JP2021050938A - Inspecting module, inversion module and inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、検査用モジュール、反転モジュールおよび検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection module, an inversion module and an inspection device.
従来、自動車等の駆動部およびその周辺に用いられる立体的な形状を有する部品を検査対象物(ワークともいう)とする検査装置が知られている(例えば、特許文献1等)。
Conventionally, an inspection device is known in which a part having a three-dimensional shape used in a drive unit of an automobile or the like and its periphery is an inspection object (also referred to as a work) (for example,
この検査装置では、例えば、ワークの移動経路に沿って、複数台のカメラが配置されており、ワークを多方向から撮像することができる。 In this inspection device, for example, a plurality of cameras are arranged along the moving path of the work, and the work can be imaged from multiple directions.
しかしながら、ワークのうちの撮像する対象となる場所が増えると、カメラの台数が増加し、検査装置の大型化を招く。例えば、ワークの大型化に伴って、カメラの台数はさらに増加し、検査装置のさらなる大型化を招き得る。また、例えば、ワークの形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に応えた検査装置を製造するためには、ユーザーの要望に応じた仕様毎に検査装置の設計を行う必要があり、ユーザーの要望に応えた検査装置を提供することは容易でない。 However, if the number of places to be imaged in the work increases, the number of cameras increases, which leads to an increase in the size of the inspection device. For example, as the size of the work increases, the number of cameras further increases, which may lead to a further increase in the size of the inspection device. Further, for example, in order to manufacture an inspection device that meets the user's request such as the shape and size of the work, the space for installing the device, and the budget, the inspection device is designed for each specification according to the user's request. It is not easy to provide an inspection device that meets the needs of users.
上記問題は、自動車用部品および自動車以外の用途の部品等を含む検査対象物を対象として、撮像および撮像以外の測定等を含む検査用の処理を行う検査装置一般に共通する。 The above problems are common to all inspection devices that perform inspection processing including imaging and measurement other than imaging for inspection objects including automobile parts and parts for applications other than automobiles.
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、ユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置を容易に製造するための技術を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a technique for easily manufacturing an inspection device that flexibly responds to a user's request.
上記課題を解決するために、第1の態様に係る検査用モジュールは、搬送部と、センサ部と、移動機構と、検知部と、制御部と、を備える。前記搬送部は、前記検査用モジュールと該検査用モジュールの外部との間で被検査物を搬送可能である。前記センサ部は、前記被検査物を対象とした撮像および測定のうちの少なくとも一方の検査用の処理を行う。前記移動機構は、前記被検査物に対する前記センサ部の相対的な位置を移動させる。前記検知部は、前記被検査物の姿勢および位置に係る情報を得るためのものである。前記制御部は、前記検知部で得られた情報に基づいて、前記移動機構によって前記被検査物に対する前記センサ部の相対的な位置を調整させる。 In order to solve the above problems, the inspection module according to the first aspect includes a transport unit, a sensor unit, a moving mechanism, a detection unit, and a control unit. The transport unit can transport the object to be inspected between the inspection module and the outside of the inspection module. The sensor unit performs processing for inspection of at least one of imaging and measurement of the object to be inspected. The moving mechanism moves the position of the sensor unit relative to the object to be inspected. The detection unit is for obtaining information on the posture and position of the object to be inspected. The control unit adjusts the relative position of the sensor unit with respect to the object to be inspected by the moving mechanism based on the information obtained by the detection unit.
第2の態様に係る検査用モジュールは、第1の態様に係る検査用モジュールであって、前記センサ部は、前記被検査物を被写体とした撮像部を含む。 The inspection module according to the second aspect is the inspection module according to the first aspect, and the sensor unit includes an imaging unit with the object to be inspected as a subject.
第3の態様に係る検査用モジュールは、第1または第2の態様に係る検査用モジュールであって、前記搬送部は、ベルトコンベアを含む。 The inspection module according to the third aspect is the inspection module according to the first or second aspect, and the transport unit includes a belt conveyor.
第4の態様に係る反転モジュールは、搬送部と、保持部と、移動機構と、検知部と、制御部と、を備える。前記搬送部は、前記反転モジュールと該反転モジュールの外部との間で被検査物を搬送可能である。前記保持部は、前記被検査物を反転させるために該被検査物を保持する。前記移動機構は、前記保持部によって前記被検査物を保持させた状態で該保持部を移動させることで前記被検査物を反転させる。前記検知部は、前記被検査物の姿勢および位置に係る情報を得るためのものである。前記制御部は、前記検知部で得られた情報に基づいて、前記移動機構によって前記被検査物に対する前記保持部の相対的な位置を調整させる。 The reversing module according to the fourth aspect includes a transport unit, a holding unit, a moving mechanism, a detecting unit, and a control unit. The transport unit can transport the object to be inspected between the reversing module and the outside of the reversing module. The holding portion holds the inspected object in order to invert the inspected object. The moving mechanism inverts the inspected object by moving the holding portion while the inspected object is being held by the holding portion. The detection unit is for obtaining information on the posture and position of the object to be inspected. The control unit adjusts the relative position of the holding unit with respect to the object to be inspected by the moving mechanism based on the information obtained by the detection unit.
第5の態様に係る反転モジュールは、第4の態様に係る反転モジュールであって、前記搬送部は、ベルトコンベアを含む。 The reversing module according to the fifth aspect is the reversing module according to the fourth aspect, and the transport unit includes a belt conveyor.
第6の態様に係る検査装置は、相互に連結された2つ以上のモジュール、を備える。該2つ以上のモジュールは、第1モジュールと、第2モジュールと、を含む。前記第1モジュールは、第1搬送部と、センサ部と、第1移動機構と、第1検知部と、第1制御部と、を有する。前記第1搬送部は、前記第1モジュールと該第1モジュールの外部との間で被検査物を搬送可能である。前記センサ部は、前記被検査物を対象とした撮像および測定のうちの少なくとも一方の検査用の処理を行う。前記第1移動機構は、前記被検査物に対する前記センサ部の相対的な位置を移動させる。前記第1検知部は、前記被検査物の姿勢および位置に係る情報を得るためのものである。前記第1制御部は、前記第1検知部で得られた情報に基づいて、前記第1移動機構によって前記被検査物に対する前記センサ部の相対的な位置を調整させる。前記第2モジュールは、第2搬送部と、保持部と、第2移動機構と、第2検知部と、第2制御部と、を有する。前記第2搬送部は、前記第2モジュールと該第2モジュールの外部との間で前記被検査物を搬送可能である。前記保持部は、前記被検査物を反転させるために該被検査物を保持する。前記第2移動機構は、前記保持部によって前記被検査物を保持させた状態で該保持部を移動させることで前記被検査物を反転させる。前記第2検知部は、前記被検査物の姿勢および位置に係る情報を得るためのものである。前記第2制御部は、前記第2検知部で得られた情報に基づいて、前記第2移動機構によって前記被検査物に対する前記保持部の相対的な位置を調整させる。 The inspection device according to the sixth aspect includes two or more modules connected to each other. The two or more modules include a first module and a second module. The first module includes a first transport unit, a sensor unit, a first movement mechanism, a first detection unit, and a first control unit. The first transport unit can transport the object to be inspected between the first module and the outside of the first module. The sensor unit performs processing for inspection of at least one of imaging and measurement of the object to be inspected. The first moving mechanism moves the position of the sensor unit relative to the object to be inspected. The first detection unit is for obtaining information relating to the posture and position of the object to be inspected. The first control unit adjusts the relative position of the sensor unit with respect to the object to be inspected by the first moving mechanism based on the information obtained by the first detection unit. The second module includes a second transport unit, a holding unit, a second moving mechanism, a second detection unit, and a second control unit. The second transport unit can transport the object to be inspected between the second module and the outside of the second module. The holding portion holds the inspected object in order to invert the inspected object. The second moving mechanism reverses the inspected object by moving the holding portion in a state where the inspected object is held by the holding portion. The second detection unit is for obtaining information relating to the posture and position of the object to be inspected. The second control unit adjusts the relative position of the holding unit with respect to the object to be inspected by the second moving mechanism based on the information obtained by the second detection unit.
第7の態様に係る検査装置は、第6の態様に係る検査装置であって、前記第2制御部が、前記第1検知部を用いて得られた情報と、前記第2検知部を用いて得られた情報と、に基づいて、前記第2移動機構によって前記被検査物に対する前記保持部の相対的な位置を調整させるか、または前記第1制御部が、前記第1検知部を用いて得られた情報と、前記第2検知部を用いて得られた情報と、に基づいて、前記第1移動機構によって前記被検査物に対する前記センサ部の相対的な位置を調整させる。 The inspection device according to the seventh aspect is the inspection device according to the sixth aspect, and the second control unit uses the information obtained by using the first detection unit and the second detection unit. Based on the information obtained above, the second moving mechanism adjusts the relative position of the holding unit with respect to the object to be inspected, or the first control unit uses the first detecting unit. Based on the information obtained by the above and the information obtained by using the second detection unit, the first moving mechanism adjusts the relative position of the sensor unit with respect to the object to be inspected.
第8の態様に係る検査装置は、相互に連結された2つ以上のモジュール、を備える。該2つ以上のモジュールは、第1モジュールと、第2モジュールと、を含む。前記第1モジュールは、第1搬送部と、第1センサ部と、第1移動機構と、第1検知部と、第1制御部と、を有する。前記第1搬送部は、前記第1モジュールと該第1モジュールの外部との間で被検査物を搬送可能である。前記第1センサ部は、前記被検査物を対象とした撮像および測定のうちの少なくとも一方の検査用の処理を行う。前記第1移動機構は、前記被検査物に対する前記第1センサ部の相対的な位置を移動させる。前記第1検知部は、前記被検査物の姿勢および位置に係る情報を得るためのものである。前記第1制御部は、前記第1検知部で得られた情報に基づいて、前記移動機構によって前記被検査物に対する前記第1センサ部の相対的な位置を調整させる。前記第2モジュールは、第2搬送部と、第2センサ部と、第2移動機構と、第2検知部と、第2制御部と、を有する。前記第2搬送部は、前記第2モジュールと該第2モジュールの外部との間で前記被検査物を搬送可能である。前記第2センサ部は、前記被検査物を対象とした撮像および測定のうちの少なくとも一方の検査用の処理を行う。前記第2移動機構は、前記被検査物に対する前記第2センサ部の相対的な位置を移動させる。前記第2検知部は、前記被検査物の姿勢および位置に係る情報を得るためのものである。前記第2制御部は、前記第2検知部で得られた情報に基づいて、前記第2移動機構によって前記被検査物に対する前記第2センサ部の相対的な位置を調整させる。 The inspection device according to the eighth aspect includes two or more modules connected to each other. The two or more modules include a first module and a second module. The first module includes a first transport unit, a first sensor unit, a first movement mechanism, a first detection unit, and a first control unit. The first transport unit can transport the object to be inspected between the first module and the outside of the first module. The first sensor unit performs processing for inspection of at least one of imaging and measurement of the object to be inspected. The first moving mechanism moves the position of the first sensor unit relative to the object to be inspected. The first detection unit is for obtaining information relating to the posture and position of the object to be inspected. The first control unit adjusts the relative position of the first sensor unit with respect to the object to be inspected by the moving mechanism based on the information obtained by the first detection unit. The second module includes a second transport unit, a second sensor unit, a second moving mechanism, a second detection unit, and a second control unit. The second transport unit can transport the object to be inspected between the second module and the outside of the second module. The second sensor unit performs processing for inspection of at least one of imaging and measurement of the object to be inspected. The second moving mechanism moves the position of the second sensor unit relative to the object to be inspected. The second detection unit is for obtaining information relating to the posture and position of the object to be inspected. The second control unit adjusts the relative position of the second sensor unit with respect to the object to be inspected by the second moving mechanism based on the information obtained by the second detection unit.
第9の態様に係る検査装置は、第8の態様に係る検査装置であって、前記第2制御部が、前記第1検知部を用いて得られた情報と、前記第2検知部を用いて得られた情報と、に基づいて、前記第2移動機構によって前記被検査物に対する前記第2センサ部の相対的な位置を調整させるか、または前記第1制御部が、前記第1検知部を用いて得られた情報と、前記第2検知部を用いて得られた情報と、に基づいて、前記第1移動機構によって前記被検査物に対する前記第1センサ部の相対的な位置を調整させる。 The inspection device according to the ninth aspect is the inspection device according to the eighth aspect, and the second control unit uses the information obtained by using the first detection unit and the second detection unit. Based on the information obtained in the above, the second moving mechanism adjusts the relative position of the second sensor unit with respect to the object to be inspected, or the first control unit causes the first detection unit. The relative position of the first sensor unit with respect to the object to be inspected is adjusted by the first moving mechanism based on the information obtained by using the second detection unit and the information obtained by using the second detection unit. Let me.
第10の態様に係る検査装置は、第6から第9の何れか1つの態様に係る検査装置であって、前記2つ以上のモジュールのそれぞれに位置している前記被検査物を、搬送経路の下流側のモジュールに同時期に搬送する。 The inspection device according to the tenth aspect is an inspection device according to any one of the sixth to ninth aspects, and transports the object to be inspected located in each of the two or more modules. Transport to the module on the downstream side of the above at the same time.
第11の態様に係る検査装置は、第6から第10の何れか1つの態様に係る検査装置であって、前記第1搬送部および前記第2搬送部は、それぞれベルトコンベアを含む。 The inspection device according to the eleventh aspect is an inspection device according to any one of the sixth to tenth aspects, and the first transport section and the second transport section each include a belt conveyor.
第1の態様に係る検査用モジュールによれば、例えば、被検査物に対してセンサ部を相対的に移動させることで、1つのセンサ部で被検査物の1箇所または2箇所以上について検査用の処理を行うことができる。このため、例えば、1つまたは2つ以上の検査用モジュールを含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置を製造することができる。また、例えば、他のモジュールから検査用モジュールに被検査物が搬入される際に被検査物の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物に対するセンサ部の相対的な位置を調整することができる。したがって、例えば、被検査物の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置を容易に製造することができる。 According to the inspection module according to the first aspect, for example, by moving the sensor unit relative to the object to be inspected, one sensor unit is used for inspection of one or more locations of the object to be inspected. Can be processed. Therefore, for example, an inspection device can be manufactured by appropriately combining two or more modules including one or two or more inspection modules. Further, for example, even if at least one of the posture and the position of the inspected object deviates when the inspected object is carried into the inspection module from another module, the relative of the sensor unit to the inspected object according to the deviation. Position can be adjusted. Therefore, for example, it is possible to easily manufacture an inspection device that flexibly meets the user's request such as the shape and size of the object to be inspected, the space for installing the device, and the budget.
第2の態様に係る検査用モジュールによれば、例えば、被検査物に対して撮像部を相対的に移動させることで、1つの撮像部で被検査物の1箇所または2箇所以上について撮像を行うことができる。このため、例えば、1つまたは2つ以上の撮像用のモジュールを含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置を製造することができる。また、例えば、他のモジュールから検査用モジュールに被検査物が搬入される際に被検査物の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物に対する撮像部の相対的な位置を調整することができる。 According to the inspection module according to the second aspect, for example, by moving the imaging unit relative to the object to be inspected, one imaging unit can take an image of one or more locations of the object to be inspected. It can be carried out. Therefore, for example, an inspection device can be manufactured by appropriately combining two or more modules including one or two or more imaging modules. Further, for example, even if at least one of the posture and the position of the inspected object deviates when the inspected object is carried into the inspection module from another module, the relative of the imaging unit to the inspected object according to the deviation. Position can be adjusted.
第3の態様に係る検査用モジュールによれば、例えば、隣のモジュールのベルトコンベア上から検査用モジュールのベルトコンベア上に被検査物が乗り移る際に、被検査物の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物に対するセンサ部の相対的な位置を調整することができる。 According to the inspection module according to the third aspect, for example, when the inspected object is transferred from the belt conveyor of the adjacent module to the belt conveyor of the inspection module, at least one of the posture and the position of the inspected object is changed. Even if there is a deviation, the relative position of the sensor unit with respect to the object to be inspected can be adjusted according to the deviation.
第4の態様に係る反転モジュールによれば、例えば、被検査物を対象とした検査用の処理を行うための検査用モジュールと、被検査物を反転させる反転モジュールと、を含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置を製造することができる。また、例えば、他のモジュールから反転モジュールに被検査物が搬入される際に被検査物の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物に対する保持部の相対的な位置を調整することで、保持部で被検査物を保持して反転させることができる。したがって、例えば、被検査物の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置を容易に製造することができる。 According to the inversion module according to the fourth aspect, for example, two or more inversion modules including an inspection module for performing an inspection process for an inspected object and an inversion module for inversion of the inspected object. The inspection device can be manufactured by appropriately combining the modules. Further, for example, even if at least one of the posture and the position of the object to be inspected is deviated when the object to be inspected is carried from another module to the reversing module, the holding portion is relative to the object to be inspected according to the deviation. By adjusting the position, the object to be inspected can be held and inverted by the holding portion. Therefore, for example, it is possible to easily manufacture an inspection device that flexibly meets the user's request such as the shape and size of the object to be inspected, the space for installing the device, and the budget.
第5の態様に係る反転モジュールによれば、例えば、隣のモジュールのベルトコンベア上から反転モジュールのベルトコンベア上に被検査物が乗り移る際に、被検査物の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物に対する保持部の相対的な位置を調整することができる。 According to the reversing module according to the fifth aspect, for example, when the object to be inspected is transferred from the belt conveyor of the adjacent module to the belt conveyor of the reversing module, at least one of the posture and the position of the object to be inspected is displaced. However, the relative position of the holding portion with respect to the object to be inspected can be adjusted according to the deviation.
第6の態様に係る検査装置によれば、例えば、被検査物を対象とした検査用の処理を行うための第1モジュールと、被検査物を反転させる第2モジュールと、を含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置を製造することができる。また、例えば、他のモジュールから第1モジュールに被検査物が搬入される際に被検査物の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物に対するセンサ部の相対的な位置を調整することができる。また、例えば、他のモジュールから第2モジュールに被検査物が搬入される際に被検査物の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物に対する保持部の相対的な位置を調整することができる。したがって、例えば、被検査物の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置を容易に製造することができる。 According to the inspection apparatus according to the sixth aspect, for example, two or more modules including a first module for performing an inspection process for an inspected object and a second module for inverting the inspected object. The inspection device can be manufactured by appropriately combining the above modules. Further, for example, even if at least one of the posture and the position of the object to be inspected deviates when the object to be inspected is carried from another module to the first module, the relative of the sensor unit to the object to be inspected according to the deviation. Position can be adjusted. Further, for example, even if at least one of the posture and the position of the object to be inspected is deviated when the object to be inspected is carried from another module to the second module, the relative of the holding portion to the object to be inspected according to the deviation. Position can be adjusted. Therefore, for example, it is possible to easily manufacture an inspection device that flexibly meets the user's request such as the shape and size of the object to be inspected, the space for installing the device, and the budget.
第7の態様に係る検査装置によれば、例えば、被検査物が第1モジュールの後に第2モジュールに搬入される場合には、第2モジュールにおいて、第1モジュールにおける検知部を用いて得た情報を利用して、被検査物に対する保持部の相対的な位置を調整し、被検査物が第2モジュールの後に第1モジュールに搬入される場合には、第1モジュールにおいて、第2モジュールにおける検知部を用いて得た情報を利用して、被検査物に対するセンサ部の相対的な位置を調整することができる。これにより、例えば、情報の取得に要する構成および時間が削減され得る。 According to the inspection device according to the seventh aspect, for example, when the object to be inspected is carried into the second module after the first module, it is obtained in the second module by using the detection unit in the first module. The information is used to adjust the relative position of the holding part with respect to the object to be inspected, and when the object to be inspected is carried into the first module after the second module, in the first module, in the second module. The position of the sensor unit relative to the object to be inspected can be adjusted by using the information obtained by using the detection unit. This can reduce, for example, the configuration and time required to obtain the information.
第8の態様に係る検査装置によれば、例えば、被検査物を対象とした検査用の処理をそれぞれ行うための第1モジュールおよび第2モジュールを含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置を製造することができる。また、例えば、他のモジュールから第1モジュールまたは第2モジュールに被検査物が搬入される際に被検査物の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物に対するセンサ部の相対的な位置を調整することができる。したがって、例えば、被検査物の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置を容易に製造することができる。また、例えば、連続して検査を行う複数の被検査物の数の増加に伴い、2つ以上の検査用モジュールにおいて被検査物の複数箇所についての検査用の処理を分担して実施することで、単位時間あたりに検査装置から排出される検査用の処理が完了した被検査物の数を増加させることができる。 According to the inspection device according to the eighth aspect, for example, an inspection device in which two or more modules including a first module and a second module for performing inspection processing on an object to be inspected are appropriately combined. Can be manufactured. Further, for example, even if at least one of the posture and the position of the object to be inspected is deviated when the object to be inspected is carried from another module to the first module or the second module, the sensor for the object to be inspected is displaced according to the deviation. The relative position of the parts can be adjusted. Therefore, for example, it is possible to easily manufacture an inspection device that flexibly meets the user's request such as the shape and size of the object to be inspected, the space for installing the device, and the budget. Further, for example, as the number of a plurality of objects to be inspected to be continuously inspected increases, the inspection process for a plurality of locations of the objects to be inspected may be shared and carried out in two or more inspection modules. It is possible to increase the number of objects to be inspected that have been processed for inspection and are discharged from the inspection device per hour.
第9の態様に係る検査装置によれば、例えば、被検査物が第1モジュールの後に第2モジュールに搬入される場合には、第2モジュールにおいて、第1モジュールにおける第1検知部を用いて得た情報を利用して、被検査物に対する第2センサ部の相対的な位置を調整し、被検査物が第2モジュールの後に第1モジュールに搬入される場合には、第1モジュールにおいて、第2モジュールにおける第2検知部を用いて得た情報を利用して、被検査物に対する第1センサ部の相対的な位置を調整することができる。これにより、例えば、情報の取得に要する構成および時間が削減され得る。 According to the inspection device according to the ninth aspect, for example, when the object to be inspected is carried into the second module after the first module, in the second module, the first detection unit in the first module is used. Using the obtained information, the position of the second sensor unit relative to the object to be inspected is adjusted, and when the object to be inspected is carried into the first module after the second module, in the first module, The position of the first sensor unit relative to the object to be inspected can be adjusted by using the information obtained by using the second detection unit in the second module. This can reduce, for example, the configuration and time required to obtain the information.
第10の態様に係る検査装置によれば、例えば、全てのモジュール間において被検査物を下流側の隣のモジュールに一斉に搬送することで、単位時間あたりに検査装置から排出される検査用の処理が完了した被検査物の数を増加させることができる。 According to the inspection device according to the tenth aspect, for example, by simultaneously transporting the object to be inspected between all the modules to the adjacent module on the downstream side, the inspection device is discharged from the inspection device per unit time. The number of objects to be inspected that have been processed can be increased.
第11の態様に係る検査装置によれば、例えば、1つのモジュールのベルトコンベア上から次のモジュールのベルトコンベア上に被検査物が乗り移る際に、被検査物の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物に対するセンサ部もしくは保持部の相対的な位置を調整することができる。 According to the inspection device according to the eleventh aspect, for example, when the object to be inspected is transferred from the belt conveyor of one module to the belt conveyor of the next module, at least one of the posture and the position of the object to be inspected is displaced. However, the relative position of the sensor unit or the holding unit with respect to the object to be inspected can be adjusted according to the deviation.
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の各実施形態について説明する。各実施形態に記載されている構成要素はあくまでも例示であり、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。図面は、あくまでも模式的に示したものである。図面においては、容易に理解が可能となるように、必要に応じて各部の寸法および数が誇張または簡略化されて図示されている場合がある。また、図面においては、同様な構成および機能を有する部分に対して同じ符号が付されており、重複した説明が適宜省略されている。図1(a)から図3(b)および図11(a)から図12(c)には、右手系のXYZ座標系が付されている。このXYZ座標系では、投入モジュール11の搬送部Cv1によって水平面に沿って被検査物W0が搬送される方向が+X方向とされ、水平面に沿って被検査物W0が搬送される方向に垂直な方向が+Y方向とされ、+X方向と+Y方向との両方に直交する重力方向が−Z方向とされている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The components described in each embodiment are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to them. The drawings are only schematically shown. In the drawings, the dimensions and number of parts may be exaggerated or simplified as necessary for easy understanding. Further, in the drawings, the same reference numerals are given to parts having the same configuration and function, and duplicate explanations are appropriately omitted. A right-handed XYZ coordinate system is attached to FIGS. 1 (a) to 3 (b) and 11 (a) to 12 (c). In this XYZ coordinate system, the direction in which the inspected object W0 is conveyed along the horizontal plane by the conveying portion Cv1 of the charging
また、本明細書では、相対的または絶対的な位置関係を示す表現(例えば「平行」「直交」「中心」等)は、特に断らない限り、その位置関係を厳密に表すのみならず、公差も含む状態を表すとともに、同程度の機能が得られる範囲で相対的に角度または距離に関して変位された状態も表すものとする。2つ以上のものが等しい状態であることを示す表現(例えば「同一」「等しい」「均質」等)は、特に断らない限り、定量的に厳密に等しい状態を表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる差が存在する状態も表すものとする。形状を示す表現(例えば「四角形状」または「円筒形状」等)は、特に断らない限り、幾何学的に厳密に形状を表すのみならず、同程度の効果が得られる範囲で、例えば凹凸または面取り等を有する形状も表すものとする。1つの構成要素を「備える」「具える」「具備する」「含む」または「有する」という表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的表現ではない。「連結」という表現は、特に断らない限り、2つの要素が接している状態のほか、2つの要素が他の要素を挟んで離れている状態も含む表現である。 Further, in the present specification, expressions indicating relative or absolute positional relationships (for example, "parallel", "orthogonal", "center", etc.) not only strictly represent the positional relationship but also tolerances, unless otherwise specified. In addition to representing the state including, the state of being displaced relative to the angle or distance within the range in which the same function can be obtained is also represented. Expressions indicating that two or more things are equal (for example, "same", "equal", "homogeneous", etc.) not only represent quantitatively exactly equal states, but also tolerances or the same. It shall also represent a state in which there is a difference in obtaining a degree of function. Unless otherwise specified, the expression indicating the shape (for example, "square shape" or "cylindrical shape") not only expresses the shape strictly geometrically, but also, for example, unevenness or unevenness or within the range where the same effect can be obtained. A shape having a chamfer or the like shall also be represented. The expressions "equipped", "equipped", "equipped", "included", or "have" one component are not exclusive expressions that exclude the existence of other components. Unless otherwise specified, the expression "concatenation" includes a state in which two elements are in contact with each other and a state in which the two elements are separated from each other with the other element in between.
<1.第1実施形態>
<1−1.検査装置の構成>
第1実施形態に係る検査装置1について、図1(a)から図10を参照しながら、説明する。図1(a)は、第1実施形態の第1例に係る検査装置1の外観を模式的に示す斜視図である。図1(b)は、第1実施形態の第1例に係る検査装置1の概略的な構成を示す図である。図2(a)は、第1実施形態の第1例に係る検査装置1を製造する様子を示す斜視図である。図2(b)は、第1実施形態の第1例に係る検査装置1を製造する様子を概略的に示す図である。
<1. First Embodiment>
<1-1. Inspection device configuration>
The
図1(a)および図1(b)で示されるように、検査装置1は、例えば、投入モジュール11と、4つの検査用モジュール12と、反転モジュール13と、排出モジュール14と、を備えている。より具体的には、検査装置1では、例えば、投入モジュール11と、1つ目の検査用モジュール(第1検査用モジュールともいう)121と、2つ目の検査用モジュール(第2検査用モジュールともいう)122と、反転モジュール13と、3つ目の検査用モジュール(第3検査用モジュールともいう)123と、4つ目の検査用モジュール(第4検査用モジュールともいう)124と、排出モジュール14と、が+X方向においてこの記載の順に連結されている状態で位置している。投入モジュール11、検査用モジュール12、反転モジュール13および排出モジュール14は、適宜「モジュール」とも略称される。複数のモジュール11,12,13,14は、それぞれ別々に作製され得る。そして、例えば、図2(a)および図2(b)で示されるように、複数のモジュール11,12,13,14を+X方向において相互に連結することで、検査装置1が製造され得る。このため、例えば、1つまたは2つ以上の検査用モジュール12を含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置を製造することができる。モジュール11,12,13,14の間の連結は、例えば、連結用の部材およびネジ等の締結部材等によって実現され得る。
As shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), the
モジュール11,12,13,14は、例えば、それぞれ上部に検査の対象物(被検査物とも、ワークともいう)W0が載置および搬送される内部空間を有する筒状の部分(筒状部ともいう)を有する。この筒状部は、例えば、+X方向に貫通するように位置している。具体的には、例えば、投入モジュール11は、筒状部11tbを有し、検査用モジュール12は、筒状部12tbを有し、反転モジュール13は、筒状部13tbを有し、排出モジュール14は、筒状部14tbを有する。そして、例えば、複数のモジュール11,12,13,14の間で被検査物W0の搬送が可能な経路(搬送経路ともいう)Rt1を成す1つの筒状の部分(筒状部)1tbを形成するように、複数のモジュール11,12,13,14が相互に連結されている。図1(b)では、+X方向に沿った搬送経路Rt1に沿って2点鎖線の矢印が描かれている。
ここでは、例えば、筒状部1tbは、投入モジュール11の筒状部11tbと、第1検査用モジュール121の筒状部12tbと、第2検査用モジュール122の筒状部12tbと、反転モジュール13の筒状部13tbと、第3検査用モジュール123の筒状部12tbと、第4検査用モジュール124の筒状部12tbと、排出モジュール14の筒状部14tbと、が+X方向においてこの順に連結されている状態で構成されている。検査装置1では、例えば、投入モジュール11から、第1検査用モジュール121、第2検査用モジュール122、反転モジュール13、第3検査用モジュール123、第4検査用モジュール124および排出モジュール14の順に、被検査物W0が搬送されることで、被検査物W0の検査が行われ得る。
Here, for example, the tubular portion 1tb includes a tubular portion 11tb of the
ここで、筒状部11tb,12tb,13tb,14tbのそれぞれにおける+Z方向に位置する上面部および±Y方向に位置する側面部は、例えば、透明であっても透明でなくてもよい。 Here, the upper surface portion located in the + Z direction and the side surface portion located in the ± Y direction in each of the tubular portions 11tb, 12tb, 13tb, and 14tb may or may not be transparent, for example.
<1−1−1.投入モジュールの構成>
投入モジュール11は、検査装置1の外部から被検査物W0が投入されるモジュールである。この投入モジュール11は、例えば、検査装置1に含まれる1つまたは2つ以上の検査用モジュール12を含む2つ以上のモジュールのうちの被検査物W0の搬送経路Rt1における最初に位置している。
<1-1-1. Input module configuration>
The charging
図1(a)および図1(b)の例では、投入モジュール11は、被検査物W0を搬送可能な搬送部Cv1であるベルトコンベアを有し、各検査用モジュール12は、被検査物W0を搬送可能な搬送部Cv2であるベルトコンベアを有し、反転モジュール13は、被検査物W0を搬送可能な搬送部Cv3であるベルトコンベアを有し、排出モジュール14は、被検査物W0を搬送可能な搬送部Cv4であるベルトコンベアを有する。ベルトコンベアは、例えば、モーター等の駆動部の駆動力に応じて回転するプーリーと、ローラーと、プーリーおよびローラーの外周に沿って位置するベルトと、を有する。投入モジュール11の搬送部Cv1は、例えば、投入モジュール11と該投入モジュール11の外部との間で被検査物W0を搬送することができる。検査用モジュール12の搬送部Cv2は、例えば、検査用モジュール12と検査用モジュール12の外部との間で被検査物W0を搬送することができる。反転モジュール13の搬送部Cv3は、例えば、反転モジュール13と反転モジュール13の外部との間で被検査物W0を搬送することができる。排出モジュール14の搬送部Cv4は、例えば、排出モジュール14と該排出モジュール14の外部との間で被検査物W0を搬送することができてもよいし、排出モジュール14内における所定の位置まで被検査物W0を搬送することができてもよい。
In the examples of FIGS. 1A and 1B, the charging
例えば、投入モジュール11は、筒状部11tbのうちの検査用モジュール12とは逆側の−X方向の端部に開閉可能な部分(開閉部ともいう)11ocを有する。開閉部11ocは、例えば、開閉可能な扉またはシャッターを有する。被検査部W0は、例えば、開閉部11ocを介して投入モジュール11の内部に投入される。例えば、作業者Op0が、投入モジュール11に被検査物W0を投入する態様が考えられる。この場合には、例えば、搬送部Cv1としてのベルトコンベアのベルト上に描画もしくは投影された目印に合わせて作業者Op0がベルト上に被検査物W0を載置する態様が考えられる。この場合には、例えば、ベルト上に載置される被検査物W0を検知するセンサによって、投入モジュール11に被検査物W0が投入されたことが検知されてもよい。また、例えば、検査装置1の外部に設けられたロボット等が、投入モジュール11の内部に被検査物W0を投入してもよい。ここで、例えば、搬送部Cv1としてのベルトコンベアのベルト上に載置された被検査物W0は、搬送部Cv1によって、投入モジュール11の+X方向の外部に位置している第1検査用モジュール121の搬送部Cv2(搬送部Cv21ともいう)に受け渡され得る。ここで、第1検査用モジュール121の前のモジュールである投入モジュール11の搬送部Cv1から第1検査用モジュール121の搬送部Cv21に被検査物W0が受け渡される際に、被検査物W0の姿勢および位置にずれが生じる場合がある。
For example, the charging
<1−1−2.検査用モジュールの構成>
検査用モジュール12は、例えば、被検査物W0を対象とした検査用の処理としての撮像を行うモジュールである。ここで、第1検査用モジュール121は、例えば、投入モジュール11の搬送部Cv1から第1検査用モジュール121の搬送部Cv21に受け渡された被検査物W0を対象として、検査用の処理としての撮像を行うことができる。第1検査用モジュール121で撮像された被検査物W0は、搬送部Cv21によって第1検査用モジュール121から該第1検査用モジュール121の+X方向の外部に位置している第2検査用モジュール122の搬送部Cv2(搬送部Cv22ともいう)に受け渡され得る。ここで、例えば、第1検査用モジュール121の搬送部Cv21から第2検査用モジュール122の搬送部Cv22に被検査物W0が受け渡される際に、被検査物W0の姿勢および位置にずれが生じる場合がある。
<1-1-2. Inspection module configuration>
The
第2検査用モジュール122は、例えば、第1検査用モジュール121の搬送部Cv21から第2検査用モジュール122の搬送部Cv22に受け渡された被検査物W0を対象として、検査用の処理としての撮像を行うことができる。第2検査用モジュール122で撮像された被検査物W0は、搬送部Cv22によって第2検査用モジュール122から該第2検査用モジュール122の+X方向の外部に位置している反転モジュール13の搬送部Cv3に受け渡され得る。ここで、例えば、第2検査用モジュール122の搬送部Cv22から反転モジュール13の搬送部Cv3に被検査物W0が受け渡される際に、被検査物W0の姿勢および位置にずれが生じる場合がある。
The
第3検査用モジュール123は、例えば、反転モジュール13の搬送部Cv3から第3検査用モジュール123の搬送部Cv2(搬送部Cv23ともいう)に受け渡された被検査物W0を対象として、検査用の処理としての撮像を行うことができる。第3検査用モジュール123で撮像された被検査物W0は、搬送部Cv23によって第3検査用モジュール123から該第3検査用モジュール123の+X方向の外部に位置している第4検査用モジュール124の搬送部Cv2(搬送部Cv24ともいう)に受け渡され得る。ここで、例えば、反転モジュール13の搬送部Cv3から第3検査用モジュール123の搬送部Cv23に被検査物W0が受け渡される際に、被検査物W0の姿勢および位置にずれが生じる場合がある。また、例えば、第3検査用モジュール123の搬送部Cv23から第4検査用モジュール124の搬送部Cv24に被検査物W0が受け渡される際に、被検査物W0の姿勢および位置にずれが生じる場合がある。
The
第4検査用モジュール124は、例えば、第3検査用モジュール123の搬送部Cv23から第4検査用モジュール124の搬送部Cv24に受け渡された被検査物W0を対象として、検査用の処理としての撮像を行うことができる。第4検査用モジュール124で撮像された被検査物W0は、搬送部Cv24によって第4検査用モジュール124から該第4検査用モジュール124の+X方向の外部に位置している排出モジュール14の搬送部Cv4に受け渡され得る。
The
図3(a)は、検査用モジュール12の主要な物理的な構成の一例を示す図である。検査用モジュール12は、例えば、センサ部12sと、移動機構12tと、検知部12dと、を有する。
FIG. 3A is a diagram showing an example of a main physical configuration of the
センサ部12sは、例えば、被検査物W0を対象とした検査用の処理としての撮像を行うことができる。ここで、検査用モジュール12は、1つのセンサ部12sを有していてもよいし、2つ以上のセンサ部12sを有していてもよい。図3(a)の例では、検査用モジュール12は、第1のセンサ部12s1と第2のセンサ部12s2とを含む2つのセンサ部12sを有する。センサ部12sには、例えば、電荷結合素子(Charge Coupled Device:CCD)等の撮像素子を有する撮像部が適用される。この撮像部は、被検査物W0の少なくとも一部を被写体として撮像を行うことができる。センサ部12sは、例えば、照明を有していてもよい。照明には、例えば、発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)を用いた面状の照明等が適用される。
The
移動機構12tは、例えば、被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を移動させることができる。ここで、検査用モジュール12は、例えば、センサ部12sの数に合わせて、1つの移動機構12tを有していてもよいし、2つ以上の移動機構12tを有していてもよい。図3(a)の例では、検査用モジュール12は、搬送部Cv2を挟むように±Y方向において対向するように配置されている第1の移動機構12t1と第2の移動機構12t2とを含む2つの移動機構12tを有する。第1の移動機構12t1は、被検査物W0に対する第1のセンサ部12s1の相対的な位置を移動させることができる。第2の移動機構12t2は、被検査物W0に対する第2のセンサ部12s2の相対的な位置を移動させることができる。これにより、例えば、被検査物W0が大型化しても、移動機構12tによってセンサ部12sを移動させることで、被検査物W0を多方向から撮像することができる。ここで、被検査物W0は、例えば、縦が550mm程度、横が550mm程度、高さが200mm程度のサイズの態様が考えられる。
The moving
このように、例えば、被検査物W0に対してセンサ部12sを相対的に移動させることができるため、1つのセンサ部12sで被検査物W0の1箇所または2箇所以上について検査用の処理としての撮像を行うことができる。このため、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望を考慮して、1つまたは2つ以上の検査用モジュール12を組み合わせて検査装置1を製造することが可能となる。
In this way, for example, since the
移動機構12tには、例えば、ロボットアーム等が適用される。ロボットアームには、例えば、基準部Pt0と、第1可動部Pt1と、第2可動部Pt2と、第3可動部Pt3と、第4可動部Pt4と、第5可動部Pt5と、第6可動部Pt6と、を有する6軸で回動可能なロボットアーム(6軸ロボットアームともいう)が適用される。この場合には、基準部Pt0は、例えば、検査用モジュール12のベース部Bs12等に固定されている。このベース部Bs12には、例えば、搬送部Cv2のベルトコンベアが固定されていてもよい。基準部Pt0は、例えば、+Z方向に沿った第1軸Pl1を中心として第1可動部Pt1を回動可動に保持する回動部Pr1を有する。第1可動部Pt1は、例えば、水平方向に沿った第2軸Pl2を中心として第2可動部Pt2を回動可動に保持する第2回動部Pr2を有する。第2可動部Pt2は、例えば、水平方向に沿った第3軸Pl3を中心として第3可動部Pt3を回動可動に保持する第3回動部Pr3を有する。第3可動部Pt3は、例えば、第3軸Pl3に垂直である第4軸Pl4を中心として第4可動部Pt4を回動可動に保持する第4回動部Pr4を有する。第4可動部Pt4は、例えば、第4軸Pl4に垂直である第5軸Pl5を中心として第5可動部Pt5を回動可動に保持する第5回動部Pr5を有する。第5可動部Pt5は、例えば、第5軸Pl5に垂直である第6軸Pl6を中心として第6可動部Pt6を回動可動に保持する第6回動部Pr6を有する。そして、第6可動部Pt6にセンサ部12sが固定された状態で位置している。
For example, a robot arm or the like is applied to the moving
検知部12dは、例えば、被検査物W0の姿勢および位置に係る情報を得ることができる。ここで、検査用モジュール12は、1つの検知部12dを有していてもよいし、2つ以上の検知部12dを有していてもよい。図3(a)の例では、検査用モジュール12は、搬送部Cv2の上方向としての+Z方向に位置している1つの検知部12dを有する。検知部12dには、例えば、電荷結合素子(CCD)等を有する撮像素子が適用される。検知部12dは、例えば、照明を有していてもよい。検知部12dで得られた情報は、例えば、移動機構12tによって被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整するために利用される。
The
<1−1−3.反転モジュールの構成>
反転モジュール13は、例えば、被検査物W0の反転を行うモジュールである。被検査物W0の反転には、例えば、被検査物W0の上下の反転が含まれる。ここで、反転モジュール13は、例えば、第2検査用モジュール122の搬送部Cv22から搬送部Cv3に受け渡された被検査物W0を反転させることができる。図3(b)は、反転モジュール13の主要な物理的な構成の一例を示す図である。反転モジュール13は、例えば、保持部13hと、移動機構13tと、検知部13dと、を有する。
<1-1-3. Inversion module configuration>
The
保持部13hは、例えば、被検査物W0を反転させるために被検査物W0を保持することができる。ここで、反転モジュール13は、1つの保持部13hを有していてもよいし、2つ以上の保持部13hを有していてもよい。図3(b)の例では、反転モジュール13は、1つの保持部13hを有する。保持部13hには、例えば、被検査物W0を挟持することが可能な2本以上の指部を有するハンド等が適用される。
The holding
移動機構13tは、例えば、保持部13hによって被検査物W0を保持させた状態で保持部13hを移動させることで被検査物W0を反転させることができる。ここで、反転モジュール13は、例えば、1つの保持部13hに対して1つの移動機構13tを有していればよい。より具体的には、反転モジュール13は、例えば、1つの保持部13hが存在する場合には、1つの移動機構13tを有していればよいし、2つ以上の保持部13hが存在する場合には、2つ以上の移動機構13tを有していればよい。図3(b)の例では、反転モジュール13は、搬送部Cv3の側方に配置されている1つの移動機構13tを有する。反転モジュール13の移動機構13tには、例えば、検査用モジュール12の移動機構12tと同様にロボットアーム等が適用される。図3(b)で示されるように、例えば、移動機構13tに図3(a)の移動機構12tと同様な6軸ロボットアームが適用される場合には、基準部Pt0は、例えば、反転モジュール13のベース部Bs13等に固定されており、第6可動部Pt6に保持部13hが固定された状態で位置している。ベース部Bs13には、例えば、搬送部Cv3のベルトコンベアが固定されていてもよい。
The moving
検知部13dは、例えば、被検査物W0の姿勢および位置に係る情報を得ることができる。ここで、反転モジュール13は、1つの検知部13dを有していてもよいし、2つ以上の検知部13dを有していてもよい。図3(b)の例では、反転モジュール13は、搬送部Cv3の上方向としての+Z方向に位置している1つの検知部13dを有する。検知部13dには、例えば、電荷結合素子(CCD)等を有する撮像素子が適用される。検知部13dは、例えば、照明を有していてもよい。検知部13dで得られた情報は、例えば、移動機構13tによって被検査物W0に対する保持部13hの相対的な位置を調整するために利用される。
The
<1−1−4.排出モジュールの構成>
排出モジュール14は、例えば、検査装置1の内部から検査装置1の外部に被検査物W0が排出されるモジュールである。この排出モジュール14は、例えば、検査装置1に含まれる1つまたは2つ以上の検査用モジュール12を含む2つ以上のモジュールのうちの被検査物W0の搬送経路Rt1における最後に位置している。排出モジュール14は、例えば、筒状部14tbのうちの検査用モジュール12とは逆側の+X方向の端部に開閉可能な部分(開閉部)14ocを有する。開閉部14ocは、例えば、開閉可能な扉またはシャッターを有する。被検査部W0は、例えば、開閉部14ocを介して排出モジュール14の外部に排出される。例えば、作業者Op0が、排出モジュール14の外部に被検査物W0を排出する態様が考えられる。また、例えば、検査装置1の外部に設けられたロボット等が、排出モジュール14の内部から外部に被検査物W0を排出してもよい。
<1-1-4. Discharge module configuration>
The
<1−2.検査装置の機能的な構成>
図4から図10は、第1実施形態に係る検査装置1の機能的な構成の一例を示すブロック図である。図4は、主に投入モジュール11の機能的な構成の一例を示すブロック図である。図5は、主に検査用モジュール12(具体的には、第1検査用モジュール121)の機能的な構成の一例を示すブロック図である。図6は、主に検査用モジュール12(具体的には、第2検査用モジュール122)の機能的な構成の一例を示すブロック図である。図7は、主に反転モジュール13の機能的な構成の一例を示すブロック図である。図8は、主に検査用モジュール12(具体的には、第3検査用モジュール123)の機能的な構成の一例を示すブロック図である。図9は、主に検査用モジュール12(具体的には、第4検査用モジュール124)の機能的な構成の一例を示すブロック図である。図10は、主に排出モジュール14の機能的な構成の一例を示すブロック図である。
<1-2. Functional configuration of inspection equipment>
4 to 10 are block diagrams showing an example of the functional configuration of the
<1−2−1.投入モジュールの機能的な構成>
図4で示されるように、投入モジュール11は、例えば、配線Wr1を介して電気的に接続された、統括制御部C0と、入力部11iと、搬送制御部Cc1と、接続部11hと、を有する。また、投入モジュール11は、例えば、統括制御部C0に接続された出力部11dと、搬送制御部Cc1に接続された搬送部Cv1と、を有する。
<1-2-1. Functional configuration of input module>
As shown in FIG. 4, the
統括制御部C0は、例えば、検査装置1の動作を統括して制御することができる。統括制御部C0は、例えば、演算部、メモリおよび記憶部などを有する。演算部は、例えば、1つ以上の中央演算ユニット(Central Processing Unit:CPU)等で構成される。メモリは、例えば、RAM(Random Access Memory)等の揮発性の記憶媒体で構成される。記憶部は、例えば、ハードディスクドライブ(Hard Disk DriveHDD)またはソリッドステートドライブ(Solid State Drive:SSD)等の不揮発性の記憶媒体で構成される。記憶部は、例えば、プログラムおよび各種情報等を記憶することができる。演算部は、例えば、記憶部に記憶されたプログラムを読み込んで実行することで、各種の機能を実現する。このとき、RAMは、例えば、ワークスペースとして使用され、一時的に生成もしくは取得される情報等が記憶される。統括制御部C0で実現される機能的な構成の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。
The integrated control unit C0 can, for example, control the operation of the
入力部11iは、例えば、作業者Op0の動作に応答して、各種の情報を入力することができる。入力部11iには、例えば、ボタンもしくはタッチパネル等の操作部または音声入力が可能なマイク部等が適用される。作業者Op0の動作には、例えば、操作および発声等の動作が含まれ得る。 The input unit 11i can input various information in response to the operation of the operator Op0, for example. For example, an operation unit such as a button or a touch panel, a microphone unit capable of voice input, or the like is applied to the input unit 11i. The operation of the operator Op0 may include, for example, operations such as operation and vocalization.
出力部11dは、例えば、統括制御部C0からの情報に基づいて、作業者Op0が認識可能な態様で情報を出力することができる。出力部11dには、例えば、情報を可視的に出力する表示部もしくはランプおよび情報を可聴的に出力するスピーカー等が適用される。
The
搬送制御部Cc1は、例えば、搬送部Cv1の動作を制御することができる。搬送制御部Cc1は、例えば、演算部とメモリと記憶部とを含むコンピュータと同様な構成を有する。搬送制御部Cc1は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、搬送制御部Cc1の機能を実現することができる。搬送制御部Cc1は、例えば、ベルトコンベアにおける少なくとも1つのプーリーの回転を制御することで、搬送部Cv1の動作を制御することができる。搬送制御部Cc1で実現される機能的な構成の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。 The transport control unit Cc1 can control the operation of the transport unit Cv1, for example. The transport control unit Cc1 has, for example, a configuration similar to that of a computer including a calculation unit, a memory, and a storage unit. The transfer control unit Cc1 can realize the function of the transfer control unit Cc1 by, for example, executing the program in the storage unit in the calculation unit. The transport control unit Cc1 can control the operation of the transport unit Cv1 by controlling the rotation of at least one pulley on the belt conveyor, for example. At least a part of the functions of the functional configuration realized by the transport control unit Cc1 may be configured by hardware such as a dedicated electronic circuit, for example.
接続部11hは、例えば、検査装置1を構成する複数のモジュールのうちの投入モジュール11以外のモジュールと電気的に接続する部分である。接続部11hは、例えば、複数のモジュールの配線Wr2が別々に電気的に接続されるハブ方式のものであっても、複数のモジュールの配線Wr2が電気的に直列に接続される方式のものであってもよい。図4から図10では、配線Wr2のうち、着目しているモジュールにおける部分が実線で描かれ、着目していないモジュールにおける部分が2点鎖線で描かれている。
The connection portion 11h is, for example, a portion that electrically connects to a module other than the
<1−2−2.検査用モジュールの機能的な構成>
図5、図6、図8および図9でそれぞれ示されるように、第1検査用モジュール121、第2検査用モジュール122、第3検査用モジュール123および第4検査用モジュール124は、それぞれ同一の機能的な構成を有する。
<1-2-2. Functional configuration of inspection module>
As shown in FIGS. 5, 6, 8 and 9, the
検査用モジュール12は、例えば、配線Wr2を介して相互に電気的に接続された、搬送制御部Cc2と、検知制御部Cd2と、センサ制御部Cs2と、移動制御部Ct2と、を有する。また、検査用モジュール12は、例えば、搬送制御部Cc2に接続された搬送部Cv2と、検知制御部Cd2に接続された検知部12dと、センサ制御部Cs2に接続されたセンサ部12sと、移動制御部Ct2に接続された移動機構12tと、を有する。
The
ここで、図5、図6、図8および図9の各例では、検査用モジュール12は、2つのセンサ制御部Cs2と、2つの移動制御部Ct2と、を有する。具体的には、検査用モジュール12は、例えば、1つ目のセンサ制御部Cs2(第1センサ制御部Cs21ともいう)および2つ目のセンサ制御部Cs2(第2センサ制御部Cs22ともいう)を含む2つのセンサ制御部Cs2と、1つ目の移動制御部Ct2(第1移動制御部Ct21ともいう)および2つ目の移動制御部Ct2(第2移動制御部Ct22ともいう)を含む2つの移動制御部Ct2とを有する。この場合には、図3(a)で示されるように、検査用モジュール12は、第1のセンサ部12s1と第2のセンサ部12s2とを含む2つのセンサ部12sを有し、第1の移動機構12t1と第2の移動機構12t2とを含む2つの移動機構12tを有する。ここでは、例えば、第1センサ制御部Cs21に第1のセンサ部12s1が接続され、第2センサ制御部Cs22に第2のセンサ部12s2が接続されている。また、例えば、第1移動制御部Ct21に第1の移動機構12t1が接続され、第2移動制御部Ct22に第2の移動機構12t2が接続されている。ここで、例えば、検査用モジュール12が、1つのセンサ部12sおよび1つの移動機構12tを有する場合には、1つのセンサ制御部Cs2および1つの移動制御部Ct2が存在していればよい。
Here, in each of the examples of FIGS. 5, 6, 8 and 9, the
搬送制御部Cc2、検知制御部Cd2、センサ制御部Cs2および移動制御部Ct2のそれぞれは、例えば、演算部とメモリと記憶部とを含むコンピュータと同様な構成を有する。 Each of the transport control unit Cc2, the detection control unit Cd2, the sensor control unit Cs2, and the movement control unit Ct2 has a configuration similar to that of a computer including, for example, a calculation unit, a memory, and a storage unit.
搬送制御部Cc2は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、搬送制御部Cc2の機能を実現することができる。搬送制御部Cc2は、例えば、ベルトコンベアにおける少なくとも1つのプーリーの回転を制御することで、搬送部Cv2の動作を制御することができる。搬送制御部Cc2で実現される機能的な構成の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。 The transfer control unit Cc2 can realize the function of the transfer control unit Cc2 by, for example, executing the program in the storage unit in the calculation unit. The transport control unit Cc2 can control the operation of the transport unit Cv2 by controlling the rotation of at least one pulley on the belt conveyor, for example. At least a part of the functions of the functional configuration realized by the transport control unit Cc2 may be configured by hardware such as a dedicated electronic circuit.
検知制御部Cd2は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、検知制御部Cd2の機能を実現することができる。検知制御部Cd2は、例えば、検知部12dの動作を制御するとともに、検知部12dで得られる被検査物W0の姿勢および位置に係る情報を取得することができる。検知制御部Cd2は、例えば、被検査物W0の姿勢および位置に係る情報に基づく演算を行ってもよい。この場合には、例えば、検知制御部Cd2は、検知部12dから得られた被検査物W0を捉えた画像(実画像ともいう)と、予め準備された被検出物W0の基準の姿勢および位置に係る画像(マスタ画像ともいう)と、を比較することで、被検出物W0の基準の姿勢および位置からのずれ量を検出することができる。マスタ画像は、例えば、被検査物W0を実際に捉えた画像であってもよいし、コンピュータグラフィックスで描かれた画像であってもよい。実画像とマスタ画像との比較には、例えば、特徴点の検出とマッチングとを行う方法、およびテンプレートマッチング等が利用され得る。被検出物W0の基準の姿勢および位置からのずれ量を検出する演算は、例えば、統括制御部C0等の他の制御部で行われてもよい。検知制御部Cd2で実現される機能的な構成の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。
The detection control unit Cd2 can realize the function of the detection control unit Cd2 by, for example, executing the program in the storage unit in the calculation unit. For example, the detection control unit Cd2 can control the operation of the
センサ制御部Cs2は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、センサ制御部Cs2の機能を実現することができる。センサ制御部Cs2は、例えば、センサ部12sの動作を制御するとともに、センサ部12sによる被検査物W0の撮像によって得られる情報(撮像情報ともいう)を取得することができる。センサ制御部Cs2は、例えば、被検査物W0に係る撮像情報をそのままあるいは各種の情報処理を施した上で配線Wr2および配線Wr1等を介して統括制御部C0に出力することができる。これにより、被検査物W0を対象とした検査用の処理としての撮像の結果としての撮像情報が取得され得る。ここで、例えば、統括制御部C0が出力部11dに撮像情報に基づく画像を表示し、作業者Op0が目視で被検査物W0の外観を検査してもよいし、統括制御部C0が撮像情報に係る画像と被検査物W0の少なくとも一部に係る標準的な画像とを比較することで被検査物W0の外観を検査する演算を行ってもよい。ここで、例えば、センサ制御部Cs2が、被検査物W0の外観を検査する演算を行い、その演算の結果を示す情報を統括制御部C0に送ってもよい。センサ制御部Cs2で実現される機能的な構成の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。
The sensor control unit Cs2 can realize the function of the sensor control unit Cs2 by, for example, executing a program in the storage unit in the calculation unit. For example, the sensor control unit Cs2 can control the operation of the
移動制御部Ct2は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、移動制御部Ct2の機能を実現することができる。移動制御部Ct2は、例えば、移動機構12tの動作を制御することができる。ここでは、移動制御部Ct2は、例えば、検知部12dで得られた情報に基づいて、移動機構12tによって被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整することができる。具体的には、移動制御部Ct2は、例えば、検知部12dを用いて得た被検査物W0の姿勢および位置に係る情報から検知制御部Cd2等で検出されるずれ量に基づいて、移動機構12tによって被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整する態様が考えられる。このような構成が採用されれば、例えば、他のモジュールから検査用モジュール12に被検査物W0が搬入される際に被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整することができる。より具体的には、例えば、隣のモジュールのベルトコンベア上から検査用モジュール12のベルトコンベア上に被検査物W0が乗り移る際に、被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整することができる。また、例えば、被検査物W0の姿勢および位置を調整するのに比較して、移動機構12tによって被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整する方が、容易かつ高速で実現され得る。これにより、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置1を容易に製造することが可能となる。移動制御部Ct2で実現される機能的な構成の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。
The movement control unit Ct2 can realize the function of the movement control unit Ct2 by, for example, executing the program in the storage unit in the calculation unit. The movement control unit Ct2 can control the operation of the
また、例えば、移動制御部Ct2は、被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を移動させることで、センサ部12sによって被検査物W0の複数箇所について検査用の処理としての撮像を行うように制御してもよい。
Further, for example, the movement control unit Ct2 moves the relative position of the
<1−2−3.反転モジュールの機能的な構成>
図7で示されるように、反転モジュール13は、例えば、配線Wr2を介して相互に電気的に接続された、搬送制御部Cc3と、検知制御部Cd3と、反転制御部Cr3と、を有する。また、反転モジュール13は、例えば、検知制御部Cd3に接続された検知部13dと、搬送制御部Cc3に接続された搬送部Cv3と、反転制御部Cr3に接続された保持部13hおよび移動機構13tと、を有する。ここで、図7の例では、反転モジュール13は、1つの反転制御部Cr3を有する。この場合には、図3(b)で示されるように、反転モジュール13は、1つの保持部13hおよび1つの移動機構13tを有する。ここで、例えば、反転モジュール13が、2つの保持部13hおよび2つの移動機構13tを有し、2つの反転制御部Cr3が存在していてもよい。
<1-2-3. Functional configuration of inversion module>
As shown in FIG. 7, the
搬送制御部Cc3、検知制御部Cd3および反転制御部Cr3のそれぞれは、例えば、演算部とメモリと記憶部とを含むコンピュータと同様な構成を有する。 Each of the transport control unit Cc3, the detection control unit Cd3, and the inversion control unit Cr3 has a configuration similar to that of a computer including, for example, a calculation unit, a memory, and a storage unit.
搬送制御部Cc3は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、搬送制御部Cc3の機能を実現することができる。搬送制御部Cc3は、例えば、ベルトコンベアにおける少なくとも1つのプーリーの回転を制御することで、搬送部Cv3の動作を制御することができる。搬送制御部Cc3で実現される機能的な構成の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。 The transfer control unit Cc3 can realize the function of the transfer control unit Cc3 by, for example, executing the program in the storage unit in the calculation unit. The transport control unit Cc3 can control the operation of the transport unit Cv3 by controlling the rotation of at least one pulley on the belt conveyor, for example. At least a part of the functions of the functional configuration realized by the transport control unit Cc3 may be configured by hardware such as a dedicated electronic circuit, for example.
検知制御部Cd3は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、検知制御部Cd3の機能を実現することができる。検知制御部Cd3は、例えば、検知部13dの動作を制御するとともに、検知部13dで得られる被検査物W0の姿勢および位置に係る情報を取得することができる。検知制御部Cd3は、例えば、被検査物W0の姿勢および位置に係る情報に基づく演算を行ってもよい。この場合には、例えば、検知制御部Cd3は、検知部13dから得られた被検査物W0を捉えた画像(実画像)と、予め準備された被検出物W0の基準の姿勢および位置に係る画像(マスタ画像)と、を比較することで、被検出物W0の基準の姿勢および位置からのずれ量を検出することができる。実画像とマスタ画像との比較には、例えば、特徴点の検出とマッチングとを行う方法、およびテンプレートマッチング等が利用され得る。被検出物W0の基準の姿勢および位置からのずれ量を検出する演算は、例えば、統括制御部C0等の他の制御部で行われてもよい。検知制御部Cd3で実現される機能的な構成の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。
The detection control unit Cd3 can realize the function of the detection control unit Cd3 by, for example, executing the program in the storage unit in the calculation unit. The detection control unit Cd3 can, for example, control the operation of the
反転制御部Cr3は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、反転制御部Cr3の機能を実現することができる。反転制御部Cr3は、例えば、保持部13hおよび移動機構13tの動作を制御することができる。ここでは、反転制御部Cr3は、例えば、検知部12dで得た情報に基づいて、移動機構13tによって被検査物W0に対する保持部13hの相対的な位置を調整することができる。具体的には、反転制御部Cr3は、例えば、検知部13dを用いて得た被検査物W0の姿勢および位置に係る情報から検知制御部Cd3で検出されるずれ量に基づいて、移動機構13tによって被検査物W0に対する保持部13hの相対的な位置を調整する態様が考えられる。このような構成が採用されれば、例えば、他のモジュールから反転モジュール13に被検査物W0が搬入される際に被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対する保持部13hの相対的な位置を調整することができる。より具体的には、例えば、隣のモジュールのベルトコンベア上から反転モジュール13のベルトコンベア上に被検査物W0が乗り移る際に、被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対する保持部13hの相対的な位置を調整することができる。これにより、例えば、被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれていても、保持部13hで被検査物W0を保持して反転させることができる。反転制御部Cr3で実現される機能的な構成の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。
The inversion control unit Cr3 can realize the function of the inversion control unit Cr3 by, for example, executing the program in the storage unit in the calculation unit. The inversion control unit Cr3 can control the operation of the holding
また、例えば、検査用モジュール12と、反転モジュール13と、を含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置1を製造することができる。したがって、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置1を容易に製造することが可能となる。
Further, for example, the
<1−2−4.排出モジュールの機能的な構成>
図10で示されるように、排出モジュール14は、例えば、配線Wr2に電気的に接続された搬送制御部Cc4と、この搬送制御部Cc4に接続された搬送部Cv4と、を有する。搬送制御部Cc4は、例えば、演算部とメモリと記憶部とを含むコンピュータと同様な構成を有する。搬送制御部Cc4は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、搬送制御部Cc4の機能を実現することができる。搬送制御部Cc4は、例えば、ベルトコンベアにおける少なくとも1つのプーリーの回転を制御することで、搬送部Cv4の動作を制御することができる。搬送制御部Cc4で実現される機能的な構成の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。
<1-2-4. Functional configuration of discharge module>
As shown in FIG. 10, the
<1−3.検査装置の製造のバリエーション>
上述した第1実施形態の第1例に係る検査装置1は、1つの投入モジュール11と、4つの検査用モジュール12と、1つの反転モジュール13と、1つの排出モジュールと、を組み合わせることで製造可能であったが、別々に作製されるモジュールの組み合わせについては、種々の態様が考えられる。換言すれば、例えば、検査装置1が、第1モジュールと第2モジュールとを含む相互に連結された2つ以上のモジュールを備えていればよい。
<1-3. Variations in manufacturing inspection equipment>
The
ここで、例えば、第1モジュールが1つ目の検査用モジュール12(第1検査用モジュール121)であり、第2モジュールが2つ目の検査用モジュール12(第2検査用モジュール122)である場合が考えられる。この場合には、第1検査用モジュール121は、例えば、第1搬送部としての搬送部Cv21と、第1センサ部としてのセンサ部12sと、第1移動機構としての移動機構12tと、第1検知部としての検知部12dと、第1制御部としての移動制御部Ct2と、を有する。また、第2検査用モジュール122は、例えば、第2搬送部としての搬送部Cv22と、第2センサ部としてのセンサ部12sと、第2移動機構としての移動機構12tと、第2検知部としての検知部12dと、第2制御部としての移動制御部Ct2と、を有する。
Here, for example, the first module is the first inspection module 12 (first inspection module 121), and the second module is the second inspection module 12 (second inspection module 122). There are cases. In this case, the
このような構成が採用されれば、例えば、被検査物W0を対象とした検査用の処理をそれぞれ行うための第1モジュールおよび第2モジュールを含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置1を製造することができる。また、例えば、他のモジュールから第1モジュールとしての第1検査用モジュール121または第2モジュールとしての第2検査用モジュール122に被検査物W0が搬入される際に被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整することができる。したがって、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置1を容易に製造することができる。また、例えば、モジュールのベルトコンベア上から次のモジュールのベルトコンベア上に被検査物W0が乗り移る際に、被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整することができる。
If such a configuration is adopted, for example, the
また、ここで、例えば、第1モジュールが検査用モジュール12であり、第2モジュールが反転モジュール13である場合も考えられる。この場合には、検査用モジュール12は、例えば、第1搬送部としての搬送部Cv21と、センサ部12sと、第1移動機構としての移動機構12tと、第1検知部としての検知部12dと、第1制御部としての移動制御部Ct2と、を有する。また、反転モジュール13は、例えば、第2搬送部としての搬送部Cv3と、保持部13hと、第2移動機構としての移動機構13tと、第2検知部としての検知部13dと、第2制御部としての反転制御部Cr3と、を有する。
Further, here, for example, it is conceivable that the first module is the
このような構成が採用されれば、例えば、被検査物W0を対象とした検査用の処理を行うための第1モジュールと、被検査物W0を反転させる第2モジュールと、を含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置1を製造することができる。また、例えば、他のモジュールから第1モジュールとしての検査用モジュール12に被検査物が搬入される際に被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整することができる。また、例えば、他のモジュールから第2モジュールとしての反転モジュール13に被検査物W0が搬入される際に被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対する保持部13hの相対的な位置を調整することができる。したがって、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置1を容易に製造することができる。また、例えば、モジュールのベルトコンベア上から次のモジュールのベルトコンベア上に被検査物W0が乗り移る際に、被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対するセンサ部12sおよび保持部13hの相対的な位置を調整することができる。
If such a configuration is adopted, for example, two or more modules including a first module for performing an inspection process for the inspected object W0 and a second module for inverting the inspected object W0. The
図11(a)は、複数のモジュールの組み合わせで構成される第2例に係る検査装置1Aの概略的な構成を示す図である。図11(b)は、複数のモジュールの組み合わせで構成される第3例に係る検査装置1Bの概略的な構成を示す図である。第2例に係る検査装置1Aおよび第3例に係る検査装置1Bは、それぞれ反転モジュール13を含む検査装置の例である。
FIG. 11A is a diagram showing a schematic configuration of the inspection device 1A according to the second example, which is composed of a combination of a plurality of modules. FIG. 11B is a diagram showing a schematic configuration of the inspection device 1B according to the third example, which is composed of a combination of a plurality of modules. The inspection device 1A according to the second example and the inspection device 1B according to the third example are examples of inspection devices including the reversing
第2例に係る検査装置1Aは、例えば、図11(a)で示されるように、投入モジュール11と、2つの検査用モジュール12と、反転モジュール13と、排出モジュール14と、を備えている。より具体的には、例えば、投入モジュール11と、1つ目の検査用モジュール12(第1検査用モジュール121)と、反転モジュール13と、2つ目の検査用モジュール12(第2検査用モジュール122)と、排出モジュール14と、が+X方向においてこの記載の順に連結されている状態で位置している。第2例に係る検査装置1Aでは、例えば、投入モジュール11から、第1検査用モジュール121、反転モジュール13、第2検査用モジュール122および排出モジュール14の順に、被検査物W0が搬送されることで、被検査物W0の検査が行われ得る。このとき、例えば、第1検査用モジュール121で被検査物W0の一方の面(例えば、表(おもて)面)を対象として検査用の処理である撮像を行い、反転モジュール13で被検査物W0を上下反転させた後に、第2検査用モジュール122で被検出物W0の他方の面(例えば、裏面)を対象として検査用の処理である撮像を行うことができる。このような構成を有する第2例に係る検査装置1Aは、例えば、別々に作製された、投入モジュール11と、2つの検査用モジュール12と、反転モジュール13と、排出モジュール14と、を+X方向において相互に連結することで製造され得る。
The inspection device 1A according to the second example includes, for example, an
第3例に係る検査装置1Bは、例えば、図11(b)で示されるように、投入モジュール11と、1つの検査用モジュール12と、反転モジュール13と、を備えている。より具体的には、例えば、投入モジュール11と、検査用モジュール12(第1検査用モジュール121)と、反転モジュール13と、が+X方向においてこの記載の順に連結されている状態で位置している。第3例に係る検査装置1Bでは、例えば、投入モジュール11から、第1検査用モジュール121、反転モジュール13、第1検査用モジュール121および投入モジュール11の順に、被検査物W0が搬送されることで、被検査物W0の検査が行われ得る。このとき、例えば、第1検査用モジュール121で被検査物W0の一方の面(例えば、表(おもて)面)を対象として検査用の処理である撮像を行い、反転モジュール13で被検査物W0の上下を反転させた後に、第1検査用モジュール121で被検出物W0の他方の面(例えば、裏面)を対象として検査用の処理である撮像を行うことができる。そして、投入モジュール11は、例えば、排出モジュール14としての役割を果たすことができる。このような構成を有する第3例に係る検査装置1Bは、例えば、別々に作製された、投入モジュール11と、1つの検査用モジュール12と、反転モジュール13と、を+X方向において相互に連結することで製造され得る。
The inspection device 1B according to the third example includes, for example, a
ここで、例えば、上記第1例に係る検査装置1、上記第2例に係る検査装置1A、上記第3例に係る検査装置1Bのそれぞれにおいて、投入モジュール11が省略されてもよいし、排出モジュール14が省略されてもよい。この場合にも、例えば、被検査物W0を対象とした検査用の処理を行うための検査用モジュール12と、被検査物を反転させる反転モジュール13と、を含む別々に作製された2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置1,1A,1Bを製造することができる。これにより、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置1,1A,1Bを容易に製造することができる。
Here, for example, in each of the
図12(a)は、複数のモジュールの組み合わせで構成される第4例に係る検査装置1Cの概略的な構成を示す図である。図12(b)は、複数のモジュールの組み合わせで構成される第5例に係る検査装置1Dの概略的な構成を示す図である。図12(c)は、1つの検査用モジュール12によって構成される第6例に係る検査装置1Eの概略的な構成を示す図である。第4例に係る検査装置1C、第5例に係る検査装置1Dおよび第6例に係る検査装置1Eは、それぞれ反転モジュール13を含まない検査装置の例である。
FIG. 12A is a diagram showing a schematic configuration of the inspection device 1C according to the fourth example, which is composed of a combination of a plurality of modules. FIG. 12B is a diagram showing a schematic configuration of the
第4例に係る検査装置1Cは、例えば、図12(a)で示されるように、投入モジュール11と、2つの検査用モジュール12と、排出モジュール14と、を備えている。より具体的には、例えば、投入モジュール11と、1つ目の検査用モジュール12(第1検査用モジュール121)と、2つ目の検査用モジュール12(第2検査用モジュール122)と、排出モジュール14と、が+X方向においてこの記載の順に連結されている状態で位置している。第4例に係る検査装置1Cでは、例えば、投入モジュール11から、第1検査用モジュール121、第2検査用モジュール122および排出モジュール14の順に、被検査物W0が搬送されることで、被検査物W0の検査が行われ得る。このとき、例えば、第1検査用モジュール121および第2検査用モジュール122によって被検査物W0の一方の面(例えば、表(おもて)面または裏面)を対象として検査用の処理である撮像を行うことができる。このような構成を有する第4例に係る検査装置1Cは、例えば、別々に作製された、投入モジュール11と、2つの検査用モジュール12と、排出モジュール14と、を+X方向において相互に連結することで製造され得る。
The inspection device 1C according to the fourth example includes, for example, an
第5例に係る検査装置1Dは、例えば、図12(b)で示されるように、投入モジュール11と、1つの検査用モジュール12と、排出モジュール14と、を備えている。より具体的には、例えば、投入モジュール11と、検査用モジュール12(第1検査用モジュール121)と、排出モジュール14と、が+X方向においてこの記載の順に連結されている状態で位置している。第5例に係る検査装置1Dでは、例えば、投入モジュール11から、第1検査用モジュール121および排出モジュール14の順に、被検査物W0が搬送されることで、被検査物W0の検査が行われ得る。このとき、例えば、第1検査用モジュール121によって被検査物W0の一方の面(例えば、表(おもて)面または裏面)を対象として検査用の処理である撮像を行うことができる。このような構成を有する第5例に係る検査装置1Dは、例えば、別々に作製された、投入モジュール11と、1つの検査用モジュール12と、排出モジュール14と、を+X方向において相互に連結することで製造され得る。
The
ここで、例えば、上記第4例に係る検査装置1Cおよび上記第5例に係る検査装置1Dのそれぞれにおいて、投入モジュール11が省略されてもよいし、排出モジュール14が省略されてもよい。この場合にも、例えば、被検査物W0を対象とした検査用の処理を行うための1つまたは2つ以上の検査用モジュール12を含む別々に作製された2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置1C,1Dを製造することができる。これにより、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置1C,1Dを容易に製造することができる。
Here, for example, in each of the inspection device 1C according to the fourth example and the
第6例に係る検査装置1Eは、例えば、図12(c)で示されるように、1つの検査用モジュール12、を備えている。より具体的には、第6例に係る検査装置1Eは、例えば、第5例に係る検査装置1Eから投入モジュール11および排出モジュール14が省略された構成を有する。第6例に係る検査装置1Eでは、例えば、1つの検査用モジュール12(第1検査用モジュール121)によって被検査物W0の一方の面(例えば、表(おもて)面または裏面)を対象として検査用の処理である撮像を行うことができる。
The
<1−4.検査装置における動作の一例>
図13は、第1実施形態の第1例に係る検査装置1における1つの被検査物W0を対象とした動作に関するタイミングチャートを示す図である。例えば、図13で示されるように、検査装置1における1つの被検査物W0を対象とした動作が行われる期間は、時間的に連続する期間Pd11、期間Pd12(期間Pd121)、期間Pd12(期間Pd122)、期間Pd13、期間Pd12(期間pd123)、期間Pd12(期間Pd124)および期間Pd14によって構成される。期間Pd11は、被検査物W0が投入モジュール11に位置している期間である。期間Pd12(期間Pd121)は、被検査物W0が1つ目の検査用モジュール12(第1検査用モジュール121)に位置している期間である。期間Pd12(期間Pd122)は、被検査物W0が2つ目の検査用モジュール12(第2検査用モジュール122)に位置している期間である。期間Pd13は、被検査物W0が反転モジュール13に位置している期間である。期間Pd12(期間Pd123)は、被検査物W0が3つ目の検査用モジュール12(第3検査用モジュール123)に位置している期間である。期間Pd12(期間Pd124)は、被検査物W0が4つ目の検査用モジュール12(第4検査用モジュール124)に位置している期間である。期間Pd14は、被検査物W0が排出モジュール14に位置している期間である。
<1-4. An example of operation in an inspection device>
FIG. 13 is a diagram showing a timing chart relating to an operation of one inspected object W0 in the
図13の例では、例えば、期間Pd11は、投入モジュール11に被検査物W0が投入される動作が行われる期間(投入期間ともいう)Pinと、投入モジュール11と1つ目の検査用モジュール12(第1検査用モジュール121)との間で被検査物W0を搬送する期間(搬送期間ともいう)Ptrの前半と、で構成される。期間Pd12(Pd121)は、投入モジュール11と1つ目の検査用モジュール12(第1検査用モジュール121)との間で被検査物W0を搬送する搬送期間Ptrの後半と、検知部12dによる被検査物W0の位置および姿勢に係る情報の取得および該情報に基づくセンサ部12sの位置の調整を行う期間(センサ部調整期間ともいう)Pasと、センサ部12sによる被検査物W0を対象とした検査用の処理としての1回以上の撮像を行う期間(撮像期間ともいう)Pcaと、1つ目の検査用モジュール12(第1検査用モジュール121)と2つ目の検査用モジュール12(第2検査用モジュール122)との間で被検査物W0を搬送する期間(搬送期間)Ptrの前半と、で構成される。期間Pd12(Pd122)は、1つ目の検査用モジュール12(第1検査用モジュール121)と2つ目の検査用モジュール12(第2検査用モジュール122)との間で被検査物W0を搬送する搬送期間Ptrの後半と、センサ部調整期間Pasと、撮像期間Pcaと、2つ目の検査用モジュール12(第2検査用モジュール122)と反転モジュール13との間で被検査物W0を搬送する期間(搬送期間)Ptrの前半と、で構成される。期間Pd13は、2つ目の検査用モジュール12(第2検査用モジュール122)と反転モジュール13との間で被検査物W0を搬送する搬送期間Ptrの後半と、検知部13dによる被検査物W0の位置および姿勢に係る情報の取得および該情報に基づく保持部13hの位置の調整を行う期間(保持部調整期間ともいう)Pahと、保持部13hおよび移動機構13tとによって被検査物W0を反転させる期間(反転期間ともいう)Preと、反転モジュール13と3つ目の検査用モジュール12(第3検査用モジュール123)との間で被検査物W0を搬送する期間(搬送期間)Ptrの前半と、で構成される。期間Pd12(Pd123)は、反転モジュール13と3つ目の検査用モジュール12(第3検査用モジュール123)との間で被検査物W0を搬送する搬送期間Ptrの後半と、センサ部調整期間Pasと、撮像期間Pcaと、3つ目の検査用モジュール12(第3検査用モジュール123)と4つ目の検査用モジュール12(第4検査用モジュール124)との間で被検査物W0を搬送する期間(搬送期間)Ptrの前半と、で構成される。期間Pd12(Pd124)は、3つ目の検査用モジュール12(第3検査用モジュール123)と4つ目の検査用モジュール12(第4検査用モジュール124)との間で被検査物W0を搬送する搬送期間Ptrの後半と、センサ部調整期間Pasと、撮像期間Pcaと、4つ目の検査用モジュール12(第4検査用モジュール124)と排出モジュール14との間で被検査物W0を搬送する期間(搬送期間)Ptrの前半と、で構成される。期間Pd14は、4つ目の検査用モジュール12(第4検査用モジュール124)と排出モジュール14との間で被検査物W0を搬送する搬送期間Ptrの後半と、排出モジュール14から被検査物W0が排出される動作が行われる期間(排出期間ともいう)Pdiと、で構成される。
In the example of FIG. 13, for example, the
ここで、例えば、投入期間Pinを6秒間とし、搬送期間Ptrを4秒間とし、センサ部調整期間Pasおよび保持部調整期間Pahを1秒間とし、撮像期間Pcaを5秒間とし、反転期間Preを5秒間とし、排出期間Pdiを6秒間とする。ここでは、4つの撮像期間Pcaのそれぞれにおいて1秒間を要する被検査物W0の1箇所に対する検査用の処理としての撮像を5回行うものとする。この場合には、図13で示す検査装置1における1つの被検査物W0を対象とした動作が行われる期間は、66秒間となる。
Here, for example, the input period Pin is 6 seconds, the transport period Ptr is 4 seconds, the sensor unit adjustment period Pas and the holding unit adjustment period Pah are 1 second, the imaging period Pca is 5 seconds, and the inversion period Pre is 5. The second is set, and the discharge period Pdi is set to 6 seconds. Here, it is assumed that imaging is performed five times as an inspection process for one location of the object to be inspected W0, which requires one second in each of the four imaging periods Pca. In this case, the period during which the operation for one inspected object W0 in the
ここで、例えば、仮に、図12(b)で示した第5例に係る検査装置1Dにおける1つの被検査物W0を対象とした動作が行われる期間が、6秒間の投入期間Pinと、4秒間の搬送期間Ptrと、1秒間のセンサ部調整期間Pasと、1秒間を要する被検査物W0の1箇所に対する検査用の処理としての撮像を20回行う20秒間の撮像期間Pcaと、4秒間の搬送期間Ptrと、6秒間の排出期間Pdiと、で構成されるものとする。この場合には、1つの被検査物W0を対象とした動作が行われる期間は、41秒間となる。換言すれば、41秒間に1つのペースで被検査物W0の検査を行うことが可能となる。
Here, for example, the period during which the operation for one object W0 to be inspected in the
ところで、ここで、例えば、第1実施形態の第1例に係る検査装置1を用いて、複数の被検査物W0を連続的に検査する場合を想定する。図14は、第1実施形態の第1例に係る検査装置1における複数の被検査物W0を対象とした動作に関するタイミングチャートである。ここでは、例えば、統括制御部C0によって、投入モジュール11および投入モジュール11と排出モジュール14との間に位置している複数のモジュールのそれぞれに位置している被検査物W0を、搬送経路Rt1における下流側のモジュールに同時期に搬送するように制御するものとする。また、ここでは、連続的な検査の対象となる複数の被検査物W0が、1つ目の被検査物W0(第1被検査物W01ともいう)、2つ目の被検査物W0(第2被検査物W02ともいう)、3つ目の被検査物W0(第3被検査物W03ともいう)、4つ目の被検査物W0(第4被検査物W04ともいう)および5つ目の被検査物W0(第5被検査物W05ともいう)を含むものとする。図14では、第1被検査物W01に係る動作のタイミングが第1の斜線のハッチングが付された長方形で示され、第2被検査物W02に係る動作のタイミングが第2の斜線のハッチングが付された長方形で示され、第3被検査物W03に係る動作のタイミングが砂地のハッチングが付された長方形で示され、第4被検査物W04に係る動作のタイミングが黒塗りの長方形で示され、第5被検査物W05に係る動作のタイミングが白抜きの長方形で示されている。検査装置1における各被検査物W0を対象とした動作が行われる期間は、図13で示されたように、1つの投入期間Pin(6秒間)と、6つの搬送期間Ptr(各4秒間)と、4つのセンサ部調整期間Pas(各1秒間)と、1つの保持部調整期間Pah(1秒間)と、4つの撮像期間Pca(各5秒間)と、1つの反転期間Pre(5秒間)と、1つの排出期間Pdi(6秒間)と、で構成される。
By the way, here, for example, it is assumed that a plurality of objects to be inspected W0 are continuously inspected by using the
この場合には、図14で示されるように、10秒間に1つのペースで、検査装置1から検査用の処理としての撮像が行われた被検査物W0が排出される。換言すれば、10秒間に1つのペースで、被検査物W0に対する検査用の処理として撮像が完了し得る。ここでは、被検査物W0に対する検査用の処理としての撮像を複数の検査用モジュール12で分担して行うことで、1つのモジュールに被検査物W0がとどまっている時間が短縮される。その結果、被検査物W0に対する検査用の処理としての撮像が完了するペースが短縮し得る。そして、例えば、複数の被検査物W0について検査を行う場合を想定すると、検査装置を構成する検査用モジュール12の数が増加するにつれて、被検査物W0に対する検査用の処理としての撮像が完了するペースが短縮し得る。
In this case, as shown in FIG. 14, the object to be inspected W0, which has been imaged as a process for inspection, is discharged from the
このため、例えば、検査装置を設置するスペースおよび予算が十分にある場合には、検査装置を構成する検査用モジュール12の数を増加させることで、被検査物W0に対する検査用の処理としての撮像が完了するペースを短縮することが可能となる。換言すれば、例えば、連続して検査を行う複数の被検査物W0の数の増加に伴い、2つ以上の検査用モジュール12において被検査物W0における複数箇所についての検査用の処理を分担して実施することで、単位時間あたりに検査装置から排出される検査用の処理が完了した被検査物W0の数を増加させることができる。すなわち、検査装置におけるタクトが向上し得る。一方、検査装置を設置するスペースまたは予算が十分でない場合には、検査装置を構成する検査用モジュール12の数を許容可能な範囲で増加させることが考えられる。これにより、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置1を容易に製造することが可能となる。そして、ここでは、例えば、全てのモジュール間において被検査物W0を下流側の隣のモジュールに一斉に搬送することで、単位時間あたりに検査装置1から搬出される検査用の処理が完了した被検査物W0の数を増加させることができる。
Therefore, for example, when the space and budget for installing the inspection device are sufficient, the number of
<1−5.第1実施形態のまとめ>
以上のように、第1実施形態に係る検査用モジュール12によれば、例えば、被検査物W0に対してセンサ部12sを相対的に移動させることができるため、1つのセンサ部12sとしての撮像部で被検査物の1箇所または2箇所以上について検査用の処理としての撮像を行うことができる。これにより、例えば、1つまたは2つ以上の検査用モジュール12を含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置1,1A,1B,1C,1Dを製造することができる。このため、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に応えて、被検査物W0に対して処理を行う全ての構成が組み込まれた一体の装置の仕様を一から設計し直さなくてもよい。また、例えば、他のモジュールから検査用モジュール12に被検査物W0が搬入される際に被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対するセンサ部12sとしての撮像部の相対的な位置を調整することができる。したがって、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置1,1A,1B,1C,1Dを容易に製造することができる。
<1-5. Summary of the first embodiment>
As described above, according to the
また、第1実施形態に係る反転モジュール13によれば、例えば、被検査物W0を対象とした検査用の処理を行うための検査用モジュール12と、被検査物W0を反転させる反転モジュール13と、を含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置1,1A,1Bを製造することができる。このため、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に応えて、被検査物W0に対して処理を行う全ての構成が組み込まれた一体の装置の仕様を一から設計し直さなくてもよい。また、例えば、他のモジュールから反転モジュール13に被検査物W0が搬入される際に被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対する保持部13hの相対的な位置を調整することができる。これにより、例えば、被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれていても、保持部13hで被検査物W0を保持して反転させることができる。したがって、例えば、被検査物の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置1,1A,1Bを容易に製造することができる。
Further, according to the reversing
また、第1実施形態に係る検査装置1,1A,1Bによれば、例えば、被検査物W0を対象とした検査用の処理を行うための第1モジュールとしての検査用モジュール12と、被検査物W0を反転させる第2モジュールとしての反転モジュール13と、を含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置1,1A,1Bを製造することができる。また、例えば、他のモジュールから第1モジュールとしての検査用モジュール12に被検査物が搬入される際に被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整することができる。また、例えば、他のモジュールから第2モジュールとしての反転モジュール13に被検査物W0が搬入される際に被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対する保持部13hの相対的な位置を調整することができる。したがって、例えば、被検査物の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置1、1A,1Bを容易に製造することができる。
Further, according to the
また、第1実施形態に係る検査装置1,1A,1Cによれば、例えば、被検査物W0を対象とした検査用の処理をそれぞれ行うための第1モジュールおよび第2モジュールを含む2つ以上のモジュールを適宜組み合わせて検査装置1,1A,1Cを製造することができる。また、例えば、他のモジュールから第1モジュールとしての第1検査用モジュール121または第2モジュールとしての第2検査用モジュール122に被検査物W0が搬入される際に被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方がずれても、そのずれに応じて被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整することができる。したがって、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置1を容易に製造することができる。また、例えば、連続して検査を行う複数の被検査物W0の数の増加に伴い、2つ以上の検査用モジュール12において被検査物W0における複数箇所についての検査用の処理を分担して実施することで、単位時間あたりに検査装置1,1A,1Cから排出される検査用の処理が完了した被検査物W0の数を増加させることができる。
Further, according to the
<2.変形例>
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
<2. Modification example>
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and improvements can be made without departing from the gist of the present invention.
上記第1実施形態において、センサ部12sは、例えば、被検査物W0を対象とした撮像および測定のうちの少なくとも一方の検査用の処理を行ってもよい。被検査物W0を対象とした測定には、例えば、被検査物W0の孔部における気体の流量もしくは圧力の測定等が考えられる。この場合には、センサ部12sは、例えば、気体の供給量を調整するバルブ、孔部を流れる気体を計測する流量計、および孔部を流れる気体の圧力を計測する圧力計等を適宜組み合わせることで実現され得る。
In the first embodiment, the
上記第1実施形態において、搬送部Cv1,Cv2,Cv3,Cv4には、例えば、ベルトコンベアの代わりに被検査物W0を搬送可能なロボット等の異なる構成が適用されてもよい。 In the first embodiment, different configurations such as a robot capable of transporting the inspected object W0 instead of the belt conveyor may be applied to the transport units Cv1, Cv2, Cv3, and Cv4.
上記第1実施形態において、例えば、相互に連結される複数のモジュールに被検査物W0の搬送方向を変更する搬送用のモジュール(搬送モジュールともいう)15が含まれていてもよい。搬送モジュール15には、例えば、被検査物W0の搬送方向を曲げるベルトコンベア(カーブベルトコンベアともいう)および被検査物W0の搬送方向を適宜変更可能な搬送用のロボット等が適用され得る。
In the first embodiment, for example, a plurality of modules connected to each other may include a transport module (also referred to as a transport module) 15 for changing the transport direction of the object to be inspected W0. For example, a belt conveyor (also referred to as a curved belt conveyor) that bends the transport direction of the object to be inspected W0, a transport robot that can appropriately change the transport direction of the object to be inspected W0, and the like can be applied to the
図15は、カーブベルトコンベアを有する搬送モジュール15を含む複数のモジュールの組み合わせで構成される検査装置1Fの一例の概略的な構成を示す図である。図16は、カーブベルトコンベアを有する搬送モジュール15を含む複数のモジュールの組み合わせで構成される検査装置1Gの一例の概略的な構成を示す図である。検査装置1Fおよび検査装置1Gのそれぞれは、上述した第1例に係る検査装置1に対して、第2検査用モジュール122と反転モジュール13との間に配された第1の搬送モジュール151と、反転モジュール13と第3検査用モジュール123との間に配された第2の搬送モジュール152と、が追加された構成を有する。このような構成が採用されれば、例えば、第2検査用モジュール122から第1の搬送モジュール151のカーブベルトコンベアを介して反転モジュール13に被検査物W0が搬送される際に、被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方が大きくずれやすい。これに対して、例えば、反転モジュール13は、被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方のずれに応じて被検査物W0に対する保持部13hの相対的な位置を調整することができる。また、例えば、反転モジュール13から第2の搬送モジュール152のカーブベルトコンベアを介して第3検査用モジュール123に被検査物W0が搬送される際に、被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方が大きくずれやすい。これに対して、例えば、検査用モジュール12は、被検査物W0の姿勢および位置の少なくとも一方のずれに応じて被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整することができる。したがって、例えば、被検査物W0の形状およびサイズ、装置を設置するためのスペースならびに予算などのユーザーの要望に柔軟に応えた検査装置1F,1Gを容易に製造することが可能となる。
FIG. 15 is a diagram showing a schematic configuration of an example of an inspection device 1F composed of a combination of a plurality of modules including a
図17(a)は、搬送ロボットを有する搬送モジュール15を含む複数のモジュールの組み合わせで構成される検査装置1Hの一例の概略的な構成を示す図である。図17(a)の例では、検査装置1Hは、投入モジュール11と、第1検査用モジュール121と、第2検査用モジュール122と、第3検査用モジュール123と、の間に、搬送ロボットを有する搬送モジュール15が位置している。この場合には、例えば、投入モジュール11に投入される被検査物W0の形状およびサイズ等に応じて、搬送モジュール15によって、第1検査用モジュール121、第2検査用モジュール122および第3検査用モジュール123のうちの何れか1つの検査用モジュール12に、被検査物W0を搬送することができる。
FIG. 17A is a diagram showing a schematic configuration of an example of an inspection device 1H composed of a combination of a plurality of modules including a
図17(b)は、搬送ロボットを有する搬送モジュール15を含む複数のモジュールの組み合わせで構成される検査装置1Iの一例の概略的な構成を示す図である。図17(b)の例では、検査装置1Iは、第1の投入モジュール11(第1投入モジュール111ともいう)と、第2の投入モジュール11(第2投入モジュール112)と、第1検査用モジュール121と、第2検査用モジュール122と、の間に、搬送ロボットを有する搬送モジュール15が位置している。この場合には、例えば、2つの投入モジュール11から適宜搬入される被検査物W0を、該被検査物W0の形状およびサイズ等に応じて、搬送モジュール15によって、第1検査用モジュール121および第2検査用モジュール122のうちの何れか1つの検査用モジュール12に、被検査物W0を搬送することができる。
FIG. 17B is a diagram showing a schematic configuration of an example of an inspection device 1I composed of a combination of a plurality of modules including a
上記第1実施形態において、例えば、検知部12dによって被検査物W0の姿勢および位置に係る情報を取得する方法には、例えば、3次元の表面形状を測定する方法、または変位センサを用いた対象物までの距離を測定する方法等が適用されてもよい。3次元形状を測定する方法には、例えば、パターン光投影法、光切断法および白色光干渉等が適用され得る。変位センサには、例えば、三角測距を検出原理とした光学式変位センサ等が適用され得る。
In the first embodiment, for example, the method of acquiring information on the posture and position of the object to be inspected W0 by the
上記第1実施形態において、例えば、大型の被検査物W0の搬送に対応するためにベルトコンベアのベルトの幅を拡げると、ベルトを支持するプーリーおよびローラーの径を大きくする必要があり、隣り合うモジュール間において、ベルトコンベア間に大きな三角柱状の溝部が生じ易くなる。この場合に、例えば、三角柱状の溝部を埋めるように、表面が滑りやすい部材を配置してもよい。また、例えば、端部を先鋭化するための部材が設けられたベルトコンベア(ナイフエッジコンベアともいう)を用いて、ベルトコンベア間における三角柱状の溝部を生じにくくしてもよい。 In the first embodiment, for example, when the width of the belt of the belt conveyor is widened to accommodate the transportation of the large object W0 to be inspected, it is necessary to increase the diameters of the pulleys and rollers that support the belts, and they are adjacent to each other. Large triangular columnar grooves are likely to occur between the modules and between the belt conveyors. In this case, for example, a member having a slippery surface may be arranged so as to fill the triangular columnar groove. Further, for example, a belt conveyor (also referred to as a knife edge conveyor) provided with a member for sharpening the end portion may be used to make it difficult to form a triangular columnar groove between the belt conveyors.
上記第1実施形態において、例えば、各被検査物W0について、第2モジュールとしての検査用モジュール12(例えば、第2検査用モジュール122)において、第2制御部としての移動制御部Ct2が、搬送経路Rt1における相対的に上流側の第1モジュールとしての検査用モジュール12(例えば、第1検査用モジュール121)の第1検知部としての検知部12dを用いて得た情報と、第2モジュールとしての検査用モジュール12(例えば、第2検査用モジュール122)の第2検知部としての検知部12dを用いて得た情報と、に基づいて、第2移動機構としての移動機構12tによって被検査物W0に対する第2センサ部としてのセンサ部12sの相対的な位置を調整してもよい。また、例えば、各被検査物W0について、第1モジュールとしての検査用モジュール12(例えば、第1検査用モジュール121)において、第1制御部としての移動制御部Ct2が、搬送経路Rt1における相対的に上流側の第2モジュールとしての検査用モジュール12(例えば、第2検査用モジュール122)の第2検知部としての検知部12dを用いて得た情報と、第1モジュールとしての検査用モジュール12(例えば、第1検査用モジュール121)の第1検知部としての検知部12dを用いて得た情報と、に基づいて、第1移動機構としての移動機構12tによって被検査物W0に対する第1センサ部としてのセンサ部12sの相対的な位置を調整してもよい。
In the first embodiment, for example, for each object W0 to be inspected, in the
このような構成が採用されれば、被検査物W0が第1モジュールの後に第2モジュールに搬入される場合には、第2モジュールにおいて、第1モジュールにおける第1検知部としての検知部12dを用いて得た情報を利用して、被検査物W0に対する第2センサ部としてのセンサ部12sの相対的な位置を調整し、被検査物W0が第2モジュールの後に第1モジュールに搬入される場合には、第1モジュールにおいて、第2モジュールにおける第2検知部としての検知部12dを用いて得た情報を利用して、被検査物W0に対する第1センサ部としてのセンサ部12sの相対的な位置を調整することができる。これにより、例えば、情報の取得に要する構成および時間が削減され得る。
If such a configuration is adopted, when the object to be inspected W0 is carried into the second module after the first module, in the second module, the
ここで、このような構成の一例について説明する。図18(a)は、上流側の1つのモジュールにおける被検査物W0の姿勢および位置に係る情報の取得態様の一例を示す図である。図18(b)は、下流側の1つのモジュールにおける被検査物W0の姿勢および位置に係る情報の取得態様の一例を示す図である。ここでは、検知部12dが、被検査物W0を真上から撮像することで、被検査物W0の2次元的な姿勢および位置に係る撮像情報を得る場合を例に挙げて説明する。また、ここでは、被検査物W0が第1モジュールの後に第2モジュールに搬入されるものとする。例えば、第1モジュールの検知部12dで得られた被検査物W0に係る撮像情報から、図18(a)で示されるように、被検査物W0における8つの特徴点(第1〜8特徴点P1〜P8)の位置を検出し、その後、第2モジュールの検知部12dで得られた被検査物W0に係る撮像情報から、図18(b)で示されるように、被検査物W0における4つの特徴点(第1特徴点P1a、第4特徴点P4a、第5特徴点P5a、第8特徴点P8a)の位置を検出するとともに、他の4つの特徴点(第2特徴点P2a、第3特徴点P3a、第6特徴点P6a、第7特徴点P7a)の位置については、第1モジュールについて得られた8つの特徴点(第1〜8特徴点P1〜P8)の関係から推定するような構成が考えられる。このような構成によっても、例えば、第1モジュールおよび第2モジュールのそれぞれについて、回転移動および並行移動等による被検査物W0の姿勢および位置のずれ量が検出され得る。
Here, an example of such a configuration will be described. FIG. 18A is a diagram showing an example of an acquisition mode of information relating to the posture and position of the object to be inspected W0 in one module on the upstream side. FIG. 18B is a diagram showing an example of an acquisition mode of information relating to the posture and position of the object to be inspected W0 in one module on the downstream side. Here, a case where the
ここでは、1つのモジュールにおける検知部12dを用いて得た被検査物W0の2次元的な姿勢および位置に係る情報を他のモジュールで利用する例について説明したが、これに限られず、例えば、1つのモジュールにおける検知部12dを用いて得た被検査物W0の3次元的な姿勢および位置に係る情報を他のモジュールで利用してもよい。
Here, an example in which information relating to the two-dimensional posture and position of the object to be inspected W0 obtained by using the
また、上記第1実施形態において、例えば、各被検査物W0について、第2モジュールとしての反転モジュール13において、第2制御部としての反転制御部Cr3が、搬送経路Rt1における相対的に上流側の第1モジュールとしての検査用モジュール12(例えば、第1検査用モジュール121)の第1検知部としての検知部12dを用いて得た情報と、第2モジュールとしての反転モジュール13の第2検知部としての検知部13dを用いて得た情報と、に基づいて、第2移動機構としての移動機構13tによって被検査物W0に対する保持部13hの相対的な位置を調整してもよい。また、例えば、各被検査物W0について、第1モジュールとしての検査用モジュール12(例えば、第1検査用モジュール121)において、第1制御部としての移動制御部Ct2が、搬送経路Rt1における相対的に上流側の反転モジュール13の第2検知部としての検知部13dを用いて得た情報と、第1モジュールとしての検査用モジュール12の第1検知部としての検知部12dを用いて得た情報と、に基づいて、第1移動機構としての移動機構12tによって被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整してもよい。このような構成が採用されれば、例えば、被検査物W0が第1モジュールとしての検査用モジュール12の後に第2モジュールとしての反転モジュール13に搬入される場合には、第2モジュールとしての反転モジュール13において、第1モジュールとしての検査用モジュール12における検知部12dを用いて得た情報を利用して、被検査物W0に対する保持部13hの相対的な位置を調整し、被検査物W0が第2モジュールとしての反転モジュール13の後に第1モジュールとしての検査用モジュール12に搬入される場合には、第1モジュールとしての検査用モジュール12において、第2モジュールとしての反転モジュール13における検知部13dを用いて得た情報を利用して、被検査物W0に対するセンサ部12sの相対的な位置を調整することができる。これにより、例えば、情報の取得に要する構成および時間が削減され得る。
Further, in the first embodiment, for example, for each object W0 to be inspected, in the reversing
上記第1実施形態において、例えば、統括制御部C0は、投入モジュール11以外の他のモジュールに存在していてもよい。例えば、統括制御部C0は、投入モジュール11、検査用モジュール12、反転モジュール13および排出モジュール14の何れに存在していてもよい。
In the first embodiment, for example, the integrated control unit C0 may exist in a module other than the
なお、上記第1実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。 Needless to say, all or a part of the first embodiment and various modifications can be combined as appropriate within a consistent range.
1,1A,1B,1C,1D,1E,1F,1G,1H,1I 検査装置
11 投入モジュール
111,112 第1〜2投入モジュール
12 検査用モジュール
121〜124 第1〜4検査用モジュール
12d,13d 検知部
12s,12s1,12s2 センサ部
12t,12t1,12t2,13t 移動機構
13 反転モジュール
13h 保持部
14 排出モジュール
15,151,152 搬送モジュール
C0 統括制御部
Cc1,Cc2,Cc3,Cc4 搬送制御部
Cd2,Cd3 検知制御部
Cr3 反転制御部
Cs2 センサ制御部
Cs21 第1センサ制御部
Cs22 第2センサ制御部
Ct2 移動制御部
Ct21 第1移動制御部
Ct22 第2移動制御部
Cv1,Cv2,Cv3,Cv4,Cv21,Cv22,Cv23,Cv24 搬送部
1,1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H,
Claims (11)
該検査用モジュールと該検査用モジュールの外部との間で被検査物を搬送可能な搬送部と、
前記被検査物を対象とした撮像および測定のうちの少なくとも一方の検査用の処理を行うセンサ部と、
前記被検査物に対する前記センサ部の相対的な位置を移動させる移動機構と、
前記被検査物の姿勢および位置に係る情報を得るための検知部と、
前記検知部で得られた情報に基づいて、前記移動機構によって前記被検査物に対する前記センサ部の相対的な位置を調整させる制御部と、
を備える、検査用モジュール。 It is an inspection module
A transport unit capable of transporting an object to be inspected between the inspection module and the outside of the inspection module,
A sensor unit that performs processing for inspection of at least one of imaging and measurement of the object to be inspected.
A moving mechanism that moves the relative position of the sensor unit with respect to the object to be inspected,
A detector for obtaining information on the posture and position of the object to be inspected, and
A control unit that adjusts the relative position of the sensor unit with respect to the object to be inspected by the moving mechanism based on the information obtained by the detection unit.
A module for inspection.
前記センサ部は、前記被検査物を被写体とした撮像部を含む、検査用モジュール。 The inspection module according to claim 1.
The sensor unit is an inspection module including an imaging unit with the object to be inspected as a subject.
前記搬送部は、ベルトコンベアを含む、検査用モジュール。 The inspection module according to claim 1 or 2.
The transport unit is an inspection module including a belt conveyor.
該反転モジュールと該反転モジュールの外部との間で被検査物を搬送可能な搬送部と、
前記被検査物を反転させるために該被検査物を保持する保持部と、
前記保持部によって前記被検査物を保持させた状態で該保持部を移動させることで前記被検査物を反転させる移動機構と、
前記被検査物の姿勢および位置に係る情報を得るための検知部と、
前記検知部で得られた情報に基づいて、前記移動機構によって前記被検査物に対する前記保持部の相対的な位置を調整させる制御部と、
を備える、反転モジュール。 It ’s an inversion module,
A transport unit capable of transporting an object to be inspected between the reversing module and the outside of the reversing module,
A holding portion that holds the inspected object in order to invert the inspected object, and
A moving mechanism that inverts the inspected object by moving the holding portion while the inspected object is held by the holding portion.
A detector for obtaining information on the posture and position of the object to be inspected, and
Based on the information obtained by the detection unit, the control unit that adjusts the relative position of the holding unit with respect to the object to be inspected by the moving mechanism, and the control unit.
Inverted module.
前記搬送部は、ベルトコンベアを含む、反転モジュール。 The reversing module according to claim 4.
The transport unit is a reversing module including a belt conveyor.
該2つ以上のモジュールは、
第1モジュールと、第2モジュールと、を含み、
前記第1モジュールは、
該第1モジュールと該第1モジュールの外部との間で被検査物を搬送可能な第1搬送部と、
前記被検査物を対象とした撮像および測定のうちの少なくとも一方の検査用の処理を行うセンサ部と、
前記被検査物に対する前記センサ部の相対的な位置を移動させる第1移動機構と、
前記被検査物の姿勢および位置に係る情報を得るための第1検知部と、
前記第1検知部で得られた情報に基づいて、前記第1移動機構によって前記被検査物に対する前記センサ部の相対的な位置を調整させる第1制御部と、を有し、
前記第2モジュールは、
該第2モジュールと該第2モジュールの外部との間で前記被検査物を搬送可能な第2搬送部と、
前記被検査物を反転させるために該被検査物を保持する保持部と、
前記保持部によって前記被検査物を保持させた状態で該保持部を移動させることで前記被検査物を反転させる第2移動機構と、
前記被検査物の姿勢および位置に係る情報を得るための第2検知部と、
前記第2検知部で得られた情報に基づいて、前記第2移動機構によって前記被検査物に対する前記保持部の相対的な位置を調整させる第2制御部と、を有する、検査装置。 It has two or more modules, which are interconnected,
The two or more modules
Including the first module and the second module,
The first module is
A first transport unit capable of transporting an object to be inspected between the first module and the outside of the first module,
A sensor unit that performs processing for inspection of at least one of imaging and measurement of the object to be inspected.
A first moving mechanism that moves the relative position of the sensor unit with respect to the object to be inspected,
The first detection unit for obtaining information on the posture and position of the object to be inspected, and
Based on the information obtained by the first detection unit, the first control unit has a first control unit that adjusts the relative position of the sensor unit with respect to the object to be inspected by the first movement mechanism.
The second module is
A second transport unit capable of transporting the object to be inspected between the second module and the outside of the second module,
A holding portion that holds the inspected object in order to invert the inspected object, and
A second moving mechanism that inverts the inspected object by moving the holding portion while the inspected object is held by the holding portion.
A second detection unit for obtaining information on the posture and position of the object to be inspected, and
An inspection device having a second control unit that adjusts the relative position of the holding unit with respect to the object to be inspected by the second moving mechanism based on the information obtained by the second detection unit.
前記第2制御部が、前記第1検知部を用いて得られた情報と、前記第2検知部を用いて得られた情報と、に基づいて、前記第2移動機構によって前記被検査物に対する前記保持部の相対的な位置を調整させるか、または前記第1制御部が、前記第1検知部を用いて得られた情報と、前記第2検知部を用いて得られた情報と、に基づいて、前記第1移動機構によって前記被検査物に対する前記センサ部の相対的な位置を調整させる、検査装置。 The inspection device according to claim 6.
The second control unit refers to the object to be inspected by the second moving mechanism based on the information obtained by using the first detection unit and the information obtained by using the second detection unit. The relative position of the holding unit is adjusted, or the information obtained by the first control unit using the first detection unit and the information obtained by using the second detection unit can be obtained. Based on this, an inspection device that adjusts the relative position of the sensor unit with respect to the object to be inspected by the first moving mechanism.
該2つ以上のモジュールは、
第1モジュールと、第2モジュールと、を含み、
前記第1モジュールは、
該第1モジュールと該第1モジュールの外部との間で被検査物を搬送可能な第1搬送部と、
前記被検査物を対象とした撮像および測定のうちの少なくとも一方の検査用の処理を行う第1センサ部と、
前記被検査物に対する前記第1センサ部の相対的な位置を移動させる第1移動機構と、
前記被検査物の姿勢および位置に係る情報を得るための第1検知部と、
前記第1検知部で得られた情報に基づいて、前記移動機構によって前記被検査物に対する前記第1センサ部の相対的な位置を調整させる第1制御部と、を有し、
前記第2モジュールは、
該第2モジュールと該第2モジュールの外部との間で前記被検査物を搬送可能な第2搬送部と、
前記被検査物を対象とした撮像および測定のうちの少なくとも一方の検査用の処理を行う第2センサ部と、
前記被検査物に対する前記第2センサ部の相対的な位置を移動させる第2移動機構と、
前記被検査物の姿勢および位置に係る情報を得るための第2検知部と、
前記第2検知部で得られた情報に基づいて、前記第2移動機構によって前記被検査物に対する前記第2センサ部の相対的な位置を調整させる第2制御部と、を有する、検査装置。 It has two or more modules, which are interconnected,
The two or more modules
Including the first module and the second module,
The first module is
A first transport unit capable of transporting an object to be inspected between the first module and the outside of the first module,
A first sensor unit that performs processing for inspection of at least one of imaging and measurement of the object to be inspected, and
A first moving mechanism that moves the relative position of the first sensor unit with respect to the object to be inspected,
The first detection unit for obtaining information on the posture and position of the object to be inspected, and
It has a first control unit that adjusts the relative position of the first sensor unit with respect to the object to be inspected by the moving mechanism based on the information obtained by the first detection unit.
The second module is
A second transport unit capable of transporting the object to be inspected between the second module and the outside of the second module,
A second sensor unit that performs processing for inspection of at least one of imaging and measurement of the object to be inspected, and
A second moving mechanism that moves the relative position of the second sensor unit with respect to the object to be inspected,
A second detection unit for obtaining information on the posture and position of the object to be inspected, and
An inspection device having a second control unit that adjusts the relative position of the second sensor unit with respect to the object to be inspected by the second moving mechanism based on the information obtained by the second detection unit.
前記第2制御部が、前記第1検知部を用いて得られた情報と、前記第2検知部を用いて得られた情報と、に基づいて、前記第2移動機構によって前記被検査物に対する前記第2センサ部の相対的な位置を調整させるか、または前記第1制御部が、前記第1検知部を用いて得られた情報と、前記第2検知部を用いて得られた情報と、に基づいて、前記第1移動機構によって前記被検査物に対する前記第1センサ部の相対的な位置を調整させる、検査装置。 The inspection device according to claim 8.
The second control unit refers to the object to be inspected by the second moving mechanism based on the information obtained by using the first detection unit and the information obtained by using the second detection unit. The relative position of the second sensor unit is adjusted, or the information obtained by the first control unit using the first detection unit and the information obtained by using the second detection unit. An inspection device that adjusts the relative position of the first sensor unit with respect to the object to be inspected by the first moving mechanism.
前記2つ以上のモジュールのそれぞれに位置している前記被検査物を、搬送経路の下流側のモジュールに同時期に搬送する、検査装置。 The inspection device according to any one of claims 6 to 9.
An inspection device that transports an object to be inspected located in each of the two or more modules to a module on the downstream side of a transport path at the same time.
前記第1搬送部および前記第2搬送部は、それぞれベルトコンベアを含む、検査装置。 The inspection device according to any one of claims 6 to 10.
The first transport unit and the second transport unit are inspection devices including a belt conveyor, respectively.
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