JP2023031279A - 基板処理装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前述したように、第1インクパターンPで添加物(例えば、無機物)が集まっている領域は、第1インクパターンイメージ10で相対的に暗く見える。逆に、第1インクパターンPで添加物が少ない領域は、第1インクパターンイメージ10で相対的に明るく見える。したがって、第1インクパターンイメージ10のグレースケール値に比例して、第1インクパターンPの密度を決定することができる。例えば、第1インクパターンイメージ10のグレースケール値が大きいと、第1インクパターンPの密度値を大きく決定することができる。または、第1インクパターンイメージ10のグレースケール値を、第1インクパターンPの密度で決定することもできる。
ここで、各ピクセル領域P1,P2,P3にボリューム3のインクが吐出される場合のみピクセルが完成されると仮定する。一つのノズルN1~N10から吐出されるインクのボリュームは1であるので、一つのピクセル領域(例えば、P1)に3回のインク吐出が行われなければならない。
第1イメージ生成モジュール130は多数のインクパターンPを撮影してインクパターンイメージ(図3の10を参照)を生成する。次に、制御モジュール150はインクパターンイメージ10からインクの密度を算出する(S420)。
Claims (20)
- 多数のノズルを用いてインクを基板上に吐出して、前記基板上に互いに離隔した多数のインクパターンを形成し、
前記多数のインクパターンそれぞれの密度を算出し、
前記算出された多数のインクパターンそれぞれの密度に基づいて、一つのピクセル領域内にインクを吐出するための少なくとも一つのノズルを選定することを含む、基板処理方法。 - 前記多数のインクパターンそれぞれの密度を算出することは、
前記多数のインクパターンのうち第1インクパターンを撮影して、第1インクパターンイメージを生成し、
前記第1インクパターンイメージのグレースケール値を算出し、
前記グレースケール値に基づいて、前記第1インクパターンの密度を算出することを含む、請求項1に記載の基板処理方法。 - 前記第1インクパターンイメージのグレースケール値を算出することは、
前記第1インクパターンイメージを多数の部分に区分し、
前記区分された多数の部分それぞれのグレースケール値(grayscale value)を決定して、多数の部分グレースケール値を生成し、
前記多数の部分グレースケール値に基づいて、前記第1インクパターンイメージのグレースケール値を決定することを含む、請求項2に記載の基板処理方法。 - 前記第1インクパターンイメージのグレースケール値は前記多数の部分グレースケール値の平均である、請求項3に記載の基板処理方法。
- 前記多数のノズルそれぞれから吐出されるインクのボリュームを測定することをさらに含む、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記多数のノズルそれぞれから吐出されるインクのボリュームを測定することは、
前記多数のノズルそれぞれから吐出される状態のインクを撮影し、
前記撮影されたインクのメイン液滴のボリュームに基づいて、前記多数のノズルそれぞれから吐出されるインクのボリュームを算出することを含む、請求項5に記載の基板処理方法。 - 前記算出された多数のインクパターンそれぞれの密度と前記多数のノズルそれぞれから吐出されたインクのボリュームに基づいて、一つのピクセル領域内にインクを吐出するための少なくとも一つのノズルを選定する、請求項5に記載の基板処理方法。
- 前記基板はロールトゥロール方式で提供されるフレキシブル基板である、請求項1に記載の基板処理方法。
- 多数のノズルを含み、前記多数のノズルを介してインクを基板上に吐出して前記基板上に互いに離隔した多数のインクパターンを形成するヘッドと、
前記多数のインクパターンを撮影して、多数のインクパターンイメージを生成する第1イメージ生成モジュールと、
前記多数のインクパターンイメージそれぞれのグレースケール値(grayscale value)を算出し、算出された前記グレースケール値に基づいて一つのピクセル領域内にインクを吐出するための少なくとも一つのノズルを選定する制御モジュールを含む、基板処理装置。 - 前記多数のインクパターンイメージそれぞれのグレースケール値を算出することは、
前記多数のインクパターンイメージのうち第1インクパターンイメージを多数の部分に区分し、
前記区分された多数の部分それぞれのグレースケール値を決定して、多数の部分グレースケール値を生成し、
前記多数の部分グレースケール値に基づいて、前記第1インクパターンイメージのグレースケール値を決定することを含む、請求項9に記載の基板処理装置。 - 前記第1インクパターンイメージのグレースケール値は前記多数の部分グレースケール値の平均である、請求項10に記載の基板処理装置。
- 前記多数のノズルそれぞれから吐出される状態のインクを撮影し、多数のインク液滴イメージを生成する第2イメージ生成モジュールをさらに含む、請求項9に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記多数のインク液滴イメージでインクのメイン液滴のボリュームに基づいて、前記多数のノズルそれぞれから吐出されるインクのボリュームを算出することを含む、請求項12に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は前記多数のインクパターンイメージそれぞれのグレースケール値と前記多数のノズルそれぞれから吐出されたインクのボリュームに基づいて、一つのピクセル領域内にインクを吐出するための少なくとも一つのノズルを選定する、請求項13に記載の基板処理装置。
- 前記基板はロールトゥロール方式で提供されるフレキシブル基板である、請求項9に記載の基板処理装置。
- 第1ステージと、
前記第1ステージに隣接する第2ステージと、
前記第1ステージおよび前記第2ステージを横切るように配置されたガントリと、
前記ガントリに設けられ、多数のノズルを含んで前記第1ステージおよび第2ステージでインクを吐出できるインクジェットヘッドモジュールと、
前記ガントリに設けられた第1イメージ生成モジュールと、
前記インクジェットヘッドモジュールおよび前記第1イメージ生成モジュールを制御する制御モジュールを含み、
前記インクジェットヘッドモジュールは前記第2ステージのテスト用基板にインクを吐出して多数のインクパターンを形成し、
前記第1イメージ生成モジュールは前記インクパターンを撮影してインクパターンイメージを生成し、
前記制御モジュールは前記インクパターンイメージから、前記多数のインクパターンそれぞれの密度を算出する、基板処理装置。 - 工程処理された基板が第1ステージでアンロードされて工程処理される新しい基板が第1ステージにロードされる前に、
前記インクジェットヘッドモジュールは前記第2ステージに移動して前記テスト用基板にインクを吐出してインクパターンを形成し、前記第1イメージ生成モジュールは前記インクパターンを撮影する、請求項16に記載の基板処理装置。 - 前記ガントリに設けられた第2イメージ生成モジュールをさらに含み、
前記第2イメージ生成モジュールは前記インクジェットヘッドモジュールの多数のノズルから吐出される状態のインクを撮影し、インク液滴イメージを生成し、
前記制御モジュールは前記インク液滴イメージから、前記多数のノズルそれぞれから吐出されるインクのボリュームを算出する、請求項16に記載の基板処理装置。 - メンテナンス期間の間、前記インクジェットヘッドモジュールは前記テスト用基板にインクを吐出し、前記第2イメージ生成モジュールは前記吐出される状態のインクパターンを撮影する、請求項18に記載の基板処理装置。
- 前記制御モジュールが前記多数のインクパターンそれぞれの密度を算出することは、
前記インクパターンイメージのうち第1インクパターンイメージを多数の部分に区分し、
前記区分された多数の部分それぞれのグレースケール値を決定して、多数の部分グレースケール値を生成し、
前記多数の部分グレースケール値に基づいて、前記第1インクパターンイメージのグレースケール値を決定することを含む、請求項16に記載の基板処理装置。
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