JP2020131620A - フィルム構造体の製造方法及び製造装置 - Google Patents
フィルム構造体の製造方法及び製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020131620A JP2020131620A JP2019030442A JP2019030442A JP2020131620A JP 2020131620 A JP2020131620 A JP 2020131620A JP 2019030442 A JP2019030442 A JP 2019030442A JP 2019030442 A JP2019030442 A JP 2019030442A JP 2020131620 A JP2020131620 A JP 2020131620A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- roll
- width
- transfer
- plain
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 86
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 256
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 92
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 claims abstract description 47
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 79
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 50
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 49
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 21
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 17
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 17
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 102100029860 Suppressor of tumorigenicity 20 protein Human genes 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 2
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 101100018027 Pisum sativum HSP70 gene Proteins 0.000 description 1
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
- B29C59/04—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing using rollers or endless belts
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2007/00—Flat articles, e.g. films or sheets
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
Abstract
【解決手段】フィルム構造体の製造方法は、フィルムの表面の転写材料を第1加圧ロールによって第1転写ロールに加圧しながら第1硬化手段によって硬化させて第1硬化膜を形成する第1硬化工程と、フィルムの裏面の転写材料を第2加圧ロールによって第2転写ロールに加圧しながら第2硬化手段によって硬化させて第2硬化膜を形成する第2硬化工程と、第2硬化膜の幅方向端部の位置を検出するエッジ検出工程と、エッジ検出工程によって検出された第2硬化膜の幅方向端部からフィルムの一方側の幅方向端部までの無地幅が予め設定された閾値範囲内にあるかどうかを判定する判定工程と、判定工程において無地幅が閾値範囲を超えると判定された場合、無地幅が閾値範囲内に収まるように第2加圧ロールによる加圧力を調整する加圧力調整工程とを含む。
【選択図】図1
Description
近年、ディスプレイ、照明等の商品に用いられる光学部品において、特殊光学特性を発揮するナノメートル(nm)オーダーからミクロン(μm)オーダーの微細形状の硬化膜を形成することが望まれている。このような硬化膜を形成することで、光の反射や回折を制御可能な従来にない新機能を発現したデバイスを実現することができる。
UVインプリント法によるロールトゥロールインプリント方式によって微細形状を形成する一般的な工法について説明する(特許文献1参照)。図6は、一般的なロールトゥロールインプリント方式の概略模式図である。
以下、本発明に係る実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではない。
C1 制御部
1 フィルム
2 ダイユニット
3 転写材料
4 転写ロール
5 加圧ロール
6 UV光源
7 離型ロール
8 転写形状
9 硬化膜
10 カメラ
11 第1コーティングロール
12 第2コーティングロール
21 第1ダイユニット
22 第2ダイユニット
31 第1転写材料
32 第2転写材料
41 第1転写ロール
42 第2転写ロール
50 加圧力可変機構
51 第1加圧ロール
52 第2加圧ロール
53 軸部
54 軸受け部
55 ロードセル
56 駆動部
57 ガイド
61 第1硬化手段
62 第2硬化手段
71 第1離型ロール
72 第2離型ロール
81 第1転写形状
82 第2転写形状
91 第1硬化膜
92 第2硬化膜
93,94 無地部
100 エッジ検出部
A1,A2 閾値範囲
W1 フィルム幅
W2 転写幅
W3,W4 無地幅
W5,W7 下限値
W6,W8 上限値
ST10 第1硬化工程
ST20 第2硬化工程
ST30 相対位置検出工程
ST40 位置調整工程
ST50 エッジ検出工程
ST60 判定工程
ST70 算出工程
ST80 加圧力調整工程
Claims (15)
- 連続走行するフィルムの両面に転写材料を転写して硬化させたフィルム構造体を製造する方法であって、
フィルムの表面に塗布された紫外線硬化樹脂を含む転写材料を、第1加圧ロールによって第1転写ロールに加圧しながら第1硬化手段によって硬化させて第1硬化膜を形成する第1硬化工程と、
前記フィルムの裏面に塗布された紫外線硬化樹脂を含む転写材料を、第2加圧ロールによって第2転写ロールに加圧しながら第2硬化手段によって硬化させて第2硬化膜を形成する第2硬化工程と、
前記第2硬化膜の幅方向端部の位置を検出するエッジ検出工程と、
前記エッジ検出工程によって検出された前記第2硬化膜の前記幅方向端部から前記フィルムの一方側の幅方向端部までの無地幅が、予め設定された閾値範囲内にあるかどうかを判定する判定工程と、
前記判定工程において前記無地幅が前記閾値範囲を超えると判定された場合、前記無地幅が前記閾値範囲内に収まるように前記第2加圧ロールによる加圧力を調整する加圧力調整工程と、
を含む、フィルム構造体の製造方法。 - 前記判定工程において前記無地幅が前記閾値範囲を超えると判定された場合、前記無地幅において前記閾値範囲を超えたズレ幅に基づいて、前記加圧力調整工程で用いる前記第2加圧ロールによる加圧力を算出する算出工程を含む、請求項1に記載のフィルム構造体の製造方法。
- 前記第1硬化膜に対する前記第2硬化膜の相対位置を検出する相対位置検出工程と、
前記相対位置検出工程によって検出された前記相対位置を、前記第2転写ロールを移動させることによって調整する位置調整工程と、を含む、請求項1又は2に記載のフィルム構造体の製造方法。 - 前記閾値範囲は、上限値と下限値とを含み、
前記判定工程において、前記無地幅が前記上限値を上回って前記閾値範囲を超えると判定された場合、前記加圧力調整工程において、前記第2加圧ロールによる加圧力を増大させ、
前記判定工程において、前記無地幅が前記下限値を下回って前記閾値範囲を超えると判定された場合、前記加圧力調整工程において、前記第2加圧ロールによる加圧力を減少させる、請求項1〜3のいずれか一項に記載のフィルム構造体の製造方法。 - 前記エッジ検出工程において、前記第2硬化膜の前記幅方向端部の位置として、前記第2硬化膜の幅方向一端部及び幅方向他端部の位置を検出し、
前記判定工程において、前記第2硬化膜の前記幅方向一端部から前記フィルムの幅方向一端部までの無地幅と、前記第2硬化膜の前記幅方向他端部から前記フィルムの幅方向他端部までの無地幅と、を予め設定された閾値範囲内にあるかどうかをそれぞれ判定する、請求項1〜4のいずれか一項に記載のフィルム構造体の製造方法。 - 前記加圧力調整工程において、前記第2加圧ロールによる加圧力として、前記第2加圧ロールの軸方向一方側及び軸方向他方側の加圧力をそれぞれ独立して調整する、請求項5に記載のフィルム構造体の製造方法。
- 連続走行するフィルムの両面に転写材料を転写して硬化させたフィルム構造体を製造する装置であって、
表面に転写形状を有する第1転写ロールと、
紫外線硬化樹脂を含む転写材料が塗布されたフィルムの表面を前記第1転写ロールに加圧する第1加圧ロールと、
前記第1加圧ロールによって加圧されている転写材料を硬化させて第1硬化膜を形成する第1硬化手段と、
前記第1転写ロールよりも下流側に配置され、表面に転写形状を有する第2転写ロールと、
紫外線硬化樹脂を含む転写材料が塗布された前記フィルムの裏面を前記第2転写ロールに加圧する第2加圧ロールと、
前記第2加圧ロールによって加圧されている転写材料を硬化させて第2硬化膜を形成する第2硬化手段と、
前記第2硬化膜の幅方向端部の位置を検出するエッジ検出部と、
前記第2加圧ロールによる加圧力を可変とする加圧力可変機構と、
制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記エッジ検出部によって検出された前記第2硬化膜の前記幅方向端部から前記フィルムの一方側の幅方向端部までの無地幅が予め設定された閾値範囲を超えるとき、前記無地幅が前記閾値範囲内に収まるように前記加圧力可変機構を制御する、フィルム構造体の製造装置。 - 前記制御部は、前記無地幅が前記閾値範囲を超えるとき、前記無地幅において前記閾値範囲を超えたズレ幅に基づいて、前記第2加圧ロールによる加圧力を決定する、請求項7に記載のフィルム構造体の製造装置。
- 前記第2転写ロールは、前記フィルムに対する相対位置を調整可能に設けられる、請求項7又は8に記載のフィルム構造体の製造装置。
- 前記閾値範囲は、上限値と下限値とを含み、
前記制御部は、
前記無地幅が前記上限値を上回って前記閾値範囲を超えるとき、前記加圧力可変機構によって、前記第2加圧ロールによる加圧力を増大させ、
前記無地幅が前記下限値を下回って前記閾値範囲を超えるとき、前記加圧力可変機構によって、前記第2加圧ロールによる加圧力を減少させる、請求項7〜9のいずれか一項に記載のフィルム構造体の製造装置。 - 前記エッジ検出部は、前記第2硬化膜の前記幅方向端部の位置として、前記第2硬化膜の幅方向一端部及び幅方向他端部の位置を検出し、
前記制御部は、前記第2硬化膜の前記幅方向一端部から前記フィルムの幅方向一端部までの無地幅と、前記第2硬化膜の前記幅方向他端部から前記フィルムの幅方向他端部までの無地幅と、をそれぞれ、予め設定された閾値範囲内に収めるように前記加圧力可変機構を制御する、請求項7〜10のいずれか一項に記載のフィルム構造体の製造装置。 - 前記加圧力可変機構は、前記第2加圧ロールによる加圧力として、前記第2加圧ロールの軸方向一方側及び軸方向他方側の加圧力をそれぞれ独立して調整する、請求項11に記載のフィルム構造体の製造装置。
- 前記加圧力可変機構は、前記第2加圧ロールから軸方向外側に延びる軸部と、前記軸部を保持する軸受け部と、前記第2加圧ロールを前記第2転写ロールに対して相対的に移動させるように前記軸受け部を駆動させる駆動部と、を有する、請求項7〜12のいずれか一項に記載のフィルム構造体の製造装置。
- 前記加圧力可変機構は、前記軸受け部の移動を案内するガイドを備える、請求項13に記載のフィルム構造体の製造装置。
- 前記駆動部は、前記第2転写ロールの軸線と前記第2加圧ロールの軸線とが並ぶ方向に沿って、前記軸受け部を移動させるシリンダを有する、請求項13又は14に記載のフィルム構造体の製造装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019030442A JP7386449B2 (ja) | 2019-02-22 | 2019-02-22 | フィルム構造体の製造方法及び製造装置 |
CN202010083586.8A CN111605174A (zh) | 2019-02-22 | 2020-02-07 | 膜构造体的制造方法以及制造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019030442A JP7386449B2 (ja) | 2019-02-22 | 2019-02-22 | フィルム構造体の製造方法及び製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020131620A true JP2020131620A (ja) | 2020-08-31 |
JP7386449B2 JP7386449B2 (ja) | 2023-11-27 |
Family
ID=72203436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019030442A Active JP7386449B2 (ja) | 2019-02-22 | 2019-02-22 | フィルム構造体の製造方法及び製造装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7386449B2 (ja) |
CN (1) | CN111605174A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7070956B1 (ja) | 2021-10-26 | 2022-05-18 | 株式会社 ベアック | 貼付装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007062197A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Dainippon Printing Co Ltd | エンボス加工装置 |
JP2007264184A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Toppan Printing Co Ltd | 透過型リアスクリーン及びその製造方法 |
JP2008535682A (ja) * | 2005-03-09 | 2008-09-04 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 微細複製物品の作製装置および方法 |
JP2009248431A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Japan Steel Works Ltd:The | 成形体の製造方法および製造装置 |
JP2013193415A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | フィルムの製造方法 |
JP2019018356A (ja) * | 2017-07-11 | 2019-02-07 | 東芝機械株式会社 | ディスペンサ塗工式転写装置、及び、ディスペンサ塗工式転写方法 |
JP2019025753A (ja) * | 2017-07-28 | 2019-02-21 | 東芝機械株式会社 | パターン転写装置およびパターン転写方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008064819A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
CN204566673U (zh) * | 2015-01-22 | 2015-08-19 | 广东仕诚塑料机械有限公司 | 一种薄膜的加热印花装置 |
JP6567335B2 (ja) * | 2015-06-19 | 2019-08-28 | 旭化成株式会社 | フィルム状微細構造体の製造方法及び転写装置 |
JP2017109378A (ja) * | 2015-12-16 | 2017-06-22 | 株式会社Screenホールディングス | 転写装置および転写方法 |
-
2019
- 2019-02-22 JP JP2019030442A patent/JP7386449B2/ja active Active
-
2020
- 2020-02-07 CN CN202010083586.8A patent/CN111605174A/zh active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008535682A (ja) * | 2005-03-09 | 2008-09-04 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 微細複製物品の作製装置および方法 |
JP2007062197A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Dainippon Printing Co Ltd | エンボス加工装置 |
JP2007264184A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Toppan Printing Co Ltd | 透過型リアスクリーン及びその製造方法 |
JP2009248431A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Japan Steel Works Ltd:The | 成形体の製造方法および製造装置 |
JP2013193415A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | フィルムの製造方法 |
JP2019018356A (ja) * | 2017-07-11 | 2019-02-07 | 東芝機械株式会社 | ディスペンサ塗工式転写装置、及び、ディスペンサ塗工式転写方法 |
JP2019025753A (ja) * | 2017-07-28 | 2019-02-21 | 東芝機械株式会社 | パターン転写装置およびパターン転写方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7070956B1 (ja) | 2021-10-26 | 2022-05-18 | 株式会社 ベアック | 貼付装置 |
WO2023074352A1 (ja) * | 2021-10-26 | 2023-05-04 | 株式会社 ベアック | 貼付装置 |
JP2023064530A (ja) * | 2021-10-26 | 2023-05-11 | 株式会社 ベアック | 貼付装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7386449B2 (ja) | 2023-11-27 |
CN111605174A (zh) | 2020-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7444932B2 (en) | Apparatus and method for making microreplicated article | |
KR102328775B1 (ko) | 가요성 스탬프로 개별 기판을 임프린트하기 위한 장치 | |
JP5048644B2 (ja) | 微細複製物品の作製装置および作製方法 | |
EP1972997B1 (en) | Nano-imprinting apparatus and method | |
US20150314580A1 (en) | Lamination method and laminate | |
WO2012046660A1 (ja) | モールド剥離装置 | |
US9649787B2 (en) | Sheet-shaped mold position detection device, transfer device and transfer method | |
US9452563B2 (en) | Transfer system and transfer method | |
JP7386449B2 (ja) | フィルム構造体の製造方法及び製造装置 | |
US11518081B2 (en) | Method and apparatus for manufacturing film structure | |
US9156193B2 (en) | Transfer device | |
KR20180112205A (ko) | 임프린트 장치 및 이의 박리 결함 검출 방법 | |
JP4970975B2 (ja) | 光学シート用成形体の製造方法、光学シート用成形体の製造装置、及び光学シート用成形体 | |
US10431456B2 (en) | Imprint apparatus and method | |
KR101541687B1 (ko) | 텐션 조절장치를 구비한 롤 코팅장치 | |
JP2003047900A (ja) | 塗布装置 | |
JP2020009899A (ja) | 平坦化層形成装置、平坦化層の製造方法、および物品製造方法 | |
KR102170768B1 (ko) | 익스팬더 롤을 이용한 정밀 인압 제어부를 갖는 롤투롤 인쇄 장치 | |
JP7217440B2 (ja) | フィルム構造体の製造方法および製造装置 | |
JP7493181B2 (ja) | フィルム構造体の製造方法及び製造装置 | |
KR20230150095A (ko) | 2차 전지 생산용 갭 제어 장치 및 방법 | |
JP2004269113A (ja) | 搬送方法、搬送装置、塗布方法及び塗布物製造方法 | |
JP2023096280A (ja) | 電極シートの製造方法 | |
KR20200102069A (ko) | 임프린팅 연속 공정을 위한 가압 롤 장치 | |
JPH11128822A (ja) | 塗布方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211207 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221025 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230110 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20230307 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20230530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230829 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20230905 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231017 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231102 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7386449 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |