JP7278186B2 - Imaging device - Google Patents

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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

本発明は、撮像装置に関する。 The present invention relates to an imaging device.

従来、自動車等の駆動部およびその周辺に用いられている立体形状を有する鍛造部品については、人が様々な角度から鍛造部品を見ることで欠陥を発見する目視検査が行われている。この目視検査は、例えば、カメラと照明とを含む光学機器を用いた検査に置き換えることが可能である。 2. Description of the Related Art Conventionally, for forged parts having a three-dimensional shape that are used in drive units of automobiles and the like and their surroundings, visual inspections are performed in which defects are discovered by people looking at the forged parts from various angles. This visual inspection can be replaced, for example, with an inspection using optics including a camera and lighting.

そして、例えば、人間の腕に似た構造を有する産業用のロボットアームの先端に光学機器を取り付けることで、検査対象物（ワークともいう）の所望の部分を自在に撮像可能な欠陥検査装置が考えられている（例えば、特許文献１等）。このような欠陥検査装置によれば、例えば、人による目視検査では対応しにくい大型のワークであっても、検査を行うことが可能となる。 Then, for example, by attaching an optical device to the tip of an industrial robot arm having a structure resembling a human arm, a defect inspection apparatus capable of freely imaging a desired portion of an inspection object (also called a work) is developed. It is considered (for example, patent document 1 etc.). According to such a defect inspection apparatus, it is possible to inspect, for example, even a large-sized workpiece that is difficult to be inspected visually by a person.

特開２００６－２０８２５９号公報JP 2006-208259 A

しかしながら、上記特許文献１の技術では、ワークを一方向から照明して撮像を行う。このため、例えば、ワークが凹凸部および孔部等の平坦ではない種々の外形を有していれば、ワークの一部については、照明からワークに照射される光がカメラに向かって反射せず、ワークを十分に捉えた画像を得ることができない場合がある。 However, in the technique of Patent Document 1, the workpiece is illuminated from one direction to capture an image. For this reason, for example, if the work has various contours that are not flat such as uneven portions and holes, the light emitted from the illumination to the work does not reflect toward the camera for a part of the work. , it may not be possible to obtain an image that sufficiently captures the workpiece.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、種々の形状を有する対象物を十分に捉えた画像を容易に撮像可能な技術を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a technique capable of easily capturing an image that sufficiently captures an object having various shapes.

上記課題を解決するために、第１の態様に係る撮像装置は、載置部と、撮像ユニットと、移動機構と、を備える。前記載置部は、撮像対象物を載置するためのものである。前記撮像ユニットは、１つ以上の撮像部ならびに第１Ａ照明部および第１Ｂ照明部を含む２つ以上の照明部が連結されて一体に設けられたユニットである。前記移動機構は、前記撮像ユニットを前記載置部に対して相対的に移動させることが可能である。前記第１Ａ照明部は、第１Ａ照明方向に向けて前記載置部に載置された前記撮像対象物に光を照射することが可能である。前記第１Ｂ照明部は、第１Ｂ照明方向に向けて前記載置部に載置された前記撮像対象物に光を照射することが可能である。前記１つ以上の撮像部のうちの第１Ａ撮像部は、光学系を含む。前記第１Ａ撮像部から前記載置部に載置された前記撮像対象物に向かう前記光学系の光軸に沿った撮像方向は、前記第１Ｂ照明方向よりも前記第１Ａ照明方向に近い。前記１つ以上の撮像部は、前記第１Ａ撮像部と、第１Ｂ撮像部と、第１Ｃ撮像部と、を含む。前記２つ以上の照明部は、前記第１Ａ照明部と、前記第１Ｂ照明部と、第１Ｃ照明部と、を含む。前記第１Ａ照明部が前記載置部に載置された前記撮像対象物を上方から照明している状態で前記第１Ａ撮像部が前記載置部に載置された前記撮像対象物を上方から撮像することが可能である。前記第１Ｂ照明部が前記載置部に載置された前記撮像対象物を斜め上方から照明している状態で前記第１Ｂ撮像部が前記載置部に載置された前記撮像対象物を斜め上方から撮像することが可能である。前記第１Ｃ照明部が前記載置部に載置された前記撮像対象物を水平方向に向かって照明している状態で前記第１Ｃ撮像部が前記載置部に載置された前記撮像対象物を水平方向に向かって撮像することが可能である。 To solve the above problems, an imaging device according to a first aspect includes a placement section, an imaging unit, and a moving mechanism. The placement section is for placing an object to be imaged. The imaging unit is a unit in which one or more imaging sections and two or more lighting sections including a first A lighting section and a first B lighting section are connected and integrally provided . The moving mechanism can move the imaging unit relative to the placement section. The 1A lighting section can irradiate the imaging target placed on the mounting section with light in the 1A lighting direction. The 1B illumination section can irradiate the imaging target placed on the placement section with light in the 1B illumination direction. The 1A imaging section among the one or more imaging sections includes an optical system. An imaging direction along the optical axis of the optical system from the 1A imaging section toward the imaging target placed on the mounting section is closer to the 1A illumination direction than to the 1B illumination direction. The one or more imaging units include the first A imaging unit, the first B imaging unit, and the first C imaging unit. The two or more lighting units include the first A lighting unit, the first B lighting unit, and the first C lighting unit. In a state in which the first A lighting section illuminates the imaging target placed on the mounting section from above, the first A imaging section illuminates the imaging target placed on the mounting section from above. It is possible to take an image. In a state in which the 1B illumination section illuminates the imaging target placed on the mounting section from obliquely above, the 1B imaging section obliquely obliquely illuminates the imaging target placed on the mounting section. It is possible to image from above. The object to be imaged placed on the placing portion by the first imaging portion in a state where the first illumination portion illuminates the object placed on the placing portion in a horizontal direction. can be imaged in the horizontal direction.

第２の態様に係る撮像装置は、第１の態様に係る撮像装置であって、前記第１Ｃ照明部は、鉛直方向における高さよりも水平方向における幅が大きい水平発光領域を有する。 An imaging device according to a second aspect is the imaging device according to the first aspect, wherein the 1C illumination section has a horizontal light emitting area having a horizontal width greater than a vertical height.

第３の態様に係る撮像装置は、第１または第２の態様に係る撮像装置であって、前記第１Ｂ照明部は、水平方向における幅よりも斜め上方向における長さが大きい斜め発光領域を有する。
第４の態様に係る撮像装置は、第２の態様に係る撮像装置であって、前記第１Ｃ照明部は、第１水平発光領域、第２水平発光領域、および第３水平発光領域、の３つの前記水平発光領域を有する。前記第１水平発光領域は、前記第１Ａ撮像部における前記光学系の前記光軸である第１Ａ光軸を中心として、前記第２水平発光領域から時計回りに４５度回転した位置に配置されている。前記第３水平発光領域は、前記第１Ａ光軸を中心として、前記第２水平発光領域から反時計回りに４５度回転した位置に配置されている。
第５の態様に係る撮像装置は、第３の態様に係る撮像装置であって、前記第１Ｂ照明部は、第１斜め発光領域、第２斜め発光領域、第３斜め発光領域、第４斜め発光領域、および第５斜め発光領域、の５つの前記斜め発光領域を有する。前記第１斜め発光領域は、前記第１Ａ撮像部における前記光学系の前記光軸である第１Ａ光軸を中心として、前記第３斜め発光領域から時計回りに９０度回転した位置に配置されている。前記第２斜め発光領域は、前記第１Ａ光軸を中心として、前記第３斜め発光領域から時計回りに４５度回転した位置に配置されている。前記第４斜め発光領域は、前記第１Ａ光軸を中心として、前記第３斜め発光領域から反時計回りに４５度回転した位置に配置されている。前記第５斜め発光領域は、前記第１Ａ光軸を中心として、前記第３斜め発光領域から反時計回りに９０度回転した位置に配置されている。 An imaging device according to a third aspect is the imaging device according to the first or second aspect, wherein the 1B illumination section has an oblique light emitting area whose length in the obliquely upward direction is greater than the width in the horizontal direction. have.
An imaging device according to a fourth aspect is the imaging device according to the second aspect, wherein the 1C lighting section includes a first horizontal light emitting region, a second horizontal light emitting region, and a third horizontal light emitting region. has two said horizontal light emitting regions. The first horizontal light-emitting region is arranged at a position rotated 45 degrees clockwise from the second horizontal light-emitting region about the first A optical axis, which is the optical axis of the optical system in the first A imaging unit. there is The third horizontal light emitting area is arranged at a position rotated 45 degrees counterclockwise from the second horizontal light emitting area about the first A optical axis.
An imaging device according to a fifth aspect is the imaging device according to the third aspect, wherein the 1B illumination section includes a first oblique light-emitting region, a second oblique light-emitting region, a third oblique light-emitting region, a fourth oblique light-emitting region, and a fourth oblique light-emitting region. It has five oblique light-emitting regions, a light-emitting region and a fifth oblique light-emitting region. The first oblique light emitting region is arranged at a position rotated 90 degrees clockwise from the third oblique light emitting region about the first A optical axis, which is the optical axis of the optical system in the first A imaging unit. there is The second oblique light-emitting region is arranged at a position rotated 45 degrees clockwise from the third oblique light-emitting region about the first A optical axis. The fourth oblique light-emitting region is arranged at a position rotated 45 degrees counterclockwise from the third oblique light-emitting region about the first A optical axis. The fifth oblique light-emitting region is arranged at a position rotated 90 degrees counterclockwise from the third oblique light-emitting region about the first A optical axis.

第１の態様に係る撮像装置によれば、例えば、少ない動作で複数の照明条件における撮像を行うことができる。したがって、例えば、種々の形状を有する撮像対象物を十分に捉えた画像を容易に撮像することができる。 According to the imaging device according to the first aspect, for example, it is possible to perform imaging under a plurality of illumination conditions with a small number of operations. Therefore, for example, it is possible to easily capture images that sufficiently capture objects having various shapes.

第１の態様に係る撮像装置によれば、例えば、撮像方向に近い角度の照明方向で照明を行う照明条件での撮像と、撮像方向から離れた角度の照明方向で照明を行う照明条件での撮像と、を行うことで、撮像対象物からの正反射光が捉えられる条件が変わり得る。これにより、撮像対象物における凹凸等の種々の形状を十分に捉えた画像を容易に撮像することができる。 According to the imaging apparatus according to the first aspect, for example, imaging under a lighting condition in which illumination is performed in a lighting direction at an angle close to the imaging direction and under a lighting condition in which illumination is performed in a lighting direction at an angle away from the imaging direction. The conditions under which the specularly reflected light from the object to be imaged can be captured can be changed by performing the imaging. As a result, it is possible to easily capture an image that sufficiently captures various shapes such as unevenness of the object to be captured.

第１の態様に係る撮像装置によれば、例えば、より少ない動作で複数の照明条件における撮像を行うことができる。したがって、例えば、種々の形状を有する撮像対象物を十分に捉えた画像をさらに容易に撮像することができる。 According to the imaging device according to the first aspect, for example, imaging can be performed under a plurality of lighting conditions with fewer operations. Therefore, for example, it is possible to more easily capture an image that sufficiently captures an imaging object having various shapes.

第２の態様に係る撮像装置によれば、例えば、載置部上に第１Ｃ照明部を移動させても、第１Ｃ照明部が載置部に接触しにくいため、撮像対象物のサイズに合わせた距離および焦点の調整等を行うために第１Ｃ照明部を移動させやすくなる。 According to the imaging apparatus according to the second aspect, for example, even if the 1C illumination unit is moved onto the placement unit, the 1C illumination unit is less likely to come into contact with the placement unit. This makes it easier to move the first C lighting unit for adjusting the distance and focus.

第３の態様に係る撮像装置によれば、例えば、斜め上方から見て奥行き方向が長い撮像対象物を広く照明することができる。また、例えば、鉛直方向に沿った仮想軸の周囲の異なる角度において斜め上方から撮像対象物を照明することが可能な複数の発光領域を容易に配置することができる。 According to the imaging device according to the third aspect, for example, it is possible to widely illuminate an object to be imaged that is long in the depth direction when viewed obliquely from above. Also, for example, it is possible to easily arrange a plurality of light-emitting regions capable of illuminating the object to be imaged from obliquely above at different angles around the virtual axis along the vertical direction.

図１（ａ）は、第１実施形態に係る検査システムの外観を模式的に示す斜視図である。図１（ｂ）は、第１実施形態に係る検査システムの概略的な構成を示す図である。FIG. 1(a) is a perspective view schematically showing the appearance of the inspection system according to the first embodiment. FIG. 1(b) is a diagram showing a schematic configuration of an inspection system according to the first embodiment. 図２（ａ）は、第１実施形態に係る撮像装置の主要な物理的構成の一例を示す図である。図２（ｂ）は、第１実施形態に係る撮像ユニットの物理的構成の一例を示す図である。FIG. 2A is a diagram showing an example of the main physical configuration of the imaging device according to the first embodiment. FIG. 2(b) is a diagram showing an example of the physical configuration of the imaging unit according to the first embodiment. 図３は、検査システムの機能的構成の一例を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing an example of the functional configuration of the inspection system. 図４は、投入装置の機能的構成の一例を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing an example of the functional configuration of the loading device. 図５（ａ）は、撮像装置の機能的構成の一例を示すブロック図である。図５（ｂ）は、第１撮像ユニットの機能的構成の一例を示すブロック図である。図５（ｃ）は、第２撮像ユニットの機能的構成の一例を示すブロック図である。FIG. 5A is a block diagram showing an example of the functional configuration of the imaging device. FIG. 5B is a block diagram showing an example of the functional configuration of the first imaging unit. FIG. 5(c) is a block diagram showing an example of the functional configuration of the second imaging unit. 図６は、反転装置の機能的構成の一例を示すブロック図である。FIG. 6 is a block diagram showing an example of the functional configuration of the reversing device. 図７は、排出装置の機能的構成の一例を示すブロック図である。FIG. 7 is a block diagram showing an example of the functional configuration of the ejection device. 図８は、撮像装置の動作の一例を示すタイミングチャートである。FIG. 8 is a timing chart showing an example of the operation of the imaging device. 図９は、第２実施形態に係る第１撮像ユニットの物理的構成を模式的に示す図である。FIG. 9 is a diagram schematically showing the physical configuration of the first imaging unit according to the second embodiment. 図１０（ａ）は、第１Ａ照明部の一例を模式的に示す図である。図１０（ｂ）は、第１Ｂ照明部の一例を模式的に示す図である。図１０（ｃ）は、第１Ｃ照明部の一例を模式的に示す図である。FIG. 10A is a diagram schematically showing an example of the 1A lighting section. FIG.10(b) is a figure which shows typically an example of the 1B illumination part. FIG.10(c) is a figure which shows typically an example of the 1C illumination part. 図１１は、第２実施形態に係る第１撮像ユニットの外観の一例を示す側面図である。FIG. 11 is a side view showing an example of the appearance of the first imaging unit according to the second embodiment. 図１２は、第２実施形態に係る第１撮像ユニットの外観の一例を示す平面図である。FIG. 12 is a plan view showing an example of the appearance of the first imaging unit according to the second embodiment. 図１３は、第２実施形態に係る第１撮像ユニットの外観の一例を示す正面図である。FIG. 13 is a front view showing an example of the appearance of the first imaging unit according to the second embodiment. 図１４は、第２実施形態に係る第１撮像ユニットの機能的構成の一例を示すブロック図である。14 is a block diagram showing an example of a functional configuration of a first imaging unit according to the second embodiment; FIG. 図１５は、ワークの外観の一例を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing an example of the appearance of a work. 図１６（ａ）は、第１Ｃ照明部で照明されたワークを第１Ａ撮像部で撮像することで得られるワークを捉えた撮像画像の一例を示す図である。図１６（ｂ）は、第１Ｃ照明部で照明されたワークを第１Ｂ撮像部で撮像することで得られるワークを捉えた撮像画像の一例を示す図である。図１６（ｃ）は、第１Ｃ照明部で照明されたワークを第１Ｃ撮像部で撮像することで得られるワークを捉えた撮像画像の一例を示す図である。FIG. 16A is a diagram showing an example of a captured image of a workpiece obtained by capturing an image of the workpiece illuminated by the 1C illumination section by the 1A imaging section. FIG. 16B is a diagram showing an example of a captured image of a workpiece obtained by capturing an image of the workpiece illuminated by the 1C illumination section by the 1B imaging section. FIG. 16C is a diagram showing an example of a captured image of a workpiece obtained by capturing an image of the workpiece illuminated by the 1C illumination section with the 1C imaging section. 図１７（ａ）は、第１Ｂ照明部で照明されたワークを第１Ａ撮像部で撮像することで得られるワークを捉えた撮像画像の一例を示す図である。図１７（ｂ）は、第１Ｂ照明部で照明されたワークを第１Ｂ撮像部で撮像することで得られるワークを捉えた撮像画像の一例を示す図である。図１７（ｃ）は、第１Ｂ照明部で照明されたワークを第１Ｃ撮像部で撮像することで得られるワークを捉えた撮像画像の一例を示す図である。FIG. 17A is a diagram showing an example of a captured image of a workpiece obtained by capturing an image of the workpiece illuminated by the 1B illumination section with the 1A imaging section. FIG. 17B is a diagram showing an example of a captured image of a workpiece obtained by capturing an image of the workpiece illuminated by the 1B illumination section with the 1B imaging section. FIG. 17C is a diagram showing an example of a captured image of a workpiece obtained by capturing an image of the workpiece illuminated by the 1B illumination section with the 1C imaging section. 図１８（ａ）は、第１Ａ照明部で照明されたワークを第１Ａ撮像部で撮像することで得られるワークを捉えた撮像画像の一例を示す図である。図１８（ｂ）は、第１Ａ照明部で照明されたワークを第１Ｂ撮像部で撮像することで得られるワークを捉えた撮像画像の一例を示す図である。図１８（ｃ）は、第１Ａ照明部で照明されたワークを第１Ｃ撮像部で撮像することで得られるワークを捉えた撮像画像の一例を示す図である。FIG. 18A is a diagram showing an example of a captured image of a workpiece obtained by capturing an image of the workpiece illuminated by the 1A illumination section with the 1A imaging section. FIG. 18B is a diagram showing an example of a captured image of a workpiece obtained by capturing an image of the workpiece illuminated by the 1A illumination section by the 1B imaging section. FIG. 18(c) is a diagram showing an example of a captured image of a workpiece obtained by capturing an image of the workpiece illuminated by the 1A lighting section with the 1C imaging section. 図１９（ａ）は、第３実施形態に係る撮像装置の主要な物理的構成の一例を示す図である。図１９（ｂ）は、第３実施形態に係る撮像装置の主要な物理的構成の一例の一部を示す平面図である。FIG. 19A is a diagram showing an example of the main physical configuration of an imaging device according to the third embodiment. FIG. 19(b) is a plan view showing a part of an example of the main physical configuration of the imaging device according to the third embodiment. 図２０（ａ）は、第１Ａ照明部における上部発光領域の形状および寸法の一例を示す図である。図２０（ｂ）は、第１のワークの形状および寸法の一例を示す図である。図２０（ｃ）は、第２のワークの形状および寸法の一例を示す図である。FIG. 20(a) is a diagram showing an example of the shape and dimensions of the upper light emitting region in the 1A lighting section. FIG. 20(b) is a diagram showing an example of the shape and dimensions of the first work. FIG. 20(c) is a diagram showing an example of the shape and dimensions of the second work.

以下、添付の図面を参照しながら、本発明の各実施形態について説明する。各実施形態に記載されている構成要素はあくまでも例示であり、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。図面は、あくまでも模式的に示したものである。図面においては、容易に理解が可能となるように、必要に応じて各部の寸法および数が誇張または簡略化されて図示されている場合がある。また、図面においては、同様な構成および機能を有する部分に対して同じ符号が付されており、重複した説明が適宜省略されている。図１（ａ）から図２（ａ）、図９から図１３、図１５および図１９（ａ）から図２０（ｃ）には、右手系のＸＹＺ座標系が付されている。このＸＹＺ座標系では、投入装置１１の搬送部Ｃｖ１によって水平面に沿ってワークＷ０が搬送される方向が＋Ｘ方向とされ、水平面に沿ってワークＷ０が搬送される方向に垂直な方向が＋Ｙ方向とされ、＋Ｘ方向と＋Ｙ方向との両方に直交している重力方向が－Ｚ方向とされている。 Hereinafter, each embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Components described in each embodiment are merely examples, and the scope of the present invention is not intended to be limited to them. The drawings are only schematic representations. In the drawings, the dimensions and numbers of each part may be exaggerated or simplified as necessary for easy understanding. Moreover, in the drawings, parts having similar configurations and functions are denoted by the same reference numerals, and overlapping descriptions are appropriately omitted. A right-handed XYZ coordinate system is attached to FIGS. In this XYZ coordinate system, the +X direction is the direction in which the work W0 is transported along the horizontal plane by the transport unit Cv1 of the loading device 11, and the +Y direction is the direction perpendicular to the direction in which the work W0 is transported along the horizontal plane. and the direction of gravity orthogonal to both the +X direction and the +Y direction is the -Z direction.

また、本明細書では、相対的または絶対的な位置関係を示す表現（例えば「平行」「直交」「中心」等）は、特に断らない限り、その位置関係を厳密に表すのみならず、公差も含む状態を表すとともに、同程度の機能が得られる範囲で相対的に角度または距離に関して変位された状態も表すものとする。２つ以上のものが等しい状態であることを示す表現（例えば「同一」「等しい」「均質」等）は、特に断らない限り、定量的に厳密に等しい状態を表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる差が存在する状態も表すものとする。形状を示す表現（例えば「四角形状」または「円筒形状」等）は、特に断らない限り、幾何学的に厳密に形状を表すのみならず、同程度の効果が得られる範囲で、例えば凹凸または面取り等を有する形状も表すものとする。１つの構成要素を「備える」「具える」「具備する」「含む」または「有する」という表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的表現ではない。「連結」という表現は、特に断らない限り、２つの要素が接している状態のほか、２つの要素が他の要素を挟んで離れている状態も含む表現である。 In this specification, unless otherwise specified, expressions indicating relative or absolute positional relationships (e.g., "parallel", "perpendicular", "center", etc.) not only express the positional relationships strictly, but also include tolerances. In addition to representing a state in which both are displaced relative to each other in terms of angle or distance within a range in which the same degree of function can be obtained. Expressions indicating that two or more things are equal (e.g., "same," "equal," "homogeneous," etc.), unless otherwise specified, not only express quantitatively exact equality, but also It shall also represent the state in which there is a difference in which the degree of function is obtained. Expressions indicating shapes (e.g., “square shape” or “cylindrical shape”), unless otherwise specified, not only represent the shape strictly geometrically, but also within a range where the same degree of effect can be obtained, such as unevenness or Shapes with chamfers and the like are also represented. References to "comprise," "comprise," "comprise," "include," or "have" an element are not exclusive expressions that exclude the presence of other elements. Unless otherwise specified, the expression "connected" includes not only the state in which two elements are in contact, but also the state in which two elements are separated with another element interposed therebetween.

＜１．第１実施形態＞
＜１－１．検査システムの構成＞
第１実施形態に係る検査システム１について、図１（ａ）から図８を参照しながら、説明する。図１（ａ）は、第１実施形態に係る検査システム１の外観を模式的に示す斜視図である。図１（ｂ）は、第１実施形態に係る検査システム１の概略的な構成を示す図である。 <1. First Embodiment>
<1-1. Configuration of inspection system>
An inspection system 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1(a) to 8. FIG. FIG. 1(a) is a perspective view schematically showing the appearance of an inspection system 1 according to the first embodiment. FIG.1(b) is a figure which shows the schematic structure of the test|inspection system 1 which concerns on 1st Embodiment.

図１（ａ）および図１（ｂ）で示されるように、検査システム１は、例えば、投入装置１１と、４つの撮像装置１２と、反転装置１３と、排出装置１４と、を備えている。より具体的には、検査システム１では、例えば、投入装置１１と、１つ目の撮像装置（第１撮像装置ともいう）１２１と、２つ目の撮像装置（第２撮像装置ともいう）１２２と、反転装置１３と、３つ目の撮像装置（第３撮像装置ともいう）１２３と、４つ目の撮像装置（第４撮像装置ともいう）１２４と、排出装置１４と、が＋Ｘ方向においてこの記載の順に連結されている状態で位置している。投入装置１１、撮像装置１２、反転装置１３および排出装置１４は、適宜「装置」と略称される。ここでは、例えば、別々に作製された複数の装置１１，１２，１３，１４を＋Ｘ方向において相互に連結することで、検査システム１を製造することができる。換言すれば、例えば、１つまたは２つ以上の撮像装置１２を含む２つ以上の装置を適宜組み合わせることで検査システムを製造することができる。装置１１，１２，１３，１４は、例えば、連結用の部材およびネジ等の締結部材等を用いて相互に連結することができる。 As shown in FIGS. 1(a) and 1(b), the inspection system 1 includes, for example, an input device 11, four imaging devices 12, an inversion device 13, and an ejection device 14. . More specifically, in the inspection system 1, for example, an input device 11, a first imaging device (also referred to as a first imaging device) 121, and a second imaging device (also referred to as a second imaging device) 122 , the reversing device 13, the third imaging device (also referred to as the third imaging device) 123, the fourth imaging device (also referred to as the fourth imaging device) 124, and the ejection device 14 in the +X direction. They are positioned in a connected state in the order of this description. The input device 11, the imaging device 12, the reversing device 13, and the ejection device 14 are appropriately abbreviated as "devices". Here, for example, the inspection system 1 can be manufactured by interconnecting a plurality of separately manufactured devices 11, 12, 13, 14 in the +X direction. In other words, for example, an inspection system can be manufactured by appropriately combining two or more devices including one or more imaging devices 12 . The devices 11, 12, 13, 14 can be interconnected using, for example, connecting members and fastening members such as screws.

各装置１１，１２，１３，１４は、例えば、上部に検査の対象物（ワークともいう）Ｗ０が載置および搬送される内部空間を有する筒状の部分（筒状部ともいう）を有する。この筒状部は、例えば、＋Ｘ方向に貫通するように位置している。具体的には、例えば、投入装置１１は、筒状部１１ｔｂを有し、撮像装置１２は、筒状部１２ｔｂを有し、反転装置１３は、筒状部１３ｔｂを有し、排出装置１４は、筒状部１４ｔｂを有する。そして、例えば、複数の装置１１，１２，１３，１４の間でワークＷ０の搬送が可能な経路（搬送経路ともいう）Ｒｔ１を成す１つの筒状の部分（筒状部）１ｔｂを形成するように、複数の装置１１，１２，１３，１４が相互に連結されている。図１（ｂ）では、＋Ｘ方向に沿った搬送経路Ｒｔ１に沿って２点鎖線の矢印が描かれている。 Each of the devices 11, 12, 13, and 14 has, for example, a tubular portion (also referred to as a tubular portion) having an internal space in the upper portion in which an object to be inspected (also referred to as a work) W0 is placed and transported. This tubular portion is positioned, for example, so as to penetrate in the +X direction. Specifically, for example, the loading device 11 has a tubular portion 11tb, the imaging device 12 has a tubular portion 12tb, the reversing device 13 has a tubular portion 13tb, and the discharging device 14 , and a cylindrical portion 14tb. Then, for example, one cylindrical portion (cylindrical portion) 1tb forming a route (also referred to as a transfer route) Rt1 through which the workpiece W0 can be transferred among the plurality of apparatuses 11, 12, 13, and 14 is formed. , a plurality of devices 11, 12, 13, 14 are interconnected. In FIG. 1B, a two-dot chain line arrow is drawn along the transport route Rt1 along the +X direction.

ここでは、例えば、筒状部１ｔｂは、投入装置１１の筒状部１１ｔｂと、第１撮像装置１２１の筒状部１２ｔｂと、第２撮像装置１２２の筒状部１２ｔｂと、反転装置１３の筒状部１３ｔｂと、第３撮像装置１２３の筒状部１２ｔｂと、第４撮像装置１２４の筒状部１２ｔｂと、排出装置１４の筒状部１４ｔｂと、が＋Ｘ方向においてこの順に連結されている状態で構成されている。検査システム１は、例えば、投入装置１１から、第１撮像装置１２１、第２撮像装置１２２、反転装置１３、第３撮像装置１２３、第４撮像装置１２４および排出装置１４の順に、ワークＷ０を搬送して、ワークＷ０を検査することができる。ここで、各筒状部１１ｔｂ，１２ｔｂ，１３ｔｂ，１４ｔｂにおける＋Ｚ方向に位置する上面部および±Ｙ方向に位置する側面部は、例えば、透明であっても透明でなくてもよい。 Here, for example, the tubular portion 1tb includes the tubular portion 11tb of the loading device 11, the tubular portion 12tb of the first imaging device 121, the tubular portion 12tb of the second imaging device 122, and the tubular portion of the reversing device 13. A state in which the tubular portion 13tb, the tubular portion 12tb of the third imaging device 123, the tubular portion 12tb of the fourth imaging device 124, and the tubular portion 14tb of the discharging device 14 are connected in this order in the +X direction. consists of For example, the inspection system 1 conveys the work W0 from the loading device 11 to the first imaging device 121, the second imaging device 122, the reversing device 13, the third imaging device 123, the fourth imaging device 124, and the discharging device 14 in this order. Then, the workpiece W0 can be inspected. Here, the upper surface portion positioned in the +Z direction and the side surface portion positioned in the ±Y direction of each of the tubular portions 11tb, 12tb, 13tb, and 14tb may or may not be transparent, for example.

＜１－１－１．投入装置の構成＞
投入装置１１は、検査システム１の外部からワークＷ０が投入される装置である。この投入装置１１は、例えば、検査システム１に含まれる複数の装置のうちのワークＷ０の搬送経路Ｒｔ１における最初に位置している。 <1-1-1. Configuration of input device>
The loading device 11 is a device into which the work W0 is loaded from outside the inspection system 1 . This loading device 11 is, for example, positioned first among the plurality of devices included in the inspection system 1 in the transport route Rt1 of the workpiece W0.

図１（ａ）および図１（ｂ）の例では、投入装置１１は、ワークＷ０を搬送可能な搬送部Ｃｖ１であるベルトコンベアを有し、各撮像装置１２は、ワークＷ０を搬送可能な搬送部Ｃｖ２であるベルトコンベアを有し、反転装置１３は、ワークＷ０を搬送可能な搬送部Ｃｖ３であるベルトコンベアを有し、排出装置１４は、ワークＷ０を搬送可能な搬送部Ｃｖ４であるベルトコンベアを有する。投入装置１１の搬送部Ｃｖ１は、例えば、投入装置１１と該投入装置１１の外部との間でワークＷ０を搬送することができる。撮像装置１２の搬送部Ｃｖ２は、例えば、撮像装置１２と該撮像装置１２の外部との間でワークＷ０を搬送することができる。反転装置１３の搬送部Ｃｖ３は、例えば、反転装置１３と該反転装置１３の外部との間でワークＷ０を搬送することができる。排出装置１４の搬送部Ｃｖ４は、例えば、排出装置１４と該排出装置１４の外部との間でワークＷ０を搬送することができてもよいし、排出装置１４内における所定の位置までワークＷ０を搬送することができてもよい。 In the example of FIGS. 1A and 1B, the input device 11 has a belt conveyor that is a transport unit Cv1 capable of transporting the work W0, and each imaging device 12 is a transport unit capable of transporting the work W0. The reversing device 13 has a belt conveyor that is a part Cv2, the reversing device 13 has a belt conveyor that is a transport part Cv3 capable of transporting the work W0, and the discharge device 14 is a belt conveyor that is a transport part Cv4 that can transport the work W0. have The transport unit Cv1 of the loading device 11 can transport the work W0 between the loading device 11 and the outside of the loading device 11, for example. The transport unit Cv2 of the imaging device 12 can transport the work W0 between the imaging device 12 and the outside of the imaging device 12, for example. The transport section Cv3 of the reversing device 13 can transport the work W0 between the reversing device 13 and the outside of the reversing device 13, for example. The transport unit Cv4 of the discharge device 14 may be capable of transporting the work W0 between, for example, the discharge device 14 and the outside of the discharge device 14, or may transport the work W0 to a predetermined position within the discharge device 14. It may be transportable.

例えば、投入装置１１は、筒状部１１ｔｂのうちの撮像装置１２とは逆側の－Ｘ方向の端部に開閉可能な部分（開閉部ともいう）１１ｏｃを有する。開閉部１１ｏｃは、例えば、開閉可能な扉またはシャッター等を有する。例えば、開閉部１１ｏｃを介して投入装置１１にワークＷ０を投入することができる。例えば、作業者Ｏｐ０が、投入装置１１にワークＷ０を投入する態様が考えられる。この場合には、例えば、搬送部Ｃｖ１としてのベルトコンベアのベルト上に描画もしくは投影された目印に合わせて作業者Ｏｐ０がベルトコンベアのベルト上にワークＷ０を載置する態様が考えられる。投入装置１１では、例えば、ベルト上に載置されるワークＷ０を検知するセンサによって、投入装置１１にワークＷ０が投入されたことが検知されてもよい。また、例えば、検査システム１の外部に設けられたロボット等が、ベルトコンベアのベルト上にワークＷ０を載置することで、投入装置１１にワークＷ０を投入してもよい。ここで、例えば、搬送部Ｃｖ１は、搬送部Ｃｖ１としてのベルトコンベアのベルト上に載置されたワークＷ０を、投入装置１１の＋Ｘ方向の外部に位置している第１撮像装置１２１の搬送部Ｃｖ２（搬送部Ｃｖ２１ともいう）に受け渡すことができる。 For example, the loading device 11 has an openable/closable portion (also referred to as an opening/closing portion) 11oc at the end of the cylindrical portion 11tb in the -X direction opposite to the imaging device 12 . The opening/closing unit 11oc has, for example, an openable/closable door or shutter. For example, the workpiece W0 can be loaded into the loading device 11 via the opening/closing portion 11oc. For example, a mode in which the operator Op0 loads the work W0 into the loading device 11 is conceivable. In this case, for example, it is conceivable that the operator Op0 places the workpiece W0 on the belt of the belt conveyor as the transport unit Cv1 in accordance with the mark drawn or projected on the belt of the belt conveyor. In the loading device 11, for example, a sensor that detects the workpiece W0 placed on the belt may detect that the workpiece W0 has been loaded into the loading device 11. FIG. Alternatively, for example, a robot or the like provided outside the inspection system 1 may place the work W0 on the belt of a belt conveyor, thereby loading the work W0 into the loading device 11 . Here, for example, the transport unit Cv1 moves the workpiece W0 placed on the belt of the belt conveyor serving as the transport unit Cv1 to the transport unit of the first imaging device 121 located outside the loading device 11 in the +X direction. It can be transferred to Cv2 (also referred to as transport unit Cv21).

＜１－１－２．撮像装置の構成＞
撮像装置１２は、例えば、ワークＷ０を撮像の対象物（撮像対象物ともいう）とした検査用の処理としての撮像を行うことができる。 <1-1-2. Configuration of Imaging Device>
The imaging device 12 can, for example, perform imaging as inspection processing using the workpiece W0 as an imaging target (also referred to as an imaging target).

ここで、第１撮像装置１２１は、例えば、投入装置１１の搬送部Ｃｖ１から第１撮像装置１２１の搬送部Ｃｖ２１に受け渡されたワークＷ０を対象として、検査用の処理としての撮像を行うことができる。第１撮像装置１２１で撮像されたワークＷ０は、例えば、搬送部Ｃｖ２１によって第１撮像装置１２１から該第１撮像装置１２１の＋Ｘ方向の外部に位置している第２撮像装置１２２の搬送部Ｃｖ２（搬送部Ｃｖ２２ともいう）に受け渡される。第２撮像装置１２２は、例えば、第１撮像装置１２１の搬送部Ｃｖ２１から第２撮像装置１２２の搬送部Ｃｖ２２に受け渡されたワークＷ０を対象として、検査用の処理としての撮像を行うことができる。第２撮像装置１２２で撮像されたワークＷ０は、例えば、搬送部Ｃｖ２２によって第２撮像装置１２２から該第２撮像装置１２２の＋Ｘ方向の外部に位置している反転装置１３の搬送部Ｃｖ３に受け渡される。第３撮像装置１２３は、例えば、反転装置１３の搬送部Ｃｖ３から第３撮像装置１２３の搬送部Ｃｖ２（搬送部Ｃｖ２３ともいう）に受け渡されたワークＷ０を対象として、検査用の処理としての撮像を行うことができる。第３撮像装置１２３で撮像されたワークＷ０は、例えば、搬送部Ｃｖ２３によって第３撮像装置１２３から該第３撮像装置１２３の＋Ｘ方向の外部に位置している第４撮像装置１２４の搬送部Ｃｖ２（搬送部Ｃｖ２４ともいう）に受け渡される。第４撮像装置１２４は、例えば、第３撮像装置１２３の搬送部Ｃｖ２３から第４撮像装置１２４の搬送部Ｃｖ２４に受け渡されたワークＷ０を対象として、検査用の処理としての撮像を行うことができる。第４撮像装置１２４で撮像されたワークＷ０は、例えば、搬送部Ｃｖ２４によって第４撮像装置１２４から該第４撮像装置１２４の＋Ｘ方向の外部に位置している排出装置１４の搬送部Ｃｖ４に受け渡される。 Here, for example, the first imaging device 121 performs imaging as inspection processing for the workpiece W0 transferred from the conveying unit Cv1 of the loading device 11 to the conveying unit Cv21 of the first imaging device 121. can be done. The workpiece W0 imaged by the first imaging device 121 is transported from the first imaging device 121 by the transporting part Cv21 to the transporting part Cv2 of the second imaging device 122 located outside the first imaging device 121 in the +X direction. (also referred to as transport unit Cv22). For example, the second imaging device 122 can perform imaging as inspection processing for the work W0 that has been transferred from the transportation unit Cv21 of the first imaging device 121 to the transportation unit Cv22 of the second imaging device 122. can. For example, the workpiece W0 imaged by the second imaging device 122 is received from the second imaging device 122 by the transportation section Cv22 to the transportation section Cv3 of the reversing device 13 located outside the second imaging device 122 in the +X direction. Passed. The third imaging device 123 performs, for example, the work W0 transferred from the transporting unit Cv3 of the reversing device 13 to the transporting unit Cv2 (also referred to as the transporting unit Cv23) of the third imaging device 123 as an inspection process. Imaging can be performed. The workpiece W0 imaged by the third imaging device 123 is transported from the third imaging device 123 by the transporting section Cv23, for example, to the transporting section Cv2 of the fourth imaging device 124 located outside the third imaging device 123 in the +X direction. (also referred to as transport unit Cv24). For example, the fourth imaging device 124 can perform imaging as an inspection process for the workpiece W0 transferred from the transportation unit Cv23 of the third imaging device 123 to the transportation unit Cv24 of the fourth imaging device 124. can. The workpiece W0 imaged by the fourth imaging device 124 is received by the transportation section Cv24 from the fourth imaging device 124 to the transportation section Cv4 of the discharging device 14 located outside the fourth imaging device 124 in the +X direction, for example. Passed.

図２（ａ）は、第１実施形態に係る撮像装置１２の主要な物理的構成の一例を示す図である。図２（ｂ）は、第１実施形態に係る撮像ユニット１２ｓの物理的構成の一例を示す図である。ここでは、第１撮像装置１２１、第２撮像装置１２２、第３撮像装置１２３および第４撮像装置１２４は、それぞれ同様な構成を有する。 FIG. 2A is a diagram showing an example of the main physical configuration of the imaging device 12 according to the first embodiment. FIG. 2(b) is a diagram showing an example of the physical configuration of the imaging unit 12s according to the first embodiment. Here, the first imaging device 121, the second imaging device 122, the third imaging device 123, and the fourth imaging device 124 each have the same configuration.

図２（ａ）で示されるように、撮像装置１２は、例えば、搬送部Ｃｖ２と、撮像ユニット１２ｓと、移動機構１２ｔと、を有する。 As shown in FIG. 2A, the imaging device 12 has, for example, a transport section Cv2, an imaging unit 12s, and a moving mechanism 12t.

搬送部Ｃｖ２は、例えば、撮像対象物としてのワークＷ０を載置するための部分（載置部ともいう）Ｓｇ２としての機能を有する。 The transport unit Cv2 has a function as a portion (also referred to as a placement unit) Sg2 for placing a workpiece W0 as an object to be imaged, for example.

撮像ユニット１２ｓは、例えば、撮像対象物としてのワークＷ０を対象とした撮像を行うことができる。第１実施形態では、撮像装置１２は、２つの撮像ユニット１２ｓを有する。具体的には、図２（ａ）で示されるように、撮像装置１２は、２つの撮像ユニット１２ｓとして、第１撮像ユニット１２ｓ１と、第２撮像ユニット１２ｓ２と、を有する。図２（ｂ）で示されるように、撮像ユニット１２ｓは、例えば、撮像部Ｉ１および照明部Ｆ１を有する。より具体的には、第１撮像ユニット１２ｓ１は、第１撮像部Ｉ１１および第１照明部Ｆ１１を含む。第２撮像ユニット１２ｓ２は、第２撮像部Ｉ１２および第２照明部Ｆ１２を含む。 The imaging unit 12s can, for example, perform imaging of a workpiece W0 as an object to be imaged. In the first embodiment, the imaging device 12 has two imaging units 12s. Specifically, as shown in FIG. 2A, the imaging device 12 has a first imaging unit 12s1 and a second imaging unit 12s2 as two imaging units 12s. As shown in FIG. 2B, the imaging unit 12s has, for example, an imaging section I1 and an illumination section F1. More specifically, the first imaging unit 12s1 includes a first imaging section I11 and a first lighting section F11. The second imaging unit 12s2 includes a second imaging section I12 and a second illumination section F12.

第１撮像部Ｉ１１および第２撮像部Ｉ１２のそれぞれは、例えば、電荷結合素子（Charge Coupled Device：ＣＣＤ）等の撮像素子と、この撮像素子にワークＷ０の光像を結像させるための光学系としてのレンズ部Ｌｚ１と、を有する。第１照明部Ｆ１１および第２照明部Ｆ１２のそれぞれには、例えば、複数の発光ダイオード（Light Emitting Diode：ＬＥＤ）が２次元的に配列された面状の照明等が適用される。この場合には、例えば、第１照明部Ｆ１１および第２照明部Ｆ１２のそれぞれによって、ワークＷ０を広範囲にわたって照明することができる。図２（ｂ）の例では、レンズ部Ｌｚ１は、照明部Ｆ１の孔部Ｈ１に挿通された状態で位置している。別の観点から言えば、レンズ部Ｌｚ１の光軸Ｐｉ１が、孔部Ｈ１を通るように設定されている。具体的には、第１撮像部Ｉ１１の第１レンズ部Ｌｚ１１が、第１照明部Ｆ１１の第１孔部Ｈ１１に挿通された状態で位置している。別の観点から言えば、第１レンズ部Ｌｚ１１の光軸（第１光軸ともいう）Ｐｉ１１が、第１孔部Ｈ１１を通るように設定されている。また、第２撮像部Ｉ１２の第２レンズ部Ｌｚ１２が、第２照明部Ｆ１２の第２孔部Ｈ１２に挿通された状態で位置している。別の観点から言えば、第２レンズ部Ｌｚ１２の光軸（第２光軸ともいう）Ｐｉ１２が、第２孔部Ｈ１２を通るように設定されている。これにより、例えば、第１撮像部Ｉ１１は、第１照明部Ｆ１１によって照明されたワークＷ０の少なくとも一部を被写体として撮像を行うことができる。また、例えば、第２撮像部Ｉ１２は、第２照明部Ｆ１２によって照明されたワークＷ０の少なくとも一部を被写体として撮像を行うことができる。 Each of the first imaging unit I11 and the second imaging unit I12 includes, for example, an imaging element such as a charge coupled device (CCD), and an optical system for forming an optical image of the workpiece W0 on the imaging element. and a lens portion Lz1 as . For each of the first illumination unit F11 and the second illumination unit F12, for example, planar illumination in which a plurality of light emitting diodes (LEDs) are two-dimensionally arranged is applied. In this case, for example, the workpiece W0 can be illuminated over a wide range by each of the first lighting unit F11 and the second lighting unit F12. In the example of FIG. 2B, the lens portion Lz1 is positioned in a state of being inserted through the hole portion H1 of the illumination portion F1. From another point of view, the optical axis Pi1 of the lens portion Lz1 is set to pass through the hole portion H1. Specifically, the first lens portion Lz11 of the first imaging portion I11 is positioned while being inserted into the first hole portion H11 of the first illumination portion F11. From another point of view, the optical axis (also referred to as the first optical axis) Pi11 of the first lens portion Lz11 is set to pass through the first hole portion H11. Also, the second lens portion Lz12 of the second imaging portion I12 is positioned in a state of being inserted into the second hole portion H12 of the second illumination portion F12. From another point of view, the optical axis (also referred to as the second optical axis) Pi12 of the second lens portion Lz12 is set to pass through the second hole portion H12. As a result, for example, the first imaging unit I11 can capture an image of at least a portion of the work W0 illuminated by the first illumination unit F11 as a subject. Further, for example, the second imaging unit I12 can capture an image of at least part of the work W0 illuminated by the second illumination unit F12 as a subject.

移動機構１２ｔは、例えば、載置部Ｓｇ２に載置されたワークＷ０に対して撮像ユニット１２ｓを相対的に移動させることができる。別の観点から言えば、移動機構１２ｔは、例えば、ワークＷ０を載置するための載置部Ｓｇ２に対して撮像ユニット１２ｓを相対的に移動させることができる。第１実施形態では、撮像装置１２は、２つの移動機構１２ｔを有する。具体的には、図２（ａ）で示されるように、撮像装置１２は、２つの移動機構１２ｔとして、第１移動機構１２ｔ１と、第２移動機構１２ｔ２と、を有する。第１移動機構１２ｔ１は、例えば、載置部Ｓｇ２に載置されたワークＷ０に対して第１撮像ユニット１２ｓ１を相対的に移動させることができる。別の観点から言えば、第１移動機構１２ｔ１は、例えば、ワークＷ０を載置するための載置部Ｓｇ２に対して第１撮像ユニット１２ｓ１を相対的に移動させることができる。第２移動機構１２ｔ２は、例えば、載置部Ｓｇ２に載置されたワークＷ０に対して第２撮像ユニット１２ｓ２を相対的に移動させることができる。別の観点から言えば、第２移動機構１２ｔ２は、例えば、ワークＷ０を載置するための載置部Ｓｇ２に対して第２撮像ユニット１２ｓ２を相対的に移動させることができる。 The moving mechanism 12t can, for example, move the imaging unit 12s relative to the workpiece W0 placed on the placement part Sg2. From another point of view, the moving mechanism 12t can, for example, move the imaging unit 12s relative to the placement section Sg2 for placing the work W0. In the first embodiment, the imaging device 12 has two moving mechanisms 12t. Specifically, as shown in FIG. 2A, the imaging device 12 has a first moving mechanism 12t1 and a second moving mechanism 12t2 as two moving mechanisms 12t. The first moving mechanism 12t1 can, for example, move the first imaging unit 12s1 relative to the workpiece W0 placed on the placement part Sg2. From another point of view, the first moving mechanism 12t1 can move the first imaging unit 12s1 relative to the placement section Sg2 for placing the work W0, for example. The second moving mechanism 12t2 can, for example, move the second imaging unit 12s2 relative to the workpiece W0 placed on the placement part Sg2. From another point of view, the second moving mechanism 12t2 can move the second imaging unit 12s2 relative to the placement section Sg2 for placing the work W0, for example.

このような構成が採用されれば、例えば、ワークＷ０に対して、第１撮像ユニット１２ｓ１と第２撮像ユニット１２ｓ２とを別々に移動させつつ、第１照明部Ｆ１１および第２照明部Ｆ１２のそれぞれで照明されたワークＷ０を第１撮像部Ｉ１１および第２撮像部Ｉ１２で撮像することができる。例えば、第１撮像部Ｉ１１は、第１照明部Ｆ１１によって照明されたワークＷ０、第２照明部Ｆ１２によって照明されたワークＷ０、および第１照明部Ｆ１１および第２照明部Ｆ１２の双方で照明されたワークＷ０のそれぞれについて、撮像を行うことができる。また、例えば、第２撮像部Ｉ１２も、第１照明部Ｆ１１によって照明されたワークＷ０、第２照明部Ｆ１２によって照明されたワークＷ０、および第１照明部Ｆ１１および第２照明部Ｆ１２の双方で照明されたワークＷ０のそれぞれについて、撮像を行うことができる。これにより、例えば、ワークＷ０の各部分を複数の照明条件で撮像することができる。したがって、例えば、種々の形状を有するワークＷ０を十分に捉えた画像を容易に撮像することができる。 If such a configuration is adopted, for example, while the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 are separately moved with respect to the work W0, the first illumination unit F11 and the second illumination unit F12 are respectively illuminated. can be imaged by the first imaging unit I11 and the second imaging unit I12. For example, the first imaging unit I11 is illuminated by the workpiece W0 illuminated by the first illumination unit F11, the workpiece W0 illuminated by the second illumination unit F12, and illuminated by both the first illumination unit F11 and the second illumination unit F12. An image can be captured for each of the workpieces W0. Further, for example, the second imaging unit I12 also detects the workpiece W0 illuminated by the first illumination unit F11, the workpiece W0 illuminated by the second illumination unit F12, and both the first illumination unit F11 and the second illumination unit F12. An image can be captured for each of the illuminated workpieces W0. Thereby, for example, each part of the workpiece W0 can be imaged under a plurality of illumination conditions. Therefore, for example, it is possible to easily capture an image that sufficiently captures the work W0 having various shapes.

移動機構１２ｔには、例えば、ロボットアーム等が適用される。ロボットアームには、例えば、多くの軸を基準として駆動可能なロボットアーム（多軸ロボットアームともいう）が適用される。ここで、例えば、第１移動機構１２ｔ１および第２移動機構１２ｔ２のうちの少なくとも一方の移動機構が、多軸ロボットアームであってもよい。このように、例えば、移動機構１２ｔに多軸ロボットアームが適用されれば、ワークＷ０の各部分を複数の照明条件で任意の角度から撮像することができる。 For example, a robot arm or the like is applied to the moving mechanism 12t. The robot arm is, for example, a robot arm that can be driven on the basis of many axes (also referred to as a multi-axis robot arm). Here, for example, at least one of the first moving mechanism 12t1 and the second moving mechanism 12t2 may be a multi-axis robot arm. Thus, for example, if a multi-axis robot arm is applied to the moving mechanism 12t, each part of the workpiece W0 can be imaged from any angle under a plurality of lighting conditions.

多軸ロボットアームには、例えば、基準部Ｐｔ０と、第１可動部Ｐｔ１と、第２可動部Ｐｔ２と、第３可動部Ｐｔ３と、第４可動部Ｐｔ４と、第５可動部Ｐｔ５と、第６可動部Ｐｔ６と、を有する６軸で回動可能なロボットアーム（６軸ロボットアームともいう）が適用される。この場合には、基準部Ｐｔ０は、例えば、撮像装置１２のベース部Ｂｓ１２等に固定されている。このベース部Ｂｓ１２には、例えば、搬送部Ｃｖ２のベルトコンベアが固定されていてもよい。基準部Ｐｔ０は、例えば、＋Ｚ方向に沿った第１軸Ｐｌ１を中心として第１可動部Ｐｔ１を回動可動に保持する回動部Ｐｒ１を有する。第１可動部Ｐｔ１は、例えば、水平方向に沿った第２軸Ｐｌ２を中心として第２可動部Ｐｔ２を回動可動に保持する第２回動部Ｐｒ２を有する。第２可動部Ｐｔ２は、例えば、水平方向に沿った第３軸Ｐｌ３を中心として第３可動部Ｐｔ３を回動可動に保持する第３回動部Ｐｒ３を有する。第３可動部Ｐｔ３は、例えば、第３軸Ｐｌ３に垂直である第４軸Ｐｌ４を中心として第４可動部Ｐｔ４を回動可動に保持する第４回動部Ｐｒ４を有する。第４可動部Ｐｔ４は、例えば、第４軸Ｐｌ４に垂直である第５軸Ｐｌ５を中心として第５可動部Ｐｔ５を回動可動に保持する第５回動部Ｐｒ５を有する。第５可動部Ｐｔ５は、例えば、第５軸Ｐｌ５に垂直である第６軸Ｐｌ６を中心として第６可動部Ｐｔ６を回動可動に保持する第６回動部Ｐｒ６を有する。そして、第６可動部Ｐｔ６に撮像ユニット１２ｓが固定された状態で位置している。 The multi-axis robot arm includes, for example, a reference portion Pt0, a first movable portion Pt1, a second movable portion Pt2, a third movable portion Pt3, a fourth movable portion Pt4, a fifth movable portion Pt5, and a third movable portion Pt5. A robot arm (also referred to as a 6-axis robot arm) having 6 movable parts Pt6 and capable of rotating about 6 axes is applied. In this case, the reference part Pt0 is fixed to the base part Bs12 of the imaging device 12, for example. For example, the belt conveyor of the transport section Cv2 may be fixed to the base section Bs12. The reference portion Pt0 has, for example, a rotating portion Pr1 that rotatably holds the first movable portion Pt1 about the first axis Pl1 along the +Z direction. The first movable part Pt1 has, for example, a second rotating part Pr2 that rotatably holds the second movable part Pt2 around a second axis Pl2 along the horizontal direction. The second movable part Pt2 has, for example, a third rotating part Pr3 that rotatably holds the third movable part Pt3 around a third axis Pl3 along the horizontal direction. The third movable part Pt3 has, for example, a fourth rotating part Pr4 that rotatably holds the fourth movable part Pt4 around a fourth axis Pl4 perpendicular to the third axis Pl3. The fourth movable part Pt4 has, for example, a fifth rotating part Pr5 that rotatably holds the fifth movable part Pt5 about a fifth axis Pl5 perpendicular to the fourth axis Pl4. The fifth movable part Pt5 has, for example, a sixth rotating part Pr6 that rotatably holds the sixth movable part Pt6 about a sixth axis Pl6 perpendicular to the fifth axis Pl5. The imaging unit 12s is fixed to the sixth movable portion Pt6.

また、第１実施形態では、第１移動機構１２ｔ１と第２移動機構１２ｔ２とが、載置部Ｓｇ２としての搬送部Ｃｖ２を挟むように位置している。これにより、例えば、ワークＷ０の表面のより広いエリアについて、ワークＷ０の各部分を複数の照明条件で容易に撮像することが可能となる。ここでは、例えば、第１移動機構１２ｔ１と第２移動機構１２ｔ２とが、載置部Ｓｇ２を挟んで対向するように位置している態様が考えられる。このような態様が採用されれば、例えば、平面視した場合にワークＷ０を挟んで第１撮像部Ｉ１１とは逆側に位置している第２照明部Ｆ１２から発せられた光のうちのワークＷ０上で反射された光が第１撮像部Ｉ１１に入射される照明条件を、容易に実現することができる。 Further, in the first embodiment, the first moving mechanism 12t1 and the second moving mechanism 12t2 are positioned so as to sandwich the transport section Cv2 as the mounting section Sg2. As a result, for example, for a wider area of the surface of the work W0, each portion of the work W0 can be easily imaged under a plurality of illumination conditions. Here, for example, a mode in which the first moving mechanism 12t1 and the second moving mechanism 12t2 are positioned to face each other with the receiver Sg2 interposed therebetween can be considered. If such a mode is adopted, for example, when viewed from the top, the workpiece W0 is positioned on the opposite side of the workpiece W0 from the second illumination unit F12, which is located on the opposite side of the first imaging unit I11. It is possible to easily realize an illumination condition in which the light reflected on W0 is incident on the first imaging unit I11.

ここで、例えば、第１移動機構１２ｔ１による第１撮像ユニット１２ｓ１の移動と、第２移動機構１２ｔ２による第２撮像ユニット１２ｓ２の移動と、によって、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２が、載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を全周にわたって撮像可能であってもよい。この場合には、例えば、ワークＷ０の表面のさらに広いエリアについて、ワークＷ０の各部分を複数の照明条件で容易に撮像することができる。ここでは、ワークＷ０を全周にわたって撮像可能である態様には、例えば、載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を、該ワークＷ０を通る鉛直方向（Ｚ方向）に沿った仮想軸を中心とした周方向における３６０度の何れの角度からも撮像が可能である態様が含まれる。また、ワークＷ０を全周にわたって撮像可能な態様には、例えば、載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を、載置部Ｓｇ２側を除く周囲における何れの角度からも撮像が可能であってもよい。 Here, for example, the movement of the first imaging unit 12s1 by the first movement mechanism 12t1 and the movement of the second imaging unit 12s2 by the second movement mechanism 12t2 cause the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 to It may be possible to image the entire circumference of the workpiece W0 placed on the placement part Sg2. In this case, for example, each portion of the work W0 can be easily imaged under a plurality of illumination conditions for a wider area on the surface of the work W0. Here, in a mode in which the image of the entire circumference of the work W0 can be captured, for example, the work W0 placed on the mounting part Sg2 is set to a virtual axis along the vertical direction (Z direction) passing through the work W0. A mode is included in which imaging is possible from any angle of 360 degrees in the circumferential direction around the center. In addition, in a mode in which the work W0 can be imaged over the entire circumference, for example, the work W0 placed on the mounting section Sg2 can be imaged from any angle in the surroundings except for the mounting section Sg2 side. may

＜１－１－３．反転装置の構成＞
反転装置１３は、例えば、ワークＷ０を反転させることができる。ワークＷ０の反転は、例えば、ワークＷ０の上下の反転を含む。ここで、反転装置１３は、例えば、第２撮像装置１２２の搬送部Ｃｖ２２から搬送部Ｃｖ３に受け渡されたワークＷ０を反転させることができる。反転装置１３は、例えば、ワークＷ０を反転させるためにワークＷ０を保持することが可能な保持部１３ｈ（図６参照）と、保持部１３ｈによってワークＷ０を保持させた状態で保持部１３ｈを移動させることでワークＷ０を反転させることが可能な移動機構１３ｔ（図６参照）と、を有する。保持部１３ｈには、例えば、ワークＷ０を挟持することが可能な２本以上の指部を有するハンド等が適用される。反転装置１３の移動機構１３ｔには、例えば、撮像装置１２の移動機構１２ｔと同様にロボットアーム等が適用される。ここで、反転装置１３は、例えば、１つの保持部１３ｈに対して１つの移動機構１３ｔを有していればよい。より具体的には、反転装置１３は、例えば、１つの保持部１３ｈが存在する場合には、１つの移動機構１３ｔを有していればよいし、２つ以上の保持部１３ｈが存在する場合には、２つ以上の移動機構１３ｔを有していればよい。 <1-1-3. Configuration of reversing device>
The reversing device 13 can, for example, reverse the work W0. Reversing the work W0 includes, for example, reversing the work W0 upside down. Here, the reversing device 13 can, for example, reverse the work W0 transferred from the conveying unit Cv22 to the conveying unit Cv3 of the second imaging device 122 . The reversing device 13 includes, for example, a holding portion 13h (see FIG. 6) capable of holding the work W0 in order to reverse the work W0, and the holding portion 13h is moved while the work W0 is held by the holding portion 13h. and a moving mechanism 13t (see FIG. 6) capable of inverting the work W0 by moving the work W0. For example, a hand having two or more fingers capable of holding the workpiece W0 is applied to the holding portion 13h. A robot arm or the like is applied to the moving mechanism 13t of the reversing device 13, for example, like the moving mechanism 12t of the imaging device 12. Here, the reversing device 13 may have, for example, one moving mechanism 13t for one holding portion 13h. More specifically, the reversing device 13 may have one moving mechanism 13t if, for example, one holding portion 13h exists, or if two or more holding portions 13h exist. may have two or more moving mechanisms 13t.

＜１－１－４．排出装置の構成＞
排出装置１４は、例えば、検査システム１の内部から検査システム１の外部にワークＷ０を排出するための装置である。この排出装置１４は、例えば、検査システム１に含まれる１つまたは２つ以上の撮像装置１２を含む２つ以上のモジュールのうちのワークＷ０の搬送経路Ｒｔ１における最後の部分に位置している。排出装置１４は、例えば、筒状部１４ｔｂのうちの撮像装置１２とは逆側の＋Ｘ方向の端部に開閉可能な部分（開閉部）１４ｏｃを有する。開閉部１４ｏｃは、例えば、開閉可能な扉またはシャッター等を有する。ワークＷ０は、例えば、開閉部１４ｏｃを介して排出装置１４の外部に排出される。例えば、作業者Ｏｐ０が、排出装置１４の外部にワークＷ０を排出する態様が考えられる。また、例えば、検査システム１の外部に設けられたロボット等が、排出装置１４の内部から外部にワークＷ０を排出してもよい。 <1-1-4. Configuration of discharge device>
The discharging device 14 is, for example, a device for discharging the work W0 from the inside of the inspection system 1 to the outside of the inspection system 1 . This discharging device 14 is located at the last part of the transport path Rt1 of the workpiece W0 among two or more modules including one or two or more imaging devices 12 included in the inspection system 1, for example. The ejection device 14 has, for example, an openable/closable portion (opening/closing portion) 14oc at the +X direction end of the cylindrical portion 14tb on the side opposite to the imaging device 12 . The opening/closing unit 14oc has, for example, an openable/closable door or shutter. The work W0 is discharged to the outside of the discharging device 14 via the opening/closing part 14oc, for example. For example, a mode in which the operator Op0 discharges the work W0 to the outside of the discharge device 14 is conceivable. Further, for example, a robot or the like provided outside the inspection system 1 may eject the workpiece W0 from the inside of the ejection device 14 to the outside.

＜１－２．検査システムの機能的構成＞
図３から図７は、第１実施形態に係る検査システム１の機能的構成の一例を示すブロック図である。図３は、検査システム１の全体の機能的構成の一例を模式的に示すブロック図である。図４は、検査システム１の全体の機能的構成のうちの投入装置１１の機能的構成の一例を示すブロック図である。図５は、検査システム１の全体の機能的構成のうちの撮像装置１２の機能的構成の一例を示すブロック図である。図６は、検査システム１の全体の機能的構成のうちの反転装置１３の機能的構成の一例を示すブロック図である。図７は、検査システム１の全体の機能的構成のうちの排出装置１４の機能的構成の一例を示すブロック図である。 <1-2. Functional Configuration of Inspection System>
3 to 7 are block diagrams showing an example of the functional configuration of the inspection system 1 according to the first embodiment. FIG. 3 is a block diagram schematically showing an example of the overall functional configuration of the inspection system 1. As shown in FIG. FIG. 4 is a block diagram showing an example of the functional configuration of the loading device 11 in the overall functional configuration of the inspection system 1. As shown in FIG. FIG. 5 is a block diagram showing an example of the functional configuration of the imaging device 12 in the overall functional configuration of the inspection system 1. As shown in FIG. FIG. 6 is a block diagram showing an example of the functional configuration of the reversing device 13 in the overall functional configuration of the inspection system 1. As shown in FIG. FIG. 7 is a block diagram showing an example of the functional configuration of the ejection device 14 in the overall functional configuration of the inspection system 1. As shown in FIG.

＜１－２－１．投入装置の機能的構成＞
図４で示されるように、投入装置１１は、例えば、配線Ｗｒ１を介して電気的に接続された、統括制御部Ｃ０と、入力部１１ｉと、搬送制御部Ｃｃ１と、接続部１１ｈと、を有する。また、投入装置１１は、例えば、統括制御部Ｃ０に接続された出力部１１ｄと、搬送制御部Ｃｃ１に接続された搬送部Ｃｖ１と、を有する。 <1-2-1. Functional Configuration of Inserting Device>
As shown in FIG. 4, the loading device 11 includes, for example, an integrated control unit C0, an input unit 11i, a transport control unit Cc1, and a connection unit 11h, which are electrically connected via a wiring Wr1. have. Also, the loading device 11 has, for example, an output unit 11d connected to the integrated control unit C0 and a transport unit Cv1 connected to the transport control unit Cc1.

統括制御部Ｃ０は、例えば、検査システム１の動作を統括して制御することができる。統括制御部Ｃ０は、例えば、演算部、メモリおよび記憶部等を有する。演算部は、例えば、１つ以上の中央演算ユニット（Central Processing Unit：ＣＰＵ）等で構成される。メモリは、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の揮発性の記憶媒体で構成される。記憶部は、例えば、ハードディスクドライブ（Hard Disk Drive：ＨＤＤ）またはソリッドステートドライブ（Solid State Drive：ＳＳＤ）等の不揮発性の記憶媒体で構成される。記憶部は、例えば、プログラムおよび各種情報等を記憶することができる。演算部は、例えば、記憶部に記憶されたプログラムを読み込んで実行することで、各種の機能を実現することができる。このとき、ＲＡＭは、例えば、ワークスペースとして使用され、一時的に生成もしくは取得される情報等を記憶する。統括制御部Ｃ０で実現される機能的構成の少なくとも一部は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで実現されてもよい。 The general control unit C0 can, for example, centrally control the operation of the inspection system 1 . The integrated control unit C0 has, for example, a calculation unit, a memory, a storage unit, and the like. The computing unit is configured by, for example, one or more Central Processing Units (CPUs). The memory is, for example, a volatile storage medium such as RAM (Random Access Memory). The storage unit is configured by, for example, a non-volatile storage medium such as a hard disk drive (HDD) or a solid state drive (SSD). The storage unit can store, for example, programs and various types of information. The arithmetic unit can realize various functions by reading and executing a program stored in the storage unit, for example. At this time, the RAM is used as, for example, a workspace, and stores information that is temporarily generated or acquired. At least part of the functional configuration realized by the general control unit C0 may be realized by hardware such as a dedicated electronic circuit, for example.

入力部１１ｉは、例えば、作業者Ｏｐ０の動作に応答して、各種の情報を入力することができる。入力部１１ｉには、例えば、ボタンもしくはタッチパネル等の操作部または音声入力が可能なマイク部等が適用される。作業者Ｏｐ０の動作は、例えば、操作および発声等の動作を含む。 The input unit 11i can input various information, for example, in response to the operation of the operator Op0. For the input unit 11i, for example, an operation unit such as buttons or a touch panel, or a microphone unit capable of voice input, or the like is applied. The actions of the operator Op0 include, for example, actions such as manipulation and vocalization.

出力部１１ｄは、例えば、統括制御部Ｃ０からの情報に基づき、作業者Ｏｐ０が認識可能な態様で情報を出力することができる。出力部１１ｄには、例えば、情報を可視的に出力する表示部もしくはランプおよび情報を可聴的に出力するスピーカー等が適用される。 The output unit 11d can output information in a manner recognizable by the operator Op0, for example, based on the information from the integrated control unit C0. For the output unit 11d, for example, a display unit or a lamp for visually outputting information, a speaker for audibly outputting information, or the like is applied.

搬送制御部Ｃｃ１は、例えば、搬送部Ｃｖ１の動作を制御することができる。搬送制御部Ｃｃ１は、例えば、演算部、メモリおよび記憶部を含むコンピュータと同様な構成を有する。搬送制御部Ｃｃ１は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、搬送制御部Ｃｃ１の機能を実現することができる。搬送制御部Ｃｃ１は、例えば、ベルトコンベアにおける少なくとも１つのプーリーを回転させるモータ等の駆動部の動作を制御することで、搬送部Ｃｖ１の動作を制御することができる。搬送制御部Ｃｃ１で実現される機能的構成の少なくとも一部は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで実現されてもよい。 The transport controller Cc1 can, for example, control the operation of the transport unit Cv1. The transport control unit Cc1 has, for example, a configuration similar to that of a computer including an arithmetic unit, a memory and a storage unit. The transport control unit Cc1 can implement the functions of the transport control unit Cc1 by, for example, executing a program in the storage unit in the arithmetic unit. The transport control unit Cc1 can control the operation of the transport unit Cv1 by controlling the operation of a driving unit such as a motor that rotates at least one pulley in the belt conveyor. At least part of the functional configuration implemented by the transport control unit Cc1 may be implemented by hardware such as a dedicated electronic circuit, for example.

接続部１１ｈは、例えば、検査システム１を構成する複数の装置のうちの投入装置１１以外の装置と電気的に接続する部分である。接続部１１ｈは、例えば、複数の装置の配線Ｗｒ２が別々に電気的に接続されるハブ方式のものであっても、複数の装置の配線Ｗｒ２が電気的に直列に接続される方式のものであってもよい。 The connection part 11h is a part electrically connected to, for example, a device other than the loading device 11 among the plurality of devices constituting the inspection system 1 . The connecting part 11h may, for example, be of a hub type in which the wirings Wr2 of a plurality of devices are electrically connected separately, or of a type in which the wirings Wr2 of the plurality of devices are electrically connected in series. There may be.

＜１－２－２．撮像装置の機能的構成＞
第１撮像装置１２１、第２撮像装置１２２、第３撮像装置１２３および第４撮像装置１２４は、それぞれ同一の機能的構成を有する。 <1-2-2. Functional Configuration of Imaging Device>
The first imaging device 121, the second imaging device 122, the third imaging device 123, and the fourth imaging device 124 each have the same functional configuration.

図５（ａ）で示されるように、撮像装置１２は、例えば、配線Ｗｒ２を介して相互に電気的に接続された、搬送制御部Ｃｃ２と、撮像制御部Ｃｓ２と、移動制御部Ｃｔ２と、を有する。また、撮像装置１２は、例えば、搬送制御部Ｃｃ２に接続された搬送部Ｃｖ２と、撮像制御部Ｃｓ２に接続された撮像ユニット１２ｓと、移動制御部Ｃｔ２に接続された移動機構１２ｔと、を有する。 As shown in FIG. 5A, the imaging device 12 includes, for example, a transport control unit Cc2, an imaging control unit Cs2, and a movement control unit Ct2, which are electrically connected to each other via a wiring Wr2. have Further, the imaging device 12 has, for example, a transport section Cv2 connected to the transport control section Cc2, an imaging unit 12s connected to the imaging control section Cs2, and a movement mechanism 12t connected to the movement control section Ct2. .

図５（ａ）の例では、撮像装置１２は、２つの撮像制御部Ｃｓ２と、２つの移動制御部Ｃｔ２と、を有する。２つの撮像制御部Ｃｓ２は、例えば、１つ目の撮像制御部Ｃｓ２（第１撮像制御部Ｃｓ２１ともいう）と、２つ目の撮像制御部Ｃｓ２（第２撮像制御部Ｃｓ２２ともいう）と、を含む。２つの移動制御部Ｃｔ２は、例えば、１つ目の移動制御部Ｃｔ２（第１移動制御部Ｃｔ２１ともいう）および２つ目の移動制御部Ｃｔ２（第２移動制御部Ｃｔ２２ともいう）を含む。そして、撮像装置１２は、第１撮像ユニット１２ｓ１と第２撮像ユニット１２ｓ２とを含む２つの撮像ユニット１２ｓを有し、第１移動機構１２ｔ１と第２移動機構１２ｔ２とを含む２つの移動機構１２ｔを有する。ここでは、例えば、第１撮像制御部Ｃｓ２１に第１撮像ユニット１２ｓ１が接続され、第２撮像制御部Ｃｓ２２に第２撮像ユニット１２ｓ２が接続されている。また、例えば、第１移動制御部Ｃｔ２１に第１移動機構１２ｔ１が接続され、第２移動制御部Ｃｔ２２に第２移動機構１２ｔ２が接続されている。ここで、第１撮像ユニット１２ｓ１は、図５（ｂ）で示されるように、第１撮像部Ｉ１１と第１照明部Ｆ１１とを含み、第２撮像ユニット１２ｓ２は、図５（ｃ）で示されるように、第２撮像部Ｉ１２と第２照明部Ｆ１２とを含む。 In the example of FIG. 5A, the imaging device 12 has two imaging controllers Cs2 and two movement controllers Ct2. The two imaging control units Cs2 are, for example, a first imaging control unit Cs2 (also referred to as a first imaging control unit Cs21), a second imaging control unit Cs2 (also referred to as a second imaging control unit Cs22), including. The two movement controllers Ct2 include, for example, a first movement controller Ct2 (also referred to as a first movement controller Ct21) and a second movement controller Ct2 (also referred to as a second movement controller Ct22). The imaging device 12 has two imaging units 12s including a first imaging unit 12s1 and a second imaging unit 12s2, and two moving mechanisms 12t including a first moving mechanism 12t1 and a second moving mechanism 12t2. have. Here, for example, the first imaging unit 12s1 is connected to the first imaging control section Cs21, and the second imaging unit 12s2 is connected to the second imaging control section Cs22. Further, for example, the first movement mechanism 12t1 is connected to the first movement control unit Ct21, and the second movement mechanism 12t2 is connected to the second movement control unit Ct22. Here, as shown in FIG. 5B, the first imaging unit 12s1 includes a first imaging unit I11 and a first illumination unit F11, and the second imaging unit 12s2 is shown in FIG. 5C. It includes a second imaging unit I12 and a second illumination unit F12 so as to be captured.

搬送制御部Ｃｃ２、撮像制御部Ｃｓ２および移動制御部Ｃｔ２のそれぞれは、例えば、演算部とメモリと記憶部とを含むコンピュータと同様な構成を有する。 Each of the transport control unit Cc2, the imaging control unit Cs2, and the movement control unit Ct2 has a configuration similar to that of a computer including, for example, a calculation unit, a memory, and a storage unit.

搬送制御部Ｃｃ２は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、搬送制御部Ｃｃ２の機能を実現することができる。搬送制御部Ｃｃ２は、例えば、ベルトコンベアにおける少なくとも１つのプーリーを回転させるモータ等の駆動部の動作を制御することで、搬送部Ｃｖ２の動作を制御することができる。搬送制御部Ｃｃ２で実現される機能的構成の少なくとも一部は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。 The transport control unit Cc2 can realize the functions of the transport control unit Cc2, for example, by executing the program in the storage unit in the arithmetic unit. The transport control unit Cc2 can control the operation of the transport unit Cv2 by controlling the operation of a driving unit such as a motor that rotates at least one pulley in the belt conveyor. At least part of the functional configuration realized by the transport control section Cc2 may be configured by hardware such as a dedicated electronic circuit, for example.

撮像制御部Ｃｓ２は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、撮像制御部Ｃｓ２の機能を実現することができる。撮像制御部Ｃｓ２は、例えば、撮像ユニット１２ｓの動作を制御するとともに、撮像ユニット１２ｓによるワークＷ０の撮像によって得られる情報（撮像情報ともいう）を取得することができる。例えば、第１撮像制御部Ｃｓ２１は、第１撮像ユニット１２ｓ１の動作を制御するとともに、第１撮像ユニット１２ｓ１によるワークＷ０の撮像によって得られる撮像情報を取得することができる。具体的には、第１撮像制御部Ｃｓ２１は、例えば、第１照明部Ｆ１１の発光および第１撮像部Ｉ１１の撮像の各タイミングを制御することができる。また、例えば、第２撮像制御部Ｃｓ２２は、第２撮像ユニット１２ｓ２の動作を制御するとともに、第２撮像ユニット１２ｓ２によるワークＷ０の撮像によって得られる撮像情報を取得することができる。具体的には、例えば、第２撮像制御部Ｃｓ２２は、第２照明部Ｆ１２の発光および第２撮像部Ｉ１２の撮像の各タイミングを制御することができる。ここで、例えば、統括制御部Ｃ０から第１撮像制御部Ｃｓ２１および第２撮像制御部Ｃｓ２２に対する制御信号によって、第１撮像ユニット１２ｓ１と第２撮像ユニット１２ｓ２とが同期して動作し得る。例えば、第１撮像制御部Ｃｓ２１と第２撮像制御部Ｃｓ２２との間における信号の送受信によって、第１撮像ユニット１２ｓ１と第２撮像ユニット１２ｓ２とが同期して動作してもよい。 The image capturing control unit Cs2 can implement the functions of the image capturing control unit Cs2 by, for example, executing a program in the storage unit in the arithmetic unit. The imaging control section Cs2 can, for example, control the operation of the imaging unit 12s and acquire information (also referred to as imaging information) obtained by imaging the workpiece W0 with the imaging unit 12s. For example, the first imaging control section Cs21 can control the operation of the first imaging unit 12s1 and acquire imaging information obtained by imaging the workpiece W0 with the first imaging unit 12s1. Specifically, the first imaging control unit Cs21 can, for example, control the timing of light emission by the first lighting unit F11 and imaging by the first imaging unit I11. Further, for example, the second imaging control section Cs22 can control the operation of the second imaging unit 12s2 and acquire imaging information obtained by imaging the work W0 by the second imaging unit 12s2. Specifically, for example, the second imaging control unit Cs22 can control each timing of light emission by the second lighting unit F12 and imaging by the second imaging unit I12. Here, for example, the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 can operate synchronously by control signals from the integrated control unit C0 to the first imaging control unit Cs21 and the second imaging control unit Cs22. For example, the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 may operate in synchronization by signal transmission/reception between the first imaging control section Cs21 and the second imaging control section Cs22.

撮像制御部Ｃｓ２は、例えば、ワークＷ０に係る撮像情報をそのままあるいは各種の情報処理を施した上で配線Ｗｒ２および配線Ｗｒ１等を介して統括制御部Ｃ０に出力することができる。これにより、ワークＷ０を対象とした撮像の結果としての撮像情報が取得され得る。ここで、例えば、統括制御部Ｃ０が出力部１１ｄに撮像情報に基づく画像を表示させ、その画像を作業者Ｏｐ０が目視することでワークＷ０の外観を検査してもよいし、統括制御部Ｃ０が撮像情報に係る画像とワークＷ０の少なくとも一部に係る標準的な画像とを比較することでワークＷ０の外観を検査する演算を行ってもよい。ここで、例えば、撮像制御部Ｃｓ２が、ワークＷ０の外観を検査する演算を行い、その演算の結果を示す情報を統括制御部Ｃ０に送ってもよい。撮像制御部Ｃｓ２で実現される機能的構成の少なくとも一部は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。 The imaging control unit Cs2 can, for example, output imaging information related to the workpiece W0 as it is or after performing various types of information processing to the overall control unit C0 via the wiring Wr2, the wiring Wr1, and the like. Thereby, imaging information as a result of imaging the work W0 as a target can be obtained. Here, for example, the overall control unit C0 may cause the output unit 11d to display an image based on the imaging information, and the operator Op0 may visually inspect the image to inspect the appearance of the work W0. may perform an operation for inspecting the appearance of the work W0 by comparing an image related to the imaging information with a standard image related to at least a part of the work W0. Here, for example, the imaging control unit Cs2 may perform calculations for inspecting the appearance of the workpiece W0 and send information indicating the results of the calculations to the overall control unit C0. At least part of the functional configuration realized by the imaging control unit Cs2 may be configured by hardware such as a dedicated electronic circuit, for example.

移動制御部Ｃｔ２は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、移動制御部Ｃｔ２の機能を実現することができる。移動制御部Ｃｔ２は、例えば、移動機構１２ｔの動作を制御することができる。例えば、第１移動制御部Ｃｔ２１は、第１移動機構１２ｔ１の動作を制御することができる。また、例えば、第２移動制御部Ｃｔ２２は、第２移動機構１２ｔ２の動作を制御することができる。ここでは、例えば、第１移動制御部Ｃｔ２１は、載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に対する第１撮像ユニット１２ｓ１の相対的な位置を移動させることで、第１撮像ユニット１２ｓ１によってワークＷ０の複数箇所について撮像を行うように制御することができる。また、例えば、第２移動制御部Ｃｔ２２は、載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に対する第２撮像ユニット１２ｓ２の相対的な位置を移動させることで、第２撮像ユニット１２ｓ２によってワークＷ０の複数箇所について撮像を行うように制御することができる。移動制御部Ｃｔ２で実現される機能的な構成の少なくとも一部は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。 The movement control unit Ct2 can realize the function of the movement control unit Ct2 by, for example, executing the program in the storage unit in the calculation unit. The movement controller Ct2 can control the movement of the movement mechanism 12t, for example. For example, the first movement controller Ct21 can control the operation of the first movement mechanism 12t1. Also, for example, the second movement control unit Ct22 can control the operation of the second movement mechanism 12t2. Here, for example, the first movement control section Ct21 moves the relative position of the first imaging unit 12s1 with respect to the workpiece W0 placed on the placement section Sg2, thereby moving the workpiece W0 with the first imaging unit 12s1. can be controlled to perform imaging at a plurality of locations. Further, for example, the second movement control part Ct22 moves the relative position of the second imaging unit 12s2 with respect to the work W0 placed on the placing part Sg2, thereby moving the work W0 by the second imaging unit 12s2. It is possible to perform control so that imaging is performed at a plurality of locations. At least part of the functional configuration realized by the movement control unit Ct2 may be configured by hardware such as a dedicated electronic circuit, for example.

＜１－２－３．反転装置の機能的構成＞
図６で示されるように、反転装置１３は、例えば、配線Ｗｒ２を介して相互に電気的に接続された、搬送制御部Ｃｃ３と、反転制御部Ｃｒ３と、を有する。また、反転装置１３は、例えば、搬送制御部Ｃｃ３に接続された搬送部Ｃｖ３と、反転制御部Ｃｒ３に接続された保持部１３ｈおよび移動機構１３ｔと、を有する。図６の例では、反転装置１３は、１つの反転制御部Ｃｒ３を有する。ここで、例えば、反転装置１３が、２つの保持部１３ｈおよび２つの移動機構１３ｔと、２つの反転制御部Ｃｒ３と、を有していてもよい。 <1-2-3. Functional configuration of reversing device>
As shown in FIG. 6, the reversing device 13 has, for example, a transport control section Cc3 and a reversing control section Cr3 electrically connected to each other via a wiring Wr2. Further, the reversing device 13 has, for example, a transporting section Cv3 connected to the transporting control section Cc3, and a holding section 13h and a moving mechanism 13t connected to the reversing control section Cr3. In the example of FIG. 6, the reversing device 13 has one reversing controller Cr3. Here, for example, the reversing device 13 may have two holding portions 13h, two moving mechanisms 13t, and two reversing control portions Cr3.

搬送制御部Ｃｃ３および反転制御部Ｃｒ３のそれぞれは、例えば、演算部とメモリと記憶部とを含むコンピュータと同様な構成を有する。 Each of the transport control section Cc3 and the reverse control section Cr3 has a configuration similar to that of a computer including, for example, a calculation section, a memory, and a storage section.

搬送制御部Ｃｃ３は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、搬送制御部Ｃｃ３の機能を実現することができる。搬送制御部Ｃｃ３は、例えば、ベルトコンベアにおける少なくとも１つのプーリーを回転させるモータ等の駆動部の動作を制御することで、搬送部Ｃｖ３の動作を制御することができる。搬送制御部Ｃｃ３で実現される機能的構成の少なくとも一部は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。 The transport control unit Cc3 can realize the functions of the transport control unit Cc3 by, for example, executing the program in the storage unit by the calculation unit. The transport control unit Cc3 can control the operation of the transport unit Cv3, for example, by controlling the operation of a driving unit such as a motor that rotates at least one pulley in the belt conveyor. At least part of the functional configuration realized by the transport control section Cc3 may be configured by hardware such as a dedicated electronic circuit, for example.

反転制御部Ｃｒ３は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、反転制御部Ｃｒ３の機能を実現することができる。反転制御部Ｃｒ３は、例えば、保持部１３ｈおよび移動機構１３ｔの動作を制御することができる。具体的には、例えば、反転制御部Ｃｒ３は、保持部１３ｈによってワークＷ０を挟持等によって保持させ、ワークＷ０を保持している状態の保持部１３ｈを移動機構１３ｔによって移動させることで、ワークＷ０を上下反転させることができる。これにより、例えば、第１撮像装置１２１および第２撮像装置１２２においてワークＷ０の表（おもて）面を対象とした撮像を行い、第３撮像装置１２３および第４撮像装置１２４においてワークＷ０の裏面を対象とした撮像を行うことができる。 The inversion control section Cr3 can realize the function of the inversion control section Cr3 by, for example, executing the program in the storage section in the calculation section. The reversal control section Cr3 can, for example, control the operations of the holding section 13h and the moving mechanism 13t. Specifically, for example, the reversing control section Cr3 causes the holding section 13h to hold the work W0 by pinching or the like, and moves the holding section 13h holding the work W0 by the moving mechanism 13t so that the work W0 is held by the holding section 13h. can be flipped upside down. As a result, for example, the first imaging device 121 and the second imaging device 122 perform imaging of the front surface of the work W0, and the third imaging device 123 and the fourth imaging device 124 perform imaging of the work W0. It is possible to perform imaging targeting the back surface.

＜１－２－４．排出装置の機能的構成＞
図７で示されるように、排出装置１４は、例えば、配線Ｗｒ２に電気的に接続された搬送制御部Ｃｃ４と、この搬送制御部Ｃｃ４に接続された搬送部Ｃｖ４と、を有する。搬送制御部Ｃｃ４は、例えば、演算部とメモリと記憶部とを含むコンピュータと同様な構成を有する。搬送制御部Ｃｃ４は、例えば、記憶部内のプログラムを演算部で実行することで、搬送制御部Ｃｃ４の機能を実現することができる。搬送制御部Ｃｃ４は、例えば、ベルトコンベアにおける少なくとも１つのプーリーを回転させるモータ等の駆動部の動作を制御することで、搬送部Ｃｖ４の動作を制御することができる。搬送制御部Ｃｃ４で実現される機能的な構成の少なくとも一部は、例えば、専用の電子回路等のハードウェアで構成されてもよい。 <1-2-4. Functional configuration of discharge device>
As shown in FIG. 7, the discharging device 14 has, for example, a transport control section Cc4 electrically connected to the wiring Wr2 and a transport section Cv4 connected to the transport control section Cc4. The transport control unit Cc4 has, for example, a configuration similar to that of a computer including a calculation unit, a memory, and a storage unit. The transport control unit Cc4 can implement the functions of the transport control unit Cc4 by, for example, executing the program in the storage unit in the arithmetic unit. The transport control unit Cc4 can control the operation of the transport unit Cv4, for example, by controlling the operation of a driving unit such as a motor that rotates at least one pulley in the belt conveyor. At least part of the functional configuration realized by the transport control section Cc4 may be configured by hardware such as a dedicated electronic circuit, for example.

＜１－３．撮像装置の動作＞
図８は、撮像装置１２の動作の一例を示すタイミングチャートである。図８では、横軸が時刻を示し、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２のそれぞれの動作のタイミングが示されている。ここでは、ワークＷ０のうちのＸ方向における位置を示す座標値がＸ１，Ｘ２，Ｘ３，・・・である部分が、この記載の順に撮像画像の略中央で捉えられるように、第１移動機構１２ｔ１および第２移動機構１２ｔ２によって第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２のそれぞれのＸ方向における位置を示す座標値がＸ１，Ｘ２，Ｘ３，・・・の順に変更される例を挙げて説明する。ここでは、時刻が時刻ｔ０から時刻ｔ９の順に経過している期間について説明する。 <1-3. Operation of Imaging Device>
FIG. 8 is a timing chart showing an example of the operation of the imaging device 12. As shown in FIG. In FIG. 8, the horizontal axis indicates time, and timings of operations of the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 are illustrated. Here, the first moving mechanism is arranged so that the portions of the workpiece W0 whose coordinate values indicating the position in the X direction are X1, X2, X3, . 12t1 and the second moving mechanism 12t2 change the coordinate values indicating the positions in the X direction of the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 in the order of X1, X2, X3, . . . do. Here, a period in which time elapses in order from time t0 to time t9 will be described.

まず、時刻ｔ０から時刻ｔ１の期間において、第１撮像ユニット１２ｓ１のＸ方向における位置を示す座標値がＸ１である状態で、第１撮像ユニット１２ｓ１が、第１照明部Ｆ１１によってワークＷ０を照明しながら第１撮像部Ｉ１１によるワークＷ０の撮像（撮像１ａともいう）を行う。 First, in a period from time t0 to time t1, the first imaging unit 12s1 illuminates the workpiece W0 with the first illumination unit F11 while the coordinate value indicating the position of the first imaging unit 12s1 in the X direction is X1. while the workpiece W0 is imaged (also referred to as imaging 1a) by the first imaging unit I11.

次に、時刻ｔ１から時刻ｔ２の期間において、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２のそれぞれのＸ方向における位置を示す座標値がＸ１である状態で、第１照明部Ｆ１１および第２照明部Ｆ１２の双方によってワークＷ０を照明しながら第１撮像ユニット１２ｓ１が第１撮像部Ｉ１１によるワークＷ０の撮像（撮像１ｂともいう）を行うとともに第２撮像ユニット１２ｓ２が第２撮像部Ｉ１２によるワークＷ０の撮像（撮像１ｃともいう）を行う。また、時刻ｔ１から時刻ｔ２の期間において、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２のそれぞれのＸ方向における位置を示す座標値がＸ１である状態で、第２照明部Ｆ１２によってワークＷ０を照明しながら第１撮像部Ｉ１１によるワークＷ０の撮像（撮像１ｄともいう）を行うとともに第１照明部Ｆ１１によってワークＷ０を照明しながら第２撮像部Ｉ１２によるワークＷ０の撮像（撮像１ｅともいう）を行う。 Next, in a period from time t1 to time t2, in a state where the coordinate value indicating the position in the X direction of each of the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 is X1, the first lighting unit F11 and the second lighting unit While the workpiece W0 is illuminated by both of the parts F12, the first imaging unit 12s1 performs imaging of the workpiece W0 by the first imaging section I11 (also referred to as imaging 1b), and the second imaging unit 12s2 performs imaging of the workpiece W0 by the second imaging section I12. (also referred to as imaging 1c) is performed. In addition, during the period from time t1 to time t2, the work W0 is illuminated by the second illumination unit F12 in a state where the coordinate value indicating the position in the X direction of each of the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 is X1. While the first imaging unit I11 captures an image of the work W0 (also referred to as imaging 1d), and while illuminating the work W0 with the first illumination unit F11, the second imaging unit I12 captures an image of the work W0 (also referred to as imaging 1e). conduct.

次に、時刻ｔ２から時刻ｔ４の期間において、第１撮像ユニット１２ｓ１が、第１移動機構１２ｔ１によって、Ｘ方向における位置を示す座標値がＸ１からＸ２に変更されるように、Ｘ方向に移動する。 Next, in the period from time t2 to time t4, the first imaging unit 12s1 is moved in the X direction by the first moving mechanism 12t1 so that the coordinate value indicating the position in the X direction is changed from X1 to X2. .

このとき、時刻ｔ２から時刻ｔ３の期間において、第２撮像ユニット１２ｓ２のＸ方向における位置を示す座標値がＸ１である状態で、第２撮像ユニット１２ｓ２が、第２照明部Ｆ１２によってワークＷ０を照明しながら第２撮像部Ｉ１２によるワークＷ０の撮像（撮像１ｆともいう）を行う。 At this time, in the period from time t2 to time t3, the second imaging unit 12s2 illuminates the workpiece W0 with the second illumination section F12 while the coordinate value indicating the position of the second imaging unit 12s2 in the X direction is X1. While the second imaging unit I12 is imaging the workpiece W0 (also referred to as imaging 1f).

そして、時刻ｔ３から時刻ｔ５の期間において、第２撮像ユニット１２ｓ２が、第２移動機構１２ｔ２によって、Ｘ方向における位置を示す座標値がＸ１からＸ２に変更されるように、Ｘ方向に移動する。 In the period from time t3 to time t5, the second imaging unit 12s2 moves in the X direction by the second moving mechanism 12t2 so that the coordinate value indicating the position in the X direction is changed from X1 to X2.

このとき、時刻ｔ４から時刻ｔ５の期間において、第１撮像ユニット１２ｓ１のＸ方向における位置を示す座標値がＸ２である状態で、第１撮像ユニット１２ｓ１が、第１照明部Ｆ１１によってワークＷ０を照明しながら第１撮像部Ｉ１１によるワークＷ０の撮像（撮像２ａともいう）を行う。 At this time, in the period from time t4 to time t5, the first imaging unit 12s1 illuminates the workpiece W0 with the first illumination unit F11 while the coordinate value indicating the position of the first imaging unit 12s1 in the X direction is X2. While the work W0 is being imaged by the first imaging unit I11 (also referred to as imaging 2a).

次に、時刻ｔ５から時刻ｔ６の期間において、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２のそれぞれのＸ方向における位置を示す座標値がＸ２である状態で、第１照明部Ｆ１１および第２照明部Ｆ１２の双方によってワークＷ０を照明しながら第１撮像ユニット１２ｓ１が第１撮像部Ｉ１１によるワークＷ０の撮像（撮像２ｂともいう）を行うとともに第２撮像ユニット１２ｓ２が第２撮像部Ｉ１２によるワークＷ０の撮像（撮像２ｃともいう）を行う。また、時刻ｔ５から時刻ｔ６の期間において、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２のそれぞれのＸ方向における位置を示す座標値がＸ２である状態で、第２照明部Ｆ１２によってワークＷ０を照明しながら第１撮像部Ｉ１１によるワークＷ０の撮像（撮像２ｄともいう）を行うとともに第１照明部Ｆ１１によってワークＷ０を照明しながら第２撮像部Ｉ１２によるワークＷ０の撮像（撮像２ｅともいう）を行う。 Next, in a period from time t5 to time t6, the first illumination unit F11 and the second illumination unit F11 and the second illumination unit F11 and the second illumination unit F11 and the second illumination unit F11 and the second illumination unit F11 and the second illumination unit F11 and the second illumination unit F11 and the second illumination unit F11 and the second illumination unit While the workpiece W0 is illuminated by both of the parts F12, the first imaging unit 12s1 performs imaging of the workpiece W0 by the first imaging section I11 (also referred to as imaging 2b), and the second imaging unit 12s2 performs imaging of the workpiece W0 by the second imaging section I12. (also referred to as imaging 2c) is performed. In addition, during the period from time t5 to time t6, the work W0 is illuminated by the second illumination unit F12 in a state where the coordinate value indicating the position in the X direction of each of the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 is X2. While the first imaging unit I11 captures an image of the work W0 (also referred to as an image capture 2d), and while the first illumination unit F11 illuminates the work W0, the second image capture unit I12 captures an image of the work W0 (also referred to as an image capture 2e). conduct.

次に、時刻ｔ６から時刻ｔ８の期間において、第１撮像ユニット１２ｓ１が、第１移動機構１２ｔ１によって、Ｘ方向における位置を示す座標値がＸ２からＸ３に変更されるように、Ｘ方向に移動する。 Next, in the period from time t6 to time t8, the first imaging unit 12s1 is moved in the X direction by the first moving mechanism 12t1 so that the coordinate value indicating the position in the X direction is changed from X2 to X3. .

このとき、時刻ｔ６から時刻ｔ７の期間において、第２撮像ユニット１２ｓ２のＸ方向における位置を示す座標値がＸ２である状態で、第２撮像ユニット１２ｓ２が、第２照明部Ｆ１２によってワークＷ０を照明しながら第２撮像部Ｉ１２によるワークＷ０の撮像（撮像２ｆともいう）を行う。 At this time, in the period from time t6 to time t7, the second imaging unit 12s2 illuminates the workpiece W0 with the second illumination section F12 in a state where the coordinate value indicating the position of the second imaging unit 12s2 in the X direction is X2. While the work W0 is being imaged by the second imaging unit I12 (also referred to as imaging 2f).

そして、時刻ｔ７から時刻ｔ９の期間において、第２撮像ユニット１２ｓ２が、第２移動機構１２ｔ２によって、Ｘ方向における位置を示す座標値がＸ２からＸ３に変更されるように、Ｘ方向に移動する。 In the period from time t7 to time t9, the second imaging unit 12s2 moves in the X direction by the second moving mechanism 12t2 so that the coordinate value indicating the position in the X direction is changed from X2 to X3.

このとき、時刻ｔ８から時刻ｔ９の期間において、第１撮像ユニット１２ｓ１のＸ方向における位置を示す座標値がＸ３である状態で、第１撮像ユニット１２ｓ１が、第１照明部Ｆ１１によってワークＷ０を照明しながら第１撮像部Ｉ１１によるワークＷ０の撮像（撮像３ａともいう）を行う。 At this time, in the period from time t8 to time t9, the first imaging unit 12s1 illuminates the workpiece W0 with the first illumination unit F11 while the coordinate value indicating the position of the first imaging unit 12s1 in the X direction is X3. While the work W0 is being imaged by the first imaging unit I11 (also referred to as imaging 3a).

ここでは、例えば、統括制御部Ｃ０が、第１撮像ユニット１２ｓ１と第２撮像ユニット１２ｓ２とが交互に移動するように、第１移動機構１２ｔ１および第２移動機構１２ｔ２の動作を制御する。具体的には、例えば、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２のうちの撮像および照明が完了した第１撮像ユニット１２ｓ１を先に移動させ、第２撮像ユニット１２ｓ２の撮像および照明が完了した時点で第２撮像ユニット１２ｓ２を移動させるように制御する。このような制御によれば、例えば、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２を用いた撮像および照明が全て完了した後に、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２の双方を同時に移動させる制御と比較して、ワークＷ０の複数箇所について、複数の照明条件における撮像に要する時間を短縮することができる。したがって、例えば、単位時間あたりに撮像を完了させることができるワークＷ０の数を増加させることができる。 Here, for example, the integrated control section C0 controls the operations of the first moving mechanism 12t1 and the second moving mechanism 12t2 so that the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 move alternately. Specifically, for example, of the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2, the first imaging unit 12s1 that has completed imaging and illumination is moved first, and the imaging and illumination of the second imaging unit 12s2 are completed. Control is performed so that the second imaging unit 12s2 is moved at this time. According to such control, for example, both the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 are moved at the same time after the imaging and illumination using the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 are all completed. Compared to control, it is possible to shorten the time required for imaging multiple locations on the workpiece W0 under multiple illumination conditions. Therefore, for example, it is possible to increase the number of workpieces W0 whose imaging can be completed per unit time.

＜１－４．第１実施形態のまとめ＞
以上のように、第１実施形態に係る撮像装置１２によれば、例えば、ワークＷ０に対して、第１撮像ユニット１２ｓ１と第２撮像ユニット１２ｓ２とを別々に移動させつつ、第１照明部Ｆ１１および第２照明部Ｆ１２のそれぞれで照明されたワークＷ０を第１撮像部Ｉ１１および第２撮像部Ｉ１２で撮像することができる。これにより、例えば、ワークＷ０の各部分を複数の照明条件で撮像することができる。したがって、例えば、種々の形状を有するワークＷ０を十分に捉えた画像を容易に撮像することができる。 <1-4. Summary of First Embodiment>
As described above, according to the imaging device 12 according to the first embodiment, for example, while the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 are separately moved with respect to the workpiece W0, the first illumination unit F11 is illuminated. and the second illumination unit F12, respectively, can be imaged by the first imaging unit I11 and the second imaging unit I12. Thereby, for example, each part of the workpiece W0 can be imaged under a plurality of illumination conditions. Therefore, for example, it is possible to easily capture an image that sufficiently captures the work W0 having various shapes.

＜２．他の実施形態＞
本発明は上述の第１実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。 <2. Other Embodiments>
The present invention is not limited to the first embodiment described above, and various modifications and improvements are possible without departing from the gist of the present invention.

＜２－１．第２実施形態＞
上記第１実施形態において、例えば、第１撮像ユニット１２ｓ１は、２つ以上の第１撮像部Ｉ１１を含んでいてもよいし、２つ以上の第１照明部Ｆ１１を含んでいてもよい。また、例えば、第２撮像ユニット１２ｓ２は、２つ以上の第２撮像部Ｉ１２を含んでいてもよいし、２つ以上の第２照明部Ｆ１２を含んでいてもよい。すなわち、例えば、第１撮像ユニット１２ｓ１は、１つ以上の第１撮像部Ｉ１１および１つ以上の第１照明部Ｆ１１を含んでいてもよいし、第２撮像ユニット１２ｓ２は、１つ以上の第２撮像部Ｉ１２および１つ以上の第２照明部Ｆ１２を含んでいてもよい。 <2-1. Second Embodiment>
In the first embodiment described above, for example, the first imaging unit 12s1 may include two or more first imaging sections I11, or may include two or more first illumination sections F11. Also, for example, the second imaging unit 12s2 may include two or more second imaging units I12, or may include two or more second lighting units F12. That is, for example, the first imaging unit 12s1 may include one or more first imaging units I11 and one or more first lighting units F11, and the second imaging unit 12s2 may include one or more first imaging units I11. It may include two imaging units I12 and one or more second illumination units F12.

＜２－１－１．撮像ユニットの構成＞
図９は、第２実施形態に係る第１撮像ユニット１２ｓ１の物理的構成の一例を模式的に示す図である。 <2-1-1. Configuration of Imaging Unit>
FIG. 9 is a diagram schematically showing an example of the physical configuration of the first imaging unit 12s1 according to the second embodiment.

例えば、図９で示されるように、第１撮像ユニット１２ｓ１が、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａと第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂと第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃとを含む１つ以上の第１撮像部Ｉ１１、およびを第１Ａ照明部Ｆ１１ａと第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂと第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃとを含む１つ以上の第１照明部Ｆ１１を有していてもよい。ここでは、例えば、第１Ａ照明部Ｆ１１ａが載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を上方から照明している状態で第１Ａ撮像部Ｉ１１ａが載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を上方から撮像することが可能である。また、例えば、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂが載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を斜め上方から照明している状態で第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂが載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を斜め上方から撮像することが可能である。また、例えば、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃが載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を水平方向に向かって照明している状態で第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃが載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を水平方向に向かって撮像することが可能である。この場合には、例えば、第１撮像ユニット１２ｓ１を移動させることなく、より少ない動作で複数の照明条件においてワークＷ０の撮像を行うことができる。したがって、例えば、種々の形状を有するワークＷ０を十分に捉えた画像をさらに容易に撮像することができる。 For example, as shown in FIG. 9, a first imaging unit 12s1 includes one or more first imaging sections I11 including a first A imaging section I11a, a first B imaging section I11b, and a first C imaging section I11c, and a first imaging section I11. It may have one or more first lighting units F11 including a 1A lighting unit F11a, a first B lighting unit F11b, and a first C lighting unit F11c. Here, for example, in a state in which the first A illumination unit F11a illuminates the work W0 placed on the placement unit Sg2 from above, the first A imaging unit I11a lights the work W0 placed on the placement unit Sg2. can be imaged from above. Further, for example, while the first B illumination unit F11b illuminates the work W0 placed on the placement unit Sg2 from obliquely above, the first B imaging unit I11b can be imaged obliquely from above. Further, for example, the first C imaging unit I11c is placed on the mounting unit Sg2 in a state in which the first C lighting unit F11c illuminates the workpiece W0 placed on the mounting unit Sg2 in the horizontal direction. It is possible to image the workpiece W0 in the horizontal direction. In this case, for example, the workpiece W0 can be imaged under a plurality of lighting conditions with fewer operations without moving the first imaging unit 12s1. Therefore, for example, it is possible to more easily capture an image that fully captures the workpiece W0 having various shapes.

図９の例では、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａにおける光学系としての第１Ａレンズ部Ｌｚ１１ａの光軸（第１Ａ光軸ともいう）Ｐｉ１１ａと、ワークＷ０を通る仮想的な水平面Ｐｎ０と、が成す角度（第１Ａ俯角ともいう）θ１ａが、９０度とされている。このため、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａは、上方からワークＷ０を撮像可能であるカメラ（上カメラともいう）として機能する。また、第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂにおける光学系としての第１Ｂレンズ部Ｌｚ１１ｂの光軸（第１Ｂ光軸ともいう）Ｐｉ１１ｂと、ワークＷ０を通る仮想的な水平面Ｐｎ０と、が成す角度（第１Ｂ俯角ともいう）θ１ｂが、４５度とされている。このため、第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂは、斜め上方からワークＷ０を撮像可能であるカメラ（斜めカメラともいう）として機能する。また、第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃにおける光学系としての第１Ｃレンズ部Ｌｚ１１ｃの光軸（第１Ｃ光軸ともいう）Ｐｉ１１ｃと、ワークＷ０を通る仮想的な水平面Ｐｎ０と、が成す角度（第１Ｃ俯角ともいう）θ１ｃが、５度とされている。このため、第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃは、水平方向に沿ってワークＷ０を撮像可能であるカメラ（水平カメラともいう）として機能する。ここでは、例えば、ワークＷ０の略中央において、第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａと、第１Ｂ光軸Ｐｉ１１ｂと、第１Ｃ光軸Ｐｉ１１ｃと、が交差するような形態が考えられる。 In the example of FIG. 9, the angle ( θ1a (also referred to as the first A depression angle) is 90 degrees. Therefore, the first A imaging unit I11a functions as a camera (also referred to as an upper camera) capable of imaging the workpiece W0 from above. Further, an angle (also referred to as a 1B depression angle) formed by an optical axis (also referred to as a 1B optical axis) Pi11b of a 1B lens unit Lz11b as an optical system in the 1B imaging unit I11b and a virtual horizontal plane Pn0 passing through the workpiece W0. ) θ1b is set to 45 degrees. Therefore, the 1B imaging unit I11b functions as a camera (also referred to as an oblique camera) capable of imaging the workpiece W0 from obliquely above. Further, an angle (also referred to as a 1C depression angle) formed by an optical axis (also referred to as a 1C optical axis) Pi11c of a 1C lens unit Lz11c as an optical system in the 1C imaging unit I11c and a virtual horizontal plane Pn0 passing through the workpiece W0. ) θ1c is set to 5 degrees. Therefore, the first C imaging unit I11c functions as a camera (also referred to as a horizontal camera) capable of imaging the workpiece W0 along the horizontal direction. Here, for example, a form in which the first A optical axis Pi11a, the first B optical axis Pi11b, and the first C optical axis Pi11c intersect at approximately the center of the work W0 can be considered.

また、図９の例では、第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａと、第１Ｂ光軸Ｐｉ１１ｂと、第１Ｃ光軸Ｐｉ１１ｃと、がＹＺ平面に沿った仮想平面に沿って位置している。そして、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａの第１Ａレンズ部Ｌｚ１１ａが、第１Ａ照明部Ｆ１１ａにおける第１孔部Ｈ１１としての第１Ａ孔部Ｈ１１ａに挿通された状態で位置している。別の観点から言えば、第１Ａレンズ部Ｌｚ１１ａの第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａが、第１Ａ孔部Ｈ１１ａを通るように設定されている。第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂの第１Ｂレンズ部Ｌｚ１１ｂが、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂにおける第１孔部Ｈ１１としての第１Ｂ孔部Ｈ１１ｂに挿通された状態で位置している。別の観点から言えば、第１Ｂレンズ部Ｌｚ１１ｂの第１Ｂ光軸Ｐｉ１１ｂが、第１Ｂ孔部Ｈ１１ｂを通るように設定されている。第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃの第１Ｃレンズ部Ｌｚ１１ｃが、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃにおける第１孔部Ｈ１１としての第１Ｃ孔部Ｈ１１ｃに挿通された状態で位置している。別の観点から言えば、第１Ｃレンズ部Ｌｚ１１ｃの第１Ｃ光軸Ｐｉ１１ｃが、第１Ｃ孔部Ｈ１１ｃを通るように設定されている。 Also, in the example of FIG. 9, the first A optical axis Pi11a, the first B optical axis Pi11b, and the first C optical axis Pi11c are positioned along a virtual plane along the YZ plane. Then, the first A lens portion Lz11a of the first A imaging portion I11a is positioned in a state of being inserted into the first A hole portion H11a as the first hole portion H11 of the first A illumination portion F11a. From another point of view, the first A optical axis Pi11a of the first A lens portion Lz11a is set to pass through the first A hole portion H11a. The 1B lens portion Lz11b of the 1B imaging portion I11b is positioned in a state of being inserted into the 1B hole portion H11b as the first hole portion H11 of the 1B illumination portion F11b. From another point of view, the 1B optical axis Pi11b of the 1B lens portion Lz11b is set to pass through the 1B hole portion H11b. The first C lens portion Lz11c of the first C imaging portion I11c is positioned while being inserted into the first C hole portion H11c as the first hole portion H11 of the first C illumination portion F11c. From another point of view, the first C optical axis Pi11c of the first C lens portion Lz11c is set to pass through the first C hole portion H11c.

また、図９では、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａによってワークＷ０を撮像する際に第１Ａ撮像部Ｉ１１ａが向いている方向（第１Ａ撮像方向ともいう）が第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａに沿った２点鎖線の矢印Ｄｃ１ａで描かれている。第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂによってワークＷ０を撮像する際に第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂが向いている方向（第１Ｂ撮像方向ともいう）が第１Ｂ光軸Ｐｉ１１ｂに沿った２点鎖線の矢印Ｄｃ１ｂで描かれている。第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃによってワークＷ０を撮像する際に第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃが向いている方向（第１Ｃ撮像方向ともいう）が第１Ｃ光軸Ｐｉ１１ｃに沿った２点鎖線の矢印Ｄｃ１ｃで描かれている。さらに、図９では、第１Ａ照明部Ｆ１１ａが載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に向けて光を照射することが可能な方向（第１Ａ照明方向ともいう）が１点鎖線の矢印Ｄｆ１ａで描かれている。第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂが載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に向けて光を照射することが可能な方向（第１Ｂ照明方向ともいう）が１点鎖線の矢印Ｄｆ１ｂで描かれている。第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃが載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に向けて光を照射することが可能な方向（第１Ｃ照明方向ともいう）が１点鎖線の矢印Ｄｆ１ｃで描かれている。ここでは、第１Ａ照明部Ｆ１１ａは、上方からワークＷ０に光を照射する照明部（上部照明部ともいう）として機能する。第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂは、斜め上方からワークＷ０に光を照射する照明部（斜め照明部ともいう）として機能する。第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃは、水平方向に沿ってワークＷ０に光を照射する照明部（水平照明部ともいう）として機能する。 In FIG. 9, the direction in which the first A imaging section I11a faces when the first A imaging section I11a takes an image of the workpiece W0 (also referred to as the first A imaging direction) is the two-dot chain line along the first A optical axis Pi11a. It is drawn with an arrow Dc1a. The direction in which the first B imaging section I11b faces when the workpiece W0 is imaged by the first B imaging section I11b (also referred to as the first B imaging direction) is depicted by a chain double-dashed arrow Dc1b along the first B optical axis Pi11b. there is The direction in which the first C imaging unit I11c faces when the workpiece W0 is imaged by the first C imaging unit I11c (also referred to as the first C imaging direction) is depicted by a chain double-dashed arrow Dc1c along the first C optical axis Pi11c. there is Further, in FIG. 9, the direction in which the first A lighting unit F11a can irradiate the work W0 placed on the mounting unit Sg2 with light (also referred to as the first A lighting direction) is indicated by a dashed arrow. Drawn in Df1a. The direction in which the 1B illumination unit F11b can irradiate the work W0 placed on the placement unit Sg2 with light (also referred to as the 1B illumination direction) is depicted by a dashed-dotted line arrow Df1b. . The direction in which the first C lighting unit F11c can irradiate the work W0 placed on the mounting unit Sg2 with light (also referred to as the first C lighting direction) is depicted by a dashed-dotted line arrow Df1c. . Here, the 1A illumination unit F11a functions as an illumination unit (also referred to as an upper illumination unit) that irradiates the workpiece W0 with light from above. The 1B illumination unit F11b functions as an illumination unit (also referred to as an oblique illumination unit) that irradiates the work W0 with light from obliquely above. The first C illumination unit F11c functions as an illumination unit (also referred to as a horizontal illumination unit) that irradiates the workpiece W0 with light along the horizontal direction.

図１０（ａ）は、第１Ａ照明部Ｆ１１ａの一例を模式的に示す図である。図１０（ｂ）は、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂの一例を模式的に示す図である。図１０（ｃ）は、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃの一例を模式的に示す図である。図１１は、第２実施形態に係る第１撮像ユニット１２ｓ１の外観の一例を示す側面図である。図１２は、第２実施形態に係る第１撮像ユニット１２ｓ１の外観の一例を示す平面図である。図１３は、第２実施形態に係る第１撮像ユニット１２ｓ１の外観の一例を示す正面図である。図１４は、第２実施形態に係る第１撮像ユニット１２ｓ１の機能的構成の一例を示すブロック図である。 FIG. 10(a) is a diagram schematically showing an example of the first A lighting section F11a. FIG. 10B is a diagram schematically showing an example of the 1B illumination section F11b. FIG. 10(c) is a diagram schematically showing an example of the first C lighting unit F11c. FIG. 11 is a side view showing an example of the appearance of the first imaging unit 12s1 according to the second embodiment. FIG. 12 is a plan view showing an example of the appearance of the first imaging unit 12s1 according to the second embodiment. FIG. 13 is a front view showing an example of the appearance of the first imaging unit 12s1 according to the second embodiment. FIG. 14 is a block diagram showing an example of the functional configuration of the first imaging unit 12s1 according to the second embodiment.

ここで、例えば、図１０（ａ）および図１４で示されるように、第１Ａ照明部Ｆ１１ａが、ワークＷ０に向かって光を照射可能な１つの領域として上部発光領域Ｆ１１ａ１を含む構成が採用され得る。例えば、図１０（ｂ）および図１４で示されるように、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂが、ワークＷ０に向かって光を照射可能な５つの領域として、第１斜め発光領域Ｆ１１ｂ１、第２斜め発光領域Ｆ１１ｂ２、第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３、第４斜め発光領域Ｆ１１ｂ４および第５斜め発光領域Ｆ１１ｂ５を含む構成が採用され得る。例えば、図１０（ｃ）および図１４で示されるように、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃが、ワークＷ０に向かって光を照射可能な３つの領域として、第１水平発光領域Ｆ１１ｃ１、第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２および第３水平発光領域Ｆ１１ｃ３を含む構成が採用され得る。 Here, for example, as shown in FIGS. 10A and 14, a configuration is adopted in which the first A lighting section F11a includes an upper light emitting region F11a1 as one region capable of irradiating light toward the work W0. obtain. For example, as shown in FIGS. 10B and 14, the first oblique light-emitting region F11b1, the second oblique light-emitting region F11b1, and the second oblique light-emitting region A configuration including F11b2, a third oblique light emitting region F11b3, a fourth oblique light emitting region F11b4 and a fifth oblique light emitting region F11b5 may be employed. For example, as shown in FIGS. 10C and 14, the first horizontal light emitting region F11c1, the second horizontal light emitting region F11c1, and the second horizontal light emitting region F11c1 are three regions in which the first C lighting unit F11c can irradiate light toward the workpiece W0. A configuration including F11c2 and a third horizontal light emitting region F11c3 may be employed.

図１０（ａ）から図１３の例では、例えば、上部発光領域Ｆ１１ａ１が第１Ａ孔部Ｈ１１ａを有し、第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３が第１Ｂ孔部Ｈ１１ｂを有し、第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２が第１Ｃ孔部Ｈ１１ｃを有する。ここで、例えば、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂを真上から－Ｚ方向に平面透視した場合には、第１斜め発光領域Ｆ１１ｂ１、第２斜め発光領域Ｆ１１ｂ２、第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３、第４斜め発光領域Ｆ１１ｂ４および第５斜め発光領域Ｆ１１ｂ５が、この記載の順に第１Ａ撮像部Ｉ１１ａの第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａを中心として４５度ずつ回転した位置関係を有する。換言すれば、例えば、第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３を基準とすれば、第２斜め発光領域Ｆ１１ｂ２は、第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａを中心として第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３から時計回りに４５度回転した状態で位置し、第１斜め発光領域Ｆ１１ｂ１は、第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａを中心として第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３から時計回りに９０度回転した状態で位置し、第４斜め発光領域Ｆ１１ｂ４は、第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａを中心として第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３から反時計回りに４５度回転した状態で位置し、第５斜め発光領域Ｆ１１ｂ５は、第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａを中心として第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３から反時計回りに９０度回転した状態で位置している。また、例えば、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃを真上から－Ｚ方向に平面透視した場合には、第１水平発光領域Ｆ１１ｃ１、第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２および第３水平発光領域Ｆ１１ｃ３が、この記載の順に第１Ａ撮像部Ｉ１１ａの第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａを中心として４５度ずつ回転した位置関係を有する。換言すれば、例えば、第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２を基準とすれば、第１水平発光領域Ｆ１１ｃ１は、第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａを中心として第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２から時計回りに４５度回転した状態で位置し、第３水平発光領域Ｆ１１ｃ３は、第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａを中心として第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２から反時計回りに４５度回転した状態で位置している。 In the examples of FIGS. 10A to 13, for example, the upper light emitting region F11a1 has the first A hole H11a, the third oblique light emitting region F11b3 has the first B hole H11b, and the second horizontal light emitting region F11c2. has the first C hole H11c. Here, for example, when the 1B illumination unit F11b is seen from directly above in the -Z direction, the first oblique light emitting region F11b1, the second oblique light emitting region F11b2, the third oblique light emitting region F11b3, and the fourth oblique light emitting The region F11b4 and the fifth oblique light emitting region F11b5 have a positional relationship rotated by 45 degrees around the first A optical axis Pi11a of the first A imaging unit I11a in the order of this description. In other words, for example, when the third oblique light emitting region F11b3 is used as a reference, the second oblique light emitting region F11b2 is rotated 45 degrees clockwise from the third oblique light emitting region F11b3 about the first A optical axis Pi11a. The first oblique light-emitting region F11b1 is rotated 90 degrees clockwise from the third oblique light-emitting region F11b3 about the first A optical axis Pi11a, and the fourth oblique light-emitting region F11b4 is positioned on the first A optical axis Pi11a. The fifth oblique light-emitting region F11b5 is located in a state rotated 45 degrees counterclockwise from the third oblique light-emitting region F11b3 about Pi11a, and the fifth oblique light-emitting region F11b5 is positioned counterclockwise from the third oblique light-emitting region F11b3 about the first A optical axis Pi11a. is rotated 90 degrees to . Further, for example, when the 1C lighting unit F11c is seen from directly above in the -Z direction, the first horizontal light emitting region F11c1, the second horizontal light emitting region F11c2, and the third horizontal light emitting region F11c3 are arranged in the order of this description. It has a positional relationship rotated by 45 degrees around the first A optical axis Pi11a of the first A imaging unit I11a. In other words, for example, when the second horizontal light emitting region F11c2 is used as a reference, the first horizontal light emitting region F11c1 rotates 45 degrees clockwise from the second horizontal light emitting region F11c2 about the first A optical axis Pi11a. The third horizontal light emitting region F11c3 is rotated 45 degrees counterclockwise from the second horizontal light emitting region F11c2 about the first A optical axis Pi11a.

上記構成を有する第１Ａ撮像部Ｉ１１ａ、第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂ、第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃ、第１Ａ照明部Ｆ１１ａ、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂおよび第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃは、例えば、図１１から図１３で示されるように、連結部材Ｃｎ１によって相互に連結されて一体的な構成を有する。この場合には、例えば、第１移動機構１２ｔ１によって連結部材Ｃｎ１を移動させることで、第１撮像ユニット１２ｓ１を移動させることができる。 The 1A imaging unit I11a, the 1B imaging unit I11b, the 1C imaging unit I11c, the 1A illumination unit F11a, the 1B illumination unit F11b, and the 1C illumination unit F11c having the above configurations are shown in FIGS. 11 to 13, for example. are interconnected by a connecting member Cn1 so as to have an integral structure. In this case, for example, the first imaging unit 12s1 can be moved by moving the connecting member Cn1 by the first moving mechanism 12t1.

このように、例えば、第１Ａ照明部Ｆ１１ａが、１つの発光領域としての上部発光領域Ｆ１１ａ１を含み、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂが、５つの発光領域としての第１～５斜め発光領域Ｆ１１ｂ１～Ｆ１１ｂ５を含み、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃが、３つの発光領域としての第１～３水平発光領域Ｆ１１ｃ１～Ｆ１１ｃ３を有していれば、発光領域ごとにワークＷ０に対する光の照射の有無を切り替えることで、第１撮像ユニット１２ｓ１を移動させることなく、さらに少ない動作で複数の照明条件における撮像を行うことができる。したがって、例えば、種々の形状を有するワークＷ０を十分に捉えた画像をさらに容易に撮像することができる。 Thus, for example, the 1A lighting unit F11a includes an upper light emitting region F11a1 as one light emitting region, and the 1B lighting unit F11b includes first to fifth oblique light emitting regions F11b1 to F11b5 as five light emitting regions. In addition, if the first C illumination unit F11c has first to third horizontal light emitting regions F11c1 to F11c3 as three light emitting regions, by switching whether or not to irradiate the workpiece W0 with light for each light emitting region, the first Without moving one imaging unit 12s1, imaging can be performed under a plurality of lighting conditions with fewer operations. Therefore, for example, it is possible to more easily capture an image that fully captures the workpiece W0 having various shapes.

また、ここで、例えば、図１１から図１３で示されるように、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃの各水平発光領域Ｆ１１ｃ１～Ｆ１１ｃ３が、Ｚ方向に沿った鉛直方向における高さよりも、ＸＹ平面に沿った水平方向における幅が大きい領域であれば、載置部Ｓｇ２としての搬送部Ｃｖ２上に第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃを移動させても、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃが載置部Ｓｇ２としての搬送部Ｃｖ２に接触しにくい。このため、例えば、ワークＷ０のサイズに合わせたワークＷ０に対する第１撮像ユニット１２ｓ１の距離および第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃの焦点の調整等を行うために第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃを移動させやすくなる。ここでは、例えば、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃは、２つの発光領域としての第１水平発光領域Ｆ１１ｃ１および第３水平発光領域Ｆ１１ｃ３を有することなく、１つの発光領域としての第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２を有していてもよい。換言すれば、例えば、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃは、１つ以上の発光領域を有していればよい。 Further, here, for example, as shown in FIGS. 11 to 13, each of the horizontal light-emitting regions F11c1 to F11c3 of the first C lighting unit F11c is higher along the XY plane than in the vertical direction along the Z direction. If the width in the horizontal direction is large, even if the first C illumination unit F11c is moved onto the transport unit Cv2 as the placement unit Sg2, the first C illumination unit F11c contacts the transport unit Cv2 as the placement unit Sg2. hard to do. Therefore, for example, it becomes easier to move the first C illumination section F11c in order to adjust the distance of the first imaging unit 12s1 with respect to the work W0 and the focus of the first C imaging section I11c according to the size of the work W0. Here, for example, the 1C lighting unit F11c does not have the first horizontal light-emitting region F11c1 and the third horizontal light-emitting region F11c3 as two light-emitting regions, but has the second horizontal light-emitting region F11c2 as one light-emitting region. You may have In other words, for example, the 1C lighting unit F11c may have one or more light emitting regions.

また、ここで、例えば、図１０（ｂ）および図１１から図１３で示されるように、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂの各斜め発光領域Ｆ１１ｂ１～Ｆ１１ｂ５が、水平方向における幅よりも斜め上方向における長さが大きい領域であれば、斜め上方から見て奥行き方向が長いワークＷ０であっても広く照明することができる。また、例えば、鉛直方向（Ｚ方向）に沿った仮想軸としての第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａの周囲の異なる角度において斜め上方からワークＷ０を照明することが可能な複数の発光領域（例えば、第１～５斜め発光領域Ｆ１１ｂ１～Ｆ１１ｂ５）を容易に配置することができる。ここでは、例えば、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂは、２つの発光領域としての第１斜め発光領域Ｆ１１ｂ１および第５斜め発光領域Ｆ１１ｂ５を有することなく、３つの発光領域としての第２斜め発光領域Ｆ１１ｂ２、第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３および第４斜め発光領域Ｆ１１ｂ４を有していてもよい。また、例えば、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂが、第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３を含む１つ以上の発光領域を有する構成が採用されてもよい。 Further, here, for example, as shown in FIGS. 10B and 11 to 13, each of the oblique light emitting regions F11b1 to F11b5 of the 1B illumination unit F11b has a length in the obliquely upward direction greater than the width in the horizontal direction. If the area is large, even a workpiece W0 that is long in the depth direction when viewed obliquely from above can be illuminated widely. Further, for example, a plurality of light emitting regions (for example, first to The five oblique light emitting regions F11b1 to F11b5) can be easily arranged. Here, for example, the 1B illumination unit F11b does not have the first oblique light-emitting region F11b1 and the fifth oblique light-emitting region F11b5 as two light-emitting regions, but the second oblique light-emitting region F11b2 as three light-emitting regions, the It may have three oblique light-emitting regions F11b3 and a fourth oblique light-emitting region F11b4. Further, for example, a configuration may be employed in which the 1B illumination section F11b has one or more light emitting regions including the third oblique light emitting region F11b3.

＜２－１－２．撮像画像の例＞
図１５は、ワークＷ０の外観の一例を示す図である。図１５の例では、ワークＷ０は、第１～６面Ｓｆ１～Ｓｆ６を有する正六面体状の形状を有する。ただし、＋Ｚ方向を向いた上面としての第１面Ｓｆ１は、第１凹部Ｄｐ１を有し、＋Ｙ方向を向いた側面としての第２面Ｓｆ２は、第２凹部Ｄｐ２を有する。ここで、図１５で示された形状を有するワークＷ０を対象として、図９で示されたように配置された第１撮像ユニット１２ｓ１によって照明および撮像を行うことで得られるワークＷ０に係る撮像画像の例は、図１６（ａ）から図１８（ｃ）で示されるようなものとなる。図１６（ａ）から図１８（ｃ）のそれぞれでは、ワークＷ０の表面のうち、照明によっても明るく捉えられなかった部分には斜線のハッチングが付されており、照明によって明るく捉えられた部分にはハッチングが付されていない。 <2-1-2. Example of captured image>
FIG. 15 is a diagram showing an example of the appearance of the work W0. In the example of FIG. 15, the workpiece W0 has a regular hexahedral shape having first to sixth surfaces Sf1 to Sf6. However, the first surface Sf1 as the upper surface facing the +Z direction has the first concave portion Dp1, and the second surface Sf2 as the side surface facing the +Y direction has the second concave portion Dp2. Here, a captured image of the workpiece W0 obtained by illuminating and capturing the workpiece W0 having the shape shown in FIG. 15 by the first imaging unit 12s1 arranged as shown in FIG. Examples of are as shown in FIGS. 16(a) to 18(c). In each of FIGS. 16(a) to 18(c), portions of the surface of the workpiece W0 that were not brightly captured by the illumination are hatched with oblique lines, and portions that were brightly captured by the illumination are hatched. are not hatched.

図１６（ａ）は、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃの第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２で照明されたワークＷ０を第１Ａ撮像部Ｉ１１ａで撮像することで得られるワークＷ０を捉えた撮像画像の一例を示す図である。図１６（ｂ）は、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃの第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２で照明されたワークＷ０を第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂで撮像することで得られるワークＷ０を捉えた撮像画像の一例を示す図である。図１６（ｃ）は、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃの第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２で照明されたワークＷ０を第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃで撮像することで得られるワークＷ０を捉えた撮像画像の一例を示す図である。 FIG. 16(a) is a diagram showing an example of a captured image of the workpiece W0 obtained by imaging the workpiece W0 illuminated by the second horizontal light emitting area F11c2 of the first C illumination section F11c with the first A imaging section I11a. is. FIG. 16(b) is a diagram showing an example of a captured image of the workpiece W0 obtained by imaging the workpiece W0 illuminated by the second horizontal light emitting area F11c2 of the first C illumination section F11c with the first B imaging section I11b. is. FIG. 16(c) is a diagram showing an example of a captured image of the workpiece W0 obtained by imaging the workpiece W0 illuminated by the second horizontal light emitting area F11c2 of the first C illumination section F11c with the first C imaging section I11c. is.

ここでは、第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２で照明されたワークＷ０を上方から第１Ａ撮像部Ｉ１１ａで撮像すると、図１６（ａ）で示されるように、＋Ｚ方向を向いた上面としての第１面Ｓｆ１が第１凹部Ｄｐ１も含めて暗い状態で捉えられたワークＷ０に係る撮像画像が得られる。第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２で照明されたワークＷ０を斜め上方から第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂで撮像すると、図１６（ｂ）で示されるように、第１面Ｓｆ１が第１凹部Ｄｐ１も含めて暗い状態で捉えられるとともに、＋Ｙ方向を向いた側面としての第２面Ｓｆ２の第２凹部Ｄｐ２の一部を除く略全面が暗い状態で捉えられたワークＷ０に係る撮像画像が得られる。第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２で照明されたワークＷ０を側方から第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃで撮像すると、図１６（ｃ）で示されるように、第２面Ｓｆ２の第２凹部Ｄｐ２を除く略全面が明るい状態で捉えられたワークＷ０に係る撮像画像が得られる。 Here, when the workpiece W0 illuminated by the second horizontal light emitting area F11c2 is imaged from above by the first A imaging unit I11a, as shown in FIG. can obtain a captured image of the workpiece W0 captured in a dark state, including the first concave portion Dp1. When the workpiece W0 illuminated by the second horizontal light emitting area F11c2 is imaged obliquely from above by the first B imaging unit I11b, the first surface Sf1 including the first recess Dp1 is dark as shown in FIG. , and substantially the entire surface of the second surface Sf2, which is the side surface facing the +Y direction, except for a portion of the second concave portion Dp2, is dark. When the workpiece W0 illuminated by the second horizontal light emitting area F11c2 is imaged from the side by the first C imaging unit I11c, as shown in FIG. A captured image of the workpiece W0 captured in a bright state is obtained.

図１７（ａ）は、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂの第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３で照明されたワークＷ０を第１Ａ撮像部Ｉ１１ａで撮像することで得られるワークＷ０を捉えた撮像画像の一例を示す図である。図１７（ｂ）は、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂの第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３で照明されたワークＷ０を第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂで撮像することで得られるワークＷ０を捉えた撮像画像の一例を示す図である。図１７（ｃ）は、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂの第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３で照明されたワークＷ０を第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃで撮像することで得られるワークＷ０を捉えた撮像画像の一例を示す図である。 FIG. 17A is a diagram showing an example of a captured image of a work W0 obtained by capturing an image of the work W0 illuminated by the third oblique light emitting area F11b3 of the first B illumination section F11b with the first A imaging section I11a. is. FIG. 17(b) is a diagram showing an example of a captured image of the work W0 obtained by imaging the work W0 illuminated by the third oblique light emitting region F11b3 of the first B illumination section F11b with the first B imaging section I11b. is. FIG. 17(c) is a diagram showing an example of a captured image of the work W0 obtained by imaging the work W0 illuminated by the third oblique light emitting area F11b3 of the first B illumination section F11b with the first C imaging section I11c. is.

ここでは、第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３で照明されたワークＷ０を上方から第１Ａ撮像部Ｉ１１ａで撮像すると、図１７（ａ）で示されるように、第１面Ｓｆ１の第１凹部Ｄｐ１を除く略全面が暗い状態で捉えられたワークＷ０に係る撮像画像が得られる。第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３で照明されたワークＷ０を斜め上方から第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂで撮像すると、図１７（ｂ）で示されるように、第１面Ｓｆ１の第１凹部Ｄｐ１の一部を除く略全面が暗い状態で捉えられるとともに、第２面Ｓｆ２の第２凹部Ｄｐ２の一部を除く略全面が暗い状態で捉えられたワークＷ０に係る撮像画像が得られる。第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３で照明されたワークＷ０を側方から第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃで撮像すると、図１７（ｃ）で示されるように、第２面Ｓｆ２の第２凹部Ｄｐ２を除く略全面が暗い状態で捉えられたワークＷ０に係る撮像画像が得られる。 Here, when the work W0 illuminated by the third oblique light emitting region F11b3 is imaged from above by the first A imaging unit I11a, as shown in FIG. A captured image of the workpiece W0 captured in a dark state is obtained. When the work W0 illuminated by the third oblique light emitting region F11b3 is imaged obliquely from above by the first B imaging unit I11b, as shown in FIG. A captured image of the workpiece W0 is obtained in which substantially the entire surface is dark and substantially the entire surface except for a portion of the second recess Dp2 of the second surface Sf2 is dark. When the workpiece W0 illuminated by the third oblique light emitting region F11b3 is imaged from the side by the first C imaging unit I11c, as shown in FIG. A captured image of the workpiece W0 captured in a dark state is obtained.

図１８（ａ）は、第１Ａ照明部Ｆ１１ａの上部発光領域Ｆ１１ａ１で照明されたワークＷ０を第１Ａ撮像部Ｉ１１ａで撮像することで得られるワークＷ０を捉えた撮像画像の一例を示す図である。図１８（ｂ）は、第１Ａ照明部Ｆ１１ａの上部発光領域Ｆ１１ａ１で照明されたワークＷ０を第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂで撮像することで得られるワークＷ０を捉えた撮像画像の一例を示す図である。図１８（ｃ）は、第１Ａ照明部Ｆ１１ａの上部発光領域Ｆ１１ａ１で照明されたワークＷ０を第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃで撮像することで得られるワークＷ０を捉えた撮像画像の一例を示す図である。 FIG. 18(a) is a diagram showing an example of a captured image of the workpiece W0 obtained by imaging the workpiece W0 illuminated by the upper light emitting area F11a1 of the first A illumination section F11a with the first A imaging section I11a. . FIG. 18(b) is a diagram showing an example of a captured image of the workpiece W0 obtained by imaging the workpiece W0 illuminated by the upper light emitting area F11a1 of the first A illumination section F11a with the first B imaging section I11b. . FIG. 18(c) is a diagram showing an example of a captured image of the workpiece W0 obtained by imaging the workpiece W0 illuminated by the upper light emitting area F11a1 of the first A illumination section F11a with the first C imaging section I11c. .

ここでは、上部発光領域Ｆ１１ａ１で照明されたワークＷ０を上方から第１Ａ撮像部Ｉ１１ａで撮像すると、図１８（ａ）で示されるように、第１面Ｓｆ１の第１凹部Ｄｐ１を除く略全面が明るい状態で捉えられたワークＷ０に係る撮像画像が得られる。上部発光領域Ｆ１１ａ１で照明されたワークＷ０を斜め上方から第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂで撮像すると、図１８（ｂ）で示されるように、第１面Ｓｆ１の第１凹部Ｄｐ１の一部を除く略全面が暗い状態で捉えられるとともに、第２面Ｓｆ２が第２凹部Ｄｐ２も含めて暗い状態で捉えられたワークＷ０に係る撮像画像が得られる。上部発光領域Ｆ１１ａ１で照明されたワークＷ０を側方から第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃで撮像すると、図１８（ｃ）で示されるように、第２面Ｓｆ２が第２凹部Ｄｐ２も含めて暗い状態で捉えられたワークＷ０に係る撮像画像が得られる。 Here, when the workpiece W0 illuminated by the upper light emitting region F11a1 is imaged from above by the first A imaging unit I11a, as shown in FIG. A captured image of the workpiece W0 captured in a bright state is obtained. When the workpiece W0 illuminated by the upper light emitting region F11a1 is imaged obliquely from above by the first B imaging unit I11b, as shown in FIG. is captured in a dark state, and the second surface Sf2 including the second concave portion Dp2 is captured in a dark state. When the workpiece W0 illuminated by the upper light emitting region F11a1 is imaged from the side by the first C imaging unit I11c, as shown in FIG. A picked-up image of the workpiece W0 thus obtained is obtained.

このように、例えば、第１撮像ユニット１２ｓ１を移動させることなく、より少ない動作で複数の照明条件における撮像を行うことができる。したがって、例えば、種々の形状を有するワークＷ０を十分に捉えた画像をさらに容易に撮像することができる。 In this way, for example, it is possible to perform imaging under a plurality of lighting conditions with fewer operations without moving the first imaging unit 12s1. Therefore, for example, it is possible to more easily capture an image that fully captures the workpiece W0 having various shapes.

＜２－１－３．撮像装置の動作＞
上記構成を有する第２実施形態に係る撮像装置１２においても、例えば、統括制御部Ｃ０が、第１撮像ユニット１２ｓ１と第２撮像ユニット１２ｓ２とが交互に移動するように、第１移動機構１２ｔ１および第２移動機構１２ｔ２の動作を制御してもよい。具体的には、例えば、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２のうちの撮像および照明が完了した第１撮像ユニット１２ｓ１を先に移動させ、第２撮像ユニット１２ｓ２の撮像および照明が完了した時点で第２撮像ユニット１２ｓ２を移動させるように制御してもよい。このような制御によれば、例えば、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２を用いた撮像および照明が全て完了した後に、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２の双方を同時に移動させる制御と比較して、ワークＷ０の複数箇所について、複数の照明条件における撮像に要する時間を短縮することができる。したがって、例えば、単位時間あたりに撮像を完了させることができるワークＷ０の数を増加させることができる。 <2-1-3. Operation of Imaging Device>
Also in the imaging apparatus 12 according to the second embodiment having the above configuration, for example, the integrated control unit C0 controls the first moving mechanism 12t1 and the second imaging unit 12s2 so that the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 alternately move. The operation of the second moving mechanism 12t2 may be controlled. Specifically, for example, of the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2, the first imaging unit 12s1 that has completed imaging and illumination is moved first, and the imaging and illumination of the second imaging unit 12s2 are completed. It may be controlled to move the second imaging unit 12s2 at this time. According to such control, for example, both the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 are moved at the same time after the imaging and illumination using the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 are all completed. Compared to control, it is possible to shorten the time required for imaging multiple locations on the workpiece W0 under multiple illumination conditions. Therefore, for example, it is possible to increase the number of workpieces W0 whose imaging can be completed per unit time.

ここで、例えば、第２撮像ユニット１２ｓ２も、第１撮像ユニット１２ｓ１と同様な構成を有していてもよい。この場合には、例えば、第１撮像ユニット１２ｓ１の構成と第２撮像ユニット１２ｓ２の構成とが、ＸＺ平面を基準として面対称の関係を有する態様が考えられる。 Here, for example, the second imaging unit 12s2 may also have the same configuration as the first imaging unit 12s1. In this case, for example, the configuration of the first imaging unit 12s1 and the configuration of the second imaging unit 12s2 may have a symmetrical relationship with respect to the XZ plane.

＜２－２．第３実施形態＞
上記第１実施形態および上記第２実施形態の何れにおいても、例えば、第１移動機構１２ｔ１による第１撮像ユニット１２ｓ１の移動、および第２移動機構１２ｔ２による第２撮像ユニット１２ｓ２の移動のうちの少なくとも一方の移動が、少なくとも１方向における移動であってもよい。このような構成が採用されても、例えば、ワークＷ０に対して、第１撮像ユニット１２ｓ１と第２撮像ユニット１２ｓ２とを別々に移動させつつ、第１照明部Ｆ１１および第２照明部Ｆ１２のそれぞれで照明されたワークＷ０を第１撮像部Ｉ１１および第２撮像部Ｉ１２で撮像することができる。これにより、例えば、ワークＷ０の各部分を複数の照明条件で撮像することができる。したがって、例えば、種々の形状を有するワークＷ０を十分に捉えた画像を容易に撮像することができる。 <2-2. Third Embodiment>
In both the first embodiment and the second embodiment, for example, at least movement of the first imaging unit 12s1 by the first moving mechanism 12t1 and movement of the second imaging unit 12s2 by the second moving mechanism 12t2 One movement may be movement in at least one direction. Even if such a configuration is adopted, for example, while the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 are separately moved with respect to the workpiece W0, the first illumination unit F11 and the second illumination unit F12 are illuminated. can be imaged by the first imaging unit I11 and the second imaging unit I12. Thereby, for example, each part of the workpiece W0 can be imaged under a plurality of illumination conditions. Therefore, for example, it is possible to easily capture an image that sufficiently captures the work W0 having various shapes.

図１９（ａ）は、第３実施形態に係る撮像装置１２の主要な物理的構成の一例を示す図である。図１９（ｂ）は、第３実施形態に係る撮像装置１２の主要な物理的構成の一例の一部を示す平面図である。図１９（ａ）および図１９（ｂ）の例では、第１移動機構１２ｔ１は、ベース部Ｂｓ１２上に位置している第１基準部Ｓｌ１と、この第１基準部Ｓｌ１によって±Ｘ方向に沿って移動可能に保持されている第１アーム部Ａｍ１と、を有する。そして、第１アーム部Ａｍ１に第１撮像ユニット１２ｓ１が取り付けられた状態にある。また、図１９（ａ）および図１９（ｂ）の例では、第２移動機構１２ｔ２は、ベース部Ｂｓ１２上に位置している第２基準部Ｓｌ２と、この第２基準部Ｓｌ２によって±Ｘ方向に沿って移動可能に保持されている第２アーム部Ａｍ２と、を有する。そして、第２アーム部Ａｍ２に第２撮像ユニット１２ｓ２が取り付けられた状態にある。第１基準部Ｓｌ１に対する第１アーム部Ａｍ１の移動および第２基準部Ｓｌ２に対する第２アーム部Ａｍ２の移動は、例えば、リニアガイドと、直線的な駆動力を生じるエアシリンダーまたはモータの回転駆動力を直線的な駆動力に変換するボールネジと、の組み合わせによって実現され得る。 FIG. 19A is a diagram showing an example of the main physical configuration of the imaging device 12 according to the third embodiment. FIG. 19B is a plan view showing part of an example of the main physical configuration of the imaging device 12 according to the third embodiment. In the example of FIGS. 19A and 19B, the first moving mechanism 12t1 includes a first reference portion Sl1 positioned on the base portion Bs12 and the first reference portion Sl1 moving along the ±X direction. and a first arm portion Am1 movably held by the arm. The first imaging unit 12s1 is attached to the first arm Am1. In addition, in the example of FIGS. 19A and 19B, the second moving mechanism 12t2 includes a second reference portion Sl2 positioned on the base portion Bs12, and the second reference portion Sl2 to move ±X. and a second arm portion Am2 held movably along the direction. The second imaging unit 12s2 is attached to the second arm Am2. The movement of the first arm portion Am1 with respect to the first reference portion Sl1 and the movement of the second arm portion Am2 with respect to the second reference portion Sl2 can be achieved by, for example, a linear guide and a rotational driving force of an air cylinder or a motor that produces a linear driving force. can be realized by a combination of a ball screw that converts to a linear driving force.

ここで、例えば、第１移動機構１２ｔ１による第１撮像ユニット１２ｓ１の移動、および第２移動機構１２ｔ２による第２撮像ユニット１２ｓ２の移動のうちの少なくとも一方の移動が、少なくとも２方向における移動とされれば、ワークＷ０の各部分をより多くの照明条件で撮像することができる。これにより、例えば、種々の形状を有するワークＷ０を十分に捉えた画像を容易に撮像することができる。 Here, for example, at least one of movement of the first imaging unit 12s1 by the first moving mechanism 12t1 and movement of the second imaging unit 12s2 by the second moving mechanism 12t2 is defined as movement in at least two directions. For example, each part of the workpiece W0 can be imaged under more illumination conditions. As a result, for example, it is possible to easily capture an image that fully captures the workpiece W0 having various shapes.

＜２－３．その他の実施形態＞
上記各実施形態において、例えば、第１移動機構１２ｔ１と第２移動機構１２ｔ２とが、載置部Ｓｇ２としての搬送部Ｃｖ２を挟むように位置していなくてもよい。例えば、第１移動機構１２ｔ１および第２移動機構１２ｔ２のうちの少なくとも一方が、載置部Ｓｇ２としての搬送部Ｃｖ２の上方に位置していてもよいし、第１移動機構１２ｔ１および第２移動機構１２ｔ２の両方が、載置部Ｓｇ２としての搬送部Ｃｖ２の一方の側方に位置していてもよい。ただし、例えば、第１移動機構１２ｔ１と第２移動機構１２ｔ２とが、載置部Ｓｇ２としての搬送部Ｃｖ２を挟むように位置していれば、例えば、ワークＷ０の表面のより広いエリアについて、ワークＷ０の各部分を複数の照明条件で容易に撮像することが可能となる。 <2-3. Other Embodiments>
In each of the above-described embodiments, for example, the first moving mechanism 12t1 and the second moving mechanism 12t2 may not be positioned so as to sandwich the transport section Cv2 as the receiver Sg2. For example, at least one of the first moving mechanism 12t1 and the second moving mechanism 12t2 may be positioned above the transport unit Cv2 as the receiver Sg2, or the first moving mechanism 12t1 and the second moving mechanism 12t2 may be located on one side of the transport section Cv2 as the receiver section Sg2. However, for example, if the first moving mechanism 12t1 and the second moving mechanism 12t2 are positioned so as to sandwich the transport unit Cv2 as the mounting unit Sg2, for example, a wider area on the surface of the work W0 can be moved to the work W0. Each part of W0 can be easily imaged under a plurality of illumination conditions.

上記各実施形態において、例えば、第１移動機構１２ｔ１と第１撮像ユニット１２ｓ１とを組み合わせた１つ目の構成あるいは第２移動機構１２ｔ２と第２撮像ユニット１２ｓ２とを組み合わせた２つ目の構成と同様な構成を有する３つ目以降の構成が存在していてもよい。 In each of the above embodiments, for example, the first configuration combining the first moving mechanism 12t1 and the first imaging unit 12s1 or the second configuration combining the second moving mechanism 12t2 and the second imaging unit 12s2. There may be a third and subsequent configurations with similar configurations.

上記各実施形態において、例えば、第１撮像ユニット１２ｓ１が、２つ以上の照明部と１つ以上の撮像部とを有していてもよいし、第２撮像ユニット１２ｓ２が、２つ以上の照明部と１つ以上の撮像部とを有していてもよい。このような構成が採用されても、例えば、２つ以上の照明部の点灯の有無の組み合わせによって、第１撮像ユニット１２ｓ１および第２撮像ユニット１２ｓ２を移動させることなく、複数の照明条件における撮像を行うことができる。すなわち、例えば、少ない動作で複数の照明条件における撮像を行うことができる。したがって、例えば、種々の形状を有するワークＷ０を十分に捉えた画像を容易に撮像することができる。 In each of the above embodiments, for example, the first imaging unit 12s1 may include two or more illumination units and one or more imaging units, and the second imaging unit 12s2 may include two or more illumination units. and one or more imaging units. Even if such a configuration is adopted, for example, depending on the combination of whether or not two or more lighting units are lit, imaging can be performed under a plurality of lighting conditions without moving the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2. It can be carried out. That is, for example, imaging can be performed under a plurality of lighting conditions with a small number of operations. Therefore, for example, it is possible to easily capture an image that sufficiently captures the work W0 having various shapes.

ここで、例えば、１つ以上の照明部は、第１Ａ照明部Ｆ１１ａと第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂとを含む２つ以上の照明部であってもよいし、第１Ａ照明部Ｆ１１ａと第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃとを含む２つ以上の照明部であってもよい。また、例えば、１つ以上の撮像部は、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａ、第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂおよび第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃのうちの１つ以上の撮像部を含んでいてもよい。具体的には、上記第２実施形態において、例えば、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂおよび第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃのうちの何れか一方の照明部が存在せず、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａ、第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂおよび第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃのうちの２つの撮像部が存在していない構成、が考えられる。このような構成では、例えば、第１Ａ照明部Ｆ１１ａが、載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に向けて光を照射する方向としての第１Ａ照射方向に沿った仮想線と、載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を通る仮想的な水平面Ｐｎ０と、が成す角度は、０度から９０度の間で適宜設定されてもよい。また、例えば、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂが、載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に向けて光を照射する方向としての第１Ｂ照射方向に沿った仮想線と、載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を通る仮想的な水平面Ｐｎ０と、が成す角度は、０度から９０度の間で適宜設定されてもよい。また、例えば、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃが、載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に向けて光を照射する方向としての第１Ｃ照射方向に沿った仮想線と、載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を通る仮想的な水平面Ｐｎ０と、が成す角度は、０度から９０度の間で適宜設定されてもよい。 Here, for example, the one or more illumination units may be two or more illumination units including the first A illumination unit F11a and the first B illumination unit F11b, or the first A illumination unit F11a and the first C illumination unit There may be two or more lighting units including F11c. Also, for example, the one or more imaging units may include one or more of the first A imaging unit I11a, the first B imaging unit I11b, and the first C imaging unit I11c. Specifically, in the second embodiment, for example, one of the first B illumination unit F11b and the first C illumination unit F11c does not exist, and the first A imaging unit I11a and the first B imaging unit I11b do not exist. and the first C imaging unit I11c are not present. In such a configuration, for example, the first A illumination unit F11a irradiates the work W0 placed on the placement unit Sg2 with a virtual line along the first A irradiation direction, which is the direction in which light is emitted. The angle formed by the virtual horizontal plane Pn0 passing through the workpiece W0 placed on the portion Sg2 may be set appropriately between 0 degrees and 90 degrees. Further, for example, a virtual line along the 1B irradiation direction as a direction in which the 1B illumination unit F11b irradiates light toward the work W0 placed on the mounting unit Sg2, and a line on the mounting unit Sg2 The angle formed by the virtual horizontal plane Pn0 passing through the placed workpiece W0 may be appropriately set between 0 degrees and 90 degrees. Further, for example, a virtual line along the 1C irradiation direction as a direction in which the 1C illumination unit F11c irradiates light toward the work W0 placed on the mounting unit Sg2, and a line on the mounting unit Sg2 The angle formed by the virtual horizontal plane Pn0 passing through the placed workpiece W0 may be appropriately set between 0 degrees and 90 degrees.

ここで、例えば、１つの撮像部から載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に向かう、該１つの撮像部に含まれた光学系としてのレンズ部の光軸に沿った撮像方向は、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂの第１Ｂ照明方向よりも第１Ａ照明部Ｆ１１ａの第１Ａ照明方向に近い構成が採用されてもよい。より具体的には、例えば、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａから載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に向かう第１Ａレンズ部Ｌｚ１１ａの第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａに沿った第１Ａ撮像方向が、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂの第１Ｂ照明方向よりも第１Ａ照明部Ｆ１１ａの第１Ａ照明方向に近い構成が採用されてもよい。 Here, for example, the imaging direction along the optical axis of the lens unit as an optical system included in one imaging unit toward the workpiece W0 placed on the mounting unit Sg2 from one imaging unit is A configuration that is closer to the 1A illumination direction of the 1A illumination unit F11a than the 1B illumination direction of the 1B illumination unit F11b may be employed. More specifically, for example, the first A imaging direction along the first A optical axis Pi11a of the first A lens unit Lz11a toward the work W0 placed on the mounting unit Sg2 from the first A imaging unit I11a is the first A imaging direction. A configuration that is closer to the 1A illumination direction of the 1A illumination unit F11a than the 1B illumination direction of the illumination unit F11b may be employed.

また、ここで、例えば、１つの撮像部から載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に向かう、該１つの撮像部に含まれた光学系としてのレンズ部の光軸に沿った撮像方向は、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃの第１Ｃ照明方向よりも第１Ａ照明部Ｆ１１ａの第１Ａ照明方向に近い構成が採用されてもよい。より具体的には、例えば、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａから載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に向かう第１Ａレンズ部Ｌｚ１１ａの第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａに沿った第１Ａ撮像方向が、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃの第１Ｃ照明方向よりも第１Ａ照明部Ｆ１１ａの第１Ａ照明方向に近い構成が採用されてもよい。 Further, here, for example, the imaging direction along the optical axis of the lens unit as an optical system included in the one imaging unit toward the workpiece W0 placed on the mounting unit Sg2 from the one imaging unit may be closer to the 1A illumination direction of the 1A illumination unit F11a than the 1C illumination direction of the 1C illumination unit F11c. More specifically, for example, the first A imaging direction along the first A optical axis Pi11a of the first A lens unit Lz11a toward the work W0 placed on the placement unit Sg2 from the first A imaging unit I11a is the first A imaging direction. A configuration that is closer to the 1A illumination direction of the 1A illumination unit F11a than the 1C illumination direction of the illumination unit F11c may be employed.

これらの構成が採用されれば、例えば、撮像方向に近い角度の照明方向で照明を行う照明条件でのワークＷ０の撮像と、撮像方向から離れた角度の照明方向で照明を行う照明条件でのワークＷ０の撮像と、を行うことで、撮像部においてワークＷ０からの正反射光が捉えられる条件が変わり得る。これにより、ワークＷ０における凹凸等の種々の形状を十分に捉えた画像を容易に撮像することができる。より具体的には、例えば、撮像方向に近い角度の照明方向で照明を行う照明条件でのワークＷ０の撮像では、正反射光が強すぎて捉えることができなかった傷が、撮像方向から遠い角度の照明方向で照明を行う照明条件でのワークＷ０の撮像によって捉えることができるようなケースが想定される。 If these configurations are adopted, for example, the workpiece W0 can be imaged under illumination conditions in which illumination is performed in an illumination direction at an angle close to the imaging direction, and under illumination conditions in which illumination is performed in an illumination direction at an angle away from the imaging direction. By imaging the workpiece W0, the conditions under which the specularly reflected light from the workpiece W0 can be captured by the imaging unit can be changed. As a result, it is possible to easily capture an image that sufficiently captures various shapes such as unevenness of the workpiece W0. More specifically, for example, when the work W0 is imaged under lighting conditions in which illumination is provided in a lighting direction at an angle close to the imaging direction, a flaw that could not be captured due to too strong regular reflection light is located far from the imaging direction. A case is assumed in which the workpiece W0 can be captured by imaging under the illumination condition of illuminating in an angular illumination direction.

上記第２実施形態において、例えば、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａの第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａは、ワークＷ０の中心から少しずれていてもよい。この場合にも、例えば、第１Ａ照明部Ｆ１１ａの上部発光領域Ｆ１１ａ１からワークＷ０に向けて照射される光の光束がある程度拡がりを有していれば、第１Ａ照明部Ｆ１１ａの上部発光領域Ｆ１１ａ１によってワークＷ０を十分照明することができる。また、例えば、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａの第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａをワークＷ０の中心から適宜ずらすことで、第１撮像ユニット１２ｓ１と、第２撮像ユニット１２ｓ２と、が接触しにくい構成を実現することができる。 In the second embodiment, for example, the first A optical axis Pi11a of the first A imaging section I11a may be slightly deviated from the center of the work W0. Also in this case, for example, if the luminous flux of light emitted from the upper light emitting region F11a1 of the first A lighting unit F11a toward the workpiece W0 spreads to some extent, the upper light emitting region F11a1 of the first A lighting unit F11a Work W0 can be sufficiently illuminated. Further, for example, by appropriately shifting the first A optical axis Pi11a of the first A imaging section I11a from the center of the workpiece W0, it is possible to realize a configuration in which the first imaging unit 12s1 and the second imaging unit 12s2 are less likely to come into contact with each other. can.

上記各実施形態において、撮像部Ｉ１は、照明部Ｆ１の孔部Ｈ１を介して載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を撮像したが、これに限られない。例えば、撮像部Ｉ１が載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を撮像する撮像方向と、照明部Ｆ１が載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に光を照射する照明方向と、が成す角度は、許容範囲（許容角度範囲ともいう）内でずれていてもよい。例えば、第１撮像部Ｉ１１が載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を撮像する撮像方向と、第１照明部Ｆ１１が載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に光を照射する照明方向と、が成す角度は、許容範囲（許容角度範囲）内でずれていてもよいし、第２撮像部Ｉ１２が載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を撮像する撮像方向と、第２照明部Ｆ１２が載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に光を照射する照明方向と、が成す角度は、許容範囲（許容角度範囲）内でずれていてもよい。また、例えば、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａが載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を撮像する第１Ａ撮像方向と、第１Ａ照明部Ｆ１１ａ（具体的には、上部発光領域Ｆ１１ａ１）が載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に光を照射する第１Ａ照明方向と、が成す角度は、許容範囲（許容角度範囲）内でずれていてもよい。また、例えば、第１Ｂ撮像部Ｉ１１ｂが載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を撮像する第１Ｂ撮像方向と、第１Ｂ照明部Ｆ１１ｂ（具体的には、第３斜め発光領域Ｆ１１ｂ３）が載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に光を照射する第１Ｂ照明方向と、が成す角度は、許容範囲（許容角度範囲）内でずれていてもよい。また、例えば、第１Ｃ撮像部Ｉ１１ｃが載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０を撮像する第１Ｃ撮像方向と、第１Ｃ照明部Ｆ１１ｃ（具体的には、第２水平発光領域Ｆ１１ｃ２）が載置部Ｓｇ２上に載置されたワークＷ０に光を照射する第１Ｃ照明方向と、が成す角度は、許容範囲（許容角度範囲）内でずれていてもよい。ここで、各許容角度範囲は、例えば、各照明部の発光領域の形状および寸法ならびにワークＷ０の形状および寸法等に依存する。 In each of the above-described embodiments, the imaging unit I1 images the workpiece W0 placed on the mounting unit Sg2 through the hole H1 of the illumination unit F1, but the present invention is not limited to this. For example, the imaging direction in which the imaging unit I1 images the work W0 placed on the placement unit Sg2, the illumination direction in which the illumination unit F1 irradiates the work W0 placed on the placement unit Sg2, may deviate within an allowable range (also referred to as an allowable angle range). For example, the imaging direction in which the first imaging unit I11 images the work W0 placed on the placement unit Sg2, and the first illumination unit F11 illuminates the work W0 placed on the placement unit Sg2. The angle formed by the illumination direction and the The angle formed by the illumination direction in which the second illumination unit F12 irradiates the work W0 placed on the placement unit Sg2 with light may deviate within an allowable range (allowable angle range). Further, for example, the first A imaging direction in which the first A imaging unit I11a images the workpiece W0 placed on the placing unit Sg2 and the first A lighting unit F11a (specifically, the upper light emitting area F11a1) are placed. The angle formed by the first A lighting direction in which light is applied to the workpiece W0 placed on the portion Sg2 may deviate within an allowable range (allowable angle range). Further, for example, the 1B imaging direction in which the 1B imaging unit I11b images the workpiece W0 placed on the placement unit Sg2 and the 1B illumination unit F11b (specifically, the third oblique light emitting area F11b3) are The angle formed by the 1B illumination direction in which light is applied to the work W0 placed on the placement part Sg2 may deviate within an allowable range (allowable angle range). Further, for example, the first C imaging direction in which the first C imaging unit I11c images the workpiece W0 placed on the placement unit Sg2 and the first C lighting unit F11c (specifically, the second horizontal light emitting area F11c2) The angle formed by the 1C lighting direction in which light is applied to the workpiece W0 placed on the mounting part Sg2 may deviate within an allowable range (allowable angle range). Here, each allowable angle range depends, for example, on the shape and dimensions of the light emitting area of each lighting section, the shape and dimensions of the workpiece W0, and the like.

ここで、上部発光領域Ｆ１１ａ１の形状および寸法ならびにワークＷ０の形状および寸法と、許容角度範囲と、の関係について、２つの例を挙げて説明する。図２０（ａ）は、第１Ａ照明部Ｆ１１ａにおける上部発光領域Ｆ１１ａ１の形状および寸法の一例を示す図である。図２０（ｂ）は、第１のワークＷ０の形状および寸法の一例を示す図である。図２０（ｃ）は、第２のワークＷ０の形状および寸法の一例を示す図である。図２０（ａ）の例では、上部発光領域Ｆ１１ａ１が、Ｘ方向に沿った幅Ｗ１の相互に対向する一対の辺と、Ｙ方向に沿った長さＬ１の相互に対向する一対の辺と、を有する長方形状の領域である。図２０（ｂ）の例では、第１のワークＷ０が、Ｘ方向に沿った幅Ｗ２の相互に対向する一対の辺とＹ方向に沿った長さＬ２の相互に対向する一対の辺とを有する長方形状の底面と、高さＨ２と、を有する直方体状のものである。図２０（ｃ）の例では、第２のワークＷ０が、ＹＺ平面に沿った直径φ３の真円状の相互に対向する一対の面と、Ｘ方向に沿った幅Ｗ３と、を有する円柱状のものである。ここでは、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａの撮像素子とワークＷ０との距離、ならびに上部発光領域Ｆ１１ａ１とワークＷ０との距離、がともに２６０ミリメートル（ｍｍ）であるものとする。上部発光領域Ｆ１１ａ１については、幅Ｗ１が１８０ｍｍであり、長さＬ１が１２０ｍｍであるものとする。また、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａの第１Ａ光軸Ｐｉ１１ａが、ワークＷ０の中心を通るように設定されているものとする。

Here, the relationship between the shape and dimensions of the upper light emitting region F11a1, the shape and dimensions of the workpiece W0, and the allowable angle range will be described with two examples. FIG. 20(a) is a diagram showing an example of the shape and dimensions of the upper light emitting region F11a1 in the first A lighting section F11a. FIG. 20(b) is a diagram showing an example of the shape and dimensions of the first work W0. FIG. 20(c) is a diagram showing an example of the shape and dimensions of the second work W0. In the example of FIG. 20(a), the upper light-emitting region F11a1 includes a pair of sides facing each other with a width W1 along the X direction, a pair of sides facing each other with a length L1 along the Y direction, is a rectangular region with In the example of FIG. 20(b), the first workpiece W0 has a pair of mutually opposing sides with a width W2 along the X direction and a pair of mutually opposing sides with a length L2 along the Y direction. and a rectangular parallelepiped having a height H2. In the example of FIG. 20(c), the second workpiece W0 has a cylindrical shape having a pair of opposing perfectly circular surfaces with a diameter of φ3 along the YZ plane and a width W3 along the X direction. belongs to. Here, it is assumed that both the distance between the imaging device of the first A imaging unit I11a and the work W0 and the distance between the upper light emitting region F11a1 and the work W0 are 260 millimeters (mm). It is assumed that the upper light emitting region F11a1 has a width W1 of 180 mm and a length L1 of 120 mm. It is also assumed that the first A optical axis Pi11a of the first A imaging unit I11a is set to pass through the center of the work W0.

ここで、例えば、第１のワークＷ０について、幅Ｗ２が５０ｍｍであり、長さＬ２が３０ｍｍであり、高さＨ２が５０ｍｍである場合を想定する。この場合には、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａの第１Ａ撮像方向と上部発光領域Ｆ１１ａ１の第１Ａ照明方向とが成す角度が約３０度以下であれば、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａが、上部発光領域Ｆ１１ａ１からの光の照射に応じて第１のワークＷ０の＋Ｚ方向を向いた上面Ｓｕ２の全体から正反射光を受光することができる。このため、このような条件では、許容角度範囲は、約３０度となる。 Here, for example, it is assumed that the first workpiece W0 has a width W2 of 50 mm, a length L2 of 30 mm, and a height H2 of 50 mm. In this case, if the angle formed by the 1A imaging direction of the 1A imaging unit I11a and the 1A lighting direction of the upper light emitting region F11a1 is approximately 30 degrees or less, the 1A imaging unit I11a is positioned from the upper light emitting region F11a1. Specularly reflected light can be received from the entire upper surface Su2 of the first workpiece W0 facing the +Z direction in response to the irradiation of the light. Therefore, under such conditions, the allowable angle range is about 30 degrees.

また、ここで、例えば、第２のワークＷ０について、直径φ３が５０ｍｍであり、幅Ｗ３が４０ｍｍである場合を想定する。この場合には、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａの第１Ａ撮像方向と上部発光領域Ｆ１１ａ１の第１Ａ照明方向とが成す角度が約１２度以下であれば、第１Ａ撮像部Ｉ１１ａが、上部発光領域Ｆ１１ａ１からの光の照射に応じて第２のワークＷ０の側面Ｓｓ３のうちの－Ｚ方向に平面視した場合に見える領域の全体から正反射光を受光することができる。このため、このような条件では、許容角度範囲は、約１２度となる。 Further, here, for example, it is assumed that the second work W0 has a diameter φ3 of 50 mm and a width W3 of 40 mm. In this case, if the angle formed by the 1A imaging direction of the 1A imaging unit I11a and the 1A lighting direction of the upper light emitting region F11a1 is about 12 degrees or less, the 1A imaging unit I11a is positioned from the upper light emitting region F11a1. In response to the irradiation of the light, specularly reflected light can be received from the entire area of the side surface Ss3 of the second work W0 that can be seen when viewed in the -Z direction. Therefore, under such conditions, the allowable angle range is approximately 12 degrees.

上記各実施形態において、搬送部Ｃｖ１，Ｃｖ２，Ｃｖ３，Ｃｖ４には、例えば、ベルトコンベアの代わりにワークＷ０を搬送可能なロボット等の異なる構成が適用されてもよい。この場合には、例えば、撮像装置１２は、ワークＷ０を搬送可能なロボットとは別に、ワークＷ０を載置するための載置部としてのステージ等を有する構成が採用される。 In each of the above embodiments, a different configuration such as a robot capable of transporting the work W0 may be applied to the transport units Cv1, Cv2, Cv3, and Cv4 instead of the belt conveyor. In this case, for example, the imaging device 12 employs a configuration having a stage or the like as a mounting section for mounting the work W0, in addition to the robot capable of transporting the work W0.

上記各実施形態において、例えば、検査システム１の動作が、統括制御部Ｃ０等の１つ以上の制御部によって制御されてもよい。ここで、例えば、検査システム１は、ワークＷ０の撮像を行う１つの撮像装置とみなしてもよい。 In each of the above embodiments, for example, the operation of the inspection system 1 may be controlled by one or more controllers such as the integrated controller C0. Here, for example, the inspection system 1 may be regarded as one imaging device that images the workpiece W0.

上記第２実施形態において、例えば、第１移動機構１２ｔ１と第１撮像ユニット１２ｓ１とを組み合わせた１つ目の構成、および第２移動機構１２ｔ２と第２撮像ユニット１２ｓ２とを組み合わせた２つ目の構成、のうちの一方の構成が存在していなくてもよい。 In the second embodiment, for example, a first configuration combining the first moving mechanism 12t1 and the first imaging unit 12s1, and a second configuration combining the second moving mechanism 12t2 and the second imaging unit 12s2. one of the configurations may not be present.

なお、上記各実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。 Needless to say, all or part of each of the above-described embodiments and various modifications can be appropriately combined within a consistent range.

１ 検査システム
１２ 撮像装置
１２１～１２４ 第１～４撮像装置
１２ｓ 撮像ユニット
１２ｓ１ 第１撮像ユニット
１２ｓ２ 第２撮像ユニット
１２ｔ 移動機構
１２ｔ１ 第１移動機構
１２ｔ２ 第２移動機構
Ｃ０ 統括制御部
Ｃｓ２ 撮像制御部
Ｃｓ２１ 第１撮像制御部
Ｃｓ２２ 第２撮像制御部
Ｃｔ２ 移動制御部
Ｃｔ２１ 第１移動制御部
Ｃｔ２２ 第２移動制御部
Ｃｖ１，Ｃｖ２，Ｃｖ３，Ｃｖ４，Ｃｖ２１，Ｃｖ２２，Ｃｖ２３，Ｃｖ２４ 搬送部
Ｆ１ 照明部
Ｆ１１ 第１照明部
Ｆ１１ａ 第１Ａ照明部
Ｆ１１ａ１ 上部発光領域
Ｆ１１ｂ 第１Ｂ照明部
Ｆ１１ｂ１～Ｆ１１ｂ５ 第１～５斜め発光領域
Ｆ１１ｃ 第１Ｃ照明部
Ｆ１１ｃ１～Ｆ１１ｃ３ 第１～３水平発光領域
Ｆ１２ 第２照明部
Ｉ１ 撮像部
Ｉ１１ 第１撮像部
Ｉ１１ａ 第１Ａ撮像部
Ｉ１１ｂ 第１Ｂ撮像部
Ｉ１１ｃ 第１Ｃ撮像部
Ｉ１２ 第２撮像部
Ｌｚ１ レンズ部
Ｌｚ１１ 第１レンズ部
Ｌｚ１１ａ 第１Ａレンズ部
Ｌｚ１１ｂ 第１Ｂレンズ部
Ｌｚ１１ｃ 第１Ｃレンズ部
Ｌｚ１２ 第２レンズ部
Ｐｉ１１ａ 第１Ａ光軸
Ｐｉ１１ｂ 第１Ｂ光軸
Ｐｉ１１ｃ 第１Ｃ光軸 1 Inspection System 12 Imaging Devices 121 to 124 First to Fourth Imaging Devices 12s Imaging Unit 12s1 First Imaging Unit 12s2 Second Imaging Unit 12t Moving Mechanism 12t1 First Moving Mechanism 12t2 Second Moving Mechanism C0 Integrated Control Section Cs2 Imaging Control Section Cs21 First imaging control unit Cs22 Second imaging control unit Ct2 Movement control unit Ct21 First movement control unit Ct22 Second movement control unit Cv1, Cv2, Cv3, Cv4, Cv21, Cv22, Cv23, Cv24 Transport unit F1 Illumination unit F11 First Illumination unit F11a 1st A illumination unit F11a1 Top light emission area F11b 1B illumination unit F11b1 to F11b5 1st to 5th oblique light emission area F11c 1C illumination unit F11c1 to F11c3 1st to 3rd horizontal light emission area F12 2nd illumination unit I1 Imaging unit I11 First imaging section I11a First A imaging section I11b First B imaging section I11c First C imaging section I12 Second imaging section Lz1 Lens section Lz11 First lens section Lz11a First A lens section Lz11b First B lens section Lz11c First C lens section Lz12 Second Lens portion Pi11a 1st A optical axis Pi11b 1st B optical axis Pi11c 1st C optical axis

Claims (5)

撮像対象物を載置するための載置部と、
１つ以上の撮像部ならびに第１Ａ照明部および第１Ｂ照明部を含む２つ以上の照明部が連結されて一体に設けられた撮像ユニットと、
前記撮像ユニットを前記載置部に対して相対的に移動させることが可能な移動機構と、を備え、
前記第１Ａ照明部は、第１Ａ照明方向に向けて前記載置部に載置された前記撮像対象物に光を照射することが可能であり、
前記第１Ｂ照明部は、第１Ｂ照明方向に向けて前記載置部に載置された前記撮像対象物に光を照射することが可能であり、
前記１つ以上の撮像部のうちの第１Ａ撮像部は、光学系を含み、
前記第１Ａ撮像部から前記載置部に載置された前記撮像対象物に向かう前記光学系の光軸に沿った撮像方向は、前記第１Ｂ照明方向よりも前記第１Ａ照明方向に近く、
前記１つ以上の撮像部は、前記第１Ａ撮像部と、第１Ｂ撮像部と、第１Ｃ撮像部と、を含み、
前記２つ以上の照明部は、前記第１Ａ照明部と、前記第１Ｂ照明部と、第１Ｃ照明部と、を含み、
前記第１Ａ照明部が前記載置部に載置された前記撮像対象物を上方から照明している状態で前記第１Ａ撮像部が前記載置部に載置された前記撮像対象物を上方から撮像することが可能であり、
前記第１Ｂ照明部が前記載置部に載置された前記撮像対象物を斜め上方から照明している状態で前記第１Ｂ撮像部が前記載置部に載置された前記撮像対象物を斜め上方から撮像することが可能であり、
前記第１Ｃ照明部が前記載置部に載置された前記撮像対象物を水平方向に向かって照明している状態で前記第１Ｃ撮像部が前記載置部に載置された前記撮像対象物を水平方向に向かって撮像することが可能である、撮像装置。 a placement section for placing an object to be imaged;
an imaging unit in which two or more illumination units including one or more imaging units and a first A illumination unit and a first B illumination unit are connected and integrally provided ;
a moving mechanism capable of moving the imaging unit relative to the placement section;
The 1A illumination unit is capable of irradiating the imaging object placed on the placement unit with light in a 1A illumination direction,
The 1B illumination unit is capable of irradiating the imaging object placed on the placement unit with light in a 1B illumination direction ,
The 1A imaging unit of the one or more imaging units includes an optical system,
an imaging direction along the optical axis of the optical system from the first A imaging section toward the imaging target placed on the mounting section is closer to the first A illumination direction than the first B illumination direction,
The one or more imaging units include the first A imaging unit, the first B imaging unit, and the first C imaging unit,
The two or more lighting units include the first A lighting unit, the first B lighting unit, and the first C lighting unit,
In a state in which the first A lighting section illuminates the imaging target placed on the mounting section from above, the first A imaging section illuminates the imaging target placed on the mounting section from above. It is possible to image,
In a state in which the 1B illumination section illuminates the imaging target placed on the mounting section from obliquely above, the 1B imaging section obliquely obliquely illuminates the imaging target placed on the mounting section. It is possible to image from above,
The object to be imaged placed on the placing portion by the first imaging portion in a state where the first illumination portion illuminates the object placed on the placing portion in a horizontal direction. An imaging device capable of imaging in the horizontal direction . 請求項１に記載の撮像装置であって、
前記第１Ｃ照明部は、鉛直方向における高さよりも水平方向における幅が大きい水平発光領域を有する、撮像装置。 The imaging device according to claim 1 ,
The imaging device, wherein the 1C lighting unit has a horizontal light emitting area whose width in the horizontal direction is greater than the height in the vertical direction. 請求項１または請求項２に記載の撮像装置であって、
前記第１Ｂ照明部は、水平方向における幅よりも斜め上方向における長さが大きい斜め発光領域を有する、撮像装置。 The imaging device according to claim 1 or claim 2 ,
The imaging device, wherein the 1B illumination section has an oblique light emitting area whose length in the obliquely upward direction is greater than the width in the horizontal direction. 請求項２に記載の撮像装置であって、The imaging device according to claim 2,
前記第１Ｃ照明部は、第１水平発光領域、第２水平発光領域、および第３水平発光領域、の３つの前記水平発光領域を有し、The 1C lighting unit has three horizontal light emitting regions, a first horizontal light emitting region, a second horizontal light emitting region, and a third horizontal light emitting region,
前記第１水平発光領域は、前記第１Ａ撮像部における前記光学系の前記光軸である第１Ａ光軸を中心として、前記第２水平発光領域から時計回りに４５度回転した位置に配置されており、The first horizontal light-emitting region is arranged at a position rotated 45 degrees clockwise from the second horizontal light-emitting region about the first A optical axis, which is the optical axis of the optical system in the first A imaging unit. cage,
前記第３水平発光領域は、前記第１Ａ光軸を中心として、前記第２水平発光領域から反時計回りに４５度回転した位置に配置されている、撮像装置。The imaging device, wherein the third horizontal light emitting area is arranged at a position rotated 45 degrees counterclockwise from the second horizontal light emitting area about the first A optical axis. 請求項３に記載の撮像装置であって、The imaging device according to claim 3,
前記第１Ｂ照明部は、第１斜め発光領域、第２斜め発光領域、第３斜め発光領域、第４斜め発光領域、および第５斜め発光領域、の５つの前記斜め発光領域を有し、The 1B illumination section has five oblique light emitting regions of a first oblique light emitting region, a second oblique light emitting region, a third oblique light emitting region, a fourth oblique light emitting region, and a fifth oblique light emitting region,
前記第１斜め発光領域は、前記第１Ａ撮像部における前記光学系の前記光軸である第１Ａ光軸を中心として、前記第３斜め発光領域から時計回りに９０度回転した位置に配置されており、The first oblique light emitting region is arranged at a position rotated 90 degrees clockwise from the third oblique light emitting region about the first A optical axis, which is the optical axis of the optical system in the first A imaging unit. cage,
前記第２斜め発光領域は、前記第１Ａ光軸を中心として、前記第３斜め発光領域から時計回りに４５度回転した位置に配置されており、The second oblique light emitting region is arranged at a position rotated 45 degrees clockwise from the third oblique light emitting region about the first A optical axis,
前記第４斜め発光領域は、前記第１Ａ光軸を中心として、前記第３斜め発光領域から反時計回りに４５度回転した位置に配置されており、The fourth oblique light emitting region is arranged at a position rotated 45 degrees counterclockwise from the third oblique light emitting region about the first A optical axis,
前記第５斜め発光領域は、前記第１Ａ光軸を中心として、前記第３斜め発光領域から反時計回りに９０度回転した位置に配置されている、撮像装置。The imaging device, wherein the fifth oblique light-emitting region is arranged at a position rotated 90 degrees counterclockwise from the third oblique light-emitting region about the first A optical axis.
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