JP2023008830A - イメージセンサ、イメージセンサを含むイメージ装置、及びイメージ装置の動作方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】ピクセル面積を減らすイメージセンサ、イメージセンサを含むイメージ装置、及びイメージ装置の動作方法を提供する。【解決手段】本発明のイメージセンサは、複数のロウラインと複数のカラムラインに配列された複数のピクセルを有するピクセルアレイ、複数のロウラインのうちいずれか一つを選択するロウドライバ、ピクセルアレイから出力されたアナログ信号をデジタルデータに変換するアナログデジタル変換回路、デジタルデータをイメージ信号プロセッサに伝送するための伝送クロックを生成するデジタルクロック生成器、及びピクセルアレイ、ロウドライバ、アナログデジタル変換回路、及びデジタルクロック生成器のタイミングを制御するタイミング制御器を含み、複数のピクセルのそれぞれは、一つのソースフォロワトランジスタを用いてグローバルシャッタ方式で動作することを特徴とする。【選択図】図3

Description

本発明は、イメージセンサ、イメージセンサを含むイメージ装置、及びイメージ装置の動作方法に関するものである。
一般に、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサは駆動方式が簡便であり、信号処理回路を単一チップに集積することができ、製品の小型化が可能である。CMOSイメージセンサは、電力消耗も非常に低く、バッテリ容量が制限的な製品に適用することが容易である。また、CMOSイメージセンサはCMOS工程技術を互換して使用することができ、製造コストを下げることができる。したがって、CMOSイメージセンサは、技術開発と共に高解像度が実現可能であるため、その使用が急激に増えている。
本発明の目的は、ピクセル面積を減らすイメージセンサ、イメージセンサを含むイメージ装置、及びイメージ装置の動作方法を提供することにある。
本発明の実施形態によるイメージセンサは、第1キャパシタと、第2キャパシタと、フォトダイオードとフローティングディフュージョンノードとの間に連結され、伝達信号を受信するゲートを有する第1トランジスタと、第1電源端とフローティングディフュージョンノードとの間に連結され、リセット信号を受信するゲートを有する第2トランジスタと、第2電源端と第1ノードとの間に連結され、フローティングディフュージョンノードに連結されるゲートを有する第3トランジスタと、第1ノードとカラムラインとの間に連結され、プリチャージ信号を受信するゲートを有する第4トランジスタと、第1キャパシタとフィードバックノードとの間に連結され、第1サンプリング信号を受信するゲートを有する第5トランジスタと、第2キャパシタとフィードバックノードとの間に連結され、第2サンプリング信号を受信するゲートを有する第6トランジスタと、第1ノードとフィードバックノードとの間に連結され、第1スイッチ信号を受信するゲートを有する第7トランジスタと、フローティングディフュージョンノードとフィードバックノードとの間に連結され、第2スイッチ信号を受信するゲートを有する第8トランジスタと、を含むことができる。
本発明の他の実施形態によるイメージセンサは、第1キャパシタと、第2キャパシタと、第1フォトダイオードとフローティングディフュージョンノードとの間に連結され、第1伝達信号を受信するゲートを有する第1伝達トランジスタと、第1電源端とフローティングディフュージョンノードとの間に連結され、リセット信号を受信するゲートを有する第2トランジスタと、第2電源端と第1ノードとの間に連結され、フローティングディフュージョンノードに連結されるゲートを有する第3トランジスタと、第1ノードと接地端との間に連結され、プリチャージ信号を受信するゲートを有する第4トランジスタと、第1キャパシタとフィードバックノードとの間に連結され、第1サンプリング信号を受信するゲートを有する第1サンプリングトランジスタと、第2キャパシタとフィードバックノードとの間に連結され、第2サンプリング信号を受信するゲートを有する第2サンプリングトランジスタと、第1ノードとフィードバックノードとの間に連結され、第1スイッチ信号を受信するゲートを有する第7トランジスタと、フローティングディフュージョンノードとフィードバックノードとの間に連結され、第2スイッチ信号を受信するゲートを有する第8トランジスタと、第1ノードとカラムラインとの間に連結され、選択信号を受信するゲートを有する第9トランジスタと、を含むことができる。
本発明の実施形態によるイメージセンサの動作方法は、グローバルシャッタ動作及びローリングシャッタ動作のうちいずれか一つを選択する段階と、グローバルシャッタ動作を行うとき、ピクセルのそれぞれにおいて、ソースフォロワトランジスタを経由してリセット電圧及びピクセル電圧を対応するキャパシタにダンピングする段階と、ピクセルのそれぞれにおいて、キャパシタに保存されたリセット電圧及びピクセル電圧をソースフォロワトランジスタを経由してリードアウトする段階と、を含むことができる。
本発明のさらに他の実施形態によるイメージセンサは、複数のロウライン及び複数のカラムラインに配置された複数のピクセルを有するピクセルアレイと、複数のロウラインのうちいずれか一つを選択するロウドライバと、ピクセルアレイから出力されたアナログ信号をデジタルデータに変換するアナログデジタル変換回路と、デジタルデータをイメージ信号プロセッサに伝送するための伝送クロックを発生するデジタルクロック生成器と、ピクセルアレイ、ロウドライバ、アナログデジタル変換回路、及びデジタルクロック生成器のタイミングを制御するタイミング制御器と、を含み、複数のピクセルのそれぞれは、一つのソースフォロワトラジスタを用いてグローバルシャッタ方式で動作することを特徴とする。
本発明の実施形態によるイメージング装置は、ロウラインとカラムラインとが交差する地点に連結された複数のピクセル群からイメージ信号を受信し、受信したイメージ信号をデジタルに変換し、変換されたイメージデータを出力するイメージセンサと、イメージデータを処理し、処理されたイメージデータを出力するイメージ信号プロセッサと、を含み、複数のピクセル群のそれぞれは複数のピクセルを含み、複数のピクセルのそれぞれは、一つのソースフォロワトランジスタを用いてグローバルシャッタ方式で動作することを特徴とする。
本発明の実施形態によるイメージセンサ、それを含むイメージ装置、及びその動作方法は、一つのソースフォロワトランジスタを用いてグローバルシャッタ動作を行うことにより、ピクセル面積を大幅に減らすことができる。
以下に添付される図面は、本実施形態に関する理解を助けるためのものであって、詳細な説明と共に実施形態を提供する。
本発明の実施形態によるイメージセンサ100を例示的に示す図である。 グローバルシャッタ方式を概念的に示す図である。 ローリングシャッタ方式を概念的に示す図である。 本発明の実施形態によるピクセルPXを例示的に示す図である。 本発明の実施形態によるピクセルPXの動作を例示的に示す図である。 本発明の実施形態によるピクセルPXの動作を例示的に示す図である。 本発明の実施形態によるピクセルPXの動作を例示的に示す図である。 本発明の実施形態によるピクセルPXの動作方法を例示的に示すタイミング図である。 本発明の実施形態によるイメージセンサの動作方法を例示的に示すフローチャートである。 本発明の他の実施形態によるピクセルPXaを例示的に示す図である。 図7に示すピクセルPXaの動作を例示的に説明するタイミング図である。 本発明の他の実施形態によるピクセルPXbを例示的に示す図である。 図9に示すピクセルPXbの動作を例示的に説明するタイミング図である。 本発明のさらに他の実施形態によるピクセルPXcを例示的に示す図である。 本発明の実施形態によるIRピクセルPXdを例示的に示す図である。 本発明のIRピクセルの動作タイミングを例示的に示す図である。 本発明の他の実施形態によるピクセルPXeを例示的に示す図である。 2×2ベイヤー(bayer)パターンで構成されたピクセルを示す図である。 4×4テトラ(tetra)パターンで構成されたピクセルを示す図である。 8×8Q-cellパターンで構成されたピクセルを示す図である。 赤外線(Infrared Light;IR)サブピクセルを有するピクセルを示す図である。 各カラーサブピクセルに対応するレンズを備えるテトラピクセルを示す図である。 4つの同一カラーサブピクセルに対応するレンズを備えるテトラピクセルを示す図である。 1×1サブピクセルに対応するレンズを備える4×4カラーフィルタピクセルを示す図である。 2×2サブピクセルに対応する4×4カラーフィルタピクセルを示す図である。 4×4サブピクセルに対応する4×4カラーフィルタピクセルを示す図である。 2-PD構造のピクセルを例示的に示す図である。 2-PD構造のピクセルを例示的に示す図である。 互いに異なるサイズで実現されたピクセル群を例示的に示す図である。 互いに異なるサイズで実現されたピクセル群を例示的に示す図である。 本発明の実施形態によるイメージング装置200を例示的に示す図である。 本発明の実施形態によるマルチカメラモジュールを有する電子装置を例示的に示す図である。 図19に示すカメラモジュール1100bの詳細構成を示す図である。 本発明の実施形態によるイメージング装置を例示的に示す図である。 本発明の実施形態によるイメージング装置を例示的に示す図である。
以下では、図面を用いて本発明の技術分野における通常の知識を有する者が容易に実現できる程度に本発明の内容を明確かつ詳細に記載する。図1は、本発明の実施形態によるイメージセンサ100を例示的に示す図である。図1を参照すると、イメージセンサ100は、ピクセルアレイ110、ロウドライバ120、アナログデジタル変換回路130、ランプ電圧発生器160、タイミング制御器170、及びバッファ180を含むことができる。
ピクセルアレイ110は、それぞれが複数のロウライン及び複数のカラム(column)ラインCLと連結されたマトリクス状に配置された複数のピクセルを含むことができる。複数のピクセルのそれぞれは光感知素子を含むことができる。例えば、光感知素子は、フォトダイオード、フォトトランジスタ、ポートゲート、又はピンドフォトダイオード(pinned photodiode)などを含むことができる。複数のピクセルのそれぞれは、少なくとも一つの光感知素子を含むことができる。実施形態において、複数のピクセルのそれぞれは複数の光感知素子を含むことができる。複数の感光素子のそれぞれは互いに積層されてもよい。
複数のピクセルのそれぞれは、光感知素子を用いて光を感知し、それを電気的な信号であるピクセル信号に変換することができる。複数のピクセルのそれぞれは、特定のスペクトル領域の光を感知することができる。例えば、複数のピクセルは、赤(red)スペクトル領域の光を電気信号に変換する赤ピクセル、緑(green)スペクトル領域の光を電気信号に変換するための緑ピクセル、及び青(blue)スペクトル領域の光を電気信号に変換するための青ピクセルを含むことができる。複数のピクセルのそれぞれの上部に特定のスペクトル領域の光を透過させるためのカラーフィルタが配置されることができる。
複数のピクセルのそれぞれは、一つのソースフォロワトランジスタを用いて信号ダンプとリードアウトの両方を動作するように実現されることができる。ロウドライバ120は、ピクセルアレイ110をロウ単位で駆動するように実現することができる。ロウドライバ120は、タイミング制御器170で生成されたロウ制御信号(例えば、アドレス信号)をデコーディングし、デコーディングされた行制御信号に応答してピクセルアレイ110を構成するロウラインのうち少なくともいずれか一つのロウラインを選択することができる。例えば、ロウドライバ120はロウ選択信号を生成することができる。そして、ピクセルアレイ110は、ロウドライバ120から提供されたロウ選択信号によって選択されるロウからピクセル信号を出力する。ピクセル信号はリセット信号とイメージ信号を含むことができる。
アナログデジタル変換回路130は、ADC活性化信号(ADC_EN)に応答してピクセルアレイ110から入力されるアナログピクセル信号をデジタルデータに変換するように実現することができる。アナログデジタル変換回路130は、比較回路140(CDB)及びカウンタ回路150(DBS)を含むことができる。
比較回路140は、ピクセルアレイ110を構成するカラムラインCLのうちいずれか一つのカラムラインに接続された単位ピクセルから出力されるピクセル信号をランプ電圧RAMPと比較するように実現されてもよい。比較回路140は、それぞれのカラムに対応して備えられる複数の比較器141を含むことができる。それぞれの比較器141はピクセルアレイ110及びランプ電圧発生器160と連結されることができる。
比較器141(CMP)は、ピクセル信号とランプ電圧発生器160から生成したランプ電圧RAMPの入力を受けて比較し、比較結果信号を出力端に出力するように実現することができる。また、比較器141は、相関二重サンプリング(correlated double sampling;CDS)技法が適用される比較結果信号を生成することができる。複数のピクセルから出力されるピクセル信号は、各ピクセル毎に有するピクセル固有の特性(例えば、FPN(fixed pattern noise)等)による偏差又はピクセルPXからピクセル信号を出力するためのロジックの特性差に起因する偏差を有することができる。相関二重サンプリング技法は、このようなピクセル信号間の偏差を補償するためにピクセル信号のそれぞれについてリセット成分(又はリセット信号)及びイメージ成分(又はイメージ信号)を計算し、その差を有効な信号成分として抽出する方式である。比較器141は、相関二重サンプリング技法が適用される比較結果信号を出力することができる。
また、比較器141は、2段増幅器で実現されることができる。例えば、比較器141は、ピクセル信号とランプ電圧とを比較する第1増幅器及び第1増幅器の出力を増幅して出力する第2増幅器を含むことができる。実施形態において、第1増幅器は、オートゼロ段階において比較動作段階より少ない量のバイアス電流に基づいて動作することができる。これにより、ノイズが減少しながら入力レンジが増加することができる。実施形態において、第2増幅器は、バイアス電流を生成する電流ソースを動作段階別に適応的に制御し、ディシジョンの前後に最小限のバイアス電流を生成することができる。これにより、第2増幅器の動作による電源変動を防止することができる。実施形態において、第1増幅器は、出力端子と共通ノードを連結する制限回路を含むことができる。ここで、制限回路は、共通ノードの電圧レベルが、第1増幅器が正常に動作可能な最低値以下に低くなることを防止し、出力ノードに発生する電圧変動を補償することができる。
さらに、比較回路140は、カラムライン群に応じて互いに異なる時点でデシジョン信号(例えば、比較器の出力信号)を出力するように実現することができる。
カウンタ回路150は複数のカウンタを含むことができる。複数のカウンタのそれぞれ151(CNT)は、比較器141の出力端に連結され、各比較器141の出力に基づいてカウントするように実現することができる。カウンタ制御信号CTCSは、カウンタ活性化信号、カウンタクロック信号、複数のカウンタ151のリセット(reset)動作を制御するカウンタリセット信号、及び複数のカウンタのそれぞれの内部ビットを反転させる反転信号等を含むことができる。カウンタ回路150は、カウンタクロック信号に応じて比較結果信号をカウンティングすることによりデジタルデータとして出力することができる。
カウンタ151(CNT)は、アップ/ダウンカウンタ(up/down counter)又はビットワイズカウンタ(bit-wise counter)を含むことができる。このとき、ビットワイズカウンタはアップ/ダウンカウンタと類似の動作を行うことができる。例えば、ビットワイズカウンタは、アップカウントのみを行う機能、及び特定の信号が入るとカウンタ内部の全てのビットを反転して1の補数(1’s complement)にする機能を行うことができる。ビットワイズカウンタは、リセットカウント(reset count)を行った後、それを反転して1の補数、すなわち、マイナスの値に変換することができる。
ランプ電圧発生器160は、ランプ電圧(又はADC基準電圧)を生成するように実現することができる。ランプ電圧発生器160は、タイミング制御器170から提供されるランプ制御信号CTRPに基づいて動作することができる。ランプ制御信号CTRPは、ランプイネーブル信号、モード信号などを含むことができる。ランプ電圧発生器160は、ランプイネーブル信号が活性化すると、モード信号に基づいて設定される傾きを有するランプ電圧RAMPを生成することができる。
タイミング制御器170は、ロウドライバ120、アナログデジタル変換回路130、及びランプ電圧発生器160のそれぞれに制御信号又はクロック信号を出力することにより、ロウドライバ120、アナログデジタル変換回路130、及びランプ電圧発生器160の動作又はタイミングを制御するように実現することができる。さらに、タイミング制御器170は、カラムライン群に応じてディシジョン速度を互いに異ならせるように比較回路140に提供されるスイッチング制御信号を生成することができる。
バッファ180は、アナログデジタル変換回路130から出力されたデジタルデータを臨時保存し、増幅して出力するように実現することができる。バッファ180は、カラムメモリブロック181(MEM)及び感知増幅回路182(SA)を含むことができる。
カラムメモリブロック181(MEM)は複数のメモリを含むことができる。複数のメモリのそれぞれは、複数のカウンタのそれぞれ151から出力されるデジタルデータを臨時保存した後、感知増幅回路182に出力することができる。
感知増幅回路182(SA)は、複数のメモリから出力されるデジタルデータを感知及び増幅するように実現することができる。感知増幅回路182は、増幅されたデジタルデータをイメージデータ(IDATA)としてイメージ信号プロセッサ(Image Signal Processor;ISP)に出力することができる。
本発明の実施形態によるイメージセンサ100は、一つのソースフォロワトランジスタを用いて信号ダンプ動作とリードアウト動作を行うことができる。本発明のイメージセンサ100は、スイッチトランジスタをフローティングディフュージョン領域に連結する一つのソースフォロワトランジスタを有するピクセルを実現することにより、ピクセルの面積を減らしながらノイズの面で優れた特性を持たせることができる。
一方、一般に、イメージセンサ100のピクセル駆動方式は、ローリングシャッタ(rolling shutter)方式とグローバルシャッタ(global shutter)方式を含む。
図2aはグローバルシャッタ方式を概念的に示す図であり、図2bはローリングシャッタ方式を概念的に示す図である。図2aを参照すると、グローバルシャッタ動作の場合、1フレーム内の全ての光素子によって光電変換された全信号が一度にフローティングディフュージョンノードに伝達された後、順次に選択されるロウ(row)から該当ピクセルの映像信号が出力されることができる。図2bを参照すると、ローリングシャッタ方式の場合、ライン(又はrow)単位でリセット及びリードアウトを順次に行うことができる。
一方、本発明の実施形態によるピクセルPXは、グローバルダンプとリードアウトを同時に行う一つのソースフォロワトランジスタで実現することができる。
図3は、本発明の実施形態によるピクセルPXを例示的に示す図である。図3を参照すると、ピクセルPXはフォトダイオードPD、トランジスタT1~T8、第1キャパシタC1、及び第2キャパシタC2を含むことができる。
第1トランジスタT1(又は伝達トランジスタ)は、フォトダイオードPDとフローティングディフュージョンノードFDとの間に連結され、伝達信号TGを受信するゲートを含むことができる。
第2トランジスタT2(又はリセットトランジスタ)は、第1電源端とフローティングディフュージョンノードFDとの間に連結され、リセット信号RGを受信するゲートを含むことができる。ここで、第1電源端は電源電圧VDDを受信することができる。
第3トランジスタT3(又はソースフォロワトランジスタ)は、第2電源端と第1ノードN1との間に連結され、フローティングディフュージョンノードFDに連結されたゲートを含むことができる。ここで、第2電源端は電源電圧VDDを受信することができる。第3トランジスタは、フローティングディフュージョンノードFDの電圧を出力するソースフォロワ機能を行うことができる。図3に示す第1電源端と第2電源端には同じ電源電圧VDDが提供されている。しかし、本発明はこれに限定されない。第1電源端と第2電源端には互いに異なる電源電圧が提供されてもよい。
第4トランジスタT4(又はプリチャージトランジスタ)は、第1ノードN1とカラムラインCLとの間に連結され、プリチャージ信号VPCを受信するゲートを含むことができる。実施形態において、第4トランジスタT4は3つの機能を行うことができる。第一に、第4トランジスタT4は、リードアウト動作を行うときに第1ノードN1の電圧をカラムラインCLに伝達する機能を行うことができる。このとき、第4トランジスタT4のゲートには第1レベルのプリチャージ信号VPCが入力されることができる。第二に、第4トランジスタT4は信号ダンプ動作においてバイアシング機能を行うことができる。このとき、第4トランジスタT4のゲートには第2レベルのプリチャージ信号VPCが入力されることができる。第2レベルは第1レベルより低くてもよい。例えば、第1レベルは3.7Vであり、第2レベルは0.4Vであってもよい。最後に、第4トランジスタT4はカラムラインCLに対するオン/オフ機能を行うことができる。このとき、第4トランジスタT4のゲートにはOVが入力されることができる。
第5トランジスタT5(又は第1サンプリングトランジスタ)は、第1キャパシタC1とフィードバックノードZに連結され、第1サンプリング信号SMP1を受信するゲートを含むことができる。
第6トランジスタT6(又は第2サンプリングトランジスタ)は、第2キャパシタC2とフィードバックノードZに連結され、第2サンプリング信号SMP3を受信するゲートを含むことができる。
第7トランジスタT7(又は第1スイッチトランジスタ)は、フィードバックノードZと第1ノードN1との間に連結され、第1スイッチ信号SW1を受信するゲートを含むことができる。
第8トランジスタT8(又は第2スイッチトランジスタ)は、フィードバックノードZとフローティングディフュージョンノードFDとの間に連結され、第2スイッチ信号SW2を受信するゲートを含むことができる。
第1キャパシタC1(又は第1保存ユニット)及び第2キャパシタC2(又は第2保存ユニット)のそれぞれの一端は電源端VDDに連結されてもよい。また、第1キャパシタC1及び第2キャパシタC2のそれぞれの他端は、対応するトランジスタT5、T6に連結されてもよい。一方、図3に示す第1及び第2キャパシタC1、C2のそれぞれの一端は電源端に連結されている。しかし、本発明はこれに限定されない。第1及び第2キャパシタC1、C2のそれぞれの一端は接地端GNDに連結されてもよい。
本発明の実施形態によるピクセルPXは、一つのソースフォロワトランジスタT3を用いてグローバル信号ダンプ動作及びローリングリードアウト動作を行うことができる。
図4a、図4b、及び図4cは、本発明の実施形態によるピクセルPXの動作を例示的に示す図である。図4aを参照すると、ピクセルPXはローリングシャッタ動作を行うことができる。ローリングシャッタ方式により、フローティングディフュージョンノードFDの信号を対応するカラムラインCLに伝達することができる。このとき、ピクセルPXの保存ユニットは、第7及び第8トランジスタT7、T8によって非活性化することができる。
図4bを参照すると、ピクセルPXはグローバルシャッタ方式の信号ダンプ動作を行うことができる。リセット電圧に対応するフローティングディフュージョンノードFDの電荷は第1キャパシタC1に保存され、ピクセル電圧に対応するフローティングディフュージョンノードFDの電荷は第2キャパシタC2に保存されることができる。このとき、ピクセルPXのフィードバックノードZがフローティングディフュージョンノードFDに連結されないようにトランジスタT8がオフされることができる。このとき、トランジスタT4は、ピクセルPXのバイアシングを維持するための電圧VPC(例えば、~0.4V)がゲートに印加されることができる。
図4cを参照すると、ピクセルPXはグローバルシャッタ方式のリードアウト動作を行うことができる。フィードバックノードZとフローティングディフュージョンノードFDとを連結した状態で、第1キャパシタC1に保存されたリセット電圧と第2キャパシタC2に保存されたピクセル電圧とを順次に対応するカラムラインCLにリードアウトすることができる。このとき、トランジスタT4は、ピクセルPXの電圧をカラムラインCLを伝達するための電圧VPC(例えば、~3.7V)がゲートに印加されることができる。
図5は、本発明の実施形態によるピクセルPXの動作方法を例示的に示すタイミング図である。図5を参照すると、ピクセルPXの動作は大きくグローバル信号ダンプ動作とローリングリードアウト動作とに区分することができる。
グローバル信号ダンプ動作において、第1スイッチ信号SW1はハイレベルを有し、第2スイッチ信号SW2はローレベルを有する。すなわち、ハイレベルの第1スイッチ信号SW1によってトランジスタT7がターンオンされることにより、保存ユニット(図3参照)T5、T6、C1、C2はソースフォロワトランジスタT3の一端に連結されることができる。このとき、ピクセルPXのバイアシングのためにプリチャージ信号VPCはバイアス電圧VBのレベルを有する。ここで、バイアス電圧VBはOVより大きく、電源電圧VDDより低いことができる。
図5に示すように、グローバル信号ダンプ動作において所定の区間の間、リセット信号RGがハイレベルを有し、伝達信号TCがローレベル状態を維持することにより、フローティングディフュージョンノードFDはリセット電圧に充電されることができる。その後、第1サンプリング信号SMP1が事前に決定された時間の間ハイレベルを有することにより、フローティングディフュージョンノードFDのリセット電圧はソースフォロワトランジスタT3によって増幅され、増幅された電圧は第1キャパシタC1に保存されることができる。その後、リセット信号RGはローレベルを有し、所定の区間の間、伝達信号TGがハイレベルを維持することにより、フローティングディフュージョンノードFDはフォトダイオードPDから伝達された電荷によってピクセル電圧に充電されることができる。その後、第2サンプリング信号SMP2が事前に決定された時間の間ハイレベルを有することにより、フローティングディフュージョンノードFDのピクセル電圧はソースフォロワトランジスタT3によって増幅され、増幅された電圧は第2キャパシタC2に保存されることができる。上述のグローバル信号ダンプ動作は、全てのロウに対して同時に行うことができる。
その後、ロウのそれぞれに対してローリングリードアウト動作を行うことができる。図5に示すように、ローリングリードアウト動作において、第1スイッチ信号SW1はローレベルを有し、第2スイッチ信号SW2はハイレベルを有する。すなわち、ハイレベルの第2スイッチ信号SW2によってトランジスタT8がターンオンされることにより、保存ユニット(図3参照)T5、T6、C1、C2はフローティングディフュージョンノードFDに連結されることができる。このとき、ピクセルPXのデータを伝達するためにプリチャージ信号VPCは電源電圧VDDのレベルを有することができる。
第1スイッチ信号SW1がローレベルであり、第2スイッチ信号SW2がハイレベル状態を維持し、リセット信号RGがハイレベルからローレベルになるとき、フィードバックノードZはプリチャージされることができる。その後に、第1サンプリング信号SMP1が事前に決定された時間の間にハイレベルを有することができる。このとき、第1キャパシタC1に保存されたリセット電圧はフローティングディフュージョンノードFDに伝達され、フローティングディフュージョンノードFDのリセット電圧はソースフォロワトランジスタT3によって増幅され、増幅された電圧はトランジスタT4によって対応するカラムラインCLに伝達されることができる。カラムラインCLに伝達されたリセット電圧は、第1アナログデジタル変換動作(RST ADC)によってデジタル値に変換されることができる。
その後に、リセット信号RGがハイレベル状態となり、事前に決定された時間の後に伝達信号TGでハイレベル状態となる。これにより、フローティングディフュージョンノードFDとフォトダイオードPDがリセットされ、このとき、第2スイッチ信号SW2がハイレベル状態であるため、フィードバックノードZはプリチャージ(すなわち、リセット)されることができる。その後に、第2サンプリング信号SMP2が事前に決定された時間の間にハイレベルを有することができる。このとき、第2キャパシタC2に保存されたピクセル電圧はフローティングディフュージョンノードFDに伝達され、フローティングディフュージョンノードFDのピクセル電圧はソースフォロワトランジスタT3によって増幅され、増幅された電圧はトランジスタT4によって対応するカラムラインCLに伝達されることができる。カラムラインCLに伝達されたピクセル電圧は、第2アナログデジタル変換動作(SIG ADC)によってデジタル値に変換されることができる。その後、事前に決定された時間の後に伝達信号TGでハイレベル状態となることができる。その後、リセット信号RCがハイレベルを有することができる。
図6は、本発明の実施形態によるイメージセンサの動作方法を例示的に示すフローチャートである。図1~図6を参照すると、イメージセンサ100の動作方法は以下のように進行することができる。イメージセンサ100は、シャッタモードを選択することができる(S110)。ここで、シャッタモードは、グローバルシャッタ方式及びローリングシャッタ方式のうちいずれか一つであってもよい。シャッタモードがグローバルシャッタ方式の場合、全てのロウに対してグローバルダンプ動作を行うことができる(S120)。例えば、グローバルシャッタ動作を行うとき、ピクセルのそれぞれにおいて、ソースフォロワトランジスタT3(図3参照)を経由してリセット電圧及びピクセル電圧は対応するキャパシタC1、C2(図3参照)にダンピングされることができる。その後、ロウのそれぞれに対してローリングリードアウト動作を行うことができる(S130)。例えば、ピクセルのそれぞれにおいて、キャパシタC1、C2に保存されたリセット電圧及びピクセル電圧は、ソースフォロワトランジスタT3を経由してリードアウトされることができる。ここで、グローバル信号ダンプ動作とローリングリードアウト動作は、図5で説明したものと同様であってもよい。
実施形態では、ローリングシャッタ動作においてキャパシタC1、C2はソースフォロワトランジスタT3から分離することができる。実施形態では、グローバルダンピング動作においてソースフォロワトランジスタT3に流れる電流は一定にバイアシングすることができる。実施形態において、ローリングリードアウト動作を行うときに、ソースフォロワトランジスタT3のゲートとフィードバックノードZ(図3参照)は連結されることができる。実施形態では、ローリングリードアウト動作においてキャパシタC1、C2に保存された電圧を出力する前に、フィードバックノードZはプリチャージされることができる。
一方、本発明の実施形態によるピクセルは、信号ダンプ動作のバイアシング機能とリードアウト動作の機能とを分離するための選択トランジスタをさらに含むことができる。
図7は、本発明の他の実施形態によるピクセルPXaを例示的に示す図である。図7を参照すると、ピクセルPXaは、図3に示すピクセルPXと比較して選択信号SELに応答し、第1ノードN1を対応するカラムラインCLに連結する9トランジスタT9(又は選択トランジスタ)をさらに含むことができる。このとき、第4トランジスタT4は、ピクセルPXaのバイアス機能のみを専用に行うことができる。トランジスタT9によってカラムラインCLに出力する電圧VOUTは、ピクセル電圧又はリセット電圧であってもよい。
図8は、図7に示すピクセルPXaの動作を例示的に説明するタイミング図である。図8を参照すると、ピクセルPXaの動作は、図5に示すタイミングと比較してプリチャージ信号VPCが異なり、選択信号SELを追加することができる。プリチャージ信号VPCは、グローバル信号ダンプ動作においてバイアス電圧VBのレベルを有し、ローリングリードアウト動作において接地電圧GNDのレベルを有する。また、選択信号SELは、グローバル信号ダンプ動作においてローレベルを有し、ローリングリードアウト動作においてハイレベルを有する。ハイレベルの選択信号SELに応答してトランジスタT9がターンオンされることにより、第1ノードN1に増幅されたピクセル電圧又は増幅されたリセット電圧を対応するカラムラインCLに伝達することができる。
一方、本発明の実施形態によるピクセルは、2PD動作のための3つのキャパシタ構造で実現することができる。図9は、本発明の他の実施形態によるピクセルPXbを例示的に示す図である。図9を参照すると、ピクセルPXaは、図7に示すピクセルPXaと比較して第1フォトダイオードPD1に連結されたトランジスタT1-1(又は第1伝達トランジスタ)、第2フォトダイオードPD2に連結されたトランジスタT1-2(第2伝達トランジスタ)、第1フォトダイオードPD1に対応する第1ピクセル電圧を保存する第2キャパシタC2、第3フォトダイオードPD2に対応する第2ピクセル電圧を保存する第3キャパシタC3、フィードバックノードZと第2キャパシタC2を連結するトランジスタT6-1(又は第2サンプリングトランジスタ)、及びフィードバックノードZと第3キャパシタC3を連結するトランジスタT6-2(第3サンプリングトランジスタ)を有する差異点を有する。
図10は、図9に示すピクセルPXbの動作を例示的に説明するタイミング図である。図10を参照すると、ピクセルPXbの動作は、図8に示されるタイミングと比較して第2伝達信号TG2及び第3サンプリング信号SMP2を追加することができる。
一方、本発明の実施形態によるピクセルは、照度環境(高照度/低照度)に応じて選択的に利用可能なキャパシタをさらに含むことができる。
図11は、本発明のさらに他の実施形態によるピクセルPXcを例示的に示す図である。図11を参照すると、ピクセルPXcは、図7に示すピクセルPXaと比較して高照度でピクセル電圧をさらに保存する第3キャパシタC3(又は第3保存ユニット)とフローティングノードZに連結するトランジスタT6-2(又は第3サンプリングトランジスタ)を追加することができる。
実施形態において、ピクセルPXcは、グローバル信号ダンプ動作において照度値が低照度であるときにサンプリングトランジスタT6-1によって第2キャパシタC2にピクセル電圧を保存することができる。実施形態において、ピクセルPXcは、グローバル信号ダンプ動作において照度値が高照度であるときにサンプリングトランジスタT6-2によって第3キャパシタC3にピクセル電圧を保存することができる。このとき、第3キャパシタC3の容量は、第2キャパシタCの容量より大きくてもよい。
他の実施形態において、ピクセルPXcは、高照度の場合、サンプリングトランジスタT6-1、T6-2によって2つのキャパシタC2、C3にピクセル電圧を保存することもできる。一方、本発明の実施形態によるピクセルは、赤外線(Infrared Ray;IR)センサ構造で実現することができる。
図12aは、本発明の実施形態によるIRピクセルPXdを例示的に示す図であり、図12bは、本発明のIRピクセルPXdの動作タイミングを例示的に示す図である。
図12aを参照すると、IRピクセルPXdは、図7に示すピクセルPXaと比較して変換利得トランジスタT10及びプリチャージ選択トランジスタT11を追加した構造である。変換利得トランジスタT10は、変換利得信号DCGに応答してターンオンされることができる。例えば、照度値が高照度であるとき、変換利得信号DGCはハイレベル状態を有することができる。したがって、変換利得トランジスタT10は、高照度状況でフローティングディフュージョンノードFDの容量を増大させることができる。プリチャージ選択トランジスタT11は、プリチャージ選択信号PSELに応答してターンオンされることができる。
図12bを参照すると、IRピクセルPXdの動作は、図8に示すタイミングと比較してプリチャージ信号VPC及びプリチャージ選択信号PSELが追加されている。プリチャージ信号VPCは、グローバル信号ダンプ動作及びローリングリードアウト動作においてバイアス電圧VBのレベルを有する。実施形態において、バイアス電圧VBは0.4V付近であってもよい。一方、本発明のバイアス電圧VBはこれに限定されないことを理解すべきである。プリチャージトランジスタT4は、バイアス電圧VBを有するプリチャージ信号VPCによって常にターンオン状態を維持することができる。また、プリチャージ選択信号PSELは、グローバル信号ダンプ動作においてハイレベルを有し、ローリングリードアウト動作においてローレベルを有する。上述のように、信号ダンプ動作のバイアス機能とリードアウト動作のプリチャージ選択機能とを分離させることにより、IRピクセルPXdの動作においてより安定的にバイアシングを維持することができる。一方、図12aにおいて、フローティングディフュージョンノードFDの容量は、一つの変換利得トランジスタT10によって増大している。しかし、本発明はこれに限定される必要はない。本発明のピクセルは、複数のトランジスタを付加してフローティングディフュージョンノードDFの容量を環境に応じて可変させることができる。
図13は、本発明の他の実施形態によるピクセルPXeを例示的に示す図である。図13を参照すると、ピクセルPXeは、図12aに示したものと比較して直列連結された変換利得トランジスタT10-1、T10-2(又は変換利得トランジスタ)を追加した構造である。変換利得トランジスタT10-1、T10-2は、対応する変換利得信号CGS1、CGS2に応答してターンオンされることにより、フローティングディフュージョンノードFDの容量を可変することができる。
一方、本発明の実施形態によるロウラインとカラムラインとが交差する箇所に連結された複数のピクセルは、様々なカラーパターンを有する一つのピクセル群で実現することができる。
図14aは、2×2ベイヤー(bayer)パターンで構成されたピクセルを示す図であり、図14bは、4×4テトラ(tetra)パターンで構成されたピクセルを示す図であり、図14cは、8×8Q-cellパターンで構成されたピクセルを示す図であり、図14dは、赤外線(Infrared、IR)サブピクセルを有するピクセルを示す図である。
一方、図14a、図14b、図14c及び図14dに示すベイヤーパターンは、赤サブピクセルR、青サブピクセルB、緑サブピクセルGを含んでいる。しかし、本発明のベイヤーパターンはこれらに限定されないことを理解すべきである。本発明のベイヤーパターンは、赤サブピクセルR、青サブピクセルB、緑サブピクセルG、又は白サブピクセルWを適切に配置することによって様々に構成することができる。
一方、本発明の実施形態によるピクセル群は、様々なサイズのレンズを含むことができる。図15aは、各カラーサブピクセルに対応するレンズを備えるテトラピクセルを示す図であり、図15bは、4つの同一カラーサブピクセルに対応するレンズを備えるテトラピクセルを示す図であり、図15cは、1×1サブピクセルに対応するレンズを備える4×4カラーフィルタピクセルを示す図であり、図15dは、2×2サブピクセルに対応する4×4カラーフィルタピクセルを示す図であり、図15eは、4×4サブピクセルに対応する4×4カラーフィルタピクセルを示す図である。
一方、図15a、図15b、図15c、図15d、及び図15eに示されるカラーフィルタピクセル及びそれに対応するレンズのサイズは実施形態に過ぎないと理解すべきである。
一方、本発明の実施形態によるピクセルは、一つのフローティング拡散領域を共有する2-PD構造で実現することができる。図16a及び図16bは、2-PD構造のピクセルを例示的に示す図である。図16aを参照すると、2-PDピクセルはIn-Pixel DTI(Deep Trench Isolation)により左側PDと右側PDを分離し、図16bを参照すると、2-PDピクセルはPNジャンクションにより左側PDと右側PDを分離することができる。
フローティング拡散領域FDは、ピクセルに配置された一対の右側PD及び右側PDと共通に連結されることができる。すなわち、第1フローティング拡散領域FD1は、4つの光電変換素子と共通に連結されることができる。フローティング拡散領域FDは、例えば、N型の不純物を含むことができる。第1ピクセルPX1の基板上に配置された第1及び第2伝達ゲートTG1、TG2及び第2ピクセルPX2の基板上に配置された第1及び第2伝達ゲートTG1、TG2はフローティング拡散領域FDを共有することができる。
一方、本発明の実施形態によるロウラインとカラムラインとが交差する地点に連結された複数のピクセル群が配置されることができる。複数のピクセル群のそれぞれは複数のピクセルを含むことができる。このとき、ピクセル群のピクセルのサイズは互いに異なるように実現することができる。
図17a及び図17bは、互いに異なるサイズで実現されたピクセル群を例示的に示す図である。図17aを参照すると、同じサイズのピクセルで実現されたベイヤーパターン及びサイズの異なる少なくとも一つのピクセルを有するベイヤーパターンが示されている。図17bを参照すると、同じサイズのピクセルで実現されたテトラパターン及び少なくとも一つのピクセルのサイズが異なるテトラパターンが示されている。
図18は、本発明の実施形態によるイメージング装置200を例示的に示す図である。図18を参照すると、イメージング装置200は、レンズアセンブリ210、フラッシュ220、イメージセンサ230、イメージスタビライザ240、バッファメモリ250、又はイメージ信号プロセッサ260を含むことができる。
レンズアセンブリ210は、イメージ撮影の対象である被写体から放出される光を収集することができる。レンズアセンブリ210は、一つ又はそれ以上のレンズを含むことができる。実施形態において、イメージング装置200は複数のレンズアセンブリ210を含むことができる。この場合、イメージング装置200は、例えば、デュアルカメラ、360度カメラ、又は球形カメラ(spherical camera)を形成することができる。複数のレンズアセンブリ210の一部は、同じレンズ属性(例:画角(FoV)、焦点距離、自動焦点、fナンバー(number)、又は光学ズーム)を有するか、又は少なくとも一つのレンズアセンブリは他のレンズアセンブリのレンズ属性とは異なる一つ以上のレンズ属性を有することができる。レンズアセンブリ210は、例えば、広角レンズ又は望遠レンズを含むことができる。
フラッシュ220は、被写体から放出又は反射される光を強化するために使用される光を放出することができる。実施形態において、フラッシュ220は、一つ以上の発光ダイオード(例:RGB(red-green-blue) LED、white LED、infrared LED、又はultraviolet LED)、又はxenon lampを含むことができる。イメージセンサ230は、被写体から放出又は反射されてレンズアセンブリ210を介して伝達された光を電気的な信号に変換することによって、被写体に対応するイメージを取得することができる。実施形態において、イメージセンサ230は、例えば、RGBセンサ、BW(black and white)センサ、IRセンサ、又はUVセンサのように、属性の異なるイメージセンサのうち選択された一つのイメージセンサ、同じ属性を有する複数のイメージセンサ、又は異なる属性を有する複数のイメージセンサを含むことができる。イメージセンサ230は、図1~図17で説明したピクセル又はそれを有するイメージセンサで実現することができる。実施形態において、複数のイメージセンサのそれぞれの解像度は互いに同じであるか、又は互いに異なることができる。複数のイメージセンサのそれぞれの解像度が互いに異なるというのは、複数のイメージセンサのそれぞれに含まれたピクセルの個数が互いに異なることを意味することができる。例えば、複数のイメージセンサのうち第1イメージセンサは12万画素のピクセルを含み、複数のイメージセンサのうち第2イメージセンサは8万画素(すなわち、画素数が3:2比率)を含むことができる。この場合、カメラモジュール180が5つのISPを含む場合、第1イメージセンサのイメージフレームデータは、5つのISPのうち第1ISP~第3ISPによって、第2イメージセンサのイメージフレームデータは、上記5つのISPのうち第4ISP~第5ISPによって処理されることができる。
実施形態において、第2イメージセンサが作動せず、第1イメージセンサのみが作動する場合、第1イメージセンサのイメージフレームデータは、上記5つのISPのすべてに基づいて処理されることができる。実施形態において、複数のイメージセンサは互いに異なる種類のイメージフレームデータを出力することができる。例えば、複数のイメージセンサは、互いに異なる色のイメージフレームデータを出力することができる。例えば、第1イメージセンサはカラーイメージセンサ、第2イメージセンサは白黒イメージセンサであることができる。この場合、第1イメージセンサのイメージフレームデータは、「カラーインタポレーション」、「ホワイトバランス」などの処理を第2イメージセンサのイメージフレームデータよりも多く要求することができる。したがって、第1イメージセンサ及び第2イメージセンサが同じ解像度を有し、イメージング装置200が5つのISPを含む場合、5つのISPのうち4つは第1イメージセンサのイメージフレームデータを処理し、残りの一つは第2イメージセンサのイメージフレームデータを処理することができる。
イメージスタビライザ240は、イメージング装置200又はそれを含む電子装置101の動きに反応して、レンズアセンブリ210に含まれた少なくとも一つのレンズ又はイメージセンサ230を特定の方向に動かしたり、イメージセンサ230の動作特性を制御(例えば、リードアウト(read-out)タイミングを調整等)することができる。これは、撮影されるイメージに対する上記動きによる否定的な影響の少なくとも一部を補償する。実施形態において、イメージスタビライザ240は、イメージング装置200の内部又は外部に配置されたジャイロセンサ又は加速度センサを用いて、イメージング装置200又は電子装置101における上記のような動きを感知することができる。実施形態において、イメージスタビライザ240は、例えば、光学式イメージスタビライザで実現することができる。
メモリ250は、イメージセンサ230を介して取得されたイメージの少なくとも一部を、次のイメージ処理作業のために少なくとも一時的に保存することができる。例えば、シャッタによるイメージ取得が遅れるか、又は複数のイメージが高速で取得される場合、取得された原本イメージ(例えば、Bayer-patternedイメージ又は高解像度のイメージ)はメモリ250に保存され、それに対応する写本イメージ(例えば、低解像度のイメージ)は、表示装置160を介してプレビューされることができる。その後、指定された条件が満たされると(例:ユーザ入力又はシステムコマンド)、メモリ250に保存された原本イメージの少なくとも一部が、例えば、イメージ信号プロセッサ260によって取得されて処理されることができる。実施形態において、メモリ250は、メモリ130の少なくとも一部、又はこれとは独立して運営される別途のメモリで構成されることができる。
イメージ信号プロセッサ260は、イメージセンサ230を介して取得されたイメージ又はメモリ250に保存されたイメージに対して一つ以上のイメージ処理を行うことができる。一つ以上のイメージ処理は、例えば、深度マップ(depth map)生成、3次元モデリング、パノラマ生成、特徴点抽出、イメージ合成、又はイメージ補償(例:ノイズ減少、解像度調整、明度調整、ぶれ(blurring)、シャープ化(sharpening)、又は軟化(softening)を含むことができる。追加的又は代替的に、イメージ信号プロセッサ260は、イメージング装置200に含まれた構成要素のうち少なくとも一つ(例:イメージセンサ230)に対する制御(例:露出時間制御、又はリードアウトタイミング制御など)を行うことができる。イメージ信号プロセッサ260によって処理されたイメージは、更なる処理のためにメモリ250に再保存されか、イメージング装置200の外部構成要素として提供されることができる。
図19は、本発明の実施形態によるマルチカメラモジュールを有する電子装置を例示的に示す図である。図19を参照すると、電子装置1000は、カメラモジュール群1100、アプリケーションプロセッサ1200、PMIC(Power Management Integrated Circuit;1300)、及びメモリ1400を含むことができる。
カメラモジュール群1100は、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cを含むことができる。図には、3つのカメラモジュール1100a、1100b、1100cが配置された実施形態が示されているが、実施形態はこれに限定されない。実施形態において、カメラモジュール群1100は、2つのカメラモジュールのみを含むように変形して実施されてもよい。また、実施形態において、カメラモジュール群1100は、n個(nは4以上の自然数)のカメラモジュールを含むように変形して実施されてもよい。
図20は、図19に示すカメラモジュール1100bの詳細構成を示す図である。以下の説明は、実施形態によって他のカメラモジュール1100a、1100bに対しても同様に適用することができる。図20を参照すると、カメラモジュール1100bは、プリズム1105、光学経路フォールディング要素(Optical Path Folding Element;OPFE)1110、アクチュエータ1130、イメージング装置1140、及び保存部1150を含むことができる。
プリズム1105は、光反射物質の反射面1107を含んで外部から入射する光Lの経路を変形させることができる。実施形態において、プリズム1105は、第1方向Xに入射する光Lの経路を第1方向Xに垂直な第2方向Yに変更させることができる。また、プリズム1105は、光反射物質の反射面1107を、中心軸1106を中心にA方向に回転させるか、中心軸1106をB方向に回転させて第1方向Xに入射する光Lの経路を、垂直な第2方向Yに変更させることができる。このとき、OPFE1110も第1方向X及び第2方向Yと垂直な第3方向Zに移動することができる。実施形態において、図示のように、プリズム1105のA方向の最大回転角度はプラス(+)A方向には15度(degree)以下で、マイナス(-)A方向には15度より大きくてもよいが、実施形態はこれに限定されるものではない。実施形態において、プリズム1105はプラス(+)又はマイナス(-)B方向に20度内外、又は10度から20度、又は15度から20度の間で動くことができ、ここで、動く角度はプラス(+)又はマイナス(-)B方向に同じ角度で動くか、1度内外の範囲でほぼ類似の角度まで動くことができる。実施形態において、プリズム1105は、光反射物質の反射面1106を中心軸1106の延長方向と平行な第3方向(例えば、Z方向)に移動させることができる。
OPFE1110は、例えば、m(ここで、mは自然数)個の群からなる光学レンズを含むことができる。m個のレンズは第2方向Yに移動してカメラモジュール1100bの光学ズーム倍率(optical zoom ratio)を変更することができる。例えば、カメラモジュール1100bの基本光学ズーム倍率をZとするとき、OPFE1110に含まれたm個の光学レンズを移動させる場合、カメラモジュール1100bの光学ズーム倍率は3Z又は5Z若しくは5Z以上の光学ズーム倍率に変更されることができる。
アクチュエータ1130は、OPFE1110又は光学レンズ(以下、光学レンズと称する)を特定の位置に移動させることができる。例えば、アクチュエータ1130は、正確なセンシングのためにイメージセンサ1142が光学レンズの焦点距離(focal length)に位置するように光学レンズの位置を調整することができる。
イメージング装置1140は、イメージセンサ1142、制御ロジック1144及びメモリ1146を含むことができる。イメージセンサ1142は、光学レンズを介して提供される光Lを用いてセンシング対象のイメージをセンシングすることができる。制御ロジック1144は、カメラモジュール1100bの全体的な動作を制御することができる。例えば、制御ロジック1144は、制御信号ラインCSLbを介して提供された制御信号に従ってカメラモジュール1100bの動作を制御することができる。
メモリ1146は、キャリブレーションデータ1147のようなカメラモジュール1100bの動作に必要な情報を保存することができる。キャリブレーションデータ1147は、カメラモジュール1100bが外部から提供された光Lを用いてイメージデータを生成する上で必要な情報を含むことができる。キャリブレーションデータ1147は、例えば、上述した回転度(degree of rotation)に関する情報、焦点距離(focal length)に関する情報、光学軸(optical axis)に関する情報などを含むことができる。カメラモジュール1100bが光学レンズの位置に応じて焦点距離が変化するマルチステート(multi state)カメラの形態で実現される場合、キャリブレーションデータ1147は光学レンズの各位置別(又はステート別)焦点距離値とオートフォーカシング(auto focusing)に関する情報を含むことができる。
保存部1150は、イメージセンサ1142を介してセンシングされたイメージデータを保存することができる。保存部1150は、イメージング装置1140の外部に配置されることができ、イメージング装置1140を構成するセンサチップとスタック(stacked)された形態で実現されることができる。実施形態において、保存部1150は、EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory)で実現することができるが、実施形態はこれに限定されるものではない。
図19と図20を共に参照すると、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのそれぞれはアクチュエータ1130を含むことができる。これにより、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのそれぞれは、その内部に含まれたアクチュエータ1130の動作に応じて互いに同一又は互いに異なるキャリブレーションデータ1147を含むことができる。実施形態において、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのうち一つのカメラモジュール(例えば、1100b)は、上述したプリズム1105とOPFE1110とを含む折り畳みレンズ(folded lens)形態のカメラモジュールであって、残りのカメラモジュール(例えば、1100a、1100b)は、プリズム1105及びOPFE1110が含まれていないバーチカル(vertical)形態のカメラモジュールであることができるが、実施形態はこれに限定されるものではない。
実施形態において、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのうち一つのカメラモジュール(例えば、1100c)は、例えば、IR(Infrared Ray)を用いて深度(depth)情報を抽出するバーチカル形態の深度カメラ(depth camera)であってもよい。この場合、アプリケーションプロセッサ1200は、このような深度カメラから提供されたイメージデータとは異なるカメラモジュール(例えば、1100a又は1100b)から提供されたイメージデータを併合(merge)して3次元深度イメージ(3D depth image)を生成することができる。実施形態において、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのうち少なくとも2つのカメラモジュール(例えば、1100a、1100b)は、互いに異なる観測視野(Field of View、視野角)を有することができる。この場合、例えば、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのうち少なくとも2つのカメラモジュール(例えば、1100a、1100b)の光学レンズが互いに異なってもよいが、これに限定されない。また、実施形態において、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのそれぞれの視野角は互いに異なってもよい。この場合、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのそれぞれに含まれた光学レンズも互いに異なってもよいが、これに限定されるものではない。実施形態において、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのそれぞれは物理的に互いに分離して配置されることができる。すなわち、一つのイメージセンサ1142のセンシング領域を複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cが分割して使用するものではなく、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのそれぞれの内部に独立したイメージセンサ1142が配置されてもよい。
図19を再び参照すると、アプリケーションプロセッサ1200は、イメージ処理装置1210、メモリ制御器1220、内部メモリ1230を含むことができる。アプリケーションプロセッサ1200は、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cと分離して実現することができる。例えば、アプリケーションプロセッサ1200及び複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cは別途の半導体チップで互いに分離して実現されてもよい。イメージ処理装置1210は、複数のサブイメージプロセッサ1212a、1212b、1212c、イメージ生成器1214及びカメラモジュール制御器1216を含むことができる。また、イメージ処理装置1210は、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cの個数に対応する個数の複数のサブイメージプロセッサ1212a、1212b、1212cを含むことができる。
それぞれのカメラモジュール1100a、1100b、1100cから生成されたイメージデータは、互いに分離されたイメージ信号ラインISLa、ISLb、ISLcを介して対応するサブイメージプロセッサ1212a、1212b、1212cに提供されることができる。例えば、カメラモジュール1100aから生成されたイメージデータはイメージ信号ラインISLaを介してサブイメージプロセッサ1212aに提供され、カメラモジュール1100bから生成されたイメージデータはイメージ信号ラインISLbを介してサブイメージプロセッサ1212bに提供され、カメラモジュール1100cから生成されたイメージデータは、イメージ信号ラインISLcを介してサブイメージプロセッサ1212cに提供されることができる。このようなイメージデータ伝送は、例えば、MIPI(Mobile Industry Processor Interface)に基づくカメラ直列インタフェース(CSI;Camera Serial Interface)を用いて行うことができるが、実施形態はこれに限定されるものではない。
実施形態において、一つのサブイメージプロセッサが複数のカメラモジュールに対応するように配置されてもよい。例えば、サブイメージプロセッサ1212aとサブイメージプロセッサ1212cが、図示のように互いに分離して実現されるものではなく、一つのサブイメージプロセッサに統合して実現され、カメラモジュール1100aとカメラモジュール1100cから提供されたイメージデータは、選択素子(例えば、マルチプレクサ)などを介して選択された後、統合されたサブイメージプロセッサに提供されてもよい。それぞれのサブイメージプロセッサ1212a、1212b、1212cに提供されたイメージデータは、イメージ生成器1214に提供されることができる。イメージ生成器1214は、イメージ生成情報(Generating Information)又はモード信号(Mode Signal)に応じて、それぞれのサブイメージプロセッサ1212a、1212b、1212cから提供されたイメージデータを用いて出力イメージを生成することができる。具体的に、イメージ生成器1214は、イメージ生成情報又はモード信号に応じて、互いに異なる視野角を有するカメラモジュール1100a、1100b、1100cから生成されたイメージデータのうち少なくとも一部を併合(merge)して出力イメージを生成することができる。また、イメージ生成器1214は、イメージ生成情報又はモード信号に応じて、互いに異なる視野角を有するカメラモジュール1100a、1100b、1100cから生成されたイメージデータのうちいずれか一つを選択して出力イメージを生成することができる。
実施形態において、イメージ生成情報はズーム信号(zoom signal or zoom factor)を含むことができる。また、実施形態において、モード信号は、例えば、ユーザ(user)から選択されたモードに基づく信号であってもよい。イメージ生成情報がズーム信号(ズームファクタ)であり、それぞれのカメラモジュール1100a、1100b、1100cが互いに異なる観測視野(視野角)を有する場合、イメージ生成器1214はズーム信号の種類に応じて互いに異なる動作を行うことができる。例えば、ズーム信号が第1信号である場合、カメラモジュール1100aから出力されたイメージデータとカメラモジュール1100cから出力されたイメージデータとを併合した後、併合されたイメージ信号と併合に使用されなかったカメラモジュール1100bから出力されたイメージデータを用いて、出力イメージを生成することができる。もし、ズーム信号が第1信号と異なる第2信号である場合、イメージ生成器1214はこのようなイメージデータの併合を行わず、それぞれのカメラモジュール1100a、1100b、1100cから出力されたイメージデータのうちいずれか一つを選択して出力イメージを生成することができる。しかし、実施形態はこれに限定されるものではなく、必要に応じてイメージデータを処理する方法はいくらでも変更して実施することができる。
実施形態において、イメージ生成器1214は、複数のサブイメージプロセッサ1212a、1212b、1212cのうち少なくとも一つから露出時間が異なる複数のイメージデータを受信し、複数のイメージデータに対してHDR(high dynamic range)処理を行うことにより、ダイナミックレンジが増加した併合されたイメージデータを生成することができる。複数のサブイメージプロセッサ1212a、1212b、1212cのうち少なくとも一つは、図1~図10に説明されているように、カメラモジュール1100a、1100b、1100cのうち少なくとも一つでアナログ動作を行うときにデジタルクロック分散を行うように実現することができる。
カメラモジュール制御器1216は、それぞれのカメラモジュール1100a、1100b、1100cに制御信号を提供することができる。カメラモジュール制御器1216から生成された制御信号は、互いに分離された制御信号ラインCSLa、CSLb、CSLcを介して対応するカメラモジュール1100a、1100b、1100cに提供されることができる。また、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのうちいずれか一つは、ズーム信号を含むイメージ生成情報又はモード信号に応じてマスター(master)カメラ(例えば、1100b)として指定され、残りのカメラモジュール(例えば、1100a、1100c)はスレーブ(slave)カメラとして指定されることができる。このような情報は制御信号に含まれて、互いに分離された制御信号ラインCSLa、CSLb、CSLcを介して対応するカメラモジュール1100a、1100b、1100cに提供されることができる。
ズームファクタ又は動作モード信号に応じて、マスター及びスレーブとして動作するカメラモジュールを変更することができる。例えば、カメラモジュール1100aの視野角がカメラモジュール1100bの視野角より広く、ズームファクタが低いズーム倍率を示す場合、カメラモジュール1100bがマスターとして動作し、カメラモジュール1100aがスレーブとして動作することができる。逆に、ズームファクタが高いズーム倍率を示す場合、カメラモジュール1100aがマスターとして動作し、カメラモジュール1100bがスレーブとして動作することができる。
実施形態において、カメラモジュール制御器1216からそれぞれのカメラモジュール1100a、1100b、1100cに提供される制御信号は、シンクイネーブル(sync enable)信号を含むことができる。例えば、カメラモジュール1100bがマスターカメラであり、カメラモジュール1100a、1100cがスレーブカメラである場合、カメラモジュール制御器1216はカメラモジュール1100bにシンクイネーブル信号を伝送することができる。このようなシンクイネーブル信号を提供されたカメラモジュール1100bは、提供されたシンクイネーブル信号に基づいてシンク信号(sync signal)を生成し、生成されたシンク信号をシンク信号ラインSSLを介してカメラモジュール1100a、1100cに提供することができる。カメラモジュール1100bとカメラモジュール1100a、1100cはこのようなシンク信号に同期化してイメージデータをアプリケーションプロセッサ1200に伝送することができる。
実施形態において、カメラモジュール制御器1216から複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cに提供される制御信号は、モード信号に応じたモード情報を含むことができる。このようなモード情報に基づいて、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cは、センシング速度と関連して第1動作モード及び第2動作モードで動作することができる。
複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cは、第1動作モードにおいて、第1速度でイメージ信号を生成(例えば、第1フレームレートのイメージ信号を生成)して、これを第1速度より高い第2速度でエンコーティング(例えば、第1フレームレートより高い第2フレームレートのイメージ信号をエンコーディング)し、エンコーディングされたイメージ信号をアプリケーションプロセッサ1200に伝送することができる。このとき、第2速度は第1速度の30倍以下であってもよい。
アプリケーションプロセッサ1200は、受信されたイメージ信号、すなわち、エンコーディングされたイメージ信号を内部に備えられるメモリ1230又はアプリケーションプロセッサ1200の外部のストーリッジ1400に保存し、その後、メモリ1230又はストーリッジ1400からエンコーディングされたイメージ信号をデコーディングし、デコーディングされたイメージ信号に基づいて生成されるイメージデータをディスプレイすることができる。例えば、イメージ処理装置1210の複数のサブプロセッサ1212a、1212b、1212cのうち、対応するサブプロセッサがデコーディングを行うことができ、さらにデコーディングされたイメージ信号に対してイメージ処理を行うことができる。
複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cは、第2動作モードにおいて、第1速度より低い第3速度でイメージ信号を生成(例えば、第1フレームレートよりも低い第3フレームレートのイメージ信号を生成)し、イメージ信号をアプリケーションプロセッサ1200に伝送することができる。アプリケーションプロセッサ1200に提供されるイメージ信号は、エンコーディングされていない信号であってもよい。アプリケーションプロセッサ1200は、受信されるイメージ信号に対してイメージ処理を行うか、又はイメージ信号をメモリ1230又はストーリッジ1400に保存することができる。
PMIC1300は、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのそれぞれに電力、例えば、電源電圧を供給することができる。例えば、PMIC1300は、アプリケーションプロセッサ1200の制御下で、パワー信号ラインPSLaを介してカメラモジュール1100aに第1電力を供給し、パワー信号ラインPSLbを介してカメラモジュール1100bに第2電力を供給し、パワー信号ラインPSLcを介してカメラモジュール1100cに第3電力を供給することができる。PMIC1300は、アプリケーションプロセッサ1200からの電力制御信号PCONに応答して、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのそれぞれに対応する電力を生成し、さらに電力のレベルを調整することができる。電力制御信号PCONは、複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cの動作モード別電力調整信号を含むことができる。例えば、動作モードは低電力モード(low power mode)を含むことができ、このとき、電力制御信号PCONは、低電力モードで動作するカメラモジュール及び設定される電力レベルに対する情報を含むことができる。複数のカメラモジュール1100a、1100b、1100cのそれぞれに提供される電力のレベルは互いに同一又は異なってもよい。また、電力のレベルは動的に変更されることができる。
図21a及び図21は、本発明の実施形態によるイメージング装置を例示的に示す図である。図21aを参照すると、本発明の実施形態によるイメージング装置10は、第1レイヤ11、第1レイヤ11の下部に設けられる第2レイヤ12、及び第2レイヤ12の下部に設けられる第3レイヤ13などを含むことができる。第1レイヤ11と第2レイヤ12及び第3レイヤ13は、互いに垂直な方向で積層されてもよい。実施形態において、第1レイヤ11と第2レイヤ12はウエハレベルで互いに積層され、第3レイヤ13はチップレベルで第2レイヤ12の下部に取り付けられることができる。第1~第3レイヤ11~13は一つの半導体パッケージで提供されることができる。第1レイヤ11は、複数のピクセルPXが設けられるセンシング領域SAと、センシング領域SAの周囲に設けられる第1パッド領域PA1とを含むことができる。第1パッド領域PA1には複数の上部パッドPADが含まれ、複数の上部パッドPADはビアVIA等を介して第2レイヤ12の第2パッド領域PA2に設けられたパッド及び制御ロジックLCと連結されることができる。
複数のピクセルPXのそれぞれは、光を受け入れて電荷を生成するフォトダイオードと、フォトダイオードが生成した電荷を処理するピクセル回路などを含むことができる。ピクセル回路は、フォトダイオードが生成した電荷に対応する電圧を出力するための複数のトランジスタを含むことができる。
第2レイヤ12は、制御ロジックLCを提供する複数の素子を含むことができる。制御ロジックLCに含まれる複数の素子は、第1レイヤ11に設けられたピクセル回路を駆動するための回路、例えば、ロウドライバ、カラムドライバ、及びタイミング制御器などを提供することができる。制御ロジックLCに含まれる複数の素子は、第1及び第2パッド領域PA1、PA2を介してピクセル回路と連結されることができる。制御ロジックLCは、複数のピクセルPXからリセット電圧及びピクセル電圧を取得してピクセル信号を生成することができる。
実施形態において、複数のピクセルPXのうち少なくとも一つは、同じレベルに配置される複数のフォトダイオードを含むことができる。複数のフォトダイオードのそれぞれの電荷から生成されたピクセル信号は互いに位相差を有することができ、制御ロジックLCは、一つのピクセルPXに含まれた複数のフォトダイオードから生成したピクセル信号の位相差に基づいて自動焦点機能を提供することができる。
第2レイヤ12の下部に設けられる第3レイヤ13は、メモリチップMCとダミーチップDC、及びメモリチップMCとダミーチップDCを封止する保護層ENを含むことができる。メモリチップMCは、動的ランダムアクセスメモリ(DRAM)又は静的ランダムアクセスメモリ(SRAM)であってもよく、ダミーチップDCはデータを実際に保存する機能を有さなくてもよい。メモリチップMCは、バンプによって第2レイヤ12の制御ロジックLCに含まれた素子のうち少なくとも一部と電気的に連結されることができ、自動焦点機能を提供する上で必要な情報を保存することができる。実施形態においてバンプはマイクロバンプであってもよい。
次に図21bを参照すると、本発明の他の実施形態によるイメージング装置20は、第1レイヤ21と第2レイヤ22とを含むことができる。第1レイヤ21は、複数のピクセルPXが設けられるセンシング領域SAと、複数のピクセルPXを駆動するための素子が設けられる制御ロジックLC、及びセンシング領域SAと制御ロジックLCの周囲に設けられる第1パッド領域PA1とを含むことができる。第1パッド領域PA1には複数の上部パッドPADが含まれ、複数の上部パッドPADはビアVIA等を介して第2レイヤ22に設けられたメモリチップMCと連結されることができる。第2レイヤ22は、メモリチップMCとダミーチップDC、及びメモリチップMCとダミーチップDCを封止する保護層ENを含むことができる。
本発明の実施形態によるイメージセンサは、グローバルダンプ及びリードアウトを一つのソースフォロワトランジスタで実現するピクセルを備えることにより、ピクセル微細化を達成することができる。
一方、上述した本発明の内容は、発明を実現するための具体的な実施形態に過ぎない。本発明は、具体的かつ実際に利用可能な手段自体のみならず、将来技術として活用可能な抽象的かつ概念的なアイデアである技術的思想を含むものである。
100:イメージセンサ
T1~T11:トランジスタ
C1、C2、C3:キャパシタ
PD、PD1、PD2:フォトダイオード
200:イメージング装置

Claims (20)

  1. 第1キャパシタと、
    第2キャパシタと、
    フォトダイオードとフローティングディフュージョンノードとの間に連結され、伝達信号を受信するゲートを有する第1トランジスタと、
    第1電源端と前記フローティングディフュージョンノードとの間に連結され、リセット信号を受信するゲートを有する第2トランジスタと、
    第2電源端と第1ノードとの間に連結され、前記フローティングディフュージョンノードに連結されるゲートを有する第3トランジスタと、
    前記第1ノードとカラムラインとの間に連結され、プリチャージ信号を受信するゲートを有する第4トランジスタと、
    前記第1キャパシタとフィードバックノードとの間に連結され、第1サンプリング信号を受信するゲートを有する第5トランジスタと、
    前記第2キャパシタと前記フィードバックノードとの間に連結され、第2サンプリング信号を受信するゲートを有する第6トランジスタと、
    前記第1ノードと前記フィードバックノードとの間に連結され、第1スイッチ信号を受信するゲートを有する第7トランジスタと、
    前記フローティングディフュージョンノードと前記フィードバックノードとの間に連結され、第2スイッチ信号を受信するゲートを有する第8トランジスタと、を含む、
    イメージセンサ。
  2. 前記第1及び第2スイッチ信号によって前記第7トランジスタ及び前記第8トランジスタをターンオフさせることにより、ローリングシャッタ動作が行われることを特徴とする、請求項1に記載のイメージセンサ。
  3. 前記第1スイッチ信号によって前記第7トランジスタをターンオンさせ、前記第2スイッチ信号によって前記第8トランジスタをターンオフさせた状態で、グローバルシャッタ方式の信号ダンプ動作においてリセット電圧が前記第1キャパシタに保存されるか、又はピクセル電圧が前記第2キャパシタに保存されることを特徴とする、請求項1に記載のイメージセンサ。
  4. 前記信号ダンプ動作において、プリチャージ電圧は、バイアス電圧であることを特徴とする、請求項3に記載のイメージセンサ。
  5. 前記リセット信号がハイレベルからローレベルに変更された後に、事前に決定された時間の間、前記第1サンプリング信号をハイレベルにすることにより、前記第1キャパシタに前記リセット電圧が保存されることを特徴とする、請求項4に記載のイメージセンサ。
  6. 前記リセット信号がローレベルを維持し、前記伝達信号がハイレベルからローレベルに変更された後に、事前に決定された時間の間、第2サンプリング信号をハイレベルにすることにより、前記第2キャパシタに前記ピクセル電圧が保存されることを特徴とする、請求項5に記載のイメージセンサ。
  7. 前記第1スイッチ信号によって前記第7トランジスタをターンオフさせ、前記第2スイッチ信号によって前記第8トランジスタをターンオンさせた状態で、グローバルシャッタのリードアウト動作において前記第1キャパシタに保存されたリセット電圧又は前記第2キャパシタに保存されたピクセル電圧が前記カラムラインに出力されることを特徴とする、請求項1に記載のイメージセンサ。
  8. 前記リードアウト動作において、前記プリチャージ信号は電源電圧であることを特徴とする、請求項7に記載のイメージセンサ。
  9. 前記フィードバックノードをプリチャージさせた後、事前に決定された時間の間、第1サンプリング信号をハイレベルに維持することにより、リセット電圧が前記カラムラインに出力されることを特徴とする、請求項8に記載のイメージセンサ。
  10. 前記第1サンプリング信号がハイレベルからローレベルに変更された後に前記フィードバックノードをプリチャージさせた後、事前に決定された時間の間、第1サンプリング信号をハイレベルに維持することにより、リセット電圧が前記カラムラインに出力されることを特徴とする、請求項9に記載のイメージセンサ。
  11. 第1キャパシタと、
    第2キャパシタと、
    第1フォトダイオードとフローティングディフュージョンノードとの間に連結され、第1伝達信号を受信するゲートを有する第1伝達トランジスタと、
    第1電源端と前記フローティングディフュージョンノードとの間に連結され、リセット信号を受信するゲートを有する第2トランジスタと、
    第2電源端と第1ノードとの間に連結され、前記フローティングディフュージョンノードに連結されるゲートを有する第3トランジスタと、
    前記第1ノードと接地端との間に連結され、プリチャージ信号を受信するゲートを有する第4トランジスタと、
    前記第1キャパシタとフィードバックノードとの間に連結され、第1サンプリング信号を受信するゲートを有する第1サンプリングトランジスタと、
    前記第2キャパシタと前記フィードバックノードとの間に連結され、第2サンプリング信号を受信するゲートを有する第2サンプリングトランジスタと、
    前記第1ノードと前記フィードバックノードとの間に連結され、第1スイッチ信号を受信するゲートを有する第7トランジスタと、
    前記フローティングディフュージョンノードと前記フィードバックノードとの間に連結され、第2スイッチ信号を受信するゲートを有する第8トランジスタと、
    前記第1ノードとカラムラインとの間に連結され、選択信号を受信するゲートを有する第9トランジスタと、を含む、
    イメージセンサ。
  12. グローバルシャッタの信号ダンプ動作において、前記プリチャージ信号はバイアス電圧であり、前記選択信号はローレベルを有し、
    グローバルシャッタのリードアウト動作において、前記プリチャージ信号は接地電圧であり、前記選択信号はハイレベルを有することを特徴とする、
    請求項11に記載のイメージセンサ。
  13. 第2フォトダイオードと前記フローティングディフュージョンノードとの間に連結され、第2伝達信号を受信するゲートを有する第2伝達トランジスタをさらに含む、請求項11又は12に記載のイメージセンサ。
  14. 第3キャパシタと、
    前記第3キャパシタと前記フィードバックノードとの間に連結され、第3サンプリング信号を受信するゲートを有する第3サンプリングトランジスタと、をさらに含む、
    請求項11乃至13のうちのいずれか1項に記載のイメージセンサ。
  15. 前記フローティングディフュージョンノードの領域を可変するために前記第2トランジスタと前記フローティングディフュージョンノードとの間に少なくとも一つのトランジスタをさらに含む、請求項11乃至14のうちのいずれか1項に記載のイメージセンサ。
  16. イメージセンサの動作方法であって、
    グローバルシャッタ動作及びローリングシャッタ動作のうちいずれか一つを選択する段階と、
    前記グローバルシャッタ動作を行うとき、ピクセルのそれぞれにおいてソースフォロワトランジスタを経由してリセット電圧及びピクセル電圧を対応するキャパシタにダンピングする段階と、
    前記ピクセルのそれぞれにおいて前記キャパシタに保存された前記リセット電圧及び前記ピクセル電圧を、前記ソースフォロワトランジスタを経由してリードアウトする段階と、を含む、
    方法。
  17. 前記ローリングシャッタ動作において前記キャパシタを前記ソースフォロワトランジスタから分離する段階をさらに含む、請求項16に記載の方法。
  18. 前記ダンピングする段階は、前記ソースフォロワトランジスタに流れる電流をバイアシングする段階を含む、請求項16又は17に記載の方法。
  19. 前記リードアウトする段階は、前記ソースフォロワトランジスタのゲートとフィードバックノードとを連結する段階を含む、請求項16乃至18のうちのいずれか1項に記載の方法。
  20. 前記リードアウトする段階は、前記フィードバックノードをプリチャージする段階をさらに含む、請求項19に記載の方法。
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