JP2020192815A - ポリマーフィルムの剥離を実施するための方法 - Google Patents
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1.技術分野
本発明は、一般に熱プロセス、詳細には、ポリマーフィルムの剥離を実施するための方法に関する。
多くの種類のプリント電子構造体を、ポリマー基材上に堆積することができる。レジスタ層を有し、そして/または良好に規定された厚さを有する高解像度の電子構造体をプリントする一方法は、非常に平坦な表面上に種々の層を堆積することである。これは、ガラスなどの剛性で平坦なキャリアプレート(基板)上にポリマーフィルムを堆積し、次いで、ポリマーフィルムの上部に後続の層を形成することによってなされ得る。電子構造体が形成された後、ポリマーフィルムをキャリアプレートから除去する必要がある。
本発明の好ましい実施形態によると、光吸収性材料のピクセル化されたパターン層が、キャリアプレート上に最初に堆積され、次いで、光反射性材料層が光吸収性材料層上に堆積される。剥離されるべきポリマーフィルムは、光反射材料層上に堆積される。次に、パルス光源を利用して、ポリマーフィルムとは反対の側からキャリアプレートを通して照射して、光吸収性材料層を加熱する。光吸収性材料層の加熱された領域が、次に、キャリアプレートスタックとポリマーフィルムとの間の境界面での伝熱によってポリマーフィルムを加熱し、それによって、ポリマーフィルムの熱分解によってポリマーフィルムからガスが生成され、これは、ポリマーフィルムをキャリアプレートから解放することを可能にする。
ポリマーフィルムをキャリアプレートから除去する一方法は、ポリマーフィルムを堆積する前に、キャリアプレート上に熱解放層を最初に堆積することである。ポリマーフィルム上に電子構造体が形成された後、アセンブリ全体(キャリアプレート、熱解放層、ポリマーフィルムおよび電子構造体)が、熱解放層がポリマーフィルムを解放するに十分高い温度に加熱される。この方法の1つの欠点は、電子構造体を形成するために必要な加工温度が、熱解放層の解放温度よりも低くなければならないことである。
図3A〜3Bに説明されるように、光吸収性材料層12および光反射性材料層13に続いて追加の層を堆積してもよい。
解放層は、ポリマーまたは融解温度が比較的低い金属であってよい。
(項1)
ポリマーフィルムの剥離を実施するための方法であって、
光学的に透明なキャリアプレートを提供するステップと、
前記キャリアプレート上に光吸収性材料層を堆積するステップと、
前記光吸収性材料層上に光反射性材料層を堆積するステップと、
前記光反射性材料層および前記光吸収性材料層上にポリマーフィルムを堆積するステップと、
前記ポリマーフィルム上に電子構造体を形成するステップと、
前記ポリマーフィルムを前記キャリアプレートから解放するために、前記光吸収性材料層を加熱するように、前記キャリアプレートにパルス光を照射するステップと
を含む、方法。
(項2)
前記照射するステップが、前記キャリアプレートをフラッシュランプで照射することをさらに含む、上記項1に記載の方法。
(項3)
前記照射するステップが、前記ポリマーフィルムを前記キャリアプレートから解放するために、前記光吸収性材料層と前記ポリマーフィルムとの間の境界面でガスを生成する、上記項1に記載の方法。
(項4)
前記ガスの生成レベルが、前記光吸収性材料層と前記光反射性材料層との比を変更することによって制御される、上記項3に記載の方法。
(項5)
前記ポリマーフィルムを堆積する前に、前記光反射性材料層上に動的解放層を堆積するステップをさらに含む、上記項1に記載の方法。
(項6)
前記動的解放層が、金属製である、上記項5に記載の方法。
(項7)
前記キャリアプレートが、石英製である、上記項1に記載の方法。
(項8)
前記キャリアプレートが、ガラス製である、上記項1に記載の方法。
(項9)
前記光吸収性材料層がパターニングされている、上記項1に記載の方法。
(項10)
前記光吸収性材料層がパターニングされていない、上記項1に記載の方法。
(項11)
ポリマーフィルムの剥離を実施するための方法であって、
光学的に透明なキャリアプレートを提供するステップと、
前記キャリアプレート上に第1の光吸収性材料層を堆積するステップと、
前記第1の光吸収性材料層上に熱遅延層を堆積するステップと、
前記熱遅延層上に第2の光吸収性材料層を堆積するステップと、
前記第2の光吸収性材料層上に光反射性材料層を堆積するステップと、
前記光反射性材料層および前記第2の光吸収性材料層上にポリマーフィルムを堆積するステップと、
前記ポリマーフィルム上に電子構造体を形成するステップと、
前記ポリマーフィルムを前記キャリアプレートから解放するために、前記光吸収性材料層を加熱するように、前記キャリアプレートをパルス光で照射するステップと
を含む、方法。
(項12)
前記照射するステップが、前記キャリアプレートをフラッシュランプで照射することをさらに含む、上記項11に記載の方法。
(項13)
前記ポリマーフィルムを堆積する前に、前記光反射性材料層上に表面張力制御解放層を堆積するステップをさらに含む、上記項11に記載の方法。
(項14)
前記表面張力制御解放層が、セラミック製である、上記項13に記載の方法。
(項15)
前記ポリマーフィルムを堆積する前に、前記表面張力制御解放層上に動的解放層を堆積するステップをさらに含む、上記項13に記載の方法。
(項16)
前記動的解放層が、金属製である、上記項15に記載の方法。
(項17)
前記光吸収性材料層の1つがパターニングされている、上記項11に記載の方法。
(項18)
前記キャリアプレートが、石英製である、上記項11に記載の方法。
(項19)
前記キャリアプレートが、ガラス製である、上記項11に記載の方法。
(項20)
前記熱遅延層が、酸化ケイ素製である、上記項11に記載の方法。
Claims (1)
- 明細書に記載の発明。
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JP2020140047A JP2020192815A (ja) | 2020-08-21 | 2020-08-21 | ポリマーフィルムの剥離を実施するための方法 |
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