JP2021164977A - クランプ装置及びワークの保持方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークの向きを変化させることなく３点でワークを保持する。【解決手段】ワークが載置されるステージ２０と、第１保持爪３１及び第２保持爪３２の少なくとも一方を第１方向Ｄ１へ移動させて、第１保持爪３１に設けられた２つの第１当接部３３と第２保持爪３２に設けられた第２当接部３４との間でステージ２０に載置されたワークを保持する保持部３０と、第１方向Ｄ１に垂直な第２方向Ｄ２の所定位置にワークを位置決めする位置決め部４０と、を備え、位置決め部４０によって第２方向Ｄ２の所定位置にワークを位置決めした後、保持部３０が２つの第１当接部３３と第２当接部３４との間でワークを保持する。【選択図】図１

Description

本発明は、クランプ装置及びワークの保持方法に関する。

ワーク（被固定物）を加工する際にワークをクランプ（保持固定）するクランプ装置として、一対の保持爪をワークに対して近接移動させてワークを一対の保持爪の間で保持するものが知られている（例えば、下記特許文献１参照）。

このようなクランプ装置では、一対の保持爪が曲面部分においてワークを保持する場合、安定的にワークを保持するため、一対の保持爪の一方が２つの当接部においてワークと接触し、他方が１つの当接部においてワークと接触して、ワークを３点で保持するように一対の保持爪が設けられていることがある。

特開平６−１２６５５３号公報

しかしながら、クランプ装置がワークを保持する際にワークの固定位置からズレた位置にワークがあると、一対の保持爪に設けられた３つの当接部によってワークを押圧するタイミングにずれが生じる。その結果、最初にワークに当接した当接部から受ける力によってワークの向きが変化することがあり、ワークを保持固定した後の工程に支障が出ることがある。

本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、ワークの向きを変化させることなく３点でワークを保持することができるクランプ装置及びワークの保持方法を提供することを目的とする。

本発明にかかるクランプ装置は、ワークが載置されるステージと、第１保持爪及び第２保持爪の少なくとも一方を第１方向へ移動させて、前記第１保持爪に設けられた２つの第１当接部と前記第２保持爪に設けられた第２当接部との間で前記ステージに載置された前記ワークを保持する保持部と、前記第１方向に垂直な第２方向の所定位置に前記ワークを位置決めする位置決め部と、を備え、前記位置決め部によって前記第２方向の所定位置に前記ワークを位置決めした後、前記保持部が２つの前記第１当接部と前記第２当接部との間で前記ワークを保持するものである。

本発明にかかるワークの保持方法は、第１保持爪及び第２保持爪の少なくとも一方を第１方向へ移動させて、前記第１保持爪に設けられた２つの第１当接部と前記第２保持爪に設けられた第２当接部との間で前記ステージに載置されたワークを保持する前記ワークの保持方法において、前記第１方向に垂直な第２方向の所定位置に前記ワークを位置決めした後、２つの前記第１当接部と前記第２当接部との間で前記ワークを保持する方法である。

本発明によれば、ワークの向きを変化させることなく３点でワークを保持することができる。

本発明の一実施形態にかかるクランプ装置の一部切り欠き斜視断面図 図１のクランプ装置の駆動部を示すエアー回路図 ワークをステージに載置した状態を示す図１のクランプ装置の平面図 ワークを位置決めした状態を示す図１のクランプ装置の平面図 ワークを保持した状態を示す図１のクランプ装置の平面図 本発明の変更例にかかるクランプ装置の平面図

以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。

（１）クランプ装置１０
図３〜図５に示すように、本実施形態にかかるクランプ装置１０は、コネクタ等の略円柱状のワーク１を保持固定する装置である。このクランプ装置１０は、図１に示すように、ワーク１が載置されるステージ２０と、ステージ２０に載置されたワーク１を保持固定する保持部３０と、ステージ２０に載置されたワーク１をステージ２０の所定位置に位置決めする位置決め部４０と、保持部３０を駆動する保持駆動部５０と、位置決め部４０を駆動する位置決め駆動部７０とを備える。

なお、本明細書では、保持部３０が有する一対の保持爪３１、３２の移動方向を第１方向Ｄ１、位置決め部４０が有する一対の挟持爪４２、４２の移動方向を第２方向Ｄ２、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に垂直な方向を上下方向Ｄ３とする。

ステージ２０は、ガラス板やアクリル板など光透過を有する板状体を備える。ステージ２０の下側には、ステージ２０全体を下方から照明する面照明装置２２が設けられており、面照明装置２２から照射された照明光が透明なステージ２０を透過してステージ２０に載置されたワーク１を下方から照明する。

ステージ２０の上面には、開口部２５が設けられたプレート２４が重ねて設けられ、プレート２４の上方に間隔をあけて保護板２６が設けられている。

プレート２４は、ステンレスなどの光を透過しない板状体からなり、開口部２５の内側にステージ２０が露出しワーク１が載置される。プレート２４に設けられた開口部２５は、例えば、図３に示すような平面視において円形をなしており、その中心位置Ｃにワーク１の中心が位置するようにワーク１が位置決めされる。

保護板２６は、プレート２４との間に設けられた保持爪３１、３２及び一対の挟持爪４２、４２の先端部を上方から覆い保護する。保護板２６の中央部には、プレート２４の開口部２５と上下に重なるように開口部２７が設けられている。

保護板２６に設けられた開口部２７は、例えば、図３に示すような平面視において略矩形状をなしており、開口部２７の辺の長さがプレート２４の開口部２５の直径と略同一に設けられている。

また、保護板２６には、開口部２７を挟んで対向する位置（例えば、図３では第１方向Ｄ１に対向する位置）に保護板２６を貫通する一対の切欠部２８が設けられている。切欠部２８は、開口部２７と連通し、切欠部２８が対向する方向に開口部２７が広がっている。

ワーク１は、プレート２４の開口部２５と保護板２６の開口部２７とを通ってステージ２０に載置される。ステージ２０に載置されたワーク１は、プレート２４の上面より上方に突出し、当該突出する部分の外周部に位置決め部４０の一対の挟持爪４２、４２や保持部３０の保持爪３１、３２が当接する。

位置決め部４０は、プレート２４の開口部２５を第２方向Ｄ２に挟んで対向するように設けられた一対の挟持爪４２、４２を備える。一対の挟持爪４２、４２は、上下方向Ｄ３においてプレート２４と保護板２６との間に設けられている。

一対の挟持爪４２、４２は、位置決め駆動部７０に接続されており、開口部２５の内方の所定位置（例えば、開口部２５の中心位置Ｃ）を中心として第２方向Ｄ２に沿って互いに近接離隔移動する。

一対の挟持爪４２、４２は、その先端に第２方向Ｄ２に垂直な第１方向Ｄ１に沿って延びる平面状の先端面４３、４３を有している。一対の挟持爪４２、４２は、先端面４３、４３が、図３に示すような保護板２６に設けられた開口部２７や切欠部２８の外側位置（この位置を第２待避位置ということもある）と、ステージ２０に載置されたワーク１の外周面に当接する位置（この位置を位置決め位置ということもある）との間を、第２方向Ｄ２に沿って互いに近接離隔移動する。

一対の挟持爪４２、４２の先端は、第２待避位置において保護板２６の下方に位置し、保護板２６の開口部２７や切欠部２８から上方に露出せず保護板２６によって保護される。一対の挟持爪４２、４２が、第２待避位置から互いに近接移動して位置決め位置に達すると、一対の挟持爪４２、４２の先端がワーク１の外周面に当接する。これにより、ワーク１の中心がプレート２４の開口部２５の中心位置Ｃを通る第１方向Ｄ１に平行な直線（この直線を第１直線ということもある）Ｌ１上に位置するように、一対の挟持爪４２、４２は、ステージ２０に載置されたワーク１を第２方向Ｄ２に位置決めする。

保持部３０は、プレート２４の開口部２５を第１方向Ｄ１に挟んで対向するように設けられた第１保持爪３１及び第２保持爪３２を備える。第１保持爪３１及び第２保持爪３２は、上下方向D３においてプレート２４と保護板２６との間に設けられ、本実施形態では、位置決め部４０の一対の挟持爪４２、４２と同じ高さに位置している。

第１保持爪３１及び第２保持爪３２は、保持駆動部５０に接続されており、開口部２５の内方の所定位置（例えば、開口部２５の中心位置Ｃ）を中心として第２方向Ｄ２に垂直な第１方向Ｄ１に沿って互いに近接離隔移動する。つまり、保持部３０の第１保持爪３１及び第２保持爪３２は、位置決め部４０の一対の挟持爪４２、４２の移動方向に垂直な方向に移動する。

第１保持爪３１の先端側（第２保持爪３２側）には、ワーク１の外周面に当接する２つの第１当接部３３、３３が設けられている。第１当接部３３、３３は、第１保持爪３１の第２方向Ｄ２の中央部（幅方向中央部）に向かうほど先端側から遠ざかるように傾斜する一対の傾斜面からなり、平面視において先端側から離れる方向へ凹んだ略Ｖ字状をなしている。第１当接部３３、３３を構成する一対の傾斜面は、プレート２４の開口部２５の中心位置Ｃを通る第１方向Ｄ１に平行な第１直線Ｌ１に関して対称に設けられていることが好ましい。

第１保持爪３１と第１方向Ｄ１に対向するように配置される第２保持爪３２の先端側（第１保持爪３１側）には、第２方向Ｄ２に沿って延びる平面からなる第２当接部３４が設けられている。

このような保持部３０は、第１保持爪３１の一対の第１当接部３３、３３及び第２保持爪３２の第２当接部３４が、図３に示すような保護板２６に設けられた開口部２７や切欠部２８の外側位置（この位置を第１待避位置ということもある）と、ステージ２０に載置されたワーク１の外周面に当接する位置（この位置を保持位置ということもある）との間を、第１方向Ｄ１に沿って互いに近接離隔移動する。

第１当接部３３、３３及び第２当接部３４は、第１待避位置において保護板２６の下方に位置し、保護板２６の開口部２７や切欠部２８から上方に露出せず保護板２６によって保護される。第１保持爪３１及び第２保持爪３２が、第１待避位置から互いに近接移動して保持位置に達すると、第１保持爪３１は２つの第１当接部３３、３３においてワーク１の外周面に当接し、第２保持爪３２は１つの第２当接部３４においてワーク１の外周面に当接してワーク１を３点で保持する。

保持駆動部５０は、図２に示すように、エアーシリンダー機構５２と、エアーシリンダー機構５２にエアーを供給するエアー供給手段５３を備える。エアーシリンダー機構５２は、シリンダー５４と、該シリンダー５４内に摺動可能に配設されたピストン５５と、該ピストン５５に連結されたピストンロッド５６を備える。

シリンダー５４は、ピストン５５の両側にそれぞれ端壁５４１、５４２との間に作動室５４ａ、５４ｂが形成される。また、シリンダー５４の両端壁５４１、５４２には、それぞれ作動室５４ａ、５４ｂに連通する給排気ポート５４４、５４５が形成されている。上記シリンダー５４内に摺動可能に配設されたピストン５５に連結されたピストンロッド５６は、一方の端壁５４１を挿通して配設され、その先端部に不図示のラック及びピニオン機構を介して第１保持爪３１と第２保持爪３２が互いに近接離隔移動するように接続されている。

エアーシリンダー機構５２にエアーを供給するエアー供給手段５３は、エアー供給源６１と、該エアー供給源６１に接続された供給管６２と、上記エアーシリンダー機構５２を構成するシリンダー５４に設けられた給排気ポート５４４、５４５にそれぞれ接続された給排気管６３、６４と、供給管６２と給排気管６３、６４との間に配設され供給管６２と給排気管６３または６４を選択的に連通する電磁制御弁６５を備える。

一方の給排気ポート５４４に接続された給排気管６３には、逆止弁と絞り弁とを並列に接続した速度制御弁６７が設けられ、他方の給排気ポート５４５に接続された給排気管６４には、減圧レギュラー６８と速度制御弁６９が直列に設けられている。

電磁制御弁６５が除勢（ＯＦＦ）している状態では、供給管６２と給排気管６３、６４との連通が遮断される。

電磁制御弁６５が第１の電磁ソレノイド６５１を付勢（ＯＮ）すると、供給管６２と給排気管６３とが連通するとともに給排気管６４と排気管６６とが連通する。これにより、第１保持爪３１及び第２保持爪３２が互いに離隔移動する。

また、電磁制御弁６５が第２の電磁ソレノイド６５２を付勢（ＯＮ）すると、供給管６２と給排気管６４とが連通するとともに給排気管６３と排気管６６とが連通する。これにより、第１保持爪３１及び第２保持爪３２が互いに近接移動する。

位置決め駆動部７０は、保持駆動部５０と同様、エアーシリンダー機構７２と、エアーシリンダー機構７２にエアーを供給するエアー供給手段７３を備える。エアーシリンダー機構７２は、シリンダー７４と、該シリンダー７４内に摺動可能に配設されたピストン７５と、該ピストン７５に連結されたピストンロッド７６を備える。

シリンダー７４は、ピストン７５の両側にそれぞれ端壁７４１、７４２との間に作動室７４ａ、７４ｂが形成される。また、シリンダー７４の両端壁７４１、７４２には、それぞれ作動室７４ａ、７４ｂに連通する給排気ポート７４４、７４５が形成されている。上記シリンダー７４内に摺動可能に配設されたピストン７５に連結されたピストンロッド７６は、一方の端壁７４１を挿通して配設され、その先端部に不図示のラック及びピニオン機構を介して一対の挟持爪４２、４２が互いに近接離隔移動するように接続されている。

エアーシリンダー機構７２にエアーを供給するエアー供給手段７３は、エアー供給源６１と、該エアー供給源６１に接続された供給管６２と、上記エアーシリンダー機構７２を構成するシリンダー７４に設けられた給排気ポート７４４、７４５にそれぞれ接続された給排気管８３、８４と、供給管６２と給排気管８３、８４との間に配設され供給管６２と給排気管８３または８４を選択的に連通する電磁制御弁８５を備える。

一方の給排気ポート７４４に接続された給排気管８３には、逆止弁と絞り弁とを並列に接続した速度制御弁８７が設けられ、他方の給排気ポート７４５に接続された給排気管８４には、減圧レギュラー８８と速度制御弁８９が直列に設けられている。

電磁制御弁８５が除勢（ＯＦＦ）している状態では、供給管６２と給排気管８３、８４との連通が遮断される。

電磁制御弁８５が第１の電磁ソレノイド８５１を付勢（ＯＮ）すると、供給管６２と給排気管８３とが連通するとともに給排気管８４と排気管６６とが連通する。これにより、一対の挟持爪４２、４２が互いに離隔移動する。

また、電磁制御弁８５が第２の電磁ソレノイド８５２を付勢（ＯＮ）すると、供給管６２と給排気管８４とが連通するとともに給排気管８３と排気管６６とが連通する。これにより、一対の挟持爪４２、４２が互いに近接移動する。

（２）クランプ装置１０の動作
次に上記のようなクランプ装置１０がワーク１を保持固定する動作について説明する。

まず、図３に示すように、保持部３０の第１保持爪３１及び第２保持爪３２が第１待避位置に位置し、位置決め部４０の一対の挟持爪４２、４２が第２待避位置に位置する状態で、プレート２４の開口部２５と保護板２６の開口部２７とを通ってワーク１をステージ２０に載置する。

ワーク１がステージ２０に載置されると、位置決め駆動部７０の電磁制御弁８５が第２の電磁ソレノイド８５２を付勢（ＯＮ）することにより、開口部２５の中心位置Ｃを中心として一対の挟持爪４２、４２を互いに近接移動させて、ステージ２０に載置されたワーク１の外周面に一対の挟持爪４２、４２の先端面４３、４３を当接させる。これにより、ワーク１の中心が第１直線Ｌ１上に位置するように、ワーク１が第２方向Ｄ２に位置決めされる。本実施形態のようにワーク１の平面形状が円形である場合、ワーク１が第１直線Ｌ１に関して対称に配置される（図４参照）。

ワーク１が第２方向Ｄ２に位置決めされると、位置決め駆動部７０の電磁制御弁８５が第１の電磁ソレノイド８５１を付勢（ＯＮ）して、一対の挟持爪４２、４２を第２待避位置へ移動させる。

その後、保持駆動部５０の電磁制御弁６５が第２の電磁ソレノイド６５２を付勢（ＯＮ）することにより、第１待機位置にある第１保持爪３１及び第２保持爪３２を互いに近接移動させ、第１保持爪３１に設けられた２つの第１当接部３３、３３と第２保持爪３２に設けられた第２当接部３４とを、ワーク１の外周面に当接させる。これにより、ワーク１の中心が開口部２５の中心位置Ｃに一致するように、ワーク１が位置決めされた状態で第１保持爪３１と第２保持爪３２との間で保持される。

そして、ワーク１の中心が開口部２５の中心位置Ｃに一致するように、保持部３０の第１保持爪３１と第２保持爪３２によってワーク１を保持固定した状態で、所定の工程を実行する。保持部３０によってワーク１を保持固定した状態で種々の工程を実行することができる。例えば、ワーク１がコネクタの場合、コネクタの所定位置にコンタクトピンを圧入する。

そして、所定の工程が終了すると、保持駆動部５０の電磁制御弁６５が第１の電磁ソレノイド６５１を付勢（ＯＮ）して、第１保持爪３１と第２保持爪３２を第１待避位置へ移動させる。

そして、ワーク１をステージ２０から取り出し、必要に応じて別のワーク１をステージ２０に載置し、再び、位置決め部４０によるワーク１の位置決めと、保持部３０によるワーク１の保持固定と、所定の工程の実行とを繰り返す。

（３）効果
本実施形態のクランプ装置１０では、位置決め部４０によってワーク１を第２方向Ｄ２の所定位置に位置決めした後、保持部３０によってワーク１を保持するため、第１保持爪３１に設けられた２つの第１当接部３３、３３と第２保持爪３２に設けられた第２当接部３４との間でワーク１を保持する際に、ワーク１が上下方向Ｄ３の軸回りに回転するのを抑えることができる。

特に、本実施形態では、第１保持爪３１に設けられた２つの第１当接部３３が第１直線Ｌ１に関して対称に設けられているとともに、保持部３０によってワーク１を保持する前に、位置決め部４０によってワーク１が第１直線Ｌ１に関して対称に配置されるように位置決めされている。これにより、第１保持爪３１と第２保持爪３２との間でワーク１を保持する際に、ワーク１が第１保持爪３１の２つの第１当接部３３、３３に同時に当接するため、ワーク１を上下方向Ｄ３の軸回りに回転させることなく２つの第１当接部３３、３３と第２当接部３４との間で保持することができる。

また、本実施形態では、ワーク１をステージ２０に載置したり、ステージ２０からワーク１を取り出す際に、保持部３０の第１当接部３３、３３及び第２当接部３４や、位置決め部４０の一対の挟持爪４２、４２の先端面４３、４３が、保護板２６によって上方を覆われているため、第１当接部３３、３３及び第２当接部３４や一対の挟持爪４２、４２の先端面４３、４３にワーク１が誤って衝突するのを防ぐことができる。

しかも、本実施形態では、保護板２６の開口部２７を挟んで対向する位置に、開口部２７と連通する切欠部２８が設けられているため、作業者がステージ２０にワーク１を出し入れする際に、ワーク１を保持する指が保護板２６に接触しにくくなり、作業しやすくなる。

以上、本発明の実施形態を説明したが、これらの実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。これらの実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

例えば、上記実施形態において下記変更例１〜３のような変更例を適用することができる。

（変更例１）
上記した実施形態では、保持部３０や位置決め部４０を駆動する保持駆動部５０や位置決め駆動部７０としてエアーシリンダー機構５２、７２を用いたが、ボールネジをステッピングモータ等のモータによって回転制御して、ボールネジに螺合する摺動ベースに固定した保持部３０や位置決め部４０を駆動するリニアアクチュエータなど、種々のアクチュエータによって保持部３０や位置決め部４０の移動を制御することができる。

モータの回転制御によって保持部３０や位置決め部４０を駆動するリニアアクチュエータを採用する場合、位置決め部４０の一対の挟持爪４２、４２がワーク１の外周面に当接する位置を、エンコーダなどの位置検出器によって検出し、その検出結果に基づいてステージ２０に載置されたワーク１の大きさや種類を検出し、保持部３０の第１保持爪３１及び第２保持爪３２の移動を制御してもよい。

具体的には、一対の挟持爪４２、４２が第２待避位置からワーク１の外周面に当接する位置までの移動距離をエンコーダで検出し、その結果からワーク１の大きさを検出する。

クランプ装置１０には、ワーク１の大きさと保持位置に関する情報が予め対応付けて記憶させてあり、ワーク１の大きさを検出すると、それに対応する保持位置を読み込む。そして、第１保持爪３１と第２保持爪３２を第１待避位置から保持位置に達する手前の所定位置まで第１速度で高速に移動させた後、当該所定位置から保持位置まで第１速度より低速に移動させる。これにより、ワーク１を保持するまでの時間を短縮しつつ、ワーク１に第１保持爪３１及び第２保持爪３２が接触する際の衝撃を抑えることができる。

また、ワーク１のサイズに応じた適切な位置で第１保持爪３１と第２保持爪３２を停止することができるため、ワーク１が第１保持爪３１及び第２保持爪３２によって過度に押し込まれることがなく、ワーク１を傾いた状態で保持したり、ワーク１を損傷したりすることがない。更に、ワーク１を第１保持爪３１及び第２保持爪３２によって保持固定する際の加重を制御することができる。

（変更例２）
上記した実施形態では、第１保持爪３１の先端部に設ける２つの第１当接部３３、３３をＶ字状に設けたが、例えば、図６に例示するように、第１直線Ｌ１を挟んで第２方向Ｄ２の両側に設けた突起１３３、１３３をワーク１に当接する第１当接部とするなど、当接部として種々の形状を採用することができる。また、上記した実施形態では、２つの当接部を第１直線Ｌ１に関して対称に設けたが、２つの当接部を第１直線Ｌ１に関して非対称に設けてもよい。その場合において、ワーク１を第１保持爪３１と第２保持爪３２との間で保持する際に、ワーク１が２つの第１当接部に同時に当接するようにワーク１の形状に応じた形状に第１当接部を設けることが好ましい。

１０…クランプ装置、２０…ステージ、２２…面照明装置、２４…プレート、２５…開口部、２６…保護板、２７…開口部、２８…切欠部、３０…保持部、３１…第１保持爪、３２…第２保持爪、３３…第１当接部、３４…第２当接部、４０…位置決め部、４２…挟持爪、４３…先端面、５０…保持駆動部

Claims (7)

1. ワークが載置されるステージと、
   第１保持爪及び第２保持爪の少なくとも一方を第１方向へ移動させて、前記第１保持爪に設けられた２つの第１当接部と前記第２保持爪に設けられた第２当接部との間で前記ステージに載置された前記ワークを保持する保持部と、
   前記第１方向に垂直な第２方向の所定位置に前記ワークを位置決めする位置決め部と、を備え、
   前記位置決め部によって前記第２方向の所定位置に前記ワークを位置決めした後、前記保持部が２つの前記第１当接部と前記第２当接部との間で前記ワークを保持するクランプ装置。
2. 前記保持部が前記ワークを保持する際に２つの前記第１当接部が前記ワークに同時に当接するように、前記位置決め部が前記ワークを位置決めする請求項１に記載のクランプ装置。
3. ２つの前記第１当接部が、前記第１方向に沿った対称軸に関して対称に設けられている請求項１又は２に記載のクランプ装置。
4. 前記位置決め部は、前記ワークを前記第２方向の両側から押圧して前記第２方向の所定位置に前記ワークを位置決めする請求項１〜３のいずれか１項に記載のクランプ装置。
5. 前記位置決め部が前記ワークを位置決めした時に前記ワークの大きさに関する情報を取得し、
   前記保持部は、取得した情報に基づいて前記第１保持爪及び前記第２保持爪の移動を制御して前記ワークを保持する請求項１〜４のいずれか１項に記載のクランプ装置。
6. 前記第１保持爪及び前記第２保持爪の上方に設けられた保護板と前記保護板に設けられた開口部とを備え、
   前記ステージに前記ワークを載置する時に前記第１保持爪及び前記第２保持爪が前記開口部の外方に位置し、前記第１保持爪及び前記第２保持爪が前記開口部の内方へ突出して前記ワークを保持する請求項１〜５のいずれか１項に記載のクランプ装置。
7. 第１保持爪及び第２保持爪の少なくとも一方を第１方向へ移動させて、前記第１保持爪に設けられた２つの第１当接部と前記第２保持爪に設けられた第２当接部との間でステージに載置されたワークを保持するワークの保持方法において、
   前記第１方向に垂直な第２方向の所定位置に前記ワークを位置決めした後、２つの前記第１当接部と前記第２当接部との間で前記ワークを保持するワークの保持方法。

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