JP2020067314A - 半導体からなる原子膜を評価する方法 - Google Patents

半導体からなる原子膜を評価する方法 Download PDF

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貴章 谷口
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Abstract

【課題】 半導体からなる原子膜を簡便に評価する方法を提供すること。【解決手段】 本発明の半導体からなる原子膜を評価する方法は、半導体からなる原子膜を、金属イオンを含有する水溶液に浸漬させ、光を照射するステップであって、半導体からなる原子膜の伝導帯の底のエネルギーは金属イオンの還元電位よりも大きく、光の光子エネルギーは半導体からなる原子膜のバンドギャップよりも大きい、ステップと、半導体からなる原子膜を顕微鏡により観察するステップとを包含する。【選択図】 図1

Description

本発明は、半導体からなる原子膜を評価する方法に関し、詳細には、光学顕微鏡を用いて原子膜の欠陥や粒界の有無を評価する方法に関する。
原子膜(二次元ナノ物質とも呼ばれる)は、原子が所定の結晶構造をなした原子レベルの厚さを有する層であり、代表的な原子膜としてグラフェンが知られている。グラフェンは、3次元物質である層状物質のグラファイトを単層剥離して得られ、炭素原子が六方晶系構造を有する原子膜である。グラフェンは、シリコン(Si)よりも100倍以上速い電荷移動度を有し、非常に大きなフェルミ速度を有するため、次世代材料として研究が盛んである。
同様に、3次元物質である層状物質として、MoSやWSe等の遷移金属カルコゲナイドが知られており、これらを単層剥離して得られる原子膜は、グラフェンとは異なり、バンドギャップを有する半導体であり、熱的安定性に優れ、速い電荷移動度および高い電流オン/オフ比を有することから、グラフェンを凌ぐ次世代トランジスタや光電素子の材料として注目されている。
このような原子膜は、層状物質をインターカレートや超音波等により物理的に単層剥離することによっても得られるが、化学的気相成長法(CVD)によるボトムアップ成長も可能である。しかしながら、CVDで合成される遷移金属カルコゲナイドの原子膜には構造欠陥や粒界が存在し、それらの構造や濃度は合成手法と反応条件に大きな影響を受ける。
欠陥や粒界は半導体特性に大きく影響を与えるため、その評価は極めて重要である。その評価法として透過型電子顕微鏡や走査型顕微鏡による観察が最も正確な情報が得られるが、手間とコストとがかかるだけでなく、観察できる領域がナノスケールの極一部に限定されため、実用デバイスの評価技術として適していない。
より大面積における欠陥や粒界を評価する手法として、蛍光顕微鏡観察があるが、蛍光顕微鏡は高価であり、また蛍光画像(あるいは蛍光スペクトル)の物理的意味を正しく解釈することは難しい。他の顕微分光法(ラマン分光、非線形光学分光等)についても同様の問題を有する。
このようなことから、高価な装置を使用することなく、より簡便に大面積にわたって原子膜の欠陥や粒界を評価できる手法が開発されることが望ましい。
一方、光触媒に金属助触媒を光析出により担持させる技術がある(例えば、特許文献1を参照)。特許文献1によれば、光触媒粉末をHPtCl溶液に分散させ、UV光を照射することにより、Ptを光析出させ、Pt助触媒を担持した光触媒が提供される。しかしながら、このような技術を原子膜に応用した報告はない。
特開2016−150262号公報
以上から、本発明の課題は、半導体からなる原子膜を簡便に評価する方法を提供することである。
本発明による半導体からなる原子膜を評価する方法は、前記半導体からなる原子膜を、金属イオンを含有する水溶液に浸漬させ、光を照射するステップであって、前記半導体からなる原子膜の伝導帯の底のエネルギーは前記金属イオンの還元電位よりも大きく、前記光の光子エネルギーは前記半導体からなる原子膜のバンドギャップよりも大きい、ステップと、前記半導体からなる原子膜を顕微鏡により観察するステップとを包含し、これにより上記課題を解決する。
前記観察するステップにおいて、前記原子膜上に金属粒子が観察された場合、前記原子膜は欠陥および/または粒界を有すると評価し、前記原子膜上に金属粒子が観察されない場合、前記原子膜は欠陥および粒界を有しないと評価してもよい。
前記観察するステップにおいて、前記原子膜上に分散して位置する金属粒子が観察された場合、または、前記原子膜の端部に連続する金属粒子が観察された場合、前記原子膜は欠陥を有すると評価し、前記原子膜を横断する方向に連続する金属粒子が観察された場合、前記原子膜は粒界を有すると評価してもよい。
前記半導体は、遷移金属カルコゲナイドであってもよい。
前記遷移金属カルコゲナイドは、一般式MX(ここで、Mは、タングステン(W)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、チタン(Ti)およびハフニウム(Hf)からなる群から少なくとも1つ選択される元素であり、Xは、硫黄(S)、セレン(Se)およびテルル(Te)からなる群から少なくとも1つ選択される元素である)で表されてもよい。
前記金属イオンは、銀(Ag)イオン、金(Au)イオン、白金(Pt)イオン、ロジウム(Rh)イオン、および、ルテニウム(Ru)イオンからなる群から選択されてもよい。
前記光を照射するステップは、350nm以上1000nm以下の範囲の波長を有する光を、前記原子膜に5分以上60分以下の時間照射してもよい。
前記光を照射するステップにおいて、前記金属イオンの水溶液は、0.005mol/L以上5mol/L以下の濃度を有してもよい。
前記光を照射するステップにおいて、前記金属イオンの水溶液は、0.005mol/L以上1mol/L以下の濃度を有してもよい。
前記金属イオンの水溶液は、前記金属イオンの硝酸、リン酸、硫酸および酢酸からなる群から選択される無機塩の水溶液であってもよい。
前記原子膜は、0.3nm以上30nm以下の範囲の厚さを有してもよい。
前記原子膜は、基板上に位置してもよい。
前記光を照射するステップに先立って、前記原子膜を、少なくともアルコールで洗浄するステップをさらに包含してもよい。 前記観察するステップにおいて、前記原子膜上の一部の領域に分散して位置する金属粒子が観察され、その他の領域に前記金属粒子が観察されない場合、前記金属粒子が観察された領域における前記原子膜は単層であり、前記金属粒子が観察されないその他の領域における前記原子膜は2層以上であると評価してもよい。
前記観察するステップにおいて、前記原子膜上にクラブ形状を有するマージした金属粒子が観察される場合、前記原子膜はステップを有すると評価してもよい。
前記顕微鏡は、光学顕微鏡、原子間力顕微鏡、走査型電子顕微鏡および透過型電子顕微鏡からなる群から選択されてもよい。
本発明の半導体からなる原子膜を評価する方法は、半導体からなる原子膜を、金属イオンを含有する水溶液に浸漬させ、光を照射するステップと、半導体からなる原子膜を顕微鏡により観察するステップとを包含する。評価したい原子膜を単に金属イオンを含有する水溶液に浸漬し、光を照射した後に、光学顕微鏡等の顕微鏡により観察するだけでよいので、特別な装置や熟練の技術を不要とし、極めて簡便である。本発明の方法では、半導体からなる原子膜の伝導帯の底のエネルギーは金属イオンの還元電位よりも大きく、光の光子エネルギーは半導体からなる原子膜のバンドギャップよりも大きくなるように、半導体、金属イオンおよび光の波長が選択されるので、原子膜の欠陥や粒界上にのみ選択的に金属粒子を析出させることができる。この結果、顕微鏡により金属粒子の存在や位置を観察するだけで原子膜の欠陥や粒界の有無を評価できる。
本発明の原子膜を評価するフローチャートを示す図 金属粒子を用いた原子膜の評価の様子を示す図 金属粒子を用いた原子膜の別の評価の様子を示す図 試料1のAFM像を示す図 試料1のラマンスペクトルを示す図 試料4の光学顕微鏡写真(A)およびAFM像(B)を示す図 試料4のラマンスペクトルを示す図 例1の評価用試料(O処理なし、PL処理なし)の光学顕微鏡写真を示す図 例1の評価用試料(O処理なし、PL処理なし、10分間光照射後)の光学顕微鏡写真(A)およびSEM像(B)を示す図 例1の評価用試料(O処理なし、PL処理なし、10分間光照射後)の粒子のEDSスペクトルを示す図 例1の評価用試料(O処理なし、PL処理なし、30分間光照射後)のXRDパターンを示す図 UV−O処理した試料1のAFM像を示す図 UV−O処理した試料1の移動度、発光特性およびラマンスペクトルのO処理時間の依存性を示す図 例1の評価用試料(O処理あり)の光学顕微鏡写真を示す図 例1の評価用試料(PL処理あり)の光学顕微鏡写真を示す図 例2の評価用試料の光学顕微鏡写真を示す図 例1の評価用試料(O処理なし、PL処理なし、30分間光照射後)の別の部分のAFM像を示す図 例3の評価用試料の光学顕微鏡写真を示す図 例4の評価用試料の光学顕微鏡写真を示す図 例5の評価用試料の光学顕微鏡写真を示す図 例6の評価用試料の光学顕微鏡写真を示す図
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
図1は、本発明の原子膜を評価するフローチャートを示す図である。
ステップS110:半導体からなる原子膜を、金属イオンを含有する水溶液に浸漬させ、光を照射する。以降では簡単のため、「半導体からなる原子膜」を「半導体原子膜」と称する。ここで、半導体原子膜の伝導帯の底のエネルギーは金属イオンの還元電位よりも大きく、かつ、光の光子エネルギーは半導体原子膜のバンドギャップよりも大きくなるように、半導体、金属イオンおよび光の波長が選択されている。
半導体原子膜のバンドギャップよりも大きな光子エネルギーを有する光を半導体原子膜に照射することにより、半導体原子膜は励起され、光励起電子と光励起ホールとが生成する。このように半導体原子膜が励起されればよいので、上述の半導体原子膜のバンドギャップと光の光子エネルギーとの関係を満たす限り、そのエネルギー差の大きさに制限はない。
このようにして励起された光励起電子は、半導体原子膜の伝導帯の底のエネルギーよりも低い還元電位を有する金属イオンを還元し、金属となるため、半導体原子膜上に金属からなる粒子(単に金属粒子と称する)が生成する。一方、光励起ホールは酸化反応に使用される。このような反応を金属の光析出反応と呼ぶ。半導体原子膜の伝導帯の底のエネルギーが金属イオンの還元電位より大きければ、光励起電子は金属イオンを還元できるため、エネルギー差の大きさに制限はない。
ステップS120:ステップS110で得られた半導体からなる原子膜を顕微鏡によって観察する。本願発明者らは、上述の金属析出反応によって析出した金属が、半導体原子膜上の欠陥や粒界にのみ選択的に析出することを見出した。このため、高価な透過型電子顕微鏡や走査型電子顕微鏡などを使用することなく、例えば光学顕微鏡によっても金属粒子の存在や位置を観察するだけで半導体原子膜の欠陥や粒界の有無を評価できる。
このように、ステップS120において、半導体原子膜上に金属粒子が観察された場合、半導体原子膜は欠陥および/または粒界を有すると評価し、半導体原子膜上に金属粒子が観察されない場合、半導体原子膜は欠陥および粒界を有しないと評価することができる。単に観察するだけでよいため、スペクトル解析も不要とし、結晶性やデバイス性能評価プログラムにおける最初のスクリーニング技術として有効である。
次に、本発明の方法を採用した半導体原子膜の欠陥や粒界を評価する手順について詳細に説明する。
図2は、金属粒子を用いた原子膜の評価の様子を示す図である。
図2には、ステップS120における例示的な観察結果を示している。図2において、半導体原子膜220が基板210上に形成されている。半導体原子膜220上には、分散して位置する金属粒子230、半導体原子膜220の端部に連続して位置する金属粒子240、半導体原子膜230を横断する方向に連続して位置する金属粒子250が示される。
半導体原子膜220上に分散して位置する金属粒子230が観察された場合、半導体原子膜220が欠陥を有すると評価できる。原子膜における欠陥とは点欠陥や線欠陥などである。光析出した金属粒子は、格子欠陥に対応して位置する傾向を有するためである。
半導体原子膜220の端部に連続する金属粒子240が観察された場合も、半導体原子膜220が欠陥を有すると評価できる。この場合には、半導体原子膜220の端部は点欠陥が一次元的に連続した線欠陥が生じている。
半導体原子膜220を横断する方向に連続して位置する金属粒子250が観察された場合、半導体原子膜220は粒界(面欠陥と捉えてもよい)を有すると判断できる。光析出した金属粒子は、粒界上に連続的に位置する傾向を有するためである。
図3は、金属粒子を用いた原子膜の別の評価の様子を示す図である。
図3には、ステップS120における別の例示的な観察結果を示している。図3において、半導体原子膜310が基板210上に形成されている。半導体原子膜310上の一部の領域に分散して位置する金属粒子320が観察され、その他の領域には金属粒子が観察されない。このような場合、金属粒子320が観察された領域は、半導体原子膜310が単層の半導体原子膜310aであり、金属粒子が観察されない領域は、半導体原子膜310が2層以上からなる半導体原子膜310bであると評価できる。後述する実施例に示すように、本願発明者らは、半導体原子膜が原子レベルで傾斜しているような場合に、2層以上の原子膜では金属粒子が析出しにくいことを見出した。
図示しないが、金属粒子を用いた原子膜のさらに別の評価について説明する。半導体原子膜上に金属粒子がマージする場合がある。この場合、マージした金属粒子の形状を観察し、クラブの形状を有すれば、マージした金属粒子は、半導体原子膜のステップに位置すると評価できる。さらに、半導体原子膜には、このステップ上にさらなる単層膜が形成され得ると評価できる。このように、マージした粒子の形状を見るだけで、半導体原子膜のステップの有無を評価できる。本願明細書では、このようなステップも欠陥の一種とする。
以上のように、光析出した金属粒子の有無や分布を観察することによって、容易に、半導体原子膜の欠陥や粒界を評価できる。
より詳細な条件について説明する。
ステップS110において、採用できる半導体、金属イオンおよび光の波長は、上述の条件を満たす限り特に制限はないが、例示的な半導体は、遷移金属カルコゲナイドである。遷移金属カルコゲナイドは、ナノシート半導体あるいは原子レベルの半導体膜として知られており、とりわけ、本発明の評価方法に好適である。
遷移金属カルコゲナイドは、好ましくは、一般式MX(ここで、Mは、タングステン(W)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、チタン(Ti)およびハフニウム(Hf)からなる群から少なくとも1つ選択される元素であり、Xは、硫黄(S)、セレン(Se)およびテルル(Te)からなる群から少なくとも1つ選択される元素である)で表される。これらの遷移金属カルコゲナイドは、本発明の評価方法を採用すれば、金属光析出を可能にする。参考のため、遷移金属カルコゲナイド原子膜のバンドギャップ等について表1に示す。バルク材料と原子膜とでは、同じ物質であってもバンドギャップが異なることに留意されたい。
例示的な金属イオンは、銀(Ag)イオン、金(Au)イオン、白金(Pt)イオン、ロジウム(Rh)イオン、および、ルテニウム(Ru)イオンからなる群から選択される。これらは、還元されて金属粒子を形成しやすい。上述の半導体原子膜の伝導帯の底のエネルギーは、これらの金属イオンの還元電位よりも大きいことが分かっている。参考のため、金属イオンの還元電位について表2に示す。
光の波長は、例示的には、350nm以上1000nm以下の範囲を有する。この範囲の光の光子エネルギーは、1.24eV以上3.54eV以下を満たす。この範囲の波長から選択すれば、上述の半導体を光励起させることができる。好ましくは、光の波長は、350nm以上550nm以下の範囲を有する。このような光の波長を発する光源には、レーザダイオード(LD)、発光ダイオード(LED)、ファイバレーザ等を採用できる。
半導体、金属イオンおよび照射する光の波長の選定は、半導体のバンド準位と金属イオンの還元準位とを統合して判断することがよいが、簡便には、表1に記載のバンドギャップおよび伝導帯の底のエネルギーと、表2に記載の還元電位とをすることによって、選定をすることもできる。
ステップS110において、光を照射するステップは、半導体原子膜に上述の条件を満たす光を1分以上照射すればよい。1分より短いと、金属の光析出反応が十分でない場合があり、評価を正しくできない場合がある。好ましくは、光を照射するステップは、上述の350nm以上1000nm以下の範囲を有する光を、半導体原子膜に5分以上60分以下の時間照射する。これにより、金属の光析出反応を促進し、評価を可能にする。
ステップS110において、金属イオンの水溶液は、好ましくは、0.005mol/L以上5mol/L以下の濃度を有する。この範囲であれば、金属の光析出反応が生じる。金属イオンの水溶液は、より好ましくは、0.005mol/L以上1mol/L以下の濃度を有する。この範囲であれば、金属の光析出反応が効率的に生じる。金属イオンの水溶液は、なお好ましくは、0.005mol/L以上0.5mol/L以下の濃度を有する。この範囲であれば、より少ない濃度において金属の光析出反応が効率的に生じる。
また、金属イオンの水溶液は、金属イオンの硝酸、リン酸、硫酸および酢酸からなる群から選択される無機塩の水溶液を採用できる。これらは通常入手可能なものである。
半導体原子膜は、原子レベルのオーダの厚さを有するものが採用されるが、例示的には、0.3nm以上30nm以下の範囲の厚さを有する。より好ましくは、半導体原子膜は1nm以上10nm以下の範囲の厚さを有する。このような範囲であれば、上述の表1、表2を参考に材料および光の選択が可能であり、金属粒子が欠陥や粒界に選択的に光析出し得る。
半導体原子膜は、層状物質が単層剥離されたナノシートであってもよいが、物理的気相成長法や化学的気相成長法によって基板上に成膜された原子膜であってもよい。このため、半導体原子膜は基板上に位置してもよく、取り扱いに有利である。
ステップS110に先立って、半導体原子膜を少なくともアルコールで洗浄するステップをさらに包含してもよい。このような前処理を行うことにより、金属粒子の欠陥や粒界への選択的な光析出を促進できる。アルコールは、例示的には、エタノール、2−プロパノール等を採用できる。
ステップS120において、顕微鏡は半導体原子膜を観察できる限り特に制限はなく、例示的には、光学顕微鏡、原子間力顕微鏡、走査型電子顕微鏡および透過型電子顕微鏡からなる群から選択されるが、上述したように簡便には光学顕微鏡を採用できる。本発明の評価方法は、光学顕微鏡などの通常の実験施設にある顕微鏡を採用できるので、高価な装置を不要とし、低コストで汎用性に優れる。
次に具体的な実施例を用いて本発明を詳述するが、本発明がこれら実施例に限定されないことに留意されたい。
[評価用試料]
評価用試料として、表3に示す試料1〜4を用いた。
試料1は以下のようにして得た。基板には、表面に酸化膜を有するシリコンウェハ(SiO/Si基板、SiO厚さ300nm、2cm×1.5cm)を用いた。基板を、アセトンおよびイソプロパノールにより洗浄した。アルミナボートにMoO粉末(シグマアルドリッチ製、10mg)を配置し、それを覆うように基板を設置した。このアルミナボートを石英管の風下側に配置した。アルミナボートに硫黄粉末(富士フイルム和光純薬株式会社製、30mg)を配置し、これを石英管の風上側に配置した。
次に、Arガス(100sccm)を流し、MoO粉末がある場所の石英管を700℃で加熱し、MoOを還元し、昇華させた。同時に硫黄粉末がある場所の石英管を200℃で加熱し、硫黄を昇華させ、30分間維持し、MoSを合成した。
試料2は以下のようにして得た。試料1と同じ基板に上にNaMoO水溶液(5mg/ml)1mlを3000rmp、60秒でスピンコートし、NaMoOを担持させた。次に、硫黄粉末(20mg)を石英管に配置し、Arガス(100sccm)を流し、750℃で5分間加熱した。このようにして、100nm以上の膜厚を有し、特に端部は1μm以上の厚さを有する試料2を得た。試料3は、試料1と同様であるが、一部をマスキングした後、再度合成した点が異なる。
試料4は、MoSバルク単結晶基板に粘着テープを貼り付けて、テープ側に付着した結晶をさらに数回粘着テープで剥離して、十分薄膜化を行った後、これをSiO/Si基板に転写して得た。
このようにして得られた試料1を原子間力顕微鏡(AFM、日立ハイテクノロージー製、AFM5200S)で観察し、ラマン分光装置(東京インスツルメント製、Nanofinder30)によりラマンスペクトルを測定した。また、また、試料4を、光学顕微鏡(オリンパス製、BX53)およびAFMにより観察し、ラマンスペクトルを測定した。これらの結果を図4〜図7に示す。
図4は、試料1のAFM像を示す図である。
図4によれば、合成した膜は、MoSの結晶構造を反映した、三角形状を有し、厚さ4nmのMoSからなる膜であることが分かった。
図5は、試料1のラマンスペクトルを示す図である
図5によれば、E2gモードおよびA1gモードのピークが、384.6cm−1および404.2cm−1に現れ、その幅が約19.8cm−1であった。このことから、試料1は、MoSからなる単層の原子膜であることが分かった。
図6は、試料4の光学顕微鏡写真(A)およびAFM像(B)を示す図である。
図6(A)によれば、コントラストが明るく示される領域は、試料4の膜厚が厚いことを示す。図6(B)によれば、試料4は、数nm〜数十nmの厚さを有することが分かった。特に、試料4は、図の下部から上部に向かって膜厚が厚くなった。
図7は、試料4のラマンスペクトルを示す図である。
図7には、図6(B)の4つの領域(A〜D)においてそれぞれ測定したラマンスペクトルが示される。図7によれば、A〜Dのいずれの領域においてもE2gモードおよびA1gモードのピークが、380〜384cm−1および403〜406cm−1に現れた。領域A〜Dで得られたスペクトルのピーク幅は、それぞれ、18.6cm−1、21.3cm−1,24.85cm−1および25.85cm−1であった。このことから、領域AはMoSからなる単層の原子膜であり、領域BはMoSからなる2層の原子膜であり、領域Cおよび領域DはMoSからなるMoSからなる多層(8層以上)膜であることが分かった。
[例1〜例6]
例1〜例6では、表4に示すように、各試料について、種々の濃度の硝酸銀水溶液に浸漬させ、波長500nmを有する光を所定時間、照射し(図1のステップS110)、光学顕微鏡により各試料を観察した(図2のステップS120)。ここで、MoS原子膜の伝導帯の底のエネルギーは、銀の還元電位よりも大きく、光の光子エネルギー(2.48eV)は、MoSのバンドギャップ(1.3eV)よりも大きかった。ステップS110後の試料は、純粋に10秒含侵させ、窒素ブローを行い、残留する水や汚れを除去した。
なお、ステップS110に先立って、各試料は、いずれも、次のようにして前処理された。イソプロパノールと水との混合溶液(イソプロパノール:水=10:1(体積比))に1時間、次いで、イソプロパノール中で5分間含侵させた後、窒素(N)ブローを行い、残留するイソプロパノールを除去した。このようにして評価用試料を得た。
同じバッチで得られた試料1のいくつかについて、UV−オゾン(O)処理またはパルスレーザ処理を行った。詳細には、UV−オゾン処理は、UVの照射によってOを発生させ、試料1を5分、10分および30分間、Oに晒した。パルスレーザ(PL)処理は、YAGレーザ(波長1064nm、照射エリア3μm×3μm)を試料1に照射し、試料1に意図的なダメージを作製した。UV−オゾン処理およびパルスレーザ処理後の試料1についても同様に、ステップS110およびステップS120を行い、評価用試料を得た。
例1〜例6で得られた評価用試料について、ステップS120における光学顕微鏡による観察、走査型電子顕微鏡(SEM、JEOL製、JSM−6010LA)による観察、SEM付属のエネルギー分散型X線分析装置によるEDSスペクトル測定、薄膜X線回折(XRD、RIGAKU製、UltimaIV)を行った。結果を図8〜図21に示す。
図8は、例1の評価用試料(O処理なし、PL処理なし)の光学顕微鏡写真を示す図である。
図9は、例1の評価用試料(O処理なし、PL処理なし、10分間光照射後)の光学顕微鏡写真(A)およびSEM像(B)を示す図である。
図8によれば、金属イオンを含有する水溶液中、1分間以上光を照射すれば、MoS原子膜上に粒子の析出が確認された。また、光照射時間の増大に伴い、粒子の析出量が増大する傾向にあるが、特に、5分以上の照射により、粒子の位置を容易に確認できる。粒子の大きさは、光照射時間に関わらず、50nm以上200nm以下の範囲で均一であった。
また、MoS原子膜上に分散して位置する(点在している)粒子、MoS原子膜の端部に連続して位置する粒子、あるいは、MoS原子膜を横断する方向に連続して位置する粒子が確認された。これらは、MoS原子膜の欠陥に起因することが示唆される。
図9によれば、粒子は、光学顕微鏡でもSEMでも確認できることが示された。また、SEMによれば、粒子部分が、チャージによって明るく示されることから、粒子は金属粒子であることが示唆される。
図10は、例1の評価用試料(O処理なし、PL処理なし、10分間光照射後)の粒子のEDSスペクトルを示す図である。
図10によれば、粒子部分からは、Ag、Mo、S、SiおよびOを示すピークが検出された。SiおよびOのピークは、SiO/Si基板に基づく。MoおよびSのピークは、MoSに基づく。このことから、Agのピークは金属粒子がAgからなることを示す。
図11は、例1の評価用試料(O処理なし、PL処理なし、30分間光照射後)のXRDパターンを示す図である。
図11によれば、Siの明瞭なピークに加えて、MoSおよびAgのピークが検出された。このことから、SiO/Si基板上に、MoSからなる原子膜が位置し、その上にAgからなる金属粒子が位置することが示された。
以上の結果から、図1に示す本発明の方法を実施することにより、半導体原子膜上に金属粒子が選択的に析出することが示された。
図12は、UV−O処理した試料1のAFM像を示す図である。
図13は、UV−O処理した試料1の移動度、発光特性およびラマンスペクトルのO処理時間の依存性を示す図である。
図12によれば、AFM像からは、UV−O処理の有無、および、その処理時間の試料1に及ぼす影響は確認できなかった。また、図13においても、UV−O処理時間が長くなるにつれて、若干の移動度の低下を示すものの、UV−O処理が発光特性やラマンスペクトルに及ぼす影響は認められなかった。
図14は、例1の評価用試料(O処理あり)の光学顕微鏡写真を示す図である。
図14において、図14(A)〜(C)は、それぞれ、所定時間UV−O処理した試料1の光学顕微鏡写真であり、図14(D)〜(F)は、それぞれ、所定時間UV−O処理した試料1に図1のステップS110およびS120を実施した評価用試料の光学顕微鏡写真である。
驚くべきことに、UV−O処理した試料1には、UV−O処理時間に関わらず、図8と異なり、金属粒子の析出が見られなかった。通常、UV−O処理は、膜の表面の欠陥を修復することができるため、UV−O処理によってMoSからなる原子膜の表面が改質したものと考えられる。このように、図12のAFM像や図13の各種特性の変化からはMoS原子膜の表面の欠陥の有無を判断できない場合であっても、図1に示す本発明の方法を実施するだけで、簡便に判断できることが示された。
図15は、例1の評価用試料(PL処理あり)の光学顕微鏡写真を示す図である。
図15において、図15(A)は、パルスレーザ(PL)処理した試料1の光学顕微鏡写真であり、図15(B)は、パルスレーザ処理した試料1に図1のステップS110およびS120を実施した評価用試料の光学顕微鏡写真である。
図15(A)にはパルスレーザによって意図的に作製されたダメージ領域(矩形の領域)が示される。図15(B)によれば、パルスレーザによるダメージ領域には金属粒子の析出が見られなかったが、ダメージ領域以外には金属粒子の析出が見られた。
図16は、例2の評価用試料の光学顕微鏡写真を示す図である。
図16において、図16(A)は、試料2の光学顕微鏡写真であり、図16(B)は、試料2に図1のステップS110およびS120を実施した評価用試料の光学顕微鏡写真である。
図16(A)によれば、試料2は全体に100nm程度の厚さを有し、その端部は特に厚く500nm〜1μm、あるいは、それ以上の厚さを有した。図16(B)によれば、試料2の内側にはわずかながら金属粒子が析出したが、その端部には金属粒子の析出が見られなかった。これは、試料2がMoSからなる膜が原子膜(例えば、0.3nm〜30nmの厚さの膜)ではないため、金属粒子が格子欠陥上に選択的に析出しにくいためである。
これらから、図1に示す本発明の方法を半導体原子膜に適用すれば、金属粒子を、半導体原子膜の欠陥(点欠陥や線欠陥などの格子欠陥であって、意図的な欠陥ではない)上に選択的に析出させることができ、光学顕微鏡などの通常の顕微鏡を用いて半導体原子膜の欠陥の有無を容易に評価できることが示された。
図17は、例1の評価用試料(O処理なし、PL処理なし、30分間光照射後)の別の部分のAFM像を示す図である。
図17(B)および(C)は、図17(A)に四角で示す領域をそれぞれ拡大して示す。図17(B)によれば、例えば、図8(F)と同様に、MoS原子膜上に分散して位置する(点在している)粒子が確認された。一方、図17(C)によれば、MoS原子膜上に粒子がマージしていることが確認された。図17(D)は、図17(C)をさらに拡大して示すが、マージした粒子は、クラブの形状を有し、全体で三角形をなしていた。
このことから、このようなクラブの形状を有するマージした粒子は、MoS原子膜上のステップに位置し、MoSのさらなる単層膜が形成され得ることを示す。このように、マージした粒子の形状が観察されるだけで、MoS原子膜上のステップの有無を判断できる。
図18は、例3の評価用試料の光学顕微鏡写真を示す図である。
図18によれば、金属イオンを含有する水溶液中、3分間以上光を照射すれば、MoS原子膜上に粒子の析出が確認された。また、照射時間の増大に伴い、粒子の析出量が増大する傾向にあり、粒子の大きさは、光照射時間に関わらず、50nm以上200nm以下の範囲で均一であった。
図8と図18との比較から、金属イオンの水溶液の濃度は、0.005mol/L以上であればよいことが示唆される。また、金属イオンの水溶液の濃度によって、金属粒子の析出量や析出速度が変化するため、当業者であれば、金属イオンの水溶液が上述の濃度範囲を満たし、光照射時間を適宜選択できる。
図19は、例4の評価用試料の光学顕微鏡写真を示す図である。
図19によれば、図中のコントラストの暗く示される領域(すなわち、MoS単層原子膜)において、1分間以上光を照射すれば、金属粒子が分散して析出した。しかしながら、図中のコントラストの明るく示される領域(すなわち、MoS2層の原子膜、および、それ以上の原子膜)には、金属粒子の析出は確認されなかった。このことから、半導体原子膜上の一部の領域に分散して位置する金属粒子が観察され、その他の領域に金属粒子が観察されない場合、金属粒子が観察された領域における半導体原子膜は単層であり、金属粒子が観察されないその他の領域における半導体原子膜は2層以上であると評価できることが示された。
図20は、例5の評価用試料の光学顕微鏡写真を示す図である。
図21は、例6の評価用試料の光学顕微鏡写真を示す図である。
図20および図21と図8および図18とを比較すれば、例5および例6の評価用試料には、金属イオンの水溶液の濃度に関わらず、金属粒子の析出が実質的に認められなかった。これは、例5および例6で用いた試料4は、MoSバルク単結晶基板から機械的に単層剥離されているため、欠陥や粒界がないためである。
これらからも、図1に示す本発明の方法を半導体原子膜に適用すれば、金属粒子を、半導体原子膜の欠陥(点欠陥や線欠陥などの格子欠陥)上に選択的に析出させることができ、光学顕微鏡などの通常の顕微鏡を用いて半導体原子膜の欠陥の有無を容易に評価でき、結晶性やデバイス性能評価プログラムにおける最初のスクリーニング技術として有効であることが示された。
本発明の半導体からなる原子膜を評価する方法は、格別の技術を不要とし、簡便な装置のみで原子膜を評価できるため、低コストで汎用性のある手法である。また、スペクトルの解析も不要であるため、結晶性・デバイス性能評価プロセスにおける最初のスクリーニング技術として好ましい。
210 基板
220、310、310a、310b 半導体原子膜
230、240、250、320 金属粒子

Claims (16)

  1. 半導体からなる原子膜を評価する方法であって、
    前記半導体からなる原子膜を、金属イオンを含有する水溶液に浸漬させ、光を照射するステップであって、前記半導体からなる原子膜の伝導帯の底のエネルギーは前記金属イオンの還元電位よりも大きく、前記光の光子エネルギーは前記半導体のバンドギャップよりも大きい、ステップと、
    前記半導体からなる原子膜を顕微鏡により観察するステップと
    を包含する方法。
  2. 前記観察するステップにおいて、前記原子膜上に金属粒子が観察された場合、前記原子膜は欠陥および/または粒界を有すると評価し、前記原子膜上に金属粒子が観察されない場合、前記原子膜は欠陥および粒界を有しないと評価する、請求項1に記載の方法。
  3. 前記観察するステップにおいて、前記原子膜上に分散して位置する金属粒子が観察された場合、または、前記原子膜の端部に連続する金属粒子が観察された場合、前記原子膜は欠陥を有すると評価し、前記原子膜を横断する方向に連続する金属粒子が観察された場合、前記原子膜は粒界を有すると評価する、請求項2に記載の方法。
  4. 前記半導体は、遷移金属カルコゲナイドである、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
  5. 前記遷移金属カルコゲナイドは、一般式MX(ここで、Mは、タングステン(W)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、チタン(Ti)およびハフニウム(Hf)からなる群から少なくとも1つ選択される元素であり、Xは、硫黄(S)、セレン(Se)およびテルル(Te)からなる群から少なくとも1つ選択される元素である)で表される、請求項1〜4のいずれかに記載の方法。
  6. 前記金属イオンは、銀(Ag)イオン、金(Au)イオン、白金(Pt)イオン、ロジウム(Rh)イオン、および、ルテニウム(Ru)イオンからなる群から選択される、請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
  7. 前記光を照射するステップは、350nm以上1000nm以下の範囲の波長を有する光を、前記原子膜に5分以上60分以下の時間照射する、請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
  8. 前記光を照射するステップにおいて、前記金属イオンの水溶液は、0.005mol/L以上5mol/L以下の濃度を有する、請求項1〜7のいずれかに記載の方法。
  9. 前記光を照射するステップにおいて、前記金属イオンの水溶液は、0.005mol/L以上1mol/L以下の濃度を有する、請求項8に記載の方法。
  10. 前記金属イオンの水溶液は、前記金属イオンの硝酸、リン酸、硫酸および酢酸からなる群から選択される無機塩の水溶液である、請求項1〜9のいずれかに記載の方法。
  11. 前記原子膜は、0.3nm以上30nm以下の範囲の厚さを有する、請求項1〜10のいずれかに記載の方法。
  12. 前記原子膜は、基板上に位置する、請求項1〜11のいずれかに記載の方法。
  13. 前記光を照射するステップに先立って、前記原子膜を、少なくともアルコールで洗浄するステップをさらに包含する、請求項1〜12のいずれかに記載の方法。
  14. 前記観察するステップにおいて、前記原子膜上の一部の領域に分散して位置する金属粒子が観察され、その他の領域に前記金属粒子が観察されない場合、前記金属粒子が観察された領域における前記原子膜は単層であり、前記金属粒子が観察されないその他の領域における前記原子膜は2層以上であると評価する、請求項1〜13のいずれかに記載の方法。
  15. 前記観察するステップにおいて、前記原子膜上にクラブ形状を有するマージした金属粒子が観察される場合、前記原子膜はステップを有すると評価する、請求項1〜13のいずれかに記載の方法。
  16. 前記顕微鏡は、光学顕微鏡、原子間力顕微鏡、走査型電子顕微鏡および透過型電子顕微鏡からなる群から選択される、請求項1〜15のいずれかに記載の方法。
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JP2021183558A (ja) * 2020-05-21 2021-12-02 コリア アドバンスト インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジー 金属ナノ構造体製造用遷移金属カルコゲナイド、これにより製造された金属ナノ構造体、それを含む電子機器及びその製造方法

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