JP2021172714A - 液状組成物及びシート - Google Patents
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Abstract
Description
また、近年、プリント配線板等の電子部品の電気特性(低誘電率性、低誘電正接性)を向上させる観点から、電子部品の材料に、テトラフルオロエチレン系ポリマーのパウダーを配合する検討が盛んにされている。
特許文献3には、電気絶縁層と導体層とを交互に積み上げる方式(ビルドアップ方式)による多層プリント配線板の製造において、導体層上にラミネートして用いられるシート材料に、テトラフルオロエチレン系ポリマーのパウダーを配合する提案がされている。
特許文献4には、複数の層に渡る貫通孔が設けられた多層プリント配線板の貫通孔上に別の導体層を配置できるように貫通孔を穴埋するための充填材料(穴埋材料)に、テトラフルオロエチレン系ポリマーのパウダーを配合する提案がされている。
また、分散性、流動性等の液物性を確保する観点から、液状組成物に、多種かつ多量の添加剤を別に配合する必要が生じる場合が多く、その調製が煩雑になる。それにより、成形物の耐熱性、電気特性、接着性、表面平滑性等の物性が低下するという課題もある。
本発明は、テトラフルオロエチレン系ポリマーのパウダーと重合性化合物と無機フィラーとを含み、これらの成形物の形成成分の含有量が実質的に高く、液物性に優れた液状組成物の提供を目的とする。
<1> 水酸基含有基又はカルボニル基含有基を有し、溶融温度が200〜320℃であるテトラフルオロエチレン系ポリマーのパウダーと、エポキシ基又は(メタ)アクリロイルオキシ基を2個以上有する化合物と、硬化剤と、無機フィラーとを含み、前記テトラフルオロエチレン系ポリマー、前記化合物、前記硬化剤及び前記無機フィラーの合計での含有量が60質量%以上である、液状組成物。
<2> さらに、アルカリ可溶性ポリマーを含み、前記テトラフルオロエチレン系ポリマー、前記化合物、前記硬化剤、前記無機フィラー及び前記アルカリ可溶性ポリマーの合計での含有量が60質量%超である、<1>の液状組成物。
<3> 粘度が100000mPa・s以下である、<1>又は<2>の液状組成物。
<4> 溶媒を含まないか、又は、溶媒を含み、かつ前記溶媒の含有量が40質量%以下である、<1>〜<3>のいずれかの液状組成物。
<5> 前記テトラフルオロエチレン系ポリマーが、ペルフルオロ(アルキルビニルエーテル)に基づく単位を含み、カルボニル基含有基を有するテトラフルオロエチレン系ポリマーである、<1>〜<4>のいずれかの液状組成物。
<6> 前記パウダーが、平均粒子径が0.1〜6μmであるパウダーである、<1>〜<5>のいずれかの液状組成物。
<7> 前記無機フィラーが、酸化ケイ素を含むフィラーである、<1>〜<6>のいずれかの液状組成物。
<8> 前記無機フィラーが、平均粒子径が0.1〜25μmである無機フィラーである、<1>〜<7>のいずれかの液状組成物。
<9> 前記化合物が、エポキシ基を2個以上有する液状化合物である、<1>〜<8>のいずれかの液状組成物。
<10> 前記化合物が、エポキシ基を2個以上、かつ、3級アミン構造を有する液状化合物である、<1>〜<9>のいずれかの液状組成物。
<11> 前記化合物が、ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、カテコール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、アミノフェノール型エポキシ樹脂及び脂環式エポキシ樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種のエポキシ基を2個以上有する液状化合物である、<1>〜<9>のいずれかの液状組成物。
<12> 前記硬化剤が、アミン、イミダゾール、フェノール又は酸無水物である、<1>〜<11>のいずれかの液状組成物。
<13> 前記テトラフルオロエチレン系ポリマーの含有量が30質量%以下、前記化合物の含有量が30質量%以下、前記硬化剤の含有量が15質量%以下、前記無機フィラーの含有量が30質量%超である、<1>〜<12>のいずれかの液状組成物。
<14> 多層プリント配線板の貫通孔又は凹部の穴埋めに用いられる充填材料である、<1>〜<13>のいずれかの液状組成物。
<15> <1>〜<13>のいずれかの液状組成物から形成された層を有するシート。
「平均粒子径(D50)」は、レーザー回折・散乱法によって求められる対象物(パウダー又は無機フィラー)のパウダーの体積基準累積50%径である。すなわち、レーザー回折・散乱法によって対象物の粒度分布を測定し、対象物の粒子の集団の全体積を100%として累積カーブを求め、その累積カーブ上で累積体積が50%となる点の粒子径である。
「D90」は、同様にして測定される、対象物の体積基準累積90%径である。
「溶融温度(融点)」は、示差走査熱量測定(DSC)法で測定したポリマーの融解ピークの最大値に対応する温度である。
「ガラス転移点(Tg)」は、動的粘弾性測定(DMA)法でポリマー、硬化物又はエラストマーを分析して測定される値である。
「粘度」は、B型粘度計を用いて、25℃で回転数が30rpmの条件下で液状組成物を測定し求められる値である。測定を3回繰り返し、3回分の測定値の平均値とする。
「チキソ比」とは、液状組成物を回転数が30rpmの条件で測定して求められる粘度η1を回転数が60rpmの条件で測定して求められる粘度η2で除して算出される値(η1/η2)である。
ポリマーにおける「単位」は、モノマーから直接形成された原子団であってもよく、得られたポリマーを所定の方法で処理して、構造の一部が変換された原子団であってもよい。ポリマーに含まれる、モノマーAに基づく単位を、単に「モノマーA単位」とも記す。
本組成物における、Fポリマー、硬化性化合物、硬化剤及び無機フィラーの合計での含有量は、60質量%以上である。
Fパウダーは、Fポリマーを主成分とするのが好ましい。FパウダーにおけるFポリマーの含有量は、80質量%以上が好ましく、100質量%がより好ましい。
Fポリマーは、TFE単位及びペルフルオロ(アルキルビニルエーテル)(PAVE)に基づく単位(PAVE単位)を含むポリマー(PFA)、又は、TFEとヘキサフルオロプロピレンに基づく単位を含むポリマー(FEP)が好ましく、溶融温度が充分に高く、微小球晶を形成しやすい観点から、PFAがより好ましい。
PAVEは、CF2=CFOCF3、CF2=CFOCF2CF3又はCF2=CFOCF2CF2CF3(PPVE)が好ましく、PPVEがより好ましい。
Fポリマーは、本組成物の分散性と、それから形成される成形物の物性とを向上させる観点から、カルボニル基含有基を有するのが好ましい。
カルボニル基含有基は、カルボニル基(>C(O))を含む基であり、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、アミド基、イソシアネート基、カルバメート基(−OC(O)NH2)、酸無水物残基(−C(O)OC(O)−)、イミド残基(−C(O)NHC(O)−等)又はカーボネート基(−OC(O)O−)が好ましく、酸無水物残基がより好ましい。
Fポリマーは、TFE単位、PAVE単位及び水酸基含有基又はカルボニル基含有基を有するモノマーに基づく単位を含むポリマーが好ましい。このポリマーは、全単位に対して、TFE単位を90〜99モル%、PAVE単位を0.5〜9.97モル%、及び、水酸基含有基又はカルボニル基含有基を有するモノマーに基づく単位を0.01〜3モル%、それぞれ含有するのが好ましい。
また、水酸基含有基又はカルボニル基含有基を有するモノマーは、無水イタコン酸、無水シトラコン酸又は5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(以下、「NAH」とも記す。)が好ましい。
かかるポリマーの具体例としては、国際公開第2018/16644号に記載されるポリマーが挙げられる。
硬化性化合物は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。また、液状の硬化性化合物と非液状の硬化性化合物とを併用してもよい。
かかるエポキシ化合物の具体例としては、テトラグリシジルアミノジフェニルメタン、テトラグリシジルメタキシリレンジアミン、トリグリシジルパラアミノフェノール、ジグリシジルアニリン、ジグリシジルオルトトルイジンが挙げられる。
エポキシ化合物の好適な態様としては、ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、カテコール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、アミノフェノール型エポキシ樹脂及び脂環式エポキシ樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種のエポキシ基を2個以上有する液状のエポキシ化合物が挙げられる。
本組成物の硬化開始温度が、60〜100℃となるように、硬化剤を選択するのが好ましい。なお、「硬化開始温度」とは、示差走査熱量測定(DSC)により確認される、本組成物を加熱した際の最初の変化点を示す温度である。
アミンの具体例としては、「フジキュアFXR」シリーズ又は「フジキュアFXR」シリーズ(いずれも富士化成工業株式会社製)、「アンカミン」シリーズ又は「サンマイド」シリーズ(いずれもエアープロダクツジャン株式会社製)、jERキュア113(三菱ケミカル株式会社製)、ラロミンC−260(BASF社製)等が挙げられる。
酸無水物としては、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水メチルナジック酸、又はベンゾフェノンテトラカルボン酸が好ましい。
硬化性化合物が(メタ)アクリロイルオキシ基を2個以上有する化合物である場合の硬化剤としては、重合開始剤が挙げられる。
重合開始剤としては、アルキルフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキシド系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルペルオキシドが挙げられる。
無機フィラーがシリカフィラーである場合、無機フィラーにおけるシリカの含有量は、50質量%以上が好ましく、75質量%がより好ましい。シリカの含有量は、100質量%以下が好ましく、90質量%以下がより好ましい。
無機フィラーの形状は、粒状、針状(繊維状)、板状のいずれであってもよい。無機フィラーの具体的な形状としては、球状、鱗片状、層状、葉片状、杏仁状、柱状、鶏冠状、等軸状、葉状、雲母状、ブロック状、平板状、楔状、ロゼット状、網目状、角柱状が挙げられる。無機フィラーは中空状であってもよく、中空状のフィラーと、非中空状のフィラーとを含んでもよい。
なお、架橋剤は、Fポリマー、硬化性化合物、硬化剤、無機フィラーのいずれとも異なる化合物である。
本組成物は、液物性に優れるため、架橋剤を含めば、それから成形物を形成する際に、ポリマーマトリックスの架橋密度を調整して、成形物の柔軟性及び接着性を高度に調整しやすい。
架橋剤は、エステル型架橋剤又はイソシアネート型架橋剤であるのが好ましい。イソシアネート型架橋剤は、2個以上のイソシアネート基を有する化合物、又は、2個以上のブロック化イソシアネート基を有する化合物が好ましい。
イソシアネート型架橋剤の具体例としては、「スミジュールBL」シリーズ、「デスモジュールTPL」シリーズ(いずれも住化コベストロウレタン株式会社製)、「コロネート2500番台」シリーズ(東ソー株式会社製)、「NATE」シリーズ(旭化成株式会社製)、カレンズMOI−BM(昭和電工株式会社製)が挙げられる。
アルカリ可溶性ポリマーは、酸性基を有するポリマーであるのが好ましく、カルボキシル基又はフェノール性水酸基を有するポリマーであるのがより好ましい。なお、アルカリ可溶性ポリマーは、感光又は熱によって、アルカリ可溶性が発現するポリマーも包含される。また、アルカリ可溶性ポリマーは、Fポリマー、硬化性化合物、硬化剤、無機フィラー、架橋剤のいずれとも異なる化合物である。
アルカリ可溶性ポリマーは、フェノール性水酸基又はカルボキシル基を有する(メタ)アクリレートのポリマー、フェノール性水酸基又はカルボキシル基を有するポリカーボネート、フェノール性水酸基又はカルボキシル基を有するポリウレタン、カルボキシル基を有するオキタセンポリマーが挙げられる。これらのポリマーのフェノール性水酸基又はカルボキシル基は、感光又は熱によって脱離する保護基によって保護されていてもよい。
界面活性剤は、ノニオン性であるのが好ましい。
界面活性剤の親水部位は、オキシアルキレン基又はアルコール性水酸基を有するのが好ましい。
オキシアルキレン基は、1種から構成されていてもよく、2種以上から構成されていてもよい。後者の場合、種類の違うオキシアルキレン基は、ランダム状に配置されていてもよく、ブロック状に配置されていてもよい。
オキシアルキレン基は、オキシエチレン基が好ましい。
中でも、界面活性剤は、フッ素系界面活性剤がより好ましく、水酸基(特に、アルコール性水酸基)又はオキシアルキレン基と、ペルフルオロアルキル基又はペルフルオロアルケニル基とを有するフッ素系界面活性剤がさらに好ましい。
かかる界面活性剤の具体例としては、「フタージェント」シリーズ(ネオス社製)、「サーフロン」シリーズ(AGCセイミケミカル社製)、「メガファック」シリーズ(DIC社製)、「ユニダイン」シリーズ(ダイキン工業社製)が挙げられる。
他の樹脂は、芳香族性ポリマーが好ましい。この場合、成形物がUV吸収性に優れ、UV加工性に優れやすい。
他の樹脂としては、マレイミド樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド、ポリアミック酸、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンオキシド、液晶ポリエステル、Fポリマー以外のフルオロポリマーが挙げられる。
また、本組成物は、これらの成分以外にも、シランカップリング剤、脱水剤、消泡剤、可塑剤、耐候剤、酸化防止剤、熱安定剤、滑剤、帯電防止剤、増白剤、着色剤、導電剤、離型剤、表面処理剤、難燃剤等の添加剤を含んでいてもよい。
なお、本組成物が、Fポリマー、硬化性化合物、硬化剤及び無機フィラー以外の成形物の形成成分を含む場合(例えば、上記架橋剤又はアルカリ可溶性ポリマーを含む場合)、それらの合計での含有量は、60質量%超であり、75質量%超であるのが好ましく、90質量%以上であるのがより好ましく、95質量%超であるのがさらに好ましい。上記合計での含有量は、100質量%以下であるのが好ましい。
なお、溶媒とは、25℃において液体であり、上記成形物の形成成分のいずれとも反応しない不活性な化合物であり、上記成形物の形成成分を溶解又は分散する作用を有する化合物である。
溶媒の具体例としては、水、セロソルブ系溶媒、エステル系溶媒、プロピレングリコール系溶媒、ケトン系溶媒、アルコール系溶媒、アミド系溶媒、芳香族炭化水素系溶媒が挙げられる。
本組成物における硬化性化合物の含有量は、30質量%以下が好ましく、20質量%以下がより好ましい。硬化性化合物の含有量は、5質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましい。
本組成物における硬化剤の含有量は、15質量%以下が好ましく、10質量%以下がより好ましい。硬化剤の含有量は、1質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましい。
本組成物における無機フィラーの含有量は、30質量%超が好ましく、40質量%以上がより好ましい。無機フィラーの含有量は、75質量%以下が好ましく、60質量%以下がより好ましい。
本組成物において、Fパウダーの含有量に対する硬化性化合物の含有量の比は1〜5であり、硬化性化合物の含有量に対する硬化剤の含有量の比は0.1〜0.3であり、Fパウダーの含有量に対する無機フィラーの含有量の比は1超5以下であるのが、それぞれ好ましい。
多層プリント配線板は、絶縁層を介して積層された複数の回路パターンを有している。絶縁層は、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンオキシド、シアネートエステル、ポリイミド、フルオロポリマー等で構成される。また、回路パターンは、メッキ等により形成される金属膜で構成されている。また、この多層プリント配線板は、その厚さ方向に貫通する貫通孔又は凹没する凹部を有している。貫通孔又は凹部は、ドリル加工、レーザー加工により形成されている。貫通孔又は凹部の内面には、導電膜が形成されており、所定の回路パターン同士が電気的に接続されている。かかる貫通孔又は凹部に本組成物が充填され、加熱により硬化させると、貫通孔又は凹部が穴埋めできる。
本組成物の加熱の条件は、80〜160℃で30〜180分間が好ましい。なお、本組成物の硬化におけるアウトガスを抑制する観点からは、本組成物を仮硬化段階および本硬化段階の2段階で硬化させるのが好ましい。
仮硬化の条件としては、80〜110℃で30〜90分間が好ましい。この場合、仮硬化後の硬化物は、その硬度が比較的低いので、貫通孔又は凹部からはみ出す不要部分を、研磨、エッチング等により容易に除去できる。この硬化物の硬度は、仮硬化における加熱時間、加熱温度の変更により調整できる。
本組成物から得られた成形物の断面ボイド率は、5%以下が好ましく、3%以下がより好ましい。断面ボイド率の下限は0%である。本組成物は、揮発成分の含有量が少ないため、成形物を成形する際に、ボイドが発生しにくい。
なお、この段階で、成形物の貫通孔又は凹部からはみ出す不要部分を除去して、平坦化してもよい。その後、多層プリント配線板の表面に、メッキ等により金属膜を形成し、所定パターンにパターニングして回路パターンを形成してもよい。なお、多層プリント配線板の表面には、金属膜の形成に先立って、必要に応じて、過マンガン酸カリウム水溶液等による粗化処理を行ってもよい。
かかるドライフィルムは、キャリアフィルム上に、本組成物を塗布、乾燥して、乾燥被膜としての樹脂膜を形成することにより作製できる。ドライフィルムには、必要に応じて、保護フィルムを積層してもよい。
キャリアフィルムとは、ドライフィルムを支持する機能を有するフィルムである。かかるキャリアフィルムとしては、例えば、ポリオレフィンフィルム、ポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリスチレンフィルム、表面処理した紙基材が挙げられる。中でも、耐熱性、機械的強度、取扱性等の観点から、ポリエステルフィルムが好ましい。
キャリアフィルムの厚さは、10〜150μmであるのが好ましい。なお、キャリアフィルの表面には、離型処理を施してもよい。
保護フィルムには、例えば、上記キャリアフィルムで挙げたのと同じフィルムや紙基材が用いられる。中でも、ポリオレフィンフィルム又はポリエステルフィルムが好ましい。
保護フィルムの厚さも、10〜150μmであるのが好ましい。なお、保護フィルムの表面には、離型処理を施してもよい。
まず、ドライフィルムからキャリアフィルム及び保護フィルムのいずれか一方を剥離し、回路パターンが形成された回路基板に圧着した後、熱硬化させる。熱硬化には、オーブン、熱プレス機等を使用できる。その後、回路基板の所定の箇所に、レーザー加工またはドリル加工で貫通孔(ビアホール)を形成し、回路パターンを露出させる。これにより、プリント配線板が得られる。なお、回路パターン上に除去しきれず不要成分(スミア)が残留した場合には、デスミア処理を行うのが好ましい。
キャリアフィルム及び保護フィルムの他方は、所定の段階で、ドライフィルムから剥離される。なお、回路パターン同士の電気的な接続には、貫通孔の内面に形成された導電膜、貫通孔内に収納されたピラーやポストを使用できる。
ソルダーレジストは、スクリーン印刷法、バーコート法、ブレードコート法等の塗布方法により回路基板上に塗布できる。
塗布後、指触乾燥性を得るために、塗膜を乾燥するのが好ましい。この乾燥の条件は、75〜95℃で40〜70分間とするのが好ましい。
乾燥には、熱風循環式乾燥炉や遠赤外線乾燥炉を使用できる。
乾燥後の塗膜(乾燥被膜)の厚さは、乾燥被膜の現像性及び印刷性が良好になる観点から、10〜150μmが好ましく、20〜60μmがより好ましい。
露光光源には、ハロゲンランプ、高圧水銀灯、レーザー光、メタルハライドランプ、ブラックランプ、無電極ランプ等を使用できる。露光量としては、積算光量を200mJ/cm2以下とするのが好ましい。
なお、露光マスクを使用することなく、レーザー・ダイレクト・イメージング装置により、乾燥被膜にパターンを形成してもよい。
現像液は、スプレー法、浸漬法等により、露光後の乾燥被膜に付与できる。
現像液には、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、珪酸ナトリウム等のアルカリを含むアルカリ水溶液を使用するのが好ましく、アルカリを濃度1.5質量%以下で含む希アルカリ水溶液を使用するのがより好ましい。
本組成物によれば、現像液として希アルカリ水溶液を使用できるので、ダメージが少なく、解像性にも優れる乾燥被膜が得られる。
なお、現像後の乾燥被膜は、不要な現像液を除去するために、水洗や酸中和を行うのが好ましい。
次に、得られた現像後の乾燥被膜を、加熱や紫外線の照射により硬化させる。これにより、印刷性に優れ、かつ、密着性および耐クラック性に優れる硬化被膜(成形物)が得られる。
加熱による硬化の場合、加熱温度は、180℃以下が好ましく、150℃以下がより好ましい。一方、紫外線の照射による硬化の場合、紫外線の照射強度は、500〜3000mJ/cm2が好ましく、500〜2000mJ/cm2がより好ましい。
[Fポリマー]
Fポリマー1:TFE単位、NAH単位及びPPVE単位を、この順に98.0モル%、0.1モル%、1.9モル%含み、酸素含有極性基を有するPFA系ポリマー(溶融温度:300℃)
非Fポリマー1:TFE単位及びPPVE単位を、この順に98.7モル%、1.3モル%含み、酸素含有極性基を有さないPFA系ポリマー(溶融温度:305℃)
[パウダー]
パウダー1:Fポリマー1からなる、D50が2.1μmのパウダー
パウダー2:非Fポリマー1からなる、D50が1.8μmのパウダー
硬化性化合物1:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製、「jER828」)
硬化性化合物2:ジクリシジルアニリン(日本化薬株式会社製、「GAN」)
[硬化剤]
硬化剤1:イミダゾールヒドロキシメチル体(四国化成工業社製、「2PHZ」)
硬化剤2:変性脂肪族ポリアミン(富士化成工業社製、「フジキュアFXR−1030」)
フィラー1:D50が0.4μmのシリカフィラー
[消泡剤]
消泡剤1:シリコーンオイル(信越化学工業社製、「KS−66」)
上述したような方法で、液状組成物1及び2の粘度を測定した。その結果、液状組成物1の粘度は8000mPa・sであり、液状組成物2の粘度は100000mPa・s超であった。
まず、多層プリント配線板に、ドリル加工により、内径が0.3mm、深さが3.2mmの貫通孔を形成した。次に、貫通孔の内面全体に、銅メッキにより、導電膜(厚さ:25μm)を形成した。次いで、各液状組成物をスクリーン印刷法により貫通孔内に充填し、熱風循環式乾燥炉(ヤマト科学株式会社製、「DF610」)にて150℃で30分加熱することにより硬化させた。
多層プリント配線板を厚さ方向と直交する方向に沿って切断した後、切断面をSiC研磨紙(丸本ストルアス株式会社製、「500番」及び「2000番」)と研磨機(ハルツォク・ジャパン株式会社製、「FORCIPOL−2V」)とを使用して研磨した。
液状組成物の硬化物で穴埋めされた貫通孔の断面を、光学顕微鏡及び電子顕微鏡を使用して観察した結果、貫通孔の断面積に対するボイドの占める割合(断面ボイド率)は、液状組成物1を使用した場合には5%以下であり、液状組成物2を使用した場合には5%超であった。
Claims (15)
- 水酸基含有基又はカルボニル基含有基を有し、溶融温度が200〜320℃であるテトラフルオロエチレン系ポリマーのパウダーと、エポキシ基又は(メタ)アクリロイルオキシ基を2個以上有する化合物と、硬化剤と、無機フィラーとを含み、前記テトラフルオロエチレン系ポリマー、前記化合物、前記硬化剤及び前記無機フィラーの合計での含有量が60質量%以上である、液状組成物。
- さらに、アルカリ可溶性ポリマーを含み、前記テトラフルオロエチレン系ポリマー、前記化合物、前記硬化剤、前記無機フィラー及び前記アルカリ可溶性ポリマーの合計での含有量が60質量%超である、請求項1に記載の液状組成物。
- 粘度が100000mPa・s以下である、請求項1又は2に記載の液状組成物。
- 溶媒を含まないか、又は、溶媒を含み、かつ前記溶媒の含有量が40質量%以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の液状組成物。
- 前記テトラフルオロエチレン系ポリマーが、ペルフルオロ(アルキルビニルエーテル)に基づく単位を含み、カルボニル基含有基を有するテトラフルオロエチレン系ポリマーである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の液状組成物。
- 前記パウダーが、平均粒子径が0.1〜6μmであるパウダーである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の液状組成物。
- 前記無機フィラーが、酸化ケイ素を含むフィラーである、請求項1〜6のいずれか1項に記載の液状組成物。
- 前記無機フィラーが、平均粒子径が0.1〜25μmである無機フィラーである、請求項1〜7のいずれか1項に記載の液状組成物。
- 前記化合物が、エポキシ基を2個以上有する液状化合物である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の液状組成物。
- 前記化合物が、エポキシ基を2個以上、かつ、3級アミン構造を有する液状化合物である、請求項1〜9のいずれか1項に記載の液状組成物。
- 前記化合物が、ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、カテコール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、アミノフェノール型エポキシ樹脂及び脂環式エポキシ樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種のエポキシ基を2個以上有する液状化合物である、請求項1〜9のいずれか1項に記載の液状組成物。
- 前記硬化剤が、アミン、イミダゾール、フェノール又は酸無水物である、請求項1〜11のいずれか1項に記載の液状組成物。
- 前記テトラフルオロエチレン系ポリマーの含有量が30質量%以下、前記化合物の含有量が30質量%以下、前記硬化剤の含有量が15質量%以下、前記無機フィラーの含有量が30質量%超である、請求項1〜12のいずれか1項に記載の液状組成物。
- 多層プリント配線板の貫通孔又は凹部の穴埋めに用いられる充填材料である、請求項1〜13のいずれか1項に記載の液状組成物。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載の液状組成物から形成された層を有するシート。
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WO2023189795A1 (ja) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 | 分散組成物、フッ素系樹脂フィルム、金属張積層板及びその製造方法 |
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WO2023189795A1 (ja) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 | 分散組成物、フッ素系樹脂フィルム、金属張積層板及びその製造方法 |
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