JP2021046300A - Film peeling device and film peeling method - Google Patents

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卓哉 厨子
Takuya Zushi
卓哉 厨子
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Abstract

To provide a technology capable of further certainly peeling a film from a base material, and further certainly starting the pasting of the base material to a pasting object, concerning a laminated body composed of the base material and the film.SOLUTION: Concerning a laminated body composed of a base material and a film, a peering device peeling the film from the base material, includes: a supporting member that supports an end region that is a tip end region of the laminated body from a lower side; a stage that is adjacent to the supporting member and supports a body region that is a region except the end region in the laminated body from a lower side while turning a base material side downward; and a peeling mechanism that peels the film from the base material, from the end region to the body region in the laminated body. The supporting member has a cylindrical shape, and a cylinder surface thereof is formed by a member having viscosity.SELECTED DRAWING: Figure 14

Description

本発明は、基材とフィルムとを有する積層体からフィルムを剥離するための、剥離装置及び剥離方法に関する。 The present invention relates to a peeling device and a peeling method for peeling a film from a laminate having a base material and a film.

従来より、基材上に配置されたシート状個片（基材）からセパレータ（フィルム）を剥離して、セパレータ（フィルム）が剥離されたシート状個片（基材）を別の貼合対象に貼合わせて搬送する技術が知られている。例えば、特許文献１には、ロールフィルムから取り出したフィルムを別のロールフィルムに貼着する貼合装置が開示されている。この貼合装置は、貼り合わせ処理の前処理として、セパレータからシート状個片を剥離する剥離部を備える。 Conventionally, the separator (film) is peeled off from the sheet-shaped piece (base material) arranged on the base material, and the sheet-shaped piece (base material) from which the separator (film) is peeled off is another object to be bonded. The technique of sticking and transporting the film is known. For example, Patent Document 1 discloses a laminating device for adhering a film taken out from a roll film to another roll film. This bonding device includes a peeling portion for peeling the sheet-shaped individual pieces from the separator as a pretreatment for the bonding process.

上記の技術では、貼付け開始前には、直方体型の吸着パッド部材（支持部材）に保持されたシート状個片２（基材）の貼付開始端部が、貼付対象である第２フィルムに押圧させられ、次いで、貼付開始前に、吸着パット部材が退避位置に移動するとともに、貼付ロールが上昇して、貼付ロールでシート状個片の貼付開始端部が第２フィルムに押圧される。その後、貼付ロールが回転することで押圧力を作用させながら、シート状個片の貼付け開始端部より後方の領域を第２フィルムに貼り付ける。 In the above technique, before the start of sticking, the sticking start end of the sheet-shaped individual piece 2 (base material) held by the rectangular parallelepiped suction pad member (support member) is pressed against the second film to be stuck. Then, before the start of sticking, the suction pad member moves to the retracted position, the sticking roll rises, and the sticking roll presses the sticking start end portion of the sheet-shaped individual piece against the second film. After that, the region behind the sticking start end of the sheet-shaped piece is stuck to the second film while applying a pressing force by rotating the sticking roll.

ところで、このような技術においては、セパレータ（フィルム）の剥離前のシート状個片（基材）の先端側の領域を、直方体型の支持部材（吸着パット部材）によって下方から支持するとともに、シート状個片（基材）の先端側以外の領域を、支持部材に隣接されたステージで支持し、この状態で、基材からセパレータ（フィルム）を剥離する場合がある。 By the way, in such a technique, the region on the tip end side of the sheet-shaped individual piece (base material) before peeling of the separator (film) is supported from below by a rectangular parallelepiped support member (adsorption pad member), and the sheet is supported. A region other than the tip end side of the rectangular parallelepiped (base material) is supported by a stage adjacent to the support member, and in this state, the separator (film) may be peeled off from the base material.

また、その際、支持部材の上面に設けられた吸引孔から空気を吸引することで、基材を支持部材に保持することが多いが、支持部材が直方体型である場合には、フィルムの剥離が開始される場所によっては、フィルムの剥離の際に基材に作用する力が支持部材による基材の保持力より大きくなることがあり得た。そのようなときには、支持部材の上面の吸引孔において空気のリークが生じ、基材の端領域を支持部材によって安定して保持することが困難となる場合があった。 At that time, the base material is often held by the support member by sucking air from the suction holes provided on the upper surface of the support member, but when the support member is a rectangular parallelepiped type, the film is peeled off. Depending on the place where the film is started, the force acting on the base material when the film is peeled off may be larger than the holding force of the base material by the support member. In such a case, air leaks from the suction holes on the upper surface of the support member, and it may be difficult for the support member to stably hold the end region of the base material.

また、支持部材が直方体型である場合には、支持部材における基材との接触面積が大きいため、貼付開始前に支持部材を退避させる際に、基材が支持部材と一緒に移動してしまい、基材の貼付け作業を円滑に行うことが困難となる場合があった。あるいは、支持部材を退避させる際の駆動力が弱い場合には、支持部材が基材の保持力に抗して移動することができず、機構部の誤動作を招く場合があった。 Further, when the support member is a rectangular parallelepiped type, the contact area of the support member with the base material is large, so that the base material moves together with the support member when the support member is retracted before the start of sticking. In some cases, it may be difficult to smoothly attach the base material. Alternatively, when the driving force when retracting the support member is weak, the support member cannot move against the holding force of the base material, which may cause a malfunction of the mechanical portion.

特開２０１８−１４６６号公報（例えば、段落００７０〜００７５、図２４Ａ乃至Ｅ）Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-1466 (for example, paragraphs 0070 to 0075, FIGS. 24A to E).

本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、基材とフィルムからなる積層体からフィルムをより確実に剥離させまたは、より確実に、貼付け対象に対する基
材の貼付けを開始することが可能な技術を提供することである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to more reliably peel off a film from a laminate composed of a base material and a film, or to more reliably start attaching a base material to an object to be attached. Is to provide the technology that can be done.

上記の課題を解決するための本発明は、基材と該基材に貼合わせられたフィルムからなる積層体から前記フィルムを剥離する剥離装置において、
前記積層体の先端の領域である端領域を、下方から支持する支持部材と、
前記支持部材に隣接され、前記積層体における前記端領域以外の領域である本体領域を、前記基材側を下にした状態で下方から支持するステージと、
前記積層体における前記端領域から前記本体領域にかけて、前記基材から前記フィルムを剥離する剥離機構と、
を備え、
前記支持部材は、円筒形状を有するとともに、その円筒面は粘着性を有する部材により形成されたことを特徴とする。 The present invention for solving the above problems is in a peeling device for peeling the film from a laminate composed of a base material and a film attached to the base material.
A support member that supports the end region, which is the region of the tip of the laminate, from below, and
A stage that is adjacent to the support member and supports the main body region, which is a region other than the end region in the laminated body, from below with the base material side facing down.
A peeling mechanism for peeling the film from the base material from the end region to the main body region of the laminate.
With
The support member has a cylindrical shape, and the cylindrical surface thereof is formed of an adhesive member.

すなわち、本発明においては、支持部材を、円筒形状を有するとともに、その円筒面は粘着性を有するものとした。これによれば、基材からフィルムを剥離する場合については、基材の端領域を、支持部材の円筒面における粘着力で、より確実に保持することが可能である。また、基材の貼付け開始前に支持部材を退避させる場合については、支持部材と基材の間の接触面積が限られているので、支持部材が退避する際に、基材が支持部材と一緒に移動してしまうことを抑制できる。なお、ここで言う「円筒形状」は、中空の筒形状のみならず中実の円柱形状も含んでいる。 That is, in the present invention, the support member has a cylindrical shape and its cylindrical surface has adhesiveness. According to this, when the film is peeled off from the base material, the end region of the base material can be more reliably held by the adhesive force on the cylindrical surface of the support member. Further, when the support member is retracted before the start of attaching the base material, the contact area between the support member and the substrate is limited, so that when the support member retracts, the substrate is together with the support member. It is possible to suppress the movement to. The "cylindrical shape" referred to here includes not only a hollow cylindrical shape but also a solid cylindrical shape.

また、本発明においては、前記支持部材の円筒面の一部は、前記粘着性を有する部材よりも低い粘着性を有する第二部材により形成されるようにしてもよい。これによれば、支持部材の円筒面において、粘着性を有する部材により形成された部分の面積と、より粘着性の低い第二部材により形成された部分の面積とを適切に変更することで、支持部材全体としての粘着性の強さを調整することが可能である。 Further, in the present invention, a part of the cylindrical surface of the support member may be formed by a second member having a lower adhesiveness than the adhesive member. According to this, on the cylindrical surface of the support member, the area of the portion formed by the adhesive member and the area of the portion formed by the second member having lower adhesiveness are appropriately changed. It is possible to adjust the adhesive strength of the support member as a whole.

また、本発明においては、前記支持部材は、前記円筒形状の中心軸回りに回転可能に設けられてもよい。これによれば、基材からのフィルムの剥離が終了した後に、支持部材を自ら回転させることで、支持部材と基材との粘着を解消させることが可能である。そうすると、支持部材を退避させる場合には、基材が一緒に移動するような事態をより確実に、抑制することができる。なお、本発明においては、特に支持部材を能動的に回転させる機構を有さず、単に支持部材を自由回転可能に構成してもよい。 Further, in the present invention, the support member may be rotatably provided around the central axis of the cylindrical shape. According to this, it is possible to eliminate the adhesion between the support member and the base material by rotating the support member by itself after the peeling of the film from the base material is completed. Then, when the support member is retracted, the situation where the base materials move together can be more reliably suppressed. In the present invention, the support member may be simply configured to be freely rotatable without having a mechanism for actively rotating the support member.

また、本発明においては、前記支持部材及び前記ステージが前記フィルムが剥離された後の前記基材を支持している状態において、前記支持部材を、前記ステージから離れる方向に退避させる退避機構をさらに備え、
前記退避機構は、前記支持部材を退避させる際に、前記支持部材を回転させながら移動させるようにしてもよい。 Further, in the present invention, a retracting mechanism for retracting the support member in a direction away from the stage while the support member and the stage support the base material after the film is peeled off is further provided. Prepare,
The retracting mechanism may move the support member while rotating it when retracting the support member.

これによれば、支持部材を退避させる際に、支持部材の移動に伴い支持部材が回転して基材上を転がるような状況とすることができる。その結果、支持部材を退避させる場合には、基材が一緒に移動するような事態をより確実に抑制することができ、より確実に、支持部材を退避させることが可能となる。 According to this, when the support member is retracted, the support member can be rotated and rolled on the base material as the support member moves. As a result, when the support member is retracted, the situation in which the base materials move together can be more reliably suppressed, and the support member can be retracted more reliably.

また、本発明においては、前記退避機構は、前記支持部材が、前記ステージから離れるに従って上側に移動するように、前記支持部材を退避させるようにしてもよい。ここで、支持部材の退避時に、支持部材を水平に移動させた場合には、上述した支持部材の回転に伴い、基材が下側に巻き込まれてしまう可能性がある。その結果、基材に傷や折り目など
が付いてしまう不都合があった。これに対し、本発明では、支持部材の退避時には、前記支持部材が、前記ステージから離れるに従って上側に移動するようにした。これにより、支持部材の回転に伴う、基材の下側への巻き込みを軽減することができ、基材に傷や折り目が付く不都合を抑制することができる。 Further, in the present invention, the retracting mechanism may retract the support member so that the support member moves upward as it moves away from the stage. Here, if the support member is moved horizontally when the support member is retracted, the base material may be caught in the lower side due to the rotation of the support member described above. As a result, there is a problem that the base material is scratched or creases. On the other hand, in the present invention, when the support member is retracted, the support member moves upward as the distance from the stage increases. As a result, it is possible to reduce the entrainment of the support member on the lower side due to the rotation of the support member, and it is possible to suppress the inconvenience of scratching or creases on the base material.

また、本発明においては、前記支持部材を退避させる際の、前記支持部材の移動の軌跡は、直線状、下に凸の曲線状、下に凸の円弧状のうちのいずれかの形状を有するようにしてもよい。 Further, in the present invention, the locus of movement of the support member when the support member is retracted has one of a linear shape, a downwardly convex curved shape, and a downwardly convex arcuate shape. You may do so.

また、本発明においては、前記支持部材を退避させる際の、前記支持部材の移動の軌跡は、前記支持部材の退避時に、前記支持部材が支持している基材の変形を０．１ｍｍ以下にする軌跡としてもよい。この、支持部材が支持している基材の変形を０．１ｍｍ以下にする軌跡は、実験的にまたはシミュレーションにより決定してもよい。これによれば、より確実に、支持部材の回転に伴う、基材の下側への巻き込みを軽減することができ、基材に傷や折り目が付く不都合を抑制することができる。ここで、０．１ｍｍは、基材に傷や折り目を付けないための閾値としての変形量であり、実験的あるいはシミュレーションにより決定したものである。 Further, in the present invention, the locus of movement of the support member when the support member is retracted is such that the deformation of the base material supported by the support member is 0.1 mm or less when the support member is retracted. It may be a locus to be used. The locus for reducing the deformation of the base material supported by the support member to 0.1 mm or less may be determined experimentally or by simulation. According to this, it is possible to more reliably reduce the entanglement of the base material to the lower side due to the rotation of the support member, and it is possible to suppress the inconvenience of scratches and creases on the base material. Here, 0.1 mm is the amount of deformation as a threshold value for not making scratches or creases on the base material, and is determined experimentally or by simulation.

また、本発明においては、前記支持部材の回転を規制するロック機構をさらに備えるようにしてもよい。これによれば、支持部材を自由回転可能に構成した場合であって、支持部材の回転が不要な場合には、これをロックすることが可能である。 Further, in the present invention, a lock mechanism for restricting the rotation of the support member may be further provided. According to this, when the support member is configured to be freely rotatable and the support member does not need to be rotated, it can be locked.

また、本発明においては、前記支持部材の前記円筒面の粘着性は、１Ｎ／１５ｍｍより大きく３Ｎ／１５ｍｍ以下としてもよい。支持部材の円筒面における粘着性をこの範囲とすることで、基材からフィルムを剥離する場合に、適切に基材を保持することが可能であるとともに、支持部材の退避時には、基材が一緒に移動してしまう不都合を抑制することが可能である。 Further, in the present invention, the adhesiveness of the cylindrical surface of the support member may be larger than 1N / 15 mm and 3N / 15 mm or less. By setting the adhesiveness of the support member on the cylindrical surface within this range, it is possible to appropriately hold the base material when the film is peeled off from the base material, and the base material is together when the support member is retracted. It is possible to suppress the inconvenience of moving to.

また、本発明においては、
前記剥離機構は、
水平方向に軸を有する円筒状の形状を有し、その円筒面に粘着性を有するとともに前記軸周りに回転可能なローラと、
前記ローラを前記端領域から本体領域に向かう方向に移動させる移動機構と、
前記ローラが前記フィルムにおける前記端領域に当接した状態から、前記ローラを前記移動機構によって移動させるとともに、前記ローラを前記軸周りに回転させて、前記フィルムの一部を前記ローラの前記円筒面に巻き取る巻取り機構と、
を有するようにしてもよい。 Further, in the present invention,
The peeling mechanism is
A roller having a cylindrical shape having an axis in the horizontal direction, having adhesiveness on the cylindrical surface, and being rotatable around the axis.
A moving mechanism that moves the roller in the direction from the end region to the main body region,
From the state where the roller is in contact with the end region of the film, the roller is moved by the moving mechanism and the roller is rotated around the axis so that a part of the film is formed on the cylindrical surface of the roller. With a winding mechanism that winds up
May have.

これによれば、基材からのフィルムの剥離開始時において、積層体を上下から２つの円筒で挟む構成となり、端領域におけるフィルムを適度に変形させることで、フィルムがローラに巻き取られ易くすることが可能である。 According to this, at the start of peeling of the film from the base material, the laminated body is sandwiched between two cylinders from the top and bottom, and the film is appropriately deformed in the end region, so that the film is easily wound by the roller. It is possible.

また、本発明によれば、前記剥離機構における前記ローラが前記端領域における前記フィルムに当接する位置は、前記支持部材が前記積層体を支持する位置に対して、前記本体領域側にずれた位置としてもよい。 Further, according to the present invention, the position where the roller in the peeling mechanism comes into contact with the film in the end region is a position shifted toward the main body region with respect to the position where the support member supports the laminate. May be.

これによれば、基材からのフィルムの剥離開始時にいて、ローラとフィルムが当接する領域においては、フィルムが、より先端側に行くほど高くなるように傾斜することとなり、より円滑にフィルムの端領域がローラに巻き取られるようにすることが可能である。 According to this, at the start of peeling of the film from the base material, in the region where the roller and the film come into contact with each other, the film is inclined so as to be higher toward the tip side, and the edge of the film is smoother. It is possible to allow the area to be wound up by a roller.

また、本発明は、基材と該基材に貼合わせられたフィルムからなる積層体から前記フィルムを剥離する剥離方法において、
前記基材側を下にした状態で、前記積層体の先端の領域である端領域を、支持部材によって下方から支持するとともに、前記積層体における前記端領域以外の領域である本体領域を、前記支持部材に隣接されたステージで支持する支持工程と、
前記積層体における前記端領域から前記本体領域にかけて、前記基材から前記フィルムを剥離する剥離工程と、を有し、
前記支持工程においては、円筒形状を有するとともに、その円筒面が粘着性を有する支持部材により、前記積層体を支持することを特徴とする、剥離方法であってもよい。 Further, the present invention relates to a peeling method for peeling the film from a laminate composed of a base material and a film attached to the base material.
With the base material side down, the end region, which is the tip region of the laminate, is supported from below by the support member, and the main body region, which is a region other than the end region in the laminate, is supported by the support member. A support process that supports on a stage adjacent to the support member,
It has a peeling step of peeling the film from the base material from the end region to the main body region of the laminated body.
The support step may be a peeling method characterized in that the laminated body is supported by a support member having a cylindrical shape and the cylindrical surface having adhesiveness.

また、本発明は、前記支持部材及び前記ステージが前記フィルムが剥離された後の前記基材を支持している状態において、前記支持部材を所定の退避方向に退避させる退避工程をさらに有し、
前記退避工程においては、前記支持部材が、前記ステージから離れるに従って上側に移動するように、前記支持部材を退避させることを特徴とする、上記の剥離方法であってもよい。 Further, the present invention further includes a retracting step of retracting the support member in a predetermined retracting direction in a state where the support member and the stage support the base material after the film is peeled off.
In the evacuation step, the peeling method may be used, wherein the support member is retracted so as to move upward as the support member moves away from the stage.

なお、本発明においては、上記した課題を解決するための手段は、可能な限り、組み合わせて実施することが可能である。 In the present invention, the means for solving the above-mentioned problems can be implemented in combination as much as possible.

本発明によれば、基材とフィルムとからなる積層体からフィルムをより確実に剥離させまたは、より確実に、貼付け対象に対する基材の貼付けを開始することが可能となる。 According to the present invention, the film can be more reliably peeled off from the laminate composed of the base material and the film, or the base material can be more reliably attached to the object to be attached.

実施形態１における剥離装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows the schematic structure of the peeling apparatus in Embodiment 1. 実施形態１における剥離ユニットを移動させる移動装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows the schematic structure of the moving device which moves a peeling unit in Embodiment 1. FIG. 実施形態１における剥離ユニットの概略構成を示す図である。It is a figure which shows the schematic structure of the peeling unit in Embodiment 1. 実施形態１における剥離ユニットを用いた、剥離装置の作動について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the operation of the peeling apparatus using the peeling unit in Embodiment 1. FIG. 実施形態１おける基材から保護フィルムが完全に剥離された後の剥離装置の作動について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the operation of the peeling apparatus after the protective film is completely peeled off from the base material in Embodiment 1. FIG. 実施形態１における保護フィルムが剥離された後の基材がガラス基板に貼付けられる際の作動について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the operation when the base material is attached to the glass substrate after the protective film is peeled off in Embodiment 1. FIG. 実施形態１における基材から保護フィルムを剥離し基材をガラス基板に貼り付ける工程についてのフローチャートである。It is a flowchart about the process of peeling a protective film from a base material in Embodiment 1 and sticking a base material to a glass substrate. 実施形態１における基材をガラス基板に貼り付ける工程における、ガラス基板側の準備についてのフローチャートである。It is a flowchart about the preparation on the glass substrate side in the step of sticking a base material to a glass substrate in Embodiment 1. 実施形態１におけるクリーニング装置の断面図である。It is sectional drawing of the cleaning apparatus in Embodiment 1. FIG. 実施形態１における剥離ユニットを用いた、剥離装置の作動について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the operation of the peeling apparatus using the peeling unit in Embodiment 1. FIG. 実施形態１における支持部の斜視図である。It is a perspective view of the support part in Embodiment 1. FIG. 実施形態１における保護フィルムの剥離開始後における支持部の動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the operation of the support part after the start of peeling of the protective film in Embodiment 1. FIG. 実施形態１における支持部の退避時における動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the operation at the time of retracting the support part in Embodiment 1. FIG. 実施形態１における支持部の退避時における動作の別態様を説明するための図である。It is a figure for demonstrating another aspect of the operation at the time of retracting the support part in Embodiment 1. FIG. 変形例に係る剥離ユニットを用いた、剥離装置の作動について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the operation of the peeling apparatus using the peeling unit which concerns on a modification.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態は、本願発明の一態様であり、本願発明の技術的範囲を限定するものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiments shown below are one aspect of the present invention and do not limit the technical scope of the present invention.

＜実施形態１＞
まず、図１を用いて、基材からフィルムを剥離する剥離装置１０の全体構成について説明する。図１は、本実施形態における剥離装置１０の作動の概略図である。剥離装置１０は、図中破線で示す積層体１１０における基材１１２からフィルムとしての保護フィルム１１１を剥離する剥離ユニット１と、積層体１１０を下側から指示する支持部１０２及びステージ１０３と、剥離した後の保護フィルム１１１を一時的に保持するセパレータ１０８と、保護フィルム１１１を廃棄する廃棄ボックス１０７及び、剥離ユニット１を清浄化するクリーニング装置１０９を有する。 <Embodiment 1>
First, the overall configuration of the peeling device 10 for peeling the film from the base material will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic view of the operation of the peeling device 10 in the present embodiment. The peeling device 10 peels the peeling unit 1 that peels the protective film 111 as a film from the base material 112 in the laminated body 110 shown by the broken line in the drawing, and the support portion 102 and the stage 103 that direct the laminated body 110 from below. It has a separator 108 for temporarily holding the protective film 111, a waste box 107 for discarding the protective film 111, and a cleaning device 109 for cleaning the peeling unit 1.

なお、図１において、支持部１０２からステージ１０３に向かう方向をｘ方向の正方向、支持部１０２、ステージ１０３から図中上向きの方向をｚ方向の正方向、支持部１０２及びステージ１０３の幅方向をｙ方向の正方向とする。この方向については、以下の側面図、斜視図においても同様である。支持部１０２とステージ１０３とは、水平に並んで配置され、双方の上面１０２ａ及び１０３ａは略同一平面を形成している。そして、支持部１０２の上面１０２ａとステージ１０３の上面１０３ａに、積層体１１０が載置される。 In FIG. 1, the direction from the support portion 102 to the stage 103 is the positive direction in the x direction, the upward direction from the support portion 102 and the stage 103 in the drawing is the positive direction in the z direction, and the width direction of the support portion 102 and the stage 103. Is the positive direction in the y direction. This direction is the same in the following side views and perspective views. The support portion 102 and the stage 103 are arranged horizontally side by side, and the upper surfaces 102a and 103a of both form substantially the same plane. Then, the laminated body 110 is placed on the upper surface 102a of the support portion 102 and the upper surface 103a of the stage 103.

支持部１０２及びステージ１０３に載置された積層体１１０から保護フィルム１１１が剥離された後、基材１１２を貼付対象に貼り付ける際には、支持部１０２は、ｙ方向の負方向に退避するようになっている。また、基材１１０から剥離された保護フィルム１１１はセパレータ１０８における保持部材１０８ａ、１０８ｂで挟み込まれた形で一時的に保持される。そして、保持部材１０８ａ、１０８ｂによる保護フィルム１１１の保持を解除することで、保護フィルム１１１は廃棄ボックス１０７内に落下して廃棄されるようになっている。 After the protective film 111 is peeled off from the laminate 110 placed on the support portion 102 and the stage 103, when the base material 112 is attached to the attachment target, the support portion 102 retracts in the negative direction in the y direction. It has become like. Further, the protective film 111 peeled off from the base material 110 is temporarily held in a form of being sandwiched between the holding members 108a and 108b of the separator 108. Then, by releasing the holding of the protective film 111 by the holding members 108a and 108b, the protective film 111 falls into the disposal box 107 and is discarded.

次に、図２には、本実施形態における剥離ユニット１を移動させる移動装置２０の概略構成を示す。本発明の剥離装置１０は、一つの剥離ユニット１を備えていてもよいし、複数の剥離ユニット１を備えていてもよい。図２においては、剥離ユニット１を二つ備えた例について示す。図２における移動装置２０は、第１底フレーム２０１、第２底フレーム２０２及び第３底フレーム２０３の３つのフレームを有し、この３つのフレームが床上に載置されることで設置される。第１底フレーム２０１の上面には、第１ラックアンドピニオン機構２０７と、第１直動ベアリング２０５が備えられている。第２底フレーム２０２の上面には、第２ラックアンドピニオン機構２０８と、第２直動ベアリング２０６が備えられている。第３底フレーム２０３の上面には、第３ラックアンドピニオン機構２０９が備えられている。また、第３底フレーム２０３を挟んで、第３直動ベアリング２１０と第４直動ベアリング２１１が備えられている。 Next, FIG. 2 shows a schematic configuration of a moving device 20 for moving the peeling unit 1 in the present embodiment. The peeling device 10 of the present invention may include one peeling unit 1 or a plurality of peeling units 1. FIG. 2 shows an example in which two peeling units 1 are provided. The moving device 20 in FIG. 2 has three frames, a first bottom frame 201, a second bottom frame 202, and a third bottom frame 203, and these three frames are placed on the floor to be installed. A first rack and pinion mechanism 207 and a first linear motion bearing 205 are provided on the upper surface of the first bottom frame 201. A second rack and pinion mechanism 208 and a second linear motion bearing 206 are provided on the upper surface of the second bottom frame 202. A third rack and pinion mechanism 209 is provided on the upper surface of the third bottom frame 203. Further, a third linear motion bearing 210 and a fourth linear motion bearing 211 are provided with the third bottom frame 203 interposed therebetween.

また、移動装置２０は、図中ｘ方向から見て門型の形状をした移動フレーム２０４を有する。この移動フレーム２０４は、２本の柱部材２０４ａ、２０４ａに、ステー部材２０４ｂが橋渡しされることで構成されている。２本の柱部材２０４ａ、２０４ａは、各々第１直動ベアリング２０５，第２直動ベアリング２０６の移動子（図示せず）上に固定されており、ｘ方向（正方向、負方向）に円滑に移動可能に構成されている。 Further, the moving device 20 has a moving frame 204 having a gate shape when viewed from the x direction in the drawing. The moving frame 204 is configured by bridging the stay member 204b between the two pillar members 204a and 204a. The two column members 204a and 204a are fixed on the movers (not shown) of the first linear motion bearing 205 and the second linear motion bearing 206, respectively, and are smooth in the x direction (positive direction and negative direction). It is configured to be movable to.

そして、２本の柱部材２０４ａ、２０４ａには、第１ｘサーボモータ２２０と、第２ｘ
サーボモータ２２１が各々備えられている。この第１ｘサーボモータ２２０、第２ｘサーボモータ２２１の出力ギア（不図示）は、各々第１ラックアンドピニオン機構２０７、第２ラックアンドピニオン機構２０８のラックギア（不図示）と結合している。そして、第１ｘサーボモータ２２０及び第２ｘサーボモータ２２１を駆動することで、移動フレーム２０４は、ｘ方向（正方向、負方向）に移動することが可能となっている。 The two pillar members 204a and 204a include a first x servomotor 220 and a second x.
Servo motors 221 are each provided. The output gears (not shown) of the first x servomotor 220 and the second x servomotor 221 are coupled to the rack gears (not shown) of the first rack and pinion mechanism 207 and the second rack and pinion mechanism 208, respectively. Then, by driving the first x servomotor 220 and the second x servomotor 221, the moving frame 204 can move in the x direction (positive direction, negative direction).

移動フレーム２０４のステー部材２０４ｂには、第１ｙサーボモータ２２８と、第２ｙサーボモータ２２９が備えられている。そして、第１ｙサーボモータ２２８の出力軸には第１ｙボールねじ２３０が結合されている。また、第２ｙサーボモータ２２９の出力軸には第２ｙボールねじ２３１が結合されている。さらに、第１ｙボールねじ２３０には、第１剥離ユニット支持部２２２が、第１ｙボールねじ２３０の回転とともにｙ方向（正方向、負方向）に移動可能に結合されている。また、第２ｙボールねじ２３１には、第２剥離ユニット支持部２２３が、第２ｙボールねじ２３１の回転とともにｙ方向（正方向、負方向）に移動可能に結合されている。 The stay member 204b of the moving frame 204 is provided with a first y servomotor 228 and a second y servomotor 229. A first y ball screw 230 is coupled to the output shaft of the first y servomotor 228. A second y ball screw 231 is coupled to the output shaft of the second y servomotor 229. Further, the first peeling unit support portion 222 is movably coupled to the first y ball screw 230 in the y direction (positive direction, negative direction) with the rotation of the first y ball screw 230. Further, the second peeling unit support portion 223 is movably coupled to the second y ball screw 231 in the y direction (positive direction, negative direction) with the rotation of the second y ball screw 231.

すなわち、第１ｙサーボモータ２２８を駆動することで、第１剥離ユニット支持部２２２がｙ方向（正方向、負方向）に移動し、第２ｙサーボモータ２２９を駆動することで、第２剥離ユニット支持部２２３がｙ方向（正方向、負方向）に移動する。 That is, by driving the first y servomotor 228, the first peeling unit support portion 222 moves in the y direction (positive direction, negative direction), and by driving the second y servomotor 229, the second peeling unit support is supported. The unit 223 moves in the y direction (positive direction, negative direction).

さらに、第１剥離ユニット支持部２２２には、第１ｚサーボモータ２２４が備えられている。第１ｚサーボモータ２２４の出力軸には第１ｚボールねじ２２６が結合されている。そして、この第１ｚボールねじ２２６には、剥離ユニット１が結合しており、第１ｚボールねじ２２６を回転させることで、剥離ユニット１がｚ方向（正方向、負方向）に移動可能となっている。また、第２剥離ユニット支持部２２３には、第２ｚサーボモータ２２５が備えられている。第２ｚサーボモータ２２５の出力軸には第２ｚボールねじ２２７が結合されている。そして、この第２ｚボールねじ２２７にも、剥離ユニット１が結合しており、第２ｚボールねじ２２７を回転させることで、剥離ユニット１がｚ方向（正方向、負方向）に移動可能となっている。 Further, the first peeling unit support portion 222 is provided with a first z servomotor 224. A first z ball screw 226 is coupled to the output shaft of the first z servomotor 224. A peeling unit 1 is coupled to the first z ball screw 226, and by rotating the first z ball screw 226, the peeling unit 1 can move in the z direction (positive direction, negative direction). There is. Further, the second peeling unit support portion 223 is provided with a second z servomotor 225. A second z ball screw 227 is coupled to the output shaft of the second z servomotor 225. The peeling unit 1 is also coupled to the second z ball screw 227, and by rotating the second z ball screw 227, the peeling unit 1 can move in the z direction (positive direction, negative direction). There is.

したがって、第１ｚサーボモータ２２４、第２ｚサーボモータ２２５を駆動することで、２つの剥離ユニット１がｚ方向（正方向、負方向）に移動することが可能である。これらの機構により、第１ｘサーボモータ２２０、第１ｙサーボモータ２２８、第１ｚサーボモータ２２４、第２ｘサーボモータ２２１、第２ｙサーボモータ２２９、第２ｚサーボモータ２２５、を各々駆動することで、２つの剥離ユニット１を、ｘ，ｙ，ｚの３方向（正方向、負方向）に自由自在に移動させることが可能である。 Therefore, by driving the 1st z servomotor 224 and the 2nd z servomotor 225, the two peeling units 1 can move in the z direction (positive direction and negative direction). By driving the 1st x servo motor 220, the 1st y servo motor 228, the 1st z servo motor 224, the 2nd x servo motor 221 and the 2nd y servo motor 229, and the 2nd z servo motor 225 by these mechanisms, two The peeling unit 1 can be freely moved in three directions (positive direction and negative direction) of x, y, and z.

また、移動装置２０では、支持部１０２は、第３ｘ直動ベアリング２１０と、第４ｘ直動ベアリング２１１の移動子（不図示）に載置されている。また、第３ｘラックアンドピニオン機構２０９及び第３ｘサーボモータ（不図示）によって、支持部１０２はｘ方向（正方向、負方向）に移動可能に支持されている。同様の機構（不図示）により、ステージ１０３も、支持部１０２とは独立に、ｘ方向（正方向、負方向）に移動可能に支持されている。 Further, in the moving device 20, the support portion 102 is mounted on a mover (not shown) of the 3x linear motion bearing 210 and the 4x linear motion bearing 211. Further, the support portion 102 is movably supported in the x direction (positive direction, negative direction) by the third x rack and pinion mechanism 209 and the third x servo motor (not shown). By the same mechanism (not shown), the stage 103 is also movably supported in the x direction (positive direction, negative direction) independently of the support portion 102.

なお、図２において、第１ｘサーボモータ２２０、第１ｙサーボモータ２２８、第１ｚサーボモータ２２４、第２ｘサーボモータ２２１、第２ｙサーボモータ２２９、第２ｚサーボモータ２２５、を各々駆動するための指令は、制御装置４０から出力される。この制御装置４０は、不図示のＣＰＵ、各種記憶装置、通信装置を含むコンピュータにより構成されているが、一般的なコンピュータと同一のハード構成を有するため、ここでは詳細な説明は省略する。なお、本実施例において、退避機構は、第３ｘ直動ベアリング２１０と、第４ｘ直動ベアリング２１１、第３ｘラックアンドピニオン機構２０９、第３ｘサーボ
モータ及び、制御装置４０を含めて構成される。 In FIG. 2, the commands for driving the 1st x servo motor 220, the 1st y servo motor 228, the 1st z servo motor 224, the 2nd x servo motor 221 and the 2nd y servo motor 229, and the 2nd z servo motor 225 are given. , Is output from the control device 40. The control device 40 is composed of a computer including a CPU (not shown), various storage devices, and a communication device, but since it has the same hardware configuration as a general computer, detailed description thereof will be omitted here. In this embodiment, the retracting mechanism includes a 3x linear motion bearing 210, a 4x linear motion bearing 211, a 3x rack and pinion mechanism 209, a 3x servomotor, and a control device 40.

図３には、本実施形態における剥離装置１０に使用される剥離ユニット１の概略構成を示す。剥離ユニット１は、軸としてのシャフト４がフレーム５に固定されており、保護フィルム１１１を巻き取るローラ２ａ、２ｂがシャフト４の回りに回転可能に支持された構成を有している。また、ローラ２ａとローラ２ｂの間には、シャフト４に固定され、ローラ２ａ、２ｂより若干小径の円筒状または円板状のクランプ受け部３が設けられている。なお、ローラ２ａ及びローラ２ｂは、一体となって回転するものであってもよいし、独立に回転可能なものであってもよい。また、クランプ受け部３は、シャフト４に固定されている他、シャフト４の周りに独立に回転可能なものであってもよいし、ローラ２ａ及びローラ２ｂと一体となって回転するものであってもよい。 FIG. 3 shows a schematic configuration of the peeling unit 1 used in the peeling device 10 in the present embodiment. The peeling unit 1 has a structure in which a shaft 4 as a shaft is fixed to a frame 5, and rollers 2a and 2b for winding a protective film 111 are rotatably supported around the shaft 4. Further, between the rollers 2a and the rollers 2b, a cylindrical or disc-shaped clamp receiving portion 3 fixed to the shaft 4 and having a diameter slightly smaller than that of the rollers 2a and 2b is provided. The rollers 2a and 2b may rotate integrally or may rotate independently. Further, the clamp receiving portion 3 is fixed to the shaft 4, may be independently rotatable around the shaft 4, or may be integrally rotated with the rollers 2a and 2b. You may.

なお、ローラ２ａ、２ｂの円筒面は、ブチル系ゴム、ポリウレタン系ゴム等の、粘着性を有するゴムによって形成されている。また、クランプ受け部３の素材は特に限定されないが、シャフト４と同じく、ＳＵＳやアルミ等の金属で形成されていてもよい。なお、ローラ２ａ、２ｂの円筒面の粘着力は、１Ｎ／１５ｍｍ以上２Ｎ／１５ｍｍ以下であるようにしてもよい。これにより、十分な力によって保護フィルム１１１をローラ２ａ、２ｂの円筒面に粘着させることができ、より確実に保護フィルム１１１をローラ２ａ、２ｂの円筒面に巻き取ることが可能である。なお、ローラ２ａ、２ｂの円筒面の粘着力である、１Ｎ／１５ｍｍ及び２Ｎ／１５ｍｍの数値は、幅１５ｍｍ（長さは単位長さ１ｍｍとする）の粘着面を有する粘着物を１８０度（水平）方向に引張った場合に、滑り出す荷重を示す。 The cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b are formed of adhesive rubber such as butyl rubber and polyurethane rubber. The material of the clamp receiving portion 3 is not particularly limited, but like the shaft 4, it may be made of a metal such as SUS or aluminum. The adhesive strength of the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b may be 1N / 15 mm or more and 2N / 15 mm or less. As a result, the protective film 111 can be adhered to the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b with sufficient force, and the protective film 111 can be more reliably wound around the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b. The numerical values of 1N / 15 mm and 2N / 15 mm, which are the adhesive strengths of the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b, are 180 degrees (the length is 1 mm as a unit length). Indicates the load that slides out when pulled in the horizontal) direction.

また、ローラ２ａ、２ｂの円筒面の硬度は、０°以上２０°以下としてもよい。ゴム（特にブチル系ゴムやポリウレタン系ゴム）により円筒面が形成された場合に、円筒面の硬度が上記の範囲である場合に、より高い粘着力を有する。よって、ローラ２ａ、２ｂの円筒面の硬度を、０°以上２０°以下とすることで、より確実に、保護フィルム１１１をローラ２ａ、２ｂの円筒面に粘着させることができる。 Further, the hardness of the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b may be 0 ° or more and 20 ° or less. When the cylindrical surface is formed of rubber (particularly butyl rubber or polyurethane rubber), it has higher adhesive strength when the hardness of the cylindrical surface is within the above range. Therefore, by setting the hardness of the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b to 0 ° or more and 20 ° or less, the protective film 111 can be more reliably adhered to the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b.

また、フレーム５の上面５ａには、直動アクチュエータ６が固定されている。そして、直動アクチュエータ６のローラ２ａ、２ｂ側には、直動アクチュエータ６の移動子に結合されたクランプヘッド７が設けられている。この直動アクチュエータ６を作動させることで、クランプヘッド７がローラ２ａ、２ｂ側に移動し、クランプ受け部３に当接するようになっている。また、クランプヘッド７は、図示しない弾性部材によって直動アクチュエータ６側に付勢されており、直動アクチュエータ６を作動させない状態では、クランプヘッド７がクランプ受け部３に当接している状態が解除され、フレーム５の上面５ａ側に移動して初期位置に戻る。 A linear actuator 6 is fixed to the upper surface 5a of the frame 5. A clamp head 7 coupled to a mover of the linear actuator 6 is provided on the rollers 2a and 2b of the linear actuator 6. By operating the linear actuator 6, the clamp head 7 moves toward the rollers 2a and 2b and comes into contact with the clamp receiving portion 3. Further, the clamp head 7 is urged toward the linear actuator 6 side by an elastic member (not shown), and when the linear actuator 6 is not operated, the state in which the clamp head 7 is in contact with the clamp receiving portion 3 is released. Then, it moves to the upper surface 5a side of the frame 5 and returns to the initial position.

図４には、本実施形態における剥離ユニット１を用いた、剥離装置１０における剥離時の動作について示す。ここで前述のように、積層体１１０は、基材１１２と基材１１２を保護するための保護フィルム１１１を含んでいる。なお、保護フィルム１１１は、本実施例においてフィルムに相当する。本実施形態では、基材１１２及び保護フィルム１１１は、ＰＥＴ（Ｐｏｌｙ Ｅｔｈｙｌｅｎｅ Ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）フィルムにより構成されているが、積層体１１０の材質はこれに限られない。積層体１１０の先端部である端領域１１０ａは支持部１０２に支持されており、積層体１１０における端領域１１０ａ以外の領域である本体領域１１０ｂは、ステージ１０３に支持されている。 FIG. 4 shows an operation at the time of peeling in the peeling device 10 using the peeling unit 1 in the present embodiment. Here, as described above, the laminate 110 includes the base material 112 and the protective film 111 for protecting the base material 112. The protective film 111 corresponds to a film in this embodiment. In the present embodiment, the base material 112 and the protective film 111 are made of a PET (Poly Ethylene Terephthalate) film, but the material of the laminate 110 is not limited to this. The end region 110a, which is the tip end portion of the laminated body 110, is supported by the support portion 102, and the main body region 110b, which is a region other than the end region 110a in the laminated body 110, is supported by the stage 103.

その際、支持部１０２の上面１０２ａ及び、ステージ１０３の上面１０３ａには、空気が吸引される吸引孔（不図示）が複数配置されており、この吸引孔によって積層体１１０を吸着して支持するようにしてもよい。また、支持部１０２の上面１０２ａまたはステー
ジ１０３の上面１０３ａには、（吸引孔を有する）ウレタンゴム等のシートを配置することで、積層体１１０との密着性を高めるようにしてもよい。なお、支持部１０２は、積層体１１０を、ローラ２ａ，２ｂの粘着力よりも強い力で吸着する必要がある。これは、後述のように、ローラ２ａ，２ｂの粘着力によって保護フィルム１１１が基材１１２から剥離される際に、基材１１２が支持部１０２の上面１０２ａから外れてしまうことを防止する必要があるからである。 At that time, a plurality of suction holes (not shown) for sucking air are arranged on the upper surface 102a of the support portion 102 and the upper surface 103a of the stage 103, and the laminated body 110 is sucked and supported by the suction holes. You may do so. Further, by arranging a sheet such as urethane rubber (having a suction hole) on the upper surface 102a of the support portion 102 or the upper surface 103a of the stage 103, the adhesion to the laminated body 110 may be improved. The support portion 102 needs to attract the laminated body 110 with a force stronger than the adhesive force of the rollers 2a and 2b. This is necessary to prevent the base material 112 from coming off from the upper surface 102a of the support portion 102 when the protective film 111 is peeled off from the base material 112 due to the adhesive force of the rollers 2a and 2b, as will be described later. Because there is.

なお、本明細書において今後、保護フィルム１１１において、積層体１１０の端領域１１０ａ及び本体領域１１０ｂに相当する領域を同様に、保護フィルム１１１の端領域１１１ａ及び本体領域１１１ｂと呼ぶ。さらに、基材１１２において、積層体１１０の端領域１１０ａ及び本体領域１１０ｂに相当する領域を同様に、基材１１２の端領域１１２ａ及び本体領域１１２ｂと呼ぶ。 In the present specification, in the protective film 111, the regions corresponding to the end region 110a and the main body region 110b of the laminated body 110 are also referred to as the end region 111a and the main body region 111b of the protective film 111. Further, in the base material 112, the regions corresponding to the end region 110a and the main body region 110b of the laminated body 110 are also referred to as the end region 112a and the main body region 112b of the base material 112.

剥離装置１０においては、積層体１１０から保護フィルム１１１を剥離する際には、先ず、剥離ユニット１を下降させて、保護フィルム１１１における端領域１１１ａにローラ２ａ、２ｂの表面を当接させる。そして、その状態から剥離ユニット１をｘ方向（正方向：本体領域１１１ｂ側）に所定距離だけ移動させる。そうすると、剥離ユニット１の移動に伴い、ローラ２ａ、２ｂは従動的に、図４（ａ）において時計回りに回転しながら保護フィルム１１１上を転がる。 In the peeling device 10, when peeling the protective film 111 from the laminated body 110, first, the peeling unit 1 is lowered to bring the surfaces of the rollers 2a and 2b into contact with the end region 111a of the protective film 111. Then, from that state, the peeling unit 1 is moved in the x direction (positive direction: main body region 111b side) by a predetermined distance. Then, as the peeling unit 1 moves, the rollers 2a and 2b roll on the protective film 111 while rotating clockwise in FIG. 4A.

その際、ローラ２ａ、２ｂの表面には粘着力があるので、保護フィルム１１１の端領域１１１ａは、ローラ２ａ、２ｂに巻き取られ、基材１１２から剥離される。ここで、上述の所定距離とは、剥離ユニット１の移動によって、ローラ２ａ、２ｂが回転し、保護フィルム１１１が、クランプヘッド７によって当接可能な位置まで巻き取られる距離である。例えば、クランプヘッド７が図３に示すように、鉛直上側から降下する場合には、所定距離とは、ローラ２ａ、２ｂが１８０度以上回転する距離である。 At that time, since the surfaces of the rollers 2a and 2b have adhesive strength, the end region 111a of the protective film 111 is wound around the rollers 2a and 2b and peeled off from the base material 112. Here, the above-mentioned predetermined distance is a distance at which the rollers 2a and 2b are rotated by the movement of the peeling unit 1 and the protective film 111 is wound up to a position where it can be brought into contact with the clamp head 7. For example, as shown in FIG. 3, when the clamp head 7 descends from the vertically upper side, the predetermined distance is a distance at which the rollers 2a and 2b rotate by 180 degrees or more.

次に、剥離ユニット１においては、直動アクチュエータ６が作動されてクランプヘッド７が下降する。そして、巻き取られた保護フィルム１１１をクランプ受け部３の外周面に押し付ける。換言すると、保護フィルム１１１は、クランプ受け部３の外周面とクランプヘッド７の先端で挟まれて固定される。また、この際、ローラ２ａ、２ｂ及びクランプ受け部３及びクランプヘッド７が保護フィルム１１１を介して連結された形で固定されるので、ローラ２ａ、２ｂの回転が規制される。ここで、直動アクチュエータ６、クランプヘッド７、クランプ受け部３は、本実施形態においてクランプ機構を構成する。 Next, in the peeling unit 1, the linear actuator 6 is operated to lower the clamp head 7. Then, the wound protective film 111 is pressed against the outer peripheral surface of the clamp receiving portion 3. In other words, the protective film 111 is sandwiched and fixed between the outer peripheral surface of the clamp receiving portion 3 and the tip of the clamp head 7. Further, at this time, since the rollers 2a and 2b, the clamp receiving portion 3 and the clamp head 7 are fixed in a form of being connected via the protective film 111, the rotation of the rollers 2a and 2b is restricted. Here, the linear actuator 6, the clamp head 7, and the clamp receiving portion 3 form a clamp mechanism in the present embodiment.

次に、図４（ｂ）に示すように、剥離ユニット１は、直動アクチュエータ６が作動された状態で、ｚ方向（正方向）に上昇するとともに、さらにｘ方向（正方向：本体領域１１１ｂ側）に向けて移動する。これにより、保護フィルム１１１におけるより大きな範囲が基材１１２から剥離される。なお、その際、クランプヘッド７がクランプ受け部３に当接し続けることで、ローラ２ａ、２ｂの回転は規制され続けているので、剥離ユニット１から保護フィルム１１１が脱落することはない。 Next, as shown in FIG. 4B, the peeling unit 1 rises in the z direction (positive direction) in a state where the linear actuator 6 is operated, and further rises in the x direction (positive direction: main body region 111b). Move towards (side). As a result, a larger area of the protective film 111 is peeled off from the base material 112. At that time, since the clamp head 7 keeps in contact with the clamp receiving portion 3, the rotation of the rollers 2a and 2b is continuously regulated, so that the protective film 111 does not fall off from the peeling unit 1.

なお、本実施形態においては、クランプヘッド７は、鉛直上方から、保護フィルム１１１をクランプ受け部３の外周面に押し付ける構成となっている。しかしながら、クランプヘッド７が保護フィルム１１１を押し付ける方向は鉛直方向に限られず、適宜傾けても構わない。例えば、巻き取られた保護フィルム１１１が、フレーム５に接触してしまうような場合には、図４（ａ）のｘ方向負方向側から、保護フィルム１１１を斜めに押し付けるようにしてもよい。また、本実施形態においては、クランプヘッド７は、保護フィルム１１１をクランプ受け部３の外周面に押し付ける構成となっている。しかしながら、クランプヘッド７が保護フィルム１１１を押し付ける対象はこれに限られない。例えば、クラン
プヘッド７が保護フィルム１１１をローラ２ａ、２ｂの円筒面に押し付ける構成としてもよい。ここで、クランプ受け部３は、ローラ以外の部材の一例である。 In the present embodiment, the clamp head 7 is configured to press the protective film 111 against the outer peripheral surface of the clamp receiving portion 3 from vertically above. However, the direction in which the clamp head 7 presses the protective film 111 is not limited to the vertical direction, and may be appropriately tilted. For example, when the wound protective film 111 comes into contact with the frame 5, the protective film 111 may be pressed diagonally from the negative side in the x direction of FIG. 4A. Further, in the present embodiment, the clamp head 7 is configured to press the protective film 111 against the outer peripheral surface of the clamp receiving portion 3. However, the object on which the clamp head 7 presses the protective film 111 is not limited to this. For example, the clamp head 7 may be configured to press the protective film 111 against the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b. Here, the clamp receiving portion 3 is an example of a member other than the roller.

次に、図１の説明に戻り、基材１１２から保護フィルム１１１を剥離させる際の剥離ユニット１の移動の様子についてより詳細に示す。図１において、剥離ユニット１のローラ２ａ、２ｂが保護フィルム１１２の端領域１１２ａに当接している状態から、剥離ユニット１は、図８中のステップＳ1に示すように、ｘ方向（正方向：本体領域１１１ｂ側）に
向けて水平に移動する。この時点で、保護フィルム１１１の端領域１１１ａは、剥離ユニット１のローラ２ａ、２ｂに巻き取られる。さらに、ステップＳ１の移動が終了後、直動アクチュエータ６を作動させることで、クランプヘッド７とクランプ受け部３との間に保護フィルム１１１を挟むことで、保護フィルム１１１が剥離ユニット１にクランプされる。 Next, returning to the description of FIG. 1, the state of movement of the peeling unit 1 when peeling the protective film 111 from the base material 112 will be described in more detail. In FIG. 1, from the state where the rollers 2a and 2b of the peeling unit 1 are in contact with the end region 112a of the protective film 112, the peeling unit 1 is in the x direction (positive direction: as shown in step S1 in FIG. 8). It moves horizontally toward the main body region 111b side). At this point, the end region 111a of the protective film 111 is wound around the rollers 2a and 2b of the peeling unit 1. Further, after the movement of step S1 is completed, the linear actuator 6 is operated to sandwich the protective film 111 between the clamp head 7 and the clamp receiving portion 3, so that the protective film 111 is clamped to the peeling unit 1. To.

次に、ステップＳ２に示すように、剥離ユニット１は、ｚ方向（正負方向）に上昇及び下降するとともに、ｘ方向（正方向）に移動する。ここで、ステップＳ１では、保護フィルム１１１の端領域１１１ａの角部が剥離ユニット１によって基材１１２から剥離されていたに過ぎなかったが、ステップＳ２の移動により、保護フィルム１１１のより広い範囲が基材１１２から剥離される。さらに、ステップＳ３では、剥離ユニット１は、ｙ方向（正負方向：保護フィルム１１１の幅方向）に移動しつつ、ｘ方向（正方向）にもさらに移動する。すなわち、剥離ユニット１を蛇行するように移動させることで、保護フィルム１１１の基材１１２からの剥離方向を変化させながら剥離を続行する。このことで、保護フィルム１１１を基材１１２から、より円滑に剥離することが可能となる。 Next, as shown in step S2, the peeling unit 1 rises and falls in the z direction (positive / negative direction) and moves in the x direction (positive direction). Here, in step S1, the corner portion of the end region 111a of the protective film 111 was only peeled from the base material 112 by the peeling unit 1, but due to the movement of step S2, a wider range of the protective film 111 is expanded. It is peeled off from the base material 112. Further, in step S3, the peeling unit 1 further moves in the x direction (positive direction) while moving in the y direction (positive / negative direction: width direction of the protective film 111). That is, by moving the peeling unit 1 in a meandering manner, peeling is continued while changing the peeling direction of the protective film 111 from the base material 112. This makes it possible to peel off the protective film 111 from the base material 112 more smoothly.

ステップＳ３終了時には、既に、保護フィルム１１１の所定以上の面積が剥離された状態であるので、ステップＳ４においては、剥離ユニット１をｘ方向（正方向）に移動させるのみで、保護フィルム１１１を円滑に剥離させることが可能である。そして、ステップＳ５では、剥離ユニット１によって、保護フィルム１１１の端領域１１１ａを、廃棄ボックス１０７のｘ方向の端部まで移動させ、保護フィルム１１１の端領域１１１ａを、セパレータ１０８における保持部材１０８ａ、１０８ｂで挟み込んで保持させる。 At the end of step S3, the area of the protective film 111 equal to or larger than the predetermined area has already been peeled off. Therefore, in step S4, the protective film 111 is smoothly smoothed only by moving the peeling unit 1 in the x direction (positive direction). Can be peeled off. Then, in step S5, the peeling unit 1 moves the end region 111a of the protective film 111 to the end of the waste box 107 in the x direction, and the end region 111a of the protective film 111 is moved to the holding members 108a and 108b of the separator 108. Hold it by sandwiching it with.

そして、この時点で、剥離ユニット１の直動アクチュエータ６の作動を停止させて、クランプヘッド７を上昇させることで、剥離ユニット１による保護フィルム１１１のクランプを解除する。また、この時点では、保護フィルム１１１の全体が基材１１２から剥離され、廃棄ボックス１０７に一部収容された状態となる。次に、剥離ユニット１を初期位置まで退避させる。そして、保持部材１０８ａ、１０８ｂによる保護フィルム１１１の保持を解除する。このことで、保護フィルム１１１は廃棄ボックス１０７内に落下して廃棄される。 Then, at this point, the operation of the linear actuator 6 of the peeling unit 1 is stopped and the clamp head 7 is raised to release the clamp of the protective film 111 by the peeling unit 1. Further, at this point, the entire protective film 111 is peeled off from the base material 112, and a part of the protective film 111 is housed in the waste box 107. Next, the peeling unit 1 is retracted to the initial position. Then, the holding of the protective film 111 by the holding members 108a and 108b is released. As a result, the protective film 111 falls into the disposal box 107 and is discarded.

次に、図５を用いて、基材１１２から保護フィルム１１１が完全に剥離された後の剥離装置１０の作動について説明する。図５（ａ）に示すように、支持部材としての支持部１０２の上面１０２ａ及びステージ１０３の上面１０３ａに、基材１１２のみが支持されている状態で、図５（ａ）のように、アライメントカメラ１０４によって、基材１１２が撮影される。すなわち、アライメントカメラ１０４の撮影画像を用いて、基材１１２のｘ−ｙ平面における位置及び角度が取得される。 Next, the operation of the peeling device 10 after the protective film 111 is completely peeled from the base material 112 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 5A, alignment is performed as shown in FIG. 5A in a state where only the base material 112 is supported on the upper surface 102a of the support portion 102 as the support member and the upper surface 103a of the stage 103. The base material 112 is photographed by the camera 104. That is, the position and angle of the base material 112 in the xy plane are acquired by using the captured image of the alignment camera 104.

一方、図５（ｂ）に示すように、基材１１２を貼付けるべき対象のガラス基板１１３が反転ステージ１０５に支持された状態で、基材１１２の待受け状態となる。その待受け状態において、ガラス基板１１３のｘ−ｙ平面における位置及び角度が取得される。これらの動作は、基材１１２から保護フィルム１１１が剥離される前、あるいは剥離動作と並行して行われる。次に、剥離動作が完了した後の支持部１０２、ステージ１０３及び基材１
１２がｘ方向（負方向）に移動して、基材１１２がガラス基板１１３に平行に所定距離の間隔をあけて対向した状態で停止する。そして、上述のように取得された基材１１２及びガラス基板１１３のｘ−ｙ平面における位置及び角度に基づいて、支持部１０２及びステージ１０３のｘ−ｙ平面における位置及び角度が図示しない補正機構により補正される。これにより、アライメント動作が実行される。そして、支持部１０２による基材１１２の端領域１１２ａの支持が解除され、支持部１０２がｘ方向（負方向）に移動して退避する。これにより、基材１１２の端領域１１２ａがフリーの状態となる。 On the other hand, as shown in FIG. 5B, the glass substrate 113 to which the base material 112 is to be attached is supported by the inversion stage 105, and the base material 112 is in the standby state. In the standby state, the position and angle of the glass substrate 113 in the xy plane are acquired. These operations are performed before the protective film 111 is peeled from the base material 112, or in parallel with the peeling operation. Next, the support portion 102, the stage 103, and the base material 1 after the peeling operation is completed.
12 moves in the x direction (negative direction), and the base material 112 stops in a state of being parallel to the glass substrate 113 and facing the glass substrate 113 at a predetermined distance. Then, based on the positions and angles of the base material 112 and the glass substrate 113 obtained as described above in the xy plane, the positions and angles of the support portion 102 and the stage 103 in the xy plane are corrected by a correction mechanism (not shown). It will be corrected. As a result, the alignment operation is executed. Then, the support of the end region 112a of the base material 112 by the support portion 102 is released, and the support portion 102 moves in the x direction (negative direction) and retracts. As a result, the end region 112a of the base material 112 becomes free.

次に、図６を用いて、保護フィルム１１１が剥離された後の基材１１２がガラス基板１１３に貼付けられる際の作動について説明する。図６（ａ）に示すように、ステージ１０３が、基材１１２の端領域１１２ａがガラス基板１１３に接近するように傾斜する。その後、図６（ｂ）に示すように、貼付けローラ１０６が上昇して、基材１１２の端領域１１２ａをガラス基板１１３に貼付ける。そして、図６（ｃ）に示すように、支持部１０２及びステージ１０３がｘ方向（正方向）に移動する。そして、貼付けローラ１０６は、回転しながら、基材１１２をガラス基板１１３に貼付けつつ、支持部１０２及び、ステージ１０３と同様に、ｘ方向（正方向）に移動する。これにより、基材１１２のガラス基板１１３への貼付けが完了する。 Next, with reference to FIG. 6, the operation when the base material 112 after the protective film 111 is peeled off is attached to the glass substrate 113 will be described. As shown in FIG. 6A, the stage 103 is tilted so that the end region 112a of the base material 112 approaches the glass substrate 113. After that, as shown in FIG. 6B, the sticking roller 106 rises to stick the end region 112a of the base material 112 to the glass substrate 113. Then, as shown in FIG. 6C, the support portion 102 and the stage 103 move in the x direction (positive direction). Then, the sticking roller 106 moves in the x direction (positive direction) in the same manner as the support portion 102 and the stage 103 while sticking the base material 112 to the glass substrate 113 while rotating. This completes the attachment of the base material 112 to the glass substrate 113.

図７及び図８には、基材１１２から保護フィルム１１１を剥離する工程及び、保護フィルム１１１を剥離した後の基材１１２をガラス基板１１３に貼り付ける工程についてのフローチャートを示す。本フローが実行されると、まず、ステップＳ１０１で、ステージ１０３に積層体１１０がセットされる。その際、積層体１１０の端領域１１０ａは支持部１０２の上面１０２ａに、本体領域１１０ｂはステージ１０３の上面１０３ａに支持される。この工程は、本実施例における支持工程に相当する。 7 and 8 show flowcharts of a step of peeling the protective film 111 from the base material 112 and a step of attaching the base material 112 after peeling the protective film 111 to the glass substrate 113. When this flow is executed, first, in step S101, the laminated body 110 is set on the stage 103. At that time, the end region 110a of the laminated body 110 is supported by the upper surface 102a of the support portion 102, and the main body region 110b is supported by the upper surface 103a of the stage 103. This step corresponds to the support step in this embodiment.

次に、ステップＳ１０２において、剥離ユニット１を下降させ、ローラ２ａ、２ｂを保護フィルム１１１の端領域１１１ａの上に当接させる。ステップＳ１０２の工程は本実施形態においてローラ当接工程に相当する。そして、ステップＳ１０３において、図４（ａ）に示すように、剥離ユニット１を移動させて保護フィルム１１１の端領域１１１ａをローラ２ａ、２ｂに巻き取り、直動アクチュエータ６を作動させて、クランプヘッド７で保護フィルム１１１をクランプする。この工程は、本実施形態において巻取り工程及びクランプ工程に相当する。そして、図４（ｂ）に示すように、剥離ユニット１を移動させて保護フィルム１１１を基材１１２から剥離する。この工程は、本実施例において剥離工程に相当する。 Next, in step S102, the peeling unit 1 is lowered to bring the rollers 2a and 2b into contact with the end region 111a of the protective film 111. The step S102 corresponds to the roller contact step in this embodiment. Then, in step S103, as shown in FIG. 4A, the peeling unit 1 is moved to wind the end region 111a of the protective film 111 around the rollers 2a and 2b, and the linear actuator 6 is operated to operate the clamp head. Clamp the protective film 111 at 7. This step corresponds to the winding step and the clamping step in this embodiment. Then, as shown in FIG. 4B, the peeling unit 1 is moved to peel the protective film 111 from the base material 112. This step corresponds to the peeling step in this example.

それから、ステップＳ１０４において、基材１１２のアライメントに必要な画像データをアライメントカメラ１０４により取得し、ｘ−ｙ平面における基材１１２の位置及び角度を取得する。次にステップＳ１０５において、基材１１２を支持した状態の支持部１０２及びステージ１０３を、ガラス基板１１３が支持された反転ステージ１０５の直下まで水平に移動する。ここでは、Ｓ１０４で取得された情報と、後述するＳ２０３で取得された、ガラス基板１１３のｘ−ｙ平面における位置及び角度とに基づいて、支持部１０２及びステージ１０３のｘ−ｙ平面における位置及び角度が補正される。そして、次にステップＳ１０６において、支持部１０２をｘ方向（負方向）に退避させる。これにより、基材１１２の端領域１１２ａをフリーな状態とし、貼付けローラ１０６で下側から押圧可能な状態とする。この工程は、本実施例において退避工程に相当する。次にステップＳ１０７において、ステージ１０３を時計回りに傾斜させる。 Then, in step S104, the image data necessary for the alignment of the base material 112 is acquired by the alignment camera 104, and the position and angle of the base material 112 on the xy plane are acquired. Next, in step S105, the support portion 102 and the stage 103 in a state where the base material 112 is supported are horizontally moved to just below the reversing stage 105 in which the glass substrate 113 is supported. Here, based on the information acquired in S104 and the position and angle of the glass substrate 113 in the xy plane acquired in S203 described later, the positions and positions of the support portion 102 and the stage 103 in the xy plane and The angle is corrected. Then, in step S106, the support portion 102 is retracted in the x direction (negative direction). As a result, the end region 112a of the base material 112 is set to a free state and can be pressed from below by the sticking roller 106. This step corresponds to the evacuation step in this embodiment. Next, in step S107, the stage 103 is tilted clockwise.

これにより、基材１１２の端領域１１２ａをより、ガラス基板１１３に接近させる。次にステップＳ１０８において、貼付けローラ１０６を上昇させ、基材１１２の端領域１１２ａをガラス基板１１３に押圧する。次に、ステップＳ１０９において、ステージ１０３
、貼付けローラ１０６及び、支持部１０２をｘ方向（正方向）に走行させる。これにより、貼付けローラ１０６を移動させながら、基材１１２の本体領域１１２ｂをガラス基板１１３に押圧して貼付ける。 As a result, the end region 112a of the base material 112 is brought closer to the glass substrate 113. Next, in step S108, the sticking roller 106 is raised to press the end region 112a of the base material 112 against the glass substrate 113. Next, in step S109, stage 103
, The sticking roller 106 and the support portion 102 are driven in the x direction (positive direction). As a result, while moving the sticking roller 106, the main body region 112b of the base material 112 is pressed against the glass substrate 113 for sticking.

図８には、基材１１２を貼付けるべきガラス基板１１３の準備に関わるフローを示す。このフローが実行されると、ステップＳ２０１において、反転ステージ１０５にガラス基板１１３をセットする。この反転ステージ１０５の表面には、吸引孔（不図示）が複数設けられており、この複数の吸引孔によってガラス基板１１３を反転ステージ１０５上に吸引して固定するようにしてもよい。 FIG. 8 shows a flow related to the preparation of the glass substrate 113 to which the base material 112 is to be attached. When this flow is executed, the glass substrate 113 is set on the reversing stage 105 in step S201. A plurality of suction holes (not shown) are provided on the surface of the reversing stage 105, and the glass substrate 113 may be sucked and fixed on the reversing stage 105 by the plurality of suction holes.

次に、ステップＳ２０２において、反転ステージ１０５の上下を反転させる。次に、ステップＳ２０３において、上述のＳ１０４におけるアライメントのためのガラス基板１１３の画像を取得する。そして、取得された画像データより、ガラス基板１１３のｘ−ｙ平面における位置と角度の情報を取得する。さらに、ステップ２０４においては、そのままの状態を維持して待機し、剥離動作が完了した後の支持部１０２、ステージ１０３及び基材１１２がｘ方向（負方向）に移動して、基材１１２がガラス基板１１３に対向した状態となるのを待つ。 Next, in step S202, the inversion stage 105 is inverted upside down. Next, in step S203, an image of the glass substrate 113 for alignment in S104 described above is acquired. Then, from the acquired image data, information on the position and angle of the glass substrate 113 in the xy plane is acquired. Further, in step 204, the support portion 102, the stage 103, and the base material 112 move in the x direction (negative direction) after the peeling operation is completed while maintaining the state as it is and waiting, so that the base material 112 is moved. Wait for the glass substrate 113 to face the glass substrate 113.

なお、上述した、基材１１２から保護フィルム１１１を剥離する工程が繰り返し行われる中で、定期的あるいは不定期に、剥離ユニット１をクリーニング機構の一例であるクリーニング装置１０９内に移動させ、ローラ２ａ、２ｂの円筒面の清浄を行う。図９には、クリーニング装置１０９の断面図を示す。クリーニング装置１０９は、筐体１０９ｂ内に、剥離ユニット１のシャフト４と平行な軸の周りに回転可能な清浄ローラ１０９ａが設けられた構造を有している。この清浄ローラ１０９ａの円筒面には、ローラ２ａ、２ｂの円筒面より強い粘着力を有する粘着剤が貼付されている。 While the above-mentioned step of peeling the protective film 111 from the base material 112 is repeatedly performed, the peeling unit 1 is moved into the cleaning device 109, which is an example of the cleaning mechanism, periodically or irregularly, and the roller 2a Clean the cylindrical surface of 2b. FIG. 9 shows a cross-sectional view of the cleaning device 109. The cleaning device 109 has a structure in which a rotating cleaning roller 109a is provided around a shaft parallel to the shaft 4 of the peeling unit 1 in the housing 109b. An adhesive having a stronger adhesive force than the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b is attached to the cylindrical surface of the cleaning roller 109a.

また、清浄ローラ１０９ａには、モータ等の回転アクチュエータ１０９ｃが連結されており、清浄ローラ１０９ａが自ら回転することが可能となっている。そして、このクリーニング装置１０９内に剥離ユニット１を降下させ、ローラ２ａ、２ｂの円筒面と清浄ローラ１０９ａの円筒面を当接させた状態で、回転アクチュエータ１０９ｃを作動させて、清浄ローラ１０９ａを回転させる。そうすることで、ローラ２ａ、２ｂを従動的に回転させるとともに、ローラ２ａ、２ｂの円筒面上の塵埃や異物を清浄ローラ１０９ａに転写し、ローラ２ａ、２ｂの円筒面を清浄し、ローラ２ａ、２ｂの円筒面の粘着力を回復させることが可能となる。なお、清浄ローラ１０９ａの粘着剤は交換可能とされており、この粘着剤自体の粘着力が低下した場合には、粘着剤が交換される。 Further, a rotary actuator 109c such as a motor is connected to the cleaning roller 109a, so that the cleaning roller 109a can rotate by itself. Then, the peeling unit 1 is lowered into the cleaning device 109, and the rotary actuator 109c is operated to rotate the cleaning roller 109a in a state where the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b are in contact with the cylindrical surface of the cleaning roller 109a. Let me. By doing so, the rollers 2a and 2b are driven to rotate, dust and foreign matter on the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b are transferred to the cleaning roller 109a, the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b are cleaned, and the rollers 2a are cleaned. It is possible to recover the adhesive force of the cylindrical surface of 2b. The adhesive of the cleaning roller 109a is replaceable, and when the adhesive strength of the adhesive itself decreases, the adhesive is replaced.

なお、図７及び図８に示したフローチャートは、制御装置４０の記憶装置に記憶されており、フローの推進において必要な、図２に示した移動装置２０以外の装置への指令信号も制御装置４０から出力される。ここで、図２の移動装置２０は、２つの剥離ユニット１を移動させることが可能な装置として構成されていたが、１つの剥離ユニット１を移動させる装置として構成されてもよいことは当然である。 The flowcharts shown in FIGS. 7 and 8 are stored in the storage device of the control device 40, and command signals to devices other than the mobile device 20 shown in FIG. 2 required for propulsion of the flow are also controlled by the control device. It is output from 40. Here, the moving device 20 of FIG. 2 was configured as a device capable of moving the two peeling units 1, but it is natural that the moving device 20 may be configured as a device capable of moving one peeling unit 1. is there.

なお、上記において、剥離機構は、剥離ユニット１と、剥離ユニット１をｘ方向に移動させる移動機構としての移動装置２０、巻き取り機構としての制御装置４０を含んで構成される。 In the above, the peeling mechanism includes a peeling unit 1, a moving device 20 as a moving mechanism for moving the peeling unit 1 in the x direction, and a control device 40 as a winding mechanism.

また、上記の剥離ユニット１では、ローラ２ａ、２ｂに巻き取った保護フィルム１１１をクランプヘッド７とクランプ受け部３で挟み、クランプ機構として機能させることで、巻き取った保護フィルム１１の脱落を防止した。しかしながら、ローラ２ａ、２ｂの粘着力が充分に強く、剥離ユニット１の移動中にローラ２ａ、２ｂから保護フィルム１１が脱
落しないと考えられる場合には、必ずしもクランプ機構を設ける必要はない。 Further, in the peeling unit 1 described above, the protective film 111 wound around the rollers 2a and 2b is sandwiched between the clamp head 7 and the clamp receiving portion 3 to function as a clamp mechanism, thereby preventing the wound protective film 11 from falling off. did. However, if it is considered that the adhesive force of the rollers 2a and 2b is sufficiently strong and the protective film 11 does not fall off from the rollers 2a and 2b during the movement of the peeling unit 1, it is not always necessary to provide the clamp mechanism.

このクランプ機構を設けない場合には、保護フィルム１１１が巻き取られた状態のローラ２ａ、２ｂの回転を規制するロック機構をさらに設けるようにしてもよい。このロック機構は、クランプ機構と同様に、直動アクチュエータとロック部材の組み合わせによるものであってもよい。この場合には、ロック部材は、例えばローラの円筒面ではなく平面状の側面に当接するように構成されてもよい。あるいは、ローラ２ａ、２ｂに設けられた孔に挿入されるように構成されてもよい。 When this clamp mechanism is not provided, a lock mechanism for restricting the rotation of the rollers 2a and 2b in the state where the protective film 111 is wound may be further provided. Like the clamp mechanism, this locking mechanism may be a combination of a linear actuator and a locking member. In this case, the locking member may be configured to abut, for example, a planar side surface rather than a cylindrical surface of the roller. Alternatively, it may be configured to be inserted into the holes provided in the rollers 2a and 2b.

また、本実施形態においては、剥離ユニット１は、ローラ２ａ、２ｂは自由回転可能に支持され、ローラ２ａ、２ｂが保護フィルム１１１に当接した状態で、剥離ユニット１が移動することに伴い、シャフト４の軸周りに従動的に回転する例について説明した。これに対し、剥離ユニット１が、図９に破線で示すように、ローラ２ａ、２ｂを回転させる回転アクチュエータ２ｃを備え、ローラ２ａ、２ｂが能動的に回転することを可能としてもよい。 Further, in the present embodiment, the peeling unit 1 is supported by the rollers 2a and 2b so as to be freely rotatable, and the peeling unit 1 moves in a state where the rollers 2a and 2b are in contact with the protective film 111. An example of dynamically rotating the shaft 4 around the axis has been described. On the other hand, the peeling unit 1 may include a rotary actuator 2c for rotating the rollers 2a and 2b, as shown by the broken line in FIG. 9, so that the rollers 2a and 2b can be actively rotated.

そうすれば、剥離ユニット１が、ローラ２ａ、２ｂが保護フィルム１１１に当接した状態で、ローラ２ａ、２ｂを能動的に回転させることで保護フィルム１１１を巻き取るようにすることも可能である。また、その場合には、クリーニング装置１０９において、清浄ローラ１０９ａには回転アクチュエータ１０９ｃは設けず、クリーニング装置１０９内に剥離ユニット１を降下させ、ローラ２ａ、２ｂの円筒面と清浄ローラ１０９ａの円筒面を当接させた状態で、ローラ２ａ、２ｂを能動的に回転させることで清浄ローラ１０９ａを従動的に回転させることも可能となる。 Then, the peeling unit 1 can wind the protective film 111 by actively rotating the rollers 2a and 2b in a state where the rollers 2a and 2b are in contact with the protective film 111. .. Further, in that case, in the cleaning device 109, the rotary actuator 109c is not provided on the cleaning roller 109a, the peeling unit 1 is lowered into the cleaning device 109, and the cylindrical surfaces of the rollers 2a and 2b and the cylindrical surface of the cleaning roller 109a are provided. It is also possible to passively rotate the cleaning roller 109a by actively rotating the rollers 2a and 2b in a state where the rollers 2a and 2b are in contact with each other.

図１〜図９に示した剥離装置１０は、ｙ方向から見た断面形状が長方形である四角柱形状の支持部１０２を有しており、剥離ユニット１を用いた、基材１１２からの保護フィルム１１１の剥離が完了した後、支持部１０２が、ｘ方向（負方向）に退避して、貼付けローラ１０６による貼付けの開始を可能とするものであった。 The peeling device 10 shown in FIGS. 1 to 9 has a square pillar-shaped support portion 102 having a rectangular cross-sectional shape when viewed from the y direction, and is protected from the base material 112 by using the peeling unit 1. After the peeling of the film 111 is completed, the support portion 102 retracts in the x direction (negative direction) and enables the sticking roller 106 to start sticking.

ここで、支持部１０２が前述のように四角柱形状であり、支持部１０２の上面１０２ａ（または上面１０２ａに設けられたウレタンゴム等）に空気が吸引される吸引孔（不図示）が設けられており、積層体１１０を支持部１０２に吸着する場合の不都合について考える。このような場合には、剥離ユニット１によって保護フィルム１１１の剥離を開始する場所によっては、保護フィルム１１１の剥離の際に基材１１２に作用する力が吸引孔における吸引による基材１１２の保持力より大きくなることがあり得た。そのようなときには、吸引孔において空気のリークが生じ、積層体１１０の端領域１１０ａを支持部１０２上に安定して保持することが困難となる場合があった。 Here, the support portion 102 has a square pillar shape as described above, and a suction hole (not shown) for sucking air is provided in the upper surface 102a (or urethane rubber or the like provided on the upper surface 102a) of the support portion 102. Therefore, the inconvenience when the laminated body 110 is attracted to the support portion 102 will be considered. In such a case, depending on the location where the peeling unit 1 starts peeling the protective film 111, the force acting on the base material 112 when the protective film 111 is peeled off is the holding force of the base material 112 due to suction in the suction holes. It could be bigger. In such a case, air leaks in the suction holes, and it may be difficult to stably hold the end region 110a of the laminated body 110 on the support portion 102.

また、支持部１０２における基材１１２との接触面積が大きいため、支持部１０２がｘ方向（負方向）に退避する際に、基材１１２が支持部１０２と一緒に移動してしまい、基材の貼付け作業を円滑に行うことが困難となる場合があった。これに対し、本実施形態では、支持部３０２をｙ方向から見た断面が円形である円柱形状とし、支持部３０２の円筒面を粘着力のある材質で形成することにした。 Further, since the contact area of the support portion 102 with the base material 112 is large, when the support portion 102 retracts in the x direction (negative direction), the base material 112 moves together with the support portion 102, and the base material In some cases, it may be difficult to carry out the pasting work smoothly. On the other hand, in the present embodiment, the support portion 302 has a cylindrical shape having a circular cross section when viewed from the y direction, and the cylindrical surface of the support portion 302 is formed of an adhesive material.

図１０には、本実施形態の剥離装置３０における、剥離ユニット１の作動の様子を示す。本実施形態における剥離ユニット１は、実施形態１におけるものと同等である。剥離装置３０と、実施形態１における剥離装置１０との相違点は、剥離装置３０においては、円柱形状を有し、円筒面には粘着力を有する支持部３０２が用いられたことである。剥離装置３０においても、図１０（ａ）に記載されるように、剥離ユニット１を下降させて、保護フィルム１１１における端領域１１１ａにローラ２ａ、２ｂの表面を当接させる。そし
て、その状態から剥離ユニット１をｘ方向（正方向：本体領域１１１ｂ側）に移動させる。これにより、保護フィルム１１１の端領域１１１ａを、ローラ２ａ、２ｂに巻き取らせる。また、直動アクチュエータ６を作動することで、保護フィルム１１１の端領域１１１ａをクランプする。 FIG. 10 shows the operation of the peeling unit 1 in the peeling device 30 of the present embodiment. The peeling unit 1 in the present embodiment is equivalent to that in the first embodiment. The difference between the peeling device 30 and the peeling device 10 in the first embodiment is that the peeling device 30 uses a support portion 302 having a cylindrical shape and having an adhesive force on the cylindrical surface. Also in the peeling device 30, as shown in FIG. 10A, the peeling unit 1 is lowered to bring the surfaces of the rollers 2a and 2b into contact with the end region 111a of the protective film 111. Then, from that state, the peeling unit 1 is moved in the x direction (positive direction: main body region 111b side). As a result, the end region 111a of the protective film 111 is wound around the rollers 2a and 2b. Further, by operating the linear actuator 6, the end region 111a of the protective film 111 is clamped.

次に、図１０（ｂ）に示すように、剥離ユニット１は、直動アクチュエータ６が作動された状態で、ｚ方向に上昇するとともに、さらにｘ方向（正方向：本体領域１１１ｂ側）に向けて移動する。これにより、保護フィルム１１１におけるより大きな範囲が基材１１２から剥離される。 Next, as shown in FIG. 10B, the peeling unit 1 rises in the z direction in a state where the linear actuator 6 is operated, and further toward the x direction (positive direction: main body region 111b side). And move. As a result, a larger area of the protective film 111 is peeled off from the base material 112.

本実施形態によれば、基材１１２の端領域１１２ａを、支持部３０２の円筒面における粘着力で、より確実に保持することが可能である。また、支持部３０２と基材１１２の間の接触面積は限られているので、支持部３０２がｘ方向（負方向）に退避する際に、基材１１２が支持部３０２と一緒に移動してしまうことを抑制できる。なお、本実施形態において、支持部３０２の粘着力は、剥離ユニット１のローラ２ａ、２ｂの粘着力よりも強い必要がある。より具体的には、剥離ユニット１のローラ２ａ、２ｂの粘着力が１Ｎ／１５ｍｍである場合には、支持部３０２の粘着力は、１Ｎ／１５ｍｍより大きく３Ｎ／１５ｍｍ以下としてもよい。また、剥離ユニット１のローラ２ａ、２ｂの粘着力が２Ｎ／１５ｍｍである場合には、支持部３０２の粘着力は、２Ｎ／１５ｍｍより大きく３Ｎ／１５ｍｍ以下としてもよい。 According to this embodiment, the end region 112a of the base material 112 can be more reliably held by the adhesive force on the cylindrical surface of the support portion 302. Further, since the contact area between the support portion 302 and the base material 112 is limited, when the support portion 302 retracts in the x direction (negative direction), the base material 112 moves together with the support portion 302. It is possible to prevent it from being stored. In this embodiment, the adhesive force of the support portion 302 needs to be stronger than the adhesive force of the rollers 2a and 2b of the peeling unit 1. More specifically, when the adhesive force of the rollers 2a and 2b of the peeling unit 1 is 1N / 15 mm, the adhesive force of the support portion 302 may be larger than 1N / 15 mm and 3N / 15 mm or less. Further, when the adhesive force of the rollers 2a and 2b of the peeling unit 1 is 2N / 15 mm, the adhesive force of the support portion 302 may be larger than 2N / 15 mm and 3N / 15 mm or less.

すなわち、剥離ユニット１のローラ２ａ、２ｂの粘着力が１Ｎ／１５ｍｍ以上２Ｎ／１５ｍｍ以下である場合には、支持部３０２の粘着力の範囲は、剥離ユニット１のローラ２ａ、２ｂの粘着力よりも強いことを前提として、１Ｎ／１５ｍｍより大きく３Ｎ／１５ｍｍ以下としてもよい。ここで、支持部３０２の粘着力に上限が設けられるのは、支持部３０２がｘ方向（負方向）に退避する際に、基材１１２が支持部３０２と一緒に移動してしまうことを確実に防止するためである。 That is, when the adhesive strength of the rollers 2a and 2b of the peeling unit 1 is 1N / 15 mm or more and 2N / 15 mm or less, the range of the adhesive strength of the support portion 302 is larger than the adhesive strength of the rollers 2a and 2b of the peeling unit 1. It may be larger than 1N / 15mm and 3N / 15mm or less on the premise that it is also strong. Here, the reason why the adhesive force of the support portion 302 is set to an upper limit is that the base material 112 is sure to move together with the support portion 302 when the support portion 302 retracts in the x direction (negative direction). This is to prevent it.

ここで、剥離ユニット１が降下してローラ２ａ、２ｂが保護フィルム１１１の端領域１１１ａに当接する際に、ローラ２ａ、２ｂと保護フィルム１１１との接触点のｘ方向の位置は、支持部３０２の頂点（最上点）の位置よりも、ｘ方向（正方向）にずれた位置としてもよい。 Here, when the peeling unit 1 descends and the rollers 2a and 2b come into contact with the end region 111a of the protective film 111, the position of the contact point between the rollers 2a and 2b and the protective film 111 in the x direction is the support portion 302. The position may be shifted in the x direction (positive direction) from the position of the apex (top point) of.

そうすれば、支持部３０２の頂点（最上点）によって積層体１１０の基材１１２を下側から押圧するとともに、その位置より少しｘ方向（正方向）にずれた位置を、ローラ２ａ、２ｂによって保護フィルム１１１を上側から押圧することができる。その結果、ローラ２ａ、２ｂと保護フィルム１１１が当接する領域においては、保護フィルム１１１が、より先端側が高くなるようなに傾斜することとなり、より円滑に保護フィルム１１１の端領域がローラ２ａ、２ｂに巻き取られるようにすることが可能である。 Then, the base material 112 of the laminated body 110 is pressed from below by the apex (top point) of the support portion 302, and the positions slightly deviated in the x direction (positive direction) from that position are moved by the rollers 2a and 2b. The protective film 111 can be pressed from above. As a result, in the region where the rollers 2a and 2b come into contact with the protective film 111, the protective film 111 is inclined so that the tip side is higher, and the end region of the protective film 111 is more smoothly aligned with the rollers 2a and 2b. It is possible to be wound up.

図１１には、本実施形態における支持部３０２の斜視図を示す。本実施形態における支持部３０２の円筒面３０２ａは、ブチル系ゴム、ウレタン系ゴム等の粘着性のあるゴム材で形成されている。そして、支持部３０２全体としての粘着力を調整するために、カバー部３０２ｂが設けられている。このカバー部３０２ｂは、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）など、粘着性の低い第二部材としての樹脂材料で円筒面３０２ａを覆うことで形成されていてもよい。これによれば、支持部３０２の円筒面３０２ａの表面積に対する、カバー部３０２ｂの面積比を変更することで、支持部３０２全体としての粘着力を調整することが可能である。 FIG. 11 shows a perspective view of the support portion 302 in this embodiment. The cylindrical surface 302a of the support portion 302 in the present embodiment is formed of an adhesive rubber material such as butyl rubber or urethane rubber. A cover portion 302b is provided in order to adjust the adhesive force of the support portion 302 as a whole. The cover portion 302b may be formed by covering the cylindrical surface 302a with a resin material as a second member having low adhesiveness, such as PET (polyethylene terephthalate). According to this, it is possible to adjust the adhesive force of the support portion 302 as a whole by changing the area ratio of the cover portion 302b to the surface area of the cylindrical surface 302a of the support portion 302.

なお、本実施形態においても、基材１１２から保護フィルム１１１を剥離する工程及び
、保護フィルム１１１を剥離した後の基材１１２をガラス基板１１３に貼り付ける工程の基本的なフローは、図７及び図８に示したフローチャートに従う。図１２には、図７におけるステップＳ１０３〜ステップＳ１０５の間、あるいは、ステップＳ１０６における支持部３０２の退避前に行われる、支持部３０２の作動について示す。図１２においては、支持部３０２を回転させる回転アクチュエータ３０３を有しており、剥離ユニット１による保護フィルム１１１の巻き取りが開始した後に、支持部３０２を図中、時計回りに回転させる。 Also in this embodiment, the basic flow of the step of peeling the protective film 111 from the base material 112 and the step of attaching the base material 112 after peeling the protective film 111 to the glass substrate 113 is shown in FIG. Follow the flowchart shown in FIG. FIG. 12 shows the operation of the support portion 302 performed between steps S103 and S105 in FIG. 7 or before the support portion 302 is retracted in step S106. In FIG. 12, a rotary actuator 303 for rotating the support portion 302 is provided, and after the release unit 1 starts winding the protective film 111, the support portion 302 is rotated clockwise in the drawing.

これにより、支持部３０２の基材１１２への粘着を解除することができ、剥離ユニット１による保護フィルム１１１の剥離の後の、支持部３０２のｘ方向（負方向）への退避を容易にすることができる。なお、この場合の支持部３０２の回転を時計回りとするのは、このことで、基材１１２をｘ方向（正方向）に移動させる力が発生するところ、一方で基材１１２はステージ１０３において保持されているので、基材１１２の端領域１１２ａが適切な範囲で変形することで、支持部３０２の基材１１２への粘着を円滑に解除することができるからである。 As a result, the adhesion of the support portion 302 to the base material 112 can be released, and the support portion 302 can be easily retracted in the x direction (negative direction) after the protective film 111 is peeled off by the peeling unit 1. be able to. The rotation of the support portion 302 in this case is clockwise because of this, a force for moving the base material 112 in the x direction (positive direction) is generated, while the base material 112 is set in the stage 103. Because it is held, the end region 112a of the base material 112 is deformed in an appropriate range, so that the adhesion of the support portion 302 to the base material 112 can be smoothly released.

また、図１３には、ステップＳ１０６における支持部の退避の際の、支持部３０２の作動について示す。この場合には、支持部３０２を退避させる際に、支持部３０２を時計方向に回転させながら、ｘ方向（負方向）に移動させる。これによれば、支持部３０２を回転させることで、基材１１２との粘着部分の位置をｘ方向（負方向）に移動させながら、支持部３０２の位置もｘ方向（負方向）に移動させることができる。その結果、基材１１２と支持部３０２の間の粘着力が強い場合にも、基材１１２に過度な負荷や変形を与えずに、円滑に、支持部３０２を退避させることが可能である。 Further, FIG. 13 shows the operation of the support portion 302 when the support portion is retracted in step S106. In this case, when retracting the support portion 302, the support portion 302 is moved in the x direction (negative direction) while rotating clockwise. According to this, by rotating the support portion 302, the position of the adhesive portion with the base material 112 is moved in the x direction (negative direction), and the position of the support portion 302 is also moved in the x direction (negative direction). be able to. As a result, even when the adhesive force between the base material 112 and the support portion 302 is strong, the support portion 302 can be smoothly retracted without giving an excessive load or deformation to the base material 112.

なお、この場合に、支持部３０２の回転による、支持部３０２外周の線速度と、支持部３０２のｘ方向（負方向）への退避速度とを合わせるようにしてもよい。これによれば、支持部３０２は、基材１１２の下面上を転がっている状態となるので、より確実に、基材１１２に負荷や変形を与えることを抑制できる。その結果、支持部３０２の退避の後に、基材１１２に傷や変形の痕が残ってしまうことを抑制できる。 In this case, the linear velocity of the outer circumference of the support portion 302 due to the rotation of the support portion 302 may be matched with the evacuation speed of the support portion 302 in the x direction (negative direction). According to this, since the support portion 302 is in a state of rolling on the lower surface of the base material 112, it is possible to more reliably suppress the load or deformation of the base material 112. As a result, it is possible to prevent the base material 112 from being scratched or deformed after the support portion 302 is retracted.

また、この場合に、支持部３０２を回転させる回転アクチュエータ３０３を備え、支持部３０２を退避させる場合に支持部３０２が自ら回転するようにしてもよいし、単に支持部３０２が中心軸の周りに自由回転することが可能に構成してもよい。支持部３０２に自由回転可能に構成しておき、支持部３０２の中心軸をｘ方向（負方向）に退避させることで、支持部３０２の移動に伴い、自動的に支持部３０２を、外周の線速度が支持部３０２の退避速度と合致するように、回転させることが可能である。 Further, in this case, a rotary actuator 303 for rotating the support portion 302 may be provided so that the support portion 302 rotates by itself when the support portion 302 is retracted, or the support portion 302 is simply placed around the central axis. It may be configured so that it can rotate freely. By configuring the support portion 302 to rotate freely and retracting the central axis of the support portion 302 in the x direction (negative direction), the support portion 302 is automatically moved to the outer circumference as the support portion 302 moves. It can be rotated so that the linear velocity matches the retracting velocity of the support portion 302.

次に、図１４には、ステップＳ１０６における支持部の退避の際の、支持部３０２の作動の別の態様について示す。この態様では、ステップＳ１０６において、支持部３０２を退避させる際に、支持部３０２を時計回りに回転させつつ、支持部３０２を、ｘ方向（負方向）に移動させながら、且つ、ｚ方向（正方向）に移動させる。すなわち、支持部３０２の退避時の中心が、基材１１２の先端側で且つ上側に向かう斜めの軌跡を示すようにする。 Next, FIG. 14 shows another aspect of the operation of the support portion 302 when the support portion is retracted in step S106. In this aspect, in step S106, when the support portion 302 is retracted, the support portion 302 is rotated clockwise, the support portion 302 is moved in the x direction (negative direction), and the support portion 302 is moved in the z direction (positive direction). Move in the direction). That is, the center of the support portion 302 when retracted is made to show an oblique locus toward the tip end side and the upper side of the base material 112.

これによれば、基材１１２と支持部３０２の間の粘着力が強い場合や、基材１１２が薄いような場合に、支持部３０２の回転に伴って、基材１１２の端領域１１２ａが下側すなわち、ｚ方向（負方向）に巻き込まれて、基材１１２の端領域１１２ａが折れてしまうような不都合をより確実に抑制することができる。 According to this, when the adhesive force between the base material 112 and the support portion 302 is strong, or when the base material 112 is thin, the end region 112a of the base material 112 is lowered as the support portion 302 rotates. It is possible to more reliably suppress the inconvenience that the end region 112a of the base material 112 is broken due to being caught on the side, that is, in the z direction (negative direction).

なお、この場合の、支持部３０２の、斜め上方に向かう軌跡の例としては、直線状の軌
跡の他、下側に凸の曲線状の軌跡、下側に凸の円弧状の軌跡等を挙げることができる。あるいは、基材１１２の端領域１１２ａが変形しないような軌跡を、予め実験的あるいはシミュレーションにより求めてもよい。この場合、支持部３０２の、斜め上方に向かう軌跡としては、基材１１２の端領域１１２ａの変形量が０．１ｍｍ以下となるような軌跡を求めてもよい。そうすれば、より確実に、基材１１２の端領域１１２ａの折れや傷をより確実に抑制できる。また、上側の配置されたガラス基板１１３と基材１１２とのクリアランスが０．２ｍｍから０．３ｍｍ程度の場合であっても、基材１１２とガラス基板１１３との接触を防止することができる。また、この場合にも、支持部３０２を回転させる回転アクチュエータ３０３を備え、支持部３０２を退避させる場合に支持部３０２が自ら回転するようにしてもよいし、単に支持部３０２が中心軸の周りに自由回転することが可能に構成してもよい。 In this case, as an example of the locus of the support portion 302 going diagonally upward, in addition to a linear locus, a downwardly convex curved locus, a downwardly convex arcuate locus, and the like can be mentioned. be able to. Alternatively, a locus in which the end region 112a of the base material 112 is not deformed may be obtained in advance experimentally or by simulation. In this case, as the locus of the support portion 302 going diagonally upward, a locus may be obtained such that the amount of deformation of the end region 112a of the base material 112 is 0.1 mm or less. Then, the breakage and scratches of the edge region 112a of the base material 112 can be more reliably suppressed. Further, even when the clearance between the glass substrate 113 arranged on the upper side and the base material 112 is about 0.2 mm to 0.3 mm, the contact between the base material 112 and the glass substrate 113 can be prevented. Further, also in this case, a rotary actuator 303 for rotating the support portion 302 may be provided so that the support portion 302 rotates by itself when the support portion 302 is retracted, or the support portion 302 is simply around the central axis. It may be configured so that it can freely rotate.

なお、本実施例における支持部３０２については、その中心軸周りの回転を規制するロック機構（不図示）が備えられていてもよい。このロック機構は、直動アクチュエータとロック部材の組み合わせによるものであってもよい。この場合には、ロック部材は、直動アクチュエータを作動させることで、例えばローラの円筒面に当接するように構成されてもよい。あるいは、ローラの円筒面ではなく平面状の側面（円柱における底面に相当）に当接するように構成されてもよい。さらに、支持部３０２の何れかの面に設けられた孔にロック部材が挿入されるように構成されてもよい。 The support portion 302 in this embodiment may be provided with a lock mechanism (not shown) that regulates rotation around the central axis thereof. This locking mechanism may be a combination of a linear actuator and a locking member. In this case, the lock member may be configured to come into contact with, for example, the cylindrical surface of the roller by operating a linear actuator. Alternatively, it may be configured to abut on a flat side surface (corresponding to the bottom surface of the cylinder) instead of the cylindrical surface of the roller. Further, the lock member may be configured to be inserted into a hole provided on any surface of the support portion 302.

また、本実施例において、支持部３０２による積層体１１０の支持をより確実にするために、図５のステップＳ１０１の処理において、支持部３０２上に積層体１１０を載置した後に、積層体１１０を支持部３０２側に押し付ける機構及び処理を追加してもよい。この機構及び処理は、剥離ユニット１によって、所定の押圧力で積層体１１０を支持部３０２側に押圧する処理であっても構わない。 Further, in this embodiment, in order to more reliably support the laminated body 110 by the support portion 302, in the process of step S101 of FIG. 5, after the laminated body 110 is placed on the support portion 302, the laminated body 110 May be added with a mechanism and a process for pressing the support portion 302 side. This mechanism and process may be a process of pressing the laminated body 110 toward the support portion 302 side with a predetermined pressing force by the peeling unit 1.

なお、上記の実施形態においては、保護フィルム１１１を基材１１２から剥離して、ガラス基板１１３に柔軟なＰＥＴフィルムである基材１１２を貼付けることを前提として説明を行ったが、本発明が適用されるのはそのような場合に限られない。例えば本発明は、基材として硬質なガラス基板が用いられた積層体に対して適用されてもよい。また、ロール状に形成された積層体に対して適用されてもよい。 In the above embodiment, the description has been made on the premise that the protective film 111 is peeled off from the base material 112 and the base material 112, which is a flexible PET film, is attached to the glass substrate 113. It is not limited to such cases. For example, the present invention may be applied to a laminate in which a hard glass substrate is used as a base material. Further, it may be applied to a laminated body formed in a roll shape.

＜変形例＞
次に、図１５を用いて、本発明が適用される剥離装置の変形例について説明する。なお、本変形例では、支持部１０２として従前の直方体型の支持部１０２が用いられているが、本発明を適用した場合には、支持部１０２としては、支持部３０２のように円筒形状のものが用いられ、支持部３０２は、実施形態１において説明したように作動する。図１５は、変形例に係る剥離装置１００の作動の概略図である。剥離装置１００は、実施形態１と同様、剥離ユニット１０１と、支持部１０２、ステージ１０３を有する。そして、支持部１０２の上面１０２ａとステージ１０３の上面１０３ａには、積層体１１０が載置される。積層体１１０と、支持部１０２、ステージ１０３の構成については、実施形態１と同様であるので、ここでは詳細な説明を省略する。 <Modification example>
Next, a modified example of the peeling device to which the present invention is applied will be described with reference to FIG. In this modification, the conventional rectangular parallelepiped support portion 102 is used as the support portion 102, but when the present invention is applied, the support portion 102 has a cylindrical shape like the support portion 302. One is used, and the support portion 302 operates as described in the first embodiment. FIG. 15 is a schematic view of the operation of the peeling device 100 according to the modified example. The peeling device 100 has a peeling unit 101, a support portion 102, and a stage 103 as in the first embodiment. Then, the laminated body 110 is placed on the upper surface 102a of the support portion 102 and the upper surface 103a of the stage 103. Since the configurations of the laminated body 110, the support portion 102, and the stage 103 are the same as those in the first embodiment, detailed description thereof will be omitted here.

図１５に示した変形例に係る剥離装置１００においては、剥離ユニット１０１に粘着テープ１０１ａが保持されている。そして、保護フィルム１１１を基材１１２から剥離する際には、剥離ユニット１０１が保護フィルム１１１の端領域１１１ａ近傍に降下して、粘着テープ１０１ａの粘着面を保護フィルム１１１の端領域１１１ａに当接させて粘着させる。そして、図１５（ａ）に示すように、剥離ユニット１０１がｘ方向（正方向：本体領域１１１ｂ側）に移動する。次に、図１５（ｂ）に示すように、剥離ユニット１０１はその高さを上昇させつつ、さらにｘ方向（正方向）に移動する。これにより、保護フィルム
１１１が基材１１２の端領域１１２ａから本体領域１１２ｂに亘る広い領域から剥離される。 In the peeling device 100 according to the modified example shown in FIG. 15, the adhesive tape 101a is held by the peeling unit 101. Then, when the protective film 111 is peeled from the base material 112, the peeling unit 101 descends in the vicinity of the end region 111a of the protective film 111, and the adhesive surface of the adhesive tape 101a comes into contact with the end region 111a of the protective film 111. Let it stick. Then, as shown in FIG. 15A, the peeling unit 101 moves in the x direction (positive direction: main body region 111b side). Next, as shown in FIG. 15B, the peeling unit 101 further moves in the x direction (positive direction) while increasing its height. As a result, the protective film 111 is peeled off from a wide region extending from the end region 112a of the base material 112 to the main body region 112b.

１・・・剥離ユニット
２ａ、２ｂ・・・ローラ
４・・・シャフト
５・・・フレーム
６・・・直動アクチュエータ
７・・・クランプヘッド
１０・・・剥離装置
１０２、３０２・・・支持部
１０３・・・ステージ
１１０・・・積層体
１１１・・・保護フィルム
１１２・・・基材 1 ... Peeling unit 2a, 2b ... Roller 4 ... Shaft 5 ... Frame 6 ... Linear actuator 7 ... Clamp head 10 ... Peeling device 102, 302 ... Support 103 ・ ・ ・ Stage 110 ・ ・ ・ Laminated body 111 ・ ・ ・ Protective film 112 ・ ・ ・ Base material

Claims (13)

基材と該基材に貼合わせられたフィルムからなる積層体から前記フィルムを剥離する剥離装置において、
前記積層体の先端の領域である端領域を、下方から支持する支持部材と、
前記支持部材に隣接され、前記積層体における前記端領域以外の領域である本体領域を、前記基材側を下にした状態で下方から支持するステージと、
前記積層体における前記端領域から前記本体領域にかけて、前記基材から前記フィルムを剥離する剥離機構と、
を備え、
前記支持部材は、円筒形状を有するとともに、その円筒面は粘着性を有する部材により形成されたことを特徴とする、剥離装置。 In a peeling device for peeling the film from a laminate composed of a base material and a film attached to the base material.
A support member that supports the end region, which is the region of the tip of the laminate, from below, and
A stage that is adjacent to the support member and supports the main body region, which is a region other than the end region in the laminated body, from below with the base material side facing down.
A peeling mechanism for peeling the film from the base material from the end region to the main body region of the laminate.
With
A peeling device characterized in that the support member has a cylindrical shape and the cylindrical surface thereof is formed of an adhesive member. 前記支持部材の円筒面の一部は、前記粘着性を有する部材よりも低い粘着性を有する第二部材により形成されたことを特徴とする、請求項１に記載の剥離装置。 The peeling device according to claim 1, wherein a part of the cylindrical surface of the support member is formed of a second member having a lower adhesiveness than the adhesive member. 前記支持部材は、前記円筒形状の中心軸回りに回転可能に設けられたことを特徴とする、請求項１または２に記載の剥離装置。 The peeling device according to claim 1 or 2, wherein the support member is rotatably provided around the central axis of the cylindrical shape. 前記支持部材及び前記ステージが、前記フィルムが剥離された後の前記基材を支持している状態において、前記支持部材を、前記ステージから離れる方向に退避させる退避機構をさらに備え、
前記退避機構は、前記支持部材を退避させる際に、前記支持部材を回転させながら移動させることを特徴とする、請求項３に記載の剥離装置。 Further provided with a retracting mechanism for retracting the support member in a direction away from the stage while the support member and the stage support the base material after the film is peeled off.
The peeling device according to claim 3, wherein the retracting mechanism moves the support member while rotating it when retracting the support member. 前記退避機構は、前記支持部材が、前記ステージから離れるに従って上側に移動するように、前記支持部材を退避させることを特徴とする、請求項４に記載の剥離装置。 The peeling device according to claim 4, wherein the retracting mechanism retracts the support member so that the support member moves upward as it moves away from the stage. 前記支持部材を退避させる際の、前記支持部材の移動の軌跡は、直線状、下に凸の曲線状、下に凸の円弧状のうちのいずれかの形状を有することを特徴とする、請求項５に記載の剥離装置。 The locus of movement of the support member when the support member is retracted has one of a linear shape, a downwardly convex curved shape, and a downwardly convex arcuate shape. Item 5. The peeling device according to Item 5. 前記支持部材を退避させる際の、前記支持部材の移動の軌跡は、前記支持部材の退避時に、前記支持部材が支持している基材の変形を０．１ｍｍ以下にする軌跡であることを特徴とする、請求項５に記載の剥離装置。 The locus of movement of the support member when the support member is retracted is a locus that reduces the deformation of the base material supported by the support member to 0.1 mm or less when the support member is retracted. The peeling device according to claim 5. 前記支持部材の回転を規制するロック機構をさらに備えることを特徴とする、請求項３から７のいずれか一項に記載の剥離装置。 The peeling device according to any one of claims 3 to 7, further comprising a locking mechanism for restricting the rotation of the support member. 前記支持部材の前記円筒面の粘着性は、１Ｎ／１５ｍｍより大きく３Ｎ／１５ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の剥離装置。 The peeling device according to any one of claims 1 to 8, wherein the adhesiveness of the cylindrical surface of the support member is larger than 1N / 15 mm and 3N / 15 mm or less. 前記剥離機構は、
水平方向に軸を有する円筒状の形状を有し、その円筒面に粘着性を有するとともに前記軸周りに回転可能なローラと、
前記ローラを前記端領域から本体領域に向かう方向に移動させる移動機構と、
前記ローラが前記フィルムにおける前記端領域に当接した状態から、前記ローラを前記移動機構によって移動させるとともに、前記ローラを前記軸周りに回転させて、前記フィルムの一部を前記ローラの前記円筒面に巻き取る巻取り機構と、
を有することを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項に記載の剥離装置。 The peeling mechanism is
A roller having a cylindrical shape having an axis in the horizontal direction, having adhesiveness on the cylindrical surface, and being rotatable around the axis.
A moving mechanism that moves the roller in the direction from the end region to the main body region,
From the state where the roller is in contact with the end region of the film, the roller is moved by the moving mechanism and the roller is rotated around the axis so that a part of the film is formed on the cylindrical surface of the roller. With a winding mechanism that winds up
The peeling device according to any one of claims 1 to 9, wherein the peeling device has. 前記剥離機構における前記ローラが前記端領域における前記フィルムに当接する位置は、前記支持部材が前記積層体を支持する位置に対して、前記本体領域側にずれた位置であることを特徴とする、請求項１０に記載の剥離装置。 The position where the roller in the peeling mechanism comes into contact with the film in the end region is a position shifted toward the main body region with respect to the position where the support member supports the laminate. The peeling device according to claim 10. 基材と該基材に貼合わせられたフィルムからなる積層体から前記フィルムを剥離する剥離方法において、
前記基材側を下にした状態で、前記積層体の先端の領域である端領域を、支持部材によって下方から支持するとともに、前記積層体における前記端領域以外の領域である本体領域を、前記支持部材に隣接されたステージで支持する支持工程と、
前記積層体における前記端領域から前記本体領域にかけて、前記基材から前記フィルムを剥離する剥離工程と、を有し、
前記支持工程においては、円筒形状を有するとともに、その円筒面が粘着性を有する支持部材により、前記積層体を支持することを特徴とする、剥離方法。 In a peeling method for peeling the film from a laminate consisting of a base material and a film attached to the base material.
With the base material side down, the end region, which is the tip region of the laminate, is supported from below by the support member, and the main body region, which is a region other than the end region in the laminate, is supported by the support member. A support process that supports on a stage adjacent to the support member,
It has a peeling step of peeling the film from the base material from the end region to the main body region of the laminated body.
The peeling method is characterized in that, in the support step, the laminate is supported by a support member having a cylindrical shape and the cylindrical surface having adhesiveness. 前記支持部材及び前記ステージが、前記フィルムが剥離された後の前記基材を支持している状態において、前記支持部材を所定の退避方向に退避させる退避工程をさらに有し、
前記退避工程においては、前記支持部材が、前記ステージから離れるに従って上側に移動するように、前記支持部材を退避させることを特徴とする、請求項１２に記載の剥離方法。 Further having a retracting step of retracting the support member in a predetermined retracting direction in a state where the support member and the stage support the base material after the film is peeled off.
The peeling method according to claim 12, wherein in the evacuation step, the support member is retracted so as to move upward as the support member moves away from the stage.
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