JP2020163754A - Manufacturing method of heat-resistant polymer film laminate - Google Patents

Manufacturing method of heat-resistant polymer film laminate Download PDF

Info

Publication number
JP2020163754A
JP2020163754A JP2019067519A JP2019067519A JP2020163754A JP 2020163754 A JP2020163754 A JP 2020163754A JP 2019067519 A JP2019067519 A JP 2019067519A JP 2019067519 A JP2019067519 A JP 2019067519A JP 2020163754 A JP2020163754 A JP 2020163754A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
polymer film
film
resistant polymer
coupling agent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019067519A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7287061B2 (en
Inventor
全広 山下
Masahiro Yamashita
全広 山下
桂也 ▲徳▼田
桂也 ▲徳▼田
Katsuya Tokuda
奥山　哲雄
Tetsuo Okuyama
哲雄 奥山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyobo Co Ltd
Original Assignee
Toyobo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyobo Co Ltd filed Critical Toyobo Co Ltd
Priority to JP2019067519A priority Critical patent/JP7287061B2/en
Publication of JP2020163754A publication Critical patent/JP2020163754A/en
Priority to JP2023079592A priority patent/JP2023091052A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7287061B2 publication Critical patent/JP7287061B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

To provide a manufacturing method and an apparatus capable of producing a high-quality long laminate with lower defects for a heat-resistant polymer film laminate laminated via a reactive compound layer.SOLUTION: Both front and back surfaces of a first heat-resistant polymer film are exposed to a vapor of an amino group-containing silane coupling agent, and immediately after that, the first heat-resistant polymer film is overlapped with second and third heat-resistant polymer films and wound into a roll. By performing a heat treatment of batch process in roll state, a high-quality heat-resistant polymer film laminate with less adhesion of foreign matter such as dust and dirt can be produced with high productivity.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、長尺の耐熱高分子フィルムを、反応性液体を介して積層した積層体、およびその製造方法に関するものであり、さらに詳しくは、高い生産性を有する耐熱高分子フィルム積層体の製造方法に関する物である。 The present invention relates to a laminate in which a long heat-resistant polymer film is laminated via a reactive liquid, and a method for producing the same. More specifically, the present invention relates to the production of a heat-resistant polymer film laminate having high productivity. It's about the method.

シランカップリング剤はガラスなどの無機材料や高分子樹脂などの界面において、両者の濡れ性、接着性などを改善するために広く用いられている。シランカップリング剤は無機材料に対する吸着力が強いと同時に、自己縮合反応を生じやすい。そのため、処理液、コート液中にて縮合物の粒子が形成され、それら粒子が塗布面、処理面での異物欠点となる場合が少なくない。 Silane coupling agents are widely used to improve the wettability and adhesiveness of both inorganic materials such as glass and polymer resins at the interface. Silane coupling agents have strong adsorptive power to inorganic materials and at the same time tend to cause self-condensation reaction. Therefore, particles of the condensate are formed in the treatment liquid and the coating liquid, and these particles often cause foreign matter defects on the coated surface and the treated surface.

かかる問題を解決するために例えば特許文献１にはシランカップリング剤を気相状態で基板に塗布する技術が開示されている。かかる手法によれば極めて薄いシランカップリング剤層を低欠点で実現することが可能となるとされている。しかしながら、このような手法で得られた低欠点のシランカップリング剤塗布層は極めて薄いため、塗布面に異物を挟み込んだ場合、それが微小なものであったとしてもシランカップリング剤塗布面の反応の妨げとなる。
かかる問題はシランカップリング剤を用いた場合に留まらず、反応性の化合物層、特に室温で液体の反応性化合物を塗布したフィルム全般に関わる問題である。 In order to solve such a problem, for example, Patent Document 1 discloses a technique of applying a silane coupling agent to a substrate in a vapor phase state. According to such a method, it is possible to realize an extremely thin silane coupling agent layer with low defects. However, since the low-defect silane coupling agent coating layer obtained by such a method is extremely thin, when foreign matter is sandwiched between the coating surfaces, even if it is minute, the silane coupling agent coating surface It interferes with the reaction.
Such a problem is not limited to the case where a silane coupling agent is used, but is a problem relating to a reactive compound layer, particularly a film generally coated with a reactive compound that is liquid at room temperature.

特開２０１５−１７８２３７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-178237

本発明者らは前記課題を解決するために鋭意検討した結果、反応性化合物を塗布したフィルムを直ちに他のフィルムに貼り合わせ、巻き取ることでブリスター欠点の少ない長尺フィルム積層体を製造できることを見出した。また、ロール状に巻き取った形で熱処理することにより、フィルムの積層工程と反応性化合物と各々のフィルム表面とを反応させる化学反応工程を分離でき、後者をバッチ式に行う事により生産性を大幅に改善できることを見出し、加えて本手法が広く反応性化合物を介して形成されるフィルム積層体全般に適用可能であることを見出し本発明に到達した。 As a result of diligent studies to solve the above problems, the present inventors have found that a long film laminate having few blister defects can be produced by immediately adhering a film coated with a reactive compound to another film and winding it up. I found it. Further, by heat-treating in the form of being wound into a roll, the film laminating step and the chemical reaction step of reacting the reactive compound with each film surface can be separated, and the latter is carried out in a batch manner to improve productivity. We have found that it can be significantly improved, and in addition, we have found that this method can be widely applied to film laminates formed via reactive compounds, and have reached the present invention.

すなわち、本発明は以下の構成からなる。
［１］少なくとも二枚の耐熱高分子フィルムが積層された構造を有する耐熱高分子フィルム積層体の製造方法であって、
（１）前記少なくとも二枚の耐熱高分子フィルムを、アミノ基を有するシランカップリング剤が前記少なくとも二枚耐熱高分子フィルム相互の間に存在する状態でロール状に巻き取り、耐熱高分子フィルムの複層巻きロールを得る工程、
（２）前記複層巻きロールを、４０℃〜１８０℃の温度で熱処理することにより、前記少なくとも二枚の耐熱高分子フィルム相互を接着する工程、
を少なくとも有する耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。
［２］前記ロール状に巻き取る際にフィルムに掛ける張力を０．００１Ｎ／ｃｍ〜１２Ｎ／ｃｍの範囲とすることを特徴とする［１］に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。
［３］前記熱処理を行う前の耐熱高分子フィルムに含まれる含水率が０．５〜４．０質量％の範囲であることを特徴とする［１］または［２］に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。
［４］前記耐熱高分子フィルムがあらかじめ酸素存在下にプラズマ処理されていることを特徴とする［１］〜［３］のいずれか一項に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。
［５］前記耐熱高分子フィルムがポリイミドフィルムであることを特徴とする［１］〜［４］のいずれか一項に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。 That is, the present invention has the following configuration.
[1] A method for producing a heat-resistant polymer film laminate having a structure in which at least two heat-resistant polymer films are laminated.
(1) The heat-resistant polymer film is wound by winding the at least two heat-resistant polymer films into a roll in a state where a silane coupling agent having an amino group is present between the at least two heat-resistant polymer films. The process of obtaining a multi-layer winding roll,
(2) A step of adhering the at least two heat-resistant polymer films to each other by heat-treating the multi-layer winding roll at a temperature of 40 ° C. to 180 ° C.
A method for producing a heat-resistant polymer film laminate having at least.
[2] The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to [1], wherein the tension applied to the film when it is wound into a roll shape is in the range of 0.001 N / cm to 12 N / cm.
[3] The heat-resistant polymer according to [1] or [2], wherein the water content contained in the heat-resistant polymer film before the heat treatment is in the range of 0.5 to 4.0% by mass. A method for producing a film laminate.
[4] The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to any one of [1] to [3], wherein the heat-resistant polymer film is plasma-treated in advance in the presence of oxygen.
[5] The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to any one of [1] to [4], wherein the heat-resistant polymer film is a polyimide film.

本発明ではさらに以下の構成を有することが好ましい。
［６］前記熱処理温度が５０℃〜１２０℃の範囲である事を特徴とする［１］〜［５］のいずれか一項委記載の耐熱性高分子フィルム積層体の製造方法。
［７］巻き取り時に、離型フィルムを共巻き取りすることを特徴とする［１］〜［６］のいずれか一項に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。
［８］ 前記耐熱高分子フィルムが芳香族ポリエステルフィルムであることを特徴とする［１］〜［５］のいずれか一項に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。
［９］ 前記耐熱高分子フィルムがポリアミドフィルムであることを特徴とする［１］〜［５］のいずれか一項に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。
［１０］ 前記耐熱高分子フィルムが全芳香族ポリエステルフィルムであることを特徴とする［１］〜［５］のいずれか一項に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。
［１１］ 前記耐熱高分子フィルムがポリアミドイミドフィルムであることを特徴とする［１］〜［５］のいずれか一項に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。
［１２］ 前記耐熱高分子フィルムがフッ素樹脂フィルムであることを特徴とする［１］〜［５］のいずれか一項に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。 The present invention further preferably has the following configuration.
[6] The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to any one of [1] to [5], wherein the heat treatment temperature is in the range of 50 ° C. to 120 ° C.
[7] The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to any one of [1] to [6], wherein the release film is co-wound at the time of winding.
[8] The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to any one of [1] to [5], wherein the heat-resistant polymer film is an aromatic polyester film.
[9] The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to any one of [1] to [5], wherein the heat-resistant polymer film is a polyamide film.
[10] The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to any one of [1] to [5], wherein the heat-resistant polymer film is a totally aromatic polyester film.
[11] The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to any one of [1] to [5], wherein the heat-resistant polymer film is a polyamide-imide film.
[12] The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to any one of [1] to [5], wherein the heat-resistant polymer film is a fluororesin film.

本発明の積層体製造方法は、表面に反応性液体の薄い膜が形成されたフィルムが他のフィルムと貼り合わされるまでの間に異物を挟み込むことを抑制できるため、結果として異物挟み込みによるブリスター欠点の少ない高品位な長尺フィルム積層体を得ることができる。
また、反応性液体を塗布後に、塗布された反応性液体における暗反応により結晶核やゲルなどの異物発生が生じる前に短時間で貼り合わせおよび熱処理を行うため、高品位の積層体を得ることができる。 The method for producing a laminate of the present invention can prevent foreign matter from being pinched until a film having a thin film of reactive liquid formed on its surface is bonded to another film, and as a result, blister defects due to foreign matter pinching. It is possible to obtain a high-quality long film laminate with a small amount of material.
In addition, after applying the reactive liquid, bonding and heat treatment are performed in a short time before the generation of foreign substances such as crystal nuclei and gel due to the dark reaction in the applied reactive liquid, so that a high-quality laminate can be obtained. Can be done.

また本発明では、積層したい高分子フィルム同士を重ね合わせる工程と、後加熱により化学反応を行う工程とを分離しており、時間を要する化学反応をバッチ式に、まとめて行うことが出来るため、生産性に優れている。
Further, in the present invention, the step of laminating the polymer films to be laminated and the step of performing a chemical reaction by post-heating are separated, and the time-consuming chemical reaction can be collectively performed in a batch manner. Excellent in productivity.

図１は、本発明の積層体製造装置の一例を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing an example of the laminate manufacturing apparatus of the present invention. 図２は、本発明の積層体製造装置の一例を示す概略図である。FIG. 2 is a schematic view showing an example of the laminate manufacturing apparatus of the present invention. 図３は、シランカップリング剤処理装置の概略図である。FIG. 3 is a schematic view of a silane coupling agent treatment apparatus. 図４は、本発明の積層体製造装置の巻取部の概略図である。FIG. 4 is a schematic view of a winding portion of the laminate manufacturing apparatus of the present invention.

＜耐熱高分子フィルム＞
本発明の耐熱高分子フィルムは、いわゆるエンジニアリングプラスチックのフィルムである。エンジニアリングプラスチックとは、特に強度に優れ、耐熱性のような特定の機能を強化してあるプラスチックの一群を指す分類上の名称である。本発明では100℃以上の環境に長時間曝されても、49MPa以上の引っ張り強度と2.5GPa以上の曲げ弾性率を持った高分子材料であり、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、全芳香族ポリエステル（いわゆる液晶フィルム）などのポリエステルフィルム、ポリテトラフロオロエチレンに代表されるフッ素樹脂のフィルム、芳香族ポリアミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリイミドフィルム、芳香族ポリエーテルフィルム、芳香族ポリケトンフィルムなどを例示できる。 <Heat-resistant polymer film>
The heat-resistant polymer film of the present invention is a so-called engineering plastic film. Engineering plastics is a taxonomic name that refers to a group of plastics that are particularly strong and have enhanced specific functions such as heat resistance. The present invention is a polymer material having a tensile strength of 49 MPa or more and a bending elasticity of 2.5 GPa or more even when exposed to an environment of 100 ° C or more for a long time. Polyester terephthalate, polyethylene naphthalate, polybutylene terephthalate, all Polyester films such as aromatic polyesters (so-called liquid crystal films), fluororesin films typified by polytetrafluoroethylene, aromatic polyamide films, polyamideimide films, polyimide films, aromatic polyether films, aromatic polyketone films, etc. Can be exemplified.

本明細書において、好ましく用いられる耐熱高分子とは、融点が４００℃以上、好ましくは５００℃以上であり、ガラス転移温度が２５０℃以上、好ましくは３２０℃以上、さらに好ましくは３８０℃以上の高分子である。以下、煩雑さを避けるために単に高分子とも称する。本明細書において、融点、及び、ガラス転移温度は、示差熱分析（ＤＳＣ）により求めるものである。なお、融点が５００℃を越える場合には、該当温度にて加熱した際の熱変形挙動を目し観察することで融点に達しているか否かを判断して良い。 In the present specification, the heat-resistant polymer preferably used has a melting point of 400 ° C. or higher, preferably 500 ° C. or higher, and a glass transition temperature of 250 ° C. or higher, preferably 320 ° C. or higher, more preferably 380 ° C. or higher. It is a molecule. Hereinafter, it is also simply referred to as a polymer in order to avoid complication. In the present specification, the melting point and the glass transition temperature are determined by differential thermal analysis (DSC). When the melting point exceeds 500 ° C., it may be determined whether or not the melting point has been reached by visually observing the thermal deformation behavior when heated at the corresponding temperature.

前記好ましく用いられる耐熱高分子フィルム(以下、単に高分子フィルムとも称する）としては、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、フッ素化ポリイミドといったポリイミド系樹脂（例えば、芳香族ポリイミド樹脂、脂環族ポリイミド樹脂）、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレートといった共重合ポリエステル（例えば、全芳香族ポリエステル、半芳香族ポリエステル）、ポリメチルメタクリレートに代表される共重合（メタ）アクリレート、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルケトン、酢酸セルロース、硝酸セルロース、芳香族ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリフェノール、ポリアリレート、ポリフェニレンスルフィド、ポリフェニレンオキシド、ポリスチレン等のフィルムを例示できる。
本発明で特に好ましく適用できる耐熱高分子フィルムは、所謂スーパーエンジニアリングプラスチックを用いたフィルムであり、より具体的には、芳香族ポリイミドフィルム、芳香族アミドフィルム、芳香族アミドイミドフィルム、芳香族ベンゾオキサゾールフィルム、芳香族ベンゾチアゾールフィルム、芳香族ベンゾイミダゾールフィルム等が挙げられる。 As the heat-resistant polymer film (hereinafter, also simply referred to as a polymer film) preferably used, a polyimide resin such as polyimide, polyamideimide, polyetherimide, or fluorinated polyimide (for example, aromatic polyimide resin, alicyclic polyimide resin) ), Polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate and other copolymerized polyesters (for example, fully aromatic polyesters, semi-aromatic polyesters), and copolymers represented by polymethylmethacrylate (meth). Examples of films such as acrylate, polycarbonate, polyamide, polyimide, polyether sulfone, polyether ketone, cellulose acetate, cellulose nitrate, aromatic polyamide, polyvinyl chloride, polyphenol, polyarylate, polyphenylene sulfide, polyphenylene oxide, and polystyrene can be exemplified.
The heat-resistant polymer film that can be particularly preferably applied in the present invention is a film using a so-called super engineering plastic, and more specifically, an aromatic polyimide film, an aromatic amide film, an aromatic amideimide film, and an aromatic benzoxazole. Examples include films, aromatic benzothiazole films, aromatic benzoimidazole films and the like.

以下に前記高分子フィルムの一例であるポリイミド系樹脂フィルム（ポリイミドフィルムと称する場合もある）についての詳細を説明する。一般にポリイミド系樹脂フィルムは、溶媒中でジアミン類とテトラカルボン酸類とを反応させて得られるポリアミド酸（ポリイミド前駆体）溶液を、ポリイミドフィルム作製用支持体に塗布、乾燥してグリーンフィルム（以下では「ポリアミド酸フィルム」ともいう）とし、さらにポリイミドフィルム作製用支持体上で、あるいは該支持体から剥がした状態でグリーンフィルムを高温熱処理して脱水閉環反応を行わせることによって得られる。 The details of the polyimide resin film (sometimes referred to as the polyimide film), which is an example of the polymer film, will be described below. Generally, a polyimide-based resin film is a green film (hereinafter referred to as a green film) in which a polyamic acid (polyimide precursor) solution obtained by reacting diamines and tetracarboxylic acids in a solvent is applied to a support for producing a polyimide film and dried. It is also referred to as "polyamic acid film"), and is obtained by subjecting a green film to a high temperature heat treatment to carry out a dehydration ring closure reaction on a support for producing a polyimide film or in a state of being peeled off from the support.

ポリアミド酸（ポリイミド前駆体）溶液の塗布は、例えば、スピンコート、ドクターブレード、アプリケーター、コンマコーター、スクリーン印刷法、スリットコート、リバースコート、ディップコート、カーテンコート、スリットダイコート等従来公知の溶液の塗布手段を適宜用いることができる。 The application of the polyamic acid (polyimide precursor) solution is, for example, application of a conventionally known solution such as spin coating, doctor blade, applicator, comma coater, screen printing method, slit coating, reverse coating, dip coating, curtain coating, slit die coating and the like. Means can be used as appropriate.

ポリアミド酸を構成するジアミン類としては、特に制限はなく、ポリイミド合成に通常用いられる芳香族ジアミン類、脂肪族ジアミン類、脂環式ジアミン類等を用いることができる。耐熱性の観点からは、芳香族ジアミン類が好ましく、芳香族ジアミン類の中では、ベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン類がより好ましい。ベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン類を用いると、高い耐熱性とともに、高弾性率、低熱収縮性、低線膨張係数を発現させることが可能になる。ジアミン類は、単独で用いてもよいし二種以上を併用してもよい。 The diamines constituting the polyamic acid are not particularly limited, and aromatic diamines, aliphatic diamines, alicyclic diamines and the like usually used for polyimide synthesis can be used. From the viewpoint of heat resistance, aromatic diamines are preferable, and among aromatic diamines, aromatic diamines having a benzoxazole structure are more preferable. When aromatic diamines having a benzoxazole structure are used, it is possible to develop high elastic modulus, low coefficient of thermal expansion, and low linear expansion coefficient as well as high heat resistance. The diamines may be used alone or in combination of two or more.

ベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン類としては、特に限定はなく、例えば、５−アミノ−２−（ｐ−アミノフェニル）ベンゾオキサゾール、６−アミノ−２−（ｐ−アミノフェニル）ベンゾオキサゾール、５−アミノ−２−（ｍ−アミノフェニル）ベンゾオキサゾール、６−アミノ−２−（ｍ−アミノフェニル）ベンゾオキサゾール、２，２’−ｐ−フェニレンビス（５−アミノベンゾオキサゾール）、２，２’−ｐ−フェニレンビス（６−アミノベンゾオキサゾール）、１−（５−アミノベンゾオキサゾロ）−４−（６−アミノベンゾオキサゾロ）ベンゼン、２，６−（４，４’−ジアミノジフェニル）ベンゾ［１，２−ｄ：５，４−ｄ’］ビスオキサゾール、２，６−（４，４’−ジアミノジフェニル）ベンゾ［１，２−ｄ：４，５−ｄ’］ビスオキサゾール、２，６−（３，４’−ジアミノジフェニル）ベンゾ［１，２−ｄ：５，４−ｄ’］ビスオキサゾール、２，６−（３，４’−ジアミノジフェニル）ベンゾ［１，２−ｄ：４，５−ｄ’］ビスオキサゾール、２，６−（３，３’−ジアミノジフェニル）ベンゾ［１，２−ｄ：５，４−ｄ’］ビスオキサゾール、２，６−（３，３’−ジアミノジフェニル）ベンゾ［１，２−ｄ：４，５−ｄ’］ビスオキサゾール等が挙げられる。 The aromatic diamines having a benzoxazole structure are not particularly limited, and for example, 5-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole, 6-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole, 5 -Amino-2- (m-aminophenyl) benzoxazole, 6-amino-2- (m-aminophenyl) benzoxazole, 2,2'-p-phenylenebis (5-aminobenzoxazole), 2,2' -P-Phenylenebis (6-aminobenzoxazole), 1- (5-aminobenzoxazole) -4- (6-aminobenzoxazolo) benzene, 2,6- (4,4'-diaminodiphenyl) benzo [1,2-d: 5,4-d'] bisoxazole, 2,6- (4,4-diaminodiphenyl) benzo [1,2-d: 4,5-d'] bisoxazole, 2, 6- (3,4'-diaminodiphenyl) benzo [1,2-d: 5,4-d'] bisoxazole, 2,6- (3,4'-diaminodiphenyl) benzo [1,2-d: 4,5-d'] bisoxazole, 2,6- (3,3'-diaminodiphenyl) benzo [1,2-d: 5,4-d'] bisoxazole, 2,6- (3,3') -Diaminodiphenyl) benzo [1,2-d: 4,5-d'] bisoxazole and the like can be mentioned.

上述したベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン類以外の芳香族ジアミン類としては、例えば、２，２’−ジメチル−４，４’−ジアミノビフェニル、１，４−ビス［２−（４−アミノフェニル）−２−プロピル］ベンゼン（ビスアニリン）、１，４−ビス（４−アミノ−２−トリフルオロメチルフェノキシ）ベンゼン、２，２’−ジトリフルオロメチル−４，４’−ジアミノビフェニル、４，４’−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル、４，４’−ビス（３−アミノフェノキシ）ビフェニル、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］ケトン、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］スルフィド、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、２，２−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、ｍ−フェニレンジアミン、ｏ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、ｍ−アミノベンジルアミン、ｐ−アミノベンジルアミン、３，３’−ジアミノジフェニルエーテル、３，４’−ジアミノジフェニルエーテル、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、３，３’−ジアミノジフェニルスルフィド、３，３’−ジアミノジフェニルスルホキシド、３，４’−ジアミノジフェニルスルホキシド、４，４’−ジアミノジフェニルスルホキシド、３，３’−ジアミノジフェニルスルホン、３，４’−ジアミノジフェニルスルホン、４，４’−ジアミノジフェニルスルホン、３，３’−ジアミノベンゾフェノン、３，４’−ジアミノベンゾフェノン、４，４’−ジアミノベンゾフェノン、３，３’−ジアミノジフェニルメタン、３，４’−ジアミノジフェニルメタン、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］メタン、１，１−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］エタン、１，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］エタン、１，１−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、１，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、１，３−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、１，１−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］ブタン、１，３−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］ブタン、１，４−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］ブタン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］ブタン、２，３−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］ブタン、２−［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］−２−［４−（４−アミノフェノキシ）−３−メチルフェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）−３−メチルフェニル］プロパン、２−［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］−２−［４−（４−アミノフェノキシ）−３，５−ジメチルフェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）−３，５−ジメチルフェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，４−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、４，４’−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］ケトン、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］スルフィド、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］スルホキシド、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］エーテル、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］エーテル、１，３−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）ベンゾイル］ベンゼン、１，３−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）ベンゾイル］ベンゼン、１，４−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）ベンゾイル］ベンゼン、４，４’−ビス［（３−アミノフェノキシ）ベンゾイル］ベンゼン、１，１−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、１，３−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、３，４’−ジアミノジフェニルスルフィド、２，２−ビス［３−（３−アミノフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］メタン、１，１−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］エタン、１，２−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］エタン、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］スルホキシド、４，４’−ビス［３−（４−アミノフェノキシ）ベンゾイル］ジフェニルエーテル、４，４’−ビス［３−（３−アミノフェノキシ）ベンゾイル］ジフェニルエーテル、４，４’−ビス［４−（４−アミノ−α，α−ジメチルベンジル）フェノキシ］ベンゾフェノン、４，４’−ビス［４−（４−アミノ−α，α−ジメチルベンジル）フェノキシ］ジフェニルスルホン、ビス［４−｛４−（４−アミノフェノキシ）フェノキシ｝フェニル］スルホン、１，４−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェノキシ−α，α−ジメチルベンジル］ベンゼン、１，３−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェノキシ−α，α−ジメチルベンジル］ベンゼン、１，３−ビス［４−（４−アミノ−６−トリフルオロメチルフェノキシ）−α，α−ジメチルベンジル］ベンゼン、１，３−ビス［４−（４−アミノ−６−フルオロフェノキシ）−α，α−ジメチルベンジル］ベンゼン、１，３−ビス［４−（４−アミノ−６−メチルフェノキシ）−α，α−ジメチルベンジル］ベンゼン、１，３−ビス［４−（４−アミノ−６−シアノフェノキシ）−α，α−ジメチルベンジル］ベンゼン、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジフェノキシベンゾフェノン、４，４’−ジアミノ−５，５’−ジフェノキシベンゾフェノン、３，４’−ジアミノ−４，５’−ジフェノキシベンゾフェノン、３，３’−ジアミノ−４−フェノキシベンゾフェノン、４，４’−ジアミノ−５−フェノキシベンゾフェノン、３，４’−ジアミノ−４−フェノキシベンゾフェノン、３，４’−ジアミノ−５’−フェノキシベンゾフェノン、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジビフェノキシベンゾフェノン、４，４’−ジアミノ−５，５’−ジビフェノキシベンゾフェノン、３，４’−ジアミノ−４，５’−ジビフェノキシベンゾフェノン、３，３’−ジアミノ−４−ビフェノキシベンゾフェノン、４，４’−ジアミノ−５−ビフェノキシベンゾフェノン、３，４’−ジアミノ−４−ビフェノキシベンゾフェノン、３，４’−ジアミノ−５’−ビフェノキシベンゾフェノン、１，３−ビス（３−アミノ−４−フェノキシベンゾイル）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノ−４−フェノキシベンゾイル）ベンゼン、１，３−ビス（４−アミノ−５−フェノキシベンゾイル）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノ−５−フェノキシベンゾイル）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノ−４−ビフェノキシベンゾイル）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノ−４−ビフェノキシベンゾイル）ベンゼン、１，３−ビス（４−アミノ−５−ビフェノキシベンゾイル）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノ−５−ビフェノキシベンゾイル）ベンゼン、２，６−ビス［４−（４−アミノ−α，α−ジメチルベンジル）フェノキシ］ベンゾニトリル、および前記芳香族ジアミンの芳香環上の水素原子の一部もしくは全てが、ハロゲン原子、炭素数１〜３のアルキル基またはアルコキシル基、シアノ基、またはアルキル基またはアルコキシル基の水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子で置換された炭素数１〜３のハロゲン化アルキル基またはアルコキシル基で置換された芳香族ジアミン等が挙げられる。 Examples of aromatic diamines other than the above-mentioned aromatic diamines having a benzoxazole structure include 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl and 1,4-bis [2- (4-aminophenyl). ) -2-propyl] benzene (bisaniline), 1,4-bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) benzene, 2,2'-ditrifluoromethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4 '-Bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl ] Sulfates, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl ] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine, 3,3'- Diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfoxide, 4,4' −Diaminodiphenylsulfoxide, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 3,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminobenzophenone, 3,4′-diaminobenzophenone, 4, 4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 1,1-bis [ 4- (4-Aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1, 2-Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] Propane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 1,3- Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 2,3-Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 2- [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -2- [4- (4-aminophenoxy) -3-methylphenyl] propane , 2,2-Bis [4- (4-aminophenoxy) -3-methylphenyl] propane, 2- [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -2- [4- (4-aminophenoxy) -3 , 5-Dimethylphenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) -3,5-dimethylphenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1 , 1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-amino) Phenoxy) benzene, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-Aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] Ether, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,4-bis [4- (3-amino) benzoyl] Phenoxy) benzoyl] benzene, 4,4'-bis [(3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,1-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis [4-( 3-Aminophenoxy) phenyl] propane, 3,4'-diaminodiphenylsulfide, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane , Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, 1,1-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane , Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, 4,4'-bis [ 3- (4-Aminophenoxy) Benzene] diphenyl ether, 4,4'-bis [3- (3-Aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4'-bis [4- (4-amino-α, α-dimethyl) Benzene) phenoxy] benzophenone, 4,4'-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] diphenylsulfone, bis [4- {4- (4-aminophenoxy) phenoxy} phenyl] sulfone , 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) phenoxy-α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenoxy-α, α-dimethylbenzyl] benzene , 1,3-bis [4- (4-amino-6-trifluoromethylphenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-amino-6-fluorophenoxy)- α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-amino-6-methylphenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-amino-) 6-Cyanophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] Benzene, 3,3'-diamino-4,4'-diphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5,5'-diphenoxybenzophenone, 3,4 '-Diamino-4,5'-diphenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4-phenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5-phenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4-phenoxybenzophenone, 3 , 4'-diamino-5'-phenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4,4'-dibiphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino -4,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4-biphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5-biphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4-biphenoxybenzophenone, 3 , 4'-Diamino-5'-biphenoxybenzophenone, 1,3-bis (3-amino-4-phenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (3-amino-4-phenoxybenzoyl) benzene, 1,3 -Bis (4-amino-5-phenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (4-amino-5-phenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (3-amino-4-bife) Noxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (3-amino-4-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (4-amino-5-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (4-) Amino-5-biphenoxybenzoyl) benzene, 2,6-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] benzonitrile, and some of the hydrogen atoms on the aromatic ring of the aromatic diamine. Alternatively, all halogen atoms, alkyl or alkoxyl groups having 1 to 3 carbon atoms, cyano groups, or halogens having 1 to 3 carbon atoms in which some or all of the hydrogen atoms of the alkyl group or alkoxyl group are substituted with halogen atoms. Examples thereof include aromatic diamines substituted with alkylated or alkoxyl groups.

前記脂肪族ジアミン類としては、例えば、１，２−ジアミノエタン、１，４−ジアミノブタン、１，５−ジアミノペンタン、１，６−ジアミノヘキサン、１，８−ジアミノオタン等が挙げられる。
前記脂環式ジアミン類としては、例えば、１，４−ジアミノシクロヘキサン、４，４’−メチレンビス（２，６−ジメチルシクロヘキシルアミン）等が挙げられる。
芳香族ジアミン類以外のジアミン（脂肪族ジアミン類および脂環式ジアミン類）の合計量は、全ジアミン類の２０質量％以下が好ましく、より好ましくは１０質量％以下、さらに好ましくは５質量％以下である。換言すれば、芳香族ジアミン類は全ジアミン類の８０質量％以上が好ましく、より好ましくは９０質量％以上、さらに好ましくは９５質量％以上である。 Examples of the aliphatic diamines include 1,2-diaminoethane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6-diaminohexane, 1,8-diaminootan and the like.
Examples of the alicyclic diamines include 1,4-diaminocyclohexane and 4,4'-methylenebis (2,6-dimethylcyclohexylamine).
The total amount of diamines other than aromatic diamines (aliphatic diamines and alicyclic diamines) is preferably 20% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, still more preferably 5% by mass or less of all diamines. Is. In other words, the aromatic diamines are preferably 80% by mass or more, more preferably 90% by mass or more, and further preferably 95% by mass or more of all diamines.

ポリアミド酸を構成するテトラカルボン酸類としては、ポリイミド合成に通常用いられる芳香族テトラカルボン酸類（その酸無水物を含む）、脂肪族テトラカルボン酸類（その酸無水物を含む）、脂環族テトラカルボン酸類（その酸無水物を含む）を用いることができる。中でも、芳香族テトラカルボン酸無水物類、脂環族テトラカルボン酸無水物類が好ましく、耐熱性の観点からは芳香族テトラカルボン酸無水物類がより好ましく、光透過性の観点からは脂環族テトラカルボン酸類がより好ましい。これらが酸無水物である場合、分子内に無水物構造は１個であってもよいし２個であってもよいが、好ましくは２個の無水物構造を有するもの（二無水物）がよい。テトラカルボン酸類は単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。 Examples of the tetracarboxylic acids constituting the polyamic acid include aromatic tetracarboxylic acids (including the acid anhydride thereof), aliphatic tetracarboxylic acids (including the acid anhydride), and alicyclic tetracarboxylic acids usually used for polyimide synthesis. Acids (including its acid anhydride) can be used. Among them, aromatic tetracarboxylic dianhydrides and alicyclic tetracarboxylic dianhydrides are preferable, aromatic tetracarboxylic dianhydrides are more preferable from the viewpoint of heat resistance, and alicyclics are more preferable from the viewpoint of light transmission. Group tetracarboxylic acids are more preferred. When these are acid anhydrides, the number of anhydride structures in the molecule may be one or two, but those having two anhydride structures (dianhydride) are preferable. Good. The tetracarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more.

脂環族テトラカルボン酸類としては、例えば、シクロブタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ビシクロヘキシルテトラカルボン酸等の脂環族テトラカルボン酸、およびこれらの酸無水物が挙げられる。これらの中でも、２個の無水物構造を有する二無水物（例えば、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物等）が好適である。なお、脂環族テトラカルボン酸類は単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。
脂環式テトラカルボン酸類は、透明性を重視する場合には、例えば、全テトラカルボン酸類の８０質量％以上が好ましく、より好ましくは９０質量％以上、さらに好ましくは９５質量％以上である。 Examples of the alicyclic tetracarboxylic acid include cyclobutanetetracarboxylic acid, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid, 3,3', 4,4'-bicyclohexyltetracarboxylic acid and the like. Examples include carboxylic acids and their acid anhydrides. Among these, dianhydrides having two anhydride structures (eg, cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4 '-Bicyclohexyltetracarboxylic dianhydride, etc.) is suitable. The alicyclic tetracarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more.
When transparency is important, the alicyclic tetracarboxylic acids are, for example, preferably 80% by mass or more, more preferably 90% by mass or more, and further preferably 95% by mass or more of all tetracarboxylic acids.

芳香族テトラカルボン酸類としては、特に限定されないが、ピロメリット酸残基（すなわちピロメリット酸由来の構造を有するもの）であることが好ましく、その酸無水物であることがより好ましい。このような芳香族テトラカルボン酸類としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、３，３'，４，４'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、４，４'−オキシジフタル酸二無水物、３，３'，４，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３'，４，４'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、２，２−ビス［４−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパン酸無水物等が挙げられる。
芳香族テトラカルボン酸類は、耐熱性を重視する場合には、例えば、全テトラカルボン酸類の８０質量％以上が好ましく、より好ましくは９０質量％以上、さらに好ましくは９５質量％以上である。 The aromatic tetracarboxylic acids are not particularly limited, but are preferably pyromellitic acid residues (that is, those having a structure derived from pyromellitic acid), and more preferably an acid anhydride thereof. Examples of such aromatic tetracarboxylic acids include pyromellitic dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic acid dianhydride, and 3 , 3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-di) Carboxylic phenoxy) phenyl] propanoic acid anhydride and the like can be mentioned.
When heat resistance is important, the aromatic tetracarboxylic acids are, for example, preferably 80% by mass or more, more preferably 90% by mass or more, and further preferably 95% by mass or more of all tetracarboxylic acids.

前記高分子フィルムの厚さは３μｍ以上が好ましく、より好ましくは１１μｍ以上であり、さらに好ましくは２４μｍ以上であり、より一層好ましくは４５μｍ以上である。前記高分子フィルムの厚さの上限は特に制限されないが、フレキシブル電子デバイスとして用いるためには２５０μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは１５０μｍ以下であり、さらに好ましくは９０μｍ以下である。 The thickness of the polymer film is preferably 3 μm or more, more preferably 11 μm or more, further preferably 24 μm or more, and even more preferably 45 μm or more. The upper limit of the thickness of the polymer film is not particularly limited, but it is preferably 250 μm or less, more preferably 150 μm or less, and further preferably 90 μm or less for use as a flexible electronic device.

前記高分子フィルムの４０℃から１８０℃の間の平均のＣＴＥは、好ましくは、−５ｐｐｍ／℃〜＋２０ｐｐｍ／℃であり、より好ましくは−５ｐｐｍ／℃〜＋１５ｐｐｍ／℃であり、さらに好ましくは１ｐｐｍ／℃〜＋１０ｐｐｍ／℃である。ＣＴＥが前記範囲であると、一般的な支持体（無機基板）との線膨張係数の差を小さく保つことができ、熱を加えるプロセスに供しても高分子フィルムと無機基板とが剥がれることを回避できる。ここにＣＴＥとは温度に対して可逆的な伸縮を表すファクターである。 The average CTE of the polymer film between 40 ° C. and 180 ° C. is preferably −5 ppm / ° C. to + 20 ppm / ° C., more preferably −5 ppm / ° C. to + 15 ppm / ° C., and even more preferably 1 ppm. / ° C to + 10 ppm / ° C. When the CTE is within the above range, the difference in the coefficient of linear expansion from that of a general support (inorganic substrate) can be kept small, and the polymer film and the inorganic substrate are peeled off even when subjected to a heat application process. It can be avoided. Here, CTE is a factor representing reversible expansion and contraction with respect to temperature.

前記高分子フィルムの４０℃から１８０℃の間の熱収縮率は、±０．９％であることが好ましく、さらに好ましくは±０．６％である。熱収縮率は温度に対して非可逆的な伸縮を表すファクターである。 The heat shrinkage of the polymer film between 40 ° C. and 180 ° C. is preferably ± 0.9%, more preferably ± 0.6%. The heat shrinkage rate is a factor that represents irreversible expansion and contraction with respect to temperature.

前記高分子フィルムの引張破断強度は、６０ＭＰａ以上が好ましく、より好ましくは１２０ＭＰ以上であり、さらに好ましくは２４０ＭＰａ以上である。引張破断強度の上限は特に制限されないが、事実上１０００ＭＰａ程度未満である。なお、前記高分子フィルムの引張破断強度とは、高分子フィルムの流れ方向（ＭＤ方向）の引張破断強度及び幅方向（ＴＤ方向）の引張破断強度の平均値を指す。 The tensile breaking strength of the polymer film is preferably 60 MPa or more, more preferably 120 MPa or more, and further preferably 240 MPa or more. The upper limit of the tensile breaking strength is not particularly limited, but is practically less than about 1000 MPa. The tensile breaking strength of the polymer film refers to the average value of the tensile breaking strength in the flow direction (MD direction) and the tensile breaking strength in the width direction (TD direction) of the polymer film.

前記高分子フィルムの厚さ斑は、２０％以下であることが好ましく、より好ましくは１２％以下、さらに好ましくは７％以下、特に好ましくは４％以下である。厚さ斑が２０％を超えると、狭小部へ適用し難くなる傾向がある。なお、フィルムの厚さ斑は、例えば接触式の膜厚計にて被測定フィルムから無作為に１０点程度の位置を抽出してフィルム厚を測定し、下記式に基づき求めることができる。
フィルムの厚さ斑（％）
＝１００×（最大フィルム厚−最小フィルム厚）÷平均フィルム厚 The thickness unevenness of the polymer film is preferably 20% or less, more preferably 12% or less, still more preferably 7% or less, and particularly preferably 4% or less. If the thickness spots exceed 20%, it tends to be difficult to apply to narrow areas. The thickness unevenness of the film can be obtained, for example, by randomly extracting about 10 positions from the film to be measured with a contact-type film thickness meter and measuring the film thickness based on the following formula.
Film thickness spots (%)
= 100 x (maximum film thickness-minimum film thickness) ÷ average film thickness

前記高分子フィルムは、その製造時において幅が３００ｍｍ以上、長さが１０ｍ以上の長尺高分子フィルムとして巻き取られた形態で得られるものが好ましく、巻取りコアに巻き取られたロール状高分子フィルムの形態のものがより好ましい。前記高分子フィルムがロール状に巻かれていると、表面処理された耐熱高分子フィルムという形態での輸送が容易となる。 The polymer film is preferably obtained in the form of being wound as a long polymer film having a width of 300 mm or more and a length of 10 m or more at the time of its manufacture, and has a roll-like height wound around a winding core. The one in the form of a molecular film is more preferable. When the polymer film is wound in a roll shape, it can be easily transported in the form of a surface-treated heat-resistant polymer film.

前記高分子フィルムにおいては、ハンドリング性および生産性を確保する為、高分子フィルム中に粒子径が１０〜１０００ｎｍ程度の滑材（粒子）を、０．０３〜３質量％程度、添加・含有させて、高分子フィルム表面に微細な凹凸を付与して滑り性を確保することが好ましい。 In the polymer film, in order to ensure handleability and productivity, a lubricant (particle) having a particle size of about 10 to 1000 nm is added / contained in the polymer film in an amount of about 0.03 to 3% by mass. Therefore, it is preferable to impart fine irregularities to the surface of the polymer film to ensure slipperiness.

＜高分子フィルムの表面処理＞
本発明において用いられる高分子フィルムには表面処理（表面活性化処理とも云う）を行うことが好ましい。該表面活性化処理によって、高分子フィルム表面は官能基が存在する状態（いわゆる活性化した状態）に改質され、シランカップリング剤との親和性が向上する。
本発明における表面活性化処理とは、乾式、ないし湿式の表面処理である。本発明の乾式処理としては、紫外線、電子線、Ｘ線などの活性エネルギー線を表面に照射する処理、コロナ処理、真空プラズマ処理、常圧プラズマ処理、火炎処理、イトロ処理等を用いることが出来る。湿式処理としては、フィルム表面を酸ないしアルカリ溶液に接触させる処理を例示できる。本発明に置いて好ましく用いられる表面活性化処理は、プラズマ処理であり、プラズマ処理と湿式の酸処理の組み合わせである。 <Surface treatment of polymer film>
It is preferable to perform a surface treatment (also referred to as a surface activation treatment) on the polymer film used in the present invention. By the surface activation treatment, the surface of the polymer film is modified to a state in which functional groups are present (so-called activated state), and the affinity with the silane coupling agent is improved.
The surface activation treatment in the present invention is a dry or wet surface treatment. As the dry treatment of the present invention, treatment of irradiating the surface with active energy rays such as ultraviolet rays, electron beams, and X-rays, corona treatment, vacuum plasma treatment, atmospheric pressure plasma treatment, flame treatment, and itro treatment can be used. .. As the wet treatment, a treatment in which the film surface is brought into contact with an acid or alkaline solution can be exemplified. The surface activation treatment preferably used in the present invention is a plasma treatment, which is a combination of a plasma treatment and a wet acid treatment.

プラズマ処理は、特に限定されるものではないが、真空中でのＲＦプラズマ処理、マイクロ波プラズマ処理、マイクロ波ＥＣＲプラズマ処理、大気圧プラズマ処理、コロナ処理などがあり、フッ素を含むガス処理、イオン源を使ったイオン打ち込み処理、ＰＢＩＩ法を使った処理、熱プラズマに暴露する火炎処理、イトロ処理なども含める。これらの中でも真空中でのＲＦプラズマ処理、マイクロ波プラズマ処理、大気圧プラズマ処理が好ましい。本発明では酸素存在化に行うプラズマ処理が好ましい。酸素存在化でプラズマ処理することで高分子フィルム表面に水酸基、カルボキシル基やカルボニル基のようなアミノ基との反応性に富む官能基を生成させることができる。さらにかかる官能基は酸素に加えて微妙に水分が存在した方が効率的に生成することから、本発明では酸素と水の存在下にプラズマ処理を行う事が好ましい。 The plasma treatment is not particularly limited, but includes RF plasma treatment in vacuum, microwave plasma treatment, microwave ECR plasma treatment, atmospheric pressure plasma treatment, corona treatment, etc., and gas treatment containing fluorine and ions. It also includes ion implantation treatment using a source, treatment using the PBII method, flame treatment exposed to thermal plasma, and itro treatment. Among these, RF plasma treatment in vacuum, microwave plasma treatment, and atmospheric pressure plasma treatment are preferable. In the present invention, plasma treatment for oxygen presence is preferable. By plasma treatment in the presence of oxygen, functional groups highly reactive with amino groups such as hydroxyl groups, carboxyl groups and carbonyl groups can be generated on the surface of the polymer film. Furthermore, since such functional groups are more efficiently generated when a slight amount of water is present in addition to oxygen, it is preferable to carry out plasma treatment in the presence of oxygen and water in the present invention.

かかる表面活性化処理は高分子表面を清浄化し、さらに活性な官能基を生成する。生成した官能基は、カップリング剤層と水素結合ないし化学反応により結びつき、高分子フィルム層とカップリング剤層とを強固に接着することが可能となる。 Such surface activation treatment cleans the polymer surface and produces more active functional groups. The generated functional group is bonded to the coupling agent layer by a hydrogen bond or a chemical reaction, and the polymer film layer and the coupling agent layer can be firmly adhered to each other.

表面活性化処理は、高分子フィルムの片面のみに施してもよいし、両面に施してもよい。片面にプラズマ処理を行う場合、並行平板型電極でのプラズマ処理で片側の電極上に高分子フィルムを接して置くことにより、高分子フィルムの電極と接していない側の面のみにプラズマ処理を施すことができる。また２枚の電極間の空間に電気的に浮かせる状態で高分子フィルムを置くようにすれば、両面にプラズマ処理が行える。また、高分子フィルムの片面に保護フィルムを貼った状態でプラズマ処理を行うことで片面処理が可能となる。なお保護フィルムとしては粘着剤付のＰＥＴフィルムやオレフィンフィルムなどが使用できる。 The surface activation treatment may be applied to only one side of the polymer film, or may be applied to both sides. When plasma treatment is performed on one side, the polymer film is placed in contact with the electrode on one side in the plasma treatment with the parallel plate type electrode, so that the plasma treatment is performed only on the side of the polymer film that is not in contact with the electrode. be able to. Further, if the polymer film is placed in a state of being electrically floated in the space between the two electrodes, plasma treatment can be performed on both sides. Further, single-sided treatment is possible by performing plasma treatment with a protective film attached to one side of the polymer film. As the protective film, a PET film with an adhesive, an olefin film, or the like can be used.

＜高分子フィルムの表面粗さ＞
本発明における高分子フィルムの表面粗さＲａは７０ｎｍ以下が望ましく、より望ましくは３０ｎｍ以下、さらに望ましくは１．５ｎｍ以下である。Ｒａが７０ｎｍよりも大きいと、シランカップリング剤層を介して複数の高分子フィルムを貼り合わせた際、シランカップリング剤塗工ムラやそれによる剥離ムラの原因になる。 <Surface roughness of polymer film>
The surface roughness Ra of the polymer film in the present invention is preferably 70 nm or less, more preferably 30 nm or less, and further preferably 1.5 nm or less. If Ra is larger than 70 nm, it causes uneven coating of the silane coupling agent and uneven peeling due to the uneven coating of the silane coupling agent when a plurality of polymer films are laminated via the silane coupling agent layer.

＜反応性液体＞
本発明における反応性液体とは、アミノ基を有するシランカップリング剤である。
本発明におけるシランカップリング剤とは、分子内に珪素元素を有し、高分子フィルム間を物理的および化学的に介在し、両者間の接着力を高める作用を有する化合物を云う。
本発明では、特に好ましいシランカップリング剤として、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−トリエトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミン、アミノフェニルトリメトキシシラン、アミノフェネチルトリメトキシシラン、アミノフェニルアミノメチルフェネチルトリメトキシシランなどを例示できる。プロセスで特に高い耐熱性が要求される場合、Ｓｉとアミノ基の間を芳香族基でつないだものが望ましい。 <Reactive liquid>
The reactive liquid in the present invention is a silane coupling agent having an amino group.
The silane coupling agent in the present invention refers to a compound having a silicon element in the molecule, physically and chemically interposing between polymer films, and having an action of enhancing the adhesive force between the two.
In the present invention, as particularly preferable silane coupling agents, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2- (Aminoethyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N- (1,3-dimethyl-butylidene) propylamine, amino Examples thereof include phenyltrimethoxysilane, aminophenyl trimethoxysilane, and aminophenylaminomethylphenyl trimethoxysilane. If particularly high heat resistance is required in the process, it is desirable to connect Si and an amino group with an aromatic group.

本発明で用いることのできるシランカップリング剤としては、上記のほかにｎ−プロピルトリメトキシシラン、ブチルトリクロロシラン、２−シアノエチルトリエトキシシラン、シクロヘキシルトリクロロシラン、デシルトリクロロシラン、ジアセトキシジメチルシラン、ジエトキシジメチルシラン、ジメトキシジメチルシラン、ジメトキシジフェニルシラン、ジメトキシメチルフェニルシラン、ドデシルリクロロシラン、ドデシルトリメトキシラン、エチルトリクロロシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリエトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、ｎ−オクチルトリクロロシラン、ｎ−オクチルトリエトキシシラン、ｎ−オクチルトリメトキシシラン、トリエトキシエチルシラン、トリエトキシメチルシラン、トリメトキシメチルシラン、トリメトキシフェニルシラン、ペンチルトリエトキシシラン、ペンチルトリクロロシラン、トリアセトキシメチルシラン、トリクロロヘキシルシラン、トリクロロメチルシラン、トリクロロオクタデシルシラン、トリクロロプロピルシラン、トリクロロテトラデシルシラン、トリメトキシプロピルシラン、アリルトリクロロシラン、アリルトリエトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、ジエトキシメチルビニルシラン、ジメトキシメチルビニルシラン、トリクロロビニルシラン、トリエトキシビニルシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、トリクロロ−２−シアノエチルシラン、ジエトキシ（３−グリシジルオキシプロピル）メチルシラン、３−グリシジルオキシプロピル（ジメトキシ）メチルシラン、３−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、などを使用することもできる。 In addition to the above, silane coupling agents that can be used in the present invention include n-propyltrimethoxysilane, butyltrichlorosilane, 2-cyanoethyltriethoxysilane, cyclohexyltrichlorosilane, decyltrichlorosilane, diacetoxydimethylsilane, and diacetoxydimethylsilane. Ethoxydimethylsilane, dimethoxydimethylsilane, dimethoxydiphenylsilane, dimethoxymethylphenylsilane, dodecyllichlorosilane, dodecyltrimethoxylane, ethyltrichlorosilane, hexyltrimethoxysilane, octadecyltriethoxysilane, octadecyltrimethoxysilane, n-octyltrichlorosilane , N-octyltriethoxysilane, n-octyltrimethoxysilane, triethoxyethylsilane, triethoxymethylsilane, trimethoxymethylsilane, trimethoxyphenylsilane, pentyltriethoxysilane, pentyllichlorosilane, triacetoxymethylsilane, trichloro Hexylsilane, trichloromethylsilane, trichlorooctadecylsilane, trichloropropylsilane, trichlorotetradecylsilane, trimethoxypropylsilane, allyltrichlorosilane, allyltriethoxysilane, allyltrimethoxysilane, diethoxymethylvinylsilane, dimethoxymethylvinylsilane, trichlorovinylsilane , Triethoxyvinylsilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, trichloro-2-cyanoethylsilane, diethoxy (3-glycidyloxypropyl) methylsilane, 3-glycidyloxypropyl (dimethoxy) methylsilane, 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane, Etc. can also be used.

また、シランカップリング剤の中に他のアルコキシラン類、例えばテトラメトキシシラン、テトラエトキシシランなどを適宜加えても良い。また公知の他のシランカップリング剤を併用しても良い。さらに本発明では必要に応じて、リン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤等を併用しても良い。 Further, other alkoxylans such as tetramethoxysilane and tetraethoxysilane may be appropriately added to the silane coupling agent. Further, other known silane coupling agents may be used in combination. Further, in the present invention, a phosphorus-based coupling agent, a titanate-based coupling agent, or the like may be used in combination, if necessary.

本発明は、少なくとも二枚の耐熱性高分子フィルムが積層された積層体の製造方法であって、少なくとも積層される二枚の耐熱高分子フィルムの接着面にアミノ基を有するシランカップリング剤（煩雑さを避けるために単にシランカップリング剤、あるいは反応性液体とも云う）が存在する状態でロール状に巻き取り、耐熱高分子フィルムの複層巻きロールを得た後に、前記耐熱高分子フィルムの複層巻きロールを、４０℃〜１８０℃の温度で熱処理することにより、前記二枚の耐熱高分子フィルムを接着して耐熱高分子フィルム積層体を得る。 The present invention is a method for producing a laminate in which at least two heat-resistant polymer films are laminated, and is a silane coupling agent having an amino group on the adhesive surface of at least two heat-resistant polymer films to be laminated. In order to avoid complication, it is simply wound into a roll in the presence of a silane coupling agent (also referred to as a reactive liquid) to obtain a multi-layered roll of the heat-resistant polymer film, and then the heat-resistant polymer film is used. By heat-treating the multi-layer winding roll at a temperature of 40 ° C. to 180 ° C., the two heat-resistant polymer films are adhered to obtain a heat-resistant polymer film laminate.

少なくとも積層される二枚の耐熱高分子フィルムの接着面にシランカップリング剤が存在する状態とするには、
・積層させる耐熱高分子フィルムの少なくとも片方の接着面を、あらかじめシランカップリング剤処理しておく方法、
・積層させる耐熱高分子フィルムの接着面にシランカップリング剤を塗布し、耐熱高分子フィルムを重ね合わせた後に、連続的に巻き取る方法を例示することができる。 To make the silane coupling agent present on the adhesive surface of at least two heat-resistant polymer films to be laminated,
-A method in which at least one adhesive surface of the heat-resistant polymer film to be laminated is treated with a silane coupling agent in advance.
-A method of applying a silane coupling agent to the adhesive surface of the heat-resistant polymer film to be laminated, laminating the heat-resistant polymer film, and then continuously winding the heat-resistant polymer film can be exemplified.

＜シランカップリング剤の塗布方法＞
一般にシランカップリング剤処理とは、対象物表面にシランカップリング剤、ないしシランカップリング剤の縮合物からなる薄膜層を形成する処理を云う。シランカップリング剤処理は、一般に、シランカップリング剤をアルコールなどの溶液とし、対象物に塗布ないし、対象物をシランカップリング剤溶液に浸漬等の手段により塗布し、その後、乾燥、加熱によりシランカップリング剤を縮合させると同時に対象物表面に化学反応的に結合させることによる。シランカップリング剤の塗布方法としては、スピンコート法、スプレーコート法、キャピラリーコート法、ディップ法などが一般的である。シランカップリング剤処理は、必要に応じて高分子フィルムの片面、ないし両面に行われる。 <Application method of silane coupling agent>
Generally, the silane coupling agent treatment refers to a treatment of forming a thin film layer composed of a silane coupling agent or a condensate of a silane coupling agent on the surface of an object. In the silane coupling agent treatment, generally, the silane coupling agent is made into a solution such as alcohol and is not applied to the object, or the object is applied by means such as immersion in the silane coupling agent solution, and then silane is dried and heated. By condensing the coupling agent and at the same time chemically reacting it with the surface of the object. As a method for applying the silane coupling agent, a spin coating method, a spray coating method, a capillary coating method, a dip method and the like are generally used. The silane coupling agent treatment is performed on one side or both sides of the polymer film, if necessary.

本発明では、高分子フィルムへのシランカップリング剤塗布法として、コーター塗工を用いることができる。その場合、コート液におけるシランカップリング剤濃度は０．１ｗｔ％以上が望ましい。シランカップリング剤濃度が低いと、塗布ムラの原因となる。また、高分子フィルムと塗布用のブレードないしはバーの距離は、１５μｍ以上５０μｍ以下が望ましい。高分子フィルムと塗布用のブレードないしはバーの距離が１５μｍ以下だと、高分子フィルム表面にキズが付きやすく、５０μｍ以上だと塗布されるシランカップリング剤の量が多すぎて塗布ムラや表面荒れの原因となる。 In the present invention, coater coating can be used as a method for applying a silane coupling agent to a polymer film. In that case, the concentration of the silane coupling agent in the coating liquid is preferably 0.1 wt% or more. If the concentration of the silane coupling agent is low, it causes uneven coating. The distance between the polymer film and the coating blade or bar is preferably 15 μm or more and 50 μm or less. If the distance between the polymer film and the blade or bar for coating is 15 μm or less, the surface of the polymer film is easily scratched, and if it is 50 μm or more, the amount of silane coupling agent applied is too large, resulting in uneven coating or surface roughness. Causes.

本発明では、好ましくは、シランカップリング剤塗布工程を気相を介して行うことができる。気相を解するとは、気化させたシランカップリング剤に高分子フィルムを暴露させる方法である。気化とは、シランカップリング剤の蒸気、すなわち実質的に気体状態のシランカップリング剤あるいは、微粒子状態のシランカップリング剤が存在する状態を指す。そして、ここへの暴露とは、前記の気化したはシランカップリング剤を含んだ雰囲気に高分子フィルムを接触させることを云う。シランカップリング剤は一定の蒸気圧を有するため、常温雰囲気かであっても一定量の気体状態のシランカップリング剤は存在する。液体状態のシランカップリング剤を４０℃〜シランカップリング剤の沸点までの温度に加温すれば、さらに高濃度のシランカップリング剤の蒸気を得ることができる。気化したシランカップリング剤は露点の関係からミスト化し気体中での微粒子状態で存在する場合もある。本発明ではこのような状態も利用できる。また、温度圧力の操作によって、蒸気密度を高める操作を付け加えることも行いうる。シランカップリング剤の沸点は、化学構造によって異なるが、概ね１００〜２５０℃の範囲である。ただし２００℃以上の加熱は、シランカップリング剤の有機基側の副反応を招く恐れがあるため好ましくない。
シランカップリング剤を加温する環境は、加圧下、略常圧下、減圧下のいずれでも構わないが、シランカップリング剤の気化を促進する場合には略常圧下ないし減圧下が好ましい。多くのシランカップリング剤は可燃性液体であるため、密閉容器内にて、好ましくは容器内を不活性ガスで置換した後に気化作業を行うことが好ましい。しかし、生産効率向上および生産設備価格低減の観点からは、真空を使わない環境でのシランカップリング剤塗布が望ましい。本発明における真空を使わないシランカップリング剤堆積法とは、堆積時のみに真空を使わないのではなく、通常大気雰囲気で高分子フィルムをセットしてから、キャリアガスに置換してシランカップリング剤を堆積してから、またシランカップリング剤の無い状態に戻す時まで、概略大気圧のままで行うことを指す。
高分子フィルムをシランカップリング剤に暴露する時間は特に制限されないが、６０分以内、好ましくは２０分以内、さらに好ましくは１０分以内である。暴露時間はシランカップリング剤の濃度と、必要なシランカップリング剤塗布量との関係によって定まる工程設計値である。暴露時間の下限は特に限定されないが、工業的に生じる塗布量の斑を低減するためには１０秒以上、好ましくは３０秒以上程度の時間を設けた方が良い。 In the present invention, preferably, the silane coupling agent coating step can be performed via the gas phase. Dissolving the gas phase is a method of exposing a polymer film to a vaporized silane coupling agent. The vaporization refers to a state in which the vapor of the silane coupling agent, that is, the silane coupling agent in a substantially gaseous state or the silane coupling agent in a fine particle state is present. Then, the exposure to this refers to bringing the polymer film into contact with the atmosphere containing the vaporized silane coupling agent. Since the silane coupling agent has a constant vapor pressure, there is a constant amount of the silane coupling agent in a gaseous state even in a normal temperature atmosphere. By heating the liquid silane coupling agent to a temperature from 40 ° C. to the boiling point of the silane coupling agent, a higher concentration of silane coupling agent vapor can be obtained. The vaporized silane coupling agent may be mist-ized due to the dew point and may exist as fine particles in a gas. Such a state can also be used in the present invention. It is also possible to add an operation to increase the steam density by manipulating the temperature and pressure. The boiling point of the silane coupling agent varies depending on the chemical structure, but is generally in the range of 100 to 250 ° C. However, heating at 200 ° C. or higher is not preferable because it may cause a side reaction on the organic group side of the silane coupling agent.
The environment for heating the silane coupling agent may be under pressure, substantially normal pressure, or reduced pressure, but in the case of promoting vaporization of the silane coupling agent, it is preferably under substantially normal pressure or reduced pressure. Since many silane coupling agents are flammable liquids, it is preferable to carry out the vaporization work in a closed container, preferably after replacing the inside of the container with an inert gas. However, from the viewpoint of improving production efficiency and reducing the price of production equipment, it is desirable to apply a silane coupling agent in an environment that does not use a vacuum. The silane coupling agent deposition method that does not use vacuum in the present invention does not use vacuum only at the time of deposition, but usually sets a polymer film in an air atmosphere and then replaces it with a carrier gas for silane coupling. It refers to the operation at approximately atmospheric pressure from the time the agent is deposited until the time when the silane coupling agent is returned to a state without the agent.
The time for exposing the polymer film to the silane coupling agent is not particularly limited, but is within 60 minutes, preferably within 20 minutes, and more preferably within 10 minutes. The exposure time is a process design value determined by the relationship between the concentration of the silane coupling agent and the required amount of the silane coupling agent applied. The lower limit of the exposure time is not particularly limited, but in order to reduce the unevenness of the coating amount that occurs industrially, it is preferable to provide a time of about 10 seconds or more, preferably about 30 seconds or more.

高分子フィルムをシランカップリング剤に暴露する間の高分子フィルム温度は、シランカップリング剤の種類と、求めるシランカップリング剤層の厚さにより−５０℃から２００℃の間の適正な温度に制御することが好ましい。
シランカップリング剤に暴露された高分子フィルムは、好ましくは、暴露後に、７０℃〜２００℃、さらに好ましくは７５℃〜１５０℃に加熱される。かかる加熱によって、高分子フィルム表面の水酸基などと、シランカップリング剤のアルコキシ基やシラザン基が反応し、シランカップリング剤処理が完了する。加熱に要する時間は１０秒以上１０分程度以内である。温度が高すぎたり、時間が長すぎる場合にはカップリング剤の劣化が生じる場合がある。また短すぎると処理効果が得られない。なお、シランカップリング剤に暴露中の基板温度が既に８０℃以上である場合には、事後の加熱を省略することも出来る。 The polymer film temperature during exposure of the polymer film to the silane coupling agent should be an appropriate temperature between -50 ° C and 200 ° C depending on the type of silane coupling agent and the desired thickness of the silane coupling agent layer. It is preferable to control.
The polymer film exposed to the silane coupling agent is preferably heated to 70 ° C. to 200 ° C., more preferably 75 ° C. to 150 ° C. after exposure. By such heating, the hydroxyl group and the like on the surface of the polymer film react with the alkoxy group and the silazane group of the silane coupling agent, and the silane coupling agent treatment is completed. The time required for heating is 10 seconds or more and 10 minutes or less. If the temperature is too high or the time is too long, the coupling agent may deteriorate. If it is too short, the processing effect cannot be obtained. If the substrate temperature during exposure to the silane coupling agent is already 80 ° C. or higher, the subsequent heating can be omitted.

本発明では、高分子フィルムのシランカップリング剤塗布面を下向きに保持してシランカップリング剤蒸気に暴露することが好ましい。シランカップリング剤の溶液を塗布する従来法では、必然的に塗布中および塗布前後に高分子フィルムの塗布面が上を向くため、作業環境下の浮遊異物などが無機基板表面に沈着する可能性を否定できない。しかしながら本発明では高分子フィルムを下向きに保持することにより、環境中の異物付着を大幅に減ずることが可能となる。
また、気化したシランカップリング剤を含む気体を高分子基板に暴露させる部屋に導入する際に、一旦２つ以上に気体を分離して導入すること、２つ以上の気体を前記部屋内で衝突させることで乱流を生じさせ、シランカップリング剤分布を均一化させる操作なども有効である。
シランカップリング剤を気化させる方式としては、加熱による蒸発気化以外に、シランカップリング剤液中に気体を導入して気泡を発生させる方式もあり得る。これを以後バブリングと呼ぶ。バブリングについては、単純に気体の通る配管をシランカップリング剤液に入れること、配管の先に多孔質体を取り付けて、微細な気泡が数多く出るようにしたもの、超音波を重畳して、気化を促すものも有効である。 In the present invention, it is preferable to hold the silane coupling agent coated surface of the polymer film downward and expose it to the silane coupling agent vapor. In the conventional method of applying a solution of a silane coupling agent, the coated surface of the polymer film inevitably faces upward during and before and after coating, so that floating foreign substances in the working environment may be deposited on the surface of the inorganic substrate. Cannot be denied. However, in the present invention, by holding the polymer film downward, it is possible to significantly reduce the adhesion of foreign substances in the environment.
In addition, when introducing a gas containing a vaporized silane coupling agent into a room where the polymer substrate is exposed, once the gas is separated into two or more and introduced, the two or more gases collide in the room. It is also effective to generate a turbulent flow by causing the silane coupling agent to be distributed uniformly.
As a method of vaporizing the silane coupling agent, in addition to evaporative vaporization by heating, there may be a method of introducing a gas into the silane coupling agent liquid to generate bubbles. This is hereafter referred to as bubbling. For bubbling, simply put a pipe through which gas passes into a silane coupling agent solution, attach a porous body to the tip of the pipe so that many fine bubbles are emitted, and vaporize by superimposing ultrasonic waves. What encourages is also effective.

気化させたシランカップリング剤は暴露だけでなく、高分子フィルムに噴き付けても良い。その場合、噴き付ける角度は搬送されるフィルムに対し１０°以上であることが望ましい。噴き付け角度が１０°以下の場合、搬送される高分子フィルム表面に十分な量のシランカップリング剤が塗布できない恐れがある。 The vaporized silane coupling agent may be sprayed not only on the exposure but also on the polymer film. In that case, it is desirable that the spraying angle is 10 ° or more with respect to the film to be conveyed. If the spraying angle is 10 ° or less, a sufficient amount of silane coupling agent may not be applied to the surface of the polymer film to be conveyed.

また、気化したシランカップリング剤は帯電する場合がある。この効果を利用して暴露時にフィルムに電界を加えることにより多くのシランカップリング剤を短時間で堆積でき、かつシランカップリング剤が運動エネルギーを持つため、堆積膜が、島状膜になることを抑制できる。また、使用するキャリアガスについては、水分が含まれていると、この水分とシランカップリング剤の反応が始まることが知られている。このため、露点が低いことが有効である。望ましくは、露点１５℃以下、さらに望ましくは１０℃以下、さらに望ましくは、５℃以下である。
シランカップリング剤層積層高分子フィルムのシランカップリング剤層に存在する長径１０μｍ以上の珪素含有異物数は２０００個／ｍ２以下、好ましくは１０００個／ｍ２以下、更には５００個／ｍ２以下とすることが、本発明の好ましい形態である。また前記操作を組み合わせる事により珪素含有異物数は達成可能である。 In addition, the vaporized silane coupling agent may be charged. Utilizing this effect, a large amount of silane coupling agent can be deposited in a short time by applying an electric field to the film at the time of exposure, and since the silane coupling agent has kinetic energy, the deposited film becomes an island-like film. Can be suppressed. Further, it is known that when the carrier gas used contains water, the reaction between the water and the silane coupling agent starts. Therefore, it is effective that the dew point is low. Desirably, the dew point is 15 ° C. or lower, more preferably 10 ° C. or lower, and even more preferably 5 ° C. or lower.
Silane Coupling Agent Layer The number of silicon-containing foreign substances with a major axis of 10 μm or more present in the silane coupling agent layer of the laminated polymer film is 2000 / m2 or less, preferably 1000 / m2 or less, and further 500 / m2 or less. That is the preferred embodiment of the present invention. Further, the number of silicon-containing foreign substances can be achieved by combining the above operations.

シランカップリング剤の塗布量は、シランカップリング剤縮合物層の厚さよる。カップリング剤層が厚すぎると、高温暴露時に発生する分解物量が増え、高分子フィルム間の接着を阻害する場合がある。本発明のシランカップリング剤縮合物層の厚さは０．１ｎｍ以上３００ｎｍ以下である事が好ましく、０．５ｎｍ以上２００ｎｍ以下がさらに好ましい。さらに、厚さの上限は２００ｎｍ未満が好ましく、１５０ｎｍ以下が好ましく、さらに実用上は１００ｎｍ以下が好ましく、より好ましくは７０ｎｍ以下、さらに好ましくは５０ｎｍ以下である。０．１ｎｍ以下の領域になるとカップリング剤が均一な塗膜としてではなく、クラスター状に存在するケースが想定され、好ましくはない。
シランカップリング剤縮合物層の膜厚は、高分子フィルム積層体のフィルム面に垂直方向の断面を研磨した後にミクロトームで超薄切片とし、透過型電子顕微鏡にて断面写真を撮影し、実測値を拡大倍率から逆算して求めた。 The amount of the silane coupling agent applied depends on the thickness of the silane coupling agent condensate layer. If the coupling agent layer is too thick, the amount of decomposition products generated during high temperature exposure increases, which may hinder the adhesion between the polymer films. The thickness of the silane coupling agent condensate layer of the present invention is preferably 0.1 nm or more and 300 nm or less, and more preferably 0.5 nm or more and 200 nm or less. Further, the upper limit of the thickness is preferably less than 200 nm, preferably 150 nm or less, more preferably 100 nm or less, more preferably 70 nm or less, still more preferably 50 nm or less in practical use. In the region of 0.1 nm or less, it is assumed that the coupling agent exists in a cluster form rather than as a uniform coating film, which is not preferable.
The thickness of the silane coupling agent condensate layer is measured by polishing the cross section of the polymer film laminate in the direction perpendicular to the film surface, forming ultrathin sections with a microtome, and taking a cross-sectional photograph with a transmission electron microscope. Was calculated back from the magnification.

本発明では、上記の方法で、別途少なくとも片側の接着面が処理された高分子フィルムの接着面どうしを合わせて複層巻きロールとするか、あるいは上記の処理を巻き取りの直前で行い、複層巻きロールを得ることができる。
本発明では三枚以上の高分子フィルムを準備し、積層の最上面ならびに最下面に位置する高分子フィルム（外層フィルムと呼ぶ）以外の高分子フィルム（内層フィルムと呼ぶ）に、両面シランカップリング剤処理、ないし両面シランカップリング剤塗布を行い、次いで高分子フィルム同士を重ね合わせて複層巻きに巻き取ることにより複層巻きロールを得る方法を好ましい方法として例示できる。
本発明では、前記ロール状に巻き取る際のテンションを任意に調整可能であるが、好ましくは、０．００１Ｎ／ｃｍ〜１２Ｎ／ｃｍの範囲、さらに好ましくは０．５N/cm〜１２N/cmの範囲、なお好ましくは３〜１０N/cm とすることが好ましい。巻き取り時のテンションを所定の範囲にコントロールすることで、高分子フィルム間の接着を確実な物とすると同時に、高すぎると発生しやすい皺の発生を抑制することができる。 In the present invention, the adhesive surfaces of the polymer films that have been separately treated on at least one side of the polymer film are combined to form a multi-layer winding roll by the above method, or the above treatment is performed immediately before winding to form a double-layered roll. A layered roll can be obtained.
In the present invention, three or more polymer films are prepared, and double-sided silane coupling is performed on a polymer film (called an inner layer film) other than the polymer film (called an outer layer film) located on the uppermost surface and the lowermost surface of the laminate. A method of obtaining a multi-layer winding roll by subjecting the agent treatment or applying a double-sided silane coupling agent and then laminating the polymer films and winding them into a multi-layer winding can be exemplified as a preferable method.
In the present invention, the tension at the time of winding into the roll shape can be arbitrarily adjusted, but is preferably in the range of 0.001 N / cm to 12 N / cm, more preferably 0.5 N / cm to 12 N / cm. The range, more preferably 3 to 10 N / cm. By controlling the tension at the time of winding within a predetermined range, it is possible to ensure the adhesion between the polymer films and at the same time suppress the generation of wrinkles that are likely to occur if the tension is too high.

本発明では、以上のようにして得られた耐熱高分子フィルムの複層巻きロールを、４０℃〜１８０℃の温度で熱処理することにより、前記少なくとも二枚の耐熱高分子フィルムを接着して積層体と成す。本発明では前記熱処理温度を好ましくは５０℃〜１２０℃の範囲とする事により、コア材質の制限がなくなり、より生産性が向上する。
また、本発明では前記熱処理を行う前の耐熱高分子フィルムに含まれる水分量を、０．５〜４．０質量％の範囲とすることが好ましい。フィルムに含まれる水分は加熱の際に揮発して、接着界面にブリスター（気泡とも呼ぶ）を生じさせる可能性があるが、一方で適度な水分の存在は、シランカップリング剤の官能基の反応を促進する。本発明では０．５〜４．０質量％という、比較的高い水分量にもかかわらず、積層されるフィルムを複層巻きしたロール状にしてから加熱するため、フィルム間の密着が保たれブリスターの発生を抑制した状態で化学反応を進行させることができるため、強固な接着積層が実現される。
フィルムに含有される水分量は積層前のシーズニングで調整可能である。例えばポリイミドフィルムの場合には０．５〜１．５質量％程度、アラミドフィルムの場合には１．５〜４．０質量％程度の水分を平衡状態で含んでいる。
高分子フィルムが含む水分量は、シーズニング環境で変化するが、仮に３０分以内程度であればシーズニング環境を変化させても急激な水分量の増減は生じない。本発明では好ましくは熱処理を行う少なくとも30分前、さらに好ましくは少なくとも１０分前までは、シーズニングした環境に高分子フィルムを保持することで、高分子フィルムに含まれる水分量を管理することが好ましい。すなわち熱処理を行う前とは、少なくとも熱処理の３０分前以内、好ましくは少なくとも１０分前以内を意味する。 In the present invention, the multi-layer wound roll of the heat-resistant polymer film obtained as described above is heat-treated at a temperature of 40 ° C. to 180 ° C. to bond and laminate at least two heat-resistant polymer films. Form with the body. In the present invention, by setting the heat treatment temperature in the range of preferably 50 ° C. to 120 ° C., there is no limitation on the core material, and the productivity is further improved.
Further, in the present invention, the amount of water contained in the heat-resistant polymer film before the heat treatment is preferably in the range of 0.5 to 4.0% by mass. Moisture contained in the film can volatilize during heating and cause blisters (also called bubbles) at the adhesive interface, while the presence of moderate moisture is the reaction of the functional groups of the silane coupling agent. To promote. In the present invention, despite the relatively high water content of 0.5 to 4.0% by mass, the laminated films are rolled into a multi-layered roll and then heated, so that the adhesion between the films is maintained and the blister. Since the chemical reaction can proceed in a state where the occurrence of the above is suppressed, a strong adhesive lamination is realized.
The amount of water contained in the film can be adjusted by seasoning before laminating. For example, in the case of a polyimide film, it contains about 0.5 to 1.5% by mass, and in the case of an aramid film, it contains about 1.5 to 4.0% by mass of water in an equilibrium state.
The water content of the polymer film changes depending on the seasoning environment, but if it is within about 30 minutes, even if the seasoning environment is changed, the water content does not suddenly increase or decrease. In the present invention, it is preferable to control the amount of water contained in the polymer film by holding the polymer film in a seasoned environment, preferably at least 30 minutes before the heat treatment, and more preferably at least 10 minutes before the heat treatment. .. That is, before the heat treatment is performed, it means at least 30 minutes before the heat treatment, preferably at least 10 minutes before the heat treatment.

本発明において、積層体の巻取に使用するコアの内径は３インチ以上であることが望ましく、より望ましくは６インチ以上である。コア内径、ひいてはコア外径が小さいと、積層数が多くなってきた場合に積層体の反りの原因となったり、ポリイミドフィルム間の反応性液体層にかかる応力が大きくなり、ポリイミドフィルム同士の剥離の原因となる。 In the present invention, the inner diameter of the core used for winding the laminate is preferably 3 inches or more, and more preferably 6 inches or more. If the inner diameter of the core and the outer diameter of the core are small, it may cause warpage of the laminated body when the number of layers increases, or the stress applied to the reactive liquid layer between the polyimide films increases, so that the polyimide films peel off from each other. Causes.

本発明において、巻取りに使用するコア材質のＣＴＥは１５０ｐｐｍ／℃以下であることが好ましく、１００ｐｐｍ／℃以下であることが好ましい。コア材質のＣＴＥが所定の範囲より大きいと、反応性液体を反応させるための加熱プロセスにおいてコアが大幅に変形してしまう恐れがある。またコア材質のＣＴＥの下限は２０ｐｐｍ／℃が好ましく、２５ｐｐｍ／℃であることがなお好ましい。CITEが下限より低いと、積層されたフィルムの加圧が不十分となり、積層体の層間接着力が低下する場合がある。
本発明において好ましく用いられるコア材質は、比較的高CTEの金属、例えばアルミニウムないしアルミニウム合金、ABS樹脂、ポリプロピレン、などの高分子素材を用いる事ができる。 In the present invention, the CTE of the core material used for winding is preferably 150 ppm / ° C. or lower, and preferably 100 ppm / ° C. or lower. If the CTE of the core material is larger than a predetermined range, the core may be significantly deformed in the heating process for reacting the reactive liquid. The lower limit of the CTE of the core material is preferably 20 ppm / ° C, and more preferably 25 ppm / ° C. If the CITE is lower than the lower limit, the pressurization of the laminated film becomes insufficient, and the interlayer adhesive strength of the laminated body may decrease.
As the core material preferably used in the present invention, a metal having a relatively high CTE, for example, a polymer material such as aluminum or aluminum alloy, ABS resin, polypropylene, etc. can be used.

本発明において、積層体と、積層体の巻取開始点におけるコアの接線が成す角θは４０°以下であることが望ましい。θが４０°より大きいと巻き取りが不安定になる場合がある。 In the present invention, it is desirable that the angle θ formed by the tangent line between the laminated body and the core at the winding start point of the laminated body is 40 ° or less. If θ is larger than 40 °, winding may become unstable.

本発明におけるポリイミドフィルム積層体の、熱処理後のポリイミドフィルム層間の接着強度は、９０度剥離法において、０．４Ｎ／ｃｍ以上、２０Ｎ／ｃｍ以下であり、好ましくは０．４Ｎ／ｃｍ以上１８Ｎ／ｃｍであり、さらに好ましくは０．４Ｎ／ｃｍ以上１５Ｎ／ｃｍ以下である。 The adhesive strength between the polyimide film layers after heat treatment of the polyimide film laminate in the present invention is 0.4 N / cm or more and 20 N / cm or less, preferably 0.4 N / cm or more and 18 N / cm in the 90 degree peeling method. It is cm, more preferably 0.4 N / cm or more and 15 N / cm or less.

以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は、下記実施例によって限定されるものではない。以下の実施例における物性の評価方法は下記の通りである。 The present invention will be described in more detail with reference to Examples below, but the present invention is not limited to the following Examples. The evaluation method of physical properties in the following examples is as follows.

＜ブリスター数＞
１０ｃｍ×１０ｃｍの積層体において直径０．２ｍｍ以上のブリスターの個数を計数した。なおブリスターとは貼り合わせられた対象物間に空隙が生じるタイプの欠点であり、ウキ、気泡、バブル等と呼ばれることがある。ブリスターの個数計測は各サンプルにつきｎ＝５となるように測定し、小数点以下を四捨五入した。また、３層積層体については、１０ｃｍ×１０ｃｍ面積に存在する直径０．２ｍｍ以上の総ブリスター数に０．５をかけることで、２層積層体としてのブリスター数に換算した。 <Number of blisters>
The number of blisters having a diameter of 0.2 mm or more in a 10 cm × 10 cm laminate was counted. It should be noted that the blister is a drawback of a type in which a gap is generated between the bonded objects, and is sometimes called a float, a bubble, a bubble or the like. The number of blisters was measured so that n = 5 for each sample, and rounded off to the nearest whole number. Further, for the three-layer laminated body, the total number of blisters having a diameter of 0.2 mm or more existing in an area of 10 cm × 10 cm was multiplied by 0.5 to convert to the number of blisters as a two-layer laminated body.

＜フィルム水分率（水分量）＞
フィルム水分率（水分量）は以下の方法にて求めた。
フィルムから、概ね１０ｃｍ×１０ｃｍの正方形を切り出して資料とし、初期状態（含水状態）のフィルムの質量Ｗｉを測定し、次いで１５０℃３０分の加熱処理後のフィルムの質量Ｗoを測定し、次式より求めた。
水分率（質量％）＝１００×（Ｗｉ-Ｗo）／Ｗo <Film moisture content (moisture content)>
The film moisture content (moisture content) was determined by the following method.
A square of approximately 10 cm × 10 cm was cut out from the film and used as a reference material, and the mass Wi of the film in the initial state (water-containing state) was measured, and then the mass Wi of the film after heat treatment at 150 ° C. for 30 minutes was measured. I asked for more.
Moisture content (mass%) = 100 x (Wi-Wo) / Wo

＜層間接着強度＞
ＪＩＳＫ６８５４−１ の９０度剥離法に従って、ポリイミドフィルム積層体のポリイミドフィルム層間の接着強度を求めた。
装置名 ； 島津製作所社製 オートグラフＡＧ−ＩＳ
測定温度 ； 室温
剥離速度 ； ５０ｍｍ／ｍｉｎ
雰囲気 ； 大気
測定サンプル幅 ； １ｃｍ
サンプルは一辺が１００ｍｍの正方形のポリイミドフィルム積層体の表面に、最表層のポリイミドフィルム厚さの１２０％に相当する深さまで切り込みを入れ、積層体の端から最表層のポリイミドフィルムを剥がして測定した。 <Interlayer adhesive strength>
The adhesive strength between the polyimide film layers of the polyimide film laminate was determined according to the 90 degree peeling method of JISK6854-1.
Device name; Shimadzu Autograph AG-IS
Measurement temperature; Room temperature peeling speed; 50 mm / min
Atmosphere; Atmosphere measurement sample width; 1 cm
The sample was measured by making a cut in the surface of a square polyimide film laminate having a side of 100 mm to a depth corresponding to 120% of the thickness of the outermost polyimide film, and peeling off the outermost polyimide film from the edge of the laminate. ..

〔製造例〕
（ポリアミド酸溶液の調製）
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、５−アミノ−２−（ｐ−アミノフェニル）ベンゾオキサゾール（ＤＡＭＢＯ）２２３質量部と、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド４４１６質量部とを加えて完全に溶解させ、次いで、ピロメリット酸二無水物（ＰＭＤＡ）２１７質量部とともに、滑剤としてコロイダルシリカをジメチルアセトアミドに分散してなる分散体（日産化学工業製「スノーテックス（登録商標）ＤＭＡＣ−ＳＴ３０」）とをシリカ（滑剤）がポリアミド酸溶液中のポリマー固形分総量にて０．１２質量％）になるように加え、２５℃の反応温度で２４時間攪拌して、褐色で粘調なポリアミド酸溶液Ｖ１を得た。 [Manufacturing example]
(Preparation of polyamic acid solution)
After replacing the inside of the reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod with nitrogen, 223 parts by mass of 5-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole (DAMBO) and N, N-dimethylacetamide 4416 A dispersion obtained by dispersing colloidal silica as a lubricant in dimethylacetamide together with 217 parts by mass of pyromellitic dianhydride (PMDA) (Snowtex (Nissan Chemical Industry Co., Ltd.)). Add the registered trademark) DMAC-ST30 ") so that the silica (lubricant) becomes 0.12% by mass of the total amount of polymer solids in the polyamic acid solution), and stir at a reaction temperature of 25 ° C. for 24 hours. A brown and viscous polyamic acid solution V1 was obtained.

（ポリイミドフィルムの作製例）
上記で得られたポリアミド酸溶液Ｖ１を、スリットダイを用いて幅１０５０ｍｍの長尺ポリエステルフィルム（東洋紡株式会社製「Ａ−４１００」）の平滑面（無滑剤面）上に、最終膜厚（イミド化後の膜厚）が３８μｍとなるように塗布し、１０５℃にて２０分間乾燥した後、ポリエステルフィルムから剥離して、幅９２０ｍｍの自己支持性のポリアミド酸フィルムを得た。
上記で得られたポリアミド酸フィルムを得た後、ピンテンターによって、１段目１５０℃×５分、２段目２２０℃×５分、３段目４９５℃×１０分間）熱処理を施してイミド化させ、両端のピン把持部分をスリットにて落とし、幅８５０ｍｍの長尺ポリイミドフィルムX（１０００ｍ巻き）を得た。 (Example of manufacturing polyimide film)
The polyamic acid solution V1 obtained above is applied to a smooth surface (non-slip agent surface) of a long polyester film (“A-4100” manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a width of 1050 mm using a slit die to achieve a final film thickness (imide). The film was applied so that the film thickness after conversion was 38 μm, dried at 105 ° C. for 20 minutes, and then peeled off from the polyester film to obtain a self-supporting polyamic acid film having a width of 920 mm.
After the polyamic acid film obtained above is obtained, it is imidized by heat treatment with a pin tenter at the first stage of 150 ° C. × 5 minutes, the second stage of 220 ° C. × 5 minutes, and the third stage of 495 ° C. × 10 minutes). , The pin gripping portions at both ends were dropped by slits to obtain a long polyimide film X (1000 m roll) having a width of 850 mm.

＜ポリイミドフィルムの真空プラズマ処理＞
ポリイミドフィルムにシランカップリング剤処理を行う前工程として、ポリイミドフィルムに真空プラズマ処理を行った。真空プラズマ処理は枚葉ガラス用の装置を用い、ガラスのシランカップリング剤処理面にメタルマスクを重ねて装置にセットし、真空チャンバー内を１×１０−３Ｐａ以下になるまで真空排気し、真空チャンバー内にアルゴンガスを導入して、放電電力１００Ｗ、周波数１５ｋＨｚの条件で２０秒間、ガラス板表面にアルゴンガスのプラズマ処理を行った。以下、実施例および比較例ではプラズマ処理後の広幅ポリイミドフィルムをスリットして用いた。 <Vacuum plasma treatment of polyimide film>
As a pre-step for treating the polyimide film with a silane coupling agent, the polyimide film was subjected to vacuum plasma treatment. For vacuum plasma treatment, use a device for single-wafered glass, place a metal mask on the silane coupling agent-treated surface of the glass, set it in the device, evacuate the inside of the vacuum chamber until it becomes 1 × 10-3 Pa or less, and vacuum. Argon gas was introduced into the chamber, and the surface of the glass plate was subjected to plasma treatment with argon gas for 20 seconds under the conditions of a discharge power of 100 W and a frequency of 15 kHz. Hereinafter, in Examples and Comparative Examples, a wide polyimide film after plasma treatment was slit and used.

＜シランカップリング剤処理＞
図３に概略を示したシランカップリング剤蒸気を発生させる装置を用い、以下の条件にてポリイミドフィルムにシランカップリング剤を塗布した。
幅２２０ｍｍのポリイミドフィルムを２０ｍｍ×２５０ｍｍのスリットを有する７５０ｍｍ×２０ｍｍ×１０ｍｍのチャンバー内を速度２４０ｍｍ／ｍｉｎで通過させた。
シランカップリング剤（信越化学工業株式会社製「ＫＢＥ−９０３」：３−アミノプロピルトリエトキシシラン）１００ｇを入れた容器を、４０℃に温調した後に窒素ガスを２０Ｌ／ｍｉｎでバブリングの要領で送り、発生したシランカップリング剤蒸気を含んだ窒素ガスを、配管を通じて前期チャンバー内に導入し、ポリイミドフィルムの両面を前記ガスに３分間暴露し、シランカップリング剤塗布ポリイミドフィルムロールを得た。 <Silane coupling agent treatment>
The silane coupling agent was applied to the polyimide film under the following conditions using the device for generating the silane coupling agent vapor outlined in FIG.
A polyimide film having a width of 220 mm was passed through a chamber of 750 mm × 20 mm × 10 mm having a slit of 20 mm × 250 mm at a speed of 240 mm / min.
A container containing 100 g of a silane coupling agent (“KBE-903” manufactured by Shin-Etsu Chemical Industry Co., Ltd .: 3-aminopropyltriethoxysilane) was adjusted to 40 ° C., and then nitrogen gas was bubbling at 20 L / min. Nitrogen gas containing the generated silane coupling agent vapor was introduced into the chamber in the previous period through a pipe, and both sides of the polyimide film were exposed to the gas for 3 minutes to obtain a silane coupling agent-coated polyimide film roll.

＜比較例１＞
得られたシランカップリング剤処理基板３枚重ね、さらに離型シート挟み、真空プレスにて、減圧化に１００Ｐａの圧力を印加し、仮接着を行った。次いで得られた仮接着積層板をクリーンオーブンに入れ、窒素雰囲気下で１００℃にて２０時間加熱し、ポリイミドフィルム積層体を得た。得られたポリイミドフィルム積層体の評価結果を表１に示す。 <Comparative example 1>
Three of the obtained silane coupling agent-treated substrates were stacked, a release sheet was sandwiched, and a pressure of 100 Pa was applied to reduce the pressure by a vacuum press to perform temporary bonding. Next, the obtained temporary adhesive laminate was placed in a clean oven and heated at 100 ° C. for 20 hours in a nitrogen atmosphere to obtain a polyimide film laminate. Table 1 shows the evaluation results of the obtained polyimide film laminate.

＜実施例１＞
比較例と同じポリイミドフィルムを３ロール準備し、それぞれにプラズマ処理を行い、図１の装置を用い、１ロールを内層フィルム巻きだし部に、他の２ロールをそれぞれ外装フィルム巻きだし部にセットした。セットした時点に於ける各フィルムの含水率はいずれも０．７質量％であった。
それぞれのロールを巻きだして図のように通紙し、内層ポリイミドフィルムの両面に反応性液体であるアミノ基含有シランカップリング剤「ＫＢＭ−９０３」の蒸気に暴露し、直後に表裏を外装用の二枚のポリイミドフィルムとサンドイッチする形で重ね、３層の複層フィルムとして、１２インチのアルミニウム製コアに巻き取り、複層巻きロールを得た。なおシランカップリング剤蒸気の生成条件は比較例１と同じとした。
得られた複層巻きロールを１２０℃のイナートオーブンに入れ、８時間熱処理を行い、ポリイミドフィルム積層体を得た。 <Example 1>
Three rolls of the same polyimide film as in the comparative example were prepared, plasma-treated for each, and one roll was set in the inner layer film unwinding portion and the other two rolls were set in the outer film unwinding portion using the apparatus shown in FIG. .. The water content of each film at the time of setting was 0.7% by mass.
Each roll is unwound and passed through as shown in the figure, and both sides of the inner layer polyimide film are exposed to the steam of the amino group-containing silane coupling agent "KBM-903" which is a reactive liquid, and immediately after that, the front and back sides are used for the exterior. The two polyimide films of No. 1 were laminated in a sandwiched manner, and the film was wound around a 12-inch aluminum core as a three-layer multi-layer film to obtain a multi-layer winding roll. The conditions for producing the silane coupling agent vapor were the same as in Comparative Example 1.
The obtained multi-layer winding roll was placed in an inert oven at 120 ° C. and heat-treated for 8 hours to obtain a polyimide film laminate.

＜実施例２＞
実施例１において、用いたポリイミドフィルムを、プラズマ処理前に真空中で一度巻きだし巻き取りを行った以外は同様に操作してポリイミドフィルム積層体を得た。この場合、装置にフィルムをセットした時点でのフィルムの含水率は０．２質量％であった。 <Example 2>
The polyimide film used in Example 1 was wound up once in vacuum before plasma treatment and wound up in the same manner to obtain a polyimide film laminate. In this case, the water content of the film at the time when the film was set in the apparatus was 0.2% by mass.

＜実施例３〜５、比較例２〜３＞
以下同様に表１に示す条件に従ってポリイミドフィルム積層体を得た。評価結果を表１に示す。 <Examples 3 to 5, Comparative Examples 2 to 3>
Similarly, a polyimide film laminate was obtained according to the conditions shown in Table 1. The evaluation results are shown in Table 1.

なお表中、
使用フィルム PI-X：ポリイミドフィルム作製例で得られたポリイミドフィルム
使用フィルム PI-K：東レデュポン社製ポリイミドフィルム「カプトン（登録商標）１５０H」
使用フィルム PI-U：宇部興産社製ポリイミドフィルム「ユーピレックス（登録商標）５０S」
積層法 ロール：図１に示した装置を用いた方法
積層法 プレス：比較例１で用いたプレス積層法
である。 In the table,
Film used PI-X: Polyimide film obtained in a polyimide film production example Film used PI-K: Polyimide film "Kapton (registered trademark) 150H" manufactured by Toray Dupont Co., Ltd.
Film used PI-U: Polyimide film "UPIREX (registered trademark) 50S" manufactured by Ube Industries, Ltd.
Laminating method Roll: Method using the apparatus shown in FIG. 1 Laminating method Press: The press laminating method used in Comparative Example 1.

以上述べてきたように、本発明のフィルム積層体製造方法および装置は、反応性化合物をフィルム表面に塗布してからラミネートするまでの工程を連続的に行うことで、ブリスター欠点の少ない長尺フィルム積層体を作製することができる。本発明は、例示したように熱硬化型化合物であるエポキシ樹脂、光硬化型化合物である（メタ）アクリレート、さらにはシランカップリング剤など種々の反応性化合物を用いてフィルム積層体を作製する場合に有効であり、産業上の様々な分野に利用できる。 As described above, in the film laminate manufacturing method and apparatus of the present invention, a long film having few blister defects is formed by continuously performing the steps from applying the reactive compound to the film surface to laminating. A laminate can be produced. In the present invention, as illustrated, when a film laminate is produced using various reactive compounds such as an epoxy resin which is a thermosetting compound, a (meth) acrylate which is a photocurable compound, and a silane coupling agent. It is effective in various fields of industry.

１１ 内層フィルム巻出し部
１２ 反応性液体蒸気供給部
１３ 反応性液体蒸気吐出部
１４ 反応性液体蒸気の排気口
１５ 外層フィルム巻出し部
１６ 加圧部
１７ 巻取部
１８ 長尺基材の高さ調整ロール
２１ フィルム巻出し部
２２ 反応性液体供給部
２３ 反応性液体吐出(スプレー）部
２４ ワイヤーバー
２５ 長尺基材巻出し部
２６ 加圧部
２７ 巻取り部
２８ 長尺基材の高さ調整ロール
３１ フィルム巻出し部
３２ 反応性液体蒸気供給部
３３ 反応性液体蒸気吐出部
３４ 反応性液体蒸気排気口
３５ フィルム巻取り部
３６ 合紙供給ロール
４１ フィルム重層体
４２ 巻取部 11 Inner layer film unwinding part 12 Reactive liquid steam supply part 13 Reactive liquid steam discharge part 14 Reactive liquid steam exhaust port 15 Outer layer film unwinding part 16 Pressurizing part 17 Winding part 18 Height of long base material Adjustment roll 21 Film unwinding part 22 Reactive liquid supply part 23 Reactive liquid discharge (spray) part 24 Wire bar 25 Long base material unwinding part 26 Pressurizing part 27 Winding part 28 Height adjustment of long base material Roll 31 Film unwinding part 32 Reactive liquid steam supply part 33 Reactive liquid steam discharge part 34 Reactive liquid steam exhaust port 35 Film winding part 36 Interleaving paper supply roll 41 Film multilayer 42 Winding part

Claims (5)

少なくとも二枚の耐熱高分子フィルムが積層された構造を有する耐熱高分子フィルム積層体の製造方法であって、
（１）前記少なくとも二枚の耐熱高分子フィルムを、アミノ基を有するシランカップリング剤が前記少なくとも二枚耐熱高分子フィルム相互の間に存在する状態でロール状に巻き取り、耐熱高分子フィルムの複層巻きロールを得る工程、
（２）前記複層巻きロールを、４０℃〜１８０℃の温度で熱処理することにより、前記少なくとも二枚の耐熱高分子フィルム相互を接着する工程、
を少なくとも有する耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。 A method for producing a heat-resistant polymer film laminate having a structure in which at least two heat-resistant polymer films are laminated.
(1) The heat-resistant polymer film is wound by winding the at least two heat-resistant polymer films into a roll in a state where a silane coupling agent having an amino group is present between the at least two heat-resistant polymer films. The process of obtaining a multi-layer winding roll,
(2) A step of adhering the at least two heat-resistant polymer films to each other by heat-treating the multi-layer winding roll at a temperature of 40 ° C. to 180 ° C.
A method for producing a heat-resistant polymer film laminate having at least. 前記ロール状に巻き取る際にフィルムに掛ける張力を０．００１Ｎ／ｃｍ〜１２Ｎ／ｃｍの範囲とすることを特徴とする請求項１に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。 The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to claim 1, wherein the tension applied to the film when it is wound into a roll is in the range of 0.001 N / cm to 12 N / cm. 前記熱処理を行う前の耐熱高分子フィルムに含まれる含水率が０．５〜４．０質量％の範囲であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。 The heat-resistant polymer film laminate according to claim 1 or 2, wherein the water content contained in the heat-resistant polymer film before the heat treatment is in the range of 0.5 to 4.0% by mass. Manufacturing method. 前記耐熱高分子フィルムがあらかじめ酸素存在下にプラズマ処理されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。 The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein the heat-resistant polymer film is plasma-treated in advance in the presence of oxygen. 前記耐熱高分子フィルムがポリイミドフィルムであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の耐熱高分子フィルム積層体の製造方法。 The method for producing a heat-resistant polymer film laminate according to any one of claims 1 to 4, wherein the heat-resistant polymer film is a polyimide film.
JP2019067519A 2019-03-29 2019-03-29 Method for producing heat-resistant polymer film laminate Active JP7287061B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019067519A JP7287061B2 (en) 2019-03-29 2019-03-29 Method for producing heat-resistant polymer film laminate
JP2023079592A JP2023091052A (en) 2019-03-29 2023-05-12 Manufacturing method of heat-resistant polymer film laminate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019067519A JP7287061B2 (en) 2019-03-29 2019-03-29 Method for producing heat-resistant polymer film laminate

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023079592A Division JP2023091052A (en) 2019-03-29 2023-05-12 Manufacturing method of heat-resistant polymer film laminate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020163754A true JP2020163754A (en) 2020-10-08
JP7287061B2 JP7287061B2 (en) 2023-06-06

Family

ID=72716710

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019067519A Active JP7287061B2 (en) 2019-03-29 2019-03-29 Method for producing heat-resistant polymer film laminate
JP2023079592A Pending JP2023091052A (en) 2019-03-29 2023-05-12 Manufacturing method of heat-resistant polymer film laminate

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023079592A Pending JP2023091052A (en) 2019-03-29 2023-05-12 Manufacturing method of heat-resistant polymer film laminate

Country Status (1)

Country Link
JP (2) JP7287061B2 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017188174A1 (en) * 2016-04-28 2017-11-02 東洋紡株式会社 Polyimide film layered body
JP2019018402A (en) * 2017-07-13 2019-02-07 日本化薬株式会社 Manufacturing method and bonding apparatus for laminate

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017188174A1 (en) * 2016-04-28 2017-11-02 東洋紡株式会社 Polyimide film layered body
JP2019018402A (en) * 2017-07-13 2019-02-07 日本化薬株式会社 Manufacturing method and bonding apparatus for laminate

Also Published As

Publication number Publication date
JP2023091052A (en) 2023-06-29
JP7287061B2 (en) 2023-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6721041B2 (en) Polyimide film laminate
JP7192799B2 (en) stiffener
JP7013875B2 (en) Laminated body, manufacturing method of laminated body, manufacturing method of flexible electronic device
JP6210201B2 (en) Method for manufacturing flexible electronic device
JP6688450B2 (en) Laminate, electronic device, and flexible electronic device manufacturing method
JP7205706B2 (en) LAMINATED BODY MANUFACTURING APPARATUS AND LAMINATED PRODUCTION METHOD
JP6802529B2 (en) Laminated body and its manufacturing method
JP6746920B2 (en) Flexible electronic device manufacturing method
JP6638415B2 (en) Method for manufacturing flexible electronic device
WO2018221374A1 (en) Layered body of polyimide film and inorganic substrate
JP7205687B2 (en) LAMINATED PRODUCT, LAMINATED PRODUCTION METHOD, AND HEAT-RESISTANT POLYMER FILM WITH METAL-CONTAINING LAYER
JP6780272B2 (en) Polymer composite film
JP7211374B2 (en) Film laminate manufacturing method and film laminate manufacturing apparatus
JP7287061B2 (en) Method for producing heat-resistant polymer film laminate
WO2023002920A1 (en) Laminate roll
JP7400273B2 (en) Polyimide film laminate and method for producing polyimide film laminate
JP2017149041A (en) Layered body and method for producing the same
JP7238235B2 (en) Method for manufacturing polyimide film laminate
KR20240035399A (en) laminate
WO2020203983A1 (en) Heat-resistant polymer film laminate and method for producing heat-resistant polymer film laminate
JP7452135B2 (en) Method for manufacturing polyimide film laminate
JP2021145045A (en) Stiffener with good quality and excellent bending resistance
JP2020111066A (en) Polymer composite film
WO2022113415A1 (en) Laminate
WO2022034809A1 (en) Laminate, method for manufacturing laminate, and method for manufacturing flexible electronic device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220202

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20221117

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20221206

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20230126

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230404

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230425

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230508

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7287061

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151