JP2022151725A - ウェハ - Google Patents
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Abstract
Description
110:環状部
120:加工部
B1、B2:底面
C:作業台
CS:曲面
D:方向
L、W:幅
P:研磨ヘッド
P1:研磨材
P2:研削用ホイール
R1:第1領域
R2:第2領域
R3:縁部領域
RimH、TE、TL、TH、X1、X2:厚さ
S2:側壁
T1、T2:上面
Z:粒子
Claims (11)
- 環状部と、
前記環状部と連接した加工部と
を含み、
前記加工部が、研磨された上面と、前記上面と反対側の底面とを有し、前記加工部が前記環状部に囲まれ、前記上面が前記環状部に連接する領域が上向きに湾曲した曲面であり、前記曲面が前記加工部に対して、前記環状部に近いほど前記環状部に連接する局所領域における前記加工部の厚さを増加させる、
ウェハ。 - 前記加工部が前記環状部に連接する箇所の最大厚さがTEμmであり、前記加工部の幅がLmmであり、前記環状部から0.15L~0.3Lの距離に位置する前記加工部の部分が第1領域として定義され、前記環状部から0.3L~0.5Lの距離に位置する前記加工部の部分が第2領域として定義され、前記加工部の最薄部が前記第1領域に位置しており、前記加工部の前記最薄部の厚さがTLμmであり、前記第2領域に位置する前記加工部の最厚部の厚さがTHμmであり、(TE-TL)が4μm以上であり、前記環状部の厚さがRimHμmであり、THが0.1RimH~0.7RimHである、
請求項1に記載のウェハ。 - TEがTHよりも大きく、THがTLよりも大きい、
請求項2に記載のウェハ。 - 前記第2領域における前記加工部の平均厚さが、前記第1領域における前記加工部の平均厚さよりも厚い、
請求項2に記載のウェハ。 - 前記環状部の内側の側壁の延伸方向が前記加工部の前記底面に垂直であり、前記環状部の前記側壁と前記加工部の前記上面との間の境界から前記環状部の底面までの距離がTEμmであり、前記加工部の前記上面から前記加工部の前記底面までの前記最薄部の厚さがTLμmであり、前記第2領域における前記加工部の前記上面から前記第2領域における前記加工部の前記底面までの前記最厚部の厚さがTHμmである、
請求項2に記載のウェハ。 - 前記加工部が前記環状部に連接する箇所の最大厚さがTEμmであり、前記加工部の幅がLmmであり、前記環状部から0.15L~0.5Lの距離に位置する前記加工部の部分が第1領域として定義され、前記第1領域における前記加工部の最薄部の厚さがTLμmであり、前記第1領域における前記加工部の最厚部の厚さがTHμmであり、(TE-TL)が(TH-TL+1.5μm)以上であり、前記環状部の厚さがRimHμmであり、THが0.1RimH~0.7RimHである、
請求項1に記載のウェハ。 - THがTLに等しく、(TE-TL)が1.5μm以上である、
請求項6に記載のウェハ。 - 前記環状部の内側の側壁の延伸方向が前記加工部の前記底面に垂直であり、前記環状部の前記側壁と前記加工部の前記上面との間の境界から前記環状部の底面までの距離がTEμmであり、前記第1領域における前記加工部の前記上面から前記第1領域における前記加工部の前記底面までの前記最薄部の厚さがTLμmであり、前記第1領域における前記加工部の前記上面から前記第1領域における前記加工部の前記底面までの前記最厚部の厚さがTHμmである、
請求項6に記載のウェハ。 - 前記加工部の幅がLmmであり、前記環状部から0.15L内の距離に位置する前記加工部の部分が縁部領域として定義され、前記曲面が前記加工部に対して、前記環状部から遠いほど前記縁部領域における前記加工部の厚さを減少させ、前記曲面が前記縁部領域に位置しており、前記曲面の横幅がXであり、0.01L≦X≦0.15Lであり、前記曲面の丸みの曲率半径がCRであり、0.01L≦CR≦Lである、
請求項1に記載のウェハ。 - 前記加工部の前記底面が前記環状部の底面と実質的に面一である、
請求項1に記載のウェハ。 - 前記加工部が前記環状部に連接する箇所の最大厚さがTEμmであり、前記環状部の厚さがRimHμmであり、0.5≦TE/RimH≦1である、
請求項1に記載のウェハ。
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