JP2020118608A - 測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
コネクタを備える測定対象物が着脱可能に載置される測定台と、
一端が前記コネクタに接触して電気的に接続される第1接触部と、前記第1接触部に電気的に接続される第2接触部と、を有する可動ブロックと、
前記可動ブロックを測定位置と退避位置とに移動させる移動機構と、
少なくとも前記可動ブロックが測定位置にある際に、前記第2接触部の一端と接続され、前記測定台に固定された固定接触部と、
一端が前記固定接触部と接続され、他端が外部機器と接続されるケーブルと、を備え、
前記可動ブロックは、前記測定位置において、測定対象物のコネクタと前記第1接触部とが接続され、
前記可動ブロックは、前記退避位置において、測定対象物のコネクタと前記第1接触部とが外されている、
測定装置である。
以下に、本発明の実施形態1にかかる測定装置1について説明する。図1は、実施形態1における測定装置1を示す概略側面図である。図2は、実施形態1における測定装置1を示す概略上面図である。
次に、本発明の実施形態2の測定装置1Bについて図7および図8を参照して説明する。図7は、実施形態2における測定装置1Bの概略側面図である。図8は、測定対象物3Bの一例を示す図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態1の測定装置1と実施形態2の測定装置1Bと共通である。
次に、本発明の実施形態3の測定装置について図9を参照して説明する。図9は、実施形態2における測定装置1Cの側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態1の測定装置1と実施形態2の測定装置1Cと共通である。
次に、本発明の実施形態4の測定装置1Dについて図10を参照して説明する。図10は、実施形態4における測定装置1Dの概略側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態1の測定装置1と実施形態4の測定装置1Dと共通である。
次に、本発明の実施形態5の測定装置1Eについて図11を参照して説明する。図11は、実施形態5における実施形態5における測定装置の概略側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態1の測定装置1と実施形態5の測定装置1Eと共通である。
次に、本発明の実施形態6の測定装置1Fについて図12を参照して説明する。図12は、実施形態6における測定装置の概略側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態1の測定装置1と実施形態6の測定装置1Fと共通である。
次に、本発明の実施形態7の測定装置1Gについて図13を参照して説明する。図13は、実施形態7における測定装置の概略側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態1の測定装置1と実施形態7の測定装置1Gと共通である。
3、3B 測定対象物
5−5F 測定治具
7 信号供給部
9 測定器
11 治具基板
13 測定台
14 ワークポケット
15、15F、15G 可動ブロック
17 搬送ユニット
19 コネクタ
19a 高周波コネクタ
19b 多ピンコネクタ
21 第1接触部
21a プローブ
21b 多ピンプローブ
21k 一端
21m 他端
23 導体
23k 一端
23m 他端
25 第2接触部
25a プローブ
25b 多ピンプローブ
25m 一端
25k 他端
26 コネクタ
27、27C 固定接触部
27a 高周波コネクタ
27b 多ピンコネクタ
29 ケーブル
31 接続コネクタ
31a 高周波接続コネクタ
31b 多ピン接続コネクタ
33 導体
33a 導体
33b 導体
39 制御部
41 アンテナ回路
43 アンテナ
Claims (12)
- コネクタを備える測定対象物が着脱可能に載置される測定台と、
一端が前記コネクタに接触して電気的に接続される第1接触部と、前記第1接触部に電気的に接続される第2接触部と、を有する可動ブロックと、
前記可動ブロックを測定位置と退避位置とに移動させる移動機構と、
少なくとも前記可動ブロックが測定位置にある際に、前記第2接触部の一端と接続され、前記測定台に固定された固定接触部と、
一端が前記固定接触部と接続され、他端が外部機器と接続されるケーブルと、を備え、
前記可動ブロックは、前記測定位置において、前記測定対象物のコネクタと前記第1接触部とが接続され、
前記可動ブロックは、前記退避位置において、前記測定対象物のコネクタと前記第1接触部とが外されている、
測定装置。 - 前記固定接触部は、前記第2接触部の一端と接触および分離可能である、
請求項1に記載の測定装置。 - 前記固定接触部を支持する治具基板を備え、
前記治具基板は前記測定台に固定される、
請求項2に記載の測定装置。 - 前記第1接触部および前記第2接触部は、それぞれ、プローブであり、
前記固定接触部は、コネクタである、
請求項1から3のいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記第1接触部および前記固定接触部は、それぞれ、プローブであり、
前記第2接触部は、コネクタである、
請求項1から3のいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記プローブは高周波プローブであり、
前記コネクタは高周波コネクタである、
請求項4または5に記載の測定装置。 - 前記第1接触部の他端と前記第2接触部の他端とを接続し、前記可動ブロックに固定される導体を有する、請求項1から6のいずれか1つに記載の測定装置。
- 前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを上下方向および水平方向に接近および離隔する搬送ユニットを備える、
請求項1から7のいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを上下方向に接近および離隔するスライダを備える、
請求項1から7のいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを回転方向に接近および離隔するロータリジョイントを備える、
請求項1から7のいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを斜め方向に接近および離隔するスライダを備える、
請求項1から7のいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記測定対象物は、高周波回路モジュールである、
請求項1から11のいずれか1つに記載の測定装置。
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Citations (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6283974U (ja) * | 1985-11-14 | 1987-05-28 | ||
JPS63163182A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-06 | Fujitsu Ltd | プリント板試験接続装置 |
JPH0682583U (ja) * | 1993-04-28 | 1994-11-25 | 安藤電気株式会社 | 高低温下でのリードフレーム付きicの多数個接触機構 |
JPH10125410A (ja) * | 1996-10-16 | 1998-05-15 | Amp Japan Ltd | 高周波プローブ装置及びそれに使用する高周波コネクタ |
JPH10123200A (ja) * | 1996-10-22 | 1998-05-15 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 微小ピッチコネクタの検査装置 |
JPH11248776A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-09-17 | Buren Child Kk | 基板検査装置 |
JPH11316255A (ja) * | 1998-05-01 | 1999-11-16 | Ricoh Co Ltd | 電磁波耐久性測定装置 |
JP2000180502A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-30 | Advantest Corp | 電子部品試験装置 |
JP2002207064A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Mitsubishi Electric Corp | Icテスト装置 |
JP2002228708A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-14 | Nec Eng Ltd | 半導体装置の測定装置 |
JP2005332994A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Kyocera Corp | 電波吸収体の特性評価方法および特性評価装置 |
JP2007064936A (ja) * | 2005-09-02 | 2007-03-15 | Jsr Corp | 回路基板の検査装置および回路基板の検査方法 |
JP2007163463A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 検査装置および検査方法 |
JP2011022045A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Tohoku Univ | 集積回路基板用検査装置と集積回路基板の検査方法 |
JP2011108719A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Panasonic Corp | 高周波装置 |
JP2012202843A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2013096935A (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-20 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法及びプローブ装置 |
JP2015094741A (ja) * | 2013-11-14 | 2015-05-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | モジュールソケット |
WO2018092457A1 (ja) * | 2016-11-16 | 2018-05-24 | 富士電機株式会社 | 半導体試験回路、半導体試験装置および半導体試験方法 |
-
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Patent Citations (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6283974U (ja) * | 1985-11-14 | 1987-05-28 | ||
JPS63163182A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-06 | Fujitsu Ltd | プリント板試験接続装置 |
JPH0682583U (ja) * | 1993-04-28 | 1994-11-25 | 安藤電気株式会社 | 高低温下でのリードフレーム付きicの多数個接触機構 |
JPH10125410A (ja) * | 1996-10-16 | 1998-05-15 | Amp Japan Ltd | 高周波プローブ装置及びそれに使用する高周波コネクタ |
JPH10123200A (ja) * | 1996-10-22 | 1998-05-15 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 微小ピッチコネクタの検査装置 |
JPH11248776A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-09-17 | Buren Child Kk | 基板検査装置 |
JPH11316255A (ja) * | 1998-05-01 | 1999-11-16 | Ricoh Co Ltd | 電磁波耐久性測定装置 |
JP2000180502A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-30 | Advantest Corp | 電子部品試験装置 |
JP2002207064A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Mitsubishi Electric Corp | Icテスト装置 |
JP2002228708A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-14 | Nec Eng Ltd | 半導体装置の測定装置 |
JP2005332994A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Kyocera Corp | 電波吸収体の特性評価方法および特性評価装置 |
JP2007064936A (ja) * | 2005-09-02 | 2007-03-15 | Jsr Corp | 回路基板の検査装置および回路基板の検査方法 |
JP2007163463A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 検査装置および検査方法 |
JP2011022045A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Tohoku Univ | 集積回路基板用検査装置と集積回路基板の検査方法 |
JP2011108719A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Panasonic Corp | 高周波装置 |
JP2012202843A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2013096935A (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-20 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法及びプローブ装置 |
JP2015094741A (ja) * | 2013-11-14 | 2015-05-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | モジュールソケット |
WO2018092457A1 (ja) * | 2016-11-16 | 2018-05-24 | 富士電機株式会社 | 半導体試験回路、半導体試験装置および半導体試験方法 |
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