JP2020068326A - 被着体処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】被着体が破損することなく、当該被着体のフレーム部材への一体化と、当該被着体からのシート材の剥離とを実施すること。【解決手段】一方の面WK1にシート材SMが貼付された被着体WKの他方の面WK2側およびフレーム部材RFに第1接着シートAS1を貼付し、それらを一体化してシート材SM付き一体物UPを形成する一体化工程と、シート材SM付き一体物UPから当該シート材SMを剥離して一体物UPを形成する剥離工程とを実施し、一体化工程の前段で、被着体WKの他方の面WK2に破損防止シートAS2を貼付する破損防止シート貼付工程を実施し、当該破損防止シート貼付工程では、以降の工程で付与される最大の負荷を考慮し、当該最大の負荷によって被着体WKが破損しない剛性を備えた破損防止シートAS2が選定される。【選択図】図1
Description
本発明は、被着体処理方法に関する。
従来、一方の面にシート材が貼付された被着体の他方の面と、フレーム部材とに第1接着シートを貼付し、当該被着体からシート材を剥離して一体物を形成する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1に記載されたウエハ処理方法(被着体処理方法)では、一方の面に保護テープPT(シート材)が貼付されたウエハW(被着体)の他方の面と、リングフレームRF(フレーム部材)とにダイシングテープDT(第1接着シート)を貼付し、当該被着体からシート材を剥離して当該シート材の無いワークK(一体物)を形成する一連の動作を行う際、被着体の他方の面に接着シートSを貼付するものの、テープ貼付ユニット16による被着体とリングフレームRFとの一体化工程(一体化工程)や、テープ剥離ユニット17によるシート材の剥離工程(剥離工程)において、稀に何れかの工程の負荷によって当該被着体が破損するという不都合がある。
本発明の目的は、被着体が破損することなく、当該被着体のフレーム部材への一体化と、当該被着体からのシート材の剥離とを実施することができる被着体処理方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、破損防止シート貼付工程において、以降の工程での最大の負荷を考慮して、当該最大の負荷によって被着体が破損しない剛性を備えた破損防止シートが選定されるので、被着体が破損することなく、当該被着体のフレーム部材への一体化と、当該被着体からのシート材の剥離とを実施することができる。
剛性とは、圧縮、ずれ、ねじれ等の外力に対する物体の変形し難い性質のことである。
剛性とは、圧縮、ずれ、ねじれ等の外力に対する物体の変形し難い性質のことである。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
本発明の被着体処理方法は、例えば、以下の被着体処理装置EAによって実施することができる。
すなわち、被着体処理装置EAは、一方の面WK1にシート材SMが貼付された被着体WKとフレーム部材としてのリングフレームRFとが所定の位置関係となるようにそれらを配置する配置工程を実施する配置手段10と、被着体WKの他方の面WK2側およびリングフレームRFに第1接着シートAS1を貼付し、それらを一体化してシート材SM付き一体物UPを形成する一体化工程を実施する一体化手段20と、シート材SM付き一体物UPを搬送する第1搬送工程を実施する第1搬送手段30と、シート材SM付き一体物UPから当該シート材SMを剥離して一体物UPを形成する剥離工程を実施する剥離手段40と、一体物UPを搬送する第2搬送工程を実施する第2搬送手段50と、配置手段10と一体化手段20との間に配置され、被着体WKの他方の面WK2に破損防止シートAS2を貼付する破損防止シート貼付工程を実施する破損防止シート貼付手段60を備え、被着体WKやリングフレームRFを運搬する運搬手段70の近傍に配置されている。
すなわち、被着体処理装置EAは、一方の面WK1にシート材SMが貼付された被着体WKとフレーム部材としてのリングフレームRFとが所定の位置関係となるようにそれらを配置する配置工程を実施する配置手段10と、被着体WKの他方の面WK2側およびリングフレームRFに第1接着シートAS1を貼付し、それらを一体化してシート材SM付き一体物UPを形成する一体化工程を実施する一体化手段20と、シート材SM付き一体物UPを搬送する第1搬送工程を実施する第1搬送手段30と、シート材SM付き一体物UPから当該シート材SMを剥離して一体物UPを形成する剥離工程を実施する剥離手段40と、一体物UPを搬送する第2搬送工程を実施する第2搬送手段50と、配置手段10と一体化手段20との間に配置され、被着体WKの他方の面WK2に破損防止シートAS2を貼付する破損防止シート貼付工程を実施する破損防止シート貼付手段60を備え、被着体WKやリングフレームRFを運搬する運搬手段70の近傍に配置されている。
配置手段10は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム11Aで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット11と、先端アーム11Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な支持面12Aを有する支持アーム12とを備えている。
一体化手段20は、帯状の第1剥離シートRL1の一方の面に第1接着シートAS1が仮着された第1原反RS1を支持する支持ローラ21Aと、第1原反RS1を案内するガイドローラ21Bと、剥離縁22Aで第1剥離シートRL1を折り曲げて当該第1剥離シートRL1から第1接着シートAS1を剥離する剥離手段としての剥離板22と、第1剥離シートRL1から剥離した第1接着シートAS1をリングフレームRFの一方の面RF1および被着体WKの他方の面WK2側に押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ23と、駆動機器としての回動モータ24Aの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ24Bとで第1剥離シートRL1を挟み込む駆動ローラ24と、図示しない駆動機器によって駆動し、被着体処理装置EAの自動運転が行われている間、ピンチローラ24Bとの間に存在する第1剥離シートRL1に常に所定の張力を付与し、当該第1剥離シートRL1を回収する回収手段としての回収ローラ24Cとを備えている。
第1搬送手段30は、駆動機器としてのリニアモータ31のスライダ31Aに支持された駆動機器としての回動モータ32と、その出力軸32Aに支持され、シート材SM付き一体物UPを把持するチャックアーム33Aを有する駆動機器(保持手段)としてのチャックモータ33とを備えている。
剥離手段40は、保持手段としての帯状の剥離用テープPTを支持する支持ローラ41と、剥離用テープPTを案内するガイドローラ42と、駆動機器としての直動モータ43の出力軸43Aに回転可能に支持された剥離ローラ44と、駆動機器としての回動モータ45Aの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ45Bとで剥離用テープPTを挟み込む駆動ローラ45と、図示しない駆動機器によって駆動し、被着体処理装置EAの自動運転が行われている間、ピンチローラ45Bとの間に存在する剥離用テープPTに常に所定の張力を付与し、当該剥離用テープPTを回収する回収手段としての回収ローラ45Cとを備えている。
第2搬送手段50は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム51Aで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット51と、先端アーム51Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な支持面52Aを有する支持アーム52とを備えている。
破損防止シート貼付手段60は、帯状の第2剥離シートRL2の一方の面に破損防止シートAS2が仮着された第2原反RS2を支持する支持ローラ61Aと、第2原反RS2を案内するガイドローラ61Bと、剥離縁62Aで第2剥離シートRL2を折り曲げて当該第2剥離シートRL2から破損防止シートAS2を剥離する剥離手段としての剥離板62と、第2剥離シートRL2から剥離した破損防止シートAS2を被着体WKの他方の面WK2に押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ63と、駆動機器としての回動モータ64Aの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ64Bとで第2剥離シートRL2を挟み込む駆動ローラ64と、図示しない駆動機器によって駆動し、被着体処理装置EAの自動運転が行われている間、ピンチローラ64Bとの間に存在する第2剥離シートRL2に常に所定の張力を付与し、当該第2剥離シートRL2を回収する回収手段としての回収ローラ64Cと、被着体搬送手段70に支持され、所定のエネルギーとしての熱を付与可能なエネルギー付与手段としてのコイルヒータ65とを備えている。
運搬手段70は、一方の面WK1にシート材SMが貼付された被着体WKが配置される被着体載置台71と、複数のリングフレームRFを載置可能なリングフレーム載置台72と、駆動機器としてのリニアモータ73のスライダ73Aに支持され、上面が支持面74Aとされた外側テーブル74と、外側テーブル74に形成された凹部74B内に支持された駆動機器としての直動モータ75と、その出力軸75Aに支持され上面が支持面76Aとされた内側テーブル76と、支持面74A、76Aに吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)とを備えている。なお、外側テーブル74の後側縁部には、チャックアーム33Aが入り込む切欠部74Cが形成されている。また、加熱手段65は、内側テーブル76に内蔵されている。
以上の被着体処理装置EAによる本発明の被着体処理方法を説明する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置された被着体処理装置EAに対し、当該被着体処理装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が第2原反RS1、剥離用テープPTおよびリングフレームRFを同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、一体化手段20および破損防止シート貼付手段60が回動モータ24A、64Aを駆動し、第1、第2原反RS1、RS2を繰り出し、先頭の第1接着シートAS1、破損防止シートAS2の繰出方向先端部がそれぞれ剥離板22、62の剥離縁22A、62Aで第1、第2剥離シートRL1、RL2から所定長さ剥離されると、回動モータ24A、64Aの駆動を停止する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置された被着体処理装置EAに対し、当該被着体処理装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が第2原反RS1、剥離用テープPTおよびリングフレームRFを同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、一体化手段20および破損防止シート貼付手段60が回動モータ24A、64Aを駆動し、第1、第2原反RS1、RS2を繰り出し、先頭の第1接着シートAS1、破損防止シートAS2の繰出方向先端部がそれぞれ剥離板22、62の剥離縁22A、62Aで第1、第2剥離シートRL1、RL2から所定長さ剥離されると、回動モータ24A、64Aの駆動を停止する。
次いで、使用者または、駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が図1(A)に示すように、シート材SMを下側にして被着体WKを被着体載置台71上に載置すると、配置手段10による以下の配置工程が実施される。
すなわち、配置工程は、配置手段10が多関節ロボット11を駆動し、被着体載置台71上の被着体WKの他方の面WK2上に支持アーム12を当接させ、図示しない減圧手段を駆動し、支持面12Aでの被着体WKの吸着保持を開始する。その後、配置手段10が多関節ロボット11を駆動し、支持アーム12で吸着保持した被着体WKに貼付されているシート材SMを内側テーブル76上に載置すると、運搬手段70が図示しない減圧手段を駆動し、支持面76Aでの被着体WKの吸着保持を開始する。次に、配置手段10が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面12Aでの被着体WKの吸着保持を解除した後、多関節ロボット11を駆動し、支持アーム12を被着体WKの他方の面WK2から離間させる。そして、配置手段10が多関節ロボット11および図示しない減圧手段を駆動し、リングフレーム載置台72上のリングフレームRFの一方の面RF1上に支持アーム12を当接させ、支持面12AでのリングフレームRFの吸着保持を開始した後、当該リングフレームRFを外側テーブル74上に載置する。次いで、運搬手段70が図示しない減圧手段を駆動し、支持面74AでのリングフレームRFの吸着保持を開始すると、配置手段10が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面12AでのリングフレームRFの吸着保持を解除した後、多関節ロボット11を駆動し、支持アーム12を初期位置に復帰させ、配置工程が完了する。このとき、上方から見下ろした上面視において、被着体WKがリングフレームRFの開口部RFH内に収まるように配置されることで、それらが所定の位置関係となるように配置される。
なお、上記配置工程では、例えば、被着体WKを内側テーブル76上に載置する際に、当該被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第1の負荷とする。
すなわち、配置工程は、配置手段10が多関節ロボット11を駆動し、被着体載置台71上の被着体WKの他方の面WK2上に支持アーム12を当接させ、図示しない減圧手段を駆動し、支持面12Aでの被着体WKの吸着保持を開始する。その後、配置手段10が多関節ロボット11を駆動し、支持アーム12で吸着保持した被着体WKに貼付されているシート材SMを内側テーブル76上に載置すると、運搬手段70が図示しない減圧手段を駆動し、支持面76Aでの被着体WKの吸着保持を開始する。次に、配置手段10が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面12Aでの被着体WKの吸着保持を解除した後、多関節ロボット11を駆動し、支持アーム12を被着体WKの他方の面WK2から離間させる。そして、配置手段10が多関節ロボット11および図示しない減圧手段を駆動し、リングフレーム載置台72上のリングフレームRFの一方の面RF1上に支持アーム12を当接させ、支持面12AでのリングフレームRFの吸着保持を開始した後、当該リングフレームRFを外側テーブル74上に載置する。次いで、運搬手段70が図示しない減圧手段を駆動し、支持面74AでのリングフレームRFの吸着保持を開始すると、配置手段10が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面12AでのリングフレームRFの吸着保持を解除した後、多関節ロボット11を駆動し、支持アーム12を初期位置に復帰させ、配置工程が完了する。このとき、上方から見下ろした上面視において、被着体WKがリングフレームRFの開口部RFH内に収まるように配置されることで、それらが所定の位置関係となるように配置される。
なお、上記配置工程では、例えば、被着体WKを内側テーブル76上に載置する際に、当該被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第1の負荷とする。
ここで、本実施形態の場合、一体化工程の前段であって配置工程の後段で、被着体WKの他方の面WK2に破損防止シートAS2を貼付する破損防止シート貼付工程が実施される。この破損防止シート貼付工程では、以降の工程(一体化工程、第1搬送工程、剥離工程および第2搬送工程)で付与される最大の負荷(第2の負荷、第3の負荷、第4の負荷および第5の負荷のうち最大の負荷)を考慮し、当該最大の負荷によって被着体WKが破損しない剛性を備えた破損防止シートAS2が選定される。
すなわち、破損防止シート貼付工程は、運搬手段70が直動モータ75を駆動し、被着体WKの他方の面WK2がリングフレームRFの一方の面RF1と同一平面内に位置する高さまたは、リングフレームRFの一方の面RF1よりも上方に位置する高さまで内側テーブル76を上昇させた後、リニアモータ73を駆動し、スライダ73Aを左方へ移動させる。ここで、破損防止シート貼付手段60には、上述のような剛性を備えた破損防止シートAS2を有する第2原反RS2が、予め使用者によって図1(A)に示すようにセットされている。その後、リングフレームRFが破損防止シート貼付手段60に対する所定の位置に到達すると、当該破損防止シート貼付手段60が回動モータ64Aを駆動し、スライダ73Aの移動速度に合わせて第2原反RS2を繰り出す。これにより、破損防止シートAS2が第2剥離シートRL2から剥離され、当該第2剥離シートRL2から剥離された破損防止シートAS2は、図1(A)中二点鎖線で示すように、押圧ローラ63によって被着体WKの他方の面WK2に押圧されて貼付される。次に、先頭の破損防止シートAS2に次ぐ次の破損防止シートAS2の繰出方向先端部が剥離板62の剥離縁62Aで第2剥離シートRL2から所定長さ剥離されると、破損防止シートAS2が回動モータ64Aの駆動を停止し、破損防止シート貼付工程が完了する。
なお、破損防止シートAS2が所定のエネルギーとしての熱によって硬化し、その剛性が向上するものの場合、破損防止シート貼付手段60がコイルヒータ65を駆動し、破損防止シートAS2に熱を付与して当該破損防止シートAS2を硬化させるエネルギー付与工程を実施してもよい。
すなわち、破損防止シート貼付工程は、運搬手段70が直動モータ75を駆動し、被着体WKの他方の面WK2がリングフレームRFの一方の面RF1と同一平面内に位置する高さまたは、リングフレームRFの一方の面RF1よりも上方に位置する高さまで内側テーブル76を上昇させた後、リニアモータ73を駆動し、スライダ73Aを左方へ移動させる。ここで、破損防止シート貼付手段60には、上述のような剛性を備えた破損防止シートAS2を有する第2原反RS2が、予め使用者によって図1(A)に示すようにセットされている。その後、リングフレームRFが破損防止シート貼付手段60に対する所定の位置に到達すると、当該破損防止シート貼付手段60が回動モータ64Aを駆動し、スライダ73Aの移動速度に合わせて第2原反RS2を繰り出す。これにより、破損防止シートAS2が第2剥離シートRL2から剥離され、当該第2剥離シートRL2から剥離された破損防止シートAS2は、図1(A)中二点鎖線で示すように、押圧ローラ63によって被着体WKの他方の面WK2に押圧されて貼付される。次に、先頭の破損防止シートAS2に次ぐ次の破損防止シートAS2の繰出方向先端部が剥離板62の剥離縁62Aで第2剥離シートRL2から所定長さ剥離されると、破損防止シートAS2が回動モータ64Aの駆動を停止し、破損防止シート貼付工程が完了する。
なお、破損防止シートAS2が所定のエネルギーとしての熱によって硬化し、その剛性が向上するものの場合、破損防止シート貼付手段60がコイルヒータ65を駆動し、破損防止シートAS2に熱を付与して当該破損防止シートAS2を硬化させるエネルギー付与工程を実施してもよい。
破損防止シート貼付工程が完了すると、一体化手段20による以下の一体化工程が実施される。
すなわち、一体化工程は、リニアモータ73の駆動によるスライダ73Aの左方への移動の続行中に、運搬手段70が直動モータ75を駆動し、破損防止シートAS2の上面をリングフレームRFの一方の面RF1と同一平面内に位置させる。そして、リングフレームRFが一体化手段20に対する所定の位置に到達すると、当該一体化手段20が回動モータ24Aを駆動し、スライダ73Aの移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、第1接着シートAS1が第1剥離シートRL1から剥離され、当該第1剥離シートRL1から剥離された第1接着シートAS1は、図1(A)中二点鎖線で示すように、押圧ローラ23によってリングフレームRFの一方の面RF1および破損防止シートAS2上に押圧されて貼付され、シート材SM付き一体物UPが形成される。次いで、先頭の第1接着シートAS1に次ぐ次の第1接着シートAS1の繰出方向先端部が剥離板22の剥離縁22Aで第1剥離シートRL1から所定長さ剥離されると、一体化手段20が回動モータ24Aの駆動を停止し、一体化工程が完了する。
なお、上記一体化工程では、例えば、押圧ローラ63によって第1接着シートAS1を破損防止シートAS2上に押圧して貼付する際に、被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第2の負荷とする。
すなわち、一体化工程は、リニアモータ73の駆動によるスライダ73Aの左方への移動の続行中に、運搬手段70が直動モータ75を駆動し、破損防止シートAS2の上面をリングフレームRFの一方の面RF1と同一平面内に位置させる。そして、リングフレームRFが一体化手段20に対する所定の位置に到達すると、当該一体化手段20が回動モータ24Aを駆動し、スライダ73Aの移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、第1接着シートAS1が第1剥離シートRL1から剥離され、当該第1剥離シートRL1から剥離された第1接着シートAS1は、図1(A)中二点鎖線で示すように、押圧ローラ23によってリングフレームRFの一方の面RF1および破損防止シートAS2上に押圧されて貼付され、シート材SM付き一体物UPが形成される。次いで、先頭の第1接着シートAS1に次ぐ次の第1接着シートAS1の繰出方向先端部が剥離板22の剥離縁22Aで第1剥離シートRL1から所定長さ剥離されると、一体化手段20が回動モータ24Aの駆動を停止し、一体化工程が完了する。
なお、上記一体化工程では、例えば、押圧ローラ63によって第1接着シートAS1を破損防止シートAS2上に押圧して貼付する際に、被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第2の負荷とする。
一体化工程が完了すると、第1搬送手段30による以下の第1搬送工程が実施される。
すなわち、第1搬送工程は、リニアモータ73の駆動によるスライダ73Aの左方への移動の続行により、チャックアーム33Aの前方に切欠部74Cが到達すると、運搬手段70がリニアモータ73の駆動を停止した後、第1搬送手段30がチャックモータ33を駆動し、図1(B)中二点鎖線で示すように、チャックアーム33Aでシート材SM付き一体物UPを保持する。その後、運搬手段70が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面74A、76Aでのシート材SM付き一体物UPの吸着保持を解除すると、第1搬送手段30がリニアモータ31および回動モータ32を駆動し、図3(B)中二点鎖線で示すように、チャックアーム33Aで保持したシート材SM付き一体物UPを所定高さにまで持ち上げ、当該シート材SM付き一体物UPを上下反転させる。次に、運搬手段70が直動モータ75を駆動し、内側テーブル76を初期位置に復帰させた後、第1搬送手段30がリニアモータ31を駆動し、第1接着シートAS1を下側にしてシート材SM付き一体物UPを保持面74A、76A上に載置する。そして、運搬手段70が図示しない減圧手段を駆動し、保持面74A、76Aでのシート材SM付き一体物UPの吸着保持を開始すると、第1搬送手段30がチャックモータ33を駆動し、チャックアーム33Aを初期位置に復帰させ、第1搬送工程が完了する。
なお、上記第1搬送工程では、例えば、シート材SM付き一体物UPを上下反転させる際に、被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第3の負荷とする。
すなわち、第1搬送工程は、リニアモータ73の駆動によるスライダ73Aの左方への移動の続行により、チャックアーム33Aの前方に切欠部74Cが到達すると、運搬手段70がリニアモータ73の駆動を停止した後、第1搬送手段30がチャックモータ33を駆動し、図1(B)中二点鎖線で示すように、チャックアーム33Aでシート材SM付き一体物UPを保持する。その後、運搬手段70が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面74A、76Aでのシート材SM付き一体物UPの吸着保持を解除すると、第1搬送手段30がリニアモータ31および回動モータ32を駆動し、図3(B)中二点鎖線で示すように、チャックアーム33Aで保持したシート材SM付き一体物UPを所定高さにまで持ち上げ、当該シート材SM付き一体物UPを上下反転させる。次に、運搬手段70が直動モータ75を駆動し、内側テーブル76を初期位置に復帰させた後、第1搬送手段30がリニアモータ31を駆動し、第1接着シートAS1を下側にしてシート材SM付き一体物UPを保持面74A、76A上に載置する。そして、運搬手段70が図示しない減圧手段を駆動し、保持面74A、76Aでのシート材SM付き一体物UPの吸着保持を開始すると、第1搬送手段30がチャックモータ33を駆動し、チャックアーム33Aを初期位置に復帰させ、第1搬送工程が完了する。
なお、上記第1搬送工程では、例えば、シート材SM付き一体物UPを上下反転させる際に、被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第3の負荷とする。
第1搬送工程が完了すると、剥離手段40による以下の剥離工程が実施される。
すなわち、剥離工程は、運搬手段70がリニアモータ73を駆動し、スライダ73Aを左方へ移動させ、図1(A)中二点鎖線で示すように、シート材SM付き一体物UPにおけるシート材SMの左端部が剥離ローラ44の最下端部直下に到達すると、リニアモータ73の駆動を停止する。次いで、剥離手段40が直動モータ43を駆動し、剥離ローラ44を下降させて剥離用テープPTをシート材SMの左端部に貼付すると、運搬手段70および剥離手段40がリニアモータ73および回動モータ45Aを駆動し、スライダ73Aを左方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用テープPTを回収ローラ45C方向へ送る。これにより、図3(C)に示すように、シート材SMが被着体WKから剥離され、当該シート材SM全体が被着体WKから剥離されて一体物UPが形成されると、剥離手段40が直動モータ43を駆動し、剥離ローラ44を初期位置に復帰させた後、回動モータ45Aの駆動を停止し、剥離工程が完了する。
なお、上記剥離工程では、例えば、剥離用テープPTをシート材SMの左端部に貼付する際に、被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第4の負荷とする。
すなわち、剥離工程は、運搬手段70がリニアモータ73を駆動し、スライダ73Aを左方へ移動させ、図1(A)中二点鎖線で示すように、シート材SM付き一体物UPにおけるシート材SMの左端部が剥離ローラ44の最下端部直下に到達すると、リニアモータ73の駆動を停止する。次いで、剥離手段40が直動モータ43を駆動し、剥離ローラ44を下降させて剥離用テープPTをシート材SMの左端部に貼付すると、運搬手段70および剥離手段40がリニアモータ73および回動モータ45Aを駆動し、スライダ73Aを左方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用テープPTを回収ローラ45C方向へ送る。これにより、図3(C)に示すように、シート材SMが被着体WKから剥離され、当該シート材SM全体が被着体WKから剥離されて一体物UPが形成されると、剥離手段40が直動モータ43を駆動し、剥離ローラ44を初期位置に復帰させた後、回動モータ45Aの駆動を停止し、剥離工程が完了する。
なお、上記剥離工程では、例えば、剥離用テープPTをシート材SMの左端部に貼付する際に、被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第4の負荷とする。
剥離工程が完了すると、第2搬送手段50による以下の第2搬送工程が実施される。
すなわち、第2搬送工程は、リニアモータ73の駆動によるスライダ73Aの左方への移動の続行により、スライダ73Aが所定の位置に到達すると、運搬手段70がリニアモータ73の駆動を停止する。その後、第2搬送手段50が多関節ロボット51を駆動し、外側テーブル74上のリングフレームRFの他方の面RF2上に支持アーム52を当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、支持面52AでのリングフレームRFの吸着保持を開始する。次に、運搬手段70が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面74A、76Aでの一体物UPの吸着保持を解除した後、第2搬送手段50が多関節ロボット51を駆動し、一体物UPを次工程に搬送すると、運搬手段70がリニアモータ73を駆動し、スライダ73Aを初期位置に復帰させる。そして、第2搬送手段50が多関節ロボット51を駆動し、支持アーム52を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
なお、上記第2搬送工程では、例えば、一体物UPを保持面74A、76Aから離間させる際に、被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第5の負荷とする。
すなわち、第2搬送工程は、リニアモータ73の駆動によるスライダ73Aの左方への移動の続行により、スライダ73Aが所定の位置に到達すると、運搬手段70がリニアモータ73の駆動を停止する。その後、第2搬送手段50が多関節ロボット51を駆動し、外側テーブル74上のリングフレームRFの他方の面RF2上に支持アーム52を当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、支持面52AでのリングフレームRFの吸着保持を開始する。次に、運搬手段70が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面74A、76Aでの一体物UPの吸着保持を解除した後、第2搬送手段50が多関節ロボット51を駆動し、一体物UPを次工程に搬送すると、運搬手段70がリニアモータ73を駆動し、スライダ73Aを初期位置に復帰させる。そして、第2搬送手段50が多関節ロボット51を駆動し、支持アーム52を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
なお、上記第2搬送工程では、例えば、一体物UPを保持面74A、76Aから離間させる際に、被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第5の負荷とする。
以上のような実施形態によれば、破損防止シート貼付工程において、以降の工程(一体化工程、第1搬送工程、剥離工程および第2搬送工程)での最大の負荷(第2の負荷、第3の負荷、第4の負荷および第5の負荷のうち最大の負荷、例えば、第4の負荷)を考慮して、当該最大の負荷(第4の負荷)によって被着体WKが破損しない剛性を備えた破損防止シートAS2が選定されるので、被着体WKが破損することなく、当該被着体WKのリングフレームRFへの一体化と、当該被着体WKからのシート材SMの剥離とを実施することができる。
本発明における手段及び工程は、それら手段及び工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる1実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、一体化工程は、一方の面にシート材が貼付された被着体の他方の面側およびフレーム部材に第1接着シートを貼付し、それらを一体化してシート材付き一体物を形成する工程であれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。
配置工程は、リングフレームRFを外側テーブル74上に載置した後、シート材SMが貼付された被着体WKを内側テーブル76上に載置してもよいし、シート材SMが貼付された被着体WKとリングフレームRFとの両方を、同時に内側テーブル76と外側テーブル74とに載置してもよいし、例えば、上面視において、リングフレームRFの開口部RFH内に被着体WKが収まらないように配置することで、それらが所定の位置関係となるように配置してもよいし、本発明の被着体処理方法を実施する前段で、一方の面WK1にシート材SMが貼付された被着体WKとリングフレームRFとが所定の位置関係となるように配置されていれば、本発明の被着体処理方法において実施しなくてもよい。
一体化工程は、剥離シートに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第1接着シートAS1とされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を第1接着シートAS1としてもよいし、第1原反RS1を支持する際、当該第1原反RS1を巻回することなく例えばファンフォールド折りの状態で支持してもよいし、第1剥離シートRL1を回収する際、巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよいし、被着体WKやリングフレームRFを移動させずにまたは移動させつつ、押圧ローラ23等を移動させ、リングフレームRFの一方の面RF1および被着体WKの他方の面WK2側に、第1接着シートAS1を貼付してそれらを一体化し、シート材SM付き一体物UPを形成してもよいし、第1接着シートAS1を接着面の反対側から保持部材で保持し、保持した第1接着シートAS1をリングフレームRFの一方の面RF1および被着体WKの他方の面WK2側に貼付する押圧手段としての駆動機器を備えた一体化手段で実施してもよいし、天地反転して配置したり横向きに配置したりした一体化手段で実施してもよいし、押圧ローラ23をリングフレームRFや被着体WKに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を採用し、リングフレームRFや被着体WKにストレスがかかったり損傷したりすることを防止することが可能な一体化手段で実施してもよいし、リングフレームRFの一方の面RF1および破損防止シートAS2上に第1接着シートAS1を貼付する際、破損防止シートAS2の上面をリングフレームRFの一方の面RF1よりも上方としてもよいし下方としてよい。
第1搬送工程は、シート材SM付き一体物UPにおけるリングフレームRF、第1接着シートAS1、被着体WKおよび、被着体WKに貼付されたシート材SMのうち少なくとも1つを保持してもよいし、シート材SM付き一体物UPを上昇させることなく、外側テーブル74や内側テーブル76を移動させておいて当該シート材SM付き一体物UPを上下反転させてもよいし、運搬手段70に支持されている第1搬送手段で実施してもよいし、シート材SM付き一体物UPを上下反転させることなく被着体WKからシート材SMを剥離できる場合等、シート材SM付き一体物UPを搬送する必要がなければ、実施しなくてもよいし、例えば、一体化手段と剥離手段とのそれぞれがシート材SM付き一体物UPを運搬する運搬手段を個別に備えている場合、一体化手段の運搬手段から剥離手段の運搬手段へシート材SM付き一体物UPを搬送する構成としてもよい。
剥離工程は、スライダ73Aの移動を停止させることなく、剥離用テープPTをシート材SMに貼付してもよいし、剥離ローラ44を昇降させることなく、剥離用テープPTをシート材SMに貼付してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材でシート材SMを保持し、当該保持部材で保持したシート材SMを被着体WKから離間させて剥離してもよいし、運搬手段70に支持されている剥離手段で実施してもよいし、枚葉の剥離用テープPTをシート材SMに貼付し、当該枚葉の剥離用テープPTに張力を付与して被着体WKからシート材SMを剥離してもよいし、被着体WKを移動させずにまたは移動させつつ、自身が移動して被着体WKからシート材SMを剥離してもよいし、例えば、赤外線、紫外線、可視光線、音波、X線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の接着力低減エネルギーによって、接着力が低減するシート材SMが採用されている場合、シート材SMを被着体WKから剥離する前段で、当該シート材SMに接着力低減エネルギーを付与する接着力低減エネルギー付与工程を実施してもよい。
第2搬送工程は、一体物UPにおけるリングフレームRF、第1接着シートAS1および被着体WKのうち少なくとも1つを保持してもよいし、運搬手段70に支持されている第2搬送手段で実施してもよいし、本発明の被着体処理方法を実施した後段で、一体物UPを搬送する場合、本発明の被着体処理方法において実施しなくてもよい。
破損防止シート貼付工程は、配置工程の前段で実施してもよく、この場合、例えば、図示しない搬送手段が、シート材が貼付された被着体WKを被着体載置台71上に載置した後、破損防止シート貼付手段60で被着体WKの他方の面WK2に破損防止シートAS2を貼付し、その後、配置手段10が被着体WKとリングフレームRFとを内側テーブル76と外側テーブル74とに載置し、その後、一体化工程等を実施すればよい。この際、破損防止シート貼付工程では、各工程(配置工程、一体化工程、第1搬送工程、剥離工程および第2搬送工程)での最大の負荷(第1の負荷、第2の負荷、第3の負荷、第4の負荷および第5の負荷のうち最大の負荷)のことを考慮し、当該最大の負荷によって被着体WKが破損しない剛性を備えた破損防止シートAS2が選定される。
破損防止シート貼付工程は、剥離シートに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が破損防止シートAS2とされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を破損防止シートAS2としてもよいし、破損防止シートAS2を支持する際、当該破損防止シートAS2を巻回することなく例えばファンフォールド折りの状態で支持してもよいし、第2剥離シートRL2を回収する際、巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよいし、被着体WKやリングフレームRFを移動させずにまたは移動させつつ、押圧ローラ63等を移動させ、被着体WKの他方の面WK2に破損防止シートAS2を貼付してもよいし、破損防止シートAS2を接着面の反対側から保持部材で保持し、保持した破損防止シートAS2を被着体WKの他方の面WK2に貼付する押圧手段としての駆動機器を備えた破損防止シート貼付手段で実施してもよいし、天地反転して配置したり横向きに配置した破損防止シート貼付手段で実施してもよいし、押圧ローラ63を被着体WKに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を採用し、被着体WKにストレスがかかったり損傷したりすることを防止することが可能な損防止シート貼付手段で実施してもよいし、破損防止シートAS2に所定のエネルギーを付与しなくてもよいし、被着体WKの他方の面WK2に破損防止シートAS2を貼付する際、被着体WKの他方の面WK2をリングフレームRFの一方の面RF1よりも下方としてよい。
破損防止シート貼付工程は、剥離シートに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が破損防止シートAS2とされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を破損防止シートAS2としてもよいし、破損防止シートAS2を支持する際、当該破損防止シートAS2を巻回することなく例えばファンフォールド折りの状態で支持してもよいし、第2剥離シートRL2を回収する際、巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよいし、被着体WKやリングフレームRFを移動させずにまたは移動させつつ、押圧ローラ63等を移動させ、被着体WKの他方の面WK2に破損防止シートAS2を貼付してもよいし、破損防止シートAS2を接着面の反対側から保持部材で保持し、保持した破損防止シートAS2を被着体WKの他方の面WK2に貼付する押圧手段としての駆動機器を備えた破損防止シート貼付手段で実施してもよいし、天地反転して配置したり横向きに配置した破損防止シート貼付手段で実施してもよいし、押圧ローラ63を被着体WKに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を採用し、被着体WKにストレスがかかったり損傷したりすることを防止することが可能な損防止シート貼付手段で実施してもよいし、破損防止シートAS2に所定のエネルギーを付与しなくてもよいし、被着体WKの他方の面WK2に破損防止シートAS2を貼付する際、被着体WKの他方の面WK2をリングフレームRFの一方の面RF1よりも下方としてよい。
運搬工程は、シート材SMを上側にして被着体WKが被着体載置台71上に載置されてもよいし、複数の被着体WKが被着体載置台71上に載置されてもよいし、単数のリングフレームRFがリングフレーム載置台72上に載置されてもよいし、本発明の被着体処理方法において実施しなくてもよい。
破損防止シートAS2は、被着体WKに貼付されることにより、破損防止シート貼付工程以降の工程(以降、「後工程」という)で付与される最大の負荷によって、当該被着体WKを破損しないようにすることができる程度の剛性を備えたものでもよいし、被着体WKに貼付されることなく単体であっても、後工程で付与される最大の負荷に耐えて、被着体WKを破損させないようにすることができる程度の剛性を備えたものでもよい。
破損防止シートAS2は、熱湯や熱風等の熱、冷却された気体や液体等の冷却媒体、紫外線、可視光線、音波、X線またはガンマ線等のあらゆる波長の電磁波、振動、薬品、化学物質等を所定のエネルギーとし、当該所定のエネルギーが付与されることで硬化するエネルギー硬化型のものが採用されてもよいし、エネルギー硬化型のものが採用されなくてもよく、エネルギー硬化型のものが採用された場合、エネルギー付与工程では、破損防止シートAS2の特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮し、熱、冷却媒体、あらゆる波長の電磁波、振動、薬品、化学物質等を付与して当該破損防止シートAS2を硬化させることができる。
各工程(配置工程、一体化工程、第1搬送工程、剥離工程、第2搬送工程)において付与される最大の負荷は、上記に例示した際に付与される負荷でなく、例えば、配置工程において、被着体WKを被着体載置台71から離間させる際に、当該被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第1の負荷としてもよいし、第1搬送工程において、上下反転させたシート材SM付き一体物UPを保持面74A、76A上に載置する際に、被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第3の負荷としてもよいし、第1の負荷、第2の負荷、第3の負荷、第4の負荷および第5の負荷のうち最大の負荷は第4の負荷ではなく、例えば、第1の負荷であってもよいし、第5の負荷であってもよい。
被着体WKが半導体ウエハや化合物ウエハの場合、一方の面WK1および他方の面WK2のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方に回路が形成されていなくてもよいし、シート材SM、第1接着シートAS1または破損防止シートAS2は、回路が形成されている面に貼付されてもよいし、回路が形成されていない面に貼付されてもよい。
フレーム部材は、環状でもよいし、環状でなくてもよい。
本発明の被着体処理方法は、被着体処理装置EA以外の装置や人手によって実施されてもよい。
破損防止シートAS2は、熱湯や熱風等の熱、冷却された気体や液体等の冷却媒体、紫外線、可視光線、音波、X線またはガンマ線等のあらゆる波長の電磁波、振動、薬品、化学物質等を所定のエネルギーとし、当該所定のエネルギーが付与されることで硬化するエネルギー硬化型のものが採用されてもよいし、エネルギー硬化型のものが採用されなくてもよく、エネルギー硬化型のものが採用された場合、エネルギー付与工程では、破損防止シートAS2の特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮し、熱、冷却媒体、あらゆる波長の電磁波、振動、薬品、化学物質等を付与して当該破損防止シートAS2を硬化させることができる。
各工程(配置工程、一体化工程、第1搬送工程、剥離工程、第2搬送工程)において付与される最大の負荷は、上記に例示した際に付与される負荷でなく、例えば、配置工程において、被着体WKを被着体載置台71から離間させる際に、当該被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第1の負荷としてもよいし、第1搬送工程において、上下反転させたシート材SM付き一体物UPを保持面74A、76A上に載置する際に、被着体WKに最大の負荷が付与され、この負荷を第3の負荷としてもよいし、第1の負荷、第2の負荷、第3の負荷、第4の負荷および第5の負荷のうち最大の負荷は第4の負荷ではなく、例えば、第1の負荷であってもよいし、第5の負荷であってもよい。
被着体WKが半導体ウエハや化合物ウエハの場合、一方の面WK1および他方の面WK2のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方に回路が形成されていなくてもよいし、シート材SM、第1接着シートAS1または破損防止シートAS2は、回路が形成されている面に貼付されてもよいし、回路が形成されていない面に貼付されてもよい。
フレーム部材は、環状でもよいし、環状でなくてもよい。
本発明の被着体処理方法は、被着体処理装置EA以外の装置や人手によって実施されてもよい。
本発明におけるシート材SM、第1接着シートAS1、破損防止シートAS2および被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、シート材SM、第1接着シートAS1または破損防止シートAS2は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このようなシート材SM、第1接着シートAS1または破損防止シートAS2は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
AS1…第1接着シート
AS2…破損防止シート
RF…リングフレーム(フレーム部材)
SM…シート材
UP…一体物
WK…被着体
WK1…一方の面
WK2…他方の面
AS2…破損防止シート
RF…リングフレーム(フレーム部材)
SM…シート材
UP…一体物
WK…被着体
WK1…一方の面
WK2…他方の面
Claims (4)
- 一方の面にシート材が貼付された被着体の他方の面側およびフレーム部材に第1接着シートを貼付し、それらを一体化してシート材付き一体物を形成する一体化工程と、
前記シート材付き一体物から当該シート材を剥離して一体物を形成する剥離工程とを実施し、
前記一体化工程の前段で、前記被着体の他方の面に破損防止シートを貼付する破損防止シート貼付工程を実施し、当該破損防止シート貼付工程では、以降の工程で付与される最大の負荷を考慮し、当該最大の負荷によって前記被着体が破損しない剛性を備えた前記破損防止シートが選定されることを特徴とする被着体処理方法。 - 前記一体化工程の前段で、一方の面にシート材が貼付された被着体とフレーム部材とが所定の位置関係となるようにそれらを配置する配置工程を実施することを特徴とする請求項1に記載の被着体処理方法。
- 前記一体化工程と剥離工程との間で、前記シート材付き一体物を搬送する第1搬送工程を実施することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の被着体処理方法。
- 前記剥離工程の後、一体物を搬送する第2搬送工程を実施することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の被着体処理方法。
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