JP2020089109A - Magnetic carrier, and control method - Google Patents

Abstract

To provide a magnetic carrier capable of finely adjusting the position where a strong magnetic field is generated in a stator.SOLUTION: A magnetic carrier 10 includes: a stationary part 30 having a base plate 35 that includes a first layer 31 formed with multiple first eccentric coils 31a eccentric in the first direction, and a second layer 32 formed with multiple second eccentric coils 32a eccentric in the second direction different from the first direction; and a movable element 20 having permanent magnets 22, which is carried along the base plate 35 by means of a magnetic field generated when power is supplied to at least part of the multiple eccentric coils 31a and the multiple eccentric coils 32a.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、可動子を平面に沿って二次元的に搬送する磁気搬送装置、及び、その制御方法に関する。 The present invention relates to a magnetic transfer device that two-dimensionally transfers a mover along a plane, and a control method thereof.

可動子を平面に沿って二次元的に搬送する磁気搬送装置が知られている。このような磁気搬送装置として、特許文献１には、マスクまたは感光基板等の物体を保持した状態で直線的にまたは二次元平面内で移動させるステージ部を駆動するリニアモータ装置が開示されている。 There is known a magnetic transfer device that two-dimensionally transfers a mover along a plane. As such a magnetic transfer device, Patent Document 1 discloses a linear motor device that drives a stage part that moves linearly or in a two-dimensional plane while holding an object such as a mask or a photosensitive substrate. .

特開２００４−１８７４０１号公報JP, 2004-187401, A

磁気搬送装置は、固定子に設けられた複数のコイルにより可動子に推力を与える。 The magnetic transfer device applies thrust to the mover by means of a plurality of coils provided on the stator.

本発明は、固定子において強い磁界が発生する位置を細かく調整することができる磁気搬送装置などを提供する。 The present invention provides a magnetic transfer device and the like capable of finely adjusting a position where a strong magnetic field is generated in a stator.

本発明の一態様に係る磁気搬送装置は、第一方向に偏心した複数の第一偏心コイルが形成された第一層、及び、前記第一方向と異なる第二方向に偏心した複数の第二偏心コイルが形成された第二層であって前記第一層に積層された第二層を含む基板を有する固定子と、前記複数の第一偏心コイル、及び、前記複数の第二偏心コイルの少なくとも一部に電力が供給されることで生じる磁界により前記基板に沿って搬送される、磁石を有する可動子とを備える。 A magnetic transfer device according to an aspect of the present invention includes a first layer in which a plurality of first eccentric coils eccentric in a first direction are formed, and a plurality of second eccentric in a second direction different from the first direction. A stator having a substrate including a second layer laminated to the first layer, which is a second layer in which an eccentric coil is formed, the plurality of first eccentric coils, and the plurality of second eccentric coils A mover having a magnet, which is transported along the substrate by a magnetic field generated by supplying power to at least a part thereof.

本発明の一態様に係る制御方法は、磁気搬送装置の制御方法であって、前記磁気搬送装置は、第一方向に偏心した複数の第一偏心コイルが形成された第一層、及び、前記第一方向と反対の第二方向に偏心した複数の第二偏心コイルが形成された第二層であって前記第一層に積層された第二層を含む基板を有する固定子と、前記複数の第一偏心コイル、及び、前記複数の第二偏心コイルの少なくとも一部に電力が供給されることで生じる磁界により前記基板に沿って搬送される、磁石を有する可動子とを備え、前記制御方法は、前記可動子を前記第一方向及び前記第二方向のいずれとも直交する第三方向に搬送する場合、第一偏心コイル、及び、平面視において当該第一偏心コイルの前記第一方向側の隣に位置する第二偏心コイルを含む一組の偏心コイルに電力を供給する。 A control method according to an aspect of the present invention is a control method for a magnetic transfer device, wherein the magnetic transfer device includes a first layer having a plurality of first eccentric coils eccentric in a first direction, and A second layer on which a plurality of second eccentric coils eccentric in a second direction opposite to the first direction are formed, the stator having a substrate including a second layer laminated on the first layer; Of the first eccentric coil, and a mover having a magnet, which is conveyed along the substrate by a magnetic field generated by supplying power to at least a part of the plurality of second eccentric coils, When the method conveys the mover in a third direction orthogonal to both the first direction and the second direction, a first eccentric coil and, in plan view, the first direction side of the first eccentric coil. Power to a set of eccentric coils including a second eccentric coil located next to the.

本発明の磁気搬送装置は、固定子において強い磁界が発生する位置を細かく調整することができる。 The magnetic transfer device of the present invention can finely adjust the position where a strong magnetic field is generated in the stator.

図１は、実施の形態に係る磁気搬送装置の概略構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a magnetic carrier device according to an embodiment. 図２は、実施の形態に係る磁気搬送装置の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the magnetic carrier device according to the embodiment. 図３は、比較例に係る磁気搬送装置の動作を説明するための平面図である。FIG. 3 is a plan view for explaining the operation of the magnetic transport device according to the comparative example. 図４は、実施の形態に係る磁気搬送装置の動作を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the operation of the magnetic carrier device according to the embodiment. 図５は、実施の形態に係る磁気搬送装置の変形例に係る動作を説明するための平面図である。FIG. 5 is a plan view for explaining an operation according to a modified example of the magnetic carrier device according to the embodiment.

以下、実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。 Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. It should be noted that each of the embodiments described below shows a comprehensive or specific example. Numerical values, shapes, materials, constituent elements, arrangement positions and connection forms of constituent elements, steps, order of steps, and the like shown in the following embodiments are examples, and are not intended to limit the present invention. Further, among the constituent elements in the following embodiments, constituent elements that are not described in the independent claims showing the highest concept are described as arbitrary constituent elements.

なお、各図は模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化される場合がある。 It should be noted that each drawing is a schematic diagram and is not necessarily strictly illustrated. Further, in each drawing, the same reference numerals are given to substantially the same configurations, and overlapping description may be omitted or simplified.

また、以下の実施の形態において、「平面視」とは、固定子の主面に垂直な方向から見ることを意味する。図面において、磁石のＮ極は、「Ｎ」と記載され、磁石のＳ極は、「Ｓ」と記載される。 Further, in the following embodiments, “plan view” means viewing from a direction perpendicular to the main surface of the stator. In the drawings, the north pole of the magnet is described as "N" and the south pole of the magnet is described as "S".

（実施の形態）
［全体構成］
以下、実施の形態に係る磁気搬送装置の構成について図面を用いて説明する。図１は、実施の形態に係る磁気搬送装置の概略構成を示す図である。図２は、実施の形態に係る磁気搬送装置の断面図である。図１において、可動子２０及び固定子３０については平面図が示されている。図１においては、複数のコイルの配置を示すために、カバー部材３６は図示が省略されている。 (Embodiment)
[overall structure]
Hereinafter, the configuration of the magnetic transfer device according to the embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a magnetic carrier device according to an embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view of the magnetic carrier device according to the embodiment. In FIG. 1, a plan view of the mover 20 and the stator 30 is shown. In FIG. 1, the cover member 36 is not shown in order to show the arrangement of the plurality of coils.

図１及び図２に示されるように、実施の形態１に係る磁気搬送装置１０は、可動子２０と、固定子３０と、電力供給回路４０と、制御部５０とを備える。磁気搬送装置１０は、固定子３０が有する主面３６ａに沿って可動子２０を２次元的に搬送するリニアモータ（言い換えれば、電磁アクチュエータ、平面モータ）である。以下、このような磁気搬送装置１０の各構成要素について詳細に説明する。 As shown in FIGS. 1 and 2, the magnetic carrier device 10 according to the first embodiment includes a mover 20, a stator 30, a power supply circuit 40, and a controller 50. The magnetic transfer device 10 is a linear motor (in other words, an electromagnetic actuator, a planar motor) that two-dimensionally transfers the mover 20 along the main surface 36a of the stator 30. Hereinafter, each component of the magnetic transfer device 10 will be described in detail.

［可動子］
まず、可動子２０について説明する。可動子２０は、磁気搬送装置１０における搬送対象物である。図２に示されるように、可動子２０は、可動子本体２１と、永久磁石２２と、ボールキャスタ２３とを備える。 [Mover]
First, the mover 20 will be described. The mover 20 is an object to be transferred in the magnetic transfer device 10. As shown in FIG. 2, the mover 20 includes a mover body 21, a permanent magnet 22, and a ball caster 23.

可動子本体２１は、略矩形板状の部材である。可動子本体２１は、例えば、樹脂材料によって形成される。 The mover body 21 is a substantially rectangular plate-shaped member. The mover body 21 is made of, for example, a resin material.

永久磁石２２は、可動子２０が固定子３０から推力を得るための永久磁石であり、可動子本体２１に取り付けられる。永久磁石２２は、例えば、平たい板状のネオジム磁石である。永久磁石２２の形状及び材料は特に限定されない。永久磁石２２は、例えば、フェライト磁石、または、アルニコ磁石などであってもよい。可動子２０は、例えば、複数の永久磁石２２（図１の例では４つの永久磁石２２）を備えるが、少なくとも１つの永久磁石２２を備えればよい。図２では、永久磁石２２は、可動子本体２１内に埋め込まれているが、永久磁石２２は、可動子本体２１の上面に取り付けられてもよいし、可動子本体２１の下面に取り付けられてもよい。 The permanent magnet 22 is a permanent magnet for the mover 20 to obtain thrust from the stator 30, and is attached to the mover body 21. The permanent magnet 22 is, for example, a flat plate-shaped neodymium magnet. The shape and material of the permanent magnet 22 are not particularly limited. The permanent magnet 22 may be, for example, a ferrite magnet or an alnico magnet. The mover 20 includes, for example, a plurality of permanent magnets 22 (four permanent magnets 22 in the example of FIG. 1), but at least one permanent magnet 22 may be provided. In FIG. 2, the permanent magnet 22 is embedded in the mover body 21, but the permanent magnet 22 may be attached to the upper surface of the mover body 21 or to the lower surface of the mover body 21. Good.

図２の例では、永久磁石２２は、Ｓ極及びＮ極の並び方向が主面３６ａに交差し、Ｓ極がＮ極よりも主面３６ａ寄りに位置するように配置されている。しかしながら、永久磁石２２は、Ｎ極がＳ極よりも主面３６ａ寄りに位置するように配置されてもよい。また、永久磁石２２は、Ｓ極及びＮ極の並び方向が主面３６ａに沿うように配置されてもよい。 In the example of FIG. 2, the permanent magnets 22 are arranged such that the arrangement direction of the S poles and the N poles intersects the main surface 36a, and the S poles are located closer to the main surface 36a than the N poles. However, the permanent magnet 22 may be arranged so that the N pole is located closer to the main surface 36a than the S pole. Further, the permanent magnet 22 may be arranged such that the direction in which the S poles and the N poles are arranged is along the main surface 36a.

なお、可動子２０は、永久磁石２２に代えて電池などを電源として駆動する電磁石を備えてもよい。つまり、可動子２０は、磁石を備えていればよい。 The mover 20 may include an electromagnet that is driven by a battery or the like as a power source, instead of the permanent magnet 22. That is, the mover 20 only needs to include a magnet.

ボールキャスタ２３は、可動子本体２１を固定子３０の主面３６ａに沿って搬送するための移動機構である。ボールキャスタ２３は、可動子本体２１の下面に取り付けられ、固定子３０の主面３６ａに当接する。なお、可動子２０は、自在キャスタまたは車輪など、ボールキャスタ２３以外の移動機構を備えてもよい。 The ball caster 23 is a moving mechanism for carrying the mover body 21 along the main surface 36 a of the stator 30. The ball caster 23 is attached to the lower surface of the mover body 21 and contacts the main surface 36 a of the stator 30. The mover 20 may include a moving mechanism other than the ball caster 23, such as a universal caster or wheels.

［固定子］
次に、固定子３０について説明する。固定子３０は、可動子２０を搬送するための構造体である。実施の形態では、固定子３０は、シート状の部材である。図２に示されるように、固定子３０は、カバー部材３６と、基板３５とを有する。 [stator]
Next, the stator 30 will be described. The stator 30 is a structure for carrying the mover 20. In the embodiment, the stator 30 is a sheet-shaped member. As shown in FIG. 2, the stator 30 has a cover member 36 and a substrate 35.

カバー部材３６は、基板３５の摩耗等を抑制し、かつ、固定子３０の表面を平滑化するためのシート状の保護部材である。カバー部材３６は、基板３５の上面の全部を覆う。カバー部材３６の平面視形状は、矩形であるが、円形等その他の形状であってもよい。カバー部材３６の上面は、固定子３０が有する主面３６ａとなる。主面３６ａは、可動子２０と対向する。 The cover member 36 is a sheet-like protective member that suppresses abrasion of the substrate 35 and smoothes the surface of the stator 30. The cover member 36 covers the entire upper surface of the substrate 35. The shape of the cover member 36 in plan view is a rectangle, but may be other shapes such as a circle. The upper surface of the cover member 36 becomes the main surface 36 a of the stator 30. The main surface 36a faces the mover 20.

カバー部材３６は、例えば、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、または、アクリル樹脂などの有機材料によって形成される。カバー部材３６は、シラン化合物または金属酸化物によって形成されてもよい。このような有機材料、シラン化合物、または金属酸化物は、摩耗耐性の点でカバー部材３６に適している。カバー部材３６に有機材料が採用されれば、カバー部材３６が低温の製造プロセスで形成できる。また、カバー部材３６に有機材料が採用されれば、カバー部材３６の大面積化が容易である。 The cover member 36 is made of, for example, an organic material such as melamine resin, urethane resin, or acrylic resin. The cover member 36 may be formed of a silane compound or a metal oxide. Such an organic material, a silane compound, or a metal oxide is suitable for the cover member 36 in terms of abrasion resistance. If the cover member 36 is made of an organic material, the cover member 36 can be formed by a low-temperature manufacturing process. If an organic material is used for the cover member 36, it is easy to increase the area of the cover member 36.

基板３５は、複数の層を含み、複数の層それぞれにはマトリクス状に複数の偏心コイルが形成されている。偏心コイルは、コイルの強磁界点（言い換えれば、コイルの巻回軸の位置）が中心からずれているコイルを意味する。基板３５は、具体的には、第一層３１、第二層３２、第三層３３、及び、第四層３４が積層された構造を有する。基板３５に含まれる層の数は、四つに限定されず、三つ以下であってもよいし、五つ以上であってもよい。また、第一層３１、第二層３２、第三層３３、及び、第四層３４の積層順についても特に限定されない。 The substrate 35 includes a plurality of layers, and a plurality of eccentric coils are formed in a matrix on each of the plurality of layers. The eccentric coil means a coil in which the strong magnetic field point of the coil (in other words, the position of the winding axis of the coil) is deviated from the center. Specifically, the substrate 35 has a structure in which a first layer 31, a second layer 32, a third layer 33, and a fourth layer 34 are laminated. The number of layers included in the substrate 35 is not limited to four, and may be three or less, or five or more. The order of stacking the first layer 31, the second layer 32, the third layer 33, and the fourth layer 34 is also not particularly limited.

第一層３１には、Ｘ軸−方向に偏心した複数の第一偏心コイル３１ａが形成される。Ｘ軸−方向は、第一方向の一例である。第二層３２には、Ｘ軸＋方向に偏心した複数の第二偏心コイル３２ａが形成される。Ｘ軸＋方向は、第二方向の一例である。 A plurality of first eccentric coils 31a that are eccentric in the X-axis-direction are formed on the first layer 31. The X-axis-direction is an example of the first direction. A plurality of second eccentric coils 32a that are eccentric in the X-axis + direction are formed on the second layer 32. The X-axis + direction is an example of the second direction.

第三層３３には、Ｙ軸−方向に偏心した複数の第三偏心コイル３３ａが形成される。Ｙ軸−方向は、第三方向の一例である。第四層３４には、Ｙ軸＋方向に偏心した複数の第四偏心コイル３４ａが形成される。Ｙ軸＋方向は、第四方向の一例である。 In the third layer 33, a plurality of third eccentric coils 33a that are eccentric in the Y-axis direction are formed. The Y-axis-direction is an example of the third direction. A plurality of fourth eccentric coils 34a that are eccentric in the Y-axis + direction are formed on the fourth layer 34. The Y-axis + direction is an example of the fourth direction.

第一偏心コイル３１ａ、第二偏心コイル３２ａ、第三偏心コイル３３ａ、及び、第四偏心コイル３４ａのそれぞれ（以下、これらを区別せずに複数の偏心コイルとも表現する）は、可動子２０に推力を与えるためのコイルである。複数の偏心コイルのそれぞれは、電力供給回路４０によって電力が供給されることによって磁化する。複数の偏心コイルのそれぞれは、基板３５中にパターン形成されたパターンコイルである。複数の偏心コイルのそれぞれは、巻回軸が主面３６ａに垂直な方向に沿う円形巻回状の配線であるが、矩形巻回状等、他の巻回状であってもよい。複数の偏心コイルのそれぞれは、例えば、三角形、または、六角形等の多角形に沿う巻回形状であってもよい。複数の偏心コイルの巻回方向は、同一であるが、異なってもよい。複数の偏心コイルは、例えば、銅などの金属材料によって形成される。複数の偏心コイルは、例えば、エッチングによって形成される。 Each of the first eccentric coil 31a, the second eccentric coil 32a, the third eccentric coil 33a, and the fourth eccentric coil 34a (hereinafter, also referred to as a plurality of eccentric coils without distinguishing them from each other) It is a coil for giving thrust. Each of the plurality of eccentric coils is magnetized by being supplied with power by the power supply circuit 40. Each of the plurality of eccentric coils is a pattern coil patterned in the substrate 35. Each of the plurality of eccentric coils is a circular winding wire whose winding axis extends along the direction perpendicular to the main surface 36a, but may be another winding wire such as a rectangular winding wire. Each of the plurality of eccentric coils may have a winding shape along a polygon such as a triangle or a hexagon, for example. The winding directions of the plurality of eccentric coils are the same, but may be different. The plurality of eccentric coils are formed of, for example, a metal material such as copper. The plurality of eccentric coils are formed by etching, for example.

［電力供給回路］
次に、電力供給回路４０について説明する。電力供給回路４０は、制御部５０から出力される制御信号に基づいて、複数の偏心コイルへの電力供給を行う。言い換えれば、電力供給回路４０は、制御部５０から出力される制御信号に基づいて、複数の偏心コイルへ電流を供給する。 [Power supply circuit]
Next, the power supply circuit 40 will be described. The power supply circuit 40 supplies power to the plurality of eccentric coils based on the control signal output from the control unit 50. In other words, the power supply circuit 40 supplies a current to the plurality of eccentric coils based on the control signal output from the control unit 50.

図示されないが、電力供給回路４０は、具体的には、複数の偏心コイルに１対１で対応する複数の制御回路を含む。つまり、電力供給回路は、複数の偏心コイルのそれぞれに独立して電力供給を行うことができる。 Although not shown, the power supply circuit 40 specifically includes a plurality of control circuits corresponding to the plurality of eccentric coils in a one-to-one correspondence. That is, the power supply circuit can supply power to each of the plurality of eccentric coils independently.

複数の制御回路のそれぞれは、例えば、フルブリッジインバータ回路である。複数の制御回路は、制御部５０から出力される制御信号に基づいて動作する。複数の制御回路のそれぞれは、当該制御回路に対応する偏心コイルに対して、（ａ）電力を供給しない、（ｂ）第一の極性（例えば、正極性）の直流電圧を供給する、及び、（ｃ）第一の極性の逆の第二の極性（例えば、負極性）の直流電圧を供給する、のいずれかを行う。第一の極性の直流電圧が供給された偏心コイルは、例えば、主面３６ａ側がＳ極の電磁石として機能し、第二の極性の直流電圧が供給された偏心コイルは、例えば、主面３６ａ側がＮ極の電磁石として機能する。 Each of the plurality of control circuits is, for example, a full bridge inverter circuit. The plurality of control circuits operate based on the control signal output from the control unit 50. Each of the plurality of control circuits supplies (a) no power to the eccentric coil corresponding to the control circuit, (b) supplies a DC voltage of a first polarity (for example, positive polarity), and (C) A direct current voltage having a second polarity (eg, negative polarity) opposite to the first polarity is supplied. The eccentric coil to which the DC voltage of the first polarity is supplied functions, for example, as an S-pole electromagnet on the main surface 36a side, and the eccentric coil to which the DC voltage of the second polarity is supplied has, for example, the main surface 36a side. It functions as an N-pole electromagnet.

このように、電力供給回路４０は、複数の偏心コイルのそれぞれに直流電圧を供給し、当該直流電圧の極性を偏心コイルごとに切り替えることができる。直流電圧の極性を切り替えることは必須ではなく、電力供給回路４０は、少なくとも直流電圧の供給をオン及びオフできればよい。 In this way, the power supply circuit 40 can supply the DC voltage to each of the plurality of eccentric coils and switch the polarity of the DC voltage for each eccentric coil. It is not essential to switch the polarity of the DC voltage, and the power supply circuit 40 only needs to be able to turn on and off the supply of the DC voltage.

［制御部］
制御部５０は、複数の偏心コイルに供給される電流を制御する。制御部５０は、具体的には、電力供給回路４０を制御する。制御部５０は、例えば、電力供給回路４０を制御することにより、複数の偏心コイルの一部に直流電圧を供給する。この結果、複数の偏心コイルの一部には、可動子２０に推力を与えるための電流が流れ、これにより可動子２０が主面３６ａに沿って移動する。この電流は、直流電流である。 [Control part]
The control unit 50 controls the current supplied to the plurality of eccentric coils. The control unit 50 specifically controls the power supply circuit 40. The control unit 50 supplies a DC voltage to a part of the plurality of eccentric coils by controlling the power supply circuit 40, for example. As a result, a current for giving a thrust to the mover 20 flows through a part of the plurality of eccentric coils, whereby the mover 20 moves along the main surface 36a. This current is a direct current.

制御部５０は、具体的には、マイクロコンピュータなどによって実現されるが、専用回路、または、プロセッサなどによって実現されてもよい。なお、図示されないが、制御部５０は、制御部５０が備える半導体メモリなどの記憶部（図示せず）に記憶された制御プログラムを実行する。制御部５０は、電力供給回路４０の一部として構成されてもよい。 The control unit 50 is specifically realized by a microcomputer or the like, but may be realized by a dedicated circuit, a processor, or the like. Although not shown, the control unit 50 executes a control program stored in a storage unit (not shown) such as a semiconductor memory included in the control unit 50. The control unit 50 may be configured as a part of the power supply circuit 40.

［磁気搬送装置の動作］
上述のように、磁気搬送装置１０は、偏心方向が異なる複数の偏心コイルが積層された基板３５を含む固定子３０を備える。偏心方向が異なるということは、偏心コイルに電力が供給されたときに磁界が強くなる位置（以下、強磁界点などとも記載される）が異なるということである。したがって、制御部５０により、積層された複数の偏心コイルに選択的に電力が供給されれば、磁界が強くなる位置を細かく調整することができる。基板３５のように積層された偏心コイルの偏心方向が４通り存在する場合、磁気搬送装置１０は、磁界が強くなる位置を４つ位置の中から選択することができる。 [Operation of magnetic carrier]
As described above, the magnetic transfer device 10 includes the stator 30 including the substrate 35 in which a plurality of eccentric coils having different eccentric directions are stacked. The difference in the eccentric direction means that the position where the magnetic field becomes strong when electric power is supplied to the eccentric coil (hereinafter, also referred to as a strong magnetic field point) is different. Therefore, if the control unit 50 selectively supplies electric power to the plurality of stacked eccentric coils, the position where the magnetic field becomes strong can be finely adjusted. When there are four eccentric directions of the stacked eccentric coils like the substrate 35, the magnetic carrier device 10 can select the position where the magnetic field is strong from four positions.

また、磁気搬送装置１０は、以下の動作のように可動子２０の直進性を高めることもできる。このような磁気搬送装置１０の動作について、比較例に係る磁気搬送装置の動作を参照しながら説明する。まず、比較例に係る磁気搬送装置の動作について説明する。図３は、比較例に係る磁気搬送装置の動作を説明するための平面図である。 Further, the magnetic transfer device 10 can also enhance the straightness of the mover 20 as in the following operation. The operation of the magnetic transfer device 10 will be described with reference to the operation of the magnetic transfer device according to the comparative example. First, the operation of the magnetic transport device according to the comparative example will be described. FIG. 3 is a plan view for explaining the operation of the magnetic transport device according to the comparative example.

図３に示される比較例に係る磁気搬送装置１１０は、可動子２０と、偏心していないコイル１３１が形成された基板を含む固定子１３０とを備える。可動子２０が有する永久磁石２２のＸ軸方向のピッチ、及び、コイル１３１のＸ軸方向のピッチのそれぞれはｒであり、コイル１３１の中心位置（つまり、強磁界点Ｐ１）から永久磁石２２の中心位置までの距離はｄである。 The magnetic carrier device 110 according to the comparative example shown in FIG. 3 includes a mover 20 and a stator 130 including a substrate on which an uneccentric coil 131 is formed. The pitch of the permanent magnet 22 of the mover 20 in the X-axis direction and the pitch of the coil 131 in the X-axis direction are r, respectively, and the permanent magnet 22 moves from the center position of the coil 131 (that is, the strong magnetic field point P1). The distance to the center position is d.

固定子１３０によって可動子２０をＹ軸−方向に搬送する場合、磁気搬送装置１１０の制御部は、例えば、可動子２０よりもＹ軸−方向側に位置するコイル１３１に電力を供給し、当該コイル１３１と可動子２０が有する永久磁石２２との間に吸引力を発生させる。 When the mover 20 is conveyed in the Y axis − direction by the stator 130, the control unit of the magnetic conveyance device 110 supplies power to the coil 131 located on the Y axis − direction side of the mover 20, and An attractive force is generated between the coil 131 and the permanent magnet 22 of the mover 20.

このとき、１つのコイル１３１に電力供給を行うことにより１つの永久磁石２２に働く吸引力（言い換えれば、磁力）をｆ１とすると、可動子２０に働くＹ軸−方向への力Ｆｍｉｄは、２つ永久磁石２２のそれぞれにｆ１の吸引力が働くことから、Ｆｍｉｄ＝２・ｆ１である。また、可動子２０の回転の指標としての片側分の力のモーメントＭｍｉｄは、Ｍｍｉｄ＝ｒ・ｆ１／２である。 At this time, if the attractive force (in other words, magnetic force) acting on one permanent magnet 22 by supplying power to one coil 131 is f1, the force Fmid acting on the mover 20 in the −Y-axis direction is 2 Since the attraction force of f1 acts on each of the two permanent magnets 22, Fmid=2·f1. The moment Mmid of the force on one side as an index of the rotation of the mover 20 is Mmid=r·f1/2.

次に、磁気搬送装置１０の動作について説明する。図４は、磁気搬送装置１０の動作を説明するための図であり、図４の（ａ）は、平面図であり、図４の（ｂ）は、固定子３０の断面図である。 Next, the operation of the magnetic transfer device 10 will be described. 4A and 4B are views for explaining the operation of the magnetic transfer device 10. FIG. 4A is a plan view and FIG. 4B is a cross-sectional view of the stator 30.

固定子３０によって可動子２０をＹ軸−方向に搬送する場合、磁気搬送装置１０の制御部５０は、例えば、可動子２０よりもＹ軸−方向側に位置する偏心コイルに電力を供給し、当該偏心コイルと可動子２０が有する永久磁石２２との間に吸引力を発生させる。 When the mover 20 is conveyed in the Y axis − direction by the stator 30, the control unit 50 of the magnetic conveyance device 10 supplies power to the eccentric coil located on the Y axis − direction side of the mover 20, An attractive force is generated between the eccentric coil and the permanent magnet 22 of the mover 20.

このとき、制御部５０は、可動子２０が有する２つの永久磁石２２の中心位置を結ぶ線分の垂直二等分線Ｌの近傍に強磁界点Ｐ２を生成するために、第一偏心コイル３１ａ、及び、平面視において当該第一偏心コイル３１ａのＸ軸−方向側の隣に位置する第二偏心コイル３２ａを含む一組の偏心コイルに電力を供給する。つまり、制御部５０は、積層された４つの偏心コイルのうち、第一層３１に形成された第一偏心コイル３１ａに選択的に電力を供給しつつ、その隣において積層された４つの偏心コイルに対しては、第二層３２に形成された第二偏心コイル３２ａに選択的に電力を供給する。 At this time, the control unit 50 generates the strong magnetic field point P2 in the vicinity of the perpendicular bisector L of the line segment that connects the center positions of the two permanent magnets 22 of the mover 20, so as to generate the strong magnetic field point P2. , And electric power is supplied to a set of eccentric coils including the second eccentric coil 32a located next to the first eccentric coil 31a on the X-axis-direction side in plan view. That is, the control unit 50 selectively supplies electric power to the first eccentric coil 31a formed in the first layer 31 among the four eccentric coils that are stacked, and the four eccentric coils stacked next to the first eccentric coil 31a. In contrast, the second eccentric coil 32a formed on the second layer 32 is selectively supplied with electric power.

２つの永久磁石２２のそれぞれから強磁界点Ｐ２までの距離は、上記距離ｄを用いると、ｄ／ｃｏｓθとなる。なお、θは、永久磁石２２の中心位置、及び、強磁界点Ｐ２を結ぶ直線とＹ軸とのなす角である。吸引力は、距離の二乗分の１となるため、１つの永久磁石２２に働く吸引力（言い換えれば、磁力）は、上記ｆ１にｃｏｓ^２θをかけたｆ１・ｃｏｓ^２θとなる。 The distance from each of the two permanent magnets 22 to the strong magnetic field point P2 is d/cos θ using the distance d. It should be noted that θ is an angle formed by the center position of the permanent magnet 22 and a straight line connecting the strong magnetic field point P2 and the Y axis. Suction force is 1, and therefore the square of the distance portion of, (in other words, force) suction force acting on one permanent magnet 22 becomes the above f1 multiplied by ^{cos 2 θ f1 · cos 2 θ} .

この吸引力をＸ軸方向の成分とＹ軸方向の成分に分解すると、可動子２０に働くＹ軸−方向への力Ｆｍｉｄは、２つ永久磁石２２のそれぞれにｆ１・ｃｏｓ^３θの吸引力が働くことから、Ｆｍｉｄ＝２・ｆ１・ｃｏｓ^３θである。また、可動子２０の回転の指標としての片側分の力のモーメントＭｍｉｄは、Ｍｍｉｄ＝ｒ・ｆ１・ｃｏｓ^３θ／２である。 When this attractive force is decomposed into a component in the X-axis direction and a component in the Y-axis direction, the force Fmid acting on the mover 20 in the negative Y-axis direction is an attractive force of f1·cos ³ θ for each of the two permanent magnets 22. From the fact that Fmid=2·f1·cos ³ θ. The moment Mmid of the force on one side as an index of the rotation of the mover 20 is Mmid=r·f1·cos ³ θ/2.

そして、磁気搬送装置１０においては、２つの永久磁石２２のそれぞれに、当該永久磁石２２を垂直二等分線Ｌに向かわせる向力Ｆｄｉｒ＝ｆ１・ｃｏｓ^２θ・ｓｉｎθが働く。このような向力Ｆｄｉｒは、可動子２０がＸ軸＋方向またはＸ軸−方向にずれようとしたときにこれを是正する力として機能する。つまり、磁気搬送装置１０は、磁気搬送装置１１０に比べて可動子２０の直進性を高めることができる。 Then, in the magnetic transfer device 10, a directional force Fdir=f1·cos ² θ·sin θ that causes the permanent magnet 22 to be directed to the perpendicular bisector L acts on each of the two permanent magnets 22. Such a directional force Fdir functions as a force that corrects the mover 20 when the mover 20 tries to shift in the X axis + direction or the X axis − direction. That is, the magnetic carrier device 10 can improve the straightness of the mover 20 as compared with the magnetic carrier device 110.

［変形例］
なお、上記磁気搬送装置１０の動作では、吸引力を用いて可動子２０を移動させたが、吸引力に代えて、または、吸引力に加えて反発力を用いて可動子２０を搬送することもできる。図５は、このような磁気搬送装置１０の変形例に係る動作を説明するための平面図である。 [Modification]
In the operation of the magnetic transfer device 10 described above, the mover 20 is moved by using the attraction force. However, instead of the attraction force, or by using the repulsive force in addition to the attraction force, the mover 20 is conveyed. You can also FIG. 5 is a plan view for explaining the operation according to the modified example of the magnetic transfer device 10.

固定子３０によって可動子２０をＹ軸−方向に搬送する場合、磁気搬送装置１０の制御部５０は、例えば、可動子２０よりもＹ軸＋方向側に位置する偏心コイルに電力を供給し、当該偏心コイルと可動子２０が有する永久磁石２２との間に反発力を発生させる。 When the mover 20 is conveyed in the Y axis − direction by the stator 30, the control unit 50 of the magnetic transfer device 10 supplies power to the eccentric coil located on the Y axis + direction side of the mover 20, A repulsive force is generated between the eccentric coil and the permanent magnet 22 of the mover 20.

このとき、制御部５０は、可動子２０が有する２つの永久磁石２２の中心位置を結ぶ線分の垂直二等分線Ｌの近傍に強磁界点Ｐ３を生成するために、第一偏心コイル３１ａ、及び、平面視において当該第一偏心コイル３１ａのＸ軸−方向側の隣に位置する第二偏心コイル３２ａを含む一組の偏心コイルに電力を供給する。 At this time, the control unit 50 generates the strong magnetic field point P3 in the vicinity of the perpendicular bisector L of the line segment that connects the center positions of the two permanent magnets 22 of the mover 20, so as to generate the strong magnetic field point P3. , And electric power is supplied to a set of eccentric coils including the second eccentric coil 32a located next to the first eccentric coil 31a on the X-axis-direction side in plan view.

２つの永久磁石２２のそれぞれから強磁界点Ｐ３までの距離は、上記距離ｄを用いると、ｄ／ｃｏｓθとなる。なお、θは、永久磁石２２の中心位置、及び、強磁界点Ｐ３を結ぶ直線とＹ軸とのなす角である。反発力は、距離の二乗分の１となるため、１つの永久磁石２２に働く反発力（言い換えれば、磁力）は、上記ｆ１にｃｏｓ^２θをかけたｆ１・ｃｏｓ^２θとなる。 The distance from each of the two permanent magnets 22 to the strong magnetic field point P3 is d/cos θ using the distance d. It should be noted that θ is the angle formed by the center position of the permanent magnet 22 and the straight line connecting the strong magnetic field point P3 and the Y axis. Repulsion 1. Therefore the square of the distance portion of, (in other words, force) a repulsive force acting on one permanent magnet 22 becomes the above f1 multiplied by ^{cos 2 θ f1 · cos 2 θ} .

この吸引力をＸ軸方向の成分とＹ軸方向の成分に分解すると、可動子２０に働くＹ軸−方向への力Ｆｍｉｄは、２つ永久磁石２２のそれぞれにｆ１・ｃｏｓ^３θの反発力が働くことから、Ｆｍｉｄ＝２・ｆ１・ｃｏｓ^３θである。また、可動子２０の回転の指標としての片側分の力のモーメントＭｍｉｄは、Ｍｍｉｄ＝ｒ・ｆ１・ｃｏｓ^３θ／２である。 When this attractive force is decomposed into a component in the X-axis direction and a component in the Y-axis direction, the force Fmid acting on the mover 20 in the −Y-axis direction is a repulsive force of f1·cos ³ θ on each of the two permanent magnets 22. From the fact that Fmid=2·f1·cos ³ θ. The moment Mmid of the force on one side as an index of the rotation of the mover 20 is Mmid=r·f1·cos ³ θ/2.

そして、磁気搬送装置１０においては、２つの永久磁石２２のそれぞれに、当該永久磁石２２を垂直二等分線Ｌから離れる方向に向かわせる向力Ｆｄｉｒ＝ｆ１・ｃｏｓ^２θ・ｓｉｎθが働く。このような向力Ｆｄｉｒは、可動子２０がＸ軸＋方向またはＸ軸−方向にずれようとしたときにこれを是正する力として機能する。つまり、磁気搬送装置１０は、磁気搬送装置１１０に比べて可動子２０の直進性を高めることができる。 Then, in the magnetic transport device 10, a direction force Fdir=f1·cos ² θ·sin θ that causes the permanent magnets 22 to move away from the perpendicular bisector L acts on each of the two permanent magnets 22. Such a directional force Fdir functions as a force that corrects the mover 20 when it is about to shift in the X-axis + direction or the X-axis-direction. That is, the magnetic transfer device 10 can improve the straightness of the mover 20 as compared with the magnetic transfer device 110.

［効果等］
以上説明したように、磁気搬送装置１０は、第一方向に偏心した複数の第一偏心コイル３１ａが形成された第一層３１、及び、第一方向と異なる第二方向に偏心した複数の第二偏心コイル３２ａが形成された第二層３２であって第一層３１に積層された第二層３２を含む基板３５を有する固定子３０と、複数の第一偏心コイル３１ａ、及び、複数の第二偏心コイル３２ａの少なくとも一部に電力が供給されることで生じる磁界により基板３５に沿って搬送される、永久磁石２２を有する可動子２０とを備える。上記実施の形態では、第一方向はＸ軸−方向であり、第二方向はＸ軸＋方向である。永久磁石２２は、磁石の一例である。 [Effects, etc.]
As described above, the magnetic transfer device 10 includes the first layer 31 in which the plurality of first eccentric coils 31a that are eccentric in the first direction are formed, and the plurality of first layers that are eccentric in the second direction different from the first direction. A stator 30 having a substrate 35 that includes a second layer 32 that is a second layer 32 in which two eccentric coils 32a are formed, and is laminated on a first layer 31, a plurality of first eccentric coils 31a, and a plurality of first eccentric coils 31a. The mover 20 having the permanent magnet 22 is conveyed along the substrate 35 by the magnetic field generated by supplying power to at least a part of the second eccentric coil 32a. In the above embodiment, the first direction is the X-axis-direction and the second direction is the X-axis + direction. The permanent magnet 22 is an example of a magnet.

このような磁気搬送装置１０は、基板３５の平面視における同じ場所に第一偏心コイル３１ａ及び第二偏心コイル３２ａが積層されている場合に、第一偏心コイル３１ａ及び第二偏心コイル３２ａを選択的に駆動することで、固定子３０において強い磁界が発生する位置を細かく調整することができる。 Such a magnetic transfer device 10 selects the first eccentric coil 31a and the second eccentric coil 32a when the first eccentric coil 31a and the second eccentric coil 32a are laminated at the same place on the substrate 35 in a plan view. The position where a strong magnetic field is generated in the stator 30 can be finely adjusted by driving the stator 30.

また、例えば、第一方向は、第二方向と反対の方向である。 Further, for example, the first direction is a direction opposite to the second direction.

このような磁気搬送装置１０は、反対方向に偏心した第一偏心コイル３１ａ及び第二偏心コイル３２ａを選択的に駆動することで、固定子３０において強い磁界が発生する位置を細かく調整することができる。 Such a magnetic transfer device 10 can finely adjust the position where a strong magnetic field is generated in the stator 30 by selectively driving the first eccentric coil 31a and the second eccentric coil 32a that are eccentric in the opposite directions. it can.

また、例えば、磁気搬送装置１０は、さらに、複数の第一偏心コイル３１ａ、及び、複数の第二偏心コイル３２ａに供給される電力を制御する制御部５０を備える。制御部５０は、可動子２０を第一方向及び第二方向のいずれとも直交する第三方向に搬送する場合、第一偏心コイル３１ａ、及び、平面視において当該第一偏心コイル３１ａの第一方向側の隣に位置する第二偏心コイル３２ａを含む一組の偏心コイルに電力を供給する。上記実施の形態では、第三方向は、Ｙ軸−方向である。 Further, for example, the magnetic transfer device 10 further includes a control unit 50 that controls the electric power supplied to the plurality of first eccentric coils 31a and the plurality of second eccentric coils 32a. When conveying the mover 20 in the third direction orthogonal to both the first direction and the second direction, the control unit 50 causes the first eccentric coil 31a and the first direction of the first eccentric coil 31a in plan view. Power is supplied to a set of eccentric coils including the second eccentric coil 32a located next to the side. In the above-mentioned embodiment, the third direction is the Y-axis-direction.

このような磁気搬送装置１０は、可動子２０の直進性を高めることができる。 Such a magnetic transfer device 10 can improve the straightness of the mover 20.

また、例えば、可動子２０は、第一方向に沿って並ぶ複数の永久磁石２２を有し、複数の永久磁石２２の間隔は、一組の偏心コイルの間隔と同一である。 Further, for example, the mover 20 has a plurality of permanent magnets 22 arranged along the first direction, and the intervals between the plurality of permanent magnets 22 are the same as the intervals between the pair of eccentric coils.

このような磁気搬送装置１０は、可動子２０の直進性を高めることが容易となる。 In such a magnetic transfer device 10, it becomes easy to enhance the straightness of the mover 20.

また、図４の例では、平面視において、一組の偏心コイルは、可動子２０の第三方向側に位置する。 In the example of FIG. 4, the set of eccentric coils is located on the third direction side of the mover 20 in plan view.

このような磁気搬送装置１０は、一組の偏心コイルと可動子２０との間に発生する吸引力により、可動子２０を第三方向に搬送することができる。 Such a magnetic transfer device 10 can transfer the mover 20 in the third direction by the attraction force generated between the set of eccentric coils and the mover 20.

また、図５の例では、平面視において、一組の偏心コイルは、可動子２０の、第三方向と反対の第四方向側に位置する。上記実施の形態では、第四方向は、Ｙ軸＋方向である。 In the example of FIG. 5, the set of eccentric coils is located on the fourth direction side of the mover 20, which is opposite to the third direction, in a plan view. In the above embodiment, the fourth direction is the Y-axis + direction.

このような磁気搬送装置１０は、一組の偏心コイルと可動子２０との間に発生する反発力により、可動子２０を第三方向に搬送することができる。 Such a magnetic transfer device 10 can transfer the mover 20 in the third direction by the repulsive force generated between the pair of eccentric coils and the mover 20.

また、基板３５は、さらに、第一方向及び第二方向のいずれとも直交する第三方向に偏心した複数の第三偏心コイル３３ａが形成された第三層３３と、第三方向と反対の第四方向に偏心した複数の第四偏心コイル３４ａが形成された第四層３４とを含む。 The substrate 35 further includes a third layer 33 having a plurality of third eccentric coils 33a eccentric in a third direction orthogonal to both the first direction and the second direction, and a third layer 33 opposite to the third direction. And a fourth layer 34 having a plurality of fourth eccentric coils 34a that are eccentric in four directions.

このような磁気搬送装置１０は、基板３５の平面視における同じ場所に第一偏心コイル３１ａ、第二偏心コイル３２ａ、第三偏心コイル３３ａ、及び、第四偏心コイル３４ａが積層されている場合に、これらを選択的に駆動することで、固定子３０において強い磁界が発生する位置をさらに細かく調整することができる。 In such a magnetic transfer device 10, when the first eccentric coil 31a, the second eccentric coil 32a, the third eccentric coil 33a, and the fourth eccentric coil 34a are laminated at the same place on the substrate 35 in a plan view. By selectively driving these, the position where a strong magnetic field is generated in the stator 30 can be adjusted more finely.

また、磁気搬送装置１０の制御方法は、可動子２０を第一方向及び第二方向のいずれとも直交する第三方向に搬送する場合、第一偏心コイル３１ａ、及び、平面視において当該第一偏心コイル３１ａの第一方向側の隣に位置する第二偏心コイル３２ａを含む一組の偏心コイルに電力を供給する。 Further, when the mover 20 is conveyed in the third direction orthogonal to both the first direction and the second direction, the control method of the magnetic conveyance device 10 includes the first eccentric coil 31a and the first eccentricity in plan view. Electric power is supplied to the set of eccentric coils including the second eccentric coil 32a located next to the coil 31a in the first direction.

このような制御方法は、基板３５の平面視における同じ場所に第一偏心コイル３１ａ及び第二偏心コイル３２ａが積層されている場合に、第一偏心コイル３１ａ及び第二偏心コイル３２ａを選択的に駆動することで、固定子３０において強い磁界が発生する位置を細かく調整することができる。 Such a control method selectively selects the first eccentric coil 31a and the second eccentric coil 32a when the first eccentric coil 31a and the second eccentric coil 32a are stacked at the same place in the plan view of the substrate 35. By driving, the position where a strong magnetic field is generated in the stator 30 can be finely adjusted.

（その他の実施の形態）
以上、実施の形態に係る磁気搬送装置について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。 (Other embodiments)
Although the magnetic carrier device according to the embodiment has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment.

例えば、上記実施の形態では、偏心コイルは薄膜状のパターンコイルであったが、コイルは巻線コイルであってもよい。また、上記実施の形態では、複数の偏心コイルは、マトリクス状に配置されたが、マトリクス状以外のレイアウトで配置されてもよい。例えば、コイルが六角形に沿う巻回形状を有する場合には、複数のパターンコイルは、ハニカム状に配置されてもよい。 For example, in the above embodiment, the eccentric coil is a thin film pattern coil, but the coil may be a winding coil. Further, in the above-mentioned embodiment, the plurality of eccentric coils are arranged in a matrix, but they may be arranged in a layout other than the matrix. For example, when the coil has a winding shape along a hexagon, the plurality of pattern coils may be arranged in a honeycomb shape.

また、上記実施の形態では、基板には、偏心方向が互いに異なる４種類の偏心コイルが形成されたが、基板には偏心方向が互いに異なる５種類以上の偏心コイルが形成されてもよい。例えば、基板には、偏心方向が４５度ずつ異なる８種類の偏心コイルが形成されてもよい。この場合、基板には、８種類の偏心コイルに対応して８つの層が含まれる。 Further, in the above embodiment, four types of eccentric coils having different eccentric directions are formed on the substrate, but five or more types of eccentric coils having different eccentric directions may be formed on the substrate. For example, eight types of eccentric coils whose eccentric directions differ by 45 degrees may be formed on the substrate. In this case, the substrate includes eight layers corresponding to eight types of eccentric coils.

また、上記実施の形態の固定子の模式断面図に示される積層構造は一例である。磁気搬送装置は、本発明の特徴的な機能を実現できる他の積層構造を有する固定子を備えてもよい。磁気搬送装置は、例えば、上記実施の形態で説明された積層構造と同様の機能を実現できる範囲で、上記実施の形態の積層構造の層間に別の層が設けられた固定子を備えてもよい。 Further, the laminated structure shown in the schematic cross-sectional view of the stator of the above-mentioned embodiment is an example. The magnetic transfer device may include a stator having another laminated structure capable of realizing the characteristic function of the present invention. The magnetic transfer device may include, for example, a stator in which another layer is provided between layers of the laminated structure of the above-described embodiment as long as the same function as that of the laminated structure described in the above-described embodiment can be realized. Good.

また、上記実施の形態では、固定子が有する積層構造の各層を構成する主たる材料について例示しているが、固定子が有する積層構造の各層には、上記実施の形態の積層構造と同様の機能を実現できる範囲で他の材料が含まれてもよい。 Further, in the above-mentioned embodiment, the main materials constituting each layer of the laminated structure of the stator are exemplified, but each layer of the laminated structure of the stator has the same function as that of the laminated structure of the above-described embodiment. Other materials may be included as long as the above can be achieved.

また、上記実施の形態において、特定の処理部が実行する処理を別の処理部が実行してもよい。また、複数の処理の順序が変更されてもよいし、複数の処理が並行して実行されてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the processing executed by the specific processing unit may be executed by another processing unit. Further, the order of the plurality of processes may be changed, or the plurality of processes may be executed in parallel.

また、上記実施の形態において、制御部などの構成要素は、当該構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。制御部などの構成要素は、ＣＰＵまたはプロセッサなどのプログラム実行部が、ハードディスクまたは半導体メモリなどの記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the constituent elements such as the control unit may be realized by executing a software program suitable for the constituent elements. The components such as the control unit may be realized by a program execution unit such as a CPU or a processor reading and executing a software program recorded in a recording medium such as a hard disk or a semiconductor memory.

また、制御部などの構成要素は、ハードウェアによって実現されてもよい。例えば、制御部などの構成要素は、回路（または集積回路）でもよい。これらの回路は、全体として１つの回路を構成してもよいし、それぞれ別々の回路でもよい。また、これらの回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。 Further, the components such as the control unit may be realized by hardware. For example, the components such as the control unit may be circuits (or integrated circuits). These circuits may form one circuit as a whole or may be separate circuits. Further, each of these circuits may be a general-purpose circuit or a dedicated circuit.

また、本発明の全般的または具体的な態様は、システム、装置、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体で実現されてもよい。また、システム、装置、方法、集積回路、コンピュータプログラム及び記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。例えば、本発明は、磁気搬送装置に含まれる制御部を備える制御装置として実現されてもよいし、上記実施の形態の磁気搬送装置の制御方法として実現されてもよい。本発明は、制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムとして実現されてもよい。本発明は、当該プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な非一時的な記録媒体として実現されてもよい。 Further, the general or specific aspects of the present invention may be realized by a recording medium such as a system, a device, a method, an integrated circuit, a computer program, or a computer-readable CD-ROM. Further, the system, the device, the method, the integrated circuit, the computer program, and the recording medium may be implemented in any combination. For example, the present invention may be realized as a control device including a control unit included in the magnetic carrier device, or may be realized as a control method for the magnetic carrier device of the above-described embodiment. The present invention may be implemented as a program that causes a computer to execute the control method. The present invention may be realized as a computer-readable non-transitory recording medium in which the program is recorded.

その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態、または、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。 In addition, it is realized by making various modifications to those skilled in the art by those skilled in the art, or by arbitrarily combining the components and functions in each embodiment without departing from the spirit of the present invention. The present invention also includes such a form.

１０、１１０ 磁気搬送装置
２０ 可動子
２２ 永久磁石
３０、１３０ 固定子
３１ 第一層
３１ａ 第一偏心コイル
３２ 第二層
３２ａ 第二偏心コイル
３３ 第三層
３３ａ 第三偏心コイル
３４ 第四層
３４ａ 第四偏心コイル
３５ 基板
５０ 制御部 10, 110 Magnetic transport device 20 Mover 22 Permanent magnet 30, 130 Stator 31 1st layer 31a 1st eccentric coil 32 2nd layer 32a 2nd eccentric coil 33 3rd layer 33a 3rd eccentric coil 34 4th layer 34a 4th Four eccentric coil 35 Substrate 50 Controller

Claims (8)

第一方向に偏心した複数の第一偏心コイルが形成された第一層、及び、前記第一方向と異なる第二方向に偏心した複数の第二偏心コイルが形成された第二層であって前記第一層に積層された第二層を含む基板を有する固定子と、
前記複数の第一偏心コイル、及び、前記複数の第二偏心コイルの少なくとも一部に電力が供給されることで生じる磁界により前記基板に沿って搬送される、磁石を有する可動子とを備える
磁気搬送装置。 A first layer formed with a plurality of first eccentric coils eccentric in the first direction, and a second layer formed with a plurality of second eccentric coils eccentric in a second direction different from the first direction, A stator having a substrate including a second layer laminated on the first layer;
A plurality of first eccentric coils, and a mover having a magnet, which is transported along the substrate by a magnetic field generated by supplying power to at least a part of the plurality of second eccentric coils. Transport device. 前記第一方向は、前記第二方向と反対の方向である
請求項１に記載の磁気搬送装置。 The magnetic transfer device according to claim 1, wherein the first direction is a direction opposite to the second direction. さらに、前記複数の第一偏心コイル、及び、前記複数の第二偏心コイルに供給される電力を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記可動子を前記第一方向及び前記第二方向のいずれとも直交する第三方向に搬送する場合、第一偏心コイル、及び、平面視において当該第一偏心コイルの前記第一方向側の隣に位置する第二偏心コイルを含む一組の偏心コイルに電力を供給する
請求項２に記載の磁気搬送装置。 Furthermore, the plurality of first eccentric coils, and a control unit for controlling the power supplied to the plurality of second eccentric coils,
When the control unit conveys the mover in a third direction orthogonal to both the first direction and the second direction, the first eccentric coil and the first eccentric coil in plan view are used. The magnetic carrier device according to claim 2, wherein electric power is supplied to a set of eccentric coils including a second eccentric coil located adjacent to the direction side. 前記可動子は、前記第一方向に沿って並ぶ複数の前記磁石を有し、
前記複数の磁石の間隔は、前記一組の偏心コイルの間隔と同一である
請求項３に記載の磁気搬送装置。 The mover has a plurality of the magnets arranged along the first direction,
The magnetic transfer device according to claim 3, wherein the interval between the plurality of magnets is the same as the interval between the pair of eccentric coils. 平面視において、前記一組の偏心コイルは、前記可動子の前記第三方向側に位置する
請求項３に記載の磁気搬送装置。 The magnetic transfer device according to claim 3, wherein the set of eccentric coils is located on the third direction side of the mover in a plan view. 平面視において、前記一組の偏心コイルは、前記可動子の、前記第三方向と反対の第四方向側に位置する
請求項３に記載の磁気搬送装置。 The magnetic transfer device according to claim 3, wherein the set of eccentric coils is located on a fourth direction side of the mover opposite to the third direction in a plan view. 前記基板は、さらに、
前記第一方向及び前記第二方向のいずれとも直交する第三方向に偏心した複数の第三偏心コイルが形成された第三層と、
前記第三方向と反対の第四方向に偏心した複数の第四偏心コイルが形成された第四層とを含む
請求項２〜６のいずれか１項に記載の磁気搬送装置。 The substrate further comprises
A third layer formed with a plurality of third eccentric coils eccentric in a third direction orthogonal to both the first direction and the second direction,
The magnetic carrier device according to any one of claims 2 to 6, further comprising: a fourth layer having a plurality of fourth eccentric coils that are eccentric in a fourth direction opposite to the third direction. 磁気搬送装置の制御方法であって、
前記磁気搬送装置は、
第一方向に偏心した複数の第一偏心コイルが形成された第一層、及び、前記第一方向と反対の第二方向に偏心した複数の第二偏心コイルが形成された第二層であって前記第一層に積層された第二層を含む基板を有する固定子と、
前記複数の第一偏心コイル、及び、前記複数の第二偏心コイルの少なくとも一部に電力が供給されることで生じる磁界により前記基板に沿って搬送される、磁石を有する可動子とを備え、
前記制御方法は、前記可動子を前記第一方向及び前記第二方向のいずれとも直交する第三方向に搬送する場合、第一偏心コイル、及び、平面視において当該第一偏心コイルの前記第一方向側の隣に位置する第二偏心コイルを含む一組の偏心コイルに電力を供給する
制御方法。 A method of controlling a magnetic carrier device, comprising:
The magnetic carrier is
A first layer formed with a plurality of first eccentric coils eccentric in the first direction, and a second layer formed with a plurality of second eccentric coils eccentric in a second direction opposite to the first direction. A stator having a substrate including a second layer laminated on the first layer,
A plurality of first eccentric coils, and a mover having a magnet, which is transported along the substrate by a magnetic field generated by supplying power to at least a part of the plurality of second eccentric coils,
In the control method, when the mover is conveyed in a third direction orthogonal to both the first direction and the second direction, the first eccentric coil and the first eccentric coil in plan view are used. A control method for supplying electric power to a set of eccentric coils including a second eccentric coil located next to the direction side.

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