JP2020153631A - 加熱分解式排ガス除害装置及び逆流防止方法 - Google Patents
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- 低圧で運転される装置から真空ポンプを介して排出される排ガスを高温で処理する加熱分解式排ガス除害装置において、処理後の高温の排ガスを冷却水中に導入して冷却する水封式冷却手段を備えるとともに、前記真空ポンプの異常停止時に、前記真空ポンプから加熱分解式排ガス除害装置に至る排ガス経路内に、前記真空ポンプの上流側の真空破壊を行うための緊急パージガスを導入する緊急パージガス導入経路を設けたことを特徴とする加熱分解式排ガス除害装置。
- 前記緊急パージガスは、窒素ガスであることを特徴とする請求項1記載の加熱分解式排ガス除害装置。
- 低圧で運転される装置から真空ポンプを介して排出される排ガスを高温で処理する加熱分解式排ガス除害装置から前記低圧で運転される装置に向かって加熱処理後の高温の処理ガスが逆流することを防止する加熱分解式排ガス除害装置における逆流防止方法であって、処理後の高温の排ガスを冷却水中に導入して冷却する水封式冷却手段を備えるとともに、前記真空ポンプの異常停止時に、前記真空ポンプから加熱分解式排ガス除害装置に至る排ガス経路内に、前記真空ポンプの上流側の真空破壊を行うための緊急パージガスを導入することを特徴とする加熱分解式排ガス除害装置における逆流防止方法。
- 前記緊急パージガスは、窒素ガスであることを特徴とする請求項3記載の加熱分解式排ガス除害装置における逆流防止方法。
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