JP2022151491A - 低仕事関数材料で修飾されたカーボンナノ材料で機能化された針先、及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、低仕事関数材料で修飾されたカーボンナノ材料で機能化された針先であって、カーボンナノ材料が共有結合によって針先の材料と結合してなり、前記カーボンナノ材料の内部または外面が低仕事関数材料で修飾されており、
前記針先の材料が金属であり、タングステン、鉄、コバルト、ニッケル、チタンから選ばれた1種または複数種であり、前記カーボンナノ材料がカーボンナノコーンまたはカーボンナノチューブであり、前記低仕事関数材料が、金属、金属炭化物、金属酸化物、金属ホウ化物、金属窒化物及び金属内包フラーレンから選ばれた1種または複数種である、針先を提供する。
好ましくは、前記カーボンナノコーンは、層状グラファイト構造からなる錐状のカーボンナノ材料である。
好ましくは、前記カーボンナノチューブは、層状グラファイト構造からなる管状のカーボンナノ材料である。
好ましくは、前記低仕事関数材料は、Ba、Ca、Yb、WC、HfC、NbC、TaC、Ni3C、LaB6、CeB6、TiN、GaN、Sr3N2、Ca@C82、Lu2C2@C82、Sc3N@C80、BaO、ZnO、ZrO2から選ばれた1種または複数種である。
好ましくは、針先の尖端部は単一のカーボンナノコーンに完全に覆われ、カーボンナノコーンの尾部は針先の尖端を覆う。
好ましくは、針先の尖端部は単一のカーボンナノチューブクラスターまたは単一のカーボンナノチューブで修飾される。
具体的には、本発明に記載の製造方法を、低仕事関数材料で修飾された部位によって、二つの並列技術案に分けることができる。
技術案の一として、
カーボンナノ材料の内部が低仕事関数材料で修飾された場合、本発明に記載の製造方法は、二つの操作形態に分けられ、具体的には下記の通りである。
(1)低仕事関数材料で針先の表面を修飾するステップ;および
(2)低仕事関数材料で表面を修飾した針先の尖端にカーボンナノ材料を組み立て、電流印加またはレーザー照射により、両者の間に強固な界面結合を形成するステップ。
具体的な実施形態において、蒸着法を採用し、適切な材料の針先を選択して、機器の試料台に固定し、低仕事関数材料のターゲット材または粉末を機器の真空チャンバー内に配置して、適切な作業条件下で高エネルギー電子線で励起させ気相とし、針先の表面に堆積する。
(1)カーボンナノ材料の内部に低仕事関数材料を充填するステップ;および
(2)内部に低仕事関数材料が充填されたカーボンナノ材料を針先の尖端に組み立て、電流印加またはレーザー照射により、両者の間に強固な界面結合を形成するステップ。
カーボンナノ材料の粉末を反応器に置き、低仕事関数材料化合物の蒸気、溶融液または溶液と混合・接触させ、反応を2~36h維持した後、溶媒で、カーボンナノ材料に充填されなかった低仕事関数材料を洗浄し、吸引ろ過、乾燥を行う。
カーボンナノ材料で機能化された針先の外面が低仕事関数材料で修飾された場合、本発明に記載の製造方法は下記のステップを含む:
(1)カーボンナノ材料を針先の尖端に組み立て、電流印加またはレーザー照射により、両者の間に強固な界面結合を形成し、カーボンナノ材料で機能化された針先を得るステップ;および
(2)前記カーボンナノ材料で機能化された針先の外面を低仕事関数材料で修飾するステップ。
前記金属体は円球形または台状の頂端を有する。前記金属体と針体とが接触する位置の、針先の頂端からの距離は0.2~100μmである。前記金属体及び針先の尖端の材料はいずれもタングステンである。前記針体に流れる電流は0.04~4Aである。
好ましくは、ステップ(2)において、イオンスパッタリング法、蒸着法、気相成長法、または電気めっき法によって、前記カーボンナノ材料で機能化された針先の外面に厚さ1~100nmの低仕事関数材料を修飾する。
本発明が提供する低仕事関数材料で修飾されたカーボンナノ材料で機能化された針先は、カーボンナノ材料自身より低い仕事関数を有しつつ、前記低仕事関数材料より安定な構造を有するため、針先の電子放出の性能、安定性、および寿命を効果的に向上させることができる。
実施例において使用されるマイクロマニピュレーターは、Kleindiek Nanotechnik社の製品であり、走査型電子顕微鏡はFEIQuanta 200 FEGであり、透過型電子顕微鏡の型番はFEI F20である。
スピンコーターは、中国科学院微電子研究所製造のKW-4A型スピンコーターである。
マグネトロンスパッタリングシステムはLab-18である。
電子ビーム蒸着システムはOHMIKER-50Bである。
加熱攪拌装置はMS-H-PROである。
デジタル表示型赤外線乾燥用ランプはLP23030-Bである。
本実施例において、電子ビーム蒸着法によって、金属Wの針先の表面に、厚さ5nmのBa薄膜(Baターゲット材の純度:99.99%)をコーティングし、番号を#2とした。超音波でカーボンナノコーン材料をo-ジクロロベンゼン溶剤に分散させて得られた分散液を、スピンコーターで基材であるシリコンウエハに堆積した後、基材であるシリコンウエハを走査型電子顕微鏡の試料台3に配置し、タングステン針先#1、#2をそれぞれ図1における1、2号のマイクロマニピュレーターの先端のプローブに取り付け、マイクロマニピュレーターを制御することにより、タングステン針先の走査型電子顕微鏡の試料室内の三次元空間での移動を実現した。
本実施例において、マグネトロンスパッタリング法によって、金属Wの針先の表面に、厚さ5nmのZnO薄膜(マグネトロンスパッタにおけるZnOターゲット材の純度:99.99%)をコーティングし、番号を#2とした。超音波でカーボンナノコーン材料をo-ジクロロベンゼン溶剤に分散させて得られた分散液を、スピンコーターで基材であるシリコンウエハに堆積した後、基材であるシリコンウエハを走査型電子顕微鏡の試料台3に配置し、タングステン針先#1、#2をそれぞれ図1における1、2号のマイクロマニピュレーターの先端のプローブに取り付け、マイクロマニピュレーターを制御することにより、タングステン針先の走査型電子顕微鏡の試料室内の三次元空間での移動を実現した。
本実施例において、電子ビーム蒸着法によって、金属Wの針先の表面に、厚さ5nmのLaB6薄膜(LaB6ターゲット材の純度:99.99%)をコーティングし、番号を#2とした。超音波でカーボンナノコーン材料をo-ジクロロベンゼン溶剤に分散させて得られた分散液を、スピンコーターで基材であるシリコンウエハに堆積した後、基材であるシリコンウエハを走査型電子顕微鏡の試料台3に配置し、タングステン針先#1、#2をそれぞれ図1における1、2号のマイクロマニピュレーターの先端のプローブに取り付け、マイクロマニピュレーターを制御することにより、タングステン針先の走査型電子顕微鏡の試料室内の三次元空間での移動を実現した。
本実施例において、マグネトロンスパッタリング法によって、金属Wの針先の表面に、厚さ5nmの炭化ニッケル薄膜(マグネトロンスパッタにおける炭化ニッケルターゲット材の純度:99.99%)をコーティングし、番号を#2とした。超音波でカーボンナノコーン材料をo-ジクロロベンゼン溶剤に分散させて得られた分散液をスピンコーターで基材であるシリコンウエハに堆積し、基材であるシリコンウエハを走査型電子顕微鏡の試料台3に配置し、タングステン針先#1、#2をそれぞれ図1における1、2号のマイクロマニピュレーターの先端のプローブに取り付け、マイクロマニピュレーターを制御することにより、タングステン針先の走査型電子顕微鏡の試料室内の三次元空間での移動を実現した。
本実施例において、マグネトロンスパッタリング法によって、金属Wの針先の表面に、厚さ5nmのTaC薄膜(マグネトロンスパッタにおけるTaCターゲット材の純度:99.99%)をコーティングし、番号を#2とした。超音波でカーボンナノコーン材料をo-ジクロロベンゼン溶剤に分散させて得られた分散液を、スピンコーターで基材であるシリコンウエハに堆積し、基材であるシリコンウエハを走査型電子顕微鏡の試料台3に配置し、タングステン針先#1、#2をそれぞれ図1における1、2号のマイクロマニピュレーターの先端のプローブに取り付け、マイクロマニピュレーターを制御することにより、タングステン針先の走査型電子顕微鏡の試料室内の三次元空間での移動を実現した。
本実施例において、走査型電子顕微鏡下で電子ビームにより炭素の堆積を誘導する方法によって、金属Wの針先の表面に、厚さ5nmの炭素をコーティングし、番号を#2とした。超音波でカーボンナノコーン材料をo-ジクロロベンゼン溶剤に分散させて得られた分散液を、スピンコーターで基材であるシリコンウエハに堆積し、基材であるシリコンウエハを走査型電子顕微鏡の試料台3に配置し、タングステン針先#1、#2をそれぞれ図1における1、2号のマイクロマニピュレーターの先端のプローブに取り付け、マイクロマニピュレーターを制御することにより、タングステン針先の走査型電子顕微鏡の試料室内の三次元空間での移動を実現した。
本実施例において、マグネトロンスパッタリング法によって、金属Wの針先の表面に、厚さ5nmのTiN膜(マグネトロンスパッタにおけるTiNターゲット材の純度:99.99%)をコーティングし、番号を#2とした。超音波でカーボンナノコーン材料をo-ジクロロベンゼン溶剤に分散させて得られた分散液を、スピンコーターで基材であるシリコンウエハに堆積した後、基材であるシリコンウエハを走査型電子顕微鏡の試料台3に配置し、タングステン針先#1、#2をそれぞれ図1における1、2号のマイクロマニピュレーターの先端のプローブに取り付け、マイクロマニピュレーターを制御することにより、タングステン針先の走査型電子顕微鏡の試料室内の三次元空間での移動を実現した。
本実施例において、超音波でカーボンナノコーン材料をo-ジクロロベンゼン溶剤に分散させて得られた分散液を、スピンコーターで基材であるシリコンウエハに堆積した後、基材であるシリコンウエハを走査型電子顕微鏡の試料台3に配置し、タングステン針先#1、#2をそれぞれ図1における1、2号のマイクロマニピュレーターの先端のプローブに取り付け、マイクロマニピュレーターを制御することにより、タングステン針先の走査型電子顕微鏡の試料室内の三次元空間での移動を実現した。
製造されたカーボンナノコーンで機能化されたタングステン針先#2を取り出し、マグネトロンスパッタ装置の試料台に固定し、その表面に、厚さ5nmのZnO薄膜(マグネトロンスパッタにおけるZnOターゲット材の純度:99.99%)をコーティングした。
20mLのサンプル瓶を用意し、まず酢酸スカンジウム25mgを加え、更にエチレングリコール10mLを加え、上記の試薬が均一に混合するように、超音波で10min処理した。前記サンプル瓶にスターラーバーを入れ、軽く蓋を閉じ、加熱攪拌器に設置し、加熱時間を30min、加熱温度を100℃、攪拌速度を500rpmに設定して、酢酸スカンジウムを完全に溶解させた。また、カーボンナノコーン2mgを測り、上記溶液に加え、前記サンプル瓶の蓋を軽く閉じ、加熱攪拌器に設置し、加熱時間を18h、加熱温度を100℃、攪拌速度を500rpmに設定して、酢酸スカンジウムをカーボンナノコーンの尖端に充填した。加熱攪拌が終了した後、上記の混合物を室温まで冷却してから、孔径1μmの親水性ろ過膜でろ過し、ろ過後のサンプルをろ過膜と共に赤外線ランプで20h乾燥し、乾燥温度を80℃に設定した。ろ過膜からサンプルを削り、少量の当該サンプルを取って無水エタノールに加え、超音波で分散させた後、銅マイクログリッドに滴下して透過型電子顕微鏡(TEM)の観察に使用し、充填後のカーボンナノコーンの透過型電子顕微鏡写真は図10(a)、(b)が示す通りである。
Claims (10)
- 低仕事関数材料で修飾されたカーボンナノ材料で機能化された針先であって、
カーボンナノ材料が共有結合によって針先の材料と結合してなり、
前記カーボンナノ材料の内部または外面が低仕事関数材料で修飾されており、
前記針先の材料が金属であり、タングステン、鉄、コバルト、ニッケル、チタンから選ばれた1種または複数種であり、
前記カーボンナノ材料が、カーボンナノコーンまたはカーボンナノチューブであり、
前記低仕事関数材料が、金属、金属炭化物、金属酸化物、金属ホウ化物、金属窒化物及び金属内包フラーレンから選ばれた1種または複数種である
ことを特徴とする、低仕事関数材料で修飾されたカーボンナノ材料で機能化された針先。 - 前記カーボンナノ材料の尖端と金属である前記針先との配向が一致し、
及び/または、前記カーボンナノコーンが層状グラファイト構造からなる錐状のカーボンナノ材料であり、
及び/または、前記カーボンナノチューブが層状グラファイト構造からなる管状のカーボンナノ材料であり、
及び/または、前記低仕事関数材料がBa、Ca、Yb、WC、HfC、NbC、TaC、Ni3C、LaB6、CeB6、TiN、GaN、Sr3N2、Ca@C82、Lu2C2@C82、Sc3N@C80、BaO、ZnO、ZrO2から選ばれた1種または複数種であり、
及び/または、前記針先の尖端の頂角が10~70°である
ことを特徴とする、請求項1に記載の低仕事関数材料で修飾されたカーボンナノ材料で機能化された針先。 - 請求項1または2に記載の低仕事関数材料で修飾されたカーボンナノ材料で機能化された針先の製造方法であって、
カーボンナノ材料の内部が低仕事関数材料で修飾された場合、
(1)低仕事関数材料で針先の表面を修飾するステップと、
(2)低仕事関数材料で表面を修飾した針先の尖端にカーボンナノ材料を組み立て、電流印加またはレーザー照射により、両者の間に共有結合による界面結合を形成するステップを含み、
または、
(1)カーボンナノ材料の内部に低仕事関数材料を充填するステップと、
(2)内部に低仕事関数材料が充填されたカーボンナノ材料を針先の尖端に組み立て、電流印加またはレーザー照射により、両者の間に共有結合による界面結合を形成するステップを含む
ことを特徴とする、製造方法。 - イオンスパッタリング法、蒸着法、気相成長法または電気めっき法によって、針先の表面に厚さ1~100nmの低仕事関数材料を修飾することを特徴とする、請求項3に記載の製造方法。
- 真空気相充填法、溶融相充填法または溶液充填法によって、カーボンナノ材料の内部に低仕事関数材料を充填し、
カーボンナノ材料の粉末を反応器に置き、低仕事関数材料化合物の蒸気、溶融液または溶液と混合・接触させ、反応を2~36h維持した後、溶媒で、カーボンナノ材料に充填されなかった低仕事関数材料を洗浄し、吸引ろ過、乾燥を行うことを特徴とする、請求項3に記載の製造方法。 - スピンコーターで基材であるシリコンウエハにカーボンナノ材料を堆積し、表面に低仕事関数材料が修飾された針先の尖端にカーボンナノ材料を接着し、針体を別の金属体と接触させ、前記金属体と前記針体との間に電圧を印加して、前記針体に電流を流し、針の尖端部が熱を受け、接着されたカーボンナノ材料と結合することを特徴とする、請求項3に記載の製造方法。
- スピンコーターで基材であるシリコンウエハに、内部に低仕事関数材料が充填されたカーボンナノ材料を堆積し、針先の尖端にカーボンナノ材料を接着し、針体を別の金属体と接触させ、前記金属体と前記針体との間に電圧を印加して、前記針体に電流を流し、針の尖端部が熱を受け、接着されたカーボンナノ材料と結合することを特徴とする、請求項3に記載の製造方法。
- 前記金属体が、円球形または台状の頂端を有し、前記金属体と針体が接触する位置の、針先の頂端からの距離が0.2~100μmであり、前記金属体及び針先の尖端の材料がいずれもタングステンであり、前記針体に流れる電流が0.04~4Aであることを特徴とする、請求項6または7に記載の製造方法。
- 請求項1または2に記載の低仕事関数材料で修飾されたカーボンナノ材料で機能化された針先の製造方法であって、
カーボンナノ材料で機能化された針先の外面が低仕事関数材料で修飾された場合、
(1)カーボンナノ材料を針先の尖端に組み立て、電流印加またはレーザー照射により、両者の間に共有結合による界面結合を形成し、カーボンナノ材料で機能化された針先を得るステップと、
(2)前記カーボンナノ材料で機能化された針先の外面を低仕事関数材料で修飾するステップとを含む
ことを特徴とする、製造方法。 - ステップ(1)において、スピンコーターで基材であるシリコンウエハにカーボンナノ材料を堆積し、針先の尖端にカーボンナノ材料を接着し、針体を別の金属体と接触させ、前記金属体と前記針体との間に電圧を印加して、前記針体に電流を流し、針の尖端部が熱を受け、接着されたカーボンナノ材料と結合し、
前記金属体が円球形または台状の頂端を有し、前記金属体と針体が接触する位置の、針先の頂端からの距離が0.2~100μmであり、前記金属体及び針先の尖端の材料がいずれもタングステンであり、針体に流れる電流が0.04~4Aであり、
及び/または、ステップ(2)において、イオンスパッタリング法、蒸着法、気相成長法または電気めっき法によって、前記カーボンナノ材料で機能化された針先の外面に、厚さ1~100nmの低仕事関数材料を修飾することを特徴とする、請求項9に記載の製造方法。
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