JP2022514755A - 非晶質全フッ素化ポリマーのラテックスブレンド及びそれから誘導される物品 - Google Patents

非晶質全フッ素化ポリマーのラテックスブレンド及びそれから誘導される物品 Download PDF

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Abstract

(i)非晶質ペルフルオロポリマーと、(ii)半結晶性フルオロポリマー粒子の水性分散体と、を含むラテックスブレンドであって、粒子が、TFEホモポリマー、又は1重量%以下の第2のフッ素化モノマーを含むTFEコポリマーを含み、半結晶性フルオロポリマー粒子が、(a)50g/10分未満のメルトフローインデックス(372℃、2.16kgで)を有するか、又は(b)溶融加工可能ではなく、2.190未満の標準比重を有し、半結晶性フルオロポリマー粒子が、100nm超の平均直径を有する、ラテックスブレンドが、本明細書に記載される。

Description

非晶質ペルフルオロポリマーと、変性ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)の水性分散体とを含むラテックスブレンドが開示される。このようなブレンドを使用して、充填された全フッ素化エラストマーを製造することができ、これは、改善されたプラズマ耐性及び/又は温度安定性を有することができる。
耐熱性、及び/又はプラズマ耐性などの改善された特性を有する充填された全フッ素化エラストマー組成物を特定することが望まれている。
一態様では、非晶質ペルフルオロポリマーラテックスと、半結晶性フルオロポリマー粒子の水性分散体と、を含むラテックスブレンドであって、半結晶性フルオロポリマー粒子が、1重量%以下の少なくとも1つの追加のフッ素化モノマーを含むテトラフルオロエチレンコポリマーを含み、半結晶性フルオロポリマー粒子が、(i)50g/10分未満のメルトフローインデックス(372℃、2.16kgで)を有するか、又は(ii)溶融加工可能ではなく、2.200未満の標準比重を有し、半結晶性フルオロポリマー粒子が、100nm超の平均直径を有する、ラテックスブレンドが開示される。
一態様では、非晶質ペルフルオロポリマー粒子と半結晶性フルオロポリマー粒子との均質ブレンドを含む硬化性ペルフルオロポリマー組成物であって、半結晶性フルオロポリマー粒子が、1重量%以下の少なくとも1つの追加のフッ素化モノマーを含むテトラフルオロエチレンコポリマーを含み、半結晶性フルオロポリマー粒子が、(a)50g/10分未満のメルトフローインデックス(372℃、2.16kgで)を有するか、又は(b)溶融加工可能ではなく、2.200未満の標準比重を有し、半結晶性フルオロポリマー粒子が、100nm超の平均直径を有する、硬化性ペルフルオロポリマー組成物が開示される。
別の態様では、半結晶性フルオロポリマー粒子で充填されたペルフルオロポリマーを含む硬化全フッ素化エラストマーであって、半結晶性フルオロポリマー粒子が、1重量%以下の少なくとも1つの追加のフッ素化モノマーを含むテトラフルオロエチレンコポリマーを含み、半結晶性フルオロポリマー粒子が、(a)50g/10分未満のメルトフローインデックス(372℃、2.16kgで)を有するか、又は(b)溶融加工可能ではなく、2.200未満の標準比重を有し、半結晶性フルオロポリマー粒子が、100nm超の平均直径を有する、硬化全フッ素化エラストマーが開示される。
上記の本開示の概要は、各実施形態を説明することを意図したものではない。本発明の1つ以上の実施形態の詳細は、以下の説明にも記載される。その他の特徴、目的及び利点は、記載及び特許請求の範囲から明らかになろう。
本明細書で用いる場合、
用語「a」、「an」及び「the」は、互換的に用いられ、1つ以上を意味し、
用語「及び/又は」は、述べられた事柄の一方又は両方が起こり得ることを示すために用いられ、例えば、A及び/又はBは、(A及びB)並びに(A又はB)を含み、
「主鎖」とは、ポリマーの主な連続鎖を指す。
「架橋」とは、予め形成した2つのポリマー鎖を、化学結合又は化学的な基を使用して連結することを指す。
「硬化部位」は、架橋に関与する場合がある、官能基を指す。
「共重合」とは、モノマーが一緒に重合してポリマー主鎖を形成することを指す。
「モノマー」は、重合を経てその後ポリマーの基本的構造の部分を形成することができる分子であり、及び
「ポリマー」とは、繰り返し共重合したモノマー単位を含むマクロ構造を指す。
更に本明細書では、端点による範囲の記載は、その範囲内に包含される全ての数を含む(例えば、1~10は、1.4、1.9、2.33、5.75、9.98などを含む)。
更に本明細書では、「少なくとも1つ」の記載は、1以上の全ての数を含む(例えば、少なくとも2、少なくとも4、少なくとも6、少なくとも8、少なくとも10、少なくとも25、少なくとも50、少なくとも100など)。
本明細書で用いる場合、「A、B及びCのうちの少なくとも1つを含む」は、単独の要素A、単独の要素B、単独の要素C、A及びB、A及びC、B及びC、並びに3つ全ての組み合わせを指す。
本出願は、全フッ素化エラストマーの製造において使用される非晶質全フッ素化ポリマーに関する。全フッ素化エラストマーは、過酷な環境に遭遇する広範な用途、特に、高温及び活性化学物質に対して曝露される最終用途において使用される。半導体産業において、全フッ素化エラストマーは、NFプラズマに対する耐性を必要とするプロセスにて使用される。しかし、この産業では、特に金属イオン関係の材料純度に、厳しい要件がある。
高いフッ素含有ポリマーを充填剤として使用して、性能(熱安定性、プラズマ耐性など)を向上させたベースポリマーを提供することができる。PTFE及びPFAポリマーは、両方とも高フッ素含量ポリマーである。従来、PFA(ペルフルオロアルコキシコポリマー)ポリマーは、PFAが溶融加工され得る熱可塑性樹脂であり、加工が容易であるため、半導体用途のための全フッ素化エラストマー物品中の充填剤として使用されてきた。PTFE(TFEホモポリマー)の組み込みは、非晶質ペルフルオロポリマーに添加するのが理想的であろうが、PTFEは、実施例の項に示されるように、優れた熱的及び化学的安定性を有するために、非変性PTFEがフィブリル化し、最終製品中に粗い外観をもたらす傾向を有する。
変性PTFEは、低量のコモノマーを有するテトラフルオロエチレン(TFE)コポリマーである。本開示は、非晶質全フッ素化ポリマーと、低濃度のコモノマーを含むTFEコポリマーの半結晶性フルオロポリマー粒子の水性分散体と、を含むラテックスブレンドに関する。
半結晶性フルオロポリマー粒子
本開示の粒子は、TFEコポリマーの半結晶性フルオロポリマー粒子である。本明細書に開示されるTFEコポリマーは、少量、例えば、1、0.5、0.1、0.05、又は更には0.01重量%の、TFEではない少なくとも1つの追加のフッ素化モノマーで修飾されたTFEのポリマーである。例示的な追加のフッ素化モノマーとしては、次式
-O-(CFCF=CF
[式中、mは、0又は1であり、Rfは、少なくとも1つの連結(すなわち、鎖内)酸素原子が介在してもよい、少なくとも1個の炭素原子を含有するペルフルオロアルキル残基を表す]の全フッ素化エーテルが挙げられる。例示的な不飽和フッ素化エーテルモノマーとしては、ペルフルオロ(2-プロポキシプロピルビニル)エーテル(PPVE-2)、ペルフルオロ(メチルビニル)エーテル(PMVE)、ペルフルオロ(エチルビニル)エーテル(PEVE)、ペルフルオロ(3-メトキシ-n-プロピルビニル)エーテル(MV-31)、ペルフルオロ(2-メトキシ-エチルビニル)エーテル、ペルフルオロ(n-プロピルビニル)エーテル(PPVE-1)、ペルフルオロ(メチルアリル)エーテル(MA-1)、ペルフルオロ(エチルアリル)エーテル(MA-2)、ペルフルオロ(n-プロピルアリル)エーテル(MA-3)、ペルフルオロ(n-ブチルアリル)エーテル(MA-4)、CF-O-(CF-O-CF-CF=CF(MA31)及びFC-(CF-O-CF(CF)-CF-O-CF(CF)-CF-O-CF=CF(PPVE-3)が挙げられる。
一実施形態では、TFEコポリマーは、全フッ素化ビニルエーテル又は全フッ素化アリルエーテルで修飾されて、負荷下での低変形を達成する。一実施形態では、TFEコポリマーは、少量の全フッ素化アリルエーテルモノマーで修飾される。一実施形態では、半結晶性フルオロポリマー粒子は、非晶質ペルフルオロポリマー粒子と相互作用(例えば、結合相互作用)することができる、基、例えばニトリル、臭素、及び/又はヨウ素部位を含む。このような基は、重合中に使用される連鎖移動剤又は硬化部位モノマーを介して半結晶性フルオロポリマーに導入されてもよい。
一実施形態では、半結晶性フルオロポリマー粒子は、テトラフルオロエチレンを異なるフッ素化モノマー、例えば、全フッ素化アリルエーテル又はビニルエーテルと共重合することによって作製されるランダムコポリマーである。
別の実施形態では、半結晶性フルオロポリマー粒子は、1つの組成物のコア(TFEホモポリマー又はTFEコポリマーなど)と、異なる組成物のシェル(例えば、異なるモノマーに由来するシェル、又はコアとは異なる濃度のモノマー)を含むコアシェル粒子である。コアシェル粒子の場合、典型的にはコアは、10、25、又は更には40nm以上かつ最高100、125、又は更には150nmの平均直径を有する。シェルは、厚さ又は薄いものであってよい。例えば、一実施形態では、外側シェルは、100、又は更には125nm以上かつ最大200nmの厚さを有するTFEコポリマーである。別の実施形態では、外殻は、1、2、又は更には5nm以上かつ最大15、又は更には20nmの厚さを有するTFEコポリマーである。例示的な変性PTFEコアシェル粒子は、全フッ素化ビニルエーテル、全フッ素化アリルエーテル、及び/又は硬化部位含有モノマーから誘導されるシェルを有する。修飾剤(例えば、全フッ素化ビニルエーテル、全フッ素化アリルエーテル、及び硬化部位含有モノマー)の全含有量は、粒子の重量の平均で1、0.5、又は更には0.2重量%である。一実施形態では、半結晶性フルオロポリマー粒子中の第2のモノマーの含有量は、約1000分率である。
上述の半結晶性フルオロポリマーは、当該技術分野において既知の技術を用いて、例えば、フッ素化乳化剤を有するか又は含まない水性乳化重合、続いてラテックスの凝固、凝集及び乾燥によって半結晶性フルオロポリマーを回収することによって作製することができる。
本明細書に開示される半結晶性フルオロポリマーは、粒子である。一実施形態では、ラテックス中の粒子の平均一次粒径は、50、75、100、又は更には125nm以上かつ最大200、250、300、400、又は更には500nmである。これらの一次粒子は、凝集して、50、75、100、又は更には125マイクロメートル以上かつ最大500、600、800、又は更には1000マイクロメートルの平均直径を有する凝集物を形成してもよい。
半結晶性フルオロポリマー粒子は、溶融加工可能であっても、溶融加工可能でなくてもよい。
溶融加工可能な半結晶性フルオロポリマー粒子は、低分子量を有する材料である。このような低分子量ポリマーは、50、45g/10分未満、又は更には40g/10分の、372℃及び2.16kgの荷重でのMFI(メルトフローインデックス)を有する。例示的な溶融加工可能な半結晶性フルオロポリマー粒子は、シェル及び/又はコア中の修飾剤として、フッ素化ビニルエーテル(例えば、PPVE、PMVE)又はフッ素化アリルエーテルから誘導されるコアシェル粒子が挙げられる。
より高い分子量のフルオロポリマーを有する半結晶性フルオロポリマー粒子は、本質的に非溶融加工性である(372℃、21.6kgで、0.1、0.05g/10分未満、又は更には0.001g/10分未満のメルトフローインデックスを有する)。これらの非溶融加工性なポリマーの分子量は、従来技術によって測定することができない。したがって、標準比重(SSG)などの分子量と相関する間接的な方法が使用される。SSG値が低いほど、平均分子量が高くなる。本開示の非溶融加工性半結晶性フルオロポリマーのSSGは、ASTM D4895-04に従って測定したとき、最大で2.200、2.190、2.185、2.180、2.170、2.160、2.157、2.150、2.145、又は更には2.130g/cmである。例示的な非溶融加工性半結晶性フルオロポリマー粒子としては、シェル及び/又はコア中の修飾剤として、ビニルエーテル又はアリルエーテル、例えば、PPVE、PMVEから誘導されるコアシェル粒子、並びにニトリル含有硬化部位モノマーから誘導されるランダムコポリマー粒子が挙げられる。
一実施形態では、半結晶性フルオロポリマー粒子は、凝固して乾燥したフルオロポリマーを分析することによって決定することができる、310、320℃、又は更には330℃以上の融点を有する。
非晶質ペルフルオロポリマー
非晶質ペルフルオロポリマーは、共重合した繰り返しの二価のモノマー単位を含む巨大分子であり、モノマー単位の各々が全フッ素化されている(換言すれば、モノマー単位は、少なくとも1つのC-F結合を含み、C-H結合を含まない。)。非晶質ペルフルオロポリマーは、当該技術分野において既知のものとして使用される、開始剤及び/又は連鎖移動剤に基づく、全フッ素化されていない末端基を含んでもよい。
非晶質ペルフルオロポリマーは、一般的に、全フッ素化オレフィン、及びエーテル結合を含む全フッ素化オレフィンなどの、1種以上の全フッ素化モノマーを重合することによって得られる。例示的な全フッ素化モノマーとしては、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、ペンタフルオロプロピレン、トリフルオロクロロエチレン、ペルフルオロ-ビニルエーテルモノマー及びペルフルオロアリルエーテルモノマーなどのペルフルオロエーテルモノマーが挙げられる。
本開示において使用し得るペルフルオロエーテルモノマーの例としては、式CF=CF(CF-O-R(式中、mは、0又は1であり、Rは、0、又は1個以上の酸素原子、及び12、10、8、6、又は更には4個以下の炭素原子を含有し得る全フッ素化脂肪族基を表す。)に相当するものが挙げられる。
ペルフルオロビニルエーテルモノマーの例は、式
CF=CFO(R O)(R O) [式中、R 及びR は、1~6個の炭素原子、特に炭素原子数2~6個の異なる直鎖又は分枝鎖のペルフルオロアルキレン基であり、m及びnは、独立して、0~10であり、R は、炭素原子数1~6個のペルフルオロアルキル基である]に相当するものである。全フッ素化ビニルエーテルの具体例としては、ペルフルオロ(メチルビニル)エーテル(PMVE)、ペルフルオロ(エチルビニル)エーテル(PEVE)、ペルフルオロ(n-プロピルビニル)エーテル(PPVE-1)、ペルフルオロ-2-プロポキシプロピルビニルエーテル(PPVE-2)、ペルフルオロ-3-メトキシ-n-プロピルビニルエーテル、ペルフルオロ-2-メトキシ-エチルビニルエーテル、及び
Figure 2022514755000001
が挙げられる。
本開示において使用し得るペルフルオロアリルエーテルモノマーの例としては、式CF=CF(CF)-O-R[式中、Rは、0、又は1個以上の酸素原子、及び10個以下、8個以下、6個以下、又は更には4個以下の炭素原子を含有し得る全フッ素化脂肪族基を表す。]に相当するものが挙げられる。全フッ素化アリルエーテルの特定の例としては、CF=CF-CF-O-(CFF[式中、nは1~5の整数である。]、及びCF=CF-CF-O-(CF-O-(CF-F[式中、xは2~5の整数、yは1~5の整数である。]が挙げられる。全フッ素化アリルエーテルの具体例としては、ペルフルオロ(メチルアリル)エーテル(CF=CF-CF-O-CF)、ペルフルオロ(エチルアリル)エーテル、ペルフルオロ(n-プロピルアリル)エーテル、ペルフルオロ-2-プロポキシプロピルアリルエーテル、ペルフルオロ-3-メトキシ-n-プロピルアリルエーテル、ペルフルオロ-2-メトキシ-エチルアリルエーテル、ペルフルオロ-メトキシ-メチルアリルエーテル、及び
Figure 2022514755000002
、及びこれらの組み合わせが挙げられる。
本開示において、全フッ素化ポリマーを、連鎖移動剤及び/又は硬化部位モノマーの存在下にて重合し、フルオロポリマー中に、I、Br、及び/又はCNなどの硬化部位を導入してよい。
例示的な連鎖移動剤としては、ヨード連鎖移動剤、ブロモ連鎖移動剤、又はクロロ連鎖移動剤が挙げられる。例えば、重合において好適なヨード連鎖移動剤としては、式RI[式中、(i)Rは3~12個の炭素原子を有するペルフルオロアルキル基又はクロロペルフルオロアルキル基であり、(ii)x=1又は2である]のものが挙げられる。ヨード連鎖移動剤は、I(CF-O-(CF-Iなどの全フッ素化ヨード化合物であってよく、式中、n及びmは、独立して1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、又は更には12から選択される整数である。例示的なヨード-全フッ素化合物としては、1,3-ジヨードペルフルオロプロパン、1,4-ジヨードペルフルオロブタン、1,6-ジヨードペルフルオロヘキサン、1,8-ジヨードペルフルオロオクタン、1,10-ジヨードペルフルオロデカン、1,12-ジヨードペルフルオロドデカン、2-ヨード-1,2-ジクロロ-1,1,2-トリフルオロエタン、4-ヨード-1,2,4-トリクロロペルフルオロブタン、及びこれらの混合物が挙げられる。いくつかの実施形態では、臭素は、式RBr[式中、(i)Rは3~12個の炭素原子を有するペルフルオロアルキル基又はクロロペルフルオロアルキル基であり、(ii)xは1又は2である]の臭素化連鎖移動剤に由来する。連鎖移動剤は全フッ素化ブロモ化合物でよい。
1つの実施形態において、硬化部位は、以下の式、すなわち、(a)CX=CX(Z)[式中、(i)各Xは、独立して、H又はFであり、(ii)Zは、I、Br、R-U(式中、UはI又はBrであり、Rは任意にO原子を含有する全フッ素化アルキレン基である。)、又は(b)Y(CFY[式中、(i)YはBr又はI又はClであり、(ii)qは1~6である。]のうちの、1つ以上のモノマーに由来するものでよい。加えて、非フッ素化ブロモ又はヨードオレフィン、例えば、ヨウ化ビニル及びヨウ化アリルを使用することができる。いくつかの実施形態において、硬化部位モノマーは、CF=CFCFI、ICFCFCFCFI、CF=CFCFCFI、CF=CFOCFCFI、CF=CFOCFCFCFI、CF=CFOCFCFCHI、CF=CFCFOCHCHI、CF=CFO(CF-OCFCFI、CF=CFCFBr、CF=CFOCFCFBr、CF=CFCl、CF=CFCFCl、及びこれらの組み合わせからなる群から選択される1つ以上の化合物から誘導される。
別の実施形態において、硬化部位モノマーは、窒素含有硬化部分を含む。有用な窒素含有硬化部位モノマーとしては、ニトリル含有フッ素化オレフィン及びニトリル含有フッ素化ビニルエーテル[ペルフルオロ(8-シアノ-5-メチル-3,6-ジオキサ-1-オクテン)、CF=CFO(CFCN(式中、Lは、2~12の整数である。)、CF=CFO(CFOCF(CF)CN(式中、uは、2~6の整数である。)、CF=CFO[CFCF(CF)O](CFO)CF(CF)CN若しくはCF=CFO[CFCF(CF)O](CFOCF(CF)CN(式中、qは、0~4の整数であり、yは、0~6の整数である。)、又はCF=CF[OCFCF(CF)]O(CFCN(式中、rは、1又は2であり、tは、1~4の整数である。)、並びに上述のものの誘導体及び組み合わせなど]が挙げられる。ニトリル含有硬化部位モノマーの例としては、CF=CFO(CFCN、CF=CFOCFCF(CF)OCFCFCN、CF=CFOCFCF(CF)OCFCF(CF)CN、CF=CFOCFCFCFOCF(CF)CN、CF=CFOCFCF(CF)OCFCFCN、及びこれらの組み合わせが挙げられる。
一実施形態では、非晶質ペルフルオロポリマーは、Br及び/又はI硬化部位を含み、ニトリル硬化部位を実質的に含まず、これは、非晶質ペルフルオロポリマーの総重量に対して、0.5、0.1重量%未満、又は更には0.01重量%未満、又は更には検出可能なレベルのニトリル硬化部位を含まないことを意味する。
非晶質ペルフルオロポリマーは、水性連続相中に複数の非晶質ペルフルオロポリマー粒子を含むラテックスである。一実施形態では、非晶質ペルフルオロポリマー粒子が、50、60、70、80nm、又は更には90nm以上かつ最大120、140、150、16、18nm、又は更には200nmの平均粒径を有する。
ブレンド
本明細書に開示されるラテックスブレンドは、半結晶性フルオロポリマー粒子の水性分散体とブレンドされる非晶質ペルフルオロポリマーの水性分散体を含む。
典型的には、半結晶性フルオロポリマー粒子の水性分散体は、10、15、又は更には20重量%以上かつ最大30、35、又は更には40重量%の固形分を有する。
典型的には、非晶質ペルフルオロポリマーの水性分散体は、10、15、20、又は更には25重量%以上の固形分を有する。
2つの水性分散体を互いに接触させ、次いで、凝固を防止するために低剪断などの当該技術分野において既知の技術を用いてブレンドされる。一実施形態では、ラテックスブレンドは、非晶質ペルフルオロポリマー当たり、5、10、15、20、又は更には25重量%以上かつ30、40、又は更には50重量%以下の半結晶性フルオロポリマー粒子を含む。
一実施形態では、ラテックスブレンドは、10、15、20、25、30、又は更には40重量%以上の全固形分を有する。
分散液を均質にブレンドした後、従来の物理的及び化学的方法を用いてラテックスブレンドを凝固させることができる。物理的方法では、分散液は、撹拌装置を使用して強い(高)剪断を受け、それによって粒子を凝固させることができる(典型的には、1000(1/秒)を超える剪断速度を有するローター固定子によって)。物理凝固の別の方法は、凍結解凍法である。分散液を十分に冷却して凍結させ、分散液を不安定化させて、解凍時に凝固液が液体から分離する。一般に、この技術は、スケーリング能力及び集約的エネルギー要件に起因してスケールアップには好ましくない。化学凝固において、分散液の安定性が低下し、これにより凝固を引き起こすように、電解質又は無機塩が分散液に添加される。
一実施形態では、電解質又は無機塩がポリマー分散液に添加される、化学凝固方法を使用することが好ましい場合がある。フルオロポリマー一次粒子を化学的に凝固させるために使用される電解質の例としては、HCL、HSO、HNO、HPO、NaSO、MgCl、Al(SO、及び炭酸アンモニウムが挙げられる。これらの化合物の中でも、凝固物の乾燥プロセス中に揮発し得る化合物を使用することが好ましい。フルオロポリマー一次粒子を化学的に凝固させるために使用される無機塩の例としては、硝酸、ハロゲン化水素酸、リン酸、硫酸のアルカリ金属塩、アルカリ土類金属塩、並びにアンモニウム塩、モリブデン酸塩、第1リン酸ナトリウム又は第2リン酸ナトリウム、臭化アンモニウム、塩化カリウム、塩化カルシウム、塩化銅、及び硝酸カルシウムが挙げられる。これらの電解質及び無機塩は、個々に、又は2つ以上の組み合わせで使用することができる。好ましい一実施形態では、HNOなどの酸を使用して、ラテックスブレンドを凝固させる。
凝固後、収集された固体(本明細書では、半結晶性フルオロポリマー粒子及び非晶質ペルフルオロポリマーを含む凝集フルオロポリマーブレンドと称される)をすすぎ、乾燥させ(例えば、90℃以上の温度で)、当該技術分野において既知の技術を用いて加工することができる。例えば、半結晶性フルオロポリマー粒子を有する非晶質ペルフルオロポリマーのブレンドは、乾式ブレンド構成成分のための標準的な混合装置を使用して混練することができる。混合方法としては、例えば、ゴム用2本ロール、加圧ニーダー、又はバンバリミキサを使用する混練が挙げられる。本明細書で使用するとき、ドライブレンドとは、著しい量の水又は溶媒が存在するラテックス、液体分散液又は溶液ブレンドとは対照的に、水又は溶媒をほとんど含有しない成分をブレンドすることを意味する。任意に、充填剤及び/又は硬化触媒を添加してもよい。
理想的には、半結晶性フルオロポリマー粒子は、良好な審美性(例えば、平滑及び/又は非フィブリル化製品)を有する充填された全フッ素化エラストマー組成物を可能にするために、非晶質ペルフルオロポリマーラテックスとの良好な適合性を有するべきである。
一実施形態では、半結晶性フルオロポリマー粒子の水性分散体の非晶質ペルフルオロポリマーラテックスへの添加は、半結晶性フルオロポリマー粒子それ自体の融点よりも1.5、2.0、2.5、3.0、4.0、5.0、6.0、8.0、又は更には10.0℃以上低い融点を有する凝集フルオロポリマーブレンドをもたらす。一実施形態では、凝集フルオロポリマーブレンドは、310、320、322、324、又は更には326℃以上の融点を有する。一実施形態では、凝集フルオロポリマーブレンドは、最高325、326、327、328、又は更には329℃の融点を有する。
組成物の安定性は、重量対温度を測定する熱重量分析を使用して、凝集フルオロポリマーブレンドを分析することによって決定することができる。次いで、この曲線の導関数を使用して、変曲が生じる温度を決定する。変曲点温度は、半結晶性フルオロポリマーの分解の開始温度として解釈することができる。一実施形態では、凝集フルオロポリマーブレンドは、500、501、502、503、504、又は更には505℃以上の変曲温度を有する。一実施形態では、凝集フルオロポリマーブレンドは、最高510、509、508、507、又は更には506℃の変曲温度を有する。またTGA分析を使用して、以下の実施例の項に記載されるように、凝集フルオロポリマーブレンド中の半結晶性フルオロポリマー粒子の量を決定することもできる。一実施形態では、凝集フルオロポリマーブレンドは、10、12、15、又は更には18重量%以上かつ最大20、22、24、26、28、又は更には30重量%の半結晶性フルオロポリマーを含む。
一実施形態では、0.1ヘルツの周波数及び100℃で凝集フルオロポリマーブレンドは、実施例の項に記載されるように、450、440、420、410KPa未満、又は更には405KPa未満の弾性率を有する。
一実施形態では、凝集フルオロポリマーブレンドは、実施例の項に記載されるように、2.9、2.8、又は更には2.7dNm未満のMLを有する。
再結晶温度とは、アモルファス状態の半結晶性ポリマーが冷却されたときに結晶化する温度を指す。結晶形の数に応じて、ポリマーは1つ以上の再結晶化点を有し得る。一実施形態では、凝集フルオロポリマーブレンドは、310、309、308、307、又は更には305℃未満の少なくとも1つの再結晶温度を有する。
一実施形態では、凝集フルオロポリマーブレンドは、5、10、又は更には15重量%以上かつ最大20、25、30、又は更には35重量%の半結晶性フルオロポリマーを含む。
硬化剤を凝集フルオロポリマーブレンドとブレンドして、非晶質ペルフルオロポリマーを架橋して、充填された全フッ素化エラストマーを生成してもよい。
一般に、硬化性組成物中の硬化剤の有効量は、2種以上の硬化剤を含んでもよく、0.1、0.5、又は更には1重量%以上かつ10、8、6、又は更には5重量%未満であるが、より多くかつより少量の硬化剤も使用され得る。
硬化剤は、硬化剤及び硬化触媒を含むことができる。硬化剤としては、とりわけ、過酸化物、トリアジン形成硬化剤、ベンゾイミダゾール形成硬化剤、ベンゾオキサゾール形成硬化剤、アジペート、及びアセテートを含む当該技術分野において既知のものを挙げることができる。これらの硬化剤は、それ自体によって、又は別の硬化剤と組み合わせて使用されてもよい。
過酸化物はまた、硬化剤として利用されてもよい。好適な有機過酸化物は、硬化温度でフリーラジカルを生成するものである。50℃を超える温度で分解するジアルキルパーオキシド又はビス(ジアルキルパーオキシド)が特に好ましい。多くの場合、パーオキシ酸素に結合した第三級炭素原子を有するジ-tert-ブチルペルオキシドを使用することが好ましい。選択される過酸化物としては、ベンゾイルペルオキシド、ジクミルペルオキシド、ジ-tert-ブチルペルオキシド、2,5-ジメチル-2,5-ジ-tert-ブチルペルオキシヘキサン、2,4-ジクロロベンゾイルペルオキシド、1,1-ビス(tert-ブチルペルオキシ)-3,3,5-トリメチルクロロへキサン、tert-ブチルペルオキシイソプロピルカーボネート(TBIC)、tert-ブチルペルオキシ2-エチルヘキシルカーボネート(TBEC)、tert-アミルペルオキシ2-エチルヘキシルカーボネート、tert-ヘキシルペルオキシイソプロピルカーボネート、カルボノペルオキシ酸、O,O’-1,3-プロパンジイルOO,OO’-ビス(1,1-ジメチルエチル)エステル、tert-ブチルペルオキシベンゾエート、t-ヘキシルペルオキシ-2-エチルヘキサノエート、t-ブチルペルオキシ-2-エチルヘキサノエート、ジ(4-メチルベンゾイル)ペルオキシド、ラウレルペルオキシド、及びシクロヘキサノンペルオキシドが挙げられる。他の好適な過酸化物硬化剤は、米国特許第5,225,504号(Tatsuら)に列挙されている。使用するペルオキシド硬化剤の量は一般に、非晶質ペルフルオロポリマー100部当たり、0.1重量部~5重量部、好ましくは1重量部~3重量部である。
一実施形態では、硬化剤は、トリアジン形成硬化ネットワークから選択され得る。このような硬化剤としては、有機スズ化合物(例えば、プロパルギル-、トリフェニル-及びアレニル-、テトラアルキル-、及びテルトラアリールスズ硬化剤など);アンモニア生成化合物(例えば、米国特許第6,281,296;アンモニウム塩、例えば、ペルフルオロオクタノエート(例えば、例えば、米国特許第5,565,512号を参照されたい)、及びアミジン(例えば、米国特許第6,846,880号を参照されたい)、イミデート(例えば、米国特許第6,657,013を参照されたい)、メタミン錯体(例えば、米国特許第6,657,012号を参照されたい)、及び塩酸塩(例えば、米国特許第6,794,457号を参照されたい)を参照されたい)。
別の実施形態では、フルオロポリマーブレンドは、アンモニア生成触媒と共に、1つ以上の過酸化物硬化剤を使用して硬化させることができる。硬化触媒は、例えば、第1の成分及び第2の成分を含んでもよく、第1の成分は、R’C(CFR)O(式中、Qは非干渉有機ホスホニウム、オルガノスルホニウム、又はオルガノアンモニウムカチオンであり、各Rは独立してH、ハロゲン、ヒドロカルビル基、又はハロゲン化ヒドロカルビル基を表し、ヒドロカルビル基の少なくとも1つの炭素原子は、N、O及びSから選択される1つ以上のヘテロ原子で更に置換されてよく、R’は、H、ヒドロカルビル基、又はハロゲン化ヒドロカルビル基を表し、ヒドロカルビル基の少なくとも1つの炭素原子は、N、O、及びSから選択される1個以上のヘテロ原子で更に置換されてもよく、又はR若しくはR’のいずれか2つが共に二価ヒドロカルビレン基を形成してもよく、ヒドロカルビレン基の少なくとも1つの炭素原子は、N、O及びSから選択される1個以上のヘテロ原子によって更に置換されてもよい)によって表され、第2の成分は[N≡CCFR’’]Z(式中、各R’’は独立してF又はCFを表し、bは任意の正の整数を表し、Zは、干渉基を含まないb価の有機部分を表す)によって表される。例えば、米国特許第7,294,677を参照されたい。例としては、CFOCFCFCNとテトラブチルホスホニウム2-(p-トルイル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロイソプロポキシドの反応生成物;CFOCFCFCNとテトラブチルアンモニウム2-(p-トルイル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロイソプロポキシドの反応生成物、及びこれらの組み合わせが挙げられる。
1つ以上のアンモニア生成化合物を含む触媒を使用して、硬化を引き起こすことができる。アンモニア生成化合物は、周囲条件で固体又は液体であるが、硬化条件下でアンモニアを生成する化合物を含む。このような化合物の例としては、例えば、ヘキサメチレンテトラミン(ウロトロピン)、ジシアンジアミド、及び式Aw+(NHw-(式中、Aw+は、Cu2+、Co2+、Co3+、CuNi2+などの金属カチオンであり、wは金属カチオンの価数と等しく、Yw-は対イオン、典型的には、ハロゲン化物、硫酸塩、硝酸塩、酢酸塩であり、vは1~約7の整数である)の金属含有化合物が挙げられる。
また、アンモニア生成化合物として有用であるのは、式
Figure 2022514755000003
(式中、Rは、水素原子、又は1~約20個の炭素原子を有する置換若しくは非置換のアルキル、アリール若しくはアラルキル基である)のものなどの置換及び非置換トリアジン誘導体である。特定の有用なトリアジン誘導体としては、ヘキサヒドロ-1,2,5-s-トリアジン及びアセトアルデヒドアンモニア三量体が挙げられる。
一実施形態において、硬化剤は、米国特許第6,114,452号などに開示されるものなどの、以下、
Figure 2022514755000004
(式中、Aは、SO、O、CO、炭素原子1~6個のアルキル、炭素原子1~10個のペルフルオロアルキル、又は2つの芳香環を連結する炭素-炭素結合である)から選択されてもよい。例えば、有用な硬化剤としては、2,2-ビス[3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパンなどのビス(アミノフェノール);4,4’-スルホニルビス(2-アミノフェノール)などのビス(アミノチオフェノール)、及びテトラアミン、例えば3,3’ジアミノベンジジン、及び3,3’、4,4’-テトラアミノベンゾフェノンが挙げられる。
ビサミドゾーン化合物、例えば、2,2-ビス(4-カルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパンビスアミドラゾン、及びビスアミドラゾン及びビスアミドオキシムもまた、硬化剤として使用されてもよい。
別の実施形態では、以下の式
{R(A)(-n){QR’ (+)
(式中、Rは、C~C20アルキル又はアルケニル、C~C20シクロアルキル若しくはシクロアルケニル、又はC~C20アリール若しくはアラルキルであり、これは、非フッ素化、部分フッ素化、又は全フッ素化若しくは水素であってもよい)の硬化剤(又はその前駆体)を使用してもよい。Rは、少なくとも1つのヘテロ原子、すなわち、O、P、S、又はNなどの非炭素原子を含んでもよい。Rはまた、基中の1つ以上の水素原子がCl、Br、又はI.{R(A)(-n)が酸アニオン又は酸誘導体アニオンであり、nはアニオン中の基の数である)で置換されてもよい。Aは酸アニオン又は酸誘導体アニオンであり、例えば、Aは、COOアニオン、SOアニオン、SOアニオン、SONHアニオン、POアニオン、CHOPOアニオン、(CHO)POアニオン、COアニオン、OSOアニオン、Oアニオン(Rが水素、アリール、又はアルキルアリールである場合)、
Figure 2022514755000005
アニオン、
Figure 2022514755000006
アニオン、及び
Figure 2022514755000007
アニオンであり得る。R’はR(上記)として定義され、R’の特定の選択は、Aに結合したRと同じであっても異なっていてもよく、1つ以上のA基は、Rに結合されてもよい。Qは、リン、硫黄、窒素、ヒ素、又はアンチモンであり、kはQの価数である。Qが窒素であり、組成物中の唯一のフルオロポリマーが、テトラフルオロエチレンのターポリマー、ペルフルオロビニルエーテル、及びニトリル基を含むペルフルオロビニルエーテル硬化部位モノマーから本質的になり、全てのR’がHであるわけではなく、kはQの価数よりも1つ大きい(例えば、米国特許第6,890,995号及び米国特許第6,844,388号を参照されたい)。例としては、ビステトラブチルホスホニウムペルフルオロアジペート、テトラブチルホスホニウムアセテート、及びテトラブチルホスホニウムベンゾエートを挙げることができる。
他の硬化剤としては、ビス-アミノフェノール(例えば、米国特許第5,767,204号及び同第5,700,879号を参照されたい);有機金属化合物(例えば、米国特許第4,281,092号を参照されたい);ビス-アミドオキシム(例えば、米国特許第5,621,145を参照されたい);芳香族アミノ化合物;ビスアミドラゾン;ビサミドオキシム;及びテトラフェニルスズを参照されたい)。
存在する硬化部位成分に応じて、二重硬化系を使用することも可能である。例えば、ニトリル含有硬化部位モノマーの共重合単位を有する全フッ素化ポリマーは、有機スズ硬化剤及び共剤と組み合わせた過酸化物の混合物を含む硬化剤を使用して硬化させることができる。
共剤(共硬化剤と呼ばれることもある)は、過酸化物と協働して有用な硬化をもたらすことができるポリ不飽和化合物から構成されてもよい。共剤は、以下の化合物:トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート、トリ(メチルアリル)イソシアヌレート、トリス(ジアリルアミン)-s-トリアジン、トリアリルホスフェート、N、N-ジアリルアクリルアミド、ヘキサアリルホスホラミド、N,N,N’,N’-テトラアリルマロンアミド、トリビニルイソシアヌレート、2,4,6-トリビニルメチルトリシロキサン、及びトリ(5-ノルボルネン-2-メチレン)シアヌレートのうちの1つ以上であってもよい。
他の有用な共剤としては、ビス-オレフィンが挙げられる。(例えば、欧州特許第0661304(A1)号、欧州特許第0784064号及び欧州特許第0769521号を参照されたい)
次いで、フルオロポリマーブレンド混合物(凝集フルオロポリマーブレンド、硬化系、及び任意の添加剤を含む)を、押出成形又は成形などによって加工及び成形し、本開示の組成物から構成されるシート、ホース、ホースの裏層、Oリング、ガスケット、又はシールなどの様々な形状の物品を形成することができる。次いで、成形物品を加熱し、ペルフルオロポリマーゴム組成物を硬化させ、硬化エラストマー物品を形成することができる。
混練した混合物の加圧(すなわち、プレス硬化)は、典型的には約120℃~220℃、好ましくは約140℃~200℃の温度にて、約1分間~約15時間、通常は約1~15分間実施される。約700kPa~20,000kPa、好ましくは約3400kPa~6800kPaの圧力が、組成物の成形において典型的に使用される。最初に、成形型を離型剤でコーティングし、プレベークしてもよい。
加硫物は、試料の断面厚さに応じて、約140℃~350℃の温度、好ましくは約200℃~330℃の温度で、約1時間~24時間以上、オーブン内で後硬化させてよい。厚さのある部分では、後硬化中の温度は、通常、範囲の下限から所望の最高温度まで次第に上昇する。一実施形態では、硬化温度は300℃超である。一実施形態では、硬化温度は、半結晶性フルオロポリマー粒子の融点よりも高い。
本開示の一実施形態では、全フッ素化エラストマーゴム又は硬化全フッ素化エラストマーを含む組成物は、金属カチオン、特に、Na、K、Mg、及びAlのカチオン、それだけでなく全般に、アルカリ土類金属イオン及びアルカリ金属イオン全般を本質的に含まず、これらを20ppm(百万分率)未満、又は10ppm未満、又は更に1ppm未満の量で含有してもよい。アルカリイオン、アルカリ土類イオン(Na、K、Li、Mg、Ba)及びAlの濃度は、個々に1ppm未満及び合計4ppm未満であってもよい。Fe、Ni、Cr、Cu、Zn、Mn、Coのような他のイオンは、合計4ppm未満であってもよい。
本開示の方法の特別な利点は、フッ素化乳化剤酸の含有量が少ないフルオロエラストマーと粒子とのブレンドを、調製することができることである。このようなブレンドは、半導体産業における用途に特に有用である場合があり、その理由は、このような用途には低金属含有量が必要であるだけでなく、望ましくは、半導体加工及び製造における高純度の要件を満たすために、フルオロポリマー物品から酸を漏出させない必要もあるためである。非晶質ペルフルオロポリマー、半結晶性フルオロポリマー粒子、及びそれらのブレンドは、非常に少量の、例えば、ポリマーの重量に基づいて、2000、1000、500、100、50、25、又は更には15ppb(十億分率)未満のフッ素化酸(例えば、抽出可能なC8~C14アルカン酸)及びその塩を有し、これは、参照により本明細書に組み込まれる米国特許第2019-0185599号(Hintzerら)に記載されているような抽出によって決定することができる。フッ素化酸は、一般式:
Y-R-Z-M
[式中、Yは、水素、Cl又はFを表し、Rは、8~14個の炭素原子を有する二価の直鎖状若しくは分枝状又は環状の全フッ素化又は部分フッ素化飽和炭素鎖を表し、Zは、酸基、例えば、-COO又は-SO 酸基を表し、Mは、Hを含むカチオンを表す]に対応するものである。
非晶質ペルフルオロポリマーと半結晶性フルオロポリマーの粒子とを含むブレンドは、シール又は成形型の製造、特に、エッチング装置及び真空蒸発器を含む半導体を含む半導体又は製品の製造又は精製における装置に有用であり得る。エッチング装置は、プラズマエッチング装置と、反応性イオンエッチング装置と、反応性イオンビームエッチング装置と、スパッタリングエッチング装置と、イオンビームエッチング装置とを含む。
一実施形態では、充填された全フッ素化エラストマー組成物(換言すれば、硬化性又は硬化した組成物)は半透明である(すなわち、光を可能にするが検出可能な形状を許容しない)か、又は不透明(すなわち、透明ではない)であり、このような半透明又は不透明な材料は、100nm超の平均直径を有する半結晶性フッ素化ポリマーを使用することによって達成され得る。
一実施形態では、本開示の硬化全フッ素化エラストマーは、310、315、又は更には320℃以上かつ最大325、330、335、340、345、又は更には350℃の融点を含み、315、310、300、280、275、270、265、又は更には260℃未満の再結晶化点及び/又は5、0、-5、-10、-20、-30、-40、又は更には-50℃より低いガラス転移温度を有する、例外的な特性を有する。
半導体産業における全フッ素化エラストマーの使用に関する厳しい要件のために、全フッ素化エラストマー物品が使用に適しているか否かを予測するための様々な試験方法が開発されてきた。このような試験方法の1つは、重量損失に関連し、全フッ素化エラストマー物品はプラズマに曝露され、重量の損失が決定される。一実施形態では、本開示の全フッ素化エラストマーは、プラズマ処理に曝露されたとき、20、10、5、又は更には1%未満の重量損失を有する。
別段断りのない限り、実施例及び明細書のその他の部分における、全ての部、百分率、比などは重量によるものであり、実施例で用いた全ての試薬は、全般的な化学物質供給元、例えば、Sigma-Aldrich Company(Saint Louis,Missouri)などから入手したもの、若しくは、入手可能なものであるか、又は、通常の方法によって合成することができる。
以下の略語がこの項で使用される:L=リットル、mg=ミリグラム、g=グラム、kg=キログラム、cm=センチメートル、mm=ミリメートル、wt%=重量パーセント、min=分、h=時間、d=日、NMR=核磁気共鳴、ppm=百万分率、sccm=標準立方センチメートル、℃=摂氏度、mTorr=ミリトル、RF=無線周波数、W=ワット、mol=モル。この節で使用される材料の略語、並びに材料の説明を表1に示す。
Figure 2022514755000008
フルオロポリマー粒子の試験
融点測定及び再結晶化温度
調製例を凝固させ、乾燥させた。融点(T)、ガラス転移温度(T)、及び再結晶温度は、窒素流下で、示差走査熱量測定(DSC Q2000,TA Instruments,New Castle,DE)によって、ASTM D 793-01及びASTM E 1356-98に従って、乾燥粉末上で決定した。第1の熱サイクルは-85℃で開始し、10℃/分で350℃まで昇温した。冷却サイクルを350℃で開始し、10℃/分で-85℃に冷却した。第2の熱サイクルは-85℃で開始し、10℃/分で350℃まで昇温した。DSCサーモグラムは、加熱/冷却/加熱サイクルの第2の加熱から得て、T、T及び再結晶化を決定した。
粒径
ラテックスの粒径の決定は、DIN ISO 13321:2004-10に記載の手順と同様の手順に従ってMalvern Zetasizer Nano S(Malvern,Worcestershire,UK)を用いて動的光散乱によって実施した。報告する平均粒径は、d50である。測定前に、重合から得られたポリマーラテックスを0.01mol/LのNaCl溶液で希釈した。全ての場合において測定温度は25℃であった。
引張特性
調製例を凝固させ、乾燥させた。DIN EN ISO 12086-2:2006-05に従って、及び50mm/分の試験速度を用いて、溶融加工可能な材料については厚さ2mmの試験片で、非溶融加工性材料については1.6mmの厚さの試験片で試験を実施した。引張強度及び破断点伸びをDIN EN ISO527-1に従って23℃で決定した。5つの試験片を用いた測定結果を平均した。
ビニル及びアリルエーテルコモノマー含有量
半結晶性の溶融加工可能なフルオロポリマー粒子については、加熱されたプレートプレスを用いて、ポリマーを350℃で成形することによって、約0.1mmの厚さの薄フィルムを調製した。半結晶性の非溶融加工性フルオロポリマー粒子については、ポリマーを成形型内で冷間圧縮することによって、約0.3mm~0.4mmの厚さの薄試験片を調製した。次いで、これらのフィルムを、FT-IR分光計(Nicolet DX 510、ThermoFisher Scientific,Waltham,MA)を用いて窒素雰囲気中で走査した。データ解析のためにOMNICソフトウェア(ThermoFisher Scientific)を用いた。本明細書において、重量%単位で報告されたCF=CF-CF-O-CF-CF-CF(MA-3)含有量を、999 1/cmの赤外線帯域から決定し、999 1/cmの吸光度の2365 1/cmに位置する基準ピークの吸光度に対する比の1.24×(固体NMRによって決定される因子)として計算した。重量%単位で報告されたCF=CF-O-CF-CF-CF(PPVE-1)含有量を、993 1/cmの赤外線帯域から決定し、993 1/cmの吸光度の2365 1/cmに位置する基準ピークの吸光度に対する比の0.95×として計算した。重量%単位で報告されたCF=CF-O-CF(PMVE)含有量を、889 1/cmの赤外線帯域から決定し、889 1/cmの吸光度の2365 1/cmに位置する基準ピークの吸光度に対する比の11.2×として計算した。重量%単位で報告されたCF=CF-O-(CF(MV5CN)含有量を、2236 1/cmの赤外線帯域から決定し、2236 1/cmの吸光度の2365 1/cmに位置する基準ピークの吸光度に対する比の2.62×として計算した。
固形分
フルオロポリマー粒子分散液の固形分(フルオロポリマー含有量)を、DIN EN ISO 12086-2:2006-05に従って重量測定的に決定した。不揮発性無機塩の補正は行わなかった。ポリマー分散液の固形分をポリマー含有量とした。
メルトフローインデックス(MFI)
溶融加工可能な半結晶性フルオロポリマー粒子については、g/10分で報告されたMFIを、DIN EN ISO 1133-1:2012-03に従って、2.16kg、5.0kg、又は21.6kgのいずれかの支持重量で測定した。MFIを、直径2.1mm、長さ8.0mmの標準化された押出ダイを用いて得た。特記しない限り、372℃の温度を適用した。
標準比重(SSG)
非溶融加工性の半結晶性フルオロポリマー粒子について、調製例を凝固させ、乾燥させた。乾燥粉末のSSGを、DIN EN ISO 12086-2:2006-05のプロトコルに従って決定した。
ムーニー粘度
ムーニー粘度はISO289-1:2015、1分間の予熱及び121℃で10分間の試験(121℃でのML1+10)に従って、Alpha Technologies(Akron,OH,USA)から入手可能なMV2000粘度計を用いて決定した。
半結晶性フルオロポリマー粒子の調製
調製例A
無酸素150Lケトルに、105kgの脱イオン水、2.8kgの30重量%水性乳化剤溶液、56gの塩化アンモニウム、174gのノナフルオロブタン-1-スルフィン酸アンモニウム(水中34重量%溶液として)及び214gのMV5CNプレエマルションを装入した。MV5CNプレエマルションは、25重量%のMV5CN(Anles,St.Peterburg,Russiaから入手可能なCF=CFO(CFCN)、0.4重量%の乳化剤(30重量%水溶液)及び74.6重量%の水からなり、ホモジナイザーを用いて混合することによって調製される。その後、ケトルを65℃に加熱し、10バールの圧力に達するまでPMVEを充電し、続いて14バールまでTFEを投入した。660gの20重量%過硫酸アンモニウム(APS)水溶液を供給することによって重合を開始させた。PMVE及びTFEを常に反応器に供給し、7.45kgのMV5CNプレエマルションを、合計量26.3kgのTFEが添加されるまで添加した。295分後、合計24.1kgのPMVE、28.3kgのTFEを添加し、重合を停止させた。ラテックスの固形分含量は32.5重量%であり、d50は79nmであった。固体ポリマーは、71ムーニー単位のムーニー粘度を示し、約52.4重量%のTFE、43.7重量%のPMVE、及び3.9重量%のCF=CFO(CFCNを有することを示した。
調製例C(フルオロポリマー分散液C)
40Lのケトルに、27kgの無酸素脱イオン水、250gの30重量%の乳化剤水溶液及び15gのPPVE-2を装入した。ケトルを65℃に加熱し、N2を5バールまで導入し、続いてTFEを12バールまで導入した。6gの過硫酸アンモニウム(APS)(50gの脱イオン水中に溶解)を供給することによって重合を開始させた。合計134分後、9.2kgのTFE及び20gのPPVE-1を反応器に供給し、ケトルを30℃まで冷却し、圧力を放出した。最終ラテックスは、25重量%の固形分、177nmの平均粒径(d50)を有した。ラテックスをブレンドに使用し、また10重量%のシュウ酸溶液で凝固させた。乾燥ポリマーは、0.4g/10分のMFI(372℃、21.6kg)、2.195のSSG、17.6MPaの引張強度、及び289%の伸長(厚さ2mmの焼結板で測定)を有した。乾燥ポリマー中のPPVE-1含有量は、0.1重量%であった。フルオロポリマーのTm及び再結晶化点を、上記のように決定した。Tm=326℃及び308℃での再結晶化点。
調製例D(フルオロポリマー分散液D)
酸素を含まない40Lケトルに、27kgの脱イオン水、390gの30重量%水性乳化剤溶液、100gのPPVE-1及び200mbarのエチル(25℃)を入れた。反応器を75℃に加熱、10バール(1MPa)の圧力に達するまでTFEを装入した。3.0gのAPS(50gの脱イオン水中に溶解)を供給することによって重合を開始させた。TFEは、10bar(1MPa)の圧力で絶えず供給された。合計5.6kgのTFEの後、280g PPVE-1を反応器に供給し、更に1gのAPSを添加した。7.9kgのTFEの後、重合を停止した。ラテックスは、21重量%の固形分及び122nmのd50を有した。凝固した乾燥ポリマーは、0.8重量%のPPVE-1の含有量及び18g/10分のMFI(372℃、5kg)を有した。フルオロポリマーのTm及び再結晶化点を、上記のように決定した。Tm=323℃及び306℃での再結晶化点。
調製例E(フルオロポリマー分散液E)
無酸素40Lケトルに、28Lの脱イオン水、100gの30重量%水性乳化剤溶液、0.9gの10重量%水性tert-ブタノール溶液、0.9gのシュウ酸二水和物及び82gのPPVE-1を入れた。ケトルを40℃まで加熱し、TFEを反応器に供給して、15bar(1.5MPa)の圧力を得た。70mgの純粋なKMnO(0.04重量%の水溶液として供給)を添加することによって重合を開始させ、更に70mgのKMnOを、その間ずっと(133分)連続的に添加した。7.7kgのTFEを添加した後、50gの水中の50gのプレエマルションCF=CF-O-(CFCN及び1gの乳化剤を重合に供給した。合計8.3kgのTFEを反応器に供給した後、重合を終了させた。ラテックスは、23重量%の固形分及び120nmのd50を有した。凝固した乾燥ポリマーは、0.4重量%の2.146、PPVE含量のSSGを有し、2236cm-1のニトリルシグナルが可視であった。フルオロポリマーのTmを、上記のように決定した。Tmは328℃であって、303℃での再結晶化点であった。
調製例F(フルオロポリマー分散液F)
無酸素40Lケトルに、28kgの脱イオン水、100gの30重量%水性乳化剤溶液、7gの10重量%のtert-ブタノール水溶液、0.9gのシュウ酸二水和物、及び50gのMA-3(C-O-CF-CF=CF)を装入した。ケトルを40℃に加熱し、TFEを、15バール(1.5MPa)の圧力に達するように添加した。76mgのKMnO(0.04重量%の水溶液として)を反応器に供給することによって重合を開始させた。全ランタイム(160分)中、別の40mgのKMnOを添加した。合計8.3kgのTFEを添加した。
最終ラテックスは、23重量%の固形分、110nmのd50を有した。凝固した乾燥ポリマーは、2.137のSSG及び0.06重量%のMA-3含有量を有した。フルオロポリマーのTm及び再結晶温度を、上記のように決定した。Tmは321℃であって、306℃での再結晶化点であった。
調製例G(フルオロポリマー分散体G)
ポリマーは、コアシェルポリマーである。材料は、以下の手順によって調製される。
シードラテックス:無酸素40Lケトルに、28kgの脱イオン水、150gの30重量%乳化剤水溶液、1gのシュウ酸二水和物、1gの水中のtert-ブタノールの50重量%溶液及び15gのPPVE-1を装入した。25℃において、TFEを15バール(1.5MPa)圧力まで導入した。重合を、45mgの二亜硫酸カリウム(100mLの水に溶解)、続いて0.015gのKMnO(200mLの水に溶解)で、54分後、合計3.2kgのTFEを添加した。シードラテックスは、85nmのd50及び2.147のSSGを有した。
3Lのシードラテックス、23kgの脱イオン水、60gの30重量%の乳化剤水溶液、0.9gのシュウ酸二水和物(100mLの水に溶解)、1.6gのtert-ブタノールの10%水溶液及び10gのPPVE-1を40L反応器に添加した。ケトルを30℃に加熱、14バール(1.4MPa)の圧力に達するまでTFEを供給した。50mgのKMnO(200mLの水に溶解)を使用して、重合を開始させた。4kgのTFEを供給した後、更に50mgのKMnOを添加した。合計8kgのTFEを添加し、5kgのTFEが重合するまで26gのPPVE-1を供給した。ラテックスは、23重量%の固形分及び195nmのd50を有した。乾燥ポリマーは、2.162のSSG、及び0.07重量%のPPVE-1含有量、32MPaの引張強度、及び385%の伸長を示した。Tmは326℃であって、308℃での再結晶化点であった。
調製例H(フルオロポリマー分散液H)
ポリマーは、以下の手順によって調製されるコアシェルポリマーである。
シードラテックス:無酸素40Lケトルに、28kgの脱イオン水、300gの30重量%乳化剤水溶液、50mgの二亜硫酸カリウム(100mLの水中)、6gの25重量%アンモニア、2mgの硫酸銅(II)(50mLの水中)及び3gの50重量%tert-ブタノール水溶液を装入した。ケトルを35℃に加熱し、30gのHFPを添加し、TFE圧力を14バール(1.4MPa)圧力まで上昇させた。50mLの水中の0.36gのAPSを用いて、重合を開始させた。2.5kgのTFEを導入した後、10gのHFPを添加した。合計5.8kgのTFEをケトルに移した。ラテックスは、87nmのd50を有した。
2Lのシードラテックス、26mgの水、150gの30重量%の乳化剤水溶液、1gのシュウ酸二水和物、1.6gのtert-ブタノールの50%水溶液を反応器に供給した。ケトルを42℃に加熱し、TFEを、14バール(1.4MPa)になるまで添加した。100mLの水中30mgのKMnOを添加することによって重合を開始させた。6.5kgのTFEを添加し、5gのHFPを添加した後、合計7.1kgのTFEに達するまで5mgのKMnO及びTFEを添加した。ラテックスは、190nmのd50、2.151のSSG、33.6MPaの引張強度、及び370%の伸長を有した。フルオロポリマーのTm及び再結晶化点を、上記のように決定した。Tmは325℃であって、313℃での再結晶化点であった。
ラテックスブレンド
ラテックスブレンドB~H
ラテックスブレンドB~Hのそれぞれについては、2000gの未希釈のフルオロポリマー分散液Aを、未希釈の半結晶性フルオロポリマーラテックスと、表2に示されるように、ラテックスの固形分で計算された、示された比率で、混合した。この混合物を、3400gの脱イオン水及び140gの硝酸(65%)の溶液に、撹拌しながら、30分間かけてブレンドされたラテックスを滴下することによって凝集させた。混合物を沈殿させた後、凝集物を濾別し、8Lの脱イオン水で8回洗浄した。その後、凝集物を、真空下で16時間、115℃で乾燥させた。TmをDSCによって決定し、膨張点及び残留重量を、以下の手順に従って乾燥フルオロポリマーブレンドについてTGAにより決定した。
凝集フルオロポリマーブレンドの融点
第2の熱走査での融点(T)及び冷却走査での再結晶化点を、窒素流下で、ASTM D 793-01及びASTM E 1356-98に従って、TA Instruments示差走査熱量測定DSC Q2000によって決定した。10℃/分の走査速度で、-50℃~350℃からDSCスキャンを得た。第1の熱サイクルは-50℃で開始し、10℃/分で350℃まで昇温した。冷却サイクルを350℃開始し、10℃/分で-50℃に冷却した。第2の熱サイクルは-50℃で開始し、10℃/分で350℃まで昇温した。熱/冷却サイクルの第1の冷却からDSCサーモグラムを得て再結晶化点を決定し、熱/冷却/熱サイクルの第2の熱からDSCサーモグラムを得てTを決定した。
変曲点温度及び半結晶性フルオロポリマーブレンド比
変曲点温度は、ASTME 1131-08に従って導関数曲線からTGA(TA InstrumentによるThermogravimetry Analysis TGA Q500)を使用して決定した。試験の試料サイズは、10.0±1mgであった。試料を窒素流下で10℃/分で650℃に加熱し、次いで空気流下で10℃/分で800℃に更に加熱した。温度に対してプロットされた重量損失の第1の導関数曲線は、2つの最大値を示した。これら2つの最大間の最小値が発生した温度は、半結晶性フルオロポリマーの分解の開始を示す変曲点として取られた。変曲点を表2に示す。半結晶性フルオロポリマーブレンド比は、重量損失曲線から、変曲点よりも高い温度での重量損失と、百分率として表される試料の総重量損失との比として決定した。半結晶性フルオロポリマーブレンド比を表2に示す。
全フッ素化アルカン酸の抽出:
分散液の固形分に基づいて25ppbの濃度で、サロゲート回収標準(surrogate recovery standard、SRS)13-PFOA(13C同位体で置換した4個の炭素原子を有するペルフルオロオクタン酸;Campro Scientific GmbH(Berlin,Germany)から市販されている)を加えた後、ラテックスブレンドを、凍結乾燥して水分を除去した。1gの凍結乾燥ポリマー材料ブレンドを、バイアル中で3mLのメタノールと共に、250rpmの撹拌速度及び50℃の温度にて16時間処理し、全フッ素化アルカン酸を抽出した。混合物を遠心分離し(4400rpmで約10分)、上清のアリコートを2mLオートサンプラーバイアルに移した。
分析物の典型的なトランジション、例えばペルフルオロオクタン酸(PFOA)の場合はm/z 413->369を使用して、負の多重反応モード(Multiple Reaction Mode、MRM)にて、三連四重極質量分析計(例えば、Agilent6460又はABSciex API 4000 QQQ-MS)と組み合わせた逆相高速液体クロマトグラフィー(HPLC)でペルフルオロカルボン酸について、抽出物を分析した。Agilent C18カラム(Zorbax Eclipse XDB-C18 4.6×50mm 1.8μm)を備えたHPLC(Agilent 1200又は1260)を、50℃で高純度の水及びメタノールを用いて、勾配モードで実施した。LC-MSグレードであった両方の溶媒を、10mmolアンモニウムアセテート(15%MeOH->100%MeOHの勾配)で修飾した。メタノール抽出物中0.5~200ng/mL分析物の較正範囲で、同等又は類似の同位体標識内部標準(例えば、Campro Scientific GmbH(Berlin,Germany)から入手可能なPFOAの内部標準としての13-PFOA)を使用して、分析物を定量した。その結果、ポリマーに関連した定量下限(lower level of quantification、LLOQ)は1.5ppb、そして定量上限(upper limit of quantification、ULOQ)は600ppbであった。ULOQよりも高い濃度の分析物については、メタノールで較正範囲に希釈し、分析を繰り返した。全フッ素化C~C14-カルボン酸(CF-(CF)-COOH;n=6~12)の量をこのようにして決定した。
Figure 2022514755000009
凝集したフルオロポリマーを含んだ上記表2に表示したブレンドを、以下のように混練した:6インチ(15.24cm)の2本ロールミルを用いて、1.1gの触媒Aとの表示されたブレンド100gを調製した。混練した材料は、以下に記載の手順に従って、弾性率、粉砕されたシートの目視観察、硬化レオロジー、及び圧縮永久歪みの測定によって特徴付けられた。
混練した材料の目視検査
ミル上で混合した後、切断によりロールからブレンドを除去した。得られたシートの外観を目視検査した。シート全体の視覚的外観は、平滑又は粗い外観のいずれかとして報告された。フィブリル化の存在は、シート中の白い線の外観についてシートを目視検査することによって決定され、存在しない、ほとんど存在しない、又は有意な量で存在するとして報告された。各試料についての目視観察を表3に報告する。
化合物の弾性率及び周波数掃引
100℃における弾性率を、レオメーター(Alpha Technologies,Hudson,OH)によるRPA 2000)を使用して、7%の歪み、及びASTM 6204-07 Part Aから入手される貯蔵弾性率(G’)から0.1、2.0及び20Hzの周波数掃引で決定した。試験の試料サイズは7.0±0.1グラムであった。予備コンディショニング工程は、0.5Hz、62.8%歪み、及び100℃で5分間の弾性率測定前に行われた。結果を表3に報告する。
硬化レオロジー
混練した材料の硬化特性を、ASTM D5289-07に対応する条件下で、レオメーター(可動ダイレオメーター(MDR)モードを備えたラバープロセス分析器、Alpha Technologies,Hudson,OH)を用いて測定した。硬化レオロジー試験は、未硬化の混練した試料を160℃で、予備熱なし、15分経過時間、及び0.5度のアークを使用して実施した。最小トルク(M)、及び平坦域又は最大トルク(M)が得られない場合は特定の期間中に到達した最も高いトルクの両方を、測定した。また、トルクがMを超え2単位増加する時間(t2)、トルクがM+0.1(M-M)に等しい値に到達する時間(t’10)、トルクがM+0.5(M-M)に等しい値に到達する時間(t’50)、及びトルクがM+0.9(M-M)に到達する時間(t’90)も測定した。
圧縮永久歪み
Oリング(214、AMS AS568)を、混練した材料から160℃で15分間成形した。プレス硬化Oリングを、以下の工程硬化手順で後硬化させた。第1の工程硬化は室温で開始し、150℃に2時間昇温させた。150℃で7時間保持した。第2の工程硬化は、150℃で開始し、300℃に2時間昇温させた。これを、325℃で8時間保持した。次いで冷却工程を325℃で開始し、室温に2時間冷却した。後硬化したOリングの圧縮永久歪みについて、ASTM D 395-03方法B及びASTM D 1414-94に準拠して、25%の初期歪みにより、300℃及び325℃で70時間、試験した。結果を百分率で報告する。圧縮永久歪みの結果を、表3にまとめる。
Figure 2022514755000010
実施例7
次いで、実施例2の後硬化OリングをDSCを用いて試験して、融点測定及び再結晶化温度について上述したのと同様の手順に従って、Tm及びTg並びに再結晶を決定した。熱/冷却/熱サイクルの第2の熱は、321.9℃のTm、-3℃のTg、及び269.3℃並びに285℃の第1の冷却からの再結晶化点を示した。
本発明の範囲及び趣旨を逸脱することのない、本発明の予見可能な改変及び変更が、当業者には明らかであろう。本発明は、例示目的のために本出願に記載されている実施形態に限定されるものではない。本明細書の記述と本明細書に述べられ又は参照により組み込まれる任意の文書中の開示との間に何らかの不一致又は矛盾が存在する場合、本明細書の記述が優先される。

Claims (31)

  1. 非晶質ペルフルオロポリマーラテックスと、半結晶性フルオロポリマー粒子の水性分散体と、を含むラテックスブレンドであって、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、1重量%以下の少なくとも1つの追加のフッ素化モノマーを含むテトラフルオロエチレンコポリマーを含み、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、(i)50g/10分未満のメルトフローインデックス(372℃、2.16kgで)を有するか、又は(ii)溶融加工可能ではなく、2.200未満の標準比重を有し、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、100nm超の平均直径を有する、ラテックスブレンド。
  2. ラテックスブレンドが、凝集及び乾燥後、310℃以上かつ最高329℃の溶融温度を有する、請求項1に記載のラテックスブレンド。
  3. ラテックスブレンドが、凝集及び乾燥後、310℃超かつ323℃未満の溶融温度を有する、請求項1又は2に記載のラテックスブレンド。
  4. ラテックスブレンドが、凝集及び乾燥後、500℃以上かつ最高510℃の変曲点温度を有する、請求項1~3のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  5. ラテックスブレンドが、凝集及び乾燥後、310℃未満の少なくとも1つの再結晶温度を有する、請求項1~4のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  6. 前記追加のフッ素化モノマーが、ヘキサフルオロプロピレン、及び一般式:
    -O-(CFCF=CF
    [式中、mは、0又は1であり、Rfは、少なくとも1つの連結酸素原子が介在してもよい、少なくとも1個の炭素原子を含有するペルフルオロアルキル残基を表す]から選択される不飽和全フッ素化エーテルのうちの少なくとも1つから選択される、請求項1~5のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  7. 前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、コアシェル粒子である、請求項1~6のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  8. 前記ラテックスブレンドが、重量に基づいて、前記非晶質ペルフルオロポリマーあたり5重量%以上かつ50重量%以下の前記半結晶性フルオロポリマー粒子を含む、請求項1~7のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  9. ラテックスブレンドが、凝集及び乾燥後に、10重量%以上~最大30重量%の前記半結晶性フルオロポリマー粒子を含む、請求項1~8のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  10. 前記非晶質ペルフルオロポリマーが、ペルフルオロオレフィン、及びペルフルオロビニルエーテルから誘導され、前記ペルフルオロオレフィンが、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、又はこれらの組み合わせから任意に選択され、前記ペルフルオロビニルエーテルが、ペルフルオロ(2-プロポキシプロピルビニル)エーテル(PPVE-2)、ペルフルオロ(メチルビニル)エーテル(PMVE)、ペルフルオロ(エチルビニル)エーテル(PEVE)、ペルフルオロ(3-メトキシ-n-プロピルビニル)エーテル(MV-31)、ペルフルオロ(2-メトキシ-エチルビニル)エーテル、ペルフルオロ(n-プロピルビニル)エーテル(PPVE-1)、ペルフルオロ(n-プロピルアリル)エーテル(MA-3)、及びFC-(CF-O-CF(CF)-CF-O-CF(CF)-CF-O-CF=CF(PPVE-3)から任意に選択される、請求項1~9のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  11. 前記非晶質ペルフルオロポリマーが、臭素、ヨウ素、及びニトリルのうちの少なくとも1つから選択される硬化部位を含む、請求項1~10のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  12. 前記少なくとも1つの追加のフッ素化モノマーが、ニトリル含有全フッ素化ビニルエーテルである、請求項1~11のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  13. 前記非晶質ペルフルオロポリマーが、ニトリル含有硬化部位を実質的に含まない、請求項1~12のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  14. 前記ラテックスブレンド組成物が、金属を実質的に含まない、請求項1~13のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  15. 前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、最大2.185の標準比重を有する、請求項1~14のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  16. 前記非晶質ペルフルオロポリマーラテックスが、50nm以上~最大200nmの平均粒径を有する非晶質ペルフルオロポリマーの粒子を含む、請求項1~15のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  17. ラテックスブレンドが、凝集及び乾燥後に、前記フルオロポリマーの重量に基づいて、1000ppb未満のC8~C14フッ素化乳化剤を含む、請求項1~16のいずれか一項に記載のラテックスブレンド。
  18. 均質なペルフルオロポリマーブレンドを製造する方法であって、
    非晶質ペルフルオロポリマーラテックスを、半結晶性フルオロポリマー粒子の水性分散体とブレンドすることであって、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、1重量%以下の少なくとも1つの追加のフッ素化モノマーを含むテトラフルオロエチレンコポリマーを含み、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、(i)50g/10分未満のメルトフローインデックス(372℃、2.16kgで)を有するか、又は(ii)溶融加工可能ではなく、2.200未満の標準比重を有し、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、100nm超の平均直径を有する、ブレンドすることと、
    前記ブレンドを凝固させることと、を含む、方法。
  19. 前記凝固工程が、酸、高剪断、凍結、及び/又はセラミック及び/又はガラス粒子を含む、請求項18に記載の方法。
  20. 請求項18又は19に記載の方法から得られたポリマーブレンド。
  21. ポリマーブレンドが、310℃超かつ325℃未満の溶融温度を有する、請求項20に記載のポリマーブレンド。
  22. ポリマーブレンドが、500℃以上かつ最高510℃の変曲点温度を有する、請求項20又は21に記載のポリマーブレンド。
  23. ポリマーブレンドが、310℃未満の少なくとも1つの再結晶温度を有する、請求項20~22のいずれか一項に記載のポリマーブレンド。
  24. 0.1ヘルツの周波数及び100℃でのポリマーブレンドが、450KPa未満の弾性率を有する、請求項20~23のいずれか一項に記載のポリマーブレンド。
  25. ポリマーブレンドが、2.9dNm未満のMLを有する、請求項20~24のいずれか一項に記載のポリマーブレンド。
  26. (i)非晶質ペルフルオロポリマーラテックスと、(ii)半結晶性フルオロポリマー粒子の水性分散体との均質なブレンドを含む硬化性ペルフルオロポリマー組成物であって、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、1重量%以下の少なくとも1つの追加のフッ素化モノマーを含むTFEコポリマーを含み、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、(a)50g/10分未満のメルトフローインデックス(372℃、2.16kgで)を有するか、又は(b)溶融加工可能ではなく、2.200未満の標準比重を有し、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、100nm超の平均直径を有する、硬化性ペルフルオロポリマー組成物。
  27. 半結晶性フルオロポリマー粒子で充填されたペルフルオロポリマーを含む硬化全フッ素化エラストマーであって、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、1重量%以下の第2のフッ素化モノマーを含むテトラフルオロエチレンコポリマーを含み、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、(i)50g/10分未満のメルトフローインデックス(372℃、2.16kgで)を有するか、又は(ii)溶融加工可能ではなく、2.200未満の標準比重を有し、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、100nm超の平均直径を有する、硬化全フッ素化エラストマー。
  28. 半結晶性フルオロポリマー粒子で充填された硬化全フッ素化エラストマーであって、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、1重量%以下の第2のフッ素化モノマーを含むテトラフルオロエチレンコポリマーを含み、前記半結晶性フルオロポリマー粒子が、(i)50g/10分未満のメルトフローインデックス(372℃、2.16kgで)を有するか、又は(ii)溶融加工可能ではなく、2.200未満の標準比重を有し、前記充填された硬化全フッ素化エラストマーが、310℃以上~350℃の融点、及び300℃未満の再結晶点を有する、硬化全フッ素化エラストマー。
  29. フルオロエラストマー物品を製造する方法であって、請求項1~17のいずれか一項に記載のラテックスブレンドを提供することと、前記ラテックスを凝固させて、固形物ブレンドを形成させることと、前記固形物ブレンドを成形することと、前記成形した固形物ブレンドを硬化させて、前記フルオロエラストマー物品を形成することと、を含む、方法。
  30. 前記硬化が、300℃より高い温度で実施される、請求項29に記載の方法。
  31. 前記硬化が、前記成形した固形物ブレンドを、半結晶性フルオロポリマー粒子の融点よりも高い温度まで加熱することによって実施される、請求項30に記載の方法。
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