JP2020085597A - 盤内粉塵監視装置及び方法、盤内粉塵監視システム - Google Patents

Abstract

【課題】制御盤内の環境をリアルタイムに把握することで、地絡事故に対する予防保全に寄与することのできる盤内粉塵監視装置を提供する。【解決手段】制御盤内に瞬時に侵入する浮遊粉塵量を検出する第１の検出部としてのダストセンサ２と、制御盤内に堆積する堆積粉塵量を検出する第２の検出部としての櫛型センサ３と、浮遊粉塵量が閾値を超えたかを判定する第１の判定部１５と、堆積粉塵量が閾値を超えたかを判定する第２の判定部１６と、いずれかが各閾値を超えたと判定したときにその旨を表示する表示部２０と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、制御盤内に侵入及び堆積する粉塵を監視する盤内粉塵監視装置及び方法、盤内粉塵監視システムに関する。

制御盤には、例えば鉄道、気象環境計測等のように遠隔に設置された制御盤や、鉄鋼、セメント、発電所等のように粉塵が多い工場内に設置された制御盤がある。これらの制御盤において、瞬時に侵入した多くの粉塵や、経年的に多量に堆積した粉塵は、制御盤内で電気的絶縁不良を引き起こし、ひいては地絡事故に結びつく可能性がある。

このような粉塵を検出するダストセンサとしては、例えば特許文献１に記載された技術がある。この技術は、パルス駆動する光源から光を照射し、発生パルスと同期した散乱光を受光素子で検出することにより粉塵量を検出し、受光素子出力の一定期間における最大値と平均値との差が所定値よりも大きいものをほこりと識別するようにしたものである。

特許第４４７０３５１号公報

ところで、制御盤においては、瞬時に侵入した粉塵量や経年的に堆積した粉塵量をそれぞれ検出し、制御盤内で電気的絶縁不良を引き起こす前に、制御盤が設置された周辺の環境や、制御盤に設置されたファンフィルタのメンテナンス時期があらかじめ判るようにすることが望まれている。

そこで、本発明は、制御盤内の環境をリアルタイムに把握することで、地絡事故に対する予防保全に寄与することのできる盤内粉塵監視装置及び方法、盤内粉塵監視システムを提供することを目的とする。

かかる目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、制御盤内に瞬時に侵入する浮遊粉塵量を検出する第１の検出部と、前記制御盤内に堆積する堆積粉塵量を検出する第２の検出部と、前記第１の検出部にて検出した前記浮遊粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する第１の判定部と、前記第２の検出部にて検出した前記堆積粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する第２の判定部と、前記第１の判定部及び前記第２の判定部のいずれかが前記各閾値を超えたと判定したときにその旨を表示する表示部と、を備えることを特徴とする。

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成に加え、前記表示部は、前記第１の検出部で検出した前記浮遊粉塵量及び前記第２の検出部で検出した前記堆積粉塵量を表示する粉塵量表示部と、前記各閾値を超えたときに警報表示する警報表示部と、を有することを特徴とする。

また、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成に加え、前記第１の検出部は、ダストセンサであって、このダストセンサは、前記浮遊粉塵量のカウント値、浮遊粉塵濃度のいずれかを検出することを特徴とする。

また、請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の構成に加え、前記第２の検出部は、櫛型センサであって、この櫛型センサは、電極部を有し、この電極部に堆積した前記堆積粉塵量に基づいて変化する静電容量値を検出することを特徴とする。

また、請求項５に記載の発明は、請求項３又は４に記載の構成に加え、前記ダストセンサにより検出された前記浮遊粉塵量と、前記櫛型センサにより検出された前記堆積粉塵量の時間的経過を記録する記録部をさらに備えることを特徴とする。

また、請求項６に記載の発明は、制御盤内に瞬時に侵入する浮遊粉塵量を検出する第１の検出工程と、前記制御盤内に堆積する堆積粉塵量を検出する第２の検出工程と、前記第１の検出工程にて検出した前記浮遊粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する第１の判定工程と、前記第２の検出工程にて検出した堆積粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する第２の判定工程と、前記第１の判定工程及び前記第２の判定工程においていずれかが前記各閾値を超えたと判定したときにその旨を表示する表示工程と、を有することを特徴とする。

また、請求項７に記載の発明は、複数の制御盤にそれぞれ設置され、かつ前記浮遊粉塵量及び前記堆積粉塵量を示す信号を送信する送信部が設けられた請求項１乃至５のいずれか一項に記載の盤内粉塵監視装置と、前記複数の盤内粉塵監視装置の各送信部からそれぞれ送信された信号を受信する受信部と、その信号を表示する表示部が設けられた集中監視装置と、を備えることを特徴とする。

請求項１に記載の発明によれば、第１の検出部にて検出した浮遊粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを第１の判定部で判定し、第２の検出部にて検出した堆積粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを第２の判定部で判定し、第１の判定部及び第２の判定部のいずれかが各閾値を超えたと判定したときに表示部にその旨を表示するようにしたことにより、制御盤内の環境をリアルタイムに把握することで、地絡事故に対する予防保全に寄与することができる。

また、請求項２に記載の発明によれば、表示部は、前記第１の検出部で検出した前記浮遊粉塵量及び前記第２の検出部で検出した前記堆積粉塵量を表示する粉塵量表示部と、各閾値を超えたときに警報表示する警報表示部と、を有するため、監視員は制御盤内の環境をリアルタイムに確実に把握することができる。

また、請求項３に記載の発明によれば、第１の検出部は、ダストセンサであって、このダストセンサは、浮遊粉塵量のカウント値、浮遊粉塵濃度のいずれかを検出するため、浮遊粉塵量を確実に検出することができる。

また、請求項４に記載の発明によれば、第２の検出部は、櫛型センサであって、この櫛型センサは、電極部を有し、この電極部に堆積した堆積粉塵量に基づいて変化する静電容量値を検出するため、堆積した堆積粉塵量を確実に検出することができる。

また、請求項５に記載の発明によれば、ダストセンサにより検出された浮遊粉塵量と、櫛型センサにより検出された堆積粉塵量の時間的経過を記録する記録部をさらに備えるため、浮遊粉塵量と堆積粉塵量の時間的経過を推定することができ、制御盤内の清掃の時期をあらかじめ判断することができる。

また、請求項６に記載の発明によれば、第１の検出工程にて検出した浮遊粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを第１の判定工程で判定し、第２の検出工程にて検出した堆積粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを第２の判定工程で判定し、第１の判定工程及び第２の判定工程においていずれかが各閾値を超えたと判定したときに表示部にその旨を表示するようにしたことにより、制御盤内の環境をリアルタイムに把握することで、地絡事故に対する予防保全に寄与することができる。

また、請求項７に記載の発明によれば、複数の制御盤にそれぞれ設置され、かつ前記浮遊粉塵量及び前記堆積粉塵量を示す信号を送信する送信部が設けられた請求項１乃至５のいずれか一項に記載の盤内粉塵監視装置と、これらの盤内粉塵監視装置の各送信部からそれぞれ送信された信号を受信する受信部と、この信号を表示する表示部が設けられた集中監視装置とを備えることで、この集中監視装置にて集中してリアルタイムで監視することにより、多数の監視盤内において、それぞれ電気的絶縁不良を引き起こすのを防止することができ、地絡事故に対する予防保全に寄与することができる。

本発明の一実施形態に係る盤内粉塵監視装置を示すブロック図である。 図１の制御装置の動作を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る盤内粉塵監視システムを示すブロック図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

［盤内粉塵監視装置の一実施形態］
図１及び図２には、本発明の盤内粉塵監視装置の一実施形態を示す。図１は、本発明の一実施形態に係る盤内粉塵監視装置を示すブロック図である。図２は、図１の制御装置の動作を示すフローチャートである。

なお、本実施形態の盤内粉塵監視装置は、例えば鉄道、気象環境計測等のように遠隔に設置された制御盤や、鉄鋼、セメント、発電所等のように粉塵が多い工場内に設置された制御盤に設置される。

図１に示すように、本実施形態の盤内粉塵監視装置１は、図示しない制御盤に設置され、第１の検出部としてのダストセンサ２と、第２の検出部としての櫛型センサ３と、制御装置１０と、表示部２０と、設定操作部４と、を備える。

制御装置１０は、入力信号取込部１１，１２と、信号出力部１３，１４と、第１の判定部１５と、第２の判定部１６と、記録部としてのＰＣ（Personal Computer）通信部１７と、を備える。信号出力部１３は、信号出力部１３ａ、警報接点出力部１３ｂを備え、同様に信号出力部１４は、信号出力部１４ａ、警報接点出力部１４ｂを備える。表示部２０は、粉塵量表示部２１と、警報表示部２２と、を備える。

ダストセンサ２は、例えば制御盤の冷却空気取り入れ口の近傍に設置され、微量な粉塵瞬時値を計測する。具体的には、ダストセンサ２は、例えば光散乱式のダストセンサが用いられ、浮遊粉塵がカウントされる。この光散乱式のダストセンサは、センサ内の流路に空気（粉塵）を取り込み、この粉塵が上記流路を通過したときに光源からの光が粉塵に当たり、光が散乱する。この散乱した光を受光器で受光し、この光を電圧変換することで、この電圧値が一定の閾値を超えた場合に、粉塵としてカウントする。

すなわち、このダストセンサ２は、計測した粉塵カウントを単位時間で積算していき、この積算値を計測値とする。例えば、１０秒間でのカウント数を計測値とする。

なお、本実施形態のダストセンサ２は、浮遊粉塵濃度（μｇ／ｍ^３）を出力するものであってもよい。浮遊粉塵濃度を出力する場合には、計測された濃度値をそのまま計測値とする。この計測値の判定基準として、制御装置１０から警報出力、計測値自体をアナログ信号（例えば、４〜２０ｍＡ）で出力する。

櫛型センサ３は、例えば制御盤の底部に設置され、制御盤内に堆積する粉塵を検出する。具体的には、櫛型センサ３は、電極部（検出部）を有し、この電極部に粉塵が堆積すると、電極部の静電容量値が上昇する。そして、電極部の粉塵堆積量が多くなればなるほど、静電容量値が上昇するため、その静電容量値を監視することで、粉塵堆積量の変化が分かるようになる。

櫛型センサ３は、計測した静電容量値をＡＤ変換して計測値として取り込む。この場合、事前に静電容量値のレンジ（範囲）を設定しておき、取り込んだ計測値がそのレンジにおいてどの程度のパーセントであるかを演算し、そのパーセントに応じてダストセンサ２と同様に出力する。

制御装置１０の入力信号取込部１１は、ダストセンサ２によって検出された浮遊粉塵量又は粉塵濃度の検出信号を取り込む一方、入力信号取込部１２は、櫛型センサ３によって検出された堆積粉塵量の検出信号を取り込む。

信号出力部１３のアナログ信号出力部１３ａは、入力信号取込部１１に取り込まれた浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度を示す信号をアナログ信号として出力する。信号出力部１４のアナログ信号出力部１４ａは、入力信号取込部１２に取り込まれた堆積粉塵量を示す信号をアナログ信号として出力する。

信号出力部１３の警報接点出力部１３ｂは、浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度の警報接点出力を行うものである。信号出力部１４の警報接点出力部１４ｂは、堆積粉塵量の警報接点出力を行うものである。

第１の判定部１５は、入力信号取込部１１に取り込まれた浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する。第２の判定部１６は、入力信号取込部１２に取り込まれた堆積粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する。第１の判定部１５及び第２の判定部１６が判定する閾値は、上述したように設定入力部４により設定される。これらの閾値は、それぞれ制御盤内で電気的絶縁不良を引き起こす値に対して大幅に低い値に設定されることが望ましい。

表示部２０の粉塵量表示部２１は、信号取込部１１に取り込まれた浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度を表示するとともに、信号取込部１２に取り込まれた堆積粉塵量を表示する。

表示部２０の警報表示部２２は、第１の判定部１５及び第２の判定部１６のいずれかがそれぞれの閾値を超えたと判定したときにその旨を警報表示する。具体的には、警報表示部２２は、例えばディスプレイ等の表示部にその旨を画像表示するか、ランプ、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の表示器を点灯又は点滅させて異常状態を警報表示するか、あるいはホーン、ベル、ブザー等の音響発生器を放音させて警報通知する。したがって、本実施形態における警報表示部２２の警報表示とは、画像表示又は警報表示を含むものとする。

ＰＣ通信部１７は、専用のソフトウェアにより、ダストセンサ２によって検出された浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度と、櫛型センサ３によって検出された堆積粉塵量の時間的経過を記録（ロギング）する。なお、制御装置１０は、アナログ信号出力であるため、ロギングする場合、ＰＣに接続して行うことになる。

次に、本実施形態における制御装置１０の動作を図２に基づいて説明する。

図２に示すように、まずステップＳ１では、入力信号取込部１１がダストセンサ２から浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度の検出信号を取り込む。そして、アナログ信号出力部１３は、入力信号取込部１１に取り込まれた浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度の検出信号をアナログ信号として出力する（ステップＳ２）。

さらに、ステップＳ３では、入力信号取込部１２が櫛型センサ３から堆積粉塵量の検出信号を取り込む。そして、アナログ信号出力部１４は、入力信号取込部１２に取り込まれた堆積粉塵量の検出信号をアナログ信号として出力する（ステップＳ４）。

次いで、第１の判定部１５は、入力信号取込部１１に取り込まれた浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する（ステップＳ５）。浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度が閾値を超えた場合（ステップＳ５：Ｙｅｓ）には、ステップＳ６に進む。このステップＳ６では、警報表示部２２が警報表示するとともに、警報接点出力部１３ｂが浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度の警報接点出力を行う。

一方、浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度が閾値を超えない場合（ステップＳ５：Ｎｏ）には、ステップＳ７に進む。このステップＳ７では、第２の判定部１６は、入力信号取込部１２に取り込まれた堆積粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する。堆積粉塵量が閾値を超えた場合（ステップＳ７：Ｙｅｓ）には、ステップＳ８に進む。このステップＳ８では、警報表示部２２が警報表示するとともに、警報接点出力部１４ｂが堆積粉塵量の警報接点出力を行う。堆積粉塵量が閾値を超えない場合（ステップＳ７：Ｎｏ）には、再びステップＳ１に戻る。

ここで、ダストセンサ２から浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度の検出信号を取り込むサンプリング時間は、微量な粉塵瞬時値を計測することから、常時取り込まれるか、あるいは極めて短い時間に設定される。また、櫛型センサ３から粉塵堆積量の検出信号を取り込むサンプリング時間は、粉塵が堆積するにはある程度時間がかかることから、ダストセンサ２よりも長い時間に設定されている。

このように本実施形態によれば、ダストセンサ２にて検出した浮遊粉塵量又は濃度があらかじめ設定された閾値を超えたかを第１の判定部１５で判定し、櫛型センサ３にて検出した堆積粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを第２の判定部１６で判定し、第１の判定部１５及び第２の判定部１６のいずれかが各閾値を超えたと判定したときに表示部２０にその旨を表示するようにしたことにより、制御盤内の環境をリアルタイムに把握することで、電気的絶縁不良を引き起こすのを防止することができ、地絡事故に対する予防保全に寄与することができる。

また、本実施形態によれば、表示部２０は、ダストセンサ２及び櫛型センサ３で検出した粉塵量を表示する粉塵量表示部２１と、各閾値を超えたときに警報表示する警報表示部２２と、を有するため、監視員は制御盤内の環境をリアルタイムに確実に把握することができる。

さらに、本実施形態によれば、ダストセンサ２は、浮遊粉塵量のカウント値、浮遊粉塵濃度のいずれかを検出するため、浮遊粉塵量を確実に検出することができる。

本実施形態によれば、櫛型センサ３は、電極部を有し、この電極部に堆積した粉塵量に基づいて変化する静電容量値を検出するため、堆積した粉塵量を確実に検出することができる。

また、本実施形態によれば、ダストセンサ２による浮遊粉塵量と、櫛型センサ３による堆積粉塵量の時間的経過を記録するＰＣ通信部１７をさらに備えるため、浮遊粉塵量と堆積粉塵量の時間的経過を推定することができ、制御盤内の清掃の時期をあらかじめ判断することができる。

［盤内粉塵監視システムの一実施形態］
図３は、本発明の一実施形態に係る盤内粉塵監視システムを示すブロック図である。なお、本実施形態では、前記一実施形態の盤内粉塵監視装置と同一の部分には、同一の符号を付して異なる構成及び作用について説明する。また、図３では、内部構成を盤内粉塵監視装置１ａだけ示しているが、本実施形態では、盤内粉塵監視装置１ａ，…１ｎのように多数設置され、互いに同様の内部構成を有しているものとする。

図３に示すように、多数の盤内粉塵監視装置１ａ，…１ｎは、例えば鉄道、気象環境計測等のように遠隔に設置された制御盤や、鉄鋼、セメント、発電所等のように粉塵が多い工場内に設置された制御盤等にそれぞれ設置されているものとする。

本実施形態の盤内粉塵監視装置１ａは、表示部２０の表示信号を送信する送信部２５が設置されている。具体的には、送信部２５は、粉塵量表示部２１に表示された粉塵量表示信号と、警報表示部２２に表示された警報表示信号を集中監視装置３０に送信する。

集中監視装置３０は、受信部３１と、粉塵量表示部３２と、警報表示部３３とを備える。集中監視装置３０の受信部３１は、送信部２５から送信された粉塵量表示信号及び警報表示信号を受信する。この受信された粉塵量表示信号及び警報表示信号は、それぞれ集中監視装置３０の粉塵量表示部３２と、警報表示部３３に表示される。

このように本実施形態では、各所に設置された複数の制御盤の環境を集中監視装置３０にて集中してリアルタイムで監視することにより、多数の監視盤内においてそれぞれ電気的絶縁不良を引き起こすのを防止することができる。その結果、多数の監視盤を地絡事故に対する予防保全に寄与することができる。

なお、以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。

例えば、上述した各実施形態では、ダストセンサ２にて浮遊粉塵量又は濃度を検出し、櫛型センサ３にて堆積粉塵量を検出するようにしたが、これらに加えて制御盤内に温湿度計を設置し、これら温湿度にそれぞれ閾値を設定し、その閾値を超えた場合にも警報表示するようにしてもよい。このように構成することで、一段と監視精度を向上させることが可能となる。

また、上記各実施形態では、ダストセンサ２と、櫛型センサ３にそれぞれ設定操作部４を接続し、これらダストセンサ２及び櫛型センサ３に警報接点出力を行うための閾値等を設定していたが、これに限らず範囲、閾値の設定を全て制御装置１０で行うようにしてもよい。

１，１ａ，１ｎ 盤内粉塵監視装置
２ ダストセンサ（第１の検出部）
３ 櫛型センサ３（第２の検出部）
４ 設定操作部
１０ 制御装置
１１ 入力信号取込部
１２ 入力信号取込部
１３ 信号出力部
１３ａ アナログ信号出力部
１３ｂ 警報接点出力部
１４ 信号出力部
１４ａ アナログ信号出力部
１４ｂ 警報接点出力部
１５ 第１の判定部
１６ 第２の判定部
１７ ＰＣ通信部（記録部）
２０ 表示部
２１ 粉塵量表示部
２２ 警報表示部
２５ 送信部
３０ 集中監視装置
３１ 受信部
３２ 粉塵量表示部
３３ 警報表示部

かかる課題を達成するために、請求項１に記載の発明は、制御盤内に侵入する浮遊粉塵量の瞬時値を検出する第１の検出部と、前記制御盤内に堆積する堆積粉塵量を検出する第２の検出部と、前記第１の検出部にて検出した前記浮遊粉塵量の瞬時値があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する第１の判定部と、前記第２の検出部にて検出した前記堆積粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する第２の判定部と、前記第１の判定部及び前記第２の判定部のいずれかが前記各閾値を超えたと判定したときにその旨を表示する表示部と、前記第１の判定部で前記浮遊粉塵量の瞬時値が前記閾値を超えたかを判定し、前記浮遊粉塵量の瞬時値が前記閾値を超えた場合に前記表示部でその旨を表示させる一方、前記浮遊粉塵量の瞬時値が前記閾値を超えない場合には、その後に前記第２の判定部で前記堆積粉塵量が前記閾値を超えたかを判定し、前記堆積粉塵量が前記閾値を超えた場合に前記表示部でその旨を表示させるように制御する制御装置と、を備えることを特徴とする。

また、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の構成に加え、前記第２の検出部は、櫛型センサであって、この櫛型センサは、電極部を有し、この電極部に堆積した前記堆積粉塵量に基づいて変化する静電容量値を検出することを特徴とする。

また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の構成に加え、前記ダストセンサにより検出された前記浮遊粉塵量と、前記櫛型センサにより検出された前記堆積粉塵量の時間的経過を記録する記録部をさらに備えることを特徴とする。

また、請求項６に記載の発明は、制御盤内に侵入する浮遊粉塵量の瞬時値を検出する第１の検出工程と、前記制御盤内に堆積する堆積粉塵量を検出する第２の検出工程と、前記第１の検出工程にて検出した前記浮遊粉塵量の瞬時値があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する第１の判定工程と、前記第２の検出工程にて検出した前記堆積粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する第２の判定工程と、前記第１の判定工程及び前記第２の判定工程においていずれかが前記各閾値を超えたと判定したときにその旨を表示する表示工程と、前記第１の判定工程で前記浮遊粉塵量が前記閾値を超えたかを判定し、前記浮遊粉塵量の瞬時値が前記閾値を超えた場合に前記表示工程でその旨を表示させる一方、前記浮遊粉塵量の瞬時値が前記閾値を超えない場合には、その後に前記第２の判定工程で前記堆積粉塵量が前記閾値を超えたかを判定し、前記堆積粉塵量が前記閾値を超えた場合に前記表示工程でその旨を表示させるように制御する制御工程と、を有することを特徴とする。

制御装置１０は、入力信号取込部１１，１２と、信号出力部１３，１４と、第１の判定部１５と、第２の判定部１６と、記録部としてのＰＣ（Personal Computer）通信部１７と、を備える。信号出力部１３は、アナログ信号出力部１３ａ、警報接点出力部１３ｂを備え、同様に信号出力部１４は、アナログ信号出力部１４ａ、警報接点出力部１４ｂを備える。表示部２０は、粉塵量表示部２１と、警報表示部２２と、を備える。

第１の判定部１５は、入力信号取込部１１に取り込まれた浮遊粉塵量又は浮遊粉塵濃度があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する。第２の判定部１６は、入力信号取込部１２に取り込まれた堆積粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する。第１の判定部１５及び第２の判定部１６が判定する閾値は、上述したように設定操作部４により設定される。これらの閾値は、それぞれ制御盤内で電気的絶縁不良を引き起こす値に対して大幅に低い値に設定されることが望ましい。

Claims (7)

1. 制御盤内に瞬時に侵入する浮遊粉塵量を検出する第１の検出部と、
   前記制御盤内に堆積する堆積粉塵量を検出する第２の検出部と、
   前記第１の検出部にて検出した前記浮遊粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する第１の判定部と、
   前記第２の検出部にて検出した前記堆積粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する第２の判定部と、
   前記第１の判定部及び前記第２の判定部のいずれかが前記各閾値を超えたと判定したときにその旨を表示する表示部と、
   を備えることを特徴とする盤内粉塵監視装置。
2. 前記表示部は、前記第１の検出部で検出した前記浮遊粉塵量及び前記第２の検出部で検出した前記堆積粉塵量を表示する粉塵量表示部と、前記各閾値を超えたときに警報表示する警報表示部と、を有することを特徴とする請求項１に記載の盤内粉塵監視装置。
3. 前記第１の検出部は、ダストセンサであって、このダストセンサは、前記浮遊粉塵量のカウント値、浮遊粉塵濃度のいずれかを検出することを特徴とする請求項１又は２に記載の盤内粉塵監視装置。
4. 前記第２の検出部は、櫛型センサであって、この櫛型センサは、電極部を有し、この電極部に堆積した前記堆積粉塵量に基づいて変化する静電容量値を検出することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の盤内粉塵監視装置。
5. 前記ダストセンサにより検出された前記浮遊粉塵量と、前記櫛型センサにより検出された前記堆積粉塵量の時間的経過を記録する記録部をさらに備えることを特徴とする請求項３又は４のいずれか一項に記載の盤内粉塵監視装置。
6. 制御盤内に瞬時に侵入する浮遊粉塵量を検出する第１の検出工程と、
   前記制御盤内に堆積する堆積粉塵量を検出する第２の検出工程と、
   前記第１の検出工程にて検出した前記浮遊粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する第１の判定工程と、
   前記第２の検出工程にて検出した前記堆積粉塵量があらかじめ設定された閾値を超えたかを判定する第２の判定工程と、
   前記第１の判定工程及び前記第２の判定工程においていずれかが前記各閾値を超えたと判定したときにその旨を表示する表示工程と、
   を有することを特徴とする盤内粉塵監視方法。
7. 複数の制御盤にそれぞれ設置され、かつ前記浮遊粉塵量及び前記堆積粉塵量を示す信号を送信する送信部が設けられた請求項１乃至５のいずれか一項に記載の盤内粉塵監視装置と、
   前記複数の盤内粉塵監視装置の各送信部からそれぞれ送信された信号を受信し、これらの信号を表示する表示部が設けられた集中監視装置と、
   を備えることを特徴とする盤内粉塵監視システム。

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