JP2021079696A

JP2021079696A - 自己組織化保護層を有する導電性構造体および自己組織化コーティング組成物

Info

Publication number: JP2021079696A
Application number: JP2020187799A
Authority: JP
Inventors: ルンピンチェン; Longbin Chen; イールンヤン; I-Lung Yang; チュンフンチュー; Junhong Zhu
Original assignee: TPK Universal Solutions Ltd
Current assignee: TPK Universal Solutions Ltd
Priority date: 2019-11-14
Filing date: 2020-11-11
Publication date: 2021-05-27
Also published as: TW202119435A; TWM602718U; US11674049B2; CN110957057A; US20210147706A1; CN113903502A; TWI740406B; TW202201434A

Abstract

【課題】自己組織化保護層を有する導電性構造体及び自己組織化コーティング組成物を提供する。【解決手段】自己組織化コーティング組成物は、樹脂と、溶剤と、自己組織化添加剤とを含む。自己組織化添加剤は、アルキルアミン、フルオロアルキルアミン、フルオロアニリン、またはそれらの誘導体を含む。自己組織化添加剤は、自己組織化コーティング組成物中、約０．０１ｍｇ／Ｌ〜約１００ｍｇ／Ｌの範囲の濃度を有する。導電性構造体１００は、基板１１０と、導電層１２０と、自己組織化保護層１３０とを含む。導電層は、基板上に配置される。自己組織化保護層は、導電層を被覆し、樹脂と、溶剤と、前記自己組織化添加剤とを含む。【選択図】図１Ａ

Description

本開示は、自己組織化コーティング組成物および導電性構造体に関する。

関連技術の説明
電子デバイスでは、通常、導電層（例えば、金属、金属合金、または金属酸化物）の腐食を防止するために、保護層が導電層上に設けられる。例えば、銅の表面を樹脂材料層で覆うことにより、環境中の腐食性媒体から銅を隔離し、防食効果を得ることができる。しかしながら、導電層上に樹脂材料保護層を設けても、導電層中の金属が腐食する恐れがある。

概要
本開示のいくつかの実施形態によれば、自己組織化（self-assembled）保護層を有する導電性構造体（conductive structure）が提供され、前記導電性構造体は、基板、導電層、および自己組織化保護層を含む。導電層は、基板上に配置される。自己組織化保護層は、導電層を被覆し、自己組織化保護層は、アルキルアミン、フルオロアルキルアミン、フルオロアニリン、またはそれらの誘導体を含む。

本開示のいくつかの実施形態によれば、導電層は、導電性マイクロワイヤ、導電性ナノワイヤ、導電性粒子、または導電性クラスタを含む。

本開示のいくつかの実施形態によれば、導電層は、シート状層またはメッシュ状層である。

本開示のいくつかの実施形態によれば、導電層は、透明導電層であり、透明マトリクス層と、前記透明マトリクス層に埋め込まれた（embed）複数の銀ナノワイヤとを含む。

本開示のいくつかの実施形態によれば、自己組織化保護層は、７５重量％〜９５重量％の樹脂および０．１重量％〜１０重量％の自己組織化添加剤を含む。

本開示のいくつかの実施形態によれば、前記樹脂は、ポリアクリレート、エポキシ、ノボラック、ポリウレタン、ポリイミド、ポリエーテル、ポリエステル、ポリビニルブチラールまたはそれらの組合せを含む。

本開示のいくつかの実施形態によれば、自己組織化保護層は、約１０ｎｍ〜約０．５ｃｍの範囲の厚さを有する。

本開示のいくつかの実施形態によれば、樹脂、溶剤、および自己組織化添加剤を含む、自己組織化コーティング組成物が提供される。前記自己組織化添加剤は、アルキルアミン、フルオロアルキルアミン、フルオロアニリン、またはそれらの誘導体を含み、前記自己組織化添加剤は、前記自己組織化コーティング組成物中、約０．０１ｍｇ／Ｌ〜１００ｍｇ／Ｌの範囲の濃度を有する。

本開示のいくつかの実施形態によれば、前記溶剤は、水、エタノール、イソプロパノール、アセトン、テトラヒドロフラン、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、酢酸エチルまたはそれらの組合せを含む。

本開示のいくつかの実施形態によれば、前記自己組織化添加剤は、アルキルアミン、フルオロアルキルアミン、フルオロアニリン、またはそれらの誘導体を含む。

本開示の様々な態様（aspect）は、添付の図面を読む際に以下の詳細な説明から完全に理解されるであろう。注目すべき点は、様々な特徴（feature）が、業界の標準的な手法に従ってスケールされていないことである。実際、様々な特徴の寸法は、議論を明確にするために任意に増加または減少させることができる。
図１Ａは、本開示のいくつかの実施形態による導電性構造体の断面図である。図１Ｂは、本開示のいくつかの実施形態による導電性構造体の断面図である。図２は、本開示のいくつかの実施形態による導電性構造体の環境試験の概略図である。図３は、本開示の一実施形態による導電性構造体の環境試験の結果である。

詳細な説明
図面は、以下の本開示の複数の実施形態を開示する。明確にするために、多くの実用的な（practical）詳細を以下の記述で説明する。しかしながら、これらの実用的な詳細は、本開示を制限することを意図していないことを理解されたい。すなわち、本開示のいくつかの実施形態では、これらの実用的な詳細は必要ではない。わかりやすくするために、構成要素のサイズまたは厚さが誇張され、元の寸法に表示されない場合がある。また、図面を簡単にするために、いくつかの従来の構造および要素を簡略化して図面に示す。

記述において、「下（beneath）」、「下（below）」、「上（over）」、「上（on）」などの空間的に相対的な用語は、図に示すように、ある要素または特徴と、別の要素または特徴との関係を説明するための記述を容易にするために、本明細書で使用され得る。空間的に相対的な用語の真の意味は、他の方向を含む。例えば、図を１８０度回転させると、ある構成要素と、別の構成要素との間の関係は、「下（beneath）」または「下（below）」から、「上（over）」または「上（on）」に変化し得る。さらに、本明細書で使用される空間的に相対的な記述は、同じように解釈されるべきである。

本開示の一態様は、樹脂、溶剤、および自己組織化添加剤を含む自己組織化コーティング組成物を提供する。自己組織化コーティング組成物の各成分の詳細を以下に詳述する。

いくつかの実施形態において、前記樹脂は、紫外線（ＵＶ）硬化性樹脂または熱硬化性樹脂である。いくつかの実施形態において、前記樹脂は、ポリアクリレート、エポキシ、ノボラック、ポリウレタン（ＰＵ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテル、ポリエステル、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、またはそれらの組合せを含む。いくつかの実施形態において、前記樹脂は、光学的に透明な樹脂であってもよい。

いくつかの実施形態において、前記溶剤は、水、エタノール、イソプロパノール（ＩＰＡ）、アセトン、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、非プロトン性溶媒（例えば、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、またはジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）など）、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、酢酸エチル（ＥＡＣ）、あるいはそれらの組合せを含む。

いくつかの実施形態において、前記自己組織化添加剤は、アルキルアミン、フルオロアルキルアミン、フルオロアニリン、またはそれらの誘導体を含む。

前記自己組織化添加剤は、自己組織化コーティング組成物中で、約０．０１ｍｇ／Ｌ〜約１００ｍｇ／Ｌの範囲の濃度を有し、例えば、約０．０２、０．０５、０．１、０．２、０．５、０．７、１、５、１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０、８０、９０、９５、または９９ｍｇ／Ｌである。本開示の自己組織化コーティング組成物は流動性を有し、導電性材料（例えば、金属ナノワイヤ）の表面にコーティングして、導電性材料の腐食を抑制することができる。前記自己組織化コーティング組成物では、自己組織化添加剤の濃度が上記濃度範囲よりも低い場合、十分な腐食抑制効果が得られない。自己組織化添加剤の濃度が上記濃度範囲よりも高い場合、疎水性を有する自己組織化添加剤は、その後のコーティングプロセスに有害となる。

本開示の別の態様はまた、導電性構造体を提供する。図１Ａおよび１Ｂは、それぞれ、本開示のいくつかの実施形態による導電性構造体１００および２００の断面図である。図１Ａ−１Ｂを同時に参照されたい。導電性構造体１００は、基板１１０と、導電層１２０と、自己組織化保護層１３０とを含む。

基板１１０は、フレキシブル（flexible）基板であっても、リジッド（rigid）基板であってもよい。フレキシブル基板は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、環状オレフィンコポリマー（ＣＯＣ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリ（メチルメタクリレート）（ＰＭＭＡ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリビニリデンジフルオリド（ＰＶＤＦ）またはポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）を含むが、これらに限定されない。リジッド基板は、ガラス、ウエハ、石英、炭化ケイ素（ＳｉＣ）またはセラミックを含むが、これらに限定されない。

導電層１２０は、基板１１０上に配置される。いくつかの実施形態において、導電層１２０は、金属、金属合金、または金属酸化物などの導電性材料を含む。いくつかの実施形態において、導電層１２０は、アルミニウム、パラジウム、金、銀、ニッケル、銅、スズ、鉄、またはそれらの合金、例えば真鍮であってもよい。いくつかの実施形態において、導電層１２０は、導電性マイクロワイヤ、導電性ナノワイヤ、導電性粒子、または導電性クラスタを含むことができる。本明細書中で用いる場合、マイクロワイヤとは、少なくとも１０のアスペクト比（長さ：直径）並びに少なくとも１ミクロンおよび１０００ミクロン未満の直径を有する構造（structure）を意味し、ナノワイヤとは、少なくとも１０のアスペクト比並びに少なくとも１ナノメートルおよび１０００ナノメートル未満の直径を有する構造を意味し、導電性粒子とは、１０未満のアスペクト比および１０００ミクロン未満の直径を有する構造を意味し、導電性クラスタとは、一体的に接続され、１０００ミクロン未満の全幅および１０００ミクロン未満の全長を有する導電性要素（粒子（particle）、ワイヤなど）の群を意味する。いくつかの実施形態において、導電層１２０は、導電性材料が実質的に連続する中断層を形成する、シート状層であってもよい。いくつかの実施形態において、導電層１２０は、導電性材料が複数の糸またはワイヤが織り合わされ、複数の空隙が複数の糸またはワイヤ間に画定される（define）、メッシュ状層であってもよい。いくつかの実施形態において、導電層１２０は、少なくとも１つの材料または少なくとも１つの材料の粒状混合物の多くの単一原子面を収集するまたは積み重ねることによって形成されるバルク材料であってもよい。いくつかの実施形態において、導電層１２０は、透明マトリクス層と、前記透明マトリクス層に埋め込まれた複数の銀ナノワイヤとを含む透明導電層である。いくつかの実施形態において、導電層１２０は、単層または多層の積層構造であってもよい。いくつかの実施形態において、導電層１２０は、約１０ｎｍ〜約５μｍの範囲、好ましくは約２０ｎｍ〜約１μｍの範囲、より好ましくは約５０ｎｍ〜約２００ｎｍの範囲、例えば、５５、６０、７０、１００、１２０、１５０、１８０、または１９５ｎｍの厚さ１２０Ｔを有する。

銀ナノワイヤ導電層１２０を例にとると、銀ナノワイヤを互いに重ね合わせて、銀ナノワイヤ導電性ネットワーク（conductive network）を形成することができる。ナノワイヤの好適なアスペクト比（長さ：直径）は、例えば、１０〜１００，０００の範囲である。高アスペクト比の導電性ナノワイヤを使用する場合、導電性ネットワークは、より低い密度のナノワイヤを使用して実現されることができ、その結果、導電性ネットワークは、約４４０ｎｍ〜約７００ｎｍの可視光範囲において実質的に透明である。銀などの金属のナノ化が行われた後、単位面積当たりの金属の表面積比が大幅に増加することに留意されたい。すなわち、原子の大部分が材料の表面に位置するため、材料は高い化学活性を示すようになる。また、このような小さなサイズでは、原子または周囲の電子が量子効果を発揮するため、巨視的なサイズの材料とは異なる特性を示すことがある。大型の金属材料（すなわち、巨視的サイズの金属材料）と比較して、銀ナノワイヤなどの微視的なサイズの金属の腐食を抑制することはより困難である。しかしながら、本開示の自己組織化コーティング組成物は、巨視的サイズおよび微視的サイズの両方の金属導電層に対して十分な保護を提供することができる。

いくつかの実施形態において、導電層１２０は、図１Ｂに示されるように、パターン化された導電層とすることができる。図１Ｂを参照されたい。導電性構造体２００は、導電層１２０ａおよび１２０ｂを含む。いくつかの実施形態において、導電層１２０ａ、１２０ｂ間の距離Ｄ１は、約５μｍ〜約５００μｍの範囲であり、例えば、約６、１０、１５、３０、５０、７０、１００、２００、２５０、３００、４００、４５０、４８０、または４９０μｍである。いくつかの実施形態において、導電層１２０ａ、１２０ｂは、それぞれ、約５μｍ〜約１，０００μｍの範囲の、例えば、約６、１０、５０、１００、２００、５００、７００、９００、９５０、または９９０μｍの幅Ｗ１および幅Ｗ２を有する。

引き続き図１Ａおよび１Ｂを参照されたい。自己組織化保護層１３０は、導電層１２０を覆い、７５重量％〜９５重量％の樹脂と、０．１重量％〜１０重量％の自己組織化添加剤とを含む。例えば、自己組織化保護層１３０は、７６、８０、８５、９０、９２、または９４重量％の樹脂を含むことができる。例えば、自己組織化保護層１３０は、０．２、１．５、１、２、５、７、または９重量％の自己組織化添加剤を含むことができる。いくつかの実施形態において、樹脂は、ポリアクリレート、エポキシ、ノボラック、ポリウレタン（ＰＵ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテル、ポリエステル、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、またはそれらの組合せを含む。いくつかの実施形態において、自己組織化添加剤は、アルキルチオール、フルオロアルキルチオール、フルオロチオフェノール、またはそれらの誘導体を含む。いくつかの実施形態において、自己組織化保護層１３０は、光学的に透明である。

いくつかの実施形態において、自己組織化保護層１３０は、上述の自己組織化コーティング組成物から形成することができる。具体的には、自己組織化コーティング組成物は、任意の適切な方法によって、導電層１２０上にコーティングすることができ、硬化および乾燥などのプロセスを行って、自己組織化保護層１３０を導電層１２０の表面上に形成する。いくつかの実施形態において、自己組織化コーティング組成物は、導電性材料の表面に直接コーティングすることができ、次いで、エッチングプロセスを実施して、パターン化された導電層１２０およびパターン化された自己組織化保護層１３０を形成する。すなわち、自己組織化保護層１３０は、図１Ａに示されるように、導電層１２０の上面１２１上のみに形成される。他の実施形態では、パターン化された導電層１２０ａおよび１２０ｂは、エッチングプロセスを用いて形成されてもよく、次いで、自己組織化コーティング組成物は、図１Ｂに示されるように、導電層１２０ａおよび１２０ｂ上にコーティングされる。

いくつかの実施形態において、自己組織化保護層１３０は、約１０ｎｍ〜約０．５ｃｍの範囲の厚さ１３０Ｔを有する。具体的には、導電層１２０の表面は、少なくとも自己組織化保護層１３０によって約１０ｎｍの厚さで覆われている。図１Ｂに示されるように、導電層１２０ａおよび１２０ｂの上面１２１ａおよび１２１ｂ上の自己組織化保護層１３０は、少なくとも１０ｎｍの厚さＴ１を有する。自己組織化保護層１３０は、強力な防食バリアを提供し、金属の耐食性を強化することができ、それによって、導電層１２０を保護し、金属腐食を効果的に抑制する。

本開示は、実験例を参照してより詳細に説明されるが、本開示は、以下の実験例に限定されない。

実験例１
図２を参照されたい。導電性構造体３００は、基板１１０と、導電層１２０ａ、１２０ｂと、自己組織化保護層１３０とを含んでいた。基板１１０は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基板であり、厚さ５０μｍであった。導電層１２０ａおよび１２０ｂは、銀ナノワイヤ導電層であり、いずれも厚さが約３０ｎｍ、幅が約２００μｍであった。導電層１２０ａと１２０ｂとの間の距離は約３０μｍであった。導電層１２０ａおよび１２０ｂのシート抵抗は７０Ω／□であった。自己組織化保護層１３０は、９８重量％のポリ（メチルメタクリレート）（アクリル樹脂）および２重量％の２，３，４，５，６−ペンタフルオロアニリンを含んでいた。自己組織化保護層１３０の厚さは約４０ｎｍであった。すなわち、自己組織化保護層１３０は、導電層１２０ａおよび１２０ｂの上面に約１０ｎｍの厚さを有していた。

比較例１
比較例１の導電性構造体は、比較例１の導電層上に保護層としてポリ（メチルメタクリレート）のみを有し、保護層に自己組織化添加剤を含まない点で、実験例１の導電性構造体と異なる。

実験例１および比較例１の導電性構造体について、温度８５℃、相対湿度８５％、直流（ＤＣ）電圧１２Ｖで環境試験を行った。その結果を図３に示す。図３を参照すると、１６０時間後、比較例１のアノード抵抗の変動（variation）は８８％であり、実験例１のアノード抵抗の変動は１７％であった。環境試験の結果から、自己組織化保護層を有する導電性構造体は、導電性劣化を大幅に低減することが分かる。自己組織化保護層は、それによって被覆された導電層を保護し、導電層の金属腐食を効果的に抑制することができる。

上述したように、本開示の実施形態によれば、自己組織化コーティング組成物、および自己組織化保護層を含む導電性構造体が提供される。この導電性構造体は、ディスプレイデバイスなどの任意の電子デバイスに適用することができる。従来技術と比較して、本開示の自己組織化保護層は、導電性構造体内の導電層を保護することができ、導電層の腐食の問題を改善することができる強力な防食バリアを提供する。

また、金属腐食を抑制するために大きなサイズのバルク金属層に適用され得るいくつかの疎水性処理が、ナノワイヤ金属層に適用される場合、疎水性処理は、ナノワイヤ金属層を保護するのに十分でない可能性があることに留意されたい。なぜなら、微視的なサイズは、材料特性を変化させ、結果として、ナノワイヤ金属層の抵抗の有意な増加、断線、または黄変および透明度の低下をもたらすからである。本開示の実験は、本開示の自己組織化保護層が、バルク、マイクロワイヤ、ナノワイヤ、メッシュ、粒子、クラスタ、またはシートの形態の様々な導電層を効果的に保護することができ、経時的な抵抗の増加の割合を大幅に低減することができることを確認する。

さらに、本開示の自己組織化保護層は、疎水性処理後に除去される遷移プロセスではなく、最終製品の導電層上に配置することができるので、より長期の保護を提供することができる。さらに、本開示の自己組織化保護層は、最終製品スタックの一部として使用することができるので、自己組織化保護層の材料、組成、および比率は、電気的特性、光学的特性、屈折率、材料接着性、および柔軟性の要件に従って選択することができ、従来の導電性構造体の電気的特性、光学的特性、屈折率、材料接着性、および柔軟性に関する問題を克服し、より信頼性の高い導電性構造体を得ることができる。

本開示は、上述の実施形態において開示されており、本開示を限定することを意図したものではなく、本開示の精神および範囲から逸脱することなく、様々な変更および修正を行うことができることは、当業者には明らかである。本開示の範囲は、添付の特許請求の範囲の範囲によって定義される。

＜関連出願の相互参照＞
本出願は、２０１９年１１月１４日に出願された中国特許出願第２０１９１１１１４９７３．７号の優先権を主張し、当該出願は参照により本明細書に取り込まれる。

Claims

自己組織化保護層を有する導電性構造体であって、
基板；
金属、金属合金、または金属酸化物を含み、前記基板上に配置される導電層；および
アルキルアミン、フルオロアルキルアミン、フルオロアニリン、またはそれらの誘導体を含み、前記導電層を被覆する自己組織化保護層、
を含むことを特徴とする導電性構造体。
前記導電層が、導電性マイクロワイヤ、導電性ナノワイヤ、導電性粒子、または導電性クラスタを含む、請求項１に記載の導電性構造体。
前記導電層が、シート状層またはメッシュ状層である、請求項１または２に記載の導電性構造体。
前記導電層が、複数の銀ナノワイヤを含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の導電性構造体。
前記導電層が、透明導電層である、請求項１〜４のいずれか一項に記載の導電性構造体。
前記自己組織化保護層が、７５重量％〜９５重量％の樹脂と、０．１重量％〜１０重量％の自己組織化添加剤とを含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載の導電性構造体。
前記樹脂が、ポリアクリレート、エポキシ、ノボラック、ポリウレタン、ポリイミド、ポリエーテル、ポリエステル、ポリビニルブチラール、またはそれらの組み合わせを含む、請求項６に記載の導電性構造体。
前記自己組織化保護層が、１０ｎｍ〜０．５ｃｍの範囲の厚さを有する、請求項１〜７のいずれか一項に記載の導電性構造体。
以下のものを含むことを特徴とする自己組織化コーティング組成物：
樹脂；
溶剤；および
アルキルアミン、フルオロアルキルアミン、フルオロアニリン、またはそれらの誘導体を含み、前記自己組織化コーティング組成物中で、０．０１ｍｇ／Ｌ〜１００ｍｇ／Ｌの範囲の濃度を有する、自己組織化添加剤。
前記樹脂が、ポリアクリレート、エポキシ、ノボラック、ポリウレタン、ポリイミド、ポリエーテル、ポリエステル、ポリビニルブチラール、またはそれらの組み合わせを含む、請求項９に記載の自己組織化コーティング組成物。
前記溶剤が、水、エタノール、イソプロパノール、アセトン、テトラヒドロフラン、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、酢酸エチル、またはそれらの組み合わせを含む、請求項９または１０に記載の自己組織化コーティング組成物。