JP2022018624A - Pressure sensor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、被測定流体の圧力を受ける受圧ダイアフラムを備えた圧力センサに関する。 The present invention relates to a pressure sensor provided with a pressure receiving diaphragm that receives the pressure of the fluid to be measured.
従来の圧力センサとしては、被測定流体の圧力を受圧ダイアフラムで受け、この圧力を受圧ダイアフラムから圧力伝達用の液体を介してセンサ素子に伝達する構成のものがある。この種の圧力センサは、被測定流体の圧力が伝達される導圧ポートにボルト締結などによって取付けられる。この圧力センサにおいては、ボルトを締め付ける際に締付力が受圧ダイアフラムに伝達され、0点がシフトして特性が悪化する場合がある。 As a conventional pressure sensor, there is a configuration in which the pressure of the fluid to be measured is received by a pressure receiving diaphragm and this pressure is transmitted from the pressure receiving diaphragm to a sensor element via a liquid for pressure transmission. This type of pressure sensor is attached to a pressure guiding port through which the pressure of the fluid under test is transmitted, such as by bolting. In this pressure sensor, when the bolt is tightened, the tightening force is transmitted to the pressure receiving diaphragm, and the 0 point may shift and the characteristics may deteriorate.
このような締付力の影響を少なく抑えた従来の圧力センサとしては、例えば特許文献1や特許文献2に記載されている。特許文献1に記載された圧力センサにおいては、導圧ポートに接続されるシール面から離れた位置に受圧ダイアフラムを配設することで、締め付けの影響を低減している。特許文献2に記載された圧力センサにおいては、受圧ダイアフラムと同一面内において、受圧ダイアフラムとシール部との間に応力吸収部を設けることで、締め付けの影響を低減している。
As a conventional pressure sensor that suppresses the influence of such a tightening force to a small extent, for example,
特許文献1に示す圧力センサにおいて、受圧ダイアフラムが締付力の影響を受けないようにするためには、受圧ダイアフラムをシール面から十分に離す必要があり、他の機構部の配設位置や寸法の制約によっては、小型化が困難になる。また、受圧ダイアフラムが設けられている部材を大きく形成しなければならない。特許文献2に示す圧力センサにおいて、受圧ダイアフラムが締付力の影響を受けないようにするためには、受圧ダイアフラム、もしくは、受圧ダイアフラムの面内方向外側に十分に大きな応力吸収部を形成しなければならない。このため、特許文献1に示す圧力センサと特許文献2に示す圧力センサの両方とも締付力の影響を受けないようにすると小型化が困難になる。
近年の半導体市場向け差圧式マスフローコントローラにおいては、高精度化および小型化のニーズが高まっており、そのコンポーネントの一つである圧力センサに対しても更なる高精度化および小型化が要請されている。
In the pressure sensor shown in
In recent years, there is an increasing need for high precision and miniaturization of differential pressure type mass flow controllers for the semiconductor market, and further high precision and miniaturization are required for the pressure sensor, which is one of its components. There is.
本発明の目的は、取付けによる影響を受け難く小型化可能な圧力センサを提供することである。 An object of the present invention is to provide a pressure sensor that is not easily affected by mounting and can be miniaturized.
この目的を達成するために本発明に係る圧力センサは、被測定流体の圧力が伝達される導圧口を有するセンサ用取付座にシール部材を介して重ねて取付けられたベース部と、前記ベース部に筒状の接続部を介して支持され、前記被測定流体の圧力を受ける受圧ダイアフラムが壁の一部となるように形成されて前記被測定流体とは仕切られた圧力室を含む圧力室部と、前記圧力室部が一端に接続されるとともに他端に圧力検出用のセンサ素子が接続され、前記受圧ダイアフラムから前記センサ素子に圧力伝達用の液体によって圧力を伝達する導圧部とを備え、前記接続部は、内部が前記被測定流体または前記圧力伝達用の液体で満たされて圧力を伝達する導圧路として機能し、前記接続部の外径は、前記受圧ダイアフラムの外径より小さいものである。 In order to achieve this object, the pressure sensor according to the present invention has a base portion mounted on a mounting seat for a sensor having a pressure guiding port through which the pressure of the fluid to be measured is transmitted, via a seal member, and the base. A pressure chamber including a pressure chamber that is supported by the portion via a tubular connection portion and is formed so that a pressure receiving diaphragm that receives the pressure of the measured fluid becomes a part of the wall and is separated from the measured fluid. A pressure guiding section is connected to one end of the pressure chamber and a pressure sensing sensor element is connected to the other end of the pressure chamber, and pressure is transmitted from the pressure receiving diaphragm to the sensor element by a pressure transmitting liquid. The connection portion is filled with the fluid under test or the liquid for pressure transmission and functions as a pressure guiding path for transmitting pressure, and the outer diameter of the connection portion is larger than the outer diameter of the pressure receiving diaphragm. It's a small one.
本発明は、前記圧力センサにおいて、前記圧力室部は、前記受圧ダイアフラムが前記導圧口内の前記被測定流体から圧力を受けるように前記導圧口の中に配置され、前記接続部は、前記ベース部における前記センサ用取付座と対向するシール面から前記センサ用取付座に向けて突出するように形成され、前記センサ素子は、前記ベース部に支持され、前記導圧部は、前記圧力室部および前記接続部の内部と、前記接続部から前記センサ素子まで延びるように前記ベース部内に形成された通路孔とを満たす前記圧力伝達用の液体によって圧力が伝達されるように構成されていてもよい。 In the present invention, in the pressure sensor, the pressure chamber portion is arranged in the pressure guiding port so that the pressure receiving diaphragm receives pressure from the measured fluid in the pressure guiding port, and the connecting portion is arranged in the pressure guiding port. The base portion is formed so as to project from the sealing surface facing the sensor mounting seat toward the sensor mounting seat, the sensor element is supported by the base portion, and the pressure guiding portion is the pressure chamber. The pressure is transmitted by the pressure transmitting liquid that fills the inside of the portion and the connection portion and the passage hole formed in the base portion so as to extend from the connection portion to the sensor element. May be good.
本発明は、前記圧力センサにおいて、前記接続部は、前記ベース部に一体に形成されていてもよい。 In the present invention, in the pressure sensor, the connection portion may be integrally formed with the base portion.
本発明は、前記圧力センサにおいて、前記接続部は、前記ベース部とは別体に形成され、前記ベース部に固着されていてもよい。 In the present invention, in the pressure sensor, the connection portion may be formed separately from the base portion and may be fixed to the base portion.
本発明は、前記圧力センサにおいて、前記圧力室部は、前記ベース部に対して前記センサ用取付座とは反対側に配置され、前記接続部は、前記ベース部から前記センサ用取付座とは反対方向に突出するように形成され、前記センサ素子は、前記圧力室部に支持され、前記導圧部は、前記圧力室部の壁を貫通する貫通孔によって圧力が伝達されるように構成され、前記ベース部は、前記センサ用取付座と対向するシール面から前記接続部に延びる導圧孔を有し、前記被測定流体の圧力が前記導圧孔と前記接続部の内部とを介して前記受圧ダイアフラムに伝達されていてもよい。 In the present invention, in the pressure sensor, the pressure chamber portion is arranged on the side opposite to the sensor mounting seat with respect to the base portion, and the connecting portion is from the base portion to the sensor mounting seat. The sensor element is formed so as to project in the opposite direction, the sensor element is supported by the pressure chamber portion, and the pressure guiding portion is configured such that pressure is transmitted by a through hole penetrating the wall of the pressure chamber portion. The base portion has a pressure guiding hole extending from a sealing surface facing the sensor mounting seat to the connecting portion, and the pressure of the fluid to be measured passes through the pressure guiding hole and the inside of the connecting portion. It may be transmitted to the pressure receiving diaphragm.
本発明は、前記圧力センサにおいて、前記受圧ダイアフラムが前記シール面に対して垂直となるように構成されていてもよい。 In the present invention, in the pressure sensor, the pressure receiving diaphragm may be configured to be perpendicular to the sealing surface.
本発明は、前記圧力センサにおいて、前記接続部の突出側端部が前記シール面に対して垂直となる方向に延びるように形成されて前記圧力室部に接続されていてもよい。 In the present invention, in the pressure sensor, the protruding side end portion of the connecting portion may be formed so as to extend in a direction perpendicular to the sealing surface and connected to the pressure chamber portion.
本発明においては、ベース部の変形が接続部で遮られるようになって受圧ダイアフラムに伝わり難くなるから、受圧ダイアフラムとシール面との距離を大きくとる必要がなく、また、ベース部を大型に形成することなく受圧ダイアフラムへの締付力の影響を防ぐことができる。この受圧ダイアフラムもしくは受圧ダイアフラムの面内方向外側には、変形吸収構造を設ける必要はない。したがって、本発明によれば、ベース部をセンサ用取付座に取付ける際の影響を受け難く、小型化可能な圧力センサを提供することができる。 In the present invention, since the deformation of the base portion is blocked by the connecting portion and is difficult to be transmitted to the pressure receiving diaphragm, it is not necessary to increase the distance between the pressure receiving diaphragm and the sealing surface, and the base portion is formed to be large. It is possible to prevent the influence of the tightening force on the pressure receiving diaphragm without doing so. It is not necessary to provide a deformation absorbing structure on the pressure receiving diaphragm or the outside of the pressure receiving diaphragm in the in-plane direction. Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a pressure sensor that is not easily affected by mounting the base portion on the sensor mounting seat and can be miniaturized.
(第1の実施の形態)
以下、本発明に係る圧力センサの一実施の形態を図1を参照して詳細に説明する。図1に示す圧力センサは、請求項1~3に記載した発明を適用したものである。
図1に示す圧力センサ1は、図1において最も下に描いてある圧力ポート2に取付けて圧力ポート2内の被測定流体3の圧力を検出するためのものである。圧力ポート2は、金属材料によって所定の形状に形成されており、被測定流体3が流れる流路(図示せず)から分岐した導圧用通路4と、圧力センサ1を取付けるための平坦なセンサ用取付座5とを有している。導圧用通路4の内部は、被測定流体3で満たされている。被測定流体3は、図1においては液体として描いてあるが、気体でもよい。センサ用取付座5は、導圧用通路4の開口からなる導圧口6を有している。
(First Embodiment)
Hereinafter, an embodiment of the pressure sensor according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. The pressure sensor shown in FIG. 1 is to which the invention described in
The
この実施の形態による圧力センサ1は、センサ用取付座5にシール部材11を介して重ねられたベース部材12を備えている。ベース部材12は、金属材料によって所定の形状に形成されており、センサ用取付座5と対向するシール面12aと、シール面12aとは反対側のセンサ取付面12bとを有している。シール部材11は、Oリングからなり、シール面12aとセンサ用取付座5との間に挟まれている。センサ取付面12bには、圧力検出用のセンサ素子13が接着されている。センサ素子13は、一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを用いた素子、例えば歪式、静電容量式、磁歪式、光学式等が適用できる。この実施の形態によるベース部材12のシール面12aとセンサ取付面12bとの間の部分は、円板状に形成されている。以下においては、この円板状の部分をベース部14という。ベース部14の形状は円板状に限らず、角板状であってもよい。
The
ベース部材12は、シール部材11がシール面12aとセンサ用取付座5との間で圧縮されるように、複数の取付用ボルト15によってセンサ用取付座5に取付けられている。取付用ボルト15は、シール部材11より外側に配置されている。取付方法はボルト締結に限らず、クランプ、ねじ込み等により取付ける構造にしてもよい。
ベース部材12の中央部には、シール面12aからセンサ用取付座5に向けて突出する接続部16と、接続部16の突出端に接続された圧力室部17とが設けられている。
接続部16は、筒状に形成されており、内部に貫通孔16aを有している。この実施の形態による接続部16は、断面円形のパイプ状となるようにベース部14に一体に形成されている。なお、接続部16の形状は、断面円形のパイプ状に限定されることはなく、例えば角筒状に形成することができる。
The
At the center of the
The connecting
圧力室部17は、接続部16を介してベース部14に支持されている。この実施の形態による圧力室部17は、ベース部14とは反対方向に向けて開口する有底円筒状のハウジング18と、ハウジング18の開口部を閉塞する受圧ダイアフラム19とによって構成されている。この圧力室部17の中には、ハウジング18と受圧ダイアフラム19とによって囲まれた圧力室20が形成されている。圧力室20は、受圧ダイアフラム19が壁の一部となるように形成されて被測定流体3とは仕切られている。
The
圧力室20内は、圧力伝達用の液体21で満たされており、ベース部材12の中央部に設けられた後述する導圧部22によってセンサ素子13に接続されている。
受圧ダイアフラム19は、金属製の板材によって円板状に形成されており、被測定流体3の圧力を受けて変形し、圧力室20の容積を変える。このため、被測定流体3の圧力が受圧ダイアフラム19を介して圧力室20内の圧力伝達用の液体21に伝達される。この実施の形態による圧力室部17は、受圧ダイアフラム19が導圧口6内の被測定流体3から圧力を受けるように導圧口6の中に配置されている。
The inside of the
The
この実施の形態による導圧部22は、ハウジング18の貫通孔18aと、接続部16の内部の貫通孔16aと、接続部16からセンサ素子13まで延びるようにベース部14内に形成された通路孔23と、これらの孔に満たされた圧力伝達用の液体21によって構成されている。この導圧部22は、圧力室部17が一端に接続されるとともに他端に圧力検出用のセンサ素子13が接続され、受圧ダイアフラム19からセンサ素子13に圧力伝達用の液体21によって圧力を伝達する。詳述すると、導圧部22は、圧力室部17および接続部16の内部と、接続部16からセンサ素子13まで延びるようにベース部14内に形成された通路孔23とを満たす圧力伝達用の液体21によって圧力が伝達されるように構成されている。封入液を充填するための封入孔は、例えばベース部14、圧力室部17、センサ素子13に設け、鋼球の溶接や半田等により封止することができる。この実施の形態による接続部16は、内部が圧力伝達用の液体21で満たされて圧力を伝達する導圧路24として機能する。この接続部16の外径は、受圧ダイアフラム19の外径より小さい。
The
このように構成された圧力センサ1においては、被測定流体3の圧力が受圧ダイアフラム19から圧力伝達用の液体21を介してセンサ素子13に伝達され、センサ素子13によって圧力が検出される。この圧力センサ1は、ベース部材12に全ての部品を組み付けて圧力伝達用の液体21が内部に封入された状態で圧力ポート2のセンサ用取付座5に取付けられる。この取付けを行うために取付用ボルト15を締め込むと、ベース部14のシール部材11より外側の部分がセンサ用取付座5に向けて押圧され、ベース部14が図1において上方に向けて凸になるように変形するおそれがある。従来の圧力センサのようにベース部に受圧ダイアフラムが設けられている場合は、ベース部の変形に伴って受圧ダイアフラムが変形するから、受圧ダイアフラムを締結部から大きく離れるようにベース部材を大きく形成する必要があった。
In the
しかし、この実施の形態による圧力センサ1においては、受圧ダイアフラム19を有する圧力室部17が細い接続部16を介してベース部14に支持されているから、ベース部14の変形が接続部16で遮られるようになって受圧ダイアフラム19には伝わり難くなる。すなわち、ベース部14が変形するような場合であっても受圧ダイアフラム19は変形することがない。
However, in the
このため、この圧力センサ1においては、従来の圧力センサと較べてベース部14を大型に形成することなく、受圧ダイアフラム19への締付力の影響を防ぐことができる。この受圧ダイアフラム19には、変形吸収構造を設ける必要はない。したがって、この実施の形態によれば、ベース部14をセンサ用取付座5に取付ける際の影響を受け難く、小型化可能な圧力センサ1を提供することができる。
Therefore, in this
この実施の形態による圧力センサ1の圧力室部17は、受圧ダイアフラム19が導圧口6内の被測定流体3から圧力を受けるように導圧口6の中に配置されている。接続部16は、ベース部14におけるセンサ用取付座5と対向するシール面12aからセンサ用取付座5に向けて突出するように形成されている。センサ素子13は、ベース部14に支持されている。導圧部22は、圧力室部17および接続部16の内部と、接続部16からセンサ素子13まで延びるようにベース部14内に形成された通路孔23とを満たす圧力伝達用の液体21によって圧力が伝達されるように構成されている。
このため、この実施の形態によれば、受圧ダイアフラム19を有する圧力室部17を導圧口6の中に収容できるから、センサ用取付座5から突出する部分が小さくコンパクトな圧力センサを実現できる。
The
Therefore, according to this embodiment, since the
この実施の形態による接続部16は、ベース部材12のベース部14に一体に形成されている。このような接続部16は、機械加工によって簡単に形成することができるため、圧力室部17がベース部材12から離れている構造の圧力センサ1を容易に製造することができる。
The connecting
(接続部の変形例)
接続部は図2に示すように構成することができる。図2において、図1によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。図2に示す圧力センサ31は、請求項4に記載した発明を適用したものである。図2に示す接続部16は、ベース部14とは別体に形成されたパイプ32によって構成されており、ベース部14に固着されている。この実施の形態による接続部16は、ベース部14に溶接されている。また、この実施の形態による圧力室部17のハウジング18は、ベース部14および接続部16とは別体に形成され、接続部16に溶接されている。接合方法は、溶接以外に、ろう付、半田、拡散接合、圧入、かしめ、接着等が適用できる。
この実施の形態に示すように接続部16をベース部14とは別体に形成する場合は、接続部16を形成する材料をベース部14の材料と較べて剛性が低い材料とすることができる。このように剛性が低い材料によって接続部16が形成された場合は、ベース部14の変形がより一層受圧ダイアフラム19に伝達され難くなる。また、ベース部14や圧力室部17の形状により接続部16の一体加工が困難な場合には、別体に形成して接合することが好ましい。
(Modification example of connection part)
The connection can be configured as shown in FIG. In FIG. 2, the same or equivalent members as those described with reference to FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted as appropriate. The
When the connecting
(第2の実施の形態)
本発明に係る圧力センサは、図3に示すように構成することができる。図3において、図1によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。図3に示す圧力センサは、請求項5に記載した発明を適用したものである。
(Second embodiment)
The pressure sensor according to the present invention can be configured as shown in FIG. In FIG. 3, the same or equivalent members as those described with reference to FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted as appropriate. The pressure sensor shown in FIG. 3 is an application of the invention described in
図3に示す圧力センサ41は、圧力室部17の位置が第1の実施の形態による圧力センサとは異なっている。この実施の形態による圧力室部17は、ベース部14に対してセンサ用取付座5とは反対側に配置されている。この圧力室部17のハウジング18は、受圧ダイアフラム側を接続部16に接続するために、受圧ダイアフラム19を覆う円環状の蓋42を有している。
接続部16は、ベース部14からセンサ用取付座5とは反対方向に突出するように形成され、蓋42とベース部14とを接続している。図3に示す接続部16は、ベース部14およびハウジング18と一体に形成されているように描いてあるが、図2に示すようにベース部14やハウジング18とは別体に形成することができる。この実施の形態による接続部16は、内部の貫通孔16aが被測定流体3で満たされて圧力を伝達する導圧路43として機能する。
In the
The connecting
この実施の形態によるセンサ素子13は、圧力室部17のハウジング18に支持されている。ハウジング18には、圧力室20内からセンサ素子13に圧力が伝達されるように、センサ素子13と対応する位置に貫通孔44が形成されている。この実施の形態による導圧部22は、ハウジング18の貫通孔44(圧力室部17の壁を貫通する貫通孔)を含む導圧路45によって圧力が伝達されるように構成されている。
ベース部14は、センサ用取付座5と対向するシール面12aから接続部16に延びる導圧孔46を有している。この場合、被測定流体3の圧力が導圧孔46と接続部16の内部の貫通孔16aとを介して受圧ダイアフラム19に伝達される。
The
The
このように圧力室部17がベース部14に対してセンサ用取付座5とは反対側に位置する構成を採る場合であっても、ベース部14をセンサ用取付座5に取付ける際の影響を受け難く、小型化可能な圧力センサ41を提供することができる。
Even when the
(第3の実施の形態)
本発明に係る圧力センサは、図4および図5に示すように構成することができる。図4および図5において、図1によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。図4および図5に示す圧力センサは、請求項6に記載した発明を適用したものである。図5の破断位置は、図4中にV-V線で示す位置である。
(Third embodiment)
The pressure sensor according to the present invention can be configured as shown in FIGS. 4 and 5. In FIGS. 4 and 5, the same or equivalent members as those described with reference to FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted as appropriate. The pressure sensor shown in FIGS. 4 and 5 is the one to which the invention described in
図4および図5に示す圧力センサ51は、圧力室部17の構成が第1の実施の形態で示した圧力センサ1とは異なっている。この実施の形態による圧力室部17は、ベース部14に対してセンサ用取付座5とは反対側に配置されており、受圧ダイアフラム19がベース部14のシール面12aに対して垂直となるように構成されている。
圧力室部17のハウジング18は、中空の円板状に形成され、圧力室20とは受圧ダイアフラム19を挟んで対向する受圧室52を有している。受圧室52は、接続部16の内部を介してベース部14の導圧孔53に接続されている。導圧孔53は、ベース部14のシール面12aから接続部16に延びている。この場合、被測定流体3の圧力が導圧孔53と、接続部16の内部の貫通孔16aと、受圧室52とを介して受圧ダイアフラム19に伝達される。
The
The
この実施の形態によるセンサ素子13は、圧力室部17のハウジング18に導圧用のパイプ54を介して支持されている。導圧用のパイプ54の一端はハウジング18の貫通孔55を介して圧力室20に接続され、他端はセンサ素子13に接続されている。このため、この実施の形態による導圧部22は、ハウジング18の貫通孔55(圧力室部17の壁を貫通する貫通孔)を含む導圧路56によって圧力が伝達されるように構成されている。
The
このように構成された圧力センサ51においては、取付用ボルト15でベース部14がセンサ用取付座5に締結されることにより、ベース部14が図4中に矢印で示す方向に変形するようになる。変形方向は、センサ用取付座5に近づきつつベース部材12の側方に向かうような斜め方向である。
In the
この場合、接続部16が径方向の外側に向けて拡がる方向にベース部14によって引っ張られるようになる。この接続部16を引っ張る力の方向、言い換えれば、ハウジング18を変形させるように接続部16からハウジング18に伝達される力の方向は、受圧ダイアフラム19の面に沿う方向とは異なる。このため、締付けにより生じる力は、受圧ダイアフラム19にこれを変形させるように作用することはない。
したがって、この実施の形態を採ることにより、ベース部14をセンサ用取付座5に取付ける際の影響をより一層受け難くなる。
In this case, the connecting
Therefore, by adopting this embodiment, it becomes more difficult to be affected when the
(接続部の変形例)
図4および図5に示すように圧力室部17を配置する場合、接続部16を図6に示すように構成することができる。図6において、図1、図4および図5によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。図6に示す圧力センサは、請求項6に記載した発明を適用したものである。
(Modification example of connection part)
When the
図6に示す圧力センサ61の接続部16は、ベース部14からセンサ用取付座5とは反対方向に延びる基部62と、基部62の先端からベース部14のシール面12aに対して垂直となる方向に延びる突出側端部63とを有している。突出側端部63の先端は、中空の円板状を呈するハウジング18の中心部に接続されている。
この実施の形態を採ることにより、ベース部14の変形が圧力室部17に殆ど伝達されなくなるから、ベース部14をセンサ用取付座5に取付ける際の影響を殆ど受けることがない圧力センサを提供することができる。
The
By adopting this embodiment, since the deformation of the
1,31,41,51,61…圧力センサ、3…被測定流体、5…センサ用取付座、6…導圧口、11…シール部材、12a…シール面、13…センサ素子、14…ベース部、15…取付用ボルト(締結部材)、16…接続部、17…圧力室部、19…受圧ダイアフラム、20…圧力室、21…圧力伝達用の液体、22…導圧部、23…通路孔、44,55…貫通孔、24,45,56…導圧路、46,53…導圧孔、63…突出側端部。 1,31,41,51,61 ... Pressure sensor, 3 ... Fluid to be measured, 5 ... Sensor mounting seat, 6 ... Pressure guiding port, 11 ... Seal member, 12a ... Seal surface, 13 ... Sensor element, 14 ... Base Section, 15 ... Mounting bolt (fastening member), 16 ... Connection section, 17 ... Pressure chamber section, 19 ... Pressure receiving diaphragm, 20 ... Pressure chamber, 21 ... Pressure transmission liquid, 22 ... Pressure guiding section, 23 ... Passage Holes, 44, 55 ... Through holes, 24, 45, 56 ... Pressure guiding paths, 46, 53 ... Pressure guiding holes, 63 ... Protruding side ends.
Claims (7)
前記ベース部に筒状の接続部を介して支持され、前記被測定流体の圧力を受ける受圧ダイアフラムが壁の一部となるように形成されて前記被測定流体とは仕切られた圧力室を含む圧力室部と、
前記圧力室部が一端に接続されるとともに他端に圧力検出用のセンサ素子が接続され、前記受圧ダイアフラムから前記センサ素子に圧力伝達用の液体によって圧力を伝達する導圧部とを備え、
前記接続部は、内部が前記被測定流体または前記圧力伝達用の液体で満たされて圧力を伝達する導圧路として機能し、
前記接続部の外径は、前記受圧ダイアフラムの外径より小さいことを特徴とする圧力センサ。 A base part mounted on a sensor mounting seat having a pressure guiding port through which the pressure of the fluid to be measured is transmitted via a seal member, and a base portion.
A pressure chamber supported by the base portion via a tubular connection portion and having a pressure receiving diaphragm that receives the pressure of the measured fluid is formed so as to be a part of a wall and is separated from the measured fluid. The pressure chamber and
The pressure chamber portion is connected to one end and a pressure detection sensor element is connected to the other end, and the pressure receiving diaphragm is provided with a pressure guiding portion for transmitting pressure from the pressure receiving diaphragm to the sensor element by a pressure transmitting liquid.
The connection portion is filled with the fluid under test or the liquid for pressure transmission, and functions as a pressure guiding path for transmitting pressure.
A pressure sensor characterized in that the outer diameter of the connection portion is smaller than the outer diameter of the pressure receiving diaphragm.
前記圧力室部は、前記受圧ダイアフラムが前記導圧口内の前記被測定流体から圧力を受けるように前記導圧口の中に配置され、
前記接続部は、前記ベース部における前記センサ用取付座と対向するシール面から前記センサ用取付座に向けて突出するように形成され、
前記センサ素子は、前記ベース部に支持され、
前記導圧部は、前記圧力室部および前記接続部の内部と、前記接続部から前記センサ素子まで延びるように前記ベース部内に形成された通路孔とを満たす前記圧力伝達用の液体によって圧力が伝達されるように構成されていることを特徴とする圧力センサ。 In the pressure sensor according to claim 1,
The pressure chamber portion is arranged in the pressure guiding port so that the pressure receiving diaphragm receives pressure from the fluid to be measured in the pressure guiding port.
The connection portion is formed so as to project from the seal surface of the base portion facing the sensor mounting seat toward the sensor mounting seat.
The sensor element is supported by the base portion and is supported by the base portion.
The pressure guiding portion is pressured by the pressure transmitting liquid that fills the inside of the pressure chamber portion and the connecting portion and the passage hole formed in the base portion so as to extend from the connecting portion to the sensor element. A pressure sensor characterized by being configured to be transmitted.
前記接続部は、前記ベース部に一体に形成されていることを特徴とする圧力センサ。 In the pressure sensor according to claim 2,
The pressure sensor is characterized in that the connection portion is integrally formed with the base portion.
前記接続部は、前記ベース部とは別体に形成され、前記ベース部に固着されていることを特徴とする圧力センサ。 In the pressure sensor according to claim 2,
A pressure sensor characterized in that the connection portion is formed separately from the base portion and is fixed to the base portion.
前記圧力室部は、前記ベース部に対して前記センサ用取付座とは反対側に配置され、
前記接続部は、前記ベース部から前記センサ用取付座とは反対方向に突出するように形成され、
前記センサ素子は、前記圧力室部に支持され、
前記導圧部は、前記圧力室部の壁を貫通する貫通孔を含む導圧路によって圧力が伝達されるように構成され、
前記ベース部は、前記センサ用取付座と対向するシール面から前記接続部に延びる導圧孔を有し、
前記被測定流体の圧力が前記導圧孔と前記接続部の内部とを介して前記受圧ダイアフラムに伝達されることを特徴とする圧力センサ。 In the pressure sensor according to claim 1,
The pressure chamber portion is arranged on the side opposite to the sensor mounting seat with respect to the base portion.
The connection portion is formed so as to project from the base portion in the direction opposite to the sensor mounting seat.
The sensor element is supported by the pressure chamber portion and is supported by the pressure chamber portion.
The pressure guiding portion is configured to transmit pressure by a pressure guiding path including a through hole penetrating the wall of the pressure chamber portion.
The base portion has a pressure guiding hole extending from a sealing surface facing the sensor mounting seat to the connecting portion.
A pressure sensor characterized in that the pressure of the fluid to be measured is transmitted to the pressure receiving diaphragm via the pressure guiding hole and the inside of the connecting portion.
前記受圧ダイアフラムが前記シール面に対して垂直となるように構成されていることを特徴とする圧力センサ。 In the pressure sensor according to claim 5,
A pressure sensor characterized in that the pressure receiving diaphragm is configured to be perpendicular to the sealing surface.
前記接続部の突出側端部が前記シール面に対して垂直となる方向に延びるように形成されて前記圧力室部に接続されていることを特徴とする圧力センサ。 In the pressure sensor according to claim 6,
A pressure sensor characterized in that a protruding side end portion of the connecting portion is formed so as to extend in a direction perpendicular to the sealing surface and is connected to the pressure chamber portion.
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