JP2022186931A - ベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
このため、ベーパーチャンバ1の熱輸送効率を高めることができる。また、ベーパーチャンバ1の厚さは、0.1mm~1.0mmである。下側金属シート10の厚さT1および上側金属シート20の厚さT2は、ハンドリングを良好にするために、ベーパーチャンバ1の厚さの半分にし、T1とT2を等しくすることが好適である。
この際、図1および図5に示す下側注入流路凹部17も同時に形成される。第1ハーフエッチング工程の後、凹部用レジスト膜が除去される。なお、ハーフエッチングとは、材料を貫通しないような凹部を形成するためのエッチングを意味している。このため、ハーフエッチングにより形成される凹部の深さは、下側金属シート10の厚さの半分であることには限られない。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。
このことにより、下側周縁壁14と上側周縁壁23とによって、下側金属シート10と上側金属シート20との間に密封空間3が形成される。また、下側注入流路凹部17(図1および図5参照)と上側注入流路凹部26(図1および図6参照)とによって、密封空間3に連通する作動液2の注入流路が形成される。さらに、下側金属シート10の下側流路突出部13の上面13aと、上側金属シート20の上側流路突出部22の下面22aとが、接合面となって拡散接合され、ベーパーチャンバ1の機械的強度が向上する。
この場合、第1下側底面溝30aおよび第2下側底面溝30bにおいてドライアウトが発生することを抑制できる。すなわち、ベーパーチャンバ1が設置されたモバイル端末の姿勢によっては、密封空間3内の液状の作動液2の分布に偏りが生じることが考えられる。
しかしながら、本実施の形態では、上述した第1下側底面溝30aおよび第2下側底面溝30bを液状の作動液2が行き来することができるため、特定の第1下側底面溝30aおよび第1下側底面溝30aでのドライアウトを抑制し、動作を安定化させることができる。
このことにより、上側底面溝35は、毛細管作用を発揮することができ、上側流路凹部21内の作動液2に、上側蒸発部27(下側蒸発部11に対向する部分)に向かう推進力を与えて、上側蒸発部27に向かってスムースに作動液2を輸送することができる。このため、デバイスDの熱の輸送を促進して、熱輸送効率を向上させることができる。
しかしながら、このことに限られることはなく、下側蒸発部11に作動液2をスムースに輸送することができれば、下側底面溝30の延びる方向は任意である。
2 作動液
3 密封空間
10 下側金属シート
11 下側蒸発部
12 下側流路凹部
12a 底面
13 下側流路突出部
20 上側金属シート
21 上側流路凹部
21a 底面
22 上側流路突出部
30 下側底面溝
30a 第1下側底面溝
30b 第2下側底面溝
35 上側底面溝
35a 第1上側底面溝
35b 第2上側底面溝
Claims (1)
- 作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、
第1金属シートと、
前記第1金属シート上に設けられ、前記第1金属シートとの間に前記密封空間を形成する第2金属シートと、を備え、
前記第1金属シートは、前記密封空間の少なくとも一部を構成する、液状の前記作動液および前記作動液の蒸気が通る第1流路凹部と、前記第1流路凹部の底面に設けられた第1底面溝と、前記第1底面溝の幅方向両側に設けられ、前記第1流路凹部の前記底面から突出して前記第2金属シートに当接する複数の第1流路突出部と、を有し、
前記第1底面溝は、前記第1底面溝の長手方向に沿って見たときに、前記第1底面溝の幅方向の一側において前記第1底面溝に隣り合う前記第1流路突出部と、他側において前記第1底面溝に隣り合う前記第1流路突出部との間のギャップよりも小さい幅を有している、ベーパーチャンバ。
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