JP2021114867A - 圧電モーター、およびロボット - Google Patents

Abstract

【課題】不要な振動を抑制し、振動体の駆動力低下を防ぐことが可能な圧電モーターおよびロボットを提供する。【解決手段】圧電モーター１００は、圧電アクチュエーター３０と、圧電アクチュエーター３０を保持する保持部材３６と、圧電アクチュエーター３０および保持部材３６が内部に配置された筐体２０と、保持部材３６と筐体２０とを位置決めする第１位置決めピン９０１と、第１位置決めピン９０１を固定する第１固定部と、を備える。圧電モーター１００において、保持部材３６と筐体２０の一方には、第１位置決めピン９０１が固定され、保持部材３６と筐体２０の他方には、第１位置決めピン９０１が内部に配置される第１孔部が設けられている。第１固定部は、第１孔部と第１位置決めピン９０１の相対位置を固定する。【選択図】図１

Description

本発明は、圧電モーター、およびロボットに関する。

特許文献１には、振動体と、振動体を保持する保持部材と、保持部材を保持するリング部材とを備える超音波モーターが開示されている。保持部材には軸部が設けられ、リング部材には、軸部を受け入れる穴部が形成されている。保持部材は、軸部に沿って進退移動可能な状態でリング部材に対して位置決めされる。つまり、軸部は、リング部材の穴部に対して隙間嵌めになっている。

特開２０１６−１９３５４号公報

しかしながら、隙間嵌めによる位置決めで軸部と穴部とが接触を繰り返すことによって不要な振動が発生し、振動体の駆動力が低下するおそれがある。

圧電モーターは、振動体と、前記振動体を保持する保持部と、前記振動体および前記保持部が内部に配置された筐体と、前記保持部と前記筐体とを位置決めする第１位置決めピンと、前記第１位置決めピンを固定する第１固定部と、を備えた圧電モーターであって、前記保持部と前記筐体の一方には、前記第１位置決めピンが固定され、前記保持部と前記筐体の他方には、前記第１位置決めピンが内部に配置される第１孔部が設けられ、前記第１固定部は、前記第１孔部と前記第１位置決めピンの相対位置を固定する。

ロボットは、上記の圧電モーターを有する。

実施形態１における圧電モーターの概略構成を示す側断面図。 実施形態１における圧電モーターの内部構成を示す平面図。 実施形態１における圧電モーターを上方から見た斜視図。 実施形態１における圧電アクチュエーターと保持部材とを上方から見た斜視図。 圧電アクチュエーターの構成を示す斜視図。 圧電アクチュエーターの構成を示す平面図。 第１平行ばね部と第２平行ばね部とが変形する様子を示す説明図。 圧電アクチュエーターの断面図。 振動部の構成を示す説明図。 振動部の動作を示す説明図。 実施形態２における圧電モーターを上方から見た斜視図。 実施形態２における圧電アクチュエーターと保持部材とを上方から見た斜視図。 実施形態４におけるロボットの概略構成を示す斜視図。

１．実施形態１
図１は、実施形態１における圧電モーター１００の概略構成を示す側断面図である。図２は、実施形態１における圧電モーター１００の内部構成を示す平面図である。本実施形態における圧電モーター１００は、圧電モーター１００の外形を区画する筐体２０と、筐体２０の内部に収容された振動体としての圧電アクチュエーター３０と、圧電アクチュエーター３０によって駆動されるローター４０と、ローター４０を回転可能に支持するベアリング５０とを備えている。圧電アクチュエーター３０は、圧電素子３２を備えており、圧電素子３２の二次元的な変形を用いてローター４０を回転させる。ローター４０の回転は、回転軸４１を介して圧電モーター１００の外部に伝達される。圧電モーター１００は、筐体２０に対するローター４０の回転方向や、回転角や、回転速度を検出するエンコーダーを備えてもよい。エンコーダーは、光学式であっても、磁気式であってもよい。尚、圧電モーター１００のことを圧電駆動装置や、超音波モーターと呼ぶことがある。ローター４０のことを被駆動部と呼ぶことがある。

筐体２０は、下ケース２９と蓋部２８とによって構成されている。下ケース２９は、円筒形の側面部２１と、側面部２１の内周面に形成された円環状の第１段差部２２と、第１段差部２２に接し、同じく側面部２１の内周面に形成された円環状の第２段差部２３とを備えている。本実施形態では、側面部２１と、第１段差部２２と、第２段差部２３とは、一体的に構成されているが、別体でもよい。第１段差部２２は、第２段差部２３よりも下方に位置している。第１段差部２２の内径は、第２段差部２３の内径よりも大きい。第１段差部２２の下端面は、側面部２１の下端面よりも上に位置し、第２段差部２３の上端面は、側面部２１の上端面よりも下に位置する。ベアリング５０は、第１段差部２２の内周面と第２段差部２３の下端面に接するように取り付けられる。圧電アクチュエーター３０は、保持部としての保持部材３６によって保持され、保持部材３６と筐体２０とを位置決めするための第１位置決めピン９０１および第２位置決めピン９０２を介して第２段差部２３の上端面に取り付けられる。ベアリング５０と圧電アクチュエーター３０の詳細な取り付けについては後述する。蓋部２８は、ベアリング５０とローター４０と圧電アクチュエーター３０とが下ケース２９に取り付けられた後に、ねじによって下ケース２９の側面部２１の上端部分に取り付けられる。蓋部２８には、配線等が通る貫通孔２７が設けられている。

圧電アクチュエーター３０は、保持部材３６とともに筐体２０の内部に配置され、第２段差部２３に固定されている。圧電アクチュエーター３０は、上述した圧電素子３２と、ローター４０の被接触面４９（図２参照）に対向する先端部３３とを備えている。圧電素子３２に交流電圧が供給されることによって、圧電素子３２が変形して、先端部３３が楕円軌道を描くように振動する。先端部３３は、この振動によってローター４０の被接触面４９に繰り返し接触して、ローター４０に駆動力を付与する。尚、圧電アクチュエーター３０の具体的な構成および動作については後述する。

図２は、圧電モーター１００の内部構成を示す平面図であり、蓋部２８から下方に向かって見た場合の圧電アクチュエーター３０とローター４０との位置関係を示している。本実施形態における圧電モーター１００には、４つの圧電アクチュエーター３０が設けられている。４つの圧電アクチュエーター３０は、等間隔に配置されている。尚、圧電モーター１００に設けられる圧電アクチュエーター３０の数は、４つに限られず、１つから３つでもよいし、５つ以上でもよい。圧電アクチュエーター３０は、等間隔に配置されなくてもよい。

ローター４０は、上述した回転軸４１と、回転軸４１の外周に配置され、回転軸４１に接続された伝達部材４５と、回転軸４１の外周に配置され、伝達部材４５に接続された高硬度部４８とを有している。本実施形態では、ローター４０は、中心軸ＲＸを中心に回転可能な、円筒状の回転軸４１を有している。つまり、ローター４０は、中空の回転軸４１を有している。尚、ローター４０は、中実の回転軸４１を有してもよい。ローター４０の回転軸４１の中心軸ＲＸに沿って下ケース２９から蓋部２８に向かう方向のことを軸方向ＡＤと呼び、回転軸４１の中心軸ＲＸに直交し、中心軸ＲＸから外側に向かう方向のことを径方向ＲＤと呼ぶ。また、ローター４０の回転方向のことを周方向ＣＤと呼ぶ。これらの方向ＡＤ，ＲＤ，ＣＤは、各図において適宜図示している。

図３は、圧電モーター１００を上方から見た斜視図である。ここでは、蓋部２８と、圧電アクチュエーター３０と、保持部材３６とを除いて示している。第２段差部２３は、１つの圧電アクチュエーター３０につき、第１位置決めピン９０１と第２位置決めピン９０２を１本ずつ有している。第１位置決めピン９０１の中心軸と、第２位置決めピン９０２の中心軸とは、それぞれ、軸方向ＡＤに平行になっている。本実施形態では、第２段差部２３に、第１位置決めピン９０１の直径よりもわずかに小さい直径を有する穴をあけ、その穴に対して、第１位置決めピン９０１をハンマー等で打ち込むことで固定している。すなわち、第１位置決めピン９０１は、第２段差部２３に締まり嵌めで固定されている。第２位置決めピン９０２も、第１位置決めピン９０１と同様に、第２段差部２３に締まり嵌めで固定されている。なお、固定方法は、打ち込みに限られず、接着剤を使用してもよいし、詰め物を使用してもよいし、雄ねじと雌ねじによる螺合でもよい。または、第１位置決めピン９０１と、第２位置決めピン９０２とは、下ケース２９と別体ではなく、下ケース２９との一体成型でもよい。

図４は、圧電アクチュエーター３０と保持部材３６とを上方から見た斜視図である。図４には、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向に沿った矢印が表されている。Ｘ方向は、図１および図２に示した軸方向ＡＤと平行な方向であり、Ｚ方向は、図１および図２に示した径方向ＲＤと平行な方向である。これらの方向Ｘ，Ｙ，Ｚは、各図において適宜図示している。本実施形態では、圧電アクチュエーター３０は、固定ねじ９０（図１参照）によって保持部材３６に固定されている。なお、固定方法は、ねじに限られず、接着剤等を使用してもよいし、それらの組み合わせでもよい。

保持部材３６は、３段の階段形状をしている。ＹＺ平面に平行な底面９３０を共通の底面とし、＋Ｙ方向に向かって、第１段部９３１と、第２段部９３２と、第３段部９３３とが順に配置されている。本実施形態では、第３段部９３３は、第２段部９３２よりも高く、第２段部９３２は、第１段部９３１よりも高くなっている。圧電アクチュエーター３０は、第３段部９３３に固定されている。第１段部９３１と、第２段部９３２との高さが、第３段部９３３の高さよりも低いため、圧電アクチュエーター３０の図示しない配線と干渉しない。また、第１段部９３１の高さが、第２段部９３２の高さよりも低いことによって、第１位置決めピン９０１と、第２位置決めピン９０２との両方を、後述の第１孔部９１１と、第４孔部９２１との両方に挿入する際の二重勘合の影響を小さくすることができる。つまり、厳密には平行ではない第１位置決めピン９０１と第２位置決めピン９０２とが、同じく厳密には平行ではない第１孔部９１１と第４孔部９２１とに、引っかかって入らない可能性を低減できる。

第２段部９３２には、第１位置決めピン９０１が内部に配置される第１孔部９１１が設けられている。第１孔部９１１は、第２段部９３２をＸ方向に貫通している。第１孔部９１１の直径は、第１位置決めピン９０１の直径よりもわずかに大きい。第２段部９３２には、Ｚ方向に平行で、第１孔部９１１に連通する第２孔部９１２が形成されている。そして、第２孔部９１２の内周面には、雌ねじが形成されている。第２孔部９１２の内部には、第１ねじ部としての第１雄ねじ９０３が取り付けられる。また、本実施形態では、第２段部９３２に、Ｚ方向に平行で、第１孔部９１１に連通する第３孔部９１４が形成されている。そして、第３孔部９１４の内周面には、雌ねじが形成されている。第３孔部９１４の内部には、第２ねじ部としての第２雄ねじ９０４が取り付けられる。本実施形態では、第２孔部９１２と、第３孔部９１４とは、Ｚ方向に平行であるが、第１孔部９１１に連通し、かつ雌ねじを形成できれば、どの方向でもよい。第２孔部９１２と、第１雄ねじ９０３と、第３孔部９１４と、第２雄ねじ９０４とは、第１位置決めピン９０１を固定する第１固定部９１０として機能する。

第１段部９３１には、第２位置決めピン９０２が内部に配置される第４孔部９２１が設けられている。第４孔部９２１は、第１段部９３１をＸ方向に貫通している。第４孔部９２１の直径は、第２位置決めピン９０２の直径よりもわずかに大きい。また、Ｙ方向と、Ｚ方向との両方向において、第１孔部９１１に対する第４孔部９２１の相対位置は、第１位置決めピン９０１に対する第２位置決めピン９０２の相対位置に等しい。つまり、第１孔部９１１に対して第１位置決めピン９０１を、第４孔部９２１に対して第２位置決めピン９０２を挿入することで、保持部材３６を、Ｘ方向に進退移動可能な状態で、下ケース２９に接続することができる。本実施形態では、第１段部９３１には、Ｚ方向に平行で、第４孔部９２１に連通する第５孔部９２２が形成されている。そして、第５孔部９２２の内周面には、雌ねじが形成されている。第５孔部９２２には、第３ねじ部としての第３雄ねじ９０５が取り付けられる。本実施形態では、第５孔部９２２は、Ｚ方向に平行であるが、第４孔部９２１に連通し、かつ雌ねじを形成できれば、どの方向でもよい。第５孔部９２２と、第３雄ねじ９０５とは、第２位置決めピン９０２を固定する第２固定部９２０として機能する。なお、下ケース２９の側面部２１には、第１雄ねじ９０３、第２雄ねじ９０４、第３雄ねじ９０５を保持部材３６に取り付けるための開口２４が形成されている。

圧電アクチュエーター３０が予め取り付けられた保持部材３６を、第１位置決めピン９０１と、第２位置決めピン９０２とを介して下ケース２９に接続すると、図１に示すように、圧電アクチュエーター３０の先端部３３が、ローター４０の被接触面４９に接触し、付勢力が発生する。圧電アクチュエーター３０により圧電モーター１００を動作させるためには、付勢力が不可欠であるが、保持部材３６は、下ケース２９に対して、Ｘ方向に進退移動可能な状態であるため、このままでは付勢力を維持することができない。そこで、本実施形態では、第１雄ねじ９０３と、第２雄ねじ９０４とにより、第１位置決めピン９０１を第１孔部９１１に押し付けて締め上げることで、第１位置決めピン９０１と、第１孔部９１１との相対位置を固定している。つまり、第１固定部９１０は、第１位置決めピン９０１と、第１孔部９１１との相対位置を固定する。これにより、付勢力を維持することができる。加えて、第１位置決めピン９０１と、第１孔部９１１との隙間によって生じていた不要な振動を抑制し、圧電モーター１００の駆動力の低下を防ぐことができる。加えて、第１位置決めピン９０１と、第１孔部９１１との隙間と、第２位置決めピン９０２と、第２孔部９１２との隙間と、によって生じる、保持部材３６の回転方向の自由度を、Ｙ軸回りと、Ｚ軸回りとの２方向で規制することができる。つまり、ガタつきを減らし、圧電アクチュエーター３０の姿勢を安定させることができる。さらに、本実施形態では、第３雄ねじ９０５により、第２位置決めピン９０２を第４孔部９２１に押し付けて締め上げることで、第２位置決めピン９０２と、第４孔部９２１との相対位置を固定している。つまり、第２固定部９２０は、第２位置決めピン９０２と、第４孔部９２１との相対位置を固定する。これにより、前述の回転方向の自由度のうち、残るＸ軸回りの方向を規制することができる。つまり、ガタつきをより減らし、圧電アクチュエーター３０の姿勢をより安定させることができる。なお、本実施形態では、第１位置決めピン９０１と、第１孔部９１１との相対位置の固定を、第１雄ねじ９０３と、第２雄ねじ９０４とを締め上げることで実現し、第２位置決めピン９０２と、第４孔部９２１との相対位置の固定を、第３雄ねじ９０５を締め上げることで実現したが、第１孔部９１１および第４孔部９２１の内部に接着剤や詰め物等を配置することで実現してもよい。つまり、これらの接着剤や詰め物等が、第１位置決めピン９０１と第１孔部９１１との双方に接し、第２位置決めピン９０２と第４孔部９２１との双方に接することで、各々の相対位置の固定が行われる。その場合、それらの接着剤や詰め物等が、第１固定部９１０と、第２固定部９２０とに含まれる。本実施形態の圧電アクチュエーター３０において、付勢力を調整する方法については後述する。

伝達部材４５は、圧電アクチュエーター３０の先端部３３から駆動力を受け、この駆動力を回転軸４１に伝達する。伝達部材４５は、中心軸ＲＸを中心とする円筒状の部分と、中心軸ＲＸを中心とする鍔状の部分とが組み合わされた形状を有している。伝達部材４５の円筒状の部分は、回転軸４１の外周側面に接続されている。

高硬度部４８は、圧電アクチュエーター３０の先端部３３と伝達部材４５との間に配置されている。高硬度部４８は、中心軸ＲＸを中心とする円環形状を有している。高硬度部４８は、伝達部材４５の鍔状の部分に絶縁性の接着剤によって接着されている。高硬度部４８には、圧電アクチュエーター３０の先端部３３が接触する被接触面４９が設けられている。本実施形態では、高硬度部４８は、セラミック材料によって形成されている。より具体的には、高硬度部４８は、アルミナ（酸化アルミニウム）によって形成されている。尚、高硬度部４８を形成するセラミック材料として、アルミナの他に、例えば、ジルコニアや、チタン酸バリウムを用いることができる。高硬度部４８は、金属材料によって形成されてもよい。高硬度部４８を形成する金属材料として、例えば、超硬合金、高速度鋼、合金工具鋼等を用いることができる。伝達部材４５と高硬度部４８とは、ねじや接着や拡散接合等によって互いに固定されてもよい。伝達部材４５に溝が形成され、この溝に高硬度部４８が嵌め込まれてもよい。

ベアリング５０は、ローター４０の回転軸４１と、筐体２０の第１段差部２２との間に設けられている。ベアリング５０は、筐体２０に対して回転可能にローター４０を支持している。本実施形態では、ベアリング５０として、中心軸ＲＸを中心とする円環形状を有するローラーベアリングが用いられている。ベアリング５０は、ローラーベアリングではなく、例えば、ボールベアリングであってもよい。ローター４０がベアリング５０に支持されることによって、ローター４０は、中心軸ＲＸを中心にして円滑に回転できる。

ベアリング５０の外輪は、支持部材５６と筐体２０の第２段差部２３とによって挟持されている。支持部材５６は、中心軸ＲＸを中心とする円環形状を有している。周方向ＣＤに垂直な支持部材５６の断面は、Ｌ字形状を有している。本実施形態では、支持部材５６の外周側面と筐体２０の側面部２１の内周側面とのそれぞれに、ねじ部が設けられており、ねじ部同士が嵌め合わされることによって、支持部材５６が側面部２１に固定されている。

ベアリング５０の内輪は、伝達部材４５と回転軸４１とによって挟持されている。本実施形態では、ローター４０の回転軸４１の外周側面と伝達部材４５の内周側面とのそれぞれに、ねじ部が設けられており、ねじ部同士が嵌め合わされることによって、伝達部材４５が回転軸４１に固定されている。

図１に示すように、ベアリング５０と支持部材５６とを用いて、下ケース２９に対して、ローター４０が回転可能に取り付けられた後、図４に示すように、圧電アクチュエーター３０が予め取り付けられた保持部材３６が、下ケース２９に取り付けられる。

図５は、圧電アクチュエーター３０の構成を示す斜視図である。圧電アクチュエーター３０は、圧電素子３２を有する本体部３９と、本体部３９に接続された先端部３３と、ローター４０に向かって本体部３９を付勢する第１平行ばね部６０と、第１平行ばね部６０とともに、ローター４０に向かって本体部３９を付勢する第２平行ばね部７０とを備えている。

本体部３９は、第１平行ばね部６０と第２平行ばね部７０との間に配置されている。本体部３９は、圧電素子３２と、第１振動板８１と、第２振動板８２と、第１層間部材８５とによって構成されている。圧電素子３２は、第１振動板８１と、第２振動板８２との間に設けられている。第１層間部材８５は、第１振動板８１と第２振動板８２との間の隙間を埋めるように設けられている。

圧電素子３２は、両面に電極が設けられた圧電体によって構成されている。本実施形態では、圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛によって形成されている。圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛ではなく、例えば、チタン酸バリウムや水晶によって形成されてもよい。電極は、図示しない配線によって、スイッチング素子を介して電源に接続されている。

第１振動板８１と第２振動板８２とは、同じ形状を有している。第１振動板８１と第２振動板８２とは、シリコンによって形成されている。圧電素子３２と第１振動板８１との間、および、圧電素子３２と第２振動板８２との間は、絶縁性の接着剤によって接着されている。第１層間部材８５は、シリコンによって形成されている。第１層間部材８５と第１振動板８１との間、および、第１層間部材８５と第２振動板８２との間は、絶縁性の接着剤によって接着されている。

先端部３３は、絶縁性の接着剤によって本体部３９に接着されている。先端部３３は、耐摩耗性に優れる材料によって形成されることが好ましい。本実施形態では、先端部３３は、アルミナによって形成されている。

第１平行ばね部６０は、第１非ばね部６１と、第２非ばね部６２と、第１非ばね部６１と第２非ばね部６２との間を接続する複数の第１板ばね部６３とを有している。本実施形態では、第１非ばね部６１と第２非ばね部６２との間は、６つの第１板ばね部６３によって接続されている。第１非ばね部６１と第２非ばね部６２とは、第１平行ばね部６０において、Ｘ方向に沿って変形しにくい部分である。第１板ばね部６３は、第１平行ばね部６０において、Ｘ方向に沿って変形しやすい部分である。それぞれの第１板ばね部６３は、Ｙ方向に向かって互いに平行に延びている。それぞれの第１板ばね部６３は、Ｚ方向において本体部３９に対向して配置されている。

第２平行ばね部７０は、第３非ばね部７１と、第４非ばね部７２と、第３非ばね部７１と第４非ばね部７２との間を接続する複数の第２板ばね部７３とを有している。第３非ばね部７１と第４非ばね部７２とは、第２平行ばね部７０において、Ｘ方向に沿って変形しにくい部分である。第２板ばね部７３は、第２平行ばね部７０において、Ｘ方向に沿って変形しやすい部分である。それぞれの第２板ばね部７３は、Ｙ方向に向かって互いに平行に延びている。それぞれの第２板ばね部７３は、Ｚ方向において本体部３９に対向して配置されている。本実施形態では、第２平行ばね部７０は、本体部３９を挟んで第１平行ばね部６０と対称形状を有している。

第１平行ばね部６０と第２平行ばね部７０とは、それぞれ、シリコンによって形成されている。第１平行ばね部６０における第１非ばね部６１と第２非ばね部６２と第１板ばね部６３とは、板状のシリコンにドライエッチングを用いて形成できる。第２平行ばね部７０における第３非ばね部７１と第４非ばね部７２と第２板ばね部７３とは、板状のシリコンにドライエッチングを用いて形成できる。

第１平行ばね部６０の第２非ばね部６２と第２平行ばね部７０の第４非ばね部７２との間には、第２非ばね部６２から第４非ばね部７２に向かって、第３振動板８３と、第２層間部材８６と、第４振動板８４とがこの順に設けられている。第３振動板８３と第４振動板８４とは、同じ形状を有している。第３振動板８３と第４振動板８４とは、シリコンによって形成されている。第３振動板８３のＺ方向に沿った厚みは、第１振動板８１のＺ方向に沿った厚みと同じである。第４振動板８４のＺ方向に沿った厚みは、第２振動板８２のＺ方向に沿った厚みと同じである。第２層間部材８６は、シリコンによって形成されている。第２層間部材８６のＺ方向に沿った厚みは、第１層間部材８５のＺ方向に沿った厚みと同じである。

第２非ばね部６２と第４非ばね部７２とには、圧電アクチュエーター３０を保持部材３６に固定するための固定ねじ９０が挿入される取付穴３８が２つ設けられている。取付穴３８は、第１平行ばね部６０と、第３振動板８３と、第２層間部材８６と、第４振動板８４と、第２平行ばね部７０とを貫通して設けられている。

図６は、圧電アクチュエーター３０の構成を示す平面図である。本体部３９は、振動部３１と、支持部３４と、腕部３５とを有している。振動部３１は、圧電素子３２を有する部分である。第１平行ばね部６０から第２平行ばね部７０に向かって見た振動部３１の形状は、Ｘ方向に沿った長手方向を有する長方形である。振動部３１の一方の短辺の中央には、先端部３３が接続されている。腕部３５は、振動部３１の他方の短辺と振動部３１の両方の長辺とに対向する部分である。支持部３４は、振動部３１の両方の長辺の中央と腕部３５との間を接続する部分である。

第１平行ばね部６０の第１非ばね部６１は、第１厚肉部６５と、第１薄肉部６６とを有している。第１薄肉部６６のＺ方向に沿った厚みは、第１厚肉部６５のＺ方向に沿った厚みよりも小さい。第１厚肉部６５は、腕部３５に対向する領域に設けられている。図６には、第１厚肉部６５が設けられた領域にハッチングが施されている。第１薄肉部６６は、第１非ばね部６１における振動部３１と支持部３４とに対向する領域に設けられている。第１厚肉部６５は、絶縁性の接着剤によって腕部３５に接着されている。第１薄肉部６６は、振動部３１と支持部３４との間にＺ方向に沿った所定の間隔を有している。

第２平行ばね部７０の第３非ばね部７１は、第２厚肉部７５と、第２薄肉部７６とを有している。第２薄肉部７６のＺ方向に沿った厚みは、第２厚肉部７５のＺ方向に沿った厚みよりも小さい。第２厚肉部７５は、腕部３５に対向する領域に設けられている。図６には、第２厚肉部７５が設けられた領域にハッチングが施されている。第２薄肉部７６は、第３非ばね部７１における振動部３１と支持部３４とに対向する領域に設けられている。第２厚肉部７５は、絶縁性の接着剤によって腕部３５に接着されている。第２薄肉部７６は、振動部３１と支持部３４との間にＺ方向に沿った所定の間隔を有している。

図７は、第１平行ばね部６０と第２平行ばね部７０とが変形する様子を示す説明図である。第１平行ばね部６０は、Ｘ方向に沿った荷重に対して、平行ばね機構として機能する。第２平行ばね部７０は、第１平行ばね部６０と同様に、Ｘ方向に沿った荷重に対して、平行ばね機構として機能する。例えば、図７に示すように、先端部３３が−Ｘ方向に向かって荷重Ｆｘを受けた場合、第１非ばね部６１と第３非ばね部７１とは、本体部３９を介して、−Ｘ方向に向かって押される。第１非ばね部６１と第３非ばね部７１とが−Ｘ方向に向かって押されることによって、それぞれの第１板ばね部６３は、互いに平行な状態を保ちつつ、−Ｘ方向に向かって撓み、それぞれの第２板ばね部７３は、互いに平行な状態を保ちつつ、−Ｘ方向に向かって撓む。第１非ばね部６１は、第２非ばね部６２に対して回転せずに、第１板ばね部６３の−Ｘ方向への撓み量に応じて−Ｘ方向に向かって並進移動するとともに、第１板ばね部６３の撓みに伴う第１板ばね部６３と第１非ばね部６１との接続部の＋Ｙ方向への移動量に応じて＋Ｙ方向に向かって並進移動する。第３非ばね部７１は、第４非ばね部７２に対して回転せずに、第２板ばね部７３の−Ｘ方向への撓み量に応じて−Ｘ方向に向かって並進移動するとともに、第２板ばね部７３の撓みに伴う第２板ばね部７３と第３非ばね部７１との接続部の＋Ｙ方向への移動量に応じて＋Ｙ方向に向かって並進移動する。尚、図７には、移動前の第１平行ばね部６０と第２平行ばね部７０との位置が二点鎖線で表されている。第１非ばね部６１と第２非ばね部６２と第３非ばね部７１と第４非ばね部７２とは、ほとんど変形しない。第２非ばね部６２と第４非ばね部７２とは、保持部材３６に固定されているため、保持部材３６に対して移動しない。つまり、第２段差部２３と、保持部材３６との間の、軸方向ＡＤの距離によって、荷重Ｆｘを調整することができる。ここで、荷重Ｆｘは、圧電アクチュエーター３０の付勢力と同義である。

図８は、図６における圧電アクチュエーター３０のＶＩ−ＶＩ線断面図である。本実施形態では、第１板ばね部６３の断面形状と、第２板ばね部７３の断面形状とは、長方形の断面形状を有している。なお、第１板ばね部６３の断面形状と、第２板ばね部７３の断面形状とは、長方形に限られず、本体部３９から遠い部分のＸ方向の幅が、本体部３９に近い部分のＸ方向の幅よりも大きくてもよい。これにより、第１平行ばね部６０および第２平行ばね部７０がＺ方向に変形することを抑制できる。そのため、本体部３９の位置がＺ方向にずれることを抑制でき、ローター４０の駆動を安定させることができる。

図９は、振動部３１の構成を示す説明図である。本実施形態では、振動部３１は、第１圧電素子３２Ａと、第２圧電素子３２Ｂと、第３圧電素子３２Ｃと、第４圧電素子３２Ｄと、第５圧電素子３２Ｅとを有している。各圧電素子３２Ａ〜３２Ｅは、振動部３１の長手方向に沿って配置されている。図９において、第１圧電素子３２Ａは、振動部３１の中央に配置されている。第２圧電素子３２Ｂと第３圧電素子３２Ｃとは、第１圧電素子３２Ａの左側に配置されている。第２圧電素子３２Ｂは、支持部３４よりも下方に配置されている。第３圧電素子３２Ｃは、支持部３４よりも上方に配置されている。第４圧電素子３２Ｄと第５圧電素子３２Ｅとは、第１圧電素子３２Ａの右側に配置されている。第４圧電素子３２Ｄは、支持部３４よりも下方に配置されている。第５圧電素子３２Ｅは、支持部３４よりも上方に配置されている。

図１０は、振動部３１の動作を示す説明図である。第２圧電素子３２Ｂと第５圧電素子３２Ｅとに供給される交流電圧の位相と、第３圧電素子３２Ｃと第４圧電素子３２Ｄとに供給される交流電圧の位相とを１８０度異ならせ、かつ、第１圧電素子３２Ａに供給される交流電圧の位相と、第２圧電素子３２Ｂと第５圧電素子３２Ｅとに供給される交流電圧の位相とを例えば９０度異ならせることによって、振動部３１を二次元的に変形させて、先端部３３を楕円運動させることができる。この際に、振動部３１は、支持部３４との接続部分を節にして変形する。先端部３３が楕円運動を繰り返すことによって、先端部３３とローター４０の被接触面４９とが繰り返し接触する。先端部３３と被接触面４９とが接触する際に、先端部３３は、周方向ＣＤに沿った駆動力をローター４０に伝達する。そのため、先端部３３が楕円運動を繰り返す間、ローター４０は、中心軸ＲＸを中心にして回転する。本実施形態では、先端部３３と被接触面４９とが接触する際に、先端部３３は、被接触面４９に向かって付勢されるので、先端部３３は、周方向ＣＤに沿った駆動力を効率良くローター４０に伝達できる。尚、上述した各圧電素子３２Ｂ〜３２Ｅに供給される交流電圧を１８０度反転させることによって、ローター４０を逆向きに回転させることができる。

以上、説明した本実施形態の圧電モーター１００によれば、第１固定部９１０によって、第１位置決めピン９０１と第１孔部９１１の相対位置が固定されるため、付勢力を維持することができ、圧電モーター１００として安定した出力を生むことができる。

また、本実施形態では、第１固定部９１０によって、第１位置決めピン９０１と第１孔部９１１の相対位置が固定されるため、第１位置決めピン９０１と第１孔部９１１との間に生じていた隙間がなくなる。よって、ガタつきの範囲内で生じていた不要な振動が発生しなくなり、圧電モーター１００の駆動力低下を防ぐことができる。

また、本実施形態では、第１位置決めピン９０１と第１孔部９１１との間に生じていた隙間がなくなることにより、保持部材３６の、ガタつきの範囲内で生じていた回転方向の自由度が減る。つまり、被接触面４９に対する圧電アクチュエーター３０の姿勢が安定するため、ローター４０の正逆回転による差を減らすことができる。

また、本実施形態では、第１位置決めピン９０１と第１孔部９１１との固定を、第１雄ねじ９０３と、第２雄ねじ９０４とを緩めることで解除することができる。よって、圧電アクチュエーター３０の付勢力の調整や、圧電モーター１００の分解が容易になる。

また、第１固定部９１０が、第１雄ねじ９０３と第２雄ねじ９０４とではなく、接着剤や詰め物等を含む場合には、不要な振動を防ぐ効果と、圧電アクチュエーター３０の姿勢が安定する効果と、に加えて、部品点数が減るため、圧電モーター１００の組立が容易になる。

また、本実施形態では、第２位置決めピン９０２と第４孔部９２１があるために、圧電アクチュエーター３０を筐体２０に取り付ける際に、圧電アクチュエーター３０の駆動力の方向を、ローター４０の接線方向に一致させやすくなるなる。よって、トルクの損失が少ない圧電モーター１００の組立が容易になる。

また、本実施形態では、第２位置決めピン９０２と第４孔部９２１との間に生じていた隙間がなくなることにより、保持部材３６の、ガタつきの範囲内で生じていた回転方向の自由度がさらに減る。つまり、被接触面４９に対する圧電アクチュエーター３０の姿勢が安定するため、ローター４０の正逆回転による差をさらに減らすことができる。

また、本実施形態では、第２位置決めピン９０２と第４孔部９２１との固定を、第３雄ねじ９０５を緩めることで解除することができる。よって、圧電アクチュエーター３０の付勢力の調整や、圧電モーター１００の分解が容易になる。

２．実施形態２
図１１は、実施形態２における圧電モーター１００ｂを上方から見た斜視図である。ここでは、蓋部２８と、圧電アクチュエーター３０と、保持部材３６ｂとを除いて示している。実施形態２の圧電モーター１００ｂでは、下ケース２９ｂと、保持部材３６ｂとの構成と、第１位置決めピン９０１ｂと、第２位置決めピン９０２ｂとの配置が、実施形態１と異なる。その他の構成は、特に説明しない限り、図１から図１０までに示した実施形態１と同じである。

下ケース２９ｂの第２段差部２３ｂには、１つの圧電アクチュエーター３０につき、第１位置決めピン９０１ｂが内部に配置される第１孔部９１１ｂと、第２位置決めピン９０２ｂが内部に配置される第４孔部９２１ｂとが、１つずつ形成されている。第１孔部９１１ｂの中心軸と、第４孔部９２１ｂの中心軸とは、それぞれ、軸方向ＡＤに平行になっている。

下ケース２９ｂには、下ケース２９ｂの外周面から第１孔部９１１ｂに連通する第２孔部９１２ｂが形成されている。そして、第２孔部９１２ｂの内周面には、雌ねじが形成されている。第２孔部９１２ｂの内部には、第１ねじ部としての第１雄ねじ９０３ｂが取り付けられる。また、本実施形態では、下ケース２９ｂに、下ケース２９ｂの外周面から第１孔部９１１ｂに連通する第３孔部９１４ｂが形成されている。そして、第３孔部９１４ｂの内周面には、雌ねじが形成されている。第３孔部９１４ｂの内部には、第２ねじ部としての第２雄ねじ９０４ｂが取り付けられる。第２孔部９１２ｂと、第１雄ねじ９０３ｂと、第３孔部９１４ｂと、第２雄ねじ９０４ｂとは、第１位置決めピン９０１ｂを固定する第１固定部９１０ｂとして機能する。また、本実施形態では、下ケース２９ｂに、下ケース２９ｂの外周面から第４孔部９２１ｂに連通する第５孔部９２２ｂが形成されている。そして、第５孔部９２２ｂの内周面には、雌ねじが形成されている。第５孔部９２２ｂの内部には、第３ねじ部としての第３雄ねじ９０５ｂが取り付けられる。第５孔部９２２ｂと、第３雄ねじ９０５ｂとは、第２位置決めピン９０２ｂを固定する第２固定部９２０ｂとして機能する。

図１２は、実施形態２における圧電アクチュエーター３０と保持部材３６ｂとを上方から見た斜視図である。図１２には、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向に沿った矢印が表されている。Ｘ方向は、図１および図２に示した軸方向ＡＤと平行な方向であり、Ｚ方向は、図１および図２に示した径方向ＲＤと平行な方向である。

保持部材３６ｂは、２段の階段形状をしている。ＹＺ平面に平行な底面９３０ｂを共通の底面とし、＋Ｙ方向に向かって、第１段部９３１ｂと、第２段部９３２ｂとが順に配置されている。本実施形態では、第２段部９３２ｂは、第１段部９３１ｂよりも高くなっている。圧電アクチュエーター３０は、第２段部９３２ｂに固定されている。第１段部９３１ｂの高さが、第２段部９３２ｂの高さよりも低いため、圧電アクチュエーター３０の図示しない配線と干渉しない。

第１段部９３１ｂは、第１位置決めピン９０１ｂと第２位置決めピン９０２ｂとを１本ずつ有している。第１位置決めピン９０１ｂの中心軸と、第２位置決めピン９０２ｂの中心軸とは、それぞれ、Ｘ方向に平行になっている。本実施形態では、第１段部９３１ｂに、第１位置決めピン９０１ｂの直径よりもわずかに小さい直径を有する穴をあけ、その穴に対して、第１位置決めピン９０１ｂをハンマー等で打ち込むことで固定している。すなわち、第１位置決めピン９０１ｂは、第１段部９３１ｂに締まり嵌めで固定されている。第２位置決めピン９０２ｂも、第１位置決めピン９０１ｂと同様に、第１段部９３１ｂに締まり嵌めで固定されている。なお、固定方法は、打ち込みに限られず、接着剤を使用してもよいし、詰め物を使用してもよいし、雄ねじと雌ねじによる螺合でもよい。または、第１位置決めピン９０１ｂと、第２位置決めピン９０２ｂとは、保持部材３６ｂと別体ではなく、保持部材３６ｂとの一体成型でもよい。

第１位置決めピン９０１ｂの直径は、第１孔部９１１ｂの直径よりもわずかに小さい。また、第２位置決めピン９０２ｂの直径は、第４孔部９２１ｂの直径よりもわずかに小さい。加えて、Ｙ方向と、Ｚ方向との両方向において、第１位置決めピン９０１ｂと第２位置決めピン９０２ｂとの相対位置は、第１孔部９１１ｂと第４孔部９２１ｂとの相対位置に等しい。つまり、第１孔部９１１ｂに対して第１位置決めピン９０１ｂを、第４孔部９２１ｂに対して第２位置決めピン９０２ｂを挿入することで、保持部材３６ｂを、Ｘ方向に進退移動可能な状態で、下ケース２９ｂに接続することができる。また、底面９３０ｂから飛び出した第１位置決めピン９０１ｂの長さは、底面９３０ｂから飛び出した第２位置決めピン９０２ｂの長さよりも長くなっている。これにより、第１位置決めピン９０１ｂと、第２位置決めピン９０２ｂとの両方を、第１孔部９１１ｂと、第４孔部９２１ｂとの両方に挿入する際の二重勘合の影響を小さくすることができる。つまり、厳密には平行ではない第１位置決めピン９０１ｂと第２位置決めピン９０２ｂとが、同じく厳密には平行ではない第１孔部９１１ｂと第４孔部９２１ｂとに、引っかかって入らない可能性を低減できる。また、第１位置決めピン９０１ｂと第２位置決めピン９０２ｂとは、第１段部９３１ｂの上方には飛び出していない。これにより、圧電アクチュエーター３０の図示しない配線と干渉しない。

圧電アクチュエーター３０と、第１位置決めピン９０１ｂと、第２位置決めピン９０２ｂとが予め取り付けられた保持部材３６ｂを下ケース２９ｂに接続すると、圧電アクチュエーター３０の先端部３３が、ローター４０の被接触面４９に接触し、付勢力が発生する。圧電アクチュエーター３０により圧電モーター１００ｂを動作させるためには、付勢力が不可欠であるが、保持部材３６ｂは、下ケース２９ｂに対して、Ｘ方向に進退移動可能な状態であるため、このままでは付勢力を維持することができない。そこで、本実施形態では、第１雄ねじ９０３ｂと、第２雄ねじ９０４ｂとにより、第１位置決めピン９０１ｂを第１孔部９１１ｂに押し付けて締め上げることで、第１位置決めピン９０１ｂと、第１孔部９１１ｂとの相対位置を固定している。つまり、第１固定部９１０ｂは、第１位置決めピン９０１ｂと、第１孔部９１１ｂとの相対位置を固定する。これにより、付勢力を維持することができる。加えて、第１位置決めピン９０１ｂと、第１孔部９１１ｂとの隙間によって生じていた不要な振動を抑制し、圧電モーター１００ｂの駆動力の低下を防ぐことができる。加えて、第１位置決めピン９０１ｂと、第１孔部９１１ｂとの隙間と、第２位置決めピン９０２ｂと、第２孔部９１２ｂとの隙間と、によって生じる、保持部材３６ｂの回転方向の自由度を、Ｙ軸回りと、Ｚ軸回りとの２方向で規制することができる。つまり、ガタつきを減らし、圧電アクチュエーター３０の姿勢を安定させることができる。さらに、本実施形態では、第３雄ねじ９０５ｂにより、第２位置決めピン９０２ｂを第４孔部９２１ｂに押し付けて締め上げることで、第２位置決めピン９０２ｂと、第４孔部９２１ｂとの相対位置を固定している。つまり、第２固定部９２０ｂは、第２位置決めピン９０２ｂと、第４孔部９２１ｂとの相対位置を固定する。これにより、前述の回転方向の自由度のうち、残るＸ軸回りの方向を規制することができる。つまり、ガタつきをより減らし、圧電アクチュエーター３０の姿勢をより安定させることができる。なお、本実施形態では、第１位置決めピン９０１ｂと、第１孔部９１１ｂとの相対位置の固定を、第１雄ねじ９０３ｂと、第２雄ねじ９０４ｂとを締め上げることで実現し、第２位置決めピン９０２ｂと、第４孔部９２１ｂとの相対位置の固定を、第３雄ねじ９０５ｂを締め上げることで実現したが、第１孔部９１１ｂおよび第４孔部９２１ｂの内部に接着剤や詰め物等を配置することで実現してもよい。つまり、これらの接着剤や詰め物等が、第１位置決めピン９０１ｂと第１孔部９１１ｂとの双方に接し、第２位置決めピン９０２ｂと第４孔部９２１ｂとの双方に接することで、各々の相対位置の固定が行われる。その場合、それらの接着剤や詰め物等が、第１固定部９１０ｂと、第２固定部９２０ｂとに含まれる。

以上、説明した本実施形態の圧電モーター１００ｂによれば、実施形態１と同様の効果を得ることができる。

３．実施形態３
図示は省略するが、本実施形態の圧電モーター１００ｃは、実施形態１と実施形態２とを混在させた構成を有している。具体的には、第１位置決めピンが下ケースに固定され、第２位置決めピンが保持部材に固定される。また、保持部材には、第１位置決めピンを挿入するための第１孔部が形成され、下ケースには、第２位置決めピンを挿入するための第４孔部が形成される。このような構成であっても、実施形態１、２と同様の効果を得ることができる。

４．実施形態４
図１３は、実施形態４におけるロボット１１００の概略構成を示す斜視図である。本実施形態におけるロボット１１００は、精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット１１００は、６軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース１１０１と、ベース１１０１に対して回転可能に連結された第１アーム１１０２と、第１アーム１１０２に対して回転可能に連結された第２アーム１１０３と、第２アーム１１０３に対して回転可能に連結された第３アーム１１０４と、第３アーム１１０４に対して回転可能に連結された第４アーム１１０５と、第４アーム１１０５に対して回転可能に連結された第５アーム１１０６と、第５アーム１１０６に対して回転可能に連結された第６アーム１１０７と、各アーム１１０２，１１０３，１１０４，１１０５，１１０６，１１０７の駆動を制御するロボット制御部１１０８とを備えている。第６アーム１１０７にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット１１００に実行させる作業に応じたエンドエフェクター１１０９が装着される。各関節部のうちの全部または一部には、実施形態１で説明した圧電モーター１００が搭載されており、この圧電モーター１００の駆動によって、各アーム１１０２，１１０３，１１０４，１１０５，１１０６，１１０７が回転する。各圧電モーター１００の駆動は、ロボット制御部１１０８によって制御される。なお、ロボット１１００は、６軸ロボットに限られず、５軸以下、７軸以上であってもよい。また、図１３には、垂直多関節ロボットが記載されているが、水平多関節ロボットであってもよい。

ロボット制御部１１０８は、１以上のプロセッサーと、主記憶装置と、外部との信号の入出力を行う入出力インターフェイスとを備えるコンピューターによって構成されている。本実施形態では、ロボット制御部１１０８は、主記憶装置上に読み込んだプログラムや命令をプロセッサーが実行することによって、ロボット１１００の動作を制御する。尚、ロボット制御部１１０８は、コンピューターではなく、複数の回路の組み合わせによって構成されてもよい。

以上、説明した本実施形態のロボット１１００によれば、関節部に実施形態１で説明した圧電モーター１００が用いられているため、不要な振動によって駆動力が損なわれることはない。よって、各アーム１１０２，１１０３，１１０４，１１０５，１１０６，１１０７を駆動させる駆動力を効率良く供給できる。尚、ロボット１１００は、圧電モーター１００の代わりに、実施形態２で説明した圧電モーター１００ｂを備えてもよいし、実施形態３で説明した圧電モーター１００ｃを備えてもよい。

２０…筐体、２１…側面部、２２…第１段差部、２３，２３ｂ…第２段差部、２４…開口、２７…貫通孔、２８…蓋部、２９，２９ｂ…下ケース、３０…圧電アクチュエーター、３１…振動部、３２…圧電素子、３２Ａ…第１圧電素子、３２Ｂ…第２圧電素子、３２Ｃ…第３圧電素子、３２Ｄ…第４圧電素子、３２Ｅ…第５圧電素子、３３…先端部、３４…支持部、３５…腕部、３６，３６ｂ…保持部材、３８…取付穴、３９…本体部、４０…ローター、４１…回転軸、４５…伝達部材、４８…高硬度部、４９…被接触面、５０…ベアリング、５６…支持部材、６０…第１平行ばね部、６１…第１非ばね部、６２…第２非ばね部、６３…第１板ばね部、６５…第１厚肉部、６６…第１薄肉部、７０…第２平行ばね部、７１…第３非ばね部、７２…第４非ばね部、７３…第２板ばね部、７５…第２厚肉部、７６…第２薄肉部、８１…第１振動板、８２…第２振動板、８３…第３振動板、８４…第４振動板、８５…第１層間部材、８６…第２層間部材、１００，１００ｂ，１００ｃ…圧電モーター、９０１，９０１ｂ…第１位置決めピン、９０２，９０２ｂ…第２位置決めピン、９０３，９０３ｂ…第１雄ねじ、９０４，９０４ｂ…第２雄ねじ、９０５，９０５ｂ…第３雄ねじ、９１０，９１０ｂ…第１固定部、９１１，９１１ｂ…第１孔部、９１２，９１２ｂ…第２孔部、９１４，９１４ｂ…第３孔部、９２０，９２０ｂ…第２固定部、９２１，９２１ｂ…第４孔部、９２２，９２２ｂ…第５孔部、９３０，９３０ｂ…底面、９３１，９３１ｂ…第１段部、９３２，９３２ｂ…第２段部、９３３…第３段部、１１００…ロボット、１１０１…ベース、１１０２…第１アーム、１１０３…第２アーム、１１０４…第３アーム、１１０５…第４アーム、１１０６…第５アーム、１１０７…第６アーム、１１０８…ロボット制御部、１１０９…エンドエフェクター、ＡＤ…軸方向、ＣＤ…周方向、ＲＤ…径方向、Ｆｘ…荷重、ＲＸ…中心軸。

Claims (7)

1. 振動体と、
   前記振動体を保持する保持部と、
   前記振動体および前記保持部が内部に配置された筐体と、
   前記保持部と前記筐体とを位置決めする第１位置決めピンと、
   前記第１位置決めピンを固定する第１固定部と、
   を備えた圧電モーターであって、
   前記保持部と前記筐体の一方には、前記第１位置決めピンが固定され、
   前記保持部と前記筐体の他方には、前記第１位置決めピンが内部に配置される第１孔部が設けられ、
   前記第１固定部は、前記第１孔部と前記第１位置決めピンの相対位置を固定する圧電モーター。
2. 請求項１に記載の圧電モーターであって、
   前記保持部と前記筐体の前記他方には、前記第１孔部に連通する第２孔部が設けられ、
   前記第１固定部は、前記第２孔部の内部に配置され、前記第１位置決めピンを前記第１孔部に押し付ける第１ねじ部を有する圧電モーター。
3. 請求項２に記載の圧電モーターであって、
   前記保持部と前記筐体の前記他方には、前記第１孔部に連通する第３孔部が設けられ、
   前記第１固定部は、前記第３孔部の内部に配置され、前記第１位置決めピンを前記第１孔部に押し付ける第２ねじ部を有する圧電モーター。
4. 請求項１に記載の圧電モーターであって、
   前記第１固定部は、
   前記第１孔部の内部に配置され、前記第１孔部と前記第１位置決めピンの双方に接する圧電モーター。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の圧電モーターであって、
   前記保持部と前記筐体とを位置決めする第２位置決めピンと、
   前記第２位置決めピンを固定する第２固定部と、を備え、
   前記保持部と前記筐体の前記一方には、前記第２位置決めピンが固定され、
   前記保持部と前記筐体の前記他方には、前記第２位置決めピンが内部に配置される第４孔部が設けられ、
   前記第２固定部は、前記第４孔部と前記第２位置決めピンの相対位置を固定する圧電モーター。
6. 請求項５に記載の圧電モーターであって、
   前記保持部と前記筐体の前記他方には、前記第４孔部に連通する第５孔部が設けられ、
   前記第２固定部は、前記第５孔部の内部に配置され、前記第２位置決めピンを前記第４孔部に押し付ける第３ねじ部を有する圧電モーター。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の圧電モーターを有するロボット。

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