JP2020536398A - ウェハ切断用ワイヤソー - Google Patents
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 13
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
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Abstract
Description
−第1のシャフト部7と、ワイヤ案内ローラ2,3に第1の側から係合する第1のローラ係合部25とを含む、第1の回転可能な保持部材5と、
−第2のシャフト部8と、第1の側の反対側である第2の側からワイヤ案内ローラ2,3に係合する第2のローラ係合部26とを含む、第2の回転可能な保持部材6と、
を備える。
Claims (15)
- ワークピースから複数のウェハを切断するためのウェハ切断用ワイヤソー(1)であって、少なくとも2つのローラ取付部(20,30)を備え、各前記ローラ取付部(20,30)は、切断用ワイヤウェブ(4)を担持するためのワイヤ案内ローラ(2,3)を、取り外し可能に支持することができ、
前記ローラ取付部(20,30)の少なくとも1つ、好ましくはそれぞれが、
−第1のシャフト部(7)と、前記ワイヤ案内ローラ(2,3)に第1の側から係合する第1のローラ係合部(25)とを含む、第1の回転可能な保持部材(5)と、
−第2のシャフト部(8)と、第1の側の反対側である第2の側から前記ワイヤ案内ローラ(2,3)に係合する第2のローラ係合部(26)とを含む、第2の回転可能な保持部材(6)と、を備え、
前記ローラ係合部(25,26)は互いに対向し、前記第1の保持部材(5)の回転軸と前記第2の保持部材(6)の回転軸とは互いに実質的に一致し、
各前記保持部材(5,6)は、前記保持部材(5,6)の前記シャフト部(7,8)を囲みベアリング支持部(11,12)内に収容されている少なくとも1つのベアリング(9,10)によって、回転可能に支持されており、
前記第1の保持部材(5)の前記第1のローラ係合部(25)と前記第2の保持部材(6)の前記第2のローラ係合部(26)との間の距離(F)が、前記第1の保持部材(5)または前記第2の保持部材(6)の前記シャフト部(7,8)を囲む少なくとも1つのベアリング(9,10)であって好ましくは前記ローラ係合部(25,26)に最も近いベアリング(9,10)の内径(D)に比べて、少なくとも6倍大きく、好ましくは少なくとも8倍大きく、より好ましくは少なくとも10倍大きいことを特徴とする、ワイヤソー。 - 請求項1に記載のワイヤソーであって、前記ワイヤソー(1)は、切断用ワイヤウェブ(4)を担持するための少なくとも2つのワイヤ案内ローラ(2,3)を備え、前記ワイヤ案内ローラ(2,3)の少なくとも1つは、取付部(20,30)の前記第1の保持部材(5)と前記第2の保持部材(6)との間に取り外し可能に把持され、前記ワイヤ案内ローラ(2,3)の軸は、前記第1の保持部材(5)および前記第2の保持部材(6)の前記回転軸に実質的に一致する、ワイヤソー。
- 請求項1または2に記載のワイヤソーであって、好ましくは前記ローラ係合部(25,26)に最も近いベアリング(9,10)である前記少なくとも1つのベアリング(9,10)のうちの1つが、ラジアルベアリングであり、好ましくはローラベアリングである、ワイヤソー。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のワイヤソーであって、前記保持部材の少なくとも1つ(5)は、前記ベアリング支持部(11)内の少なくとも2つのベアリング(9,19,29)で支持されており、前記第1の保持部材(5)の前記第1のローラ係合部(25)と前記第2の保持部材(6)の前記第2のローラ係合部(26)との間の距離(F)が、前記ローラ係合部(25)に最も近いベアリング(9)の軸方向中心と、隣接するベアリング(19)の軸方向中心との間の軸方向距離(E)に比べて、少なくとも5倍大きく、好ましくは少なくとも10倍大きく、より好ましくは少なくとも15倍大きい、ワイヤソー。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のワイヤソーであって、前記保持部材の少なくとも1つ(5)は、前記ベアリング支持部(11)内の少なくとも2つのベアリング(9,19,29)で支持されており、前記第1の保持部材(5)の前記第1のローラ係合部(25)と前記第2の保持部材(6)の前記第2のローラ係合部(26)との間の距離(F)が、前記ローラ係合部(25)に最も近い前記ベアリング(9)と、前記ローラ係合部(25)から最も遠い前記ベアリング(29)との間の軸方向距離(A)に比べて、少なくとも5倍大きく、好ましくは少なくとも10倍大きく、より好ましくは少なくとも15倍大きい、ワイヤソー。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のワイヤソーであって、前記ワイヤ案内ローラ(2,3)のワイヤ担持面(13)の直径(B)が、前記第1の保持部材(5)または前記第2の保持部材(6)の前記シャフト部(7,8)を囲む前記少なくとも1つのベアリング(9,10)であって好ましくは前記ローラ係合部(25,26)に最も近いベアリング(9,10)の内径(D)に比べて、大きく、好ましくは少なくとも1.5倍大きく、より好ましくは少なくとも2倍大きい、ワイヤソー。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載のワイヤソーであって、前記ワイヤ案内ローラ(2,3)の長さ(L)、および/または、前記第1の保持部材(5)の前記第1のローラ係合部(25)と前記第2の保持部材(6)の前記第2のローラ係合部(26)との間の距離(F)が、前記ワイヤ案内ローラ(2,3)の前記ワイヤ担持面(13)の直径(B)に比べて、少なくとも3倍大きく、好ましくは少なくとも4倍大きく、より好ましくは少なくとも5倍大きい、ワイヤソー。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載のワイヤソーであって、前記保持部材(5)の少なくとも1つが、前記ベアリング支持部(11)内の少なくとも2つのベアリング(9,19,29)によって支持され、前記少なくとも2つのベアリングのうちの少なくとも1つ(19,29)が、アキシャルベアリングであり、好ましくはボールベアリングである、ワイヤソー。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載のワイヤソーであって、前記第1の保持部材(5)の前記第1のローラ係合部(25)および/または前記第2の保持部材(6)の前記第2のローラ係合部(26)は、前記保持部材(5,6)の前記回転軸に関して対称であるテーパ部を備え、
前記保持部材(5,6)の前記テーパ部は、前記ワイヤ案内ローラ(2,3)の係合部に当接し、前記ワイヤ案内ローラ(2,3)の前記係合部は、前記保持部材(5,6)の前記係合部(25,26)の前記テーパ部に対応する部分を含む、ワイヤソー。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載のワイヤソーであって、前記第1の保持部材(5)の前記第1のローラ係合部(25)および/または前記第2の保持部材(6)の前記第2のローラ係合部(26)は、軸方向ストッパ部を備え、
前記軸方向ストッパ部は、好ましくは前記保持部材(5,6)の前記回転軸に直交し、
前記軸方向ストッパ部は、好ましくは前記テーパ部の半径方向外側に設けられる、ワイヤソー。 - 請求項1〜10のいずれか1項に記載のワイヤソーであって、
前記保持部材の少なくとも1つ(5)が、電気モータ(14)のロータ(15)からの延長部分であるか、または、前記ロータ(15)に接続されている、という特徴を有するか、
あるいは、前記ワイヤソー(1)が、ステータとロータ(15)とを含む電気モータ(14)を備え、前記保持部材(5)と前記ロータ(15)とが回転可能なユニットを形成し、前記ユニットが、前記電気モータ(14)と前記保持部材(5)の前記ローラ係合部(25)との間の領域に配置された単数または複数のベアリング(9,19,29)のみによって支持されている、という特徴を有するか、
あるいは、前記両特徴を有する、ワイヤソー。 - 請求項11に記載のワイヤソーであって、前記ロータ(15)における前記保持部材(5)から最も遠い端部に、少なくとも0.1mmであって好ましくは少なくとも0.3mmの半径方向の間隙が、好ましくはエアギャップ(G)の形態で設けられるように、前記ロータ(15)が前記電気モータ(14)内または前記電気モータ(14)のステータ内に保持されている、ワイヤソー。
- 請求項11または12に記載のワイヤソーであって、前記ロータ(15)は、前記電気モータ(14)内で回転可能に配置され、前記ステータの外部においてのみ支持されており、好ましくは、前記電気モータ(14)における前記保持部材(5)に面する側のみにおいて支持されている、ワイヤソー。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載のワイヤソーであって、前記ワイヤソー(1)が、前記ワイヤ案内ローラ(2,3)を前記保持部材(5,6)間に把持するための解放可能なクランプ機構を備える、ワイヤソー。
- 請求項14に記載のワイヤソーであって、前記クランプ機構が、好ましくは引っ張りロッド(16)である引っ張り部材を備え、前記引っ張り部材は、前記ワイヤ案内ローラ(2,3)を通って前記保持部材(5,6)間に延在し、前記引っ張り部材は、前記保持部材(5,6)が前記ワイヤ案内ローラ(2,3)を把持するロック状態から、前記ワイヤ案内ローラ(2,3)を前記保持部材(5,6)から解放できる解除状態にされることができる、ワイヤソー。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP17195026.4 | 2017-10-05 | ||
EP17195026.4A EP3466629B1 (en) | 2017-10-05 | 2017-10-05 | Wafer cutting wire saw |
PCT/IB2018/057668 WO2019069243A1 (en) | 2017-10-05 | 2018-10-03 | WIRE SAW FOR TRENCH CUTTING |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020536398A true JP2020536398A (ja) | 2020-12-10 |
JP7494112B2 JP7494112B2 (ja) | 2024-06-03 |
Family
ID=60022015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020519794A Active JP7494112B2 (ja) | 2017-10-05 | 2018-10-03 | ウェハ切断用ワイヤソー |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3466629B1 (ja) |
JP (1) | JP7494112B2 (ja) |
KR (1) | KR20200067171A (ja) |
WO (1) | WO2019069243A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115609775A (zh) * | 2022-10-11 | 2023-01-17 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 线切割单元、设备、硅片及其制造方法 |
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Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006053356B4 (de) | 2006-11-10 | 2011-03-17 | Calcarb Ag | Verfahren zur Herstellung feiner mineralischer Pulverprodukte |
JP7266214B2 (ja) | 2019-09-30 | 2023-04-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電動工具、及び電池パック |
-
2017
- 2017-10-05 EP EP17195026.4A patent/EP3466629B1/en active Active
-
2018
- 2018-10-03 JP JP2020519794A patent/JP7494112B2/ja active Active
- 2018-10-03 WO PCT/IB2018/057668 patent/WO2019069243A1/en active Application Filing
- 2018-10-03 KR KR1020207012776A patent/KR20200067171A/ko active IP Right Grant
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JP2017147446A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | 友達晶材股▲ふん▼有限公司AUO Crystal Corporation | ダイシング手段、ダイシング装置、及びダイシング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3466629B1 (en) | 2021-08-04 |
KR20200067171A (ko) | 2020-06-11 |
WO2019069243A1 (en) | 2019-04-11 |
JP7494112B2 (ja) | 2024-06-03 |
EP3466629A1 (en) | 2019-04-10 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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