JP2020151794A - 表面被覆切削工具 - Google Patents
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Abstract
Description
ただ、前記従来のTi−Al系の複合窒化物層を被覆形成した被覆工具は、比較的耐摩耗性に優れるものの、高速高送り断続切削条件で用いた場合に異常損耗を発生しやすいことから、硬質被覆層の改善についての種々の提案がなされている。
該摩耗保護コーティングは、1.5μm〜17μmの厚みの少なくとも1つのTi1−xAlxCyNz(0.70≦x<1、0≦y<0.25、0.75≦z<1.15)層であって、前記Ti1−xAlxCyNz層が150nm以下複数の層を備える層状構造であって、同じ結晶構造(結晶相)を有し、Ti及びAlの化学量論的割合が交互に異なる周期的に交番する領域で形成されていること、および、少なくとも90vol%の面心立方結晶構造を有すること、を特徴とする被覆工具が記載されている。
「(1)工具基体の表面に、硬質被覆層が設けられた表面被覆切削工具であって、
(a)前記硬質被覆層は、平均層厚1.0〜20.0μmのTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層を少なくとも含み、
(b)前記TiとAlの複合窒化物層または複合炭窒化物層は、NaCl型の面心立方構造の結晶粒を少なくとも含み、
(c)前記工具基体の表面に垂直な方向から、前記工具基体に平行な切断面について解析した場合、TiとAlの組成が異なる前記NaCl型の面心立法構造の結晶粒が複数存在し、ぞれぞれを、結晶粒A群と結晶粒B群と区分するとき、
前記結晶粒A群を組成式:(Ti1−XAAlXA)(CYAN1−YA)で表すとき、AlのTiとAlの合量に占める含有割合XAの平均XAavg、および、CのCとNの合量に占める含有割合YAの平均YAavg(但し、XAavg、YAavgはいずれも原子比)が、それぞれ、0.75≦XAavg≦0.95、0.0000≦YAavg≦0.0150を満足し、
前記結晶粒B群を組成式:(Ti1−XBAlXB)(CYBN1−YB)で表すとき、AlのTiとAlの合量に占める含有割合XBの平均XBavg、および、CのCとNの合量に占める含有割合YBの平均YBavg(但し、XBavg、YBavgはいずれも原子比)が、0.70≦XBavg≦0.90、0.05≦XAavg−XBavg≦0.25、0.0000≦YBavg≦0.0150を満足し、
(d)前記切断面において、前記結晶粒A群の占める面積割合が20〜80%である、
ことを特徴とする表面被覆切削工具。
(2)前記結晶粒A群の結晶粒内に、TiとAlの周期的な組成変化が該結晶粒の<001>で表される等価の結晶方位のうちの一つの方位に沿って存在し、周期的に変化するXAの極大値の平均値と極小値の平均値との差ΔXAが0.03〜0.25であることを特徴とする前記(1)に記載の表面被覆切削工具。
(3)前記結晶粒B群の結晶粒内に、TiとAlの周期的な組成変化が該結晶粒の<001>で表される等価の結晶方位のうちの一つの方位に沿って存在し、周期的に変化するXBの極大値の平均値と極小値の平均値との差ΔXBが0.03〜0.25であることを特徴とする前記(1)または(2)に記載の表面被覆切削工具。
(4)前記工具基体と前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層との間にTiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、0.1〜20μmの合計平均層厚を有する下部層が存在することを特徴とする前記(1)乃至(3)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
(5)前記複合窒化物または複合炭窒化物層の上部に、少なくとも酸化アルミニウム層を含む上部層が1〜25μmの合計平均層厚で存在することを特徴とする前記(1)乃至(4)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。」
硬質被覆層は、TiAlCN層を少なくとも含む。このTiAlCN層を含む硬質被覆層は、硬さが高く、優れた耐摩耗性を有するが、特に平均層厚が1.0〜20.0μmのとき、その効果が際立って発揮される。その理由は、平均層厚が1.0μm未満では、平均層厚が薄いため長期の使用にわたって耐摩耗性を十分確保することができず、一方、その平均層厚が20.0μmを超えると、TiAlCN層の結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなるためである。
TiAlCN層においてNaCl型の面心立方構造の結晶粒が含まれていなければ本発明の目的を達成することは困難である。この目的を達成するためには、工具基体表面に平行な断面において、NaCl型の面心立方構造の結晶粒の占める面積割合が60%以上、好ましくは80%以上、より好ましくは、100%(全ての結晶粒がNaCl型の面心立方構造)であるとよい。
硬質被覆層を構成するTiAlCN層は、Al含有割合が異なる結晶粒A群と結晶粒B群を含む。
結晶粒A群の組成は、組成式:(Ti1−XAAlXA)(CYAN1−YA)で表すとき、AlのTiとAlの合量に占める含有割合XAの平均XAavgおよびCのCとNの合量に占める含有割合YAの平均YAavg(但し、XAavg、YAavgはいずれも原子比)が、それぞれ、0.75≦XAavg≦0.95、0.0000≦YAavg≦0.0150を満足し、
結晶粒B群の組成は、組成式:(Ti1−XBAlXB)(CYBN1−YB)で表すとき、AlのTiとAlの合量に占める含有割合XBの平均XBavgおよびCのCとNの合量に占める含有割合YBの平均YBavg(但し、XBavg、YBavgはいずれも原子比)が、0.70≦XBavg≦0.90、0.05≦XAavg−XBavg≦0.25、0.0000≦YBavg≦0.0150を満足することが好ましい。
(1)Alの平均含有割合
Alの平均含有割合が、結晶粒A群では、0.75≦XAavg≦0.95、結晶粒B群では、0.70≦XBavg≦0.90を満足することより、TiAlCN層は硬さを確保し、ダクタイル鋳鉄等の高速高送り切削に供した場合に、耐摩耗性が十分となり、しかも、相対的にTiの含有割合が減少させることがないため、脆化を招くことなく、耐チッピング性確保できるためである。
そして、結晶粒A群と結晶粒B群のAl含有割合が0.05≦XAavg−XBavg≦0.25を満足することにより、結晶粒A群と結晶粒B群との間で熱膨張係数の差が適切となって、適度な局所的な歪みが入り、耐欠損性が向上する。
結晶粒A群および結晶粒B群のCの平均含有割合YAavgとYBavgが共に、0.0000以上、0.0150以下の範囲の微量であるとき、TiAlCN層と工具基体もしくは後述する下部層との密着性が向上し、かつ、潤滑性が向上することによって切削時の衝撃を緩和し、結果としてTiAlCN層の耐欠損性および耐チッピング性が向上する。一方、Cの平均含有割合がこの範囲を逸脱すると、TiAlCN層の靭性が低下するため耐欠損性および耐チッピング性が逆に損なわれるため好ましくない。
前記に記載の通り、結晶粒A群と結晶粒B群との鑑別を行う。結晶粒内にTiとAlの周期的な組成変化が存在する試料等について、前記手法で鑑別が困難な場合、下記手法を追加で用いることで鑑別する。工具基体の表面に垂直な方向から、工具基体に平行な表面研磨面に対して、透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー分散型X線分析(Energy Dispersive X−ray Spectrometry:EDS)により、マッピング分析を行う。前記マッピング分析結果よりそれぞれの結晶粒毎に平均組成を求めと、Al含有量が相対的に高い結晶粒群と相対的に低い結晶粒群に分けられ、Al含有量が相対的に高い結晶粒群を結晶粒A群とし、Al含有量が相対的に低い結晶粒群を結晶粒B群とする。
工具基体に平行な断面において結晶粒A群の占める面積割合は、20〜80面積%であることが好ましい。この範囲とする理由は、20面積%未満であると、相対的に結晶粒B群の面積割合が増えて、結晶粒A群との熱膨張係数差に起因して生じる局所的なひずみの発生が小さくなり、一方、80面積%を超えると相対的に結晶粒A群の面積割合が支配的となり、結晶粒B群との熱膨張係数差に起因して生じる局所的なひずみの発生が小さくなるためである。より好ましい面積割合は、40〜60面積%である。
(1)結晶粒A群
結晶粒A群の結晶粒内に、TiとAlの周期的な組成変化が、その結晶粒の<001>で表される等価の結晶方位のうちの一つの方位に沿って存在することが好ましい。
ここで、周期的な組成変化とは、結晶粒の<001>で表される等価の結晶方位のうちの一つの方位に沿って、ライン分析を行い、Alの含有割合XAの変化をグラフ化したとき、XAの値がある間隔で繰り返されることを云う。図2に示すように、XAの変化を直線(Xm)で近似する。この直線は、直線と繰り返し変化を示す曲線に囲まれた領域の面積が直線の上側と下側とで等しくなるように引いたものである。この繰り返し変化をこの直線が横切る領域毎に、極大値(Pmax)と極小値(Pmin)を求め、この極大値の平均値と極小値の平均値との差ΔXAが0.03〜0.25であることが好ましい。ΔXAがこの範囲にあると、十分な硬度や耐欠損性がより一層向上する。
なお、グラフ化に当たり公知の測定ノイズ除去方法(例えば、移動平均法)を行うことはいうまでもない。
結晶粒B群の結晶粒内に、TiとAlの周期的な組成変化が、その結晶粒の<001>で表される等価の結晶方位のうちの一つの方位に沿って存在することが好ましい。
ここで、周期的な組成変化は、結晶粒A群と同じようにして求めるものであって、この極大値の平均値と極小値の平均値との差ΔXBが0.03〜0.25であることが好ましい。ΔXBがこの範囲にあると、十分な硬度や耐欠損性がより一層向上する。
TiとAlの周期的な組成変化は、透過型電子顕微鏡(TEM:例えば、倍率200000倍)を用いたTiAlCN層の観察にてその存在を確認する。その後、例えば、EDSを用いて、工具基体表面に平行な断面における400nm×400nmの領域について面分析を行い、NaCl型の面心立方構造の立方晶の結晶粒において縞状に色の濃淡の変化が見られたとき(図3を参照)、前記立方晶の結晶粒内に、TiAlCNにおけるTiとAlの周期的な組成変化が存在すると判断する。そして、当該結晶粒について、電子線解析を行うことにより周期的な組成変化がNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の<001>で表される等価の結晶方位のうちの一つの方位に沿って存在することを確認し、その方位に沿った、前記面分析の結果に基づいて濃淡から10周期分程度の組成変化が測定範囲に入る様に倍率を設定した上で、工具基体表面の法線方向に沿ってEDSによる線分析を5周期分の範囲で行い、その変化をグラフにプロットし、Alの含有割合の変化を直線近似した直により画定される領域ごとに、Alの含有割合の変化の極大値と極小値を求め、その差の平均値の差を算出する。
TiAlCN層を含む硬質被覆層は、それだけでも十分な耐チッピング性、耐摩耗性を奏するが、Tiの炭化物層、窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上のTi化合物層からなり、0.1〜20.0μmの合計平均層厚を有する下部層を設けた場合には、この層が奏する効果と相俟って、より一層優れた耐チッピング性、耐摩耗性が発揮される。ただし、Tiの炭化物層、窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上のTi化合物層からなる下部層を設ける場合、下部層の合計平均層厚が0.1μm未満では、下部層の効果が十分に奏されず、一方、20.0μmを超えると結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなる。
TiAlCN層の上部に、酸化アルミニウムを含む層を1.0〜25.0μmの合計平均層厚で上部層を設けると、より一層優れた耐チッピング性、耐摩耗性が発揮されて好ましい。ここで、合計平均層厚が1.0μm未満であると、上部層を設けた効果が十分に発揮されず、一方、25μmを超えると、チッピングが発生しやすくなる。
工具基体は、この種の工具基体として従来公知の基材であれば、本発明の目的を達成することを阻害するものでない限り、いずれのものも使用可能である。一例を挙げるならば、超硬合金(WC基超硬合金、WCの他、Coを含み、あるいはTi、Ta、Nb等の炭窒化物を添加したものも含むもの等)、サーメット(TiC、TiN、TiCN等を主成分とするもの等)、セラミックス(炭化チタン、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウムなど)、cBN焼結体、またはダイヤモンド焼結体のいずれかであることが好ましい。
TiAlCN層は、例えば、工具基体もしくは当該工具基体上にある前記下部層の上に、
特定組成の反応ガスを所定条件でCVD装置に供給することにより得ることができる。
すなわち、反応ガスは、NH3、N2、H2からなるガス群Aと、AlCl3、Al(CH3)3、TiCl4、N2、H2とからなガス群Bを別々にCVD装置に供給して、被成膜体の直前で混合する。
ガス群A:NH3:0.8〜1.6%、N2:0.0〜2.0%、H2:30.0〜35.0%
ガス群B:AlCl3:0.5〜0.7%、Al(CH3)3:0.00〜0.08%、
TiCl4:0.1〜0.3%、N2:0.0〜6.0%、H2:残り
(ガス群Aとガス群Bの%は、ガス群Aとガス群Bガスの合計に対する体積%である)
であり、
反応雰囲気圧力:4.5〜5.0kPa
反応雰囲気温度:750〜800℃
である。
ここでは、本発明被覆工具の実施例として、工具基体としてWC基超高圧焼結体を用いたインサート切削工具に適用したものについて述べるが、工具基体として、前記したものを用いた場合であっても同様であるし、ドリル、エンドミルに適用した場合も同様である。
ガス群A:NH3:0.8〜1.6%、N2:0.0〜2.0%、H2:30.0〜35.0%
ガス群B:AlCl3:0.5〜0.7%、Al(CH3)3:0.00〜0.08%、
TiCl4:0.1〜0.3%、N2:0.0〜6.0%、H2:残り
(ガス群Aとガス群Bの%は、ガス群Aとガス群Bガスの合計に対する体積%である)
反応雰囲気圧力:4.5〜5.0kPa
反応雰囲気温度:750〜800℃
ガス供給管の回転速度:10〜30rpm
ガス供給管の噴出孔角度:
α:60〜90°
β1およびβ2:90〜120°
γ1およびγ2:180°
なお、比較被覆工具4〜10については、表3に示される形成条件により、表4に示された下部層および/または上部層を形成した。
前記本発明被覆工具1〜10、比較被覆工具1〜10の硬質被覆層について、前述した方法を用いて、平均Al含有割合XAavg、XBavgと平均C含有割合YAavg、YBavgを算出した。また、TiとAlの組成変化の<001>で表される等価の方位に沿った周期の有無とAl含有割合の極大値の平均値と極小値の平均との差ΔXA、ΔXBを求めた。
これらの結果を表5にまとめた。なお、表5には記載していないが、発明被覆工具1〜10、比較被覆工具1〜10のいずれも、NaCl型面心立方構造の面積率は60%以上であることを確認している。
切削試験:湿式正面フライス切削加工
被削材:ダクタイル鋳鉄FCD450:幅 45mm
切削速度: 200m/min
切り込み: 1.0mm
一刃送り量: 1.0mm/刃
切削時間: 7分
(通常の切削速度: 150m/min)
表6に切削試験の結果を示す。なお、比較被覆工具1〜10については、チッピング発生が原因で寿命に至ったため、寿命に至るまでの時間を示す。
Claims (5)
- 工具基体の表面に、硬質被覆層が設けられた表面被覆切削工具であって、
(a)前記硬質被覆層は、平均層厚1.0〜20.0μmのTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層を少なくとも含み、
(b)前記TiとAlの複合窒化物層または複合炭窒化物層は、NaCl型の面心立方構造の結晶粒を少なくとも含み、
(c)前記工具基体の表面に垂直な方向から、前記工具基体に平行な切断面について解析した場合、TiとAlの組成が異なる前記NaCl型の面心立法構造の結晶粒が複数存在し、ぞれぞれを、結晶粒A群と結晶粒B群と区分するとき、
前記結晶粒A群を組成式:(Ti1−XAAlXA)(CYAN1−YA)で表すとき、AlのTiとAlの合量に占める含有割合XAの平均XAavg、および、CのCとNの合量に占める含有割合YAの平均YAavg(但し、XAavg、YAavgはいずれも原子比)が、それぞれ、0.75≦XAavg≦0.95、0.0000≦YAavg≦0.0150を満足し、
前記結晶粒B群を組成式:(Ti1−XBAlXB)(CYBN1−YB)で表すとき、AlのTiとAlの合量に占める含有割合XBの平均XBavg、および、CのCとNの合量に占める含有割合YBの平均YBavg(但し、XBavg、YBavgはいずれも原子比)が、0.70≦XBavg≦0.90、0.05≦XAavg−XBavg≦0.25、0.0000≦YBavg≦0.0150を満足し、
(d)前記切断面において、前記結晶粒A群の占める面積割合が20〜80%である、
ことを特徴とする表面被覆切削工具。 - 前記結晶粒A群の結晶粒内に、TiとAlの周期的な組成変化が該結晶粒の<001>で表される等価の結晶方位のうちの一つの方位に沿って存在し、周期的に変化するXAの極大値の平均値と極小値の平均値との差ΔXAが0.03〜0.25であることを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。
- 前記結晶粒B群の結晶粒内に、TiとAlの周期的な組成変化が該結晶粒の<001>で表される等価の結晶方位のうちの一つの方位に沿って存在し、周期的に変化するXBの極大値の平均値と極小値の平均値との差ΔXBが0.03〜0.25であることを特徴とする請求項1または2に記載の表面被覆切削工具。
- 前記工具基体と前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層との間にTiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、0.1〜20μmの合計平均層厚を有する下部層が存在することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
- 前記複合窒化物または複合炭窒化物層の上部に、少なくとも酸化アルミニウム層を含む上部層が1〜25μmの合計平均層厚で存在することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
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