JP2020188117A - ウェーハの製造方法、及びインゴットの分断装置 - Google Patents
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Abstract
Description
11a 表面
11b 裏面
13,15 オリエンテーションフラット
17 表面の法線
19 c軸
21 c面
23 改質層
25 クラック
27 分離起点
2 レーザ加工装置
4 保持テーブル
6 レーザ加工ユニット
6a レーザビーム
8 分断装置
10 液槽
12 液体
14 載置テーブル
16 超音波付与ユニット
16a 超音波振動子
16b 支持軸
18 光源
18a,18b 光
20a,20b ミラー
22 撮像ユニット
24 判定ユニット
26 撮像画像
28,30 領域
Claims (5)
- インゴットを表面から所定の深さに設定された分離面で分断してウェーハを製造するウェーハの製造方法であって、
該インゴットに対して透過性を有する波長のレーザビームの集光点を該分離面に位置付け、該集光点及び該インゴットを相対的に移動させながら該レーザビームを該表面側から照射して該分離面に沿って該レーザビームを集光させ、改質層と、該改質層から伸長するクラックと、を含む分離起点を該分離面に沿って該インゴットに形成する分離起点形成ステップと、
該分離起点形成ステップの後、該インゴットを液体中に浸漬し、該液体を介して該インゴットに超音波を付与することにより該分離起点で該インゴットを分断し、該インゴットの一部を剥離してウェーハを製造するウェーハ製造ステップと、を備え、
該ウェーハ製造ステップ中に、
該分離起点が形成された該インゴットの該表面に、該液体が収容された液槽を介して光源からの光を所定の入射角で照射する照射ステップと、
該照射ステップで該インゴットの該表面に照射された光の反射光を撮像し、該表面に生じる凹凸が反映された撮像画像を形成する撮像ステップと、
該撮像ステップで得られる該撮像画像から該インゴットから該ウェーハが剥離したか否かを判定する判定ステップと、
を実施することを特徴とするウェーハの製造方法。 - 該インゴットは、SiCインゴットまたはGaNインゴットであることを特徴とする請求項1に記載のウェーハの製造方法。
- 該ウェーハ製造ステップでは、該インゴットを該液体中に浸漬させた後、該インゴットに該超音波を付与する前に、該インゴットの該表面を撮像して参照用撮像画像を形成し、
該判定ステップでは、該撮像ステップで得られる該撮像画像と、該参照用撮像画像と、を比較することで該インゴットから該ウェーハが剥離したか否かを判定することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のウェーハの製造方法。 - 表面から所定の深さに改質層と、該改質層から伸長するクラックと、を含む分離起点が形成されたインゴットに超音波を付与して該分離起点で該インゴットを分断してウェーハを形成できるインゴットの分断装置であって、
液体が貯留された液槽と、
該液槽内の該液体に浸漬された該インゴットを該表面が該液体中に露出された状態で載置できる載置テーブルと、
該載置テーブルに載置された該インゴットの該表面に対面するように位置付けることができ、該インゴットに該液体を介して超音波を付与できる超音波付与ユニットと、
該載置テーブルに載置された該インゴットの該表面に対して所定の入射角で光を照射できる光源と、
該光源から該インゴットの該表面に照射された光が該表面から該入射角に対応する反射角で反射された反射光を撮像して撮像画像を形成する撮像ユニットと、
該載置テーブルに載置された該インゴットに対して該超音波付与ユニットで超音波を付与し、該インゴットの該表面に該光源で光を照射し、該インゴットの該表面で反射された反射光を該撮像ユニットで撮像して撮像画像を形成し、該撮像画像から該インゴットの該表面に生じた凹凸を検出し、該表面の該凹凸に基づいて該インゴットが該分離起点で分断されウェーハが該インゴットから剥離したか否かを判定する判定ユニットと、
を備えることを特徴とするインゴットの分断装置。 - 該判定ユニットは、該撮像画像と、該超音波付与ユニットにより該インゴットに該超音波が付与される前に該撮像ユニットが該インゴットの該表面を撮像して形成した参照用撮像画像と、を比較することで該ウェーハが該インゴットから剥離したか否かを判定することを特徴とする請求項4に記載のインゴットの分断装置。
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