JP2022123610A - 部品装着装置、及び、部品装着方法 - Google Patents

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Koichi Okada
秀雄 森
Hideo Mori
鷹則 松田
Takanori Matsuda
壮一郎 郡司
Soichiro Gunji
一総 坪田
Kazufusa Tsubota
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Abstract

【課題】部品と照明部との位置関係が変化する場合であっても部品を適切に照明し、部品の画像認識精度の低下を抑制する。【解決手段】部品装着装置は、部品を保持し、所定の範囲を通過して、前記部品が装着される基板に向けて移動するノズルと、前記ノズルが前記所定の範囲を通過する際に、前記ノズルが保持する前記部品を撮像する撮像部と、前記所定の範囲を囲んで配置され、前記撮像部が前記部品を撮像するタイミングにて発光する第1照明部及び第2照明部と、前記撮像部によって撮像された画像に基づいて前記部品を認識する部品認識部と、前記所定の範囲における前記部品の撮像位置に基づいて、前記第1照明部の前記発光の光量と前記第2照明部の前記発光の光量とをそれぞれ制御する制御部と、を備える。【選択図】図7A

Description

本開示は、部品装着装置、及び、部品装着方法に関する。
半導体などの基板製造工場には、複数の実装基板製造ラインが設けられ、実装基板製造ラインのそれぞれには、複数の部品装着装置が配置される。部品装着装置のそれぞれは、基板においてクリーム半田が印刷された位置に電子部品等の部品を装着する。近年、基板製造工場の生産性を高めるため、この部品装着装置についても稼働効率の向上が要求されている。
従来、移動ヘッドにはノズルが搭載されており、そのノズルに保持された電子部品を照明部によって照らした上で部品認識カメラによって撮像して部品の画像認識を行う部品装着装置が知られる。
撮像時の照明が適切になされない場合、部品の画像認識精度は低下する。特許文献1には、部品実装機の稼働中にカメラで撮像する部品(電子部品又は回路基板)の表面の明るさが変化して画像認識精度が低下する可能性があるときに、画像認識精度が低下しないようにカメラのシャッタ速度及び/又は光源の照明光度を自動調整して撮像画像の明るさを自動調整する部品実装機の画像認識装置が開示される。
特開2006-210531号公報
しかしながら、特許文献1のように、部品の表面の明るさに応じて照明光度を自動調整しても、部品を適切に照らすことができない場合がある。例えば、複数の照明部を用いてノズルに保持された部品を照らす構成において、部品の位置が一方の照明部から近く他方の照明部から遠い場合、特許文献1の技術を適用しても、当該部品に対する照明が偏ってしまう。よって、部品の画像認識精度が低下してしまう。
本開示の目的は、部品と照明部との位置関係が変化する場合であっても部品を適切に照明し、部品の画像認識精度の低下を抑制する部品装着装置及び部品装着方法を提供することにある。
本開示の一態様に係る部品装着装置は、部品を保持し、所定の範囲を通過して、前記部品が装着される基板に向けて移動するノズルと、前記ノズルが前記所定の範囲を通過する際に、前記ノズルが保持する前記部品を撮像する撮像部と、前記所定の範囲を囲んで配置され、前記撮像部が前記部品を撮像するタイミングにて発光する第1照明部及び第2照明部と、前記撮像部によって撮像された画像に基づいて前記部品を認識する部品認識部と、
前記所定の範囲における前記部品の撮像位置に基づいて、前記第1照明部の前記発光の光量と前記第2照明部の前記発光の光量とをそれぞれ制御する制御部と、を備える。
本開示の一態様に係る部品装着方法は、部品を保持し、前記部品が装着される基板に向けて移動中のノズルが所定の範囲を通過する際、前記所定の範囲を囲んで配置された第1照明部及び第2照明部のそれぞれの光量を、前記所定の範囲における前記部品の位置に基づいて決定し、前記第1照明部及び前記第2照明部を、それぞれ、決定した前記光量にて発光させると共に、前記ノズルが保持する前記部品を撮像部に撮像させ、前記撮像部によって撮像された画像に基づいて、前記部品を部品認識部に認識させる。
本開示によれば、部品と照明部との位置関係が変化する場合であっても部品を適切に照明し、部品の画像認識精度の低下を抑制する部品装着装置及び部品装着方法を提供することができる。
本実施の形態に係る部品装着装置の機械的構成を例示する上面図 図1に示す部品装着装置の機械的構成を例示する側面図 図2に示す移動ヘッド及び部品保持ノズルの動作を例示する斜視図 図2に示す部品認識カメラの機械的構成を例示する側面図 図4に示す照明ユニット部の機械的構成を例示する斜視図 図1に示す部品装着装置の制御部の機能的構成を例示するブロック図 本実施の形態に係る側方照明部の構成例と部品保持ノズルの斜め移動の第1段階を示す模式図 本実施の形態に係る側方照明部の構成例と部品保持ノズルの斜め移動の第8段階を示す模式図 比較用の側方照明部の構成例を示す模式図 照明バランス情報の一例を示す図 本実施の形態に係る部品装着処理の一例を示すフローチャート
以下、図面を適宜参照して、本開示の実施の形態について、詳細に説明する。ただし、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、すでによく知られた事項の詳細説明及び実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。なお、添付図面及び以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるのであって、これらにより特許請求の記載の主題を限定することは意図されていない。
例えば、実施の形態でいう「部」又は「装置」とは単にハードウェアによって機械的に実現される物理的構成に限らず、その構成が有する機能をプログラムなどのソフトウェアにより実現されるものも含む。また、1つの構成が有する機能が2つ以上の物理的構成により実現されても、又は2つ以上の構成の機能が例えば1つの物理的構成によって実現されていてもかまわない。
(本実施の形態)
<部品装着装置の機械的構成>
先ず、図1及び図2を参照しながら、部品装着装置1の機械的構成について説明する。図1は、本実施の形態に係る部品装着装置1の機械的構成を例示する上面図である。図2は、図1に示す部品装着装置1の機械的構成を例示する側面図である。
なお、説明の便宜上、部品装着装置1が設置される床面から高さ方向に延びる軸をZ軸とする。Z軸に対して垂直(つまり床面に平行)かつ部品装着装置1の正面(図1の紙面の下側)から部品装着装置1の裏面(図1の紙面の上側)に向かう軸をY軸とする。Y軸及びZ軸に対して垂直な軸をX軸とする。また、説明の便宜上、Z軸の正方向を「上」、Z軸の負方向を「下」、Y軸の正方向を「前」、Y軸の負方向を「後」、X軸の正方向を「右」、Y軸の負方向を「左」と称する場合がある。なお、これらの方向に係る表現は、説明の便宜上用いられるものであって、当該構造の実使用時における姿勢を限定する意図ではない。
部品装着装置1は、基板Wに各種の部品Pを取り付けて製造するための実装基板製造ラインに1つ又は複数配置される。部品装着装置1は、実装基板製造ラインの上流から搬送される基板Wに部品Pを所定の位置及び姿勢で装着する。
図1及び図2に示すように、部品装着装置1は、本体機構部10(部品実装部の一例)、及び、制御部40を含んで構成される。本体機構部10は、主に各部機構の動作によって基板Wに、部品P(例えば、IC(Integrated Circuit)、トランジスタ又はコンデンサといった電子部品、リード部品、チップ部品及び/又はBGA(Ball Grid Array)部品)などを実装する。制御部40は、本体機構部10の動作を制御する。
本体機構部10は、基台12などから構成される実装機本体11と、実装機本体11に対し移動可能に構成されるヘッドユニット23と、を備える。制御部40は、部品装着装置1の基台12(下述参照)の内部に収納されており、実装機本体11及びヘッドユニット23といった各種の機構を制御する。
実装機本体11の基台12の中央部には、図1に示すX方向(基板Wの搬送方向)に沿って基板搬送機構13が配設される。基板搬送機構13は、X方向に沿って延設される一対のコンベア部14を備える。基板搬送機構13は、その一対のコンベア部14の上に載置される基板Wを搬送し、所定の装着作業位置で位置決めして保持する。
基板搬送機構13の前後の両側には、前後一対の部品供給機構15のそれぞれが、対向して配設される。この一対の部品供給機構15のそれぞれは、スロット17が設けられているフィーダベース16を備える。スロット17には、パーツフィーダとして複数のテープフィーダ18が並列に装着される。
また、部品装着装置1は、フィーダカート19をさらに備える。フィーダカート19は、その下側に複数の車輪が配設される台車部20と、台車部20の上側に配設される複数のリールストック部(不図示)と、を含んで構成される。複数のリールストック部のそれぞれには、リール21が収容される。リール21のそれぞれから、部品Pが収容されるキャリアテープ22が引き出されて部品供給機構15のテープフィーダ18に部品Pが供給される。部品供給機構15のテープフィーダ18は、キャリアテープ22をテープ送り方向にピッチ送りすることにより、部品Pを供給する。下述するヘッドユニット23の移動ヘッド26に装着された部品保持ノズル27は、テープフィーダ18によって供給された部品Pをピックアップ(例えば吸着保持)する。部品保持ノズル27が部品Pをピックアップする位置を、部品取出位置と称する場合がある。なお、図2では移動ヘッド26及び部品保持ノズル27が1つしか描かれてないが、移動ヘッド26及び部品保持ノズル27は、複数存在してよく、例えば図7A及び図7Bに示すように、複数列及び/又は複数行に並んで配列されてよい。
ヘッドユニット23は、基台12の上方に配設されており、部品供給機構15と基板Wとが配置される装着作業位置及び部品取出位置とに亘って移動可能に構成される。具体的には、ヘッドユニット23は、基板Wの表面と略平行する平面上で互いに直交配置されるX軸テーブル機構25及びY軸テーブル機構24とによってX方向及びY方向に沿って直動移動可能である。
基台12の上面には、Y軸テーブル機構24がY方向に沿って配設される。また、前後一対のX軸テーブル機構25がX方向に沿って配設されており、Y方向に沿ってスライド移動可能にY軸テーブル機構24のそれぞれに取り付けられる。また、前後一対のX軸テーブル機構25のそれぞれの先端部には、移動ヘッド26がX方向に沿ってスライド移動可能に取り付けられる。すなわち、ヘッドユニット23に移動ヘッド26が搭載されており、移動ヘッド26はX軸テーブル機構25及びY軸テーブル機構24によって互いに独立に移動可能に設けられる。これにより、移動ヘッド26は基板Wの表面と略平行する平面上、つまり水平面(XY平面)において任意に位置決めされる。なお、X軸テーブル機構25及びY軸テーブル機構24はいずれもリニアガイド駆動機構により構成される。
前後一対の部品供給機構15と基板搬送機構13との間には、撮像部の一例である部品認識カメラ28が配設される。移動ヘッド26に装着された部品保持ノズル27(下述参照)は、部品供給機構15から部品Pを取り出して吸着保持した状態で、部品認識カメラ28の上方を移動して通過する。このとき、部品認識カメラ28は、その通過する部品保持ノズル27に吸着保持された部品Pを、所定のタイミングにて照明を当てつつ1又は複数回撮像する。
また、前後一対の部品供給機構15と基板搬送機構13との間には、ノズルホルダ38及び廃棄ボックス37がさらに配設される。ノズルホルダ38は、移動ヘッド26の部品保持ノズル27を保持対象の部品Pに対応して複数種類収納する。移動ヘッド26をノズルホルダ38にアクセスさせて所定のノズル交換動作を実行させることにより、移動ヘッド26には、保持対象に適した部品保持ノズル27(下述)が装着される。廃棄ボックス37は箱状に形成されて内部空間を有し、その内部空間には、部品認識カメラ28によって撮像結果を認識した結果、不良と判定された部品Pなどが廃棄される。
<移動ヘッドの構成及び動作>
次に、図3を参照しながら、移動ヘッド26及び部品保持ノズル27の構成及びその動作について説明する。図3は、図2に示す移動ヘッド26及び部品保持ノズル27の動作を例示する斜視図である。
ここでは、図3を参照しながら、1つの移動ヘッド26及び部品保持ノズル27に着目して説明する。しかし、上述のとおり、移動ヘッド26及び部品保持ノズル27は、複数存在してよく、例えば図7A及び図7Bに示すように、複数列及び/又は複数行に並んで配列されてよい。また、図3は、後述する照明部及びそれに関連するもの(例えば反射板)についての描写を省略している。
部品保持ノズル27は、例えば空気圧を利用して部品供給機構15のテープフィーダ18から部品Pを真空吸着して保持し個別に昇降する。また、移動ヘッド26は、部品保持ノズル27のそれぞれを個別に昇降させるZ軸昇降機構(不図示)と、部品保持ノズル27のそれぞれをノズル軸を中心に個別に回転させるθ軸回転機構(不図示)と、を備える。Y軸テーブル機構24及びX軸テーブル機構25が駆動することにより、移動ヘッド26は、水平面(XY平面)において任意に位置決めされる。この移動により、移動ヘッド26は、部品供給機構15のテープフィーダ18の部品取出位置から部品Pを部品保持ノズル27によって吸着して取り出す。
移動ヘッド26には、X軸テーブル機構25の下面側に配設され、当該移動ヘッド26と一体に移動する基板認識カメラ36(図1及び図2参照)が固設される。移動ヘッド26が移動することにより、基板認識カメラ36は、基板搬送機構13によって位置決めされた基板Wの上方を通過し基板Wを撮像する。この撮像結果(撮像情報)が同様に認識処理されることにより、基板Wの位置及び姿勢が検出される。
基板Wの位置の検出結果、制御部40は、移動ヘッド26の部品保持ノズル27を、当該部品保持ノズル27が保持する部品Pの装着点に移動させ、当該部品Pを当該装着点に装着姿勢にて装着する。装着点は、基板W上における部品Pが装着されるべき位置を示す。装着姿勢は、部品Pが当該装着点に装着される際の姿勢を示す。この移動及び装着の動作は、複数の部品保持ノズル27のそれぞれに保持される部品Pが、すべて基板Wに装着されるまで繰り替えされてよい。このようにして、部品Pは、部品取出位置から装着作業位置までの間を移動ヘッド26の部品保持ノズル27によって保持されて移動され、そして最終的に基板W上に装着される。
部品装着装置1は、基板W上の複数の装着点での装着がすべて完了するまで、移動ヘッド26の部品保持ノズル27による複数の部品Pの取出、装着、及び、部品取出位置への戻り移動の一連の作業を繰り返し実行する。この作業の繰り返しにより、順次搬送される基板Wのそれぞれに多数の部品Pが順次装着される。そして、装着後、部品Pが全部装着された基板Wは、下流工程に搬送される。このように、実装機本体11とヘッドユニット23とは協調して動作しており、この協調動作は、制御部40の指示によって実行される。
また、本実施の形態では、部品Pの部品取出位置における取出から装着作業位置における部品Pの装着までの行きの移動と、その後の部品取出位置への戻りの移動とからなる一連の作業単位を「1ターン」の作業単位と称する場合がある。そして、その1ターンにおける部品取出位置から装着作業位置までの行きの移動を、以下単に「1ターンにおける行きの移動」と称する場合がある。
<部品認識カメラの構成>
次に、図4及び図5を参照しながら、部品認識カメラ28の構成について説明する。図4は、図2に示す部品認識カメラ28の機械的構成を例示する側面図である。図5は、図4に示す照明ユニット部31の機械的構成を例示する斜視図である。なお、説明の便宜上、図4には部品認識カメラ28の上方かつその光軸上に移動する移動ヘッド26も図示されている。また、図4には、下述するように部品認識カメラ28の照明部の内部構造が模式的に図示されている。
図4に示すように、部品認識カメラ28は、撮像センサ部29及び照明ユニット部31を備える。
撮像センサ部29は、略筒状の筐体30と、筐体30に内蔵される撮像素子(不図示)と、を備える。撮像素子は、CCD(Charge Coupled Device)又はCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)により構成されてよい。撮像センサ部29は、シャッタ機能を有し、制御部40の撮像処理部47(下述参照)の指令に従って所定のタイミングで露光し、撮像を行う。撮像センサ部29は、撮像素子によって撮像された結果(撮像画像)を、制御部40に送信する。
部品認識カメラ28は、スキャン撮像方式に従って撮像可能であり、エリアセンサを用いたROI(Region Of Interest)機能を有する。部品認識カメラ28は、ROI機能により、撮像センサ部29に対して複数のROI(例えば2つのROI)を設定し、ROIを連続的に切り替えて撮像を行ってもよい。
撮像センサ部29は、センターカメラ29A及びサイドカメラ29Bを含んで構成されてよい。センターカメラ29Aは、光軸が垂直方向(Z方向)に沿うように配設され、部品認識カメラ28の上方を移動する部品Pを下から撮像する。サイドカメラ29Bは、水平方向においてセンターカメラ29Aの両側に配置され、光軸が垂直方向(Z方向)に対して傾斜するように配設される。サイドカメラ29Bは、部品認識カメラ28の上方を移動する部品Pを斜め下から撮像する。
照明ユニット部31は、箱状の筐体32、複数の反射照明部33、複数の透過照明部34、複数の側方照明部35、及び、同軸照明部39を備える。なお、反射照明は、斜方照明と称されてもよい。反射照明部33、透過照明部34、側方照明部35、及び、同軸照明部39は、筐体32の内部に配置される。照明ユニット部31の筐体32は、撮像センサ部29の筐体30の上側に積み重ねた状態で連結して配置される。
図5に示すように、複数の側方照明部35は、水平方向に沿って円環状に配置される。また、複数の反射照明部33は、側方照明部35よりも下方、かつ、複数の側方照明部35によって構成される円環の内側において、中央に空間が形成されるように、当該中央を囲んで配置される。また、複数の透過照明部34は、反射照明部33と側方照明部35との間に配置される。また、同軸照明部39及び反射板Cは、反射照明部33よりも下方に配置される。
反射照明部33は、照明ユニット部31の筐体32の底壁32p(つまりXY平面、水平面)に対し略平行に配置される。反射照明部33は、照射方向がセンターカメラ29Aの光軸に沿うように設けられる。反射照明部33は、点灯すると、略垂直方向(Z方向)に沿って照明を照射する。部品保持ノズル27に保持される部品Pと反射照明部33との間に、透過ガラスGが水平方向に沿って配置される。
反射照明部33は、部品保持ノズル27に保持された部品Pが部品認識カメラ28の上方を移動しているタイミングt1にて発光する。これにより、部品保持ノズル27に保持された部品Pの下面は、反射照明部33から照射され、透過ガラスGを通過した光によって、照らされる。このタイミングt1に対応して、センターカメラ29A及びサイドカメラ29Bの少なくとも1つは、その部品Pを撮像する。
なお、複数の反射照明部33は、反射照明チャネルを構成してよい。制御部40は、反射照明チャネルの単位で発光制御を行ってよい。
透過照明部34は、筐体32の底壁32p及び側壁32q(つまりZ方向)に対し斜めに配置される。透過照明部34は、照射方向がセンターカメラ29Aの光軸に対し斜めになるように設けられる。反射照明部33と透過照明部34との間に、遮蔽板Bが配置される。遮蔽板Bは、透過照明部34と同様に、筐体32の底壁32p及び側壁32qの両方に対し斜めになるように配置される。
透過照明部34は、発光すると、垂直方向(Z方向)及び水平方向(XY平面)に対して斜めに光を照射する。透過照明部34は、部品保持ノズル27に保持された部品Pが部品認識カメラ28の上方を移動しているタイミングt2にて発光する。これにより、部品保持ノズル27に保持された部品Pは、透過照明部34から照射され移動ヘッド26の反射板にて反射された光によって照らされる。このタイミングt2に対応して、センターカメラ29A及びサイドカメラ29Bの少なくとも1つは、その部品Pを撮像する。
なお、複数の透過照明部34は、透過照明チャネルを構成してよい。制御部40は、透過照明チャネルの単位で発光制御を行ってよい。
側方照明部35は、照明ユニット部31の筐体32の側壁32qに対し略平行に配置される。側方照明部35は、照射方向がセンターカメラ29Aの光軸に対し垂直になるように設けられる。また、側方照明部35は、反射照明部33及び透過照明部34よりも上方に配置される。側方照明部35は、発光すると、水平面に沿って光を照射する。
側方照明部35は、部品保持ノズル27に保持された部品Pが部品認識カメラ28の上方を移動しているタイミングt3にて発光する。これにより、部品保持ノズル27に保持された部品Pの側方は、側方照明部35から照射された光によって照らされる。このタイミングt3に対応して、センターカメラ29A及びサイドカメラ29Bの少なくとも1つは、その部品Pを撮像する。
なお、図5に示す複数の側方照明部35のうち、後方半分の側方照明部35は第1の側方照明チャネルを構成し、前方半分の側方照明部35は第2の側方照明チャネルを構成してよい。また、第1の側方照明チャネルをCH1と表現し、第2の側方照明チャネルをCH2と表現する場合がある。制御部40は、第1の側方照明チャネルと第2の側方照明チャネルとを個別に発光制御を行ってよい。
同軸照明部39は、照明ユニット部31の筐体32の側壁32qに対し略平行に配置される。同軸照明部39は、照射方向がセンターカメラ29Aの光軸に対し垂直になるように設けられる。同軸照明部39は、反射照明部33の下方に配置される。同軸照明部39は、発光すると、水平面に沿って光を照射する。また、部品認識カメラ28に含まれる反射板C(例えばミラー)は、同軸照明部39からXY平面に沿った方向に離間した位置に配設される。同軸照明部39から照射された光は、反射板Cにて上方に反射され、反射板Cの上方を照らす。
同軸照明部39は、部品保持ノズル27に保持された部品Pが部品認識カメラ28の上方を移動しているタイミングt4にて発光する。これにより、部品保持ノズル27に保持された部品Pの下部は、同軸照明部39から照射され、反射板Cにて上方に反射され、複数の反射照明部33に囲まれた中央の空間及び透過ガラスGを通過した光によって照らされる。このタイミングt4に対応して、センターカメラ29A及びサイドカメラ29Bの少なくとも1つは、その部品Pを撮像する。
なお、同軸照明部39は、同軸照明チャネルを構成してよい。制御部40は、同軸照明チャネルの単位で発光制御を行ってよい。
なお、各照明部33、34、35、39の発光タイミングt1~t4は、1ターンにおける行きの移動の時間内における複数の撮像タイミングのうちのいずれかのタイミングであってよい。また、各照明部33、34、35、39の発光タイミングは重複してもよい。例えば、複数の照明部33、34、35、39の少なくとも2つが同時に発光し、部品Pを照らしてもよい。
<部品装着装置のソフトウェア構成>
次に、図6を参照しながら、部品装着装置1の制御部40のソフトウェア構成(機能的構成)について説明する。図6は、図1に示す部品装着装置1の制御部40の機能的構成を例示するブロック図である。
部品装着装置1の制御部40は、ROM(Read Only Memory)及びRAM(Random Access Memory)に代表される記憶装置と、CPU(Central Processing Unit)に代表される演算装置とを備える汎用のコンピュータにより構成されてよい。演算装置は、記憶装置に保持されるコンピュータプログラムを読み出して実行することにより、図6に示すソフトウェア構成(機能的構成)を実現する。すなわち、図6の制御部40内に図示する各ブロックは、ソフトウェアにより実現される機能を表す。ただし、ブロックとして表現される機能の少なくとも一部は、ソフトウェアに限られず、「装置」の物理的構成(ハードウェア)によって実現されてもよい。
制御部40は、記憶部41と、機構駆動部46と、撮像処理部47と、を含んで構成される。機構駆動部46は、本体機構部10の駆動を制御する。例えば、機構駆動部46は、基板搬送機構13、部品供給機構15及びヘッドユニット23の駆動を制御し、基板搬送機構13、部品供給機構15及びヘッドユニット23を協調動作させる。
記憶部41は、実装情報42と、部品情報43と、照明バランス情報44と、撮像タイミング情報45と、を少なくとも保持する。実装情報42は、基板Wのそれぞれに実装されるべき部品Pの種類、及びその基板W上の部品Pの取付位置及び取付姿勢などの情報を含む。部品情報43は、部品Pの種類毎の外形、及び、電極の有無又はその本数などの情報を含んでよい。
照明バランス情報44は、撮像センサ部29のセンサ領域を分割した各領域と、当該領域上に位置する部品Pを撮像する際の、第1の側方照明チャネル(CH1)の照明値と、第2の側方照明チャネル(CH2)の照明値とを予め対応付けた情報である。照明値は、側方照明チャネルの光量の大きさに関する情報である。例えば、側方照明部35がLEDにて構成される場合、照明値は、LEDに流される電流値の大きさを示す値であってよい。照明値は、ランプ値と読み替えられてもよい。なお、照明バランス情報44の詳細については後述する(図9参照)。
撮像タイミング情報45は、照明チャネルの発光タイミングを示す情報、及び、部品Pの撮像タイミングを示す情報を含んでよい。撮像タイミングの回数は、複数回であってもよい。撮像タイミングは、シャッタタイミングと読み替えられてもよい。また、発光タイミングの回数は、複数回であってもよい。例えば、撮像タイミング情報45は、1ターンにおける行きの移動内での照明チャネルの発光タイミングを示す情報及び撮像センサ部29の撮像タイミングを示す情報を含んでよい。
撮像処理部47は、カメラ制御部48及び部品認識部50を含む。
カメラ制御部48は、撮像センサ部29の撮像と、その撮像タイミングにおける照明ユニット部31の発光とを制御する。例えば、カメラ制御部48は、記憶部41の照明バランス情報44及び撮像タイミング情報45を読み込む。そして、カメラ制御部48は、撮像タイミング情報45が示す各撮像タイミングにて、照明バランス情報44が示す照明値にて第1の側方照明チャネル及び第2の側方照明チャネルを発光させ、撮像センサ部29に部品Pの画像を撮像させる。
部品認識部50は、撮像センサ部29が撮像した画像に基づいて、当該画像に含まれる部品Pの特徴を認識する。部品Pの特徴は、部品Pの位置、部品Pの姿勢、部品Pの極性、部品Pの3次元形状、部品Pの外形、及び、部品Pに付加された文字等の少なくとも1つを含んでよい。移動ヘッド26及び部品保持ノズル27は、部品認識部50による認識結果に基づいて、部品Pを基板Wの装着点に装着する。
なお、基板認識カメラ36の撮像情報も撮像処理部47に送信されてよい。撮像処理部47は、部品認識部50と同様、その撮像情報(画像)から基板Wの位置及び姿勢を認識し、その認識結果を機構駆動部46に送信してよい。
<斜め移動及び部品スキャン>
次に、図7A、図7B、図8及び図9を参照して、移動ヘッド26及び部品保持ノズル27の斜め移動と、当該斜め移動中における部品保持ノズル27が保持する部品Pの撮像(スキャン)について説明する。図7Aは、本実施の形態に係る側方照明部35の構成例と部品保持ノズル27の斜め移動の第1段階を示す模式図である。図7Bは、本実施の形態に係る側方照明部35の構成例と部品保持ノズル27の斜め移動の第8段階を示す模式図である。図8は、比較用の側方照明部の構成例を示す模式図である。図9は、照明バランス情報44の一例を示す図である。
なお、図7A及び図7Bに示すように、移動ヘッド26及び当該移動ヘッド26に装着される部品保持ノズル27は、2行8列に並んで配置されたものであってよい。すなわち、複数の部品保持ノズル27は、前方から後方を見た場合に左右に並んで配列されてよい。図7A及び図7Bにおける、部品保持ノズル27の丸の中の番号は、部品保持ノズル27を区別して説明するために便宜的に付したものである。以下の説明において、部品保持ノズル27を区別して説明する場合、部品保持ノズル27-1、27-2、…、27-16のように、部品保持ノズルの参照符号の後に部品保持ノズルを区別するための番号を付加する。
図7A及び図7Bに示すように、部品保持ノズル27は、テープフィーダ18の部品取出位置から部品Pを吸着して取り出し、当該部品Pを保持した状態で撮像センサ部29の上を斜めに通過して、基板Wの上に移動する。例えば、図7Aの点線矢印Tが示すように、部品保持ノズル27は、左前から右後に向けて移動する。ただし、部品保持ノズル27の移動経路は、これに限られない。例えば、部品保持ノズル27は、右前から左後に向けて移動してもよい。
従来、部品保持ノズル27は、以下の(A1)~(A3)の順に移動する。
(A1)部品保持ノズル27は、テープフィーダ18の部品取出位置から部品Pを吸着して取り出し、後方に移動する。
(A2)部品保持ノズル27は、撮像センサ部29の上を、左から右に通過する。
(A3)部品保持ノズル27は、後方に移動し、部品Pを基板Wに装着する。
これに対して、本実施の形態では、上述のとおり、部品保持ノズル27は、撮像センサ部29の上を斜めに移動する。これにより、本実施の形態は、従来と比較して、部品保持ノズル27が、テープフィーダ18の部品取出位置から基板Wの位置まで移動する際の距離が短くなるので、部品装着作業を高速化できる。
しかし、部品保持ノズル27が撮像センサ部29の上を斜めに移動する場合、図7A及び図7Bに示すように、部品保持ノズル27が保持する部品Pの撮像位置が、撮像センサ部29の中心から離れた位置になる場合がある。
例えば、図8に示すように、いずれもが同じ光量で発光する側方照明部が、円環の中心から離れた位置の部品Pを照らし、撮像センサ部29が、当該部品Pを撮像した場合、照明バランスの崩れた画像が撮像されてしまう。例えば、図8に示す状況において、部品保持ノズル27-16が保持する部品Pを撮像した場合、部品Pの前方が明る過ぎ、部品Pの後方が暗すぎる画像が撮像されてしまう。このような画像にて部品認識を行うと、部品位置の検出ずれが発生し易くなる。
そこで、本実施の形態では、少なくとも2つの側方照明部35の光量を個別に制御可能な構成を採る。例えば、図7A及び図7Bに示すように、前方半分の側方照明部35の光量と、後方半分の側方照明部35の光量とを個別に制御できる構成を採用する。以下、後方半分の側方照明部35によって構成される照明チャネルをCH1と称し、前方半分の側方照明部35によって構成される照明チャネルをCH2と称する。
そして、撮像センサ部29のセンサ領域60を、複数の領域に分割する。例えば、図9に示すように、センサ領域60を、前方から後方に向けて8つの領域に分割する。以下、最も後方の領域から前方の領域に向けて順に、領域A~領域Iと呼ぶ。
記憶部41は、各領域と当該領域上に部品Pが位置する場合のCH1及びCH2の照明値とを対応付けた照明バランス情報44を予め保持する。
照明バランス情報44において、ある領域に対応付けられているCH1及びCH2の照明値は、CH1及びCH2が当該照明値に基づいて発光した場合に、その領域上に位置する部品Pが均等に照らされる値であってよい。
例えば、部品保持ノズル27の斜め移動を開始した場合、まずは図7Aに示すように、部品保持ノズル27-16が領域Iの上に位置し、部品保持ノズル27-8が領域Hの上に位置する。
この場合、部品保持ノズル27-16が保持する部品Pを撮像するタイミングにて、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44にて領域Iに対応付けられている照明値「10」及び照明値「90」に応じた光量にて発光する。これにより、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27-16が保持する部品Pが均等に照らされた画像を撮像できる。
また、部品保持ノズル27-8が保持する部品Pを撮像するタイミングにて、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44にて領域Hに対応付けられている照明値「20」及び照明値「80」に応じた光量にて発光する。これにより、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27-8が保持する部品Pが均等に照らされた画像を撮像できる。
すなわち、制御部40は、センサ領域60における部品Pの撮像位置がCH1よりCH2に近い場合、CH2の光量をCH1の光量より小さくなるよう制御する。これにより、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27が保持する部品Pの撮像位置がCH1よりCH2に近い場合において、当該部品Pが均等に照らされた画像を撮像できる。
その後、部品保持ノズル27をさらに斜めに移動させた場合、最後に図7Bに示すように、部品保持ノズル27-9が領域Bの上に位置し、部品保持ノズル27-1が領域Aの上に位置する。
この場合、部品保持ノズル27-9が保持する部品Pを撮像するタイミングにて、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44にて領域Bに対応付けられている照明値「80」及び照明値「20」に応じた光量にて発光する。これにより、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27-9が保持する部品Pが均等に照らされた画像を撮像できる。
また、部品保持ノズル27-1が保持する部品Pを撮像するタイミングにて、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44にて領域Aに対応付けられている照明値「90」及び照明値「10」に応じた光量にて発光する。これにより、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27-1が保持する部品Pが均等に照らされた画像を撮像できる。
すなわち、制御部40は、センサ領域60における部品Pの撮像位置がCH2よりCH1に近い場合、CH2の光量をCH1の光量より小さくなるよう制御する。これにより、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27が保持する部品Pの撮像位置がCH2よりCH1に近い場合において、当該部品Pが均等に照らされた画像を撮像できる。
このように、部品保持ノズル27を斜めに移動させながら、部品保持ノズル27-1~27-16のすべての部品Pについて、照明バランス情報44を参照しながらCH1及びCH2の照明値を適切に設定して撮像を行うことにより、各部品Pについて均等に照らされた画像を撮像できる。よって、部品認識部50による部品認識処理において、検出ずれが発生することを抑制できる。
<部品装着処理のフローチャート>
次に、図10を参照して、部品装着装置1における部品装着処理の一例について説明する。図10は、本実施の形態に係る部品装着処理の一例を示すフローチャートである。なお、以下の説明における部品保持ノズル27、撮像センサ部29、CH1及びCH2の動作は、制御部40によって制御されてよい。
S101として、部品保持ノズル27-1~27-16は、それぞれ、テープフィーダから供給される部品Pを吸着する。
S102として、部品保持ノズル27は、斜め移動を開始する。
S103として、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27-16が領域Iの上に位置し、部品保持ノズル27-8が領域Hの上に位置したタイミングで、部品保持ノズル27-16に保持される部品Pと、部品保持ノズル27-8に保持される部品Pとを、それぞれ撮像する。領域Iの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Iに対応付けられている照明値「10」及び照明値「90」に応じた光量にて発光する。また、領域Hの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Iに対応付けられている照明値「20」及び照明値「80」に応じた光量にて発光する。
S104として、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27-15が領域Hの上に位置し、部品保持ノズル27-7が領域Gの上に位置したタイミングで、部品保持ノズル27-15に保持される部品Pと、部品保持ノズル27-7に保持される部品Pとを、それぞれ撮像する。領域Hの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Iに対応付けられている照明値「20」及び照明値「80」に応じた光量にて発光する。また、領域Gの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Gに対応付けられている照明値「30」及び照明値「70」に応じた光量にて発光する。
S105として、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27-14が領域Gの上に位置し、部品保持ノズル27-6が領域Fの上に位置したタイミングで、部品保持ノズル27-14に保持される部品Pと、部品保持ノズル27-6に保持される部品Pとを、それぞれ撮像する。領域Gの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Gに対応付けられている照明値「30」及び照明値「70」に応じた光量にて発光する。また、領域Fの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Fに対応付けられている照明値「40」及び照明値「60」に応じた光量にて発光する。
S106として、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27-13が領域Fの上に位置し、部品保持ノズル27-5が領域Eの上に位置したタイミングで、部品保持ノズル27-13に保持される部品Pと、部品保持ノズル27-5に保持される部品Pとを、それぞれ撮像する。領域Fの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Fに対応付けられている照明値「40」及び照明値「70」に応じた光量にて発光する。また、領域Eの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Eに対応付けられている照明値「50」及び照明値「50」に応じた光量にて発光する。
S107として、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27-12が領域Eの上に位置し、部品保持ノズル27-4が領域Dの上に位置したタイミングで、部品保持ノズル27-12に保持される部品Pと、部品保持ノズル27-4に保持される部品Pとを、それぞれ撮像する。領域Iの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Eに対応付けられている照明値「50」及び照明値「50」に応じた光量にて発光する。また、領域Dの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Dに対応付けられている照明値「60」及び照明値「40」に応じた光量にて発光する。
S108として、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27-11が領域Dの上に位置し、部品保持ノズル27-3が領域Cの上に位置したタイミングで、部品保持ノズル27-11に保持される部品Pと、部品保持ノズル27-3に保持される部品Pとを、それぞれ撮像する。領域Dの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Dに対応付けられている照明値「60」及び照明値「40」に応じた光量にて発光する。また、領域Cの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Cに対応付けられている照明値「70」及び照明値「30」に応じた光量にて発光する。
S109として、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27-10が領域Cの上に位置し、部品保持ノズル27-2が領域Bの上に位置したタイミングで、部品保持ノズル27-10に保持される部品Pと、部品保持ノズル27-2に保持される部品Pとを、それぞれ撮像する。領域Cの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Cに対応付けられている照明値「70」及び照明値「30」に応じた光量にて発光する。また、領域Bの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Bに対応付けられている照明値「80」及び照明値「20」に応じた光量にて発光する。
S110として、撮像センサ部29は、部品保持ノズル27-9が領域Bの上に位置し、部品保持ノズル27-1が領域Aの上に位置したタイミングで、部品保持ノズル27-9に保持される部品Pと、部品保持ノズル27-1に保持される部品Pとを、それぞれ撮像する。領域Iの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Bに対応付けられている照明値「80」及び照明値「20」に応じた光量にて発光する。また、領域Aの上の部品Pを撮像する際、CH1及びCH2は、それぞれ、照明バランス情報44の領域Aに対応付けられている照明値「90」及び照明値「20」に応じた光量にて発光する。
すなわち、S103からS110に示すように、部品保持ノズル27が左前方から右後方に向かって斜めに移動する場合、撮像センサ部29は、右から左に並ぶ複数の部品保持ノズル27-8、27-7、…、27-1(あるいは27-16、27-15、…、27-9)が保持する複数の部品Pを、それぞれ、前方から後方へ並ぶ複数の領域I、H、…、Aにて撮像する。なお、部品保持ノズル27が右前方から左後方に向かって斜めに移動する場合、撮像センサ部29は、左から右に並ぶ複数の部品保持ノズル27-1、27-2、…、27-8(あるいは27-9、27-10、…、27-16)が保持する複数の部品Pを、それぞれ、前方から後方へ並ぶ複数の領域I、H、…、Aにて撮像してよい。
S111として、部品保持ノズル27は、斜め移動を終了する。
S112として、部品認識部50は、S103~S110にて撮像された各部品Pの画像に基づいて、各部品Pの位置及び姿勢等を認識する。
S113として、部品保持ノズル27は、S112における部品認識結果に基づいて、基板W上の部品Pの装着点に移動し、当該部品Pを基板Wの当該装着点に装着する。
S114として、制御部40は、生産が終了したか否かを判定する。そして、制御部40は、生産が終了していないと判定した場合(S114:NO)、S101の処理に戻り、生産が終了したと判定した場合(S114:YES)、本処理を終了する。
(本開示のまとめ)
本開示の内容は以下のように表現することができる。
<表現1>
本開示に係る部品装着装置(1)は、部品(P)を保持し、所定の範囲(60)を通過して、前記部品が装着される基板(W)に向けて移動するノズル(27)と、前記ノズルが前記所定の範囲を通過する際に、前記ノズルが保持する前記部品を撮像する撮像部(29)と、前記所定の範囲を囲んで配置され、前記撮像部が前記部品を撮像するタイミングにて発光する第1照明部(CH1)及び第2照明部(CH2)と、前記撮像部によって撮像された画像に基づいて前記部品を認識する部品認識部(50)と、前記所定の範囲における前記部品の撮像位置に基づいて、前記第1照明部の前記発光の光量と前記第2照明部の前記発光の光量とをそれぞれ制御する制御部(40)と、を備える。
これにより、撮像部が部品を撮像する際に、制御部は、部品の撮像位置に応じて、第1照明部及び第2照明部の光量を個別に制御することができる。よって、部品の撮像位置が所定の範囲の中心からずれている場合であっても、部品を適切に照らして撮像することができ、当該撮像された画像に基づく部品認識において部品認識の検知ずれを抑制できる。
<表現2>
表現1に記載の部品装着装置において、前記制御部は、前記所定の範囲における前記部品の撮像位置が前記第2照明部より前記第1照明部に近い場合、前記第1照明部の光量を前記第2照明部の光量より小さくなるよう制御してよい。
これにより、部品の撮像位置が第2照明部より第1照明部に近い場合であっても、部品を適切に照らして撮像することができる。
<表現3>
表現1又は2に記載の部品装着装置において、前記制御部は、前記所定の範囲における前記部品の撮像位置が前記第1照明部より前記第2照明部に近い場合、前記第2照明部の光量を前記第1照明部の光量より小さくなるよう制御してよい。
これにより、部品の撮像位置が第1照明部より第2照明部に近い場合であっても、部品を適切に照らして撮像することができる。
<表現4>
表現1から3のいずれか1つに記載の部品装着装置において、前記制御部は、前記所定の範囲を分割した各領域と、当該領域における前記第1照明部の光量を定める照明値と、当該領域における前記第2照明部の光量を定める照明値とを対応付けた照明バランス情報(44)を有してよい。加えて、前記制御部は、前記部品の撮像位置が含まれる前記領域を特定し、前記第1照明部の光量及び前記第2照明部の光量のそれぞれを、前記照明バランス情報において当該特定した前記領域に対応付けられている前記第1照明部の照明値及び前記第2照明部の照明値に基づいて制御してよい。
これにより、制御部は、照明バランス情報を用いて、部品の撮像位置に応じた第1照明部及び第2照明部の光量を決定及び制御することができる。
<表現5>
表現4に記載の部品装着装置において、前記複数の領域(例えば領域A~I)は、前記所定の範囲において、前記ノズルが前記部品の保持を行う側である前方(例えばY軸の負方向)から、前記基板が存在する側である後方(例えばY軸の正方向)に向かって並んで配列され、複数の前記ノズルは、前記前方から前記後方を見た場合に左右(例えばX軸の負方向から正方向)に並んで配列され、前記複数のノズルは、前記複数の領域を斜めに通過(T)しながら前方から後方に移動してよい。
これにより、ノズルを斜めに移動させて部品取付作業を高速化すると共に、斜めに移動する部品を、当該部品の撮像位置に応じて適切に照らして撮像することができる。
<表現6>
表現5に記載の部品装着装置において、前記複数のノズルが左前方から右後方へ向かって斜めに移動する場合、前記撮像部は、右から左に並ぶ前記複数のノズルが保持する複数の前記部品を、それぞれ、前方から後方へ並ぶ前記複数の領域にて撮像してよい。
これにより、複数のノズルが保持する複数の部品を、それぞれ、複数の領域にて、当該領域に応じて適切に照らして撮像することができる。
<表現7>
本開示に係る部品装着方法は、部品を保持し、前記部品が装着される基板に向けて移動中のノズルが所定の範囲を通過する際、前記所定の範囲を囲んで配置された第1照明部及び第2照明部のそれぞれの光量を、前記所定の範囲における前記部品の位置に基づいて決定し、前記第1照明部及び前記第2照明部を、それぞれ、決定した前記光量にて発光させると共に、前記ノズルが保持する前記部品を撮像部に撮像させ、前記撮像部によって撮像された画像に基づいて、前記部品を部品認識部に認識させる。
これにより、撮像部が部品を撮像する際に、部品の撮像位置に応じて、第1照明部及び第2照明部の光量を個別に制御することができる。よって、部品の撮像位置が所定の範囲の中心からずれている場合であっても、部品を適切に照らして撮像することができ、当該撮像された画像に基づく部品認識において部品認識の検知ずれを抑制できる。
以上、添付図面を参照しながら実施の形態について説明したが、本開示はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例、修正例、置換例、付加例、削除例、均等例に想到し得ることは明らかであり、それらについても本開示の技術的範囲に属すると了解される。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施の形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。
本開示の技術は、部品を照らして撮像することにより当該部品を認識する装置に有用である。
1 部品装着装置
10 本体機構部
11 実装機本体
12 基台
13 基板搬送機構
14 コンベア部
15 部品供給機構
16 フィーダベース
17 スロット
18 テープフィーダ
19 フィーダカート
20 台車部
21 リール
22 キャリアテープ
23 ヘッドユニット
24 Y軸テーブル機構
25 X軸テーブル機構
26 移動ヘッド
27 部品保持ノズル
28 部品認識カメラ
29 撮像センサ部
29A センターカメラ
29B サイドカメラ
30 筐体
31 照明ユニット部
32 筐体
32p 底壁
32q 側壁
33 反射照明部
34 透過照明部
35 側方照明部
36 基板認識カメラ
37 廃棄ボックス
38 ノズルホルダ
39 同軸照明部
40 制御部
41 記憶部
42 実装情報
43 部品情報
44 照明バランス情報
45 撮像タイミング情報
46 機構駆動部
47 撮像処理部
48 カメラ制御部
50 部品認識部
B 遮蔽板
C 反射板
G 透過ガラス
P 部品
W 基板

Claims (7)

  1. 部品を保持し、所定の範囲を通過して、前記部品が装着される基板に向けて移動するノズルと、
    前記ノズルが前記所定の範囲を通過する際に、前記ノズルが保持する前記部品を撮像する撮像部と、
    前記所定の範囲を囲んで配置され、前記撮像部が前記部品を撮像するタイミングにて発光する第1照明部及び第2照明部と、
    前記撮像部によって撮像された画像に基づいて前記部品を認識する部品認識部と、
    前記所定の範囲における前記部品の撮像位置に基づいて、前記第1照明部の前記発光の光量と前記第2照明部の前記発光の光量とをそれぞれ制御する制御部と、を備える、
    部品装着装置。
  2. 前記制御部は、前記所定の範囲における前記部品の撮像位置が前記第2照明部より前記第1照明部に近い場合、前記第1照明部の光量を前記第2照明部の光量より小さくなるよう制御する、
    請求項1に記載の部品装着装置。
  3. 前記制御部は、前記所定の範囲における前記部品の撮像位置が前記第1照明部より前記第2照明部に近い場合、前記第2照明部の光量を前記第1照明部の光量より小さくなるよう制御する、
    請求項1又は2に記載の部品装着装置。
  4. 前記制御部は、前記所定の範囲を分割した各領域と、当該領域における前記第1照明部の光量を定める照明値と、当該領域における前記第2照明部の光量を定める照明値とを対応付けた照明バランス情報を有し、
    前記制御部は、
    前記部品の撮像位置が含まれる前記領域を特定し、
    前記第1照明部の光量及び前記第2照明部の光量のそれぞれを、前記照明バランス情報において当該特定した前記領域に対応付けられている前記第1照明部の照明値及び前記第2照明部の照明値に基づいて制御する、
    請求項1から3のいずれか1項に記載の部品装着装置。
  5. 前記複数の領域は、前記所定の範囲において、前記ノズルが前記部品の保持を行う側である前方から、前記基板が存在する側である後方に向かって並んで配列され、
    複数の前記ノズルは、前記前方から前記後方を見た場合に左右に並んで配列され、
    前記複数のノズルは、前記複数の領域を斜めに通過しながら前方から後方に移動する、
    請求項4に記載の部品装着装置。
  6. 前記複数のノズルが左前方から右後方へ向かって斜めに移動する場合、前記撮像部は、右から左に並ぶ前記複数のノズルが保持する複数の前記部品を、それぞれ、前方から後方へ並ぶ前記複数の領域にて撮像する、
    請求項5に記載の部品装着装置。
  7. 部品を保持し、前記部品が装着される基板に向けて移動中のノズルが所定の範囲を通過する際、前記所定の範囲を囲んで配置された第1照明部及び第2照明部のそれぞれの光量を、前記所定の範囲における前記部品の位置に基づいて決定し、
    前記第1照明部及び前記第2照明部を、それぞれ、決定した前記光量にて発光させると共に、前記ノズルが保持する前記部品を撮像部に撮像させ、
    前記撮像部によって撮像された画像に基づいて、前記部品を部品認識部に認識させる、
    部品装着方法。
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