JP2020112430A - 磁気センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
気抵抗パターンは、それぞれの一端側が直列に接続された第2のブリッジ回路を構成しており、第1のブリッジ回路と第2のブリッジ回路は、並列に接続されてホイートストンブリッジ回路を構成しており、第1の磁気抵抗パターンの他端側もしくは、第2の磁気抵抗パターンの他端側の少なくとも一方には、ワイヤが選択的に接続される複数のパッドを磁気抵抗パターンの延伸方向に沿って有しており、第3の磁気抵抗パターンの他端側もしくは、第4の磁気抵抗パターンの他端側の少なくとも一方には、ワイヤが選択的に接続される複数のパッドを磁気抵抗パターンの延伸方向に沿って有している。
2aと、磁気抵抗MR7,MR8を直列に接続したブリッジ回路BR2bを有している。磁気抵抗MR5は、磁気抵抗パターン12Aで構成される。磁気抵抗MR6は、磁気抵抗パターン12Bで構成される。磁気抵抗MR7は、磁気抵抗パターン12Cで構成される。磁気抵抗MR8は、磁気抵抗パターン12Dで構成される。
1A〜11D、12A〜12D)の製膜段階で生じる磁気抵抗値のバラツキを抑制することができる。つまり、ブリッジ回路(BR1a,BR1b,BR2a,BR2b)におけるオフセットドリフトを抑制することができる。この結果、磁気センサ100の回路素子20における回路規模を小型化することができる。
以下に磁気センサの変形例について説明する。変形例と上述した実施の形態の違いは磁気抵抗素子であり、上述した実施の形態と同様の構成については同じ符号を付して説明する。
の磁気センサユニットにおいて有効である。
11A〜11D、12A〜12D、51A〜51D、52A〜52D 磁気抵抗パターン
13 基板
15 パッド
20 回路素子
41 ワイヤ
100 磁気センサ
BR1、BR2 ホイートストンブリッジ回路
BR1a、BR1b、BR2a、BR2b ブリッジ回路
Claims (8)
- 検出磁界の向きを検出する検出部と、
前記検出部から出力される検出信号の信号処理を行う回路素子と、
前記検出部と前記回路素子とを電気的に接続するワイヤと、を備え、
前記検出部は、基板と、前記基板の主面に配置された第1の磁気抵抗パターンと第2の磁気抵抗パターンとを有しており、
前記第1の磁気抵抗パターンと前記第2の磁気抵抗パターンは、それぞれの一端側が直列に接続されたブリッジ回路を構成しており、
前記第1の磁気抵抗パターンの他端側もしくは、前記第2の磁気抵抗パターンの他端側の少なくとも一方には、前記ワイヤが選択的に接続される複数のパッドを磁気抵抗パターンの延伸方向に沿って有している、
磁気センサ。 - 前記第1の磁気抵抗パターンに前記複数のパッドを配置する場合は、前記複数のパッドを前記第1の磁気抵抗パターンにおける前記基板の外周側に配置し、
前記第2の磁気抵抗パターンに前記複数のパッドを配置する場合は、前記複数のパッドを前記第2の磁気抵抗パターンにおける前記基板の外周側に配置する、
請求項1に記載の磁気センサ。 - 請求項1または請求項2に記載の磁気センサにおいて、
前記第1の磁気抵抗パターンの磁気抵抗値を測定する第1のステップと、
前記第1のステップで測定した磁気抵抗値に応じて前記第1の磁気抵抗パターンに配置された複数の前記パッドから前記ワイヤを接続するパッドを選択する第2のステップと、
前記第2の磁気抵抗パターンの磁気抵抗値を測定する第3のステップと、
前記第3のステップで測定した磁気抵抗値に応じて前記第2の磁気抵抗パターンに配置された複数の前記パッドから前記ワイヤを接続するパッドを選択する第4のステップと、を含む、
磁気センサの製造方法。 - さらに、前記回路素子においてオフセットドリフトの演算処理を行う第5のステップを含む請求項3に記載の磁気センサの製造方法。
- 検出磁界の向きを検出する検出部と、
前記検出部から出力される検出信号の信号処理を行う回路素子と、
前記検出部と前記回路素子とを電気的に接続するワイヤと、を備え、
前記検出部は、基板と、前記基板の主面に配置された第1の磁気抵抗パターンと第2の磁気抵抗パターンと第3の磁気抵抗パターンと第4の磁気抵抗パターンを有しており、
前記第1の磁気抵抗パターンと前記第2の磁気抵抗パターンは、それぞれの一端側が直列に接続された第1ブリッジ回路を構成しており、
前記第3の磁気抵抗パターンと前記第4の磁気抵抗パターンは、それぞれの一端側が直列に接続された第2のブリッジ回路を構成しており、
前記第1のブリッジ回路と前記第2のブリッジ回路は、並列に接続されてホイートストンブリッジ回路を構成しており、
前記第1の磁気抵抗パターンの他端側もしくは、前記第2の磁気抵抗パターンの他端側の少なくとも一方には、前記ワイヤが選択的に接続される複数のパッドを磁気抵抗パターンの延伸方向に沿って有しており、
前記第3の磁気抵抗パターンの他端側もしくは、前記第4の磁気抵抗パターンの他端側の少なくとも一方には、前記ワイヤが選択的に接続される複数のパッドを磁気抵抗パターンの延伸方向に沿って有している、
磁気センサ。 - 前記第1の磁気抵抗パターンに前記複数のパッドを配置する場合は、前記複数のパッドを前記第1の磁気抵抗パターンにおける前記基板の外周側に配置し、
前記第2の磁気抵抗パターンに前記複数のパッドを配置する場合は、前記複数のパッドを前記第2の磁気抵抗パターンにおける前記基板の外周側に配置し、
前記第3の磁気抵抗パターンに前記複数のパッドを配置する場合は、前記複数のパッドを前記第3の磁気抵抗パターンにおける前記基板の外周側に配置し、
前記第4の磁気抵抗パターンに前記複数のパッドを配置する場合は、前記複数のパッドを前記第4の磁気抵抗パターンにおける前記基板の外周側に配置する、
請求項5に記載の磁気センサ。 - 請求項5または請求項6に記載の磁気センサにおいて、
前記第1の磁気抵抗パターンの磁気抵抗値を測定する第1のステップと、
前記第1のステップで測定した磁気抵抗値に応じて前記第1の磁気抵抗パターンに配置された複数の前記パッドから前記ワイヤを接続するパッドを選択する第2のステップと、
前記第2の磁気抵抗パターンの磁気抵抗値を測定する第3のステップと、
前記第3のステップで測定した磁気抵抗値に応じて前記第2の磁気抵抗パターンに配置された複数の前記パッドから前記ワイヤを接続するパッドを選択する第4のステップと、
前記第3の磁気抵抗パターンの磁気抵抗値を測定する第5のステップと、
前記第5のステップで測定した磁気抵抗値に応じて前記第3の磁気抵抗パターンに配置された複数の前記パッドから前記ワイヤを接続するパッドを選択する第6のステップと、
前記第4の磁気抵抗パターンの磁気抵抗値を測定する第7のステップと、
前記第7のステップで測定した磁気抵抗値に応じて前記第4の磁気抵抗パターンに配置された複数の前記パッドから前記ワイヤを接続するパッドを選択する第8のステップと、を含む、
磁気センサの製造方法。 - さらに、前記回路素子においてオフセットドリフトの演算処理を行う第9のステップを含む請求項7に記載の磁気センサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019003223A JP2020112430A (ja) | 2019-01-11 | 2019-01-11 | 磁気センサおよびその製造方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019003223A JP2020112430A (ja) | 2019-01-11 | 2019-01-11 | 磁気センサおよびその製造方法 |
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JP2019003223A Pending JP2020112430A (ja) | 2019-01-11 | 2019-01-11 | 磁気センサおよびその製造方法 |
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---|---|
JP (1) | JP2020112430A (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5513959A (en) * | 1978-07-17 | 1980-01-31 | Nec Corp | Ferromagnetic resistance effect element |
JPS63147381A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-20 | Fujitsu Ltd | 磁気検出素子 |
JPH02302683A (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-14 | Tokai Rika Co Ltd | 基準電圧発生装置 |
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JP2016050841A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 株式会社東海理化電機製作所 | 磁気検出装置 |
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-
2019
- 2019-01-11 JP JP2019003223A patent/JP2020112430A/ja active Pending
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