JP2020094620A - Vibration elimination structure - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、除振構造に関するものである。 The present invention relates to a vibration isolation structure.
従来、床やテーブルからの振動を除振対象物である機械器具に伝えたくない場合には、振動を除振するための除振構造が用いられている。 Conventionally, when it is not desired to transmit the vibration from the floor or the table to the mechanical device that is the vibration isolation target, a vibration isolation structure for isolating the vibration is used.
このような除振構造としては、例えば、垂直方向の振動と水平方向の振動をそれぞれ抑制する除振マウントが提案されている(例えば、特許文献1参照)。 As such an anti-vibration structure, for example, an anti-vibration mount that suppresses vertical vibration and horizontal vibration has been proposed (for example, see Patent Document 1).
除振対象物が電子顕微鏡等の精密機器である場合、床等から伝達される振動の影響を受けると機器の性能や機能を充分に発揮できない。そのため、コイルばねによって振動を低周波にするとともに、振動除振構造のダンパ機構を確実に機能させて振動を早期に減衰させる必要がある。このため、従来の除振構造としては、コイルばねと、コイルばねの自由振動を抑えて減衰させるためのダンパ機構とを並列に設けたものが一般的である。 When the object of vibration isolation is a precision device such as an electron microscope, the performance and function of the device cannot be fully exhibited when affected by vibration transmitted from the floor or the like. Therefore, it is necessary to reduce the vibration at a low frequency by the coil spring and to surely activate the damper mechanism of the vibration damping structure to damp the vibration early. Therefore, a conventional vibration isolation structure is generally one in which a coil spring and a damper mechanism for suppressing and damping free vibration of the coil spring are provided in parallel.
しかしながら、発明者は、ダンパ機構はコイルばねの変位に対して性能を発揮するため、コイルばねが傾いて変位に偏りが生じると、ダンパ機構の位置によっては減衰効果を十分に活用できない場合があることを見出した。 However, the inventor of the present invention exhibits the performance against the displacement of the coil spring. Therefore, when the coil spring is inclined and the displacement is biased, the damping effect may not be sufficiently utilized depending on the position of the damper mechanism. I found that.
本発明は、前述した問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすることは、簡単な構造で振動を早期に確実に減衰させることができる除振構造を提供することである。 The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide a vibration isolation structure capable of quickly and reliably damping vibration with a simple structure.
前述した目的を達成するために本発明は、除振対象物と、前記除振対象物の正面から見て両側に配置され、前記除振対象物を支持するマウント部と、を具備し、前記マウント部は、水平方向および鉛直方向の除振を行うばね部と、振動を減衰させるダンパ部とを有し、前記ダンパ部は、前記除振対象物の上方から見て前記ばね部のうち他のマウント部のばね部と対向しない部分の外側にのみ配置されることを特徴とする除振構造である。 In order to achieve the above-mentioned object, the present invention comprises a vibration isolation target, and mount parts that are disposed on both sides of the vibration isolation target when viewed from the front, and that support the vibration isolation target. The mount portion includes a spring portion that performs horizontal and vertical vibration isolation, and a damper portion that damps vibrations, and the damper portion is one of the spring portions when viewed from above the vibration isolation target. The vibration isolation structure is characterized in that it is arranged only outside a portion of the mount portion that does not face the spring portion.
除振対象物を支持するマウント部を除振対象物の正面から見て両側に配置し、マウント部のダンパ部を、除振対象物の上方から見てばね部のうち他のマウント部のばね部と対向しない部分の外側にのみ配置することにより、コイルばねが傾いて縮み具合に偏りが生じた場合にも、ダンパ機構による減衰効果を十分に活用することができる。また、簡単な構造で振動を早期に確実に減衰させることができる。 The mounts that support the object to be isolated are arranged on both sides when viewed from the front of the object to be isolated, and the damper part of the mount is the spring of the other mount of the springs when viewed from above the object to be isolated. By arranging only on the outside of the portion that does not face the portion, the damping effect of the damper mechanism can be sufficiently utilized even when the coil spring is inclined and the degree of contraction is biased. Further, the vibration can be damped quickly and surely with a simple structure.
前記ばね部は、丸線コイルばねあるいは異形線コイルばねと、前記丸線コイルばねあるいは異形線コイルばねの上方であって、前記丸線コイルばねあるいは異形線コイルばねの内部側に配置される複数の異形線コイルばねからなることが望ましい。
これにより、丸線コイルばねあるいは異形線コイルばねとダンパ部とで垂直方向の揺れを抑制するとともに、異形線コイルばねで水平方向の揺れを抑制することができる。
The spring portion is a round wire coil spring or a modified wire coil spring, and a plurality of spring parts are arranged above the round wire coil spring or the modified wire coil spring and inside the round wire coil spring or the modified wire coil spring. It is desirable to use a modified wire coil spring.
As a result, the round wire coil spring or the deformed wire coil spring and the damper portion can suppress the vertical shaking, and the deformed wire coil spring can suppress the horizontal shaking.
前記ばね部の丸線コイルばねあるいは異形線コイルばねは、空気ばねであってもよい。
これにより、空気量を調整してマウント部のレベル出しを行うことができる。
The round wire coil spring or the modified wire coil spring of the spring portion may be an air spring.
As a result, the amount of air can be adjusted to level the mount.
本発明によれば、簡単な構造で振動を早期に確実に減衰させることができる除振構造を提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide a vibration isolation structure capable of quickly and reliably damping vibration with a simple structure.
以下図面に基づいて、本発明の実施形態を詳細に説明する。
図1は、除振構造1の立面図である。図2は、除振構造1の平面図である。図1は除振構造1を図2に示す矢印Aの方向から見た図、すなわち装置9の正面から見た図である。図2は除振構造1を上方から見た図である。図1、図2に示すように、除振構造1は、マウント部5、搭載盤7、除振対象物である装置9等からなる。除振構造1は、例えば、作業台3上に設置される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is an elevational view of a vibration isolation structure 1. FIG. 2 is a plan view of the vibration isolation structure 1. FIG. 1 is a view of the vibration isolation structure 1 viewed from the direction of arrow A shown in FIG. 2, that is, a view of the apparatus 9 viewed from the front. FIG. 2 is a view of the vibration isolation structure 1 viewed from above. As shown in FIGS. 1 and 2, the vibration isolation structure 1 includes a
図1に示すように、マウント部5は、装置9の正面側から見て両側に配置される。すなわち、マウント部5は、装置9の左右に配置される。マウント部5は、図2に示すように、装置9の正面側から見て左側に配置された2つのマウント部5aと、右側に配置された2つのマウント部5bからなる。マウント部5は、上方から見て装置9の奥行8からはみ出さないように配置される。搭載盤7は、4つのマウント部5上に設置される。装置9は、搭載盤7に搭載されて、マウント部5に支持される。
As shown in FIG. 1, the
図3、図4は、マウント部5(5a)の立面図である。但し、図4ではばね部10を鉛直方向の断面として示している。図3、図4に示すように、マウント部5は、ばね部10、下部台座15、上部台座17、ダンパ21、取付部23等からなる。
3 and 4 are elevation views of the mount portion 5 (5a). However, in FIG. 4, the
ばね部10は、作業台3上に設置された下部台座15と、上部台座17とに挟まれて配置される。ばね部10は、丸線コイルばね11、異形線コイルばね13、ばね受け19からなる。
The
丸線コイルばね11は、鉛直方向の除振を行う。丸線コイルばね11は、1つのマウント部5に対して1つ設けられる。丸線コイルばね11は、下部台座15上に配置され、下端部が下部台座15に固定される。丸線コイルばね11の上部には、ばね受け19が被せられる。丸線コイルばね11の上端部は、ばね受け19に固定される。
The round
異形線コイルばね13は、丸線コイルばね11よりも小径の強力ばねであり、水平方向の除振を行う。異形線コイルばね13は、1つのマウント部5に対して例えば2つ設けられる。異形線コイルばね13は、ばね受け19の中央に設けられた凹部27に配置される。すなわち、丸線コイルばね11の上方で、丸線コイルばね11の内部側に配置される。異形線コイルばね13の下端部は凹部27の底面に固定される。異形線コイルばね13は、高さが凹部27の深さよりも大きく、上端部が上部台座17に固定される。
The deformed
ダンパ21は、振動を減衰させるダンパ部である。ダンパ21は、1つのマウント部5に対して1つ設けられる。ダンパ21は、下端部が下部台座15に固定され、上端部が取付部23を介してばね受け19に取り付けられる。ダンパ21は、例えば、オイルダンパ、摩擦ダンパ、粘弾性体などである。
The
ダンパ21は、図1、図2に示すように、装置9の上方から見て、ばね部10のうち他のマウント部5(マウント部5aについてはもう一方のマウント部5aと2つのマウント部5b、マウント部5bについては2つのマウント部5aともう一方のマウント部5b)のばね部10と対向しない部分の外側にのみ配置される。なお、ばね部10のうち他のマウント部5のばね部10と対向しない部分とは、装置9の上方から見たばね部10を、奥行8の方向に隣り合う2つのマウント部5のばね部10の中心を通る線と、装置9を挟んで奥行8に直交する方向に隣り合う2つのマウント部5のばね部10の中心を通る線とで分割した4つの部分のうち、除振構造1の隅側に位置する90度の範囲の部分であり、ダンパ21はばね部10のこの部分の外側にのみ配置される。特に、ダンパ21は、この90度の範囲の部分の中央付近の外側(装置9の対角線上に対向するマウント部の逆側)に配置されることが望ましい。すなわち、ダンパ21は、4つのマウント部5のばね部10を囲む四角形の隅部付近に配置されることが望ましい。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
除振構造1に水平方向の外力がかかると、マウント部5a、5bが変位する。図5は、外力がかかった時のマウント部5を示す図である。図5(a)、図5(b)は、それぞれ、図2に示す装置9の対角に配置されたマウント部5a、マウント部5bに対応している。図5に示す矢印Bの方向に外力が加わると、装置9を中心として、マウント部5bは持ち上がる方向に動き、マウント部5aは潰される方向に動く。
When a horizontal external force is applied to the vibration isolation structure 1, the
このとき、マウント部5aではダンパ21aが縮み、マウント部5bではダンパ21bが伸びることによって、この変位量に応じて、丸線コイルばね11の振動を抑える減衰力が働く。
At this time, the
一方、発明者は、マウント部5a、5bの全体が伸びる又は縮む動作とともに、マウント部5a、5b自体の傾きが生じ、これが、減衰力に影響を与えることを見出した。より詳細には、図5に示すように、除振構造1に水平方向の外力がかかると、マウント部5a、5bとも左方向に回転動作する。
On the other hand, the inventor has found that the tilting of the
すなわち、この各マウント自体の回転動作のみを考慮すれば、マウント部5aの左側(装置9から見て外側)は縮むが、マウント部5aの右側(装置9側)は伸びる方向に変位する。同様に、回転動作のみを考慮すれば、マウント部5bの右側(装置9から見て外側)は伸びるが、マウント部5aの左側(装置9側)は縮む方向に変位する。
That is, if only the rotation operation of each mount itself is taken into consideration, the left side (outside of the device 9) of the
ここで、図6は、外力がかかった時のマウント部5’を示す図である。図6(a)に示すマウント部5a’は、図5(a)に示すマウント部5aにさらにダンパ21a’を追加したものである。図6(b)に示すマウント部5b’は、図5(b)に示すマウント部5bにダンパ21b’を追加したものである。ダンパ21a’、21b’は、ばね部10を挟んでダンパ21a、21bと向き合うように配置される。ダンパ21a’、21b’は、図2のように上方から除振構造1を見たときに装置9側に配置される。
Here, FIG. 6 is a diagram showing the
マウント部5の代わりに図6に示すマウント部5’を有する除振構造に、図6の右側から外力がかかると、図5と同様に、図6の左方向に偏荷重がかかって丸線コイルばね11が傾く。これにより、マウント部5a’、5b’とも図6に示す左方向に回転し、全体としてマウント部5a’は潰される方向に動き、マウント部5b’は持ち上がる方向に動くとともに、マウント部5a’、5b’ともに、それら自体が左方向に回転する。
When an external force is applied from the right side of FIG. 6 to the vibration isolation structure having the
このようにマウント部5a’が動作すると、マウント部5a’の左側(装置9から見て外側)のダンパ21aでは、マウント部5b’との関係での縮み量と、マウント部5a’自体の回転動作における縮み量が重畳されて、より大きな変位量となる。
When the
一方、マウント部5a’の右側(装置9側)のダンパ21a’では、マウント部5b’との関係での縮み量が、マウント部5a’自体の回転動作における伸び量で相殺されて、変位量が小さくなる。すなわち、平衡状態におけるダンパの長さに対する、マウント部5a’の左側(装置9から見て外側)のダンパ21aの長さ25aの差が、マウント部5a’の右側(装置9側)のダンパ21a’の長さ25a’の差よりも大きくなる。
On the other hand, in the
同様に、マウント部5b’の右側(装置9から見て外側)のダンパ21bでは、マウント部5a’との関係での伸び量と、マウント部5b’自体の回転動作における伸び量が重畳されて、より大きな変位量となる。
Similarly, in the
一方、マウント部5b’の左側(装置9側)のダンパ21b’では、マウント部5a’との関係での伸び量が、マウント部5b’自体の回転動作における縮み量で相殺されて、変位量が小さくなる。すなわち、平衡状態におけるダンパの長さに対する、マウント部5b’の右側(装置9から見て外側)のダンパ21bの長さ25bの差が、マウント部5b’の左側(装置9側)のダンパ21b’の長さ25b’の差よりも大きくなる。
On the other hand, in the
ここで、一般的に、ダンパの減衰力は、その変位量によって得ることができる。すなわち、より大きな変位量に対して、より大きな減衰力を発揮させることができる。 Here, in general, the damping force of the damper can be obtained by the displacement amount thereof. That is, a larger damping force can be exerted for a larger displacement amount.
この点を考慮すると、マウント部5a’の内側に配置されたダンパ21a’は、大きな減衰力を発揮できず、同様に、マウント部5b’の内側に配置されたダンパ21b’は、大きな減衰力を発揮できない。一方、マウント部5a’の外側に配置されたダンパ21aは、大きな減衰力を発揮でき、同様に、マウント部5b’の外側に配置されたダンパ21bは、大きな減衰力を発揮できる。このように、ダンパ位置によって、その効果が異なる。
Considering this point, the
そこで、本実施形態では、マウント部5を装置9の正面から見て両側に配置し、マウント部5のダンパ21を、装置9の上方から見てばね部10のうち他のマウント部5のばね部10と対向しない部分の外側にのみ配置する。すなわち、ダンパ21を、4つのマウント部5のばね部10を囲む四角形の隅部付近に配置する。これにより、装置9に水平力がかかって丸線コイルばね11が傾いた場合にも、ダンパ21による減衰効果を十分に活用し、振動を早期に確実に減衰させることができる。図5では例として装置9に対して図2の略対角線方向に水平力がかかった場合を示したが、図2の前後左右のどの方向に水平力がかかった場合にも同様にダンパ21による減衰効果を得ることができる。
Therefore, in the present embodiment, the
以上本実施の形態によれば、装置9の上方から見てばね部10のうち他のマウント部5のばね部10と対向しない部分の外側にのみダンパ21を配置した簡単な構造で、装置9側にもダンパ21’を配置したマウント部5’と同様の減衰効果を得ることができる。また、ダンパ21a’、21b’が不要であるため、部品点数が少なく、小型で低コストの除振装置を得ることができる。
As described above, according to the present embodiment, the
なお、本実施形態では、ばね部10を、1つの丸線コイルばね11と2つの異形線コイルばね13とを組み合わせたものとしたが、異形線コイルばね13の数は特に限定されず、例えば3つ以上でもよい。
In the present embodiment, the
また、マウント部5のばね部には、空気ばねを用いてもよい。空気ばねを用いることにより、金属性のばねでは吸収しきれない微細な振動を減衰できる。また、空気量を調整してマウント部5のレベル出しを行うことができる。
An air spring may be used for the spring portion of the
以上、添付図面を参照しながら、本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例又は修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to these examples. It is obvious to those skilled in the art that various changes or modifications can be conceived within the scope of the technical idea disclosed in the present application, and it is obvious that they also belong to the technical scope of the present invention. Understood.
1………除振構造
3………作業台
5、5a、5b、5’、5a’、5b’………マウント部
7………搭載盤
8………奥行
9………装置
10………ばね部
11………丸線コイルばね
13………異形線コイルばね
15………下部台座
17………上部台座
19………ばね受け
21、21a、21b、21a’、21b’………ダンパ
23………取付部
25a、25b、25a’、25b’………長さ
27………凹部
1…………
Claims (3)
前記除振対象物の正面から見て両側に配置され、前記除振対象物を支持するマウント部と、
を具備し、
前記マウント部は、水平方向および鉛直方向の除振を行うばね部と、振動を減衰させるダンパ部とを有し、
前記ダンパ部は、前記除振対象物の上方から見て前記ばね部のうち他のマウント部のばね部と対向しない部分の外側にのみ配置されることを特徴とする除振構造。 With the vibration isolation target,
Mounted parts arranged on both sides when viewed from the front of the vibration isolation target, and supporting the vibration isolation target,
Equipped with,
The mount portion has a spring portion for performing horizontal and vertical vibration isolation, and a damper portion for damping the vibration,
The vibration isolation structure, wherein the damper portion is arranged only outside a portion of the spring portion that does not face a spring portion of another mount portion when viewed from above the vibration isolation target.
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