JP2023025499A - インダクタ部品 - Google Patents
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Abstract
Description
磁性粉を含み第1主面および第2主面を有する素体と、
前記素体内に設けられたインダクタ配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第1端部に接続され前記第1主面まで延在する第1垂直配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第2端部に接続され前記第1主面まで延在する第2垂直配線と、
前記第1垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第1外部端子と、
前記第2垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第2外部端子と
を備え、
前記磁性粉は、Fe元素を主成分とし、
前記第1主面は、複数の前記磁性粉が酸化された酸化膜が露出している酸化領域と、複数の前記磁性粉が露出している非酸化領域とを有する。
前記素体は、前記磁性粉を含有する樹脂を含み、
前記酸化領域における前記磁性粉は、前記酸化膜を介して前記樹脂と接触する磁性粉を含む。
前記素体は、前記磁性粉を含有する樹脂を含み、
前記酸化領域における前記磁性粉は、前記樹脂と直接接触する磁性粉を含む。
前記第2主面は、前記酸化領域を有し、
前記第2主面の前記酸化領域の面積は、前記第1主面の前記酸化領域の面積よりも大きい。
前記第2主面は、前記酸化領域を有し、
前記第2主面の前記酸化膜の厚みは、前記第1主面の前記酸化膜の厚みよりも薄い。
前記素体は、前記第1主面と前記第2主面の間に位置し前記第1主面と前記第2主面を接続する複数の側面を有し、
前記酸化領域は、前記第1主面および少なくとも一つの前記側面のみに設けられている。
前記素体は、前記第1主面と前記第2主面の間に位置し前記第1主面と前記第2主面を接続する側面を有し、
さらに、前記インダクタ配線の前記第1端部に接続され前記側面から露出する第1引出配線を備え、
前記第1引出配線が露出する前記側面は、前記酸化領域を有する。
前記インダクタ配線は、複数あり、
複数のインダクタ配線は、前記第1主面に平行な同一平面に配置され、互いに電気的に分離している。
前記素体は、前記インダクタ配線の前記第1主面側の上面と前記第1主面との間に位置する直上部分を有し、
前記磁性粉の粒径のD50は、前記直上部分の厚みの1/10以上であり、かつ、前記直上部分の厚みの2倍以下であり、
前記素体の厚みは、300μm以下である。
前記素体は、前記第1主面に直交する方向に積層された複数の磁性層を有し、
前記インダクタ配線に接する前記磁性層は、前記インダクタ配線の外形の一部に沿って配置されている。
磁性粉を含み第1主面および第2主面を有する素体と、
前記素体内に設けられたインダクタ配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第1端部に接続され前記第1主面まで延在する第1垂直配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第2端部に接続され前記第1主面まで延在する第2垂直配線と、
前記第1垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第1外部端子と、
前記第2垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第2外部端子と
を備え、
前記磁性粉は、Fe元素を主成分とし、
前記第1主面は、複数の前記磁性粉上においてFe元素が65wt%以上でありかつO元素が24wt%以上である酸化領域と、複数の前記磁性粉が露出している非酸化領域とを有する。
(構成)
図1は、インダクタ部品の第1実施形態を示す平面図である。図2Aは、図1のA-A断面図である。図2Bは、図1のB-B断面図である。図2Cは、図1のC-C断面図である。
次に、インダクタ部品1の製造方法について説明する。図4Aから図4Jは、図1のB-B断面(図2B)に対応する。
次に、実施例1、実施例2、実施例3において、酸化領域および非酸化領域のそれぞれのFe元素量とO元素量とを求めた。図5Aは、実施例1から実施例3において、酸化領域および非酸化領域のそれぞれのFe元素量[wt%]を示すグラフである。図5Bは、実施例1から実施例3において、酸化領域および非酸化領域のそれぞれのO元素量[wt%]を示すグラフである。
図6は、インダクタ部品の第2実施形態を示す平面図である。第2実施形態は、第1実施形態とは、素体の構成が相違する。この相違する構成を以下に説明する。なお、その他の構造は、第1実施形態と同じであるため、第1実施形態と同一の符号を付して、その説明を省略する。
10,10A 素体
10a 第1主面
10b 第2主面
10c~10f 第1~第4側面
11 第1磁性層
12 第2磁性層
13 第3磁性層
21 第1インダクタ配線
21a 第1端部
21b 第2端部
212 上面
215 第1直上部分
22 第2インダクタ配線
22a 第1端部
22b 第2端部
222 上面
225 第2直上部分
31 第1柱状配線(垂直配線)
32 第2柱状配線(垂直配線)
33 第3柱状配線(垂直配線)
41 第1外部端子
42 第2外部端子
43 第3外部端子
61 絶縁層
100 磁性粉
101 樹脂
102 酸化膜
201 第1引出配線
202 第2引出配線
R1 酸化領域
R2 非酸化領域
Z1 重複領域
Z2 非重複領域
Claims (20)
- 磁性粉を含み第1主面および第2主面を有する素体と、
前記素体内に設けられたインダクタ配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第1端部に接続され前記第1主面まで延在する第1垂直配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第2端部に接続され前記第1主面まで延在する第2垂直配線と、
前記第1垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第1外部端子と、
前記第2垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第2外部端子と
を備え、
前記磁性粉は、Fe元素を主成分とし、
前記第1主面は、複数の前記磁性粉が酸化された酸化膜が露出している酸化領域と、複数の前記磁性粉が露出している非酸化領域とを有する、インダクタ部品。 - 前記素体は、前記磁性粉を含有する樹脂を含み、
前記酸化領域における前記磁性粉は、前記酸化膜を介して前記樹脂と接触する磁性粉を含む、請求項1に記載のインダクタ部品。 - 前記素体は、前記磁性粉を含有する樹脂を含み、
前記酸化領域における前記磁性粉は、前記樹脂と直接接触する磁性粉を含む、請求項1に記載のインダクタ部品。 - 前記酸化領域は、前記非酸化領域と比べて、600nmより小さい波長の反射率に対する600nm以上800nm以下の波長の反射率の割合が大きい、請求項1から3の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記酸化膜は、前記磁性粉の切断面に形成されている、請求項1から4の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記第1主面に直交する方向からみて、前記第1主面は、前記第1主面に最も近い位置にある前記インダクタ配線に重なる重複領域を有し、前記酸化領域は、前記重複領域に位置する、請求項1から5の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記第1主面に直交する方向からみて、前記第1主面は、前記第1主面に最も近い位置にある前記インダクタ配線に重なる重複領域を有し、前記酸化領域は、前記第1主面における前記重複領域以外の非重複領域に位置する、請求項1から5の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記酸化膜の厚みは、前記磁性粉の粒径のD50より小さい、請求項1から7の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記第2主面は、前記酸化領域を有し、
前記第2主面の前記酸化領域の面積は、前記第1主面の前記酸化領域の面積よりも大きい、請求項1から8の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記第2主面は、前記酸化領域を有し、
前記第2主面の前記酸化膜の厚みは、前記第1主面の前記酸化膜の厚みよりも薄い、請求項1から9の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記酸化領域は、前記第1主面のみに設けられている、請求項1から8の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記素体は、前記第1主面と前記第2主面の間に位置し前記第1主面と前記第2主面を接続する複数の側面を有し、
前記酸化領域は、前記第1主面および少なくとも一つの前記側面のみに設けられている、請求項1から8の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記素体は、前記第1主面と前記第2主面の間に位置し前記第1主面と前記第2主面を接続する側面を有し、
さらに、前記インダクタ配線の前記第1端部に接続され前記側面から露出する第1引出配線を備え、
前記第1引出配線が露出する前記側面は、前記酸化領域を有する、請求項1から8の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記インダクタ配線は、複数あり、
複数のインダクタ配線は、前記第1主面に平行な同一平面に配置され、互いに電気的に分離している、請求項1から13の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記素体は、前記インダクタ配線の前記第1主面側の上面と前記第1主面との間に位置する直上部分を有し、
前記磁性粉の粒径のD50は、前記直上部分の厚みの1/10以上であり、かつ、前記直上部分の厚みの2倍以下であり、
前記素体の厚みは、300μm以下である、請求項1から14の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記重複領域の前記磁性粉の粒径のD50は、前記第1主面の前記重複領域以外の領域である非重複領域の前記磁性粉の粒径のD50よりも大きい、請求項6に記載のインダクタ部品。
- 前記酸化領域のFe元素の量は、前記非酸化領域のFe元素の量より多い、請求項16に記載のインダクタ部品。
- 前記素体は、前記第1主面に直交する方向に積層された複数の磁性層を有し、
前記インダクタ配線に接する前記磁性層は、前記インダクタ配線の外形の一部に沿って配置されている、請求項1から17の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記酸化領域の前記磁性粉の粒径のD50は、前記非酸化領域の前記磁性粉の粒径のD50よりも大きい、請求項1から18の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 磁性粉を含み第1主面および第2主面を有する素体と、
前記素体内に設けられたインダクタ配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第1端部に接続され前記第1主面まで延在する第1垂直配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第2端部に接続され前記第1主面まで延在する第2垂直配線と、
前記第1垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第1外部端子と、
前記第2垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第2外部端子と
を備え、
前記磁性粉は、Fe元素を主成分とし、
前記第1主面は、複数の前記磁性粉上においてFe元素が65wt%以上でありかつO元素が24wt%以上である酸化領域と、複数の前記磁性粉が露出している非酸化領域とを有する、インダクタ部品。
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