JP2021100790A - 液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液滴の着弾位置の細かい補正を行うことができる液滴吐出装置を提供する。【解決手段】圧力発生室と第１圧電素子と第２圧電素子とノズル孔とを有する液滴吐出ヘッド１０と、液滴吐出ヘッドからの液滴が着弾される検査基板２２を支持する第１ステージ２０と、検査基板に着弾された液滴を撮像するカメラ３０と、第１ステージの第１方向に位置し、液滴吐出ヘッドからの液滴が着弾される基板４２を支持する第２ステージ４０と、制御部と、を含み、制御部６０は、カメラで撮像された像に基づいて、検査基板に着弾された液滴の着弾位置を取得する着弾位置取得部６２と、着弾位置に基づいて、第１圧電素子および第２圧電素子に印加する電圧を決定する電圧決定部６４と、を有し、液滴吐出ヘッドは、電圧決定部で決定された電圧が第１圧電素子および第２圧電素子に印加された状態で、基板に液滴を着弾させる。【選択図】図１

Description

本発明は、液滴吐出装置に関する。

インクジェット方式の液滴吐出ヘッドによって、基板上のバンク部により画成された微小な素子部にインクを着弾させてカラーフィルターを製造する技術が知られている。このような技術では、素子部となる基板の区画部に、正確にインクを着弾させることが可能な液滴吐出装置が求められている。

例えば特許文献１には、インクが区画部からバンク部にはみ出した状態を画像認識し、画像認識の結果に基づいて、はみ出しを抑制するように着弾位置を補正する液滴吐出装置が記載されている。

特開２００９−２４７９４８号公報

しかしながら、特許文献１では、主走査方向は、データ上における液滴吐出ヘッドの吐出タイミングを調整することで、着弾位置を補正する。そのため、主走査方向のデータ分解能に応じた補正しかすることができず、細かい調整が難しい。

本発明に係る液滴吐出装置の一態様は、
圧力発生室と、前記圧力発生室の容積を変化させる第１圧電素子と、前記圧力発生室の容積を変化させ、前記第１圧電素子に対して第１方向に配置される第２圧電素子と、前記圧力発生室に連通し前記第１方向と直交する第２方向からみて、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子との間に配置されたノズル孔と、を有し、前記ノズル孔から液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドからの液滴が着弾される検査基板を支持する第１ステージと、
前記検査基板に着弾された液滴を撮像するカメラと、
前記第１ステージの前記第１方向に位置し、前記液滴吐出ヘッドからの液滴が着弾される基板を支持する第２ステージと、
前記液滴吐出ヘッドを制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記カメラで撮像された像に基づいて、前記検査基板に着弾された液滴の着弾位置を取得する着弾位置取得部と、
前記着弾位置に基づいて、前記第１圧電素子および前記第２圧電素子に印加する電圧を決定する電圧決定部と、
を有し、
前記液滴吐出ヘッドは、前記電圧決定部で決定された電圧が前記第１圧電素子および前記第２圧電素子に印加された状態で、前記基板に液滴を着弾させる。

本実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に示す図。 本実施形態に係る液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドを模式的に示す平面図。 本実施形態に係る液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドを模式的に示す断面図。 本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を説明するためのフローチャート。 本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を説明するための図。 本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を説明するための図。 本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を説明するための図。 本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を説明するための図。 圧電素子に印加される電圧と、液滴の速度および質量と、の関係を示すグラフ。 液滴の着弾位置と基準位置との差を説明するための図。 本実施形態の変形例に係る液滴吐出装置を模式的に示す図。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

１． 液滴吐出装置
１．１． 構成
まず、本実施形態に係る液滴吐出装置について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る液滴吐出装置１００を模式的に示す図である。図１には、互いに直交する３軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。

液滴吐出装置１００は、図１に示すように、例えば、液滴吐出ヘッド１０と、第１ステージ２０と、カメラ３０と、第２ステージ４０と、第１フラッシング部５０と、第２フラッシング部５２と、制御部６０と、記憶部７０と、を含む。なお、便宜上、図１では、制御部６０および記憶部７０を機能ブロックとして図示している。

液滴吐出ヘッド１０は、液滴を吐出する。ここで、図２は、液滴吐出ヘッド１０を模式的に示す平面図である。図３は、液滴吐出ヘッド１０を模式的に示す図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。

液滴吐出ヘッド１０は、図２および図３に示すように、例えば、ノズルプレート１１と、流路形成基板１３と、振動板１５と、第１圧電素子１６と、第２圧電素子１８と、を有している。なお、便宜上、図２では、振動板１５の図示を省略している。

ノズルプレート１１は、板状の部材である。ノズルプレート１１の材質は、例えば、ＳＵＳ（Steel Use Stainless）である。ノズルプレート１１は、例えば接着剤や熱溶着フィルムなどによって、流路形成基板１３に接合されている。図３に示す例では、ノズルプレート１１は、第１板状部材１１ａと、第２板状部材１１ｂと、を有している。第２板状部材１１ｂは、第１板状部材１１ａと流路形成基板１３との間に設けられている。

ノズルプレート１１には、ノズル孔１２が設けられている。ノズル孔１２は、例えば、第１板状部材１１ａに設けられた第１孔１２ａと、第２板状部材１１ｂに設けられた第２孔１２ｂと、を有している。図示の例では、第１孔１２ａのＹ軸方向の大きさは、一定である。第２孔１２ｂは、Ｙ軸方向の大きさが＋Ｚ軸方向に向かうに従って大きくなるテーパー形状を有している。

ノズル孔１２は、複数設けられている。ノズル孔１２は、図２に示すように、Ｘ軸方向に配列されている。図示の例では、６つのノズル孔１２が設けられているが、その数は特に限定されない。液滴吐出ヘッド１０は、例えば、列をなしている複数のノズル孔１２から、同時に液滴を吐出する。

流路形成基板１３は、図３に示すように、ノズルプレート１１に設けられている。流路形成基板１３は、ノズルプレート１１と振動板１５との間に設けられている。流路形成基板１３の材質は、例えば、シリコンである。

流路形成基板１３には、圧力発生室１４が設けられている。圧力発生室１４は、ノズル孔１２と連通している。圧力発生室１４は、ノズルプレート１１、流路形成基板１３、および振動板１５で規定されている。

流路形成基板１３は、例えば、圧力発生室１４を規定している第１規定部１３ａ、第２規定部１３ｂ、および第３規定部１３ｃを有している。第１規定部１３ａは、振動板１５からノズル孔１２側に突出している。第１規定部１３ａは、Ｙ軸方向の大きさが一定である第１部分２と、Ｙ軸方向の大きさが−Ｚ軸方向に向かうに従って小さくなるテーパー形状の第２部分４と、を有している。第１部分２は、第２部分４と振動板１５との間に設けられている。第２規定部１３ｂは、第１規定部１３ａの＋Ｙ軸方向に位置している。第３規定部１３ｃは、第１規定部１３ａの−Ｙ軸方向に位置している。なお、便宜上、図２では、第１規定部１３ａの図示を省略している。

圧力発生室１４は、例えば、第１室１４ａと、第２室１４ｂと、第３室１４ｃと、を有している。第１室１４ａは、ノズルプレート１１、第１規定部１３ａ、第２規定部１３ｂ、および振動板１５で規定されている。第２室１４ｂは、ノズルプレート１１、第１規定部１３ａ、第３規定部１３ｃ、および振動板１５で規定されている。第３室１４ｃは、第１規定部１３ａで規定され、ノズル孔１２と連通している。第３室１４ｃは、第１室１４ａと第２室１４ｂとを連通している。

圧力発生室１４は、図２に示すように、複数設けられている。圧力発生室１４の数と、ノズル孔１２の数とは、同じである。１つのノズル孔１２に対して、１つの圧力発生室１４が設けられている。圧力発生室１４は、Ｘ軸方向に配列されている。圧力発生室１４の容積は、振動板１５の変形によって変化する。

圧力発生室１４は、図示せぬ供給流路と連通している。供給流路は、流路形成基板１３に設けられている。供給流路は、圧力発生室１４に、ノズル孔１２から吐出される液滴となる液体を供給する。なお、便宜上、図３では、液滴となる液体の図示を省略している。

振動板１５は、図３に示すように、流路形成基板１３に設けられている。振動板１５は、圧力発生室１４と、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８と、の間に設けられている。振動板１５は、流路形成基板１３に設けられた酸化シリコン層と、酸化シリコン層に設けられた酸化ジルコニウム層と、を有していてもよい。振動板１５は、可撓性を有する。振動板１５は、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８の動作によって変形する。

第１圧電素子１６および第２圧電素子１８は、振動板１５に設けられている。第１圧電素子１６および第２圧電素子１８は、図２に示すように、Ｙ軸方向に並んでいる。第２圧電素子１８は、第１圧電素子１６に対してＹ軸方向に配置されている。Ｚ軸方向からみて、第１圧電素子１６と第２圧電素子１８との間に、ノズル孔１２が位置している。

第１圧電素子１６は、複数設けられている。第１圧電素子１６の数と、ノズル孔１２の数とは、同じである。第１圧電素子１６は、Ｘ軸方向に配列されている。第２圧電素子１８は、複数設けられている。第２圧電素子１８の数と、ノズル孔１２の数とは、同じである。第２圧電素子１８は、Ｘ軸方向に配列されている。１つのノズル孔１２に対して、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８が１つずつ設けられている。

第１圧電素子１６および第２圧電素子１８は、図示はしないが、圧電体層と、圧電体層を挟む一対の電極と、を有している。圧電素子１６，１８は、圧力発生室１４の容積を変化させる。具体的には、圧電素子１６，１８では、一対の電極に電圧が印加されると、圧電体層は変形する。圧電体層の変形に応じて、振動板１５は変形する。そのため、圧力発生室１４の容積が変形して、圧力発生室１４の容積が変形する。これにより、液滴吐出ヘッド１０は、ノズル孔１２から液滴を吐出させる。

液滴吐出ヘッド１０では、第１圧電素子１６に印加される電圧を、第２圧電素子１８に印加される電圧よりも大きくすることにより、第１室１４ａの容積の変化量を、第２室１４ｂの容積の変化量よりも大きくすることができる。これにより、図３に示すように、液滴を、Ｚ軸に対して−Ｙ軸方向に傾いた方向αに吐出させることができる。

また、第２圧電素子１８に印加される電圧を、第１圧電素子１６に印加される電圧よりも大きくすることにより、第２室１４ｂの容積の変化量を、第１室１４ａの容積の変化量よりも大きくすることができる。これにより、液滴を、Ｚ軸に対して＋Ｙ軸方向に傾いた方向βに吐出させることができる。

液滴吐出ヘッド１０では、ノズル孔１２は、テーパー形状である第２孔１２ｂを有し、流路形成基板１３の第１規定部１３ａは、テーパー形状である第２部分４を有している。そのため、第１室１４ａの容積の変化量と第２室１４ｂの容積の変化量との差によって、液滴の吐出方向を確実に変更することができる。

液滴吐出ヘッド１０から吐出される液滴は、例えば、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置の発光材料、液晶表示装置に用いるカラーフィルターのフィルター材料、電子放出装置（Field Emission Display：ＦＥＤ）の蛍光材料、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置の蛍光材料、電気泳動表示装置の泳動体材料などで構成されている。

第１ステージ２０は、図１に示すように、液滴吐出ヘッド１０からの液滴が着弾される検査基板２２を支持する。検査基板２２は、液滴吐出ヘッド１０からの液滴が着弾されることができれば、その材質は、特に限定されない。検査基板２２は、紙であってもよい。

カメラ３０は、検査基板２２に着弾された液滴の着弾位置を撮像する。

第２ステージ４０は、第１ステージ２０のＹ軸方向に位置し、液滴吐出ヘッド１０からの液滴が着弾される基板４２を支持する。第２ステージ４０は、Ｚ軸方向からみて、第１ステージ２０の−Ｙ軸方向に位置している。基板４２は、液滴吐出ヘッド１０からの液滴が着弾される凹部を有していてもよい。基板４２は、液滴吐出ヘッド１０からの液滴が着弾されて、例えば、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置などを構成する部材となる。

第１フラッシング部５０は、第２ステージ４０の＋Ｙ軸方向に設けられている。第１フラッシング部５０は、液滴吐出ヘッド１０と第１フラッシング部５０とがＺ軸方向において重なる時に、液滴吐出ヘッド１０の捨て吐出（フラッシング）を受ける。

第２フラッシング部５２は、第２ステージ４０の−Ｙ軸方向に設けられている。第２フラッシング部５２は、液滴吐出ヘッド１０と第２フラッシング部５２とがＺ軸方向において重なる時に、液滴吐出ヘッド１０の捨て吐出を受ける。

制御部６０は、液滴吐出ヘッド１０およびカメラ３０を制御する。制御部６０は、専用回路によって実現されて液滴吐出ヘッド１０およびカメラ３０の制御を行うように構成されていてもよい。また、制御部６０は、例えばＣＰＵ（central processing unit）がＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等の記憶装置に記憶された制御プログラムを実行することによってコンピューターとして機能し、液滴吐出ヘッド１０およびカメラ３０の制御を行うように構成されていてもよい。

制御部６０は、着弾位置取得部６２と、電圧決定部６４と、を有している。着弾位置取得部６２は、カメラ３０で撮像された像に基づいて、検査基板２２に着弾された液滴の着弾位置を取得する。電圧決定部６４は、着弾位置取得部６２で取得された着弾位置に基づいて、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加する電圧を決定する。具体的には、電圧決定部６４は、着弾位置取得部６２で取得された着弾位置と、予め定められた基準位置と、に基づいて、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加する電圧を決定する。

記憶部７０は、制御部６０が制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。記憶部７０は、さらに、制御部６０の作業領域として用いられ、制御部６０が各種プログラムに従って実行した算出結果等を一時的に記憶する。記憶部７０には、例えば、液滴の着弾位置の比較対象となる基準位置が記憶されている。

１．２． 動作
次に、液滴吐出装置１００の動作について、図面を参照しながら説明する。図４は、液滴吐出装置１００の動作を説明するためのフローチャートである。図５〜図８は、液滴吐出装置１００の動作を説明するための図である。

制御部６０は、図示せぬ操作部からの信号を受けて、図５に示すように、液滴吐出ヘッド１０およびカメラ３０を移動させる（ステップＳ１）。具体的には、制御部６０は、操作部からの信号を受けて、図示せぬ移動機構に信号を出力する。移動機構は、制御部６０からの信号を受けて、液滴吐出ヘッド１０が検査基板２２の＋Ｚ軸方向に位置するように、液滴吐出ヘッド１０およびカメラ３０を移動させる。

次に、制御部６０は、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に電圧（Ｖ／２）を印加する（ステップＳ２）。具体的には、制御部６０は、ステップＳ１を実行した後に、図示せぬ電源に信号を出力する。電源は、制御部６０からの信号を受けて、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８の両方に電圧（Ｖ／２）を印加する。電圧（Ｖ／２）が印加されることにより、液滴吐出ヘッド１０は、検査基板２２に液滴を吐出する。

図６に示すように、制御部６０は、液滴吐出ヘッド１０およびカメラ３０を移動させる（ステップＳ３）。具体的には、制御部６０は、ステップＳ２を実行した後に、移動機構に信号を出力する。移動機構は、制御部６０からの信号を受けて、カメラ３０が検査基板２２の＋Ｚ軸方向に位置するように、液滴吐出ヘッド１０およびカメラ３０を移動させる。

次に、制御部６０は、カメラ３０に信号を入力して、カメラ３０を動作させる（ステップＳ４）。カメラ３０は、制御部６０からの信号を受けて、検査基板２２に着弾された液滴を撮像する。

次に、制御部６０は、カメラ３０で撮像された像を画像データとして取得し、記憶部７０に記憶させる（ステップＳ５）。

次に、制御部６０の着弾位置取得部６２は、取得した画像データから液滴の着弾位置を取得する（ステップＳ６）。着弾位置取得部６２は、着弾位置として、例えば、液滴の中心座標を取得する。中心座標は、例えば、液滴の最も＋Ｚ軸方向に位置する点である。着弾位置取得部６２は、カメラのピントなどを調整することにより、中心座標を算出することができる。

次に、制御部６０は、記憶部７０から予め定められた基準位置を読み出す（ステップＳ７）。

次に、制御部６０の電圧決定部６４は、着弾位置取得部６２で取得された着弾位置と、予め定められた基準位置と、に基づいて、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加する電圧を決定する（ステップＳ８）。以下、ステップＳ８について説明する。

図７に示すように、Ｙ軸方向における液滴Ｌの着弾位置Ｐ１と基準位置Ｐ２との差をΔｄ、検査基板２２と液滴吐出ヘッド１０との間の距離をＤとすると、Ｚ軸に対する液滴Ｌの吐出方向の傾き角度θは、下記式（１）で表される。

θ＝ａｒｃｔａｎ（Δｄ／Ｄ） ・・・（１）

第１圧電素子１６にのみ電圧を印加した場合における、Ｚ軸に対する液滴Ｌの吐出方向の傾き角度をθ_ＭＡＸとし、第１圧電素子１６に印加する電圧をＶ１とし、第２圧電素子１８に印加する電圧をＶ２とし、所望の質量の液滴Ｌを吐出させるための電圧をＶとすると、下記式（２）および式（３）の関係を満たす。

Ｖ×（１／２−（θ／θ_ＭＡＸ））＝Ｖ１ ・・・（２）
Ｖ＝Ｖ２＋Ｖ１ ・・・（３）

例えば、Δｄ＝５μｍ、Ｄ＝３００μｍ、の場合、式（１）より、θ＝０．９５５°となる。そして、θ_ＭＡＸ＝３°、液滴Ｌの所望の質量１０ｎｇを得るための電圧Ｖ＝４０Ｖとすると、式（２）および式（３）より、Ｖ１＝１３．６Ｖ、Ｖ２＝２６．４Ｖとなる。すなわち、第１圧電素子１６に印加する電圧を１３．６Ｖとし、第２圧電素子１８に印加する電圧を２６．４Ｖとすれば、着弾位置Ｐ１と基準位置Ｐ２との差Δｄをゼロにすることができる。

以上の計算により、電圧決定部６４は、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加する電圧を決定することができる。

図８に示すように、制御部６０は、液滴吐出ヘッド１０を移動させる（ステップＳ９）。具体的には、制御部６０は、ステップＳ８を実行した後に、移動機構に信号を出力する。移動機構は、制御部６０からの信号を受けて、液滴吐出ヘッド１０と基板４２とが＋Ｚ軸方向に重なる位置に、液滴吐出ヘッド１０を移動させる。

そして、液滴吐出ヘッド１０が所定の位置に到達したら、制御部６０は、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に、電圧決定部６４で決定された電圧を印加する（ステップＳ１０）。具体的には、制御部６０は、液滴吐出ヘッド１０が所定の位置に到達した後、電源に信号を出力する。電源は、制御部６０からの信号を受けて、電圧決定部６４で決定された電圧を、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加する。液滴吐出ヘッド１０は、電圧決定部６４で決定された電圧が第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加された状態で、基板４２に液滴を着弾させる。

その後、制御部６０は、処理を終了する。図４には示していないが、制御部６０は、基板４２に液滴を着弾させる前後に、第１フラッシング部５０および第２フラッシング部５２に液滴を着弾させてもよい。

制御部６０は、以上の処理を繰り返し行ってもよい。液滴吐出装置１００は、図示しない基板交換機構を有し、基板４２に液滴が着弾された後に、基板交換機構は、第２ステージ４０で支持されている基板４２を他の基板４２に取り換えてもよい。基板交換機構によって基板４２が他の基板４２に取り換えられている際中に、電圧決定部６４は、他の基板４２に液滴を着弾させるための電圧（圧電素子１６，１８に印加される電圧）を決定してもよい。

１．３． 作用効果
液滴吐出装置１００では、液滴吐出ヘッド１０と、液滴吐出ヘッド１０からの液滴が着弾される検査基板２２を支持する第１ステージ２０と、検査基板２２に着弾された液滴を撮像するカメラ３０と、第１ステージ２０の第１方向に位置し、液滴吐出ヘッド１０からの液滴が着弾される基板４２を支持する第２ステージ４０と、液滴吐出ヘッド１０を制御する制御部６０と、を含む。液滴吐出ヘッド１０は、圧力発生室１４と、圧力発生室１４の容積を変化させる第１圧電素子１６と、圧力発生室１４の容積を変化させ、第１圧電素子１６に対して第１方向（Ｙ軸方向）に配置される第２圧電素子１８と、圧力発生室１４に連通し第１方向と直交する第２方向（Ｚ軸方向）からみて、第１圧電素子１６と第２圧電素子１８との間に配置されたノズル孔１２と、を有する。制御部６０は、カメラ３０で撮像された像に基づいて、検査基板２２に着弾された液滴の着弾位置を取得する着弾位置取得部６２と、取得された着弾位置に基づいて、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加する電圧を決定する電圧決定部６４と、を有する。そして、液滴吐出ヘッド１０は、電圧決定部６４で決定された電圧が第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加された状態で、基板４２に液滴を着弾させる。

そのため、液滴吐出装置１００では、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加する電圧を調整することで、液滴の着弾位置を補正することができる。これにより、液滴吐出装置１００では、走査方向のデータ分解能に関わらず、液滴の着弾位置を補正することができる。したがって、液滴の着弾位置の細かい補正を行うことができる。

さらに、液滴吐出装置１００では、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加される電圧の合計値を、所望の質量の液滴を吐出させるための電圧とすることにより、液滴の質量を変えずに、液滴の着弾位置を補正することができる。

図９に示すように、一般的に、液滴の速度および質量は、圧電素子に印加される電圧に比例する。そのため、液滴の着弾位置が目標値からずれた場合に、液滴の速度を調整して着弾位置を補正しようとすると、液滴の質量が目標値からずれてしまう。液滴の質量が目標値からずれると、例えば、有機ＥＬ装置の画素の膜厚がずれてしまう。液滴吐出装置１００は、このような問題を回避することができる。なお、図９は、圧電素子に印加される電圧と、液滴の速度および質量と、の関係を示すグラフである。

液滴吐出装置１００では、電圧決定部６４は、着弾位置と予め定められた基準位置とに基づいて、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加する電圧を決定する。液滴吐出装置１００では、着弾位置と基準位置との差を算出し、該差がゼロとなるように、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加する電圧を決定することができる。

液滴吐出装置１００では、基板４２に液滴が着弾された後に、第２ステージ４０で支持される基板４２は、他の基板４２に取り換えられ、基板４２が他の基板４２に取り換えられている際中に、電圧決定部６４は、他の基板４２に液滴を着弾させるための電圧を決定する。そのため、液滴吐出装置１００では、基板４２が他の基板４２に取り換えられた後に他の基板４２に液滴を着弾させるための電圧を決定する場合に比べて、他の基板４２に対する液滴の着弾工程を早めることができる。

液滴吐出装置１００では、ノズル孔１２は、第１方向および第２方向と直交する第３方向（Ｘ軸方向）に配列され、第１圧電素子１６は、第３方向に配列され、第２圧電素子１８は、第３方向に配列されている。そのため、液滴吐出装置１００では、１度に多くの液滴を吐出させることができる。また、液滴吐出装置１００では、１度に吐出させる液滴の数を変えずに、着弾位置を補正することができる。そのため、液滴の質量を変えずに、着弾位置を補正することができる。１度に吐出させる液滴の数が変わると、１つの液滴に対応する電圧が変わってしまい、液滴の質量が変化してしまう。

なお、上記の例では、制御部６０が記憶部７０から予め定められた基準位置を読み出して、着弾位置と基準位置との差Δｄを求めたが、図１０に示すように、液滴Ｌの列の位置に基づいて、差Δｄを求めてもよい。例えば、液滴Ｌと交差するＸ軸に平行な複数の仮想直線Ｋのうち、最も液滴Ｌと交差する回数が多い仮想直線Ｋの位置を、基準位置としてもよい。なお、図１０は、液滴Ｌの着弾位置と基準位置との差Δｄを説明するための図である。

２． 変形例
次に、本実施形態の変形例に係る液滴吐出装置について、図面を参照しながら説明する。図１１は、本実施形態の変形例に係る液滴吐出装置２００を模式的に示す図ある。

以下、本実施形態の変形例に係る液滴吐出装置２００において、上述した本実施形態に係る液滴吐出装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

液滴吐出装置２００は、図１１に示すように、記憶部７０に、テーブル７２が記憶されている点において、上述した液滴吐出装置１００と異なる。

テーブル７２には、検査基板２２に着弾された液滴の着弾位置と基準位置との差Δｄと、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加される電圧と、の対応関係を特定するルックアップテーブルである。電圧決定部６４は、検査基板２２に着弾された液滴の着弾位置に応じてテーブル７２から第１圧電素子１６および第２圧電素子１８に印加する電圧を決定する。そのため、液滴吐出装置２００は、上記の式（１）〜式（３）に基づく計算を省略することができる。これにより、例えば、電圧決定部６４の処理速度を速めることができる。

なお、テーブル７２は、図示しない記憶媒体に記憶されていてもよい。記憶媒体は、コンピューター読み取り可能な記憶媒体である。記憶媒体は、例えば、光ディスク（ＣＤ、ＤＶＤ）、光磁気ディスク（ＭＯ）、磁気ディスク、ハードディスク、磁気テープ、メモリー（ＲＯＭ、フラッシュメモリーなど）により実現される。

本実施形態では、図２に示すように第１圧電素子１６および第２圧電素子１８は、Ｙ軸方向に並んでいるとしたが、第１圧電素子１６および第２圧電素子１８は、Ｘ軸方向に配列されても構わない。このような場合、移動機構の移動方向（Ｙ方向）と交差する方向に対して液滴の着弾位置を補正することができる。

本発明は、本願に記載の特徴や効果を有する範囲で一部の構成を省略したり、各実施形態や変形例を組み合わせたりしてもよい。

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、さらに種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成を含む。実質的に同一の構成とは、例えば、機能、方法、および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成である。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

２…第１部分、４…第２部分、１０…液滴吐出ヘッド、１１…ノズルプレート、１１ａ…第１板状部材、１１ｂ…第２板状部材、１２…ノズル孔、１２ａ…第１孔、１２ｂ…第２孔、１３…流路形成基板、１３ａ…第１規定部、１３ｂ…第２規定部、１３ｃ…第３規定部、１４…圧力発生室、１４ａ…第１室、１４ｂ…第２室、１４ｃ…第３室、１５…振動板、１６…第１圧電素子、１８…第２圧電素子、２０…第１ステージ、２２…検査基板、３０…カメラ、４０…第２ステージ、４２…基板、５０…第１フラッシング部、５２…第２フラッシング部、６０…制御部、６２…着弾位置取得部、６４…電圧決定部、７０…記憶部、７２…テーブル、１００，２００…液滴吐出装置

Claims (5)

1. 圧力発生室と、前記圧力発生室の容積を変化させる第１圧電素子と、前記圧力発生室の容積を変化させ、前記第１圧電素子に対して第１方向に配置される第２圧電素子と、前記圧力発生室に連通し前記第１方向と直交する第２方向からみて、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子との間に配置されたノズル孔と、を有し、前記ノズル孔から液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
   前記液滴吐出ヘッドからの液滴が着弾される検査基板を支持する第１ステージと、
   前記検査基板に着弾された液滴を撮像するカメラと、
   前記第１ステージの前記第１方向に位置し、前記液滴吐出ヘッドからの液滴が着弾される基板を支持する第２ステージと、
   前記液滴吐出ヘッドを制御する制御部と、
   を含み、
   前記制御部は、
   前記カメラで撮像された像に基づいて、前記検査基板に着弾された液滴の着弾位置を取得する着弾位置取得部と、
   前記着弾位置に基づいて、前記第１圧電素子および前記第２圧電素子に印加する電圧を決定する電圧決定部と、
   を有し、
   前記液滴吐出ヘッドは、前記電圧決定部で決定された電圧が前記第１圧電素子および前記第２圧電素子に印加された状態で、前記基板に液滴を着弾させる、液滴吐出装置。
2. 請求項１において、
   前記電圧決定部は、前記着弾位置と予め定められた基準位置とに基づいて、前記第１圧電素子および前記第２圧電素子に印加する電圧を決定する、液滴吐出装置。
3. 請求項１または２において、
   前記着弾位置と、前記第１圧電素子および前記第２圧電素子に印加される電圧と、の対応関係を特定するテーブルが記憶され、
   前記電圧決定部は、前記着弾位置に応じて前記テーブルから前記第１圧電素子および前記第２圧電素子に印加する電圧を決定する、液滴吐出装置。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項において、
   前記基板に液滴が着弾された後に、前記第２ステージで支持される前記基板は、他の前記基板に取り換えられ、
   前記基板が他の前記基板に取り換えられている際中に、前記電圧決定部は、他の前記基板に液滴を着弾させるための電圧を決定する、液滴吐出装置。
5. 請求項１ないし４のいずれか１項において、
   前記ノズル孔は、前記第１方向および前記第２方向と直交する第３方向に配列され、
   前記第１圧電素子は、前記第３方向に配列され、
   前記第２圧電素子は、前記第３方向に配列されている、液滴吐出装置。
   

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