JP2022131128A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】部品点数の増加を抑えつつ共通流路の容積を大きくする。【解決手段】流路基板２１は、鉛直方向に積層されたプレートで構成されている。共通流路２９は、プレート４３の下面４３ｂに形成された凹部４３ｙと、プレート４４～４６に形成された貫通孔４４ｘ～４６ｘとで形成されている。凹部４３ｙは、共通流路２９の上端２９ａを構成する。貫通孔４４ｘ～４６ｘは、凹部４３ｙと鉛直方向に重なり、共通流路２９の上端２９ａを除く部分を構成する。凹部４３ｙは、共通流路２９の搬送方向の上流端から下流端に亘って（即ち、共通流路２９の全長に亘って）、設けられている。【選択図】図４

Description

本発明は、複数のプレートで構成された流路基板を備えた液体吐出ヘッドに関する。

特許文献１に記載のインクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）は、複数のプレートで構成され、当該複数のプレートにノズルを含む個別流路と共通インク室（共通流路）とが形成されたキャビティユニット（流路基板）を備えている。複数のプレートは、それぞれ共通インク室を構成する貫通孔が形成された２枚のマニホールドプレートを含む。

特開２００６－１２３３０９号公報

高速で多くの液体をノズルから吐出させるには、個別流路に対して多量の液体を供給するため、共通流路の容積を大きくする必要がある。例えば、特許文献１（図５（ｂ））において、マニホールドプレートを３枚以上に増やすことで、共通流路の容積を大きくすることが考えられる。しかしながら、この場合、部品点数が増え、コストアップにつながる。

本発明の目的は、部品点数の増加を抑えつつ共通流路の容積を大きくすることが可能な液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に積層された複数のプレートで構成され、複数の個別流路と前記複数の個別流路に連通する共通流路とが形成された、流路基板を備え、前記複数の個別流路は、それぞれ、ノズルと、前記ノズルに連通する圧力室と、前記圧力室と前記共通流路とを連通させる連通路と、を含み、前記複数の個別流路は前記第１方向と直交する第２方向に配列され、前記共通流路は前記第２方向に延び、前記複数のプレートは、前記共通流路の前記第１方向の一端を構成する凹部が形成された第１面を有する第１プレートと、前記第１面に積層され、前記凹部と前記第１方向に重なる貫通孔であって前記共通流路の前記一端を除く部分を構成する貫通孔が形成された第２プレートと、前記第２プレートに対して前記第１プレートと反対側に配置され、複数の前記ノズルが形成された第３プレートと、を含み、前記凹部は、前記共通流路の前記第２方向の一端から他端に亘って設けられたことを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係るヘッド３を含むプリンタ１の概略平面図である。 ヘッド３の平面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面図である。 図２のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。 本発明の第２実施形態に係るヘッド２０３の図４に対応する断面図である。 本発明の第３実施形態に係るヘッド３０３の図４に対応する断面図である。 本発明の第４実施形態に係るヘッド４０３の平面図である。 図７のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。

＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態に係るヘッド３は、図１に示すように、プリンタ１に適用される。プリンタ１は、ヘッド３を保持しつつ走査方向（鉛直方向と直交する方向）に移動可能なキャリッジ２と、ヘッド３及びキャリッジ２の下方において用紙Ｐを支持するプラテン６と、用紙Ｐを搬送方向（走査方向及び鉛直方向と直交する方向）に搬送する搬送機構４とを備えている。ヘッド３の下面には、複数のノズル３１が形成されている。

キャリッジ２は、それぞれ走査方向に延びる一対のガイドレール７，８に支持されており、キャリッジモータ（図示略）の駆動によりガイドレール７，８に沿って走査方向に移動する。

搬送機構４は、搬送方向にプラテン６及びキャリッジ２を挟む位置に配置された２つのローラ対１１，１２を含む。ローラ対１１，１２は、搬送モータ（図示略）の駆動により、用紙Ｐを挟持した状態で回転し、用紙Ｐを搬送方向に搬送する。

ヘッド３は、図２～図４に示すように、複数のノズル３１が形成された流路基板２１と、流路基板２１の上面に配置されたアクチュエータ基板２２とを含む。

流路基板２１は、図３に示すように、鉛直方向に積層された８枚のプレート４１～４８で構成されている。

プレート４１には、複数の圧力室３０が形成されている。プレート４８には、複数のノズル３１が形成されている。プレート４１の上面が流路基板２１の上面、プレート４８の下面が流路基板２１の下面に該当する。プレート４１の上面に複数の圧力室３０が開口し、プレート４８の下面に複数のノズル３１が開口している。

プレート４３～４６には、４本の共通流路２９（図２参照）が形成されている。プレート４２，４３には、圧力室３０毎に、圧力室３０と共通流路２９とを連通させる連通路３５が形成されている。プレート４２～４７には、圧力室３０毎に、圧力室３０とノズル３１とを接続する接続路３６が形成されている。さらに、プレート４７の下面には、共通流路２９と鉛直方向に重なる位置に、ダンパ室４０を構成する凹部が形成されている。当該凹部は、プレート４８で塞がれている。

４本の共通流路２９は、図２に示すように、それぞれ搬送方向に延び、走査方向に並んでいる。共通流路２９は、搬送方向に配列された複数の圧力室３０で構成される圧力室列毎に設けられている。４つの圧力室列は、走査方向に並んでいる。各共通流路２９から、各圧力室列に属する複数の圧力室３０に、連通路３５（図３参照）を介してインクが供給される。そして後述のようにアクチュエータ基板２２の各アクチュエータが変形することで、圧力室３０内のインクに圧力が付与され、接続路３６を通ってノズル３１からインクが吐出される。

このように、流路基板２１には、それぞれ搬送方向に延びる４本の共通流路２９と、搬送方向に配列され、各共通流路２９に連通する複数の個別流路３２（ノズル３１及び圧力室３０を含む流路であり、共通流路２９の出口から連通路３５、圧力室３０及び接続路３６を介してノズル３１に至る流路）とが形成されている。

鉛直方向が本発明の「第１方向」に該当し、搬送方向に沿った方向が本発明の「第２方向」に該当する。

共通流路２９は、図３及び図４に示すように、プレート４３（第１プレート）の下面４３ｂ（第１面）に形成された凹部４３ｙと、プレート４４～４６（第２プレート）に形成された貫通孔４４ｘ～４６ｘとで形成されている。凹部４３ｙは、共通流路２９の上端２９ａ（第１方向の一端）を構成する。貫通孔４４ｘ～４６ｘは、凹部４３ｙと鉛直方向に重なり、共通流路２９の上端２９ａを除く部分を構成する。プレート４８（第３プレート）は、図３に示すように、プレート４４～４６に対してプレート４３と反対側に配置されている。

凹部４３ｙは、共通流路２９の搬送方向の上流端（第２方向の一端）から下流端（第２方向の他端）に亘って（即ち、共通流路２９の全長に亘って）、設けられている。

流路基板２１には、さらに、インクタンク９（図１参照）から共通流路２９にインクを供給する供給路２７と、共通流路２９からインクタンク９にインクを帰還させる帰還路２８とが形成されている。図２に示すように、各共通流路２９の搬送方向の上流端（第２方向の一端）に供給路２７が連通し、各共通流路２９の搬送方向の下流端（第２方向の他端）に帰還路２８が連通している。

供給路２７は、図４に示すように、鉛直方向に延び、上端（第１方向の一端）において流路基板２１の上面（プレート４１の上面）に開口し、下端（第１方向の他端）において凹部４３ｙと連通している。帰還路２８も、図示を省略するが、供給路２７と同様、鉛直方向に延び、上端において流路基板２１の上面に開口し、下端において凹部４３ｙと連通している。

供給路２７は、図４に示すように、プレート４１～４３に形成された貫通孔４１ｘ～４３ｘで構成されている。貫通孔４１ｘ～４３ｘは、それぞれ鉛直方向に沿って一定の径を有する。貫通孔４１ｘ～４３ｘの径は、互いに同じである。つまり、供給路２７は、上端から下端に亘って断面積が一定であり、鉛直方向に沿って凹凸のない平滑面で画定されている。帰還路２８も、図示を省略するが、供給路２７と同様、プレート４１～４３に形成された、鉛直方向に沿って一定の径を有する貫通孔で構成されている。つまり、帰還路２８も、上端から下端に亘って断面積が一定であり、鉛直方向に沿って凹凸のない平滑面で画定されている。

供給路２７の開口である供給口２７ａは、図２に示すように、流路基板２１の上面におけるアクチュエータ基板２２が配置されない領域（アクチュエータ基板２２に対して搬送方向の上流側）に形成されている。帰還路２８の開口である帰還口２８ａは、流路基板２１の上面におけるアクチュエータ基板２２が配置されない領域（アクチュエータ基板２２に対して搬送方向の下流側）に形成されている。

供給口２７ａ及び帰還口２８ａは、それぞれ、インクタンク９（図１参照）とチューブ等で接続されている。インクタンク９から各供給口２７ａに供給されたインクは、各共通流路２９に供給される。当該インクは、各共通流路２９内を搬送方向に移動し、各帰還口２８ａからインクタンク９に戻される。

流路基板２１は、さらに、図２に示すように、各供給路２７に設けられた第１フィルタ７１と、各帰還路２８に設けられた第２フィルタ７２とを有する。第１フィルタ７１は、図４に示すように、プレート４３における凹部３２ｙの底面に配置されている。第２フィルタ７２も、第１フィルタ７１と同様、プレート４３における凹部３２ｙの底面に配置されている。

アクチュエータ基板２２は、図３に示すように、振動板６２と、共通電極５２と、圧電体６１と、複数の個別電極５１とを含む。振動板６２は、流路基板２１の上面（プレート４１の上面）に配置されている。共通電極５２は、振動板６２の上面に配置されている。圧電体６１は、共通電極５２の上面に配置されている。複数の個別電極５１は、圧電体６１の上面に配置されている。

振動板６２、共通電極５２及び圧電体６１は、流路基板２１に形成された全ての圧力室３０を覆っている。一方、個別電極５１は、圧力室３０毎に設けられており、圧力室３０のそれぞれと鉛直方向に重なっている。

複数の個別電極５１及び共通電極５２は、ドライバＩＣ（図示略）と電気的に接続されている。ドライバＩＣは、共通電極５２の電位をグランド電位に維持する一方、個別電極５１の電位を所定の駆動電位とグランド電位との間で変化させる。このとき、振動板６２及び圧電体６１において個別電極５１と圧力室３０とで挟まれた部分（アクチュエータ）が、圧力室３０に向かって凸となるように変形することにより、圧力室３０の容積が変化し、圧力室３０内のインクに圧力が付与される。当該インクは、接続路３６を通ってノズル３１から吐出される。これと同時に、共通流路２９内のインクが連通路３５を通って圧力室３０に供給され、また、インクタンク９から共通流路２９にインクが供給される。

以上に述べたように、本実施形態によれば、プレート４３に、共通流路２９の上端２９ａを構成する凹部４３ｙが、共通流路２９の搬送方向の上流端（第２方向の一端）から下流端（第２方向の他端）に亘って（即ち、共通流路２９の全長に亘って）設けられている（図４参照）。この場合、共通流路２９を貫通孔４４ｘ～４６ｘのみで構成する場合に比べ、凹部４３ｙを設けた分、共通流路２９の容積を大きくできる。つまり、本実施形態によれば、部品点数の増加を抑えつつ、共通流路２９の容積を大きくすることが可能である。また、本実施形態によれば、共通流路２９の全長に亘って、上端２９ａが同じ高さである（即ち、上端２９ａに凹凸がない）ため、インクタンク９と共通流路２９との間のインク循環において、気泡の引っ掛かりが生じ難い。

供給路２７は、上端から下端に亘って断面積が一定であり、鉛直方向に沿って凹凸のない平滑面で画定されている（図４参照）。供給路２７が、鉛直方向に沿って凹凸のある面で画定される場合、凹凸部分に気泡が引っ掛かり、インクタンク９と共通流路２９との間のインク循環による気泡の排出が困難になり得る。これに対し、本実施形態によれば、供給路２７が鉛直方向に沿って凹凸のない平滑面で画定されるため、気泡の引っ掛かりが生じ難く、インク循環による気泡の排出を実現できる。

搬送方向に延びる共通流路２９において、搬送方向の上流端に供給路２７が連通し、搬送方向の下流端に帰還路２８が連通している（図２参照）。この場合、インクタンク９と共通流路２９との間でインクを循環させることで、共通流路２９内の気泡の除去やインクの増粘防止を実現できる。また、インクが沈降成分（沈降が生じ得る成分。顔料等）を含む場合、当該成分が攪拌されて沈降が防止される。さらに、共通流路２９が鉛直方向から見てＩ字状（直線状）であるため、供給路２７から共通流路２９を通して帰還路２８へとインクをスムーズに流すことができる。

流路基板２１は、各供給路２７に設けられた第１フィルタ７２と、各帰還路２８に設けられた第２フィルタ７２とを有する（図２参照）。高速で多くのインクをノズル３１から吐出させる場合、インクの逆流（帰還路２８から共通流路２９に向けてインクが流れる現象）が生じ易く、逆流によって、帰還路２８に排出された気泡や帰還路２８外にある異物（粉塵等）が共通流路２９に戻る可能性がある。この点、本実施形態では、供給路２７だけでなく帰還路２８にもフィルタが設けられており、逆流時に気泡を第２フィルタ７２で捕獲できる。したがって、帰還路２８に排出された気泡が共通流路２９に戻ることを抑制できる。

フィルタ７１，７２は、プレート４３における凹部３２ｙの底面に配置されている（図４参照）。パージ（ポンプ等によりノズル３１から強制的にインクを排出させる動作）により、フィルタ７１，７２の下面に捕獲された気泡をノズル３１から排出する場合において、フィルタ７１，７２が供給路２７の上端や帰還路２８の上端に設けられていると、フィルタ７１，７２から各ノズル３１までの流路長が長くなることや、供給路２７や帰還路２８の内部に気泡が引っ掛かってしまうこと等から、フィルタ７１，７２の下面に捕獲された気泡をノズル３１から排出することが困難になり得る。これに対し、本実施形態によれば、フィルタ７１，７２がプレート４３における凹部３２ｙの底面に配置されているため、フィルタ７１，７２から各ノズル３１までの流路長が比較的短く、また、供給路２７や帰還路２８の内部での気泡の引っ掛かりが問題とならない。したがって、フィルタ７１，７２の下面に捕獲された気泡をノズル３１から排出し易い。

＜第２実施形態＞
続いて、図５を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッド２０３について説明する。

第１実施形態（図４参照）において、供給路２７は、上端から下端に亘って断面積が一定である。これに対し、第２実施形態（図５参照）において、供給路２７は、上端から下端に向けて断面積が大きくなっている。

第２実施形態では、供給路２７を構成する貫通孔４１ｘ～４３ｘの径が、互いに異なる。貫通孔４１ｘ～４３ｘは、それぞれ鉛直方向に沿って一定の径を有するが、径が互いに異なる。貫通孔４２ｘの径は貫通孔４１ｘの径よりも大きく、貫通孔４３ｘの径は貫通孔４２ｘの径よりも大きい。鉛直方向に隣接する貫通孔４１ｘ～４３ｘ同士の径の差は、２０μｍ以下である。なお、帰還路２８も、供給路２７と同様の構成を有する。

以上に述べたように、本実施形態によれば、供給路２７は、上端から下端に向けて断面積が大きくなっている。これにより、供給路２７から共通流路２９にインクをスムーズに供給できる。

供給路２７は、３枚のプレート４１～４３に形成された、径が互いに異なる貫通孔４１ｘ～４３ｘで構成されている。この場合、上端から下端に向けて断面積が大きくなるという構成を、プレート４１～４３に対するエッチングにより、容易に実現できる。

鉛直方向に隣接する貫通孔４１ｘ～４３ｘ同士の径の差は、２０μｍ以下である。径の差が２０μｍを超えると、貫通孔４１ｘ～４３ｘの段差に気泡が引っ掛かり、インクタンク９（図１参照）と共通流路２９との間のインク循環による気泡の排出が困難になり得る。これに対し、本実施形態によれば、径の差が２０μｍ以下であり、貫通孔４１ｘ～４３ｘの段差が小さいため、気泡の引っ掛かりが生じ難く、インク循環による気泡の排出を実現できる。

＜第３実施形態＞
続いて、図６を参照し、本発明の第３実施形態に係るヘッド３０３について説明する。

第３実施形態（図６参照）では、第２実施形態（図５参照）と同様、供給路２７が、上端から下端に向けて断面積が大きくなっている。ただし、第２実施形態（図５参照）では貫通孔４１ｘ～４３ｘがそれぞれ鉛直方向に沿って一定の径を有するところ、第３実施形態（図６参照）では、貫通孔４１ｘは鉛直方向に沿って一定の径を有するが、貫通孔４２ｘ，４３ｘはそれぞれ上端から下端に向けて漸進的に径が大きくなっている。

本実施形態によれば、貫通孔４２ｘ，４３ｘの構成が第２実施形態と異なるものの、第２実施形態と同様、供給路２７が上端から下端に向けて断面積が大きくなっていることで、第２実施形態と同様の効果（供給路２７から共通流路２９にインクをスムーズに供給できるという効果）を得ることができる。

また、本実施形態では、貫通孔４２ｘ，４３ｘがそれぞれ上端から下端に向けて漸進的に径が大きくなっている。この場合、貫通孔４１ｘ～４３ｘに段差がないため、気泡の引っ掛かりが生じ難く、インク循環による気泡の排出を実現できる。

＜第４実施形態＞
続いて、図７及び図８を参照し、本発明の第４実施形態に係るヘッド４０３について説明する。

第１実施形態（図２参照）では、鉛直方向から見てＩ字状（直線状）の共通流路２９が、４本独立して設けられている。これに対し、第４実施形態（図７参照）では、それぞれ鉛直方向から見てＩ字状（直線状）の第１共通流路２９１及び第２共通流路２９２が、連結流路２９３で連結されることで、全体として鉛直方向から見てＵ字状の流路が形成されている。

図７に示すように、第１共通流路２９１の搬送方向の上流端（第２方向の一端）に供給路２７が連通し、第２共通流路２９２の搬送方向の上流端（第２方向の一端）に帰還路２８が連通している。流路基板２１には、さらに、第１共通流路２９１の搬送方向の下流端（第２方向の他端）と第２共通流路２９２の搬送方向の下流端（第２方向の他端）とを連結する、連結流路２９３が形成されている。

連結流路２９３は、図８に示すように、プレート４３の凹部４３ｙと、プレート４４～４６の凹部４４ｙ～４６ｙとで構成される。連結流路２９３の上端は、共通流路２９（第１共通流路２９１及び第２共通流路２９２）の上端２９ａ（図４参照）と同様、凹部４３ｙで構成されている。第１共通流路２９１、第２共通流路２９２及び連結流路２９３を含むＵ字状の流路において、流路の全長に亘って、上面及び下面に段差がない。

以上に述べたように、本実施形態によれば、共通流路２９の構成が第１実施形態と異なるものの、第１実施形態と同様、インクタンク９（図１参照）と共通流路２９との間でインクを循環させることで、共通流路２９内の気泡の除去やインクの増粘防止を実現できる。また、インクが沈降成分（沈降が生じ得る成分。顔料等）を含む場合、当該成分が攪拌されて沈降が防止される。

さらに、本実施形態では、連結流路２９３の上端が、共通流路２９の上端２９ａと同様、プレート４３の凹部４３ｙで構成される。つまり、第１共通流路２９１、第２共通流路２９２及び連結流路２９３を含むＵ字状の流路の全長に亘って、凹部４３ｙが設けられている。これにより、部品点数の増加を抑えつつ、Ｕ字状の流路の容積を大きくすることが可能である。また、Ｕ字状の流路の全長に亘って、上端２９ａが同じ高さである（即ち、上端２９ａに凹凸がない）ため、インクタンク９とＵ字状の流路との間のインク循環において、気泡の引っ掛かりが生じ難い。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

上述の実施形態（図４参照）では、第２プレートが複数のプレート（プレート４４～４６）からなるが、第２プレートは１枚のプレートであってもよい。

上述の実施形態（図４参照）では、第１フィルタ７１及び第２フィルタ７２の両方が、プレート４３における凹部３２ｙの底面に配置されているが、第１フィルタ７１及び第２フィルタ７２の少なくとも一方が、凹部３２ｙの底面に配置されてよい。或いは、フィルタ７１，７２が、供給路２７の上端や帰還路２８の上端に設けられてもよい。

帰還路のフィルタ（第２フィルタ７２）を省略してよい。また、供給路のフィルタ（第１フィルタ７１）を省略してもよい。

流路基板に帰還路が形成されなくてもよい。即ち、液体貯留部と共通流路との間の液体循環が行われない構成であってもよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

１ プリンタ
３；２０３；３０３；４０４ ヘッド（液体吐出ヘッド）
９ インクタンク（液体貯留部）
２１ 流路基板
２７ 供給路
２８ 帰還路
２９ 共通流路
２９１ 第１共通流路
２９２ 第２共通流路
２９３ 連結流路
２９ａ 上端（第１方向の一端）
３０ 圧力室
３１ ノズル
３２ 個別流路
３５ 連通路
４１～４８ プレート
４３ 第１プレート
４３ｂ 下面（第１面）
４３ｙ 凹部
４４～４６ 第２プレート
４４ｘ～４６ｘ 貫通孔
４８ 第３プレート
７１ 第１フィルタ
７２ 第２フィルタ

Claims (9)

1. 第１方向に積層された複数のプレートで構成され、複数の個別流路と前記複数の個別流路に連通する共通流路とが形成された、流路基板を備え、
   前記複数の個別流路は、それぞれ、ノズルと、前記ノズルに連通する圧力室と、前記圧力室と前記共通流路とを連通させる連通路と、を含み、
   前記複数の個別流路は前記第１方向と直交する第２方向に配列され、前記共通流路は前記第２方向に延び、
   前記複数のプレートは、
   前記共通流路の前記第１方向の一端を構成する凹部が形成された第１面を有する第１プレートと、
   前記第１面に積層され、前記凹部と前記第１方向に重なる貫通孔であって前記共通流路の前記一端を除く部分を構成する貫通孔が形成された第２プレートと、
   前記第２プレートに対して前記第１プレートと反対側に配置され、複数の前記ノズルが形成された第３プレートと、を含み、
   前記凹部は、前記共通流路の前記第２方向の一端から他端に亘って設けられたことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
2. 前記流路基板に、液体貯留部から前記共通流路に液体を供給する供給路が形成されており、
   前記供給路は、前記第１方向に延び、前記第１方向の一端において、前記流路基板における前記第３プレートの前記複数のノズルが開口した表面とは反対側の表面に開口し、前記第１方向の他端において、前記凹部に連通し、
   前記供給路は、前記第１方向の一端から他端に亘って断面積が一定であり、前記第１方向に沿って凹凸のない平滑面で画定されたことを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記流路基板に、液体貯留部から前記共通流路に液体を供給する供給路が形成されており、
   前記供給路は、前記第１方向に延び、前記第１方向の一端において、前記流路基板における前記第３プレートの前記複数のノズルが開口した表面とは反対側の表面に開口し、前記第１方向の他端において、前記凹部に連通し、
   前記供給路は、前記第１方向の一端から他端に向けて断面積が大きくなっていることを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記供給路は、前記複数のプレートのうちの２枚以上のプレートに形成された複数の貫通孔であって、径が互いに異なる複数の貫通孔で構成されたことを特徴とする、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１方向に隣接する前記複数の貫通孔同士の径の差は、２０μｍ以下であることを特徴とする、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記流路基板に、液体貯留部から前記共通流路に液体を供給する供給路と、前記共通流路から前記液体貯留部に液体を帰還させる帰還路とが形成されており、
   前記共通流路の前記第２方向の一端に、前記供給路が連通し、
   前記共通流路の前記第２方向の他端に、前記帰還路が連通したことを特徴とする、請求項１～５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記流路基板に、液体貯留部から前記共通流路に液体を供給する供給路と、前記共通流路から前記液体貯留部に液体を帰還させる帰還路とが形成されており、
   前記共通流路は、第１共通流路と、第２共通流路とを含み、
   前記第１共通流路の前記第２方向の一端に、前記供給路が連通し、
   前記第２共通流路の前記第２方向の一端に、前記帰還路が連通し、
   前記流路基板に、前記第１共通流路の前記第２方向の他端と前記第２共通流路の前記第２方向の他端とを連結する、連結流路がさらに形成されており、
   前記連結流路の前記第１方向の一端は、前記第１プレートの前記凹部で構成されることを特徴とする、請求項１～５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記流路基板は、前記供給路に設けられた第１フィルタと、前記帰還路に設けられた第２フィルタとを有することを特徴とする、請求項６又は７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１フィルタ及び前記第２フィルタの少なくとも一方は、前記凹部の底面に配置されたことを特徴とする、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。

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