JP2021183982A - Appearance inspection method and system - Google Patents

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Abstract

To propose an efficient appearance inspection method.SOLUTION: Abnormality conformation processing is performed when an appearance abnormality is extracted by performing image processing on imaging data using a computer. The abnormality conformation processing includes the steps of: acquiring additional imaging data generated by switching a control mode of an inspection device to a manual mode in which the device operates according to a manual operation of an operator, and by causing the inspection device to operate according to a manual operation; outputting and displaying an additional determination material based on the additional imaging data so as to be visible to the operator; accepting a determination, inputted by the operator, whether or not the extracted appearance abnormality is an appearance defect, so as to store the determination in a storage device as appearance defect information associated with identification information of an inspection target; and switching the control mode of the inspection device, after accepting the determination by the operator, to an automatic mode in which the inspection device operates according to a preliminarily stored program.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、検査対象の外観不良を検査する外観検査方法に関する。 The present invention relates to an appearance inspection method for inspecting an appearance defect of an inspection target.

従来から、検査対象に光を照射する照射装置と、検査対象を撮像する撮像装置と、撮像装置で得られた受光画像を画像処理する画像処理装置と、画像処理装置の処理画像を表示する表示装置とを用いて、検査対象に存在する凹凸などの表面欠陥を含む外観不良を検出する技術が知られている。特許文献1,2には、この種の技術が開示されている。 Conventionally, an irradiation device that irradiates an inspection target with light, an image pickup device that captures an image of the inspection target, an image processing device that processes an image received by the image pickup device, and a display that displays a processed image of the image processing device. There is known a technique for detecting appearance defects including surface defects such as irregularities existing in an inspection target by using an apparatus. Patent Documents 1 and 2 disclose this kind of technology.

特許文献1に記載の外観検査装置は、検査対象表面に向けて異なる方向から光を照射する複数のライトと、CCDカメラと、ライト及びカメラに対する検査対象の相対位置を自在に移動する位置決め手段としての2軸ロボットと、カメラで撮像した画像を画像処理して表示するモニタとを備えている。作業者は、モニタに表示された画像を目視して外観不良の有無を判断し、外観不良があれば不良箇所にマーキングを行う。或いは、コンピュータが不良箇所を認識し、解析により自動的に判定を行って、作業者の介在なしに自動的に外観検査を行う。 The visual inspection apparatus described in Patent Document 1 is a positioning means for freely moving a plurality of lights that irradiate the surface of the inspection target with light from different directions, a CCD camera, and the relative positions of the lights and the inspection target with respect to the camera. It is equipped with a 2-axis robot and a monitor that processes and displays the image captured by the camera. The operator visually observes the image displayed on the monitor to determine whether or not there is an appearance defect, and if there is an appearance defect, marks the defective portion. Alternatively, the computer recognizes the defective part, automatically makes a judgment by analysis, and automatically inspects the appearance without the intervention of an operator.

特許文献2に記載の表面欠陥検査装置は、ワークを搬送するワーク搬送手段と、照射手段及び撮像手段を含み、ワークの検査対象表面を所定の撮像角度で撮像する光学的センサと、ワークの形状データ及び位置情報に基づいて光学的センサを制御するセンサ制御手段と、光学的センサから得た画像を処理してワークの表面欠陥を検出する画像処理手段と、表面欠陥の検出結果を表示する表示手段と、光学的センサを手先部に装着したロボットアームと、所定の走査方向、走査速度、及び走査パターンに基づいて光学的センサを移動させるようにロボットアームを制御するロボット制御手段とを備えている。表面欠陥が検出されたワークは、NGパレットに移動され、ここで作業者による確認や修理が行われる。 The surface defect inspection apparatus described in Patent Document 2 includes a work transporting means for transporting a work, an irradiation means, and an image pickup means, an optical sensor that images the surface to be inspected of the work at a predetermined imaging angle, and a shape of the work. Sensor control means that controls the optical sensor based on data and position information, image processing means that processes the image obtained from the optical sensor to detect surface defects of the work, and display that displays the detection result of surface defects. A means, a robot arm equipped with an optical sensor on the hand, and a robot control means for controlling the robot arm so as to move the optical sensor based on a predetermined scanning direction, scanning speed, and scanning pattern. There is. The work on which the surface defect is detected is moved to the NG pallet, where the operator confirms and repairs it.

特開2001−305075号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-305075 特開2002−82060号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-82060

上記特許文献1の外観検査装置では、作業者が外観不良を判断する場合には、モニタに表示された画像を作業者が常時監視せねばならない。また、上記特許文献1の外観検査装置でコンピュータが、特許文献2の表面欠陥検査装置で画像処理手段が、それぞれ外観不良ありと判定したときには、検査対象であるワークはNGパレットなどの検査エリア外へ移動され、ここで最終的に作業者によって目視確認される。例え、コンピュータに不良箇所が記録されていたとしても、作業者は目視で不良箇所を探し出して確認せねばならず、目視確認作業は労力及び時間を要する。また、コンピュータが検出した外観不良の内容によれば、作業者が処理画像を確認すれば直ちに良否が判定できるような場合もある。 In the visual inspection apparatus of Patent Document 1, when the worker determines the appearance defect, the worker must constantly monitor the image displayed on the monitor. Further, when the computer in the appearance inspection device of Patent Document 1 and the image processing means in the surface defect inspection device of Patent Document 2 each determine that there is an appearance defect, the work to be inspected is outside the inspection area such as an NG pallet. It is moved to, where it is finally visually confirmed by the operator. Even if a defective part is recorded on the computer, the operator must visually find and confirm the defective part, and the visual confirmation work requires labor and time. Further, according to the content of the appearance defect detected by the computer, the quality may be determined immediately when the operator confirms the processed image.

本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、コンピュータによる検査対象の外観異常の抽出と、作業者による外観異常箇所の良否判定とが組み合わされた、効率的な外観検査方法を提案することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is an efficient visual inspection in which a computer extracts an appearance abnormality of an inspection target and an operator determines whether or not the appearance abnormality portion is good or bad. It is to propose a method.

本発明の一態様に係る外観検査方法は、
検査対象を検査ステージに搬入するステップと、
照射手段と撮像手段とを含む検査装置を前記検査対象の所定の撮像位置へ当該検査対象に対し相対的に移動させるステップと、
前記検査装置で照射と撮像とを行い、撮像データを生成するステップと、
前記撮像データをコンピュータで画像処理することにより外観異常を抽出するステップと、
前記画像処理で外観異常が抽出されれば、異常確認処理を行うステップと、
前記異常確認処理を終えた前記検査対象、又は、前記画像処理で外観異常が抽出されなかった前記検査対象を前記検査ステージから搬出するステップとを含んでいる。
そして、前記異常確認処理が、
作業者へ外観異常を報知することと、
外観異常が抽出された処理画像、その撮像データ、及び、その撮像データと対応する撮像位置で前記撮像手段が撮像した画像のうち少なくとも1つを前記作業者が視認可能に出力表示することと、
抽出された外観異常が外観不良か否かの前記作業者の判定を受け付けて、その判定を前記検査対象の識別情報と関連付けられた外観不良情報として記憶装置に記憶することとを含んでいる。
The visual inspection method according to one aspect of the present invention is
The step of bringing the inspection target to the inspection stage and
A step of moving an inspection device including an irradiation means and an imaging means to a predetermined imaging position of the inspection target relative to the inspection target, and
The step of performing irradiation and imaging with the inspection device and generating imaging data,
A step of extracting an appearance abnormality by image processing the imaged data with a computer,
If an appearance abnormality is extracted by the image processing, the step of performing the abnormality confirmation processing and
It includes a step of carrying out the inspection target for which the abnormality confirmation processing has been completed or the inspection target for which the appearance abnormality has not been extracted by the image processing to be carried out from the inspection stage.
Then, the abnormality confirmation process is performed.
Notifying the worker of the appearance abnormality and
The operator can visually output and display at least one of the processed image from which the appearance abnormality is extracted, the image pickup data thereof, and the image captured by the image pickup means at the image pickup position corresponding to the image pickup data.
This includes accepting the determination of the operator as to whether or not the extracted appearance abnormality is an appearance defect, and storing the determination as appearance defect information associated with the identification information of the inspection target in the storage device.

上記の外観検査方法では、抽出された外観異常が外観不良であるか否かの最終的な判断は作業者によって行われる。よって、従来の作業者の目視による外観検査と同等の精度を維持することができる。また、従来のコンピュータによる画像処理のみで外観不良が判定される場合と比較して、外観異常を抽出するための閾値を下げることができ、外観不良の見逃しを回避することができる。 In the above-mentioned visual inspection method, the final determination as to whether or not the extracted appearance abnormality is a poor appearance is made by the operator. Therefore, it is possible to maintain the same accuracy as the conventional visual inspection by the operator. In addition, the threshold value for extracting the appearance abnormality can be lowered as compared with the case where the appearance defect is determined only by the image processing by the conventional computer, and it is possible to avoid overlooking the appearance defect.

また、上記の外観検査方法では、外観異常が抽出された場合にのみ、検査工程に作業者が介入する。従って、作業者が処理画像を逐次確認する必要はなく、従来の作業者が目視で外観検査を行う場合と比較して、作業者の負担が軽減される。 Further, in the above-mentioned visual inspection method, the operator intervenes in the inspection process only when the appearance abnormality is extracted. Therefore, it is not necessary for the worker to check the processed images one by one, and the burden on the worker is reduced as compared with the case where the conventional worker visually inspects the appearance.

また、上記の外観検査方法では、作業者は、外観異常の報知により異常確認処理が行われることを知ることができ、異常確認処理においてのみその検査工程に携わればよい。そのため、一人の作業者は、複数の検査工程を掛け持ちで監視することが可能となる。その結果、外観検査作業を効率化することができる。 Further, in the above-mentioned visual inspection method, the operator can know that the abnormality confirmation process is performed by notifying the appearance abnormality, and may be involved in the inspection process only in the abnormality confirmation process. Therefore, one worker can carry out and monitor a plurality of inspection processes. As a result, the visual inspection work can be made more efficient.

本発明によれば、コンピュータによる検査対象の外観異常の検出と、作業者による外観異常箇所の良否判定とが組み合わされた、効率的な外観検査方法を提案することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, it is possible to propose an efficient visual inspection method in which a computer detects an appearance abnormality of an inspection target and an operator determines whether or not the appearance abnormality portion is good or bad.

本発明の第1実施形態に係る外観検査システムの概略図である。It is a schematic diagram of the appearance inspection system which concerns on 1st Embodiment of this invention. 外観検査システムの制御系統の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the control system of a visual inspection system. 外観検査システムによる外観検査処理の流れ図である。It is a flow chart of the appearance inspection process by the appearance inspection system. 外観検査システムによる異常確認処理の流れ図である。It is a flow chart of abnormality confirmation processing by a visual inspection system. 外観検査システムによる第2実施形態に係る外観検査処理の流れ図である。It is a flow chart of the appearance inspection process which concerns on the 2nd Embodiment by the appearance inspection system. 外観検査システムによる第2実施形態に係る異常確認処理の流れ図である。It is a flow chart of the abnormality confirmation processing which concerns on the 2nd Embodiment by a visual inspection system.

〔第1実施形態〕
次に、本発明の第1実施形態を説明する。図1は本発明の第1実施形態に係る外観検査システム1の概略図、図2は外観検査システム1の制御系統の構成を示すブロック図である。この外観検査システム1は、例えば、形状・構造・寸法・ラベルの位置などのワークWの形状や構造に係る不良、凹凸・シワ・ブツなどワークWの表面状態に係る不良、バリ・突起・欠け・汚れ・オイルの滲み・隙間・溶接状態などのワークWの仕上がり状態に係る不良などを検出するためのものである。本実施形態では、外観検査システム1を用いてワークWの表面状態に係る不良を検出する場合について説明する。
[First Embodiment]
Next, the first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic view of the visual inspection system 1 according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a control system of the visual inspection system 1. This visual inspection system 1 has, for example, defects related to the shape and structure of the work W such as shape, structure, dimensions, and label position, defects related to the surface condition of the work W such as unevenness, wrinkles, and bumps, burrs, protrusions, and chips. -It is for detecting defects related to the finished state of the work W such as dirt, oil bleeding, gaps, and welding state. In this embodiment, a case where a defect related to the surface condition of the work W is detected by using the visual inspection system 1 will be described.

図1及び2に示すように、本実施形態に係る外観検査システム1は、検査装置2と、検査対象であるワークWを保持する検査治具4と、制御ユニット6と、表示装置7と、入力装置8と、報知器9とを備えている。以下、外観検査システム1の各構成要素について詳細に説明する。 As shown in FIGS. 1 and 2, the visual inspection system 1 according to the present embodiment includes an inspection device 2, an inspection jig 4 for holding a work W to be inspected, a control unit 6, a display device 7, and the like. The input device 8 and the alarm 9 are provided. Hereinafter, each component of the visual inspection system 1 will be described in detail.

〔検査装置2〕
検査装置2は、センサユニット3と、センサユニット3の移動手段であるロボットアーム21とで構成されている。後述するが、検査装置2は、予め記憶されたプログラムに従って動作する「自動モード」と、入力装置8が受け付けた作業者の操作に対応して動作する「手動モード」との、複数の制御モードを有する。自動モードでは、作業者による入力装置8の操作なしに、検査装置2が所定の作業を自動的に行う。なお、手動モードでは、入力装置8が受け付けた作業者の操作や、この操作に基づいて動作している検査装置2の動きが、自動的に修正されてもよい。
[Inspection device 2]
The inspection device 2 includes a sensor unit 3 and a robot arm 21 which is a means of moving the sensor unit 3. As will be described later, the inspection device 2 has a plurality of control modes, that is, an "automatic mode" that operates according to a program stored in advance and a "manual mode" that operates in response to an operator's operation accepted by the input device 8. Have. In the automatic mode, the inspection device 2 automatically performs a predetermined operation without the operator operating the input device 8. In the manual mode, the operation of the operator accepted by the input device 8 and the movement of the inspection device 2 operating based on this operation may be automatically corrected.

センサユニット3は、照射装置31と、撮像装置32と、マーカー33とが図示されないフレームに一体的に組み付けられたものである。なお、センサユニット3は、照射装置31からの照射光をワークWへ向けて反射したり、ワークWからの反射光を撮像装置32へ入射したりする光学系を更に備えてもよい。 The sensor unit 3 is integrally assembled with an irradiation device 31, an image pickup device 32, and a marker 33 in a frame (not shown). The sensor unit 3 may further include an optical system that reflects the irradiation light from the irradiation device 31 toward the work W and incidents the reflected light from the work W on the image pickup device 32.

照射装置31は、ワークWの検査対象表面に光を照射する照射手段である。照射装置31から出射する光の色、照射角度、照射範囲は、ワークWから抽出する欠陥の種類に応じて適切に決定され、それに応じたライトが照射装置31に備えられる。照射装置31は、個別に点灯と消灯とを切り替え可能な複数のライトを備えていることが望ましい。複数のライトには、同軸ライトとリングライトとラインライトなど、異なる態様のライトが含まれていてよい。これにより、1つの照射装置31で複数種類の外観不良を抽出することが可能となる。また、照射装置31は、検査対象表面に対する光の照射角度を可変とするために、姿勢調整手段を備えていることが望ましい。 The irradiation device 31 is an irradiation means for irradiating the surface of the work W to be inspected with light. The color, irradiation angle, and irradiation range of the light emitted from the irradiation device 31 are appropriately determined according to the type of defect extracted from the work W, and the irradiation device 31 is provided with the corresponding light. It is desirable that the irradiation device 31 includes a plurality of lights that can be individually switched between turning on and off. The plurality of lights may include different modes of light, such as coaxial lights, ring lights and line lights. This makes it possible to extract a plurality of types of appearance defects with one irradiation device 31. Further, it is desirable that the irradiation device 31 is provided with posture adjusting means in order to change the irradiation angle of light with respect to the surface to be inspected.

撮像装置32は、照射装置31から出射し、ワークWの検査対象表面で反射した光を撮像する手段である。撮像装置32として、CCDやCMOSなどのイメージセンサを搭載したデジタルカメラやビデオカメラが使用される。また、撮像装置32は、光学式又はデジタル式のズーム機能を備えていることが望ましい。更に、撮像装置32は、検査対象表面に対する撮像角度を可変とするために、姿勢調整手段を備えていることが望ましい。撮像装置32が撮像して得た撮像データは、制御ユニット6へ送信される。 The image pickup device 32 is a means for capturing the light emitted from the irradiation device 31 and reflected on the surface of the work W to be inspected. As the image pickup device 32, a digital camera or a video camera equipped with an image sensor such as a CCD or CMOS is used. Further, it is desirable that the image pickup apparatus 32 has an optical or digital zoom function. Further, it is desirable that the image pickup apparatus 32 is provided with posture adjusting means in order to make the image pickup angle with respect to the surface to be inspected variable. The image pickup data obtained by the image pickup device 32 is transmitted to the control unit 6.

マーカー33は、ワークWの表面にマーキングする手段である。マーカー33は、制御ユニット6からの指令を受けて、ワークWの外観不良箇所にマーキングを行う。マーカー33としては、インクジェットやレーザーなどの公知のマーカーの中からワークWに応じて選択されたものが用いられてよい。 The marker 33 is a means for marking the surface of the work W. The marker 33 receives a command from the control unit 6 and marks a defective appearance portion of the work W. As the marker 33, a marker selected from known markers such as inkjet and laser according to the work W may be used.

センサユニット3は、ロボットアーム21の手先部に着脱可能に装着されている。ロボットアーム21は、センサユニット3の撮像位置(即ち、検査位置)を所定の走査軌道に沿って移動させるように、制御ユニット6の制御を受けて動作する。 The sensor unit 3 is detachably attached to the hand portion of the robot arm 21. The robot arm 21 operates under the control of the control unit 6 so as to move the imaging position (that is, the inspection position) of the sensor unit 3 along a predetermined scanning trajectory.

ロボットアーム21は、複数のリンクの連接体であって、リンク同士を接続している各関節には当該関節を駆動するアクチュエータや減速機などが設けられている(いずれも図示略)。本実施形態に係る外観検査システム1では、ロボットアーム21として6軸の垂直多関節型アームが採用されている。但し、ロボットアーム21の態様は本実施形態に限定されない。ロボットアーム21として、3軸以上の垂直多関節型アームや、少なくとも1つの昇降軸を有する水平多関節型アームが採用されてもよい。 The robot arm 21 is an articulated body of a plurality of links, and each joint connecting the links is provided with an actuator, a speed reducer, or the like for driving the joint (all of which are not shown). In the visual inspection system 1 according to the present embodiment, a 6-axis vertical articulated arm is adopted as the robot arm 21. However, the aspect of the robot arm 21 is not limited to this embodiment. As the robot arm 21, a vertical articulated arm having three or more axes or a horizontal articulated arm having at least one elevating axis may be adopted.

〔検査治具4〕
検査治具4は、ワークWを保持する手段である。本実施形態に係る検査治具4は、ワークWを保持する保持具42と、保持具42が手先部に装着されたロボットアーム41とで構成されている。ロボットアーム41は、ワークWの重量に対応した可搬性能を有し、検査治具4はワークWの検査ステージへの搬入と搬出も行う。
[Inspection jig 4]
The inspection jig 4 is a means for holding the work W. The inspection jig 4 according to the present embodiment is composed of a holder 42 for holding the work W and a robot arm 41 on which the holder 42 is attached to the hand portion. The robot arm 41 has a portable performance corresponding to the weight of the work W, and the inspection jig 4 also carries in and out the work W to the inspection stage.

保持具42は、ワークWを拘束するもの、ワークWを持ち上げるもの、ワークWを把持するもの、ワークWを吊り上げるものなど、ワークWに応じて適切な態様のものが採用される。 As the holder 42, a holder 42 having an appropriate mode depending on the work W, such as a holder for restraining the work W, a holder for lifting the work W, a holder for gripping the work W, and a holder for lifting the work W, is adopted.

ロボットアーム41は、複数のリンクの連接体であって、リンク同士を接続している各関節には当該関節を駆動するアクチュエータや減速機などが設けられている(いずれも図示略)。本実施形態では、ロボットアーム41として、6軸の垂直多関節型アームが採用されている。但し、ロボットアーム41の態様はこれに限定されず、ロボットアーム41として、3軸以上の垂直多関節型アームや、少なくとも1つの昇降軸を有する水平多関節型アームが採用されてもよい。或いは、ロボットアーム41に代えて、間欠駆動されるベルト搬送装置などの他のワーク搬送手段が用いられてもよい。 The robot arm 41 is an articulated body of a plurality of links, and each joint connecting the links is provided with an actuator, a speed reducer, or the like for driving the joint (all not shown). In the present embodiment, a 6-axis vertical articulated arm is adopted as the robot arm 41. However, the mode of the robot arm 41 is not limited to this, and a vertical articulated arm having three or more axes or a horizontal articulated arm having at least one elevating axis may be adopted as the robot arm 41. Alternatively, instead of the robot arm 41, another work transfer means such as a belt transfer device that is intermittently driven may be used.

〔表示装置7〕
表示装置7は、制御ユニット6と電気的に接続されており、制御ユニット6からの出力を表示するものである。表示装置7には、少なくとも1つのディスプレイが含まれている。また、この表示装置7には、タッチパネル式ディスプレイが含まれていてもよい。
[Display device 7]
The display device 7 is electrically connected to the control unit 6 and displays the output from the control unit 6. The display device 7 includes at least one display. Further, the display device 7 may include a touch panel type display.

〔入力装置8〕
入力装置8は、制御ユニット6と電気的に接続されており、制御ユニット6へ情報や操作を入力するものである。作業者が入力装置8を操作し、入力装置8が受け付けた情報や操作は、制御ユニット6へ入力される。入力装置8には、検査装置2を操作するための少なくとも1つの方向操作具が設けられている。この方向操作具が受け付けた操作方向に、検査装置2の撮像位置を移動させることができる。入力装置8には、この方向操作具の他に、例えば、キーボードや、ボタン、レバーなどが含まれていてよい。
[Input device 8]
The input device 8 is electrically connected to the control unit 6 and inputs information and operations to the control unit 6. The operator operates the input device 8, and the information and operations received by the input device 8 are input to the control unit 6. The input device 8 is provided with at least one directional control tool for operating the inspection device 2. The imaging position of the inspection device 2 can be moved in the operation direction accepted by this directional control tool. The input device 8 may include, for example, a keyboard, buttons, levers, and the like, in addition to the directional control tool.

〔報知器9〕
報知器9は、制御ユニット6と電気的に接続されており、制御ユニット6から作業者へ向けて外観異常を報知するものである。報知器9は、ランプ、スピーカなどの公知の報知器のうち少なくとも1つであってよい。報知器9に代えて又は加えて、表示装置7が報知器9としての機能を併せ備えていてもよい。
[Notifier 9]
The alarm 9 is electrically connected to the control unit 6 and notifies the operator of the appearance abnormality from the control unit 6. The alarm 9 may be at least one of known alarms such as lamps and speakers. In place of or in addition to the alarm 9, the display device 7 may also have a function as the alarm 9.

〔制御ユニット6〕
制御ユニット6には、検査装置2(即ち、センサユニット3及びロボットアーム21)と、検査治具4と、表示装置7と、入力装置8と、報知器9とが電気的に接続されている。制御ユニット6は、いわゆるコンピュータであって、CPU等の演算処理部と、ROM、RAM等の記憶部を有している(いずれも図示略)。記憶部には、制御ユニット6が実行する制御プログラムや、各種固定データ等が記憶されている。演算処理部は、外部装置とデータの送受信を行う。また、演算処理部は、各種センサからの検出信号の入力や各制御対象への制御信号の出力を行う。制御ユニット6では、記憶部に記憶されたプログラム等のソフトウェアを演算処理部が読み出して実行することにより、外観検査システム1の各種動作を制御するための処理が行われる。なお、制御ユニット6は単一のコンピュータによる集中制御により各処理を実行してもよいし、複数のコンピュータの協働による分散制御により各処理を実行してもよい。また、制御ユニット6は、マイクロコントローラ、プログラマブルロジックコントローラ(PLC)等から構成されていてもよい。
[Control unit 6]
The control unit 6 is electrically connected to the inspection device 2 (that is, the sensor unit 3 and the robot arm 21), the inspection jig 4, the display device 7, the input device 8, and the alarm 9. .. The control unit 6 is a so-called computer, and has an arithmetic processing unit such as a CPU and a storage unit such as a ROM and a RAM (both are not shown). The storage unit stores a control program executed by the control unit 6, various fixed data, and the like. The arithmetic processing unit sends / receives data to / from an external device. In addition, the arithmetic processing unit inputs detection signals from various sensors and outputs control signals to each control target. In the control unit 6, the arithmetic processing unit reads and executes software such as a program stored in the storage unit, so that processing for controlling various operations of the visual inspection system 1 is performed. The control unit 6 may execute each process by centralized control by a single computer, or may execute each process by distributed control by cooperation of a plurality of computers. Further, the control unit 6 may be composed of a microcontroller, a programmable logic controller (PLC), or the like.

制御ユニット6は、機能ブロックとして、センサ制御装置61と、アーム制御装置62と、治具制御装置63と、画像処理装置64と、記憶装置65とを備えている。図2では、これらの機能ブロックが1つの制御ユニット6にまとめて示されているが、各機能ブロック又は複数の機能ブロックの組み合わせが独立した1以上のコンピュータによって実現されていてもよい The control unit 6 includes a sensor control device 61, an arm control device 62, a jig control device 63, an image processing device 64, and a storage device 65 as functional blocks. In FIG. 2, these functional blocks are collectively shown in one control unit 6, but each functional block or a combination of a plurality of functional blocks may be realized by one or more independent computers.

センサ制御装置61は、照射装置31に光を出射させ、これにタイミングを合わせて撮像装置32に撮像させるように、照射装置31及び撮像装置32の動作を制御する。また、センサ制御装置61は、ワークWの検査対象表面に対する光の照射角度が所定角度となるように、照射装置31の姿勢を調整し、撮像角度が照射角度と対応した角度となるように、撮像装置32の姿勢を調整する。更に、センサ制御装置61は、入力装置8が受け付けたマーキング操作に対応して、外観不良箇所がマーキングされるようにマーカー33を動作させる。 The sensor control device 61 controls the operation of the irradiation device 31 and the image pickup device 32 so that the irradiation device 31 emits light and the image pickup device 32 is made to take an image in time with the light. Further, the sensor control device 61 adjusts the posture of the irradiation device 31 so that the irradiation angle of light with respect to the inspection target surface of the work W becomes a predetermined angle, and the imaging angle becomes an angle corresponding to the irradiation angle. The posture of the image pickup device 32 is adjusted. Further, the sensor control device 61 operates the marker 33 so that the defective appearance portion is marked in response to the marking operation received by the input device 8.

アーム制御装置62は、記憶装置65に予め記憶されている走査軌道に沿ってセンサユニット3が移動するように、センサユニット3が装着されたロボットアーム21の手先部を変位させる。より詳細には、アーム制御装置62は、ロボットアーム21の手先部が変位するように、ロボットアーム21の各関節に設けられたアクチュエータの動作を制御する。なお、ロボットアーム21の手先部の変位には、位置の変位に加え、姿勢の変化も含まれる。 The arm control device 62 displaces the hand portion of the robot arm 21 to which the sensor unit 3 is mounted so that the sensor unit 3 moves along the scanning trajectory stored in advance in the storage device 65. More specifically, the arm control device 62 controls the operation of the actuator provided in each joint of the robot arm 21 so that the hand portion of the robot arm 21 is displaced. The displacement of the hand portion of the robot arm 21 includes a change in posture in addition to a displacement in position.

治具制御装置63は、図示されない搬入パレットに収容されたワークWを取り出して検査ステージへ搬入し、検査の間にわたりワークWを保持し、検査が終わればワークを検査ステージから搬出して図示されない搬出パレットへ収容するように、検査治具4の動作を制御する。より詳細には、治具制御装置63は、記憶装置65に予め記憶されている所定の動作シーケンスに基づいて、上記のワークWの搬入から搬出までの一連の動作と対応してワークWの保持具42が変位するように、ロボットアーム41の各関節に設けられたアクチュエータの動作を制御する。 The jig control device 63 takes out the work W housed in the carry-in pallet (not shown) and carries it into the inspection stage, holds the work W during the inspection, and when the inspection is completed, the work is taken out from the inspection stage and is not shown. The operation of the inspection jig 4 is controlled so as to be housed in the carry-out pallet. More specifically, the jig control device 63 holds the work W corresponding to the series of operations from loading to unloading of the work W based on a predetermined operation sequence stored in advance in the storage device 65. The operation of the actuator provided in each joint of the robot arm 41 is controlled so that the tool 42 is displaced.

検査装置2と検査治具4とが協動してワークWの外観検査作業を行うように、検査治具4の動作と検査装置2の動作とは同期されている。本実施形態では、検査中は、検査装置2が移動して検査治具4に保持されたワークWは固定されているが、検査装置2とワークWが共に移動したり、検査装置2が固定されてワークWが移動したりしてもよい。 The operation of the inspection jig 4 and the operation of the inspection device 2 are synchronized so that the inspection device 2 and the inspection jig 4 cooperate to perform the appearance inspection work of the work W. In the present embodiment, during the inspection, the inspection device 2 moves and the work W held by the inspection jig 4 is fixed, but the inspection device 2 and the work W move together or the inspection device 2 is fixed. The work W may be moved.

画像処理装置64は、撮像装置32から受け取った撮像データに対し、外観異常箇所を抽出可能なように画像処理を行い、処理画像から外観異常を抽出する。このような画像処理として、エッジ抽出のための微分処理、ノイズ除去のための平滑化処理、表面欠陥を孤立点として検出するための二値化処理などが挙げられる。ここで、「外観異常」とは、予め設定された正常な表面のデータと相違していたり、その周囲と比較して特異であったりすることを意味し、必ずしも外観不良とならない。抽出された外観異常は、後述する作業者による判定作業で「外観不良」であるか否かが判定される。 The image processing device 64 performs image processing on the image pickup data received from the image pickup device 32 so that the appearance abnormality portion can be extracted, and extracts the appearance abnormality from the processed image. Examples of such image processing include differential processing for edge extraction, smoothing processing for noise removal, binarization processing for detecting surface defects as isolated points, and the like. Here, the "appearance abnormality" means that the data is different from the preset normal surface data or is peculiar with respect to the surroundings thereof, and the appearance is not necessarily poor. It is determined whether or not the extracted appearance abnormality is "poor appearance" by the determination work by the operator described later.

記憶装置65は、外観検査に係る情報を記憶した記憶手段である。記憶装置65には、ワークWの識別情報と対応させて、検査情報が記憶されている。検査情報には、例えば、センサユニット3の走査軌道、抽出すべき外観不良の内容、外観不良の内容と対応した照射角度と撮像角度、撮像データに適用される画像処理の内容、検査治具4の動作などが含まれている。 The storage device 65 is a storage means for storing information related to the visual inspection. The storage device 65 stores inspection information in association with the identification information of the work W. The inspection information includes, for example, the scanning trajectory of the sensor unit 3, the content of the appearance defect to be extracted, the irradiation angle and the imaging angle corresponding to the content of the appearance defect, the content of the image processing applied to the imaging data, and the inspection jig 4. The operation of is included.

また、記憶装置65には、外観不良情報が記憶されている。外観不良情報には、例えば、ワークWの識別情報、外観不良の有無、外観不良箇所の位置、外観不良の内容などが含まれている。 In addition, appearance defect information is stored in the storage device 65. The appearance defect information includes, for example, identification information of the work W, presence / absence of appearance defect, position of appearance defect portion, content of appearance defect, and the like.

更に、記憶装置65には、異常情報が記憶されていてよい。異常情報には、例えば、ワークWの識別情報、外観異常の位置、外観異常が抽出された処理画像などが含まれる。 Further, the storage device 65 may store abnormal information. The abnormality information includes, for example, the identification information of the work W, the position of the appearance abnormality, the processed image from which the appearance abnormality is extracted, and the like.

〔外観検査方法〕
ここで、上記構成の外観検査システム1を用いた外観検査方法について説明する。図3は外観検査システム1による外観検査処理の流れ図である。
[Visual inspection method]
Here, a visual inspection method using the visual inspection system 1 having the above configuration will be described. FIG. 3 is a flow chart of the visual inspection process by the visual inspection system 1.

先ず、制御ユニット6は、検査情報を記憶装置65から読み出し(ステップS1)、検査情報と対応するワークWを検査ステージへ搬入するように、検査治具4を動作させる(ステップS2)。なお、ワークWが検査ステージに搬入されてから、このワークWに対応する検査情報が読み出されてもよい。 First, the control unit 6 reads out the inspection information from the storage device 65 (step S1), and operates the inspection jig 4 so as to carry the work W corresponding to the inspection information to the inspection stage (step S2). The inspection information corresponding to the work W may be read out after the work W is carried into the inspection stage.

制御ユニット6は、センサユニット3を次の撮像位置へ移動させるように、検査装置2(詳細には、ロボットアーム21)を動作させる(ステップS3)。なお、本実施形態では、ワークWの表面が複数の検査エリアに仮想的に分割され、各検査エリアについて検査を行うように、センサユニット3がワークWの表面を走査する。 The control unit 6 operates the inspection device 2 (specifically, the robot arm 21) so as to move the sensor unit 3 to the next imaging position (step S3). In the present embodiment, the surface of the work W is virtually divided into a plurality of inspection areas, and the sensor unit 3 scans the surface of the work W so as to inspect each inspection area.

制御ユニット6は、センサユニット3が撮像位置へ到達すると、ワークWへの照射と撮像とを行うようにセンサユニット3を動作させる(ステップS4)。制御ユニット6は、センサユニット3が生成した撮像データを取得する(ステップS5)。 When the sensor unit 3 reaches the imaging position, the control unit 6 operates the sensor unit 3 so as to irradiate the work W and perform imaging (step S4). The control unit 6 acquires the image pickup data generated by the sensor unit 3 (step S5).

制御ユニット6は、受け取った撮像データを画像処理する(ステップS6)。この画像処理において外観異常が抽出されなかった場合は(ステップS7でNO)、次の撮像位置が有れば(ステップS9でYES)ステップS3へ戻る。次の撮像位置が無ければ(ステップS9でNO)、制御ユニット6は、ワークWを検査ステージから搬出するように検査治具4を動作させ(ステップS10)、外観検査処理を終了する。 The control unit 6 performs image processing on the received image pickup data (step S6). If no appearance abnormality is extracted in this image processing (NO in step S7), and if there is a next imaging position (YES in step S9), the process returns to step S3. If there is no next imaging position (NO in step S9), the control unit 6 operates the inspection jig 4 so as to carry out the work W from the inspection stage (step S10), and ends the visual inspection process.

一方、画像処理によって外観異常が抽出された場合は(ステップS7でYES)、制御ユニット6は、異常確認処理を行う(ステップS8)。図4は外観検査システム1による異常確認処理の流れ図である。 On the other hand, when the appearance abnormality is extracted by the image processing (YES in step S7), the control unit 6 performs the abnormality confirmation processing (step S8). FIG. 4 is a flow chart of abnormality confirmation processing by the visual inspection system 1.

図4に示すように、異常確認処理(ステップS8)では、先ず、制御ユニット6は報知器9及び/又は表示装置7に外観異常の抽出を出力して、作業者に外観異常の抽出を報知する(ステップS11)。次いで、制御ユニット6は、表示装置7の出力表示を切り替える(ステップS12)。ここで、表示装置7には、外観異常が抽出された処理画像、その撮像データ、及び、その撮像データと対応する撮像位置で撮像装置32が撮像した画像のうち少なくとも1つが、作業者が視認可能に出力表示される。 As shown in FIG. 4, in the abnormality confirmation process (step S8), first, the control unit 6 outputs the extraction of the appearance abnormality to the alarm 9 and / or the display device 7, and notifies the operator of the extraction of the appearance abnormality. (Step S11). Next, the control unit 6 switches the output display of the display device 7 (step S12). Here, the display device 7 allows the operator to visually recognize at least one of the processed image from which the appearance abnormality is extracted, the image pickup data thereof, and the image captured by the image pickup device 32 at the image pickup position corresponding to the image pickup data. Output is displayed as possible.

続いて、制御ユニット6は、検査装置2の制御モードを自動モードから手動モードに切り替える(ステップS13)。 Subsequently, the control unit 6 switches the control mode of the inspection device 2 from the automatic mode to the manual mode (step S13).

作業者は、表示装置7に表示された処理画像等を視認して、処理画像から抽出された外観異常が外観不良であるか否かを判定し、入力装置8を介して判定結果を制御ユニット6へ入力する。なお、作業者は、外観異常が外観不良であるか否かを判定するに際し、入力装置8を利用して検査装置2を手動操作し、更なる判断材料を得ることができる。更なる判断材料とは、例えば、ワークWの外観異常が検出された箇所の画像、その画像をズームイン又はズームアウトした画像、その画像と撮影の角度(照射角度及び撮像角度)が変更された画像、その画像に別の画像処理を施した画像、などである。なお、画像には映像が含まれ得る。 The operator visually recognizes the processed image or the like displayed on the display device 7, determines whether or not the appearance abnormality extracted from the processed image is an appearance defect, and determines the determination result via the input device 8 in the control unit. Enter in 6. In addition, when determining whether or not the appearance abnormality is an appearance defect, the operator can manually operate the inspection device 2 by using the input device 8 to obtain further judgment material. Further judgment materials include, for example, an image of a portion where an appearance abnormality of the work W is detected, an image in which the image is zoomed in or out, and an image in which the image and the shooting angle (irradiation angle and imaging angle) are changed. , An image obtained by subjecting the image to another image processing, and the like. The image may include an image.

具体的には、制御ユニット6は、作業者による判定結果の入力が無く(ステップS14でNO)、且つ、入力装置8が作業者による検査装置2の手動操作を受け付けると(ステップS18でYES)、この手動操作を取得して、検査装置2に手動操作と対応するように動作させ、検査装置2で得られた撮像データ又はその画像処理後のデータを表示装置7に出力する(ステップS19)。 Specifically, when the control unit 6 has no input of the determination result by the operator (NO in step S14) and the input device 8 accepts the manual operation of the inspection device 2 by the operator (YES in step S18). , This manual operation is acquired, the inspection device 2 is operated so as to correspond to the manual operation, and the image pickup data obtained by the inspection device 2 or the data after image processing thereof is output to the display device 7 (step S19). ..

制御ユニット6は、作業者による判定結果の入力が有れば(ステップS14でYES)、外観不良情報を記憶装置65に記録する(ステップS15)。なお、外観不良情報は、画像処理で抽出された外観異常が外観不良でない場合(即ち、過剰判断であった場合)も記録されることが望ましい。記憶装置65に蓄積された外観不良情報は、画像処理で外観異常を抽出する画像処理装置64を学習させるために利用することができる。ここで、外観不良と判定された場合には、制御ユニット6は、外観不良箇所をマーキングするように、マーカー33を動作させてもよい。 If the operator inputs the determination result (YES in step S14), the control unit 6 records the appearance defect information in the storage device 65 (step S15). It is desirable that the appearance defect information is recorded even when the appearance abnormality extracted by the image processing is not the appearance defect (that is, when the judgment is excessive). The appearance defect information stored in the storage device 65 can be used to train the image processing device 64 that extracts the appearance abnormality by image processing. Here, if it is determined that the appearance is poor, the control unit 6 may operate the marker 33 so as to mark the poor appearance portion.

最後に、制御ユニット6は、検査装置2の制御モードを手動モードから自動モードに切り替えて(ステップS16)、異常確認処理を終了する。 Finally, the control unit 6 switches the control mode of the inspection device 2 from the manual mode to the automatic mode (step S16), and ends the abnormality confirmation process.

以上に説明したように、本実施形態の外観検査方法は、検査対象であるワークWを検査ステージに搬入するステップと、照射手段31と撮像手段32とを含む検査装置2を検査対象の所定の撮像位置へ当該検査対象に対し相対的に移動させるステップと、検査装置2で照射と撮像とを行い、撮像データを生成するステップと、撮像データをコンピュータ(即ち、制御ユニット6の画像処理装置64)で画像処理することにより外観異常を抽出するステップと、画像処理で外観異常が抽出されれば、異常確認処理を行うステップと、異常確認処理を終えた検査対象、又は、画像処理で外観異常が抽出されなかった検査対象を検査ステージから搬出するステップとを含んでいる。 As described above, in the visual inspection method of the present embodiment, the inspection device 2 including the step of bringing the work W to be inspected to the inspection stage and the irradiation means 31 and the image pickup means 32 is a predetermined inspection target. A step of moving the image relative to the image pickup position with respect to the inspection target, a step of performing irradiation and imaging by the inspection device 2 to generate image pickup data, and a step of generating the image pickup data by a computer (that is, an image processing device 64 of the control unit 6). ), The step of extracting the appearance abnormality by image processing, the step of performing the abnormality confirmation processing if the appearance abnormality is extracted by the image processing, the inspection target that has completed the abnormality confirmation processing, or the appearance abnormality by the image processing. Includes a step of removing the unextracted inspection target from the inspection stage.

そして、上記の異常確認処理が、作業者へ外観異常を報知することと、外観異常が抽出された処理画像、その撮像データ、及び、その撮像データと対応する撮像位置で撮像手段32が撮像した画像のうち少なくとも1つを作業者が視認可能に出力表示することと、抽出された外観異常が外観不良か否かの作業者の判定を受け付けて、その判定を検査対象の識別情報と関連付けられた外観不良情報として記憶装置65に記憶することとを含むことを特徴としている。 Then, the above-mentioned abnormality confirmation process notifies the operator of the appearance abnormality, and the image pickup means 32 takes an image at the processed image from which the appearance abnormality is extracted, the image pickup data thereof, and the image pickup position corresponding to the image pickup data. At least one of the images is output and displayed so that the operator can see it, and the operator's judgment as to whether or not the extracted appearance abnormality is poor appearance is accepted, and the judgment is associated with the identification information of the inspection target. It is characterized in that it includes storage in the storage device 65 as appearance defect information.

上記の外観検査方法では、抽出された外観異常が外観不良であるか否かの最終的な判断は作業者によって行われる。よって、従来の作業者の目視による外観検査と同等の精度を維持することができる。また、従来の画像処理のみで外観不良が判定される場合と比較して、画像処理による外観異常の抽出のための閾値を下げることができ、外観不良の見逃しを回避することができる。 In the above-mentioned visual inspection method, the final determination as to whether or not the extracted appearance abnormality is a poor appearance is made by the operator. Therefore, it is possible to maintain the same accuracy as the conventional visual inspection by the operator. Further, as compared with the case where the appearance defect is determined only by the conventional image processing, the threshold value for extracting the appearance abnormality by the image processing can be lowered, and it is possible to avoid overlooking the appearance defect.

また、上記の外観検査方法では、画像処理で外観異常が抽出された場合にのみ、検査工程に作業者が介入する。従って、作業者が処理画像を逐次確認する必要はなく、従来の作業者が目視で外観検査を行う場合と比較して、作業者の負担が軽減される。 Further, in the above-mentioned visual inspection method, the operator intervenes in the inspection process only when the appearance abnormality is extracted by the image processing. Therefore, it is not necessary for the worker to check the processed images one by one, and the burden on the worker is reduced as compared with the case where the conventional worker visually inspects the appearance.

また、上記の外観検査方法では、作業者は、外観異常の報知により異常確認処理が行われることを知ることができ、異常確認処理においてのみその検査工程に携わればよい。そのため、一人の作業者は、複数の検査工程を掛け持ちで監視することが可能となる。その結果、ワークWの外観検査を効率化することができる。 Further, in the above-mentioned visual inspection method, the operator can know that the abnormality confirmation process is performed by notifying the appearance abnormality, and may be involved in the inspection process only in the abnormality confirmation process. Therefore, one worker can carry out and monitor a plurality of inspection processes. As a result, the visual inspection of the work W can be made more efficient.

また、本実施形態の外観検査方法において、異常確認処理が、検査装置2を作業者の手動操作に対応して動作する手動モードに切り替えることと、作業者の判定を受け付けた後で、検査装置2を予め記憶されたプログラムに則って動作する自動モードに切り替えることとを、更に含んでいる。 Further, in the visual inspection method of the present embodiment, after the abnormality confirmation process switches the inspection device 2 to the manual mode that operates in response to the manual operation of the worker and accepts the judgment of the worker, the inspection device It further includes switching 2 to an automatic mode that operates according to a pre-stored program.

このように、異常確認処理において検査装置2は手動モードに切り替えられる。よって、作業者は、検査装置2を手動操作して、抽出された外観異常が外観不良であるか否かの判定を行うための追加の判断材料(情報)を得ることができる。作業者は追加の判断材料を得て、より正確に外観不良の判定を行うことができる。 In this way, the inspection device 2 is switched to the manual mode in the abnormality confirmation process. Therefore, the operator can manually operate the inspection device 2 to obtain additional determination material (information) for determining whether or not the extracted appearance abnormality is an appearance defect. The operator can obtain additional judgment material and more accurately judge the appearance defect.

また、本実施形態の外観検査方法において、異常確認処理が、抽出された外観異常が外観不良であれば、検査対象の外観不良箇所にマーキングすることを更に含んでいる。 Further, in the appearance inspection method of the present embodiment, the abnormality confirmation process further includes marking the portion of the appearance defect to be inspected if the extracted appearance abnormality is the appearance defect.

このように、検査対象の外観不良箇所がマーキングされることにより、外観不良箇所の修繕作業が容易となる。 By marking the defective appearance portion to be inspected in this way, the repair work of the defective appearance portion becomes easy.

〔第2実施形態〕
次に、本発明の第2実施形態を説明する。第2実施形態に係る外観検査システム1では、上記第1実施形態に係る外観検査システム1と構成は実質的に同じであり、外観検査方法が異なる。そこで、本実施形態の説明では、外観検査方法について説明し、外観検査システム1の構成に係る説明を省略する。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. The visual inspection system 1 according to the second embodiment has substantially the same configuration as the visual inspection system 1 according to the first embodiment, and the visual inspection method is different. Therefore, in the description of the present embodiment, the visual inspection method will be described, and the description relating to the configuration of the visual inspection system 1 will be omitted.

〔外観検査方法〕
ここで、上記構成の外観検査システム1を用いた外観検査方法について図5を用いて説明する。図5は外観検査システム1による第2実施形態に係る外観検査処理の流れ図である。
[Visual inspection method]
Here, a visual inspection method using the visual inspection system 1 having the above configuration will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a flow chart of the visual inspection process according to the second embodiment by the visual inspection system 1.

先ず、制御ユニット6は、検査情報を記憶装置65から読み出す(ステップS31)。制御ユニット6は、検査情報と対応するワークWを検査ステージへ搬入するように、検査治具4を動作させる(ステップS32)。なお、ワークWが検査ステージに搬入されてから、このワークWに対応する検査情報が読み出されてもよい。 First, the control unit 6 reads out the inspection information from the storage device 65 (step S31). The control unit 6 operates the inspection jig 4 so as to carry the work W corresponding to the inspection information to the inspection stage (step S32). The inspection information corresponding to the work W may be read out after the work W is carried into the inspection stage.

制御ユニット6は、センサユニット3を次の撮像位置へ移動させるように、検査装置2(詳細には、ロボットアーム21)を動作させる(ステップS33)。 The control unit 6 operates the inspection device 2 (specifically, the robot arm 21) so as to move the sensor unit 3 to the next imaging position (step S33).

制御ユニット6は、センサユニット3が撮像位置へ到達すると、ワークWへの照射と撮像とを行うようにセンサユニット3を動作させる(ステップS34)。制御ユニット6は、センサユニット3が生成した撮像データを取得する(ステップS35)。 When the sensor unit 3 reaches the imaging position, the control unit 6 operates the sensor unit 3 so as to irradiate the work W and perform imaging (step S34). The control unit 6 acquires the image pickup data generated by the sensor unit 3 (step S35).

制御ユニット6は、受け取った撮像データを画像処理する(ステップS36)。この画像処理によって外観異常が抽出された場合は(ステップS37でYES)、制御ユニット6は、異常情報を記憶装置65に記録する(ステップS38)。 The control unit 6 performs image processing on the received image pickup data (step S36). When the appearance abnormality is extracted by this image processing (YES in step S37), the control unit 6 records the abnormality information in the storage device 65 (step S38).

異常情報を記録したあと、或いは、外観異常が抽出されなかった場合は(ステップS37でNO)、制御ユニット6は、次の撮像位置が有れば(ステップS39でYES)ステップS33へ戻る。一方、次の撮像位置が無ければ(ステップS39でNO)、制御ユニット6は、このワークWに関して少なくとも1つの異常情報の記録が有るか否かを判断する。制御ユニット6は、このワークWに関して異常情報が無ければ(ステップS40でNO)、ワークWを検査ステージから搬出するように検査治具4を動作させ(ステップS42)、外観検査処理を終了する。 After recording the abnormality information, or when the appearance abnormality is not extracted (NO in step S37), the control unit 6 returns to step S33 if there is a next imaging position (YES in step S39). On the other hand, if there is no next imaging position (NO in step S39), the control unit 6 determines whether or not at least one abnormality information is recorded for this work W. If there is no abnormality information regarding the work W (NO in step S40), the control unit 6 operates the inspection jig 4 so as to carry out the work W from the inspection stage (step S42), and ends the visual inspection process.

一方、制御ユニット6は、このワークWに関して少なくとも1つの異常情報の記録が有れば(ステップS40でYES)、異常確認処理を行う(ステップS41)。図6は外観検査システム1による第2実施形態に係る異常確認処理の流れ図である。 On the other hand, if the control unit 6 has at least one record of abnormality information regarding the work W (YES in step S40), the control unit 6 performs an abnormality confirmation process (step S41). FIG. 6 is a flow chart of the abnormality confirmation process according to the second embodiment by the visual inspection system 1.

図6に示すように、異常確認処理(ステップS41)では、先ず、制御ユニット6は報知器9及び/又は表示装置7に異常の抽出を出力して、作業者に異常の抽出を報知する(ステップS51)。次いで、制御ユニット6は、記憶装置65に記録された異常情報を読み出す(ステップS52)。 As shown in FIG. 6, in the abnormality confirmation process (step S41), first, the control unit 6 outputs an abnormality extraction to the alarm 9 and / or the display device 7 to notify the operator of the abnormality extraction (step S41). Step S51). Next, the control unit 6 reads out the abnormality information recorded in the storage device 65 (step S52).

制御ユニット6は、読み出した異常情報のうち初めの異常情報に関し、外観異常が抽出された処理画像と対応する撮像位置へセンサユニット3が移動するように、ロボットアーム21を動作させる(ステップS53)。更に、制御ユニット6は、表示装置7の出力表示を切り替える(ステップS54)。ここで、表示装置7には、外観異常が抽出された処理画像、その撮像データ、及び、その撮像データと対応する撮像位置で撮像装置32が撮像した画像のうち少なくとも1つが、作業者が視認可能に出力表示される。 The control unit 6 operates the robot arm 21 so that the sensor unit 3 moves to the image pickup position corresponding to the processed image from which the appearance abnormality is extracted with respect to the first abnormality information among the read abnormality information (step S53). .. Further, the control unit 6 switches the output display of the display device 7 (step S54). Here, the display device 7 allows the operator to visually recognize at least one of the processed image from which the appearance abnormality is extracted, the image pickup data thereof, and the image captured by the image pickup device 32 at the image pickup position corresponding to the image pickup data. Output is displayed as possible.

続いて、制御ユニット6は、検査装置2の制御モードを自動モードから手動モードに切り替える(ステップS55)。 Subsequently, the control unit 6 switches the control mode of the inspection device 2 from the automatic mode to the manual mode (step S55).

作業者は、表示装置7に表示された処理画像等を視認して、処理画像から抽出された外観異常が外観不良であるか否かを判定し、入力装置8を介して判定結果を制御ユニット6へ入力する。なお、作業者は、外観異常が外観不良であるか否かを判定するに際し、入力装置8を利用して検査装置2を手動操作し、更なる判断材料を得ることができる。更なる判断材料とは、例えば、ワークWの外観異常が検出された箇所の画像、その画像をズームイン又はズームアウトした画像、その画像と撮影の角度(照射角度及び撮像角度)が変更された画像、その画像に別の画像処理を施した画像、などである。なお、画像には映像が含まれ得る。 The operator visually recognizes the processed image or the like displayed on the display device 7, determines whether or not the appearance abnormality extracted from the processed image is an appearance defect, and determines the determination result via the input device 8 in the control unit. Enter in 6. In addition, when determining whether or not the appearance abnormality is an appearance defect, the operator can manually operate the inspection device 2 by using the input device 8 to obtain further judgment material. Further judgment materials include, for example, an image of a portion where an appearance abnormality of the work W is detected, an image in which the image is zoomed in or out, and an image in which the image and the shooting angle (irradiation angle and imaging angle) are changed. , An image obtained by subjecting the image to another image processing, and the like. The image may include an image.

具体的には、制御ユニット6は、作業者による判定結果の入力が無く(ステップS56でNO)、且つ、入力装置8が作業者による検査装置2の手動操作を受け付けると(ステップS61でYES)、この手動操作を取得して、検査装置2に手動操作と対応するように動作させ、検査装置2で得られた撮像データ又はその画像処理後のデータを表示装置7に出力する(ステップS62)。 Specifically, when the control unit 6 has no input of the determination result by the operator (NO in step S56) and the input device 8 accepts the manual operation of the inspection device 2 by the operator (YES in step S61). , This manual operation is acquired, the inspection device 2 is operated so as to correspond to the manual operation, and the image pickup data obtained by the inspection device 2 or the data after image processing thereof is output to the display device 7 (step S62). ..

制御ユニット6は、作業者による判定結果の入力が有ると(ステップS56でYES)、外観不良情報を記憶装置65に記録する(ステップS57)。外観不良情報は、画像処理で抽出された外観異常が外観不良でない場合(即ち、過剰判断であった場合)も記録されることが望ましい。ここで、外観不良と判定された場合には、制御ユニット6は、外観不良箇所をマーキングするように、マーカー33を動作させる。 When the control unit 6 has input of the determination result by the operator (YES in step S56), the control unit 6 records the appearance defect information in the storage device 65 (step S57). It is desirable that the appearance defect information is recorded even when the appearance abnormality extracted by the image processing is not the appearance defect (that is, when the judgment is excessive). Here, when it is determined that the appearance is poor, the control unit 6 operates the marker 33 so as to mark the poor appearance portion.

制御ユニット6は、検査装置2の制御モードを手動モードから自動モードに切り替える(ステップS58)。制御ユニット6は、読み出した異所情報に次の外観異常箇所があるかどうかを判断し、次の外観異常箇所があれば(ステップS59でYES)、ステップS53に戻って処理を繰り返す。一方、次の外観異常箇所が無ければ(ステップS59でNO)、異常確認処理を終了する。 The control unit 6 switches the control mode of the inspection device 2 from the manual mode to the automatic mode (step S58). The control unit 6 determines whether or not there is the next appearance abnormality portion in the read out place abnormality information, and if there is the next appearance abnormality portion (YES in step S59), the control unit 6 returns to step S53 and repeats the process. On the other hand, if there is no next appearance abnormality (NO in step S59), the abnormality confirmation process ends.

以上に説明したように、前述の第1実施形態に係る外観検査方法では、検査装置2を、複数の撮像位置を繋いだ所定の走査軌道に沿って走査させながら、各撮像位置で撮像データの生成、外観異常の抽出、及び、抽出された外観異常が外観不良か否かの判定を行う。これに対し、第2実施形態に係る外観検査方法では、検査装置2を、複数の撮像位置を繋いだ所定の走査軌道に沿って走査させながら、各撮像位置で撮像データの生成及び外観異常の抽出を行い、走査軌道の走査を終えてから、抽出された外観異常が外観不良か否かの判定を行う。1つのワークWに対し外観異常が数箇所程度に収まる場合には、後者の方が作業者の拘束時間が短くなり、作業者の負担が軽減され、より効率的な検査作業を行うことができる。 As described above, in the visual inspection method according to the first embodiment described above, the inspection device 2 is scanned along a predetermined scanning trajectory connecting a plurality of imaging positions, and the imaging data is captured at each imaging position. Generation, extraction of appearance abnormality, and determination of whether or not the extracted appearance abnormality is poor appearance are performed. On the other hand, in the visual inspection method according to the second embodiment, while scanning the inspection device 2 along a predetermined scanning trajectory connecting a plurality of imaging positions, image pickup data is generated at each imaging position and appearance abnormality occurs. After the extraction is performed and the scanning of the scanning trajectory is completed, it is determined whether or not the extracted appearance abnormality is an appearance defect. When the appearance abnormality is contained in several places for one work W, the latter has a shorter restraint time for the worker, reduces the burden on the worker, and enables more efficient inspection work. ..

以上に本発明の好適な実施の形態を説明した。上記の説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施形態が明らかである。従って、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び/又は機能の詳細を実質的に変更できる。 The preferred embodiment of the present invention has been described above. From the above description, many improvements and other embodiments of the present invention will be apparent to those skilled in the art. Therefore, the above description should be construed as an example only and is provided for the purpose of teaching those skilled in the art the best aspects of carrying out the present invention. The details of its structure and / or function can be substantially changed without departing from the spirit of the present invention.

1 :外観検査システム
2 :検査装置
3 :センサユニット
4 :検査治具
6 :制御ユニット
7 :表示装置
8 :入力装置
9 :報知器
21 :ロボットアーム
31 :照射装置(照射手段)
32 :撮像装置(撮像手段)
33 :マーカー
41 :ロボットアーム
42 :保持具
61 :センサ制御装置
62 :アーム制御装置
63 :治具制御装置
64 :画像処理装置
65 :記憶装置
W :ワーク
1: Visual inspection system 2: Inspection device 3: Sensor unit 4: Inspection jig 6: Control unit 7: Display device 8: Input device 9: Alarm 21: Robot arm 31: Irradiation device (irradiation means)
32: Imaging device (imaging means)
33: Marker 41: Robot arm 42: Holder 61: Sensor control device 62: Arm control device 63: Jig control device 64: Image processing device 65: Storage device W: Work

本開示の一態様に係る外観検査方法は、
検査対象を保持する保持具及び前記保持具を移動させる第1ロボットアームを備える検査治具が、前記検査対象を検査ステージに搬入するステップと、
照射手段と撮像手段とを含むセンサユニット及び前記センサユニットを移動させる第2ロボットアームを備える検査装置と前記検査治具とのうち少なくとも一方が、前記センサユニットを前記検査対象の所定の撮像位置へ当該検査対象に対し相対的に移動させるステップと、
前記検査装置が、前記検査対象に対して照射と撮像とを行い、前記検査対象の撮像データを生成するステップと、
コンピュータが、前記撮像データをコンピュータ取得して画像処理することにより前記検査対象の外観異常を抽出するステップと、
前記画像処理で外観異常が抽出されれば、前記コンピュータが異常確認処理を行うステップと、
前記検査治具が、前記異常確認処理を終えた前記検査対象、又は、前記画像処理で外観異常が抽出されなかった前記検査対象を前記検査ステージから搬出するステップとを含んでいる。
そして、前記異常確認処理が、
作業者へ外観異常を報知すること
外観異常が抽出された処理画像、その撮像データ、及び、その撮像データと対応する撮像位置で前記撮像手段が撮像した画像のうち少なくとも1つを前記作業者が視認可能に出力表示すること
前記検査装置の制御モードを前記作業者の手動操作に対応して動作する手動モードに切り替え、前記検査装置が前記手動操作に対応して動作することにより生成された更なる撮像データを取得すること、
前記更なる撮像データに基づいた更なる判断材料を前記作業者が視認可能に出力表示すること、
抽出された外観異常が外観不良か否かの前記作業者の判定の入力を受け付けて、その判定を前記検査対象の識別情報と関連付けられた外観不良情報として記憶装置に記憶すること、及び、
前記作業者の判定を受け付けた後で、前記検査装置の制御モードを予め記憶されたプログラムに則って動作する自動モードに切り替えることを含んでいる。
また、本開示の一態様に係る外観検査システムは、
検査対象を保持する保持具、及び、前記保持具を移動させる第1ロボットアームを含む検査治具と、
照射手段と撮像手段とを含むセンサユニット、及び、予め記憶されたプログラムに従って動作する自動モードと作業者の操作に対応して動作する手動モードとの複数の制御モードを有し前記センサユニットを移動させる第2ロボットアームを含む検査装置と、
表示装置と、
報知器と、
前記検査治具、前記検査装置、前記表示装置、及び前記報知機と電気的に接続された制御ユニットと、を備え、
前記制御ユニットは、
前記検査対象を検査ステージに搬入させるように前記検査治具を動作させ、
前記センサユニットを前記検査対象の所定の撮像位置へ当該検査対象に対し相対的に移動させるように前記検査治具及び前記検査装置のうち少なくとも一方を動作させ、
前記検査対象に対して照射と撮像とを行って撮像データを生成するように前記検査装置を前記自動モードで動作させ、
前記撮像データを画像処理することにより前記検査対象の外観異常を抽出し、
外観異常が抽出されれば異常確認処理を行い、
前記異常確認処理を終えた前記検査対象、又は、前記画像処理で外観異常が抽出されなかった前記検査対象を前記検査ステージから搬出するように前記検査治具を動作させるように構成されている。
そして、前記異常確認処理が、
外観異常を前記報知器に報知させること、
外観異常が抽出された処理画像、その撮像データ、及び、その撮像データと対応する撮像位置で前記撮像手段が撮像した画像のうち少なくとも1つを前記表示装置に表示させること、
前記検査装置の制御モードを前記手動モードに切り替え、作業者の操作に対応して前記センサユニットの移動と撮像とを行って更なる撮像データを生成するように前記検査装置を動作させること、
前記更なる撮像データを取得し、前記更なる撮像データに基づいた更なる判断材料を前記表示装置に出力表示すること、
抽出された外観異常が外観不良か否かの前記作業者の判定の入力を受け付けて、その判定を前記検査対象の識別情報と関連付けられた外観不良情報として記憶すること、及び、
前記作業者の判定を受け付けた後で、前記検査装置の制御モードを前記自動モードに切り替えること、を含む。
前記更なる判断材料は、前記外観異常が検出された箇所の第1撮像画像、前記第1撮像画像をズームイン及び/又はズームアウトした画像、当該第1撮像画像と撮影の角度が変更された第2撮像画像、及び、前記第1撮像画像に画像処理を施した画像のうち少なくとも1つを含んでいてよい。
The visual inspection method according to one aspect of the present disclosure is
A step in which an inspection jig including a holder for holding the inspection target and a first robot arm for moving the holder brings the inspection target to the inspection stage, and
At least one of the inspection device and the inspection jig including the sensor unit including the irradiation means and the image pickup means and the second robot arm for moving the sensor unit moves the sensor unit to a predetermined image pickup position to be inspected. Steps to move relative to the inspection target and
A step of said inspection apparatus performs irradiation morphism and the imaging with respect to the inspection object to generate the imaging data of said object,
A step of the computer extracts the abnormal appearance of the test object by processing images of the imaging data to the computer acquisition,
If an appearance abnormality is extracted by the image processing, the step of the computer performing the abnormality confirmation processing and
The inspection jig includes a step of carrying out the inspection target for which the abnormality confirmation processing has been completed, or the inspection target for which the appearance abnormality has not been extracted by the image processing, from the inspection stage.
Then, the abnormality confirmation process is performed.
Notifying workers of appearance abnormalities ,
The operator can visually output and display at least one of the processed image from which the appearance abnormality is extracted, the image pickup data thereof, and the image captured by the image pickup means at the image pickup position corresponding to the image pickup data .
Switching the control mode of the inspection device to a manual mode that operates in response to the manual operation of the operator, and acquiring further imaging data generated by the inspection device operating in response to the manual operation. ,
The operator can visually output and display further judgment material based on the further imaging data.
Accepting the input of the operator's judgment as to whether or not the extracted appearance abnormality is the appearance defect , and storing the judgment as the appearance defect information associated with the identification information of the inspection target in the storage device, and
After accepting the judgment of the operator, and a this switch to automatic mode of operation in accordance with the previously stored program control mode of the test devices.
In addition, the visual inspection system according to one aspect of the present disclosure is
An inspection jig including a holder for holding the inspection target and a first robot arm for moving the holder, and an inspection jig.
The sensor unit is moved by having a sensor unit including an irradiation means and an image pickup means, and a plurality of control modes of an automatic mode that operates according to a pre-stored program and a manual mode that operates in response to an operator's operation. An inspection device including a second robot arm to be made to
Display device and
With the alarm
The inspection jig, the inspection device, the display device, and a control unit electrically connected to the alarm are provided.
The control unit is
The inspection jig is operated so that the inspection target is carried into the inspection stage, and the inspection jig is operated.
At least one of the inspection jig and the inspection device is operated so as to move the sensor unit to a predetermined imaging position of the inspection target relative to the inspection target.
The inspection device is operated in the automatic mode so as to generate imaging data by irradiating and imaging the inspection target.
By image processing the imaged data, the appearance abnormality of the inspection target is extracted.
If an appearance abnormality is extracted, an abnormality confirmation process is performed.
The inspection jig is configured to operate so that the inspection target that has completed the abnormality confirmation processing or the inspection target for which the appearance abnormality has not been extracted by the image processing is carried out from the inspection stage.
Then, the abnormality confirmation process is performed.
Notifying the alarm of an appearance abnormality,
Displaying at least one of the processed image from which the appearance abnormality is extracted, the image pickup data thereof, and the image captured by the image pickup means at the image pickup position corresponding to the image pickup data on the display device.
Switching the control mode of the inspection device to the manual mode, and operating the inspection device so as to move and image the sensor unit in response to the operation of the operator to generate further imaging data.
To acquire the further imaging data and output and display the further judgment material based on the further imaging data on the display device.
Accepting the input of the operator's judgment as to whether or not the extracted appearance abnormality is the appearance defect, and storing the judgment as the appearance defect information associated with the identification information of the inspection target, and
After accepting the determination of the worker, the control mode of the inspection device is switched to the automatic mode.
The further determination material includes a first captured image of a portion where the appearance abnormality is detected, an image in which the first captured image is zoomed in and / or zoomed out, and a first image in which the angle between the first captured image and the shooting is changed. 2 The captured image and at least one of the images obtained by subjecting the first captured image to image processing may be included.

Claims (5)

検査対象を検査ステージに搬入するステップと、
照射手段と撮像手段とを含む検査装置を前記検査対象の所定の撮像位置へ当該検査対象に対し相対的に移動させるステップと、
前記検査装置で照射と撮像とを行い、撮像データを生成するステップと、
前記撮像データをコンピュータで画像処理することにより外観異常を抽出するステップと、
前記画像処理で外観異常が抽出されれば、異常確認処理を行うステップと、
前記異常確認処理を終えた前記検査対象、又は、前記画像処理で外観異常が抽出されなかった前記検査対象を前記検査ステージから搬出するステップとを含み、
前記異常確認処理が、
作業者へ外観異常を報知することと、
外観異常が抽出された処理画像、その撮像データ、及び、その撮像データと対応する撮像位置で前記撮像手段が撮像した画像のうち少なくとも1つを前記作業者が視認可能に出力表示することと、
抽出された外観異常が外観不良か否かの前記作業者の判定を受け付けて、その判定を前記検査対象の識別情報と関連付けられた外観不良情報として記憶装置に記憶することとを含む、
外観検査方法。
The step of bringing the inspection target to the inspection stage and
A step of moving an inspection device including an irradiation means and an imaging means to a predetermined imaging position of the inspection target relative to the inspection target, and
The step of performing irradiation and imaging with the inspection device and generating imaging data,
A step of extracting an appearance abnormality by image processing the imaged data with a computer,
If an appearance abnormality is extracted by the image processing, the step of performing the abnormality confirmation processing and
Including the step of carrying out the inspection target for which the abnormality confirmation processing has been completed or the inspection target for which the appearance abnormality has not been extracted by the image processing from the inspection stage.
The abnormality confirmation process
Notifying the worker of the appearance abnormality and
The operator can visually output and display at least one of the processed image from which the appearance abnormality is extracted, the image pickup data thereof, and the image captured by the image pickup means at the image pickup position corresponding to the image pickup data.
The present invention includes accepting a determination by the operator as to whether or not the extracted appearance abnormality is an appearance defect, and storing the determination in a storage device as appearance defect information associated with the identification information of the inspection target.
Visual inspection method.
前記異常確認処理が、
前記検査装置を前記作業者の手動操作に対応して動作する手動モードに切り替えることと、
前記作業者の判定を受け付けた後で、前記検査装置を予め記憶されたプログラムに則って動作する自動モードに切り替えることとを、更に含む、
請求項1に記載の外観検査方法。
The abnormality confirmation process
Switching the inspection device to a manual mode that operates in response to the manual operation of the operator,
Further including switching the inspection device to an automatic mode that operates according to a program stored in advance after receiving the determination of the worker.
The visual inspection method according to claim 1.
前記異常確認処理が、
抽出された外観異常が外観不良であれば、前記検査対象の外観不良箇所にマーキングすることを更に含む、
請求項1又は2に記載の外観検査方法。
The abnormality confirmation process
If the extracted appearance abnormality is poor appearance, further including marking the defective appearance portion to be inspected.
The visual inspection method according to claim 1 or 2.
前記検査装置を、複数の撮像位置を繋いだ所定の走査軌道に沿って走査させながら、各撮像位置で撮像データの生成、外観異常の抽出、及び、抽出された外観異常が外観不良か否かの判定を行う、
請求項1に記載の外観検査方法。
While scanning the inspection device along a predetermined scanning trajectory connecting a plurality of imaging positions, generation of imaging data, extraction of appearance abnormalities, and whether or not the extracted appearance abnormalities are poor appearances at each imaging position. Judgment,
The visual inspection method according to claim 1.
前記検査装置を、複数の撮像位置を繋いだ所定の走査軌道に沿って走査させながら、各撮像位置で撮像データの生成及び外観異常の抽出を行い、前記走査軌道の走査を終えてから、抽出された外観異常が外観不良か否かの判定を行う、
請求項1に記載の外観検査方法。
While scanning the inspection device along a predetermined scanning trajectory connecting a plurality of imaging positions, imaging data is generated and appearance abnormalities are extracted at each imaging position, and after scanning of the scanning trajectory is completed, extraction is performed. Judging whether or not the appearance abnormality is a poor appearance,
The visual inspection method according to claim 1.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7077807B2 (en) * 2018-06-12 2022-05-31 オムロン株式会社 Image inspection system and its control method
JP7257750B2 (en) * 2018-07-25 2023-04-14 シーシーエス株式会社 Support device for optical inspection system
KR102206753B1 (en) 2019-01-24 2021-01-22 주식회사 수아랩 Defect inspection apparatus
JP7304756B2 (en) * 2019-07-08 2023-07-07 三菱重工業株式会社 crimp terminal inspection device and method
JP6653929B1 (en) * 2019-07-18 2020-02-26 Jeインターナショナル株式会社 Automatic determination processing device, automatic determination processing method, inspection system, program, and recording medium
CN112444519B (en) * 2019-08-30 2022-07-15 比亚迪股份有限公司 Vehicle fault detection device and method
JP7239507B2 (en) * 2020-01-30 2023-03-14 株式会社日立製作所 ALERT OUTPUT TIMING CONTROL DEVICE, ALERT OUTPUT TIMING CONTROL METHOD, ALERT OUTPUT TIMING CONTROL PROGRAM
JP7029201B1 (en) 2021-02-04 2022-03-03 コネクテッドロボティクス株式会社 Object inspection equipment, inspection programs, and systems
CN113378810B (en) * 2021-04-28 2022-04-15 合肥联宝信息技术有限公司 Screw locking detection method, device, equipment and readable storage medium

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002031605A (en) * 2000-07-13 2002-01-31 Hitachi Ltd Defect-confirming apparatus and automatic visual inspection apparatus
JP2004198265A (en) * 2002-12-18 2004-07-15 Dainippon Printing Co Ltd Visual inspection/selection method of processed product, and visual inspection/selection system of processed product
JP2013024666A (en) * 2011-07-20 2013-02-04 Panasonic Corp Defect detection method and defect detection device
JP2013228232A (en) * 2012-04-24 2013-11-07 Asahi Glass Co Ltd Substrate appearance inspection method
JP2014126494A (en) * 2012-12-27 2014-07-07 Seiko Epson Corp Inspection support device, inspection support method, robot system, control device, robot and program
JP2015055631A (en) * 2013-09-12 2015-03-23 ヒ ハン、ドン Inspection device of display panel
JP2016072335A (en) * 2014-09-29 2016-05-09 株式会社Screenホールディングス Process monitoring device and process monitoring method

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08178858A (en) * 1994-12-26 1996-07-12 Nec Corp Through hole inspection device
JP2000051939A (en) * 1998-08-06 2000-02-22 Nkk Corp Defect marking system to thin steel sheet
JP2006058170A (en) * 2004-08-20 2006-03-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Visual confirmation device and inspection system
JP4653500B2 (en) * 2005-01-18 2011-03-16 オリンパス株式会社 Coordinate detection apparatus and subject inspection apparatus
JP4020144B2 (en) * 2006-03-10 2007-12-12 オムロン株式会社 Inspection method of surface condition
JP2008051781A (en) * 2006-08-28 2008-03-06 I-Pulse Co Ltd Visual examination method of substrate and visual examination device of substrate
WO2008026562A1 (en) * 2006-08-28 2008-03-06 I-Pulse Kabushiki Kaisha Board appearance inspection method and device
US9196031B2 (en) * 2012-01-17 2015-11-24 SCREEN Holdings Co., Ltd. Appearance inspection apparatus and method

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002031605A (en) * 2000-07-13 2002-01-31 Hitachi Ltd Defect-confirming apparatus and automatic visual inspection apparatus
JP2004198265A (en) * 2002-12-18 2004-07-15 Dainippon Printing Co Ltd Visual inspection/selection method of processed product, and visual inspection/selection system of processed product
JP2013024666A (en) * 2011-07-20 2013-02-04 Panasonic Corp Defect detection method and defect detection device
JP2013228232A (en) * 2012-04-24 2013-11-07 Asahi Glass Co Ltd Substrate appearance inspection method
JP2014126494A (en) * 2012-12-27 2014-07-07 Seiko Epson Corp Inspection support device, inspection support method, robot system, control device, robot and program
JP2015055631A (en) * 2013-09-12 2015-03-23 ヒ ハン、ドン Inspection device of display panel
JP2016072335A (en) * 2014-09-29 2016-05-09 株式会社Screenホールディングス Process monitoring device and process monitoring method

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