JP2022024188A - Liquid coating device - Google Patents
Liquid coating device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022024188A JP2022024188A JP2018180758A JP2018180758A JP2022024188A JP 2022024188 A JP2022024188 A JP 2022024188A JP 2018180758 A JP2018180758 A JP 2018180758A JP 2018180758 A JP2018180758 A JP 2018180758A JP 2022024188 A JP2022024188 A JP 2022024188A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- signal
- unit
- discharge
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
本発明は、液体塗布装置に関する。 The present invention relates to a liquid coating apparatus.
液体貯留部から供給される液体を、被塗布材に吐出する液体塗布装置が知られている。このような液体塗布装置として、例えば特許文献1には、液室に貯えられた塗布液をインクジェット方式のヘッドのノズルから被塗布材に吐出塗布する塗布装置が開示されている。この塗布装置は、前記液室に貯えられた塗布液を加熱するヒータを有する。このヒータによって塗布液を加熱することにより、該塗布液の粘度を低下させることができる。よって、前記塗布装置は、常温で高い粘度を有する塗布液を、ノズルから液切れよく吐出することができる。 A liquid coating device that discharges a liquid supplied from a liquid storage unit to a material to be coated is known. As such a liquid coating device, for example, Patent Document 1 discloses a coating device that discharges and coats a coating liquid stored in a liquid chamber from a nozzle of an inkjet head to a material to be coated. This coating device has a heater that heats the coating liquid stored in the liquid chamber. By heating the coating liquid with this heater, the viscosity of the coating liquid can be lowered. Therefore, the coating device can discharge the coating liquid having a high viscosity at room temperature from the nozzle with good drainage.
また、前記液体塗布装置として、例えば特許文献2には、吐出口からの液体の吐出流速が一定になるように、液体貯留容器から吐出バルブに供給する液体の圧力を制御するとともに液体の温度を制御する液体定量吐出装置が開示されている。この液体定量吐出装置は、液体貯留容器内に貯留された液体の圧力を制御することにより、ノズル内で受ける管内抵抗に勝る推進力を液体に作用させる。これにより、液体の吐出流速を一定にすることができる。また、前記液体定量吐出装置は、液体の温度を一定にすることにより、液体の粘度変化を抑制する。これにより、液体を安定して定量的に吐出することができる。 Further, as the liquid coating device, for example, in Patent Document 2, the pressure of the liquid supplied from the liquid storage container to the discharge valve is controlled and the temperature of the liquid is controlled so that the flow rate of the liquid discharged from the discharge port becomes constant. A controlled liquid metering discharge device is disclosed. By controlling the pressure of the liquid stored in the liquid storage container, this liquid metering discharge device exerts a propulsive force on the liquid that exceeds the in-pipe resistance received in the nozzle. As a result, the discharge flow rate of the liquid can be made constant. Further, the liquid quantitative discharge device suppresses a change in the viscosity of the liquid by keeping the temperature of the liquid constant. As a result, the liquid can be discharged stably and quantitatively.
ところで、前記特許文献1、2に開示される構成のように液体を加熱する場合、液体を加熱する加熱装置が必要であるとともに、前記加熱装置を有する分、液体塗布装置が大型化する。 By the way, when the liquid is heated as in the configurations disclosed in Patent Documents 1 and 2, a heating device for heating the liquid is required, and the size of the liquid coating device is increased by the amount of the heating device.
そのため、加熱装置を用いることになく、簡単且つコンパクトな構成で、液体を吐出可能な液体塗布装置が求められている。 Therefore, there is a demand for a liquid coating device capable of discharging a liquid with a simple and compact configuration without using a heating device.
本発明の目的は、簡単且つコンパクトな構成で、液体を吐出可能な液体塗布装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a liquid coating device capable of discharging a liquid with a simple and compact configuration.
本発明の一実施形態に係る液体塗布装置は、液体を貯留する液体貯留部と、前記液体が供給される液室と、前記液室に繋がり且つ前記液体貯留部から前記液室内に液体を供給する流入路と、前記液室を区画する壁部の一部を構成し且つ厚み方向の変形によって前記液室の容積を変化させるダイヤフラムと、吐出信号に応じて前記ダイヤフラムを厚み方向に変形させるとともに、高周波信号に応じて前記ダイヤフラムを前記吐出信号に応じて生じる変形の振幅よりも小さい振幅で厚み方向に変形させる駆動部と、を有し、前記液室内の前記液体を外部に吐出する吐出部と、加圧信号に応じて、前記液体貯留部内に大気圧よりも大きい正圧を加圧する圧力調整部と、前記駆動部に対する前記高周波信号の出力と前記圧力調整部に対する前記加圧信号の出力とを、所定のタイミングで行う制御部と、を有する。 The liquid coating apparatus according to the embodiment of the present invention is connected to a liquid storage unit for storing a liquid, a liquid chamber to which the liquid is supplied, and the liquid chamber, and supplies the liquid from the liquid storage unit to the liquid chamber. A diaphragm that constitutes a part of the wall portion that divides the liquid chamber and changes the volume of the liquid chamber by deformation in the thickness direction, and a diaphragm that deforms the diaphragm in the thickness direction in response to a discharge signal. A discharge unit that discharges the liquid in the liquid chamber to the outside, including a drive unit that deforms the diaphragm in the thickness direction with an amplitude smaller than the amplitude of the deformation that occurs in response to the discharge signal in response to a high-frequency signal. A pressure adjusting unit that pressurizes a positive pressure larger than the atmospheric pressure in the liquid storage unit according to the pressurizing signal, an output of the high frequency signal to the driving unit, and an output of the pressurizing signal to the pressure adjusting unit. It has a control unit that performs the above and the operation at a predetermined timing.
本発明の一実施形態に係る液体塗布装置によれば、簡単且つコンパクトな構成で、液体を吐出することができる。 According to the liquid coating device according to the embodiment of the present invention, the liquid can be discharged with a simple and compact configuration.
以下、図面を参照し、本発明の実施の形態を詳しく説明する。なお、図中の同一または相当部分については同一の符号を付してその説明は繰り返さない。また、各図中の構成部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び各構成部材の寸法比率等を忠実に表していない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The same or corresponding parts in the drawings are designated by the same reference numerals and the description thereof will not be repeated. Further, the dimensions of the constituent members in each drawing do not faithfully represent the actual dimensions of the constituent members, the dimensional ratio of each constituent member, and the like.
(液体塗布装置)
図1は、本発明の実施形態に係る液体塗布装置1の概略構成を模式的に示す図である。図2は、液体塗布装置1の動作を示すフローチャートである。
(Liquid coating device)
FIG. 1 is a diagram schematically showing a schematic configuration of a liquid coating device 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the liquid coating device 1.
液体塗布装置1は、液体を液滴状で外部に吐出するインクジェット方式の液体塗布装置である。前記液体は、例えば、半田、熱硬化性樹脂、インク、機能性薄膜(配向膜、レジスト、カラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンスなど)を形成するための塗布液などである。 The liquid coating device 1 is an inkjet type liquid coating device that ejects a liquid in the form of droplets to the outside. The liquid is, for example, a solder, a thermosetting resin, an ink, a coating liquid for forming a functional thin film (alignment film, resist, color filter, organic electroluminescence, etc.) and the like.
液体塗布装置1は、液体貯留部10と、圧力調整部20と、吐出部30と、制御部60とを備える。
The liquid coating device 1 includes a
液体貯留部10は、内部に液体を貯留する容器である。液体貯留部10は、貯留された液体を吐出部30に供給する。すなわち、液体貯留部10は、貯留された液体を吐出部30に供給する流出口10aを有する。液体貯留部10内の圧力は、圧力調整部20によって調整される。なお、液体貯留部10には、図示しない供給口から液体が供給される。
The
(圧力調整部)
圧力調整部20は、液体貯留部10内の圧力を、大気圧よりも高い正圧、大気圧よりも低い負圧、または、大気圧のいずれかに調整する。このように液体貯留部10内の圧力を調整することにより、後述するように、吐出部30の吐出口32aから液体を安定して吐出できるとともに、吐出口32aから液体が漏れるのを防止できる。
(Pressure adjustment unit)
The
具体的には、圧力調整部20は、正圧生成部21と、負圧生成部22と、第1切換弁23と、第2切換弁24と、大気開放部25と、圧力センサ26を有する。
Specifically, the
正圧生成部21は、大気圧よりも高い正圧を生成する。正圧生成部21は、正圧発生部としての正圧用ポンプ21aを有する。正圧用ポンプ21aは、正圧を生成する。
The positive
負圧生成部22は、大気圧よりも低い負圧を生成する。負圧生成部22は、負圧発生部としての負圧用ポンプ22aと、負圧調整容器22bとを有する。
The negative
負圧用ポンプ22aは、負圧を生成する。負圧調整容器22bの内部の圧力は、負圧用ポンプ22aによって生成された負圧になる。負圧調整容器22bは、負圧用ポンプ22aと第2切換弁24との間に位置する。負圧生成部22が負圧調整容器22bを有することにより、負圧用ポンプ22aで生成された負圧は均一化される。
The
これにより、負圧用ポンプ22aで生じる負圧の脈動を低減できるとともに、負圧生成部22で安定した負圧が得られる。また、後述するように、負圧用ポンプ22aの出力が、圧力センサ26による液体貯留部10内の圧力の検出結果に応じて変化する場合でも、負圧調整容器22bによって、負圧用ポンプ22aで生じる負圧の脈動が低減され且つ変化後の負圧において均一化された圧力が得られる。よって、後述するように負圧生成部22を液体貯留部10に接続した際に、液体貯留部10内の圧力を迅速に負圧にすることができる。
As a result, the pulsation of the negative pressure generated by the
第1切換弁23及び第2切換弁24は、それぞれ、3方向弁である。すなわち、第1切換弁23及び第2切換弁24は、それぞれ、3つのポートを有する。第1切換弁23の3つのポートには、液体貯留部10、正圧生成部21及び第2切換弁24が接続される。第2切換弁24の3つのポートには、負圧生成部22、大気開放部25及び第1切換弁23が接続される。
The
第1切換弁23及び第2切換弁24は、それぞれの内部で、3つのポートのうち2つのポートを接続する。本実施形態では、第1切換弁23は、液体貯留部10に接続されるポートに対し、正圧生成部21に接続されるポートまたは第2切換弁24に接続されるポートを接続する。すなわち、第1切換弁23は、液体貯留部10に対し、正圧生成部21に繋がる回路と第2切換弁24に繋がる回路とを切り換えて接続する。第2切換弁24は、第1切換弁23に接続されるポートに対し、負圧生成部22に接続されるポートまたは大気開放部25に接続されるポートを接続する。すなわち、第2切換弁24は、第1切換弁23に対し、負圧生成部22に繋がる回路と大気開放部25に繋がる回路とを切り換えて接続する。
The
なお、第1切換弁23及び第2切換弁24は、制御部60から出力される開閉信号に応じて、ポート同士の接続を切り換える。前記開閉信号は、後述する第1制御信号、第2制御信号、第3制御信号及び第4制御信号を含む。
The
圧力センサ26は、液体貯留部10内の圧力を検出する。圧力センサ26は、検出した液体貯留部10内の圧力を圧力信号として、制御部60に出力する。圧力センサ26によって検出される負圧は、液体貯留部10内の液体残量に応じて変化する。すなわち、液体貯留部10内の液体残量が少なくなると、圧力センサ26によって検出される負圧は、液体残量が多い場合に比べて高くなる。なお、負圧が高くなるとは、例えば-1kPaから-1.1kPaに変化した状態を意味する。
The
後述の制御部60は、圧力センサ26から出力された圧力信号に応じて、負圧用ポンプ22aの駆動を制御する。制御部60は、圧力センサ26によって、液体貯留部10内における液体残量の減少が液体貯留部10内の高い負圧として検出されると、負圧目標値を低く設定することにより、負圧用ポンプ22aで発生する負圧を大気圧に近づける。
The
以上の構成により、圧力調整部20は、液体貯留部10内の圧力を正圧にする場合、すなわち液体貯留部10内を正圧に加圧する場合には、第1切換弁23を切り換えて、正圧生成部21と液体貯留部10とを接続する。これにより、液体貯留部10から吐出部30に液体を押し出すことができる。よって、吐出部30に液体を安定して供給することができる。なお、この場合に、制御部60から第1切換弁23に入力される開閉信号が、加圧信号である。すなわち、加圧信号は、制御部60から圧力調整部20に入力される。
With the above configuration, the
また、圧力調整部20は、液体貯留部10内の圧力を負圧にする場合には、第2切換弁24を切り換えて負圧生成部22と第1切換弁23とを接続し且つ第1切換弁23を切り換えて第2切換弁24と液体貯留部10とを接続する。これにより、液体貯留部10内の圧力を負圧にして、吐出部30の吐出口32aから液体が漏れ出すことを防止できる。
Further, when the pressure in the
さらに、圧力調整部20は、液体貯留部10内の圧力を大気圧にする場合には、第2切換弁24を切り換えて大気開放部25と第1切換弁23とを接続する。このとき、第1切換弁23は、第2切換弁24と液体貯留部10とを接続した状態である。これにより、液体貯留部10内の圧力を大気圧にすることができる。
Further, when the pressure in the
(吐出部)
吐出部30は、液体貯留部10から供給された液体を、外部に液滴状で吐出する。具体的には、吐出部30は、液体供給部31と、ダイヤフラム35と、駆動部40とを有する。
(Discharge part)
The
液体供給部31は、内部に液室33及び流入路34を有するベース部材32を有する。ベース部材32上には液体貯留部10が位置する。ベース部材32の流入路34は、液体貯留部10の流出口10aに接続される。流入路34は、液室33に接続される。すなわち、流入路34は、液室33に繋がり且つ液体貯留部10から液室33内に液体を供給する。
The
ベース部材32は、液室33に繋がる吐出口32aを有する。吐出口32aは、液室33内に供給された液体を外部に吐出するための開口である。本実施形態では、吐出口32aは下方に向かって開口するため、流入路34及び液室33内に供給された液体は、メニスカスによって、吐出口32a内において下方に突出する液面を有する。
The
ダイヤフラム35は、液室33を区画する壁部の一部を構成する。ダイヤフラム35は、液室33を挟んで吐出口32aとは反対側に位置する。ダイヤフラム35は、厚み方向に変形可能にベース部材32に支持される。ダイヤフラム35は、液室33を区画する壁部の一部を構成し且つ変形によって液室33の容積を変化させる。ダイヤフラム35の厚み方向の変形によって液室33の容積が変化することで、液室33内の液体が吐出口32aから外部に向かって吐出される。
The
駆動部40は、ダイヤフラム35を厚み方向に変形させる。具体的には、駆動部40は、圧電素子41と、第1台座42と、第2台座43と、プランジャ44と、コイルばね45と、ケーシング46とを有する。
The
圧電素子41は、所定の電圧を印加することにより、一方向に伸びる。すなわち、圧電素子41は、前記一方向に伸縮可能である。圧電素子41は、前記一方向に伸縮することにより、ダイヤフラム35を厚み方向に変形させる。なお、ダイヤフラム35を厚み方向に変形させる駆動力は、磁歪素子等の他の駆動素子によって生じさせてもよい。
The
本実施形態の圧電素子41は、前記一方向に長い直方体状である。また、特に図示しないが、本実施形態の圧電素子41は、例えばジルコン酸チタン酸鉛(PZT)などの圧電セラミックスによって構成された複数の圧電体を、前記一方向に積層した状態で電気的に接続することにより構成される。すなわち、圧電素子41は、前記一方向に積層された複数の圧電体41aを有する。これにより、圧電素子41が一つの圧電体を有する場合に比べて、前記一方向における圧電素子41の伸縮量を大きくすることができる。なお、圧電素子の形状は直方体状に限らず、その他の形状、例えば円柱状等であってもよい。
The
複数の圧電体41aは、前記一方向と交差する方向に対向して位置する図示しない側面電極によって電気的に接続される。よって、圧電素子41は、前記側面電極に所定の電圧を印加することにより、前記一方向に伸びる。圧電素子41に印加される前記所定の電圧は、後述の制御部60から入力される駆動信号である。
The plurality of piezoelectric bodies 41a are electrically connected by side electrodes (not shown) located facing each other in a direction intersecting the one direction. Therefore, the
圧電素子41の構成は、従来の圧電素子の構成と同様であるため、詳しい説明を省略する。なお、圧電素子41は、1つの圧電体のみを有してもよい。
Since the configuration of the
プランジャ44は、棒状の部材である。プランジャ44における軸線方向の一方の端部は、ダイヤフラム35に接触する。プランジャ44における軸線方向の他方の端部は、圧電素子41の前記一方向の端部を覆う後述の第1台座42に接触する。すなわち、圧電素子41の前記一方向とプランジャ44の軸線方向とは一致する。また、圧電素子41とダイヤフラム35との間にプランジャ44が位置する。これにより、圧電素子41の伸縮は、プランジャ44を介して、ダイヤフラム35に伝達される。
The
プランジャ44における前記他方の端部は、半球状である。これにより、プランジャ44の軸線方向と圧電素子41の前記一方向とが異なる場合でも、プランジャ44を介して、圧電素子41の伸縮をダイヤフラム35に伝達することができる。
The other end of the
第1台座42は、圧電素子41における前記一方向のダイヤフラム35側の端部を覆う。第1台座42は、プランジャ44に接触する。第2台座43は、圧電素子41における前記一方向のダイヤフラム35とは反対側の端部を覆う。第2台座43は、後述する固定ケーシング47の固定ケーシング底壁部47aに支持される。
The
第1台座42及び第2台座43は、ぞれぞれ、底部42a,43aと、外周側に位置する縦壁部42b,43bとを有する。底部42a,43aは、それぞれ、圧電素子41の前記一方向の端面を覆う大きさを有する。縦壁部42b,43bは、それぞれ、圧電素子41の側面の一部を覆う。
The
圧電素子41は、ケーシング46内に収容される。ケーシング46は、固定ケーシング47と、与圧ケーシング48とを有する。与圧ケーシング48は、固定ケーシング47内に収容される。圧電素子41は、与圧ケーシング48内に収容される。
The
固定ケーシング47は、ダイヤフラム35側が開口する箱状である。具体的には、固定ケーシング47は、固定ケーシング底壁部47aと、固定ケーシング側壁部47bとを有する。固定ケーシング底壁部47aは、圧電素子41を挟んでダイヤフラム35とは反対側に位置する。固定ケーシング底壁部47aは、圧電素子41の前記一方向の端部を支持する半球状の突出部47cを有する。
The fixed
与圧ケーシング48は、圧電素子41を挟んでダイヤフラム35とは反対側が開口する箱状である。よって、与圧ケーシング48が固定ケーシング47内に収容された状態で、固定ケーシング底壁部47aの一部は、ケーシング46内に露出する。上述の突出部47cは、固定ケーシング底壁部47aにおいて露出した部分に位置する。
The
与圧ケーシング48は、与圧ケーシング底壁部48aと、与圧ケーシング側壁部48bとを有する。
The
与圧ケーシング底壁部48aは、ダイヤフラム35側に位置する。与圧ケーシング底壁部48aは、プランジャ44が貫通する貫通孔を有する。よって、プランジャ44は、圧電素子41とダイヤフラム35との間で前記一方向に延びて与圧ケーシング底壁部48aを貫通し、圧電素子41の伸縮をダイヤフラム35に伝達する。
The
与圧ケーシング底壁部48aは、ベース部材32の上面によって支持されている。これにより、与圧ケーシング底壁部48aと第1台座42とによって挟みこまれた後述のコイルばね45によって生じる力は、ベース部材32によって支持されるダイヤフラム35に作用しないか、ダイヤフラム35に作用したとしても非常に小さい。
The pressurized casing
また、与圧ケーシング底壁部48aは、後述のコイルばね45を、第1台座42との間で保持する。
Further, the pressurized casing
与圧ケーシング側壁部48bの外面が固定ケーシング側壁部47bの内面に接触し、与圧ケーシング側壁部48bの内面が第1台座42及び第2台座43の縦壁部42b,43bに接触する。これにより、与圧ケーシング側壁部48bによって、第1台座42及び第2台座43を保持できる。したがって、圧電素子41に所定の電圧が印加された場合でも、前記一方向と直交する方向への圧電素子41の変形が抑制される。
The outer surface of the
以上の構成により、圧電素子41は、プランジャ44と、固定ケーシング底壁部47aの突出部47cとによって、前記一方向に挟み込まれる。これにより、圧電素子41が前記一方向に伸縮した場合に、圧電素子41の伸縮をプランジャ44によってダイヤフラム35に伝達することができる。したがって、圧電素子41の伸縮によって、ダイヤフラム35を厚み方向に変形させることができる。なお、図1に、圧電素子41の前記一方向の伸縮によるプランジャ44の移動を、実線矢印で示す。
With the above configuration, the
コイルばね45は、前記一方向に螺旋状に延びるばね部材である。コイルばね45は、第1台座42と与圧ケーシング底壁部48aとによって、前記一方向に挟み込まれる。これにより、コイルばね45は、第1台座42を介して圧電素子41に前記一方向に圧縮する力を付与する。
The
このようにコイルばね45によって圧電素子41を前記一方向に圧縮することにより、圧電素子41に対して矩形波の駆動信号を入力した場合でも、圧電素子41が伸縮によって損傷を受けることを防止できる。よって、圧電素子41の耐久性を向上することができる。
By compressing the
しかも、上述のようにコイルばね45が位置することにより、コイルばね45の弾性復元力を与圧ケーシング底壁部48aによって受けることができる。よって、コイルばね45の弾性復元力によって、ダイヤフラム35が変形を生じることを防止できる。したがって、吐出口32aから液体が漏れたり、液体の吐出性能が低下したりすることを防止できる。
Moreover, by locating the
(制御部)
次に、以下で制御部60の構成について説明する。
(Control unit)
Next, the configuration of the
制御部60は、液体塗布装置1の駆動を制御する。すなわち、制御部60は、圧力調整部20及び駆動部40の駆動をそれぞれ制御する。
The
制御部60は、圧力調整制御部61と、駆動制御部62とを有する。
The
圧力調整制御部61は、圧力調整部20の第1切換弁23及び第2切換弁24に対して、制御信号を出力する。また、圧力調整制御部61は、正圧用ポンプ21aに対して、正圧用ポンプ駆動信号を出力する。さらに、圧力調整制御部61は、負圧用ポンプ22aに対して、負圧用ポンプ駆動信号を出力する。圧力調整制御部61は、第1切換弁23及び第2切換弁24に対して制御信号を出力することにより、液体貯留部10内の圧力を制御する。
The pressure
例えば、液体貯留部10内に正圧を付与する場合には、圧力調整制御部61は、第1切換弁23に対し、正圧生成部21と液体貯留部10とを接続する第1制御信号を出力する。また、液体貯留部10内に負圧を付与する場合には、圧力調整制御部61は、第1切換弁23に対し、第2切換弁24と液体貯留部10とを接続する第2制御信号を出力し、第2切換弁24に対し、大気開放部25と第1切換弁23とを接続する第3制御信号を出力する。さらに、液体貯留部10内を大気圧にする場合には、圧力調整制御部61は、第1切換弁23に対し、第2切換弁24と液体貯留部10とを接続する第2制御信号を出力し、第2切換弁24に対し、負圧生成部22と第1切換弁23とを接続する第4制御信号を出力する。
For example, when a positive pressure is applied to the
圧力調整制御部61は、圧力センサ26から出力された圧力信号に応じて、負圧用ポンプ22aの駆動を制御する。すなわち、圧力調整制御部61は、負圧用ポンプ22aを駆動させても圧力センサ26で検出された圧力が負圧目標値に到達しない場合、前記負圧目標値を低く設定し、新しい負圧目標値に応じて負圧用ポンプ22aを駆動させる。このように、圧力調整制御部61は、圧力センサ26によって、液体貯留部10内における液体残量の減少が液体貯留部10内の高い負圧として検出されると、負圧目標値を低く設定することにより、負圧用ポンプ22aで発生する負圧を大気圧に近づける。
The pressure
また、圧力調整制御部61は、正圧用ポンプ21aの駆動も制御する。なお、正圧用ポンプ21aの駆動は、従来の構成と同様であるため、詳しい説明を省略する。
The pressure
駆動制御部62は、駆動部40の圧電素子41の駆動を制御する。すなわち、駆動制御部62は、圧電素子41に対して駆動信号を出力する。この駆動信号は、吐出信号及び高周波信号を含む。
The
前記吐出信号は、後述するように圧電素子41を伸縮させてダイヤフラム35を変形させることにより、液室33内の液体を吐出口32aから外部に吐出させる信号である。
The discharge signal is a signal for discharging the liquid in the
前記高周波信号は、前記吐出信号に応じて圧電素子41によってダイヤフラム35に生じさせる変形の振幅よりも小さい振幅の変形を、圧電素子41によってダイヤフラム35に生じさせる信号である。前記高周波信号によって圧電素子41を駆動させることによってダイヤフラム35に生じる変形は、ダイヤフラム35に高周波振動を生じさせる。この高周波振動は、吐出部30の吐出口32aから液体が吐出されない程度の振動である。
The high-frequency signal is a signal in which the
前記高周波信号は、連続する信号であり、前記吐出信号よりも小さい振幅を有する。前記高周波信号の周波数は、特に限定されないが、圧電素子41の駆動周波数の2倍以上が好ましい。例えば、前記高周波信号の周波数は、2Hz~30kHzが好ましい。
The high frequency signal is a continuous signal and has an amplitude smaller than that of the discharge signal. The frequency of the high-frequency signal is not particularly limited, but is preferably twice or more the drive frequency of the
前記高周波信号を圧電素子41に入力することにより、ダイヤフラム35によって液室33内の液体を加振して、該液体の流動性を向上することができる。これにより、液室33内に液体を安定して供給することができる。なお、チクソトロピー性を示す液体の場合、一般的には、前記高周波信号の周波数が高いほど液体の流動性を向上させることができる。
By inputting the high frequency signal to the
また、上述のように液室33内の液体を加振することにより、吐出口32aから液体を吐出した際に、該液体の曳糸性を改善することができる。
Further, by vibrating the liquid in the
制御部60は、駆動制御部62によって、前記吐出信号を圧電素子41に出力するタイミング、前記高周波信号を圧電素子41に出力するタイミング及び前記制御信号を圧力調整部20に出力するタイミングを制御する。
The
図2は、吐出部30による液体の吐出及び圧力調整部20による液体貯留部10内の圧力調整の動作の一例を示すフローチャートである。まず、制御部60の駆動制御部62による、前記吐出信号を圧電素子41に出力するタイミングと前記制御信号を圧力調整部20に出力するタイミングとの制御について説明する。
FIG. 2 is a flowchart showing an example of the operation of discharging the liquid by the discharging
図2に示すように、まず、制御部60は、吐出を指示する外部信号が入力されたかどうかを判定する(ステップS1)。この外部信号は、制御部60よりも上位のコントローラ等から制御部60に入力される。
As shown in FIG. 2, first, the
制御部60に外部信号が入力された場合(ステップS1でYESの場合)には、ステップS2で、制御部60の圧力調整制御部61は、圧力調整部20の第1切換弁23において正圧生成部21と液体貯留部10とを接続する第1制御信号を生成して、第1切換弁23に出力する。第1切換弁23は前記第1制御信号に応じて駆動する。これにより、液体貯留部10内は、正圧に加圧される。一方、制御部60に外部信号が入力されていない場合(ステップS1でNOの場合)には、制御部60に外部信号が入力されるまでステップS1の判定を繰り返す。
When an external signal is input to the control unit 60 (YES in step S1), in step S2, the pressure
ステップS2の後、制御部60の駆動制御部62は、圧電素子41に対して吐出信号を出力して、吐出部30に吐出口32aから液体を吐出させる(ステップS3)。
After step S2, the
なお、駆動制御部62が圧電素子41に対して吐出信号を出力した後、圧力調整制御部61が前記第1制御信号を第1切換弁23に出力してもよい。すなわち、吐出部30の吐出を、液体貯留部10内の正圧の加圧よりも前に行ってもよい。
After the
その後、圧力調整制御部61は、圧力調整部20の第1切換弁23において第2切換弁24と液体貯留部10とを接続する第2制御信号を生成して、第1切換弁23に出力する。また、圧力調整制御部61は、第2切換弁24において大気開放部25と第1切換弁23とを接続する第3制御信号を生成して、第2切換弁24に出力する(ステップS4)。第1切換弁23は、前記第2制御信号に応じて駆動する。第2切換弁24は、前記第3制御信号に応じて駆動する。これにより、液体貯留部10内の圧力は、大気圧になる。
After that, the pressure adjusting
続いて、圧力調整制御部61は、第2切換弁24において負圧生成部22と第1切換弁23とを接続する第4制御信号を生成して、第2切換弁24に出力する(ステップS5)。第2切換弁24は、前記第4制御信号に応じて駆動する。これにより、液体貯留部10内の圧力は、負圧になる。よって、吐出部30の吐出口32aから液体が漏れ出るのを防止できる。その後、このフローを終了する(END)。制御部60は、必要に応じて、上述のフローを繰り返し実行する。
Subsequently, the pressure
上述のように液体貯留部10内の圧力を制御することにより、吐出部30の吐出口32aから液体が漏れ出ることなく、適正なタイミングで液体を吐出口32aから安定して吐出させることができる。
By controlling the pressure in the
本実施形態では、制御部60は、上述のような液体貯留部10内の圧力の制御に加えて、前記高周波信号を圧電素子41に出力するタイミングと既述の加圧信号を圧力調整部20に出力するタイミングも制御する。前記加圧信号は、上述の図2に示すフローの説明における第1制御信号である。
In the present embodiment, the
(加圧信号の出力タイミングが先の場合)
制御部60は、前記加圧信号を圧力調整部20に出力した後、前記高周波信号を圧電素子41に出力する。図3は、前記高周波信号を圧電素子41に出力するタイミングと前記加圧信号を圧力調整部20に出力するタイミングとを含むタイミングチャートの一例である。
(When the output timing of the pressurization signal comes first)
The
図3に示すように、液体塗布装置1に対し、液体の吐出を指示する外部信号が入力されると、まず、制御部60の圧力調整制御部61は、加圧信号を生成して、該加圧信号を圧力調整部20の第1切換弁23に出力する。そうすると、第1切換弁23は、正圧生成部21と液体貯留部10とを接続して、液体貯留部10内を正圧で加圧する。なお、図3では、第1切換弁23が、正圧生成部21と液体貯留部10とを接続する場合をモード1とし、第2切換弁24と液体貯留部10とを接続する場合をモード2とする。
As shown in FIG. 3, when an external signal instructing liquid discharge is input to the liquid coating device 1, the pressure
制御部60の駆動制御部62は、圧力調整制御部61が前記加圧信号を出力してから一定時間経過後、高周波信号を圧電素子41に出力する。駆動制御部62は、圧電素子41に対して前記高周波信号を一定期間出力した後、吐出信号を出力する。駆動制御部62は、圧電素子41に対する前記一定期間の前記高周波信号の出力と前記吐出信号の出力とを繰り返す。
The
なお、制御部60は、前記高周波信号及び前記吐出信号を出力した後、圧力調整部20に対して液体貯留部10内を大気圧にする信号を出力する。この信号が、上述の図2に示すフローの説明における第2制御信号及び第3制御信号である。これにより、第1切換弁23及び第2切換弁24が駆動して、液体貯留部10内を大気圧にする。その後、制御部60は、圧力調整部20に対して液体貯留部10内を負圧にする信号を出力する。この信号が上述の図2に示すフローの説明における第2制御信号及び第4制御信号である。これにより、第1切換弁23及び第2切換弁24が駆動して、液体貯留部10内を負圧にする。
After outputting the high frequency signal and the discharge signal, the
図3におけるタイマ1は、制御部60が有する図示しないタイマの動作を示すタイミングチャートである。前記タイマは、前記一定時間、動作する。
The timer 1 in FIG. 3 is a timing chart showing the operation of a timer (not shown) included in the
上述のタイミングで制御部60から前記加圧信号及び前記高周波信号を出力することにより、吐出部30の流入路34から液室33内に液体を安定して供給することができる。これにより、吐出部30から液体を安定して吐出させることができる。なお、上述の信号出力のタイミングは、比較的低い粘度を有する液体を吐出部30から吐出する場合に特に効果的である。
By outputting the pressurizing signal and the high frequency signal from the
(高周波信号の出力タイミングが先の場合)
制御部60は、前記高周波信号を圧電素子41に出力した後、前記加圧信号を圧力調整部20に出力する。図4は、前記高周波信号を圧電素子41に出力するタイミングと前記加圧信号を圧力調整部20に出力するタイミングとを含むタイミングチャートの一例である。
(When the output timing of the high frequency signal comes first)
The
図4に示すように、液体塗布装置1に対し、液体の吐出を指示する外部信号が入力されると、まず、駆動制御部62は、高周波信号を生成して、圧電素子41に出力する。駆動制御部62は、圧電素子41に対して前記高周波信号を一定期間出力した後、吐出信号を出力する。駆動制御部62は、圧電素子41に対する前記一定期間の前記高周波信号の出力と前記吐出信号の出力とを繰り返す。
As shown in FIG. 4, when an external signal instructing liquid discharge is input to the liquid coating device 1, the
制御部60の圧力調整制御部61は、駆動制御部62が前記高周波信号を出力してから一定時間経過後、加圧信号を生成して、該加圧信号を圧力調整部20の第1切換弁23に出力する。そうすると、第1切換弁23は、正圧生成部21と液体貯留部10とを接続して、液体貯留部10内を正圧で加圧する。なお、図4では、第1切換弁23が、正圧生成部21と液体貯留部10とを接続する場合をモード1とし、第2切換弁24と液体貯留部10とを接続する場合をモード2とする。
The pressure
なお、制御部60は、前記高周波信号及び前記吐出信号を出力した後、圧力調整部20に対して液体貯留部10内を大気圧にする信号を出力する。この信号が、上述の図2に示すフローの説明における第2制御信号及び第3制御信号である。これにより、第1切換弁23及び第2切換弁24が駆動して、液体貯留部10内を大気圧にする。その後、制御部60は、圧力調整部20に対して液体貯留部10内を負圧にする信号を出力する。この信号が上述の図2に示すフローの説明における第2制御信号及び第4制御信号である。これにより、第1切換弁23及び第2切換弁24が駆動して、液体貯留部10内を負圧にする。
After outputting the high frequency signal and the discharge signal, the
図4におけるタイマ2は、制御部60が有する図示しないタイマの動作を示すタイミングチャートである。前記タイマは、前記一定時間、動作する。
The timer 2 in FIG. 4 is a timing chart showing the operation of a timer (not shown) included in the
上述のタイミングで制御部60から前記加圧信号及び前記高周波信号を出力することにより、吐出部30の液室33内の液体の流動性を向上できる。これにより、吐出部30から液体を安定して吐出させることができる。また、上述のタイミングで制御部60から前記加圧信号及び前記高周波信号を出力することにより、液体の曳糸性を改善することができる。なお、上述の信号出力のタイミングは、比較的高い粘度を有する液体を吐出部30から吐出する場合に特に効果的である。
By outputting the pressurizing signal and the high frequency signal from the
なお、制御部60の駆動制御部62は、前記吐出信号を最後に出力した後、前記高周波信号を出力してもよい。図5は、前記吐出信号を最後に出力した後、前記高周波信号を出力するタイミングを示すタイミングチャートの一例である。粒子を含む液体において、吐出部30の吐出口32a内の粒子密度が高まった場合に、図5に示すように、制御部60の駆動制御部62が前記吐出信号を最後に出力した後に前記高周波信号を出力することにより、吐出口32a内の粒子密度の均一化を図れる。前記粒子を含む液体は、例えば、半田粒子を含むペースト材料などである。
The
図5におけるタイマ1,3は、制御部60が有する図示しないタイマの動作を示すタイミングチャートである。前記タイマは、圧力調整制御部61が前記加圧信号を出力してから一定時間経過、動作するとともに、前記吐出信号を最後に出力した後に前記高周波信号を出力する期間、動作する。
The timers 1 and 3 in FIG. 5 are timing charts showing the operation of a timer (not shown) included in the
図5は、前記加圧信号を圧力調整部20に出力した後、前記高周波信号を圧電素子41に出力する場合に、前記吐出信号の出力後に前記高周波信号を出力した例であるが、図4に示すように、前記高周波信号を圧電素子41に出力した後、前記加圧信号を圧力調整部20に出力する場合に、前記吐出信号の出力後に前記高周波信号を出力してもよい。
FIG. 5 shows an example in which the high-frequency signal is output after the discharge signal is output when the high-frequency signal is output to the
制御部60の駆動制御部62は、前記吐出信号における立ち上がり部分及び立ち下がり部分の少なくとも一方の傾きを変更可能である。すなわち、駆動制御部62は、前記吐出信号の立ち上がり部分において、時間に対する信号変化の割合を変更可能である。この場合、駆動制御部62は、前記吐出信号における立ち上がり部分の傾き及び立ち下がり部分の傾きのうち少なくとも一方を変更することにより、吐出部30の吐出口32aから吐出される液体の量を調整する。例えば、駆動制御部62は、前記吐出信号の信号出力時間を変えずに前記吐出信号の立ち上がり部分の傾きを小さくすることにより、吐出部30の吐出口32aから吐出される液体の量を少なくする。また、駆動制御部62は、前記吐出信号の信号出力時間を変えずに前記吐出信号の立ち下がり部分の傾きを小さくすることにより、吐出部30の吐出口32aから吐出される液体の量を少なくする。
The
これにより、吐出部30の吐出口32aの大きさが同じであっても、吐出口32aから噴出する液体の量を変えることができる。
Thereby, even if the size of the
本実施形態の液体塗布装置1は、液体を貯留する液体貯留部10と、前記液体が供給される液室33と、液室33に繋がり且つ液体貯留部10から液室33内に液体を供給する流入路34と、液室33を区画する壁部の一部を構成し且つ厚み方向の変形によって液室33の容積を変化させるダイヤフラム35と、吐出信号に応じてダイヤフラム35を厚み方向に変形させるとともに、高周波信号に応じてダイヤフラム35を前記吐出信号に応じて生じる変形の振幅よりも小さい振幅で厚み方向に変形させる駆動部40と、を有し、液室33内の前記液体を外部に吐出する吐出部30と、加圧信号に応じて、液体貯留部10内に大気圧よりも大きい正圧を加圧する圧力調整部20と、駆動部40に対する前記高周波信号の出力と圧力調整部20に対する前記加圧信号の出力とを、所定のタイミングで行う制御部60と、を有する。
The liquid coating device 1 of the present embodiment is connected to the
これにより、吐出部30から吐出する液体の粘度に応じて、液体貯留部10内を正圧に加圧するタイミングと、液室33内の前記液体に高周波振動を加えるタイミングとを調整することができる。
Thereby, the timing of pressurizing the inside of the
例えば前記液体の粘度が比較的低い場合(一例として、例えば50,000mPa・S未満)、液体塗布装置1では、液体貯留部10内を正圧に加圧した後、液室33内の前記液体に高周波振動を加える。すなわち、制御部60は、前記加圧信号を圧力調整部20に対して出力した後、前記高周波信号を駆動部40の圧電素子41に対して出力する。これにより、液体貯留部10から流入路34を介して液室33内に前記液体を安定して供給することができる。
For example, when the viscosity of the liquid is relatively low (for example, less than 50,000 mPa · S), in the liquid coating device 1, after pressurizing the inside of the
一方、例えば前記液体の粘度が比較的高い場合(一例として、例えば50,000mPa・S以上)、液体塗布装置1では、液室33内の前記液体に高周波振動を加えた後、液体貯留部10内を正圧に加圧する。すなわち、制御部60は、前記高周波信号を駆動部40の圧電素子41に対して出力した後、前記加圧信号を圧力調整部20に対して出力する。これにより、液室33内の前記液体の流動性を向上して、液室33内に前記液体を安定して供給することができる。
On the other hand, for example, when the viscosity of the liquid is relatively high (for example, 50,000 mPa · S or more, for example), in the liquid coating device 1, after applying high frequency vibration to the liquid in the
しかも、液室33内の前記液体に高周波振動を加えることにより、前記液体の曳糸性を改善することができる。
Moreover, by applying high-frequency vibration to the liquid in the
したがって、本実施形態の構成により、粘度が高い液体であっても、従来のようにヒータ等を設けることなく、簡単且つコンパクトな構成で、液体を吐出することができる。 Therefore, according to the configuration of the present embodiment, even if the liquid has a high viscosity, the liquid can be discharged in a simple and compact configuration without providing a heater or the like as in the conventional case.
また、本実施形態では、駆動部40は、前記吐出信号に応じて少なくとも一方向に伸縮することにより、ダイヤフラム35を、前記高周波信号に応じた変形の振幅よりも大きい振幅で変形させる。制御部60は、駆動部40に対し、前記吐出信号を出力した後に前記高周波信号を出力する。
Further, in the present embodiment, the
これにより、粒子を含む液体において、吐出部30の吐出口32a内の粒子密度が高まった場合に、上述のように制御部60が前記吐出信号を出力した後に前記高周波信号を出力することにより、吐出口32a内の粒子密度の均一化を図れる。これにより、吐出部30から液体を安定して吐出することができる。
As a result, when the particle density in the
また、本実施形態では、駆動部40は、前記吐出信号または前記高周波信号に応じて一方向に伸縮することにより、ダイヤフラム35を厚み方向に変形させる圧電素子41を有する。これにより、前記吐出信号または前記高周波信号に応じて圧電素子41が前記一方向に伸縮することにより、ダイヤフラム35を厚み方向に容易に変形させることができる。
Further, in the present embodiment, the
また、本実施形態では、駆動部40は、前記吐出信号に応じて前記一方向に伸縮することによりダイヤフラム35を厚み方向に変形させるとともに、前記高周波信号に応じて前記一方向に伸縮することによりダイヤフラム35を前記吐出信号に応じて生じる変形の振幅よりも小さい振幅で厚み方向に変形させる圧電素子41を有する。
Further, in the present embodiment, the
これにより、前記吐出信号に応じたダイヤフラム35の変形と、前記高周波信号に応じたダイヤフラム35の変形とを、圧電素子41によって実現できる。よって、駆動部40を簡単且つコンパクトな構成で実現できる。
Thereby, the deformation of the
(その他の実施形態)
以上、本発明の実施の形態を説明したが、上述した実施の形態は本発明を実施するための例示に過ぎない。よって、上述した実施の形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で上述した実施の形態を適宜変形して実施することが可能である。
(Other embodiments)
Although the embodiment of the present invention has been described above, the above-described embodiment is merely an example for carrying out the present invention. Therefore, the embodiment is not limited to the above-described embodiment, and the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented within a range that does not deviate from the gist thereof.
前記実施形態では、駆動部40は、吐出信号及び高周波信号に応じてダイヤフラム35を厚み方向に変形させる圧電素子41を有する。しかしながら、駆動部は、前記吐出信号に応じてダイヤフラムを厚み方向に変形させる圧電素子と、前記高周波信号に応じてダイヤフラムを厚み方向に変形させる圧電素子とを有してもよい。また、駆動部は、前記吐出信号または前記高周波のいずれかに応じて、ダイヤフラムを厚み方向に変形させる圧電素子を有してもよい。駆動部は、吐出信号及び高周波信号に応じてダイヤフラムを厚み方向に変形可能な構成であれば、圧電素子以外の構成を有してもよい。
In the embodiment, the
前記実施形態では、制御部60は、加圧信号を圧力調整部20に対して出力した後、高周波信号を圧電素子41に対して出力する。また、制御部60は、高周波信号を圧電素子41に対して出力した後、加圧信号を圧力調整部20に対して出力する。
In the above embodiment, the
しかしながら、制御部は、前記加圧信号と前記高周波信号とを同時に出力してもよい。制御部は、圧電素子に対する高周波信号の出力と圧力調整部に対する加圧信号の出力とを、どのようなタイミングで行ってもよい。 However, the control unit may output the pressurization signal and the high frequency signal at the same time. The control unit may output the high frequency signal to the piezoelectric element and the pressurization signal to the pressure adjustment unit at any timing.
前記実施形態では、圧力調整部20は、液体貯留部10に対し、正圧生成部21に繋がる回路と第2切換弁24に繋がる回路とを切り換えて接続する第1切換弁23と、第1切換弁23に対し、負圧生成部22に繋がる回路と大気開放部25に繋がる回路とを切り換えて接続する第2切換弁24とを有する。
In the above embodiment, the
しかしながら、圧力調整部は、液体貯留部に対し、正圧生成部、負圧生成部及び大気開放部をそれぞれ接続する切換弁を有してもよい。前記圧力調整部は、液体貯留部に対し、正圧生成部、負圧生成部及び大気開放部をそれぞれ接続可能な構成であれば、どのような構成を有してもよい。 However, the pressure adjusting unit may have a switching valve for connecting the positive pressure generating unit, the negative pressure generating unit, and the atmospheric opening unit to the liquid storage unit. The pressure adjusting unit may have any configuration as long as it can connect the positive pressure generating unit, the negative pressure generating unit, and the atmospheric opening unit to the liquid storage unit.
前記実施形態では、圧力調整部20によって、液体貯留部10と大気開放部とが接続可能である。しかしながら、圧力調整部は、液体貯留部に対して大気開放部が接続できない構成を有してもよい。
In the above embodiment, the
前記実施形態では、圧力調整部20によって、液体貯留部10と正圧生成部21とが接続可能である。しかしながら、液体塗布装置は、正圧生成部を有していなくてもよい。すなわち、液体塗布装置は、負圧と大気圧とによって、液体貯留部内の圧力を制御してもよい。
In the above embodiment, the
前記実施形態では、コイルばね45によって、圧電素子41を一方向に圧縮する。しかしながら、圧電素子を前記一方向に圧縮可能であれば、コイルばね以外の構成によって、前記圧電素子を圧縮してもよい。すなわち、前記実施形態では、圧縮力付与部の一例として、螺旋状のばね部材であるコイルばね45を挙げたが、これに限らず、前記螺旋状のばね部材は、所定長さを有し且つ波形状を有する線材または平板が螺旋状に巻かれた、いわゆるコイルドウェーブスプリングなどでもよい。また、圧縮力付与部は、圧電素子を一方向に圧縮可能な構成であれば、螺旋状以外の構成を有してもよい。なお、圧縮力付与部は、どのような構成を有している場合でも、プランジャと干渉しないように配置されるのが好ましい。
In the embodiment, the
本発明は、液体を吐出部から吐出する液体塗布装置に利用可能である。 The present invention can be used for a liquid coating device that discharges a liquid from a discharge unit.
1 液体塗布装置
10 液体貯留部
20 圧力調整部
21 正圧生成部
21a 正圧用ポンプ
22 負圧生成部
22a 負圧用ポンプ
22b 負圧調整容器
23 第1切換弁
24 第2切換弁
25 大気開放部
26 圧力センサ
30 吐出部
31 液体供給部
32 ベース部材
32a 吐出口
33 液室
34 流入路
35 ダイヤフラム
40 駆動部
41 圧電素子
44 プランジャ
45 コイルばね
46 ケーシング
60 制御部
1
Claims (7)
前記液体が供給される液室と、
前記液室に繋がり且つ前記液体貯留部から前記液室内に液体を供給する流入路と、
前記液室を区画する壁部の一部を構成し且つ厚み方向の変形によって前記液室の容積を変化させるダイヤフラムと、
吐出信号に応じて前記ダイヤフラムを厚み方向に変形させるとともに、高周波信号に応じて前記ダイヤフラムを前記吐出信号に応じて生じる変形の振幅よりも小さい振幅で厚み方向に変形させる駆動部と、
を有し、前記液室内の前記液体を外部に吐出する吐出部と、
加圧信号に応じて、前記液体貯留部内に大気圧よりも大きい正圧を加圧する圧力調整部と、
前記駆動部に対する前記高周波信号の出力と前記加圧部に対する前記加圧信号の出力とを、所定のタイミングで行う制御部と、
を有する、液体塗布装置。 A liquid storage unit that stores liquid and
The liquid chamber to which the liquid is supplied and
An inflow path that connects to the liquid chamber and supplies liquid from the liquid reservoir to the liquid chamber,
A diaphragm that constitutes a part of the wall portion that partitions the liquid chamber and changes the volume of the liquid chamber by deformation in the thickness direction.
A drive unit that deforms the diaphragm in the thickness direction according to the discharge signal and deforms the diaphragm in the thickness direction in response to a high frequency signal with an amplitude smaller than the amplitude of the deformation caused by the discharge signal.
And a discharge unit that discharges the liquid in the liquid chamber to the outside,
A pressure adjusting unit that pressurizes a positive pressure larger than the atmospheric pressure into the liquid storage unit according to the pressurizing signal.
A control unit that outputs the high-frequency signal to the drive unit and the pressurization signal output to the pressurizing unit at predetermined timings.
Has a liquid coating device.
前記制御部は、前記加圧信号を前記圧力調整部に対して出力した後、前記高周波信号を前記駆動部に対して出力する、液体塗布装置。 In the liquid coating apparatus according to claim 1,
The control unit is a liquid coating device that outputs the pressurization signal to the pressure adjustment unit and then outputs the high frequency signal to the drive unit.
前記制御部は、前記高周波信号を前記駆動部に対して出力した後、前記加圧信号を前記圧力調整部に対して出力する、液体塗布装置。 In the liquid coating apparatus according to claim 1,
The control unit is a liquid coating device that outputs the high frequency signal to the drive unit and then outputs the pressurization signal to the pressure adjustment unit.
前記駆動部は、前記吐出信号に応じて、前記ダイヤフラムを、前記高周波信号に応じた振動の振幅よりも大きい振幅で変形させ、
前記制御部は、前記駆動部に対し、前記吐出信号を出力した後に前記高周波信号を出力する、液体塗布装置。 In the liquid coating apparatus according to any one of claims 1 to 3.
The drive unit deforms the diaphragm according to the discharge signal with an amplitude larger than the amplitude of the vibration corresponding to the high frequency signal.
The control unit is a liquid coating device that outputs the high frequency signal to the drive unit after outputting the discharge signal.
前記駆動部は、前記吐出信号または前記高周波信号に応じて一方向に伸縮することにより、前記ダイヤフラムを厚み方向に変形させる圧電素子を有する、液体塗布装置。 In the liquid coating apparatus according to any one of claims 1 to 4.
The drive unit is a liquid coating device having a piezoelectric element that deforms the diaphragm in the thickness direction by expanding and contracting in one direction in response to the discharge signal or the high frequency signal.
前記駆動部は、前記吐出信号に応じて前記一方向に伸縮することにより前記ダイヤフラムを厚み方向に変形させるとともに、前記高周波信号に応じて前記一方向に伸縮することにより前記ダイヤフラムを前記吐出信号に応じて生じる変形の振幅よりも小さい振幅で厚み方向に変形させる圧電素子を有する、液体塗布装置。 In the liquid coating apparatus according to any one of claims 1 to 4.
The drive unit expands and contracts in the one direction in response to the discharge signal to deform the diaphragm in the thickness direction, and expands and contracts in the one direction in response to the high frequency signal to make the diaphragm into the discharge signal. A liquid coating device having a piezoelectric element that deforms in the thickness direction with an amplitude smaller than the amplitude of the corresponding deformation.
前記制御部は、前記吐出信号における立ち上がり部分の傾き及び立ち下がり部分の傾きのうち少なくとも一方を変更可能である、液体塗布装置。 In the liquid coating apparatus according to any one of claims 1 to 6.
The control unit is a liquid coating device capable of changing at least one of the inclination of the rising portion and the tilting of the falling portion in the discharge signal.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018180758A JP2022024188A (en) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | Liquid coating device |
PCT/JP2019/033694 WO2020066439A1 (en) | 2018-09-26 | 2019-08-28 | Liquid coating device |
TW108134309A TWI704960B (en) | 2018-09-26 | 2019-09-24 | Liquid coating device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018180758A JP2022024188A (en) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | Liquid coating device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022024188A true JP2022024188A (en) | 2022-02-09 |
Family
ID=69952061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018180758A Pending JP2022024188A (en) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | Liquid coating device |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2022024188A (en) |
TW (1) | TWI704960B (en) |
WO (1) | WO2020066439A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN216064014U (en) * | 2021-10-29 | 2022-03-18 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | Coating extrusion head and coating device |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08131910A (en) * | 1994-11-02 | 1996-05-28 | Nok Megurasutikku Kk | Controlling machine for discharge flow rate |
JP2004148788A (en) * | 2002-11-01 | 2004-05-27 | Seiko Epson Corp | Liquid droplet discharge device and method, film formation device and method, device fabrication method and electronic device |
JP5272427B2 (en) * | 2008-02-06 | 2013-08-28 | セイコーエプソン株式会社 | Droplet ejection method |
JP2011008228A (en) * | 2009-05-28 | 2011-01-13 | Seiko Epson Corp | Method for controlling droplet discharge device, and droplet discharge device |
JP2016059863A (en) * | 2014-09-17 | 2016-04-25 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | Coating applicator and method for removing bubble in coating head |
CN104399620A (en) * | 2014-09-30 | 2015-03-11 | 陕西启源科技发展有限责任公司 | Pneumatic diaphragm type solder ball droplet spraying device |
EP3403727A4 (en) * | 2016-01-16 | 2019-09-11 | Musashi Engineering, Inc. | Liquid material ejection device |
JP2018015978A (en) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | セイコーエプソン株式会社 | Liquid droplet discharge device and control method for the same |
JP2018051478A (en) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | Fluid discharge device and method of discharging fluid |
JP2018103139A (en) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | セイコーエプソン株式会社 | Fluid discharge device |
JP2018103137A (en) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | セイコーエプソン株式会社 | Liquid discharge device, method, and computer program |
CN207446558U (en) * | 2017-11-16 | 2018-06-05 | 苏州中触科工精密科技有限公司 | A kind of driving type piezoelectric actuator hot melt adhesive injection valve |
CN207446625U (en) * | 2017-11-16 | 2018-06-05 | 苏州中触科工精密科技有限公司 | A kind of micro high frequency jet valve for low viscosity fluid |
-
2018
- 2018-09-26 JP JP2018180758A patent/JP2022024188A/en active Pending
-
2019
- 2019-08-28 WO PCT/JP2019/033694 patent/WO2020066439A1/en active Application Filing
- 2019-09-24 TW TW108134309A patent/TWI704960B/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2020066439A1 (en) | 2020-04-02 |
TW202012051A (en) | 2020-04-01 |
TWI704960B (en) | 2020-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI704962B (en) | Liquid coating device | |
EP1489306B1 (en) | Pump | |
JP3673893B2 (en) | Droplet discharge device | |
JP6156507B2 (en) | Gas control device | |
CN112752617B (en) | Liquid coating device | |
TWI704960B (en) | Liquid coating device | |
JP4419790B2 (en) | Piezoelectric diaphragm pump | |
JP2010242764A (en) | Pump | |
US6932458B2 (en) | Obtaining high frequency performance by controlling chamber pressure | |
CN109774309B (en) | Liquid ejecting method, liquid ejecting apparatus, and ink jet device | |
CN111094001A (en) | Liquid coating device | |
JP2004136685A (en) | Printer head using microspray | |
JP2020108950A5 (en) | ||
CN111032360A (en) | Liquid coating device | |
JP2004353584A (en) | Liquid injection device | |
JPS59101370A (en) | Ink-suppy pump | |
JP2010253342A (en) | Apparatus and method for discharging liquid agent | |
JP2002283561A (en) | Actuator and ink jet head |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20190723 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20190724 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190823 |