JP2022085303A - Thin film transistor substrate and self-light-emitting device - Google Patents
Thin film transistor substrate and self-light-emitting device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022085303A JP2022085303A JP2020196918A JP2020196918A JP2022085303A JP 2022085303 A JP2022085303 A JP 2022085303A JP 2020196918 A JP2020196918 A JP 2020196918A JP 2020196918 A JP2020196918 A JP 2020196918A JP 2022085303 A JP2022085303 A JP 2022085303A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tft
- electrode
- insulating layer
- drain electrode
- semiconductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 256
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 349
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 238
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 112
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 21
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 6
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 46
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 397
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 74
- 238000000034 method Methods 0.000 description 45
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 35
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 29
- 230000008569 process Effects 0.000 description 28
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 description 17
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 16
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 13
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 13
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 11
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 9
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 9
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 5
- 101150079545 elc1 gene Proteins 0.000 description 5
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 4
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 3
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 3
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 3
- -1 for example Substances 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 2
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 2
- XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P ceric ammonium nitrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[Ce+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N coumarin Chemical compound C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 2
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 2
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- NGQSLSMAEVWNPU-YTEMWHBBSA-N 1,2-bis[(e)-2-phenylethenyl]benzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1\C=C\C1=CC=CC=C1 NGQSLSMAEVWNPU-YTEMWHBBSA-N 0.000 description 1
- KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 1,4,4-triphenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)=CC=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KYGSXEYUWRFVNY-UHFFFAOYSA-N 2-pyran-2-ylidenepropanedinitrile Chemical class N#CC(C#N)=C1OC=CC=C1 KYGSXEYUWRFVNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018509 Al—N Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical compound N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018503 SF6 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YBCVMFKXIKNREZ-UHFFFAOYSA-N acoh acetic acid Chemical compound CC(O)=O.CC(O)=O YBCVMFKXIKNREZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229960000956 coumarin Drugs 0.000 description 1
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 1
- 150000004775 coumarins Chemical class 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 125000000040 m-tolyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C([H])C(=C1[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000013081 microcrystal Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- LFLZOWIFJOBEPN-UHFFFAOYSA-N nitrate, nitrate Chemical compound O[N+]([O-])=O.O[N+]([O-])=O LFLZOWIFJOBEPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- QVLTXCYWHPZMCA-UHFFFAOYSA-N po4-po4 Chemical compound OP(O)(O)=O.OP(O)(O)=O QVLTXCYWHPZMCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000005315 stained glass Substances 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N sulfur hexafluoride Chemical compound FS(F)(F)(F)(F)F SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960000909 sulfur hexafluoride Drugs 0.000 description 1
- 229940042055 systemic antimycotics triazole derivative Drugs 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 125000005259 triarylamine group Chemical group 0.000 description 1
- ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N triphenylamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
Description
本開示は、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor;TFT)および、薄膜トランジスタ基板およびそれを備えた自発光装置に関するものである。 The present disclosure relates to a thin film transistor (TFT), a thin film transistor substrate, and a self-luminous device including the thin film transistor substrate.
近年、有機EL(Electro Luminescence;EL)素子およびLED(Light Emitting Diode;LED)素子のような発光素子を備えた照明装置や表示装置等の電子機器が広く用いられるようになっている。 In recent years, electronic devices such as lighting devices and display devices equipped with light emitting elements such as organic EL (Electro Luminescence; EL) elements and LED (Light Emitting Diode; LED) elements have been widely used.
発光素子を単に点灯させるだけでなく、色の異なる複数の発光素子を制御して様々な色を発光させたり、文字や画像をアクティブに表示したりするための発光素子実装基板として、TFTをスイッチング素子として用いたアクティブマトリックス基板(以下「TFT基板」という)が知られている。このようなTFT基板では、発光(表示)性能の向上に必要なTFT特性の高性能化および高信頼性化が要求されるだけでなく、TFTの構造や製造工程を簡略化して製造を効率的に行うことによる低コスト化が要求される。さらに、TFT基板上に発光素子を高密度に実装し、滑らかで鮮明な表示を実現するために、TFTの小型化や配線の高密度化が要求される。 The TFT is switched as a light emitting element mounting substrate for not only lighting the light emitting element but also controlling multiple light emitting elements having different colors to emit various colors and actively displaying characters and images. An active matrix substrate (hereinafter referred to as "TFT substrate") used as an element is known. Such a TFT substrate not only requires high performance and high reliability of TFT characteristics necessary for improving light emission (display) performance, but also simplifies the structure and manufacturing process of the TFT to make manufacturing efficient. Cost reduction is required by doing this. Further, in order to mount the light emitting element on the TFT substrate at high density and realize smooth and clear display, it is required to reduce the size of the TFT and increase the density of wiring.
有機EL素子は、アノード電極とカソード電極の間に有機EL素子を含む電界発光層を挟んだ構造を基本構成とし、アノード電極とカソード電極との間に電圧を加えて有機EL素子に電流を供給することによって、有機EL素子が発光する。LED素子は、p型半導体層とn型半導体層との間に発光層を挟んだ構造を基本構成とし、p型半導体層に接続された電極とn型半導体層に接続された電極との間に電圧を加えてLEDに順方向電流を供給することによって、LEDが発光する。 The organic EL element has a basic structure in which an electric field light emitting layer including an organic EL element is sandwiched between an anode electrode and a cathode electrode, and a current is applied between the anode electrode and the cathode electrode to supply a current to the organic EL element. By doing so, the organic EL element emits light. The LED element has a basic structure in which a light emitting layer is sandwiched between a p-type semiconductor layer and an n-type semiconductor layer, and is between an electrode connected to the p-type semiconductor layer and an electrode connected to the n-type semiconductor layer. By applying a voltage to the LED to supply a forward current to the LED, the LED emits light.
有機EL素子やLED素子のような発光素子を、TFT基板上に平面状に複数形成して発光を制御する場合、発光素子を駆動するための基本的な素子駆動回路は、少なくとも2つのTFTと1つの保持容量とで構成することができる。2つのTFTのうち、1つは発光させる発光素子を選択する(切り替える)ための選択TFTであり、もう1つは発光素子を発光させるための電流を供給するための素子駆動TFTである。保持容量は、例えば、素子駆動TFTのゲート電極を一方の電極とし、素子駆動TFTのソース電極またはドレイン電極をもう一方の電極として、この2つの電極の間に絶縁層を挟んで成る構成とすることができる。 When a plurality of light emitting elements such as organic EL elements and LED elements are formed in a plane on a TFT substrate to control light emission, the basic element drive circuit for driving the light emitting element is at least two TFTs. It can be configured with one holding capacity. Of the two TFTs, one is a selection TFT for selecting (switching) a light emitting element to emit light, and the other is an element drive TFT for supplying a current for causing the light emitting element to emit light. The holding capacity is configured, for example, with the gate electrode of the element-driven TFT as one electrode and the source electrode or drain electrode of the element-driven TFT as the other electrode, with an insulating layer sandwiched between the two electrodes. be able to.
選択TFTのゲート電極およびソース電極は、それぞれ走査線(ゲート線)および信号線(ソース線)に接続される。よって、ある走査線が選択されると、その走査線にゲート電極が接続した選択TFTがオンとなり、当該選択TFTのソース電極に接続した信号線からドレイン電極を通して信号電圧が保持容量に蓄積される。保持容量に蓄積された信号電圧は、素子駆動TFTのゲート電極に印加され、素子駆動TFTがオンとなり、設定された電流が素子駆動TFTのドレイン電極から出力される。それにより、素子駆動TFTのドレイン電極に接続された発光素子に電流が供給され、当該発光素子が発光状態となる。この発光状態は次の書き込みが行われるまで保持される。このような素子駆動回路の基本構成は、例えば下記の特許文献1に開示されている。
The gate electrode and the source electrode of the selected TFT are connected to the scanning line (gate line) and the signal line (source line), respectively. Therefore, when a certain scanning line is selected, the selective TFT connected to the scanning line by the gate electrode is turned on, and the signal voltage from the signal line connected to the source electrode of the selected TFT is accumulated in the holding capacity through the drain electrode. .. The signal voltage accumulated in the holding capacitance is applied to the gate electrode of the element-driven TFT, the element-driven TFT is turned on, and the set current is output from the drain electrode of the element-driven TFT. As a result, a current is supplied to the light emitting element connected to the drain electrode of the element drive TFT, and the light emitting element is put into a light emitting state. This light emitting state is maintained until the next writing is performed. The basic configuration of such an element drive circuit is disclosed in, for example,
このようなTFT基板に用いられるTFTの半導体チャネル層としては、従来、アモルファス(非晶質)シリコン(a-Si)がよく用いられている。その主な理由として、a-Siはアモルファスであるが故に特性の均一性がよい膜を形成できること、a-Si膜を用いれば簡単な層構成でTFTを形成できること、また、a-Si膜は比較的低温(例えば350℃以下)で形成できるので、耐熱性に劣る安価なガラス基板上にTFTを形成してコストを抑制したり、さらに耐熱性に劣る樹脂製基板上にTFTを形成して折り曲げが可能なTFT基板を製造したりできること、などが挙げられる。しかしながら、a-Siで形成されたTFT(a-Si-TFT)は駆動能力が低いため、電流制御によって素子を駆動する発光素子用TFT基板に用いる場合には、TFTの小型化・高密度化に限界があった。 Conventionally, amorphous silicon (a—Si) is often used as the semiconductor channel layer of the TFT used in such a TFT substrate. The main reasons for this are that since a-Si is amorphous, it is possible to form a film with good uniformity of characteristics, and if an a-Si film is used, a TFT can be formed with a simple layer structure, and the a-Si film is Since it can be formed at a relatively low temperature (for example, 350 ° C. or lower), a TFT can be formed on an inexpensive glass substrate having poor heat resistance to suppress costs, or a TFT can be formed on a resin substrate having poor heat resistance. It is possible to manufacture a foldable TFT substrate. However, since a TFT (a-Si-TFT) made of a-Si has a low driving ability, when it is used for a TFT substrate for a light emitting element that drives an element by current control, the TFT is made smaller and has a higher density. There was a limit to.
一方、例えば特許文献2および3、非特許文献1に開示されているように、酸化物半導体をチャネル層に用いたTFT(酸化物半導体TFT)が開発され、近年、その実用化が進められている。酸化物半導体としては、酸化亜鉛(ZnO)系、酸化亜鉛(ZnO)に酸化ガリウム(Ga2O3)および酸化インジウム(In2O3)を添加したInGaZnO系などが挙げられる。
On the other hand, as disclosed in, for example,
酸化物半導体は、組成を適正化することによって、比較的低温でも均一性がよいアモルファス状態の膜が安定的に得られる上、酸化物半導体TFTはa-Si-TFTよりも高い駆動能力を有するため、小型で高性能なTFTを実現できるという利点がある。 By optimizing the composition of the oxide semiconductor, an amorphous film having good uniformity can be stably obtained even at a relatively low temperature, and the oxide semiconductor TFT has a higher driving ability than the a-Si-TFT. Therefore, there is an advantage that a compact and high-performance TFT can be realized.
しかし、酸化物半導体は、一般的に薬液耐性に乏しく、シュウ酸(Oxalic Acid)系のような弱酸系の薬液でも容易に溶けてしまうという性質がある。従って、従来のa-Siで主流となっている層構成の簡単なBCE(バックチャネルエッチング)型TFTに酸化物半導体を用いる場合、チャネル層の直上のソース電極およびドレイン電極を、酸薬液を用いたウエットエッチングで形成すると、チャネル層の酸化物半導体もエッチングされてしまい、信頼性の高いチャネル領域を形成することができないという問題があった。 However, oxide semiconductors generally have poor chemical resistance and have the property of being easily dissolved even in weak acid chemicals such as oxalic acid. Therefore, when an oxide semiconductor is used for a BCE (back channel etching) type TFT having a simple layer structure, which is the mainstream of conventional a-Si, an acid chemical solution is used for the source electrode and drain electrode directly above the channel layer. If it is formed by wet etching, the oxide semiconductor of the channel layer is also etched, and there is a problem that a highly reliable channel region cannot be formed.
特許文献1では、発光素子駆動用のTFTとしてa-Siよりも駆動能力の高いポリシリコン(p-Si)を半導体チャネル層として用いた例が開示されている。しかしながら、p-Si-TFTは構造が複雑で製造工程が多く、また、少なくとも600℃以上の高温工程が必要で石英ガラスのような高価なガラスを必要とするため、低コストで製造することが難しい。
また、特許文献4には、酸化物半導体をチャネル層に用いた有機EL駆動用のTFT基板の平面構造およびTFTの層構成の例が開示されている。例えば特許文献4のFig.7に開示されたTFT基板では、選択TFTおよび素子駆動TFTの両方が、ソース電極およびドレイン電極とチャネル層との間にエッチストッパ(etch-stopper;ES)層を備えたES型TFTで構成されている。ES型TFTでは、チャネル層上のソース電極およびドレイン電極の形成が酸薬液を用いたウエットエッチングで行われても、酸化物半導体がエッチングされないため、信頼性の高いTFTを製造することができる。
Further,
しかし、ES型TFTの製造には、ES層を形成するための工程が必要であるため、製造工程の増加を招いてしまう。さらに、選択TFTと素子駆動TFTとが同じ構造であると、選択TFTのドレイン電極と素子駆動TFTのゲート電極(DG)とを電気的に接続するために、ゲート絶縁層にコンタクトホールを形成する工程が必要であり、これも製造工程の増加を招く要因となる。コストが増大するという問題がある。 However, since the manufacturing of the ES type TFT requires a step for forming the ES layer, the number of manufacturing steps is increased. Further, when the selection TFT and the element drive TFT have the same structure, a contact hole is formed in the gate insulating layer in order to electrically connect the drain electrode of the selection TFT and the gate electrode (DG) of the element drive TFT. A process is required, which also causes an increase in the manufacturing process. There is a problem that the cost increases.
また、例えば特許文献4のFig.6には、TFT基板の各素子領域に、選択TFT、素子駆動TFTおよび保持容量の他に、選択TFTのソース電極に接続され縦方向(列方向)に延びる信号線と、素子駆動TFTのソース電極に接続されて縦方向に延びる素子駆動用の電流供給配線と、選択TFTのゲート電極に接続されて横方向(行方向)に延びる走査線と、が配設された例が示されている。この例では、選択TFTおよび素子駆動TFTそれぞれのソース電極およびドレイン電極と、信号線と、電流供給配線とが、同層の導電膜を用いて形成されている。この場合、隣り合う信号線と電融供給配線との間隔は、導電膜をパターニングする際の写真製版工程の精度(分解能)およびエッチング工程の精度による制約を受け、例えば2μm程度にまで狭くするのが限界である。それ以上に間隔を狭くすると、パターニング不良やエッチング不良によって、信号線と電融供給配線とがうまく分離せず、配線間短絡が発生して歩留まりが低下する。これと同様の理由から、選択TFTおよび素子駆動TFTそれぞれのソース電極とドレイン電極との間隔も狭くすることが難しく、チャネル長を短縮することによるTFTの小型化には限界がある。 Further, for example, Fig. In each element region of the TFT substrate, in addition to the selection TFT, the element drive TFT and the holding capacity, a signal line connected to the source electrode of the selection TFT and extending in the vertical direction (column direction), and a source of the element drive TFT are shown in 6. An example is shown in which a current supply wiring for driving an element connected to an electrode and extending in the vertical direction and a scanning line connected to the gate electrode of the selective TFT and extending in the horizontal direction (row direction) are arranged. .. In this example, the source and drain electrodes of the selective TFT and the element drive TFT, respectively, the signal line, and the current supply wiring are formed by using the conductive film of the same layer. In this case, the distance between the adjacent signal lines and the electric fusion supply wiring is limited by the accuracy (resolution) of the photoplate making process and the accuracy of the etching process when patterning the conductive film, and is narrowed to, for example, about 2 μm. Is the limit. If the interval is made narrower than that, the signal line and the electric fusion supply wiring will not be separated well due to poor patterning or etching, and a short circuit will occur between the wirings, resulting in a decrease in yield. For the same reason, it is difficult to narrow the distance between the source electrode and the drain electrode of each of the selective TFT and the element drive TFT, and there is a limit to the miniaturization of the TFT by shortening the channel length.
以上のように、発光素子駆動用のTFT基板には、TFTの製造工程の簡略化による低コスト化が難しく、また、発光素子を高密度に実装するためのTFTの小型化や配線間隔の縮小化が難しいという課題がある。 As described above, it is difficult to reduce the cost of the TFT substrate for driving the light emitting element by simplifying the manufacturing process of the TFT, and the TFT is downsized and the wiring interval is reduced for mounting the light emitting element at high density. There is a problem that it is difficult to convert.
本開示は以上のような課題を解決するためになされたものであり、TFT基板の製造工程の簡略化、および、TFT基板で駆動する発光素子の高密度実装を可能にすることを目的とする。 The present disclosure has been made to solve the above problems, and an object thereof is to simplify the manufacturing process of the TFT substrate and to enable high-density mounting of a light emitting element driven by the TFT substrate. ..
本開示に係る薄膜トランジスタ基板は、基板と、前記基板上に設けられた、トップゲート型の第1の薄膜トランジスタおよびボトムゲート型の第2の薄膜トランジスタと、を備え、前記第1の薄膜トランジスタは、前記基板上に設けられた第1のドレイン電極と、前記第1のドレイン電極上に設けられた第1の保護絶縁層と、前記第1の保護絶縁層上に設けられた第1のソース電極と、前記第1の保護絶縁層上に設けられ、前記第1の保護絶縁層を貫通する第1の開口部を通して前記第1のドレイン電極に接するとともに、前記第1のソース電極の上面に接する第1の半導体層と、前記第1の半導体層上に設けられた第1のゲート絶縁層と、前記第1のゲート絶縁層上に設けられた第1のゲート電極と、前記第1の半導体層における前記第1の開口部と前記第1のソース電極との離間領域に対応する部分である第1のチャネル領域と、を有し、前記第2の薄膜トランジスタは、前記基板上に設けられた第2のゲート電極と、前記第2のゲート電極上に設けられた第2のゲート絶縁層と、前記第2のゲート絶縁層上に設けられた第2のソース電極と、前記第2のゲート絶縁層上に設けられ、前記第2のソース電極の上面に接する第2の半導体層と、前記第2のソース電極上および前記第2の半導体層上に設けられた第2の保護絶縁層と、前記第2の保護絶縁層上に設けられ、前記第2の保護絶縁層を貫通する第2の開口部を通して前記第2の半導体層に接する第2のドレイン電極と、前記第2の半導体層における前記第2の開口部と前記第2のソース電極との離間領域に対応する部分である第2のチャネル領域と、を有し、前記第1のドレイン電極および前記第2のゲート電極は、同じ第1の導電膜で構成され、前記第1の保護絶縁層および前記第2のゲート絶縁層は、同じ第1の絶縁膜で構成され、前記第1のソース電極および前記第2のソース電極は、同じ第2の導電膜で構成され、前記第1の半導体層および前記第2の半導体層は、同じ半導体膜で構成され、前記第1のゲート絶縁層および前記第2の保護絶縁層は、同じ第2の絶縁膜で構成され、前記第1のゲート電極および第2のドレイン電極は、同じ第3の導電膜で構成される。 The thin film semiconductor substrate according to the present disclosure includes a substrate and a top gate type first thin film film and a bottom gate type second thin film film provided on the substrate, and the first thin film film is the substrate. A first drain electrode provided on the top, a first protective insulating layer provided on the first drain electrode, and a first source electrode provided on the first protective insulating layer. A first that is provided on the first protective insulating layer and is in contact with the first drain electrode through a first opening penetrating the first protective insulating layer and is in contact with the upper surface of the first source electrode. In the semiconductor layer, the first gate insulating layer provided on the first semiconductor layer, the first gate electrode provided on the first gate insulating layer, and the first semiconductor layer. The second semiconductor film having a first channel region, which is a portion corresponding to a region corresponding to a separation region between the first opening and the first source electrode, is provided on the substrate. Gate electrode, a second gate insulating layer provided on the second gate electrode, a second source electrode provided on the second gate insulating layer, and the second gate insulating layer. A second semiconductor layer provided above and in contact with the upper surface of the second source electrode, a second protective insulating layer provided on the second source electrode and on the second semiconductor layer, and the above-mentioned A second drain electrode provided on the second protective insulating layer and in contact with the second semiconductor layer through a second opening penetrating the second protective insulating layer, and the said in the second semiconductor layer. It has a second channel region, which is a portion corresponding to a region corresponding to a separation region between the second opening and the second source electrode, and the first drain electrode and the second gate electrode are the same second. The first protective insulating layer and the second gate insulating layer are composed of the same first insulating film, and the first source electrode and the second source electrode are composed of the same first insulating film. The first semiconductor layer and the second semiconductor layer are made of the same semiconductor film, and the first gate insulating layer and the second protective insulating layer are the same. It is composed of a second insulating film, and the first gate electrode and the second drain electrode are composed of the same third conductive film.
本開示に係るTFT基板によれば、トップゲート型の第1の薄膜トランジスタおよびボトムゲート型の第2の薄膜トランジスタの各層の構成が共通化されるため、製造工程の簡略化が可能になる。また、それぞれの薄膜トランジスタにおいて、ソース電極とドレイン電極とが、半導体層または絶縁層を挟んで互いに別層に設けられるため、TFTのチャネル長を短くでき、TFTを小型化できる。 According to the TFT substrate according to the present disclosure, since the configurations of each layer of the top gate type first thin film transistor and the bottom gate type second thin film transistor are standardized, the manufacturing process can be simplified. Further, in each thin film transistor, the source electrode and the drain electrode are provided in separate layers with the semiconductor layer or the insulating layer interposed therebetween, so that the channel length of the TFT can be shortened and the TFT can be miniaturized.
本開示の目的、特徴、態様、および利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。 The purposes, features, embodiments, and advantages of the present disclosure will be made clearer by the following detailed description and accompanying drawings.
以下の実施の形態に示すTFTおよびそれを備えるTFT基板は、有機EL素子およびLED素子のような発光素子を備えた照明装置や表示装置等の自発光装置に広く用いることができる。例えば、照明装置としては、発光素子を単に点灯させるものだけでなく、色の異なる複数の発光素子を制御して様々な色を発光させたり、文字や画像をアクティブに表示したりできる照明装置に用いることができる。また、表示装置としては、発光素子を画素として用いた自発光型表示装置に用いることができ、その他にも、液晶表示装置(Liquid Crystal display;LCD)のバックライト用の自発光装置にも用いることができる。さらに、様々な信号駆動回路を有する半導体装置にも適用することができる。 The TFT shown in the following embodiment and the TFT substrate provided with the TFT can be widely used in a self-luminous device such as a lighting device or a display device provided with a light emitting element such as an organic EL element and an LED element. For example, as a lighting device, not only a lighting device that simply lights a light emitting element, but also a lighting device that can control a plurality of light emitting elements having different colors to emit various colors and actively display characters and images. Can be used. Further, as the display device, it can be used for a self-luminous display device using a light emitting element as a pixel, and also used for a self-luminous device for a backlight of a liquid crystal display (LCD). be able to. Further, it can be applied to a semiconductor device having various signal drive circuits.
<実施の形態1>
(1-1)TFT基板の構成
図1は、実施の形態1に係るTFT基板100の構成を概略的に示す断面図である。TFT基板100は、第1のTFT101(第1の薄膜トランジスタ)および第2のTFT102(第2の薄膜トランジスタ)を備えている。図1においては、第1のTFT101が形成される領域である第1のTFT部を左側に、第2のTFT102が形成される領域である第2のTFT部を右側に示している。第1のTFT101および第2のTFT102は、透明絶縁性を有する同一の基板1上に配設されている。基板1は、例えば樹脂(プラスチック)基板、ガラス基板などである。
<
(1-1) Configuration of TFT Substrate FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the
(1-2)第1のTFT101の構成
第1のTFT101は、トップゲート構造によってチャネルを保護するトップゲート型の薄膜トランジスタである。第1のTFT101においては、基板1上に、第1の導電膜で構成されるドレイン電極2(第1のドレイン電極)が設けられ、その上に第1の絶縁膜で構成される保護絶縁層4(第1の保護絶縁層)が設けられている。保護絶縁層4には、ドレイン電極2の表面の一部を露出させる開口部6(第1の開口部)が設けられている。
(1-2) Configuration of
保護絶縁層4上には、下層のドレイン電極2との間に一定の間隔を有するように、第2の導電膜で構成されるソース電極7E(第1のソース電極)が設けられる。さらに保護絶縁層4上には、ソース電極7Eの上面および側面の一部と接するとともに、開口部6を通して下層のドレイン電極2と接するように、半導体膜で構成される半導体層9(第1の半導体層)が設けられている。半導体層9の下層のソース電極7Eおよびドレイン電極2は、半導体層9と重なる領域内で互いに一定の間隔をあけて設けられており、半導体層9におけるソース電極7Eと開口部6内のドレイン電極2とで挟まれた離間領域が、第1のTFT101のチャネル領域CL1(第1のチャネル領域)として規定される。
A
そして、保護絶縁層4上、ソース電極7Eおよび半導体層9上に、第2の絶縁膜で構成されるゲート絶縁層11(第1のゲート絶縁層)が設けられている。さらに、半導体層9のチャネル領域CL1と重なる領域のゲート絶縁層11上に、第3の導電膜で構成されるゲート電極14E(第1のゲート電極)が設けられている。
A gate insulating layer 11 (first gate insulating layer) composed of a second insulating film is provided on the protective insulating
チャネル領域CL1の保護絶縁層4は、半導体層9のチャネル領域CL1をプロセスダメージ等から保護するチャネル保護層(第1のチャネル保護層)として機能する。従って、第1のTFT101は、特性および信頼性に優れたTFTとなる。
The protective
ここで、TFTのチャネル領域の長さ(チャネル長)は、ソース電極とドレイン電極の離間距離で規定される。ソース電極とドレイン電極とが同じ導電膜の同層で形成される場合、ソース電極とドレイン電極の離間距離は、パターニング加工時のレジストマスクの写真製版工程の分解精度で決まる。導電膜のエッチング加工の精度も加味すれば、ソース電極とドレイン電極の離間距離の加工能力はせいぜい2μm程度である(離間距離を2μm未満に設定すると、レジストパターン不良やエッチング不良によってソース電極とドレイン電極間の短絡不良が多発する)。 Here, the length of the channel region (channel length) of the TFT is defined by the separation distance between the source electrode and the drain electrode. When the source electrode and the drain electrode are formed of the same layer of the same conductive film, the separation distance between the source electrode and the drain electrode is determined by the decomposition accuracy of the photoplate making process of the resist mask during the patterning process. Considering the accuracy of etching of the conductive film, the processing ability of the separation distance between the source electrode and the drain electrode is at most about 2 μm (when the separation distance is set to less than 2 μm, the source electrode and the drain are caused by the resist pattern defect or the etching defect. Frequent short-circuit defects between electrodes).
これに対し、第1のTFT101では、ソース電極7Eとドレイン電極2とが保護絶縁層4を挟んでそれぞれ別層に設けられている。従って、ソース電極7Eと開口部6内のドレイン電極2との(平面視における)離間距離は、ソース電極7Eおよび開口部6の配置の位置精度でのみ規定されるため、離間距離を2μm未満にすることも可能である。このため、第1のTFT101のチャネル領域CL1を小さくすることができ、第1のTFT101全体のサイズを小型化することができる。
On the other hand, in the
(1-3)第2のTFT102の構成
第2のTFT102は、ボトムゲート構造でチャネルを保護するボトムゲート型の薄膜トランジスタである。第2のTFT102においては、基板1上に、第1の導電膜で構成されるゲート電極3(第2のゲート電極)が設けられ、ゲート電極3を覆うように、第1の絶縁膜で構成されるゲート絶縁層5(第2のゲート絶縁層)が設けられている。ゲート絶縁層5上には、第2の導電膜で構成されるソース電極8(第2のソース電極)が設けられている。そして、ゲート絶縁層5上のゲート電極3と重なる領域に、ソース電極8の上面および側面の一部と接するように、半導体膜で構成される半導体層10(第2の半導体層)が設けられている。さらに、ゲート絶縁層5上、ソース電極8上および半導体層10上に、第2の絶縁膜で構成される保護絶縁層12(第2の保護絶縁層)が設けられている。
(1-3) Configuration of
半導体層10と重なる領域の保護絶縁層12には、下層の半導体層10の表面が露出するように、開口部13(第2の開口部)が設けられている。そして、保護絶縁層12上には、開口部13を通して半導体層10と接するように、第3の導電膜で構成されるドレイン電極15(第2のドレイン電極)が設けられている。
The protective insulating
ソース電極8およびドレイン電極15は、半導体層10と重なる領域内で互いに一定の間隔をあけて設けられており、半導体層10におけるソース電極8と開口部13内のドレイン電極15とで挟まれる離間領域が、第2のTFT102のチャネル領域CL2(第2のチャネル領域)として規定される。
The
チャネル領域CL2上の保護絶縁層12は、半導体層10のチャネル領域CL2をプロセスダメージ等から保護するチャネル保護層(第2のチャネル保護層)として機能する。従って、第2のTFT102は、特性および信頼性に優れたTFTとなる。
The protective insulating
また、第2のTFT102では、ソース電極8とドレイン電極15とが半導体層10および保護絶縁層12を挟んでそれぞれ別層に設けられている。従って、ソース電極8と開口部13内のドレイン電極15との(平面視における)離間距離は、ソース電極8と開口部13の配置の位置精度でのみ規定されるため、第2のTFT102のチャネル領域CL2を小さくすることができ、TFT全体のサイズを小型化することができる。
Further, in the
さらに、第1のTFT101においてソース電極7Eと半導体層9との接触面積を低減し、また、第2のTFT102においてソース電極8と半導体層10との接触面積を低減することによって、第1のTFT101および第2のTFT102のサイズをさらに小型化することができる。
Further, by reducing the contact area between the
以上説明したように、実施の形態1のTFT基板100によれば、トップゲート構造のチャネル保護型の第1のTFT101と、ボトムゲート構造のチャネル保護型の第2のTFT102という、互いに異なる構造および特性を有する2種類のTFTを、簡単な層構成で同じ基板上に配設することができるとともに、各TFTのサイズを容易に小型化することができる。
As described above, according to the
(1-4)TFT基板100の製造方法
以下、実施の形態1に係るTFT基板100の製造方法について、図2~図6を用いて説明する。なお、製造の最終工程図は、図1に対応している。
(1-4) Manufacturing Method of
まず、ガラス等の透明絶縁性を有する基板1を洗浄液または純水を用いて洗浄する。実施の形態1では、厚さ0.5mmのガラス基板を基板1として用いた。そして、洗浄された基板1の一方の主面上に第1の導電膜を形成する。
First, the
第1の導電膜としては、例えばクロム(Cr)、モリブデン(Mo)、チタン(Ti)、銅(Cu)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、アルミニウム(Al)等の金属、またはこれらに他の元素を微量に添加した合金等を用いることができる。また、第1の導電膜を、これらの金属または合金を2層以上含む積層構造としてもよい。これらの金属、合金を用いることによって、比抵抗値が50μΩcm以下の低抵抗な導電膜を得ることができる。 Examples of the first conductive film include metals such as chromium (Cr), molybdenum (Mo), titanium (Ti), copper (Cu), tantalum (Ta), tungsten (W), and aluminum (Al), or these. An alloy or the like to which a small amount of other elements are added can be used. Further, the first conductive film may have a laminated structure containing two or more layers of these metals or alloys. By using these metals and alloys, a low resistance conductive film having a specific resistance value of 50 μΩcm or less can be obtained.
実施の形態1では、第1の導電膜としてMoを使用し、アルゴン(Ar)ガスを用いたスパッタリング法でMo膜を200nmの厚さに形成した。その後、Mo膜上にフォトレジスト材を塗布し、1回目の写真製版工程でフォトレジストパターンを形成し、当該フォトレジストパターンをマスクにして、Mo膜をエッチングによりパターニングする。ここでは、リン酸(Phosphoric Acid)、酢酸(Acetic Acid)および硝酸(Nitric Acid)を含む溶液(PAN薬液)によるウエットエッチングを用いた。その後、フォトレジストパターンを除去することで、図2に示すように、基板1上に、第1のTFT101のドレイン電極2(第1のドレイン電極)および第2のTFT102のゲート電極3(第2のゲート電極)が同時に形成される。
In the first embodiment, Mo was used as the first conductive film, and a Mo film was formed to a thickness of 200 nm by a sputtering method using an argon (Ar) gas. Then, a photoresist material is applied onto the Mo film, a photoresist pattern is formed in the first photoplate making step, and the Mo film is patterned by etching using the photoresist pattern as a mask. Here, wet etching with a solution (PAN chemical solution) containing phosphoric acid (Phosphoric Acid), acetic acid (Acetic Acid) and nitric acid (Nitric Acid) was used. After that, by removing the photoresist pattern, as shown in FIG. 2, the drain electrode 2 (first drain electrode) of the
次に、基板1の主面上の全体に第1の絶縁膜を形成する。実施の形態1では、化学的気相成膜(Chemical Vapor Deposition;CVD)法を用いて、第1の絶縁膜として酸化シリコン膜(SiO膜)を形成した。ここでは、厚さ300nmのSiO膜を、約300℃の基板加熱条件下で形成した。なお、第1の絶縁膜は、SiO膜に限ることなく、他にも例えば窒化シリコン膜(SiN膜)を用いることができる。SiN膜もSiO膜と同様にCVD法で成膜することができる。また、SiO膜とSiN膜との積層膜としてもよい。
Next, the first insulating film is formed on the entire main surface of the
続いて、第1の絶縁膜上に第2の導電膜を形成する。第2の導電膜としては、第1の導電膜と同様にArガスを用いたスパッタリング法でMo膜を200nmの厚さに形成した。その後、Mo膜上にフォトレジスト材を塗布し、2回目の写真製版工程でフォトレジストパターンを形成し、これをマスクにして、PAN薬液を用いたウエットエッチングによりパターニングする。その後、フォトレジストパターンを除去することで、図3に示すように、第1の絶縁膜上に、第1のTFT101のソース電極7E(第1のソース電極)および第2のTFT102のソース電極8(第2のソース電極)が同時に形成される。
Subsequently, a second conductive film is formed on the first insulating film. As the second conductive film, the Mo film was formed to a thickness of 200 nm by a sputtering method using Ar gas as in the first conductive film. Then, a photoresist material is applied on the Mo film, a photoresist pattern is formed in the second photoplate making step, and this is used as a mask for patterning by wet etching using a PAN chemical solution. Then, by removing the photoresist pattern, as shown in FIG. 3, the
次に、3回目の写真製版工程で第1の絶縁膜であるSiO膜上にフォトレジストパターンを形成し、これをマスクとしてSiO膜をエッチングする。このエッチング工程では、フッ素(F)を含むガス、例えば六フッ化硫黄(SF6)ガスまたは四フッ化炭素(CF4)ガスを用いたドライエッチング法を用いることができる。 Next, in the third photoplate making step, a photoresist pattern is formed on the SiO film which is the first insulating film, and the SiO film is etched using this as a mask. In this etching step, a dry etching method using a gas containing fluorine (F), for example, sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas or carbon tetrafluoride (CF 4 ) gas can be used.
その後、フォトレジストパターンを除去することで、図4に示すように、第1のTFT101のドレイン電極2の表面の一部を露出させる開口部6(第1の開口部)が形成される。なお、第1のTFT部の第1の絶縁膜は、その後の工程における第1の半導体層形成時に、第1の半導体層をドレイン電極2から受けるダメージから保護する保護絶縁層4(第1のチャネル保護層)として機能し、第2のTFT部の第1の絶縁膜は、ゲート絶縁層5(第2のゲート絶縁層)として機能する。
After that, by removing the photoresist pattern, as shown in FIG. 4, an opening 6 (first opening) that exposes a part of the surface of the
次に、第1の絶縁膜上、ソース電極7E上およびソース電極8上に半導体膜を形成する。実施の形態1では、半導体膜として酸化物半導体膜を形成する。具体的には、インジウム(In)とガリウム(Ga)と亜鉛(Zn)と酸素(O)を含む酸化物(InGaZnO)を用いる。ここでは、In:Ga:Zn:Oの原子組成比が1:1:1:4であるInGaZnOターゲットを用い、Arガスを用いたスパッタリング法で酸化物半導体膜(InGaZnO膜)を形成した。
Next, a semiconductor film is formed on the first insulating film, the
この場合、通常は、Oの原子組成比が化学量論組成よりも少なく、Oイオン欠乏状態(上記の例ではOの組成比が4未満)の酸化物膜となってしまう。従って、Arガスに酸素(O2)ガスを混合させてスパッタリングすることが好ましい。実施の形態1では、Arガスに対して分圧比で10%のO2ガスを添加した混合ガスを用いて、スパッタリングし、InGaZnO膜を50nmの厚さで形成した。InGaZnO膜は、アモルファス(非晶質)構造で形成される。アモルファス構造のInGaZnO膜は、一般的に結晶化温度が500℃超であり、常温では膜中の大部分が非晶質構造のままで安定する。非晶質構造は、一部が結晶化された微結晶構造や多結晶構造に比べて構造の均一性を高くすることができる。従って、基板が大型化した場合でも基板全体に特性のバラツキが小さい半導体膜を形成することができる利点がある。 In this case, the atomic composition ratio of O is usually smaller than that of the stoichiometric composition, resulting in an oxide film in an O ion-deficient state (in the above example, the composition ratio of O is less than 4). Therefore, it is preferable to mix oxygen (O 2 ) gas with Ar gas and perform sputtering. In the first embodiment, an InGaZnO film was formed with a thickness of 50 nm by sputtering using a mixed gas in which O 2 gas having a partial pressure ratio of 10% was added to Ar gas. The InGaZnO film is formed with an amorphous structure. The InGaZnO film having an amorphous structure generally has a crystallization temperature of more than 500 ° C., and at room temperature, most of the film remains stable with an amorphous structure. The amorphous structure can have higher structural uniformity than a partially crystallized microcrystal structure or a polycrystalline structure. Therefore, even when the size of the substrate is increased, there is an advantage that a semiconductor film having a small variation in characteristics can be formed on the entire substrate.
次に、4回目の写真製版工程でInGaZnO膜上にフォトレジストパターンを形成し、これをマスクとしてInGaZnO膜をエッチングする。このエッチング工程では、シュウ酸(Oxalic Acid)薬液によるウエットエッチングを用いることができる。その後、フォトレジストパターンを除去する。 Next, in the fourth photoplate making step, a photoresist pattern is formed on the InGaZnO film, and the InGaZnO film is etched using this as a mask. In this etching step, wet etching with an oxalic acid chemical solution can be used. After that, the photoresist pattern is removed.
その結果、図5に示すように、第1のTFT101においては、保護絶縁層4上に、ソース電極7Eの上面および側面の一部と接するとともに、開口部6を通して下層のドレイン電極2と接するように、半導体層9(第1の半導体層)が形成される。ソース電極7Eとドレイン電極2とは、保護絶縁層4を挟んでそれぞれ別層に設けられているとともに半導体層9と重なる領域内で互いに一定の間隔を有するように形成されており、ソース電極7Eと開口部6内のドレイン電極2との離間領域が、第1のTFT101のチャネル領域CL1(第1のチャネル領域)として規定される。また、第2のTFT102においては、ゲート絶縁層5上に半導体層10(第2の半導体層)が形成される。半導体層10は、ゲート絶縁層5上のゲート電極3と重なる領域に、ソース電極8の上面および側面の一部と接するように形成される。
As a result, as shown in FIG. 5, in the
実施の形態1のように、半導体層として酸化物半導体膜をスパッタリング法で形成する場合、下層にソース電極7Eおよびドレイン電極2のような金属膜が露出していると、スパッタリング中に酸化物半導体が金属と反応し、還元(Oイオン欠乏)状態の特性が劣化した酸化物半導体膜が形成されてしまう場合がある。しかしながら、実施の形態1の第1のTFT101の場合は、開口部6の部分を除くドレイン電極2全体が保護絶縁層4で覆われているので、少なくともドレイン電極2ではこの現象を防止することができる。よって、保護絶縁層4は、半導体層9のチャネル領域CL1を保護するチャネル保護層(第1のチャネル保護層)として機能する。
When an oxide semiconductor film is formed as a semiconductor layer by a sputtering method as in the first embodiment, if a metal film such as a
その後、基板1を大気雰囲気下で400℃の温度で熱処理する。この熱処理によって半導体層9および半導体層10の非晶質のInGaZnO膜が構造緩和を起こし、半導体特性をさらに安定させることができる。なお、構造緩和とは、膜形成およびウエットエッチング等のプロセスダメージに起因する構成原子の格子欠陥を減らし、非晶質構造がより安定化する現象である。
Then, the
非晶質のInGaZnO膜に上記の構造緩和を起こさせるための熱処理の温度は、少なくとも300℃以上であることが好ましい。一方、500℃を超えると膜全体で結晶化が始まり半導体特性が大きく変化し、例えばキャリア密度増大により導体化してしまう。従って、ここでは少なくとも基板1を300℃以上500℃以下の温度で熱処理することが好ましい。なお、このような熱処理は、製造工程の最後に実施するようにしてもよい。
The temperature of the heat treatment for causing the above-mentioned structural relaxation of the amorphous InGaZnO film is preferably at least 300 ° C. or higher. On the other hand, when the temperature exceeds 500 ° C., crystallization starts in the entire film and the semiconductor characteristics change significantly, and the semiconductor becomes a conductor due to an increase in carrier density, for example. Therefore, here, it is preferable to heat-treat at least the
次に、基板1の主面上の全体に第2の絶縁膜を形成する。実施の形態1では、第2の絶縁膜として、CVD法で厚さ300nmのSiO膜を約200℃の基板加熱条件下で形成した。なお、第2の絶縁膜は、SiO膜に限られず、他にも例えばSiN膜を用いることができる。また、SiO膜とSiN膜との積層膜としてもよい。
Next, a second insulating film is formed on the entire main surface of the
次に、5回目の写真製版工程で第2の絶縁膜であるSiO膜上にフォトレジストパターンを形成し、これをマスクとしてSiO膜をエッチングする。このエッチング工程では、SF6ガスまたはCF4ガスを用いたドライエッチング法を用いることができる。 Next, in the fifth photoplate making step, a photoresist pattern is formed on the SiO film which is the second insulating film, and the SiO film is etched using this as a mask. In this etching step, a dry etching method using SF 6 gas or CF 4 gas can be used.
その後、フォトレジストパターンを除去することで、図6に示すように、第2のTFT部の第2の絶縁膜に、半導体層10の表面の一部を露出させる開口部13(第2の開口部)が形成される。第1のTFT部の第2の絶縁膜は、ゲート絶縁層11(第1のゲート絶縁層)として機能する。また、第2のTFT部の第2の絶縁膜は、後の工程で形成されるドレイン電極15(第2のドレイン電極)からの加工プロセスダメージを防止する保護絶縁層12(第2のチャネル保護層)として機能する。
After that, by removing the photoresist pattern, as shown in FIG. 6, the opening 13 (second opening) that exposes a part of the surface of the
次に、第2の絶縁膜上に第3の導電膜を形成する。第3の導電膜としては、第1の導電膜と同じように、例えばCr、Mo、Ti、Cu、Ta、W、Al等の金属、またはこれらに他の元素を微量に添加した合金等を用いることができる。また、これらの金属または合金を2層以上含む積層構造としてもよい。これらの金属または合金を用いることによって、比抵抗値が50μΩcm以下の低抵抗な導電膜を得ることができる。 Next, a third conductive film is formed on the second insulating film. As the third conductive film, as in the case of the first conductive film, for example, a metal such as Cr, Mo, Ti, Cu, Ta, W, Al, or an alloy obtained by adding a small amount of other elements to these is used. Can be used. Further, a laminated structure containing two or more layers of these metals or alloys may be used. By using these metals or alloys, a low resistance conductive film having a specific resistance value of 50 μΩcm or less can be obtained.
実施の形態1では、第3の導電膜としてMo膜を用い、Arガスを用いたスパッタリング法でMo膜を200nmの厚さに形成した。その後、Mo膜上にフォトレジスト材を塗布し、6回目の写真製版工程でフォトレジストパターンを形成し、これをマスクにしてPAN薬液を用いたウエットエッチングによりMo膜をパターニングする。その後、フォトレジストパターンを除去することで、図1に示すように、基板1上に、第1のTFT101のゲート電極14E(第1のゲート電極)が形成され、同時に第2のTFT102のドレイン電極15(第2のドレイン電極)が形成される。
In the first embodiment, a Mo film was used as the third conductive film, and the Mo film was formed to a thickness of 200 nm by a sputtering method using Ar gas. After that, a photoresist material is applied on the Mo film, a photoresist pattern is formed in the sixth photoplate-making step, and the Mo film is patterned by wet etching using a PAN chemical solution using this as a mask. After that, by removing the photoresist pattern, as shown in FIG. 1, the
第2のTFT102のドレイン電極15は、開口部13を通して半導体層10と接するように形成される。ソース電極8とドレイン電極15は、半導体層10と保護絶縁層12とを挟んでそれぞれ別層に設けられているとともに、半導体層10と重なる領域内で互いに一定の間隔を有して設けられており、ソース電極8と開口部13のドレイン電極15とで挟まれる離間領域が、第2のTFT102のチャネル領域CL2として規定されている。
The
一般的に酸化物半導体膜は薬液耐性に乏しく、半導体層10の材料であるInGaZnO膜は、第3の導電膜のウエットエッチングに用いられるPAN薬液にも容易に溶けてしまう。しかしながら、第2のTFT102では、開口部13を除く基板1の全面が絶縁膜で構成される保護絶縁層12で覆われており、特に半導体層10のチャネル領域CL2上では保護絶縁層12はチャネル保護層(エッチングストッパ;ES)として機能する。従って、プロセスダメージのない信頼性の高いTFTを得ることができる。
Generally, the oxide semiconductor film has poor chemical resistance, and the InGaZnO film, which is the material of the
以上のように、実施の形態1に係るTFT基板100は、第1のTFT101と第2のTFT102とが、互いにゲート電極とソース電極およびドレイン電極との位置関係(上下関係)は異なるものの、両者の半導体層が同一の半導体膜で構成され、かつそれぞれの電極や絶縁層を含めた各層の導電膜や絶縁膜が共通化できるように構成されている。従って、動作安定性および信頼性に優れるトップゲート構造でチャネル保護型の第1のTFT101と、ボトムゲート構造でチャネル保護型の第2のTFT102という、互いに異なる構造を有する2種類のTFTを、6回の写真製版工程を用いて生産性よく低コストで製造することができる。
As described above, in the
また、第1のTFT101および第2のTFT102では、それぞれのソース電極とドレイン電極とが互いに別層に分けて設けられている。これにより、ソース電極とドレイン電極との離間距離を容易に狭小化することができ、各TFTのサイズを小型化することができる。各TFTのサイズを小型化することで、基板1上の一定面積当たりにより多くのTFTを配設することができる。
Further, in the
<実施の形態2>
(2-1)装置構成
図7は、実施の形態2に係るTFT基板110の全体構成を模式的に示す平面図である。図7に示すように、TFT基板110は、基板1上に、少なくとも第1のTFT101、第2のTFT102および発光素子領域PXを含む素子領域がマトリックス状に配列された素子配設領域150と、素子配設領域150の外側に隣接する額縁領域160とに大きく分けられる。発光素子領域PXには、発光素子が配置されており、TFT基板110は、発光素子駆動用のTFT基板として機能する。本実施の形態では、発光素子領域PXに配置される発光素子として、エレクトロルミネッセンス(EL)素子23が用いられている。
<
(2-1) Device Configuration FIG. 7 is a plan view schematically showing the overall configuration of the
なお、図7において、TFT基板110の輪郭形状は四角形で示されているが、これに限られず、例えば円形または楕円形のような曲線を含む形状であってもよい。また、TFT基板110は、平坦なものに限られず、湾曲や折り曲げができるフレキシブルなものであってもよい。
Although the contour shape of the
図7に示すように、素子配設領域150には、複数の走査(ゲート)配線14L(第3の配線)と複数のデータ(ソース)配線7L(第1の配線)とが互いに直交するように交差して配設されている。個々の素子領域は、走査配線14Lとデータ配線7Lで規定される。各素子領域には、発光素子領域PXに配置されたEL素子23と、EL素子23を駆動するための発光素子駆動回路であるEL素子駆動回路ELC1とが設けられている。また、素子配設領域150には、複数の駆動電流配線16(第2の配線)が、複数のデータ配線7Lと隣接して平行に配設されている。
As shown in FIG. 7, in the
図8に、EL素子駆動回路ELC1の構成を模式的に示す。EL素子駆動回路ELC1は、走査配線14Lとデータ配線7Lとの交差部に設けられた第1のTFT101(第1の薄膜トランジスタ)と、走査配線14Lと駆動電流配線16との交差部に設けられた第2のTFT102(第2の薄膜トランジスタ)とを有している。第1のTFT101のゲート電極14Eは走査配線14Lと電気的に接続され、第1のTFT101のソース電極7Eはデータ配線7Lと電気的に接続されている。第1のTFT101は、走査配線14Lおよびデータ配線7Lの信号に対応して発光させるEL素子23を選択するための選択TFTとして機能する。
FIG. 8 schematically shows the configuration of the EL element drive circuit ELC1. The EL element drive circuit ELC1 is provided at the intersection of the first TFT 101 (first thin film transistor) provided at the intersection of the
第2のTFT102のゲート電極3は、第1のTFT101のドレイン電極2と電気的に接続される。また、第2のTFT102のソース電極8は駆動電流配線16と電気的に接続され、ドレイン電極15はEL素子23を駆動させるためのアノード(陽)電極20と電気的に接続されている。またEL素子23のカソード(陰)電極26は、例えばEL素子23の上面側で接地電位に接続されている。
The
また、第2のTFT102には、ゲート電極3とドレイン電極15との間に接続された保持容量CsAが設けられている。第1のTFT101のドレイン電極2から出力された選択信号が保持容量CsAに書き込まれると、書き込まれた電圧によってゲート電極3に電圧が印加され第2のTFT102が動作して、駆動電流配線16からの発光信号電流が、駆動電流として第2のTFT102からアノード電極20を通してEL素子23に供給され、それによってEL素子23が発光する。
Further, the
TFT基板110の額縁領域160には、走査配線14Lに走査信号電圧を与える走査信号駆動回路170と、データ配線7Lおよび駆動電流配線16にそれぞれデータ信号および駆動信号を与える表示信号駆動回路180とが設けられている。走査信号駆動回路170は、走査配線14Lの端部に設けられた走査配線端子14Tに接続されている。表示信号駆動回路180は、データ配線7Lの端部および駆動電流配線16の端部にそれぞれ設けられたデータ配線端子7Tおよび駆動電流配線端子16Tに接続されている。
In the
なお、実施の形態2では、TFT基板110上の額縁領域160に走査信号駆動回路170および表示信号駆動回路180を配設するようにしたが、これらをTFT基板110上に配設せずに、外部の駆動IC(Integrated Circuit)として、TAB(Tape Automated Bonding)方式またはCOG(Chip On Glass)方式等でTFT基板110上の走査配線端子14T上、データ配線端子7T上および駆動電流配線端子16T上に実装するようにしてもよい。
In the second embodiment, the scanning
次に、図9および図10を参照して、実施の形態2に係るTFT基板110のより詳細な構成について説明する。図9は、TFT基板110の素子配設領域150(図7)内に埋設され、第1のTFT101、第2のTFT102、保持容量CsAおよび発光素子領域PXを含む素子領域の平面構成を示す部分平面図であり、図10は、素子領域の断面構成を示す部分断面図である。
Next, a more detailed configuration of the
図9におけるX1-X2線は、第1のTFT101、第2のTFT102および保持容量CsAに渡り、Y1-Y2線は、第2のTFT102のドレイン電極15から発光素子領域PXに渡るように設けられており、X1-X2線に沿った断面図を図10の左側に、Y1-Y2線に沿った断面図を図10の右側に示している。
The X1-X2 wire in FIG. 9 is provided so as to extend over the
なお、実施の形態2の第1のTFT101および第2のTFT102は、実施の形態1の第1のTFT101および第2のTFT102と基本的に同じ構成であるため、これらと同じ構成要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
Since the
TFT基板110は透明絶縁性の基板1の一方の主面上に各種の要素が配設されている。基板1は、例えばガラス、プラスチックまたは樹脂等の透明かつ絶縁性の材料で構成される。なお、基板1の平面形状は、図7に例示した四角形に限定されるものではない。
In the
図10のX1-X2線に沿った断面図に示すように、基板1上の第1のTFT101には、第1の導電膜で構成されるドレイン電極2(第1のドレイン電極)が設けられ、これらを覆うように第1の絶縁膜で構成される保護絶縁層4(第1の保護絶縁層)が設けられている。保護絶縁層4には、ドレイン電極2の表面の一部を露出させる開口部6(第1の開口部)が設けられている。
As shown in the cross-sectional view taken along the line X1-X2 of FIG. 10, the
また、第2のTFT102には、第1の導電膜で構成されるゲート電極3(第2のゲート電極)および駆動電流配線16(第2の配線)が設けられ、これらを覆うように第1の絶縁膜で構成されるゲート絶縁層5(第2のゲート絶縁層)が設けられている。ゲート絶縁層5には、駆動電流配線16の表面の一部を露出させる開口部17(第3の開口部)が設けられている。
Further, the
図9に示されるように、平面視で、第1のTFT101のドレイン電極2と第2のTFT102のゲート電極3は、連続した一体パターンで設けられている。駆動電流配線16は縦方向(Y方向)に延在するように配設されている。
As shown in FIG. 9, in a plan view, the
図10のX1-X2線に沿った断面図に示すように、第1のTFT101の保護絶縁層4上に、第2の導電膜で構成されるソース電極7E(第1のソース電極)が設けられている。また、第2のTFT102のゲート絶縁層5上に、第2の導電膜で構成されるソース電極8(第2のソース電極)が設けられている。ソース電極8は、開口部17を通して下層の駆動電流配線16に接している。
As shown in the cross-sectional view taken along the line X1-X2 of FIG. 10, a
図9に示されるように、平面視で、データ配線7Lが駆動電流配線16と隣接するように縦方向に平行して延在するように配設されている。第1のTFT101のソース電極7Eは、データ配線7Lの一部分である。すなわち、データ配線7Lは、駆動電流配線16とは異なる第2の導電膜で構成され、第1の絶縁膜を挟んで駆動電流配線16とは別層に配設されている。そして、データ配線7Lにおいて第1のTFT101に隣接する近傍部分がソース電極7Eとなっている。また、第2のTFT102のソース電極8は、ゲート電極3と駆動電流配線16と重なるように配設され、開口部17を通して下層の駆動電流配線16に接している。
As shown in FIG. 9, in a plan view, the data wiring 7L is arranged so as to extend in parallel in the vertical direction so as to be adjacent to the drive
図10のX1-X2線に沿った断面図に示すように、第1のTFT101の保護絶縁層4上に、半導体膜で構成される半導体層9(第1の半導体層)が設けられている。半導体層9は、下層のソース電極7Eの上面および側面の一部と接するとともに、開口部6を通して下層のドレイン電極2と接している。半導体層9の下層のソース電極7Eおよびドレイン電極2は、半導体層9と重なる領域内で互いに一定の間隔を有して設けられており、ソース電極7Eと開口部6内のドレイン電極2との離間領域が、第1のTFT101のチャネル領域CL1(第1のチャネル領域)として規定される。また、第2のTFT102のゲート絶縁層5上に、半導体膜で構成される半導体層10(第2の半導体層)が設けられている。半導体層10は、下層のソース電極8の上面および側面の一部と接している。
As shown in the cross-sectional view taken along the line X1-X2 of FIG. 10, a semiconductor layer 9 (first semiconductor layer) composed of a semiconductor film is provided on the protective insulating
図9に示されるように、平面視で、第1のTFT101の半導体層9は、互いに一定の間隔を有して設けられたソース電極7Eとドレイン電極2とに跨るように島状のパターンで配設され、開口部6を通してドレイン電極2と接している。また、第2のTFT102の半導体層10は、ゲート電極3に重なる領域に島状のパターンで配設されている。
As shown in FIG. 9, in a plan view, the
図10のX1-X2線に沿った断面図に示すように、第1のTFT101の保護絶縁層4、ソース電極7Eおよび半導体層9を覆うように、第2の絶縁膜で構成されるゲート絶縁層11(第1のゲート絶縁層)が設けられている。また、第2のTFT102のゲート絶縁層5、ソース電極8および半導体層10を覆うように、第2の絶縁膜で構成される保護絶縁層12(第2の保護絶縁層)が設けられている。保護絶縁層12には、下層の半導体層10の表面の一部が露出するように、開口部13(第2の開口部)が設けられている。
As shown in the cross-sectional view taken along the line X1-X2 of FIG. 10, the gate insulating composed of the second insulating film so as to cover the protective insulating
そして、第1のTFT101の半導体層9と重なる領域のゲート絶縁層11上には、第3の導電膜で構成されるゲート電極14E(第1のゲート電極)が設けられている。また、第2のTFT102の保護絶縁層12上には、開口部13を通して半導体層10と接するように、第3の導電膜で構成されるドレイン電極15(第2のドレイン電極)が設けられている。半導体層10の下層のソース電極8と上層のドレイン電極15とは、半導体層10と重なる領域内で互いに一定の間隔を有して設けられており、ソース電極8と開口部13内のドレイン電極15との離間領域が、第2のTFT102のチャネル領域CL2として規定される。
A
図9に示されるように、平面視で、第1のTFT101のゲート電極14Eは、ソース電極7Eとドレイン電極2とが互いに対向するように分離された領域において、半導体層9と重なるように配設されている。また、ゲート電極14Eから延在する走査配線14Lが、データ配線7Lおよび駆動電流配線16と直交するように横方向(X方向)に延在して設けられている。すなわち、走査配線14Lは、第3の導電膜で構成され、ゲート電極14Eと連続した一体パターンで設けられている。
As shown in FIG. 9, in a plan view, the
また、図9に示されるように、平面視で、第2のTFT102のドレイン電極15は、半導体層10と重ならない領域で、ゲート電極3(または第1のTFT101のドレイン電極2)のパターンと重なって、これらよりもY方向の幅が広くなるように配設されている。図10のX1-X2線に沿った断面図に示されるように、ゲート電極3(またはドレイン電極2)とドレイン電極15との間には、ゲート絶縁層5(第1の絶縁膜)と保護絶縁層12が設けられており、ドレイン電極15とゲート電極3とが重なる領域によって保持容量CsAが形成される。
Further, as shown in FIG. 9, in a plan view, the
図10のX1-X2線に沿った断面図またはY1-Y2線に沿った断面図に示すように、第1のTFT101のゲート電極14Eと走査配線14L、および第2のTFT102のドレイン電極15を覆うように、基板1全面に第3の絶縁膜で構成される保護絶縁層18(第3の保護絶縁層)が設けられている。保護絶縁層18には、第2のTFT102のドレイン電極15の表面の一部を露出させるように開口部19(第4の開口部)が設けられている。そして、保護絶縁層18上に、開口部19を通してドレイン電極15に接続されるとともに発光素子領域PXまで延在するように、第4の導電膜で構成されるアノード(陽)電極20が設けられている。
As shown in the cross-sectional view taken along the line X1-X2 or the cross-sectional view taken along the line Y1-Y2 in FIG. 10, the
さらに、アノード電極20上および保護絶縁層18上には、第4の絶縁膜で構成されるバンク層21が設けられている。発光素子領域PXではアノード電極20の表面が露出するようにバンク層21にはバンク開口部22が設けられ、バンク開口部22に露出したアノード電極20上には発光素子として機能するEL素子23が設けられている。
Further, a
また、図9に示されるように、発光素子領域PXは、平面視で、走査配線14L、データ配線7Lおよび駆動電流配線16によって囲まれた領域で規定されている。アノード電極20は、ドレイン電極15と重なる領域に設けられた開口部19と重なる領域から、発光素子領域PXまで延在するように設けられている。図9では、アノード電極20はデータ配線7Lまたは駆動電流配線16と重ならないように配設されているが、一部が重なるように配設されていてもよい。また、バンク層21に設けられるバンク開口部22は、アノード電極20と重なる領域でアノード電極20からはみ出さないように配設されるとともに、隣り合うバンク開口部22がバンク層21によって隔離(分離)され、互いに独立した態様で配設されている。そしてEL素子23が、バンク開口部22の領域全面にアノード電極20からはみ出さないように配設されている。
Further, as shown in FIG. 9, the light emitting element region PX is defined by a region surrounded by the
実施の形態2において、EL素子23は、例えば有機系材料で構成される有機EL素子が用いられる。有機EL素子の構成としては、アノード電極20の直上にホール輸送層、有機EL層および電子輸送層が順に積層された3層構造とすることができる。さらにその直上に、アノード電極20の対極となる図示されないカソード(陰)電極が設けられる。アノード電極20とカソード電極との間の電位差によりEL素子23に電流が供給され、EL素子23が発光する。
In the second embodiment, as the
発光した光は、例えば、下方のアノード電極20を、光を反射させるメタル膜とし、上方のカソード電極を、光を透過させる透明導電膜で構成することで、基板1の上方に放射することができる。また、逆に下方のアノード電極20を透明導電膜とし、上方のカソード電極をメタル膜で構成することで、透明な基板1を通して下方に放射することができる。さらに、アノード電極20とカソード電極をともに透明導電膜で構成することで、基板1の両面から光を放射することもできる。
For example, the emitted light can be radiated above the
実施の形態2に係るTFT基板110は以上のように構成される。EL素子23を含むTFT基板110には、さらにEL素子23を水分および不純物から遮断するための封止層が設けられる。さらに、TFT基板110と対向するように対向基板が設けられることで、有機EL素子を用いた自発光装置用のTFT基板が構成される。
The
(2-2)製造方法
次に、実施の形態2に係るTFT基板110の製造方法について、図11~図28を用いて説明する。なお、図11~図28では、図9を最終工程図とする平面図と、図10を最終工程図とする断面図とを交互に示しておいる。また、各断面図においては、図9のX1-X2線に沿った断面を左側に、Y1-Y2線に沿った断面を右側に示している。
(2-2) Manufacturing Method Next, the manufacturing method of the
まず、基板1を洗浄液または純水を用いて洗浄する。実施の形態2では、厚さ0.5mmのガラス基板を基板1として用いた。そして、洗浄された基板1の一方の主面上に、第1の導電膜を成膜する。
First, the
第1の導電膜としては、Arガスを用いたスパッタリング法でCr膜を200nmの厚さに形成した。その後、Cr膜上にフォトレジスト材を塗布し、1回目の写真製版工程でフォトレジストパターンを形成し、当該フォトレジストパターンをマスクにして、Cr膜をエッチングによりパターニングする。ここでは、硝酸第2セリウムアンモニウム(Cerium Ammonium Nitrate)を含む溶液(CAN薬液)によるウエットエッチングを用いた。その後、フォトレジストパターンを除去することによって、図11および図12に示すように、基板1上に、第1のTFT101のドレイン電極2、第2のTFT102のゲート電極3および駆動電流配線16が同時に形成される。
As the first conductive film, a Cr film was formed to a thickness of 200 nm by a sputtering method using Ar gas. Then, a photoresist material is applied onto the Cr film, a photoresist pattern is formed in the first photoplate making step, and the Cr film is patterned by etching using the photoresist pattern as a mask. Here, wet etching with a solution (CAN chemical solution) containing 2nd cerium ammonium nitrate (Cerium Ammonium Nitrate) was used. Then, by removing the photoresist pattern, as shown in FIGS. 11 and 12, the
また、図11に示されるように、平面視で、ドレイン電極2とゲート電極3は、連続した一体パターンで形成されている。また、駆動電流配線16は縦方向(Y方向)に延在するように形成されている。
Further, as shown in FIG. 11, in a plan view, the
次に、基板1の主面上の全体に第1の絶縁膜を形成する。実施の形態2では、第1の絶縁膜として、CVD法を用いて厚さ300nmのSiO膜を、約300℃の基板加熱条件下で形成した。なお、第1の絶縁膜は、SiO膜に限ることなく、他にも例えばSiN膜を用いることができる。SiN膜もSiO膜と同様にCVD法で成膜することができる。また、SiO膜とSiN膜との積層膜としてもよい。
Next, the first insulating film is formed on the entire main surface of the
次に、2回目の写真製版工程で第1の絶縁膜であるSiO膜上にフォトレジストパターンを形成し、これをマスクとしてSiO膜をエッチングする。このエッチング工程では、SF6ガスまたはCF4ガスを用いたドライエッチング法を用いることができる。 Next, in the second photoplate making step, a photoresist pattern is formed on the first insulating film, the SiO film, and the SiO film is etched using this as a mask. In this etching step, a dry etching method using SF 6 gas or CF 4 gas can be used.
その後、フォトレジストパターンを除去することで、図13および図14に示されるように、第1のTFT101において、ドレイン電極2の表面の一部を露出させる開口部6が、第2のTFT102において、駆動電流配線16の表面の一部を露出させる開口部17が、それぞれ形成される。図14に示すように、第1のTFT部の第1の絶縁膜は、後の工程における第1の半導体層形成時に、第1の半導体層をドレイン電極2から受けるダメージから保護する保護絶縁層4として機能し、第2のTFT102の第1の絶縁膜はゲート絶縁層5として機能する。
Then, by removing the photoresist pattern, as shown in FIGS. 13 and 14, the
次に、第1の絶縁膜上に第2の導電膜を形成する。実施の形態2では、第2の導電膜として、Arガスを用いたスパッタリング法でMo膜を200nmの厚さに形成した。その後、Mo膜上にフォトレジスト材を塗布し、3回目の写真製版工程でフォトレジストパターンを形成し、これをマスクにして、PAN薬液を用いたウエットエッチングによりパターニングする。その後、フォトレジストパターンを除去することで、図15および図16に示されるように、第1の絶縁膜上に、第1のTFT101のソース電極7E、第2のTFT102のソース電極8およびデータ配線7Lが同時に形成される。
Next, a second conductive film is formed on the first insulating film. In the second embodiment, the Mo film was formed to a thickness of 200 nm by a sputtering method using Ar gas as the second conductive film. Then, a photoresist material is applied on the Mo film, a photoresist pattern is formed in the third photoplate making step, and this is used as a mask for patterning by wet etching using a PAN chemical solution. Then, by removing the photoresist pattern, as shown in FIGS. 15 and 16, the
図15に示されるように、データ配線7Lは、駆動電流配線16と隣接するように縦方向(Y方向)に平行して配設されている。第1のTFT101のソース電極7Eは、データ配線7Lの一部分である。すなわち、データ配線7Lにおいて第1のTFT101に隣接する近傍部分がソース電極7Eとなっている。第2のTFT102のソース電極8は、ゲート電極3から駆動電流配線16に跨るように島状のパターンで配設されている。また図16に示されるように、ソース電極8は開口部17を通して下層の駆動電流配線16に接している。
As shown in FIG. 15, the data wiring 7L is arranged in parallel in the vertical direction (Y direction) so as to be adjacent to the drive
なお、開口部6では下層の第1の導電膜からなるドレイン電極2の表面が露出するが、実施の形態2では、第1の導電膜をCr膜で形成し、第2の導電膜をMo膜で形成しているため、Mo膜をPAN液でウエットエッチングした場合でも、Cr膜から構成されるドレイン電極2の表面はエッチングされることはない。
The surface of the
次に、第1の絶縁膜上、ソース電極7E上、ソース電極8上およびデータ配線7L上に半導体膜を形成する。実施の形態2では、半導体膜として酸化物半導体膜を形成する。具体的にはIn:Ga:Zn:Oの原子組成比が1:1:1:4であるInGaZnOターゲットを用い、Arガスに分圧比10%のO2ガスを添加した混合ガスを用いたスパッタリング法で酸化物半導体膜である非晶質InGaZnO膜を50nmの厚さで形成した。
Next, a semiconductor film is formed on the first insulating film, on the
次に、4回目の写真製版工程でInGaZnO膜上にフォトレジストパターンを形成し、これをマスクとしてInGaZnO膜をシュウ酸薬液でウエットエッチングする。その後、フォトレジストパターンを除去することで、図17および図18に示すように、第1のTFT101の半導体層9および第2のTFT102の半導体層10が同時に形成される。
Next, in the fourth photoplate making step, a photoresist pattern is formed on the InGaZnO film, and the InGaZnO film is wet-etched with an oxalic acid chemical solution using this as a mask. Then, by removing the photoresist pattern, as shown in FIGS. 17 and 18, the
図17に示されるように、第1のTFT101の半導体層9は、互いに一定の間隔を有して形成されたソース電極7Eとドレイン電極2に跨るように島状のパターンで形成される。また、第2のTFT102の半導体層10は、ゲート電極3に重なる領域に島状のパターンで形成される。
As shown in FIG. 17, the
図18に示されるように、第1のTFT101の半導体層9は、下層のソース電極7Eの上面および側面の一部と接するとともに、開口部6を通して下層のドレイン電極2と接するように形成される。半導体層9の下層のソース電極7Eおよびドレイン電極2は、半導体層9と重なる領域内で互いに一定の間隔を有して設けられており、ソース電極7Eと開口部6内のドレイン電極2との離間領域が、第1のTFT101のチャネル領域CL1として規定される。また第2のTFT102の半導体層10は、下層のソース電極8の上面および側面の一部と接している。
As shown in FIG. 18, the
実施の形態2のように、半導体層として酸化物半導体膜をスパッタリング法で形成する場合、下層にソース電極7Eおよびドレイン電極2のような金属膜が露出していると、スパッタリング中に酸化物半導体が金属と反応し、還元(Oイオン欠乏)状態の特性が劣化した酸化物半導体膜が形成されてしまう場合がある。しかしながら、実施の形態2の第1のTFT101の場合は、開口部6を除くドレイン電極2全体が保護絶縁層4で覆われているので、少なくともドレイン電極2ではこの現象を防止することができる。すなわち、チャネル領域CL1の保護絶縁層4は、半導体層9のチャネル保護層として機能する。
When an oxide semiconductor film is formed as a semiconductor layer by a sputtering method as in the second embodiment, if a metal film such as a
その後、基板1を大気雰囲気下で400℃の温度で熱処理する。この熱処理によって半導体層9および半導体層10の非晶質のInGaZnO膜が構造緩和を起こし、半導体特性をさらに安定させることができる。非晶質InGaZnO膜に上記の構造緩和を起こさせるための熱処理の温度は、少なくとも300℃以上であることが好ましい。一方、500℃を超えると膜全体で結晶化が始まり半導体特性が大きく変化し、例えばキャリア密度増大により導体化してしまうことがある。従って、ここでは少なくとも基板1を300℃以上500℃以下の温度で熱処理することが好ましい。なお、このような熱処理は、製造工程の最後に実施するようにしてもよい。
Then, the
次に、基板1の主面上の全体に第2の絶縁膜を形成する。実施の形態2では、第2の絶縁膜として、CVD法で厚さ300nmのSiO膜を約200℃の基板加熱条件下で形成した。なお、第2の絶縁膜は、SiO膜に限ることなく、他にも例えばSiN膜を用いることができる。また、SiO膜とSiN膜との積層膜としてもよい。
Next, a second insulating film is formed on the entire main surface of the
次に、5回目の写真製版工程で第2の絶縁膜であるSiO膜上にフォトレジストパターンを形成し、これをマスクとしてSiO膜をエッチングする。このエッチング工程では、SF6ガスまたはCF4ガスを用いたドライエッチング法を用いることができる。 Next, in the fifth photoplate making step, a photoresist pattern is formed on the SiO film which is the second insulating film, and the SiO film is etched using this as a mask. In this etching step, a dry etching method using SF 6 gas or CF 4 gas can be used.
その後、フォトレジストパターンを除去することで、図19および図20に示すように、第2のTFT部の第2の絶縁膜に、半導体層10の表面の一部を露出させる開口部13が形成される。第1のTFT部の第2の絶縁膜は、第1のTFT101のゲート絶縁層11として機能する。また第2のTFT部の第2の絶縁膜は、後の工程で形成されるドレイン電極15から半導体層10が受ける加工プロセスダメージを防止する保護絶縁層12(チャネル保護層)として機能する。
After that, by removing the photoresist pattern, as shown in FIGS. 19 and 20, an
次に、第2の絶縁膜上に第3の導電膜を形成する。実施の形態2では、第2の導電膜としてArガスを用いたスパッタリング法でMo膜を200nmの厚さに形成した。その後、Mo膜上にフォトレジスト材を塗布し、6回目の写真製版工程でフォトレジストパターンを形成し、当該フォトレジストパターンをマスクにして、Mo膜を、PAN薬液を用いたウエットエッチングによりパターニングする。その後、フォトレジストパターンを除去することによって、図21および図22に示すように、第1のTFT101のゲート電極14Eが形成され、同時に第2のTFT102のドレイン電極15が形成される。
Next, a third conductive film is formed on the second insulating film. In the second embodiment, the Mo film was formed to a thickness of 200 nm by a sputtering method using Ar gas as the second conductive film. After that, a photoresist material is applied on the Mo film, a photoresist pattern is formed in the sixth photoplate making step, and the Mo film is patterned by wet etching using a PAN chemical solution using the photoresist pattern as a mask. .. Then, by removing the photoresist pattern, as shown in FIGS. 21 and 22, the
第1のTFT101のゲート電極14Eは、ソース電極7Eとドレイン電極2とが互いに分離された領域において、下層の半導体層9のチャネル領域CL1と重なるように形成されている。半導体層9のチャネル領域CL1は、ゲート絶縁層11で保護されているので、プロセスダメージのない信頼性の高いTFTを得ることができる。
The
図21に示されるように、第1のTFT101のゲート電極14Eから延在する走査配線14Lが、データ配線7Lおよび駆動電流配線16と直交するように横方向(X方向)に延在して設けられている。すなわち、走査配線14Lは、第3の導電膜で構成され、ゲート電極14Eと連続した一体パターンで設けられている。
As shown in FIG. 21, the
図22に示されるように、第2のTFT102のドレイン電極15は、開口部13を通して半導体層10と接するように形成される。ソース電極8とドレイン電極15は、半導体層10および保護絶縁層12を挟んでそれぞれ別層に設けられているとともに半導体層10と重なる領域内で互いに一定の間隔を有するように形成されており、ソース電極8と開口部13内のドレイン電極15との離間領域が、第2のTFT102のチャネル領域CL2(第2のチャネル領域)として規定される。
As shown in FIG. 22, the
一般的に酸化物半導体膜は薬液耐性に乏しく、半導体層10の材料であるInGaZnO膜は、第2の導電膜のウエットエッチングに用いられるPAN薬液にも容易に溶けてしまう。しかしながら、第1のTFT101では、半導体層9は全面がゲート絶縁層11で覆われて保護されている。また第2のTFT102では、開口部13を除く半導体層10の全面が保護絶縁層12で覆われているので、特にチャネル領域CL2上ではチャネル保護層(エッチングストッパ;ES層)として機能する。従って、プロセスダメージのない信頼性の高いTFTを得ることができる。
Generally, the oxide semiconductor film has poor chemical resistance, and the InGaZnO film, which is the material of the
図21に示されるように、平面視で、第2のTFT102のドレイン電極15は、半導体層10と重ならない領域で、ゲート電極3および第1のTFT101のドレイン電極2のパターンと重なって、これらよりもY方向の幅が広くなるように形成されている。ドレイン電極15とゲート電極3が重なる領域によって保持容量CsAが形成される。
As shown in FIG. 21, in a plan view, the
次に、基板1の主面上の全体に保護絶縁層18(第3の保護絶縁層)となる第3の絶縁膜を形成する。実施の形態2では、第3の絶縁膜として、樹脂系の塗布膜を用いる。具体的には感光性を有する透明アクリル樹脂膜を、スピンコート法を用いて塗布形成した。このような透明アクリル樹脂膜を形成することにより、下層の電極パターンの段差および絶縁膜の開口部パターンの段差等に起因する基板表面の凹凸形状をほぼ平坦にすることができる。
Next, a third insulating film to be a protective insulating layer 18 (third protective insulating layer) is formed on the entire main surface of the
実施の形態2では、透明アクリル樹脂膜の膜厚が最も薄くなる部分で厚さが1.5μmになるように塗布形成した。また、第3の絶縁膜として透明アクリル樹脂膜を塗布形成する前に、例えばCVD法でSiO膜またはSiN膜を形成するようにしてもよい。なお、樹脂系の塗布膜は、アクリル系以外にも、SOG(Spin-On Glass)系、エポキシ系、ポリイミド系、あるいはポリオレフィン系の樹脂膜を用いることができる。 In the second embodiment, the transparent acrylic resin film was coated and formed so that the thickness was 1.5 μm at the portion where the film thickness was the thinnest. Further, a SiO film or a SiN film may be formed by, for example, a CVD method before the transparent acrylic resin film is applied and formed as the third insulating film. As the resin-based coating film, a SOG (Spin-On Glass) -based, epoxy-based, polyimide-based, or polyolefin-based resin film can be used in addition to the acrylic-based coating film.
その後、7回目の写真製版工程で透明アクリル系樹脂を露光し、現像することによって、図23および図24に示すように、保持容量CsAが形成された領域の保護絶縁層18に、第2のTFT102のドレイン電極15表面の一部が露出されるように開口部19(第4の開口部)が形成される。下層にSiO膜またはSiN膜が形成されている場合には、開口部19が形成された保護絶縁層18(透明アクリル系樹脂)をマスクにして、SF6ガスまたはCF4ガスを用いたドライエッチング法を用いてSiO膜またはSiN膜をエッチングすることにより、ドレイン電極15の表面の一部を露出させて開口部19を形成する。
Then, by exposing and developing the transparent acrylic resin in the seventh photoplate-making step, as shown in FIGS. 23 and 24, the protective insulating
次に、開口部19を含む保護絶縁層18上に、第4の導電膜を形成する。実施の形態2では、第4の導電膜として、透明性を有するITO膜(酸化インジウムIn2O3と酸化すずSnO2とを含む酸化物導電膜)を用いる。具体的には、In2O3とSnO2との混合比が90:10(重量%)のITO膜をスパッタリング法で形成する。ITO膜は一般的に、常温中では結晶質(多結晶)構造が安定であるが、ここではArガスに水素(H)を含むガス、例えば、水素(H2)ガスまたは水蒸気(H2O)などを混合したガスを用いてスパッタリングを行い、厚さ100nmのITO膜を非晶質状態(アモルファスITO膜)で形成した。
Next, a fourth conductive film is formed on the protective insulating
その後、8回目の写真製版工程でアモルファスITO膜上にフォトレジストパターンを形成し、これをマスクとしてアモルファスITO膜をエッチングする。このエッチング工程では、シュウ酸薬液によるウエットエッチングを用いることができる。その後、フォトレジストパターンを除去することで、図25および図26に示すように、透明性を有するITO膜で構成されるアノード(陽)電極20が形成される。アノード電極20は、保持容量CsAにおいて、保護絶縁層18の開口部19を通して下層のドレイン電極15に接続されるとともに、発光素子領域PXまで延在するように形成されている。
Then, in the eighth photoplate making step, a photoresist pattern is formed on the amorphous ITO film, and the amorphous ITO film is etched using this as a mask. In this etching step, wet etching with an oxalic acid chemical solution can be used. Then, by removing the photoresist pattern, as shown in FIGS. 25 and 26, an anode (positive)
図25に示されるように、平面視で、発光素子領域PXは、走査配線14L、データ配線7Lおよび駆動電流配線16によって囲まれた領域で規定されている。アノード電極20は、ドレイン電極15と重なる領域に設けられた開口部19と重なる領域から、発光素子領域PXまで延在するように形成される。実施の形態2では、アノード電極20はデータ配線7Lまたは駆動電流配線16と重ならないように形成したが、一部が重なるような態様で形成してもよい。実施の形態2において第4の導電膜として形成したアモルファスITO膜は、結晶粒界がないために膜表面の平坦性を極めて高くすることができる。これにより、アノード電極20から面内均一性の高い電流信号をEL素子23(図9、図10)に供給することができるので、EL素子23の面内全体からムラの少ない均一な発光をさせることができる。
As shown in FIG. 25, in plan view, the light emitting element region PX is defined by a region surrounded by the
次に、基板1の主面上の全体に、バンク層21となる第4の絶縁膜を形成する。実施の形態2では、第4の絶縁膜として、樹脂系の塗布膜を用いる。具体的には感光性を有する透明アクリル樹脂膜を、スピンコート法を用いて厚さが1.5μmとなるように塗布形成した。なお、アクリル系以外にも、SOG系、エポキシ系、ポリイミド系、あるいはポリオレフィン系の樹脂膜を用いることができる。特にポリイミド系樹脂膜は吸着水分が少ないため、この後の工程で形成されるEL素子の特性および信頼性に影響を及ぼすことがないために好ましい。
Next, a fourth insulating film to be the
その後、9回目の写真製版工程で透明アクリル系樹脂を露光し、現像することによって、図27および図28に示すように、発光素子領域PXにアノード電極20の表面が露出されるバンク開口部22を有するバンク層21が形成される。バンク開口部22は、アノード電極20上の発光素子配設領域、すなわち、この後の工程でEL素子23が形成される領域のみに形成され、互いに隣り合うバンク開口部22同士は、バンク層21によって互いに隔離された態様となる。
Then, in the ninth photoplate making step, the transparent acrylic resin is exposed and developed to expose the surface of the
次に、最終工程で、バンク開口部22の領域内に、アノード電極20と接するようにEL素子23を形成することで、図9および図10に示した構成を得る。実施の形態2では、EL素子23のEL層として有機系の有機EL材料を用いる。具体的にはインクジェットによる印刷法を用いてホール輸送層、有機EL層、電子輸送層をこの順に積層してEL層を形成した。インクジェットによる印刷法によれば、バンク開口部22の凹領域内のみにEL層を選択的に形成することができるので、写真製版工程を用いることなくEL素子23を形成することができる。
Next, in the final step, the
ホール輸送層としては公知のトリアリールアミン類、芳香族ヒドラゾン類、芳香族置換ピラゾリン類、スチルベン類等の有機系材料から幅広く選択することができ、例えばN,N'-ジフェニル-N,N-ビス(3-メチルフェニル)-1,1'-ジフェニル-4,4'-ジアミン等のトリフェニルアミン系(TPD)等を用いて1nm~200nmの任意の厚さで形成する。 The whole transport layer can be widely selected from known organic materials such as triarylamines, aromatic hydrazones, aromatic-substituted pyrazolines and stilbens, for example, N, N'-diphenyl-N, N-. It is formed with an arbitrary thickness of 1 nm to 200 nm using a triphenylamine system (TPD) such as bis (3-methylphenyl) -1,1'-diphenyl-4,4'-diamine.
有機EL層としては公知のジシアノメチレンピラン誘導体(赤色(R)発光)、クマリン系(緑(G)色発光)、キナクリドン系(緑(G)色発光)、テトラフェニルブタジエン系(青(B)色発光)、ジスチリルベンゼン系(青(B)色発光)等の材料が1nm~200nmの任意の厚さで形成される。電子輸送層としては公知のオキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、クマリン誘導体等から選ばれる材料を用いて0.1nm~200nmの任意の厚さで形成する。 Known organic EL layers include dicyanomethylenepyrane derivatives (red (R) emission), coumarin (green (G) color emission), quinacridone (green (G) color emission), and tetraphenylbutadiene (blue (B)). Materials such as color emission) and distyrylbenzene-based (blue (B) color emission) are formed with an arbitrary thickness of 1 nm to 200 nm. The electron transport layer is formed with an arbitrary thickness of 0.1 nm to 200 nm using a material selected from known oxadiazole derivatives, triazole derivatives, coumarin derivatives and the like.
EL層は、印刷法の他にも蒸着法を用いて形成することができる。蒸着法の場合は、基板1の表面に、例えばバンク開口部22と同じ開口パターンを有する金属マスクを付けたマスク蒸着法を用いることによって、写真製版工程を用いることなくEL素子23を形成することができる。
The EL layer can be formed by using a vapor deposition method in addition to the printing method. In the case of the vapor deposition method, the
R色発光層(R)、G色発光層(G)およびB色発光層(B)は、例えば、基板1のY方向に沿って配列された発光素子領域PXの列ごとにR-G-B-R-G-B・・・と繰り返し配設することができるが、他にもX方向に沿って配列された行ごとに互いに繰り返して配設することもできる。またこれらに限らず、自由な配列の組み合わせで配設することもできる。またR、G、Bに限らず黄(Y)色や白(W)色等も加えて配設するようにしてもよい。以上説明した工程を経て、実施の形態2に係るTFT基板110が完成される。
The R color light emitting layer (R), the G color light emitting layer (G), and the B color light emitting layer (B) are, for example, RG-for each row of the light emitting element region PX arranged along the Y direction of the
実施の形態2に係るTFT基板110は、第1のTFT101と第2のTFT102とが、互いにゲート電極とソース電極およびドレイン電極との位置(上下層)関係は異なるものの、両者の半導体層が同一の半導体膜で構成され、かつそれぞれの電極や絶縁層を含めた各層の導電膜や絶縁膜が共通化できるように構成されている。従って、動作安定性および信頼性に優れるトップゲート構造でチャネル保護型の第1のTFT101と、ボトムゲート構造でチャネル保護型の第2のTFT102という、互いに異なる構造の2種類のTFTを有するTFT基板110を、生産性よく低コストで製造することができる。
In the
(2-3)実施の形態2の応用例
TFT基板110は、例えば自発光型表示装置などの自発光装置に用いることができる。図29に示すように、完成されたTFT基板110上には、アノード電極20の対向電極となるカソード(陰)電極40が形成される。カソード電極40は、例えば光を反射するAlや銀(Ag)等の金属膜で構成されている。さらに必要に応じてEL素子23を含むTFT基板110を水分および不純物から遮断するための封止層41が形成され、さらにTFT基板110と対向するように対向基板42が貼り合わされ、有機EL素子を備えた自発光装置300が完成する。このような実施の形態2に係るTFT基板110を備える自発光装置300は、EL素子の発光光ELLを、TFT基板110を通して下方(対向基板42とは反対側)に発光させて表示を行うボトムエミッション型の自発光装置である。
(2-3) Application Example of
実施の形態2に係るTFT基板110において、第1のTFT101は、走査配線14Lおよびデータ配線7Lと電気的に接続されており、走査信号とデータ信号に応じて発光させるEL素子23を選択するための選択TFTとして機能する。また、第2のTFT102は、第1のTFT101のドレイン電極2、駆動電流配線16およびEL素子23と電気的に接続されており、EL素子23の素子駆動TFTとして機能する。第1のTFT101のドレイン電極2から出力された選択信号が保持容量CsAに書き込まれると、書き込まれた電圧によって第2のTFT102が動作して、駆動電流配線16からの発光信号電流が、駆動電流として第2のTFT102からアノード電極20を通してEL素子23に供給され、EL素子23が発光する。
In the
第1のTFT101の半導体層9のチャネル領域CL1は保護絶縁層4で保護され、第2のTFT102の半導体層10のチャネル領域CL2は保護絶縁層12で保護されているので、いずれもプロセスダメージのない信頼性の高いTFTを得ることができる。したがって、選択されたEL素子23に確実に安定的に信号電流を供給することができるので、高品質の発光表示をすることができる。
Since the channel region CL1 of the
また、実施の形態2に係るTFT基板110によれば、第1のTFT101のドレイン電極2と第2のTFT102のゲート電極3とを同じ第1の導電膜の連続パターンで一体形成しているので、例えば、両者を別体で形成し、コンタクトホールを介して電気的に接続した従来の構成に比べると、第1のTFT101から第2のTFT102への信号の伝達不良による表示欠陥の発生率を低く抑えることができる。従って、製品の歩留まりを向上させることができる。
Further, according to the
そして、連続パターンで一体形成されたゲート電極3およびドレイン電極2を保持容量CsAの容量電極として用いることができるため、例えば米国特許第9721973号公報のFig.7に開示されているような、電荷蓄積部にコンタクトホールが形成されている構成と比べると、はるかに面積効率よく保持容量CsAを形成することができる。これにより、第1のTFT101、第2のTFT102および保持容量CsAを含む発光素子駆動用回路の形成領域を小さくすることができ、発光素子領域PXの開口率を向上させることができる。これにより、基板1を通してEL素子23の発光光を下方に放射させて表示を行うボトムエミッション型の自発光装置の場合でも、明るく高品質の発光をすることができる。
Since the
また、第1のTFT101と第2のTFT102は、それぞれのソース電極とドレイン電極とが互いに別層に分けて設けられている。これにより、ソース電極とドレイン電極との離間距離を容易に狭小化することができる。これにより半導体層のチャネル長を短くすることができるので、それぞれのTFTのサイズを小型化することができる。TFTのサイズを小型化することで、発光素子領域PXの開口率を上げることができる。あるいは、TFTを含む発光素子領域の面積を小さくして、基板1上の一定面積当たりにより多くの発光素子を配設(発光素子の高精細化を)することができる。
Further, in the
さらに、実施の形態2に係るTFT基板110によれば、互いに隣接するようにY方向に平行して配設される駆動電流配線16とデータ配線7Lとは、それぞれ第1の絶縁膜を挟んで別層に設けられている。これにより、駆動電流配線16とデータ配線7Lとが互いに接触して短絡不良を起こす可能性が極めて低くなり、平面視で、両者の配線をぎりぎりまで接近させて狭ピッチで配設することができるようになる(両者の一辺が重なっていてもよい)。従って、配線領域の面積を小さくすることができ、基板1上の一定面積当たりにさらに多くの発光素子を配設(発光素子の高密度化を)することができる。
Further, according to the
実施の形態2に係るTFT基板110を備える自発光装置300は、図29のようなボトムエミッション型に限らず、EL素子23の発光光ELLをTFT基板110の上方(対向基板42側)に発光させるトップエミッション型の自発光装置とすることも可能である。その場合は、上記の8回目の写真製版工程において、アノード電極20の材料となる第4の導電膜を、透明性を有するITO膜ではなく、高い反射率を有するAl系またはAg系の金属膜で形成する。金属膜上にITO膜を形成してもよい。そして、カソード電極40を、透明性を有するITO膜等で形成する。これにより、EL素子23からの発光光ELLをアノード電極20で反射させて上方に発光させることができ、トップエミッション型の自発光装置を得ることができる。このようなトップエミッション型の自発光装置においても上記のボトムエミッション型と同じ効果を奏することが可能である。
The self-
以上のようなボトムエミッション型やトップエミッション型の自発光装置300は、例えばスマートフォン、タブレット、パソコンおよびTV等の中小型や大型の表示パネルに用いることができる。このとき、例えばタッチ操作、ペンやスタイラスによる操作、あるいはノブ型やスライド型の入力操作等による入出力システムを備えた対向基板42を貼り合わせることにより、表示画面からの入出力が可能な自発光型の表示パネルを得ることができる。また自発光装置300を複数個並べて配置(タイリング)することで、例えば100インチ以上のより大面積の大型ビジョンを実現することも可能である。
The bottom emission type or top emission type self-
さらに、実施の形態2に係るTFT基板110を備える自発光装置300は、ボトムエミッション型やトップエミッション型に限らず、EL素子23の発光光ELLをTFT基板110の両面から発光させる両面発光型の自発光装置とすることも可能である。その場合は、TFT基板110のアノード電極20およびカソード電極40を、透明性を有するITO膜等で形成する。これにより、EL素子23からの発光光ELLをアノード電極20およびカソード電極40を透過させて両面から発光させることができる。
Further, the self-
両面発光型の自発光装置は、例えば様々な色やパターンを発光させる発光板あるいは照明板として用いることができ、これらを備えた発光装置あるいは照明装置に応用することができる。また、このような自発光装置300を複数個並べて配置することで、より大面積の大型表示装置、大型発光装置あるいは大型照明装置を実現することも可能である。
The double-sided light emitting self-luminous device can be used, for example, as a light emitting plate or a lighting plate that emits various colors or patterns, and can be applied to a light emitting device or a lighting device provided with these. Further, by arranging a plurality of such self-
以上のような自発光装置300によれば、各発光素子領域PX上の個々の発光素子の動作を制御できるTFT基板110を備えているので、様々な発色やパターンの発光が可能な自発光装置を低コストで実現することができる。
According to the self-
(2-4)実施の形態2の変形例
実施の形態2に係るTFT基板110では、発光素子領域PXを、走査配線14L、データ配線7Lおよび駆動電流配線16によって囲まれた領域において、第1のTFT101および第2のTFT102の形成領域を除いたほぼ全面としたが、図30に示されるように、アノード電極20およびEL素子23を含む発光素子領域PXの面積を縮小して形成してもよい。この場合、発光素子が形成されない領域は、光が透過する光透過領域TXとして機能する。
(2-4) Modification Example of
このようなTFT基板110を用いると、ボトムエミッション型またはトップエミッション型の半透明の自発光装置を得ることができ、例えば透明ディスプレイ用の表示パネルとして用いることができる。また両面発光型の場合は、様々な色やパターンを発光させる光透過性の発光ガラスあるいは照明ガラスとして用いることができ、色ガラス、あるいはステンドグラスのような宝飾ガラス等の用途に利用することができる。さらに、基板1を折り曲げ可能な樹脂基板とすることで、変形自在の光透過性の発光装置を得ることが可能になる。
By using such a
<実施の形態3>
実施の形態2では、TFT基板上に配設されるアノード電極上に、直接的に有機EL層を作り込んだ構造の、EL素子駆動用のTFT基板の例を示したが、実施の形態3では、LED素子(LEDチップ)を実装して発光を行う方式のLED素子駆動用のTFT基板の構成例を示す。
<
In the second embodiment, an example of a TFT substrate for driving an EL element having a structure in which an organic EL layer is directly formed on an anode electrode arranged on the TFT substrate is shown, but the third embodiment is shown. Then, a configuration example of a TFT substrate for driving an LED element in which an LED element (LED chip) is mounted to emit light is shown.
(3-1)装置構成
以下、図31~図33を用いて、実施の形態3に係るTFT基板120の構成について説明する。なお、実施の形態1および実施の形態2と同じ構成要素には同一符号を付け、重複する説明は省略する。
(3-1) Device Configuration Hereinafter, the configuration of the
図31は、実施の形態3に係るTFT基板120のLED素子駆動回路LEDC1の構成を示す図である。図32は、TFT基板120に設けられた、第1のTFT101、第2のTFT102、保持容量CsAおよび発光素子領域PXを含む素子領域の平面構成を示す部分平面図であり、図33は、素子領域の断面構成を示す部分断面図である。
FIG. 31 is a diagram showing the configuration of the LED element drive circuit LEDC1 of the
図32におけるX1-X2線は、第1のTFT101、第2のTFT102、保持容量CsAおよびLED素子実装部を含む発光素子領域PXに渡り、Y1-Y2線は、第2のTFT102のソース電極8から駆動電流配線16、および第2のTFT102のドレイン電極15から陽電極32に渡るように設けられている。図33においては、X1-X2線に沿った断面を右側に、Y1-Y2線に沿った断面を左側に示している。
The X1-X2 wire in FIG. 32 extends over the light emitting element region PX including the
実施の形態3では、TFT基板120の個々の発光素子領域PXにLED素子を実装して発光を行う発光装置を構成する。従って、実施の形態3の発光素子駆動回路であるLED素子駆動回路LEDC1は、実施の形態2のEL素子駆動回路ELC1(図7、図8)とは異なり、図31のように、TFT基板120上に陽電極32と陰電極33とが設けられ、LED素子200(発光ダイオード素子)が、陽電極32および陰電極33に接続されて配設される構成となる。
In the third embodiment, a light emitting device is configured in which an LED element is mounted on each light emitting element region PX of the
また、図31および図32に示されるように、TFT基板120は、基板上に複数の走査配線14Lと、複数のデータ配線7Lとが互いに直交するように交差して配設され、走査配線14Lとデータ配線7Lとの交差部には第1のTFT101が設けられている。第1のTFT101のゲート電極14Eは走査配線14Lと電気的に接続され、第1のTFT101のソース電極7Eはデータ配線7Lと電気的に接続されている。第1のTFT101は、走査配線14Lとデータ配線7Lの信号に対応して発光素子を選択するための選択TFTとして機能する。
Further, as shown in FIGS. 31 and 32, the
さらに、複数の駆動電流配線16が、複数のデータ配線7Lと隣接して平行に配設され、走査配線14Lと駆動電流配線16との交差部には第2のTFT102が設けられている。第2のTFT102のゲート電極3は第1のTFT101のドレイン電極2と電気的に接続されている。第2のTFT102のソース電極8は、駆動電流配線16と電気的に接続され、ドレイン電極15はLED素子200を駆動させるための陽電極32と電気的に接続される。また、複数の陰電極配線25(第4の配線)が、複数の走査配線14Lと隣接して平行に配設され、陰電極配線25と電気的に接続された陰電極33がLED素子200に接続されている。
Further, a plurality of drive
さらに第2のTFT102には、ゲート電極3とドレイン電極15との間に接続された保持容量CsAが設けられている。第1のTFT101のドレイン電極2から出力された選択信号が保持容量CsAに書き込まれると、書き込まれた電圧によって第2のTFT102が動作して、駆動電流配線16からの信号電流が、陽電極32と陰電極33との電位差によってLED素子200に供給され、LED素子200が発光する。
Further, the
図33に示すように、基板1上の第1のTFT101には、第1の導電膜で構成されるドレイン電極2が設けられ、これらを覆うように第1の絶縁膜で構成される保護絶縁層4が設けられている。保護絶縁層4には、ドレイン電極2の表面の一部を露出させる開口部6が設けられている。また、第2のTFT102には、第1の導電膜で構成されるゲート電極3および駆動電流配線16が設けられ、これらを覆うように第1の絶縁膜で構成されるゲート絶縁層5が設けられている。ゲート絶縁層5には、駆動電流配線16の表面の一部を露出させる開口部17が設けられている。
As shown in FIG. 33, the
図32に示されるように、平面視で、第1のTFT101のドレイン電極2と第2のTFT102のゲート電極3は、連続した一体パターンとして設けられている。駆動電流配線16は縦方向(Y方向)に延在するように配設されている。
As shown in FIG. 32, in a plan view, the
図33に示すように、第1のTFT101の保護絶縁層4上に、第2の導電膜で構成されるソース電極7Eが設けられている。また、第2のTFT102のゲート絶縁層5上に、第2の導電膜で構成されるソース電極8が設けられている。ソース電極8は、開口部17を通して下層の駆動電流配線16に接している。
As shown in FIG. 33, a
図32に示されるように、平面視で、データ配線7Lが駆動電流配線16と隣接するように縦方向に平行して延在するように配設されている。第1のTFT101のソース電極7Eは、データ配線7Lの一部分である。すなわち、データ配線7Lは、駆動電流配線16とは異なる第2の導電膜で構成され、第1の絶縁膜を挟んで駆動電流配線16とは別層に配設されている。そして、データ配線7Lにおいて第1のTFT101に隣接する近傍部分がソース電極7Eとなっている。また、第2のTFT102のソース電極8は、ゲート電極3と駆動電流配線16と重なるように配設され、開口部17を通して下層の駆動電流配線16に接している。
As shown in FIG. 32, the data wiring 7L is arranged so as to extend in parallel in the vertical direction so as to be adjacent to the drive
図33に示すように、第1のTFT101の保護絶縁層4上に、半導体膜で構成される半導体層9が設けられている。半導体層9は、下層のソース電極7Eの上面および側面の一部と接するとともに、開口部6を通して下層のドレイン電極2と接している。半導体層9の下層のソース電極7Eおよびドレイン電極2は、半導体層9と重なる領域内で互いに一定の間隔を有して設けられており、ソース電極7Eと開口部6内のドレイン電極2との離間領域が、第1のTFT101のチャネル領域CL1として規定される。また、第2のTFT102のゲート絶縁層5上に、半導体膜で構成される半導体層10が設けられている。半導体層10は、下層のソース電極8の上面および側面の一部と接している。
As shown in FIG. 33, a
図32に示されるように、平面視で、第1のTFT101の半導体層9は、互いに一定の間隔を有して設けられたソース電極7Eとドレイン電極2とに跨るように島状のパターンで配設され、開口部6を通してドレイン電極2と接している。また、第2のTFT102の半導体層10は、ゲート電極3に重なる領域に島状のパターンで配設されている。
As shown in FIG. 32, in a plan view, the
図33に示すように、第1のTFT101の保護絶縁層4、ソース電極7Eおよび半導体層9を覆うように、第2の絶縁膜で構成されるゲート絶縁層11が設けられている。また、第2のTFT102のゲート絶縁層5、ソース電極8および半導体層10を覆うように、第2の絶縁膜で構成される保護絶縁層12が設けられている。保護絶縁層12には、下層の半導体層10の表面の一部が露出するように、開口部13が設けられている。
As shown in FIG. 33, a
そして、第1のTFT101の半導体層9と重なる領域のゲート絶縁層11上には、第3の導電膜で構成されるゲート電極14Eが設けられている。また、第2のTFT102の保護絶縁層12上には、開口部13を通して半導体層10と接するように、第3の導電膜で構成されるドレイン電極15が設けられている。半導体層10の下層のソース電極8および上層のドレイン電極15は、半導体層10と重なる領域内で互いに一定の間隔を有して設けられており、ソース電極8と開口部13内のドレイン電極15との離間領域が、第2のTFT102のチャネル領域CL2として規定される。さらに、発光素子領域PXの保護絶縁層12上には、第3の導電膜からなる陰電極配線25が設けられている。
A
図32に示されるように、平面視で、第1のTFT101のゲート電極14Eは、ソース電極7Eとドレイン電極2とが互いに対向するように分離された領域において、半導体層9と重なるように配設されている。また、ゲート電極14Eから延在する走査配線14Lが、データ配線7Lおよび駆動電流配線16と直交するように横方向(X方向)に延在して設けられている。すなわち、走査配線14Lは、第3の導電膜で構成され、ゲート電極14Eと連続した一体パターンで設けられている。
As shown in FIG. 32, in a plan view, the
また、陰電極配線25は、走査配線14Lと同じ第3の導電膜で構成され、第1のTFT101および第2のTFT102とは反対側の発光素子領域PXの端部領域に、走査配線14Lと隣接するように横方向(X方向)に延在するように配設されている。
Further, the
第2のTFT102のドレイン電極15は、半導体層10と重なる領域からはみ出した領域で、ゲート電極3および第1のTFT101のドレイン電極2の一体パターンで構成される容量電極と広く重なるような形状で配設されている。そしてこのドレイン電極15とゲート電極3(またはドレイン電極2)とが重なる領域によって保持容量CsAが形成されている。
The
図33に示すように、第1のTFT101のゲート電極14Eと走査配線14L、および第2のTFT102のドレイン電極15等を覆うように、基板1全面に第3の絶縁膜で構成される保護絶縁層18が設けられている。保護絶縁層18には、第2のTFT102のドレイン電極15の表面の一部を露出させるように開口部30(第6の開口部)が設けられるとともに、陰電極配線25の表面の一部を露出させるように開口部31(第7の開口部)が設けられている。
As shown in FIG. 33, protective insulation composed of a third insulating film on the entire surface of the
そして、保護絶縁層18上に、開口部30を通して第2のTFT102のドレイン電極15と接続されるように、第5の導電膜で構成される陽電極32が配設される。また、発光素子領域PXの保護絶縁層18上に、開口部31を通して陰電極配線25と接続されるように、第5の導電膜で構成される陰電極33が配設されている。
Then, on the protective insulating
さらに、陽電極32上および陰電極33上を含む保護絶縁層18上に、第4の絶縁膜で構成される保護絶縁層34が設けられている。発光素子領域PXの保護絶縁層34には、下層の陽電極32の表面が露出されるように陽電極開口部35、および下層の陰電極33の表面が露出されるように陰電極開口部36が設けられている。なお、保護絶縁層34は必ずしも設ける必要はなく、省略することも可能である。
Further, a protective insulating
図32に示されるように、平面視で、発光素子領域PXは走査配線14L、データ配線7L、陰電極配線25および駆動電流配線16によって囲まれた領域で規定されている。陽電極32は、平面視で、ドレイン電極15と重なる領域に設けられた開口部30と重なる領域から、発光素子領域PXの下部領域の領域にかけて延在するように設けられている。また、陰電極33は、平面視で、陰電極配線25と重なる領域に設けられた開口部31と重なる領域から、発光素子領域PXの上部領域にかけて延在するように設けられている。陽電極32と陰電極33とは、発光素子領域PXにおいて、互いに分離して平面視で対向した態様で配設される。そして、陽電極開口部35および陰電極開口部36は、それぞれ下層の陽電極32および陰電極33の表面が露出されるように、平面視で互いに対向した態様で配設されている。
As shown in FIG. 32, in plan view, the light emitting element region PX is defined by a region surrounded by the
実施の形態3に係るTFT基板120は、以上のように構成され、TFT基板120上には、例えばマトリックス状に配置された各発光素子領域PXの陽電極32および陰電極33に対応するように、LED素子(不図示)の陽電極端子および陰電極端子がそれぞれ接続されて複数個実装される。そして、例えば各LED素子を発光させて発光表示を行う自発光装置(LED発光デバイス)用のTFT基板として好適に用いることができる。
The
(3-2)製造方法
図32および図33に示される実施の形態3に係るTFT基板120の製造方法について説明する。実施の形態3に係るTFT基板120の平面視におけるパターン構成は実施の形態2と異なるが、断面における層構成は、基本的に実施の形態2と同じ構成である。したがって、実施の形態3に係るTFT基板120は、上記実施の形態2と同じように9回の写真製版工程を用いて製造することができる。
(3-2) Manufacturing Method A manufacturing method of the
1回目の写真製版工程では、洗浄された基板1上に形成された第1の導電膜であるCr膜で、第1のTFT101のドレイン電極2、第2のTFT102のゲート電極3および駆動電流配線16が形成される。
In the first photoplate-making process, the Cr film, which is the first conductive film formed on the washed
次に、基板1の主面上の全体にSiO膜からなる第1の絶縁膜が形成される。そして2回目の写真製版工程で、第1のTFT101のドレイン電極2の表面の一部を露出させる開口部6と、第2のTFT102において駆動電流配線16の表面の一部を露出させる開口部17が、それぞれ形成される。
Next, a first insulating film made of a SiO film is formed on the entire main surface of the
第1の絶縁膜は、第1のTFT101においては後の工程で形成される第1の半導体層形成時に、第1の半導体層をドレイン電極2から受けるダメージから保護する保護絶縁層4として機能し、第2のTFT102においてはゲート絶縁層5として機能する。
The first insulating film functions as a protective
次に、第1の絶縁膜上に第2の導電膜であるMo膜が形成され、3回目の写真製版工程で、第1のTFT101のソース電極7E、第2のTFT102のソース電極8およびデータ配線7Lが同時に形成される。ソース電極8は開口部17を通して下層の駆動電流配線16に接するように形成される。
Next, a Mo film, which is a second conductive film, is formed on the first insulating film, and in the third photoplate making step, the
次に、第1の絶縁膜上、ソース電極7E上、ソース電極8上およびデータ配線7L上に半導体膜であるInGaZnO膜が形成され、4回目の写真製版工程で第1のTFT101の半導体層9および第2のTFT102の半導体層10が同時に形成される。
Next, an InGaZnO film, which is a semiconductor film, is formed on the first insulating film, the
第1のTFT101の半導体層9は、下層のソース電極7Eの上面および側面の一部と接するとともに、開口部6を通して下層のドレイン電極2と接するように形成される。半導体層9の下層のソース電極7Eおよびドレイン電極2は、半導体層9と重なる領域内で互いに一定の間隔を有して形成されており、ソース電極7Eと開口部6内のドレイン電極2との離間領域が、第1のTFT101のチャネル領域CL1として規定される。また第2のTFT102の半導体層10は、下層のソース電極8の上面および側面の一部と接するように形成される。
The
次に、基板1の主面上の全体にSiO膜からなる第2の絶縁膜が形成され、5回目の写真製版工程で、第2のTFT102の半導体層10の表面の一部を露出させる開口部13が形成される。
Next, a second insulating film made of a SiO film is formed on the entire main surface of the
第2の絶縁膜は、第1のTFT101においてはゲート絶縁層11として機能する。また第2のTFT102においては、後の工程で形成されるドレイン電極15から半導体層10が受ける加工プロセスダメージを防止する保護絶縁層12(チャネル保護層)として機能する。
The second insulating film functions as the
次に、第2の絶縁膜上に第3の導電膜であるMo膜が形成され、6回目の写真製版工程で、第1のTFT101のゲート電極14Eおよび走査配線14L、第2のTFT102のドレイン電極15、さらに陰電極配線25がそれぞれ同時に形成される。
Next, a Mo film, which is a third conductive film, is formed on the second insulating film, and in the sixth photoplate making step, the
第1のTFT101のゲート電極14Eは、ソース電極7Eとドレイン電極2とが互いに対向するように分離された領域において、半導体層9と重なるように形成される。また、走査配線14Lは、ゲート電極14Eから延在するように、データ配線7Lおよび駆動電流配線16と直交するように横方向(X方向)に延在して形成される。すなわち、走査配線14Lは、ゲート電極14Eと連続した一体パターンで形成されている。
The
第2のTFT102のドレイン電極15は、開口部13を通して半導体層10と接するとともに、半導体層10と重なる領域内で下層のソース電極8と互いに一定の間隔を有して設けられており、ソース電極8と開口部13内のドレイン電極15との離間領域が、第2のTFT102のチャネル領域CL2として規定される。
The
陰電極配線25は、第1のTFT101および第2のTFT102とは反対側の発光素子領域PXの端部領域に、走査配線14Lと隣接するように横方向(X方向)に延在するように形成されている。
The
また、第2のTFT102のドレイン電極15は、半導体層10と重なる領域からはみ出した領域で、ゲート電極3および第1のTFT101のドレイン電極2の一体パターンで構成される容量電極と広く重なるような形状で形成されている。そしてこのドレイン電極15とゲート電極3(またはドレイン電極2)とが重なる領域によって保持容量CsAが形成される。
Further, the
次に、基板1の主面上の全体に、保護絶縁層18として感光性を有する透明アクリル樹脂膜からなる第3の絶縁膜が形成される。そして7回目の写真製版工程で、第2のTFT102のドレイン電極15の表面の一部を露出させる開口部30と、陰電極配線25の表面の一部を露出させる開口部31が、それぞれ同時に形成される。
Next, a third insulating film made of a transparent acrylic resin film having photosensitivity is formed as the protective insulating
次に、開口部30および開口部31を含む保護絶縁層18上に、第5の導電膜である透明性を有するITO膜が形成され、8回目の写真製版工程で、陽電極32および陰電極33が同時に形成される。
Next, an ITO film having transparency, which is a fifth conductive film, is formed on the protective insulating
平面視で、陽電極32は、ドレイン電極15と重なる領域に設けられた開口部30と重なる領域から発光素子領域PXの下方領域にかけて延在するように形成されている。また、陰電極33は、陰電極配線25と重なる領域に設けられた開口部31と重なる領域から発光素子領域PXの上方領域にかけて延在するように形成されている。陽電極32と陰電極33は、発光素子領域PXにおいて、互いに分離して平面視で対向した態様で形成される。
In a plan view, the
次に、基板1の主面上の全体に、保護絶縁層34として感光性を有する透明アクリル樹脂膜からなる第4の絶縁膜が形成される。そして、9回目の写真製版工程で、発光素子領域PXにおいて、陽電極32の表面の一部を露出させる陽電極開口部35と、陰電極33の表面の一部を露出させる陰電極開口部36が、それぞれ同時に形成される。平面視で、陽電極開口部35および陰電極開口部36は、互いに対向するように形成されている。
Next, a fourth insulating film made of a transparent acrylic resin film having photosensitivity as the protective insulating
以上により、9回の写真製版工程で、図32および図33に示される実施の形態3に係るTFT基板120が完成する。なお、実施の形態3では、第4の絶縁膜の形成を省略することも可能である。この場合は、8回の写真製版工程で実施の形態3に係るTFT基板120を完成させることができる。
As a result, the
さらに、図34に示すように、完成されたTFT基板120上には、発光素子領域PXの陽電極32および陰電極33に対応して、LED素子200の陽電極端子201および陰電極端子202がそれぞれ接続されるように実装される。なお、LED素子200は、別の製造工程で完成されたLED素子のチップをTFT基板120上にそのまま実装するようにしてもよいし、TFT基板120上に、引き続き写真製版工程を続けてLED層の構造を形成するようにしてもよい。前者の場合は、LED素子とTFT基板を分けて製造することができるので、実装コストがかかることや実装工程における不良発生による歩留まり低下の問題があるが、設計自由度が高く、それぞれに適正化された工程で製造することができるという利点がある。後者の場合は、LED素子部と素子駆動用TFT部の製造工程を両立させる必要があるため、例えば、プロセス温度や使用材料および薬液等で制約を受ける問題があるが、実装にともなうコストや不良発生を抑えることができる利点がある。
Further, as shown in FIG. 34, on the completed
そして、図35に示すように、LED素子200が実装されたTFT基板120上には、必要に応じて対向基板45が貼り合わせられ、LED素子を用いた発光システムを備えた自発光型表示装置などの自発光装置310が完成する。図35では、LED素子200の発光光LEDLをTFT基板120の上方(対向基板45側)に発光させるトップエミッション型の自発光装置を示しているが、LED素子200の発光光LEDLを、TFT基板110を通して下方(対向基板45とは反対側)に発光させるボトムエミッション型の自発光装置であってもよい。
Then, as shown in FIG. 35, a facing
LED素子をTFT基板に実装して動作させる実施の形態3に係るTFT基板120の場合は、実施の形態2に係るTFT基板110と異なり、TFT基板の各発光素子領域上に陽電極(アノード電極)と陰電極(カソード電極とを)配設する必要がある。実施の形態3に係るTFT基板120によれば、陰電極33を、第5の導電膜を用いて陽電極32と同時に形成することができる。さらに、陰電極33に信号電流を供給する陰電極配線25を、第3の導電膜を用いて、第1のTFT101のゲート電極14Eや第2のTFT102のドレイン電極15等と同時に形成することができる。従って、LED素子を備えた発光システム用のTFT基板120を、工程を増やすことなく、低コストで製造できる。
In the case of the
また、実施の形態3に係るTFT基板120は、第1のTFT101、第2のTFT102および走査配線14L、データ配線7L、駆動電流配線16が、実施の形態2に係るTFT基板110と同じ構成となっているので、TFTの小型化や発光素子領域の面積の縮小化による発光素子の高精細化等で、実施の形態2と同じ効果を得ることができる。
Further, in the
以上のような自発光装置310によれば、各発光素子領域PX上の個々のLED素子の動作を制御できるTFT基板120を備えているので、様々な発色やパターンの発光が可能な自発光装置を、薄型軽量および低コストで実現することができる。
According to the self-
なお、実施の形態3に係るTFT基板120では、保護絶縁層34となる第4の絶縁膜を、感光性を有する透明アクリル樹脂膜で形成したが、有色の感光性樹脂膜、例えばカラーレジスト膜で形成するようにしてもよい。特に黒色のブラックレジスト膜を形成するようにすれば、LED素子消灯時の黒色の均一性を向上させることができ、LED発光時の発光コントラストを高めて高品質の発光特性を有する自発光装置を得ることが可能できる。
In the
(3-3)実施の形態3の応用例
TFT基板120とLED素子200とを含む発光システムを備えた自発光装置310は、例えばスマートフォン、タブレット、パソコンおよびTV等の表示パネル、すなわちLEDディスプレイに用いることができる。また自発光型表示装置としての自発光装置310を複数個並べて配置(タイリング)することで、例えば100インチ以上のより大面積の大型ビジョンを実現することも可能である。
(3-3) Application Example of Embodiment 3 A self-
LED素子は、一般的に発光効率が高く低消費電力で動作させることができること、素子寿命が長く、温度や湿度などの環境要因に対する信頼性も高いことから、高輝度で安定的な発光が可能である。従って、高輝度で高い信頼性が要求される車載用の表示装置や、様々な色を発光することができる照明システム、さらには屋内外の広告用表示装置(LEDビジョン、デジタルサイネージ)等にも用いることができる。また、実施の形態2の変形例のように、TFT基板120の発光素子領域PX上のLED素子領域を縮小化して光透過領域TXを設けることによって、透過機能を持たせることもできる。
LED elements generally have high luminous efficiency and can be operated with low power consumption, have a long element life, and are highly reliable against environmental factors such as temperature and humidity, so high brightness and stable light emission are possible. Is. Therefore, it can be used for in-vehicle display devices that require high brightness and high reliability, lighting systems that can emit various colors, and indoor and outdoor advertising display devices (LED vision, digital signage), etc. Can be used. Further, as in the modification of the second embodiment, the transmission function can be provided by reducing the LED element region on the light emitting element region PX of the
また、例えばタッチ操作、ペンやスタイラスによる操作、あるいはノブ型やスライド型の入力操作等による入出力システムを備えた対向基板45を貼り合わせることにより、表示画面からの入出力が可能な自発光装置を得ることができ、タッチ方式の操作システムを備えた様々な電子デバイスや半導体装置にも応用することができる。さらに、紫外線LED素子(UV-LED素子)を備え、UV-LED素子を発光させるように制御することで、殺菌機能を備える自発光装置を得ることも容易に可能である。
Further, a self-luminous device capable of input / output from a display screen by attaching an
<実施の形態4>
実施の形態4は、実施の形態3に対し、保持容量CsAの構成を変えたものである。以下、図36、図37および図38を用いて、実施の形態4に係るTFT基板130の構成について説明する。なお、実施の形態3のTFT基板120と同じ構成要素には同一符号を付け、重複する説明は省略する。
<
The fourth embodiment is obtained by changing the configuration of the holding capacity CsA from the third embodiment. Hereinafter, the configuration of the
図36は、実施の形態4に係るTFT基板130のLED素子駆動回路LEDC2の構成を示す図である。図36は、TFT基板130に設けられた第1のTFT101、第2のTFT102、保持容量CsBおよび発光素子領域PXを含む発光素子駆動回路の平面構成を示す部分平面図である。
FIG. 36 is a diagram showing the configuration of the LED element drive circuit LEDC2 of the
図31に示したように、実施の形態3のTFT基板120では、保持容量CsAが第2のTFT102のゲート電極3とドレイン電極15との間に接続された構成であった。これに対して、実施の形態4のTFT基板130では、図36に示すように、保持容量CsBが第2のTFT102のゲート電極3とソース電極8との間に接続された構成となっている。この場合も、第1のTFT101のドレイン電極2から出力された選択信号が保持容量CsBに書き込まれると、書き込まれた電圧によって第2のTFT102が動作して、駆動電流配線16からの信号電流が、陽電極32と陰電極33との電位差によってLED素子200に供給され、LED素子200が発光する。
As shown in FIG. 31, in the
図37は、実施の形態4に係るTFT基板130に設けられた第1のTFT101、第2のTFT102、保持容量CsBおよび発光素子領域PXを含む素子領域の平面構成を示す部分平面図であり、図38は、素子領域の断面構成を示す部分断面図である。図37におけるX1-X2線は、第1のTFT101、第2のTFT102、保持容量CsBおよびLED素子実装部を含む発光素子領域PXに渡り、Y1-Y2線は、第2のTFT102のソース電極39から駆動電流配線16、および第2のTFT102のドレイン電極37から陽電極32に渡るように設けられている。図38においては、X1-X2線に沿った断面を右側に、Y1-Y2線に沿った断面を左側に示している。
FIG. 37 is a partial plan view showing a plan configuration of an element region including a
保持容量CsBは、実施の形態3の構成に対して、第1のTFT101のドレイン電極2およびそれと連続した一体パターンで形成された第2のTFT102のゲート電極3のパターン形状を変更し、さらに第2のTFT102のドレイン電極37およびソース電極39のパターン形状を変えることで形成できる。よって、保持容量CsBは、実施の形態3の構成から層構成を増やすことなく形成することができる。
The holding capacity CsB changes the pattern shape of the
また、図38に示されるように、実施の形態4の第2のTFT102のドレイン電極37とソース電極39との上下関係は、図33に示した実施の形態3の第2のTFT102のドレイン電極15とソース電極8との上下関係とは逆になっている。すなわち、実施の形態4において、第2のTFT102のドレイン電極37は、第2の導電膜からなりゲート絶縁層5上に設けられており、第2のTFT102のソース電極39は、第3の導電膜からなり保護絶縁層12上に設けられている。
Further, as shown in FIG. 38, the vertical relationship between the
第2のTFT102の半導体層10は、ゲート絶縁層5上に、ドレイン電極37の表面および側面の一部と接するように設けられ、ソース電極39は、保護絶縁層12の開口部38を通して半導体層10の表面に接続されている。そして、陽電極32が、保護絶縁層12および保護絶縁層18に設けられた開口部30を通してドレイン電極37の表面に接続される。
The
そして、図37に示されるように、平面視で、ソース電極39が半導体層10と重なる領域からはみ出した領域で、ゲート電極3とドレイン電極2との一体パターンで構成される容量電極と重なるように延在して配設されている。これにより、ソース電極39とゲート電極3とが重なる領域によって保持容量CsBが形成される。図38に示されるように、容量電極とソース電極39との間には、ゲート絶縁層5を構成する第1の絶縁膜と保護絶縁層12を構成する第2の絶縁膜とが積層されて設けられている。なお、実施の形態2の保持容量CsAも、本実施の形態の保持容量CsBに置き換えてもよいことは言うまでもない。
Then, as shown in FIG. 37, in a plan view, the
以上説明した実施の形態4のTFT基板130は、実施の形態3のTFT基板120と同様の効果を得ることができ、LED発光システムを備えたLEDディスプレイ、照明システム等、様々な電子デバイスおよび半導体装置に応用することが可能である。
The
<実施の形態5>
実施の形態5では、実施の形態3で示した保持容量CsAと、実施の形態4で示した保持容量CsBとの両方を備えるTFT基板を示す。以下、図39、図40および図41を用いて、実施の形態5に係るTFT基板140の構成について説明する。なお、実施の形態3および4のTFT基板120と同じ構成要素には同一符号を付け、重複する説明は省略する。
<
In the fifth embodiment, a TFT substrate having both the holding capacity CsA shown in the third embodiment and the holding capacity CsB shown in the fourth embodiment is shown. Hereinafter, the configuration of the
図39は、実施の形態5に係るTFT基板140のLED素子駆動回路LEDC3の構成を示す図である。図40は、TFT基板130に設けられた第1のTFT101、第2のTFT102、保持容量CsBおよび発光素子領域PXを含む発光素子駆動回路の平面構成を示す部分平面図である。
FIG. 39 is a diagram showing the configuration of the LED element drive circuit LEDC3 of the
図39に示すように、実施の形態5のTFT基板140では、第2のTFT102に対し、ゲート電極3とドレイン電極37との間に接続された保持容量CsAと、ゲート電極3とソース電極39との間に接続された保持容量CsBとの両方が設けられる。この場合は、第1のTFT101のドレイン電極2から出力された選択信号が保持容量CsAおよびCsBに書き込まれると、書き込まれた電圧によって第2のTFT102が動作して、駆動電流配線16からの信号電流が、陽電極32と陰電極33との電位差によってLED素子200に供給され、LED素子200が発光する。
As shown in FIG. 39, in the
図40は、実施の形態5に係るTFT基板140に設けられた第1のTFT101、第2のTFT102、保持容量CsA,CsBおよび発光素子領域PXを含む素子領域の平面構成を示す部分平面図であり、図41は、素子領域の断面構成を示す部分断面図である。図40におけるX1-X2線は、第1のTFT101、第2のTFT102、保持容量CsA,CsBおよびLED素子実装部を含む発光素子領域PXに渡り、Y1-Y2線は、第2のTFT102のソース電極39から駆動電流配線16、およびドレイン電極37から陽電極32に渡るように設けられている。図41においては、X1-X2線に沿った断面を右側に、Y1-Y2線に沿った断面を左側に示している。
FIG. 40 is a partial plan view showing a plan configuration of an element region including a
保持容量CsAおよびCsBは、実施の形態4の構成に対して、第1のTFT101のドレイン電極2およびそれと連続した一体パターンで配設される第2のTFT102のゲート電極3で構成される容量電極のパターン形状を変更し、さらに第2のTFT102のドレイン電極37およびソース電極39のパターン形状を変えることで形成できる。よって、実施の形態5の保持容量CsAおよびCsBは、実施の形態4の構成から層構成を増やすことなく形成することができる。
The holding capacitances CsA and CsB are capacitive electrodes composed of the
すなわち、図40に示されるように、平面視で、ドレイン電極37が半導体層10と重なる領域からはみ出した領域で、ゲート電極3とドレイン電極2との一体パターンで構成される容量電極と重なるように延在して配設される。これにより、ドレイン電極37と容量電極が重なる領域によって保持容量CsA(第1の保持容量)が形成される。図41に示されるように、容量電極とドレイン電極37との間には、ゲート絶縁層5が設けられている。
That is, as shown in FIG. 40, in a plan view, the
さらに、図40に示されるように、平面視で、ソース電極39が半導体層10と重なる領域からはみ出した領域で、ゲート電極3とドレイン電極2との一体パターンで構成される容量電極と重なるように延在して配設されている。これにより、ソース電極39と容量電極が重なる領域によって保持容量CsB(第2の保持容量)が形成される。図41に示されるように、容量電極とソース電極39との間には、ゲート絶縁層5を構成する第1の絶縁膜と保護絶縁層12を構成する第2の絶縁膜とが設けられている。
Further, as shown in FIG. 40, in a plan view, the
なお、実施の形態2の第2のTFT102に対しても、実施の形態5に示した保持容量CsAおよびCsBの両方を設けてもよいことは言うまでもない。
Needless to say, the
以上説明した実施の形態5のTFT基板140でも、実施の形態3のTFT基板120と同様の効果を得ることができ、LED発光システムを備えたLEDディスプレイ、照明システム等、様々な電子デバイスおよび半導体装置に応用することが可能である。
The
<他の応用例>
以上の実施の形態では、第1のTFT101および第2のTFT102を、発光素子駆動用TFTに適用した例を示したが、第1のTFT101および第2のTFT102の適用は、これらに限られるものではない。
<Other application examples>
In the above embodiment, an example in which the
上では説明を省略したが、図7には、走査信号駆動回路170が備える複数の信号発生回路GSCのうちの1つの構成例を示している。例えば、この信号発生回路GSCに第1のTFT101および第2のTFT102を適用してもよい。
Although the description is omitted above, FIG. 7 shows a configuration example of one of the plurality of signal generation circuits GSC included in the scanning
図7に示す信号発生回路GSCは、クロック信号CLKの入力端子と走査信号の出力ノードN1との間に接続された駆動トランジスタ103と、出力ノードN1と接地電位VSSとの間に接続された駆動トランジスタ104と、駆動トランジスタ103のゲート電極と電源電位VDDとの間に接続された駆動トランジスタ105と、出力ノードN1と駆動トランジスタ103のゲート電極との間に接続された保持容量C1とを備えている。出力ノードN1は、走査信号駆動回路170の出力端子に相当し、ここから対応する走査配線14Lに走査信号が供給される。
The signal generation circuit GSC shown in FIG. 7 has a
駆動トランジスタ105のゲート電極には、走査信号を活性化させるための第1の駆動信号が入力され、駆動トランジスタ104のゲート電極には、走査信号を非活性化するための第2の駆動信号が入力される。第1の駆動信号によって駆動トランジスタ105がオンになると、駆動トランジスタ103がオンになるため、クロック信号CLKが出力ノードN1から走査信号として出力される。また、第2の駆動信号によって駆動トランジスタ104がオンになると、出力ノードN1の電位は接地電位VSSに固定される。
A first drive signal for activating the scanning signal is input to the gate electrode of the
駆動トランジスタ105のドレイン電極は駆動トランジスタ103のゲート電極と接続しており、その接続関係は、実施の形態2~5に示した第1のTFT101と第2のTFT102との接続関係と同じである。よって、実施の形態2~5に示した第1のTFT101と第2のTFT102は、信号発生回路GSCの駆動トランジスタ105および駆動トランジスタ103に適用することができ、信号発生回路GSCにおいても実施の形態2~5と同様の効果が得られる。
The drain electrode of the
さらに、本開示は、発光素子駆動用のTFT基板に限らず、他にも例えば同様のトランジスタの構成を有するシフトレジスタ回路を備えた半導体装置にも適用することも可能である。 Further, the present disclosure is not limited to the TFT substrate for driving a light emitting element, and can also be applied to, for example, a semiconductor device provided with a shift register circuit having a similar transistor configuration.
また、以上説明した実施の形態1~5およびその変形例においては、半導体層9および半導体層10を構成する半導体膜として、In、GaおよびZnを含むInGaZnO系の酸化物半導体を適用した構成を説明したが、これに限らず、例えば、In、Ga、Znを適宜組み合わせた酸化物半導体であるIn-O、Ga-O、Zn-O、In-Zn-O、In-Ga-OおよびGa-Zn-Oなどの金属酸化物を用いることができる。また、これらの金属酸化物以外にも、例えばハフニウム(Hf)、すず(Sn)、イットリウム(Y)、アルミニウム(Al)等の酸化物を適宜組み合わせた酸化物半導体を適用することも可能である。
Further, in the above-described
また、酸化物半導体に限らず、13族のAl、Ga、Inから選ばれる元素と15族の窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)から選ばれる元素とを組み合わせた、いわゆるIII-V族の化合物半導体、例えば、Ga-As、Ga-P、In-P、In-Sb、In-As、Al-N、Ga-N、Al-Ga-Nあるいはこれらに他の元素を添加した半導体材料を用いてもよい。
Further, not limited to oxide semiconductors, elements selected from
さらに、14族の半導体元素である炭素(C)を用いたカーボンナノチューブおよびグラフェン、およびこれらにSiおよびGe元素を組み合わせた半導体材料を用いることも可能である。 Further, it is also possible to use carbon nanotubes and graphene using carbon (C), which is a semiconductor element of Group 14, and a semiconductor material in which Si and Ge elements are combined with these carbon nanotubes and graphene.
以上のような半導体材料を半導体層9および半導体層10に用いた場合でも、実施の形態1~5およびその変形例で説明した本開示の効果を得ることが可能である。特に酸化物半導体、化合物半導体または炭素系半導体のようにプロセスダメージの影響を大きく受けると考えられる材料の場合には大きな効果を得ることができる。
Even when the above-mentioned semiconductor materials are used for the
なお、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略したりすることが可能である。 It is possible to freely combine the embodiments and to modify or omit the embodiments as appropriate.
上記した説明は、すべての態様において、例示であって、例示されていない無数の変形例が想定され得るものと解される。 It is understood that the above description is exemplary in all embodiments and innumerable variants not exemplified can be envisioned.
1 基板、2 ドレイン電極、3 ゲート電極、4 保護絶縁層、5 ゲート絶縁層、6 開口部、7E ソース電極、7L データ配線、7T データ配線端子、8 ソース電極、9 半導体層、10 半導体層、11 ゲート絶縁層、12 保護絶縁層、13 開口部、14E ゲート電極、14T 走査配線端子、14L 走査配線、15 ドレイン電極、16 駆動電流配線、16T 駆動電流配線端子、17 開口部、18 保護絶縁層、19 開口部、20 アノード電極、21 バンク層、22 バンク開口部、23 EL素子、25 陰電極配線、26 カソード電極、30,31 開口部、32 陽電極、33 陰電極、34 保護絶縁層、35 陽電極開口部、36 陰電極開口部、37 ドレイン電極、38 開口部、39 ソース電極、40 カソード電極、41 封止層、42 対向基板、45 対向基板、100,110,120,130,140 TFT基板、300,310 自発光装置、101 第1のTFT、102 第2のTFT、103,104,105 駆動トランジスタ、150 素子配設領域、160 額縁領域、170 走査信号駆動回路、180 表示信号駆動回路、200 LED素子、201 陽電極端子、202 陰電極端子、PX 発光素子領域、TX 光透過領域、ELC1 EL素子駆動回路、LEDC1 LED素子駆動回路、LEDC2 LED素子駆動回路、LEDC3 LED素子駆動回路、ELL EL素子の発光光、LEDL LED素子の発光光、CsA 保持容量、CsB 保持容量、C1 保持容量、GSC 信号発生回路、CLK クロック信号、VSS 接地電位、VDD 電源電位。 1 substrate, 2 drain electrode, 3 gate electrode, 4 protective insulating layer, 5 gate insulating layer, 6 openings, 7E source electrode, 7L data wiring, 7T data wiring terminal, 8 source electrode, 9 semiconductor layer, 10 semiconductor layer, 11 gate insulating layer, 12 protective insulating layer, 13 opening, 14E gate electrode, 14T scanning wiring terminal, 14L scanning wiring, 15 drain electrode, 16 drive current wiring, 16T drive current wiring terminal, 17 opening, 18 protective insulating layer , 19 openings, 20 anode electrodes, 21 bank layers, 22 bank openings, 23 EL elements, 25 negative electrode wiring, 26 cathode electrodes, 30, 31 openings, 32 positive electrodes, 33 negative electrodes, 34 protective insulating layers, 35 positive electrode opening, 36 negative electrode opening, 37 drain electrode, 38 opening, 39 source electrode, 40 cathode electrode, 41 encapsulation layer, 42 facing substrate, 45 facing substrate, 100, 110, 120, 130, 140 TFT board, 300, 310 self-luminous device, 101 first TFT, 102 second TFT, 103, 104, 105 drive transistor, 150 element arrangement area, 160 frame area, 170 scan signal drive circuit, 180 display signal drive Circuit, 200 LED element, 201 positive electrode terminal, 202 negative electrode terminal, PX light emitting element area, TX light transmission area, ELC1 EL element drive circuit, LEDC1 LED element drive circuit, LEDC2 LED element drive circuit, LEDC3 LED element drive circuit, ELL EL element emission light, LEDL LED element emission light, CsA holding capacity, CsB holding capacity, C1 holding capacity, GSC signal generation circuit, CLK clock signal, VSS ground potential, VDD power supply potential.
Claims (10)
前記基板上に設けられた、トップゲート型の第1の薄膜トランジスタおよびボトムゲート型の第2の薄膜トランジスタと、
を備え、
前記第1の薄膜トランジスタは、
前記基板上に設けられた第1のドレイン電極と、
前記第1のドレイン電極上に設けられた第1の保護絶縁層と、
前記第1の保護絶縁層上に設けられた第1のソース電極と、
前記第1の保護絶縁層上に設けられ、前記第1の保護絶縁層を貫通する第1の開口部を通して前記第1のドレイン電極に接するとともに、前記第1のソース電極の上面に接する第1の半導体層と、
前記第1の半導体層上に設けられた第1のゲート絶縁層と、
前記第1のゲート絶縁層上に設けられた第1のゲート電極と、
前記第1の半導体層における前記第1の開口部と前記第1のソース電極との離間領域に対応する部分である第1のチャネル領域と、
を有し、
前記第2の薄膜トランジスタは、
前記基板上に設けられた第2のゲート電極と、
前記第2のゲート電極上に設けられた第2のゲート絶縁層と、
前記第2のゲート絶縁層上に設けられた第2のソース電極と、
前記第2のゲート絶縁層上に設けられ、前記第2のソース電極の上面に接する第2の半導体層と、
前記第2のソース電極上および前記第2の半導体層上に設けられた第2の保護絶縁層と、
前記第2の保護絶縁層上に設けられ、前記第2の保護絶縁層を貫通する第2の開口部を通して前記第2の半導体層に接する第2のドレイン電極と、
前記第2の半導体層における前記第2の開口部と前記第2のソース電極との離間領域に対応する部分である第2のチャネル領域と、
を有し、
前記第1のドレイン電極および前記第2のゲート電極は、同じ第1の導電膜で構成され、
前記第1の保護絶縁層および前記第2のゲート絶縁層は、同じ第1の絶縁膜で構成され、
前記第1のソース電極および前記第2のソース電極は、同じ第2の導電膜で構成され、
前記第1の半導体層および前記第2の半導体層は、同じ半導体膜で構成され、
前記第1のゲート絶縁層および前記第2の保護絶縁層は、同じ第2の絶縁膜で構成され、
前記第1のゲート電極および第2のドレイン電極は、同じ第3の導電膜で構成される、
薄膜トランジスタ基板。 With the board
The top gate type first thin film transistor and the bottom gate type second thin film transistor provided on the substrate,
Equipped with
The first thin film transistor is
The first drain electrode provided on the substrate and
The first protective insulating layer provided on the first drain electrode and
The first source electrode provided on the first protective insulating layer and
A first that is provided on the first protective insulating layer and is in contact with the first drain electrode through a first opening penetrating the first protective insulating layer and is in contact with the upper surface of the first source electrode. Semiconductor layer and
The first gate insulating layer provided on the first semiconductor layer and
The first gate electrode provided on the first gate insulating layer and
A first channel region, which is a portion corresponding to a separation region between the first opening and the first source electrode in the first semiconductor layer,
Have,
The second thin film transistor is
The second gate electrode provided on the substrate and
The second gate insulating layer provided on the second gate electrode and
A second source electrode provided on the second gate insulating layer and
A second semiconductor layer provided on the second gate insulating layer and in contact with the upper surface of the second source electrode, and a second semiconductor layer.
A second protective insulating layer provided on the second source electrode and the second semiconductor layer, and
A second drain electrode provided on the second protective insulating layer and in contact with the second semiconductor layer through a second opening penetrating the second protective insulating layer.
A second channel region, which is a portion corresponding to a separation region between the second opening and the second source electrode in the second semiconductor layer,
Have,
The first drain electrode and the second gate electrode are made of the same first conductive film.
The first protective insulating layer and the second gate insulating layer are made of the same first insulating film.
The first source electrode and the second source electrode are composed of the same second conductive film.
The first semiconductor layer and the second semiconductor layer are composed of the same semiconductor film, and are composed of the same semiconductor film.
The first gate insulating layer and the second protective insulating layer are composed of the same second insulating film.
The first gate electrode and the second drain electrode are composed of the same third conductive film.
Thin film transistor substrate.
前記基板上に設けられた、トップゲート型の第1の薄膜トランジスタおよびボトムゲート型の第2の薄膜トランジスタと、
を備え、
前記第1の薄膜トランジスタは、
前記基板上に設けられた第1のドレイン電極と、
前記第1のドレイン電極上に設けられた第1の保護絶縁層と、
前記第1の保護絶縁層上に設けられた第1のソース電極と、
前記第1の保護絶縁層上に設けられ、前記第1の保護絶縁層を貫通する第1の開口部を通して前記第1のドレイン電極に接するとともに、前記第1のソース電極の上面に接する第1の半導体層と、
前記第1の半導体層上に設けられた第1のゲート絶縁層と、
前記第1のゲート絶縁層上に設けられた第1のゲート電極と、
前記第1の半導体層における前記第1の開口部と前記第1のソース電極との離間領域に対応する部分である第1のチャネル領域と、
を有し、
前記第2の薄膜トランジスタは、
前記基板上に設けられた第2のゲート電極と、
前記第2のゲート電極上に設けられた第2のゲート絶縁層と、
前記第2のゲート絶縁層上に設けられた第2のドレイン電極と、
前記第2のゲート絶縁層上に設けられ、前記第2のドレイン電極の上面に接する第2の半導体層と、
前記第2のドレイン電極上および前記第2の半導体層上に設けられた第2の保護絶縁層と、
前記第2の保護絶縁層上に設けられ、前記第2の保護絶縁層を貫通する第2の開口部を通して前記第2の半導体層に接する第2のソース電極と、
前記第2の半導体層における前記第2の開口部と前記第2のドレイン電極との離間領域に対応する部分である第2のチャネル領域と、
を有し、
前記第1のドレイン電極および前記第2のゲート電極は、同じ第1の導電膜で構成され、
前記第1の保護絶縁層および前記第2のゲート絶縁層は、同じ第1の絶縁膜で構成され、
前記第1のソース電極および前記第2のドレイン電極は、同じ第2の導電膜で構成され、
前記第1の半導体層および前記第2の半導体層は、同じ半導体膜で構成され、
前記第1のゲート絶縁層および前記第2の保護絶縁層は、同じ第2の絶縁膜で構成され、
前記第1のゲート電極および第2のソース電極は、同じ第3の導電膜で構成される、
薄膜トランジスタ基板。 With the board
The top gate type first thin film transistor and the bottom gate type second thin film transistor provided on the substrate,
Equipped with
The first thin film transistor is
The first drain electrode provided on the substrate and
The first protective insulating layer provided on the first drain electrode and
The first source electrode provided on the first protective insulating layer and
A first that is provided on the first protective insulating layer and is in contact with the first drain electrode through a first opening penetrating the first protective insulating layer and is in contact with the upper surface of the first source electrode. Semiconductor layer and
The first gate insulating layer provided on the first semiconductor layer and
The first gate electrode provided on the first gate insulating layer and
A first channel region, which is a portion corresponding to a separation region between the first opening and the first source electrode in the first semiconductor layer,
Have,
The second thin film transistor is
The second gate electrode provided on the substrate and
The second gate insulating layer provided on the second gate electrode and
A second drain electrode provided on the second gate insulating layer and
A second semiconductor layer provided on the second gate insulating layer and in contact with the upper surface of the second drain electrode, and a second semiconductor layer.
A second protective insulating layer provided on the second drain electrode and the second semiconductor layer, and
A second source electrode provided on the second protective insulating layer and in contact with the second semiconductor layer through a second opening penetrating the second protective insulating layer.
A second channel region, which is a portion corresponding to a separation region between the second opening and the second drain electrode in the second semiconductor layer,
Have,
The first drain electrode and the second gate electrode are made of the same first conductive film.
The first protective insulating layer and the second gate insulating layer are made of the same first insulating film.
The first source electrode and the second drain electrode are composed of the same second conductive film.
The first semiconductor layer and the second semiconductor layer are composed of the same semiconductor film, and are composed of the same semiconductor film.
The first gate insulating layer and the second protective insulating layer are composed of the same second insulating film.
The first gate electrode and the second source electrode are composed of the same third conductive film.
Thin film transistor substrate.
請求項1または請求項2に記載の薄膜トランジスタ基板。 The semiconductor film is composed of an oxide semiconductor film containing a metal oxide.
The thin film transistor substrate according to claim 1 or 2.
前記第2の導電膜で構成され、対応する前記素子領域の前記第1のソース電極と一体パターンで構成された第1の配線と、
前記第1の導電膜で構成され、前記第1の配線と平行に延在し、対応する前記素子領域の前記第2のソース電極に電気的に接続された第2の配線と、
前記第3の導電膜で構成され、前記第1の配線および前記第2の配線と交差して延在し、対応する前記素子領域の前記第1のゲート電極と一体パターンで構成された第3の配線と、
を備える、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の薄膜トランジスタ基板。 A plurality of element regions including the first thin film transistor and the second thin film transistor and the light emitting element region in which the light emitting element driven by the first thin film transistor and the second thin film transistor are arranged are arranged on the substrate. Has been
A first wiring composed of the second conductive film and an integral pattern with the first source electrode in the corresponding element region.
A second wire composed of the first conductive film, extending parallel to the first wire and electrically connected to the second source electrode in the corresponding element region.
A third that is composed of the third conductive film, extends so as to intersect with the first wiring and the second wiring, and is configured with an integral pattern with the first gate electrode of the corresponding element region. Wiring and
To prepare
The thin film transistor substrate according to any one of claims 1 to 3.
前記第2のドレイン電極は、前記容量電極と平面視で重なる領域を有し、前記容量電極と前記第2のドレイン電極との間で保持容量が構成される、
請求項4に記載の薄膜トランジスタ基板。 The first drain electrode and the second gate electrode are configured in a continuous integrated pattern and function as a capacitive electrode.
The second drain electrode has a region that overlaps with the capacitance electrode in a plan view, and a holding capacitance is formed between the capacitance electrode and the second drain electrode.
The thin film transistor substrate according to claim 4.
前記第2のソース電極は、前記容量電極と平面視で重なる領域を有し、前記容量電極と前記第2のソース電極との間で保持容量が構成される、
請求項4または請求項5に記載の薄膜トランジスタ基板。 The first drain electrode and the second gate electrode are configured in a continuous integrated pattern and function as a capacitive electrode.
The second source electrode has a region that overlaps the capacitance electrode in a plan view, and a holding capacitance is formed between the capacitance electrode and the second source electrode.
The thin film transistor substrate according to claim 4 or 5.
請求項4から請求項6のいずれか一項に記載の薄膜トランジスタ基板。 It further comprises a fourth wire, which is composed of the third conductive film, extends parallel to the third wire, and is connected to the light emitting device in the corresponding element region.
The thin film transistor substrate according to any one of claims 4 to 6.
請求項4から請求項7のいずれか一項に記載の薄膜トランジスタ基板。 The light emitting element region is provided in a region surrounded by the first wiring, the second wiring, and the third wiring.
The thin film transistor substrate according to any one of claims 4 to 7.
請求項4から請求項7のいずれか一項に記載の薄膜トランジスタ基板。 A light emitting element region and a light transmitting region are provided in a region surrounded by the first wiring, the second wiring, and the third wiring.
The thin film transistor substrate according to any one of claims 4 to 7.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020196918A JP2022085303A (en) | 2020-11-27 | 2020-11-27 | Thin film transistor substrate and self-light-emitting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020196918A JP2022085303A (en) | 2020-11-27 | 2020-11-27 | Thin film transistor substrate and self-light-emitting device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022085303A true JP2022085303A (en) | 2022-06-08 |
Family
ID=81892753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020196918A Pending JP2022085303A (en) | 2020-11-27 | 2020-11-27 | Thin film transistor substrate and self-light-emitting device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2022085303A (en) |
-
2020
- 2020-11-27 JP JP2020196918A patent/JP2022085303A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102526110B1 (en) | Display apparatus and method of manufacturing display apparatus | |
US9088003B2 (en) | Reducing sheet resistance for common electrode in top emission organic light emitting diode display | |
US11437439B2 (en) | Display device | |
CN109860227B (en) | Organic light emitting display device | |
US20150008400A1 (en) | Organic light emitting display devices and methods of manufacturing organic light emitting display devices | |
US11227875B2 (en) | Display device | |
KR102545527B1 (en) | Transparent organic emitting display device | |
US11839110B2 (en) | Organic light-emitting display device | |
JP2006066917A (en) | Organic light emitting display unit and method of manufacturing it | |
TWI759046B (en) | Organic light-emitting diode display device and method of manufacturing same | |
US11495652B2 (en) | Organic light emitting diode display device and method of manufacturing organic light emitting diode display device | |
WO2021237725A9 (en) | Display substrate and display device | |
KR20210010696A (en) | Display device | |
KR20200133890A (en) | Display device and method for manufacturing the same | |
US20140097419A1 (en) | Organic light emitting diode display and method for manufacturing the same | |
JP6806956B1 (en) | Thin film transistor substrate and display device | |
US20220208923A1 (en) | Display device and method of providing the same | |
TWI760011B (en) | Display device and manufacturing method of same | |
CN115497998A (en) | Display substrate, preparation method thereof and display device | |
US20230180521A1 (en) | Display Substrate, Preparation Method thereof, and Display Apparatus | |
JP2022085303A (en) | Thin film transistor substrate and self-light-emitting device | |
KR102484892B1 (en) | Transparent display device and method for fabricating thereof | |
KR20210138843A (en) | Display apparatus and method of manufacturing the same | |
KR20210053610A (en) | Flexible display device | |
US12022675B2 (en) | Display device connecting cathode electrode and auxiliary electrode of light emitting element by using ion migration of anode electrode of light emitting element and manufacturing method of same |