JP2021067596A - ガラス基板選別装置およびガラス基板の選別方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】カラーフィルタ製造工程に投入するガラス基板の端部だけでなく全面で局所的な撓みを生じさせる変形付与手段を備えたガラス基板の検査装置により選別する。【解決手段】ガラス基板を選別するための検査条件を格納した製造条件データベースの情報に基づく制御部からの指示により、複数本の支持ピンおよび基板リフタにより矩形のガラス基板を支持して搭載する支持高さを個別に制御することで、搭載されるガラス基板を変位させて撓ませる応力負荷手段を試験部に備える検査装置。【選択図】図2
Description
本発明は、カラー液晶表示装置に用いるカラーフィルタ製造工程で要求される品質基準に満たない不良品のガラス基板を排除し、正常品のガラス基板を選別してカラーフィルタ製造工程に投入するためのガラス基板選別する装置およびにその方法に関する。
カラー液晶表示装置に用いるカラーフィルタ用基板に利用されるガラス基板は公知の方法により成形された大型のガラス板を所定寸法の矩形をなすように切断された上で供給されている。
切断された状態のままのガラス基板の端面には、傷(クラック)や欠けなどの欠陥が多数存在し、その後の搬送工程や熱処理工程で板ガラスに機械的あるいは熱的な応力が作用した際に、これら欠陥を起点として破損が生じ得る。そのため、通常はガラス基板の端面に対して研磨加工や面取り加工などの仕上げ加工が施されるが、これら加工を施しても端面に形成された微細な傷や欠けを全て取り除くことは極めて困難であり、破損の原因となり得る有害な欠陥が残存し得る。
カメラを用いたガラス基板端部の撮像による検査での欠陥の抽出では、実際に搬送工程や熱処理工程などでガラス基板に作用する機械的又は熱的な応力に耐えることが出来ず、それを起点としてガラス基板が破損に至る様な「有害な欠陥」であるか否かを判別することは難しい。そのため、ガラス基板の検査対象となる辺の端面が湾曲するように、前記端面を含む端部に曲げ変形を生じさせることにより、ガラス基板の中から有害な欠陥を有するもののみを破損させて選別するという検査手法に係る提案がある。(特許文献1参照)
一方、ガラス基板をカラーフィルタ製造工程に投入後、工程毎に欠陥を検出する検査装置により、製造されるカラーフィルタ(中間製品)を検査して、欠陥の検出結果に応じて良品/不良品の判定を行ない、不良品を不良の程度に応じて修正した上で製造工程に再投入し再使用することを目的とする提案もある。(特許文献2参照)
一方、ガラス基板をカラーフィルタ製造工程に投入後、工程毎に欠陥を検出する検査装置により、製造されるカラーフィルタ(中間製品)を検査して、欠陥の検出結果に応じて良品/不良品の判定を行ない、不良品を不良の程度に応じて修正した上で製造工程に再投入し再使用することを目的とする提案もある。(特許文献2参照)
近年、表示装置が大型化し、カラーフィルタの製造工程に投入されたガラス基板は1枚のガラス基板に複数枚分のカラーフィルタを面付するためガラス基板はさらに大きなものとなっている。こうしたガラス基板が製造装置内で破損すると、その破片を装置内から排除するまでに多大な時間を要し、生産効率を著しく低下させていた。このため、ガラス基板が工程内で割れないようにすることも必要ではあるが、割れる可能性のあるものは投入しないという考えがあり、従来はガラスの周辺部の欠陥を見つけるようにしていた。しかし、大型の表示装置用カラーフィルタ用ガラス基板で工程中に割れたものを調べてみると、破損の発端がガラス基板の端部ではなく、ガラス基板の中央部にあるものが少なくなかった。
このため、大型カラーフィルタ用ガラス基板の破損の原因となる欠陥を検出しようと、大型カラーフィルタ用ガラス基板の中央付近を曲げ変形させる様にローラー配置すると装
置が大型化し、その設置面積が大きくなるという問題があった。
置が大型化し、その設置面積が大きくなるという問題があった。
これに対し、カメラで大型カラーフィルタ用ガラス基板の表面を撮像して画像データとした後、画像データから欠陥を検出する検査装置では、大型カラーフィルタ用ガラス基板の全面について微細な欠陥を検査しようとすると検査時間が増えてしまい、トータルの大型カラーフィルタ基板の製造に要する時間を増大させることになる。
このような問題点に鑑み、本発明は、カラーフィルタの製造工程に投入する大型のカラーフィルタ用ガラス基板について、工程投入前にガラス基板の中央部に破損を生じさせる欠陥の有無を調べてガラス基板の選別を行う装置を提供することを課題とする。
上述の課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、カラーフィルタ製造工程に投入するガラス基板を選別する装置であって、少なくとも、ガラス基板を搬送する搬送部と、ガラス基板の選別試験を行うため、ガラス基板を保持するピンとガラス基板を保持する高さを変えるための昇降機構とピンにかかる荷重を計測する荷重センサを有する支持ピンと、ガラス基板の外周部を把持する把持部とガラス基板を保持する高さを変えるための昇降機構を有する基板リフタとを有する試験部と、ガラス基板の選別のための試験を行う試験部を制御するため、前記支持ピンと前記基板リフタの高さの情報の送信と前記荷重センサの測定値の受信と前記搬送部に試験を行ったガラス基板の搬送情報を送信する指示手段と、前記荷重センサの測定値からガラス基板が正常品であるか不良品であるかを判定する判定手段とを有する制御部と、を備えることを特徴とするガラス基板選別装置である。
そして、請求項2に記載の発明は、前記ガラス基板の品種情報と、ガラス基板を選別するための試験条件を備える製造条件データベース、および試験を行ったガラス基板ごとの試験結果を格納する検査結果データベースと接続され、前記制御部とデータの送受信をすることを特徴とする請求項1記載のガラス基板選別装置である。
そして、請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載のガラス基板選別装置を用いるガラス基板の選別方法であって、前記制御部が少なくとも以下の手順の指示、判定を行うことを特徴とするガラス基板の選別方法。
(1)支持ピンの先端、基板リフタの把持部の高さを予め決められた最初の位置とする。(2)ガラス基板を前記支持ピン、前記基板リフタ上に載置し、荷重センサが重量を測定し、前記制御部に送信する。
(3)前記ガラス基板の外周部を基板リフタの把持部で把持する。
(4)前記把持部の高さを前記支持ピンの先端よりも高くする。
(5)前記把持部の高さを最初の位置に戻す。
(6)全ての荷重センサの測定値が(2)で測定した値と同じであった場合、正常品と判定する。
(1)支持ピンの先端、基板リフタの把持部の高さを予め決められた最初の位置とする。(2)ガラス基板を前記支持ピン、前記基板リフタ上に載置し、荷重センサが重量を測定し、前記制御部に送信する。
(3)前記ガラス基板の外周部を基板リフタの把持部で把持する。
(4)前記把持部の高さを前記支持ピンの先端よりも高くする。
(5)前記把持部の高さを最初の位置に戻す。
(6)全ての荷重センサの測定値が(2)で測定した値と同じであった場合、正常品と判定する。
そして、請求項4に記載の発明は、請求項1または2に記載のガラス基板選別装置を用いるガラス基板の選別方法であって、前記制御部が少なくとも以下の手順の指示、判定を行うことを特徴とするガラス基板の選別方法。
(1)支持ピンの先端、基板リフタの把持部の高さを予め決められた最初の位置とする。(2)ガラス基板を前記支持ピン、前記基板リフタ上に載置し、荷重センサが重量を測定し、前記制御部に送信する。
(3)前記ガラス基板の外周部を前記把持部で把持する。
(4)前記支持ピンの先端を前記把持部よりも高くする。
(5)前記支持ピンの先端の高さを最初の位置に戻す。
(6)全ての荷重センサの測定値が(2)で測定した値と同じであった場合、正常品と判
定する。
(1)支持ピンの先端、基板リフタの把持部の高さを予め決められた最初の位置とする。(2)ガラス基板を前記支持ピン、前記基板リフタ上に載置し、荷重センサが重量を測定し、前記制御部に送信する。
(3)前記ガラス基板の外周部を前記把持部で把持する。
(4)前記支持ピンの先端を前記把持部よりも高くする。
(5)前記支持ピンの先端の高さを最初の位置に戻す。
(6)全ての荷重センサの測定値が(2)で測定した値と同じであった場合、正常品と判
定する。
本発明のガラス基板の端部を保持し、中央部を変形させる動作により、大型カラーフィルタ用ガラス基板をカラーフィルタの製造工程中に搬入する前に、破損の可能性のあるものを排除できるので、製造工程中でガラス基板破損が少なくなるので、カラーフィルタの製造工程が中断されることが少なくなり、さらには破損ガラスを回収するダウンタイムがなくなるため、生産効率が大幅に向上するという効果が得られる。
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。
本発明のガラス基板選別装置1はカラーフィルタ製造に先駆けて、調達されたガラス基板を製造工程に投入する前に選別を行うものである。
本発明のガラス基板選別装置1で選別を行うガラス基板10については、予め、カラーフィルタ基板の製造工程と同様、予め、全面の洗浄を行った後、ガラス基板ごとに特定ができるように適宜の装置にてガラス基板10上にバーコードのパターンを直接形成した。
このバーコードには図示しない生産管理システムで生成したガラス基板10に対して固有な番号が含まれている。また、本発明においては、バーコードを用いたが、QRコード(登録商標)等を用いてもよい。また、ガラス基板上に直接コードを形成したが、バーコードやQRコード(登録商標)が印字されたラベルを取り付けてもよい。
図1は本発明によるガラス基板選別装置の概略構成を示すブロック図である。
ガラス基板選別装置1は、制御部100、試験部200、搬送部300、製造条件データベースDB1、検査結果データベースDB2を備える。
制御部100は、さらにガラス基板10の選別動作を制御するため、少なくとも指示手段110、判定手段120を有する。
この制御部100の指示手段110が選別試験を行うガラス基板10の情報を上記した生産管理システムの一部である製造条件データベースDB1に送信すると、製造条件データベースDB1に予め製品ごとに決められ、格納されている試験条件が制御部100に送られ、さらには試験部200、搬送部300に送られる。
そして、制御部100の指示手段110は試験結果を検査結果データベースDB2に送信し、検査結果データベースDB2は試験結果を格納する。
試験部200は、ガラス基板10を支持するため基板リフタ21及び支持ピン22を有
する。本発明のガラス基板選別装置1では、ガラス基板の検査時に、この基板リフタ21及び支持ピン22の昇降機構21a、22aのそれぞれを上昇、下降することによりガラス基板10に曲げ応力を負荷している。本実施例では、試験部200にてガラス基板10の外周部を持ち上げることで、ガラス基板10の自重により、曲げ応力を負荷した。
する。本発明のガラス基板選別装置1では、ガラス基板の検査時に、この基板リフタ21及び支持ピン22の昇降機構21a、22aのそれぞれを上昇、下降することによりガラス基板10に曲げ応力を負荷している。本実施例では、試験部200にてガラス基板10の外周部を持ち上げることで、ガラス基板10の自重により、曲げ応力を負荷した。
この支持ピン動作部、リフトピン動作部の動作に必要な支持ピン、リフトピンの昇降する高さが検査条件データとなっており、この検査条件データは、予め製品ごとに決められていて、製造条件データベースDB1に格納されている。
搬送部300は、選別対象となるガラス基板10を試験部に搬入、搬出をする機構を有する。
図2は基板リフタ21および保持ピン22の構造を示したものである。基板リフタ21および保持ピン22は昇降することで、ガラス基板選別装置1の試験部200においてガラス基板10の保持、またはガラス基板10に曲げ応力を負荷することができる。
図2は基板リフタ21および保持ピン22の構造を示したものである。基板リフタ21および保持ピン22は昇降することで、ガラス基板選別装置1の試験部200においてガラス基板10の保持、またはガラス基板10に曲げ応力を負荷することができる。
図2(a)に示す基板リフタ21はガラス基板選別装置の試験部200のベース25に配置、固定されている。そして、基板リフタ21はガラス基板10を把持する把持部21bと、その把持部21bを上下方向に移動させる昇降機構21aを備える。
図2(b)に示す支持ピン22も試験部200のベース25に配置、固定されている。そして、支持ピン22は、その先端でガラス基板を支持するためのピン22cとピン22cにかかる荷重を測定し、デジタル出力する荷重センサ22bを備え、ピン22cと荷重センサ22bを上下方向に移動させる昇降機構22aを備える。
図3はガラス基板選別装置1の主要部である試験部20の概略図を、図3(a)は側面図を、図3(b)は平面図を、それぞれ示している。
図3(a)に示す試験部200は、ガラス基板10を支持するため、基板リフタ21はガラス基板10の外周部となる位置に、また、支持ピン22はガラス基板10の外周部より内側となる位置に配置されている。 ここで、外周部と呼ばれる部分としては、概ねガラス基板10のガラス基板の端面から数センチ程度の範囲としている。
図3(a)に示す試験部200は、ガラス基板10を支持するため、基板リフタ21はガラス基板10の外周部となる位置に、また、支持ピン22はガラス基板10の外周部より内側となる位置に配置されている。 ここで、外周部と呼ばれる部分としては、概ねガラス基板10のガラス基板の端面から数センチ程度の範囲としている。
図3(b)は、基板リフタ21と支持ピン22の配置を示したもので、外周部に8箇所の基板リフタ21(四角形で図示)が配置され、面内には6箇所の支持ピン22(円形で図示)が配置されている。
これらの基板リフタ21、支持ピン22は基板10のサイズに合わせて配置箇所、個数は図示に限られず適宜に設定可能である。
これらの基板リフタ21、支持ピン22は基板10のサイズに合わせて配置箇所、個数は図示に限られず適宜に設定可能である。
さらには、基板10のサイズに合わせて配置する位置を変えられるようにしてもよい。また、基板リフタ21、支持ピン22はガラス基板10が基板リフタ21、支持ピン22上から落下しない範囲で、一部の高さを調整することでガラス基板10したにスペースを設けて、搬入搬出に用いる搬送用機材が入れられる様にすることもできる。
図4はガラス基板10を試験部200にて行う、選別試験の手順を示したものである。
図4(a)は試験部200にガラス基板10の搬入した状態を示す。
ガラス基板を搬入する前に、ガラス基板10を水平に保持することができるように、制御部100から送信される設定値に合わせて基板リフタ21、支持ピン22の昇降機構21a、22aを動作させて、ガラス基板把持部21b、ピン22cの先端の高さを初期値となるように昇降する。
図4(b)は選別試験として、図4(a)の状態から把持部21bでガラス基板10の外周部を把持した後、昇降機構21aにより把持部21bを上方に持ち上げ、ガラス基板10が支持ピン22から離れた状態にしたことを示したものである。この時、支持ピン22は動かさなかったが、把持部を上げるストロークが足りない場合は、支持ピン22を下方に下げるようにしてもよい。この昇降動作は、ガラス基板10の寸法、厚みや基板リフタ21の昇降機構21a、支持ピンの昇降機構22aの稼働範囲などから予め決めておけばよい。
図4(c)はガラス基板10の外周部を持ち上げたことにより、ガラス基板10が割れた場合であって、さらに基板リフタ21を図4(a)と同じ位置まで戻し、ガラス基板把持部21bの把持状態を解除した状態を示している。
図5は別のガラス基板10の試験の形態を示したもので、ガラス基板の中央部の方を高くして曲げ応力を負荷する試験の一例を示したものである
図5(a)は図4(a)と同様にガラス基板10を搬入し、水平に保持したものであるが、図4(a)に比べてガラス基板10を保持する位置の設定を高くしている。
図5(a)は図4(a)と同様にガラス基板10を搬入し、水平に保持したものであるが、図4(a)に比べてガラス基板10を保持する位置の設定を高くしている。
次に図5(b)はガラス基板10の中央部を外周部よりも高くするように、基板リフタ21を下げ、支持ピン22の高さを配置された位置により、適宜に調整するものである。こうすることで中央部を高くした状態でガラス基板10を曲げることができる。
ガラス基板選別のフローの一例を図6に示す。
制御装置100に選別作業開始の指示があると、選別する際に行う試験の試験条件を製造条件データベースDB1から呼び出す(S01)。この時、選別作業開始の指示にガラス基板10の情報が含まれているものとする。
この試験条件としては、ガラス基板10の重量情報、試験に用いるセンサの指定、試験条件である基板リフトの昇降量、速度である。
製造条件データベースDB1から呼び出された試験条件のうち、ガラス基板10を載置するため、基板リフタ21及び支持ピン22の先端を同一の支持高さとする指示値を制御部100から試験部200に送り、さらに試験部200から昇降機構21a、昇降機構22bのそれぞれに送られる。そして昇降機構21a、昇降機構22bは指示値に基づいて、ガラス基板10を水平状態で支持する初期値の高さとするよう動作する。また、この時、ガラス基板10は試験部200には搬入されていないので、荷重センサ22bの計測値がゼロであることを確認して、次の段階に進める(S02)。
次に、搬送部300によりガラス基板10が、試験部200内の基板リフタ21、支持ピン22上に載置される(S03)。ガラス基板10には個別に識別可能とするような固有な番号を付与してあるので、ガラス基板選別装置1に搬入直前に図示しないコードの読み取り装置で.前記固有な番号を読み取った後、試験部200に搬入される。また、読み取ったガラス基板10に設けたコードの情報は制御装置100に送られる。
次に、搬送部300によりガラス基板10が、試験部200内の基板リフタ21、支持ピン22上に載置される(S03)。ガラス基板10には個別に識別可能とするような固有な番号を付与してあるので、ガラス基板選別装置1に搬入直前に図示しないコードの読み取り装置で.前記固有な番号を読み取った後、試験部200に搬入される。また、読み取ったガラス基板10に設けたコードの情報は制御装置100に送られる。
ガラス基板10が載置されると、支持ピン22の荷重センサ22bで感知した重量値が、制御部100に送られ、制御部100で基板が正常に載置されたことを確認すると試験部200に指示が送られ、ガラス基板把持部21bがガラス基板10の外周部を把持する(S04)。
一方で、ガラス基板10が正常に載置されたことが確認できない場合、搬送部でガラス
基板10を取り出し、再度載置を行う。また、この載置を数回続けて失敗した場合は、不良基板として、後述するように払い出す。
基板10を取り出し、再度載置を行う。また、この載置を数回続けて失敗した場合は、不良基板として、後述するように払い出す。
次にガラス基板に曲げ応力を負荷するため、(S01)で製造条件データベースDB1から呼び出した試験条件の昇降量、速度にて、基板リフタ21、または支持ピン22を昇降させて試験を実行する(S05)。
基板リフタ21、支持ピン22(の先端部の高さ)を初期値の位置に戻す(S06)。
各支持ピン22に設けた荷重センサ22bで検知した重量の数値データが制御部100に送信され、判定手段120は送られてきた数値データから、試験を行ったガラス基板10が正常であったか、異常(割れたか)を判定する(S07)。
図4(c)に示した様にガラス基板10が割れると、割れたガラス基板10’は支持ピン22上から落下するので、その部分の荷重センサ22bの出力値はゼロになるので、割れたことは判定手段120にて容易に検出可能である。また、出力値がゼロになった荷重センサ22bの分布を調べれば、その程度まで判断可能である。さらにはガラス基板10が、ひび割れるだけでも各荷重センサ22bの出力値が試験前と変化するため、支持ピン22から落ちなくとも割れたと判定手段120にて判断することが可能である。
また、ガラス基板10が割れなかった場合は、荷重センサ22bの出力が試験開始前(図4(a))と同じ状態となるので、制御部100に送信される荷重センサ22bの出力により判定手段120にてガラス基板10が割れなかったと判断される
上記した試験の結果、割れることなく正常と判断されたガラス基板10は、搬送部300によりガラス基板10をカラーフィルタの製造工程に投入するガラス基板受け取り場所(図示しない)に搬送される(S08)。
上記した試験の結果、割れることなく正常と判断されたガラス基板10は、搬送部300によりガラス基板10をカラーフィルタの製造工程に投入するガラス基板受け取り場所(図示しない)に搬送される(S08)。
一方で、割れた基板の搬出に関しては、搬送部300で行ってもよいが、割れて小片となったガラス基板10‘の回収は対応できない場合もある。 その場合は、複数の支持ピン22上に割れたガラス基板10’が残っている場合は、一部の支持ピン22の先端高さを変えることで、割れたガラス基板10’を支持ピン22上から落とすような支持ピン22昇降させてもよい。
また、これとは別にベース25に落下した、割れて小片となったガラス基板10’は支持ピンから落下した勢いで、1つの場所に集まるような構造とすること、または試験を行っていない時間に割れて小片となったガラス基板10’を回収するような機材を設けておいてもよい。
また、S03で載置不良と判断された基板は、搬送部300で搬送可能のため、基板が収納されていた場所に戻す、または、別途確認するための基板を集める別の場所に移動する。
次に、制御部100は、基板の情報、判定結果、及び各荷重センサから得られたデータを検査結果データベースDB2に格納する(S09)。
次に、制御部100にて次に選別作業をするガラス基板10が残っているか判断する。(S010)選別作業をするガラス基板10が残っていると判断された場合は、次のガラス基板10をガラス基板選別装置1に投入し、S02〜S09の処理を繰り返す。
また、制御部100にて選別作業をするガラス基板10の残り枚数を確認した結果がゼ
ロの場合は、ガラス基板の選別作業を終了する(S011)。
ロの場合は、ガラス基板の選別作業を終了する(S011)。
1 ガラス基板選別装置
10 ガラス基板
21 基板リフタ
21a 昇降機構
21b ガラス基板把持部
22 支持ピン
22a 昇降機構
22b 荷重センサ
22c ピン
25 ベース
100 制御部
110 指示手段
120 判定手段
200 試験部
300 搬送部
DB1 製造条件データベース
DB2 試験結果データベース
10 ガラス基板
21 基板リフタ
21a 昇降機構
21b ガラス基板把持部
22 支持ピン
22a 昇降機構
22b 荷重センサ
22c ピン
25 ベース
100 制御部
110 指示手段
120 判定手段
200 試験部
300 搬送部
DB1 製造条件データベース
DB2 試験結果データベース
Claims (4)
- カラーフィルタ製造工程に投入するガラス基板を選別する装置であって、
少なくとも、
ガラス基板を搬送する搬送部と、
ガラス基板の選別試験を行うため、ガラス基板を保持するピンとガラス基板を保持する高さを変えるための昇降機構とピンにかかる荷重を計測する荷重センサを有する支持ピンと、ガラス基板の外周部を把持する把持部とガラス基板を保持する高さを変えるための昇降機構を有する基板リフタとを有する試験部と、
ガラス基板の選別のための試験を行う試験部を制御するため、前記支持ピンと前記基板リフタの高さの情報の送信と前記荷重センサの測定値の受信と前記搬送部に試験を行ったガラス基板の搬送情報を送信する指示手段と、前記荷重センサの測定値からガラス基板が正常品であるか不良品であるかを判定する判定手段とを有する制御部と、
を備えることを特徴とするガラス基板選別装置。 - 前記ガラス基板の品種情報と、ガラス基板を選別するための試験条件を備える製造条件データベース、および試験を行ったガラス基板ごとの試験結果を格納する検査結果データベースと接続され、前記制御部とデータの送受信をすることを特徴とする請求項1記載のガラス基板選別装置。
- 請求項1または2に記載のガラス基板選別装置を用いるガラス基板の選別方法であって、前記制御部が少なくとも以下の手順の指示、判定を行うことを特徴とするガラス基板の選別方法。
(1)支持ピンの先端、基板リフタの把持部の高さを予め決められた最初の位置とする。(2)ガラス基板を前記支持ピン、前記基板リフタ上に載置し、荷重センサが重量を測定し、前記制御部に送信する。
(3)前記ガラス基板の外周部を基板リフタの把持部で把持する。
(4)前記把持部の高さを前記支持ピンの先端よりも高くする。
(5)前記把持部の高さを最初の位置に戻す。
(6)全ての荷重センサの測定値が(2)で測定した値と同じであった場合、正常品と判定する。 - 請求項1または2に記載のガラス基板選別装置を用いるガラス基板の選別方法であって、前記制御部が少なくとも以下の手順の指示、判定を行うことを特徴とするガラス基板の選別方法。
(1)支持ピンの先端、基板リフタの把持部の高さを予め決められた最初の位置とする。(2)ガラス基板を前記支持ピン、前記基板リフタ上に載置し、荷重センサが重量を測定し、前記制御部に送信する。
(3)前記ガラス基板の外周部を前記把持部で把持する。
(4)前記支持ピンの先端を前記把持部よりも高くする。
(5)前記支持ピンの先端の高さを最初の位置に戻す。
(6)全ての荷重センサの測定値が(2)で測定した値と同じであった場合、正常品と判定する。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113654769A (zh) * | 2021-07-22 | 2021-11-16 | 昆山丘钛微电子科技股份有限公司 | 一种滤光片的检测方法及三点弯折设备 |
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2019
- 2019-10-25 JP JP2019194233A patent/JP2021067596A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN113654769A (zh) * | 2021-07-22 | 2021-11-16 | 昆山丘钛微电子科技股份有限公司 | 一种滤光片的检测方法及三点弯折设备 |
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