JP2021174597A

JP2021174597A - イオン分析方法、イオン分析装置、及びイオン分析装置用プログラム

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Publication number: JP2021174597A
Application number: JP2020075281A
Authority: JP
Inventors: 孝輔細井; Kosuke Hosoi
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2020-04-21
Filing date: 2020-04-21
Publication date: 2021-11-01
Anticipated expiration: 2040-04-21
Also published as: JP7342776B2

Abstract

【課題】試料に対して適切な大きさのラスター測定領域を簡便に設定することができるイオン分析技術を提供する。【解決手段】試料１１３にレーザ光を照射してイオンを生成し分析するイオン分析装置１において、試料１１３の光学画像を取得する画像取得部４２１と、表示部５１と、試料１１３に対してレーザ光を照射する複数の測定点６２を配置する領域を設定する入力を受け付ける測定領域入力受付部４２２と、領域を試料１１３の光学画像に重畳させて表示部５１に表示する表示処理部４２３とを備える。【選択図】図１

Description

本発明は、イオン分析方法、イオン分析装置、及びイオン分析装置用プログラムに関する。

質量分析装置において用いられる試料のイオン化法の一つにマトリックス支援レーザ脱離イオン化（MALDI: Matrix Assisted Laser Desorption/Ionization）法がある（例えば特許文献１）。例えばMALDI法で液体試料をイオン化する場合、レーザ光を吸収しやすい物質（マトリックス物質）を混合した試料をサンプルプレート上に滴下し、そこにレーザ光を照射して試料分子をイオン化する。MALDI法によりイオンを生成するイオン源はMALDIイオン源と呼ばれ、MALDIイオン源を備えた質量分析装置はMALDI-MSと呼ばれる。

MALDI-MSでは、試料分子とマトリックス物質の混合状態が一様にはならないことが多く、試料のどの位置にレーザ光を照射するかによってイオン化効率にばらつきが生じやすい。そのため、MALDI-MSではラスター測定と呼ばれる測定手法が用いられる。ラスター測定では、試料表面に所定の配列で（例えば格子状に）複数の測定点を設定し、各測定点について予め決められた回数のレーザ照射を行ってマススペクトルデータを取得する。そして、取得したマススペクトルデータを全て積算することにより最終的なマススペクトルデータを得る。このような方法を採ることにより、イオン化効率のばらつきの影響を排除した、再現性の高いマススペクトルデータを得ることができる。

MALDI-MSにおいてラスター測定を行う際には、従来、次のような手順で測定条件を設定している。まず、マトリックス物質を混合した試料を滴下したサンプルプレートをセットしてその光学顕微鏡像を表示させる。次に、光学顕微鏡像を確認し、その中央に試料が位置するようにサンプルプレートを移動させる。続いて、ラスター測定の条件設定画面を立ち上げる。ラスター測定条件には、複数の測定点を設定する領域（ラスター測定領域）の大きさと、測定点の間隔が含まれる。使用者がこれらの値を入力するとラスター測定条件設定画面に複数の測定点が表示される。

国際公開第２０１８／０９２２７１号

上記のように、従来、使用者は光学顕微鏡像により試料の位置を確認し、その後、光学顕微鏡像を表示する画面とは別の画面でラスター測定条件を設定している。ここで、試料表面の関心領域を探索する際には、試料の大きさに応じて光学顕微鏡像を適宜に拡大あるいは縮小する。一方、ラスター測定条件設定画面は予め決められており、通常は不変である。そのため、試料に対して適切な大きさのラスター測定領域を設定することが難しいという問題があった。

本発明が解決しようとする課題は、試料に対して適切な大きさのラスター測定領域を簡便に設定することができるイオン分析技術を提供することである。

上記課題を解決するために成された本発明に係るイオン分析方法は、
試料の光学画像を取得し、
前記光学画像を表示画面上に表示し、
前記試料に対してレーザ光を照射する複数の測定点を配置する領域を設定し、
前記領域を前記光学画像に重畳表示する
ものである。

上記課題を解決するために成された本発明の別の態様は、試料にレーザ光を照射することにより生成されるイオンを分析するイオン分析装置であって、
前記試料の光学画像を取得する画像取得部と、
表示部と、
前記試料に対してレーザ光を照射する複数の測定点を配置する領域を設定する入力を受け付ける測定領域入力受付部と、
前記領域を前記光学画像に重畳させて前記表示部に表示する表示処理部と
を備える。

上記課題を解決するために成された本発明のさらに別の態様であるイオン分析装置用プログラムは、
試料の光学画像を取得する画像取得部を備えたイオン分析装置及び表示部に接続されたコンピュータを、
前記試料に対してレーザ光を照射する複数の測定点を配置する領域を設定する入力を受け付ける測定領域入力受付部と、
前記領域を前記光学画像に重畳させて前記表示部に表示する表示処理部
として動作させるものである。

本発明では、まず、試料の光学画像を取得して表示部の画面上に表示する。そして、試料に対してレーザ光を照射する複数の測定点を配置する領域（ラスター測定領域）を設定する。ラスター領域内で複数の測定点を配置する形態は、予め決められたもの（例えば格子状に測定点を配置するもの）であってもよく、あるいは都度、使用者に指定させるものであってもよい。設定されたラスター領域は、光学画像に重畳表示される。この表示は、ラスター領域の外縁を示す図形であってもよく、該ラスター領域内に配置する複数の測定点（測定点の集合により領域を示すもの）であってもよい。本発明では、設定されたラスター測定領域が試料の光学画像に重畳表示されるため、試料に対して適切な大きさのラスター測定領域を簡便に設定することができる。

本発明に係るイオン分析装置の一実施例である質量分析装置の概略構成図。本発明に係るイオン分析方法の一実施例である質量分析方法のフローチャート。本実施例の質量分析装置における試料の光学画像の画面表示の例。本実施例の質量分析装置におけるラスター測定条件設定画面の例。本実施例の質量分析装置における質量分析実行中の画面表示の例。本実施例の質量分析装置における質量分析実行中の画面表示の別の例。

本発明に係るイオン分析方法、イオン分析装置、及びイオン分析装置用プログラムの実施例である質量分析方法、質量分析装置、及び質量分析装置用プログラムについて、以下、図面を参照して説明する。本実施例の質量分析装置は、MALDI（Matrix Assisted Laser Desorption/Ionization）イオン源で生成したイオンを、イオントラップ（IT）で質量分離して検出する、マトリックスレーザ脱離イオン化−イオントラップ（MALDI-IT）型の質量分析装置である。

図１に、本実施例の質量分析装置１の要部構成を示す。この質量分析装置１は、大別してイオン化室１０、質量分析室２０、及び制御・処理部４０から構成されている。イオン化室１０と質量分析室２０の間には隔壁２１が設けられている。隔壁２１には、質量分析室２０側に向かって徐々に広くなるテーパ状の開口２１１が形成されている。

イオン化室１０には、サンプルプレート１１１を載置する試料ステージ１２が設けられている。本実施例で用いるサンプルプレート１１１は、試料１１３を収容する複数のウェル１１２を有している。また、試料ステージ１２を測定位置（図１に示す位置）と交換位置の間で移動させるとともに、測定位置において開口２１１と近接／離間するためのステージ移動機構１３が設けられている。また、バルブ１４と、該バルブ１４を、開口２１１を封鎖する封鎖位置（開口２１１を塞ぐ位置）と退避位置の間（図１に示す位置）で上下動させるためのバルブ移動機構１５が設けられている。このバルブ１４とバルブ移動機構１５によりロードロック機構が構成される。イオン化室１０には、さらに、分析者がサンプルプレート１１１を交換するためにイオン化室１０を開閉するための機構（図示略）が設けられている。その他、イオン化室１０にはロードック動作を行う際に該イオン化室１０を10³Pa程度に減圧する粗引きポンプ（例えばダイアフラムポンプ。図示略）が接続されている。

質量分析室２０を構成するチャンバの上部には窓部２０１が設けられている。窓部２０１の外には、測定位置にある試料ステージ１２上の試料１１３にレーザ光を照射するレーザ光源３、ハーフミラー４を介して該試料の表面を観察するカメラ５が配置されている。

質量分析室２０には、イオン化室１０に近い側から順に、第１イオンレンズ２２、偏向部２３、第２イオンレンズ２４、イオントラップ２５、及びイオン検出器２６が設けられている。第１イオンレンズ２２及び第２イオンレンズ２４は、イオンの飛行経路の中心軸（イオン光軸C）に沿って配置された、複数枚の円環状の電極から構成されている。

偏向部２３は、４本のロッド電極２３１〜２３４を備えている。制御・処理部４０による制御の下で、ロッド電極２３１にはイオンと逆極性の電圧が、それ以外のロッド電極２３２〜２３４にはイオンと同極性の電圧が、それぞれ電圧印加部３０から印加される。

イオントラップ２５は、円環状のリング電極２５１と、該リング電極２５１を挟んで対向配置された一対のエンドキャップ電極（入口側エンドキャップ電極２５２、出口側エンドキャップ電極２５３）とを含む三次元イオントラップである。入口側エンドキャップ電極２５２にはイオン導入孔２５４が、出口側エンドキャップ電極２５３にはイオン射出孔２５５が、それぞれ形成されている。制御・処理部４０による制御の下で、上記リング電極２５１、入口側エンドキャップ電極２５２、及び出口側エンドキャップ電極２５３のそれぞれに対して所定のタイミングで高周波電圧と直流電圧のいずれか一方又はそれらを合成した電圧が電圧印加部３０から印加される。これらの電圧を適宜に変更することにより、イオントラップ２５の内部にイオンが捕捉され、また、捕捉されたイオンが放出される。イオントラップ２５から放出されたイオンはイオン検出器２６で検出される。

入口側エンドキャップ電極２５２とリング電極２５１、及び出口側エンドキャップ電極２５３とリング電極２５１は、それぞれ円環状の絶縁部材２５６により接続され固定されている。この絶縁部材２５６には、周方向に複数の（例えば4つの）開口が等間隔に設けられており、これによってイオントラップ２５の内部空間と質量分析室２０が連通している。絶縁部材２５６の開口は、入口側エンドキャップ電極２５２のイオン導入孔２５４や出口側エンドキャップ電極２５３のイオン射出孔２５５よりも十分に大きく形成されている。

また、イオントラップ２５には、該イオントラップ２５の内部に1乃至複数種類の不活性ガス（ヘリウム、窒素、アルゴン等）を所定の流量で供給するガス供給部２７が接続されている。ガス供給部２７は、択一的に送給される複数種類のガス源２７１と該ガス源２７１とイオントラップ２５を接続するガス流路２７２と、該ガス流路２７２に設けられたバルブ２７３を備えている。

質量分析室２０を構成するチャンバ壁面の、イオントラップ２５とイオン検出器２６を臨む位置に真空排気機構２８が接続されている。真空排気機構２８は、主ポンプであるターボ分子ポンプと、補助ポンプであるダイアフラムポンプを備えている。また、質量分析室２０の、イオン検出器２６の近傍には質量分析室２０内の圧力を測定する真空計２９が取り付けられている。

制御・処理部４０は記憶部４１を備えている。また、機能ブロックとして光学画像取得部４２１、測定領域入力受付部４２２、表示処理部４２３、分析実行部４２４、及び測定データ収集部４２５を備えている。制御・処理部４０の実体は一般的なコンピュータであり、予めインストールされている質量分析用プログラム４２をプロセッサで実行することにより、上記の各機能ブロックが動作する。制御・処理部４０には、また、液晶ディスプレイ等からなる表示部５１と、キーボードやマウスなどからなる入力部５２が接続されている。

次に、本実施例の質量分析装置を用いた測定の流れを説明する。図２は、本実施例の質量分析方法に関するフローチャートである。ここでは液体試料をラスター測定する場合を例に説明する。

ラスター測定では、試料表面に所定の配列で（本実施例では格子状に）複数の測定点（以下に説明する例では25点）を設定し、各測定点について予め決められた回数（例えば5回）のレーザ照射を行って生成したイオンをスキャン測定してマススペクトルデータを取得する。そして、取得したマススペクトルデータを全て積算することにより最終的なマススペクトルデータを得る。

上記のスキャン測定は試料成分から生成されたイオンをそのままスキャン測定するMSスキャン測定であってもよく、あるいは生成されたイオンの中から所定の質量電荷比を有するイオンをプリカーサイオンとして選択し、該プリカーサイオンを解離させて生成したプロダクトイオンを測定するMS/MSスキャン測定であってもよい。さらには、プリカーサイオンの選択と解離を繰り返した後にプロダクトイオンをスキャン測定するMSⁿスキャン測定（nは3以上の整数）であってもよい。

使用者は、バルブ移動機構１５によりバルブ１４を封鎖位置に移動し、質量分析室２０を閉鎖する。続いて、試料ステージ１２を交換位置に移動させ、マトリックス物質を混合した液体試料をウェル１１２に滴下したサンプルプレート１１１を試料ステージ１２にセットする。そして、イオン化室１０を閉じてイオン化室１０を粗引きし、ステージ移動機構１３を動作させて試料ステージ１２を測定位置に移動する。

試料ステージ１２を測定位置に移動したあと、イオン分析装置用プログラム４２を動作させると、光学画像取得部４２１は、カメラ５を動作させ、試料ステージ１２にセットされたサンプルプレート１１１の光学画像６０を取得し、表示部５１に表示する（ステップ１）。図３に示すように、この光学画像６０の表示画面には、画像の中心を十字の交点で示すクロスヘア６１が固定表示される。使用者は、表示部５１に表示された光学画像を適宜、拡大あるいは縮小するなどしてサンプルプレート１１１のウェル１１２に滴下した試料１１３のマトリックス結晶を確認し、試料ステージ１２を移動させて、試料１１３を光学画像の中央（クロスヘア６１の交点）に移動する（ステップ２）。このクロスヘア６１の交点は、レーザ光源３からのレーザ光の照射位置である。

光学画像の中央に試料１１３を移動した後、完了ボタンを押す等の所定の動作を行うと、測定領域入力受付部４２２は、図４に示すようなラスター測定条件入力欄を表示部５１に表示する。本実施例のラスター測定領域は正方形である。また、複数の測定点は格子状に配置される。本実施例では、これら複数の測定点の測定順をサーペンスタイン方式とテレビスキャン方式の中からプルダウン操作により選択することができる。サーペンスタイン方式では、左上に位置する測定点から右方向に向かって順に質量分析を実行し、右端の測定点における質量分析が終了すると、その1つ下に位置する測定点から順に左方向に向かって順に質量分析を実行する。テレビスキャン方式では、左端の測定点から右方向への一方向にのみ質量分析を実行する。ラスター測定領域の形状は正方形に限らず、円形、楕円形等、適宜に変更することができる。また、測定点の配置も格子状に限らず、ハニカム状、同心円状等、適宜に変更することができる。ラスター測定領域の形状や測定点の配置は、予め用意された複数種類の中から使用者が試料１１３の特性等に応じて適切なものを選択するようにしてもよい。

使用者がラスター測定条件を入力すると（ステップ３）、それらの値に基づいて、表示処理部４２３は、図４に示すように、表示部５１に表示されている光学画像６０に複数の測定点６２を重畳表示する（ステップ４）。この画面が表示された段階でラスター測定領域の一辺の長さあるいは測定点間隔の値を変更すると、変更後の値に応じた位置に複数の測定点６２が表示される。また、この状態で、使用者が光学画像６０を拡大（あるいは縮小）すると、それに応じて複数の測定点６２も拡大（あるいは縮小）される。以下の説明では、試料１１３の光学画像に複数の測定点６２を重畳表示することによりラスター領域を示す例を説明するが、図４に一点鎖線で示すような、ラスター領域の外縁を示す枠線を重畳表示するようにしてもよい。

使用者が、試料１１３の大きさに対して適切な領域がラスター領域が設定され、該ラスター領域内に適切な数の測定点６２が設定されたことを確認した後、完了ボタンを押す等の所定の入力操作を行うと、ラスター測定条件が決定する（ステップ５）。また、ラスター測定領域の一辺の長さ（この例では0.4mm）、測定点間隔（この例では0.1mm）、及び測定点数n（この例では25）が記憶部４１に保存される。

ラスター測定条件の設定完了後、使用者が分析開始を指示すると（ステップ６）、分析実行部４２４は、変数kを1にセットする（ステップ７）。続いて、複数の測定点６２のうち、予め決められた場所に位置する最初の測定点（ここでは画面左上の測定点）にレーザ光源３からのレーザ光が照射されるように、試料ステージ１２を移動させる（ステップ８）。試料ステージ１２の移動により、表示部５１に表示される光学画像６０における試料１１３及び測定点６２の表示位置も移動し、図５に示すように質量分析実行中の測定点６２１が画面の中央に表示される。これと平行して、表示処理部４２３は、質量分析実行中の測定点６２１を表示部５１の画面上で点滅表示させる。

分析実行部４２４は、上記最初の測定点にレーザ光を照射して生成されたイオンの質量分析を所定回数行う（ステップ９）。各測定回のイオン検出器２６の検出信号は、順次、制御・処理部４０に送られ、記憶部４１に保存される。

最初の測定点における所定回数の質量分析を完了すると、表示処理部４２３は、所定回数の質量分析を完了した測定点６２２を表示部５１の画面上で黒塗り表示する（ステップ１０）。また、分析実行部４２４は、全ての測定点での質量分析が完了したか否かを判定する（ステップ１１）。この時点では、最初の測定点以外の測定点では質量分析を実行していないため（ステップ１１でNO）、分析実行部４２４は、kの値に1を足し（ステップ１２）、ステップ８に戻って次の測定点（ここでは画面左上の測定点）にレーザ光源３からのレーザ光が照射されるように、試料ステージ１２を移動させ、上記同様に所定回数の質量分析を行う（ステップ９）。測定中の画面表示の一例として、図６に、7点目の測定点において質量分析を実行中に表示される画面を示す。

ステップ８〜１０を繰り返し実行し、全ての測定点６２において所定回数の質量分析を完了すると（ステップ１１でYES）、測定を終了する。測定終了後、測定データ収集部４２５は、一連の測定で得られたマススペクトルデータを統合して最終的な1つのマススペクトルデータを作成する（ステップ１３）。マススペクトルデータの統合は、例えば同一の質量電荷比のマスピーク強度を合計あるいは平均することにより行う。

本実施例の質量分析装置１では、上記のように、ラスター測定を実行する複数の測定点を配置する領域の大きさ（正方形状の領域の一辺の長さ）と測定点間隔を入力すると、複数の測定点が試料の光学画像に重畳表示される。使用者は、この表示を確認することにより、試料１１３に対して適切な領域に測定点が設定されていることを簡便に確認することができる。

上記実施例は一例であって、本発明の趣旨に沿って適宜に変更することができる。

上記実施例では、表示処理部４２３が、測定実行中の測定点６２１を点滅表示し、測定を完了した測定点６２２を黒塗り表示するものとしたが、これらの表示は相互に識別可能なものであればよく、相互に異なる色で測定点を表示したり、異なる図形で測定点を表示したりする等、適宜に変更することができる。

また、上記実施例では、測定データ収集部４２５が、複数の測定点のそれぞれにおいて所定回数のスキャン測定を行って取得したマススペクトルデータを統合して1つのマススペクトルデータを作成したが、上記構成の質量分析装置をイメージング質量分析にも使用することができる。イメージング質量分析を行う場合には、測定データ収集部４２５は、測定点毎にマススペクトルデータを統合し、それを測定点の位置情報に対応付けたイメージング質量分析データを作成する。

さらに、上記実施例はMALDIイオン源でイオンを生成する質量分析装置（MALDI-IT型の質量分析装置）としたが、MALDI以外のイオン源（マトリックス物質を使用せずレーザ光の照射のみでイオンを生成するレーザ脱離イオン化（LDI）法を用いるイオン化源）を使用する際にも上記同様の構成を用いることができる。また、イオントラップ以外の質量分離部（例えば四重極マスフィルタ）を備えた質量分析装置を用いても良い。例えば、三連四重極型の質量分析装置を用いる場合には、上記実施例のようなスキャン測定以外に、SIM測定や、MRM測定を行うことができる。あるいは、生成したイオンを移動度に応じて分離するイオン移動度分析装置等の、他のイオン分析装置においても上記同様の構成を用いることができる。

［態様］
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

（第１項）
一態様は、試料にレーザ光を照射することにより生成されるイオンを分析するイオン分析装置であって、
前記試料の光学画像を取得する画像取得部と、
表示部と、
前記試料に対してレーザ光を照射する複数の測定点を配置する領域を設定する入力を受け付ける測定領域入力受付部と、
前記領域を前記光学画像に重畳させて前記表示部に表示する表示処理部と
を備える。

（第７項）
別の一態様に係るイオン分析方法は、
試料の光学画像を取得し、
前記光学画像を表示画面上に表示し、
前記試料に対してレーザ光を照射する複数の測定点を配置する領域を設定し、
前記領域を前記光学画像に重畳表示する
ものである。

（第８項）
さらに別の一態様に係るイオン分析装置用プログラムは、試料の光学画像を取得する画像取得部を備えたイオン分析装置及び表示部に接続されたコンピュータを、
前記試料に対してレーザ光を照射する複数の測定点を配置する領域を設定する入力を受け付ける測定領域入力受付部と、
前記領域を前記光学画像に重畳させて前記表示部に表示する表示処理部
として動作させるものである。

第１項に記載のイオン分析装置、第７項に記載のイオン分析方法、及び第８項に記載のイオン分析装置用プログラムでは、試料の光学画像を取得して表示部の画面上に表示する。そして、試料に対してレーザ光を照射する複数の測定点を配置する領域（ラスター測定領域）を設定する。ラスター領域内で複数の測定点を配置する形態は、予め決められたもの（例えば格子状に測定点を配置するもの）であってもよく、あるいは都度、使用者に指定させるものであってもよい。設定されたラスター領域は、光学画像に重畳表示される。この表示は、ラスター領域の外縁を示す図形であってもよく、該ラスター領域内に配置する複数の測定点（測定点の集合により領域を示すもの）であってもよい。第１項に記載のイオン分析装置、第７項に記載のイオン分析方法、及び第８項に記載のイオン分析装置用プログラムでは、設定されたラスター測定領域が試料の光学画像に重畳表示されるため、試料に対して適切な大きさのラスター測定領域を簡便に設定することができる。

（第２項）
第１項に記載のイオン分析装置において、
前記測定領域入力受付部は、さらに、前記複数の測定点の間隔又は数を設定する入力を受け付け、
前記表示処理部は、さらに、前記領域内に前記複数の測定点を表示する。

第２項に記載のイオン分析装置では、ラスター領域内に配置する複数の測定点の間隔又は数を入力することにより、測定点の配置を適宜に設定し、表示部の画面上で確認することができる。

（第３項）
第１項又は第２項に記載のイオン分析装置において、さらに、
前記複数の測定点に対して所定の順番にレーザ光を照射してイオンを生成及び分析する分析実行部
を備える。

第３項に記載のイオン分析装置では、ラスター領域及び該ラスター領域内の複数の測定点を設定した後、イオンの生成及び分析を実行することができる。

（第４項）
第１項から第３項のいずれかに記載のイオン分析装置において、
前記表示処理部は、前記イオンの生成及び分析を実行中である測定点が画面の中央に位置するように前記光学画像の位置を変更する。

（第５項）
第１項から第４項のいずれかに記載のイオン分析装置において、
前記表示処理部は、さらに、前記イオンの生成及び分析を終了した測定点を、それ以外の測定点と異なる形態で表示する。

第４項及び第５項に記載のイオン分析装置では、分析の進行状況を画面上で確認することができる。

（第６項）
第１項から第５項のいずれかに記載のイオン分析装置において、さらに、
前記複数の測定点において取得した測定データを収集して統合する測定データ収集部
を備える。

第６項に記載のイオン分析装置では、ラスター測定データを簡便に得ることができる。

１…質量分析装置
１０…イオン化室
１１１…サンプルプレート
１１２…ウェル
１１３…試料
１２…試料ステージ
１３…ステージ移動機構
２０…質量分析室
２０１…窓部
２２…第１イオンレンズ
２３…偏向部
２４…第２イオンレンズ
２５…イオントラップ
２６…イオン検出器
２７…ガス供給部
３０…電圧印加部
４０…制御・処理部
４１…記憶部
４２…質量分析用プログラム
４２１…光学画像取得部
４２２…測定領域入力受付部
４２３…表示処理部
４２４…分析実行部
４２５…測定データ収集部
５１…表示部
５２…入力部
３…レーザ光源
４…ハーフミラー
５…カメラ
６０…光学画像
６１…クロスヘア
６２…測定点
６２１…測定実行中の測定点
６２２…測定終了後の測定点

Claims

試料にレーザ光を照射することにより生成されるイオンを分析するイオン分析装置であって、
前記試料の光学画像を取得する画像取得部と、
表示部と、
前記試料に対してレーザ光を照射する複数の測定点を配置する領域を設定する入力を受け付ける測定領域入力受付部と、
前記領域を前記光学画像に重畳させて前記表示部に表示する表示処理部と
を備えるイオン分析装置。
前記測定領域入力受付部は、さらに、前記複数の測定点の間隔又は数を設定する入力を受け付け、
前記表示処理部は、さらに、前記領域内に前記複数の測定点を表示する、請求項１に記載のイオン分析装置。
さらに、前記複数の測定点に対して所定の順番にレーザ光を照射してイオンを生成及び分析する分析実行部を備える、請求項１又は２に記載のイオン分析装置。
前記表示処理部は、前記イオンの生成及び分析を実行中である測定点が画面の中央に位置するように前記光学画像の位置を変更する、請求項１から３のいずれかに記載のイオン分析装置。
前記表示処理部は、さらに、前記イオンの生成及び分析を終了した測定点を、それ以外の測定点と異なる形態で表示する、請求項１から４のいずれかに記載のイオン分析装置。
さらに、
前記複数の測定点において取得した測定データを収集して統合する測定データ収集部
を備える、請求項１から５のいずれかに記載のイオン分析装置。
試料の光学画像を取得し、
前記光学画像を表示画面上に表示し、
前記試料に対してレーザ光を照射する複数の測定点を配置する領域を設定し、
前記領域を前記光学画像に重畳表示する
イオン分析方法。
試料の光学画像を取得する画像取得部を備えたイオン分析装置及び表示部に接続されたコンピュータを、
前記試料に対してレーザ光を照射する複数の測定点を配置する領域を設定する入力を受け付ける測定領域入力受付部と、
前記領域を前記光学画像に重畳させて前記表示部に表示する表示処理部
として動作させる、イオン分析装置用プログラム。