JP2021524035A - Mems加速度センサの振動減衰 - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態において、センサは、感知軸が基板面に直交する面外センサであってもよい。図2aは、プルーフマス21を備える面外センサを示す。プルーフマスは、フレームとして成形され、センサが基板面に垂直なz方向の加速度を受けると回転軸RA1を中心に回転可能である。プルーフマス21は、ねじりバー281によって第1アンカーポイント261および第1アンカーバー271から懸架されてもよく、ねじりバー281は、センサがどちらかのz方向に加速した時にプルーフマス21がxy平面外に揺れることを可能にする十分な可撓性をらせん状のねじれに対して有する。この場合、感知軸はz軸である。
第2実施形態において、センサは、感知軸が基板面内にある面内センサであってもよい。図4は、感知軸がx軸と平行な面内加速度センサを概略的に示す。プルーフマス41は、1セットの懸架ばね481によってアンカーポイント461から懸架される。懸架ばね481は、プルーフマス41が軸方向の加速度成分に応答してその軸に沿って動くことを可能にする限り、いずれの種類のものであってもよい。プルーフマス41は、図4においてフレーム構造体として示し、板、アンカーおよびばねは、xy平面内のフレーム構造体の内部にある。あるいは、プルーフマスは、中実体にすることができ、櫛、アンカー、ばねなどは、中実体の縁部の外側に配置することができるであろう。アンカーポイントは、例えば、プルーフマスを取り囲む固定フレーム上に配置することができ、ばねは、その固定フレームからプルーフマスを懸架することができるであろう。言いかえれば、図4〜図5には枠状プルーフマスを示すが、同じ減衰構造を中実プルーフマスと共に用いることもできる。
Claims (11)
- 容量性微小電気機械加速度センサであって、
前記センサが感知軸の方向の加速度を受けると当該感知軸の方向に動く少なくとも1つの部分可動プルーフマスと、
前記プルーフマスに取り付けられた、1以上の回転子測定板および1以上の第1回転子減衰板と、
前記センサ内の固定構造体に取り付けられた、1以上の固定子測定板および1以上の第1固定子減衰板とを備え、
前記1以上の回転子測定板および前記1以上の固定子測定板は、それらの間で行われる容量測定において、前記感知軸の方向の前記プルーフマスの動きを測定することができるように構成され、
前記1以上の第1回転子減衰板および前記1以上の第1固定子減衰板は、第1減衰軸に略直交する略平行板の第1セットを形成し、前記1以上の第1回転子減衰板と前記1以上の第1固定子減衰板とのギャップは、前記第1減衰軸の方向に気体減衰するために十分狭く、
前記第1減衰軸は、前記感知軸に略直交する
容量性微小電気機械加速度センサ。 - 前記センサは、前記感知軸が基板面に直交する面外センサである
請求項1に記載の容量性微小電気機械加速度センサ。 - 前記センサは、前記感知軸が基板面内にある面内センサである
請求項1に記載の容量性微小電気機械加速度センサ。 - 前記1以上の回転子測定板および前記1以上の固定子測定板は、第2減衰軸に略直交する略平行板の第2セットを形成し、前記1以上の回転子測定板と前記1以上の固定子測定板とのギャップは、前記第2減衰軸の方向に気体減衰するために十分狭い
請求項2または3に記載の容量性微小電気機械加速度センサ。 - 前記第2減衰軸は、前記第1減衰軸と略平行で、前記感知軸に直交する
請求項4に記載の容量性微小電気機械加速度センサ。 - 前記第2減衰軸は、前記第1減衰軸および前記感知軸の両方に略直交する
請求項4に記載の容量性微小電気機械加速度センサ。 - 前記第2減衰軸は、前記感知軸と略平行である
請求項4に記載の容量性微小電気機械加速度センサ。 - 前記センサは、さらに、前記プルーフマスに取り付けられた1以上の第2回転子減衰板と、前記センサ内の固定構造体に取り付けられた1以上の第2固定子減衰板とを備え、前記1以上の第2回転子減衰板および前記1以上の第2固定子減衰板は、第3減衰軸に略直交する略平行板の第2セットを形成し、前記1以上の第2回転子減衰板と前記1以上の第2固定子減衰板とのギャップは、前記第3減衰軸の方向に気体減衰するために十分狭い
請求項5〜7のいずれか1項に記載の容量性微小電気機械加速度センサ。 - 前記第3減衰軸は、前記感知軸と略平行である
請求項8に記載の容量性微小電気機械加速度センサ。 - 前記第3減衰軸は、前記感知軸に略直交し、前記第1減衰軸に直交する
請求項8に記載の容量性微小電気機械加速度センサ。 - 前記1以上の第1固定子減衰板および前記1以上の第2固定子減衰板の少なくとも一方は、前記1以上の第1回転子減衰板および前記1以上の第2回転子減衰板と同電位である
請求項1〜10のいずれか1項に記載の容量性微小電気機械加速度センサ。
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