が構成されることになる。

［プローブ及びソケットの組立方法］
以下、プローブ１００及びソケット１０の組立方法について説明する。
まず、図７及び図８に示すように、バネ部材１５０を上部ハウジング１１Ａに形成された大径部４１Ａ１に対して下方から軸線Ｘ３の方向に沿って挿入する。

このとき、図９から図１１に示すように、バネ部材１５０の突起部１５２がコイル部１５１の捩れによって弾性的に変形することで、バネ部材１５０が大径部４１Ａ１に収容される。
なお、コイル部１５１の外径は中径部４１Ａ２の内径よりも大きいので、バネ部材１５０は大径部４１Ａ１に留まる。

図９及び図１０に示すように、大径部４１Ａ１に収容されたバネ部材１５０は、突起部１５２が元の位置（図６参照）に戻ろうとする弾性力（復元力）によって、コイル部１５１及び突起部１５２が大径部４１Ａ１を画定する内周壁に弾性を持って接触する。
具体的には、コイル部１５１及び突起部１５２は、それぞれ内周壁の対向し合う部分に接触する。図９の場合、コイル部１５１が内周壁の右側に接触して、突起部１５２が内周壁の左側に接触している。

このとき、図９から図１１に示すように、コイル部１５１が突起部１５２の復元力によって移動されたので、コイル部１５１の軸線Ｘ２は、貫通孔４０（ここでは大径部４１Ａ１及び中径部４１Ａ２）の軸線Ｘ３に対してオフセットしている。
また、図１１に示すように、軸線Ｘ２及び軸線Ｘ３を通過する方向において、コイル部１５１の内径と中径部４１Ａ２の内径とが最大で距離ｄ１だけ重複している。すなわち、軸線Ｘ２及び軸線Ｘ３の方向から中径部４１Ａ２を平面視したとき、最大で距離ｄ１だけ開口していることになる。
なお、説明の簡素化のために、図１１において示すバネ部材１５０は、コイル部１５１のみが表示され突起部１５２は省略されている。

次に、図１２及び図１３に示すように、プローブ本体１０１を、軸線Ｘ３の方向に沿って貫通孔４０に挿入するとともに、軸線Ｘ２の方向に沿ってコイル部１５１に挿入する。

このとき、バレル１３０の外径Ｄ１が距離ｄ１よりも大きくなるように各寸法を設定しておくことで、貫通孔４０、プローブ本体１０１及びバネ部材１５０は次のような関係になる。

すなわち、バレル１３０をコイル部１５１に挿入したとき、Ｄ１とｄ１との差分だけコイル部１５１が移動することになる。
ここで、図１１と図１３とを比較すると、軸線Ｘ３の位置を基準としたとき、コイル部１５１が右側から左側へ移動しており、軸線Ｘ３に対する軸線Ｘ２のオフセット量が小さくなっていることが分かる。また、軸線Ｘ２と軸線Ｘ３との間に、プローブ本体１０１の軸線Ｘ１が位置していることが分かる。

コイル部１５１は、突起部１５２によって大径部４１Ａ１の内周壁（図１２及び図１３において右側の部分）に押し付けられていたので、バレル１３０が挿入されたとき、コイル部１５１の内周面（同図において左側の部分）が接点Ｐ１を持ってバレル１３０の外周面に接触することになる。
これと同時に、接点Ｐ１から右向きの力を受けているバレル１３０は、突起部１５２の弾性によって中径部４１Ａ２を画定する内周壁（同図において右側の部分）に押し付けられ、接点Ｐ２を持ってハウジング１１（上部ハウジング１１Ａ）に直接的に接触することになる。
これによって、上部ハウジング１１Ａと導通したプローブ１００が組み立てられることになる。

次に、図１４に示すように、下部ハウジング１１Ｂを上部ハウジング１１Ａの下方から取り付ける。これによって、ソケット１０が組み立てられることになる。

次に、図１５に示すように、ソケット１０をプリント配線基板２０に実装した後、図１６に示すように、ＩＣパッケージ３０を可動台座１２に載置する。これによって、ＩＣパッケージ３０の検査が可能な状態になる。

［バネ部材の他の形態］
バネ部材１５０は、図５及び図６に示す形態の他に、図１７から図２２に示すような形態が例示される。
以下、バネ部材１５０の変形例について説明する。

［変形例１］
図１７に示すように、コイル部１５１で巻回されている線状の材料同士を軸線Ｘ２の方向に離間させて、軸線Ｘ２に沿った圧縮方向にも弾性力を発揮するバネ部材１５０としてもよい。

［変形例２］
図１８及び図１９に示すように、複数のコイル部１５１を軸線Ｘ２の方向に隣接するように並べ、上方に位置するコイル部１５１の下端と下方に位置するコイル部１５１の上端とをＣ字状の突起部１５２で接続したバネ部材１５０としてもよい。
なお、このバネ部材１５０において、各コイル部１５１及び突起部１５２は、一連の線状の材料で形成されている。

［変形例３］
図２０及び図２１に示すように、コイル部１５１の下端及び下端の両端にある線状の材料を接線方向に沿って延ばすことで２つの突起部１５２を形成したバネ部材１５０としてもよい。
これによって、バレル１３０を安定的かつ強力に中径部４１Ａ２を画定する内周壁に押し付けることができる。

このバネ部材１５０の場合、図２１に示すように、各突起部１５２の先端を同一の方向に向けておくこと必要がある。また、バネ部材１５０を平面視したときに、各突起部１５２が互いに向かって傾倒するように各突起部１５２が形成さることが好ましい。更には、図２２に示すように、バネ部材１５０を平面視したときに、各突起部１５２の先端が交差するように各突起部１５２が形成さることが好ましい。これによって、各突起部１５２が発揮する復元力が作用する方向、すなわち各突起部１５２がコイル部１５１を移動させる方向を揃えることができる。

本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
バネ部材１５０は、コイル部１５１、及び、コイル部１５１の外周面よりも外側に突出して貫通孔４０（大径部４１Ａ１）を画定する内周壁に弾性を持って接触する突起部１５２を有して、コイル部１５１は、突起部１５２の弾性によってプローブ本体１０１を内周壁に押し付けるので、貫通孔４０とプローブ本体１０１との間に隙間がある場合に、バレル１３０をハウジング１１に直接的に接触させることができる。これによって、プローブ本体１０１とハウジング１１との導通を確実にとることができる。

また、バネ部材１５０の突起部１５２が弾性を持って大径部４１Ａ１を画定する内周壁に接触するので、貫通孔４０とバレル１３０との間にある隙間が貫通孔４０やバレル１３０の寸法誤差の関係で個体により一定でない場合でも、その誤差を吸収することができる。このため、貫通孔４０の成形やバレル１３０の製造において高い寸法精度が要求されない。

また、バネ部材１５０を介して導通をとる構成ではないので、バネ部材１５０自体に導電性が要求されない、或いは優れた導電性が要求されない。このため、バネ部材１５０の材料や製造方法の選択の余地が広がりコストダウンを図ることができる。例えば、バネ部材１５０を安価な樹脂製とすることができる。また、接触抵抗を安定させるためにバネ部材１５０に金メッキ処理を施す必要がないので、メッキ処理を施さない分だけコストダウンを図ることができる。

また、軸線Ｘ２の方向に隣り合った２つのコイル部１５１を有し、突起部１５２がコイル部１５１とそれに隣接する他のコイル部１５１との間に設けられているバネ部材１５０を使用する場合、２つのコイル部１５１によってプローブ本体１０１を内周壁に押し付けることができる。換言すると、バレル１３０の２箇所にプローブ本体１０１を内周壁に押し付けるための力を負荷することができる。これによって、プローブ本体１０１を安定的に内周壁に押し付けることができる。すなわち、プローブ本体１０１を安定的に内周壁に接触させることができる。

また、突起部１５２がコイル部１５１の両端に設けられているバネ部材１５０を使用する場合、軸線Ｘ２方向に離間した２箇所の突起部１５２でバネ部材１５０を内周壁に接触させることができる。これによって、バレル１３０を安定的かつ強力に内周壁に押し付けることができる。また、バネ部材１５０が貫通孔４０（大径部４１Ａ１）内で傾くことを回避することができる。

また、軸線Ｘ２の方向から見て突起部１５２の先端同士が交差しているバネ部材１５０を使用する場合、各突起部１５２が発揮する復元力が作用する方向を揃えることができる。

［第２実施形態］
以下、本発明の第２実施形態に係るプローブ及び検査用ソケットについて、図面を参照して説明する。
本実施形態は、第１実施形態に対してバレル及び上部ハウジングの形態が異なり、その他の点においては共通とされている。このため、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する２００番台の符号を付すのみとする。

図２３に示すように、プローブ本体２０１のバレル２３０はフランジ部２３１を有している。

フランジ部２３１は、バレル２３０の外周面が半径方向の外側に向かって突出した部分である。
フランジ部２３１は、軸線Ｘ１に対する周方向において全周に亘って形成されてもよいし部分的に形成されてもよい。
フランジ部２３１は、外径が大径部４１Ａ１の内径よりも小径、かつ、中径部４１Ａ２の内径よりも大径とされている。

図２に示すように、第１実施形態においては、上部ハウジング１１Ａの貫通孔４０に小径部４１Ａ３を設けたうえでバレル１３０の外径を小径部４１Ａ３の内径よりも大径とすることで、バレル１３０が上部ハウジング１１Ａから飛び出すことを回避していた。
しかしながら、図２３に示すプローブ本体２０１のように、バレル２３０にフランジ部２３１を形成することで、フランジ部２３１が大径部４１Ａ１と中径部４１Ａ２との境界にある段差（以下、単に「中径部４１Ａ２の段差」という。）に当接するので、上部ハウジング１１Ａの貫通孔４０に小径部４１Ａ３を設けずとも、バレル２３０が上部ハウジング１１Ａから飛び出すことを回避することができる。

［第３実施形態］
以下、本発明の第３実施形態に係るプローブ及び検査用ソケットについて、図面を参照して説明する。
本実施形態は、第２実施形態に対してプローブの形態が異なり、その他の点においては共通とされている。このため、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する３００番台の符号を付すのみとする。

図２４に示すように、プローブ本体３０１は、下部プランジャ３２０がバレル３３０に対して固定された、いわゆる片側摺動型のプローブとされている。

図２５に示すように、プローブ本体３０１は、大径部４１Ａ１及び中径部４１Ａ２を有する貫通孔４０に収容されている。
このとき、バネ部材３５０は、フランジ部３３１と中径部４１Ａ２との間の大径部４１Ａ１に収容されている。

バネ部材３５０は、軸線Ｘ２に沿った圧縮方向にも弾性力を発揮するものとされている（図１７参照）。
このバネ部材３５０は、上端が中径部４１Ａ２の段差に当接可能とされ、下端がフランジ部３３１の上面に当接可能とされている。

図２６に示すように、プローブ３００が収容されたソケット１０をプリント配線基板２０に実装したとき、プローブ３００がプリント配線基板２０によって上方に押し上げられる。このとき、フランジ部３３１の上面と中径部４１Ａ２の段差との距離が短縮することになるので、バネ部材３５０が圧縮される。
これによって、バレル３３０が、中径部４１Ａ２の段差から離間する方向に付勢されことになり、この結果、バレル３３０に固定された下部プランジャ３２０が、プリント配線基板２０に付勢されることになる（いわゆるプリロード）。

［第４実施形態］
本実施形態は、第１実施形態に対して上部ハウジングの形態が異なり、その他の点においては共通とされている。このため、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する４００番台の符号を付すのみとする。

図２７に示すように、上部ハウジング１１Ａに形成された貫通孔４０は、大径部４１Ａ１及び小径部４１Ａ３を有しており、中径部４１Ａ２を有していない。

この構成によって、プローブ本体４０１と貫通孔４０との関係において、バレル４３０を貫通孔４０に接触させるのではなくて、上部プランジャ４１０及び下部プランジャ４２０を、貫通孔４０（小径部４１Ａ３及び小径部４１Ｂ）を画定する内周壁に接触させることができる。

なお、各実施形態の構成は、適用可能か範囲において、実施形態に関係なく相互に適用できるものとする。
例えば、第１実施形態で説明した変形例に係るバネ部材１５０の形状を他の実施形態に適用してもよい。また、第１実施形態のプローブ本体１０１を、片側摺動型のプローブにしてもよい。

１０ ソケット（検査用ソケット）
１１ ハウジング
１１Ａ 上部ハウジング
１１Ｂ 下部ハウジング
１２ 可動台座
１２ａ 凹所
１４ 台座用ネジ
２０ プリント配線基板（テスト基板）
３０ ＩＣパッケージ（検査デバイス）
４０ 貫通孔
４１Ａ１ 大径部
４１Ａ２ 中径部
４１Ａ３ 小径部
４１Ｂ 小径部
１００ プローブ
１０１ プローブ本体
１１０ 上部プランジャ
１２０ 下部プランジャ
１３０ バレル
１４０ 付勢部材
１５０ バネ部材
１５１ コイル部
１５２ 突起部
２００ プローブ
２０１ プローブ本体
２１０ 上部プランジャ
２２０ 下部プランジャ
２３０ バレル
２３１ フランジ部
２５０ バネ部材
２５１ コイル部
２５２ 突起部
３００ プローブ
３０１ プローブ本体
３１０ 上部プランジャ
３２０ 下部プランジャ
３３０ バレル
３３１ フランジ部
３５０ バネ部材
３５１ コイル部
３５２ 突起部
４００ プローブ
４０１ プローブ本体
４１０ 上部プランジャ
４２０ 下部プランジャ
４３０ バレル
４５０ バネ部材
４５１ コイル部
４５２ 突起部

Claims (6)

1. ハウジングに形成されるとともに金属製の内周壁で画定された貫通孔に挿通されるグランド用のプローブであって、
   第１軸線の方向に延在した筒状のバレル及び該バレルに収容されたプランジャを有するプローブ本体と、
   前記バレルが挿通されるバネ部材と、
   を備え、
   前記バネ部材は、第２軸線の周りに巻回され前記第２軸線の方向に前記バレルが挿通されるコイル部、及び、該コイル部と連続的に形成されるとともに前記コイル部の外周面よりも外側に突出して前記内周壁に弾性を持って接触する突起部を有して、
   前記コイル部は、前記突起部の弾性によって前記プローブ本体を前記内周壁に押し付けるプローブ。
2. 前記バネ部材は、前記第２軸線の方向に隣り合った２つの前記コイル部を有し、
   前記突起部は、前記コイル部とそれに隣接する他の前記コイル部との間に設けられている請求項１に記載のプローブ。
3. 前記突起部は、前記第２軸線の方向における前記コイル部の両端に設けられている請求項１に記載のプローブ。
4. 前記突起部は、前記第２軸線の方向から見て先端同士が交差している請求項３に記載のプローブ。
5. 金属製の内周壁で画定された貫通孔が第３軸線の方向に沿って形成されたハウジングと、
   前記第３軸線の方向に沿って前記貫通孔に挿通された請求項１から４のいずれかに記載のプローブと、
   を備え、
   前記コイル部は、前記突起部の弾性によって前記プローブ本体を前記内周壁に押し付けている検査用ソケット。
6. 前記バレルは、外周面から突出したフランジ部を有し、
   前記貫通孔は、前記フランジ部以外の前記バレルの部分よりも大径かつ前記フランジ部よりも小径とされた小径部、及び、前記フランジ部よりも大径とされ前記第３軸線の方向に沿って前記小径部と連続する大径部を有し、
   前記フランジ部は、前記貫通孔のうち前記大径部に収容され、
   前記バネ部材は、前記フランジ部と前記小径部との間の前記大径部に収容されている請求項５に記載の検査用ソケット。

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