JP2020146727A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2,2’ 光学フィルタ
3 内部空間
4 ケース
5 発光半導体モジュール
6 光学レンズ
7 レーザ発生部
8 画像処理装置
9 対物レンズ
10 被加工物
A 加工用レーザ光
B パイロットレーザ光
P 加工点
Claims (4)
- 可視光領域内の第1の波長を有するレーザ光を放出する複数の第1の半導体素子、これら複数の第1の半導体素子から発光されるレーザ光を光学的に集光する集光レンズおよび該集光レンズによって集光されたレーザ光を伝送するための伝送ファイバによって構成される発光半導体モジュールと、該発光半導体モジュールの伝送ファイバから出射されるレーザ光を加工用レーザ光として光学的に集光して被加工物に照射するための対物レンズとによって少なくとも構成されるレーザ加工装置において、
前記複数の半導体素子内に、前記第1の波長と異なる可視光領域内の第2の波長を有するレーザ光をパイロットレーザ光として発光させる少なくとも1つの第2の半導体素子を設けること、
前記発光半導体モジュールと前記対物レンズの間に、前記第1の波長を有する加工用レーザ光の反射率および前記第2の波長を有するパイロットレーザ光の反射率が異なる光学フィルタを設けること、および
前記被加工物で反射し前記光学フィルタを透過または反射した前記パイロットレーザ光を受光して前記加工用レーザの照射位置を特定する画像処理装置を具備することを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記光学フィルタは、前記第1の波長を有する加工用レーザ光をほぼ全反射させると共に、前記第2の波長を有するパイロットレーザ光を半反射および半透過させることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。
- 前記光学フィルタは、前記第1の波長を有する加工用レーザ光をほぼ全透過させると共に、前記第2の波長を有するパイロットレーザ光を半反射および半透過させることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。
- 前記加工用レーザは、前記第1の波長として450nmの波長を有する青色レーザ光であると共に、前記パイロットレーザは、前記第2の波長として530nmの波長を有する緑色レーザ光であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のレーザ加工装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH02142695A (ja) * | 1988-07-13 | 1990-05-31 | Sony Corp | レーザ加工装置 |
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-
2019
- 2019-03-14 JP JP2019046674A patent/JP7157450B2/ja active Active
Patent Citations (5)
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