JP2021106354A - 高周波電源システム - Google Patents
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Abstract
Description
本開示はこのような状況に鑑み、IMDによる反射波電力Pr(反射係数と同義)の増加を抑える技術を提案する。
本明細書の記述は典型的な例示に過ぎず、特許請求の範囲又は適用例を如何なる意味においても限定するものではないことを理解する必要がある。
(i)構成例1
図1は、本実施形態による電源供給システム(高周波電源システムとも言う)1にプラズマ負荷40を接続した状態を示す図である。電源供給システム1は、ソース電源(高周波出力を供給)10と、バイアス電源(低周波出力を供給)20と、ソース電源10およびバイアス電源20のそれぞれから出力が供給され、ソース電源10およびバイアス電源20側とプラズマ負荷40側とのインピーダンス整合を取る整合器(インピーダンス変換装置ともいう)30と、を備え、ソース電源10から出力する進行波電力(ソース電力)とバイアス電源20から出力する進行波電力(バイアス電力)とを、例えば重畳してプラズマ負荷40に供給するシステムである。
なお、電源供給システム1の動作については、さらに詳細に後述する。
整合器30は、図示しないメモリに、可変コンデンサのポジションおよび周波数(基本周波数とのずれ量)に対応するSパラメータを提供する3次元Sパラメータテーブルを保持している。なお、Sパラメータはテーブル形式で保持する必要は必ずしもなく、可変コンデンサ値および周波数ずれとSパラメータとが1対1に対応していればどのような形態であってもよい。
図3Aおよび3Bは、本実施形態による電源供給システム1による周波数整合演算処理を詳細に説明するためのフローチャートである。なお、当該周波数整合演算処理は、例えば、ソース電源(高周波側)10のおける反射係数が所定値以上になったときに開始するように制御することができる。また、以下で説明する、Sパラメータ、Tパラメータ、Γout、Γinなどの算出の詳細(基本的技術的思想)については、特開2006−166412号公報や特開2014−72806号公報に詳細に記載されている。
電源供給システム1が起動されると、ソース電源10は、整合器30側に電源供給を開始する。そして、ソース電源10の正弦波同期信号発生部101は、バイアス電源20に正弦波同期信号を供給する。この正弦波同期信号(同期高周波信号)は、バイアス電源20が出力すべき出力周波数を有する正弦波信号である。
バイアス電源20の正弦波同期信号受信部201は、ソース電源10から正弦波同期信号を受け取り、この正弦波同期信号の周波数(例:400kHz)と位相の情報を取得する。図示しない発振器は、その正弦波同期信号の周波数と位相の情報に基づいて、正弦波同期信号に同期してRF出力(進行波電力)を整合器30側に供給する。この際、ソース電源10の出力周波数は、規定の周波数(例えば40.68MHz)に固定する。
整合器30の整合演算部304は、センサ1_301より検出されるPf、Pr(もしくはVpf、Ipf)信号を収得し、バンドパスフィルタを用いてバイアス電源の出力周波数成分のみを抽出する。その抽出データを用いて、入力反射係数Γinを求める。
整合器30の整合演算部304は、図示しないメモリからポジション−特性パラメータ(表1)を読み出して参照し、取得した高周波側整合ネットワーク306の可変コンデンサの容量値C1およびC2に対応したSパラメータを取得する。
整合演算部304は、ステップ3004で取得したSパラメータと入力反射係数Γinを用いて出力反射係数Γout(整合器30の出力端30bにおける反射係数)を算出する。より詳細には、上記式1を用いて、SパラメータからTパラメータが算出される(なお、Tパラメータを予め算出してテーブルとしてメモリに保持するようにしてもよい)。そして、整合器30の高周波側入力端30aにおける進行波電圧Vfi、反射波電圧Vri、およびTパラメータから負荷40側の進行波電圧Vfoおよび反射波電圧Vroが算出される(式(2)参照)。
整合演算部304は、可変コンデンサ容量値を現在位置に固定し、出力反射係数Γoutとポジション−特性パラメータテーブル(例えばポジション−Tパラメータ)を用いて、仮想の入力反射係数Γin’を求める。この入力反射係数Γin’を最小にする可変コンデンサの値(ポジションC1およびC2)を決定する。つまり、整合演算部304は、例えば、表1において、SパラメータをA00からA55に対応するTパラメータを算出(式(1))し、各Tパラメータを上記式(3)に適用して反射係数Γinを求める。そして、整合演算部304は、各可変コンデンサのポジション(C1,C2)に対応した複数の反射係数Γinの中から最小の反射係数Γin_minに寄与する可変コンデンサのポジション(C1min,C2min)を求める。
整合演算部304は、ステップ3006で決定した可変コンデンサのポジション(C1min,C2min)に可変コンデンサを移動させる。移動後、ステップ3003の処理を実行し、入力反射係数Γinが整合完了を示す閾値Γth以上であれば、ステップ3004〜3006を繰り返す。入力反射係数Γinが閾値Γth未満であれば、可変コンデンサのポジションを固定し、ステップ3008を実施する。
整合器30の周波数設定演算部303(以下、周波数設定演算部303として説明を続ける)は、正弦波同期信号分のソース電源10から供給される進行波電力Pfおよびそれに対応する反射波電力Prを複数区間に分割する(n分割:nは整数;例えば、10分割)。なお、図4には、1周期分のソース電源10から供給される進行波電力Pfおよびそれに対応する反射波電力Prが複数の区間に分割された状態(区間1〜n)が示されている。
周波数設定演算部303は、ソース電源10の基本周波数(例えば40MHz)と可変コンデンサのポジション(C1min,C2min)によって決定されるSパラメータに基づいて、区間kにおけるΓout_k(整合器30の出力端30bにおける反射係数)を算出する。より詳細には、ステップ3005の処理と同様、ステップ上記式1を用いて、SパラメータからTパラメータが算出される(なお、Tパラメータを予め算出してテーブルとしてメモリに保持するようにしてもよい)。また、整合器30の高周波側入力端30aにおける進行波電圧Vfi、反射波電圧Vri、およびTパラメータから負荷40側の進行波電圧Vfoおよび反射波電圧Vroが算出される(式(2)参照)。そして、出力端30bにおける反射係数Γout_kは、Vro/Vfoを演算することによって得られる。
周波数設定演算部303は、周波数−特性パラメータ(表2)を参照して、各周波数ずれ量に対応するSパラメータ(例:周波数ずれ量−0.9から0.9に対応するSパラメータ)を取得すると共に、Sパラメータから式1に基づいてTパラメータを算出する。そして、周波数設定演算部303は、算出した周波数ずれ量に対応するTパラメータと出力反射係数Γout_kに基づいて、整合器30の入力端30aにおける仮想の入力反射係数Γin_k’をそれぞれ求め、Γin_k’を最小にするTパラメータに対応する周波数ずれ量(区間k)を決定する。なお、ポジション−特性パラメータテーブルと同様に、周波数−特性パラメータテーブルの粒度が粗い場合には、特開2014−72806号公報に示されるように、補間演算を用いて適切なSパラメータを求め、それに対応するTパラメータを採用してもよい。
周波数設定演算部303は、各分割区間1からkに対して決定した周波数ずれ量からバイアス電源の動作周期(400kHz)一周期分の周波数設定値(例えば、40MHz+周波数ずれ量)を決定し、高周波側のソース電源(例:40MHz電源)10に送信する。送信される周波数設定値は各区間において周波数整合された値となっているので、これらの周波数設定値を用いてソース電源10から電源を供給すれば反射係数を小さく抑え、IMDによる影響を低減することができるようになる。
ソース電源10は、整合器30から提供された周波数設定値に基づいて、各分割区間(1からn)の電源を生成し、これを整合器30側に提供する。当該周波数設定値は、整合器30によって更新されてソース電源10に送信されてこない限り、継続してソース電源10によって使用される。周波数設定値を更新するか否かは、例えば、整合器30の周波数設定演算部303が高周波側(ソース電源10)の進行波電力Pfと反射波電力Prから得られる反射係数が所定値以上になっているかをモニタすることによって決定することができる。
なお、周波数設定演算部303は、ソース電源10から供給されている進行波電力Pfの電圧から区間kにおける高周波電源の周波数を検知し、基本周波数(例:40MHz)と検知した高周波電源の周波数とのずれ量を算出することができる。このとき、周波数ずれ量が所定の閾値未満であった場合には、各分割区間(1からn)における周波数設定値を決定してソース電源10に送信する処理を実行しないようにしてもよい。
図4は、本実施形態による、図3AおよびBで説明した周波数整合された周波数設定値を求める処理(周波数設定演算処理)のタイミングチャートである。なお、図4においては、高周波側のソース電源10の動作の遅延については考慮していない。
上述した実施形態では、低周波(バイアス電源20)側の進行波電力Pfの位相に同期し、バイアス電源20の動作周波数(例えば、400kHz:ソース電源10の電源供給周期)一周期分のソース電源10の出力を複数区間に分割(分割数n)し、各区間に関して、高周波(ソース電源10)側の進行波電力Pfと反射波電力Prを用いて、高周波側のインピーダンスを計算するが、出力センサ308の出力から位相の情報を抽出し、それに基づいて高周波(ソース電源10)側のインピーダンスを計算するようにしてもよい。実際に、プラズマ負荷40に与えている出力(供給周期が400kHz)は、出力センサ308から供給されている。よって、出力センサ308の出力の位相に合せた方が適切なインピーダンスを取得することができる。つまり、高周波(ソース電源:例えば、40MHzの周波数の出力)側のインピーダンスの変化は、プラズマ負荷の変化に出てくるので、プラズマ負荷により近い箇所で位相を検出した方が変化に高感度とすることができるためである。なお、出力センサからの出力は、低周波(バイアス電源20)側の位相を反映したものとなっている。
(i)本実施形態によれば、高周波電源システム1は、低い周波数(一例として400kHz)でバイアス電力を出力(RF出力)するバイアス電源と、高い周波数(一例として40MHz)でソース電力を出力(RF出力)するソース電源と、バイアス電力とソース電力とを取得し、ソース電源側のインピーダンスと負荷側のインピーダンスとの整合を取るインピーダンス整合回路を含む整合器と、を備えている。本実施形態では、ソース電源は、バイアス電源に、バイアス電源が出力すべき出力周波数(例えば、400kHz)の情報を含む正弦波同期信号を供給し、バイアス電源は、当該正弦波同期信号に含まれる出力周波数(高周波側電源供給周期、つまり、400kHz)に対応する周波数のバイアス電力を出力する。整合器は、ソース電源によるバイアス電力の一周期分(400kHz)の進行波電力とソース電源への反射波電力とを複数の区間に分割する処理と、複数の区間のそれぞれに対して、周波数整合演算を実行して、各区間の周波数設定値を決定する処理と、各区間の周波数設定値をソース電源に送信する処理と、を実行する。そして、ソース電源は、整合器から送信されてきた複数の区間の周波数設定値に従って、複数の区間におけるバイアス電力を出力する。このようにすることにより、IMDによって発生する反射波電力Prあるいは電力反射係数を低減することが可能となる。
10 ソース(HF)電源
20 バイアス電源
30 整合器
40 プラズマ負荷
101 正弦波同期信号発生部
201 正弦波同期信号受信部
301 センサ1
302 センサ2
303 周波数設定演算部
304 整合演算部1
305 整合演算部2
306 高周波側整合ネットワーク
307 低周波側整合ネットワーク
308 出力センサ
Claims (5)
- 接続される負荷に対して高周波電力を提供する、高周波電源システムであって、
第1周波数でバイアス電力を出力するバイアス電源と、
前記第1周波数よりも高い第2周波数でソース電力を出力するソース電源と、
前記バイアス電力と前記ソース電力とを取得し、前記ソース電源側のインピーダンスと前記負荷側のインピーダンスとの整合を取るインピーダンス整合回路を含む整合器と、を備え、
前記ソース電源は、前記バイアス電源に、前記バイアス電源が出力すべき出力周波数の情報を含む正弦波同期信号を供給し、
前記バイアス電源は、前記正弦波同期信号に含まれる前記出力周波数に対応する周波数の前記バイアス電力を出力し、
前記整合器は、
前記ソース電源による前記バイアス電力の一周期分の進行波電力と前記ソース電源への反射波電力とを複数の区間に分割する処理と、
前記複数の区間のそれぞれに対して、周波数整合演算を実行して、各区間の周波数設定値を決定する処理と、
前記各区間の周波数設定値を前記ソース電源に送信する処理と、を実行し、
前記ソース電源は、前記整合器から送信されてきた前記複数の区間の周波数設定値に従って、前記複数の区間における前記バイアス電力を出力する、高周波電源システム。 - 請求項1において、
前記ソース電源は、前記複数の区間の周波数設定値を、前記整合器によって更新されるまで継続的に用いて前記ソース電力を出力する、高周波電源システム。 - 請求項1または2において、
前記整合器は、前記ソース電源側における反射係数を演算し、当該反射係数が所定の値以上であったときに、前記周波数整合演算を実行する、高周波電源システム。 - 請求項1から3の何れか1項において、
前記整合器は、高周波側の整合ネットワークに含まれる複数の可変コンデンサと、ソース電源の基本周波数からの周波数ずれ量と、に対応するSパラメータの情報を保持し、当該Sパラメータに基づいて、前記複数の区間のそれぞれにおいて、前記ソース電源側の反射係数が最小となる周波数ずれ量を特定することにより、前記複数の区間の周波数設定値を決定する、高周波電源システム。 - 請求項4において、
前記整合器は、前記複数の区間の周波数設定値を決定する処理において、
前記ソース電源の基本周波数である前記第2周波数と前記複数の可変コンデンサのポジションによって決定されるSパラメータに基づいて、前記複数の区間のそれぞれにおける出力側の反射係数を算出する処理と、
前記Sパラメータの情報を参照して、前記周波数ずれ量を変更しながら入力側の反射係数を算出する処理と、
前記入力側の反射係数を最小にする最適周波数ずれ量を決定する処理と、を実行し、
前記最適周波数ずれ量を用いて前記複数の区間のそれぞれの前記周波数設定値を決定する、高周波電源システム。
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