JP2021514876A - ノズル配列および供給孔 - Google Patents

Abstract

例は、ダイの長さとダイの幅を有する流体吐出ダイを含む。流体吐出ダイは、ダイの長さと幅に沿って複数のノズルを含んでよい。複数のノズルは、近傍ノズルの少なくとも１対が流体吐出ダイの幅に沿って異なるダイ幅位置に位置するように、配列される。例示的な流体吐出ダイはさらに、それぞれ個々のノズルに流体的に結合された個々の吐出チャンバを含む、複数の吐出チャンバを含む。流体吐出ダイはさらに、流体供給孔のアレイを含む。流体供給孔のアレイは、それぞれ個々の吐出チャンバに流体的に結合された第１の個々の流体供給孔を含み、流体供給孔のアレイは、それぞれ個々の吐出チャンバに流体的に結合された第２の個々の流体供給孔を含む。

Description

流体吐出ダイはそのノズルを介して流体液滴を吐出してよい。こうした流体吐出ダイは、ノズルのノズルオリフィスを通る流体液滴の吐出を生じさせるために作動してよい、流体アクチュエータを含んでよい。幾つかの例示的な流体吐出ダイは印字ヘッドであってよく、その場合流体はインクに対応してよい。

図１は、例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す概略図である。

図２は、例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す概略図である。

図３は、例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す概略図である。

図４Ａ−Ｅは、例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す概略図である。

図５Ａ−Ｃは、例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す概略図である。

図６は、例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す概略図である。

図７は、例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す概略図である。

図８は、例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示すブロック図である。

図９は、例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示すブロック図である。

図１０Ａ−Ｂは、例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示すブロック図である。

図１１は、例示的な流体吐出ダイの幾つかの構成要素を示す概略図である。

図面全体を通して、同一の参照番号は類似した、しかし必ずしも同一ではない要素を指定している。図面は必ずしも縮尺通りではなく、幾つかの部品の大きさは、図示の例をより明確に説明するために誇張されている場合がある。さらにまた、図面は詳細な説明と首尾一貫した例および／または実施形態を提示している；しかしながら詳細な説明は、図面に提示された例および／または実施形態に限定されるものではない。

流体吐出ダイの例は、ダイの長さと幅にわたって分配されてよいノズルを含んでよい。例示的な流体吐出ダイにおいて、各ノズルは吐出チャンバに流体的に結合されてよく、流体アクチュエータは吐出チャンバに配置されてよい。例は、各吐出チャンバおよびノズルに流体的に結合された少なくとも一つの流体供給孔を含んでよい。流体は、ノズルを介して吐出されるために、少なくとも一つの流体供給孔を通って吐出チャンバに搬送されてよい。本願で行われる説明は、例を、ノズル、吐出チャンバ、流体供給孔、流体供給流路、および／または他のこうした流体構造を有するものとして説明する場合がある。こうした流体構造は、基板や他の材料層から材料を取り除いて形成されてよい。

本願で提示される例は、様々な微細加工および／またはマイクロマシニングプロセスを基板や材料層上に行い、構造および／または構成要素を形成および／または接続することによって形成されてよい。基板は、シリコン系ウエハ、または、微細加工デバイス（例：ガラス、ガリウム砒素、プラスチックなど）に使用される他のこうした同様の材料を含んでよい。例は、微小流体流路、流体供給孔、流体アクチュエータ、および／または容積測定チャンバを含んでよい。微小流体流路、孔、および／またはチャンバは、基板にエッチング、微細加工プロセス（例：フォトリソグラフィ）、またはマイクロマシニングプロセスを行うことによって形成されてよい。従って、微小流体流路、供給孔、および／またはチャンバは、微小流体デバイスの基板に作製された表面によって画定されてよい。

さらにまた、材料層は基板層上に形成されてよく、微細加工および／またはマイクロマシニングプロセスをその上に行なって流体構造および／または構成要素を形成してよい。材料層の一例は、例えばフォトレジスト層を含んでよく、その中にノズルなどの開口が形成されてよい。また、様々な構造や、それによって画定される対応する容積は、基板接合または他の同様の工程から形成されてよい。

例示的な流体吐出ダイにおいて、ノズルは流体吐出ダイの長さにわたって、および流体吐出ダイの幅にわたって配列されてよい。本願で説明される例において「近傍ノズルの組」とは、ダイの長さに沿って近接する位置を有する少なくとも２つのノズルを称してよい。また、「近傍ノズルの個々の対」および「近傍ノズル対」も、ダイの長さに沿って近接する位置を有する２つのノズルを称してよい。本願で考えられる例において、流体吐出ダイの近傍ノズルの少なくとも１つの個々の対は、流体吐出ダイの幅に沿って異なる位置に位置してよい。従って、連続するノズル位置（ダイの長さに対してのノズルの位置に対応する）を有する少なくとも幾つかのノズルは、流体吐出ダイの幅に沿って隔置されてよい。

さらにまた、本願で説明される流体吐出ダイは、流体吐出ダイが約２０００から約６０００ノズルをダイ上に含むような、ノズルの配列を含んでよい。幾つかの例において、ダイの全てのノズルは単一の流体源に結合されてよい。例えば、本願で行われる説明による、印字ヘッドの形状での例示的な流体吐出ダイにおいて、印字ヘッドは２０００より多くのノズルを含んでよく、そこではダイの全てのノズルが単色インクなどの単一の印刷流体に対応してよい。他の例において、ダイのノズルの第１の組は、第１流体源に結合されてよく、ダイのノズルの第２の組は第２流体源に結合されてよい。例えば印字ヘッドにおいて、ダイは第１のインク色流体源に結合される少なくとも２０００のノズルを含んでよく、ダイは第２のインク色流体源に結合される少なくとも２０００のノズルを含んでよい。これらの例において、ダイのノズルは、ダイの長さと幅にわたって分配されるように配列されてよい。たとえば、ダイのノズルは、ダイのノズル間の最小距離が約１００マイクロメートル（μｍ）であるように配列されてよい。

上述のとおり、各ノズルについて、流体吐出ダイは流体吐出装置を含んでよく、そこでは流体吐出装置が、圧電薄膜ベースのアクチュエータ、熱抵抗体ベースのアクチュエータ、静電薄膜アクチュエータ、機械式／インパクト駆動薄膜アクチュエータ、磁歪式駆動アクチュエータ、または電気的な作動に反応する流体のずれを生じさせうる、その他のこうした要素を含んでよい。

幾つかの流体吐出ダイにおいて、ノズル配列からの流体液滴の吐出は、液滴吐出エリアの気流パターンに関連する場合がある。幾つかのノズル配列は、液滴吐出エリアにおける吐出液滴の移動に影響する気流パターンにつながる場合がある。流体吐出ダイの流体液滴吐出によって生じる幾つかの気流パターンは、液滴軌道および／または液滴配置精度の低下につながる場合がある。さらにまた、流体吐出ダイの流体液滴吐出によって生じる幾つかの気流パターンは、液滴吐出エリアにおいて、流体吐出ダイにたまりうる粒子を散逸する場合がある。従って、本願で説明される例示的な流体吐出ダイは、気流パターンを制御するために、ダイの長さと幅にわたってノズルを分配させてよい。本願で説明される幾つかの例は、流体吐出ダイのノズル配列に少なくとも部分的に基づいて、流体液滴吐出に関連する気流の発生を低減する場合がある。幾つかの例示的な流体吐出ダイは、本願で説明されるノズル配列に少なくとも部分的に基づいて、近接ノズルからの他の流体液滴の吐出による吐出流体液滴の空中攪乱を低減する場合がある。本願で説明されるノズル配列は、ノズル間の距離、ノズル列間の距離、ノズル間の配向角度、流体吐出ダイの表面積の単位面積あたりのノズル密度、ダイの長さに対応する距離単位あたりのノズル数、またはこれらのいずれかの組み合わせに対応してよい。

図面、特に図１を参照すると、この図は例示的な流体吐出ダイ１０を示す。図示されるように、流体吐出ダイ１０はダイの長さ１４とダイの幅１６に沿って配列された複数のノズル１２ａ−ｘを含んでよい。本願で使用されるところでは、「近傍ノズル」は、ダイ１４の長さに沿って近接する位置を有する個々のノズル１２ａ−ｘを説明するために使用されてよい。例えば、第１ノズル位置を有すると説明されてよい第１のノズル１２ａは、第２ノズル位置を有すると説明されてよい第２ノズル１２ｂの近傍ノズルであってよい。第１ノズル１２ａと第２ノズル１２ｂはさらに、「近傍ノズル対」または「近傍ノズルの対」と説明されてよい。図１の例示的なダイ１０において、ノズル１２ａ−ｘは、ダイの長さ１４に対するノズル１２ａの位置決定に基づいた個々のノズル位置に対応する、と説明されてよい。従って、この例において、ダイ１０は第１ノズル位置における第１ノズル１２ａ、第２ノズル位置における第２ノズル１２ｂを含んでよく、そして１２ｃ−１２ｘについてもそれぞれ同様に第３から第２４のノズル位置が指定される。

また、この例において、「近傍ノズルの組」および「近傍ノズル組」は、ダイ１０の長さ１４に沿って近接する位置を有するノズルのグループを説明するために使用されてよく、つまり、近傍ノズルの組は連続するノズル位置を有する少なくとも２つのノズル１２ａ−ｘを含んでよい。例えば、第１ノズル１２ａ、第２ノズル１２ｂ、および第３ノズル１２ｃは近傍ノズルの組とみなされてよい。同様に、第１ノズル１２ａ、第２ノズル１２ｂ、第３ノズル１２ｃ、および第４ノズル１２ｄは近傍ノズルの組とみなされてよい。

従って、図１の例において、ノズル１２ａ−ｘは、流体吐出ダイの幅に沿って異なるダイ幅位置に位置する近傍ノズルの少なくとも１つの個々の対を含む。 例を挙げて説明すると、第１ノズル１２ａと第２ノズル１２ｂは近傍ノズルの個々の対であり、第１ノズル１２ａと第２ノズル１２ｂはダイの幅１６に沿って異なる位置に位置している。同様に、第２ノズル１２ｂと第３ノズル１２ｃは近傍ノズルの個々の対であり、第２ノズル１２ｂと第３ノズル１２ｃはダイの幅１６に沿って異なる位置に位置している。さらにまた、この例において、第１ノズル１２ａ、第２ノズル１２ｂ、第３ノズル１２ｃ、および第４ノズル１２ｄは近傍ノズルの組であり、近傍ノズル１２ａ−ｄの個々の組の、少なくとも１つのノズルは、異なるダイ幅１６の位置に位置している。とりわけ、この例において、近傍ノズル１２ａ−ｄの個々の組の、各ノズル１２ａ−ｄは、異なるダイ幅１６の位置に位置している。そのため、図１に示されるように、近傍ノズルの対や組について、近傍ノズルの各組の少なくとも１つの個々のノズルが異なるダイ幅１６の位置に位置するように、流体吐出ダイ１０のノズル１２ａ−ｘが配列されている。

さらにまた、図１の流体吐出ダイ１０の例はノズル位置につき少なくとも１つのノズル１２ａ−ｘを含む、ということが留意されよう。従って、流体吐出ダイのノズル１２ａ−ｘは単一の流体源に流体的に結合されていることが理解される。例えば、流体吐出ダイ１０が印字ヘッドに対応する場合、ノズル１２ａ−ｘは全て単色の単一流体印刷材料源に結合されてよい。他の例として、流体吐出ダイ１０が付加製造システムの印字ヘッドに対応する場合、ノズル１２ａ−ｘは、流体結合剤、流体ディテーリング剤、流体表面処理剤などの単一の３Ｄ印刷材料源に流体的に結合されてよい。単一の流体源に結合されたノズルは、共に流体的に結合されると説明されてよい。

図１に示される例において、流体吐出ダイ１０はノズル列２０ａ−ｄに配列されたノズル１２ａ−ｘを含む。図示されるように、例の第１ノズル列２０ａは第１ノズル１２ａ、第５ノズル１２ｅ、第９ノズル１２ｉ、第１３ノズル１２ｍ、第１７ノズル１２ｑ、および第２１ノズル１２ｕを含む。例の第２ノズル列２０ｂは第２ノズル１２ｂ、第６ノズル１２ｆ、第１０ノズル１２ｊ、第１４ノズル１２ｎ、第１８ノズル１２ｒ、および第２２ノズル１２ｖを含む。例の第３ノズル列２０ｃは第３ノズル１２ｃ、第７ノズル１２ｇ、第１１ノズル１２ｋ、第１５ノズル１２ｏ、第１９ノズル１２ｓ、および第２３ノズル１２ｗを含む。例の第４ノズル列２０ｄは第４ノズル１２ｄ、第８ノズル１２ｈ、第１２ノズル１２ｌ、第１６ノズル１２ｐ、第２０ノズル１２ｔ、および第２４ノズル１２ｘを含む。

図示されるように、近傍ノズルは、ダイの幅１６にわたって異なるノズル列２０ａ−ｄに分配されている。さらにまた、各ノズル列２０ａ−ｄの個々のノズルが近傍ノズル１２ａ−ｘに対して傾斜した配向角度を有するように、各ノズル列２０ａ−ｄのノズル１２ａ−ｘは、ダイの長さ１４とダイの幅１６に沿ってずらして配置されている。近傍ノズル間の例示的な配向角度２２が、図１の第６ノズル１２ｆと第７ノズル１２ｇ間に示されている。従って、異なるノズル列２０ａ−ｄに位置する近傍ノズルは、ダイの長さ１４とダイの幅１６に対する斜線２４に沿って配列されてよい。留意されるように、斜線２４は近傍ノズル間の配向角度２２に対応する。さらにまた、幾つかの例において、近傍ノズルの組の大きさはノズル列の数に対応してよいことが留意される。図１の例において、近傍ノズルの組の大きさは４つのノズルであってよく、ノズル列の数もまた４であってよい。従って、４つの近傍ノズルの組について、その組のそれぞれ個々のノズルは、異なるノズル列２０ａ−ｄに配列されてよい。

さらにまた、図１の例は、他の例において実装されてよいノズル１２ａ−ｘの例示的な配列を示すものである。図１に示されるように、個々のノズル列２０ａ−ｄのノズル１２ａ−ｘは、個々のノズル列２０ａ−ｄの少なくとも幾つかのノズル１２ａ−ｘ間の、ノズルからノズルの距離が少なくとも１００マイクロメートル（μｍ）でありうるように、配列されてよい。幾つかの例において、個々のノズル列２０ａ−ｄの少なくとも幾つかのノズルについてのノズルからノズルの距離２４は、約１００μｍから約４００μｍの範囲内であってよい。図１の例において、個々のノズル列２０ａ−ｄの近接ノズル１２ａ−ｘは、個々のノズル列２０ａ−ｄの連続するノズル１２ａ−ｘと称されてよい。例を挙げて説明すると、第１ノズル１２ａと第５ノズル１２ｅは、個々の第１ノズル列２０ａの連続するノズルと称されてよい。同様に、第２ノズル１２ｂと第６ノズル１２ｆは、個々の第２ノズル列２０ｂの連続するノズルと称されてよい。そのため、個々のノズル列２０ａ−ｄのノズル１２ａ−ｘについてのノズルからノズルの距離２４は、個々のノズル列２０ａ−ｄの連続するノズル１２ａ−ｘ間の距離と称されてよい。

同様に、図１の例は、他の例において実装されてよいノズル列の配列も示している。図示されるように、ノズル列間の距離２６（ノズル列からノズル列の距離とも称されてよい）は少なくとも約１００μｍであってよい。幾つかの例において、ノズル列間の距離２６は約１００μｍから約４００μｍの範囲内であってよい。

図１において、Ａ−Ａ線に沿った断面図３０が提示される。この例において示されるように、それぞれ個々のノズルについて（例示的な断面図３０は第１６ノズル１２ｐについて提示される）、流体吐出ダイ１０はさらに、ノズル１２ｐに近接して配列され流体的に結合される流体吐出チャンバ３２を含む。ダイ１０はさらに、流体吐出チャンバ３２に流体的に結合される少なくとも１つの流体供給孔３４を含む。従って、本願で考えられる例において、流体は流体供給孔３４を通って流体吐出チャンバ３２に流れてよく、流体はノズル１２ｐを通って流体吐出チャンバ３２から吐出されてよい。断面図３０によって示されるように、流体吐出ダイ１０は、ノズル１２ｐが形成される面と反対の面を通って形成される流体供給孔３４のアレイを含んでよい。

図１について理解されるように、示されるノズルの数は、明確にするためのものである。 流体吐出ダイの例は、より多いまたはより少ないノズル列内に、より多くのノズルを含んでよい。幾つかの例示的な流体吐出ダイにおいて、ダイは約２０００から約６０００のノズルを含んでよい。また、こうした例示的な流体吐出ダイの幾つかの例示的なノズル列は、１列あたり約４０から約３００のノズルを含んでよい。

さらにまた、幾つかの例において、個々のノズル列のノズル間の間隔（例えば、図１の第１ノズル１２ａと第５ノズル１２ｅ間の距離）は約５０μｍから約５００μｍであってよい。他の例において、個々のノズル列のノズル間の間隔は少なくとも約１００μｍであってよい。同様に、幾つかの例において、ノズル列間の間隔（例えば、図１の第１ノズル列２０ａと第２ノズル列２０ｂの距離）は約５０μｍから約５００μｍであってよい。幾つかの例において、ノズル列間の間隔は少なくとも約１００μｍであってよい。

さらにまた、図１に示されるように、ノズル列の組について、少なくとも１つのノズルがそれぞれ個々のノズル位置（このときノズル位置はダイの長さに沿った位置に対応する）に位置するように、ノズル列は位置ずれをもって配列されていてよい。そのため、こうした例において、近傍ノズル間の配向角度（例えば、図１の配向角度２２）は、異なるノズル列のノズルが固有のノズル位置に配列されるような角度になっていてよいことが理解される。換言すると、ダイの長さと幅にわたったノズルの斜行配列は、異なるノズル列のノズルが近傍ノズルであり、異なるノズル列のノズルが共通のノズル位置に位置していないようなものになっている。幾つかの例において、近傍ノズル間の配向角度は約１０°から約４５°であってよい。幾つかの例において、近傍ノズル間の配向角度は少なくとも約２０°であってよい。他の例において、配向角度は約７５°より小さくてよい。さらにまた、個々のノズル列のノズルは、液滴吐出タイミングの調整のため、ダイ幅に対して位置がずれていてよい。従って、本願で示される例は、整列された斜線とノズルの列を示す場合があるが、他の例において、ダイ幅に沿って位置ずれを有する列ノズルを含んでよい。幾つかの例において、個々の列のノズルは幅に沿って約５μｍから約３０μｍ位置がずれていてよい 。

従って、ノズル間の間隔、ノズル列間の間隔、および近傍ノズル間の配向角度は、ダイ全体にわたってノズル列が相互にずれを有し、また位置ずれをもって配列されるように、画定されてよい。こうした例において、ノズル間の間隔、ノズル列間の間隔、および／または近傍ノズル間の配向角度は、ノズルを介して流体液滴の吐出を促進してよく、このノズルがこうした吐出に伴って発生した気流を制御している。

幾つかの例において、ノズルの列はダイの幅にわたって隔置されてよく、ノズルの列はダイの長さに沿って相互にずれを有し、および／または位置ずれをしていてよい。幾つかの例において、異なるノズル列の少なくとも幾つかのノズルは配向角度に応じて相互にずれを有してよい。ノズル１２ａ−ｘとノズル列２０ａ−ｄの配列は相互にずれを有するノズル列と称されてよい。従って、本願で考えられる例は少なくとも４つの相互にずれを有するノズル列を含んでよい。

図２は例示的な流体吐出ダイ５０を提示する。図示されるように、ダイ５０は、ダイの長さ５４とダイの幅５６に沿って配列される複数のノズル５２ａ−ｘを含む。上述のとおり、ノズル位置はダイの長さ５４に沿った位置に対応し、この例において、ダイ５０は第１ノズル位置にある第１ノズル５２ａから第２４ノズル位置にある第２４ノズル５２ｘを含む。例示的なダイ５０のノズル５２ａ−ｘは、近傍ノズルの組について（例えば、連続するノズル位置を有するノズル）、近傍ノズルのその組のうちの少なくとも部分組がダイの幅５６に沿って異なる位置に位置するように、配列されている。例えば、（第１ノズル位置にある）第１ノズル５２ａと（第２ノズル位置にある）第２ノズル５２ｂは近傍ノズルの組とみなされてよい。図示されるように、第１ノズル５２ａと第２ノズル５２ｂは、ダイの幅５６に対して隔置されている。つまり、第１ノズル５２ａと第２ノズル５２ｂは流体吐出ダイ５０の幅に沿って異なるダイ幅位置に位置している。

図２の例示的なダイ５０において、ノズル５２ａ−ｘは第１ノズル列６０ａと第２ノズル列６０ｂに配列されている。この例において、流体吐出ダイ５０はさらに、ダイ５０の背面に形成されたリブ６４ａ、６４ｂ（破線で示される）のアレイを含む。図示されるように、リブ６４ａ、６４ｂのアレイは、例示的なダイ５０のノズル列６０ａ、６０ｂに整列されている。Ｂ−Ｂ線に沿った断面図７０はリブ６４ａ、６４ｂの配列に関してのさらなる詳細と流体吐出ダイ５０のさらなる特徴を提示する。それぞれ個々のノズル５２ａ−ｘについて（例示的な断面図では、第１６ノズル５２ｐが示されている）、流体吐出ダイ５０はさらに、個々の流体吐出チャンバ７４に流体的に結合された個々の第１流体供給孔７２ａと個々の第２流体供給孔７２ｂを含む。それぞれ個々の流体吐出チャンバ７４はさらに、個々のノズル５２ｐに流体的に結合される。

図示されるように、流体吐出チャンバ７４は、第１流体供給孔７２ａが個々のリブ６４ｂの第１の側に位置し、第２流体供給孔７２ｂが個々のリブ６４ｂの第２の側に位置するように、リブのアレイの個々のリブ６４ｂの上方に配列されている。リブ６４ａ、６４ｂのアレイは、ダイ５０にわたって流体循環流路８０、８２を形成してよい。従って、流体は、個々の第１流体循環流路８０から個々の第１流体供給孔７２ａを介して個々の流体吐出チャンバ７４に入力されてよい。流体は個々の流体吐出チャンバ７４から個々の第２流体供給孔７２ｂを介して個々の第２流体循環流路８２に出力されてよい。この例示的な流体の流れは、微小再循環と称される場合があり、図２に破線で示されている。図示されてはいないが、流体は個々のノズル５２ｐを介して、個々の流体吐出チャンバから流体液滴としても出力されてよいことが理解される。

図２の断面図７０に示されるように、それぞれ個々のノズル５２ｐについて、ダイ５０はさらに、個々の流体吐出チャンバ７４に配置された個々の第１流体アクチュエータ９０を含んでよい。個々の第１流体アクチュエータ９０を作動させることにより、個々の流体吐出チャンバ７４からの流体液滴の吐出を生じさせてよい。幾つかの例において、第１流体アクチュエータ９０は熱抵抗体ベースのアクチュエータであってよく、熱流体アクチュエータと称されてよい。ダイ５０はさらに個々の第２流体アクチュエータ９２を含んでよい。個々の第２流体アクチュエータ９２を作動させることにより、個々の流体吐出チャンバ７４から個々の第２流体循環流路８２への流体の流れを生じさせてよい。従って、ノズル５２ａ−ｘは流体源に共に流体的に結合されてよいが、リブ６４ａ、６４ｂは、吐出チャンバ７４に入力された流体と吐出チャンバ７４から出力された流体を流体的に分離してよい。

例示的な断面図７０には示されていないが、リブのアレイの第１リブ６４ａと第２リブ６４ｂによってその表面を画定されてよい個々の第１流体循環流路８０も、ダイ５０の全ての個々の流体吐出チャンバについて、個々の第１流体供給孔に流体的に結合されてよいことが理解される。従って、個々の第１流体循環流路８０は、ダイ５０のノズル５２ａ−ｘについての流体入力供給部であってよい。流体吐出チャンバ７４を通って循環する流体（例えば、断面図７０に示される例示的な流れ）は、第１リブ６４ａと第２リブ６４ｂを介して、個々の第１流体循環流路８０から流体的に分離され、従って個々の吐出チャンバ７４への流体入力供給部から、流体的に分離されてよい。

図３は、例示的な流体吐出ダイ１００のブロック図を提示する。この例において、ダイ１００は、ダイの長さ１０４とダイの幅１０６に沿って配列された複数のノズル１０２ａ−ｘを含む。特に、ノズル１０２ａ−ｘは、１つのノズル１０２ａ−ｘがダイの長さ１０４の各々の位置に位置し、近傍ノズル（例えば、第１ノズル１０２ａ、第２ノズル１０２ｂ、第３ノズル１０２ｃ；または第４ノズル１０２ｄと第５ノズル１０２ｅ）が異なるダイ幅１０６の位置に位置するように、配列されている。この例において、ノズル１０２ａ−ｘは４つのノズル列１１０ａ−ｄに配列される。

さらにまた、図３の流体吐出ダイ１００は、リブ１１２ａ、１１２ｂのアレイを含む。図３の例示的なダイ１００のような流体ダイの例において、各ノズル１０２ａ−ｘのオリフィスは流体吐出ダイ１００の前面に形成されてよい。リブ１１２ａ、１１２ｂのアレイは、流体吐出ダイ１００の反対の、背面に配置されてよい。上述のように、リブ１１２ａ、１１２ｂのアレイは、流体吐出ダイ１００を通る流体循環流路１１４、１１６ａ、ｂを形成してよい。各ノズル１０２ａ−ｘについて、流体吐出ダイ１００はさらに個々の第１流体供給孔１２０ａ−ｘと個々の第２流体供給孔１２２ａ−ｘを含んでよい。この例において、各第１流体供給孔１２０ａ−ｘは、流体循環流路１１４、１１６ａ、ｂのアレイの第１流体循環流路１１４に流体的に結合されてよい。同様に、各第２流体供給孔１２２ａ−ｘは、第２流体循環流路１１６ａ、ｂに流体的に結合されてよい。従って、この例において、流体吐出ダイは、ノズル１０２ａ−ｘが形成される面とは反対のダイ１００の面を通って形成される、流体供給孔１２０ａ−ｘ、１２２ａ−ｘのアレイを含む。この例において、流体吐出ダイ１００は、それぞれ個々の吐出チャンバについて２つの流体供給孔１２０ａ−ｘ、１２２ａ−ｘと、ノズル１０２ａ−ｘを含む。さらにまた、図示されるように、流体供給孔１２０ａ−ｘ、１２２ａ−ｘのアレイは、リブ１１２ａ−ｂにも係合するダイ１００の面を通って形成されてもよい。とりわけ、ノズル１０２ａ−ｘはダイ１００の上面を通って形成されてよく、流体供給孔１２２ａ−ｘはリブ１１２ａ−ｂに隣接しうるダイ１００の底面を通って形成されてよく、その底面は流体流路１１４、１１６ａ、ｂの内側の面を画定するものであってよい。

この例においては明確にするための目的で示されていないが、流体ダイ１００はそれぞれ個々のノズル１０２ａ−ｘの下方に配置された個々の流体吐出チャンバを含んでよく、流体吐出ダイ１００はさらに、それぞれ個々の流体吐出チャンバに配置された少なくとも１つの個々の流体アクチュエータを含んでよい。この例において示されるように、各ノズル１２０ａ−ｘ（そしてその下部に配置された個々の流体吐出チャンバ）は、個々の第１流体供給孔１２０ａ−ｘと個々の第２流体供給孔１２２ａ−ｘに、個々の微小流体流路１２８によって流体的に結合されてよい。

理解されるように、この例において、それぞれ個々の第１流体供給孔１２０ａ−ｘは流体入力であってよく、そこでは新鮮な流体が第１流体循環流路１１４から供給されてよい。同様に、それぞれ個々の第２流体供給孔は流体出力であってよく、そこでは、流体がノズル１０２ａ−ｘを介して吐出されない場合に、その流体が第２流体循環流路１１６ａ−ｂに搬送されてよい。従って、幾つかの例において、流体は、個々の第１流体循環流路１１４から、個々の第１流体供給孔１２０ａ−ｘと個々の微小流体流路１２８を介して、個々のノズル１０２ａ−ｘに関連する個々の吐出チャンバに入力されてよい。流体液滴は、個々の吐出チャンバに配置された少なくとも１つの流体アクチュエータの作動により、個々の吐出チャンバから個々のノズル１０２ａ−ｘを通って吐出されてよい。流体は、個々の流体吐出チャンバから微小流体流路１２８と個々の第２流体供給孔１２２ａ−ｘを通って第２流体循環流路１１６ａ−ｂに搬送（つまり出力）されてもよい。この例には含まれていないが、図２の例と同様に、流体吐出ダイ１００は、各微小流体流路１２８に配置され、各流体吐出チャンバを通る微小再循環を促進させるために作動してよい、少なくとも１つの流体アクチュエータを含んでよい。幾つかの例において、少なくとも１つの流体アクチュエータは、流体を吐出チャンバに注入するため個々の第１流体供給孔に近接して配置されてよい。幾つかの例において、少なくとも１つの流体アクチュエータは、流体を吐出チャンバから吸い出すため個々の第２流体供給孔に近接して配置されてよい。

吐出チャンバを通って流体を流体入力から流体出力へ搬送することを、微小再循環と称する場合がある。本願で説明される例に似た、幾つかの例示的な流体吐出ダイと流体吐出デバイスにおいて、その中で使用される流体は、液体キャリア中に浮遊する固体を含む場合がある。こうした流体の微小再循環は、流体吐出チャンバ内のこうした固体の沈殿を抑制しうる。例として、本願で説明される印字ヘッドはインク、液体トナー、３Ｄプリンタ剤、または他のこのような材料などの流体印刷材料を使用する場合がある。こうした例示的な印字ヘッドにおいて、印字ヘッドの流体アーキテクチャ全体にわたって流体印刷材料の移動を促進し、印刷材料の液体キャリア内の固体の浮遊を維持するため、流体循環流路、リブのアレイ、微小再循環流路の態様が実装されてよい。

図４Ａ−Ｅについて見ると、これらの図は、様々な例示的なノズル配列を有する例示的な流体吐出ダイの一部分を提示しており、このノズル配列では、近傍ノズルの各組について、近傍ノズルの各組のうちの個々の部分組がダイの幅に沿って異なるダイ幅位置に位置するように、ノズルがダイの長さと列にわたって配列される。さらにまた、これらの例において、個々の流体入力について、単一のノズルが各ノズル位置に位置してよいことが留意される。

図４Ａにおいて、例示的な流体吐出ダイ２００が示される。図示されるように、ノズル２０２ａ−ｘはダイの長さと幅に沿って配列される。この例において、ノズル２０２ａ−ｘは８つのノズル列２０４ａ−ｈに配列される。この例において、第１ノズル列２０４ａは第１ノズル２０２ａ、第９ノズル２０２ｉ、および第１７ノズル２０２ｑを含んでよい。第２ノズル列２０４ｂは第６ノズル２０２ｆ、第１４ノズル２０２ｎ、および第２２ノズル２０２ｖを含んでよい。第３ノズル列２０４ｃは第３ノズル２０２ｃ、第１１ノズル２０２ｋ、および第１９ノズル２０２ｓを含んでよい。第４ノズル列２０４ｄは第８ノズル２０２ｈ、第１６ノズル２０２ｐ、および第２４ノズル２０２ｘを含んでよい。第５ノズル列２０４ｅは第５ノズル２０２ｅ、第１３ノズル２０２ｍ、および第２１ノズル２０２ｕを含んでよい。第６ノズル列２０４ｆは第２ノズル２０２ｂ、第１０ノズル２０２ｊ、および第１８ノズル２０２ｒを含んでよい。第７ノズル列２０４ｇは第７ノズル２０２ｇ、第１５ノズル２０２ｏ、および第２３ノズル２０２ｗを含んでよい。第８ノズル列２０４ｈは第４ノズル２０２ｄ、第１２ノズル２０２ｌ、および第２０ノズル２０２ｔを含んでよい。

この例において、第１ノズル２０２ａ、第２ノズル２０２ｂなどの指定は、ダイ２００の長さに沿ったノズルの位置を指しており、ノズル位置と称される場合がある。とりわけ、図４Ａに示されるように、少なくとも１つのノズルがダイ２００の幅に沿って各ノズル位置に位置している。従って、ダイ２００の幅に沿った各ノズル位置について流体の流体液滴吐出を行うために、この例の全てのノズル２０２ａ−ｘはその他のノズル２０２ａ−ｘと流体的に結合されてよい。

またこの例において、ノズル列２０４ａ−ｈは、ノズル列間の距離が共通でない場合があるように、配列されてよい。図示されるように、第１ノズル列２０４ａと第２ノズル列２０４ｂは第１距離２０６ａの隔置をされてよい。第２ノズル列２０４ｂと第３ノズル列２０４ｃは、第１距離２０６ａとは異なる第２距離２０６ｂの隔置をされてよい。他のノズル列２０４ｃ−ｈは同様に配列されてよい。例えば、第３ノズル列２０４ｃと第４ノズル列２０４ｄの間隔は第１距離２０６ａであってよく、第４ノズル列と第５ノズル列２０４ｅの間隔は第２距離２０６ｂであってよい。

図４Ｂは、ダイ２５０の長さと幅に沿って配列された複数のノズル２５２ａ−ｘを４つのノズル列２５４ａ−ｄに有する、例示的な流体吐出ダイ２５０を示す。さらにまた、図４Ｂにおいて、ノズル２５２ａ−ｘは、幾つかの近傍ノズル間の配向角度が異なるように、配置されてよいことが留意される。例えば、例の第９ノズル２５２ｉ、第１０ノズル２５２ｊ、第１１ノズル２５２ｋに言及すると、図示されるように、第９ノズル２５２ｉと第１０ノズル２５２ｊはダイ２５０の長さと幅に沿って、第１配向角度２５６で配列されてよい。そして第１０ノズル２５２ｊと第１１ノズル２５２ｋはダイの長さと幅に沿って、第１配向角度２５６とは異なる第２配向角度２５８で配列されてよい。

図４Ｃは、ダイ２７０の長さと幅に沿って配列された複数のノズル２７２ａ−ｘを２つのノズル列２７４ａ、２７４ｂに有する、例示的な流体吐出ダイ２７０を示す。図４Ｃに示されるように、幾つかの例において、個々のノズル列２７４ａ、２７４ｂのノズル２７２ａ−ｘは、異なる距離で隔置されてよい。例を挙げて説明すると、そして図４Ｃに言及すると、ダイ２７０の第１ノズル列２７４ａの第９ノズル２７２ｉと第１０ノズル２７２ｊ間の第１距離２７６ａは、第１ノズル列２７４ａ内の第２ノズル２７２ｂと第５ノズル２７２ｅ間の第２距離２７６ｂと異なってよい。共通のノズル列のノズルは列ノズルと称されてよい。ノズル列内でお互いに近接するノズルは連続する列ノズルと称されてよい。例えば、第１ノズル２７２ａと第２ノズル２７２ｂは連続する列ノズルと称されてよい。同様に、第２ノズル２７２ｂと第５ノズル２７２ｅは連続する列ノズルとみなされてよい。さらにまた、第９ノズル２７２ｉと第１０ノズル２７２ｊは連続する列ノズルと称されてよい。上記の例に戻ると、連続する列ノズル２７２ｉ、２７２ｊ間の第１距離２７６ａは５０μｍより小さくてよく、連続する列ノズル２７２ｂ、２７２ｅ間の第２距離２７６ｂは少なくとも１００μｍであってよい。他の例として、第１距離は２５μｍより小さくてよく、第２距離２７６ｂは約１００μｍから約４００μｍであってよい。さらにまた、図４Ｃには表記されていないが、例示的なダイ２７０のノズル２７２ａ−ｘについて、近傍ノズル間の配向角度が異なってよいことが留意される。例えば、幾つかの近傍ノズル対は、ほぼ直交の配向角度（例えば、第１ノズル２７２ａと第２ノズル２７２ｂ間の配向角度）で配列されてよい。他の近傍ノズル対は、鋭角の配向角度（例えば、第２ノズル２７２ｂと第３ノズル２７２ｃ間の配向角度）で配列されてよい。

図４Ｃにおいて、Ｃ−Ｃ線に沿った断面図２８０が示される。図示されるように、流体吐出ダイ２７０は、少なくとも２つのノズル２７２ｃ、２７２ｄについて少なくとも一つの流体供給孔２８２を含んでよい。各ノズル２７２ｃ、２７２ｄは流体吐出チャンバ２８４ａ、２８４ｂに流体的に結合されてよく、各流体吐出チャンバ２８４ａ、２８４ｂは少なくとも１つの流体供給孔２８２に流体的に結合されてよい。また、他の例と同様に、ダイ２７０は各流体吐出チャンバ２８４ａ、２８４ｂ内に配置された少なくとも１つの流体アクチュエータ２８６を含んでよい。

図４Ｄにおいて、例示的な流体吐出ダイ３００は、ダイ３００の長さと幅に沿って配列された複数のノズル３０２ａ−ｘを、２つのノズル列３０４ａ、３０４ｂに含む。この例において、３つの近傍ノズル３０２ａ−ｘのグループは連続する列ノズルであってよい。３つの近傍ノズルのグループは、３つのノズル３０２ａ−ｘの各グループが次の３つの近傍ノズルに相当するノズル３０２ａ−ｘの個々のグループからダイ幅に沿って隔置されているように、個々のノズル列３０４ａ、３０４ｂに交互に配列されてよい。従って、図４Ｃの例と同様に、個々のノズル列３０４ａ、３０４ｂの少なくとも幾つかのノズル３０２ａ−ｘは、第１距離（その例は寸法線３０６ａで表示されている）の隔置をされていてよく、個々のノズル列３０４ａ、３０４ｂの少なくとも幾つかのノズル３０２ａ−ｘは、第２距離（その例は寸法線３０６ｂで表示されている）の隔置をされていてよく、そこでは第１距離と第２距離は異なっていてよい。

図４Ｅは、例示的な流体吐出ダイ３５０を示しており、ダイ３５０の長さと幅に沿って配列された複数のノズル３５２ａ−ｘを、少なくとも３つのノズル列３５４ａ−ｃに含むものである。従って、幾つかの例は、少なくとも３つの相互にずれを有するノズル列を含んでよい。この例において、リブ３５６のアレイは破線で示されている。というのも、リブがダイ３５０の下側に位置しているからである。図示されるように、リブ３５６は斜線に整列されてよく、その斜線に沿って近傍ノズルの組が配列されてよい。

図５Ａを参照すると、この図は、ダイの長さとダイの幅に沿って配列された複数のノズル４０２ａ−ｘを、少なくとも４つのノズル列４０４ａ−ｄに含む例示的な流体吐出ダイ４００を提示する。この例において、近傍ノズル４０２ａ−ｘの組が４つのノズル（例えば、近傍ノズルの第１の組は第１ノズル４０２ａから第４ノズル４０２ｄであってよい）を含んでよい。さらにまた、近傍ノズルグループ内のノズルはダイの長さと幅に対しての斜線４０６に沿って配列されてよい。例示的な配向角度４０８が第１ノズル４０２ａと第２ノズル４０２ｂ間に提示されるが、そこではその配向角度４０８は斜線４０６に対応してよく、その斜線に沿って近傍ノズルが配列されてよい。幾つかの例において、それに沿って近傍ノズル４０２ａ−ｘが配列されてよい斜線４０６は、ダイの長さに対して斜行していてよく、斜線４０６はダイの幅に対して斜行していてよい。例示的なダイ４００と同様の例において、近傍ノズルの各組（例えば、第１ノズル４０２ａから第４ノズル４０２ｄ；第５ノズル４０２ｅから第８ノズル４０２ｈ等）は平行な斜線に沿って配列されてよい。

図５Ｂは、図５Ａの視線Ｄ−Ｄに沿った断面図４３０を提示し、図５Ｃは、視線Ｅ−Ｅに沿った、図５Ａの例示的なダイ４００の断面図４３１を提示する。この例において、ダイ４００は流体循環流路４３４ａ−ｂのアレイを画定するリブ４３２のアレイを含む。さらにまた、図５Ｂの断面図４３０は、第４ノズル４０２ｄ、第７ノズル４０２ｇ、および第１１ノズル４０２ｋの破線描写を含み、リブのアレイのリブ４３２およびそれによって画定される流体循環流路４３４ａ−ｂに対するこうしたノズル４０２ｄ、４０２ｇ、４０２ｋの相対的な位置決定を示している。図５Ｃを参照すると、この図は第２１ノズル４０２ｕ、第２２ノズル４０２ｖ、第２３ノズルｗ、第２４ノズルｘの破線表示を含む。

さらにまた、それに沿って断面図４３０が示される視線Ｄ−Ｄは、それに沿って近傍ノズルの組が配列されてよい斜線４０６にほぼ直交していることが理解される。従って、第４ノズル４０２ｄ、第７ノズル４０２ｇ、および第１１ノズル４０２ｋがグループ化されている近傍ノズル組の、他のノズルは、断面図４３０に描写されたノズルに整列されてよい。同様に、第１ノズル列４０４ａ、第２ノズル列４０４ｂ、第３ノズル列４０４ｃ、および第４ノズル列４０４ｄの他のノズルは、図５Ｃの断面図４３１に示される例示的なノズル４０２ｕ−ｘに整列されてよいことが理解される。

また、破線で示されるように、それぞれ個々のノズル４０２ｄ、４０２ｇ、４０２ｋ、４０２ｕ−ｘは、個々の流体吐出チャンバ４３８ａ−ｃ、４３８ｕ−ｘに流体的に結合されてよい。図示されていないが、ダイ４００は、各流体吐出チャンバ４３８ａ−ｃ、４３８ｕ−ｘ内に少なくとも１つの流体アクチュエータを含んでよい。さらにまた、それぞれ個々の流体吐出チャンバ４３８ａ−ｃ、４３８ｕ−ｘは、個々の第１流体供給孔４４０ａ−ｃに流体的に結合されてよく、それぞれ個々の流体吐出チャンバ４３８ａ−ｃ、４３８ｕ−ｘは、個々の第２流体供給孔４４２ａ−ｃ、４４２ｕ−ｘに流体的に結合されてよい。図５Ｃの断面図４３１において、第１の個々の流体供給孔が含まれないように断面図線が位置しているため、第１の個々の流体供給孔は示されていない。個々の吐出チャンバ４３８ｕ−ｘについての個々の第２流体供給孔４４２ｕ−ｘは、その断面図線から隔置されてよいため、破線で示されている。

この例において、リブのアレイの各リブ４３２の上面４５０が、基板４５４の底面４５２に隣接し、そして係合していてよく、その基板内には流体吐出チャンバと流体供給孔が少なくとも部分的に形成されてよい。従って、基板の底面４５２は流体循環流路４３４ａ‐ｂの内表面を形成してよい。図５Ｂに示されるように、基板の底面４５２は基板４５４の上面４５６の反対であってよく、その基板４５４の上面４５６は、ノズル４０２ｄ、４０２ｇ、４０２ｋが形成されるノズル層４６０に隣接してよい。この例において、流体吐出チャンバ４３８ａ‐ｃ、４３８ｕ−ｘの一部は、基板４５４内に形成された流体吐出チャンバ４３８ａ−ｃの一部の上方に配置されたノズル層４６０の面によって画定されてよい。他の例において、吐出チャンバ、ノズル、および供給孔は、より多いまたはより少ない層および基板内に形成されてよい。各リブ４３２の底面４６２はインタポーザ４６６の上面４６４に隣接してよい。従って、この例において、流体循環流路４３４ａ−ｂは流体循環リブ４３２、基板４５４、およびインタポーザ４６６によって画定されてよい。従って、図５Ｂ−５Ｃに示されるように、流体吐出ダイ４００は、流体吐出ダイ４００の底面４５２を通って形成された流体供給孔４４０ａ−ｃ、４４２ａ−ｃ、４４２ｕ−ｘのアレイを含む。

図５Ａ−Ｃの例と同様の例において、流体循環流路は、流体吐出チャンバを通る流体の循環を促進するように配列されてよい。例において、個々の第１流体供給孔４４０ａ−ｃは、流体が個々の第１流体供給孔４４０ａ−ｃを介して個々の第１流体循環流路４３４ａから個々の流体吐出チャンバ４３８ａ‐ｃ、４３８ｕ−ｘに搬送されるように、個々の第１流体循環流路４３４ａに流体的に結合されてよい。同様に、それぞれ個々の第２流体供給孔４４２ａ−ｃ、４４２ｕ−ｘは、流体が個々の第２流体供給孔４４２ａ−ｃ、４４２ｕ−ｘを介して個々の流体吐出チャンバ４３８ａ‐ｃ、４３８ｕ−ｘから個々の第２流体循環流路４３４ｂに搬送されるように、個々の第２流体循環流路４３４ｂに流体的に結合されてよい。個々の第１流体循環流路４３４ａと個々の第２流体循環流路４３４ｂは、流体の流れが供給孔４４０ａ−ｃ、４４２ａ−ｃおよび吐出チャンバ４３８ａ−ｃのみ通って生じるように、ダイ４００の幾つかの部分に沿ったリブ４３２によって流体的に分離されてよい。

従って、個々の第１流体循環流路４３４ａは流体入力流路に対応してよく、それを通って新鮮な流体が流体吐出チャンバ４３８ａ−ｃに入力されてよい。吐出チャンバ４３８ａ−ｃへの一部の流体入力は、ノズル４０２ｄ、４０２ｇ、４０２ｋを介して流体液滴として吐出されてよい。しかし、吐出チャンバ４３８ａ−ｃを通る循環を促進するために、一部の流体は吐出チャンバ４３８ａ−ｃから個々の第２流体循環流路４３４ｂに戻されてよく、それは流体出力流路に対応してよい。

図５Ａおよび５Ｂに言及すると、リブのアレイのリブ４３２、そしてそれによって部分的に画定される流体循環流路４３４ａ−ｂは、隣接ノズル４０２ａ−ｘも配列される斜線４０６に対して並行でよいことに留意すべきである。さらにまた、図示されるように、この例において、近傍ノズルの組のノズル４０２ａ−ｘの個々の第１流体供給孔は、共通して個々の流体循環流路４３４ａに結合されてよく、そして近傍ノズルの組のノズル４０２ａ−ｘの個々の第２流体供給孔は、共通して個々の流体循環流路４３４ｂに結合されてよい。この例において、吐出チャンバ４３８ａ−ｃ、第１流体供給孔４４０ａ−ｃ、および第２流体供給孔４４２ａ−ｃの流体配列は、リブのアレイの個々のリブ４３２に跨っていると説明されてよい。

例えば、図５Ｂに示されるように、第７ノズル４０２ｇに結合された個々の第１流体供給孔４４０ｂと第１１ノズル４０２ｋに結合された個々の第１流体供給孔４４０ｃは、個々の第１流体循環流路４３４ａに流体的に結合される。同様に、第４ノズル４０２ｄに結合された個々の第２流体供給孔４４２ａと第７ノズル４０２ｇに結合された個々の第２流体供給孔４４２ｂは、個々の第２流体循環流路４３４ｂに流体的に結合される。近傍ノズル４０２ａ−ｘが、個々のリブ４３２に沿って、図５Ｂに示されるノズル４０２ｄ、４０２ｇ、および４０２ｋに整列されているため、４０２ｄ、４０２ｇ、および４０２ｋで示されるそれぞれ個々のノズルの近傍ノズルに関連する流体供給孔は、同様に配列されてよいことが留意される。

図５Ｂに示されるように、吐出チャンバ４３８ａ−ｃは個々のリブ４３２の上部の基板に配置されてよく、個々の流体吐出チャンバ４３８ａ−ｃに結合された流体供給孔４４０ａ−ｃ、４４２ａ−ｃは、個々の第１流体供給孔４４０ａ−ｃを介した個々の流体吐出チャンバ４３８ａ−ｃへの流体入力が個々の第２流体供給孔４４２ａ−ｃを介した個々の流体吐出チャンバ４３８ａ−ｃからの流体出力と流体的に分離されてよいように、個々のリブ４３２の反対側に位置してよい。

図５Ｂ−Ｃに示されるように、インタポーザ４６６の上面４６４は流体循環流路４３４ａ−ｂの面を形成してよい。さらにまた、インタポーザ４６６は、ダイ流体入力４８０とダイ流体出力４８２が少なくとも部分的にインタポーザ４６６、および／または基板４５４によって画定されてよいように、基板４５４とリブ４３２に対して位置してよい。こうした例において、ダイ流体入力４８０は流体循環流路４３４ａ−ｂと流体的に結合されてよく、ダイ流体出力４８２は流体循環流路４３４ａ−ｂと流体的に結合されてよい。

図６は、複数のノズルが流体吐出ダイ５００の長さと幅に沿って配列された、例示的な流体吐出ダイ５００の図を提示する。この例において、ノズルは８つのノズル列５０２ａ−ｈに配列されるが、これは相互にずれを有するノズル列と称されてよい。従って、本願の幾つかの例は、少なくとも８つの相互にずれを有するノズル列を含んでよい。留意されるように、ノズルは図６において明確にするための表記がされていない。図７は、第１の複数のノズル５５２_１−５５２_４８と第２の複数のノズル５５４_１−５５４_４８が流体吐出ダイ５５０の長さと幅に沿って配列された、例示的な流体吐出ダイ５５０の図を提示する。この例において、第１の複数のノズル５５２_１−５５２_４８はノズル列５５６ａ−ｈの第１の組に配列され、第２の複数のノズル５５４_１−５５４_４８はノズル列５５８ａ−ｈの第２の組に配列される。そのため、幾つかの例は、少なくとも１６の相互にずれを有するノズル列を含んでよい。幾つかのこうした例において、例示的なダイは、少なくとも８つの相互にずれを有するノズル列の第１の組と、少なくとも８つの相互にずれを有するノズル列の第２の組を含んでよい。

この例において、ダイ５５０は流体循環流路の第１のアレイを画定するリブ５６０の第１のアレイを含んでよく、そしてダイ５５０はさらに、流体循環流路の第２のアレイを画定するリブ５６２の第２のアレイを含んでよい。図７において、リブ５６０、５６２のアレイがノズル５５２_１−５５２_４８、５５４_１−５５４_４８および対応する流体吐出チャンバ（図示されない）の下方に位置するため、アレイは破線で示される。さらにまた、リブ５６０の第１のアレイは、第１インタポーザ５７０が流体循環流路の第１のアレイの面を形成するように、第１インタポーザ５７０に近接して配置されてよい。リブ５６２の第２のアレイは、第２インタポーザ５７２が流体循環流路の第２のアレイの面を形成するように、第２インタポーザ５７２に近接して配置されてよい。留意されるように、この例において、リブ５６０、５６２のアレイ、流体循環流路、そしてインタポーザ５７０、５７２の配列は、図５Ａ−Ｃで示される例示的なダイ４００についての同様の要素の配列と同じであってよい。従って、図示されないが、図５Ａ−Ｃの例と同様に、図７の例は、複数のノズル５５２_１−５５２_４８、５５４_１−５５４_４８各々についての各インタポーザ５７０、５７２によって少なくとも部分的に画定される個々のダイ流体入力と個々のダイ流体出力を含んでよい。

さらにまた、この例において、第１の複数のノズル５５２_１−５５２_４８は、斜行して配列された近傍ノズルの組に配列されてよい。例えば、第１の複数のうちの第１から第８ノズル５５２_１−５５２_８は、斜行して配列された近傍ノズルの組とみなされてよい。図示されるように、リブ５６０（およびそれによって画定される流体循環流路のアレイ）は、斜行して配列された近傍ノズルの組に整列されてよい。第２の複数のノズル５５４_１−５５４-_４８およびリブ５６２の第２のアレイのリブは、ダイ５５０の長さと幅に対しての平行斜線に沿って同様に配列されてよい。

さらにまた、図７の例において、第１の複数のノズル５５２_１−５５２_４８（およびそれに関連する流体吐出チャンバ）は、第１流体型に対応し、第２の複数のノズル５５４_１−５５４_４８（およびそれに関連する流体吐出チャンバ）は、第２流体型に対応してよい。例えば、図７の流体吐出ダイ５５０が印字ヘッドの形状である場合、第１の複数のノズル５５２_１−５５２_４８は第１着色剤（第１インク色など）に対応してよく、第２の複数のノズル５５４_１−５５４_４８は第２着色剤（第２インク色など）に対応してよい。他の例として、図７の流体吐出ダイ５５０が付加製造システム（３Ｄプリンタなど）に実装された流体吐出ダイの形状である場合、第１の複数のノズル５５２_１−５５２_４８は融着剤に対応してよく、第２の複数のノズル５５４_１−５５４_４８はディテーリング剤に対応してよい。そのため、この例に関して示され、説明されるように、第１の複数のノズル５５２_１−５５２_４８は共に流体的に結合されてよく、第２の複数のノズル５５４_１−５５４_４８は共に流体的に結合されてよい。従って、幾つかの例において、第１の複数のノズル５５２_１−５５２_４８は、第２の複数のノズル５５４_１−５５４_４８から流体的に分離されてよい。他の例において、第１の複数のノズル５５２_１−５５２_４８は、第２の複数のノズル５５４_１−５５４_４８に流体的に結合されてよい。図８は、例示的な流体吐出ダイ６００のブロック図を提示する。この例において、流体吐出ダイは、近傍ノズルの少なくとも１つの個々の組が流体吐出ダイ６００の幅に沿って異なるダイ幅位置に位置するように、流体吐出ダイ６００の長さと幅にわたって分配された複数のノズル６０２を含む。上述したように、ノズル６０２はノズルオリフィス６０４を含んでよく、そのノズルオリフィスはノズル６０２が形成された層の表面に形成され、そのノズルを通って流体液滴が吐出されてよい。ダイ６００はさらに、それぞれ個々のノズル６０２について、ノズル６０２に流体的に結合された個々の吐出チャンバ６０６を含む、複数の吐出チャンバ６０６を含む。流体吐出ダイ６００はさらに、各吐出チャンバ６０６に配置された少なくとも１つの流体アクチュエータ６０８を含む。流体吐出ダイ６００はさらに、ノズル６０２が形成された面とは反対のダイ６００の面に形成された、流体供給孔６０９のアレイを含む。この例において、ダイ６００の流体供給孔６０９のアレイは、各吐出チャンバ６０６に流体的に結合した、少なくとも１つの個々の流体供給孔６１０を含む。

図９は、例示的な流体吐出デバイス６５０のブロック図を提示する。図示されるように、流体吐出デバイス６５０は、それを通って少なくとも１つの流体供給流路６５３が形成されてよい、支持構造６５２を含む。流体吐出デバイス６５０は少なくとも１つの流体吐出ダイ６５４を含み、そこでは、少なくとも１つの流体吐出ダイ６５４はダイ６５４の長さとダイ６５４の幅にわたって分配された複数のノズル６５５を含んでよく、各ノズル６５５は、流体液滴が吐出されてよいノズルオリフィス６５６を含む。さらにまた、ダイ６５４は複数の吐出チャンバ６５７を含んでよく、そこでは、それぞれ個々のノズル６５５について、ダイ６５０は個々の流体吐出チャンバ６５７と、その中に配置された少なくとも１つの流体アクチュエータ６５８を含む。流体吐出ダイ６５４はさらに流体供給孔６５９のアレイを含み、そこでは、流体供給孔６５９のアレイが、それぞれ個々の吐出チャンバ６５７に流体的に結合された個々の第１流体供給孔６６０と個々の第２流体供給孔６６２を含む。それぞれ個々の第１流体供給孔６６０は、個々の第１流体循環流路６６４に流体的に結合されてよく、それぞれ個々の第２流体供給孔は、個々の第２流体循環流路６６８に流体的に結合されてよい。第１流体循環流路６６４と第２流体循環流路６６８は少なくとも１つの流体供給流路６５３に流体的に結合されてよい。従って、流体吐出デバイス６５０について、少なくとも１つの流体供給流路６５３、流体循環流路６６４、６６８、流体供給孔６６０、６６２、吐出チャンバ６５７、およびノズル６５５は共に流体的に結合されてよい。

図１０Ａは、流体吐出デバイス７００の例示的なレイアウトを示すブロック図を提示する。この例において、流体吐出デバイス７００は、流体吐出デバイス７００の支持構造７０６の幅７０４に沿って配列された複数の流体吐出ダイ７０２ａ−ｅを含む。この例において、複数の流体吐出ダイ７０２ａ−ｅは、支持構造７０６の幅７０４に沿って端から端まで相互にずれを有して配列される。さらにまた、破線で示されるように、第１流体供給流路７０８ａと第２流体供給流路７０８ｂは、支持構造７０６の幅７０４に沿って、支持構造７０６を通って形成されてよい。流体吐出ダイ７０２ａ−ｃの第１の組は通常端から端まで配列され、第１流体供給流路７０８ａに流体的に結合されてよく、流体吐出ダイ７０２ｄ−ｅの第２の組は通常端から端まで配列され、第２流体供給流路７０８ｂに流体的に結合されてよい。

図１０Ａの詳細図７２０は、例示的な流体吐出デバイス７００の流体吐出ダイ７０２ａ−ｅの幾つかの構成要素を示すブロック図を提示する。本願で説明される他の例と同様に、図１０Ａの例において、流体吐出ダイ７０２ｄはダイ７０２の長さと幅に沿って分配された複数のノズル７２２を含んでよく、かくして、その複数のうちの個々のノズルの少なくとも１つの近傍ノズルがダイ７０２の幅に沿って隔置される。この例において、各ノズル７２２は個々の吐出チャンバ７２４に流体的に結合され、各吐出チャンバ７２４は少なくとも１つの供給孔７２６に流体的に結合される。各流体供給孔７２６は個々の流体循環流路７２８に流体的に結合されてよい。流体循環流路７２８はリブ７３０のアレイによって画定される。例示的なダイ７０２ｄの流体循環流路７２８は第２流体供給流路７０８ｂに流体的に結合されてよい。従って、この例において、ノズル７２２は、吐出チャンバ７２４、供給孔７２６、および流体循環流路７２８を介して第２流体供給流路７０８ｂに流体的に結合されてよい。

図１０Ｂは、図１０Ａの視線Ｆ−Ｆに沿った断面図７５０を提示する。この例において、流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅは少なくとも部分的に支持構造７０６に埋めこまれていてよい。この例において留意されるように、流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅの上面は支持構造７０６の上面とほぼ平面になっていてよい。他の例において、流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅは支持構造７０６の表面に結合されてよい。この例において、各流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅはノズル、吐出チャンバ、および流体供給孔７２２−７２６（明確にするために、図１０Ｂではまとめて表記されている）を含む。図１０Ｂにおいて、流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅは図５Ａ−Ｃの例示的な流体吐出ダイ４００と同様であってよい。従って、ダイ７０２は、流体循環流路７２８を画定するインタポーザ７５２とリブ７３０を含んでよい。図示されるように、各流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅのインタポーザ７５２は、ダイ流体入力７６２とダイ流体出力７６４を少なくとも部分的に画定するが、流体はそれらを通って流体供給流路７０８ａ−ｂから各流体吐出ダイ７０２ｃ、７０２ｅの流体循環流路７２８に流れてよい。

さらにまた、図１０Ｂに示されるように、流体吐出デバイス７５０は、流体供給流路７０８ａ−ｂ内に位置する流体分離部材７８０を含んでよい。こうした例において、流体分離部材７８０はインタポーザ７５２と係合してよい。流体分離部材は、流体流路７０８ａ−ｂにおけるダイ流体入力７６２とダイ流体出力７６４を流体的に分離してよい。幾つかの例において、流体分離部材７８０による流体流路７０８ａ−ｂの分離は、ダイ流体入力７６２とダイ流体出力７６４にわたって圧力差を加えることを促進してよく、そこではこうした圧力差が、流体循環流路７２８のアレイを通ってダイ全体にわたる流体循環を生じさせてよい。

図１１は、例示的な流体吐出デバイス８００の断面図を提示する。この例において、流体吐出デバイス８００は、支持構造８０４に結合された流体吐出ダイ８０２を含む。この例において、流体吐出ダイ８０２は図７の例示的な流体吐出ダイ５５０と同様であってよい。従って、流体吐出ダイ８００は第１の複数のノズル８０６、対応する吐出チャンバ、および対応する流体供給孔を含むが、これらは明確にするために例の中でまとめて表記されている。ダイはさらに第２の複数のノズル８０８、対応する吐出チャンバ、および対応する流体供給孔を含むが、これらは全て、明確にするために例の中でまとめて表記されている。

例示的なダイ８０２は、第１インタポーザ８１０とリブ８１２の第１のアレイが流体循環流路８１４の第１のアレイを形成するように、第１の複数のノズル８０６の下方に配置された第１インタポーザ８１０とリブ８１２の第１のアレイをさらに含む。流体吐出デバイス８００は、支持構造８０４を通って形成され、流体吐出ダイ８０２の第１ダイ流体入力８１８と第１ダイ流体出力８２０に流体的に結合された、第１流体供給流路８１６を含む。図示されるように、第１ダイ流体入力８１８と第１ダイ流体出力８２０は、流体循環流路８１４の第１のアレイに流体的に結合される。

さらにまた、例示的なダイ８００は、第２インタポーザ８２２とリブ８２４の第２のアレイが流体循環流路８２６の第２のアレイを形成するように、第２の複数のノズル８０８の下方に配置された第２インタポーザ８２２とリブ８２４の第２のアレイを含む。流体吐出デバイス８００は、支持構造８０４を通って形成され、第２ダイ流体入力８３０と第２ダイ流体出力８３２に流体的に結合された、第２流体供給流路８２８を含む。図示されるように、第２ダイ流体入力８３０と第２ダイ流体出力８３２は、流体循環流路８２６の第２アレイに流体的に結合される。

図１１に示されるように、第１の複数のノズル８０６と、それに流体的に結合された、対応する流体構成要素（例えば、吐出チャンバ、流体供給孔、流体循環流路など）は、第２の複数のノズル８０８と、それに流体的に結合された、対応する流体構成要素に流体的に分離されてよい。従って、第１の複数のノズル８０６と第２の複数のノズル８０８からは、異なるタイプの流体が吐出されてよい。例えば、流体吐出デバイスが印字ヘッドの形状である場合、第１流体供給流路８１６は印刷材料の第１色を第１の複数のノズル８０６に搬送してよく、第２流体供給流路８２８は印刷材料の第２色を第２の複数のノズル８０８に搬送してよい。さらにまた、図１１の例示的な流体吐出デバイスにおいて、流体吐出ダイ８０２が１つだけ示されているが、他の例示的な流体吐出デバイスはより多くの流体吐出ダイ８０２を含んでよい。例えば、例示的な流体吐出デバイスは、図１１の流体吐出ダイ８０２と同様の複数の流体吐出ダイを含んでよく、そこでは、図１０Ａに示される例示的な配列と同様、複数の流体吐出ダイが流体吐出デバイスの支持構造の幅に沿って、通常端から端まで相互にずれを有して配列されていてよい。

さらにまた、図１１において、図１１の流体吐出デバイス８００は、流体供給流路８１６、８２８内に配置されインタポーザ８１０、８２２と係合する流体分離部材８４０を含む。こうした例において、流体分離部材８４０は、ダイ流体供給流路８１６、８２８内のダイ流体入力８１８、８３０とダイ流体出力８２０、８３２を流体的に分離してよい。ダイ流体供給流路８１６、８２８内のダイ流体入力８１８、８３０とダイ流体出力８２０、８３２を流体的に分離することにより、ダイ流体入力８１８、８３０とダイ流体出力８２０、８３２間に圧力差を加えることによって、ダイ８０２の流体循環流路８１４、８２６のアレイを通る流体の流れが生じてよい。

従って、本願の例は、少なくとも幾つかのノズルが流体吐出ダイの長さと幅に沿って分配されてよいノズル配列を含む、流体吐出ダイを提示してよい。幾つかの例は、図１に示される例と同様、ノズル列が流体吐出ダイの幅に沿って相互にずれを有して隔置されてよい、ノズルの配列を含んでよい。他の例において、流体吐出ダイは、図４Ｃおよび４Ｄに示される例と同様、幾つかの近傍ノズルが個々のノズル列に整列されてよく、他の近傍ノズルが少なくとも１つの異なるノズル列にあるように隔置されてよいような、ノズル配列を含んでよい。他の例は、本願で説明される例示的なノズル配列の様々な組み合わせを含んでよい。

さらにまた、本願で説明され図で示される、ノズルや他の構成要素の数と配列は、単に例示の目的のためである。上述したように、本願により考えられる幾つかの例示的な流体吐出ダイは、１つのノズル列につき少なくとも４０のノズルを含んでよい。幾つかの例において、流体吐出ダイは、１つのノズル列につき少なくとも１００のノズルを含んでよい。さらに他の例において、幾つかの流体吐出ダイは、１つのノズル列につき少なくとも２００のノズルを含んでよい。幾つかの例において、各ノズル列は、１つのノズル列につき４００より少ないノズルを含んでよい。幾つかの例において、各ノズル列は、１つのノズル列につき２５０より少ないノズルを含んでよい。同様に、幾つかの例は、例示的な流体吐出ダイ上に５００より多くのノズルを含んでよい。幾つかの例は、例示的な流体吐出ダイ上に少なくとも１０００のノズルを含んでよい。幾つかの例は、流体吐出ダイ上に少なくとも１２００のノズルを含んでよい。幾つかの例において、流体吐出ダイは少なくとも２４００のノズルを含んでよい。幾つかの例において、流体吐出ダイは２４００より少ないノズルを含んでよい。

上述され、そして本願の様々な図に示されるように、本願で説明されるようなノズル配列は、流体液滴吐出によって生じる空力効果が低減および／または制御されるように、幾つかの寸法関係に従ってよい。幾つかの例において、近傍ノズルの少なくとも１組は、流体吐出ダイの幅に沿って少なくとも５０μｍ隔置されてよい。幾つかの例において、少なくとも１つの近傍ノズルの組は、流体吐出ダイの幅に沿って少なくとも１００μｍ隔置されてよい。幾つかの例において、個々の近傍ノズル組の２つの個々のノズル間の、流体吐出ダイの幅に沿った個々の距離は、約１００μｍから約１２００μｍの範囲内であってよい。

同様に、幾つかの例において、個々のノズル列の少なくとも２つの連続するノズル間の、流体吐出ダイの長さに沿った個々の距離は、少なくとも約５０μｍであってよい。幾つかの例において、個々のノズル列の少なくとも２つの連続するノズル間の、流体吐出ダイの長さに沿った個々の距離は、少なくとも約１００μｍであってよい。幾つかの例において、個々のノズル列の少なくとも２つの連続するノズル間の、流体吐出ダイの長さに沿った個々の距離は、約１００μｍから約４００μｍの範囲内であってよい。幾つかの例において、ノズル間のこうした距離は、異なる近傍ノズル組の間、および／または個々の列の連続するノズルの間で異なってよい。

また、本願により考えられる例において、流体吐出ダイは、本願で説明される例よりも多くのノズル列または少ないノズル列を含んでよい。例において、少なくとも３つのノズル列は共に流体的に結合されてよく、かくしてこうしたノズル列のノズルは特定の流体の液滴を吐出してよい。例えば、幾つかの流体吐出ダイはダイの幅に沿って隔置された少なくとも４つのノズル列を含んでよく、そこでは、ノズル列のノズルが特定の流体の液滴を吐出してよいように、ノズルが流体的に結合されてよい。本願により考えられる幾つかの例は、流体的に結合された少なくとも１６個のノズル列を含んでよく、かくしてその１６個のノズル列のノズルにより特定の流体が吐出されてよい。こうした例において、ノズル列からノズル列間の距離は少なくとも１００μｍであってよい。幾つかの例において、ノズル列からノズル列間の距離は少なくとも２００μｍであってよい。幾つかの例において、ノズル列からノズル列間の距離は約２００μｍから約１２００μｍの範囲であってよい。

さらにまた、幾つかの例において、各ノズル列は、ダイの長さの１インチあたり約５０ノズルから約２００ノズルを含んでよい。幾つかの例において、各ノズル列は、ダイの長さの１インチあたり２５０よりも少ないノズルを含んでよい。本願で考えられる幾つかの例において、連続する列ノズルのノズルからノズルの間隔は、ノズル列からノズル列の間隔よりも大きくてよい。他の例において、連続する列ノズルのノズルからノズルの間隔は、ノズル列からノズル列の間隔よりも小さくてよい。

以上の記載は、記載された原理の例を説明および記述するために提示されたものである。この記載は完全であることを意図したものではなく、またこれらの原理を開示された任意の形態だけに限定することを意図したものでもない。上記の記載に照らして、多くの修正および変形が可能である。また、様々な例が本願に記載されているが、要素および／または要素の組み合わせは、本願により考えられる様々な例について組み合わせられ、および／または削除されてよい。例えば、図１から１１の例において示される構成要素は、他のどの図に追加、および／または、他のどの図から削除されてもよい。さらにまた、数値に関して使用される場合の「約」という表現は、±１０％の範囲に対応してよい。角度の向きに関して使用される場合の「約」という表現は、±１０％の範囲に対応してよい。そのため、図において提示され本願で説明される上記の例は、開示の範囲を制限するものと解釈されるべきでなく、その範囲は請求項で規定されるものである。

Claims (15)

1. ダイの長さとダイの幅を有する流体吐出ダイであって、
   ダイの長さとダイの幅に沿って配列された複数のノズルであって、近傍ノズルの少なくとも１つの個々の対が、流体吐出ダイの幅に沿って異なるダイ幅位置に位置するように配列されている、複数のノズルと、
   複数のノズルのうちのそれぞれ個々のノズルに流体的に結合された個々の吐出チャンバを含む、複数の吐出チャンバと、
   それぞれ個々の吐出チャンバに流体的に結合された第１の個々の流体供給孔と、それぞれ個々の吐出チャンバに流体的に結合された第２の個々の流体供給孔とを含む、流体供給孔のアレイと、
   を含む、流体吐出ダイ。
2. 複数のノズルが、それらの間が流体的に結合されたノズル列に配列される、請求項１に記載の流体吐出ダイ。
3. 複数のノズルが、少なくとも４つの個々のノズル列に配列され、少なくとも４つのノズル列のそれぞれ個々のノズル列が約５０から約２００ノズルを含み、個々のノズル列の各ノズル間の距離が約１００μｍから約４００μｍの範囲内である、請求項１に記載の流体吐出ダイ。
4. 流体吐出ダイがさらに、
   流体循環流路のアレイを画定するリブのアレイを流体吐出ダイ内に含み、
   それぞれ個々の第１流体供給孔が、流体循環流路のアレイの個々の第１流体循環流路に流体的に結合され、それぞれ個々の第２流体供給孔が、流体循環流路のアレイの個々の第２流体循環流路に流体的に結合される、請求項１に記載の流体吐出ダイ。
5. 流体吐出ダイがさらに、
   流体循環流路のアレイの表面を形成するインタポーザを含み、インタポーザが、それぞれ個々の流体循環流路に流体的に結合されたダイ流体入力を画定し、インタポーザがさらに、それぞれ個々の流体循環流路に流体的に結合されたダイ流体出力を画定する、請求項４に記載の流体吐出ダイ。
6. 複数のノズルが少なくとも４つのノズル列に配列される、請求項５に記載の流体吐出ダイ。
7. 複数のノズルが、ダイの長さと幅に対して斜行して配列された近傍ノズルの個々の組に配列されており、リブのアレイのリブが、近傍ノズルの個々の組の斜行配列に整列されている、請求項６に記載の流体吐出ダイ。
8. 流体吐出ダイであって、
   個々のノズル列に配列された複数のノズルであって、ダイの長さとダイの幅に沿って隔置された複数のノズルであり、さらに複数のノズルのうち少なくとも幾つかの近傍ノズル対が異なる個々のノズル列に配列されるように配列されている、複数のノズルと、
   複数の流体吐出チャンバであって、複数の流体吐出チャンバのうちそれぞれ個々の流体吐出チャンバが複数のノズルのうち個々のノズルに近接して配列され、それぞれ個々の流体吐出チャンバが個々のノズルに流体的に結合される、複数の流体吐出チャンバと、
   流体循環流路のアレイを画定する、流体吐出ダイ内のリブのアレイであって、それぞれ個々の流体吐出チャンバと個々のノズルがリブのアレイの個々のリブの上方に位置するように配列されている、リブのアレイと、
   を含む、流体吐出ダイ。
9. さらに流体供給孔のアレイを含む流体吐出ダイであって、
   それぞれ個々の流体吐出チャンバが、流体供給孔のアレイの第１の個々の供給孔に流体的に結合され、流体がそれを通過して個々の流体吐出チャンバに入力され、第１の個々の供給孔が、流体循環流路のアレイの第１の個々の流体循環流路に流体的に結合され、
   それぞれ個々の流体吐出チャンバが、流体供給孔のアレイの第２の個々の供給孔に流体的に結合され、流体がそれを通過して個々の流体吐出チャンバから出力され、第２の個々の供給孔が、流体循環流路のアレイの第２の個々の流体循環流路に流体的に結合される、
   請求項８に記載の流体吐出ダイ。
10. それぞれ個々のノズル列の各ノズル間の第１距離が少なくとも１００ μｍであって、それぞれ個々のノズル列間の第２距離が少なくとも１００μｍである、請求項８に記載の流体吐出ダイ。
11. 個々のノズル列に配列された複数のノズルが、ノズル列の第１の組とノズル列の第２の組を含む、流体吐出ダイであって、さらに、
    リブのアレイの、リブの第１の組に近接して配置され、流体循環流路のアレイの、流体循環流路の第１の組の個々の表面を形成する、第１のインタポーザと、
    リブのアレイの、リブの第２の組に近接して配置され、流体循環流路のアレイの、流体循環流路の第２の組の個々の表面を形成する、第２のインタポーザと、
    を含む、請求項８に記載の流体吐出ダイ。
12. 流体吐出ダイであって、
    ノズル列の組に配列された複数のノズルであって、複数のノズルのうちの近傍ノズルが、ノズル列の組の、異なる個々のノズル列に配列されるように配列されている、複数のノズルと、
    複数の流体吐出チャンバであって、複数の流体吐出チャンバのうちのそれぞれ個々の流体吐出チャンバが、複数のノズルのうちの個々のノズルに近接して配列され、それぞれ個々の流体吐出チャンバが、個々のノズルに流体的に結合される、複数の流体吐出チャンバと、
    流体循環流路のアレイを画定する、流体吐出ダイ内のリブのアレイと、
    リブのアレイに近接して配置され、流体循環流路のアレイの表面を形成するインタポーザと、
    流体供給孔のアレイであって、それぞれ個々の流体吐出チャンバが、流体供給孔のアレイの第１の個々の供給孔を介して第１の個々の流体循環流路に流体的に結合され、それぞれ個々の流体吐出チャンバが、流体供給孔のアレイの第２の個々の供給孔を介して第２の個々の流体循環流路に流体的に結合される、流体供給孔のアレイと、
    を含む、流体吐出ダイ。
13. 複数のノズルが、ノズル列の第１の組に配列された第１の複数のノズルであり、複数の流体吐出チャンバが第１の複数の流体吐出チャンバであり、リブのアレイがリブの第１のアレイであって流体循環流路の第１のアレイを画定するものであり、インタポーザが第１のインタポーザであり、流体供給孔のアレイが流体供給孔の第１のアレイであり、
    さらに流体吐出ダイが、
    ノズル列の第２の組に配列された第２の複数のノズルであって、第２の複数のノズルのうちの近傍ノズルが、ノズル列の組の、異なる個々のノズル列に配列されるように配列されている、第２の複数のノズルと、
    第２の複数の流体吐出チャンバであって、第２の複数の流体吐出チャンバのうちのそれぞれ個々の流体吐出チャンバが、第２の複数のノズルのうちの個々のノズルに近接して配列され、第２の複数の流体吐出チャンバのうちのそれぞれ個々の流体吐出チャンバが、第２の複数のノズルのうちの個々のノズルに結合される、第２の複数の流体吐出チャンバと、
    流体循環流路の第２のアレイを画定する、流体吐出ダイ内のリブの第２のアレイと、
    リブの第２のアレイに近接して配置され、流体循環流路の第２のアレイの表面を形成するインタポーザと、
    流体供給孔の第２のアレイであって、第２の複数の流体吐出チャンバのうちのそれぞれ個々の流体吐出チャンバが、流体供給孔の第２のアレイの第１の個々の供給孔を介して流体循環流路の第２のアレイの第１の個々の流体循環流路に流体的に結合され、第２の複数の流体吐出チャンバのうちのそれぞれ個々の流体吐出チャンバが、流体供給孔の第２のアレイの第２の個々の供給孔を介して流体循環流路の第２のアレイの第２の個々の流体循環流路に結合される、流体供給孔の第２のアレイと、
    を含む、請求項１３に記載の流体吐出ダイ。
14. それぞれ個々のノズル列の各ノズル間の第１距離が少なくとも１００ μｍであって、それぞれ個々のノズル列間の第２距離が少なくとも１００μｍである、請求項１２に記載の流体吐出ダイ。
15. それぞれ個々のノズル列が約５０から約２００ノズルを含む、請求項１２に記載の流体吐出ダイ。
    
    

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