JP2022078111A - 超音波モータ、駆動制御システム、光学機器および振動子 - Google Patents
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Abstract
Description
円環状の移動体2は同じく円環状の振動子1に加圧接触させられ、振動子1との接触面に発生する振動がもたらす駆動力によって回転する。移動体2の振動子1との接触面は平面状であることが好ましい。移動体2の材質は弾性体であることが好ましく、その素材は金属であることが好ましい。例えば、アルミニウムが移動体2の素材として好適に用いられる。アルミニウムの表面をアルマイト(陽極酸化)処理しても良い。
振動子1は、図1(a)に示すように、円環状で外径2Rの振動板101と、振動板101の第一の面上に設けられた円環状の圧電素子102よりなり、振動板101の第二の面で移動体2と接触している。移動体2は、適当な外力によって振動板101の第二の面に押し付けられていると、振動子1から移動体2への駆動力の伝達が良好となるため、好ましい。前記振動板101の外周が単純形状ではなく、測定箇所によって複数の外径を有する場合は、最大の外径を2Rとする。
円環状の圧電素子102は、図1(a)に示すように、円環状の一片の圧電セラミックス1021と、圧電セラミックス1021の振動板101と対向する側の面上に設けられた共通電極1022と、共通電極1022が設けられた面とは反対側の面上に設けられた複数の電極1023を有している。
図2に示すように、移動体2と接触する振動板101の第二の面は、放射状に伸びる断面U字形の溝部1012を複数本有する。ここでいう「断面U字形」とは、当該振動板の第二の面に対して、実質的に垂直な両壁面と実質的に水平な底面を有する断面形状をいう。ただし、底面と各壁面とが丸く滑らかに接続している所謂U字形状のみならず、底面と各壁面とが直角に角をなして接続している所謂矩形状や、それらの中間的形状、あるいはそれらからの多少の変形など、所謂U字形状に準ずる形状であって「断面U字形」とみなし得るものを広く含む。図6(b)-(d)は、そのような本発明に含まれる断面U字形の溝部の断面形状の例を示したものである。
振動板101は、圧電素子102と一体となって曲げ振動の進行波を形成し、移動体2に振動を伝達するという目的から、弾性体であることが好ましい。また、振動板101は弾性体としての性質および加工性の観点から金属よりなることが好ましい。振動板101に使用可能な金属としては、アルミ、真鍮、Fe-Ni36%合金、ステンレス鋼を例示できる。このうち、本発明で用いることが好ましい室温におけるヤング率が100GPa以上135GPa以下の圧電セラミックス1021と組み合わせて、高い回転速度を得られるのはステンレス鋼である。ここでいうステンレス鋼とは、鋼を50質量%以上、クロムを10.5質量%以上含有する合金を指している。ステンレス鋼の中でも、マルテンサイト系ステンレス鋼が好ましく、SUS420J2が振動板101の材質として最も好ましい。
圧電セラミックス1021の組成は、鉛の含有量が1000ppm未満(すなわち非鉛系)であって、かつ、より好ましくは、室温におけるヤング率が100GPa以上135GPa以下であれば、特に限定されない。例えば、チタン酸バリウム、チタン酸バリウムカルシウム、チタン酸ジルコン酸バリウムカルシウム、チタン酸ビスマスナトリウム、ニオブ酸カリウムナトリウム、ニオブ酸チタン酸ナトリウムバリウム、鉄酸ビスマスなどの組成の圧電セラミックスや、これらの組成を主成分とした圧電セラミックスを本発明の超音波モータおよび振動子1に用いることができる。
(Ba1-xCax)α(Ti1-yZry)O3 (1)
ただし、
0.986≦α≦1.100、
0.02≦x≦0.30、
0.020≦y≦0.095
で表わされるペロブスカイト型金属酸化物を主成分とし、該圧電セラミックスに含まれる主成分以外の金属成分の含有量が前記金属酸化物100重量部に対して金属換算で1.25重量部以下であることが好ましい。
次に、本発明の駆動制御システムを説明する。図8は、本発明の駆動制御システムの一実施形態を示す模式図である。本発明の駆動制御システムは、本発明の超音波モータと、前記超音波モータに電気的に接続される駆動回路を少なくとも有する。駆動回路は、本発明の超音波モータに7次の曲げ振動波を発生させ、回転駆動させるための電気信号を発する信号発生機構を内蔵する。
次に、本発明の光学機器について説明する。本発明の光学機器は、本発明の駆動制御システムと前記駆動制御システムに含まれる超音波モータに力学的に接続した光学部材とを少なくとも有することを特徴とする。本明細書において「力学的に接続」とは一方の部材の座標変動、体積変化、形状変化によって生じた力が他方の部材に伝わるように直接的に接触している状態、または、第三の部材を介して接触している状態を指している。
次に、実施例を挙げて、本発明の振動子、超音波モータ、駆動制御システムおよび光学機器を具体的に説明するが、本発明は、以下の実施例により限定されるものではない。なお、実施例は、図面に基づいて、図面中の符号を用いて説明する。
鉛の含有量が1000ppm未満であり、かつ、室温におけるヤング率が100GPa以上135GPa以下である円環状の一片の圧電セラミックスを以下のように製造した。ヤング率については、圧電素子から切り出した試験片を用いて測定した。
(Ba0.84Ca0.16)1.00(Ti0.94Zr0.06)O3
へのMnの添加を意図して、相当する原料粉を以下のように秤量した。
(Ba0.84Ca0.16)1.00(Ti0.94Zr0.06)O3
の組成になるように秤量した。AサイトとBサイトのモル比を示すxを調整するために炭酸バリウムおよび酸化チタンを用いた。前記組成
(Ba0.84Ca0.16)1.00(Ti0.94Zr0.06)O3
の100重量部に対して、Mnの含有量が金属換算で0.26重量部となるように四酸化三マンガンを加えた。
(Ba0.84Ca0.16)1.00(Ti0.94Zr0.06)O3
の組成で表すことができるペロブスカイト型金属酸化物を主成分とし、前記主成分100重量部に対してMnを0.26重量部含有した組成であることが分かった。この本製造例で作製した圧電セラミックスの組成を「組成1」とする。
(Ba0.86Ca0.14)1.00(Ti0.94Zr0.06)O3
へのMnとBiの添加を意図して、相当する原料粉を以下のように秤量した。
原料粉としていずれも平均粒子径が300nm以下でペロブスカイト型構造を有するチタン酸バリウム、チタン酸カルシウム、ジルコン酸カルシウムを用いて、Ba、Ca、Ti、Zrが
(Ba0.86Ca0.14)1.00(Ti0.94Zr0.06)O3
の組成になるように秤量した。AサイトとBサイトのモル比を示すxを調整するために炭酸バリウムおよび酸化チタンを用いた。前記組成
(Ba0.84Ca0.16)1.00(Ti0.94Zr0.06)O3
の100重量部に対して、Mnの含有量が金属換算で0.14重量部となるように四酸化三マンガンを加えた。同様にBiの含有量が金属換算で0.18重量部となるように酸化ビスマスを加えた。
(Ba0.84Ca0.16)1.00(Ti0.94Zr0.06)O3
の組成で表すことができるペロブスカイト型金属酸化物を主成分とし、前記主成分100重量部に対してMnを0.14重量部、Biを0.18重量部含有した組成であることが分かった。この本製造例で作製した圧電セラミックスの組成を「組成2」とする。
図11は、本発明の超音波モータおよび振動子に用いられる円環状の振動板の製造方法の一例を示す概略工程図である。
振動板V1と同様の原材料と製造方法によって、振動板V2を作製した。ただし振動板V2の90箇所の溝部1012の中心深さD1からD90は、図7(d)に示す深さになるようにした。また、D1からD90の絶対値の平均Daveは1.65mmになるように変更した。その結果、2R=77.0mm、2Rin=67.1mm、Tdia=5.0mm、X=90、Ltop/Lbtm=1.69、Dave=1.65mmの振動板V2を得た。D1からD90は2つの正弦波を重ね合せた曲線に沿うように変化している。また、変化の極大部と極小部は図7(d)や対応する図7(c)から分かるように16箇所ずつであった。変化の極大部と極小部で隣接している箇所は無かった。D1からD90の絶対値の最大は1.903mmであり、最小は1.399mmであったので、その差分は0.505mmであり、振動板101の最大厚みTdia(5.0mm)に対して10.1%であった。D1からD90の絶対値の平均Daveは1.65mmであり、振動板101の最大厚みTdia(5.0mm)に対して33.0%であった。
振動板V1と同様の原材料と製造方法によって、振動板V3を作製した。ただし、振動板V3の90箇所の溝部1012の中心深さD1からD90は、図7(f)に示す深さになるようにした。また、D1からD90は4つの正弦波を重ね合せた曲線に沿うように変化させ、変化の極大部と極小部が12箇所ずつになるようにした。
振動板V1と同様の原材料と製造方法によって、振動板V4~V8を作製した。ただし、振動板V4では、最大厚みTdia=6.0mm、90箇所の溝部1012の中心深さD1からD90は、図12-1(b)に示す深さになるようにした。D1からD90の絶対値の平均Daveは1.65mmになるように変更した。またD1からD90は4つの正弦波を重ね合せた曲線に沿うように変化させ、変化の極大部と極小部を12箇所ずつになるようにした。
以上の結果、表4に示す寸法の振動板V4~V8を得た。
V1 図7(b)
V2 図7(d)
V3 図7(f)
V4 図12-1(b)
V5 図12-1(d)
V6 図12-1(f)
V7 図12-2(h)
V8 図12-2(j)
本発明との比較のために、振動板V1と同様の原材料と製造方法によって、2R=77.0mm、2Rin=67.1mm、Tdia=5.0mm、X=90、Ltop/Lbtm=1.69の振動板V9Rを作製した。ただし、振動板V9Rの90箇所の溝部の中心深さD1からD90は、全て1.85mmとした。
本発明の振動子および超音波モータに用いる振動板V1~V8および比較用の振動板V9R、V10Rについて、各溝部の中心深さを計測した。これらの中心深さの値の列を高速フーリエ変換して、振動体の1周を1サイクルとする空間周波数を変数とする関数に換算した。計算結果を図13に示す。
図14は、本発明の振動子および超音波モータの製造方法の一例を示す概略工程図である。
上記の製造実施例で得た本発明の振動子1の共振周波数を測定することで、発生する曲げ振動波の波数を特定し、比較用の振動子との差異を評価した。
本発明の超音波モータおよび比較用の超音波モータに用いるために、円環状の移動体2を作製した。製造例1~4、9、11~14および19に対しては、外径が77.0mm、内径が67.1mm、厚み5mmの円環状の移動体を作製した。製造例5および15に対しては、外径が85.0mm、内径が73.5mm、厚み5mmの円環状の移動体を作製した。製造例6、7、10、16、17および20に対しては、外径が88.0mm、内径が76.0mm、厚み5mmの円環状の移動体を作製した。
図1(a)および図2に示すように、本発明の振動子1の第二の面に振動板101のサイズに合わせた移動体2を加圧接触させて本発明の超音波モータを作製した。同様に、比較用の超音波モータを作製した。
フレキシブルプリント基板3のコネクタ部を利用して、本発明の超音波モータにおける駆動相電極10231、共通電極1022と短絡している非駆動相電極10232および検知相電極10233と外部の駆動回路を電気的に接続し、図8のような構成の本発明の駆動制御システムを作製した。外部の駆動回路は、超音波モータを駆動するための制御機構および制御機構の指示によって7波の曲げ振動波を発生させるための交番電圧を出力する信号発生機構を有している。
本発明の駆動制御システムを用いて、図9および図10に示される光学機器を作製し、交番電圧の印加に応じたオートフォーカス動作を確認した。
101 振動板
101a 金属板
1011 隔壁部(突起部)
1012 溝部
102 圧電素子
1021 圧電セラミックス
1022 共通電極
1023 複数の電極
10231 駆動相電極
102311 分極用電極
102312 つなぎ電極
10232 非駆動相電極
10233 検知相電極
2 移動体
3 フレキシブルプリント基板
301 電気配線
302 絶縁体(ベースフィルム)
701 前群レンズ
702 後群レンズ(フォーカスレンズ)
711 着脱マウント
712 固定筒
713 直進案内筒
714 前群鏡筒
715 カム環
716 後群鏡筒
717 カムローラ
718 軸ビス
719 ローラ
720 回転伝達環
722 コロ
724 マニュアルフォーカス環
725 超音波モータ
726 波ワッシャ
727 ボールレース
728 フォーカスキー
729 接合部材
732 ワッシャ
733 低摩擦シート
Claims (21)
- 円環状の振動子と該振動子に対して加圧接触するように配設された円環状の移動体とを備えた超音波モータであって、
前記振動子は、円環状の振動板と、該振動板の第一の面上に設けられた円環状の圧電素子よりなり、前記振動板は前記第一の面とは反対側の第二の面で前記移動体と接触し、
前記圧電素子は、円環状の一片の圧電セラミックスと、該圧電セラミックスの前記振動板と対向する面上に該圧電セラミックスと該振動板との間に挟まれるように設けられた共通電極と、該圧電セラミックスの前記共通電極が設けられた面とは反対側の面上に設けられた複数の電極とを有しており、
前記圧電セラミックスは、鉛の含有量が1000ppm未満であり、
前記複数の電極は、2つの駆動相電極と1つ以上の非駆動相電極と1つ以上の検知相電極よりなり、
前記円環状の振動板の第二の面は、放射状に伸びる溝部をX箇所に有し、該円環状の振動板の外径を2R(単位mm)としたとき、前記Xは2R/0.85-5≦X≦2R/0.85+15を満たす自然数であり、前記2Rは57mm以上であり、
隣接する前記溝部同士を隔てる隔壁部の外径側の円周方向の長さの平均値Ltopと前記溝部の外径側の円周方向の長さの平均値Lbtmの比は1.45≦Ltop/Lbtm≦1.85の範囲にあり、
前記X箇所の溝部の中心深さを円周方向に順にD1~DXとしたとき、D1~DXは1つ以上の正弦波を重ね合せた曲線に沿うように変化しており、当該中心深さの変化における極大となる溝部と極小となる溝部とがそれぞれ12箇所以上あり、該極大となる溝部と極小となる溝部とは互いに隣接しないことを特徴とする超音波モータ。 - 前記圧電セラミックスの室温におけるヤング率が100GPa以上135GPa以下である請求項1に記載の超音波モータ。
- 前記D1~DXの最大値と最小値との差分が前記振動板の最大厚みTdiaに対して5%以上25%以下である請求項1または2に記載の超音波モータ。
- 前記D1~DXの平均値Daveが前記振動板の最大厚みTdiaに対して25%以上50%以下である請求項1乃至3のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記円環状の圧電素子の面上の任意の位置を通る、当該円環と中心を共にする円の円周を7等分した1つの円弧の長さをλとして円周長を7λで表したとき、前記2つの駆動相電極の円周方向の長さはそれぞれ3λであり、それらは円周方向にλ/4および3λ/4の長さを有する2つの間隔部により互いに円周方向に離隔され、各駆動相電極と接する部分の圧電セラミックスは円周方向に交互に極性が反転する6つの分極部からなり、前記1つ以上の非駆動相電極および前記1つ以上の検知相電極は前記2つの間隔部に設けられている請求項1乃至4のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記振動板の外径2Rが90mm以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記振動板の内径2Rin (単位mm)が、2R-16≦2Rin≦2R-6の関係を満たすことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記円環状の一片の圧電セラミックスの外径が、前記振動板の外径より小さく、かつ、前記円環状の一片の圧電セラミックスの内径が、前記振動板の内径より大きいことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記振動板の最大厚みTdiaが、4mm以上6mm以下であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記振動板が、鋼を50質量%以上、クロムを10.5質量%以上含有する合金よりなることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記Xが偶数であり、前記D1~DXのうち、D1~DX/2の深さ変動とDX/2+1~DXの深さ変動とが一致することを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記検知相電極に最も近接する溝部の中心深さをDsen(1≦sen≦X)としたときに、|Dsen+1-Dsen-1|/Dsenが5%以下であることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記極大となる溝部のうち、その中心深さが前記D1~DXの平均値Daveの1.15倍以上1.30倍以下である溝部が8箇所以上であることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記極大となる溝部のうち、中心深さが最も大きい溝部と二番目に大きい溝部の間に位置する溝部の数Iが、I≧X/18の関係を満たすことを特徴とする請求項1乃至13のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記溝部の中心深さが極大となる溝部が12箇所乃至16箇所あることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記圧電セラミックスが下記一般式(1)
(Ba1-xCax)α(Ti1-yZry)O3 (1)
ただし
0.986≦α≦1.100、
0.02≦x≦0.30、
0.020≦y≦0.095
で表わされるペロブスカイト型金属酸化物を主成分とし、該圧電セラミックスに含まれる主成分以外の金属成分の含有量が前記金属酸化物100重量部に対して金属換算で1.25重量部以下であることを特徴とする請求項1乃至15のいずれか一項に記載の超音波モータ。 - 前記金属酸化物にMnが含有されており、該Mnの含有量が前記金属酸化物100重量部に対して金属換算で0.02重量部以上0.40重量部以下であることを特徴とする請求項16のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 請求項1乃至17のいずれか一項に記載の超音波モータと、該超音波モータに電気的に接続される駆動回路とを少なくとも有することを特徴とする駆動制御システム。
- 前記駆動回路が前記振動子に7次の曲げ振動波を発生させる信号発生機構を有することを特徴とする請求項18に記載の駆動制御システム。
- 請求項19に記載の駆動制御システムと前記超音波モータに力学的に接続した光学部材とを少なくとも有することを特徴とする光学機器。
- 円環状の振動子であって、円環状の振動板と、該振動板の第一の面上に設けられた円環状の圧電素子よりなり、
前記圧電素子は、円環状の一片の圧電セラミックスと、該圧電セラミックスの前記振動板と対向する面上に該圧電セラミックスと該振動板との間に挟まれるように設けられた共通電極と、該圧電セラミックスの前記共通電極が設けられた面とは反対側の面上に設けられた複数の電極とを有しており、
前記圧電セラミックスは、鉛の含有量が1000ppm未満であり、
前記複数の電極は、2つの駆動相電極と1つ以上の非駆動相電極と1つ以上の検知相電極よりなり、
前記円環状の振動板の第二の面は、放射状に伸びる溝部をX箇所に有し、該円環状の振動板の外径を2R(単位mm)としたとき、前記Xは2R/0.85-5≦X≦2R/0.85+15を満たす自然数であり、前記2Rは57mm以上であり、
隣接する前記溝部同士を隔てる隔壁部の外径側の円周方向の長さの平均値Ltopと前記溝部の外径側の円周方向の長さの平均値Lbtmの比は1.45≦Ltop/Lbtm≦1.85の範囲にあり、
前記X箇所の溝部の中心深さを円周方向に順にD1~DXとしたとき、D1~DXは1つ以上の正弦波を重ね合せた曲線に沿うように変化しており、当該中心深さの変化における極大となる溝部と極小となる溝部とがそれぞれ12箇所以上あり、該極大となる溝部と極小となる溝部とは互いに隣接しないことを特徴とする振動子。
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Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10536097B2 (en) * | 2015-11-27 | 2020-01-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator |
US10516091B2 (en) * | 2015-11-27 | 2019-12-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator |
US10451833B2 (en) * | 2015-11-27 | 2019-10-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator |
JP7031586B2 (ja) * | 2016-06-30 | 2022-03-08 | 株式会社ニコン | 振動波モータ及び光学機器 |
EP3700079B1 (en) | 2017-10-18 | 2024-03-27 | Nikon Corporation | Vibration wave motor and optical device |
JP7134815B2 (ja) * | 2017-11-06 | 2022-09-12 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ、駆動制御システム、光学機器および電子機器 |
US11469689B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor, drive control system, and optical apparatus |
JP7304514B2 (ja) * | 2019-02-28 | 2023-07-07 | 株式会社シグマ | 段階式偏芯コロ、レンズ鏡筒及びレンズ鏡筒のシフト調整方法 |
CN110606527A (zh) * | 2019-10-12 | 2019-12-24 | 周楚新 | 贴片式自供电的全方位超声波辐射除藻装置及其工作方法 |
CN114280874A (zh) * | 2020-09-17 | 2022-04-05 | 新思考电机有限公司 | 光学部件驱动装置、照相机装置以及电子设备 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03230771A (ja) * | 1990-02-02 | 1991-10-14 | Canon Inc | 振動波モータ |
JPH07115782A (ja) * | 1993-10-13 | 1995-05-02 | Canon Inc | 振動波駆動装置 |
JPH07298652A (ja) * | 1994-04-27 | 1995-11-10 | Canon Inc | 振動波モータ |
JP2001045774A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-16 | Canon Inc | 電気−機械エネルギー変換素子を振動源とする振動体、この振動体を駆動源とする振動波駆動装置、振動波駆動装置を有する装置およびこの振動体を搬送源とする搬送装置 |
JP2001298975A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Canon Inc | 弾性体の製造方法および弾性体、およびこの弾性体を用いた振動波駆動装置 |
JP2003319668A (ja) * | 2002-04-18 | 2003-11-07 | Canon Inc | 振動波駆動装置及びその駆動回路 |
JP2006271034A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Nikon Corp | 振動波モータ |
JP2009165231A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Canon Inc | 振動波駆動装置およびそれを用いる装置 |
JP2012195577A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-10-11 | Canon Inc | 圧電材料、圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置 |
JP2013219316A (ja) * | 2011-07-05 | 2013-10-24 | Canon Inc | 圧電素子、積層圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器および電子機器 |
JP2014168056A (ja) * | 2013-01-29 | 2014-09-11 | Canon Inc | 圧電材料、圧電素子、積層圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器、振動装置、塵埃除去装置、撮像装置、および電子機器 |
JP2015208214A (ja) * | 2014-04-07 | 2015-11-19 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置および光学機器 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63178773A (ja) * | 1987-01-14 | 1988-07-22 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波モ−タ |
DE69030827T2 (de) | 1989-02-14 | 1998-01-15 | Canon Kk | Vibrationswellenmotor |
JPH02237481A (ja) | 1989-03-07 | 1990-09-20 | Canon Inc | 振動波モータ |
JP2604862B2 (ja) | 1989-09-06 | 1997-04-30 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
JPH03183376A (ja) | 1989-12-08 | 1991-08-09 | Canon Inc | 振動波モータ |
JPH03183381A (ja) | 1989-12-12 | 1991-08-09 | Canon Inc | 振動波モータ |
JP2993702B2 (ja) | 1990-04-02 | 1999-12-27 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
JPH0421374A (ja) | 1990-05-15 | 1992-01-24 | Canon Inc | 振動波モータ及びプリンタ |
JPH04121076A (ja) | 1990-09-12 | 1992-04-22 | Canon Inc | 振動波モータ |
US5440190A (en) * | 1992-09-25 | 1995-08-08 | Olympus Optical Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
JPH06133569A (ja) * | 1992-10-14 | 1994-05-13 | Nikon Corp | 超音波モータ |
JPH08228492A (ja) * | 1995-02-22 | 1996-09-03 | Fukoku Co Ltd | 超音波モータ |
JP2981471B2 (ja) * | 1997-10-27 | 1999-11-22 | ファナック株式会社 | 両面駆動超音波モータ |
JP3616712B2 (ja) * | 1997-11-05 | 2005-02-02 | セイコーインスツル株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 |
JP4333179B2 (ja) | 2003-03-26 | 2009-09-16 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータの製造方法 |
JP5344456B2 (ja) | 2008-03-11 | 2013-11-20 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 非鉛系圧電材料 |
JP5455752B2 (ja) | 2010-04-01 | 2014-03-26 | セイコーインスツル株式会社 | 超音波モータ及びこれを搭載した電子機器 |
KR101119343B1 (ko) * | 2010-04-29 | 2012-03-06 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 메모리 장치의 프로그램 방법 |
WO2012111279A1 (ja) * | 2011-02-18 | 2012-08-23 | パナソニック株式会社 | 圧電素子 |
TWI528066B (zh) | 2011-11-21 | 2016-04-01 | 鴻海精密工業股份有限公司 | 致動器及具有該致動器之相機模組 |
TWM445304U (zh) | 2012-07-05 | 2013-01-11 | 中原大學 | 複合式壓電致動器 |
JP6315883B2 (ja) | 2012-12-26 | 2018-04-25 | キヤノン株式会社 | 圧電素子、振動波モーター用ステーター |
EP2749550B1 (en) | 2012-12-28 | 2017-05-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric material, piezoelectric element, and electronic apparatus |
US10213140B2 (en) | 2013-05-17 | 2019-02-26 | Johnson & Johnson Vision Care, Inc. | Ophthalmic lens with a microfluidic system |
KR20160019968A (ko) | 2013-06-28 | 2016-02-22 | 캐논 가부시끼가이샤 | 진동파 구동 디바이스, 진동파 모터용 스테이터, 진동파 모터, 구동 제어 시스템, 광학 장치, 및 진동파 구동 디바이스의 제조 방법 |
JP6362087B2 (ja) | 2013-07-12 | 2018-07-25 | キヤノン株式会社 | 圧電材料、圧電素子、および電子機器 |
JP6381294B2 (ja) | 2013-07-12 | 2018-08-29 | キヤノン株式会社 | 圧電材料、圧電素子、および電子機器 |
US10775681B2 (en) * | 2015-11-27 | 2020-09-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator |
US10536097B2 (en) * | 2015-11-27 | 2020-01-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator |
US10516091B2 (en) * | 2015-11-27 | 2019-12-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator |
-
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03230771A (ja) * | 1990-02-02 | 1991-10-14 | Canon Inc | 振動波モータ |
JPH07115782A (ja) * | 1993-10-13 | 1995-05-02 | Canon Inc | 振動波駆動装置 |
JPH07298652A (ja) * | 1994-04-27 | 1995-11-10 | Canon Inc | 振動波モータ |
JP2001045774A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-16 | Canon Inc | 電気−機械エネルギー変換素子を振動源とする振動体、この振動体を駆動源とする振動波駆動装置、振動波駆動装置を有する装置およびこの振動体を搬送源とする搬送装置 |
JP2001298975A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Canon Inc | 弾性体の製造方法および弾性体、およびこの弾性体を用いた振動波駆動装置 |
JP2003319668A (ja) * | 2002-04-18 | 2003-11-07 | Canon Inc | 振動波駆動装置及びその駆動回路 |
JP2006271034A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Nikon Corp | 振動波モータ |
JP2009165231A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Canon Inc | 振動波駆動装置およびそれを用いる装置 |
JP2012195577A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-10-11 | Canon Inc | 圧電材料、圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置 |
JP2013219316A (ja) * | 2011-07-05 | 2013-10-24 | Canon Inc | 圧電素子、積層圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器および電子機器 |
JP2014168056A (ja) * | 2013-01-29 | 2014-09-11 | Canon Inc | 圧電材料、圧電素子、積層圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器、振動装置、塵埃除去装置、撮像装置、および電子機器 |
JP2015208214A (ja) * | 2014-04-07 | 2015-11-19 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置および光学機器 |
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