JP2022037675A - Remote maintenance support method - Google Patents

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JP2022037675A JP2020141925A JP2020141925A JP2022037675A JP 2022037675 A JP2022037675 A JP 2022037675A JP 2020141925 A JP2020141925 A JP 2020141925A JP 2020141925 A JP2020141925 A JP 2020141925A JP 2022037675 A JP2022037675 A JP 2022037675A
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maintenance
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maintenance worker
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典洋 辻岡
Norihiro Tsujioka
剛士 波部
Takeshi Namibe
克司 花田
Katsushi Hanada
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Abstract

To provide a remote maintenance support method which can efficiently support a maintenance worker while giving a sense of security about information leakage to the maintenance worker.SOLUTION: A remote maintenance support method comprises the steps of: causing a server 3 to store a plurality of maintenance object candidates T in advance; specifying a maintenance object on which a maintenance worker performs maintenance work among the plurality of stored maintenance object candidates; determining whether or not to perform bi-directional data communication between a maintenance worker side terminal 2 and a maintenance supporter side terminal 1 via the server; causing the maintenance worker side terminal to generate a processing image in which a mask pixel region being a pixel region other than the maintenance object is invisible among the pixel regions constituting a photographed image including the maintenance object acquired by the maintenance worker side terminal when it is determined that the bi-directional data communication is performed; and supporting the maintenance work on the maintenance object performed by the maintenance worker by allowing a maintenance supporter to visually recognize the processing image transmitted to the maintenance supporter side terminal from the maintenance worker side terminal.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、保守対象に対する保守作業者の保守作業を遠隔から支援する方法に関する。特に、本発明は、保守作業者に対して情報漏洩に関する安心感を与えつつ、効率的に保守作業者を支援することが可能な遠隔保守支援方法に関する。 The present invention relates to a method of remotely supporting maintenance work of a maintenance worker for a maintenance target. In particular, the present invention relates to a remote maintenance support method capable of efficiently supporting a maintenance worker while giving the maintenance worker a sense of security regarding information leakage.

従来、一般的に、産業用機器(例えば、基板処理装置)等の保守対象のトラブルが発生した場合、保守対象の設置現場に居る保守作業者が、トラブルの状況を確認した上で、保守対象の製造メーカ側の保守支援者に電話でトラブルの状況を伝え、保守支援者が電話によって保守作業者に各種の指示を出す対応を行っている。
上記の電話対応を行ってもトラブルが解決しない場合には、製造メーカ側の熟練作業者の予定が空いているタイミングで、保守対象の設置現場に熟練作業者を派遣する対応を行っている。
Conventionally, in general, when a trouble to be maintained such as an industrial device (for example, a board processing device) occurs, a maintenance worker at the installation site to be maintained confirms the trouble situation and then is to be maintained. The maintenance supporter on the manufacturer's side is informed of the trouble situation by telephone, and the maintenance supporter gives various instructions to the maintenance worker by telephone.
If the trouble is not solved even if the above telephone response is performed, the skilled worker is dispatched to the installation site to be maintained at the timing when the skilled worker on the manufacturer side is scheduled.

上記の電話対応の場合、口頭による意思疎通であるため、トラブルの状況が保守支援者に上手く伝わらなかったり、保守支援者の指示が保守作業者に上手く伝わらず、トラブルが解決できない場合がある。
また、上記の熟練作業者を派遣する対応の場合、即時の対応が難しいという問題がある。
In the case of the above-mentioned telephone correspondence, since the communication is oral, the trouble situation may not be well communicated to the maintenance supporter, or the maintenance supporter's instructions may not be well communicated to the maintenance worker, and the trouble may not be solved.
Further, in the case of the above-mentioned response to dispatch skilled workers, there is a problem that immediate response is difficult.

上記のような問題を解決するため、特許文献1には、保守作業者(第1作業者)の携帯端末(第1携帯端末)と、遠隔地で支援を行う保守支援者(第2作業者)の携帯端末(第2携帯端末)と、サーバと、を備えるシステムを用いた遠隔保守支援方法が提案されている。特許文献1に記載の方法では、サーバが、保守作業者がカメラを用いて撮像した撮像画像における保守対象以外の領域をマスキング処理して、マスキング画像を生成し、このマスキング画像を保守支援者の携帯端末に送信して、保守支援者の携帯端末に表示させている。 In order to solve the above problems, Patent Document 1 describes a mobile terminal (first mobile terminal) of a maintenance worker (first worker) and a maintenance supporter (second worker) who provides support at a remote location. ), A remote maintenance support method using a system including a mobile terminal (second mobile terminal) and a server has been proposed. In the method described in Patent Document 1, the server masks a non-maintenance area in the captured image captured by the maintenance worker using a camera to generate a masked image, and the masked image is used by the maintenance supporter. It is sent to the mobile terminal and displayed on the mobile terminal of the maintenance supporter.

特許文献1に記載の方法によれば、保守支援者が携帯端末に表示されたマスキング画像によって保守対象を目視できるため、トラブルの状況を把握し易く、電話対応のみで支援する場合に比べて、効率的に保守作業者を支援することができると考えられる。 According to the method described in Patent Document 1, since the maintenance supporter can visually check the maintenance target by the masking image displayed on the mobile terminal, it is easy to grasp the situation of the trouble, and compared with the case where the support is provided only by telephone correspondence. It is thought that it is possible to efficiently support maintenance workers.

しかしながら、特許文献1に記載の方法では、サーバがマスキング処理を実行するため、保守作業者が保守対象以外の機密情報等の漏洩に関して十分な安心感を得られないという問題がある。 However, in the method described in Patent Document 1, since the server executes the masking process, there is a problem that the maintenance worker cannot obtain a sufficient sense of security regarding the leakage of confidential information other than the maintenance target.

特開2018-036812号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-036812

本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、保守作業者に対して情報漏洩に関する安心感を与えつつ、効率的に保守作業者を支援することが可能な遠隔保守支援方法を提供することを課題とする。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and it is possible to efficiently support the maintenance worker while giving the maintenance worker a sense of security regarding information leakage. The challenge is to provide maintenance support methods.

前記課題を解決するため、本発明は、保守支援者が操作する保守支援者側端末と、前記保守支援者側端末に対して遠隔に配置され、保守作業者が操作する保守作業者側端末と、前記保守支援者側端末及び前記保守作業者側端末に電気的に接続されたサーバと、を用いて、前記保守作業者が行う保守対象の保守作業を支援する遠隔保守支援方法であって、以下の第1~第5ステップを含むことを特徴とする遠隔保守支援方法を提供する。
(1)第1ステップ:前記保守対象となり得る複数の保守対象候補を前記サーバに予め記憶させる。
(2)第2ステップ:前記第1ステップで記憶された前記複数の保守対象候補のうち、前記保守作業者が保守作業を行う前記保守対象を特定する。
(3)第3ステップ:前記サーバを介した前記保守作業者側端末と前記保守支援者側端末との双方向のデータ通信を行うか否かを判断する。
(4)第4ステップ:前記第3ステップで前記双方向のデータ通信を行うと判断した場合に、前記保守作業者側端末が取得した前記第2ステップで特定した前記保守対象を含む撮像画像を構成する画素領域のうち、前記保守対象以外の画素領域であるマスク画素領域を不可視にした加工画像を前記保守作業者側端末が生成する。
(5)第5ステップ:前記第4ステップで生成され、前記保守作業者側端末から前記保守支援者側端末に送信された前記加工画像を前記保守支援者が目視して、前記保守作業者が行う前記保守対象の保守作業を支援する。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention includes a maintenance supporter-side terminal operated by a maintenance supporter and a maintenance worker-side terminal remotely arranged with respect to the maintenance supporter-side terminal and operated by the maintenance worker. , A remote maintenance support method for supporting maintenance work to be maintained by the maintenance worker by using the maintenance supporter side terminal and a server electrically connected to the maintenance worker side terminal. Provided is a remote maintenance support method including the following first to fifth steps.
(1) First step: A plurality of maintenance target candidates that can be maintenance targets are stored in the server in advance.
(2) Second step: Among the plurality of maintenance target candidates stored in the first step, the maintenance target to which the maintenance worker performs maintenance work is specified.
(3) Third step: It is determined whether or not bidirectional data communication between the maintenance worker side terminal and the maintenance supporter side terminal is performed via the server.
(4) Fourth step: When it is determined in the third step that the two-way data communication is performed, the captured image including the maintenance target specified in the second step acquired by the maintenance worker side terminal is captured. The maintenance worker side terminal generates a processed image in which the mask pixel area, which is a pixel area other than the maintenance target, is invisible among the constituent pixel areas.
(5) Fifth step: The maintenance worker visually observes the processed image generated in the fourth step and transmitted from the maintenance worker side terminal to the maintenance supporter side terminal, and the maintenance worker Support the maintenance work to be performed.

本発明によれば、第1ステップ及び第2ステップを実行することで、複数の保守対象候補のうち、トラブルが生じて実際に保守作業を行う保守対象が特定される。
次に、第3ステップにおいて、サーバを介した保守作業者側端末と保守支援者側端末との双方向のデータ通信を行うか否かを判断する。双方向のデータ通信を行わなくても保守対象に生じたトラブルを解決できると判断した場合には、以下の第4ステップ及び第5ステップを実行することなく、例えば、従来と同様の電話対応等で保守作業者の保守作業を支援すればよい。
一方、第3ステップにおいて、サーバを介した保守作業者側端末と保守支援者側端末との双方向のデータ通信を行うと判断した場合(例えば、従来の電話対応等では保守対象に生じたトラブルを解決できないと判断した場合)、第4ステップにおいて、保守作業者側端末が取得した保守対象を含む撮像画像(第2ステップで特定した保守対象を含む撮像画像)を構成する画素領域のうち、保守対象以外の画素領域であるマスク画素領域を不可視にした加工画像を保守作業者側端末が生成する。このように、保守対象以外の画素領域であるマスク画素領域を不可視にした加工画像を、サーバではなく保守作業者側端末が生成するため、保守作業者に対して情報漏洩に関する安心感を与えることができる。
そして、第3ステップにおいて、サーバを介した保守作業者側端末と保守支援者側端末との双方向のデータ通信を行うと判断した場合、第5ステップにおいて、保守作業者側端末から保守支援者側端末に送信された加工画像を保守支援者が目視して、保守作業者が行う保守対象の保守作業を支援する。保守対象が写っている加工画像を保守支援者が目視できるため、保守対象のトラブルの状況を把握し易く、効率的に保守作業者を支援することができる。
以上のように、本発明によれば、保守作業者に対して情報漏洩に関する安心感を与えつつ、効率的に保守作業者を支援することが可能である。
なお、本発明における「撮像画像」及び「加工画像」は、静止画に限るものではなく、動画も含む概念である。
According to the present invention, by executing the first step and the second step, among a plurality of maintenance target candidates, a maintenance target in which a trouble occurs and the maintenance work is actually performed is specified.
Next, in the third step, it is determined whether or not bidirectional data communication is performed between the maintenance worker side terminal and the maintenance support side terminal via the server. If it is determined that the trouble that occurred in the maintenance target can be solved without performing two-way data communication, for example, the same telephone correspondence as before can be performed without executing the following 4th and 5th steps. It is sufficient to support the maintenance work of the maintenance worker.
On the other hand, in the third step, when it is determined that bidirectional data communication is performed between the maintenance worker side terminal and the maintenance support side terminal via the server (for example, a trouble that occurs in the maintenance target in the conventional telephone correspondence or the like). In the fourth step, among the pixel areas constituting the captured image including the maintenance target acquired by the maintenance worker terminal (the captured image including the maintenance target specified in the second step). The maintenance worker terminal generates a processed image in which the mask pixel area, which is a pixel area other than the maintenance target, is invisible. In this way, since the maintenance worker side terminal generates the processed image invisible in the mask pixel area, which is the pixel area other than the maintenance target, the maintenance worker is given a sense of security regarding information leakage. Can be done.
Then, in the third step, when it is determined that bidirectional data communication between the maintenance worker side terminal and the maintenance supporter side terminal is performed via the server, in the fifth step, the maintenance worker side terminal to the maintenance supporter side. The maintenance supporter visually observes the processed image transmitted to the side terminal, and supports the maintenance work of the maintenance target performed by the maintenance worker. Since the maintenance supporter can visually check the processed image showing the maintenance target, it is easy to grasp the situation of the trouble of the maintenance target, and it is possible to efficiently support the maintenance worker.
As described above, according to the present invention, it is possible to efficiently support the maintenance worker while giving the maintenance worker a sense of security regarding information leakage.
The "captured image" and "processed image" in the present invention are not limited to still images, but are concepts including moving images.

好ましくは、前記保守作業者側端末は、撮像手段を具備し保守作業者が装着するウェアラブル端末である。 Preferably, the maintenance worker side terminal is a wearable terminal provided with an image pickup means and worn by the maintenance worker.

上記の好ましい方法によれば、保守作業者側端末がタブレット型のコンピュータやスマートフォンである場合と異なり、保守作業者側端末(ウェアラブル端末)を保守作業者が手で持つ必要がないため、保守作業が容易になるという利点が得られる。また、保守作業者が移動すると、保守作業者側端末(ウェアラブル端末)も確実に移動するため、保守作業者の位置に応じて保守対象を含む撮像画像を確実に取得可能である。 According to the above preferred method, unlike the case where the maintenance worker side terminal is a tablet computer or a smartphone, the maintenance worker side terminal (wearable terminal) does not need to be held by the maintenance worker side, so that the maintenance work is performed. The advantage is that it becomes easier. Further, when the maintenance worker moves, the maintenance worker side terminal (wearable terminal) also moves reliably, so that it is possible to reliably acquire the captured image including the maintenance target according to the position of the maintenance worker.

好ましくは、前記ウェアラブル端末は、ディスプレイを具備するヘッドマウントディスプレイである。 Preferably, the wearable terminal is a head-mounted display including a display.

上記の好ましい方法によれば、例えば、生成した加工画像を保守支援者側端末に送信する前にディスプレイに表示させることで、保守作業者に対して情報漏洩に関する安心感をより一層与えることができる。 According to the above preferred method, for example, by displaying the generated processed image on the display before transmitting it to the maintenance supporter side terminal, it is possible to further give the maintenance worker a sense of security regarding information leakage. ..

本発明は、前記保守対象候補が産業用機器である場合に好適に用いられる。
上記の好ましい方法における「産業用機器」には、一般社団法人日本産業機械工業会で産業機械として定義されている、鉱山機械、化学機械、環境装置、動力伝導装置、タンク、業務用洗濯機、ボイラ・原動機、プラスチック機械、風水力機械、運搬機械、製鉄機械等が含まれる。また、別の観点から、上記の好ましい方法における「産業用機器」には、有体物を製造する製造装置が含まれる。基板処理装置は、産業用機器の一種であり、処理済基板(例えば、エッチング処理を施した基板や、成膜処理を施した基板)を製造する点で、有体物を製造する製造装置の一種である。電子機器がサーバを介して電気的に接続されたITシステムは、有体物を製造する製造装置に含まれず、産業用機器にも含まれない。
The present invention is preferably used when the maintenance target candidate is an industrial device.
"Industrial equipment" in the above preferred method includes mining machinery, chemical machinery, environmental equipment, power transmission equipment, tanks, commercial washing machines, which are defined as industrial machinery by the Japan Industrial Machinery Manufacturers Association. Includes boilers / motors, plastic machines, wind and hydraulic machines, transport machines, iron making machines, etc. From another point of view, the "industrial equipment" in the above preferred method includes a manufacturing apparatus for manufacturing a tangible material. A substrate processing device is a type of industrial equipment, and is a type of manufacturing device that manufactures tangible materials in that it manufactures processed substrates (for example, substrates that have undergone etching treatment or substrates that have undergone film formation treatment). be. IT systems in which electronic devices are electrically connected via servers are not included in manufacturing equipment that manufactures tangible materials, nor are they included in industrial equipment.

本発明によれば、保守作業者に対して情報漏洩に関する安心感を与えつつ、効率的に保守作業者を支援することが可能である。 According to the present invention, it is possible to efficiently support the maintenance worker while giving the maintenance worker a sense of security regarding information leakage.

本発明の実施形態に係る遠隔保守支援方法を実行するための遠隔保守支援システムの概略構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the remote maintenance support system for executing the remote maintenance support method which concerns on embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る遠隔保守支援方法の概略工程を示すワークフロー図である。It is a workflow diagram which shows the schematic process of the remote maintenance support method which concerns on one Embodiment of this invention.

以下、添付図面を参照しつつ、本発明の一実施形態に係る遠隔保守支援方法について、保守対象候補が基板処理装置等の産業用機器である場合を例に挙げて説明する。
最初に、本実施形態に係る遠隔保守支援方法を実行する際に用いられる遠隔保守支援システムの構成について説明する。
Hereinafter, the remote maintenance support method according to the embodiment of the present invention will be described with reference to the attached drawings, taking as an example the case where the maintenance target candidate is an industrial device such as a substrate processing device.
First, the configuration of the remote maintenance support system used when executing the remote maintenance support method according to the present embodiment will be described.

<遠隔保守支援システム>
図1は、本実施形態に係る遠隔保守支援方法を実行するための遠隔保守支援システムの概略構成を模式的に示す図である。図1(a)は全体構成図であり、図1(b)は保守作業者側端末を示す図である。
図1(a)に示すように、本実施形態の遠隔保守支援システム100は、保守支援者側端末1と、保守作業者側端末2と、サーバ3と、を備えている。
<Remote maintenance support system>
FIG. 1 is a diagram schematically showing a schematic configuration of a remote maintenance support system for executing the remote maintenance support method according to the present embodiment. FIG. 1A is an overall configuration diagram, and FIG. 1B is a diagram showing a maintenance worker side terminal.
As shown in FIG. 1A, the remote maintenance support system 100 of the present embodiment includes a maintenance supporter side terminal 1, a maintenance worker side terminal 2, and a server 3.

保守支援者側端末1は、保守支援者が操作する端末である。保守支援者側端末1としては、例えば、デスクトップ型のコンピュータを用いることができるが、これに限るものではなく、ラップトップ型のコンピュータ、タブレット型のコンピュータ、スマートフォン等、インターネット等の電気通信回線Nを通じてサーバ3と電気的に接続され、サーバ3と双方向にデータ通信可能である限りにおいて、種々の端末を用いることができる。保守支援者側端末1は、保守作業者側端末2との間で、画像データや音声データの双方向のデータ通信が可能となるように、モニタの他、撮像手段、マイクロフォン、スピーカ(図示せず)を具備する。 The maintenance supporter side terminal 1 is a terminal operated by the maintenance supporter. As the maintenance supporter side terminal 1, for example, a desktop computer can be used, but the present invention is not limited to this, and a laptop computer, a tablet computer, a smartphone, etc., a telecommunications line N such as the Internet, etc. Various terminals can be used as long as they are electrically connected to the server 3 through the device and can perform data communication with the server 3 in both directions. The maintenance supporter side terminal 1 has an image pickup means, a microphone, and a speaker (shown in the figure) in addition to a monitor so that bidirectional data communication of image data and voice data is possible with the maintenance worker side terminal 2. It is equipped with.

保守作業者側端末2は、保守支援者側端末1に対して遠隔に配置され、保守対象候補Tの設置現場に居る保守作業者が操作する端末である。
図1(b)に示すように、本実施形態では、保守作業者側端末2として、保守作業者が顔に装着する眼鏡型のウェアラブル端末(ヘッドマウントディスプレイ)が用いられている。保守作業者側端末2は、保守作業者が耳に掛けるフレーム21を具備する。また、保守作業者側端末2は、フレーム21の前側中央(保守作業者がフレーム21を耳に掛けたときに保守作業者の眉間近傍に相当する位置)に撮像手段22を具備する。本実施形態の撮像手段22としては、カラー(RGB)カメラが用いられている。そして、撮像手段22の撮像方向(視線方向)は、保守作業者がフレーム21を耳に掛けたときの保守作業者の眉間に正対する方向となるように設定されている。さらに、保守作業者側端末2は、フレーム21の前側に取り付けられ、保守作業者がフレーム21を耳に掛けたときに保守作業者の視界前方を覆うディスプレイ23を具備する。本実施形態のディスプレイ23としては、透過型のものが用いられている。したがい、ディスプレイ23に何も表示しない場合には、通常の眼鏡と同じように使用することが可能である。後述のように、ディスプレイ23に加工画像やガイダンスを表示させる場合、実像が見え難い又は見えない状態で表示させてもよいものの、保守作業者の安全を確保する上では、加工画像やガイダンスを半透明に表示させて、保守作業者の視界を遮らないようにすることが好ましい。
The maintenance worker side terminal 2 is a terminal that is remotely arranged with respect to the maintenance supporter side terminal 1 and is operated by a maintenance worker at the installation site of the maintenance target candidate T.
As shown in FIG. 1 (b), in the present embodiment, as the maintenance worker side terminal 2, a glasses-type wearable terminal (head-mounted display) worn by the maintenance worker on the face is used. The maintenance worker side terminal 2 includes a frame 21 that the maintenance worker hangs on his / her ear. Further, the maintenance worker side terminal 2 is provided with an image pickup means 22 at the center of the front side of the frame 21 (a position corresponding to the vicinity of the eyebrows of the maintenance worker when the maintenance worker puts the frame 21 on his / her ear). A color (RGB) camera is used as the image pickup means 22 of the present embodiment. The image pickup direction (line-of-sight direction) of the image pickup means 22 is set so as to face the eyebrows of the maintenance worker when the maintenance worker puts the frame 21 on his / her ear. Further, the maintenance worker side terminal 2 is attached to the front side of the frame 21 and includes a display 23 that covers the front of the maintenance worker's field of view when the maintenance worker puts the frame 21 on his / her ear. As the display 23 of the present embodiment, a transmissive type display 23 is used. Therefore, when nothing is displayed on the display 23, it can be used in the same manner as ordinary glasses. As will be described later, when displaying the processed image or guidance on the display 23, the real image may be displayed in a state where it is difficult to see or cannot be seen, but in order to ensure the safety of the maintenance worker, the processed image or guidance is half. It is preferable to display it transparently so as not to block the view of the maintenance worker.

また、図1(b)に示すように、本実施形態の保守作業者側端末2は、フレーム21の側方に取り付けられたマイクロフォン24及びスピーカ25を具備する。 Further, as shown in FIG. 1 (b), the maintenance worker side terminal 2 of the present embodiment includes a microphone 24 and a speaker 25 attached to the side of the frame 21.

さらに、図1(b)に示すように、本実施形態の保守作業者側端末2は、フレーム21の側方に取り付けられた制御信号処理手段26を具備する。制御信号処理手段26は、撮像手段22、ディスプレイ23、マイクロフォン24及びスピーカ25の各構成要素に電気的に接続されており、各構成要素を制御したり、各構成要素の出力信号を処理する機能を有する。また、制御信号処理手段26は、電気通信回線Nを通じてサーバ3と電気的に接続され、サーバ3と双方向にデータ通信可能な通信手段(図示せず)を具備する。
制御信号処理手段26は、主として、CPU、ROMやRAM等のメモリ、該メモリに記憶され、CPUに各種の動作を実行させるプログラムと、によって構成されている。また、制御信号処理手段26の通信手段は、アンテナや、アンテナを動作させるプログラム等によって構成されている。
Further, as shown in FIG. 1 (b), the maintenance worker side terminal 2 of the present embodiment includes a control signal processing means 26 attached to the side of the frame 21. The control signal processing means 26 is electrically connected to each component of the image pickup means 22, the display 23, the microphone 24, and the speaker 25, and has a function of controlling each component and processing the output signal of each component. Have. Further, the control signal processing means 26 includes a communication means (not shown) that is electrically connected to the server 3 through the telecommunication line N and is capable of bidirectional data communication with the server 3.
The control signal processing means 26 is mainly composed of a CPU, a memory such as a ROM or RAM, and a program stored in the memory and causing the CPU to execute various operations. Further, the communication means of the control signal processing means 26 is composed of an antenna, a program for operating the antenna, and the like.

以上に説明したような構成を有する保守作業者側端末2は、例えば、マイクロソフト社製のスマートグラスである「HoloLens」(登録商標)を用い、これに改良を加えることで構成可能である。
なお、詳細な説明は割愛するが、保守作業者側端末2には、保守作業者側端末2の現在位置等を把握するために、「HoloLens」等が具備するものと同様の各種の構成要素を更に具備した構成とすることも可能である。これらの構成要素としては、例えば、両眼立体視(ステレオ視)等に用いるための撮像方向が互いに異なる複数の第2の撮像手段を例示できる。また、ToF(Time of Flight)方式によって視野内における被写体までの距離を測定し、被写体までの距離が各画素の濃度値で表わされた距離画像を取得する距離画像センサ(デプスカメラや3Dカメラともいう)を例示できる。さらに、3軸の加速度センサと、3軸の角速度センサ(ジャイロセンサ)と、3軸の地磁気(方位)センサとから構成された慣性センサを例示できる。
The maintenance worker side terminal 2 having the configuration as described above can be configured by using, for example, "HoloLens" (registered trademark), which is a smart glass manufactured by Microsoft Corporation, and improving it.
Although detailed explanation is omitted, the maintenance worker side terminal 2 has various components similar to those provided by "HoloLens" and the like in order to grasp the current position and the like of the maintenance worker side terminal 2. It is also possible to have a configuration further equipped with. As these components, for example, a plurality of second imaging means having different imaging directions for use in binocular stereoscopic vision (stereoscopic vision) and the like can be exemplified. In addition, a distance image sensor (depth camera or 3D camera) that measures the distance to the subject in the field of view by the ToF (Time of Flight) method and acquires a distance image in which the distance to the subject is expressed by the density value of each pixel. Also known as). Further, an inertial sensor composed of a 3-axis acceleration sensor, a 3-axis angular velocity sensor (gyro sensor), and a 3-axis geomagnetic (orientation) sensor can be exemplified.

サーバ3は、電気通信回線Nを通じて保守支援者側端末1及び保守作業者側端末2に電気的に接続されており、保守支援者側端末1との間で、及び、保守作業者側端末2との間で、それぞれ双方向にデータ通信可能である。
サーバ3としては、保守支援者側端末1と同じ設置場所に設置されたサーバを用いてもよいし、クラウドサーバを用いることも可能である。
The server 3 is electrically connected to the maintenance supporter side terminal 1 and the maintenance worker side terminal 2 through the telecommunication line N, and is connected to and from the maintenance supporter side terminal 1 and the maintenance worker side terminal 2. Data communication is possible in both directions with and from.
As the server 3, a server installed at the same installation location as the maintenance supporter side terminal 1 may be used, or a cloud server may be used.

以下、以上に説明した概略構成を有する遠隔保守支援システム100を用いた本実施形態に係る遠隔保守支援方法について説明する。 Hereinafter, the remote maintenance support method according to the present embodiment using the remote maintenance support system 100 having the schematic configuration described above will be described.

<本実施形態に係る遠隔保守支援方法>
図2は、本実施形態に係る遠隔保守支援方法の概略工程を示すワークフロー図である。
図2に示すように、本実施形態に係る遠隔保守支援方法は、第1ステップS1と、第2ステップS2(具体的には、図2に示すS21~S24)と、第3ステップS3(具体的には、図2に示すS31~S35)と、第4ステップS4と、第5ステップS5(具体的には、図2に示すS51~S53)と、を含む。以下、各ステップS1~S5について、順に説明する。
<Remote maintenance support method according to this embodiment>
FIG. 2 is a workflow diagram showing a schematic process of the remote maintenance support method according to the present embodiment.
As shown in FIG. 2, the remote maintenance support method according to the present embodiment includes a first step S1, a second step S2 (specifically, S21 to S24 shown in FIG. 2), and a third step S3 (specifically). Specifically, it includes S31 to S35) shown in FIG. 2, a fourth step S4, and a fifth step S5 (specifically, S51 to S53 shown in FIG. 2). Hereinafter, each step S1 to S5 will be described in order.

[第1ステップS1]
第1ステップS1では、保守対象となり得る複数の保守対象候補をサーバ3に予め記憶させる。図1(a)に示す例では、3つの保守対象候補T(T1~T3)がサーバ3に予め記憶される。具体的には、各保守対象候補Tの識別子(装置番号等)がサーバ3に予め記憶される。サーバ3への記憶は、例えば、保守支援者が保守支援者側端末1を通じて各保守対象候補Tの識別子をサーバ3に送信することで実行可能である。或いは、保守作業者が保守作業者側端末2を通じて各保守対象候補Tの識別子をサーバ3に送信することで実行してもよい。
[First step S1]
In the first step S1, a plurality of maintenance target candidates that can be maintenance targets are stored in the server 3 in advance. In the example shown in FIG. 1A, three maintenance target candidates T (T1 to T3) are stored in advance in the server 3. Specifically, the identifier (device number, etc.) of each maintenance target candidate T is stored in the server 3 in advance. The storage in the server 3 can be executed, for example, by the maintenance supporter transmitting the identifier of each maintenance target candidate T to the server 3 through the maintenance supporter side terminal 1. Alternatively, the maintenance worker may execute the operation by transmitting the identifier of each maintenance target candidate T to the server 3 through the maintenance worker side terminal 2.

[第2ステップS2]
第2ステップS2では、第1ステップS1で記憶された複数の保守対象候補Tのうち、保守作業者が保守作業を行う保守対象を特定する。例えば、保守対象候補T1~T3のうち、保守対象候補T1が保守作業を行う保守対象として特定される(以下、適宜、「保守対象候補T1」を「保守対象T1」という)。
[Second step S2]
In the second step S2, among the plurality of maintenance target candidates T stored in the first step S1, the maintenance target to which the maintenance worker performs the maintenance work is specified. For example, among the maintenance target candidates T1 to T3, the maintenance target candidate T1 is specified as a maintenance target for performing maintenance work (hereinafter, "maintenance target candidate T1" is appropriately referred to as "maintenance target T1").

具体的には、第2ステップS2では、保守作業者が、電話等(遠隔保守支援システム100を構成する保守支援者側端末1、保守作業者側端末2及びサーバ3以外のツール)を用いて、保守対象T1の識別子(装置番号等)や、保守対象T1のトラブルの状況等を保守支援者に連絡する(図2のS21)。
保守支援者は、保守作業者からの連絡を受信し(図2のS22)、連絡の内容(電話での会話の内容等)に基づき、保守対象T1を特定する(図2のS23)。そして、特定した保守対象T1の識別子を、例えば、保守支援者が保守支援者側端末1を通じてサーバ3に送信し、サーバ3がこれを記憶する(図2のS24)。ただし、必ずしもこれに限られるものではなく、特定した保守対象Tの識別子を保守作業者が保守作業者側端末2を通じてサーバ3に送信して記憶させることも可能である。
Specifically, in the second step S2, the maintenance worker uses a telephone or the like (a tool other than the maintenance supporter side terminal 1, the maintenance worker side terminal 2 and the server 3 constituting the remote maintenance support system 100). , The identifier (device number, etc.) of the maintenance target T1 and the trouble status of the maintenance target T1 are notified to the maintenance supporter (S21 in FIG. 2).
The maintenance supporter receives the communication from the maintenance worker (S22 in FIG. 2), and identifies the maintenance target T1 based on the content of the communication (contents of the conversation on the telephone, etc.) (S23 in FIG. 2). Then, for example, the maintenance supporter transmits the identified identifier of the maintenance target T1 to the server 3 through the maintenance supporter side terminal 1, and the server 3 stores this (S24 in FIG. 2). However, the present invention is not limited to this, and the maintenance worker can transmit and store the identified identifier of the maintenance target T to the server 3 through the maintenance worker side terminal 2.

[第3ステップS3]
第3ステップS3では、サーバ3を介した保守作業者側端末2と保守支援者側端末1との双方向のデータ通信を行うか否かを判断する。
具体的には、保守支援者が、受信した連絡の内容(電話での会話の内容等)(図2のS22)に基づき、保守対象T1のトラブルを解決できるか否かを判断する(図2のS31)。
[Third step S3]
In the third step S3, it is determined whether or not bidirectional data communication is performed between the maintenance worker side terminal 2 and the maintenance support side terminal 1 via the server 3.
Specifically, the maintenance supporter determines whether or not the trouble of the maintenance target T1 can be solved based on the contents of the received communication (contents of telephone conversation, etc.) (S22 in FIG. 2) (FIG. 2). S31).

受信した連絡の内容だけではトラブルを解決できず、双方向のデータ通信を行う必要があると判断した場合(図2のS31で「No」の場合)、保守支援者が、保守支援者側端末1を通じて、双方向のデータ通信(保守作業者側端末2と保守支援者側端末1との双方向のデータ通信)の許可を求めるリクエストをサーバ3に送信し、サーバ3がこれを受信する(図2のS32)。ただし、必ずしもこれに限られるものではなく、保守作業者が、保守作業者側端末2を通じてリクエストをサーバ3に送信することも可能である。
なお、受信した連絡の内容だけでトラブルを解決できると判断した場合(図2のS31で「Yes」の場合)、双方向のデータ通信を行うことなく、保守支援者が電話等で必要な支援を行いながら(図2のS52)、保守作業者が保守作業を行う(図2のS53)ことになる。図2では、図示の便宜上、S31で「Yes」の場合にもS52を実行するフローになっているが、この場合に実行するS52及び後続のS53は、後述の第4ステップS4で生成する加工画像を用いずに、電話等で保守支援者が支援を行い、保守作業者が保守作業を行う態様である。
When it is determined that the trouble cannot be solved only by the contents of the received communication and it is necessary to perform two-way data communication (when "No" in S31 of FIG. 2), the maintenance supporter is the maintenance supporter side terminal. Through 1, a request for permission for bidirectional data communication (bidirectional data communication between the maintenance worker side terminal 2 and the maintenance support side terminal 1) is transmitted to the server 3, and the server 3 receives the request (2). S32 in FIG. 2). However, the present invention is not limited to this, and the maintenance worker may send a request to the server 3 through the maintenance worker side terminal 2.
If it is determined that the trouble can be solved only by the contents of the received communication (in the case of "Yes" in S31 of FIG. 2), the maintenance supporter needs the support by telephone or the like without performing two-way data communication. (S52 in FIG. 2), the maintenance worker performs the maintenance work (S53 in FIG. 2). In FIG. 2, for convenience of illustration, the flow is such that S52 is executed even in the case of “Yes” in S31, but the S52 executed in this case and the subsequent S53 are the processes generated in the fourth step S4 described later. This is a mode in which a maintenance supporter provides support by telephone or the like and a maintenance worker performs maintenance work without using an image.

リクエストを受信したサーバ3(図2のS32)は、保守作業者側端末2と保守支援者側端末1との双方向のデータ通信を許可する(図2のS33)。これにより、以後、サーバ3を介した保守作業者側端末2と保守支援者側端末1との双方向のデータ通信が可能になる。サーバ3は、双方向のデータ通信を許可したことを示す信号を保守作業者側端末2及び保守支援者側端末1にそれぞれ送信し、保守作業者側端末2及び保守支援者側端末1がこれを受信する(図2のS34、S35)。これにより、保守作業者及び保守支援者は、双方向のデータ通信が可能になったことを知ることができる。
なお、第3ステップS3のS34、S35を実行する際に、保守作業者側端末2及び/又は保守支援者側端末1の電源が入っておらず、双方向のデータ通信を許可したことを示す信号をサーバ3から受信できない又は受信したことに気づかない可能性がある。したがい、保守作業者側端末2及び保守支援者側端末1以外のツールを用いて、サーバ3から電子メール等で保守作業者及び保守支援者に対して双方向のデータ通信を許可したことを連絡する方法を併用することが好ましい。これにより、保守作業者及び保守支援者は、双方向のデータ通信が可能になったことを確実に知ることができ、保守作業者側端末2及び/又は保守支援者側端末1の電源を入れて、その後の双方向のデータ通信を確実に実行することが可能である。なお、双方向のデータ通信の開始には、保守作業者及び保守支援者の都合の良い開始時刻を予め定める予約機能を設けてもよい。
The server 3 (S32 in FIG. 2) that has received the request permits bidirectional data communication between the maintenance worker side terminal 2 and the maintenance support side terminal 1 (S33 in FIG. 2). As a result, bidirectional data communication between the maintenance worker side terminal 2 and the maintenance supporter side terminal 1 becomes possible thereafter via the server 3. The server 3 transmits a signal indicating that bidirectional data communication is permitted to the maintenance worker side terminal 2 and the maintenance supporter side terminal 1, respectively, and the maintenance worker side terminal 2 and the maintenance supporter side terminal 1 respectively. (S34, S35 in FIG. 2). As a result, the maintenance worker and the maintenance supporter can know that bidirectional data communication has become possible.
In addition, when executing S34 and S35 of the third step S3, it indicates that the power of the maintenance worker side terminal 2 and / or the maintenance support side terminal 1 is not turned on and bidirectional data communication is permitted. The signal may not be received from the server 3 or may not be noticed. Therefore, using a tool other than the maintenance worker side terminal 2 and the maintenance supporter side terminal 1, the server 3 informs the maintenance worker and the maintenance supporter that bidirectional data communication is permitted by e-mail or the like. It is preferable to use the above method together. As a result, the maintenance worker and the maintenance supporter can surely know that bidirectional data communication has become possible, and turn on the power of the maintenance worker side terminal 2 and / or the maintenance supporter side terminal 1. Therefore, it is possible to reliably execute the subsequent bidirectional data communication. For the start of bidirectional data communication, a reservation function may be provided in which a convenient start time for the maintenance worker and the maintenance supporter is set in advance.

第3ステップS3では、双方向のデータ通信を行うか否かを判断するだけでなく、双方向のデータ通信を行う必要があると判断した場合(図2のS31で「No」の場合)に保守対象T1の状態を決定しておくことが好ましい。そして、後述の第5ステップS5において、上記の決定した状態で保守対象T1の保守作業を支援することが好ましい。保守対象T1の状態としては、例えば、保守対象T1がヒータやチャンバを備えた基板処理装置である場合、ヒータの電源をオフにした状態や、チャンバを大気開放した状態を例示できる。このように、支援する際の保守対象Tの状態を予め決定しておく(保守作業者に段取りしておいて貰う)ことで、効率的に保守作業者を支援することができる。 In the third step S3, not only it is determined whether or not bidirectional data communication is performed, but also when it is determined that bidirectional data communication is necessary (when “No” in S31 of FIG. 2). It is preferable to determine the state of the maintenance target T1. Then, in the fifth step S5 described later, it is preferable to support the maintenance work of the maintenance target T1 in the above-determined state. As the state of the maintenance target T1, for example, when the maintenance target T1 is a substrate processing device provided with a heater or a chamber, a state in which the power of the heater is turned off or a state in which the chamber is open to the atmosphere can be exemplified. In this way, by predetermining the state of the maintenance target T at the time of support (having the maintenance worker set up), it is possible to efficiently support the maintenance worker.

[第4ステップS4]
第4ステップS4では、第3ステップS3で双方向のデータ通信を行うと判断した場合(具体的には、保守作業者側端末2が双方向のデータ通信を許可する信号を受信(図2のS34)した場合)、保守作業者側端末2が、保守作業者側端末2で取得した保守対象T1を含む撮像画像を構成する画素領域のうち、保守対象T1以外の画素領域であるマスク画素領域を不可視にした加工画像を生成する。具体的には、保守作業者側端末2の撮像手段22で保守対象T1を含む撮像画像を取得し、保守作業者側端末2の制御信号処理手段26が、取得した撮像画像を構成する画素領域のうち、保守対象T1以外の画素領域であるマスク画素領域を不可視にした加工画像を生成する。マスク画素領域を不可視にした加工画像の生成方法としては、例えば、特開2017-211766号公報に記載の方法など、種々の方法を適用可能である。生成された加工画像は、必要に応じて、保守作業者側端末2のディスプレイ23に表示させることが可能である。
なお、第4ステップS4における加工画像の生成は、リアルタイムで(保守作業者側端末2が双方向のデータ通信を許可する信号を受信し、なお且つ、保守作業者側端末2で保守対象T1を含む撮像画像を取得した時点からリアルタイムで)行うことが好ましい。「リアルタイム」とは、保守作業の支援を行う上で支障にならない程度の遅延を含む概念である。加工画像をリアルタイムで生成することにより、後述の第5ステップS5における保守作業者が行う保守作業を効率的に支援することが可能である。具体的には、保守作業者側端末2によってリアルタイムで生成され、保守支援者側端末1に遅滞なく表示された加工画像を保守支援者が目視できることで、音声データの双方向のデータ通信との時間的ズレを感じることなく、効率的な支援が可能である。
[Fourth step S4]
In the fourth step S4, when it is determined in the third step S3 that bidirectional data communication is performed (specifically, the maintenance worker side terminal 2 receives a signal permitting bidirectional data communication (FIG. 2). S34)), the mask pixel area which is a pixel area other than the maintenance target T1 among the pixel areas constituting the captured image including the maintenance target T1 acquired by the maintenance worker side terminal 2. Generates a processed image that makes the image invisible. Specifically, the image pickup means 22 of the maintenance worker side terminal 2 acquires an image captured image including the maintenance target T1, and the control signal processing means 26 of the maintenance worker side terminal 2 acquires a pixel area constituting the acquired image pickup image. Of these, a processed image is generated in which the mask pixel region, which is a pixel region other than the maintenance target T1, is invisible. As a method for generating a processed image in which the mask pixel region is invisible, various methods such as the method described in JP-A-2017-211766 can be applied. The generated processed image can be displayed on the display 23 of the maintenance worker side terminal 2 as needed.
In the generation of the processed image in the fourth step S4, the maintenance target T1 is generated in real time (the maintenance worker side terminal 2 receives the signal permitting bidirectional data communication, and the maintenance worker side terminal 2 receives the maintenance target T1. It is preferable to perform this in real time from the time when the captured image including the image is acquired. "Real-time" is a concept that includes a delay that does not hinder the support of maintenance work. By generating the processed image in real time, it is possible to efficiently support the maintenance work performed by the maintenance worker in the fifth step S5 described later. Specifically, the maintenance supporter can visually check the processed image generated in real time by the maintenance worker side terminal 2 and displayed on the maintenance supporter side terminal 1 without delay, so that the voice data can be bidirectionally used for data communication. Efficient support is possible without feeling a time lag.

[第5ステップS5]
第5ステップS5では、第4ステップS4で生成され、保守作業者側端末2から保守支援者側端末1に送信された加工画像を保守支援者が目視して、保守作業者が行う保守対象の保守作業を支援する。
[Fifth step S5]
In the fifth step S5, the maintenance supporter visually observes the processed image generated in the fourth step S4 and transmitted from the maintenance worker side terminal 2 to the maintenance supporter side terminal 1, and the maintenance worker performs the maintenance target. Support maintenance work.

具体的には、第5ステップS5では、保守作業者が、保守作業者側端末2を通じて、生成された加工画像を保守支援者側端末1に送信し、保守支援者側端末1がこれを受信する(図2のS51)。より具体的には、保守作業者側端末2の制御信号処理手段26で生成された加工画像が、制御信号処理手段26の通信手段、電気通信回線Nを介して、サーバ3に送信され、更に電気通信回線Nを介して、保守支援者側端末1に送信される。
そして、保守支援者は、保守支援者側端末1で受信し、保守支援者側端末1のモニタに表示された加工画像を目視して、保守作業者が行う保守作業を支援し(図2のS52)、保守作業者は、保守支援者の支援を受けながら保守作業を行う(図2のS53)。
保守支援者の支援を受けながらの保守作業者の保守作業は、例えば、保守支援者側端末1のマイクロフォン及びスピーカと、保守作業者側端末2のマイクロフォン24及びスピーカ25とを用いた、保守支援者からの作業指示や保守作業者が実行した作業内容に関する音声データの双方向のデータ通信によって実行可能である。
Specifically, in the fifth step S5, the maintenance worker transmits the generated processed image to the maintenance supporter side terminal 1 through the maintenance worker side terminal 2, and the maintenance supporter side terminal 1 receives this. (S51 in FIG. 2). More specifically, the processed image generated by the control signal processing means 26 of the maintenance worker side terminal 2 is transmitted to the server 3 via the communication means of the control signal processing means 26 and the telecommunication line N, and further. It is transmitted to the maintenance supporter side terminal 1 via the telecommunication line N.
Then, the maintenance supporter supports the maintenance work performed by the maintenance worker by receiving the received image on the maintenance supporter side terminal 1 and visually observing the processed image displayed on the monitor of the maintenance supporter side terminal 1 (FIG. 2). S52), the maintenance worker performs the maintenance work with the support of the maintenance supporter (S53 in FIG. 2).
The maintenance work of the maintenance worker while receiving the support of the maintenance supporter is, for example, maintenance support using the microphone and the speaker of the maintenance supporter side terminal 1 and the microphone 24 and the speaker 25 of the maintenance worker side terminal 2. It can be executed by bidirectional data communication of voice data related to work instructions from a person or work contents performed by a maintenance worker.

以上に説明した本実施形態に係る遠隔保守支援方法によれば、第4ステップS4において、保守対象T1以外の画素領域であるマスク画素領域を不可視にした加工画像を、サーバ3ではなく保守作業者側端末2が生成するため、保守作業者に対して情報漏洩に関する安心感を与えることができる。また、第3ステップS3において、双方向のデータ通信を行うか否かを判断し、第5ステップS5において、必要な場合に保守対象T1が写っている加工画像を保守支援者が目視できるため、保守対象T1のトラブルの状況を把握し易く、効率的に保守作業者を支援することができる。このように、本実施形態に係る遠隔保守支援方法によれば、保守作業者に対して情報漏洩に関する安心感を与えつつ、効率的に保守作業者を支援することが可能である。 According to the remote maintenance support method according to the present embodiment described above, in the fourth step S4, the processed image in which the mask pixel area, which is the pixel area other than the maintenance target T1, is invisible, is displayed by the maintenance worker instead of the server 3. Since the side terminal 2 is generated, it is possible to give the maintenance worker a sense of security regarding information leakage. Further, in the third step S3, it is determined whether or not bidirectional data communication is performed, and in the fifth step S5, the maintenance supporter can visually check the processed image showing the maintenance target T1 when necessary. It is easy to grasp the trouble situation of the maintenance target T1, and it is possible to efficiently support the maintenance worker. As described above, according to the remote maintenance support method according to the present embodiment, it is possible to efficiently support the maintenance worker while giving the maintenance worker a sense of security regarding information leakage.

なお、本実施形態では、保守作業者側端末2が保守作業者の顔に装着する眼鏡型のウェアラブル端末(ヘッドマウントディスプレイ)である場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限るものではない。音声データや画像データのデータ通信が可能である限りにおいて、保守作業者側端末2として、保守作業者の身体の他の部位に装着するウェアラブル端末や、スマートフォンなどの単に携帯するだけの端末を用いることも可能である。 In the present embodiment, the case where the maintenance worker side terminal 2 is a glasses-type wearable terminal (head-mounted display) to be worn on the maintenance worker's face has been described as an example, but the present invention is limited to this. It's not a thing. As long as voice data and image data can be communicated, a wearable terminal worn on another part of the maintenance worker's body or a terminal that is simply carried, such as a smartphone, is used as the maintenance worker side terminal 2. It is also possible.

また、本実施形態では、図1(a)に示すように、保守対象T1が単一である場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限るものではなく、保守対象T1が複数である場合にも適用可能である。また、本実施形態では、図1(a)に示すように、保守支援者側端末1及び保守作業者側端末2がそれぞれ単一である場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限るものでなく、保守支援者側端末1及び/又は保守作業者側端末2が複数である場合にも適用可能である。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 1A, the case where the maintenance target T1 is single has been described as an example, but the present invention is not limited to this, and there are a plurality of maintenance target T1s. It is also applicable when. Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 1A, the case where the maintenance supporter side terminal 1 and the maintenance worker side terminal 2 are each single is described as an example, but the present invention has been described. The present invention is not limited to the above, and the present invention can be applied even when there are a plurality of maintenance supporter side terminals 1 and / or maintenance worker side terminals 2.

さらに、本実施形態では、第2ステップS2において、保守作業者から受信した連絡の内容(電話での会話の内容等)に基づき、保守対象T1を特定する(図2のS23)場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、保守作業者から受信した連絡の内容に基づき、保守対象T1を特定する態様に代えて、サーバ3が保守作業者側端末2から送信された撮像画像に基づき、保守対象T1を特定する態様を採用することも可能である。具体的には、以下のような態様を採用することも可能である。まず、保守作業者が、保守作業者側端末2で保守対象T1を含む撮像画像を取得し、この撮像画像を保守作業者側端末2を通じて、サーバ3に送信する。具体的には、保守作業者側端末2の撮像手段22で保守対象T1を含む撮像画像を取得し、保守作業者側端末2の制御信号処理手段26の通信手段、電気通信回線Nを介して、サーバ3に送信される。そして、サーバ3が、保守作業者側端末2から送信された撮像画像に基づき、保守対象T1(保守対象T1の識別子)を特定し、これを記憶する。保守対象T1の特定方法としては、例えば、保守対象T1に付された保守対象識別用のマーカ(ARマーカ、QRコード(登録商標)等)を含むように保守作業者側端末2で撮像画像を取得し、サーバ3が、この撮像画像に所定の画像処理を施すことで、マーカに相当する画素領域を抽出し、この抽出した画素領域を解析することで、保守対象T1の識別子(装置番号等)を特定することが考えられる。ARマーカ等のマーカに含まれる情報を解析する方法は公知であるため、ここでは詳細な説明を省略する。
或いは、第2ステップS2において、保守作業者から受信した連絡の内容で保守対象T1を特定できなかった場合に、上記と同様に、サーバ3が保守作業者側端末2から送信された撮像画像に基づき、保守対象T1を特定する態様を採用することも可能である。
Further, in the present embodiment, as an example, in the second step S2, the maintenance target T1 is specified based on the content of the communication received from the maintenance worker (content of the conversation on the telephone, etc.) (S23 in FIG. 2). As described above, the present invention is not limited to this. For example, instead of specifying the maintenance target T1 based on the content of the communication received from the maintenance worker, the server 3 specifies the maintenance target T1 based on the captured image transmitted from the maintenance worker side terminal 2. It is also possible to adopt. Specifically, it is also possible to adopt the following aspects. First, the maintenance worker acquires a captured image including the maintenance target T1 on the maintenance worker side terminal 2, and transmits the captured image to the server 3 through the maintenance worker side terminal 2. Specifically, the image pickup means 22 of the maintenance worker side terminal 2 acquires the captured image including the maintenance target T1, and the image pickup means includes the communication means of the control signal processing means 26 of the maintenance worker side terminal 2 and the telecommunication line N. , Is transmitted to the server 3. Then, the server 3 identifies the maintenance target T1 (identifier of the maintenance target T1) based on the captured image transmitted from the maintenance worker side terminal 2, and stores it. As a method of specifying the maintenance target T1, for example, the captured image is captured by the maintenance worker side terminal 2 so as to include the maintenance target identification marker (AR marker, QR code (registered trademark), etc.) attached to the maintenance target T1. The server 3 extracts the pixel area corresponding to the marker by performing predetermined image processing on the captured image, and analyzes the extracted pixel area to obtain the identifier (device number, etc.) of the maintenance target T1. ) Can be specified. Since a method for analyzing information contained in a marker such as an AR marker is known, detailed description thereof will be omitted here.
Alternatively, in the second step S2, when the maintenance target T1 cannot be specified by the content of the communication received from the maintenance worker, the server 3 displays the captured image transmitted from the maintenance worker side terminal 2 in the same manner as above. Based on this, it is also possible to adopt an aspect of specifying the maintenance target T1.

なお、本実施形態のように、保守対象候補Tが基板処理装置等の産業用機器である場合、保守対象がITシステムである場合に比べて、以下の理由により、本実施形態の遠隔保守支援システム100及びこれを用いた遠隔保守支援方法が好適に用いられる。
ITシステムは、インターネット等の電気通信回線Nに接続されていることが一般的であるため、ITシステムの状況を遠隔から把握し、必要に応じて遠隔から保守作業を支援することは比較的容易である。
これに対し、基板処理装置等の産業用機器は、セキュリティ上の理由等から、インターネット等の電気通信回線Nに直接接続されていないのが一般的である。したがい、保守対象候補T、ひいてはその中から特定される保守対象T1が産業用機器である場合、遠隔から保守作業の支援を行う際に、保守対象T1自体は、電気通信回線N、ひいてはサーバ3や保守支援者側端末1に電気的に接続されていないことを前提とする必要がある。
また、産業用機器は、機械要素を含み、その破損、腐食、振動、騒音などの状況を把握することが容易ではない。また、産業用機器が基板処理装置のように有体物を製造する製造装置である場合、トラブル発生時の有体物(基板など)の状況を把握することも容易ではない。
したがい、保守対象候補Tが産業用機器である場合、保守対象がITシステムである場合に比べて、保守支援者が産業用機器の加工画像を目視しながら保守作業の支援を行うことができるという本実施形態の遠隔保守支援システム100及びこれを用いた遠隔保守支援方法の利点が活かされ易い。
When the maintenance target candidate T is an industrial device such as a board processing device as in the present embodiment, the remote maintenance support of the present embodiment is compared with the case where the maintenance target is an IT system for the following reasons. The system 100 and a remote maintenance support method using the system 100 are preferably used.
Since an IT system is generally connected to a telecommunication line N such as the Internet, it is relatively easy to remotely grasp the status of the IT system and remotely support maintenance work as needed. Is.
On the other hand, industrial equipment such as a substrate processing apparatus is generally not directly connected to a telecommunication line N such as the Internet for security reasons. Therefore, when the maintenance target candidate T and the maintenance target T1 specified from the maintenance target T1 are industrial equipment, the maintenance target T1 itself is the telecommunication line N and eventually the server 3 when the maintenance work is supported remotely. It is necessary to assume that the terminal 1 on the maintenance support side is not electrically connected.
In addition, industrial equipment includes mechanical elements, and it is not easy to grasp the conditions such as damage, corrosion, vibration, and noise. Further, when the industrial equipment is a manufacturing apparatus for manufacturing a tangible object such as a substrate processing apparatus, it is not easy to grasp the state of the tangible object (such as a substrate) when a trouble occurs.
Therefore, when the maintenance target candidate T is an industrial device, the maintenance supporter can support the maintenance work while visually observing the processed image of the industrial device, as compared with the case where the maintenance target is an IT system. The advantages of the remote maintenance support system 100 of the present embodiment and the remote maintenance support method using the remote maintenance support system 100 can be easily utilized.

1・・・保守支援者側端末
2・・・保守作業者側端末
3・・・サーバ
21・・・フレーム
22・・・撮像手段
23・・・ディスプレイ
24・・・マイクロフォン
25・・・スピーカ
26・・・制御信号処理手段
100・・・遠隔保守支援システム
N・・・電気通信回線
T、T1、T2、T3・・・保守対象候補
1 ... Maintenance supporter side terminal 2 ... Maintenance worker side terminal 3 ... Server 21 ... Frame 22 ... Imaging means 23 ... Display 24 ... Microphone 25 ... Speaker 26 ... Control signal processing means 100 ... Remote maintenance support system N ... Telecommunications lines T, T1, T2, T3 ... Candidates for maintenance

前記課題を解決するため、本発明は、保守支援者が操作する保守支援者側端末と、前記保守支援者側端末に対して遠隔に配置され、保守作業者が操作する保守作業者側端末と、前記保守支援者側端末及び前記保守作業者側端末に電気通信回線を通じて電気的に接続されたサーバと、を用いて、前記保守作業者が行う保守対象の保守作業を支援する遠隔保守支援方法であって、以下の第1~第5ステップを含むことを特徴とする遠隔保守支援方法を提供する。
(1)第1ステップ:前記保守支援者又は前記保守作業者が、前記保守対象となり得る複数の保守対象候補を前記サーバに予め記憶させる。
(2)第2ステップ:前記保守支援者又は前記サーバが、前記第1ステップで記憶された前記複数の保守対象候補のうち、前記保守作業者が保守作業を行う前記保守対象を特定する。
(3)第3ステップ:前記保守支援者が、前記サーバを介した前記保守作業者側端末と前記保守支援者側端末との双方向のデータ通信を行うか否かを判断する。
(4)第4ステップ:前記第3ステップで前記双方向のデータ通信を行うと判断した場合に、前記保守作業者側端末が取得した前記第2ステップで特定した前記保守対象を含む撮像画像を構成する画素領域のうち、前記保守対象以外の画素領域であるマスク画素領域を不可視にした加工画像を前記保守作業者側端末が生成する。
(5)第5ステップ:前記第4ステップで生成された前記加工画像を前記保守作業者側端末から前記保守支援者側端末に送信し、前記送信された前記加工画像を前記保守支援者が目視して、前記保守作業者側端末と前記保守支援者側端末との双方向のデータ通信によって、前記保守支援者が、前記保守作業者が行う前記保守対象の保守作業を支援する。
また、前記課題を解決するため、本発明は、保守支援者が操作する保守支援者側端末と、前記保守支援者側端末に対して遠隔に配置され、保守作業者が操作する保守作業者側端末と、前記保守支援者側端末及び前記保守作業者側端末に電気通信回線を通じて電気的に接続されたサーバと、を用いて、前記保守作業者が行う保守対象の保守作業を支援する遠隔保守支援方法であって、以下の第1~第5ステップを含むことを特徴とする遠隔保守支援方法としても提供される。
(a)第1ステップ:前記保守支援者又は前記保守作業者が、前記保守対象となり得る複数の保守対象候補を前記サーバに予め記憶させる。
(b)第2ステップ:前記保守支援者が、前記保守支援者側端末、前記保守作業者側端末及び前記サーバ以外のツールを用いて、前記保守作業者から連絡を受信し、前記保守支援者が、受信した連絡の内容に基づき、前記第1ステップで記憶された前記複数の保守対象候補のうち、前記保守作業者が保守作業を行う前記保守対象を特定する。
(c)第3ステップ:前記保守支援者が、前記サーバを介した前記保守作業者側端末と前記保守支援者側端末との双方向のデータ通信を行うか否かを判断する。
(d)第4ステップ:前記第3ステップで前記双方向のデータ通信を行うと判断した場合に、前記保守作業者側端末が取得した、前記第2ステップで特定した前記保守対象を含む撮像画像を構成する画素領域のうち、前記保守対象以外の画素領域であるマスク画素領域を不可視にした加工画像を前記保守作業者側端末が生成する。
(e)第5ステップ:前記第4ステップで生成された前記加工画像を前記保守作業者側端末から前記保守支援者側端末に送信し、前記送信された前記加工画像を前記保守支援者が目視して、前記保守作業者側端末と前記保守支援者側端末との双方向のデータ通信によって、前記保守支援者が、前記保守作業者が行う前記保守対象の保守作業を支援する。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention includes a maintenance supporter-side terminal operated by a maintenance supporter and a maintenance worker-side terminal remotely arranged with respect to the maintenance supporter-side terminal and operated by the maintenance worker. , A remote maintenance support method for supporting maintenance work to be maintained by the maintenance worker by using a server electrically connected to the maintenance supporter side terminal and the maintenance worker side terminal through a telecommunication line. The present invention provides a remote maintenance support method comprising the following first to fifth steps.
(1) First step: The maintenance supporter or the maintenance worker stores a plurality of potential maintenance target candidates in the server in advance.
(2) Second step: The maintenance supporter or the server identifies the maintenance target for which the maintenance worker performs maintenance work among the plurality of maintenance target candidates stored in the first step.
(3) Third step: It is determined whether or not the maintenance supporter performs bidirectional data communication between the maintenance worker side terminal and the maintenance supporter side terminal via the server.
(4) Fourth step: An captured image including the maintenance target specified in the second step acquired by the maintenance worker side terminal when it is determined in the third step that the two-way data communication is performed. The maintenance worker side terminal generates a processed image in which the mask pixel area, which is a pixel area other than the maintenance target, is invisible among the pixel areas constituting the above.
(5) Fifth step: The processed image generated in the fourth step is transmitted from the maintenance worker side terminal to the maintenance supporter side terminal, and the transmitted processed image is visually observed by the maintenance supporter. Then, the maintenance supporter supports the maintenance work of the maintenance target performed by the maintenance worker by bidirectional data communication between the maintenance worker side terminal and the maintenance supporter side terminal .
Further, in order to solve the above-mentioned problems, the present invention is provided on the maintenance worker side, which is remotely arranged to the maintenance supporter side terminal operated by the maintenance supporter and the maintenance supporter side terminal, and is operated by the maintenance worker. Remote maintenance that supports maintenance work to be maintained by the maintenance worker using a terminal and a server that is electrically connected to the maintenance supporter side terminal and the maintenance worker side terminal through a telecommunication line. It is a support method, and is also provided as a remote maintenance support method characterized by including the following first to fifth steps.
(A) First step: The maintenance supporter or the maintenance worker stores a plurality of potential maintenance target candidates in the server in advance.
(B) Second step: The maintenance supporter receives a contact from the maintenance worker using a tool other than the maintenance supporter side terminal, the maintenance worker side terminal, and the server, and the maintenance supporter However, among the plurality of maintenance target candidates stored in the first step, the maintenance target to which the maintenance worker performs maintenance work is specified based on the content of the received communication.
(C) Third step: It is determined whether or not the maintenance supporter performs bidirectional data communication between the maintenance worker side terminal and the maintenance supporter side terminal via the server.
(D) Fourth step: An captured image including the maintenance target specified in the second step acquired by the maintenance worker side terminal when it is determined in the third step that the two-way data communication is performed. The maintenance worker side terminal generates a processed image in which the mask pixel area, which is a pixel area other than the maintenance target, is invisible among the pixel areas constituting the above.
(E) Fifth step: The processed image generated in the fourth step is transmitted from the maintenance worker side terminal to the maintenance supporter side terminal, and the transmitted processed image is visually observed by the maintenance supporter. Then, the maintenance supporter supports the maintenance work of the maintenance target performed by the maintenance worker by bidirectional data communication between the maintenance worker side terminal and the maintenance supporter side terminal.

好ましくは、前記第3ステップで前記双方向のデータ通信を行うと判断した場合に、前記保守支援者が、前記保守支援者側端末を通じて、双方向のデータ通信の許可を求めるリクエストを前記サーバに送信するか、或いは、前記保守作業者が、前記保守作業者側端末を通じて前記リクエストを前記サーバに送信し、前記リクエストを受信した前記サーバが、前記保守作業者側端末と前記保守支援者側端末との双方向のデータ通信を許可し、双方向のデータ通信を許可したことを示す信号を前記保守作業者側端末及び前記保守支援者側端末にそれぞれ送信する。
上記の好ましい方法において、より好ましくは、前記第4ステップにおいて、前記保守作業者側端末が前記双方向のデータ通信を許可したことを示す信号を受信し、なお且つ、前記保守作業者側端末で前記保守対象を含む撮像画像を取得した時点からリアルタイムで、前記保守作業者側端末が前記加工画像を生成する。
また、好ましくは、前記保守作業者側端末は、撮像手段を具備し保守作業者が装着するウェアラブル端末である。
Preferably, when it is determined in the third step that the bidirectional data communication is performed, the maintenance supporter requests the server for permission of the bidirectional data communication through the maintenance supporter side terminal. The maintenance worker or the maintenance worker sends the request to the server through the maintenance worker side terminal, and the server receiving the request is the maintenance worker side terminal and the maintenance supporter side terminal. Bidirectional data communication with and is permitted, and a signal indicating that bidirectional data communication is permitted is transmitted to the maintenance worker side terminal and the maintenance supporter side terminal, respectively.
In the above preferred method, more preferably, in the fourth step, the maintenance worker side terminal receives a signal indicating that the two-way data communication is permitted, and the maintenance worker side terminal receives a signal. The maintenance worker side terminal generates the processed image in real time from the time when the captured image including the maintenance target is acquired.
Further, preferably, the maintenance worker side terminal is a wearable terminal provided with an image pickup means and worn by the maintenance worker.

上記最後の好ましい方法によれば、保守作業者側端末がタブレット型のコンピュータやスマートフォンである場合と異なり、保守作業者側端末(ウェアラブル端末)を保守作業者が手で持つ必要がないため、保守作業が容易になるという利点が得られる。また、保守作業者が移動すると、保守作業者側端末(ウェアラブル端末)も確実に移動するため、保守作業者の位置に応じて保守対象を含む撮像画像を確実に取得可能である。 According to the last preferred method described above, unlike the case where the maintenance worker side terminal is a tablet computer or a smartphone, the maintenance worker side terminal (wearable terminal) does not need to be held by the maintenance worker side, and therefore maintenance is performed. It has the advantage of facilitating work. Further, when the maintenance worker moves, the maintenance worker side terminal (wearable terminal) also moves reliably, so that it is possible to reliably acquire the captured image including the maintenance target according to the position of the maintenance worker.

Claims (4)

保守支援者が操作する保守支援者側端末と、前記保守支援者側端末に対して遠隔に配置され、保守作業者が操作する保守作業者側端末と、前記保守支援者側端末及び前記保守作業者側端末に電気的に接続されたサーバと、を用いて、前記保守作業者が行う保守対象の保守作業を支援する遠隔保守支援方法であって、
前記保守対象となり得る複数の保守対象候補を前記サーバに予め記憶させる第1ステップと、
前記第1ステップで記憶された前記複数の保守対象候補のうち、前記保守作業者が保守作業を行う前記保守対象を特定する第2ステップと、
前記サーバを介した前記保守作業者側端末と前記保守支援者側端末との双方向のデータ通信を行うか否かを判断する第3ステップと、
前記第3ステップで前記双方向のデータ通信を行うと判断した場合に、前記保守作業者側端末が取得した前記第2ステップで特定した前記保守対象を含む撮像画像を構成する画素領域のうち、前記保守対象以外の画素領域であるマスク画素領域を不可視にした加工画像を前記保守作業者側端末が生成する第4ステップと、
前記第4ステップで生成され、前記保守作業者側端末から前記保守支援者側端末に送信された前記加工画像を前記保守支援者が目視して、前記保守作業者が行う前記保守対象の保守作業を支援する第5ステップと、を含む、
ことを特徴とする遠隔保守支援方法。
The maintenance supporter-side terminal operated by the maintenance supporter, the maintenance worker-side terminal remotely arranged and operated by the maintenance worker, the maintenance supporter-side terminal, and the maintenance work. It is a remote maintenance support method that supports the maintenance work of the maintenance target performed by the maintenance worker by using a server electrically connected to the terminal on the user side.
The first step of storing a plurality of maintenance target candidates that can be maintenance targets in the server in advance, and
Among the plurality of maintenance target candidates stored in the first step, the second step of specifying the maintenance target on which the maintenance worker performs maintenance work and the second step.
The third step of determining whether or not bidirectional data communication between the maintenance worker side terminal and the maintenance supporter side terminal is performed via the server, and
Of the pixel areas constituting the captured image including the maintenance target specified in the second step acquired by the maintenance worker side terminal when it is determined in the third step that the bidirectional data communication is performed. The fourth step in which the maintenance worker side terminal generates a processed image in which the mask pixel area, which is a pixel area other than the maintenance target, is invisible.
The maintenance work performed by the maintenance worker by visually observing the processed image generated in the fourth step and transmitted from the maintenance worker side terminal to the maintenance supporter side terminal. Including, with the 5th step to support
A remote maintenance support method characterized by this.
前記保守作業者側端末は、撮像手段を具備し保守作業者が装着するウェアラブル端末である、
ことを特徴とする請求項1に記載の遠隔保守支援方法。
The maintenance worker side terminal is a wearable terminal provided with an image pickup means and worn by the maintenance worker.
The remote maintenance support method according to claim 1, wherein the remote maintenance support method is characterized in that.
前記ウェアラブル端末は、ディスプレイを具備するヘッドマウントディスプレイである、
ことを特徴とする請求項2に記載の遠隔保守支援方法。
The wearable terminal is a head-mounted display provided with a display.
The remote maintenance support method according to claim 2, characterized in that.
前記保守対象候補が産業用機器である、
ことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の遠隔保守支援方法。
The maintenance target candidate is industrial equipment.
The remote maintenance support method according to any one of claims 1 to 3, wherein the remote maintenance support method is characterized by the above.
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