JP2020174144A - 基板洗浄用スポンジおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1.水または使用する洗浄液により膨潤させた樹脂スポンジのブロック体の外周を切削加工することで小径部及び大径部を形成する。
2.前記小径部または前記大径部のいずれか一方の端面を切削加工して十字溝を形成することで洗浄面を形成する。
Claims (4)
- 全体が小径部及び該小径部に連続する大径部からなる段付円柱形を呈し、前記小径部または前記大径部のいずれか一方の端面を被洗浄物に接触させたまま摺動する洗浄面とする少なくとも前記洗浄面において露出する連続気孔を有するとともに親水性を有する樹脂スポンジにより形成されている基板洗浄用スポンジであって、
前記洗浄面に、前記洗浄面の外縁及び中心を通過するとともに前記中心の位置で互いに略直交して、両側壁が前記洗浄面と直角で所定深さを有する直線状である2本の溝からなる十字溝が形成されていることを特徴とする基板洗浄用スポンジ。 - 前記樹脂スポンジが、ポリビニルアルコールスポンジ(PVAスポンジ)であることを特徴とする請求項1記載の基板洗浄用スポンジ。
- 前記樹脂スポンジが、平均気孔径80μm〜180μmであることを特徴とする請求項1または2記載の基板洗浄用スポンジ。
- 前記請求項1,2または3記載の基板洗浄用スポンジを製造する方法であって、以下の工程を有することを特徴とする基板洗浄用スポンジの製造方法。
1.水または使用する洗浄液により膨潤させた樹脂スポンジのブロック体の外周を切削加工することで小径部及び大径部を形成する。
2.前記小径部または前記大径部のいずれか一方の端面を切削加工して十字溝を形成することで洗浄面を形成する。
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