JP2006320808A - 液滴吐出装置、液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 高粘度の液状体を液滴として基板の吐出領域に吐出し、各吐出領域に吐出した液状体の容量の均一性を向上した液滴吐出装置、液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を提供する。
【解決手段】 吐出ヘッド31と対峙する状態の吐出領域Sの実温度を検出する温度センサ30をキャリッジ29に取り付け、液晶の液滴を吐出する吐出領域S毎に、対応する吐出領域Sの実温度を検出し、前記温度センサ30の検出する実温度に基づいて、圧電素子の伸張幅を規定する吐出電圧を演算するようにした。そして、前記吐出電圧に基づいて、圧電素子を駆動させる圧電素子駆動信号を生成するようにした。
【選択図】 図4
【解決手段】 吐出ヘッド31と対峙する状態の吐出領域Sの実温度を検出する温度センサ30をキャリッジ29に取り付け、液晶の液滴を吐出する吐出領域S毎に、対応する吐出領域Sの実温度を検出し、前記温度センサ30の検出する実温度に基づいて、圧電素子の伸張幅を規定する吐出電圧を演算するようにした。そして、前記吐出電圧に基づいて、圧電素子を駆動させる圧電素子駆動信号を生成するようにした。
【選択図】 図4
Description
本発明は、液滴吐出装置、液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置に関する。
従来、液晶表示装置の製造工程には、透明基板の表示領域に液晶を吐出し、その表示領域を対向基板で封止する封止工程が行われている。この封止工程では、表示領域に吐出した液晶の容量が変動すると、前記透明基板と前記対向基板との間の距離(セルギャップ)が変動して、液晶表示装置の表示画質を劣化させる問題があった。そこで、吐出する液晶の容量変動を抑制する方法として、前記液晶を微小な液滴として吐出する、いわゆるインクジェット法が提案されている(例えば、特許文献1)。
ところが、上記するインクジェット法では、一般的に、圧電素子の伸縮等によって吐出ノズルに形成させる液状体の界面(メニスカス)を強制的に振動させ、その振動過程において、前記メニスカスの液状体を、前記液滴として吐出させるようにしている。そのため、例えば粘度が50〜100cpとなる液晶では、前記メニスカスの液晶を、前記振動によって吐出させることが困難となり、前記液滴の容量を変動させる、あるいは前記液滴を形成不能にする問題があった。
そこで、こうしたインクジェット法では、従来より、高粘度の液状体(液晶)を、均一な容量の液滴として吐出可能にする提案がなされている(例えば、特許文献2)。特許文献2では、吐出ノズルを有した液滴吐出ヘッドや前記液滴吐出ヘッドに液晶を供給する供給ラインを、チューブヒータ等の加熱装置によって加熱して、メニスカス近傍の液晶の粘度を低下させている。これによって、高粘度の液状体(液晶)を、均一な容量の液滴として吐出を可能にしている。
特開平5−281562号 公報
特開2004−358352号 公報
しかしながら、インクジェット法では、吐出した液滴の着弾位置の精度を確保するために、前記吐出ノズルの開口(前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート)を前記透明基板の表示領域に近づけている。その結果、前記吐出ノズル内の液晶と前記透明基板との間の熱交換によって、前記液晶の温度、すなわち前記液晶の粘度が変動し、吐出領域に吐出した液晶の容量を変動させる問題があった。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、高粘度の液状体を液滴として基板の吐出領域に吐出し、各吐出領域に吐出した液状体の容量の均一性を向上した液滴吐出装置、液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を提供することである。
本発明の液滴吐出装置は、圧力室に貯えられた液状体を加圧して、前記液状体を吐出口から基板に形成された複数の吐出領域に液滴として吐出させる吐出手段と、前記液状体を加熱する液状体加熱手段と、前記吐出口を前記吐出領域に対峙可能に移動する移動手段とを備えた液滴吐出装置において、前記移動手段に設けられ、前記吐出口と対峙する前記吐出領域の実温度を検出する温度検出手段と、前記吐出領域に吐出した前記液状体の容量が所定の容量になるように、前記温度検出手段の検出した前記実温度に基づいて、前記吐出
手段を駆動制御する駆動制御手段と、を備えた。
手段を駆動制御する駆動制御手段と、を備えた。
本発明の液滴吐出装置によれば、吐出口を移動させる移動手段に設けられた温度検出手段によって、吐出口と対峙する状態の吐出領域の実温度を計測することができる。そして、計測した実温度に基づいて、液状体を加圧する吐出手段を駆動制御することができる。従って、吐出領域と吐出口(液状体)等との間の熱交換に対応した駆動量(例えば、圧力室への加圧量や、圧力室を加圧する駆動回数)を吐出手段に付与することができ、加熱によって低粘度化した液状体の吐出する容量の均一性を向上することができる。
この液滴吐出装置において、前記移動手段は、前記加熱手段を備えるようにしてもよい。
この液滴吐出装置によれば、吐出口を移動させる移動手段に加熱手段を設けるため、吐出口の液状体の温度の変動を抑制することができ、吐出する液状体の容量の均一性を、さらに向上させることができる。
この液滴吐出装置によれば、吐出口を移動させる移動手段に加熱手段を設けるため、吐出口の液状体の温度の変動を抑制することができ、吐出する液状体の容量の均一性を、さらに向上させることができる。
この液滴吐出装置において、前記温度検出手段は、前記液滴を吐出するときの前記吐出口の前記基板に対する相対移動経路に沿って、前記吐出口と対峙する前記吐出領域の前記実温度を検出するようにしてもよい。
この液滴吐出装置によれば、液滴を吐出するときの吐出口の移動する経路に沿って吐出領域の実温度を検出することができる。従って、吐出口(液状体)の移動に伴う吐出口からの熱量が基板に蓄積される場合であっても、液滴を吐出する各吐出領域の実温度を、より正確に計測することができる。その結果、各吐出領域に吐出する液状体の容量を、より均一にすることができる。
この液滴吐出装置において、前記温度検出手段は、前記吐出口が前記吐出領域に前記液滴を吐出するときに、前記吐出領域の前記実温度を検出するようにしてもよい。
この液滴吐出装置によれば、吐出口が各吐出領域に液滴を吐出するときに、吐出口と対峙する状態の吐出領域の実温度を検出することができる。従って、各吐出領域に吐出する液状体の容量を、さらに均一にすることができる。
この液滴吐出装置によれば、吐出口が各吐出領域に液滴を吐出するときに、吐出口と対峙する状態の吐出領域の実温度を検出することができる。従って、各吐出領域に吐出する液状体の容量を、さらに均一にすることができる。
この液滴吐出装置において、前記駆動制御手段は、前記実温度に基づいて、前記液滴の容量が所定の容量になるように、前記圧力室に貯えられた前記液状体の圧力を制御するようにしてもよい。
この液滴吐出装置によれば、吐出口(液状体)と、その吐出口と対峙する吐出領域との間の熱交換に対応した圧力を液状体に付与することができ、各吐出領域に吐出する液状体の容量を所定の容量に制御することができる。
この液滴吐出装置において、予め設定された温度を前記吐出手段の駆動量に対応させた温度変換情報を記憶する記憶手段を備え、前記駆動制御手段は、前記温度変換情報に基づいて、前記温度検出手段の検出した前記実温度に対応する前記駆動量で前記吐出手段を駆動制御するようにしてもよい。
この液滴吐出装置によれば、予め記憶された温度変換情報に基づいて、吐出手段の駆動量を、実温度に対応した駆動量にすることができる。従って、実温度に対応した圧力を確実に再現することができ、均一な容量の液状体を、再現良く各吐出領域に吐出することができる。
この液滴吐出装置において、前記基板の温度を前記液状体の温度近傍まで加熱する基板
加熱手段を備えるようにしてもよい。
この液滴吐出装置によれば、基板と吐出口(液状体)との間の熱交換を軽減することができ、各吐出領域に吐出する液状体容量の均一性を、さらに向上させることができる。
加熱手段を備えるようにしてもよい。
この液滴吐出装置によれば、基板と吐出口(液状体)との間の熱交換を軽減することができ、各吐出領域に吐出する液状体容量の均一性を、さらに向上させることができる。
この液滴吐出装置において、前記液状体は液晶であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、液晶を液滴として吐出することができ、各吐出領域に吐出する液晶容量の均一性を向上させることができる。
この液滴吐出装置によれば、液晶を液滴として吐出することができ、各吐出領域に吐出する液晶容量の均一性を向上させることができる。
本発明の液晶表示装置の製造方法は、素子基板と対向基板のいずれか一方に液晶を吐出し、吐出した前記液晶を前記素子基板と前記対向基板との間の間隙に封入するようにした液晶表示装置の製造方法において、前記液晶を、上記する液滴吐出装置によって吐出するようにした。
本発明の液晶表示装置の製造方法によれば、液晶容量の均一性を向上した液晶表示装置を製造することができる。
本発明の液晶表示装置は、上記する液晶表示装置の製造方法によって製造した。
本発明の液晶表示装置は、上記する液晶表示装置の製造方法によって製造した。
本発明の液晶表示装置によれば、液晶容量の均一性を向上することができる。
以下、本発明を具体化した一実施形態を図1〜図8に従って説明する。まず、本発明の液晶表示装置について説明する。図1は、液晶表示装置の斜視図であり、図2は、図1のA−A線断面図である。
図1において、液晶表示装置1は、液晶パネル2と、前記液晶パネル2に平面状の光(平面光L)を照射する照射装置3を備えている。
液晶パネル2は、前記平面光Lの照射側に備えられた対向基板4と、前記対向基板4と相対向する素子基板5を有している。
液晶パネル2は、前記平面光Lの照射側に備えられた対向基板4と、前記対向基板4と相対向する素子基板5を有している。
対向基板4は、四角板状に形成される無アルカリガラス基板であって、図2に示すように、その素子基板5側(上側)の側面(対向電極形成面4a)には、ITO等の透明導電層からなる対向電極6が積層されて、図示しない電源回路からの所定の共通電位が供給されるようになっている。対向電極6の上側には、ラビング処理等による配向処理の施された配向膜7aが積層されて、前記対向電極6近傍で、後述する液晶15の配向を所定の配向に設定するようになっている。
図1に示すように、素子基板5は、前記対向基板4と略同じく、四角板状に形成された無アルカリガラス基板であって、その対向基板4側(下側)の側面(素子形成面5a)には、X矢印方向に延びる複数の走査線8が所定の間隔をおいて形成されている。各走査線8は、図示しない走査線駆動回路に電気的に接続されて、所定のタイミングで選択駆動され、対応する走査信号が所定のタイミングで出力されるようになっている。また、素子形成面5aには、前記走査線8と直交するY矢印方向に延びる複数のデータ線9が所定の間隔をおいて形成されている。各データ線9は、図示しないデータ線駆動回路に電気的に接続されて、表示データに基づくデータ信号が、対応するデータ線9に所定のタイミングで入力されるようになっている。
前記走査線8と前記データ線9の交差する位置には、対応する走査線8及びデータ線9に接続されて、マトリックス状に配列される複数の画素領域10が形成されている。各画素領域10内には、それぞれTFT等からなる図示しない制御素子と、ITO等の透明導電膜からなる画素電極11(図2参照)が形成されている。
図2に示すように、前記データ線9(走査線8)及び画素電極11の下側には、素子形成面5aの全体にわたり、ラビング処理等による配向処理の施された配向膜7bが積層されて、前記画素電極11近傍で、後述する液晶15の配向を所定の配向に設定するようになっている。
素子基板5(配向膜7a)と対向基板4(配向膜7b)の間の間隙には、略球形状のスペーサ12aを有した四角枠状のシール材12が配設されている。シール材12は、ディスペンサやスクリーン印刷等によって、前記スペーサ12aを分散した紫外線硬化性樹脂等を、前記対向基板4の外縁に沿う四角枠状に吐出して硬化することによって形成されている。そして、このシール材12が各基板4,5の外縁に配設されることによって、前記素子基板5(素子形成面5a)と前記対向基板4(対向電極形成面4a)の外縁が、所定の距離(スペーサ12aの略外形分)だけ離間するようになっている。
また、上記する素子基板5(配向膜7a)と対向基板4(配向膜7b)の間の間隙には、前記シール材12によって封止される液状体としての液晶15からなる液晶層15Lが形成されている。液晶層15Lは、後述する液滴吐出装置20(図4参照)からの前記液晶15の液滴D(図7参照)を、後述する対向基板4のマザー基板4M(図3参照)上に吐出し、吐出した液晶15を、対応する素子基板5(素子形成面5a)のマザー基板5M(図3参照)で封止することによって形成されている。
そして、走査線8が線順次走査に基づいて1本ずつ順次選択されると、画素領域10の制御素子が順次、選択期間中だけオン状態となり、対応するデータ線9及び制御素子を介して、対応する前記画素電極11にデータ信号が出力される。すると、素子基板5の画素電極11と対向電極6の電位差に応じて、前記液晶15の配向状態が、平面光Lを変調するように維持されて、変調された光が、図示しない偏光板を通過するか否かによって、液晶パネル2に、所望する画像が表示される。
上記する液晶パネル2では、液晶15の容量を、液晶パネル2毎に、予め定めた所定の容量にすることによって、素子基板5(配向膜7a)と対向基板4(配向膜7b)の間の間隙(セルギャップ)を均一にすることができ、各液晶パネル2の表示画質を均一にすることができている。尚、本実施形態の液晶表示装置1は、画素領域10に制御素子であるTFTを備えた、いわゆるアクティブマトリックス方式の液晶表示装置であるが、例えばパッシブ方式の液晶表示装置であってもよい。また、本実施形態の液晶表示装置1は、前記平面光Lの照射側に対向基板4を配設する構成にしたが、これに限らず、例えば照射側に素子基板5を配設する構成であってもよい。
上記する液晶パネル2は、以下の製造方法によって製造されている。図3は、液晶パネル2の製造方法を説明する説明図である。
上記液晶パネル2は、図3に示すように、前記対向基板4を切り出し可能にしたマザー基板4Mの一側面(吐出面4Ma)に、前記対向基板4に対応する四角枠状の複数のシール材12を形成し、前記シール材12で囲まれた領域(吐出領域S)に、それぞれ複数の液滴Dからなる所定容量の液晶15を吐出する。
上記液晶パネル2は、図3に示すように、前記対向基板4を切り出し可能にしたマザー基板4Mの一側面(吐出面4Ma)に、前記対向基板4に対応する四角枠状の複数のシール材12を形成し、前記シール材12で囲まれた領域(吐出領域S)に、それぞれ複数の液滴Dからなる所定容量の液晶15を吐出する。
そして、液晶15を吐出したマザー基板4Mの吐出面4Maに、前記素子基板5を切り出し可能にしたマザー基板5Mを貼り合わせて、図3の2点鎖線に沿って、前記マザー基板4M及び前記マザー基板5Mをダイシングする。これによって、シール材12を介して貼り合わされた前記素子基板5及び前記対向基板4が形成され、これらの間隙に、前記シール材12によって封止された液晶層15Lが形成される、すなわち液晶パネル2が形成される。尚、本実施形態では、前記シール材12(吐出領域S)を、前記対向基板4のマ
ザー基板4Mに形成し、液晶15の液滴Dを前記マザー基板4Mに吐出する構成にしたが、これに限らず、例えば前記シール材12を素子基板5のマザー基板5Mに形成し、液滴Dを素子基板5のマザー基板5Mに吐出する構成にしてもよい。
ザー基板4Mに形成し、液晶15の液滴Dを前記マザー基板4Mに吐出する構成にしたが、これに限らず、例えば前記シール材12を素子基板5のマザー基板5Mに形成し、液滴Dを素子基板5のマザー基板5Mに吐出する構成にしてもよい。
本実施形態では、マザー基板4Mに形成された各吐出領域Sを、Y矢印方向側から順に、1列目の吐出領域S、2列目の吐出領域S、・・・、5列目の吐出領域Sとし、X矢印方向側から順に、1行目の吐出領域S、2行目の吐出領域S、・・・、5行目の吐出領域Sという。また、本実施形態では、吐出領域SのX矢印方向の幅を、吐出幅Waという。
次に、前記マザー基板4Mの各吐出領域Sに前記液晶15を吐出するための液滴吐出装置20について説明する。図4は、液滴吐出装置20の構成を示す斜視図である。図5は、図4のB−B線断面図である。
図4において、液滴吐出装置20には、直方体形状に形成される基台21が備えられている。基台21は、後述する基板ステージ23に前記マザー基板4Mを載置する状態で、その長手方向が、前記Y矢印方向に沿うように形成されている。その基台21の上面には、Y矢印方向に延びる一対の案内凹溝22が、Y矢印方向全幅にわたり形成され、その案内凹溝22には、Y軸モータMY(図8参照)に連結駆動されてY矢印方向及び反Y矢印方向に直動する基板ステージ23が取付けられている。そして、所定の駆動信号が前記Y軸モータMYに入力されると、Y軸モータMYが正転又は逆転して、基板ステージ23が、Y矢印方向に沿って、所定の速度で往動又は復動する(Y矢印方向に移動する)ようになっている。本実施形態では、最も反Y矢印方向に位置する基台21の配置位置(図4及び図5に示す実線)を往動位置とし、最もY矢印方向の配置位置(図4及び図5に示す2点鎖線)を復動位置という。尚、本実施形態では、基板ステージ23が、前記往動位置からY矢印方向に沿って移動するときに、後述する液滴Dを吐出するようになっている。
基板ステージ23の上面には、前記マザー基板4Mの吐出面4Maを上側にして載置する載置面24が形成され、載置したマザー基板4Mを、基板ステージ23に対して位置決めするようになっている。尚、本実施形態において、載置面24に載置されるマザー基板4Mは、その1列目の吐出領域Sを、最もY矢印方向側に配置するように位置決めされる。
図5に示すように、基板ステージ23の内部には、基板加熱手段を構成する加熱ヒータ23Hが備えられ、基板ステージ23の載置面24を介して、載置されたマザー基板4Mを、所定の温度領域(本実施形態では約40℃)まで加熱するようになっている。そして、加熱ヒータ23Hがマザー基板4Mを加熱することによって、後述する液滴吐出ヘッド31(液晶15)との熱交換を抑制するようになっている。
図4に示すように、基台21のX矢印方向両側には、一対の支持台26a、26bが立設され、その一対の支持台26a、26bには、X矢印方向に延びる案内部材27が架設されている。その案内部材27の上側には、収容タンク28が配設され、その収容タンク28内には、液状体としての液晶15が、後述する液滴吐出ヘッド31に導出可能に収容されている。尚、本実施形態における液晶15の粘度は50cp〜100cpであるが、これに限られるものではない。
案内部材27の下側には、X矢印方向に延びる一対の案内レール27aが、X矢印方向の略全幅にわたり形成され、その案内レール27aには、X軸モータMX(図8参照)に連結駆動されてX矢印方向及び反X矢印方向に直動する移動手段としてのキャリッジ29が取付けられている。そして、所定の駆動信号をX軸モータMXに入力すると、X軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ29がX矢印方向に沿って往動又は復動する(X矢印
方向に移動する)ようになっている。本実施形態では、最も支持台26a側(X矢印方向側)に位置するキャリッジ29の配置位置(図4に示す実線)を往動位置とし、最も支持台26b側(反X矢印方向側)に位置する配置位置(図4に示す2点鎖線)を復動位置という。
方向に移動する)ようになっている。本実施形態では、最も支持台26a側(X矢印方向側)に位置するキャリッジ29の配置位置(図4に示す実線)を往動位置とし、最も支持台26b側(反X矢印方向側)に位置する配置位置(図4に示す2点鎖線)を復動位置という。
キャリッジ29の反Y矢印方向側(基板ステージ23の往動位置側)には、図示しない支持台部材等に支持されて温度検出手段を構成する温度センサ30が、キャリッジ29の移動と連動可能に取り付けられている。温度センサ30は、キャリッジ29の下側を通過するマザー基板4M(吐出領域S)からの赤外線等を検出して、キャリッジ29(後述する吐出ヘッド31)と対峙する状態の各吐出領域Sの温度(実温度)を計測する非接触型の温度センサである。
キャリッジ29の下側には、液滴吐出ヘッド(以下単に、吐出ヘッド31という。)が配設されている。図6は、前記吐出ヘッド31を下側(基板ステージ23側)から見た斜視図であって、図7は、図6のC−C線断面図である。
図6において、吐出ヘッド31は、X矢印方向に延びる略直方体形状に形成され、その下側(基板ステージ23側)には、それぞれノズルプレート32が備えられている。ノズルプレート32の下面(ノズル形成面32a)には、Z矢印方向に沿って貫通形成される多数の吐出口としての吐出ノズル(以下単に、ノズルNという。)が、X矢印方向に沿って一列に配列されている。そして、ノズル形成面32aには、これらX矢印方向に配列されたノズルNによって、1列のノズル列NLが形成されている。このノズル列NLのX矢印方向の幅(ノズル幅Ws)は、前記吐出領域SのX矢印方向の幅(吐出幅Wa)と略同じ幅で形成されている。
そして、前記ノズル列NLが前記1行目の吐出領域Sと対峙する状態で、前記基板ステージ23をY矢印方向に沿って移動すると、ノズル列NLは、1行目の各吐出領域SのX矢印方向全幅にわたりY矢印方向に沿って相対移動する。
この際、キャリッジ29に取り付けられた前記温度センサ30は、前記ノズル列NLよりも先行して、1行目の各吐出領域Sと対峙する。すなわち、前記ノズル列NL(ノズルN)は、前記温度センサ30のマザー基板4Mに対する相対移動経路に沿って相対移動する。そして、前記基板ステージ23及びキャリッジ29が、それぞれY矢印方向及びX矢印方向に移動して、温度センサ30が各吐出領域Sと対峙すると、前記ノズルNは、前記温度センサ30が対峙する吐出領域Sの順序と同じ順序で、各吐出領域Sと対峙する。尚、本実施形態における温度センサ30及びノズルNは、前記マザー基板4Mに対して、1行1列目の吐出領域S、1行2列目の吐出領域S、・・・、5行5列目の吐出領域Sまで、順次相対移動するようになっている。
図7に示すように、各ノズルNのZ矢印方向には、それぞれ圧力室としてのキャビティ33が形成されている。キャビティ33は、各ノズルNに共通する供給路34を介して、前記収容タンク28内に連通して、収容タンク28の導出する前記液晶15が導入されるようになっている。そして、キャビティ33は、導入された液晶15を、それぞれ対応するノズルNに供給するようになっている。キャビティ33のZ矢印方向には、Z矢印方向及び反Z矢印方向に振動可能に貼り付けられた振動板35が備えられて、キャビティ33内の容積を拡大・縮小可能にしている。振動板35のZ矢印方向には、各ノズルNに対応する吐出手段を構成する圧電素子36が配設されている。圧電素子36は、その圧電素子36を駆動制御するための信号(圧電素子駆動信号COM:図8参照)を受けて収縮・伸張し、前記振動板35をZ矢印方向及び反Z矢印方向に振動させてキャビティ33内を加圧・減圧するようになっている。
図5及び図7に示すように、キャリッジ29内であって、前記吐出ヘッド31の外周には、液状体加熱手段としての加熱ヒータ31Hが配設されている。加熱ヒータ31Hは、キャビティ33内の液晶15を所定の温度領域(本実施形態では約60℃)まで加熱するようになっている。そして、加熱ヒータ31Hが各キャビティ33内の液晶15を加熱することによって、液晶15の粘度を、対応するノズルNの近傍で、低下させるようになっている。尚、本実施形態では、吐出ヘッド31の外周のみに前記加熱ヒータ31Hを配設する構成にしたが、前記収容タンク28から前記吐出ヘッド31までの液晶15の供給配管等の外周にも、別途加熱ヒータを配設する構成にしてもよい。
そして、搬送されるマザー基板4Mの吐出領域SがY矢印方向に搬送されて、前記吐出ヘッド31の直下に侵入し、対応するノズルNの圧電素子36が収縮・伸張する。すると、対応するキャビティ33の圧力が減圧・加圧されて、対応するノズルN内の液晶15の界面(メニスカスM)がZ矢印方向及び反Z矢印方向に振動する。そして、液晶15のメニスカスが振動することによって、圧電素子36の伸張幅に相対する容量の液晶15が、対応するノズルNから、液滴Dとして吐出される。そして、吐出された液滴Dは、対応するノズルNの反Z矢印方向に沿って飛行して、吐出領域S内に着弾する。
この際、吐出ヘッド31は、前記加熱ヒータ31Hの加熱によって、液晶15の粘度を低下させた分だけ、円滑に液滴Dを吐出する。一方、吐出ヘッド31(液晶15)は、相対向する吐出領域Sとの間の大気を介した熱交換によって、ノズルNの近傍の液晶15の温度、すなわち液晶15の粘度を、その熱交換分だけ変動させる。つまり、吐出ヘッド31に同じ圧電素子駆動信号COMが供給されると、吐出ヘッド31は、各吐出領域Sとの熱交換分だけ、その液滴Dの吐出容量を変動させるようになる。
そのため、本実施形態の液滴吐出装置20では、図7に示すように、前記液滴Dを吐出する際に、対応する吐出領域Sが吐出ヘッド31の直下に位置する(液滴Dを吐出する)前に、前記温度センサ30によって、液滴Dを吐出する吐出領域Sの温度(実温度)を検出するようになっている。そして、本実施形態の液滴吐出装置20は、後述する温度変換情報としての温度変換データTTDに基づいて、前記実温度に対応する前記圧電素子駆動信号COMを生成し、液晶15の粘度に対応した伸張幅を圧電素子36に付与して、所定容量の液滴Dを安定して吐出させるようなっている。つまり、本実施形態の液滴吐出装置20は、吐出領域S毎に圧電素子駆動信号COMを生成し、吐出領域Sと吐出ヘッド31(液晶15)の熱交換による粘度の変動を補償して、各吐出領域S内に、それぞれ等しい容量の液晶15を吐出させるようになっている。
次に、上記のように構成した液滴吐出装置20の電気的構成を図8に従って説明する。
図8において、制御装置40は、CPU等からなる駆動制御手段としての制御部41、DRAM及びSRAMからなり各種データを格納するRAM42、各種データや各種制御プログラムを格納する記憶手段としてのROM43を有している。そのROM43には、前記温度センサ30からの検出信号(温度検出信号ST)に基づいて、前記圧電素子駆動信号COMを変更するための温度変換情報としての温度変換データTTDが格納されている。
図8において、制御装置40は、CPU等からなる駆動制御手段としての制御部41、DRAM及びSRAMからなり各種データを格納するRAM42、各種データや各種制御プログラムを格納する記憶手段としてのROM43を有している。そのROM43には、前記温度センサ30からの検出信号(温度検出信号ST)に基づいて、前記圧電素子駆動信号COMを変更するための温度変換情報としての温度変換データTTDが格納されている。
詳述すると、温度変換データTTDは、予め試験等に基づいて設定されたデータであって、複数の温度(各吐出領域Sの実温度)を、それぞれ圧電素子36の駆動電圧であって、その伸張幅(駆動量)を規定する電圧(吐出電圧)に対応させたデータである。すなわち、温度変換データTTDは、検出したマザー基板4Mの実温度を、キャビティ33内の圧力に対応させるデータ(例えば、ルックアップテーブル)である。そして、温度変換データTTDには、吐出する液滴Dの容量が、予め設定した所定の容量になるように、各温
度に対して、それぞれ対応する前記吐出電圧(圧電素子36の駆動量)が設定されている。例えば、温度変換データTTDには、マザー基板4Mの実温度が40℃よりも低い領域において、対応する前記吐出電圧が、前記圧電素子36の伸張幅を拡大する電位に設定されている、すなわち高粘度の液晶15を、より大きい駆動量(圧力)で吐出させるようになっている。反対に、マザー基板4Mの実温度が40℃よりも高い領域において、対応する前記吐出電圧が、前記圧電素子36の伸張幅を縮小する電位に設定されている、すなわち低粘度の液晶15を、より小さい駆動量(圧力)で吐出させるようになっている。
度に対して、それぞれ対応する前記吐出電圧(圧電素子36の駆動量)が設定されている。例えば、温度変換データTTDには、マザー基板4Mの実温度が40℃よりも低い領域において、対応する前記吐出電圧が、前記圧電素子36の伸張幅を拡大する電位に設定されている、すなわち高粘度の液晶15を、より大きい駆動量(圧力)で吐出させるようになっている。反対に、マザー基板4Mの実温度が40℃よりも高い領域において、対応する前記吐出電圧が、前記圧電素子36の伸張幅を縮小する電位に設定されている、すなわち低粘度の液晶15を、より小さい駆動量(圧力)で吐出させるようになっている。
また、制御装置40は、前記圧電素子駆動信号COMを生成する駆動信号生成回路44、各種信号を同期するためのクロック信号CLKを生成する発振回路45等を有している。そして、制御装置40では、これら制御部41、RAM42、ROM43、駆動信号生成回路44及び発振回路45が、図示しないバスを介して接続されている。
その制御装置40には、入力装置51が接続されている。入力装置51は、起動スイッチ、停止スイッチ等の操作スイッチを有し、各スイッチの操作による操作信号や、マザー基板4Mに吐出する液晶15の吐出位置(吐出領域S)や吐出容量を吐出データIaとして前記制御装置40に出力する。そして、制御装置40は、入力装置51からの吐出データIaと、ROM43等に格納された制御プログラム(例えば、液晶吐出プログラム)に従って、基板ステージ23を移動させてマザー基板4Mの搬送処理動作を行い、吐出ヘッド31の各圧電素子36を駆動させて液晶15の液滴吐出処理動作を行う。
詳述すると、制御部41は、入力装置51からの吐出データIaに所定の展開処理を施し、二次元描画平面(吐出面4Ma)上における位置に、液滴Dを吐出するか否かを示すビットマップデータBMDを生成し、生成したビットマップデータBMDをRAMに格納するようになっている。このビットマップデータBMDは、各ビットの値(0あるいは1)に応じて、前記圧電素子36のオンあるいはオフ(液滴Dを吐出するか否か)を規定するものである。そして、制御部41は、前記ビットマップデータBMDを、発振回路45の生成するクロック信号CLKに同期させて、各吐出領域S分のデータを、吐出制御信号SIとして、後述する吐出ヘッド駆動回路57に転送するようになっている。
また、制御部41は、入力装置51からの吐出データIaに前記ビットマップデータBMDの展開処理と異なる展開処理を施し、前記圧電素子駆動信号COMの波形データを生成して駆動信号生成回路44に出力するようになっている。また、制御部41は、ROM43に格納した温度変換データTTDを参照して、後述する温度センサ駆動回路58からの温度検出信号STに対応する前記吐出電圧を駆動信号生成回路44に出力するようになっている。
駆動信号生成回路44は、制御部41からの前記波形データを図示しない波形メモリに格納する。そして、駆動信号生成回路44は、格納した波形データをデジタル/アナログ変換し、制御部41からの前記吐出電圧に基づいて、アナログ信号の波形信号を増幅して、対応する圧電素子駆動信号COMを生成するようになっている。そして、制御部41は、前記圧電素子駆動信号COMを、後述する吐出ヘッド駆動回路57に出力するようになっている。
図7に示すように、制御装置40には、X軸モータ駆動回路52が接続されて、X軸モータ駆動回路52にX軸モータ駆動制御信号を出力するようになっている。X軸モータ駆動回路52は、制御装置40からのX軸モータ駆動制御信号に応答して、前記キャリッジ29を往復移動させるX軸モータMXを正転又は逆転させるようになっている。そして、例えば、X軸モータMXを正転させると、キャリッジ29はX矢印方向に移動し、逆転させると、キャリッジ29は反X矢印方向に移動するようになっている。
制御装置40には、Y軸モータ駆動回路53が接続され、Y軸モータ駆動回路53にY軸モータ駆動制御信号を出力するようになっている。Y軸モータ駆動回路53は、制御装置40からのY軸モータ駆動制御信号に応答して、前記基板ステージ23(マザー基板4M)を往復移動させるY軸モータMYを正転又は逆転させるようになっている。例えば、Y軸モータMYを正転させると、基板ステージ23(マザー基板4M)はY矢印方向に移動し、逆転させると、基板ステージ23(マザー基板4M)は反Y矢印方向に移動する。
制御装置40には、基板検出装置54が接続されている。基板検出装置54は、対向基板4の端縁を検出し、制御装置40によってキャリッジ29の直下を通過するマザー基板4M(吐出領域S)の位置を算出する際に利用される。
制御装置40には、X軸モータ回転検出器55が接続され、X軸モータ回転検出器55からの検出信号が入力される。制御装置40は、X軸モータ回転検出器55からの検出信号に基づいて、X軸モータMXの回転方向及び回転量を検出し、キャリッジ29のX矢印方向の移動量と、移動方向とを演算するようになっている。
制御装置40には、Y軸モータ回転検出器56が接続され、Y軸モータ回転検出器56からの検出信号が入力される。制御装置40は、Y軸モータ回転検出器56からの検出信号に基づいて、Y軸モータMYの回転方向及び回転量を検出し、基板ステージ23(吐出領域S)のY矢印方向の移動方向及び移動量を演算する。
制御装置40には、吐出ヘッド駆動回路57が接続されて、その吐出ヘッド駆動回路57に、前記吐出制御信号SIと前記圧電素子駆動信号COMを出力するようになっている。吐出ヘッド駆動回路57は、制御装置40からの吐出制御信号SIに応答して、前記圧電素子駆動信号COMを、対応する各圧電素子36に供給するか否かを制御するようになっている。
制御装置40には、温度センサ駆動回路58が接続されて、温度センサ駆動回路58からの温度検出信号STが入力されるようになっている。温度センサ駆動回路58は、前記温度センサ30を駆動させる電源電圧を温度センサ30に出力し、温度センサ30からの検出信号が入力されるようになっている。そして、温度センサ駆動回路58は、温度センサ30からの検出信号に基づいて、マザー基板4Mの実温度に相対する温度検出信号STを、吐出領域S毎に、制御装置40に入力するようになっている。
次に、液滴吐出装置20を使ってマザー基板4Mに液晶15を吐出する液滴吐出方法について以下に説明する。
まず、図4に示すように、往動位置に位置する基板ステージ23上に、吐出面4Maを上側にしてマザー基板4Mを配置固定する。このとき、マザー基板4M(吐出面4Ma)のY矢印方向側の辺は、案内部材27より反Y矢印方向側に配置されている。
まず、図4に示すように、往動位置に位置する基板ステージ23上に、吐出面4Maを上側にしてマザー基板4Mを配置固定する。このとき、マザー基板4M(吐出面4Ma)のY矢印方向側の辺は、案内部材27より反Y矢印方向側に配置されている。
この状態から、入力装置51に吐出データIaを入力して、液晶吐出プログラムを開始するための操作信号を入力する。すると、制御装置40は、X軸モータMXを駆動制御してキャリッジを往動位置から往動させ、マザー基板4MがY矢印方向に移動したときに、吐出ヘッド31の直下を、1行目の吐出領域Sが通過する位置にセットさせる。また、制御装置40は、Y軸モータMYを駆動制御して、基板ステージ23(マザー基板4M)をY矢印方向に搬送させる。すなわち、制御装置40は、吐出ヘッド31に向かって、1行目の各吐出領域Sを、その1列目の吐出領域Sから順に搬送させる。
やがて、基板検出装置54がマザー基板4M(吐出面4Ma)のY矢印方向側の端縁を
検出すると、制御装置40は、Y軸モータ回転検出器56からの検出信号に基づいて、1行1列目の吐出領域Sが、温度センサ30の直下まで搬送されたかどうか演算する。
検出すると、制御装置40は、Y軸モータ回転検出器56からの検出信号に基づいて、1行1列目の吐出領域Sが、温度センサ30の直下まで搬送されたかどうか演算する。
そして、1行1列目の吐出領域Sが温度センサ30の直下に搬送されると、制御装置40は、温度センサ駆動回路58からの温度検出信号STを受けて、温度変換データTTDを参照し、1行1列目の吐出領域Sの実温度に対応する吐出電圧を演算する。そして、制御装置40は、駆動信号生成回路44に、前記吐出電圧に対応する圧電素子駆動信号COMを生成させる、すなわち1行1列目の吐出領域Sの実温度に対応する圧電素子駆動信号COMを生成させる。そして、制御装置40は、駆動信号生成回路44の生成した圧電素子駆動信号COMを吐出ヘッド駆動回路57に出力する。
続いて、制御装置40は、Y軸モータ回転検出器56からの検出信号に基づいて、1行1列目の吐出領域SのY矢印方向端部が、各ノズルNの直下まで搬送されたかどうか演算して、ビットマップデータBMDに基づく1行1列目の吐出領域Sに対応した吐出制御信号SIを吐出ヘッド駆動回路57に出力するタイミングを待つ。
そして、1行1列目の吐出領域SのY矢印方向側端部が、各ノズルNの直下まで搬送されると、制御装置40は、Y軸モータ回転検出器56からの検出信号に応答して、前記吐出制御信号SIを吐出ヘッド駆動回路57に出力する。吐出ヘッド駆動回路57は、制御装置40からの吐出制御信号SIを受けて、対応する各圧電素子36に、前記圧電素子駆動信号COMを供給する。そして、吐出ヘッド駆動回路57は、1行1列目の吐出領域Sに対峙するノズルNから、液滴Dを吐出させる。
この際、対応する圧電素子36には、1行1列目の吐出領域Sの実温度に対応した圧電素子駆動信号COMが供給されるため、その圧電素子36には、吐出ヘッド31とその対峙する吐出領域Sとの熱交換を反映した駆動量(伸張幅)、すなわち液晶15の粘度に対応した駆動量が付与される。これによって、予め設定した所定の容量からなる液滴Dが、1行1列目の吐出領域Sに着弾する。
そして、1行1列目の吐出領域Sに液滴Dを吐出する間に、後続する1行2列目の吐出領域Sが温度センサ30の直下に搬送されると、制御装置40は、温度センサ駆動回路58からの温度検出信号STを受けて、温度変換データTTDを参照し、1行2列目の吐出領域Sの実温度に対応する吐出電圧を演算する。そして、制御装置40は、駆動信号生成回路44に、前記吐出電圧に対応する圧電素子駆動信号COMを生成させる、すなわち1行2列目の吐出領域Sの実温度に対応する圧電素子駆動信号COMを生成させる。
圧電素子駆動信号COMを生成すると、制御装置40は、Y軸モータ回転検出器56からの検出信号に基づいて、1行1列目の吐出領域Sが各ノズルNの直下を通過したかどうかを演算する、すなわち1行1列目の吐出領域Sに対して、前記吐出制御信号SIに基づく液滴Dの吐出が終了したがどうかを演算する。
そして、1行1列目の吐出領域SがノズルNの直下を通過すると、制御装置40は、Y軸モータ回転検出器56からの検出信号に基づいて、駆動信号生成回路44の生成した前記圧電素子駆動信号COMを吐出ヘッド駆動回路57に出力する。そして、1行2列目の吐出領域SのY矢印方向端部が、各ノズルNの直下まで搬送されると、制御装置40は、Y軸モータ回転検出器56からの検出信号に応答して、1行2列目の吐出領域Sに対応した吐出制御信号SIを、吐出ヘッド駆動回路57に出力する。吐出ヘッド駆動回路57は、制御装置40からの吐出制御信号SIを受けて、対応する各圧電素子36に、前記圧電素子駆動信号COMを供給する。そして、吐出ヘッド駆動回路57は、1行2列目の吐出領域Sに対峙するノズルNから、液滴Dを吐出させる。
この際、対応する圧電素子36には、1行2列目の吐出領域Sの実温度に対応した圧電素子駆動信号COMが供給される。そのため、圧電素子36には、吐出ヘッド31とその対峙する吐出領域Sとの熱交換を反映した駆動量(伸張幅)、すなわち液晶15の粘度に対応した駆動量が付与される。これによって、予め設定した所定の容量からなる液滴Dが、1行2列目の吐出領域Sに着弾する。
以後、同様に、制御装置40は、1行目の各吐出領域SがノズルNの直下に搬送される度に、各吐出領域Sの実温度に対応した駆動量で圧電素子36を駆動制御し、各吐出領域Sに、それぞれ等しい容量からなる液滴Dを吐出する。そして、制御装置40は、1行目の全ての吐出領域Sに液滴Dを吐出すると、基板ステージ23を再び往動位置に戻し、上記する1行目の吐出動作と同様に、順次2行目〜5行目までの各吐出領域Sに、等しい容量の液晶15を吐出させる。
これによって、マザー基板4Mの全ての吐出領域Sに、等しい容量の液晶15を吐出することができ、前記対向基板4と前記素子基板5との間の間隙の距離(セルギャップ)を均一にした液晶パネル2を製造することができる。
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
(1)上記実施形態によれば、吐出ヘッド31と対峙する状態の吐出領域Sの実温度を検出する温度センサ30をキャリッジ29に取り付け、制御装置40が、液晶15の液滴Dを吐出する吐出領域S毎に、前記温度センサ30の検出する実温度に基づいて、圧電素子36の伸張幅を規定する吐出電圧を演算するようにした。そして、吐出データIaと前記吐出電圧に基づいて、圧電素子36を駆動させる圧電素子駆動信号COMを生成するようにした。
(1)上記実施形態によれば、吐出ヘッド31と対峙する状態の吐出領域Sの実温度を検出する温度センサ30をキャリッジ29に取り付け、制御装置40が、液晶15の液滴Dを吐出する吐出領域S毎に、前記温度センサ30の検出する実温度に基づいて、圧電素子36の伸張幅を規定する吐出電圧を演算するようにした。そして、吐出データIaと前記吐出電圧に基づいて、圧電素子36を駆動させる圧電素子駆動信号COMを生成するようにした。
その結果、吐出ヘッド31が対峙する状態の各吐出領域Sの実温度に基づいて、液晶15を加圧する圧電素子36の駆動量(伸張幅)を制御することができる。従って、吐出領域Sと吐出ヘッド31(液晶15)との間の熱交換に対応した駆動量を、吐出領域S毎に、対応する圧電素子36に付与することができ、吐出する液滴Dの容量を、所定の容量に制御することができる。従って、各吐出領域Sに吐出する液晶15の容量を均一にすることができ、液晶表示装置1の液晶15の容量、すなわち対向基板4と素子基板5の間の間隙(セルギャップ)を均一にすることができる。
(2)上記実施形態によれば、吐出ヘッド31と温度センサ30を、吐出面4Maに対して、相対的に同じ移動経路で移動させ、吐出領域S毎に、温度センサ30の実温度を検出し、その直後に、吐出ヘッド31から液滴Dを吐出させるようにした。
従って、吐出ヘッド31(液晶15)からの熱量がマザー基板4Mに蓄積される場合であっても、各吐出領域Sの実温度を、より正確に検出することができる。その結果、各吐出領域Sに吐出する液晶15の容量を、さらに均一にすることができる。
(3)上記実施形態によれば、マザー基板4Mの温度を前記圧電素子36の吐出電圧に対応させた温度変換データTTDに基づいて、前記吐出電圧を演算し、前記温度センサ30の検出した前記実温度に対応する吐出電圧(圧電素子駆動信号COM)によって、対応する圧電素子36を駆動制御するようにした。
従って、圧電素子36に対して、マザー基板4Mの実温度に対応した駆動量(伸張幅)を、確実に付与することができる。その結果、各吐出領域Sに吐出する液晶15の容量の再現性を向上することができる。
(4)上記実施形態によれば、基板ステージ23内にマザー基板4Mを加熱する加熱ヒータ23Hを配設し、マザー基板4Mの温度を、吐出ヘッド31(液晶15)の温度近傍まで加熱するようにした。その結果、マザー基板4Mと吐出ヘッド31(液晶15)との間の熱交換を軽減することができ、各吐出領域Sにおける液晶15の容量の均一性を、さらに向上させることができる。
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○上記実施形態では、液滴Dを吐出する直前に、対応する吐出領域Sの実温度を検出する構成にした。これに限らず、例えばノズルNの直下に位置する吐出領域Sの温度を検出可能な位置に前記温度センサ30を配設し、液滴Dを吐出しながら、対応する吐出領域Sの実温度を検出する構成にしてもよい。
○上記実施形態では、液滴Dを吐出する直前に、対応する吐出領域Sの実温度を検出する構成にした。これに限らず、例えばノズルNの直下に位置する吐出領域Sの温度を検出可能な位置に前記温度センサ30を配設し、液滴Dを吐出しながら、対応する吐出領域Sの実温度を検出する構成にしてもよい。
○上記実施形態では、温度センサ30による吐出領域Sの実温度の検出と、その吐出領域Sに対する液滴Dの吐出を、順次繰り返す構成にした。これに限らず、例えば液滴Dを吐出する前に、全ての吐出領域Sに対して、吐出ヘッド31が対峙する状態の実温度を予め計測する構成にしてもよい。つまり、吐出ヘッド31が対峙する状態の実温度を各吐出領域Sに対して計測し、その実温度に基づいて、液滴D(液晶15)を吐出する構成であればよい。
○上記実施形態では、温度変換情報を温度変換データTTDとして具体化し、温度センサ30の検出した実温度に基づいて、圧電素子36の駆動量を変更する構成にした。これに限らず、例えば、温度センサ30の検出した実温度に基づいて、吐出領域Sに吐出する液滴Dの数を変更する構成にしてもよく、吐出領域Sに吐出した液滴Dの総容量が等しくなる構成であればよい。この際、温度変換情報は、温度センサ駆動回路58からの温度検出信号STに基づいて、ビットマップデータBMDを変換する構成にするのが好ましい。
○上記実施形態では、吐出手段を圧電素子36として具体化した。これに限らず、例えば、吐出手段を抵抗加熱素子として具体化し、その抵抗加熱素子の加熱によってキャビティ33内に気泡を形成し、その気泡によってキャビティ33内を加圧する構成にしてもよい。あるいは、吐出手段をディスペンサに供給するエアーの加圧ポンプ等で構成してもよく、液晶15(液状体)を加圧して吐出させる手段であればよい。
○上記実施形態では、吐出ヘッド31の吐出ノズルNを吐出口として構成したが、これに限らず、例えばエアー式ディスペンサの吐出ノズルを吐出口として構成してもよい。
○上記実施形態では、液状体を液晶15として具体化した。これに限らず、例えば、金属微粒子を含有した金属インクに具体化してもよい。つまり、加熱することによって低粘度化して、液滴として吐出可能となる液状体であればよい。
○上記実施形態では、液状体を液晶15として具体化した。これに限らず、例えば、金属微粒子を含有した金属インクに具体化してもよい。つまり、加熱することによって低粘度化して、液滴として吐出可能となる液状体であればよい。
○上記実施形態では、液状体としての液晶を吐出して液晶表示装置1を製造する構成した。これに限らず、例えば液状体を金属インクとして具体化し、液晶表示装置1の各種金属配線や、平面状の電子放出素子を備え、同素子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型装置(FEDやSED等)を備えた表示装置の金属配線を製造する構成にしてもよい。
1…液晶表示装置、4…対向基板、4M…マザー基板、5…素子基板、15…液状体としての液晶、20…液滴吐出装置、23H…基板加熱手段を構成する加熱ヒータ、30…温度検出手段を構成する温度センサ、29…移動手段を構成するキャリッジ、31H…液状体加熱手段を構成する加熱ヒータ、33…圧力室としてのキャビティ、36…吐出手段を構成する圧電素子、41…駆動制御手段としての制御部、43…記憶手段としてのROM、D…液滴、N…吐出口としての吐出ノズル、S…吐出領域、TTD…温度変換情報としての温度変換データ。
Claims (10)
- 圧力室に貯えられた液状体を加圧して、前記液状体を吐出口から基板に形成された複数の吐出領域に液滴として吐出させる吐出手段と、前記液状体を加熱する液状体加熱手段と、前記吐出口を前記吐出領域に対峙可能に移動する移動手段とを備えた液滴吐出装置において、
前記移動手段に設けられ、前記吐出口と対峙する前記吐出領域の実温度を検出する温度検出手段と、
前記吐出領域に吐出した前記液状体の容量が所定の容量になるように、前記温度検出手段の検出した前記実温度に基づいて、前記吐出手段を駆動制御する駆動制御手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1に記載の液滴吐出装置において、
前記移動手段は、前記加熱手段を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1又は2に記載の液滴吐出装置において、
前記温度検出手段は、前記液滴を吐出するときの前記吐出口の前記基板に対する相対移動経路に沿って、前記吐出口と対峙する前記吐出領域の前記実温度を検出することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載の液滴吐出装置において、
前記温度検出手段は、前記吐出口が前記吐出領域に前記液滴を吐出するときに、前記吐出領域の前記実温度を検出することを特徴とした液滴吐出装置。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の液滴吐出装置において、
前記駆動制御手段は、前記実温度に基づいて、前記液滴の容量が所定の容量になるように、前記圧力室に貯えられた前記液状体の圧力を制御することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1〜5のいずれか1つに記載の液滴吐出装置において、
予め設定された温度を前記吐出手段の駆動量に対応させた温度変換情報を記憶する記憶手段を備え、
前記駆動制御手段は、前記温度変換情報に基づいて、前記温度検出手段の検出した前記実温度に対応する前記駆動量で前記吐出手段を駆動制御することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1〜6のいずれか1つに記載の液滴吐出装置において、
前記基板の温度を前記液状体の温度近傍まで加熱する基板加熱手段を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1〜7のいずれか1つに記載の液滴吐出装置において、
前記液状体は液晶であることを特徴とする液滴吐出装置。 - 素子基板と対向基板のいずれか一方に液晶を吐出し、吐出した前記液晶を前記素子基板と前記対向基板との間の間隙に封入するようにした液晶表示装置の製造方法において、
前記液晶を、請求項8に記載の液滴吐出装置によって吐出するようにしたことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項9に記載の液晶表示装置の製造方法によって製造した液晶表示装置。
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JP2005145061A Withdrawn JP2006320808A (ja) | 2005-05-18 | 2005-05-18 | 液滴吐出装置、液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2012031431A1 (zh) * | 2010-09-10 | 2012-03-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶涂布装置及液晶涂布方法 |
CN103383499A (zh) * | 2012-05-04 | 2013-11-06 | 塔工程有限公司 | 检测液晶涂布状态的装置及具有该装置的液晶涂布机 |
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2005
- 2005-05-18 JP JP2005145061A patent/JP2006320808A/ja not_active Withdrawn
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